KR20240040451A - 코이닝 장치 - Google Patents

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KR20240040451A
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정라파엘
차지수
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신승수
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정라파엘
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Abstract

코이닝 장치는, 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치로서, 상기 기판을 지지하는 스테이지 유닛 및 상기 스테이지 유닛의 상부에 승강 가능하게 구비되며, 상기 스테이지 유닛 상에 지지된 기판을 향하여 상기 범프를 가압하여 평탄화시키는 척 유닛을 포함하고, 상기 척 유닛은, 상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부 및 상기 가압부와 연결되며, 상기 가압부를 상기 기판의 상면에 대하여 셋업시 상기 가압부를 플로팅시켜 상기 가압부의 하면 및 상기 기판의 상면을 상호 면접촉할 수 있도록 하는 플로팅부를 포함한다.

Description

코이닝 장치{APPARATUS OF COINING BUMPS OF A SUBSTRATE}
본 발명의 실시예들은 코이닝 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명의 실시예들은 기판에 형성된 범프를 평탄화하여 플랫한 형상의 상면을 갖도록 하는 코이닝 장치에 관한 것이다.
반도체 산업에서 집적회로에 대한 패키징 기술은 소형화에 대한 요구 및 실장 신뢰성을 만족시키기 위해 지속적으로 발전되고 있다. 예컨데, 소형화에 대한 요구는 칩 크기에 근접한 패키지에 대한 기술 개발을 가속화시키고 있으며, 실장 신뢰성에 대한 요구는 실장작업의 효율성 및 실장 후의 기계적, 전기적 신뢰성을 향상시킬 수 있는 패키징 기술에 대한 중요성을 부각시키고 있다.
상기 패키지의 소형화를 이룬 한 예로서, BGA(Ball Grid Array), CSP(Chip Scale Package), FC-BGA(Flip Chip Ball Grid Array)패키지 기판 등을 들 수 있다.
상기 BGA 패키지는 전체적인 패키지의 크기가 반도체 칩의 크기와 동일하거나 거의 유사하며, 특히, 외부와의 전기적 접속 수단, 즉, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board :이하, PCB)에의 실장 수단으로서, 솔더 볼이 구비됨에 따라 실장 면적이 감소되고 있는 추세에 매우 유리하게 적용할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 상기 BGA, CSP, FC-BGA 패키지 기판 등은 외부와의 전기적 접속 수단으로 PCB 상의 패드(pad)에 솔더 페이스트(Solder Paste)를 인쇄하여 형성된 범프(Bump) 또는 패드 솔더(Pad Solder)를 이용함으로써, 전체적인 전기 회로의 길이를 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 파워나 그라운드 본딩 영역을 용이하게 도입할 수 있기 때문에 탁월한 전기적 성능을 발현시킬 수 있고, 또한 입출력핀 수의 설계시에 보다 여유있는 간격으로 보다 많은 입출력핀 수를 만들 수 있으며, 전체적인 패키지의 크기가 반도체 칩의 크기와 동일하거나 거의 유사하고 실장 면적을 최소화시킬 수 있다는 이점을 갖는다.
한편, FC-BGA 패키지는 일면에 칩 또는 수동소자가 탑재되고 타면에는 납땜용 범프가 붙어 있어 보드에 직접 실장하는 것이 가능하다. 따라서 리드프레임 패키지에 비해 전기저항이나 잡음치 훨씬 적고, 살펴본 바와 같이, 신호전달속도가 빠르고 크기와 무게가 작기 때문에 노트북PC, 핸드폰, PDA, 디지털 캠코더 등 소형 가전제품에 대부분 적용될 수 있다.
최근에 고사양화 되는 제품에 사용되는 FC-BGA패키지의 경우, 일면에는 칩 등이 접속되는 범프가 형성되고 타면에는 수동소자 또는 보드가 접속되는 납땜용 범프와 같은 패드 솔더가 형성된다. 이로써, 전기적 연결의 신뢰성이 개선되고 있다.
