KR20230165139A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20230165139A
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히로시 고이즈미
도시노부 미야고시
오사무 신도
세이지로 스나가
마코토 야마시타
야스오 가토
미쓰요시 마키다
마사시 마쓰모토
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티디케이가부시기가이샤
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Abstract

[과제] 가압 대상물에 가해지는 하중량을 균일하게 하는 것을 가능하게 하는 기판 처리 장치를 제공한다.
[해결 수단] 가압 대상물인 기판(2)이 배치되는 하측 지그 플레이트(46)와, 하측 지그 플레이트(46)를 지지하는 복수의 기둥형상 부재(50)가 설치되는 설치부(52)를 갖는 지지 부재(45)를 갖고, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 설치부(52)에 설치 가능하게 되어 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 예를 들면 복수의 소자가 배치된 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
복수의 소자로 이루어지는 소자 어레이를 기판 상에 형성하는 기술에서는, 복수의 소자와 기판의 기계적인 접합의 강도나 접합의 안정성의 향상을 도모하기 위해, 기판 처리 장치를 이용하여, 복수의 소자가 배치된 기판에 대해 복수의 소자를 평판으로 누르는 처리가 행해진다(예를 들면 특허 문헌 1).
이런 종류의 처리를 실행하는 기판 처리 장치로서, 예를 들면, 가압 대상물(복수의 소자가 배치된 기판)이 배치되는 하측 지그 플레이트와, 하측 지그 플레이트에 배치된 가압 대상물을 가압하는 상측 지그 플레이트를 갖는 기판 처리 장치가 이용된다. 하측 지그 플레이트 상에서, 복수의 소자가 배치된 기판을 상측 지그 플레이트로 가압함으로써, 당해 기판에 하중이 부여되고, 이에 수반하여, 복수의 소자를 당해 기판에 대해 누르는 것이 가능하게 되어 있다.
근래에는, 기판에 배치되는 소자의 사이즈(높이)는 수μm 정도까지 미세화되어 있으며, 하측 지그 플레이트 혹은 상측 지그 플레이트의 표면의 평행도나 평탄도 등이 수μm 정도로 흐트러지면, 상측 지그 플레이트에 의해, 기판 상의 복수의 소자에 대해 균일한 하중을 부여하는 것이 곤란해져, 복수의 소자와 기판 사이에서 접합 불량이 발생할 우려가 있다.
또, 상측 지그 플레이트로 기판을 가압할 때에는, 하측 지그 플레이트 등에 적잖이 휨이 발생하여, 기판에 대해 균일한 하중을 부여하는 것이 곤란해진다. 그 때문에, 무(無)부하 상태에 있어서, 상측 지그 플레이트나 하측 지그 플레이트의 표면의 평행도나 평탄도 등을 어느 정도 확보할 수 있었다고 해도, 기판 가압 시에 있어서의 하중 분포의 불균일성에 기인하여, 복수의 소자와 기판 사이에서 접합 불량이 발생할 우려가 있었다.
일본국 특허공개 2010-232234호 공보
본 발명은, 이러한 실상을 감안하여 이루어지고, 그 목적은, 가압 대상물에 가해지는 하중량을 균일하게 하는 것을 가능하게 하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는,
가압 대상물이 배치되는 하측 지그 플레이트와,
상기 하측 지그 플레이트를 지지하는 복수의 기둥형상 부재가 설치되는 설치부를 갖는 지지 부재를 갖고,
복수의 상기 기둥형상 부재는, 상기 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 상기 설치부에 설치 가능하게 되어 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 하측 지그 플레이트를 지지하는 복수의 기둥형상 부재가 설치되는 설치부를 갖는 지지 부재를 갖고, 복수의 기둥형상 부재는, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 설치부에 설치 가능하게 되어 있다. 예를 들면, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에서는, 지지 부재로부터 하측 지그 플레이트에 큰 지지력이 부여되도록, 복수의 기둥형상 부재를 설치부에 설치함으로써, 하측 지그 플레이트를 휘기 어렵게 하여, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다. 또, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에서는, 지지 부재로부터 하측 지그 플레이트에 작은 지지력이 부여되도록, 복수의 기둥형상 부재를 설치부에 설치함으로써, 하측 지그 플레이트를 휘기 쉽게 하여, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 하측 지그 플레이트의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트의 휨을 조정하여, 가압 대상물에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
또, 복수의 기둥형상 부재를 설치부에 설치함으로써, 복수의 기둥형상 부재의 위치 결정이 용이해짐과 더불어, 복수의 기둥형상 부재의 위치 어긋남을 방지하여, 안정된 상태에서, 복수의 기둥형상 부재로 하측 지그 플레이트를 지지할 수 있다.
또한, 가압 대상물에 가해지는 하중을 균일하게 하는 수단으로서, 하중 인가 시에 있어서의 하측 지그 플레이트의 휨량을 실질적으로 0으로 한다는 관점에서, 하측 지그 플레이트를 고강성 재료 등으로 구성하거나, 혹은 하측 지그 플레이트를 견뢰한(강성이 높은) 프레임에 고정하는 등의 수단을 들 수 있는데, 이러한 수단을 이용하는 경우, 기판 처리 장치의 대형화, 고중량화 혹은 고비용화가 문제가 된다. 또, 원래 종래 기술에서는 하측 지그 플레이트의 휨량을 수μm 정도로 억제하는 것은 기술적으로 곤란했다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치에서는, 하측 지그 플레이트에 휨이 발생하는 것을 허용하면서, 당해 휨의 휨량을 유연하게 조정함으로써, 간이한 수단으로, 가압 대상물에 가해지는 하중을 균일하게 하는 것을 가능하게 하고 있다.
바람직하게는, 상기 설치부에는, 복수의 상기 기둥형상 부재가 각각 설치되는 복수의 설치 구멍이 형성되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 복수의 기둥형상 부재를 각각 복수의 설치 구멍에 설치하는 것만으로, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포에 따른 적절한 위치에 복수의 기둥형상 부재를 위치 결정할 수 있다.
바람직하게는, 복수의 상기 설치 구멍의 직경은, 상기 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 상이하다. 예를 들면, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에서는, 설치 구멍의 직경을 크게 하여, 직경이 큰 기둥형상 부재를 설치함으로써, 지지 부재로부터 하측 지그 플레이트에 큰 지지력이 부여되고, 하측 지그 플레이트를 휘기 어렵게 하여, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다. 또, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에서는, 설치 구멍의 직경을 작게 하여, 직경이 작은 기둥형상 부재를 설치함으로써, 하측 지그 플레이트를 휘기 쉽게 하여, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 하측 지그 플레이트의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트의 휨을 조정하여, 가압 대상물에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
바람직하게는, 복수의 상기 설치 구멍은 동심원형상으로 배치되어 있다. 동심원형상으로 배치된 복수의 설치 구멍에 복수의 기둥형상 부재를 설치하고, 복수의 기둥형상 부재를 동심원형상으로 배치함으로써, 하측 지그 플레이트의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트의 휨을 조정하기 쉬워져, 가압 대상물에 가해지는 하중의 균일화를 효과적으로 도모할 수 있다.
