KR20230175098A - 클램프 어셈블리 - Google Patents

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KR20230175098A
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clamping
clamp
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칭-원 천
전-룽 덩
궁-안 린
천-위 왕
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칩본드 테크놀러지 코포레이션
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Abstract

클램프 어셈블리는 적어도 하나의 클램프를 포함하고, 상기 클램프는 워크피스를 클램핑하여, 무전해 도금, 식각, 전기 도금 또는 세척 등 공정을 진행하기 위한 것이고, 상기 클램프는 베이스, 클램핑 부재 및 위치 한정 부재를 구비하고, 상기 베이스는 상기 캐리어에 설치되고, 상기 베이스는 가이드 홀 및 제1 위치 한정 홀을 구비하고, 상기 제1 위치 한정 홀은 상기 가이드 홀에 연통되고, 상기 클램핑 부재는 가이드 로드 및 제2 위치 한정 홀을 구비하고, 상기 제2 위치 한정 홀은 상기 가이드 로드에 설치되고, 상기 가이드 로드는 상기 가이드 홀에 관통 설치되고, 상기 제2 위치 한정 홀은 상기 제1 위치 한정 홀에 연통되고, 상기 위치 한정 부재는 상기 제1 위치 한정 홀 및 상기 제2 위치 한정 홀에 관통 설치되어, 상기 베이스와 상기 클램핑 부재가 일체로 결합되도록 하여, 상기 워크피스를 클램핑한다.

Description

클램프 어셈블리{Clamp assembly}
본 발명은 클램프 어셈블리에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 무전해 도금, 식각, 전기 도금 또는 세척 공정에 사용되는 클램프 어셈블리에 관한 것이다.
대만 특허 TWI641079는 전기 도금 장치용 웨이퍼 클램프를 공개하였고, 연동링(3) 및 캐리어(4)는 적재 수단(2)에 장착되고, 캐리어(4)는 고정되어 움직이지 않고, 웨이퍼(B)는 캐리어(4)에 거치할 수 있고, 웨이퍼(B)가 상부 캡(5)과 캐리어(4) 사이에 위치하도록 상부 캡(5)으로 캐리어(4)를 덮고, 작동 로드(6)는 연동링(3)이 회전하도록 구동함으로써, 연동링(3)이 상부 캡(5)에 체결되도록 하여, 상부 캡(5)을 잠금 고정함으로써, 웨이퍼(B)가 상부 캡(5)과 캐리어(4) 사이에 고정되도록 한다.
그러나, 전기 도금 또는 세척 공정 후, 연동링(3), 캐리어(4), 상부 캡(5) 및 작동 로드(6)에 전기도금액 또는 세척액 등이 잔류할 수 있어, 웨이퍼 클램프를 반복 사용하면, 잔류액은 오염 문제를 일으킬 수 있고, 또한, 연동링(3)은 작동 로드(6)를 통해 회전 방식으로 상기 상부 캡(5)과 결합되므로, 작업자가 상기 웨이퍼(B)를 픽 앤 플레이스하는데 불리하다.
본 발명의 목적은 웨이퍼의 무전해 도금, 식각, 전기 도금 또는 세척 등 공정에 응용할 수 있고, 전기 도금액 또는 세척액 등이 상기 클램프 어셈블리에 잔류되는 것을 방지할 수 있고, 또한 작업자가 워크피스를 픽 앤 플레이스하는 작업 공정이 단순해지도록, 상기 클램프 어셈블리의 클램프를 신속하게 조립 및 해체할 수 있는, 클램프 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명의 클램프 어셈블리는, 워크피스를 클램핑하기 위한 적어도 하나의 클램프를 포함하고, 상기 클램프는 베이스, 클램핑 부재 및 위치 한정 부재를 구비하고, 상기 베이스는 캐리어에 설치되고, 상기 베이스는 본체, 가이드 홀 및 제1 위치 한정 홀을 구비하고, 상기 본체는 제1 클램핑부를 구비하고, 상기 가이드 홀 및 상기 제1 위치 한정 홀은 상기 본체에 설치되고, 상기 제1 위치 한정 홀은 상기 가이드 홀에 연통되고, 상기 제1 위치 한정 홀과 상기 가이드 홀 사이에 협각을 가지고, 상기 클램핑 부재는 가이드 로드, 제2 위치 한정 홀 및 제2 클램핑부를 구비하고, 상기 제2 위치 한정 홀은 상기 가이드 로드에 설치되고, 상기 가이드 로드는 상기 가이드 홀에 관통 설치되고, 상기 제2 위치 한정 홀은 상기 제1 위치 한정 홀에 연통되고, 상기 위치 한정 부재는 상기 제1 위치 한정 홀 및 상기 제2 위치 한정 홀에 관통 설치되어, 상기 베이스와 상기 클램핑 부재가 일체로 결합되도록 하고, 상기 제2 클램핑부 및 상기 제1 클램핑부가 상기 워크피스를 클램핑하도록 한다.
