KR20240068145A - 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR20240068145A
KR20240068145A KR1020220149241A KR20220149241A KR20240068145A KR 20240068145 A KR20240068145 A KR 20240068145A KR 1020220149241 A KR1020220149241 A KR 1020220149241A KR 20220149241 A KR20220149241 A KR 20220149241A KR 20240068145 A KR20240068145 A KR 20240068145A
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김정호
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주식회사 케이피에스
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Abstract

본 발명은, 본 발명은 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 길이 방향으로 일정한 간격을 두고 배치된 리브들을 포함하여 구성된 베이스 스틱 마스크 및, 리브들 사이에 각각 개별적으로 배치되고, 다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크들을 포함하고, 베이스 스틱 마스크는, 리브들이 서로 물리적으로 연결되어 있지 않으므로 증착 스틱 마스크의 인장 특성을 향상시키고 제조 단가를 절감할 수 있다.

Description

디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 및 그 제조방법{DEPOSITION STCK MASK FOR DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 문서는 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 및 그 제조방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치들 중에서 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)를 이용한 OLED 디스플레이 패널은 시야각이 넓고, 콘트라스트(Contrast)가 우수할 뿐만 아니라, 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다. 그에 따라 유기 발광 다이오드(OLED)의 사용 영역이 점차 확대되어 가는 추세이다.
이러한 유기 발광 다이오드(OLED)의 전극들과 발광층을 포함한 중간층은 여러 가지 방법에 의하여 형성 가능한데, 이 중 하나의 방법이 증착법(Deposition method)이다.
중소형 OLED 디스플레이 패널을 제조하기 위해, OLED 제조 공정에서 RGB 픽셀을 만드는데 유기물 및 무기물의 증착(Deposition) 공정이 이루어진다. 즉, TFT 글라스(Thin film transistor glass)상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 미세 메탈 마스크(Fine Metal Mask, FMM)의 일종인 증착 스틱 마스크를 정렬하고 박막의 원 소재를 증착하여 원하는 패턴의 박막을 형성한다.
이러한 증착 공정은 챔버(Chamber) 하부에 위치한 증착 소스에서 유기물을 가열하고, 가열된 유기물을 승화시켜 상부에 위치한 마스크를 통과해 TFT 글라스에 증착하는 방법을 취한다.
이러한 증착 스틱 마스크는 전체적으로 스틱(Stick)의 형상을 가지므로 증착 스틱 마스크의 일단 및 타단을 동시에 인장하여 증착 스틱 마스크를 마스크 프레임(Mask frame)에 레이저 용접을 하여 증착 마스크 프레임 어셈블리가 제조된다.
그러나. 증착 스틱 마스크의 일단 및 타단을 동시에 Stretching하여 인장하는 과정에서, 단위 마스크의 부위별 특성이 변형(예, 패턴홀의 위치 불균일)될 가능성이 있는데 이러한 부작용을 최소화할 필요가 있다.
도 1은 종래의 증착 스틱 마스크를 설명하는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 증착 스틱 마스크(100)는 베이스 스틱 마스크(110), 단위 마스크들(120)를 포함하며 길이 방향(Longitudinal)으로 연장되어 있다. 길이 방향은 X축 방향을 의미할 수 있다. 단위 마스크들(120)은 베이스 스틱 마스크(110)의 개구부(OP)에 개별적으로 중첩되어 베이스 스틱 마스크(110)와 결합될 수 있다. 결합은 단위 마스크들(120)의 가장자리에 X축 및 Y축 방향을 따라 레이저 용접이 수행되어 이루어질 수 있다. 따라서 개구부(OP)의 외곽은 용접 돌기(Bur)로 둘러 싸여 있다. 단위 마스크들(120)은 다수의 증착 패턴홀(h)이 형성되어 있을 수 있다.
도 1에는 편의상 일부의 단위 마스크들(120)이 베이스 스틱 마스크(110)와 결합되어 있는 것이 도시되어 있지만, 완성된 증착 스틱 마스크(100)는 모든 개구부(OP) 마다 단위 마스크들이 중첩되어 구비될 수 있다.
