KR20240032743A - 고(高)엔트로피 합금 분말 및 이의 코팅층과 코팅층 제조방법 - Google Patents

고(高)엔트로피 합금 분말 및 이의 코팅층과 코팅층 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 원자 백분율에 따라 Ti:20~21.56%, Zr:20~21.56%, Cu:20~21.56%, Ni:20~21.56%, Al:10%~10.76%, Co:3%~10%로 구성되는 고엔트로피 합금 분말 및 이의 코팅층과 코팅층 제조방법을 공개한다. 먼저 에어로졸화 장비를 사용하여 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말을 제조한 다음, Co 분말과 균일하게 혼합하여 입자 크기가 50~180μm인 고엔트로피 합금 분말을 얻는다. 티타늄 합금 기판을 연마 및 샌드블라스트 처리하고 예열한 다음, 레이저 클래딩 공정으로 얻은 고엔트로피 합금 분말을 용융하고 티타늄 합금 기판 표면에 도포하여 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층을 얻는다. 얻은 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층은 경도가 높고 조직이 미세하며 내마모성이 우수한 등의 특성이 있어, 응용 전망이 밝다.

Description

고(高)엔트로피 합금 분말 및 이의 코팅층과 코팅층 제조방법
본 발명은 고(高)엔트로피 합금 분말 및 이의 코팅층과 코팅층 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로는 티타늄 합금 기판에 레이저 클래딩으로 제조한 TiZrCuNiAlCo 고엔트로피 합금 분말 및 이의 코팅층과 코팅층 제조방법에 관한 것으로, 고엔트로피 합금, 비정질 합금 및 내마모성 코팅층 신소재 분야에 속한다.
티타늄 합금은 저밀도, 고강도, 내식성 및 고온 저항성 등의 특성을 지닌, 항공 우주 및 선박 해양 산업의 핵심 재료이다. 그러나 티타늄 합금은 경도가 낮고 마찰 계수가 높으며 내마모성이 떨어지는 단점이 있어, 우수한 역학적 성능에 영향을 미치고 적용에 한계가 있다. 티타늄 합금 표면에 높은 경도, 낮은 마찰 계수, 우수한 내마모성, 기판과의 견고한 결합, 두께 및 제어 가능한 고성능 코팅층을 제조하는 것은 티타늄 합금 표면의 경도를 높이고 내마모성을 향상시키는 효과적인 방법이다.
고엔트로피 비정질 합금은 고엔트로피 합금과 비정질 합금이 겹치는 영역으로, 고엔트로피 합금의 성분 특성과 고강도, 고경도, 고내마모성, 고내식성 등과 같은 비정질 합금의 성능 특성을 결합하여, 특정 분야에서 응용 전망이 우수하다.
CN109439995B에서는 45호 강철 매트릭스 표면에 고엔트로피 비정질 합금 코팅층을 레이저 클래딩하는 방법을 공개하였다. 상기 코팅층 성분은 니켈 28~32%, 코발트 28~32%, 규소 2~6%, 붕소 2~6%, 나머지는 철이다. 코팅층의 미세 비커스 경도는 400HV0.1 이상이고, 최대 729.5HV0.1, 평균 582.9HV0.1까지 도달할 수 있다. 그러나, 해당 시스템의 기판은 티타늄 합금이 아닌 강철이며 코팅층의 경도가 충분히 높지 않다.
CN113416910B에서는 Q235호 강철 매트릭스 표면에 고엔트로피 비정질 합금 코팅층을 플라즈마 분사하는 방법을 공개하였다. 상기 코팅층 성분은 Co 25%, Ni 25%, Cr 15~20%, Mo 5~10%, Nb 2~4%, B 14%, Si 6%이다. 코팅 경도는 700HV 이상, 두께는 약 50~300μm이다. 그러나, 해당 시스템의 기판은 티타늄 합금이 아닌 Q235 강철이며 코팅층의 두께가 충분히 두껍지 않다.
현재 티타늄 합금 기판에 고엔트로피 비정질 합금 코팅층을 제조하는 내용에 관한 보고는 아직 없다. 이를 감안해, 티타늄 합금 기판에 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층을 제조하는 방법을 개발함으로써 코팅층 경도를 높이고 내마모성을 우수하게 하여 티타늄 합금 재료의 응용 범위를 확장할 필요가 있다.