복수의 상기 기둥형상 부재 중 어느 하나는, 연결 부재를 통해, 상기 하측 지그 플레이트에 연결되어 있어도 된다. 이러한 구성으로 함으로써, 연결 부재를 통해, 복수의 기둥형상 부재 중 어느 하나를 하측 지그 플레이트에 강고하게 고정하는 것이 가능해져, 당해 기둥형상 부재가 배치된 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트를 휘기 어렵게 하여, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중을 효과적으로 증대시키는 것이 가능해진다.
바람직하게는, 상기 연결 부재를 통해 상기 하측 지그 플레이트에 연결된 어느 하나의 상기 기둥형상 부재는, 가압 대상물을 가압하기 위한 가압축의 하방에 배치되어 있다. 가압축의 하방에서는, 하측 지그 플레이트의 휨에 의해, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중량이 상대적으로 작아지는 경우가 있으며, 이러한 위치에 배치된 기둥형상 부재를, 연결 부재를 통해, 하측 지그 플레이트에 연결함으로써, 당해 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트의 휨을 효과적으로 방지할 수 있다.
복수의 상기 기둥형상 부재 중 어느 하나는, 연결 부재를 통해, 상기 하측 지그 플레이트 및 상기 설치부에 연결되어 있어도 된다. 어느 하나의 기둥형상 부재를 하측 지그 플레이트뿐만 아니라 설치부에도 연결함으로써, 당해 기둥형상 부재가 배치된 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트의 휨을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
복수의 기둥형상 부재 중 어느 하나는, 상기 하측 지그 플레이트 및 상기 설치부에 연결되지 않고, 상기 설치부에 설치되어 있어도 된다. 이러한 기둥형상 부재를 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에 설치함으로써, 하측 지그 플레이트를 휘기 쉽게 하여, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중을 감소시킬 수 있다.
바람직하게는, 상기 하측 지그 플레이트 및 상기 설치부에 연결되지 않은 어느 하나의 상기 기둥형상 부재는, 방열성 부재를 통해, 상기 하측 지그 플레이트에 맞닿아 있다. 이러한 구성으로 함으로써, 방열성 부재를 통해, 하측 지그 플레이트의 열을 기둥형상 부재에 전달시킴과 더불어, 기둥형상 부재를 통해, 당해 열을 외부로 방열시킬 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 1b는 도 1a에 나타내는 기판 처리 장치의 측면도이다.
도 2는, 도 1a에 나타내는 기판 처리 장치의 가압 대상인 기판을 나타내는 도면이다.
도 3a는, 도 1a에 나타내는 기판 처리 장치의 기판 가압부의 확대 측면도이다.
도 3b는, 도 3a에 나타내는 기판 가압부의 하측 지그 플레이트에 휨을 발생시켰을 때의 상태를 나타내는 확대 측면도이다.
도 4는 도 3a에 나타내는 기판 가압부의 IV-IV선을 따르는 단면도이다.
도 5a는 복수의 기둥형상 부재로 하측 지그 플레이트를 지지하지 않았을 경우에 있어서 감압지에 가해지는 하중의 면내 분포를 나타내는 도면이다.
도 5b는 복수의 기둥형상 부재로 하측 지그 플레이트를 지지했을 때에 감압지에 가해지는 하중의 면내 분포를 나타내는 도면이다.
도 6a는 도 3a에 나타내는 지지 부재의 변형예를 나타내는 확대 측면도이다.
도 6b는 도 3a에 나타내는 지지 부재의 다른 변형예를 나타내는 확대 측면도이다.
도 7a는 복수의 기둥형상 부재의 다른 배치예를 나타내는 도면이다.
도 7b는 도 7a에 나타내는 배치로 복수의 기둥형상 부재를 배치했을 때에 기판 혹은 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포를 나타내는 도면이다.
도 8a는 복수의 기둥형상 부재의 다른 배치예를 나타내는 도면이다.
도 8b는 도 8a에 나타내는 배치로 복수의 기둥형상 부재를 배치했을 때에 기판 혹은 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포를 나타내는 도면이다.
도 9a는 복수의 기둥형상 부재의 다른 배치예를 나타내는 도면이다.
도 9b는 도 9a에 나타내는 배치로 복수의 기둥형상 부재를 배치했을 때에 기판 혹은 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포를 나타내는 도면이다.
도 10a는 복수의 기둥형상 부재의 다른 배치예를 나타내는 도면이다.
도 10b는 도 10a에 나타내는 배치로 복수의 기둥형상 부재를 배치했을 때에 기판 혹은 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포를 나타내는 도면이다.
도 11은 도 3a에 나타내는 설치부의 상세 구성을 나타내는 사시도이다.
도 12a는 도 11에 나타내는 설치부의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 12b는 도 11에 나타내는 설치부의 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 12c는 도 11에 나타내는 설치부의 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 13a는, 복수의 기둥형상 부재를 설치부 및/또는 하측 지그 플레이트에 고정할 때의 고정 양태를 나타내는 도면이다.
도 13b는, 복수의 기둥형상 부재를 설치부 및/또는 하측 지그 플레이트에 고정할 때의 고정 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 13c는, 복수의 기둥형상 부재를 설치부 및/또는 하측 지그 플레이트에 고정할 때의 고정 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 14a는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 도면이다.
도 14b는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 14c는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 14d는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 14e는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 14f는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 14g는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 다른 도면이다.
도 14h는, 복수의 설치 구멍이 형성된 설치부에 복수의 기둥형상 부재를 설치할 때의 설치 양태를 나타내는 다른 도면이다.
이하, 본 발명을, 도면에 나타내는 실시 형태에 의거하여 설명한다.
도 1a에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)는, 복수의 소자(4a, 4b, 4c)로 이루어지는 소자 어레이(4)(도 2)를 기판(2) 상에 형성하기 위한 장치이며, 복수의 소자(4a, 4b, 4c)가 배치된 기판(2)에 대해, 복수의 소자(4a, 4b, 4c)를 소정의 수단으로 누르는 처리를 행함으로써, 복수의 소자(4a, 4b, 4c)와 기판(2)의 기계적인 접합의 강도나 접합의 안정성의 향상을 도모하기 위한 것이다. 즉, 기판 처리 장치(10)는, 소자 어레이(4)를 기판(2) 상에 형성함에 있어서, 가압부(가압 장치)로서 기능한다.
기판(2)의 재질은, 예를 들면 유리 에폭시재이다. 단, 기판(2)의 재질은, 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 유리 기판으로서 SiO2 혹은 Al2O3으로 구성되어도 되며, 혹은 플렉시블 기판으로서 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리프로필렌, 폴리에테르에테르케톤, 우레탄, 실리콘, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 엘라스토머 등, 나아가서는 글라스 울 등으로 구성되어도 된다.
기판(2)의 표면에는, 예를 들면 도시하지 않는 도전성 접합 재료가 미리 형성되어 있다. 이 도전성 접합 재료는, 이방성 도전 입자 접속 혹은 범프 압접 접속 등에 의해, 기판(2)과 소자(4a, 4b, 4c)를 전기적 및 기계적으로 접속하고, 가열에 의해 경화한다. 도전성 접합 재료로서는, 예를 들면 ACF, ACP, NCF 혹은 NCP 등을 들 수 있다. 도전성 접합 재료의 두께는, 바람직하게는, 1.0~10000μm이다.