베이스 스틱 마스크(110)는 Y축 방향으로 연장된 폭(W1)과 X축 방향으로 연장된 일정한 길이를 가지는 박막에 개구들(OP)을 형성하여 제조될 수 있다. 따라서 개구들 사이에 및 좌우 양단에 리브들(111, Rib)이 형성될 수 있다. 좌우 양단에 구비된 리브(111) 각각은 스커트(111-1, Skirt)가 더 구비되어 있어, 이로 인해 증착 스틱 마스크(100)를 인장하기 위한 그립(Grip) 영역을 제공할 수 있다.
이러한 종래의 증착 스틱 마스크(100)에 있어서, 베이스 스틱 마스크(110)는 개구부(OP)의 상부 및 하부에 엣지(Edge)(112)가 구비되어 있는데, 이로 인해 상기하였듯이 증착 스틱 마스크의 일단 및 타단을 동시에 Stretching하여 인장하는 과정에서, 엣지(112)에 대한 인장 영향이 단위 마스크에도 미쳐 단위 마스크들의 부위별 특성(예, 증착 패턴홀의 위치 특성)이 변형되는 문제가 초래될 수 있다.
한국특허공보(등록공보번호: 10- 2083947, "하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치")는 기존 스틱 마스크를 구조용 스틱 마스크와 셀 단위 마스크로 이원화하고, 각각의 셀 단위 마스크 단위로 구현하는 하이브리드 스틱 마스크에 대하여 개시되어 있으나, 구조용 스틱 마스크에 엣지가 구비되어 인장 과정에서 셀 단위 마스크에 영향을 줄 수 있는 문제가 초래될 수 있다.
본 발명은 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 증착 스틱 마스크의 인장 특성을 향상시키고 제조 단가를 절감하는 것을 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위한 일 양상에 따른 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크는,
길이 방향으로 일정한 간격을 두고 배치된 리브(Rib)들을 포함하여 구성된 베이스 스틱 마스크(Base stick mask) 및,
리브들 사이에 각각 개별적으로 배치되고, 다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크(Unit mask)들을 포함하고,
베이스 스틱 마스크는,
리브들이 서로 물리적으로 연결되어 있지 않아 증착 스틱 마스크의 인장 특성을 향상시킬 수 있다.
또한, 일 양상에 따른 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크의 제조방법은, 서로 물리적으로 연결되어 있지 않은 리브(Rib)들을 포함하여 구성된 베이스 스틱 마스크가 길이 방향으로 배치되는 단계(S100),
카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200),
다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크(Unit mask)들이 각각 리브들 사이에 배치되는 단계(S300), 및
리브들이 폭방향으로 레이저 용접되어 단위 마스크와 결합되는 단계(S400)
를 포함할 수 있다.
본 발명은 엣지가 없는 증착 스틱 마스크에 관한 것으로서, 증착 스틱 마스크를 인장하는 과정에서, 베이스 스틱 마스크의 엣지에 대한 인장 영향이 단위 마스크에도 미치지 않아, 단위 마스크들의 부위별 특성이 변형되는 문제가 발생되지 않아 고품질의 디스플레이 패널을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명은 증착 스틱 마스크의 사이즈를 줄일 수 있어, 증착 스틱 마스크의 제조 Cost를 줄일 수 있다.
또한, 본 발명은 베이스 스틱 마스크를 원장(One piece)로 제조할 필요가 없어 대형 베이스 스틱 마스크도 용이하게 제조할 수 있다,
도 1은 종래의 증착 스틱 마스크를 설명하는 도면이다.
