KR20030059640A - 수동 튀져 - Google Patents

Abstract

웨이퍼 파지용 수동 튀져가 개시된다. 수동 튀져는 웨이퍼 원주 상의 3 곳에서 웨이퍼를 지지할 수 있는 3접점식으로 이루어진다. 가령, 본 발명의 수동 튀져는 전체가 영문자 Y 자형으로 하나의 줄기부에서 두 가지부가 분기되는 형태로 이루어지고, 두 가지부 끝단과 줄기부 중간에 웨이퍼를 파지하기 위한 그립(Grip)을 하나씩 구비할 수 있다.

Description

수동 튀져{Manual tweezer}

본 발명은 반도체 웨이퍼 파지에 사용되는 튀져에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대형 웨이퍼 파지에 적합한 수동 튀져(manual tweezer)에 관한 것이다.

반도체 칩은 장방형 혹은 정방형으로 이루어지고 웨이퍼는 개략 원형으로 형성된다. 따라서, 웨이퍼의 주변부에는 완전한 반도체 칩을 형성할 수 없고 이 부분은 웨이퍼 면적 가운데 버려지는 부분이 된다. 하나의 웨이퍼에서 버려지는 부분의 비율을 낮추기 위해서는 웨이퍼 구경에 비해 칩의 크기를 줄이는 것이 필요하다.또한, 웨이퍼를 처리하는 공정을 생각할 때, 하나의 웨이퍼를 처리하여 얻어지는 반도체 칩의 수는 당연히 하나의 웨이퍼 내에 형성되는 칩의 갯 수를 늘림으로서 증가되고, 개별 칩당 공정 비용은 웨이퍼 구경이 커질수록 줄어들게 된다. 따라서, 반도체 장치를 이루는 반도체 칩을 생산하기 위해 사용되는 웨이퍼의 크기는 계속 증가하고 있다.

웨이퍼의 구경이 증가하면 그 면적을 유지하기 위해 웨이퍼의 두께로 증가하며 결국 웨이퍼 무게는 구경보다 빠른 비율로 증가하게 된다. 따라서, 증가된 크기와 무게로 인해 웨이퍼를 다루기 어려워진다. 가령, 종래에는 5인치 웨이퍼, 6인치 웨이퍼의 경우, 수동 튀져를 이용하여 웨이퍼를 옮기는 작업에 별 부담이 없었다. 그러나, 8인치 웨이퍼나 12인치 웨이퍼는 자체 중량과 크기로 인해 종래의 수동 튀져로 작업을 하는 것이 매우 어렵다.

도1 및 도2는 종래의 수동 튀져을 사용하여 웨이퍼를 파지한 상태를 나타내는 평면도 및 측면도이다.

도시된 바에 따르면, 수동 튀져(20)는 손잡이부(23)와 파지부(21)로 나뉠 수 있고, 파지부(21)가 웨이퍼(10)의 주변부 원주에 가까운 일부만을 치우쳐서 파지하게 된다. 따라서, 튀져(20) 패지부(21)의 쥐는 힘이 강할 경우, 웨이퍼(10) 파손의 우려가 있고, 쥐는 힘이 약할 경우, 웨이퍼(10)가 미끄러지면서 표면이 파손되거나 탈락되어 파손될 가능성이 크다. 또한, 파지 후 급격한 움직임이 있을 경우, 웨이퍼(10)의 중량이 파지부(21)가 파지한 웨이퍼 일 부분에 집중되므로 자체 중량에 의해 웨이퍼(10)가 파괴될 가능성도 있었다.

또한, 종래의 웨이퍼 수동 튀져는 웨이퍼 자체의 특성 평가를 위해 화학물질 용액에 담그는 FPD 등의 분석 작업에서 자체가 손상되는 일이 있으므로 화학물질을 이용하는 검사에서 튀져로 사용하기 어렵다는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 종래의 수동 튀져에 의한 웨이퍼 파지의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대구경의 웨이퍼도 안정적으로 파지할 수 있는 수동 튀져를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도1 및 도2는 종래의 수동 튀져을 사용하여 웨이퍼를 파지한 상태를 나타내는 평면도 및 측면도이다.

도3은 본 발명의 일 실시예를 나타내는 개략적 평면도이다.

도4는 도3과 같은 수동 튀져에서 두 가지부 말단에 존재하는 고정 그립 구성을 개략적으로 나타내는 부분 단면도이다.

도5는 도3과 같은 수동 튀져에서 손잡이와 연결되는 줄기부의 그립을 나타내는 개략적 부분 단면도이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 수동 튀져는 웨이퍼 원주 상의 3 곳에서 웨이퍼를 지지할 수 있는 3접점식으로 이루어진다. 가령, 본 발명의 수동 튀져는 전체가 영문자 Y 자형으로 하나의 줄기부에서 두 가지부가 분기되는 형태로 이루어진다. Y 자형 수동 튀져는 두 가지부 끝단과 줄기부 중간에 웨이퍼를 파지하기 위한 그립(Grip)을 하나씩 3개의 그립을 구비하는 것이 바람직하며, 3 개의 그립 가운데 적어도 하나는 웨이퍼의 크기에 따라 조정 가능하게 위치를 변동시킬 수 있도록 형성하는 것이 바람직하다. 특히, 가지부의 두 그립은 고정이고, 줄기부의 하나의 그립은 조정가능하게 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 튀져는 적어도 웨이퍼가 닿는 부분, 손잡이 부분을 제외하고 웨이퍼를 지지하는 부분에서 테프론 등의 화학적으로 안정된 소재를 사용하여 형성하는 것이 바람직하다.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

도3은 본 발명의 일 실시예를 나타내는 개략적 평면도이다.

