KR870009210A - 단자 계측 장치 - Google Patents

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KR870009210A
KR870009210A KR870001860A KR870001860A KR870009210A KR 870009210 A KR870009210 A KR 870009210A KR 870001860 A KR870001860 A KR 870001860A KR 870001860 A KR870001860 A KR 870001860A KR 870009210 A KR870009210 A KR 870009210A
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Inventor
요시도시 이도오
Original Assignee
미따 가쯔시게
가부시기 가이샤 히다찌 세이사구쇼
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract

내용 없음

Description

단자 계측 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예의 장치 구성도
제2도는 본 발명에서 사용하는 편파면보존광파이버의 단면 구조도
제4도는 웰파스톤 프리즘(wollaston prism)에 의한 광의 분리와 중첩의 설명도

Claims (5)

  1. 직선편광된 레이저광을 발생시키기 위한 레이저 광원과, 상기 직선 편광광의 편광면을 보존한 상태에서 상기 레이저광을 전파시키기 위한 광전파 수단과, 상기 광전파 수단으로부터 출사된 상기 레이저광을 편광면이 서로 직교하는 성분광으로 이루어진 광로로 나누고, 상기 각 성분광을 시료의 표면상의 서로에 접근한 장소로 입사시키기 위한 광학시스템에 있어서, 상기 시료의 표면으로부터의 각 반사공을 역행시킴으로서 1광로에 중첩하고, 상기 중첩된 방사광을 상기 광전파수단의 단면에 집광하는 기능을 가지고 있는 상기 광학계와, 상기 광전파 수단으로부터 상기 반사광중의 상기 입사광의 편광면에 대해서 평행인 성분의 광량과 직교하는 성분의 광량을 검출하기 위한 광검출수단과, 상기 광검출 수단으로부터의 상기 각 광량에 상당하는출력의 비로부터 상기 시료의 표면상의 단차를 구하기 위한 수단을 갖추어서 이루어진 단자계측 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광전파수단이 편파면보존 공파이버로 이루어진 것을 특징으로 하는 단차계측 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 레이저광원이 반도체 레이저로 이루어진 것을 특징으로 하는 단차계측 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 광학시스템이 윌라스톤 프리즘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 단차계측 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 광검출수단이 비임스플리터와, 편광비임스플리터에 각각 접속된 광전변환기로 이루어진 것을 특징으로 하는 단차계측 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870001860A 1986-03-13 1987-03-03 단차계측장치 KR900003116B1 (ko)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP53755 1986-03-13
JP61053755A JPS62211503A (ja) 1986-03-13 1986-03-13 段差計測装置
JP61-53755 1986-03-13

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KR870009210A true KR870009210A (ko) 1987-10-24
KR900003116B1 KR900003116B1 (ko) 1990-05-08

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KR900003116B1 (ko) 1990-05-08
US4770532A (en) 1988-09-13
JPS62211503A (ja) 1987-09-17

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