도 2는 일 실시예에 따른 증착 스틱 마스크를 설명하는 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 제조방법을 설명하는 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따라 베이스 스틱 마스크가 길이 방향으로 배치되는 단계 및 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따라, 각 리브들의 중심을 결정하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 6은 또 다른 일 실시예에 따라, 각 리브들의 중심을 결정하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 7은 또 다른 일 실시예에 따라, 각 리브들의 중심을 결정하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 8은 일 실시예에 따라 다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크(Unit mask)들이 각각 리브들 사이에 배치하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 9는 일 실시예에 따라 리브들을 폭 방향으로 레이저 용접하여 단위 마스크와 결합하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 10은 일 실시예에 따라 리브들의 하면에 용접을 수행하여 리브들을 단위 마스크와 결합하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 11은 일 실시예에 따라 인장된 증착 스틱 마스크를 설명하는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 본 발명에서 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
또한 전술한, 그리고 추가적인 발명의 양상들은 후술하는 실시예들을 통해 명백해질 것이다. 본 명세서에서 선택적으로 기재된 양상이나 선택적으로 기재된 실시예의 구성들은 비록 도면에서 단일의 통합된 구성으로 도시되었다 하더라도 달리 기재가 없는 한 당업자에게 기술적으로 모순인 것이 명백하지 않다면 상호간에 자유롭게 조합될 수 있는 것으로 이해된다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 2는 일 실시예에 따른 증착 스틱 마스크를 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 증착 스틱 마스크(200)는, 베이스 스틱 마스크(210, Base stick mask), 단위 마스크(Unit mask)들(220)을 포함할 수 있다.
베이스 스틱 마스크(210)는, 수 ㎛ 내지 수백 ㎛의 두께를 가질 수 있고, 단위 마스크(220)는 수 ㎛ 내지 수십 ㎛의 두께를 가질 수 있다. 바람직하게는 베이스 스틱 마스크(210)는, 10 ㎛ 내지 100 ㎛의 두께를 가질 수 있고, 단위 마스크(220)는 10 ㎛ 내지 30 ㎛의 두께를 가질 수 있다. 베이스 스틱 마스크(210)의 두께와 단위 마스크(220)의 두께는 다를 수도 있지만 같을 수도 있다.
하나의 단위 마스크(220)는 수십만개 ~ 수백만개의 증착 패턴홀(h)이 형성되어 있을 수 있다.
베이스 스틱 마스크(210)는 길이 방향으로 일정한 간격을 두고 배치된 리브들(Rib, 211)을 포함하여 구성될 수 있다. 길이 방향은 X축 방향을 의미할 수 있다. 리브들(211)은 개별적으로 존재하며 길이 방향으로 일렬로 배치되어 있을 수 있다. 베이스 스틱 마스크(210)의 좌우 양단에 위치한 리브(211)는 스커트(111-1, Skirt)가 대칭적으로 더 구비되고, 이로 인해 인장을 위한 그립(Grip) 영역을 제공할 수 있다. 일단에 위치한 스커트(111-1)는 3개가 도시되어 있지만 개수에 제한은 없다.
단위 마스크들(220)은, 리브들(211) 사이에 각각 개별적이고 독립적으로 배치되고, 다수의 증착 패턴홀(h)이 형성되어 있을 수 있다. 증착 패턴홀(h)을 통해 유기물 또는 무기물이 FTF 글라스에 증착될 수 있다.
일 실시예에 따라, 베이스 스틱 마스크(210)의 폭(W2)은 단위 마스크들(220)의 폭과 동일하거나 더 클 수 있다.
베이스 스틱 마스크(210)는, 리브들이 서로 물리적으로(Physically) 연결되어 있지 않을 수 있다. 일 실시예에 따라, 도 2에 도시된 베이스 스틱 마스크(210)는 도 1에 도시된 베이스 스틱 마스크(110)와는 달리, 엣지(212, 점선 영역)가 구비되어 있지 않을 수 있다. 따라서 도 1에 도시된 증착 스틱 마스크(100)의 상하 가장자리에 구비된 엣지가 도 2에 도시된 증착 스틱 마스크(200)에는 구비되지 않아 증착 스틱 마스크(200)의 폭 방향으로의 사이즈가 줄어 들 수 있다.
일 실시예에 따라, 증착 스틱 마스크(200)에 있어서, 각 리브들(211)은, 서로 단위 마스크(220)에 의해서만 연결되어 있을 수 있고, 베이스 스틱 마스크(110)에는 각 리브들(211)을 물리적으로 연결하는 다른 부재가 구비되지 않을 수 있다.
