CN105222715A - 一种直接入射式光臂放大型一维线性测头 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，包括：用于发射激光束的激光源，用于接收激光源发射的激光束的光电探测器，用于固定激光源或光电探测器的测头基座，测头基座上设有用于检测的测杆和测球，用于使测头基座做直线运动的平移部件；以及根据光电探测器上所接收到的激光束入射位置变化值计算得到测球位移变化值的处理系统。该测头能够测量得到测头与被测工件接触导致的一维位移，以补偿被测工件定位时的测量偏差，进而获得更为准确的测量坐标；该测头提高了测量的精度，简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造。

Description

一种直接入射式光臂放大型一维线性测头

技术领域

本发明涉及一种精密测量技术领域，特别涉及一种直接入射式光臂放大型一维线性测头。

背景技术

测头是精密量仪的关键部件之一，作为传感器提供被测工件的几何位置信息，测头的发展水平直接影响着精密量仪的测量精度与测量效率。精密测头通常分为接触式测头与非接触式测头两种，其中接触式测头又分为机械式测头、触发式测头和扫描式测头；非接触式测头分为激光测头和光学视频测头。

机械式测头是精密量仪使用较早的一种测头。该测头通过测头测端与被测工件直接接触进行位置测量，主要用于手动测量。该类测头结构简单、操作方便，其缺点在于精度不高，测量效率低，目前很少用于工业测量领域。当前工业领域广泛使用的精密测头是触发式测头。触发式测头的测量原理是当测头测端与被测工件接触时精密量仪发出采样脉冲信号，并通过仪器的处理系统锁存此时测端球心的坐标值,以此来确定测端与被测工件接触点的坐标。该类测头具有结构简单、使用方便、及较高触发精度等优点，是三维测头中应用最广泛的测头。但该类测头的缺点在于：存在各向异性(三角效应)，或者接触式测头在接触被测工件时因为阻力而产生微小位移从而导致测头的位移偏差，限制了其测量精度的进一步提高，最高精度只能达零点几微米。另一方面，由于触发式测头测量原理决定了其测量过程为单点测量，测量效率低，限制了其推广使用。

当前应用最广的测头类型为扫描式测头，该类测头输出量与测头偏移量成正比，作为一种精度高、功能强、适应性广的测头，同时具备工件单点测量和连续扫描测量的功能。该类测头的测量原理是测头测端在接触被测工件后，测头由于接触力的作用发生位移，测头的转换装置输出与测杆的微小偏移成正比的信号，该信号和精密量仪的相应坐标值叠加便可得到被测工件上点的精确坐标。若不考虑测杆的变形，扫描式测头是各向同性的，故其精度远远高于触发式测头。但是该类测头的缺点是结构复杂，制造成本高，目前世界上只有少数公司可以生产。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中所存在的机械式测头和触发式测头精度不高，以及扫描式测头结构复杂、成本较高的上述不足，提供一种结构简单、测量精度高的直接入射式光臂放大型一维线性测头。

为了实现上述发明目的，本发明提供了以下技术方案：

技术方案一：

一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，包括：

激光源，用于发射激光束；

测头基座，所述测头基座上设有所述激光源，以及用于检测的测杆和测球；

光电探测器，用于接收所述激光源入射的激光束；

平移部件，用于使所述测头基座做直线运动；

回复部件，用于将所述测头基座回复至初始位置；

处理系统，根据所述光电探测器上所接收到的激光束入射位置变化值，计算得到所述测球的位移变化值。

该直接入射式光臂放大型一维线性测头，利用一个激光源发射激光束，该激光束为平行激光束，入射到光电探测器上，光电探测器能够感应激光束的入射位置。激光源安装在测头基座上，当测头基座位置发生变化，激光束入射到光电探测器上的位置相应发生改变，平移部件能够使测头基座做直线运动，进而带动激光源运动，则激光束入射到光电探测器上的位置也有所改变，通过处理系统对光电探测器对不同激光束入射位置的变化值，进行计算并分析，能够得到测头基座在位于其直线位移方向的位移变化值，测头基座发生位移后通过回复部件回复至初始位置，便于下一次的测量。其中，上述方法中，通过测量激光束的入射点位移变化来实现位移测量。