본 발명의 상기 위치 한정 부재가 상기 제1 위치 한정 홀 및 상기 제2 위치 한정 홀에 관통 설치되므로, 작업자는 신속하게 상기 베이스와 상기 클램핑 부재를 일체로 결합시키거나 개체로 해체할 수 있고, 상기 베이스, 상기 클램핑 부재 및 상기 위치 한정 부재의 구조가 단순하여, 전기도금액 또는 세척액이 잔류하기 쉽지 않아, 잔류액으로 인한 오염 문제를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 클램프 어셈블리의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 클램프의 분해도이다.
도 3은 본 발명의 클램프의 베이스의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 클램프의 클램핑 부재의 배면도이다.
도 5는 본 발명의 클램프의 분해 단면도이다.
도 6은 도 1의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 7은 도 1의 B-B선에 따른 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 클램프 어셈블리(10)는 적어도 하나의 클램프(100)를 포함하고, 상기 클램프(100)는 무전해 도금(electroless plating), 식각(etching), 전기 도금(electroplating) 또는 세척(washing) 등 공정을 진행하도록 워크피스(20)를 클램핑하기 위한 것이다. 상기 워크피스(20)는 웨이퍼일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 바람직하게는, 상기 클램프 어셈블리(10)는 차단 부재(200)를 더 포함한다.
도 1, 도 2, 및 도 5를 참고하면, 상기 클램프(100)는 베이스(110), 클램핑 부재(120) 및 위치 한정 부재(130)를 포함하고, 바람직하게는, 상기 클램프(100)는 위치 고정 부재(140) 및 탄성 부재(150)를 더 포함한다. 상기 베이스(110) 및 상기 차단 부재(200)는 캐리어(30)에 설치되고, 상기 캐리어(30)와 일체로 결합된다.
도 2, 도 3, 및 도 5를 참고하면, 상기 베이스(110)는 본체(111), 가이드 홀(112) 및 제1 위치 한정 홀(113)을 구비하고, 상기 본체(111)는 제1 클램핑부(111a)를 구비하고, 상기 가이드 홀(112) 및 상기 제1 위치 한정 홀(113)은 상기 본체(111)에 설치되고, 상기 제1 위치 한정 홀(113)은 상기 가이드 홀(112)에 연통되고, 상기 제1 위치 한정 홀(113)과 상기 가이드 홀(112) 사이에 협각(C)를 가진다. 상기 가이드 홀(112)은 원형 홀 또는 비원형 홀(예를 들면 타원형 홀, 직사각형 홀 또는 다각형 홀 등)일 수 있고, 본 실시예에서, 상기 가이드 홀(112)은 원형 홀이다. 상기 제1 위치 한정 홀(113)은 제1 부분(113a) 및 제2 부분(113b)을 포함하고, 상기 제1 부분(113a) 및 상기 제2 부분(113b)은 상기 가이드 홀(112)의 양측에 각각 위치하고, 상기 제1 부분(113a) 및 상기 제2 부분(113b)은 상기 가이드 홀(112)에 연통된다.
도 2, 도 4, 및 도 5를 참고하면, 상기 클램핑 부재(120)는 가이드 로드(121), 제2 위치 한정 홀(122) 및 제2 클램핑부(123)를 구비하고, 상기 제2 위치 한정 홀(122)은 상기 가이드 로드(121)에 설치된다. 상기 가이드 로드(121)는 원형 기둥 또는 비원형 기둥(예를 들면 타원형 기둥, 직사각형 기둥 또는 다각형 기둥 등)일 수 있고, 본 실시예에서, 상기 가이드 로드(121)는 원형 기둥이다.
도 5를 참고하면, 본 실시예에서, 상기 위치 고정 부재(140) 및 상기 탄성 부재(150)는 상기 클램핑 부재(120)에 설치되고, 상기 탄성 부재(150)는 상기 위치 고정 부재(140)를 푸싱하기 위한 것이다. 다른 일 실시예에서, 상기 클램프(100)는 상기 탄성 부재(150)를 구비하지 않고, 상기 위치 고정 부재(140)는 구체이며, 상기 위치 고정 부재(140)는 상기 클램핑 부재(120)에 롤링 결합된다. 다른 일 실시예에서, 상기 위치 고정 부재(140)와 상기 클램핑 부재(120)는 일체로 성형된다.