본 발명의 첫 번째 목적은 고(高)엔트로피 합금 분말을 제공하는 것이고, 본 발명의 두 번째 목적은 경도가 높고 내마모성이 우수한 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층을 제공하는 것이다. 본 발명의 세 번째 목적은 상기 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 고(高)엔트로피 합금 분말은 원자 백분율에 따라 Ti:20~21.56%, Zr:20~21.56%, Cu:20~21.56%, Ni:20~21.56%, Al:10~10.76%, Co:3%~10%를 포함한다.
여기에서, 상기 고엔트로피 합금 분말의 입자 크기는 50~180μm이다.
본 발명은 상기 고엔트로피 합금 분말에 의해 제조된 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층을 더 포함한다.
여기에서, 상기 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 비커스 경도＞750HV이고, 상기 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 두께는 100~500μm이다.
본 발명에 따른 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 제조방법으로서, 티타늄 합금을 기판으로 하여 레이저 클래딩 공정을 통해 본 발명에 따른 고엔트로피 합금 분말을 기판 표면에 코팅하여 제조한다.
본 발명에 따른 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층 제조방법은 이하 단계를 포함한다.
(1) 에어로졸화 제분 공정을 사용하여 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말을 제조한다.
(2) 고엔트로피 합금 분말 합성: TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말과 Co 분말 재료를 볼밀로 균일하게 혼합하고 여과망으로 선별하여 혼합 분말을 얻고, 혼합 분말은 건조하여 준비해 둔다.
(3) 티타늄 합금 기판 연마 및 샌드블라스트: 샌드블라스트를 이용하여 티타늄 합금 기판 표면의 산화층 및 불순물을 제거하고, 알코올로 닦아 티타늄 합금 기판 표면의 기름 얼룩과 물때를 제거한 후, 티타늄 합금 기판을 예열한다.
(4) 레이저 클래딩으로 코팅층 수득: 고엔트로피 합금 분말을 용융하고, 불활성 가스 보호 하에 레이저 클래딩 공정을 이용하여 예열된 티타늄 합금 기판의 표면에 코팅한다.
여기에서, 단계 (1) 중 상기 에어로졸화 제분 공정은 불활성 가스 아르곤의 보호 하에 고압 불활성 아르곤 기류를 사용하여 금속 액체를 작은 방울로 분쇄하고 분말로 빠르게 응축하는 공정이다.
여기에서, 단계 (1) 중 에어로졸화 제분 시 Ti, Zr, Cu, Ni, Al은 모두 질량 분율>99.99%의 순수한 금속 단체이며, Ti:Zr:Cu:Ni:Al=2:2:2:2:1이다.
여기에서, 단계 (1) 중 에어로졸화 제분 시 정련 온도는 1500~1600℃, 정련 시간은 5~15min, 중간 보온 온도는 1300~1400℃, 보온 시간은 20~40분, 분무 압력은 3~5MPa이다.
여기에서, 단계 (2) 중 볼밀 혼합 시 볼밀 탱크와 연마 볼은 모두 금강석(Al2O3) 재질이고, 연마 볼과 혼합 분말의 질량비는 1:1, 속도는 200~300r/min, 볼밀 시간은 2시간이다.
여기에서, 단계 (4) 중 레이저 클래딩 시 레이저 광 스폿의 직경은 약 2.4mm, 레이저 전력은 800~1200W, 스캐닝 속도는 360~720mm/min, 불활성 가스는 아르곤이다.
티타늄 합금은 산화되기 쉽고 코팅층 응력이 크며 쉽게 갈라지므로, 본 출원에서는 Ti:Zr:Cu:Ni:Al, Co의 6가지 원소로 제조된 고엔트로피 합금 분말을 녹인 후 티타늄 합금 기판 표면에 레이저 클래딩하여 상기 과제를 극복할 수 있다. 얻은 코팅층은 경도가 높고 조직이 미세하며 내마모성이 우수하다.
본 발명은 선행기술에 비해 다음과 같은 현저한 장점이 있다.
(1) 본 발명에 사용되는 재료는 가격이 저렴하며, 귀금속 및 고가의 Sc 등의 원소를 함유하지 않는다. 제조 공정이 간단하고 구현하기 쉽다.
(2) 본 발명에 따라 제조한 고엔트로피 합금 분말은 티타늄 합금 표면에 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층을 제조하는 데 사용할 수 있다.
(3) 본 발명에 따라 제조한 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층은 경도가 높고 조직이 미세하며 내마모성이 우수하다.
도 1은 실시예 1에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 XRD 도면이다.
도 2는 실시예 1에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 SEM 도면이다.
이하, 첨부도면을 조합해 본 발명의 기술방안에 대해 보다 자세히 설명한다.
