KR20240028049A - 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치 - Google Patents

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KR20240028049A
KR20240028049A KR1020220106080A KR20220106080A KR20240028049A KR 20240028049 A KR20240028049 A KR 20240028049A KR 1020220106080 A KR1020220106080 A KR 1020220106080A KR 20220106080 A KR20220106080 A KR 20220106080A KR 20240028049 A KR20240028049 A KR 20240028049A
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Abstract

본 발명은 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치에 관한 것으로서, 특히 기판이 장착된 지그를 검사하여 지그에 기판이 올바르게 장착되었는지 여부를 확인할 수 있는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치에 관한 것이다.
본 발명의 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치는, 기판이 장착된 지그와; 상기 기판이 장착된 상태의 지그를 촬영하는 카메라부와; 상기 카메라부에서 촬영된 상기 기판 및 지그의 영상데이터가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사하는 검사부와; 상기 검사부에서 검사된 상기 영상데이터가 미리 설정된 정상범위를 벗어난 비정상인 경우 경고를 발생하는 알람부;를 포함하여 이루어지되, 상기 카메라부는 상기 기판이 도금조에 투입되기 전의 위치에 배치되어 기판이 장착된 지그가 도금조로 이동되기 전의 상태를 촬영하고, 상기 검사부에서는 상기 기판이 상기 지그에 올바르게 장착되었는지 여부를 검사하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치 { INSPECTION AND WARNING APPARATUS OF BOARD MOUNTED JIG }
본 발명은 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치에 관한 것으로서, 특히 기판이 장착된 지그를 검사하여 지그에 기판이 올바르게 장착되었는지 여부를 확인할 수 있는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치에 관한 것이다.
도금 라인에는 다수개의 지그가 행거에 결합되어 이동하면서 기판에 도금이 이루어지게 된다.
지그에는 클램프가 장착되어 있고, 기판은 이러한 클램프에 파지된 상태에서 지그에 결합된다.
지그는 장시간 사용할 경우 지그의 프레임의 변형, 클램프의 변형이 발생할 수 있다.
또한, 기판을 지그에 투입하는 투입기(로봇 등)의 정렬에 문제가 발생할 수도 있다.
종래에는 지그에 기판을 투입하기 전에 지그의 상태를 검사하거나, 기판을 기판에 투입하기 전에 기판의 상태를 검사한 후, 정상인 기판을 정상인 지그에 투입하여 장착하였다.
그러나 종래에는 상술한 바와 같이 기판을 지그에 장착하기 전의 상태에서, 기판과 지그를 각각 검사할 뿐이기 때문에, 정작 기판을 지그에 장착하였을 때 기판이 지그에 잘못 장착되는 경우 등에는 이를 검사하지 못하고 도금이 그대로 이루어져 기판 도금에 문제가 발생하였다.
공개특허 10-2021-0020621 공개특허 10-2017-0006093 공개특허 10-2012-0022272
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 도금조에 투입하기 이전에 기판이 장착된 지그를 검사하여 기판이 지그에 올바르게 장착되었는지 여부를 검사하고 이를 외부로 알리도록 할 수 있는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치는, 기판이 장착된 지그와; 상기 기판이 장착된 상태의 지그를 촬영하는 카메라부와; 상기 카메라부에서 촬영된 상기 기판 및 지그의 영상데이터가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사하는 검사부와; 상기 검사부에서 검사된 상기 영상데이터가 미리 설정된 정상범위를 벗어난 비정상인 경우 경고를 발생하는 알람부;를 포함하여 이루어지되, 상기 카메라부는 상기 기판이 도금조에 투입되기 전의 위치에 배치되어 기판이 장착된 지그가 도금조로 이동되기 전의 상태를 촬영하고, 상기 검사부에서는 상기 기판이 상기 지그에 올바르게 장착되었는지 여부를 검사하는 것을 특징으로 한다.
상기 카메라부는 상기 지그에 장착된 기판의 정면에 배치되어 상기 기판 및 지그를 촬영하는 제1카메라를 포함하여 이루어지되, 상기 검사부는 상기 제1카메라에서 촬영한 제1영상데이터을 통해, 상기 지그에 대한 상기 기판의 상하좌우 이동여부를 검사하는 제1검사, 상기 지그에 대한 상기 기판의 틀어짐(틸팅, tilting)여부를 검사하는 제2검사, 상기 지그에 장착된 클램프가 기판을 파지하였는지 여부를 검사하는 제3검사 중 어느 하나 이상의 검사를 수행한다.