하지만, 고온의 열을 가하는 리플로우 공정 및 디플럭스 공정을 거치면서 범프가 형성되어, 그 형태가 반구상 형태를 가지게 됨으로써 이후 반도체 칩 및 소자 실장시 접촉 불량의 원인이 되고 있다. 이러한 접촉 불량을 방지하기 위해 상기 범프를 가압하여 평탄화 시키는 코이닝 장치를 이용한 코인(Coin) 공정을 거치게 된다.
상기 코이닝 장치는, 범프들이 형성된 기판을 지지하는 스테이지 유닛 및 상기 범프들을 직접 가압하는 척 유닛을 포함한다. 하지만, 상기 척 유닛에 대한 레벨링이 균일하지 않을 경우, 범프들에 대한 평탄화가 균일화되지 못하는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 척 유닛을 정밀하게 레벨링함으로써, 범프들을 균일하게 평탄화할 수 있는 코이닝 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예들에 따른 코이닝 장치는, 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치로서, 상기 기판을 지지하는 스테이지 유닛 및 상기 스테이지 유닛의 상부에 승강 가능하게 구비되며, 상기 스테이지 유닛 상에 지지된 기판을 향하여 상기 범프를 가압하여 평탄화시키는 척 유닛을 포함하고, 상기 척 유닛은, 상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부 및 상기 가압부와 연결되며, 상기 가압부를 상기 기판의 상면에 대하여 셋업시 상기 가압부를 플로팅시켜 상기 가압부의 하면 및 상기 기판의 상면을 상호 면접촉할 수 있도록 하는 플로팅부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 플로팅부는, 상기 가압부의 레벨을 수동으로 조절한 후, 상기 가압부를 서로 다른 방향으로 고정하는 고정 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 완충부와 연결되며 상기 완충부를 레벨링하는 레벨링부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 레벨링부는, 상기 완충부의 주변을 따라 상호 이격되게 배열된 적어도 3개 이상의 레벨링 축들 및 상기 레벨링 축들의 상단부와 각각 연결되며, 상기 레벨링 축들을 승강시키도록 구동력을 제공하는 적어도 3개 이상의 서보 모터들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 가압부의 상부에 연결되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 때의 충격을 완충하는 완충부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 완충부는, 서로 마주보도록 구비된 한 쌍의 완충 플레이트들; 및 상기 완충 플레이트들 사이에 개재되며, 상기 충격을 흡수하도록 구비된 흡수 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 가압부의 평탄도를 측정하는 평탄도 센서; 및 상기 평탄도에 따라 상기 레벨링부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 가압부와 연결되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부 및 상기 구동부를 지지하도록 구비된 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 스테이지 유닛은 4축 방향들 각각을 따라 조절가능하게 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 코이닝 장치는 가압부와 연결되며, 상기 가압부를 상기 기판의 상면에 대하여 셋업시 상기 가압부를 플로팅시켜 상기 가압부의 하면 및 상기 기판의 상면을 상호 면접촉할 수 있도록 하는 플로팅부를 갖는 척 유닛을 포함한다. 따라서, 가압부가 보다 균일하게 기판에 형성된 범프를 평탄화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코이닝 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1의 척 유닛의 일 예를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 1의 척 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 1의 척 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 저측 사시도이다.
도 5는 도 1의 척 유닛의 또 다른 예를 설명하기 위한 상측 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 코이닝 시스템을 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은 도 6의 코이닝 시스템을 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 도 6의 이송 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코이닝 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 2는 도 1의 척 유닛의 일 예를 설명하기 위한 정면도이다. 도 3은 도 1의 척 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명의 실시예들에 따른 코이닝 장치(100)는, 기판(10) 상에 형성된 범프를 가압하여 상기 범프, 특히, 범프의 상면을 평탄화하는 장치에 해당한다. 상기 기판(10)은 예를 들면, PCB 기판을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 코이닝 장치(100)는, 스테이지 유닛(110) 및 척 유닛(160)을 포함한다.
상기 스테이지 유닛(110)은, 상기 기판(10)을 지지한다. 상기 스테이지 유닛(110)은 4축 구동이 가능하게 구비된다. 즉, 스테이지 유닛(110)은, X축 방향, Y축 방향, Z축 방향 및 θ축 방향을 따라 이동 가능할 수 있다.
