KR20230173393A - 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템에 관한 것으로서, 내부공간이 형성되는 본체부; 상기 내부공간에 설치되되 외부로부터 동력을 제공받아 회전 가능하게 마련되는 회전부; 상기 회전부의 상측에 결합되며, 판 형상으로 마련되는 척부; 상기 척부의 상측에 결합되며, 액체가 상면에 안착되는 경우 상기 회전부에 의하여 회전됨으로써 박막을 형성하는 웨이퍼부; 및 상기 웨이퍼부가 내부에 수용되도록 상기 본체부에 설치되는 격벽부를 포함하되, 상기 격벽부는, 푸시래치(Push-Latch) 방식으로 상기 본체부로부터 탈부착 가능하게 마련되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 격벽부를 쉽게 탈부착할 수 있어, 스핀코터 사용 후 청소 및 관리가 크게 개선된다.

Description

푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템{SPIN COATER SYSTEM}
본 발명은 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템에 관한 것이다.
스핀코터(Spin Coater)란, 웨이퍼나 기판에 포토레지스트 또는 BCB(Benzo Cyclo Butene)와 같은 액체 물질을 떨어트리고 고속으로 회전시켜 웨이퍼 또는 기판의 상면에 얇은 막을 형성하는 것으로서, 박막 공정의 기본 장비이다.
이러한 스핀코터는 일반적으로, 벽을 이루는 보울과, 진공을 형성하는 진공펌프와, 외부로부터 동력을 제공받아 회전하는 척과, 척에 결합되는 웨이퍼로 마련된다.
상술한 종래의 스핀코터는 척과, 척에 결합된 웨이퍼가 회전됨으로써 웨이퍼 위에 떨어트린 액체가 웨이퍼의 가장자리쪽으로 점점 퍼지게 되는데, 이때, 원심력에 의하여 웨이퍼에 안착된 액체가 웨이퍼를 벗어나 보울의 내벽에 충돌함으로써 보울이 오염될 수 있다는 문제점이 있다.
또한, 보울에 충돌된 액체가 보울에서 되튕겨져 웨이퍼에 재 안착할 수 있는데 이러한 동작에 따르면 생성되는 박막의 두께가 일정치 못하게 된다는 문제점이 있으며, 하나의 스핀코터로 다양한 종류의 액체를 사용하므로 웨이퍼에서 벗어나 내부에 잔존하는 액체가 다른 실험시 간섭될 수 있다는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-2098108호는 상술한 문제점을 해결하고자, 스핀코터 내부에 격벽을 설치하는 방법을 제안하였다. 그러나, 한국등록특허 제10-2098108호의 격벽은 격벽의 설치 및 해제가 어려워, 스핀코터의 사용 후, 청소 및 관리가 어렵다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 격벽부를 푸시래치 방식으로 탈부착가능하게 마련함으로써, 스핀코터 사용 후 청소 및 관리가 크게 개선되는 스핀코터 시스템을 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 내부공간이 형성되는 본체부; 상기 내부공간에 설치되되 외부로부터 동력을 제공받아 회전 가능하게 마련되는 회전부; 상기 회전부의 상측에 결합되며, 판 형상으로 마련되는 척부; 상기 척부의 상측에 결합되며, 액체가 상면에 안착되는 경우 상기 회전부에 의하여 회전됨으로써 박막을 형성하는 웨이퍼부; 및 상기 웨이퍼부가 내부에 수용되도록 상기 본체부에 설치되는 격벽부를 포함하되, 상기 격벽부는, 푸시래치(Push-Latch) 방식으로 상기 본체부로부터 탈부착 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템에 의해 달성된다.
또한, 본 발명은, 사용자에 의하여 조작되며, 상기 내부공간으로부터 상기 웨이퍼부를 이탈시키는 핀셋부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 척부는, 상기 회전부에서 탈부착 가능하게 마련되고, 외주면에 상기 핀셋부가 삽입될 수 있도록 삽입홀이 형성될 수 있다.
또한, 상기 척부는, 상기 웨이퍼부가 상면에 결합되는 경우 상기 핀셋부가 상기 웨이퍼부와 상기 척부의 사이에 삽입되어 상기 웨이퍼부의 하면에 접촉되도록, 상면에 한 쌍으로 마련된 함몰홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 본체부는, 상기 핀셋부가 삽입 거치될 수 있는 보관모듈이 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 격벽부를 쉽게 탈부착할 수 있어, 스핀코터 사용 후 청소 및 관리가 크게 개선된다.
