KR20240124741A - 프레스 유닛 및 이를 포함하는 범프 코이닝 장치 - Google Patents

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KR20240124741A
KR20240124741A KR1020230017581A KR20230017581A KR20240124741A KR 20240124741 A KR20240124741 A KR 20240124741A KR 1020230017581 A KR1020230017581 A KR 1020230017581A KR 20230017581 A KR20230017581 A KR 20230017581A KR 20240124741 A KR20240124741 A KR 20240124741A
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정라파엘
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Abstract

프레스 유닛은, 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치용 프레스 유닛으로서, 상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부, 상기 가압부의 상부에 배치되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 때 충격을 완출하는 완충부 및 상기 완충부의 상부에 배치되며, 상기 완충부를 경유하여 상기 가압부에 열을 제공하는 가열부를 포함한다.

Description

프레스 유닛 및 이를 포함하는 범프 코이닝 장치{PRESS UNIT AND APPARATUS OF COINING BUMPS OF A SUBSTRATE INCLUSING THE SAME}
본 발명의 실시예들은 프레스 유닛 및 이를 포함하는 범프 코이닝 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명의 실시예들은 기판에 형성된 범프를 평탄화하 프레스 유닛 및 상기 프레스 유닛을 포함하는 범프 코이닝 장치에 관한 것이다.
반도체 산업에서 집적회로에 대한 패키징 기술은 소형화에 대한 요구 및 실장 신뢰성을 만족시키기 위해 지속적으로 발전되고 있다. 예컨데, 소형화에 대한 요구는 칩 크기에 근접한 패키지에 대한 기술 개발을 가속화시키고 있으며, 실장 신뢰성에 대한 요구는 실장작업의 효율성 및 실장 후의 기계적, 전기적 신뢰성을 향상시킬 수 있는 패키징 기술에 대한 중요성을 부각시키고 있다.
상기 패키지의 소형화를 이룬 한 예로서, BGA(Ball Grid Array), CSP(Chip Scale Package), FC-BGA(Flip Chip Ball Grid Array)패키지 기판 등을 들 수 있다.
상기 BGA 패키지는 전체적인 패키지의 크기가 반도체 칩의 크기와 동일하거나 거의 유사하며, 특히, 외부와의 전기적 접속 수단, 즉, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board :이하, PCB)에의 실장 수단으로서, 솔더 볼이 구비됨에 따라 실장 면적이 감소되고 있는 추세에 매우 유리하게 적용할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 상기 BGA, CSP, FC-BGA 패키지 기판 등은 외부와의 전기적 접속 수단으로 PCB 상의 패드(pad)에 솔더 페이스트(Solder Paste)를 인쇄하여 형성된 범프(Bump) 또는 패드 솔더(Pad Solder)를 이용함으로써, 전체적인 전기 회로의 길이를 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 파워나 그라운드 본딩 영역을 용이하게 도입할 수 있기 때문에 탁월한 전기적 성능을 발현시킬 수 있고, 또한 입출력핀 수의 설계시에 보다 여유있는 간격으로 보다 많은 입출력핀 수를 만들 수 있으며, 전체적인 패키지의 크기가 반도체 칩의 크기와 동일하거나 거의 유사하고 실장 면적을 최소화시킬 수 있다는 이점을 갖는다.
한편, FC-BGA 패키지는 일면에 칩 또는 수동소자가 탑재되고 타면에는 납땜용 범프가 붙어 있어 보드에 직접 실장하는 것이 가능하다. 따라서 리드프레임 패키지에 비해 전기저항이나 잡음치 훨씬 적고, 살펴본 바와 같이, 신호전달속도가 빠르고 크기와 무게가 작기 때문에 노트북PC, 핸드폰, PDA, 디지털 캠코더 등 소형 가전제품에 대부분 적용될 수 있다.
최근에 고사양화 되는 제품에 사용되는 FC-BGA패키지의 경우, 일면에는 칩 등이 접속되는 범프가 형성되고 타면에는 수동소자 또는 보드가 접속되는 납땜용 범프와 같은 패드 솔더가 형성된다. 이로써, 전기적 연결의 신뢰성이 개선되고 있다.