기판(2)에는, 배선이 소정의 패턴으로 형성되어 있으며, 이 배선에 소자(4a, 4b, 4c)의 전극을 도전성 접합 재료를 통해 접속하는 것이 가능하게 되어 있다.
소자(4a, 4b, 4c)는, 기판(2) 상에 어레이형상으로 배치된다. 어레이형상이란, 결정된 패턴에 따라 복수행 복수열로 소자(4a, 4b, 4c)가 배치된 상태를 말하고, 행방향과 열방향의 간격은 동일해도 되고, 혹은 상이해도 된다.
소자(4a, 4b, 4c)는, 디스플레이용 표시 기판에 RGB의 각 화소로서 배열되고, 또 백라이트의 발광체로서 조명 기판에 배열된다. 소자(4a)는 적색 발광 소자이고, 소자(4b)는 녹색 발광 소자이며, 소자(4c)는 청색 발광 소자이다. 단, 기판(2)에 배치되는 소자는, 이들 소자에 한정되는 것은 아니다.
본 실시 형태에 있어서의 소자(4a, 4b, 4c)는, 마이크로 발광 소자(마이크로 LED 소자)이며, 그 사이즈(폭×안길이)는, 예를 들면 5μm×5μm~50μm×50μm이다. 또, 소자(4a~4c)의 두께(높이)는, 예를 들면 50μm 이하이다.
기판 처리 장치(10)는, 가대(20)와, 하중 발생부(30)와, 기판 가압부(40)를 갖는다. 도면에 있어서, X축은 가대(20)의 폭방향에 대응하고, Y축은 가대(20)의 안길이 방향에 대응하며, Z축은 가대(20)의 높이 방향에 대응하는 것으로 한다.
가대(20)는, 예를 들면 금속의 하우징으로 구성되고, 가대 상부(21)와, 가동 가압부(22)와, 가대 하부(23)와, 가이드 부시(24)와, 가이드 샤프트(25)를 갖는다. 가대 하부(23)는, 가대(20)의 토대 부분(테이블)을 구성하고 있으며, 소정의 높이를 갖는다. 도시의 예에서는, 가대 하부(23)의 내부에는 중공부가 형성되어 있는데, 가대 하부(23)의 형상은 이것에 한정되는 것은 아니며, 가대 하부(23)의 내부가 속이 차 있어도 된다.
가대 하부(23)의 네 모퉁이에는, 4개의 가이드 샤프트(25)의 하단부가 고정(삽입)되어 있다. 이들 가이드 샤프트(25)는, 각각 소정의 길이를 갖고, Z축 방향으로 직립한 상태로 배치되어 있다. 각 가이드 샤프트(25)의 하단부는 가대 하부(23)에 고정되고, 각 가이드 샤프트(25)의 상단부는 가대 상부(21)에 고정되어 있다. 가이드 샤프트(25)는, 가대 상부(21)와 가대 하부(23) 사이에 배치된 가동 가압부(22)의 네 모퉁이를 관통하고 있다. 이러한 가이드 샤프트(25)는, 가대 상부(21)를 지지하는 역할을 완수함과 더불어, 가동 가압부(22)를 Z축 방향을 따라 상하로 슬라이딩 가능하게 지지하는 역할을 완수한다.
가동 가압부(22)는, 직사각형상을 갖는 판체(강체)로 이루어지고, 가대 하부(23)와 가대 상부(21) 사이에 위치한다. 가동 가압부(22)는, 하중 발생부(30)로부터 하중을 받음으로써, 4개의 가이드 샤프트(25)를 따라, 상하 방향으로 슬라이딩 가능하게 구성되어 있다. 도 1b에 나타내는 바와 같이, 가동 가압부(22)는, 기판 가압부(40)의 상면에 맞닿고, 이것을 가압함으로써, 기판 가압부(40)에 예를 들면 0~100kN 정도의 하중을 부여한다. 가동 가압부(22)는, 기판 가압부(40)에 대해 평행하게 맞닿아 있는 것이 바람직하고, 그 평행도(A)는 1μm≤A＜2μm인 것이 바람직하다.
도 1a에 나타내는 바와 같이, 가동 가압부(22)의 네 모퉁이에는, 4개의 관통 구멍(220)이 각각 형성되어 있으며, 이러한 관통 구멍(220)의 내부에는, 4개의 가이드 샤프트(25)가 각각 삽입되어 있다. 가동 가압부(22)의 하면(Z축 음방향 측의 면)에는, 4개의 관통 구멍(220)에 대응하는 위치에서, 4개의 가이드 부시(24)가 고정되어 있다. 가이드 부시(24)는, 가동 가압부(22)에 의한 상하 방향으로의 이동 시에 있어서, 가동 가압부(22)의 미끄러짐을 좋게 하는(가이드 샤프트(25)에 대한 마찰을 저감하는) 기능을 가짐과 더불어, 관통 구멍(220)의 축심에 대한 가이드 샤프트(25)의 위치 결정을 용이하게 실현시키는 기능을 갖는다.
가대 상부(21)는, 가대(20)의 천장 부분을 구성하고 있다. 가대 상부(21)의 하면의 네 모퉁이에는, 4개의 가이드 샤프트(25)의 상단부가 고정(삽입)되어 있다. 가대 상부(21)의 중앙부에는, 하중 발생부(30)가 고정되어 있다. 하중 발생부(30)는, 예를 들면 가압용 실린더, 서보 프레스, 모터, 혹은 액추에이터 등의 장치로 구성되어 있고, 가동 가압부(22)에 하중을 인가하는 역할을 완수한다. 또한, 도면이 번잡해지는 것을 방지하기 위해, 가동 가압부(22)의 상세 구성에 대해서는 도 시를 생략하고, 그 일부의 구성만을 도시하고 있다.
하중 발생부(30)는, 가동 가압부(22)의 중앙 영역(221)을 프레스 헤드(도시 생략)로 가압함으로써, 가동 가압부(22)에 하중을 부여한다. 이에 의해, 가동 가압부(22)는 하방으로 이동하여, 기판 가압부(40)를 가압하는 결과, 기판 가압부(40)에 있어서, 가압 대상물(복수의 소자(4a, 4b, 4c)가 배치된 기판(2))에 하중을 부여하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 3a에 나타내는 바와 같이, 기판 가압부(40)는, 상측 스테이지(41)와, 하측 스테이지(42)와, 상측 탑재부(43)와, 상측 지그 플레이트(44)와, 지지 부재(45)와, 하측 지그 플레이트(46)를 갖는다. 상측 스테이지(41)는, 가동 가압부(22)의 하면에 설치되어 있으며, 하측 스테이지(42)는, 가대 하부(23)의 상면에 설치되어 있다. 상측 스테이지(41) 및 하측 스테이지(42)의 두께는, 각각 기판(2)의 두께보다 두껍게 되어 있다. 상측 스테이지(41) 및 하측 스테이지(42)는, 각각 동일 형상을 갖고, 각각의 X축 방향폭은, 상측 탑재부(43) 및 지지 부재(45) 각각의 X축 방향폭보다 크게 되어 있다. 또한, 상측 스테이지(41) 및 하측 스테이지(42)의 형상은 도시의 형상에 한정되는 것은 아니며, 적절히 변경해도 된다.