상기 제1검사는, 상기 지그에 정상적으로 장착되어야 할 기판의 기준중심점과, 상기 제1카메라에서 촬영된 기판의 실제중심점을 비교하여, 상기 기판의 상하좌우 이동여부를 검사한다.
상기 제2검사는, 상기 지그에 정상적으로 장착되어야 할 기판의 기준상측선, 기준하측선, 기준좌측선 또는 기준우측선 중 어느 하나 이상과, 이에 대응되는 상기 제1카메라에서 촬영된 기판의 실제상측선, 실제하측선, 실제좌측선 또는 실제우측선 중 어느 한 이상을 비교하여, 상기 기판의 틀어짐 여부를 검사한다.
상기 검사부는 상기 제1카메라에서 촬영한 제1영상데이터을 통해, 상기 지그에 장착된 클램프 자체의 틀어짐 여부를 검사하는 제4검사를 더 수행한다.
상기 카메라부는 상기 지그에 장착된 기판의 상부에 배치되어 상기 기판 및 지그를 촬영하는 제2카메라를 포함하여 이루어지되, 상기 지그에는 상기 기판을 파지하는 다수개의 클램프가 장착되고, 상기 검사부는 상기 제2카메라에서 촬영한 제2영상데이터을 통해, 다수개의 상기 클램프에 의해 파지된 기판의 뒤틀림(warpage) 여부를 검사하는 제5검사를 수행하며, 상기 제5검사는 상기 클램프와 클램프 사이에 배치되는 상기 기판의 뒤틀림 여부가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사한다.
상기 제2카메라는 상기 지그의 전방 상부에서 하향 대각선 방향으로 상기 기판이 장착된 지그를 촬영한다.
상기 지그의 상하좌우 전방에 배치되어 상기 기판이 장착된 지그를 향해 사선방향으로 빛을 조사하는 램프;를 더 포함하여 이루진다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 의해, 기판이 장착된 지그가 미리 설정된 정상범위를 벗어난 비정상인 경우, 지그에 장착된 기판을 도금하기 이전에 미리 지그의 교체, 로딩부 투입기의 수리 등을 하도록 하여, 비정상 상태로 장착된 기판에 도금작업이 이루어져 도금의 불량이 발생되는 것을 사전에 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치의 구성도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제1검사를 설명하기 위한 도면,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제2검사를 설명하기 위한 도면,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 제3검사를 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 제4검사를 설명하기 위한 도면,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 제5검사를 설명하기 위한 도면,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판이 장착된 지그의 예지 경고 시스템의 구성도.
본 발명의 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 지그(10)와, 카메라부(20)와, 검사부(30)와, 알람부(40)를 포함하여 이루어진다.
상기 지그(10)는 기판(80)이 장착되어 있고, 행거에 연결되어 도금라인을 이동한다.
상기 지그(10)에는 기판(80)을 파지하기 위한 다수개의 클램프(50)(11)가 장착되어 있다.
상기 카메라부(20)는 상기 기판(80)이 장착된 상태의 지그(10)를 촬영한다.
상기 카메라부(20)는 상기 지그(10)만을 또는 기판(80)만을 촬영하는 것이 아니라, 기판(80)이 장착된 지그(10)를 촬영한다.
상기 카메라부(20)는 상기 기판(80)이 도금조에 투입되기 전의 위치에 배치되어 기판(80)이 장착된 지그(10)가 도금조로 이동되기 전의 상태를 촬영한다.
즉, 상기 카메라부(20)는 투입기를 이용하여 기판(80)을 지그(10)에 투입하는 로딩부와, 기판(80)을 도금하는 도금조 사이에 배치되어, 기판(80)이 장착된 지그(10)의 상태를 촬영한다.
상기 카메라부(20)는 제1카메라(21)와 제2카메라(22)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1카메라(21)는 상기 지그(10)에 장착된 기판(80)의 정면에 배치되어 상기 기판(80) 및 지그(10)를 촬영한다.