하지만, 고온의 열을 가하는 리플로우 공정 및 디플럭스 공정을 거치면서 범프가 형성되어, 그 형태가 반구상 형태를 가지게 됨으로써 이후 반도체 칩 및 소자 실장시 접촉 불량의 원인이 되고 있다. 이러한 접촉 불량을 방지하기 위해 상기 범프를 가압하여 평탄화 시키는 코이닝 장치를 이용한 코인(Coin) 공정을 거치게 된다.
상기 코이닝 장치는, 범프들이 형성된 기판을 지지하는 스테이지 유닛 및 상기 범프들을 직접 가압하는 프레스 유닛을 포함한다. 하지만, 상기 프레스 유닛에 대한 레벨링이 정밀하게 수행되지 않을 경우, 범프들에 대한 평탄화가 균일화되지 못하는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 정밀하게 레벨링할 수 있는 프레스 유닛을 제공한다.
본 발명의 실시예들은 상기 프레스 유닛을 포함함으로써, 범프들을 균일하게 평탄화할 수 있는 범프 코이닝 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예들에 따른 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치용 프레스 유닛에 있어서, 상기 프레스 유닛은, 상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부, 상기 가압부의 상부에 배치되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 때 충격을 완출하는 완충부 및 상기 완충부의 상부에 배치되며, 상기 완충부를 경유하여 상기 가압부에 열을 제공하는 가열부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 완충부는 중심에 수용홈을 갖는 프레임 및 상기 수용홈 내부에 구비되고, 고무, 그라파이트 또는 테프론 재질의 완충 부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 완충부는 상기 기판 또는 범프의 종류에 따라 교체 가능하게 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 완충부의 상부에 배치되며, 상기 가압부의 수평면을 레벨링하는 제1 레벨링부가 추가적으로 구비될 수 있다.
여기서, 상기 제1 레벨링부는, 상기 완충부의 주변을 원주 방향을 따라 상호 이격되게 배열되며, 상기 완충부와 각각 연결된 적어도 3개 이상의 서보 모터들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가열부, 상기 완충부 및 상기 가압부와 연결되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 수 있도록 압력을 상기 가압부에 제공하는 제1 구동부가 추가적으로 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가열부의 하단 측부에 배치되며, 상기 가압부의 측부를 홀딩하는 홀딩부를 더 포함하고, 상기 가압부는, 몸체, 상기 몸체의 하부에 배치되며, 상기 기판에 대하여 직접 컨택하는 다이아몬트 코팅층 및 상기 몸체 및 상기 완충부 사이에 배치되며, 상기 몸체의 측벽보다 상기 홀딩부를 따라 슬라이딩하여 교체 가능하게 구비된 슬라이딩 부재를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 슬라이딩 부재에는, 상부에 상기 몸체의 수평 단면적과 동일한 수평 단면적을 갖도록 단차가 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치는, 범프들이 형성된 기판을 지지하는 스테이지 유닛 및 상기 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치용 프레스 유닛을 포함하고, 상기 프레스 유닛은, 상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부, 상기 가압부의 상부에 배치되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 때 충격을 완출하는 완충부 및 상기 완충부의 상부에 배치되며, 상기 완충부를 경유하여 상기 가압부에 열을 제공하는 가열부를 포함한다.
여기서, 상기 스테이지 유닛은, 상기 기판에 대하여 온도를 변화시킬 수 잇는 제2 가열부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 프레스 유닛은, 가압부 및 히터부 사이에 개재된 완충부를 구비함으로써 기판에 대한 가압시 발생하는 충격을 완화하여 기판에 형성된 범프들을 전체적으로 균일하게 평탄화할 수 있다.
상기 완충부는 상대적으로 우수한 열전도도를 가짐에 따라 상기 히터부에서 발생된 열을 효과적으로 가압부에 전달할 수 있다. 또한, 상기 완충부는 교체 가능하게 구비됨으로써, 기판의 종류 또는 크기의 변경에 따라 효과적으로 대응할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레스 유닛을 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 도1의 가열부, 완충부 및 가압부 간의 체결 관계를 설명하기 위한 부분 확대도이다.
도 3은 도 1의 완충부를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1의 제1 레벨링부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 범프 코이닝 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프레스 유닛을 설명하기 위한 개략도이다. 도 2는 도1의 가열부, 완충부 및 가압부 간의 체결 관계를 설명하기 위한 부분 확대도이다. 도 3은 도 1의 완충부를 설명하기 위한 평면도이다. 도 4는 도 1의 제1 레벨링부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 프레스 유닛은, 가압부, 완충부 및 가열부를 포함한다. 상기 프레스 유닛은, 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치에 적용될 수 있다.