将该测头安装在精密量仪上，由于测头基座上连接测杆和测球，测球用于与被测工件直接接触进行定位而完成精密量仪测量，当测球与被测工件直接接触时，受到阻力而产生位移，测球带动测头基座在平移部件上发生直线位移，通过激光源、光电探测器、处理系统配合，能够计算得到测球的位移量，以补偿测球接触被测工件时测球位移导致的被测工件定位时的测量偏差，获得被测工件在测头基座直线位移方向即一维方向的更为准确的测量坐标，最高精度能够达到纳米级别，提高了测量的精度。该测头简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造。

优选地，所述平移部件用于将所述测头基座沿垂直于所述光电探测器的方向做直线运动。

优选地，还包括壳体，所述光电探测器可旋转安装在所述壳体内，所述平移部件包括位于所述壳体内的导向槽，所述测头基座设有与所述导向槽适配的滑块。

该测头包括设于精密量仪上的壳体，该壳体内有激光源、测头基座、光电探测器和平移部件，便于安装和拆卸。其中平移部件为导向槽，测头基座通过滑块能够在导向槽内做直线运动，以改变所述激光束入射点位置。

优选地，所述回复部件设于所述壳体内并用于将所述测头基座回复至初始位置。

优选地，回复部件为弹簧，其一端连接在所述测头基座上，另一端连接在所述壳体上。测球受到被测工件阻力而发生位移导致测头基座发生位移，当测头完成测量后，回复部件能够将测头基座回复至初始位置(即安装位置)，以便下一个被测工件测量点的准确测量。

优选地，所述平移部件和回复部件为平行簧片结构，其中所述平行簧片结构包括连接在所述测头基座上的连接块和固定在壳体上的座板，所述连接块和所述座板之间连接有两个相互平行的簧片，所述连接块可相对所述座板平行移动和复位。

优选地，所述光电探测器为位置敏感探测器。

该光电探测器选用为常用的位置敏感探测器(英文为PositionSensitiveDetector，简称PSD)，属于半导体器件，一般做成PN结构，其工作原理是基于横向光电效应，能够用于位置坐标的精确测量，具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点。

优选地，所述光电探测器为一维位置敏感探测器。

一维位置敏感探测器(简称一维PSD)，可以探测出一个亮点在它的一个唯一方向上表面的移动。分别将一维PSD安装在壳体的X轴、Y轴或Z轴，抑或其他方向，以获得其在该方向的位移值，并将其补偿到被测工件的测量值上，以获得该一维方向更准确的测量值。

优选地，所述一维位置敏感探测器在位于所述壳体的侧面上可旋转。

可旋转的一维位置敏感探测器能够根据实际所需要测量精度改变其旋转位置，能够改变一维位置敏感探测器入射激光的夹角，从而改变了一维位置敏感探测器测量测头位移的放大倍数，以满足实际需要。

优选地，所述测头基座下方连接测杆，所述测杆端部连接测球。

本发明还提供了一种技术方案二：

一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，包括：

激光源，用于发射激光束；

光电探测器，用于接收所述激光源入射的激光束；

测头基座，所述测头基座上设有所述光电探测器以及用于检测的测杆和测球；

平移部件，用于使所述测头基座做直线运动；

回复部件，用于将所述测头基座回复至初始位置；

处理系统，根据所述光电探测器上所接收到的激光束入射位置变化值，计算得到所述测球的位移变化值。

该直接入射式光臂放大型一维线性测头，利用一个激光源发射激光束，该激光束为平行激光束，入射到光电探测器上，光电探测器能够感应激光束的入射位置。光电探测器安装在测头基座上，当测头基座位置发生变化，激光束入射到光电探测器上的位置相应发生改变，平移部件能够使测头基座做直线运动，进而带动光电探测器运动，则激光束入射到光电探测器上的位置也有所改变，通过处理系统对光电探测器对不同激光束入射位置的变化值，进行计算并分析，能够得到测头基座在位于其直线位移方向的位移变化值，测头基座发生位移后通过回复部件回复至初始位置，便于下一次的测量。