상기 척 유닛(160)은, 상기 스테이지 유닛(110)의 상부에 승강 가능하게 구비된다. 상기 척 유닛(160)은, 상기 스테이지 유닛(110) 상에 지지된 기판(10)을 향하여 상기 범프를 가압하여 평탄화시킬 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 척 유닛(160)은 상기 기판(10)을 향하여 접근한 후, 상기 기판(10) 상에 형성된 범프를 가압하여 상기 범프의 상면을 평탄화할 수 있다.
상기 척 유닛(160)은, 가압부(161) 및 플로팅부(167)를 포함할 수 있다.
상기 가압부(161)는, 상기 척 유닛(160)의 하단에 위치한다. 상기 가압부(161)는, 상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압한다. 즉, 상기 가압부(161)는, 상기 범프의 상면과 직접 컨택한 후, 상기 범프에 대하여 가압함으로써, 상기 범프의 상면을 평탄화 할 수 있다. 상기 가압부(161)는, 연성 재질의 고무 등으로 이루어질 수 있다.
도 3을 참고하면, 상기 플로팅부(167)는, 상기 가압부(161)와 연결된다. 상기 플로팅부(167)는, 상기 가압부(161)를 상기 기판의 상면에 대하여 셋업시 상기 가압부(161)를 플로팅시켜 상기 가압부(161)의 하면 및 상기 기판의 상면을 상호 면접촉할 수 있도록 구비된다. 이로써, 플로팅부(167)는 상기 가압부(161)를 상기 기판의 상면에 대하여 셋업시 수동으로 레벨링할 수 있다.
여기서, 상기 플로팅부(167)는, 상기 가압부(161)의 레벨를 수동으로 조절한 후, 상기 가압부를 서로 다른 방향으로 고정하는 고정 부재들을 포함할 수 있다. 고정 부재의 예로는, 볼트들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 척 유닛은 완충부(165) 및 레벨링부를 더 포함할 수 있다.
상기 완충부(165)는, 상기 가압부(161) 및 레벨링부(166) 사이에 위치한다. 즉, 상기 완충부(165)는, 상기 가압부(161)의 상단부와 연결된다. 상기 완충부(165)는, 가압부(161)가 상기 범프를 가압할 때 충격을 완충할 수 있다. 즉, 상기 완충부(161)는, 범프를 포함하는 기판에 대한 충격을 완화시킬 수 있다.
상기 레벨링부(166)는, 상기 완충부(165)와 연결된다. 상기 레벨링부(166)는, 상기 완충부(165)를 레벨링할 수 있도록 구비된다. 따라서, 상기 레벨링부(166)는, 상기 완충부(165)와 연결되고 상기 범프와 직접 컨택하는 가압부(161)의 컨택면을 상기 기판(10)의 상면 또는 스테이지 유닛(110)의 상면과 평행하게 할 수 있다.
상기 레벨링부(166)는, 레벨링 축들(166a) 및 서보 모터들(166b)을 포함한다.
상기 레벨링 축들(166a)은, 상기 완충부(165)의 주변을 따라 상호 이격되게 배열된다. 상기 레벨링 축들(166a)은 적어도 3개 이상으로 제공된다. 따라서, 상기 레벨링 축들(166a)이 독립적으로 승강함에 따라, 상기 완충부(165)를 용이하게 레벨링 할 수 있다.
상기 서보 모터들(166b)은, 상기 레벨링 축들(166a)의 상단부와 각각 연결된다. 상기 서보 모터들(166b)은, 상기 레벨링 축들(166a)을 승강시키도록 구동력을 제공한다. 상기 서보 모터들(166b)은 레벨링 축들(166a)을 독립적으로 보다 정밀하게 승강시키기 위하여 상기 레벨링 축(166a)에 제공되는 구동력을 보다 미세하게 조절할 수 있다.
다시 도 2를 참고하면, 상기 완충부(165)는, 한 쌍의 완충 플레이트들(165a) 및 흡수 부재(165b)를 포함한다.