또한, 본 발명에 따르면, 핀셋부를 본체부에 용이하고 안전하게 보관 할 수 있어, 핀셋부의 오염이 방지되고, 핀셋부의 분실이 효과적으로 방지된다.
또한, 본 발명에 따르면, 바이알을 본체부에 수직하게 보관할 수 있어, 바이알의 분실이 효과적으로 방지되고, 작업자의 실수로 바이알이 낙하하여 발생할 수 있는 문제가 방지되는 효과가 있다.
한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 이하에서 설명할 내용으로부터 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 효과들이 포함될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템을 전체적으로 도시한 사시도이고,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 분해 사시도이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 격벽부를 도시한 것이고,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 격벽부의 결합 구조를 도시한 것이고,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 동작 시 격벽부의 기능에 대한 내용을 확인할 수 있는 도면이고,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 척부를 도시한 것이고,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 핀셋부의 다양한 형상의 변형예를 도시한 것이고,
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 조리개부의 동작을 도시한 것이고,
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 조리개부의 분해 사시도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다.
그리고 본 발명의 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다.
지금부터는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템에 대해서 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템을 전체적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 격벽부를 도시한 것이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 격벽부의 결합 구조를 도시한 것이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 동작 시 격벽부의 기능에 대한 내용을 확인할 수 있는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 척부를 도시한 것이고, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 핀셋부의 다양한 형상의 변형예를 도시한 것이고, 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 조리개부의 동작을 도시한 것이고, 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템의 조리개부의 분해 사시도이다.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템(100)은 본체부(110)와, 회전부(120)와, 척부(130)와, 웨이퍼부(140)와, 격벽부(150)와, 핀셋부(160)를 포함한다.
본체부(110)는 내부에 공간이 형성되는 것으로서 후술하는 회전부(120)와, 척부(130)와, 웨이퍼부(140)와, 격벽부(150)가 설치된다.
이러한 본체부(110)는 외부로부터 전기에너지를 제공받아 후술하는 회전부(120)에 회전력을 제공할 수 있으며, 회전부(120)의 회전수 및 회전속도 등을 입력할 수 있는 입력부가 설치될 수 있다.
예컨대, 본체부(110)의 내부에는 외부로부터 전기에너지를 제공받아 작동하는 모터가 설치될 수 있으며 이러한 모터는 후술하는 회전부(120)와 결합되어 회전부(120)에 회전력을 제공할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본체부(110)는 상측이 개방되는 원기둥 형상으로 마련될 수 있으나, 상술한 원기둥 형상에 제한되지 않고 후술하는 회전부(120)와, 척부(130)와, 웨이퍼부(140)와, 격벽부(150)가 내부공간에 설치될 수 있는 형상이라면 어떠한 형상으로 구비되더라도 무방하다.
또한, 도면에는 도시되지 않았지만, 본체부(110)의 일측에는 본체부(110)의 개방된 부분을 마감하는 뚜껑이 회동가능하게 설치될 수 있다. 이러한 뚜껑은 본체부(110)의 상측에 접촉되어 회동됨으로써 개방된 부분을 마감할 수 있다.
이때, 뚜껑의 상면에는 후술하는 웨이퍼부(140)의 중앙부와 대항되는 위치에 홀이 형성될 수 있는데, 이러한 홀을 통하여 사용자가 액체를 웨이퍼부(140) 상면에 안착시킬 수 있다.
그리고 이러한 뚜껑은 외부에서 내부의 동작을 관찰할 수 있도록 투명 또는 반투명한 재질로 마련되는 것이 바람직하다.
한편, 상술한 뚜껑은 필요에 따라 여닫을 수 있으며, 상술한 형상에 제한되지 않고 본체부(110)의 개방된 부분을 마감하되 외부에서 웨이퍼부(140) 상면으로 액체를 안착시킬 수 있는 홀이 형성된 형상이라면 어떠한 형상으로 마련되더라도 무방하다.
또한, 본체부(110)에는 후술하는 격벽부(150)가 푸시래치(Push-Latch) 방식으로 탈부착 될 수 있도록 고정모듈(110a)이 설치된다. 고정모듈(110a)은 후술하는 격벽부(150)의 저면에서 형성된 돌출모듈(150a)이 삽입되는 경우 돌출모듈(150a)을 양측면에서 압박하여 돌출모듈(150a)이 고정모듈(110a)에 장착되게 한다.