실시예 1
1. TiZrCuNiAl0.5 고(高)엔트로피 합금 분말 제조
에어로졸화 방법을 사용하여 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말을 제조하며, 원자 백분율에 따라 재료를 배합한다. 사용된 Ti, Zr, Cu, Ni, Al은 모두 질량 분율>99.99%의 순수한 금속 단체이며, Ti:Zr:Cu:Ni:Al=2:2:2:2:1이다. 정련 온도는 1500℃, 정련 시간은 15min, 중간 보온 온도는 1300℃, 보온 시간은 20min, 분무 압력은 3MPa이다. 고속 기류를 통해 액체 금속 흐름을 작은 방울로 분쇄하고 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말로 빠르게 응축한다.
2. 고엔트로피 합금 분말 합성
TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말 및 Co 분말 재료를 볼밀로 균일하게 혼합하여 혼합 분말을 얻는다. 여기에서 Ti:20%, Zr:20%, Cu:20%, Ni:20%, Al:10%, Co:10%이고, 총 원자 백분율은 100%이다. 볼밀의 구체적인 매개변수인 볼밀 탱크와 연마 볼은 모두 금강석(Al2O3) 재질이다. 연마 볼과 혼합 분말을 1:1의 질량비로 볼밀에 넣고 시계 방향으로 200r/min의 속도로 2시간 동안 볼 밀링한다. 기공 크기가 180μm인 여과망으로 선별하고, 연마 볼을 제거하고, 혼합된 분말을 100°C까지 가열하고 진공에서 4시간 동안 건조한 후, 후속 클래딩 실험을 위해 자연 냉각한다.
3. 티타늄 합금 기판 연마 및 샌드블라스트
TC4 티타늄 합금 기판을 선택하고, 샌드블라스트를 이용하여 TC4 티타늄 합금 기판 표면의 산화층 및 불순물을 제거한다. TC4 티타늄 합금 기판 표면의 기름 얼룩과 물때를 알코올로 닦아내 준비해 두고, TC4 티타늄 합금 기판을 250°C까지 예열하여 기판과 코팅층 사이의 결합력을 향상시킨다.
4. 레이저 클래딩으로 코팅층 수득
단계 2에서 합성된 고엔트로피 합금 분말을 용융하고, 레이저 클래딩 공정을 이용하여 단계 3에서 처리된 티타늄 합금 기판의 표면에 용융된 고엔트로피 합금 분말을 코팅하여 코팅층을 얻는다. 레이저 클래딩 공정 매개변수인 레이저 광 스폿 직경은 약 2.4mm, 레이저 전력은 800W, 스캐닝 속도는 720mm/min이다. 불활성 가스 보호로 아르곤을 사용하여 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층을 얻는다.
본 실시예에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 두께 테스트를 수행한 결과, 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 두께는 100μm, 비커스 경도는 937HV이고, 마모량은 TC4 매트릭스의 45%로 내마모성이 우수하다.
본 실시예에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층에 대해 XRD 분석을 진행하였으며, 그 결과는 도 1에 나타낸 바와 같다. 도 1은 실시예 1에서 얻은 코팅층의 XRD 도면으로, 도 1을 통해 미세 조직은 비정질 매트릭스에 다른 결정 상을 석출한 것임을 알 수 있다.
본 실시예에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층에 대해 주사 전자 현미경 분석을 진행하였으며, 그 결과는 도 2에 나타낸 바와 같다. 도 2는 실시예 1에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 SEM 도면으로, 도 2를 통해 비정질 합금 매트릭스에 나노 결정을 석출하였으며 도 1의 결과와 상호 증명됨을 알 수 있다.
실시예 2
1. TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말 제조
에어로졸화 방법을 사용하여 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말을 제조한다. 원자 백분율에 따라 재료를 배합한다. 사용된 Ti, Zr, Cu, Ni, Al은 모두 질량 분율>99.99%의 순수한 금속 단체이며, Ti:Zr:Cu:Ni:Al=2:2:2:2:1이다. 정련 온도는 1600℃, 정련 시간은 5min, 중간 보온 온도는 1400℃, 보온 시간은 40min, 분무 압력은 5MPa이다. 고속 기류를 통해 액체 금속 흐름을 작은 방울로 분쇄하고 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말로 빠르게 응축한다.