상기 완충 플레이트들(165a)은 서로 마주보도록 구비된다. 상기 완충 플레이트들(165a) 중 상부에 위치하는 하나는 상기 레벨링부(166)에 포함된 레벨링 축(166a)과 연결된다. 한편, 상기 완충 플레이트중(165a) 하부에 위치하는 나머지 하나는, 상기 가압부(161)와 연결된다.
상기 흡수 부재(165b)는 상기 완충 플레이트들(165a) 사이에 개재된다. 상기 흡수 부재(165b)는, 예를 들며, 고무 등과 같은 상대적으로 높은 탄성 계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.
상기 완충 부재(165b)는, 상기 가압부(161)가 상기 기판, 범프를 가압할 때 발생할 수 있는 충격을 흡수하도록 구비된다.
도 4는 도 1의 척 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 저측 사시도이다.
도 1 및 도 4를 참고하면, 상기 척 유닛(160)은, 상기 가압부(161)의 평탄도를 측정하는 평탄도 센서(168)를 더 포함할 수 있다. 상기 평탄도 센서(168)는 상기 평탄도를 측정함으로써, 상기 가압부(161)의 평탄도를 가압 공정 전에 확인할 수 있다.
상기 평탄도 센서(168)는 예를 들면, 직선 가변 변위 트랜스듀서(linear variable displacement transducer; LVDT, (168a))를 포함할 수 있다.
나아가, 상기 평탄도에 따라 상기 레벨링부(166)를 제어하는 제어부(미도시)가 추가적으로 구비될 수 있다.
상기 제어부는 상기 평탄도에 따라, 레벨링부(166)에 포함된 서보 모터(166b)의 구동력을 개별적으로 조절함으로써, 상기 완충부(165)를 매개로 상기 가압부(161)의 평탄도를 보정할 수 있다.
다시 도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 척 유닛(160)은, 구동부(162) 및 프레임(160a)을 더 포함할 수 있다.
상기 구동부(162)는, 상기 완충부(165) 및 가압부(161)와 연결되며, 상기 가압부(161)가 상기 범프를 가압할 수 있도록 구동력을 제공한다. 상기 구동부(162)는, 예를 들면 공압 실린더 또는 유압 실린더를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 구동부(162)는 프레임(160a)의 상부와 연결되어 프레임(160a)에 압력을 가할 수 있다.
상기 프레임(160a)은, 상기 구동부(162)를 지지한다. 상기 프레임이 육면체 형상을 가질 경우, 상기 프레임(160a)의 상부에는 구동부(162)가 위치하는 한편, 상기 프레임(160a)의 내부에는 상기 레벨링부(166)를 수용할 수 있으며, 상기 프레임(160a)의 하부에는 완충부(165)가 연결될 수 있다.
도 5는 도 1의 척 유닛의 또 다른 예를 설명하기 위한 상측 사시도이다.
도 1 및 도 5를 참고하면, 상기 척 유닛(160)은 가압부(161)의 하면을 클리닝하는 클리닝부(170)를 더 포함할 수 있다.
상기 클리닝부(170)는, 가압부(161)의 하면을 컨택한 상태에서 회전함으로써, 상기 가압부(161)의 하면에 잔류하는 잔류물을 제거하는 브러쉬(171), 상기 브러쉬(171)를 연결된 연결축(173) 및 상기 연결축(173)의 단부와 연결된 구동원(175)을 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 코이닝 시스템을 설명하기 위한 평면도이다. 도 7은 도 6의 코이닝 시스템을 설명하기 위한 사시도이다. 도 8은 도 6의 이송 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코이닝 시스템(200)은, 카세트 로딩 유닛(210), 이송 유닛 및 복수의 코이닝 장치들(260)을 포함한다.
상기 로딩 유닛(210)은 복수의 기판이 수용된 카세트를 적재할 수 있다. 상기 로딩 유닛(210)은 복수의 선반들을 포함할 수 있다. 상기 선반들 각각은 카세트를 지지할 수 있다.
상기 이송 유닛은, 상기 로딩 유닛 및 코이닝 장치들 사이에 기판을 이송할 수 있다.
상기 이송 유닛은, 투입부(220), 픽업부(255), 컨베이어부(250, 270) 및 배출부(280)를 포함할 수 있다.