또 다른 일 실시예에 따라, 리브들(211)은, 폭 방향을 따라서만 레이저 용접되어, 단위 마스크와 결합되어 있을 수 있다. 따라서 레이저 용접에 의해 형성되는 용접 돌기(Bur)는 폭 방향을 따라 형성되어 있을 수 있다. 폭 방향은 Y축 방향을 의미할 수 있다. 이로 인해 X축 방향으로는 레이저 용접되어 있지 않을 수 있다.
일 실시예에 따라, 리브들은, TFT 글라스와의 밀착을 형성하기 위해, 리브들의 하면(Lower surface)에 용접되어 단위 마스크와 결합되어 있을 수 있다. 따라서, 용접 돌기(Bur)는 리브들의 하면(Lower surface)에 위치될 수 있다. 리브들의 하면(Lower surface)에 레이저 용접하는 방법은 후술한다.
도 3은 일 실시예에 따른 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 제조방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 증착 스틱 마스크 제조방법은, 서로 물리적으로 연결되어 있지 않은 리브(Rib)들을 포함하여 구성된 베이스 스틱 마스크가 길이 방향으로 배치되는 단계(S100), 카메라(도시 안됨)를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200), 다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크(Unit mask)들이 각각 리브들 사이에 배치되는 단계(S300), 및 리브들이 폭방향으로 레이저 용접되어 단위 마스크와 결합되는 단계(S400)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200)는, 제1의 단위 마스크에 포함된 제1의 위치정렬홀과 제2의 단위 마스크에 포함된 제2의 위치정렬홀 간의 거리를 기준으로 상기 간격이 조정되는 단계(S200-1)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 리브들이 폭 방향으로 레이저 용접되어 단위 마스크와 결합되는 단계(S400)는, TFT 글라스와의 밀착을 형성하기 위해, 리브들의 하면에 용접되어 단위 마스크와 결합되는 단계(S400-1)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200)는, 각 리브에 구비된 4개의 모서리(Corner)들의 위치를 기준으로 발굴된 크로싱 포인트를 그 리브의 중심으로 결정하고, 그 중심을 기준으로 리브들이 일정한 간격이 유지되도록 배치할 수 있다.
또 다른 일 실시예에 따라, 상기 카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200)는, 리브에 구비된 4개의 모서리 영역에 미리 레이저로 표시된 패턴(Laser-marked pattern)들을 기준으로 발굴된 크로싱 포인트를 그 리브의 중심으로 결정하고, 그 중심을 기준으로 리브들이 일정한 간격이 유지되도록 배치할 수 있다.
또 다른 일 실시예에 따라, 상기 카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200)는, 리브에 구비된 4개의 모서리 영역에 미리 레이저로 천공된 홀(Laser- perforated hole)들을 기준으로 발굴된 크로싱 포인트를 그 리브의 중심으로 결정하고, 그 중심을 기준으로 리브들이 일정한 간격(L1)이 유지되도록 배치할 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따라 베이스 스틱 마스크가 길이 방향으로 배치되는 단계 및 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 베이스 스틱 마스크(210)는 길이 방향으로 일정한 간격을 두고 배치된 리브들(211)을 포함하여 구성될 수 있다. 길이 방향은 X축 방향을 의미할 수 있다. 리브들(211)은 개별적으로 존재하며 길이 방향으로 일렬로 배치되어 있을 수 있다. 베이스 스틱 마스크(210)의 좌우 양단에 위치한 리브(211)는 스커트(111-1, Skirt)가 대칭적으로 더 구비되고, 이로 인해 인장을 위한 그립(Grip) 영역이 제공될 수 있다. 일단에 위치한 스커트(111-1)는 3개가 도시되어 있지만 개수에 제한은 없다.
일 실시예에 따라, 베이스 스틱 마스크(210)는, 리브들(211)이 서로 물리적으로 연결되어 있지 않을 수 있다.