2. 고엔트로피 합금 분말 합성
TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말 및 Co 분말 재료를 볼밀로 균일하게 혼합하여 혼합 분말을 얻는다. 여기에서 Ti:21.56%, Zr:21.56%, Cu:21,56%, Ni:21.56%, Al:10.76%, Co:3%이고, 총 원자 백분율은 100%이다. 볼밀의 구체적인 매개변수인 볼밀 탱크와 연마 볼은 모두 금강석(Al2O3) 재질이다. 연마 볼과 혼합 분말을 1:1의 비율로 볼밀에 넣고 시계 방향으로 250r/min의 속도로 2시간 동안 볼 밀링한다. 여과망으로 선별하고, 불순물 및 연마 볼을 제거하고, 혼합된 분말을 90°C까지 가열하고 진공에서 4시간 동안 건조한 후, 후속 클래딩 실험을 위해 자연 냉각한다.
3. 티타늄 합금 기판 연마 및 샌드블라스트
TC4 티타늄 합금 기판을 선택하고, 샌드블라스트를 이용하여 TC4 티타늄 합금 기판 표면의 산화층 및 불순물을 제거한다. TC4 티타늄 합금 기판 표면의 기름 얼룩과 물때를 알코올로 닦아내 준비해 두고, TC4 티타늄 합금 기판을 300°C까지 예열하여 기판과 코팅층 사이의 결합력을 향상시킨다.
4. 레이저 클래딩으로 코팅층 수득
단계 2에서 합성된 고엔트로피 합금 분말을 용융하고, 레이저 클래딩 공정을 이용하여 단계 3에서 처리된 티타늄 합금 기판의 표면에 용융된 고엔트로피 합금 분말을 코팅하여 코팅층을 얻는다. 레이저 클래딩 공정 매개변수인 레이저 광 스폿 직경은 약 2.4mm, 레이저 전력은 1200W, 스캐닝 속도는 360mm/min이다. 불활성 가스 보호로 아르곤을 사용하여 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층을 얻는다.
본 실시예에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 두께 테스트를 수행한 결과, 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 두께는 500μm, 비커스 경도는 795HV이고, 마모량은 TC4 매트릭스의 70%로 내마모성이 우수하다.
실시예 3
1. TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말 제조
에어로졸화 방법을 사용하여 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말을 제조한다. 원자 백불율에 따라 재료를 배합한다. 사용된 Ti, Zr, Cu, Ni, Al은 모두 질량 분율>99.99%의 순수한 금속 단체이며, Ti:Zr:Cu:Ni:Al=2:2:2:2:1이다. 정련 온도는 1550℃, 정련 시간은 10min, 중간 보온 온도는 1360℃, 보온 시간은 30min, 분무 압력은 4MPa이다. 고속 기류를 통해 액체 금속 흐름을 작은 방울로 분쇄하고 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말로 빠르게 응축한다.
2. 고엔트로피 합금 분말 합성
TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말 및 Co 분말 재료를 볼밀로 균일하게 혼합하여 혼합 분말을 얻는다. 여기에서 Ti:20.89%, Zr:20.89%, Cu:20.89%, Ni:20.89%, Al:10.44%, Co:6%이고, 총 원자 백분율은 100%이다. 볼밀의 구체적인 매개변수인 볼밀 탱크와 연마 볼은 모두 금강석(Al2O3) 재질이다. 연마 볼과 혼합 분말을 1:1의 비율로 볼밀에 넣고 시계 방향으로 300r/min의 속도로 2시간 동안 볼 밀링한다. 여과망으로 선별하고, 불순물 및 연마 볼을 제거하고, 혼합된 분말을 80°C까지 가열하고 진공에서 4시간 동안 건조한 후, 후속 클래딩 실험을 위해 자연 냉각한다.
3. 티타늄 합금 기판 연마 및 샌드블라스트
TC4 티타늄 합금 기판을 선택하고, 샌드블라스트를 이용하여 TC4 티타늄 합금 기판 표면의 산화층 및 불순물을 제거한다. TC4 티타늄 합금 기판 표면의 기름 얼룩과 물때를 알코올로 닦아내 준비해 두고, TC4 티타늄 합금 기판을 350°C까지 예열하여 기판과 코팅층 사이의 결합력을 향상시킨다.
4. 레이저 클래딩으로 코팅층 수득
단계 2에서 합성된 고엔트로피 합금 분말을 용융하고, 레이저 클래딩 공정을 이용하여 단계 3에서 처리된 티타늄 합금 기판의 표면에 용융된 고엔트로피 합금 분말을 코팅하여 코팅층을 얻는다. 레이저 클래딩 공정 매개변수인 레이저 광 스폿 직경은 약 2.4mm, 레이저 전력은 1000W, 스캐닝 속도는 480mm/min이다. 불활성 가스 보호로 질소를 사용하여 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층을 얻는다.