상측 스테이지(41)는, 평판형상의 판체(강체)로 이루어지고, 표면 정밀도(예를 들면 평탄성이나 평활성 등)가 비교적 높은 부재로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 상측 스테이지(41)의 상면의 표면 정밀도는, 가동 가압부(22)의 하면의 표면 정밀도보다 뛰어난 것이 바람직하고, 당해 표면 정밀도보다, 요철이 적고(평활하고), 수평면에 대한 경사가 작게 되어 있는(평탄한) 것이 바람직하다.
이와 같이, 표면 정밀도가 뛰어난 상측 스테이지(41)를 가동 가압부(22)의 하면에 고정해 둠으로써, 상측 스테이지(41)의 하면에 상측 탑재부(43)를 고정했을 때에, 상측 탑재부(43) 혹은 이것에 탑재되는 상측 지그 플레이트(44)를 수평면에 대해 경사지게 하지 않고, 안정된 상태로 배치하는 것이 가능해진다.
하측 스테이지(42)는, 평판형상의 판체(강체)로 이루어지고, 표면 정밀도(예를 들면 평탄성이나 평활성 등)가 비교적 높은 부재로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 하측 스테이지(42)의 상면의 표면 정밀도는, 가대 하부(23)의 상면의 표면 정밀도보다 뛰어난 것이 바람직하고, 당해 표면 정밀도보다, 요철이 적고(평활하고), 수평면에 대한 경사가 작게 되어 있는(평탄한) 것이 바람직하다.
이와 같이, 표면 정밀도가 뛰어난 하측 스테이지(42)를 가대 하부(23)의 상면에 고정해 둠으로써, 하측 스테이지(42)의 상면에 지지 부재(45)를 고정했을 때에, 지지 부재(45) 혹은 이것에 지지되는 하측 지그 플레이트(46)를 수평면에 대해 경사지게 하지 않고, 안정된 상태로 배치하는 것이 가능해진다.
상측 탑재부(43)는, 평판형상의 외관 형상을 갖고, 상측 스테이지(41)의 하면에 고정되어 있다. 상측 탑재부(43)에는 상측 지그 플레이트(44)가 탑재된다. 상측 탑재부(43)는, 상측 지그 플레이트(44)를 지지하는 역할을 완수한다.
상측 지그 플레이트(44)는, 평판형상의 판체(강체)로 이루어지고, 상측 탑재부(43)의 하면에 고정(탑재)되어 있다. 상측 지그 플레이트(44)는, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)을 가압하는 기능을 갖는다. 상측 지그 플레이트(44)에는, 가열 기능(예를 들면 히터)이 내장되어 있으며, 상측 지그 플레이트(44)로 기판(2)을 가압할 때에, 상측 지그 플레이트(44)에 의해 기판(2)을 가열하는 것이 가능하게 되어 있다. 예를 들면, 복수의 소자(4a, 4b, 4c)와 기판(2)의 접속에 있어서 도전성 접합 재료를 이용하는 경우에는, 기판(2)을 가열함으로써, 기판(2)에 대해 복수의 소자(4a, 4b, 4c)를 양호하게 접속시키는 것이 가능하게 되고, 기판(2)과 그 위에 배치된 복수의 소자(4a, 4b, 4c)의 접합력을 높이는 것이 가능하게 되어 있다.
상측 지그 플레이트(44)는, 표면 정밀도가 비교적 높은 부재로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 상측 지그 플레이트(44)의 하면의 표면 정밀도는, 예를 들면 상측 스테이지(41)의 하면의 표면 정밀도보다 뛰어난 것이 바람직하고, 당해 표면 정밀도보다, 요철이 적고(평활하고), 수평면에 대한 경사가 작게 되어 있는(평탄한) 것이 바람직하다. 상측 지그 플레이트(44)의 표면(특히 하면)의 표면 거칠기(Ra)는, 바람직하게는 Ra≤1μm이다.
이와 같이, 상측 지그 플레이트(44)의 표면 정밀도를 높여 둠으로써, 상측 지그 플레이트(44)의 하면으로 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)을 가압할 때에, 기판(2)에 가해지는 하중의 불균일을 저감하여, 기판(2) 상의 복수의 소자(4a, 4b, 4c)에 대해 균일한 하중을 부여할 수 있다.
하측 지그 플레이트(46)는, 평판형상의 판체(강체)로 이루어지고, 지지 부재(45)에 의해 지지되어 있다. 하측 지그 플레이트(46)는, 상측 지그 플레이트(44)와 대략 동일하게 이루어지는 형상을 갖고, 상측 지그 플레이트(44)에 대해 대향하여 배치되어 있다. 하측 지그 플레이트(46)에는, 가압 대상물인 기판(2)을 배치하는 것이 가능하게 되어 있다. 상측 지그 플레이트(44)와 동일하게, 하측 지그 플레이트(46)에는, 가열 기능(예를 들면 히터)이 내장되어 있으며, 상측 지그 플레이트(44)로 기판(2)을 가압할 때에, 하측 지그 플레이트(46)(및 상측 지그 플레이트(44))에 의해 기판(2)을 가열하는 것이 가능하게 되어 있다.
하측 지그 플레이트(46)는, 표면 정밀도가 비교적 높은 부재로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 하측 지그 플레이트(46)의 상면의 표면 정밀도는, 예를 들면 하측 스테이지(42)의 상면의 표면 정밀도보다 뛰어난 것이 바람직하고, 당해 표면 정밀도보다, 요철이 적고(평활하고), 수평면에 대한 경사가 작게 되어 있는(평탄한) 것이 바람직하다.
하측 지그 플레이트(46)의 표면(특히 상면)의 표면 거칠기(Ra)는, 상측 지그 플레이트(44)의 표면의 표면 거칠기(Ra)와 동일하게, 바람직하게는 Ra≤1μm이다. 또, 하측 지그 플레이트(46)와 상측 지그 플레이트(44)의 평행도(A)는, A≤1μm인 것이 바람직하다.
이와 같이, 하측 지그 플레이트(46)의 표면 정밀도를 높여 둠으로써, 상측 지그 플레이트(44)의 하면으로 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)을 가압할 때에, 상측 지그 플레이트(44)의 하면과 기판(2)이 평행하게 되어(밀착되어), 전술한 기판(2)에 가해지는 하중 분포의 균일성을 높이는 효과를 얻을 수 있다.
상측 지그 플레이트(44) 및 하측 지그 플레이트(46)의 표면 정밀도를 어느 정도 확보할 수 있었다고 해도, 상측 지그 플레이트(44)로 기판(2)을 가압할 때에는, 하측 지그 플레이트(46)에 적잖이 휨이 발생하여, 하측 지그 플레이트(46)와 상측 지그 플레이트(44) 사이의 접촉성(밀착성)이 불량해지는 등의 이유에 의해, 기판(2)(혹은, 기판(2)에 배치된 복수의 소자(4a, 4b, 4c))에 대해 균일한 하중을 부여하는 것이 곤란해져, 기판(2)과 복수의 소자(4a, 4b, 4c)의 접합 상태에 편차가 발생할 우려가 있다.