이후, 돌출모듈(150a)에 압력이 다시 가압되면, 양측에서 압박하던 고정모듈(110a)의 탄성력이 해제되어 돌출모듈(150a)의 고정이 해제되어 격벽부(150)가 본체부(110)에서 이탈된다.
상술한 바와 같은 고정모듈(110a)의 구조에 따르면, 후술하는 격벽부(150)가 푸시래치(Push-Latch) 방식으로 탈부착 될 수 있고, 이에 따르면, 격벽부(150)가 쉽게 탈부착될 수 있어, 스핀코터 사용 후 청소 및 관리가 크게 개선된다.
또한, 본체부(110)의 일측에는 후술하는 핀셋부(160)가 삽입 거치될 수 있는 보관모듈(110b)이 형성될 수 있다.
보관모듈(110b)은 핀셋부(160)이 거치될 수 있도록 핀셋부(160)에 대응되는 공간을 가지도록 마련된다. 보관모듈(110b)은 핀셋부(160)가 가로방향이나 세로방향으로 거치될 수 있도록 마련될 수 있는데, 핀셋부(160)가 세로로 거치되는 경우, 핀셋부(160)의 단부가 손상되지 않도록 보관모듈의(110b)의 저면은 개방되는 형태로 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 보관모듈(110b)은 핀셋부(160)가 살균, 소독될 수 있도록 자외선 조사모듈(미도시)을 포함할 수 있다.
상술한 보관모듈(110b)에 따르면, 핀셋부(160)를 본체부(110)에 용이하고 안전하게 보관 할 수 있어, 핀셋부(160)의 오염이 방지되고, 핀셋부(160)의 분실이 효과적으로 방지된다.
또한, 본체부(110)의 일측에는 바이알이 수직하게 보관될 수 있도록 수직중통모듈(110c)이 형성될 수 있다. 이러한 수직중통모듈(110c)은 본체부(110)의 일측에 설치되며 중통형상으로 마련되는 수직부(110c1)와, 수직부(110c1)의 중심부분에 설치되며 다양한 사이즈의 바이알의 직경에 대응될 수 있도록 조리개 형태로 직경을 조절할 수 있도록 마련되는 조리개부(110c2)와, 수직부(110c1)에 설치되며 바이알의 외면에 부착되는 바코드를 리딩하여 바이알 시약의 종류에 따라 수직부 내부의 온도를 조절하는 온도조절부(미도시)를 포함할 수 있다.
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같은 조리개부(110c2)에 따르면, 다양한 바이알의 직경에 대응하여 바이알을 효과적으로 고정할 수 있는 효과가 기대되며, 온도조절부(미도시)에 따르면, 다양한 시약 종류에 따라 최적으로 시약을 보관할 수 있는 효과가 기대된다.
한편, 수직중통부(110c)는 바코드 리딩결과 시약의 보관 시 극저온이 필요한 경우 별도로 소리, 빛 등을 이용하여 외부로 알람을 줄 수 있는 알람부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 수직중통모듈(110c)에 따르면, 바이알을 본체부(110)에 수직하게 보관할 수 있어, 바이알의 분실이 효과적으로 방지되고, 작업자의 실수로 바이알이 낙하하여 발생할 수 있는 문제가 방지되는 효과가 있으며, 다양한 바이알을 효과적으로 고정할 수 있을 뿐만 아니라, 시약의 종류에 따라 최적의 온도로 시약을 보관할 수 있는 효과가 있다.
회전부(120)는 상기 내부공간에 설치되는 것으로서 외부로부터 전기에너지를 제공받아 회전되며, 회전부(120)의 상면에는 후술하는 척부(130)가 결합될 수 있다.
이러한 회전부(120)는 본체부(110)의 내부공간의 상면에 설치되고 내부공간의 상면에 수직한 방향으로 설치되는 회전축으로 구비될 수 있다.
상술한 회전부(120)는 상부에 후술하는 척부(130)가 안착될 수 있도록 일정한 직경을 가지도록 구비되며, 사용자가 지정한 회전속도, 회전방향에 따라서 다양한 속도와 방향으로 회전될 수 있다.