优选地，还包括壳体，所述光电探测器可旋转安装在所述壳体内，所述激光源安装在测头基座上，所述平移部件包括位于所述壳体内的导向槽，所述测头基座设有与所述导向槽适配的滑块。

该测头包括设于精密量仪上的壳体，该壳体内有激光源、测头基座、光电探测器和平移部件，便于安装和拆卸。其中平移部件为导向槽，测头基座通过滑块能够在导向槽内做直线运动，以改变所述激光束入射点位置。

优选地，所述回复部件设于所述壳体内并用于将所述测头基座回复至初始位置，所述回复部件为弹簧，其一端连接在所述测头基座上、另一端连接在所述壳体上。测球受到被测工件阻力而发生位移导致测头基座发生位移，当测头完成测量后，回复部件能够将测头基座回复至初始位置(即安装位置)，以便下一个被测工件测量点的准确测量。

优选地，所述平移部件和回复部件为平行簧片结构，其中所述平行簧片结构包括连接在所述测头基座上的连接块和固定在壳体上的座板，所述连接块和所述座板之间连接有两个相互平行的簧片，所述连接块可相对所述座板平行移动和复位。

该平移部件和回复部件可以通过两个平行的簧片，将连接块连接在测头基座上，测头基座上位移时，带动两个平行的簧片移动，此时连接块相对座板发生平行位移，由于簧片具有回复力，因为可以恢复至原位，即将测头基座回复至初始位置。

优选地，所述光电探测器为位置敏感探测器。

该光电探测器选用为常用的位置敏感探测器(英文为PositionSensitiveDetector，简称PSD)，属于半导体器件，一般做成PN结构，其工作原理是基于横向光电效应，能够用于位置坐标的精确测量，具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点。

优选地，所述光电探测器为一维位置敏感探测器。

一维位置敏感探测器(简称一维PSD)，可以探测出一个亮点在它的一个唯一方向上表面的移动。分别将一维PSD安装在壳体的X轴、Y轴或Z轴，抑或其他方向，以获得其在该方向的位移值，并将其补偿到被测工件的测量值上，以获得该一维方向更准确的测量值。

优选地，所述一维位置敏感探测器安装在测头基座上，所述激光源在位于所述壳体的侧面上可旋转。

可旋转的一维位置敏感探测器能够根据实际所需要测量精度改变其旋转位置，能够改变一维位置敏感探测器入射激光的夹角，从而改变了一维位置敏感探测器测量测头位移的放大倍数，以满足实际需要。

优选地，所述测头基座下方连接测杆，所述测杆端部连接测球。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

1、本发明所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，两种方案，均是利用一个激光源发射激光束，入射到光电探测器上，光电探测器能够感应激光束的入射位置，平移部件能够使测头基座做直线运动，激光源或者光电探测器安装在测头基座上，当测头基座位置发生变化，激光束入射到光电探测器上的位置相应发生改变，通过处理系统对光电探测器的激光束入射位置的变化值进行计算并分析，能够得到测头基座在位于其直线位移方向的位移变化值；将该测头安装在精密量仪上，当测球与被测工件直接接触时，受到阻力而产生位移，测球带动测头基座在平移部件上发生直线位移，处理系统能够计算得到测球的位移量，以补偿测球接触被测工件时位移导致的被测工件定位偏差，获得被测工件在测头基座直线位移方向更为准确的测量坐标，最高精度能够达到纳米级别，提高了测量的精度，测头基座发生位移后通过回复部件回复至初始位置，便于下一次的测量；该测头简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造；

2、本发明所述的测头包括设于精密量仪上的壳体，该壳体内有激光源、测头基座、光电探测器和平移部件，便于安装和拆卸。其中平移部件为导向槽，测头基座通过滑块能够在导向槽内做直线运动，以改变测头基座入射面上的激光束入射点位置；