즉, 기판(2)에는, 상대적으로 보았을 때에, 작은 면압이 가해짐으로써 하중이 감소하는 방향으로 변동하는 영역과, 큰 면압이 가해짐으로써 하중이 증대하는 방향으로 변동하는 영역이 형성되어, 기판(2)의 하중 분포가 불균일하게 된다. 그래서, 본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 장치(10)에서는, 지지 부재(45)에, 이 기판(2)의 가압 시에 있어서의 하중 분포의 불균일성을 해소하기 위한 수단을 구비시키고 있다. 이하, 지지 부재(45)의 상세에 대해 설명한다.
지지 부재(45)는, 하측 스테이지(42)의 상면에 고정되고, 하측 지그 플레이트(46)를 지지한다. 즉, 본 실시 형태에서는, 하측 지그 플레이트(46)는, 지지 부재(45)를 통해, 하측 스테이지(42)에 배치된다. 지지 부재(45)는, 전술한 하측 지그 플레이트(46)의 휨에 수반하는 기판(2)의 피(被)하중량의 변동을 조정 가능하게 구성되어 있으며, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따른 지지력을 하측 지그 플레이트(46)에 부여한다.
예를 들면, 하측 지그 플레이트(46) 중, 그 중심에 가까운 위치일수록, 하측 지그 플레이트(46)가 아래로 볼록해지도록 오목 형상으로 휘고, 당해 위치에 가해지는 면압이 상대적으로 작아져, 하측 지그 플레이트(46)의 피하중량이 상대적으로 작아지는 경우가 있다. 이와 같이 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에서는, 지지 부재(45)는 하측 지그 플레이트(46)에 상대적으로 큰 지지력을 부여한다. 이에 의해, 하측 지그 플레이트(46)의 중심에 가까운 위치에서는, 하측 지그 플레이트(46)가 휘기 어려워져, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 당해 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다.
또, 하측 지그 플레이트(46) 중, 그 중심으로부터 떨어진 위치일수록, 당해 위치에 가해지는 면압이 상대적으로 커져, 피하중량이 상대적으로 커지는 경우가 있다. 이와 같이 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에서는, 지지 부재(45)는 하측 지그 플레이트(46)에 작은 지지력을 부여한다. 이에 의해, 하측 지그 플레이트(46)의 중심으로부터 떨어진 위치에서는, 하측 지그 플레이트(46)가 휘기 쉬워져, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 당해 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다.
이와 같이 하여, 지지 부재(45)는, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 조정하여, 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 하는 것이다. 이하, 지지 부재(45)가 하측 지그 플레이트(46)의 하중의 면내 분포에 따른 지지력을 하측 지그 플레이트(46)에 부여하기 위한 구체적 수단에 대해 설명한다.
지지 부재(45)는, 복수의 기둥형상 부재(50)의 집합체(500)와, 복수의 기둥형상 부재(50)가 설치되는 설치부(52)를 갖는다. 복수의 기둥형상 부재(50)는, 각각 원기둥 형상으로 이루어지고, 하측 지그 플레이트(46)를 지지하는 역할을 완수한다. 각 기둥형상 부재(50)의 형상은, 이것에 한정되는 것은 아니며, 삼각기둥 형상, 사각기둥 형상, 그 외의 다각기둥 형상, 원뿔 형상, 삼각뿔 형상, 그 외의 다각뿔 형상이어도 된다. 또, 각 기둥형상 부재(50)는, 중공 형상을 갖고 있어도 된다.
복수의 기둥형상 부재(50)는, 탄성 변형 가능한 강체로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 설치부(52)에, 예를 들면 7행 7열의 매트릭스형상으로 정연하게 배치되어 있으며, 각각 X축 방향 및 Y축 방향으로 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 도시의 예에서는, 복수의 기둥형상 부재(50) 각각의 중심간 거리는 실질적으로 동일하고, 복수의 기둥형상 부재(50)는 각각 등간격으로 배치되어 있는데, 각 기둥형상 부재(50)의 간격은 반드시 동일하지 않아도 된다. 또, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 상방에서 보았을 때에, 각각 설치부(52)의 X축 방향 및 Y축 방향의 각각의 일단으로부터 타단에 걸쳐 골고루 배치되어 있는데, 설치부(52)의 일부에 편재(밀집)되어 있어도 된다.
또, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 설치부(52)에 랜덤으로 배치되어 있어도 되고, 혹은 동심원형상으로 배치되어 있어도 된다. 복수의 기둥형상 부재(50)의 배치는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 적절히 결정된다.
본 실시 형태에서는, 복수의 기둥형상 부재(50)의 횡단 면적(XY 평면에 평행한 면의 단면적)은 모두 동일하게 되어 있는 것은 아니며, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 횡단 면적이 상대적으로 큰 기둥형상 부재(50)(기둥형상 부재(50a))와, 횡단 면적이 상대적으로 작은 기둥형상 부재(50)(기둥형상 부재(50c))와, 이들의 중간의 횡단 면적을 갖는 기둥형상 부재(50)(기둥형상 부재(50b))로 구성되어 있다. 즉, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 형상이 상이한 복수의 부재로 형성되어 있다.
하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에는 복수의 기둥형상 부재(50a)가 배치되고, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에는 복수의 기둥형상 부재(50b, 50c)가 배치되어 있다. 즉, 복수의 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 배치되어 있다.
도시의 예에서는, 복수의 기둥형상 부재(50a)는, 설치부(52)에, 5행 5열의 매트릭스형상으로 배치되어 있다. 이하에서는, 복수의 기둥형상 부재(50a)의 집합체 중, 중앙에 위치하는 기둥형상 부재(50a)를 특별히 기둥형상 부재(50a1)로 표기하는 경우가 있다. 기둥형상 부재(50a1)는, 하측 지그 플레이트(46)의 대략 중앙부(하중 발생부(30)에 의한 가압축의 바로 아래)에 배치된다. 또한, 가압축은, 단일로 구성되어도 되고, 혹은 복수로 구성되어도 된다.
복수의 기둥형상 부재(50b) 및 복수의 기둥형상 부재(50c)는, 복수의 기둥형상 부재(50a)의 집합체의 외측(집합체(500)의 최외주)에 배치되어 있으며, 이것을 둘러싸고 있다. 집합체(500)의 최외주에서는, 그 네 모퉁이에 각각 4개의 기둥형상 부재(50c)가 배치되어 있으며, 추가로 4개의 기둥형상 부재(50c) 각각의 사이에 4개의 기둥형상 부재(50c) 각각이 배치되어 있다. 또, 각 기둥형상 부재(50c)의 사이에는, 2개의 기둥형상 부재(50b)가 짝을 이루어 배치되어 있다. 도 4에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)의 배치는 일례이며, 이러한 배치는 적절히 변경해도 된다.
기둥형상 부재(50a)의 폭(직경)을 Da, 기둥형상 부재(50b)의 폭(직경)을 Db, 기둥형상 부재(50c)의 폭(직경)을 Dc로 했을 때, Da＞Db＞Dc이다. 직경(Da, Db, Dc)은, 바람직하게는 10~20mm이다. 또, 가장 직경이 큰 기둥형상 부재(50a)의 직경(Da)과 가장 직경이 작은 기둥형상 부재(50c)의 직경(Dc)의 비(Da/Dc)는, 바람직하게는 2/1~1.5/1이다. 각 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)의 직경(굵기)의 범위를 이러한 범위로 설정함으로써, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 크기 혹은 면내 분포에 따라, 각 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)를 알맞게 휘게 하는 것이 가능해진다.