본 실시예에서 얻은 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 두께 테스트를 수행한 결과, 고엔트로피 비정질 합금-나노 결정 코팅층의 두께는 260μm, 비커스 경도는 890HV이고, 마모량은 TC4 매트릭스의 50%로 내마모성이 우수하다.

Claims (5)

  1. 고(高)엔트로피 합금 분말에 있어서,
    상기 고엔트로피 합금 분말은 원자 백분율에 따라 Ti:20%~21.56%, Zr:20%~21.56%, Cu:20%~21.56%, Ni:20%~21.56%, Al:10%~10.76%, Co:3%~10%를 포함하고, 여기에서, Ti:Zr:Cu:Ni:Al=2:2:2:2:1이고, 상기 TiZrCuNiAl0.5의 제조는 아래와 같이,
    (1) 에어로졸화 제분 공정을 사용하여 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말을 제조하고, 상기 에어로졸화 제분 공정은 불활성 가스인 아르곤 가스의 보호 하에 고압 불활성 아르곤가스의 기류를 사용하여 금속 액체를 작은 방울로 분쇄하고 분말로 빠르게 응축하는 공정으로서, 에어로졸화 제분 시 Ti:Zr:Cu:Ni:Al은 모두 질량 분율>99.99%의 순수한 금속 단체이고, 정련 온도는 1500~1600℃이고, 정련 시간은 5~15 min이고, 중간 보온 온도는 1300~1400 ℃이고, 보온 시간은 20~40 min이고, 분무 압력이 3~5 MPa인 단계;
    (2) TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말 및 Co 분말 재료를 볼밀로 균일하게 혼합하고, 여과망으로 선별해 혼합 분말을 수득하고, 혼합 분말을 건조하여 준비해 두고, 볼밀 혼합 시 볼밀 탱크와 연마 볼은 모두 강옥 재질이고, 속도가 200~300 r/min인 고엔트로피 합금 분말 합성 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고엔트로피 합금 분말.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고엔트로피 합금 분말의 입자 크기가 50~180μm인 것을 특징으로 하는 고엔트로피 합금 분말.
  3. 제1항 또는 제2항에 따른 고엔트로피 합금 분말로 제조한 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 비커스 경도＞750HV이고, 상기 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 두께가 100~500μm인 것을 특징으로 하는 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층.
  5. 제3항 또는 제4항의 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 제조방법에 있어서,
    티타늄 합금을 기판으로 하여, 레이저 클래딩 공정을 통해 제3항 또는 제4항의 고엔트로피 합금 분말을 기판 표면에 코팅하여 제조하여 수득하고, 이하의 단계,
    (1) 에어로졸화 제분 공정을 사용하여 TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말을 제조하고, 상기 에어로졸화 제분 공정은 불활성 가스인 아르곤 가스의 보호 하에 고압 불활성 아르곤가스의 기류를 사용하여 금속 액체를 작은 방울로 분쇄하고 분말로 빠르게 응축하는 공정으로서, 에어로졸화 제분 시 Ti:Zr:Cu:Ni:Al은 모두 질량 분율>99.99%의 순수한 금속 단체이고, 정련 온도는 1500~1600℃이고, 정련 시간은 5~15 min이고, 중간 보온 온도는 1300~1400 ℃이고, 보온 시간은 20~40 min이고, 분무 압력이 3~5 MPa인 단계;
    (2) TiZrCuNiAl0.5 고엔트로피 합금 분말 및 Co 분말 재료를 볼밀로 균일하게 혼합하고, 여과망으로 선별해 혼합 분말을 수득하고, 혼합 분말을 건조하여 준비해 두고, 볼밀 혼합 시 볼밀 탱크와 연마 볼은 모두 강옥 재질이고, 속도가 200~300 r/min인 고엔트로피 합금 분말 합성 단계;
    (3) 샌드블라스트를 이용하여 티타늄 합금 기판 표면의 산화층 및 불순물을 제거하고, 알코올로 닦아 티타늄 합금 기판 표면의 기름 얼룩과 물때를 제거한 후, 티타늄 합금 기판을 예열하는 티타늄 합금 기판 연마 및 샌드블라스트 단계;
    (4) 고엔트로피 합금 분말을 용융하고, 불활성 가스 보호 하에 레이저 클래딩 공정을 이용하여 예열된 티타늄 합금 기판의 표면에 코팅하여 레이저 클래딩에 의한 코팅층을 수득하고, 코팅층의 레이저 클래딩 시 레이저 전력은 800~1200 W이고, 스캐닝 속도는 360~720 mm/min이고, 불활성 가스가 아르곤 가스인 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고엔트로피 비정질-나노 결정 코팅층의 제조방법.
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