일 실시예에 따라, 리브들(211) 간의 간격은 카메라(도시 안됨)에 의해 측정되어 일정한 간격이 유지되도록 조정될 수 있다. 리브들(211) 간의 간격은 각 리브의 중심을 결정하고, 그 중심을 기준으로 리브들을 배열할 수 있다. 도시된 바와 같이 그 간격은 L1, L1-1으로 결정될 수 있다. 스커트(211-1)가 구비된 리브(211)와 스커트(211-1)가 구비되지 않은 리브(211)와의 간격(L1-1)은 다를 수 있다. 예를 들어, L1-1이 L1 보다 더 클 수 있다(L1-1 > L1). 이는 스커트(211-1)가 구비된 리브(211)와 스커트(211-1)가 구비되지 않은 리브(211) 보다 X축 방향으로의 길이가 더 길 수 있기 때문이다.
도 5는 일 실시예에 따라, 각 리브들의 중심을 결정하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 리브들(211) 간의 간격은 각 리브에 구비된 4개의 모서리(Corner)들의 위치를 기준으로 발굴된 크로싱 포인트를 그 리브의 중심(C)으로 결정하고, 그 중심을 기준으로 리브들이 일정한 간격(L1)이 유지되도록 배치할 수 있다.
도 6은 또 다른 일 실시예에 따라, 각 리브들의 중심을 결정하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 리브들(211) 간의 간격은 리브에 구비된 4개의 모서리 영역에 미리 레이저로 표시된 패턴(Laser-marked pattern)들을 기준으로 발굴된 크로싱 포인트를 그 리브의 중심(C)으로 결정하고, 그 중심을 기준으로 리브들이 일정한 간격(L1)이 유지되도록 배치할 수 있다.
도 7은 또 다른 일 실시예에 따라, 각 리브들의 중심을 결정하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 리브들(211) 간의 간격은 리브에 구비된 4개의 모서리 영역에 미리 레이저로 천공된 홀(Laser- perforated hole)들을 기준으로 발굴된 크로싱 포인트를 그 리브의 중심(C)으로 결정하고, 그 중심을 기준으로 리브들이 일정한 간격(L1)이 유지되도록 배치할 수 있다. 홀의 개수는 도시된 바와 같이 하나의 리브에 4개가 형성될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니고 2개가 형성되어 중심이 결정될 수도 있다.
도 5 내지 도 7은 스커트가 구비되지 않은 리브들 간의 간격은 L1으로 일정할 수 있지만, 스커트가 구비되지 않은 리브와 스커트가 구비된 리브와의 간격은 L1-1으로써 L1과는 다를 수 있으며, 바람직하게는 L1 보다 더 클 수 있다(L1-1 > L1).
도 8은 일 실시예에 따라 다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크(Unit mask)들이 각각 리브들 사이에 배치하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크(220)들이 각각 리브들(211) 사이에 배치될 수 있다.
단위 마스크(220)들의 증착 패턴홀은 리브들(211)과 중첩(Overlap)되지 않을 수 있으나, 단위 마스크(220)들의 좌우 가장자리 영역은 리브들(211)과 중첩되어 레이저 용접되는 영역으로 작용될 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 방법은, 제1의 단위 마스크(220-1)에 포함된 제1의 위치정렬홀(h1)과 제2의 단위 마스크(220-2)에 포함된 제2의 위치정렬홀(h2) 간의 거리(L2)를 기준으로 상기 간격이 조정되는 방법을 포함할 수 있다. 이와 같은 방법으로 단위 마스크(220)들이 리브들(211) 사이의 모든 공간에 배치될 수 있다.
일 실시예에 따라, 제1의 위치정렬홀(h1)은 제1의 단위 마스크(220-1)의 모서리들을 기준으로 결정된 패턴홀일 수 있고, 제2의 위치정렬홀(h2)은 제2의 단위 마스크(220-2)의 모서리들을 기준으로 결정된 패턴홀일 수 있다. 제1의 위치정렬홀(h1)과 제2의 위치정렬홀(h2)은 각각 제1의 단위 마스크(220-1), 제2의 단위 마스크(220-2)의 중심 영역에 위치된 패턴홀일 수 있다.