상기 제2카메라(22)부(20)는 상기 지그(10)에 장착된 기판(80)의 상부에 배치되어 상기 기판(80) 및 지그(10)를 촬영한다.
상기 카메라부(20)는 상기 제1카메라(21) 또는 제2카메라(22) 중 어느 하나만으로 이루어질 수도 있으나, 바람직하게는 본 실시예와 같이 상기 제1카메라(21) 및 제2카메라(22)로 이루어지도록 한다.
상기 검사부(30)는 상기 카메라부(20)에서 촬영된 상기 기판(80) 및 지그(10)의 영상데이터가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사한다.
상기 검사부(30)에서는 상기 카메라부(20)에서 촬영한 영상데이터를 통해 상기 기판(80)이 상기 지그(10)에 올바르게 장착되었는지 여부를 검사한다.
상기 검사부(30)는 상기 제1카메라(21)에서 촬영한 제1영상데이터을 통해, 제1검사, 제2검사, 제3검사, 제4검사를 수행한다.
물론 경우에 따라 상기 검사부(30)는 제1검사 내지 제4검사 중 어느 하나 이상으로 수행할 수도 있다.
상기 제1검사는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 지그(10)에 대한 상기 기판(80)의 상하좌우 이동여부를 검사하는 것이다.
상기 제1검사에서는 상기 로딩부에서 투입기를 통해 상기 기판(80)을 상기 지그(10)에 투입할 때, 상기 기판(80)이 상기 지그(10)의 올바른 위치에 장착되었는지 여부를 검사하는 것이다.
상기 제1검사는, 상기 지그(10)에 정상적으로 장착되어야 할 기판(80)의 기준중심점과, 상기 제1카메라(21)에서 촬영된 기판(80)의 실제중심점을 비교하여, 상기 기판(80)의 상하좌우 이동여부를 검사한다.
상기 기준중심점은 상기 지그(10)에 정상적으로 장착된 4각 기판(80)의 대각선이 만나는 교차점이고, 상기 실제중심점은 상기 제1카메라(21)에서 촬영된 4각 기판(80)이 대각선이 만나는 교차점이다.
상기 제1검사에서 상기 지그(10)에 대한 기판(80)의 상하좌우 이동이 있는 것으로 검사될 경우, 이는 상기 로딩부에서 기판(80)을 지그(10)에 잘못 투입하였거나 또는 지그(10) 자체가 정상위치에서 이동된 것을 의미한다.
구체적으로, 다수개의 지그(10)에서 계속적으로 기판(80)의 상하좌우 이동이 동일하게 있는 것으로 검사될 경우에는, 상기 로딩부에서 기판(80)을 지그(10)에 투입하는 투입기에 문제가 있는 것으로 판단한다.
그리고, 다수개의 지그(10)에서 특정 지그(10)에서만 기판(80)의 상하좌우 이동이 있는 것으로서 검사될 경우에는, 해당 지그(10) 자체가 정상위치에서 잘못된 위치로 이동된 것으로 판단한다.
상기 지그(10)에 대한 상기 기판(80)의 상하좌우 이동여부는 상술한 기준중심점과 실제중심점의 비교 이외에 다양한 방식으로 검사할 수도 있다.
상기 제2검사는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 지그(10)에 대한 상기 기판(80)의 틀어짐(틸팅, tilting)여부를 검사하는 것이다.
상기 제2검사는, 상기 지그(10)에 정상적으로 장착되어야 할 기판(80)의 기준상측선, 기준하측선, 기준좌측선 또는 기준우측선 중 어느 하나 이상과, 이에 대응되는 상기 제1카메라(21)에서 촬영된 기판(80)의 실제상측선, 실제하측선, 실제좌측선 또는 실제우측선 중 어느 한 이상을 비교하여, 상기 기판(80)이 경사지게 틀어졌는지 여부를 검사하는 것이다.
상기 제2검사에서 상기 지그(10)에 대한 기판(80)의 틀어짐이 있는 것으로 검사될 경우, 이는 상기 로딩부에서 기판(80)을 지그(10)에 잘못 투입하였거나 또는 지그(10) 자체가 틀어져 있다는 것을 의미한다.