도3에 따르면, 발명의 수동 튀져(30)는 전체가 영문자 Y 자형으로 하나의 줄기부(32)에서 두 가지부(35)가 분기되는 형태로 이루어진다. 분기점(31)에서 먼 쪽의 줄기부(32)에는 작업자가 튀져(30)를 쥐는 손잡이(33)가 형성된다. 본 실시예의 Y 자형 수동 튀져(30)는 두 가지부(35) 끝단과 줄기부(32) 중간에 웨이퍼(10)를 파지하기 위해 원형으로 도시된 그립(Grip:34,36)을 하나씩 도합 3개의 그립(34,36)을 구비한다. 3 개의 그립 가운데 적어도 하나는 웨이퍼(10)의 크기에 따라 조정 가능하도록 혹은 파지시 웨이퍼(10)를 탈착하기 용이하게 위치를 변동시킬 수 있도록 형성한다. 바람직하게는 가지부(35)의 두 그립(36)은 고정 그립이고, 줄기부(32)의 하나의 그립(34)은 줄기가 형성된 방향으로 이동가능하게 형성된 조정 그립이다.

수동 튀져(30)는 손잡이(33)를 제외한 전체가 테플론(Teflon) 재질로 형성될 수 있다. 따라서 웨이퍼(10)의 화학적 방법을 이용하는 검사 등의 목적으로 웨이퍼(10)를 식각 용액 (가령, FPD에서 SECCO 식각액, DSOD시의 불산, 질산, 메탄올 용액)에 담그거나 건지는 작업을 할 때에도 안정적으로 사용할 수 있다.

도4는 도3과 같은 수동 튀져에서 두 가지부(35) 말단에 존재하는 고정 그립(36) 구성을 개략적으로 나타내는 부분 단면도이다. 그립(36) 부분은 다른 가지부(35)와 단차를 가져 웨이퍼(10)가 그립면(361)에서만 튀져와 접촉하도록 된다. 그리고, 웨이퍼(10)의 미끄러짐을 막고 닿는 부분을 고정시키기 위해 그립면(361)의 가지부(35) 말단 쪽에 블럭(363)이 형성된다. 블럭(363)은 측면(364)은 역슬롭을 가져 그립면(361)과 함께 웨이퍼(10)를 고정시키는 홈을 형성하게 된다.

도5는 도3과 같은 수동 튀져에서 손잡이와 연결되는 줄기부(32)의 그립(34)을 나타내는 개략적 부분 단면도이다. 도5에 따르면, 줄기부(32)의 그립(34)도 웨이퍼(10)와 접하는 부분은 다른 줄기부의 부분으로 부터 단차진 높은 그립면(341)을 형성한다. 그리고, 단차진 그립면(341)의 손잡이쪽 단부에는 웨이퍼(10)의 수평 이동과 미끄러짐을 방지하는 블럭(343)이 형성된다. 블럭(343)은 혹은 블럭(343)과 그립면(341)은 슬라이딩 바(345)에 고정되도록 놓이며, 슬라이딩 바(345)는 줄기부(32) 내부에 설치되는 레인(323) 위에 놓인다. 레인(323)에는 특정 위치에 오목홈(325)을 형성하여 슬라이딩 바(345) 하부에 형성된 볼록홈(347)과 정합되도록 한다. 따라서, 웨이퍼(10)를 튀져로 잡을 때에는 블럭(343)을 손잡이쪽으로 이동시켜 웨이퍼(10)가 장착될 공간을 만들고, 웨이퍼(10)가 장착되면 웨이퍼(10)가 미끄러지지 않도록 블럭(343)을 가지부 쪽으로 이동시켜 레인(323)의 오목홈에 블럭(343)이 놓인 슬라이딩 바(345)의 볼록홈(347)을 정합시켜 고정시킨다.

이상의 예에서 조정 그립에서 홈을 통한 고정과 블럭의 이동을 용이하게 하도록 슬라이딩 바에는 평판 스프링을 장착할 수 있다. 슬라이딩 바 및 레인은 미끄러짐이 용이한 메탈 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 슬라이딩 바와 레인을 길게 형성하고, 적정 위치에 홈을 더 형성하면 웨이퍼 구경에 따라 가령 8인치와 12인치 웨이퍼 파지에 공용할 수 있다. 홈의 형성 위치는 가령 12인치 웨이퍼가 파지될 때 웨이퍼가 파손되지 않도록 웨이퍼 크기보다 0.3mm 정도 여유를 갖는 위치에 형성하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 12인치 같은 대구경 웨이퍼도 안정적으로 파지할 수 있으며, 재질의 선택에 따라 화학약품을 이용한 검사 등에도 파손의 위험 없이 안정적으로 사용할 수 있다.

Claims (4)

1. 웨이퍼 원주 상의 3 곳에서 웨이퍼를 지지할 수 있는 3접점식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수동 튀져.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 수동 튀져의 몸체가 전체적으로 영문자 Y 자형으로, 하나의 줄기부에서 두 가지부가 분기되는 형태로 이루어지며,

   상기 두 가지부 끝단과 상기 줄기부 중간에 웨이퍼를 파지하기 위한 그립(Grip)을 하나씩 구비하는 것을 특징으로 하는 수동 튀져.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 가지부에 설치된 두 개의 그립은 고정식으로 형성되고,

   상기 줄기부에 설치된 하나의 그립은 조정 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 수동 튀져.
4. 제 2 항에 있어서,

   적어도 상기 줄기부 외측에 형성되는 손잡이 부분을 제외한, 웨이퍼를 지지하는 부분이 테프론 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수동 튀져.