3、本发明所述的壳体内还设有回复部件，其回复部件为弹簧，测球受到被测工件阻力而发生位移导致的测头基座发生位移，当测头完成测量后，回复部件能够将测头回复至初始位置，即安装位置，以便下一个被测工件测量点的准确测量；

4、本发明所述光电探测器选用一维位置敏感探测器，将一维PSD位置敏感探测器安装在壳体的X轴、Y轴或Z轴，抑或其他方向，以获得其在该方向的位移值，并将其补偿到被测工件的测量值上，同时能够改变一维位置敏感探测器和激光源的相对位置和夹角，从而改变了一维位置敏感探测器测量测头位移的放大倍数，以获得该一维方向更准确的测量值，满足实际需要；

附图说明：

图1为本发明所述一种直接入射式光臂放大型一维线性测头的结构示意图；

图2为本发明所述一种直接入射式光臂放大型一维线性测头的光路示意图；

图3为图2中测头基座发生位移后的光路示意图；

图4为图3中位置敏感探测器旋转一定角度后的光路示意图；

图5为本发明所述一种直接入射式光臂放大型一维线性测头的另一种结构示意图；

图6为实施例4中一维线性测头的平移部件和回复部件为平行簧片结构的结构示意图。

图中标记：

1、激光源，2、激光束，3、光电探测器，4、测头基座，5、测杆，6、测球，7、导向槽，8、回复部件，9、壳体，10、连接块，11、座板，12、簧片。

具体实施方式

下面结合实施例及具体实施方式对本发明作进一步的详细描述。但不应将此理解为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本发明内容所实现的技术均属于本发明的范围。

实施例1

如图1所示，一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，包括：

激光源1，用于发射激光束2；

测头基座4，设有激光源1以及用于检测的测杆5和测球6；

光电探测器3，用于接收激光束2；

平移部件，用于使测头基座4做直线运动；

回复部件8，用于将所述测头基座4回复至初始位置；

处理系统，根据光电探测器3上所接收到的激光束2入射位置变化值，计算得到测球6的位移变化值。

该测头还包括壳体9，光电探测器3可旋转安装在壳体9内。平移部件用于平移测头基座4，尤其是用于将测头基座4沿垂直于光电探测器3的方向做直线运动。具体的，平移部件包括位于壳体9内的导向槽8，测头基座4设有与导向槽8适配的滑块，滑块设于测头基座4底部，测头基座4通过滑块能够在导向槽8内做直线运动。该壳体9内包括激光源1、测头基座4、光电探测器3和平移部件，便于安装和拆卸。

另外，回复部件8设于壳体9内，回复部件8为弹簧，测球6受到被测工件阻力而发生位移导致的测头基座4发生位移，当测头完成测量后，回复部件8能够将测头基座回复至初始位置，便于下一个被测工件测量点的准确测量。

上述测头基座4选用长方体，测头基座4下方连接测杆5，测杆5端部连接测球6。

该直接入射式光臂放大型一维线性测头，利用一个激光源1发射激光束2，该激光束2为平行激光束，入射到光电探测器3上，光电探测器3能够感应激光束2的入射位置。激光源1或者光电探测器3安装在测头基座4上，当测头基座4位置发生变化，激光束2入射到光电探测器3上的位置相应发生改变，平移部件能够使测头基座做直线运动，进而带动激光源或光电探测器运动，则激光束入射到光电探测器上的位置也有所改变，通过处理系统对光电探测器对不同激光束入射位置的变化值，进行计算并分析，能够得到测头基座4在位于其直线位移方向的位移变化值。

将该测头安装在精密量仪上，由于测头基座4上连接测杆5和测球6，测球6用于与被测工件直接接触进行定位而完成精密量仪测量，当测球6与被测工件直接接触时，受到阻力而产生位移，测球6带动测头基座4在平移部件上发生直线位移，通过激光源1、光电探测器3、处理系统配合，能够计算得到测球6的位移量，以补偿测球6接触被测工件时位移导致的被测工件定位偏差，由于光电探测器3上所获得的测头基座4的位移量，即可获得被测工件在测头基座4直线位移方向的更为准确的测量坐标，提高了测量的精度。该测头简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造。

