KR880004559A - 기록 레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조 및 방법 - Google Patents

기록 레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조 및 방법 Download PDF

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KR880004559A
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마인라드 캠프테르
엘코 되링
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에른스튼 울만
라자레이 홀딩 악티엔 게젤샤후트
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Abstract

내용 없음

Description

기록 레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 칩의 일부 코너를 나타낸 도면.
제2도 내지 제3도는 제1도의 Ⅱ 내지 Ⅳ부분을 확대한 상세도.

Claims (7)

  1. 레이저 패턴 발생기를 사용하는 레이저 기록방법에 있어서, 칩(1)의 가장자리 부분에 주사레이저 빔을 위한 인식 패턴이 제공되고, 칩 표면의 다른 부분에 대해 여러각도로 주사레이저 빔을 반사하고,적어도 칩(1)표면상의 두군데 가장자리를 따라 첫째입력코드(4,4′)가 동기화구조(5)와 단계인식구조(6)를 가지고 전개됨을 특징으로 하는 기록레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조.
  2. 제1항에 있어서, 칩의 표면에서 첫째 입력코드(4)의 세로방향에 대해 수직으로 트레드코드(7,7′)가 논리(12)를 가진 프레임(11,11′)의 코너방향으로 전개됨을 특징으로 하는 기록레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조.
  3. 제2항에 있어서, 논리(12)를 포함하고 있는 프렝미(11,11′)에 각각 두번째 입력코드(13,13′)를 제공함을 특징으로 하는 기록레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조.
  4. 제3항에 있어서, 두번째 입력코드(13,13′)는 일치하는 첫째 입력코드(4,4′)에 대해 각각 평행하게 프레임(11,11′)의 외측 가장자리 부분으로 전개됨을 특징으로 하는 기록레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조.
  5. 주사레이저 빔(23′)에 의해 첫째 입력코드(4,4′)나 트레드코드(7,7′)또는 두번째 입력코드(13,13′)가 주사되고, 반사된 주사레이저 빔(23′)은 칩(1)의 표면에 의해 영향받아 적어도 하나의 검출기 (37)에 의해 수신되어 계속적으로 평가되고, 이 평가를 기초로 하여 칩(1)과 기록레이저 빔(21)의 상호 작용이 조절되고, 필요시 지시된 패턴에 따라 정정됨을 특징으로 하는 기록레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 방법.
  6. 제5항에 있어서, 주사레이저 빔(23′)이 칩의 표면영역 내에서 기록레이저 빔(21)과 함께 같은 축상으로 가이드됨을 특징으로 하는 기록레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 방법.
  7. 제5항에 있어서, 주사레이저 빔(23′)이 칩의 표면영역 내에서 기록레이저 빔(21)의 정면으로 가이드됨을 특징으로 하는 기록레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR870010044A 1986-09-22 1987-09-10 기록 레이저 빔의 위치결정과 동기화를 위한 구조 및 방법 KR880004559A (ko)

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