상기 가압부(110)는, 상기 프레스 유닛(100)의 하단에 위치한다. 상기 가압부(110)는, 상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압한다. 즉, 상기 가압부(110)는, 상기 범프의 상면과 직접 컨택한 후 상기 범프에 대하여 가압함으로써, 상기 범프의 상면을 평탄화 할 수 있다. 상기 가압부(110)는, 연성 재질의 고무 또는 다이아몬드코팅 등으로 이루어진 컨택부(112)를 포함할 수 있다.
상기 컨택부(112)는 범프들 각각에 대응되는 복수의 콘택터를 포함할 수 있다. 이때, 상기 콘택터는 상호 독립 구동함으로써 범프의 높이 차이에 적극적으로 대응할 수 있다.
상기 완충부(120)는, 상기 가압부(110) 및 가열부(130) 사이에 위치한다. 즉, 상기 완충부(120)는, 상기 가압부(110)의 상단부와 연결된다. 상기 완충부(120)는, 가압부(110)이 상기 범프를 가압할 때 충격을 완충할 수 있다. 즉, 상기 완충부(161)는, 범프를 포함하는 기판에 대한 충격을 완화시킬 수 있다.
도 3을 참고하면, 상기 완충부(120)는, 수용홈에 형성된 프레임(121) 및 완충 부재(125)를 포함한다.
상기 프레임(121)은 교체 가능하고, 수용홈은 그 중심에 형성된다. 상기 프레임(121)은 수용홈이 형성된 사각형 플레이트 형상을 가질 수 있다. 상기 프레임(121)은 기판의 크기, 종류의 변경에 대응할 수 있도록 교체 가능하게 구비된다.
상기 완충 부재(125)는, 상기 수용홈 내부에 구비된다. 상기 완충 부재(125)는, 고무, 그라파이트 또는 테프론 재질을 포함할 수 있다.
특히, 상기 완충 부재(125)가 그라파이트 재질로 이루어질 경우, 300°C 내지 500°C의 온도 범위에서도 우수한 탄성력을 유지할 수 있다. 또한, 그라파이트 재질로 이루어진 상기 완충 부재(125)는 고무 또는 테프론 재질과 비교하여 상대적으로 우수한 열전도도를 가질 수 있다.
이로써, 상기 완충 부재(125)는, 상기 가압부(110)가 상기 기판, 특히 범프의 상면을 가압할 때 발생할 수 있는 충격을 흡수하도록 구비된다.
가열부(130)는, 상기 완충부(120)의 상부에 배치된다. 상기 가열부(130)는, 상기 완충부(120)를 경유하여 상기 가압부(110)에 열을 제공할 수 있다. 즉, 가압부(110)가 범프를 가압할 때 함께 상기 범프를 가열함으로써, 상기 범프를 평탄화하는 코이닝 공정이 보다 효과적으로 수행될 수 있다.상기 가열부(130)의 내부에는 복수의 히터들(131)이 배열될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프레스 유닛(100)은, 제1 레벨링부(160)를 더 포함할 수 있다.
도 4를 참고하면, 상기 제1 레벨링부(160)는, 상기 가열부(130)와 연결된다. 상기 제1 레벨링부(160)는, 상기 가압부(110)의 가열부를 레벨링할 수 있도록 구비된다. 따라서, 상기 제1 레벨링부(160)는, 상기 완충부(120)와 연결되고 상기 범프와 직접 컨택하는 가압부(110)의 컨택면을 상기 기판(10)의 상면과 평행하게 할 수 있다.
상기 제1 레벨링부(160)는, 레벨링 축들(161) 및 서보 모터들(166)을 포함한다.
상기 레벨링 축들(161)은, 상기 가열부(130) 상면의 주변을 따라 상호 이격되게 배열된다. 상기 레벨링 축들(161)은 적어도 3개 이상으로 제공된다. 따라서, 상기 레벨링 축들(161)이 독립적으로 승강함에 따라, 상기 가열부(130)를 용이하게 레벨링 할 수 있다.