도 1, 도 5, 및 도 6을 참고하면, 상기 클램핑 어셈블리(10)로 상기 워크피스(20)를 클램핑하여 무전해 도금, 식각, 전기 도금 또는 세척 등 공정을 진행하기 전에, 먼저 상기 베이스(110) 및 상기 차단 부재(200)를 상기 캐리어(30)에 설치하고, 상기 워크피스(20)를 상기 베이스(110)에 거치한다. 본 실시예에서, 상기 워크피스(20)는 상기 본체(111)의 상기 제1 클램핑부(111a)에 거치한다. 도 5를 참고하면, 상기 제1 클램핑부(111a)는 오목홈(111b) 및 패드(111c)를 구비하고, 상기 패드(111c)는 상기 오목홈(111b)에 설치되고, 상기 워크피스(20)는 상기 패드(111c) 상에 거치되고, 상기 워크피스(20)의 엣지(21)는 상기 오목홈(111b)의 홈벽(111d)에 맞닿는다.
도 1 및 도 7을 참고하면, 상기 차단 부재(200)는 상기 워크피스에(20) 접촉하여, 상기 워크피스(20)의 회전을 방지한다. 본 실시예에서, 상기 워크피스(20)는 웨이퍼이고, 상기 차단 부재(200)는 상기 웨이퍼의 노치 엣지에 접촉하여, 상기 웨이퍼의 회전을 방지한다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 베이스(110)을 향해 상기 클램핑 부재(120)를 이동시켜, 상기 클램핑 부재(120)의 상기 가이드 로드(121)를 상기 베이스(110)의 상기 가이드 홀(112)에 관통 설치하여, 상기 제2 위치 한정 홀(122)이 상기 제1 위치 한정 홀(113)에 정렬되어 연통되도록 한다. 상기 위치 한정 부재(130)는 상기 제1 위치 한정 홀(113)의 개구(113c)를 통해 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)에 관통 설치된다. 상기 위치 한정 부재(130)는 적어도 상기 제1 위치 한정 홀(113)의 상기 제1 부분(113a) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)에 관통 설치되어, 상기 베이스(110)와 상기 클램핑 부재(120)가 일체로 결합되도록 하고, 상기 제2 클램핑부(123) 및 상기 제1 클램핑부(111a)가 상기 워크피스(20)를 클램핑하도록 한다. 바람직하게는, 상기 위치 한정 부재(130)는 또한 상기 제1 위치 한정 홀(113)의 상기 제2 부분(113b)에 관통 설치된다.
본 실시예에서, 상기 워크피스(20)는 상기 제2 클램핑부(123) 및 상기 제1 클램핑부(111a)의 상기 패드(111c) 사이에 클램핑되어, 상기 워크피스(20)가 상기 베이스(110)를 이탈하는 것을 방지한다. 바람직하게는, 상기 패드(111c)는 실리콘 또는 고무와 같은 연질 재료로 제조되므로, 상기 제2 클램핑부(123) 및 상기 제1 클램핑부(111a)로 상기 워크피스(20)를 클램핑할 때, 상기 패드(111c)는 압축되고, 복위 탄성력을 생성한다. 상기 위치 한정 부재(130)가 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)에 관통 설치된 후, 상기 복위 탄성력에 의해 상기 제2 클램핑부(123) 및 상기 패드(111c)가 상기 워크피스(20)를 클램핑하는 클램핑 힘을 증가시키고, 상기 위치 한정 부재(130)가 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)에 위치 한정되도록 한다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 위치 한정 부재(130)가 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)에 관통 설치되어 소정의 위치로 이동하면, 상기 위치 고정 부재(140)는 상기 위치 한정 부재(130)의 위치 고정 홀(131)에 수용되어, 상기 위치 한정 부재(130)를 고정시켜, 상기 위치 한정 부재(130)가 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)을 이탈하지 못하도록 한다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 워크피스(20)를 인출하고자 할 경우, 먼저 상기 위치 한정 부재(130)를 이동시켜, 상기 위치 고정 홀(131)이 상기 위치 고정 부재(140)의 제한을 벗어나도록 하고, 상기 위치 한정 부재(130)가 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)을 이탈하도록 하고, 이어서 상기 클램핑 부재(120)를 제거하면, 상기 워크피스(20)를 인출할 수 있다.
도 2, 도 3, 도 4, 도 5, 및 도 6을 참고하면, 상기 베이스(110)는 위치 한정 홈(111e)을 구비하고, 상기 클램핑 부재(120)가 상기 베이스(110)에 결합되면, 상기 제2 클램핑부(123)는 상기 위치 한정 홈(111e)에 수용되어, 상기 클램핑 부재(120)가 회전하지 않도록 한다.