또한, 복수의 기둥형상 부재(50a) 중, 기둥형상 부재(50a1)의 직경에 대해서는, 다른 기둥형상 부재(50a)보다 크게 하고, 다른 기둥형상 부재(50a)보다 휘기 어렵게 해도 된다.
각 기둥형상 부재(50)간의 중심간 거리(피치)(P)는, 바람직하게는 20~50mm, 더욱 바람직하게는 20~25mm이다. 각 기둥형상 부재(50)간의 중심간 거리(P)의 범위를 이러한 범위로 설정함으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치를 골고루 각 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)로 지지하는 것이 가능해져, 알맞은 지지력으로 하측 지그 플레이트(46)를 지지하는 것이 가능해진다. 본 실시 형태에서는, 복수의 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)가 배치된 위치에 있어서, 복수의 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)로부터 하측 지그 플레이트(46)로 국소적으로 지지력을 부여하는 것이 가능하게 되어 있다.
복수의 기둥형상 부재(50)의 길이(L)는, 바람직하게는 20~50mm이고, 더욱 바람직하게는 20~25mm이다. 복수의 기둥형상 부재(50)의 길이(L)는, 하측 지그 플레이트(46)의 높이와 대략 동일해도 된다.
기둥형상 부재(50a)의 횡단 면적을 Sa, 기둥형상 부재(50b)의 횡단 면적을 Sb, 기둥형상 부재(50c)의 횡단 면적을 Sc로 했을 때, Sa＞Sb＞Sc이다. 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에 배치되는 기둥형상 부재(50a)의 횡단 면적(Sa)은, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에 배치되는 기둥형상 부재(50b, 50c)의 횡단 면적(Sb, Sc)에 비해 크게 되어 있다.
그 때문에, 복수의 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)로 하측 지그 플레이트(46)가 지지된 상태에 있어서, 상측 지그 플레이트(44)(도 3a)에 의한 기판(2)의 가압에 의해, 하측 지그 플레이트(46)(도 3a)에 하중이 부여되고, 그에 수반하여, 복수의 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)에 하중이 부여되면, 기둥형상 부재(50a)에는 상대적으로 작은 변형량의 변형(Z축 음방향 측으로의 압축 변형)이 발생하는 한편으로, 기둥형상 부재(50b, 50c)에는 상대적으로 큰 변형량의 변형(Z축 음방향 측으로의 압축 변형)이 발생한다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는, 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)가 하중을 받았을 때에, 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)에, 이러한 횡단 면적(Sa, Sb, Sc)에 따른 변형량의 변형을 발생시키는 것이 가능하게 되어 있다.
기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)는, 일정 하중을 받았을 때에, 그 횡단 면적에 따른 변형을 발생시킴으로써, 그 연장 방향을 따라 신축 가능하게 되어 있다. 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)가 하중을 받음으로써 변형을 발생시키는 타이밍은, 하측 지그 플레이트(46)가 상측 지그 플레이트(44)로부터 하중을 받는 타이밍, 혹은 상측 지그 플레이트(44)가 가동 가압부(22)로부터 하중을 받는 타이밍, 혹은 가동 가압부(22)가 하중 발생부(30)로부터 하중을 받는 타이밍과 대체로 동기(同期)되어 있다. 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)에 하중이 가해지지 않은 무부하 상태에서는, 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)는, 변형 상태를 해제하여, 원래의 상태로 복귀한다.
본 실시 형태에서는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에 배치되는 기둥형상 부재(50a)의 변형량은, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에 배치되는 기둥형상 부재(50b, 50c)의 변형량에 비해 작게 되어 있다. 즉, 복수의 기둥형상 부재(50)에는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 변형량의 구배가 형성되어 있으며, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에 배치된 기둥형상 부재(50)일수록 변형이 작고, 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에 배치된 기둥형상 부재(50)일수록 변형이 크게 되어 있다.
하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에 있어서, 변형량이 상대적으로 작은 기둥형상 부재(50a)로 하측 지그 플레이트(46)를 지지함으로써, 기둥형상 부재(50a)로부터 하측 지그 플레이트(46)에 상대적으로 큰 지지력을 부여하여, 하측 지그 플레이트(46)를 휘기 어렵게 하고, 하측 지그 플레이트(46)에 발생하는 휨을 기둥형상 부재(50a)의 변형량에 따른 작은 휨량으로 조정하는 것이 가능해진다. 즉, 아무런 대책을 강구하지 않으면, 오목 형상으로 휘어 있던 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에서는, 도 3b에 나타내는 바와 같이 휨이 상대적으로 작아진다. 그 결과, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 증대시켜, 하측 지그 플레이트(46)에 배치되는 기판(2)의 피하중량을 증대시키는 것이 가능하게 되어 있다.
또, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에 있어서, 변형량이 상대적으로 큰 기둥형상 부재(50b, 50c)로 하측 지그 플레이트(46)를 지지함으로써, 기둥형상 부재(50b, 50c)로부터 하측 지그 플레이트(46)에 상대적으로 작은 지지력을 부여하여, 하측 지그 플레이트(46)를 휘기 쉽게 하고, 하측 지그 플레이트(46)에 발생하는 휨을 기둥형상 부재(50b, 50c)의 변형량에 따른 큰 휨량으로 조정하는 것이 가능해진다. 즉, 아무런 대책을 강구하지 않으면, 휨이 거의 발생하지 않은 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에는, 도 3b에 나타내는 바와 같이 상대적으로 큰 휨이 발생한다. 그 결과, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 감소시켜, 하측 지그 플레이트(46)에 배치되는 기판(2)의 피하중량을 감소시키는 것이 가능해진다.
도 5a는, 본 실시 형태에 있어서의 지지 부재(45)를 이용하지 않고, 평판형상의 부재(상측 탑재부(43)에 대응하는 부재)에 하측 지그 플레이트(46)(도 3a)를 탑재했을 때에, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 감압지(6)에 가해지는 하중의 분포를 나타내는 도면(즉, 비교예를 나타내는 도면)이다. 또, 도 5b는, 본 실시 형태에 있어서의 지지 부재(45)로 하측 지그 플레이트(46)를 지지했을 때에, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 감압지(6)에 가해지는 하중의 분포를 나타내는 도면(즉, 실시예를 나타내는 도면)이다. 도 5a 및 도 5b에 있어서, 감압지(6)에 가해지는 하중의 분포는, 기판(2)에 가해지는 하중의 분포에 대응한다. 이러한 도면에 있어서, 짙은 색으로 나타내어져 있는 부분에는 상대적으로 큰 하중이 가해지고 있는 것을 나타내고 있으며, 엷은 색으로 나타내어져 있는 부분에는 상대적으로 작은 하중이 가해지고 있는 것을 나타내고 있다.
도 5a에 나타내는 바와 같이, 비교예에서는, 감압지(6)의 중앙부에 가까워질수록, 감압지(6)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지고 있는 한편으로, 감압지(6)의 외주부에 가까워질수록, 감압지(6)에 가해지는 하중이 상대적으로 커져 가는 것을 알 수 있다. 즉, 비교예에서는, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에 상대적으로 큰 휨이 발생한 한편으로, 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에는 상대적으로 작은 휨이 발생했다.
