KR0121229Y1 - 웨이퍼 핸들링용 튀저 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 핸들링용튀저의 양레그가 복원력을 갖도록 하여 교차되도록 설치되어, 레그에 가한힘을 제거한 상태에서도 복원력에 의해 웨이퍼의 물림상태가 유지되어 웨이퍼의 핸들링시 웨이퍼의 물림상태를 유지하기 위한 부가적인 힘이 불필요하게 되므로 웨이퍼의 취급을 용이하게 할 수 있도록 한것이다.

이를 위해, 본 고안은 일측 선단이 고정핀에 의해 결합되어 양측이 벌어지는 방향으로 복원력을 갖는 한 쌍의 레그와, 상기 레그 선단에 서로 대향하도록 일체로 형성된 파지편을 구비한 웨이퍼 핸들링용 튀저에 있어서, 상기 한쌍의 레그(1)가, 상기 고정핀(2)에 의해 결합된 일측 선단에서 파지편(3)이 형성된 타측 선단으로 갈수록 중앙부가 볼록한 라운드형으로 형성됨과 동시에 파지편(3) 전방에서 서로 교차하도록 형성되어, 양측 레그(1)의 간격이 좁아짐에 따라 상기 파지편(3) 사이의 간격이 벌어지고 양측 레그(1)의 간격이 넓어짐에 따라 상기 파지편(3) 사이의 간격이 좁아지게 되므로써, 상기 레그(1)의 조작에 의해 파지편(3) 사이에 웨이퍼(4)가 물릴 수 있도록 한 것이다.

Description

웨이퍼 핸들리용 튀저

제1도는 종래의 튀저에 웨이퍼가 물린상태를 나타낸 사시도.

제2도는 본 고안의 사용상태를 나타낸 사시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 레그 2 : 파지편

본 고안은 웨이퍼 핸들링용 튀저(tweezers)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 튀저에 지속적인 힘을 가하지 않고도 웨이퍼의 물림상태가 유지되도록 하여 작업자가 웨이퍼의 핸들링을 보다 용이하게 할수 있도록 한것이다.

일반적으로, 반도체 공정에서 웨이퍼를 다루는 것은 매우 중요한 일이며 대단히 조심스러워야 한다.

반도체 공정중 웨이퍼는 캐리어(carrier), 보트(boat)혹은 장비내 취구(fixture)에 언로딩 및 로딩되고 또 이들 사이를 옮겨 다니게 된다.

이를 위해서는 여러가지 핸들링 방법이 사용된다.

웨이퍼를 취급하는 여러가지 방법중에서 튀저로 웨이퍼를 취급하는 방법이 가장 오랫동안 이용되어 왔는데, 이는 사용및 휴대가 간편하기 때문이다.

한편, 튀저에 물린 웨이퍼의 가장자리 부분은 반복적인 취급에 따라 손상을 입게 되는데, 튀저의 양레그(leg)의 끝단이 계단모양으로 절곡되어 있어 웨이퍼면이 가장자리로 부터 일정한도이상 물려 손상되는 것을 방지하게 된다

종래의 튀저는 제1도에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 레그(1a)알단이 핀(2)등으로 결합되고 레그(1a)의 타단에는 각각 상호대향되는 파지편(3a)이 형성되어 있어 웨이퍼(4)를 핸들링시 항상 벌어져 있는 양레그(1a)를 작업자가 손으로 잡고, 집고자 하는 웨이퍼(4)의 가장자리가 상기 레그(1a)타단에 형성된 파지편(3a)의 상,하면 사이에 위치된 상태에서 레그(1a)에 힘을 가해 오무러지도록 하므로써 작업자가 튀저로써 웨이퍼(4)를 집어 핸들링 할수 있게 된다.

또한 웨이퍼(4)의 핸들링이 끝난 후 웨이퍼(4)를 다른 일정한 장소에 안치시킬 필요가 있을 때에는 튀저의 양레그(1a)에 가한 손가락의 힘을 제거하므로써 웨이퍼(4)의 물림상태를 해제시킬 수 있게 된다.

그러나, 이와 같은 종래의 튀저는 웨이퍼(4)의 핸들링시 작업자가 튀저로부터 웨이퍼(4)가 빠져나가지 않도록 지속적으로 힘을 가하고 있어야 하므로 사용이 불편하고, 부주의로 말미암아 손의 악력이 제거되거나 약해진 경우에 튀저로 부터 웨이퍼(4)가 이탈되어 파손되는 등의 문제점이 있었다.