도 9는 일 실시예에 따라 리브들을 폭 방향으로 레이저 용접하여 단위 마스크와 결합하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 리브들(11)이 폭 방향으로 레이저 용접되어 단위 마스크(220)와 결합될 수 있다.
일 실시예에 따라, 레이저 용접은 단위 마스크(220)의 상면(Upper surface) 및 좌우 가장자리 영역에 레이저를 조사하여 이루어질 수 있다.
도 10은 일 실시예에 따라 리브들의 하면에 용접을 수행하여 리브들을 단위 마스크와 결합하는 방법을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 상기 TFT 글라스와의 밀착을 형성하기 위해, 리브들의 하면에 용접되어 단위 마스크(120)와 결합되는 단계는, TFT 글라스와의 밀착을 형성하기 위해, 리브들(211)의 하면(Lower surface)에 용접되어 단위 마스크와 결합되는 방법을 포함할 수 있다. 이와 같이 리브들의 하면에 레이저 용접이 수행됨에 따라 용접 돌기(Bur)가 리브들의 하면에 존재하고 상면에는 존재하지 않아, 추후 TFT 글라스와 접촉시에 들뜸이 초래되지 않고 밀착이 이루어질 수 있다. 단위 마스크(120)와 리브(211)는 레이저 용접에 의해 결합 포인트(J)가 형성될 수 있다.
도 11은 일 실시예에 따라 인장된 증착 스틱 마스크를 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 증착 스틱 마스크(200)는 그리퍼(도시 안됨)가 스커트(211-1)를 그립하고 길이 방향(X축 방향)으로 인장력(Tx)을 가한 상태에서, 증착 스틱 마스크(200)를 마스크 프레임(도시 안됨)에 고정될 수 있다. 이 인장 과정에서 증착 스틱 마스크의 인장 특성이 향상될 수 있다.
100, 200 : 증착 스틱 마스크
110, 210 : 베이스 스틱 마스크
120, 220 : 단위 마스크
111, 211 : 리브
111-1, 211-1 : 스커트
112, 212 : 엣지

Claims (7)

  1. 길이 방향으로 일정한 간격을 두고 배치된 리브들을 포함하여 구성된 베이스 스틱 마스크; 및,
    리브들 사이에 각각 개별적으로 배치되고, 다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크들;을 포함하고,
    베이스 스틱 마스크는,
    리브들이 서로 물리적으로 연결되어 있지 않은 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    리브들은,
    서로 단위 마스크에 의해서만 연결된 증착 스틱 마스크.
  3. 제2항에 있어서,
    리브들은,
    폭 방향을 따라서만 레이저 용접되어, 단위 마스크와 결합된 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크.
  4. 제3항에 있어서,
    리브들은,
    TFT 글라스와의 밀착을 형성하기 위해, 리브들의 하면에 용접되어 단위 마스크와 결합된 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크.
  5. 서로 물리적으로 연결되어 있지 않은 리브(Rib)들을 포함하여 구성된 베이스 스틱 마스크가 길이 방향으로 배치되는 단계(S100);
    카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200);
    다수의 증착 패턴홀이 형성된 단위 마스크(Unit mask)들이 각각 리브들 사이에 배치되는 단계(S300); 및
    리브들이 폭방향으로 레이저 용접되어 단위 마스크와 결합되는 단계(S400);
    를 포함하는 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 카메라를 이용하여 리브들이 일정한 간격으로 배치되도록 조정되는 단계(S200);는,
    제1의 단위 마스크에 포함된 제1의 위치정렬홀과 제2의 단위 마스크에 포함된 제2의 위치정렬홀 간의 거리를 기준으로 상기 간격이 조정되는 단계(S200-1); 를 포함하는 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 제조방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 리브들이 폭방향으로 레이저 용접되어 단위 마스크와 결합되는 단계(S400);는,
    TFT 글라스와의 밀착을 형성하기 위해, 리브들의 하면에 용접되어 단위 마스크와 결합되는 단계(S400-1);를 포함하는 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 제조방법.
KR1020220149241A 2022-11-10 디스플레이 패널용 증착 스틱 마스크 및 그 제조방법 KR20240068145A (ko)

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