상기 투입부(220)는, 상기 로딩 유닛(220)으로부터 상기 컨베이어부(250) 사이에 기판을 이송할 수 있다. 상기 투입부(220)는 푸셔, 그리퍼 등을 포함한다. 이로써, 상기 투입부(220)는, 캐리어로부터 기판을 인출하여 상기 컨베이어부(250) 상에 기판을 공급할 수 있다.
도 8을 참고하면, 상기 픽업부(255)는, 이송 프레임(255c), 및 상기 이송 프레임(255c)에 장착된 피커(255a) 및 비전 카메라(255b)를 포함할 수 있다.
상기 픽업부(255)는, 4장의 기판을 제1 컨베이어(250)로부터 코이닝 장치로 이송하는 동시에, 4장의 코이닝 공정이 완료된 기판들을 코이닝 장치(260)로부터 제2 컨베이어(270)로 이송할 수 있다.
이때, 상기 픽업부(255)는 지그재그로 배열된 복수의 비전 카메라(255b)가 기판의 대각선 방향으로 모서리들을 촬상하여 기판의 위치를 확인할 수 있다.
다시 도 5를 참고하면, 상기 컨베이어부(250, 270)는, 수평 방향으로 연장된 제1 컨베이어(250) 및 제2 컨베이어(270)를 포함한다. 제1 컨베이어(250)는, 상기 로딩 유닛(220)으로부터 전달된 기판을 제1 방향을 따라 공급한다. 또한, 상기 제2 컨베이어(270)는, 상기 코이닝 장치(260)로부터 배출된 기판을 제1 방향을 따라 로딩 유닛으로 전달할 수 있다.
상기 배출부(280)는, 기판을 상기 컨베이어부(270), 특히 제2 컨베이어(270)로부터 로딩 유닛(210)으로 배출한다.
상기 코이닝 장치(260)는, 도 1 내지 도 4를 참고로 전술하였으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100 ; 코이닝 장치 110 ; 스테이지 유닛
160 ; 척 유닛 161 ; 가압부
165 ; 완충부 166 ; 레벨링부
167 : 플로팅부 200 : 코이닝 시스템

Claims (9)

  1. 기판 상에 형성된 범프들을 가압하여 평탄화하는 코이닝 장치에 있어서,
    상기 기판을 지지하는 스테이지 유닛; 및
    상기 스테이지 유닛의 상부에 승강 가능하게 구비되며, 상기 스테이지 유닛 상에 지지된 기판을 향하여 상기 범프를 가압하여 평탄화시키는 척 유닛을 포함하고,
    상기 척 유닛은,
    상기 범프와 컨택하여 상기 범프를 가압하는 가압부; 및
    상기 가압부와 연결되며, 상기 가압부를 상기 기판의 상면에 대하여 셋업시 상기 가압부를 플로팅시켜 상기 가압부의 하면 및 상기 기판의 상면을 상호 면접촉할 수 있도록 하는 플로팅부를 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 플로팅부는, 상기 가압부의 레벨을 수동으로 조절한 후, 상기 가압부를 서로 다른 방향으로 고정하는 고정 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 완충부와 연결되며 상기 완충부를 레벨링하는 레벨링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 레벨링부는,
    상기 완충부의 주변을 따라 상호 이격되게 배열된 적어도 3개 이상의 레벨링 축들; 및
    상기 레벨링 축들의 상단부와 각각 연결되며, 상기 레벨링 축들을 승강시키도록 구동력을 제공하는 적어도 3개 이상의 서보 모터들을 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 가압부의 상부에 연결되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 때의 충격을 완충하는 완충부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 완충부는,
    서로 마주보도록 구비된 한 쌍의 완충 플레이트들; 및
    상기 완충 플레이트들 사이에 개재되며, 상기 충격을 흡수하도록 구비된 흡수 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 가압부의 평탄도를 측정하는 평탄도 센서; 및
    상기 평탄도에 따라 상기 레벨링부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 척 유닛은, 상기 가압부와 연결되며, 상기 가압부가 상기 범프를 가압할 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부; 및
    상기 구동부를 지지하도록 구비된 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 스테이지 유닛은 4축 방향들 각각을 따라 조절가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 코이닝 장치.
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