이때, 사용자는 본체부(110)에 설치된 입력부를 통해서 회전부(120)의 회전속도와 회전방향을 지정할 수 있다.
또한, 회전부(120)는 높이 조절이 가능하게 마련될 수 있으며, 사용자에 의해서 높이가 조절될 수 있다. 이러한 높이 조절이 가능한 회전부(120)의 구조에 따르면, 웨이퍼부(140)에 안착되는 액체의 점성, 액체의 양 등에 따라서 회전부(120)의 높이를 조절하여 사용할 수 있기 때문에 사용자가 용이하게 액체를 웨이퍼부(140)에 안착시킬 수 있다.
척부(130)는 회전부(120)의 상측에 결합되어 회전부(120)가 회전됨으로써 동시에 회전되는 것으로서, 후술하는 웨이퍼부(130)가 상부에 안착될 수 있도록 일정한 직경을 가진 판 형상으로 마련된다.
이때, 척부(130)의 직경은 회전부(120)의 직경보다 크게 형성될 수 있고, 회전부(120)에 탈부착 가능하도록 마련될 수 있다.
이러한 척부(130)의 외주면에는 후술하는 핀셋부(160)가 삽입될 수 있도록 삽입홀(v1)이 형성될 수 있다.
예컨대, 삽입홀(v1)은 도 6의 (a-1)에 도시된 바와 같이 척부(130)의 외주면에서 중앙방향으로 일부가 관통되는 형상으로 마련될 수 있는데, 이러한 삽입홀(v1)은 한쌍으로 마련되어 서로 마주하도록 형성될 수 있다.
이러한 삽입홀(v1)의 구조에 따르면, 삽입홀(v1)의 일단과 타단에 후술하는 핀셋부(160)가 삽입될 수 있으므로 사용자가 핀셋부(160)를 파지함으로써 척부(130)를 용이하게 회전부(120)에서 이탈시킬 수 있다.
또한, 도 7의 (b-1)에 도시된 바와 같이 삽입홀(v1)에는 외주면을 따라 일정한 깊이의 함몰홈이 형성될 수도 있다.
이러한 척부(130)의 함몰홈에 따르면, 사용자가 핀셋부(160)로 척부(130)를 파지하는 경우 핀셋부(160)가 함몰홈에 접촉되어 상하측에 돌출된 부분에 간섭되므로 보다 안정적으로 척부(130)를 파지할 수 있다. 이에 따르면, 척부(130)가 핀셋부(160)에서 이탈되는 것이 용이하게 방지될 수 있는 효과가 있다.
한편, 도 6의 (c-1)과 (d-1)에 도시된 바와 같이 척부(130)의 상면에는 후술하는 웨이퍼부(140)의 하면과 척부(130)사이에 핀셋부(160)가 삽입될 수 있도록 함몰홈이 형성될 수 있다.
이때, 함몰홈은 척부(130)의 중앙부에 홀이 형성되는지의 유무에 따라 길이가 달라질 수 있다.
예컨대, 도 6의 (c-1)과 같이 중앙부에 홀이 형성되는 척부(130)는 함몰홈이 중앙부의 홀을 중심으로 마주보는 한쌍으로 마련되며, 도 6의 (d-1)과 같이 중앙부에 홀이 형성되어 있지 않은 척부(130)는 함몰홈이 척부(130)의 일면에서부터 마주하는 타면까지 관통되도록 형성된다.
이러한 함몰홈에 따르면, 사용자가 핀셋부(160)를 척부(130)와 웨이퍼부(140) 하면 사이에 삽입할 수 있으므로, 웨이퍼부(140)를 척부(130)에서 용이하게 분리시킬 수 있는 효과가 있다.
더 자세히 설명하면, 핀셋부(160)는 척부(130)에 웨이퍼부(140)가 결합되어 있는 상태에서 함몰홈에 삽입되어 웨이퍼부(140)의 하면에만 접촉될 수 있는데, 이때, 핀셋부(160)에 의하여 웨이퍼부(140)의 하면이 지지되므로 웨이퍼부(140)가 척부(130)에서 안전하게 이탈될 수 있다.
이에 따르면, 척부(130)에 웨이퍼부(140)가 결합되어 있는 상태에도 핀셋부(160)가 웨이퍼부(140)의 하면에 접촉될 수 있으므로 박막이 형성된 웨이퍼부(140)의 상측을 건드리지 않고도 척부(130)에서 웨이퍼부(140)가 이탈될 수 있다.