본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서 웨이퍼가 튀저에 물린 상태에서 튀저에 가해진 힘을 제거한 후에도 양레그의 복원력에 의해 웨이퍼의 물림상태가 해제되지 않도록 하므로써 웨이퍼의 취급이 용이해질 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 고안은 일측 선단이 고정핀에 의해 결합되어 양측이 벌어지는 방향으로 복원력을 갖는 한쌍의 레그와, 상기 레그선단에 서로 대향하도록 일체로 형성된 파지편을 구비한 웨이퍼 핸들링용 튀저에 있어서 : 상기 한쌍의 레그가, 상기 고정핀에 의해 결합된 일측 선단에서 파지편이 형성된 타측 선단으로 갈수록 중앙부가 볼록한 라운드형으로 형성됨과 동시에 파지편 전방에서 서로 교차하도록 형성되어, 상기 레그의 조작에 의해 양측 레그의 간격이 좁아짐에 따라 상기 파지편 사이의 간격이 벌어지고 양측 레그의 간격이 넓어짐에 따라 상기 파지편 사이의 간격이 좁아지게 되므로써, 상기 레그의 조작에 의해 파지편 사이에 웨이퍼가 물릴 수 있도록 한 웨이퍼 핸들링용 튀저가 제공된다.

이하, 본 고안의 일실시예를 첨부도면 제2도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제2도는 본 고안의 사용상태를 나타낸 사시도로서, 중앙부가 볼록형상인 금속재로 된 한쌍의 레그(1) 일단이 고정핀(2) 또는 리벳등으로 결합되어 서로 대향하도록 형성되고, 상기 양측 레그(1)의 타단에는 양측 레그(1)의 간격이 좁아지도록 양측 레그에 가했던 누름력을 제거함에 따라 서로 접근하는 파지편(3)이 일체로 형성되어 구성된다.

이와 같이 구성된 본 고안은 제2도에 나타낸 바와 같이, 작업자가 자연상태 및 최초에 튀저를 파지한 상태에서는 금속재로된 한쌍의 레그(1)에 작용하는 상호반대방향으로의 복원력에 의해 레그(1)타단의 상호 교차되도록 형성된 파지편(3)은 완전히 밀착된 상태를 유지하게 된다.

이러한 상태에서 양측 레그(1)의 볼록하게 형성된 중앙부에 엄지손가락으로 적당히 힘을 가하면, 양레그(1)의 파지편(3)이 이격되므로, 상기 파지편(3)의 간격을 조절하여 웨이퍼(4)의 가장자리가 물릴 수 있도록 위치시킨다.

그 후, 레그(1)에 가해진 엄지손가락의 힘을 풀어주면, 양레그(1)의 상호 반대방향으로 작용하는 복원력에 의해 웨이퍼(4)의 물림상태가 유지되므로 인해 웨이퍼(4)의 물림상태를 유지하기 위해 항상 일정한 힘을 가할 필요가 없으며, 레그(1)에 가한 힘을 완전히 제거한 상태에서도 웨이퍼(4)의 물림상태가 유지되므로 작업자가 편리하게 튀저를 사용하여 웨이퍼(4)를 핸들링할 수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 고안은 웨이퍼 핸들링용 튀저의 양레그(1)가 복원력을 갖도록 하는 한편 교차하도록 설치되어, 레그(1)에 가한 힘을 제거한 상태에서도 복원력에 의해 웨이퍼(4)의 물림상태가 유지되어 웨이퍼(4)의 핸들링시 웨이퍼(4)의 물림상태를 유지하기 위한 부가적인 힘이 불필요하게 되므로, 웨이퍼의 취급이 용이하게 되고, 이에따라 작업능률을 향상시킬 뿐만아니라, 튀저의 신뢰성과 효율성을 향상시킨 매우 유용한 고안이다.

Claims (1)

1. 일측 선단이 고정핀에 의해 결합되어 양측이 벌어지는 방향으로 복원력을 갖는 한쌍의 레그와, 상기 레그 선단에 서로 대향하도록 일체로 형성된 파지편을 구비한 웨이퍼 핸들링용 튀저에 있어서 : 상기 한쌍의 레그(1)가 상기 고정핀(2)에 의해 결합된 일측 선단에서 파지편(3)이 형성된 타측 선단으로 갈수록 중앙부가 볼록한 라운드형으로 형성됨과 동시에 파지편(3) 전방에서 서로 교차하도록 형성되어, 상기 레그(1)의 조작에 의해 양측 레그(1)의 간격이 좁아짐에 따라 상기 파지편(3) 사이의 간격이 벌어지고 양측 레그(1)의 간격이 넓어짐에 따라 상기 파지편(3) 사이의 간격이 좁아지게 되므로써, 상기 레그(1)의 조작에 의해 파지편(3) 사이에 웨이퍼(4)가 물릴 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 핸들링용 튀저.