本发明所使用的光电探测器3选用常用的位置敏感探测器。位置敏感探测器，英文名称为PositionSensitiveDetector，简称PSD，属于半导体器件，一般做成PN结构，其工作原理是基于横向光电效应，能够用于位置坐标的精确测量，具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点。该位置敏感探测器分为一维位置敏感探测器和二维位置敏感探测器，为了节约成本，本实施例选用一维位置敏感探测器即可。一维位置敏感探测器，简称一维PSD，可探测出一个亮点在它的一个唯一方向的表面的移动。将一维PSD安装在壳体9的X轴、Y轴或Z轴，抑或其他方向，以获得其在该方向的位移值，并将其补偿到被测工件的测量值上，以获得该一维方向更准确的测量值。

为了调整一维位置敏感探测器测量该测头位移的放大倍数，该一维位置敏感探测器在位于壳体9的侧面上可旋转。

可旋转的一维位置敏感探测器能够根据实际所需要测量精度改变其旋转位置，改变一维位置敏感探测器和激光源1发射的激光束2的相对位置和夹角，从而改变了一维位置敏感探测器测量该测头位移的放大倍数，满足实际需要。

如图2与图3所示，该测头的测量原理如图所示，测头基座4水平移动过程中，假设一维位置敏感探测器竖直方向设置，且一维位置敏感探测器与入射光夹角为α，当测头在水平方向平移距离为x时，一维位置敏感探测器测量距离为y，那么，一维位置敏感探测器所测量得到的测头基座4位移放大倍数为 $tan\left(\mathrm{\α}\right)=\frac{y}{x}.$

如图4所示，将一维位置敏感探测器旋转并倾斜一定角度，如θ后，可以再次调整放大倍数，图中明显可以看出在测头基座4平移相同的距离x时，倾斜后的一维位置敏感探测器上两条入射激光束2的入射位置发生了变化，二者的间距变大，二者的间距为x·tanα·cosθ+x·tanα·sinθ·cot(α-θ)，此时，该一维位置敏感探测器所测量得到的测头基座4位移放大倍数为tanα·cosθ+tanα·sinθ·cot(α-θ)。该角度可以根据不同的需要进行调整。

实施例2

如图5所示，一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，包括：

激光源1，用于发射激光束2；

光电探测器3，用于接收激光束2；

测头基座4，设有光电探测器3以及用于检测的测杆5和测球6；

平移部件，用于使测头基座4做直线运动；

回复部件8，用于将所述测头基座4回复至初始位置将；

处理系统，根据光电探测器3上所接收到的激光束2入射位置变化值，计算得到测球6的位移变化值。

该测头还包括壳体9，激光源1可旋转安装在壳体9内。平移部件用于平移测头基座4，尤其是用于将测头基座4沿垂直于光电探测器3的方向做直线运动。具体的，平移部件包括位于壳体9内的导向槽8，测头基座4设有与导向槽8适配的滑块，滑块设于测头基座4底部，测头基座4通过滑块能够在导向槽8内做直线运动。该壳体9内包括激光源1、测头基座4、光电探测器3和平移部件，便于安装和拆卸。

另外，回复部件8设于壳体9内，回复部件8为弹簧，测球6受到被测工件阻力而发生位移导致测头基座4发生位移，当测头完成测量后，回复部件8能够将测头基座回复至初始位置，便于下一个被测工件测量点的准确测量。

上述测头基座4选用长方体，测头基座4下方连接测杆5，测杆5端部连接测球6。

本实施例与实施例1原理一致，仅将光电探测器3安装在测头基座4上，激光源1安装在壳体9上。

实施例3

如图6所示，为另一种直接入射式光臂放大型一维线性测头的结构示意图，如同实施例1中一样，均包括：用于发射激光束2的激光源1；测头基座4，该测头基座4上设有激光源1以及用于检测工件的测杆和测球；用于接收激光束2的光电探测器3；用于使测头基座4做直线运动的平移部件；用于将所述测头基座4回复至初始位置的回复部件8；以及根据光电探测器3上所接收到的激光束2入射位置变化值，计算得到测球6的位移变化值的处理系统。