웨이퍼부(140)는 액체가 안착되어 웨이퍼부(130)의 가장자리로 이동되는 것으로써, 척부(130)의 상측에 탈부착 가능하게 결합되며 척부(130)가 회전됨으로써 함께 회전된다.
이러한 웨이퍼부(140)는 실리콘, 글라스, 게르마늄등의 가벼운 재질로 마련되고, 원형, 삼각형, 사각형 등 다양한 형상으로 마련될 수 있다.
상술한 웨이퍼부(140)에는 박막을 형성하고자 하는 액체가 중앙부에 안착되는데, 회전부(120)에 의하여 웨이퍼부(140)가 회전됨으로써 안착된 액체가 웨이퍼부(140)의 가장자리로 얇게 퍼지게 되어 얇은 막 즉, 박막이 형성될 수 있다.
이때, 박막의 두께는 웨이퍼부(140)의 크기, 액체의 양, 웨이퍼부(140)의 회전속도에 따라서 달라질 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 격벽부(150)는 웨이퍼부(140)를 수용하는 수용공간이 형성되도록 중통형으로 마련되는 것으로서 본체부(110)에 설치되어, 박막형성 시 웨이퍼부(140)에서 이탈되는 액체가 본체부(110)의 벽면에 튀는 것을 방지한다.
이러한 격벽부(150)는 푸시래치(Push-Latch) 방식으로 탈부착 될 수 있도록 마련된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 격벽부(150)는 본체부(110)에 푸시래치(Push-Latch) 방식으로 탈부착 될 수 있도록 저면에 돌출모듈(150a)이 형성된다. 돌출모듈은 상술한 본체부(110)에 형성된 고정모듈(110a)에 장착되는 부분으로서, 돌출모듈(150a)이 고정모듈(110a)의 상측에서 삽입되면, 고정모듈(110a)의 양측이 돌출모듈(150a)의 양측을 압박하여 돌출모듈(150a)이 고정됨으로써 격벽부(150)가 본체부(110)에 고정된다.
이후, 돌출모듈(150a)에 압력이 다시 가압되면, 양측에서 압박하던 고정모듈(110a)의 탄성력이 해제되어 돌출모듈(150a)의 고정이 해제되어 격벽부(150)가 본체부(110)에서 이탈된다.
상술한 바와 같은 돌출모듈(150a)의 구조에 따르면, 후술하는 격벽부(150)가 푸시래치(Push-Latch) 방식으로 탈부착 될 수 있고, 이에 따르면, 격벽부(150)가 쉽게 탈부착될 수 있어, 스핀코터 사용 후 청소 및 관리가 크게 개선된다.
핀셋부(160)는 본체부(110)의 내부공간으로부터 웨이퍼부(140)를 이탈시키는 것으로서, 사용자에 의하여 조작된다.
핀셋부(160)는 도 7에 도시된 바와 같이, 다양한 형태로 마련될 수 있는데, 이러한 다양한 형태의 핀셋부(160)는 척부(130)의 형상과 종류에 따라 선택적으로 사용될 수 있다.
예컨대, 사용자는 도 7의 (a-1),(a-2)에 도시된 바와 같은 핀셋부(160)의 양단을 도 6의 (a-1)에 도시된 척부(130)의 삽입홀(v1)에 삽입하여, 이동시킴으로써 척부(130)를 안정적으로 이동시킬 수 있으며, 사용자는 도 6의 (b-1)에 도시된 척부(130)의 함몰홈에 핀셋부(160)의 양단을 끼우고 외력을 제공함으로써 척부(130)를 회전부(120)에서 이탈시켜 안정적으로 이동시킬 수 있다.
또한, 사용자는 도 7의 (a-1),(a-2)에 도시된 바와 같은 핀셋부(160)의 양단을 도 6의 (c-1),(d-1)에 도시된 척부(130)의 함몰홈에 삽입하여 웨이퍼부(140)의 하면에 접촉시킴으로써 웨이퍼부(140)의 상면을 건드리지 않고 안전하게 웨이퍼부(140)를 척부(130)에서 이동시킬 수 있다.