한편, 도 5b에 나타내는 바와 같이, 실시예에서는, 감압지(6)의 각 위치에 있어서, 감압지(6)에 가해지는 하중이 일정하게 되어 있는 것을 알 수 있다. 본 실시 형태에서는, 도 3b에 나타내는 바와 같이, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)를 휘게 함으로써, 도 5b에 나타내는 바와 같이, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포를 균일하게 되도록 조정하여, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
도 4에 나타내는 예에서는, 상이한 단면적을 갖는 복수의 기둥형상 부재(50a, 50b, 50c)의 변형량의 차이에 의거하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포의 조정을 행하는 양태에 대해 나타냈는데, 당해 조정을 행하기 위한 양태는 이것에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 지지 부재(45)는, 일정 하중을 받았을 경우에 있어서의 복수의 기둥형상 부재(50)의 영률에 의거하는 변형량의 차이에 따라, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포를 조정해도 된다. 도 6a에 나타내는 예에서는, 복수의 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')는 각각 영률(기계 강도) 혹은 경도가 상이한 부재로 구성되어 있다.
보다 상세하게는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에는, 영률이 상대적으로 큰 기둥형상 부재(50a')가 배치되어 있다. 또, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에는, 영률이 상대적으로 작은 기둥형상 부재(50c')가 배치되어 있다. 또, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 중간 정도인 하측 지그 플레이트(46)의 중앙부와 외주부 사이의 위치에는, 영률이 상대적으로 중간 정도인 기둥형상 부재(50b')가 배치되어 있다. 즉, 각 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')의 영률은, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따른 값으로 되어 있으며, 각 기둥형상 부재(50)의 영률에는 하측 지그 플레이트(46)의 중심으로부터 떨어진 위치일수록 작아지는 구배가 형성되어 있다. 또한, 각 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')의 단면적 및 형상은 모두 동일하게 되어 있다.
이 경우, 복수의 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')로 하측 지그 플레이트(46)가 지지된 상태에 있어서, 상측 지그 플레이트(44)에 의한 기판(2)의 가압에 의해, 하측 지그 플레이트(46)에 하중이 부여되고, 그에 수반하여, 복수의 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')에 하중이 부여되면, 복수의 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')에 그 영률에 따른 변형이 발생하고, 이러한 변형량에 따른 휨량의 휨이 하측 지그 플레이트(46)에 발생한다.
즉, 기둥형상 부재(50a')에 상대적으로 작은 변형이 발생하는 결과, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에는 상대적으로 작은 휨이 발생한다. 또, 기둥형상 부재(50c')에 상대적으로 큰 변형이 발생하는 결과, 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에는 상대적으로 큰 휨이 발생한다. 또, 기둥형상 부재(50b')에 상대적으로 중간 정도의 변형이 발생하는 결과, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙부와 외주부 사이의 위치에는 상대적으로 중간 정도의 휨이 발생한다.
이와 같이, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 복수의 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')의 변형량을 대응시키고, 그 변형량에 따른 휨량의 휨을 하측 지그 플레이트(46)에 발생시킴으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)를 휘게 하여(도 3b 참조), 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
복수의 기둥형상 부재(50)의 영률(E)은, 바람직하게는 100GPa~500GPa이다. 또, 가장 영률(E)이 큰 기둥형상 부재(50a')의 영률(Emax)과 가장 영률(E)이 작은 기둥형상 부재(50c')의 영률(Emin)의 비(Emax/Emin)는, 바람직하게는 2/1~4/1이다. 각 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')의 영률의 범위를 이러한 범위로 설정함으로써, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 각 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')를 알맞게 휘게 하는 것이 가능해진다. 또한, 지지 부재(45)에는, 기둥형상 부재(50a', 50b', 50c')와는 상이한 영률을 갖는 다른 기둥형상 부재(50)를 포함해도 된다.
상기와 같은 영률을 갖는 재료로서, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 예를 들면, 탄소강, 질화규소, 탄화규소의 재료로 구성되는 것이 바람직하다.
또, 예를 들면, 지지 부재(45)는, 복수의 기둥형상 부재(50)의 길이의 차이에 의해, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포를 조정해도 된다. 도 6b에 나타내는 예에서는, 복수의 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")는 각각 길이가 상이한 부재로 구성되어 있으며, 복수의 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")의 상단의 높이 위치에 분포가 형성되어 있다.
보다 상세하게는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에는, 길이가 상대적으로 긴 기둥형상 부재(50a")가 배치되어 있다. 또, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에는, 길이가 상대적으로 짧은 기둥형상 부재(50c")가 배치되어 있다. 또, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 중간 정도인 하측 지그 플레이트(46)의 중앙부와 외주부 사이의 위치에는, 길이가 상대적으로 중간 정도인 기둥형상 부재(50b")가 배치되어 있다. 즉, 각 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")의 길이는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따른 값으로 되어 있으며, 각 기둥형상 부재(50)의 길이(상단의 높이 위치)에는 하측 지그 플레이트(46)의 중심으로부터 떨어진 위치일수록 작아지는 구배가 형성되어 있다. 또한, 각 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")의 단면적 및 영률은 모두 동일하게 되어 있다.
이 경우, 복수의 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")로 하측 지그 플레이트(46)가 지지된 상태에 있어서, 상측 지그 플레이트(44)에 의한 기판(2)의 가압에 의해, 하측 지그 플레이트(46)에 하중이 부여되고, 그에 수반하여, 복수의 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")에 하중이 부여되면, 복수의 하측 지그 플레이트(46)에는, 복수의 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")의 길이에 따른 휨이 발생한다.
즉, 기둥형상 부재(50a")가 배치된 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에는, 상대적으로 작은 휨이 발생한다. 또, 기둥형상 부재(50c")가 배치된 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에는, 상대적으로 큰 휨이 발생한다. 또, 기둥형상 부재(50b")가 배치된 하측 지그 플레이트(46)의 중앙부와 외주부 사이의 위치에는, 상대적으로 중간 정도의 휨이 발생한다. 이와 같이, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 상이한 길이의 복수의 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")를 배치하고, 그 길이에 따른 휨량의 휨을 하측 지그 플레이트(46)에 발생시킴으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)를 휘게 하여(도 3b 참조), 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다. 또한, 지지 부재(45)에는, 기둥형상 부재(50a", 50b", 50c")와는 상이한 길이를 갖는 다른 기둥형상 부재(50)를 포함해도 된다.
또한, 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 조정함에 있어서, 복수의 기둥형상 부재(50)의 높이를 조정하는 경우와 비교하여, 복수의 기둥형상 부재(50)의 재질(영률) 혹은 직경(단면적)을 조정하는 쪽이, 정밀도를 내기 쉽고, 용이하다.