상기 서보 모터들(166)은, 상기 레벨링 축들(161)의 상단부와 각각 연결된다. 상기 서보 모터들(166)은, 상기 레벨링 축들(161)을 승강시키도록 구동력을 제공한다. 상기 서보 모터들(166)은 레벨링 축들(166)을 독립적으로 보다 정밀하게 승강시키기 위하여 상기 레벨링 축(161)에 제공되는 구동력을 보다 미세하게 조절할 수 있다.
상기 프레스 유닛(100)은, 구동부(170) 및 프레임(165)을 더 포함할 수 있다.
상기 구동부(170)는, 상기 가열부를 경유하여 가압부(110)와 연결되며, 상기 가압부(110)가 상기 범프를 가압할 수 있도록 구동력을 제공한다. 상기 구동부(170)는, 예를 들면 공압 실린더 또는 유압 실린더를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 구동부(170)는 프레임(165)의 상부와 연결되어 프레임(165)에 압력을 가할 수 있다.
상기 프레임(165)은, 상기 구동부(170)를 지지한다. 상기 프레임(165)이 육면체 형상을 가질 경우, 상기 프레임(165)의 상부에는 구동부(170가 위치하는 한편, 상기 프레임(165)의 내부에는 상기 제1 레벨링부(160)가 수용될 수 있다. 또한, 상기 프레임(165)의 하부에는 가열부(130)가 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가열부(130)의 하단 측부에 배치되며, 상기 가압부(110)의 측부를 홀딩하는 홀딩부(140)가 추가적으로 구비될 수 있다. 상기 홀딩부(140)는, L자 형상을 갖고 상호 이격된 한 쌍의 홀더를 포함할 수 있다. 상기 홀더의 내측벽 및 상면을 따라 상기 가압부(110)가 슬라이딩 방식으로 탈착될 수 있다. 따라서, 상기 가압부(110)는 기판의 크기, 범프의 종류에 변경에 따라 용이하게 교체할 수 있다.
상기 가압부(110)는, 몸체(111), 다이아몬드 코팅층(112) 및 슬라이딩 부재(113)를 포함한다. 몸체(111), 다이아몬드 코팅층(112) 및 슬라이딩 부재(113)는 일체로 형성될 수 있다.
상기 몸체(111)는 사각 기둥 형상을 가질 수 있다. 상기 다이아몬드 코팅층(112)은 상기 몸체(111)의 하부에 배치된다. 상기 다이아몬드 코팅층(112)은, 상기 기판에 대하여 직접 컨택할 수 있는 평탄면을 가진다.
상기 슬라이딩 부재(113)는, 상기 몸체(111) 및 상기 완충부(120) 사이에 배치된다. 상기 슬라이딩 부재(113)는 상기 홀딩부(140), 특히 홀더에 의하여 가이드되면서 슬라이딩하여 교체 가능하게 구비된다.
여기서, 상기 슬라이딩 부재(113)에는, 상부에 상기 몸체(111)의 수평 단면적과 동일한 수평 단면적을 갖도록 단차(114)가 형성될 수 있다. 즉, 상기 슬라이딩 부재(113) 및 상기 몸체(111)는 상호 동일한 수평 단면적을 가짐에 따라, 코이닝 공정시 슬라이딩 부재(113) 및 몸체(111)에 모두 동일한 면적으로 하중이 인가될 수 있다. 따라서, 상기 홀더가 상기 슬라이딩 부재(113) 측부의 하면을 그리핑하기 위하여 상기 슬라이딩 부재(113)가 상기 몸체(111)보다 큰 수평 단면적을 가질 경우, 코이닝 공정 중 발생할 수 있는 몸체(111)의 변형이 억제될 수 있다. 따라서, 가압부(110)가 기판 전체에 걸쳐 균일한 압력으로 범프들을 가압할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 프레스 유닛(100)이 가압부(110) 및 가열부(130) 사이에 개재된 완충부(120)를 포함한다. 상기 완충부(120)는, 가압부(110)가 상기 범프를 가압할 때 충격을 완충함으로써, 범프가 전체적으로 균일하게 평탄화될 수 있다. 또한, 완충부(120)가 우수한 열전도도를 갖는 재질로 이루어짐에 따라 완충부가 가열부에서 발생된 열을 가압부에 효과적으로 전달할 수 있다. 나아가, 상기 완충부(120)는 교체가능하게 구비됨으로써, 기판의 크기/종류의 변화에 따라 효과적으로 대응할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 코이닝 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코이닝 장치(300)는, 스테이지 유닛(200) 및 프레스 유닛(100)을 포함한다. 범프 코이닝 장치(300)는 기판(10) 상에 형성된 범프(11)를 가압하여 상기 범프(10), 특히, 범프의 상면을 평탄화하는 장치에 해당한다. 상기 기판(10)은 예를 들면, PCB 기판을 포함할 수 있다.