구체적으로, 다수개의 지그(10)에서 계속적으로 기판(80)의 틀어짐이 동일하게 있는 것으로 검사될 경우에는, 상기 로딩부에서 기판(80)을 지그(10)에 투입하는 투입기에 문제가 있는 것으로 판단한다.
그리고, 다수개의 지그(10)에서 특정 지그(10)에서만 기판(80)의 틀어짐이 있는 것으로서 검사될 경우에는, 해당 지그(10) 자체가 틀어져 있다는 것으로 판단한다.
상기 지그(10)에 대한 상기 기판(80)의 틀어짐 이동여부는 상술한 방법 이외에 다양한 방식으로 검사할 수도 있다.
상기 제3검사는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 지그(10)에 장착된 클램프(50)(11)가 기판(80)을 파지하였는지 여부를 검사하는 것이다.
이는 상기 제1영상데이터에서 기판(80)과 클램프(50)(11)의 결합부위를 검사하여 확인하도록 한다.
상기 제4검사는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1카메라(21)에서 촬영한 제1영상데이터을 통해, 상기 지그(10)에 장착된 클램프(50)(11) 자체의 틀어짐 여부를 검사하는 것이다.
이는 정상적인 클램프(50)(11)의 위치와 상기 제1영상데이터를 통해 얻은 클램프(50)(11)의 위치를 비교하여 검사하게 된다.
또한 상기 검사부(30)는 상기 제2카메라(22)에서 촬영한 제2영상데이터을 통해, 다수개의 상기 클램프(50)(11)에 의해 파지된 기판(80)의 뒤틀림(warpage) 여부를 검사하는 제5검사를 수행한다.
상기 제5검사는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 클램프(50)(11)와 클램프(50)(11) 사이에 배치되는 상기 기판(80)의 뒤틀림 여부가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사하는 것이다.
상기 기판(80)의 뒤틀림이란, 클램프(50)(11)와 클램프(50)(11) 사이에 배치된 기판(80)의 상단이 일직선이 아닌 곡선형상으로 휘어지거나 주름이 발생하는 것을 의미한다.
제5검사를 수행하기 위해 제2영상데이더를 촬영하는 상기 제2카메라(22)는, 상기 지그(10)의 전방 상부에서 하향 대각선 방향으로 상기 기판(80)이 장착된 지그(10)를 촬영하도록 한다.
상기 알람부(40)는 상기 검사부(30)에서 검사된 상기 영상데이터가 미리 설정된 정상범위 즉 미리 설정된 오차범위를 벗어난 비정상인 경우 경고를 발생한다.
상기 알람부(40)에서 경고가 발생하게 되면, 작업자는 경고의 종류에 따라 상기 지그(10)에 기판(80)을 투입하는 로딩부에 문제가 있는지 아니면 특정 지그(10) 자체에 문제가 있는지 여부를 파악하고, 그 후 기판(80)의 도금 작업을 수행하기 이전에 문제된 사항을 정상상태로 보정(교환, 수리, 변경 등)하도록 한다.
본 발명은 상기 지그(10)의 상하좌우 전방에 배치되어 상기 기판(80)이 장착된 지그(10)를 향해 사선방향으로 빛을 조사하는 램프(50)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 램프(50)가 상기 기판(80)의 전방에서 상기 기판(80) 및 지그(10)에 빛을 조사함으로서, 상기 카메라부(20)에서 상기 기판(80)이 장착된 지그(10)를 보다 선명하고 명확하게 촬영할 수 있게 된다.
위와 같은 본 발명에 의해, 기판(80)이 장착된 지그(10)가 미리 설정된 정상범위를 벗어난 비정상인 경우, 지그(10)에 장착된 기판(80)을 도금하기 이전에 미리 지그(10)의 교체, 로딩부 투입기의 수리 등을 하도록 하여, 비정상 상태로 장착된 기판(80)에 도금작업이 이루어져 도금의 불량이 발생되는 것을 사전에 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판이 장착된 지그의 예지 경고 시스템은, 도 7에 도시된 바와 같이, 지그(10)와, 카메라부(20)와, 검사부(30)와, 변화여부판단부(60)와, 예측부(70)와, 알람부(40)를 포함하여 이루어진다.
상기 지그(10)는 상술한 바와 같이 기판(80)이 장착되고, 도금 라인을 반복 이동하면서 운용된다.