与实施例1中不同的是，该平移部件和回复部件8为平行簧片结构，其中平行簧片结构包括连接在测头基座4上的连接块10和固定在壳体9上的座板11，连接块10和座板11之间连接有两个相互平行的簧片12，连接块10可相对所述座板11平行移动和复位。

具体的，连接块10和座板11分别与两个等长的相互平行簧片12连接，使连接块10与座板11的相对运动形成一个平行四边形平行簧片结构，由于测头基座4受力发生运动，连接块10相对座板11只能做平动，限制测头基座4只能在一维方向发生位移，如图6中箭头所示的上下移动。两个簧片12能够提供回复力。该平行簧片结构简单、回复效率高，能够有效实现测头基座4在一维方向如X或Y或Z轴方向的平移和回复作用。

以上实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述的技术方案，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本发明已进行了详细的说明，但本发明不局限于上述具体实施方式，因此任何对本发明进行修改或等同替换；而一切不脱离发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，包括：

激光源(1)，用于发射激光束(2)；

测头基座(4)，所述测头基座(4)上设有所述激光源(1),以及用于检测的测杆(5)和测球(6)；

光电探测器(3)，用于接收所述激光源(1)入射的激光束(2)；

平移部件，用于使所述测头基座(4)做直线运动；

回复部件(8)，用于将所述测头基座(4)回复至初始位置；

处理系统，根据所述光电探测器(3)上所接收到的激光束(2)的位置变化值，计算得到所述测球(6)的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，还包括壳体(9)，所述光电探测器(3)可旋转安装在所述壳体(9)内，所述平移部件包括位于所述壳体(9)内的导向槽(7)，所述测头基座(4)设有与所述导向槽(7)适配的滑块。

3.根据权利要求2所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，所述回复部件(8)设于所述壳体(9)内并用于将所述测头基座(4)回复至初始位置。

4.根据权利要求3所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，所述回复部件(8)为弹簧，其一端连接在所述测头基座(4)上，另一端连接在所述壳体(9)上。

5.根据权利要求1所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，还包括壳体(10)，所述平移部件和回复部件(8)为平行簧片结构，其中所述平行簧片结构包括连接在所述测头基座(4)上的连接块(10)和固定在壳体(9)上的座板(11)，所述连接块(10)和所述座板(11)之间连接有两个相互平行的簧片(12)，所述连接块(10)可相对所述座板(11)平行移动和复位。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，所述光电探测器(3)为位置敏感探测器。

7.一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，包括：

激光源(1)，用于发射激光束(2)；

光电探测器(3)，用于接收所述激光源(1)入射的激光束(2)；

测头基座(4)，所述测头基座(4)上设有光电探测器(3),以及用于检测的测杆(5)和测球(6)；

平移部件，用于使所述测头基座(4)做直线运动；

回复部件(8)，用于将所述测头基座(4)回复至初始位置；

处理系统，根据所述光电探测器(3)上所接收到的激光束(2)的位置变化值，计算得到所述测球(6)的位移变化值。

8.根据权利要求7所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，还包括壳体(9)，所述激光源(1)可旋转安装在所述壳体(9)内，所述平移部件包括位于所述壳体(9)内的导向槽(7)，所述测头基座(4)设有与所述导向槽(7)适配的滑块。

9.根据权利要求8所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，所述回复部件(8)设于所述壳体(9)内并用于将所述测头基座(4)回复至初始位置；所述回复部件(8)为弹簧，其一端连接在所述测头基座(4)上、另一端连接在所述壳体(9)上。

10.根据权利要求7所述的一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，其特征在于，还包括壳体(10)，所述平移部件和回复部件(8)为平行簧片结构，其中所述平行簧片结构包括连接在所述测头基座(4)上的连接块(10)和固定在壳体(9)上的座板(11)，所述连接块(10)和所述座板(11)之间连接有两个相互平行的簧片(12)，所述连接块(10)可相对所述座板(11)平行移动和复位。