상기 클램핑 부재(120)의 상기 가이드 로드(121)는 상기 가이드 홀(112)에 관통 설치되고, 상기 위치 한정 부재(130)는 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(12)에 관통 설치되므로, 상기 클램핑 부재(120)는 상기 베이스(110)와 신속하게 일체로 결합될 수 있어, 상기 클램핑 부재(120)가 상기 베이스(110)를 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 상기 제1 위치 한정 홀(113) 및 상기 제2 위치 한정 홀(122)로부터 상기 위치 한정 부재(130)를 뽑아내면, 상기 클램핑 부재(120)를 제거하여 상기 워크피스(20)를 인출할 수 있어, 본 발명은 상기 클램프(100)의 조립 및 해체 공정을 단순화할 수 있다. 또한, 상기 베이스(110), 상기 클램핑 부재(120) 및 상기 위치 한정 부재(130)의 구조가 단순하기 때문에, 전기도금액 또는 세척액이 잔류하기 쉽지 않아, 잔류액으로 인한 오염 문제를 방지할 수 있다.
본 발명의 보호범위는 특허청구범위를 기준으로 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 취지와 범위를 벗어나지 않으면서 행한 모든 변경 또는 수정은 모두 본 발명의 보호범위에 속한다.

Claims (8)

  1. 워크피스를 클램핑하기 위한 적어도 하나의 클램프를 포함하는 클램프 어셈블리에 있어서,
    상기 클램프는 베이스, 클램핑 부재, 위치 한정 부재를 포함하고,
    상기 베이스는 캐리어에 설치하기 위한 것이고, 상기 베이스는 본체, 가이드 홀 및 제1 위치 한정 홀을 구비하고, 상기 본체는 제1 클램핑부를 구비하고, 상기 가이드 홀 및 상기 제1 위치 한정 홀은 상기 본체에 설치되고, 상기 제1 위치 한정 홀은 상기 가이드 홀에 연통되고, 상기 제1 위치 한정 홀과 상기 가이드 홀 사이에 협각을 가지며;
    상기 클램핑 부재는 가이드 로드, 제2 위치 한정 홀 및 제2 클램핑부를 구비하고, 상기 제2 위치 한정 홀은 상기 가이드 로드에 설치되고, 상기 가이드 로드는 상기 가이드 홀에 관통 설치되어, 상기 제2 위치 한정 홀이 상기 제1 위치 한정 홀에 연통되게 하기 위한 것이며;
    상기 위치 한정 부재는 상기 제1 위치 한정 홀 및 상기 제2 위치 한정 홀에 관통 설치되어, 상기 베이스와 상기 클램핑 부재가 일체로 결합되도록 하고, 상기 제2 클램핑부 및 상기 제1 클램핑부가 상기 워크피스를 클램핑하도록 하기 위한 것인,
    클램프 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 위치 한정 홀은 제1부분 및 제2부분을 포함하고, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 상기 가이드 홀의 양측에 각각 위치하고, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 상기 가이드 홀에 연통되고, 상기 위치 한정 부재는 적어도 상기 제1 부분 및 상기 제2 위치 한정 홀에 관통 설치되는, 클램프 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 베이스는 위치 한정 홈을 더 구비하고, 상기 위치 한정 홈은 상기 제2 클램핑부를 수용하기 위한 것인, 클램프 어셈블리.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제1 클램핑부는 패드를 구비하고, 상기 워크피스는 상기 제2 클램핑부 및 상기 제1 클램핑부의 상기 패드 사이에 클램핑되는, 클램프 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 클램핑부는 오목홈을 더 구비하고, 상기 패드는 상기 오목홈에 설치되고, 상기 오목홈의 측벽은 상기 워크피스의 엣지가 맞닿게 하기 위한 것인, 클램프 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 클램프는 위치 고정 부재를 더 포함하고, 상기 위치 고정 부재는 상기 클램핑 부재에 설치되고, 상기 위치 한정 부재는 위치 고정 홀을 구비하고, 상기 위치 고정 홀은 상기 위치 고정 부재를 수용하기 위한 것인, 클램프 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 클램프는 탄성 부재를 더 포함하고, 상기 탄성 부재는 상기 클램핑 부재에 설치되고, 상기 탄성 부재는 상기 위치 고정 부재를 푸싱하여, 상기 위치 고정 부재가 상기 위치 고정 홀에 수용되도록 하기 위한 것인, 클램프 어셈블리.
  8. 제1항에 있어서,
    차단 부재를 더 포함하고, 상기 차단 부재는 상기 캐리어에 설치하기 위한 것이며, 상기 차단 부재는 상기 워크피스가 접촉되도록 하기 위한 것인, 클램프 어셈블리.
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