상기 카메라부(20)는 상술한 바와 같이 상기 기판(80)이 장착된 상태의 지그(10)를 촬영한다.
상기 카메라부(20)는 상술한 바와 같이 상기 기판(80)이 도금조에 투입되기 전의 위치에 배치되어 기판(80)이 장착된 지그(10)가 도금조로 이동되기 전의 상태를 촬영하고, 상기 제1카메라(21)와 제2카메라(22)로 이루어진다.
상기 검사부(30)는 상술한 바와 같이 상기 카메라부(20)에서 촬영된 상기 기판(80) 및 지그(10)의 영상데이터가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사하면서, 상기 기판(80)이 상기 지그(10)에 올바르게 장착되었는지 여부를 검사한다.
상기 검사부(30)는, 상기 제1카메라(21)에서 촬영한 제1영상데이터을 통해 제1검사 내지 제4검사 중 어느 하나 이상의 검사를 수행하고, 상기 제2카메라(22)에서 촬영한 제2영상데이터을 통해 제5검사를 수행한다.
상기 변화여부판단부(60)는, 해당 지그(10)가 도금 라인을 반복 이동하여 상기 검사부(30)를 통해 해당 지그(10) 및 이에 장착된 기판(80)의 영상데이터를 반복 수집하고, 반복 수집된 해당 지그(10) 및 이에 장착된 기판(80)의 영상데이터가 지속적으로 변화되고 있는지 여부를 판단한다.
상기 예측부(70)는 상기 변화여부판단부(60)에서 해당 지그(10) 및 이에 장착된 기판(80)의 영상데이터가 지속적으로 변화하고 있다고 판단되는 경우, 해당 지그(10) 및 이에 장착된 기판(80)의 변화 상태가 미리 설정된 정상범위를 벗어나는 비정상시기를 미리 예측한다.
상기 알람부(40)는 상기 예측부(70)로부터 신호를 받아 교체 또는 수리를 요청하는 경고를 발생시킨다.
상기 예측부(70)는 도금 라인의 운용시간이 상기 예측부(70)에서 예측된 비정상시기에 미리 설정된 오차만큼 도달하면 상기 알람부(40)를 작동시킨다.
즉, 상기 예측부(70)에서는 계산된 실제 비정상시기에 도달하기 직전에 또는 미리 설정된 오차범위에서 상기 알람부(40)를 작동시켜, 비정상시기에 도달하기 전에 미리 해당 부품, 장비 등의 교체 또는 수리가 이루어질 수도 있도록 한다.
상기 변화여부판단부(60)에서 상기 제1검사 내지 제5검사를 통해 상기 영상데이터 중 해당 지그(10) 자체의 상태가 지속적으로 변화되고 있다고 판단되면, 상기 예측부(70)는 해당 지그(10) 자체의 변화 상태가 미리 설정된 정상범위를 벗어나는 비정상시기를 예측한다.
그리고, 상기 예측부(70)는 도금 라인의 운용 시간 중 해당 지그(10)의 운용 시간이 상기 예측부(70)에서 예측된 비정상시기에 미리 설정된 오차만큼 도달하면 상기 알람부(40)를 작동시킨다.
그러면 상기 알람부(40)는 상기 예측부(70)로부터 신호를 받아 해당 지그(10)의 교체 또는 수리를 요청하는 경고를 발생시킨다.
또는, 상기 변화여부판단부(60)에서 상기 제1검사 내지 제5검사를 통해 상기 영상데이터 중 해당 지그(10) 자체의 상태는 변화가 없으나 투입기를 통해 지그(10)에 장착되는 기판(80)의 상태가 지속적으로 변화되고 있다고 판단되면, 상기 예측부(70)는 기판(80)의 변화 상태가 미리 설정된 정상범위를 벗어나는 비정상시기를 예측한다.
그리고, 상기 예측부(70)는 도금 라인의 운용 시간 중 기판(80)을 지그(10)에 투입하는 투입기의 운용 시간이 상기 예측부(70)에서 예측된 비정상시기에 미리 설정된 오차만큼 도달하면 상기 알람부(40)를 작동시킨다.