상기 스테이지 유닛(200)은 범프들(11)이 형성된 기판(10)을 지지한다. 상기 스테이지 유닛(200)은 클램핑 방식으로 상기 기판(10)을 지지할 수 있다.
상기 스테이지 유닛(200)은 지지부(210) 및 제2 가열부(240)를 포함할 수 있다.
상기 지지부(210)는 기판(10)을 지지한다.
상기 제2 가열부는 지지부(210)의 하부에 배치된다. 상기 제2 가열부는 지지부(210)를 경유하여 기판을 가열할 수 있다.
한편, 상기 스테이지 유닛(200)은 4축 구동이 가능하게 구비된다. 즉, 스테이지 유닛(200)은, X축 방향, Y축 방향, Z축 방향 및 θ축 방향을 따라 이동 가능할 수 있도록 하는 제2 구동부(240)를 포함할 수 있다.
상기 프레스 유닛(100)은, 도 1 내지 도 3을 참고로 전술하였으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100 ;프레스 유닛 110 ; 가압부
120 ; 완충부 130 ; 가열부
160 ; 제1 레벨링부 170 ; 제1 구동부
200 : 스테이지 유닛 300 : 범프 코이닝 장치

Claims (10)

  1. 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치용 프레스 유닛에 있어서,
    상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부;
    상기 가압부의 상부에 배치되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 때 충격을 완출하는 완충부; 및
    상기 완충부의 상부에 배치되며, 상기 완충부를 경유하여 상기 가압부에 열을 제공하는 가열부;를 포함하는 프레스 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 완충부는 중심에 수용홈을 갖는 프레임; 및
    상기 수용홈 내부에 구비되고, 고무, 그라파이트 또는 테프론 재질의 완충 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프레스 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 완충부는 상기 기판 또는 범프의 종류에 따라 교체 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 프레스 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 완충부의 상부에 배치되며, 상기 가압부의 수평면을 레벨링하는 제1 레벨링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프레스 유닛.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 레벨링부는, 상기 완충부의 주변을 원주 방향을 따라 상호 이격되게 배열되며, 상기 완충부와 각각 연결된 적어도 3개 이상의 서보 모터들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프레스 유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 가열부, 상기 완충부 및 상기 가압부와 연결되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 수 있도록 압력을 상기 가압부에 제공하는 제1 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프레스 유닛.
  7. 제1항에 있어서, 상기 가열부의 하단 측부에 배치되며, 상기 가압부의 측부를 홀딩하는 홀딩부를 더 포함하고, 상기 가압부는,
    몸체;
    상기 몸체의 하부에 배치되며, 상기 기판에 대하여 직접 컨택하는 다이아몬트 코팅층; 및
    상기 몸체 및 상기 완충부 사이에 배치되며, 상기 몸체의 측벽보다 상기 홀딩부를 따라 슬라이딩하여 교체 가능하게 구비된 슬라이딩 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프레스 유닛.
  8. 제7항에 있어서, 상기 슬라이딩 부재에는, 상부에 상기 몸체의 수평 단면적과 동일한 수평 단면적을 갖도록 단차가 형성된 것을 특징으로 하는 프레스 유닛.
  9. 범프들이 형성된 기판을 지지하는 스테이지 유닛; 및
    상기 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치용 프레스 유닛;을 포함하고, 상기 프레스 유닛은,
    상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부;
    상기 가압부의 상부에 배치되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 때 충격을 완출하는 완충부; 및
    상기 완충부의 상부에 배치되며, 상기 완충부를 경유하여 상기 가압부에 열을 제공하는 가열부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 코이닝 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 스테이지 유닛은,
    상기 기판에 대하여 온도를 변화시킬 수 잇는 제2 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 코이닝 장치.
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