상술한 핀셋부(160)에 의하여 척부(130)가 용이하고 안전하게 이동가능 하므로 척부(130)의 상면에 결합된 웨이퍼부(140) 또한 용이하고 안전하게 이동될 수 있다. 또한, 이에 따르면, 웨이퍼부(140)와, 웨이퍼부(140)에 형성된 박막과 핀셋부(160)가 접촉되지 않으므로 박막 손상이 방지되는 효과가 있다.
한편, 핀셋부(160)는 웨이퍼부(140)의 하면에 접촉되어 웨이퍼부(140)를 이동시킬 수 있다.
척부(130)의 형상과 관계없이 척부(130)에서 웨이퍼부(140)만을 이동시키는 경우, 도 6의 (b-1)에 도시된 핀셋부(160)가 사용될 수 있다.
도 6의 (b-1)에 도시된 핀셋부(160)의 양단은 서로 평행하게 돌출형성된 판 형상으로 마련되는데, 이러한 핀셋부(160)의 형상에 따르면, 웨이퍼부(140)의 하단에 넓은 면적의 핀셋부(160)가 접촉될 수 있으므로 웨이퍼부(140)를 보다 견고하게 지지할 수 있는 효과가 있다.
상술한 핀셋부(160)의 구조에 따르면, 웨이퍼부(140)에 형성된 박막에 핀셋부(160)가 접촉되지 않고도 웨이퍼부(140)가 안전하게 척부(130)에서 이탈되어 이동될 수 있으므로, 박막 손상이 용이하게 방지되고 간단하게 웨이퍼부(140)가 이동될 수 있는 효과가 있다.
이상 전술한 본체부(110)와, 회전부(120)와, 척부(130)와, 웨이퍼부(140)와, 격벽부(150)와, 핀셋부(160)를 포함하는 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템(100)에 따르면, 격벽부(150)를 쉽게 탈부착할 수 있어, 스핀코터 사용 후 청소 및 관리가 크게 개선된다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템(100)에 따르면, 핀셋부(160)를 본체부(110)에 용이하고 안전하게 보관 할 수 있어, 핀셋부(160)의 오염이 방지되고, 핀셋부(160)의 분실이 효과적으로 방지된다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템(100)에 따르면, 바이알을 본체부(110)에 수직하게 보관할 수 있어, 바이알의 분실이 효과적으로 방지되고, 작업자의 실수로 바이알이 낙하하여 발생할 수 있는 문제가 방지되는 효과가 있다.
이상에서, 본 발명의 실시 예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합하거나 결합하여 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.
또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 본 발명의 일실시예에 따른 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템
110 : 본체부
110a : 고정모듈
110b : 보관모듈
110c : 수직중통모듈
110c1 : 수직부
110c2 : 조리개부
120: 회전부
130: 척부
140: 웨이퍼부
150: 격벽부
150a : 돌출모듈
V1 : 삽입홀

Claims (5)

  1. 내부공간이 형성되는 본체부;
    상기 내부공간에 설치되되 외부로부터 동력을 제공받아 회전 가능하게 마련되는 회전부;
    상기 회전부의 상측에 결합되며, 판 형상으로 마련되는 척부;
    상기 척부의 상측에 결합되며, 액체가 상면에 안착되는 경우 상기 회전부에 의하여 회전됨으로써 박막을 형성하는 웨이퍼부; 및
    상기 웨이퍼부가 내부에 수용되도록 상기 본체부에 설치되는 격벽부를 포함하되,
    상기 격벽부는,
    푸시래치(Push-Latch) 방식으로 상기 본체부로부터 탈부착 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    사용자에 의하여 조작되며, 상기 내부공간으로부터 상기 웨이퍼부를 이탈시키는 핀셋부를 더 포함하는 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 척부는,
    상기 회전부에서 탈부착 가능하게 마련되고, 외주면에 상기 핀셋부가 삽입될 수 있도록 삽입홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 척부는,
    상기 웨이퍼부가 상면에 결합되는 경우 상기 핀셋부가 상기 웨이퍼부와 상기 척부의 사이에 삽입되어 상기 웨이퍼부의 하면에 접촉되도록, 상면에 한 쌍으로 마련된 함몰홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 본체부는,
    상기 핀셋부가 삽입 거치될 수 있는 보관모듈이 형성되는 것을 특징으로 하는 푸시래치 방식으로 탈부착가능한 격벽부를 구비하는 스핀코터 시스템.
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