그러면 상기 알람부(40)는 상기 예측부(70)로부터 신호를 받아 상기 투입기의 교체 또는 수리를 요청하는 경고를 발생시킨다.
위와 같은 본 발명에 의해, 비정상시기에 도달하기 전에 해당 부품, 장비 등에 대하여 미리 교체, 수리를 할 수 있도록 하여, 도금 라인이 갑자기 정지되거나 불량품이 지속적으로 발생되는 것을 사전에 파악하고 조치를 취할 수 있게 된다.
본 발명인 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 지그, 11 : 클램프,
20 : 카메라부, 21 : 제1카메라, 22 : 제2카메라,
30 : 검사부,
40 : 알람부,
50 : 램프,
60 : 변화여부판단부,
70 : 예측부,
80 : 기판.

Claims (8)

  1. 기판이 장착된 지그와;
    상기 기판이 장착된 상태의 지그를 촬영하는 카메라부와;
    상기 카메라부에서 촬영된 상기 기판 및 지그의 영상데이터가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사하는 검사부와;
    상기 검사부에서 검사된 상기 영상데이터가 미리 설정된 정상범위를 벗어난 비정상인 경우 경고를 발생하는 알람부;를 포함하여 이루어지되,
    상기 카메라부는 상기 기판이 도금조에 투입되기 전의 위치에 배치되어 기판이 장착된 지그가 도금조로 이동되기 전의 상태를 촬영하고,
    상기 검사부에서는 상기 기판이 상기 지그에 올바르게 장착되었는지 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 카메라부는 상기 지그에 장착된 기판의 정면에 배치되어 상기 기판 및 지그를 촬영하는 제1카메라를 포함하여 이루어지되,
    상기 검사부는 상기 제1카메라에서 촬영한 제1영상데이터을 통해, 상기 지그에 대한 상기 기판의 상하좌우 이동여부를 검사하는 제1검사, 상기 지그에 대한 상기 기판의 틀어짐(틸팅, tilting)여부를 검사하는 제2검사, 상기 지그에 장착된 클램프가 기판을 파지하였는지 여부를 검사하는 제3검사 중 어느 하나 이상의 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
  3. 청구항2에 있어서,
    상기 제1검사는, 상기 지그에 정상적으로 장착되어야 할 기판의 기준중심점과, 상기 제1카메라에서 촬영된 기판의 실제중심점을 비교하여, 상기 기판의 상하좌우 이동여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
  4. 청구항2에 있어서,
    상기 제2검사는, 상기 지그에 정상적으로 장착되어야 할 기판의 기준상측선, 기준하측선, 기준좌측선 또는 기준우측선 중 어느 하나 이상과, 이에 대응되는 상기 제1카메라에서 촬영된 기판의 실제상측선, 실제하측선, 실제좌측선 또는 실제우측선 중 어느 한 이상을 비교하여, 상기 기판의 틀어짐 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
  5. 청구항2에 있어서,
    상기 검사부는 상기 제1카메라에서 촬영한 제1영상데이터을 통해, 상기 지그에 장착된 클램프 자체의 틀어짐 여부를 검사하는 제4검사를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
  6. 청구항1에 있어서,
    상기 카메라부는 상기 지그에 장착된 기판의 상부에 배치되어 상기 기판 및 지그를 촬영하는 제2카메라를 포함하여 이루어지되,
    상기 지그에는 상기 기판을 파지하는 다수개의 클램프가 장착되고,
    상기 검사부는 상기 제2카메라에서 촬영한 제2영상데이터을 통해, 다수개의 상기 클램프에 의해 파지된 기판의 뒤틀림(warpage) 여부를 검사하는 제5검사를 수행하며,
    상기 제5검사는 상기 클램프와 클램프 사이에 배치되는 상기 기판의 뒤틀림 여부가 미리 설정된 정상범위에 속하는지 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
  7. 청구항6에 있어서,
    상기 제2카메라는 상기 지그의 전방 상부에서 하향 대각선 방향으로 상기 기판이 장착된 지그를 촬영하는 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
  8. 청구항1에 있어서,
    상기 지그의 상하좌우 전방에 배치되어 상기 기판이 장착된 지그를 향해 사선방향으로 빛을 조사하는 램프;를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판이 장착된 지그의 검사 및 경고장치.
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