복수의 기둥형상 부재(50)의 배치는 도 4에 나타내는 예에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 도 7a, 8a, 9a, 10a에 나타내는 배치로, 복수의 기둥형상 부재(50)를 배치해도 된다. 도 7a에 나타내는 예에서는, 점선으로 나타내는 설치부(52)의 중앙 영역(520)에 9개의 기둥형상 부재(50d)가 3행 3열로 매트릭스형상으로 배치되어 있다. 또, 설치부(52)의 중앙 영역(520)의 외측에는, 복수의 기둥형상 부재(50e)가 국소적으로 배치되어 있다. 복수의 기둥형상 부재(50d, 50e)는, 설치부(52)의 중심으로부터 방사상으로 연장되도록 배치되어 있다. 설치부(52)의 중앙 영역(520)에서는, 복수의 기둥형상 부재(50d)가 상대적으로 높은 밀도로 배치되어 있으며, 설치부(52)의 중앙 영역(520)의 외측에서는, 복수의 기둥형상 부재(50e)가 상대적으로 낮은 밀도로 배치되어 있다.
즉, 도 7a에 나타내는 예에서는, 하측 지그 플레이트(46)(도 1b)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치(중앙 영역(520))에서는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치(중앙 영역(520)의 외측)에 비해, 상대적으로 많은 개수의 기둥형상 부재(50d)가 밀집하여 배치되어 있다.
도 7b는, 도 7a에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50d, 50e)로 하측 지그 플레이트(46)를 지지했을 때에, 하측 지그 플레이트(46)에 발생하는 휨의 분포를 CAE(Computer Aided Engineering) 해석에 의해 해석한 결과를 나타내는 도면이다. 이러한 도면에 있어서, 짙은 색으로 나타내어져 있는 부분에는 상대적으로 큰 휨이 발생한 것을 나타내고 있으며, 엷은 색으로 나타내어져 있는 부분에는 상대적으로 작은 휨이 발생한 것을 나타내고 있다.
도 7b에 나타내는 바와 같이, 설치부(52)의 중앙 영역(520)에 대응하는 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)은, 상대적으로 많은 개수의 기둥형상 부재(50d)로 지지되어 있기 때문에, 중앙 영역(460)에서는, 하측 지그 플레이트(46)에는 복수의 기둥형상 부재(50d)로부터 상대적으로 큰 지지력이 부여되어, 하측 지그 플레이트(46)에 휨이 발생하기 어려워진다. 즉, 중앙 영역(460)에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에 발생하는 휨은, 복수의 기둥형상 부재(50d)의 밀도(개수)에 따른 작은 휨량으로 조정되고, 중앙 영역(460)에 상대적으로 작은 휨이 발생하는 결과, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 증대하게 된다.
한편, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)의 외측의 영역은, 상대적으로 적은 개수의 기둥형상 부재(50e)로 지지되어 있기 때문에, 당해 영역에서는, 하측 지그 플레이트(46)에는 복수의 기둥형상 부재(50e)로부터 상대적으로 작은 지지력이 부여되어, 하측 지그 플레이트(46)에 휨이 발생하기 쉬워진다. 즉, 중앙 영역(460)의 외측의 영역에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에 발생하는 휨은, 복수의 기둥형상 부재(50e)의 밀도(개수)에 따른 큰 휨량으로 조정되고, 당해 영역에 상대적으로 큰 휨이 발생하는 결과, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 감소하게 된다.
특히, 기둥형상 부재(50e)로 지지되지 않은 하측 지그 플레이트(46)의 측방영역(461)에서는, 하측 지그 플레이트(46)에 휨이 특히 발생하기 쉬워, 하측 지그 플레이트(46)의 휨량이 다른 영역에 비해 특히 크게 되어 있다.
이와 같이, 복수의 기둥형상 부재(50d, 50e)를, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 배치함으로써, 복수의 기둥형상 부재(50d, 50e)의 배치에 따라, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 조정하여, 하측 지그 플레이트(46)에 배치되는 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
도 8a에 나타내는 예에서는, 설치부(52)에는, 도 7a에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50d, 50e) 외, 복수(4개)의 기둥형상 부재(50f)가 배치되어 있다. 추가하여 배치된 각 기둥형상 부재(50f)는, 중앙 영역(520)의 외측에 배치된 4개의 기둥형상 부재(50e) 각각의 외측에 인접하여 배치되어 있다.
이 경우에도, 도 8b에 나타내는 바와 같이, 도 8a와 동일하게, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)에는, 상대적으로 작은 휨이 발생하는 한편으로, 중앙 영역(460)의 외측에는, 상대적으로 큰 휨이 발생했다. 도 8b에 나타내는 하측 지그 플레이트(46)에서는, 도 7b에 나타내는 하측 지그 플레이트(46)에 비해, 중앙 영역(460)의 외측에 있어서, 보다 광범위하게 휨이 발생했다.
도 9a에 나타내는 예에서는, 설치부(52)에는, 도 8a에 나타내는 배치와 동일한 배치로, 복수의 기둥형상 부재(50d', 50e, 50f)가 배치되어 있다. 단, 설치부(52)의 중앙 영역(520)에 배치된 복수의 기둥형상 부재(50d')의 직경은, 중앙 영역(520)의 외측에 배치된 복수의 기둥형상 부재(50e, 50f)의 직경보다 작게 되어 있다.
이 경우, 도 8a에 나타내는 예에 비해, 복수의 기둥형상 부재(50d')로부터 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)에 부여되는 지지력이 작아지기 때문에, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 도 8b에 나타내는 하측 지그 플레이트(46)에 비해, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)에 발생하는 휨이 커진다.
도 10a에 나타내는 예에서는, 설치부(52)에는, 도 8a에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50d, 50e, 50f) 외, 복수(8개)의 기둥형상 부재(50g)가 배치되어 있다. 추가하여 배치된 각 기둥형상 부재(50g)는, 중앙 영역(520)의 외측에 배치된 4개의 기둥형상 부재(50f) 각각에 인접하여 배치되어 있다.
이 경우, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)에는 상대적으로 큰 휨이 발생하는 한편으로, 중앙 영역(460)의 외측에는 상대적으로 작은 휨이 발생한다. 이와 같이, 설치부(52)에, 복수의 기둥형상 부재(50g)를 추가하여 배치했을 경우에는, 도 7b, 8b, 9b에 나타내는 하중의 면내 분포와는 반대의 면내 분포로, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포가 조정된다.
도 4, 7a, 8a, 9a, 10a 중 어느 쪽에 나타내는 배치로 복수의 기둥형상 부재(50)를 설치부(52)에 설치할지는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 적절히 결정된다. 또한, 도 4, 7a, 8a, 9a, 10a에 나타내는 배치 이외의 배치로, 복수의 기둥형상 부재(50)를 설치부(52)에 설치해도 된다.
또, 이러한 설치 양태는, 전술한 바와 같이, 하측 지그 플레이트(46)를 지지 부재(45)로 지지하지 않았을 경우에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에, 그 중심에 가까운 위치일수록 상대적으로 큰 휨이 발생하고, 그 외주에 가까운 위치일수록 상대적으로 작은 휨이 발생하는 경우를 전제로 하고 있다. 그러나, 이와는 반대로, 하측 지그 플레이트(46)를 지지 부재(45)로 지지하지 않았을 경우에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에는, 그 중심에 가까운 위치일수록 상대적으로 작은 휨이 발생하고, 그 외주에 가까운 위치일수록 상대적으로 큰 휨이 발생하는 경우가 있다. 이 경우, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포는, 도 5a에 나타내는 하중의 면내 분포와는 대체로 반대의 관계가 되어, 하측 지그 플레이트(46)의 중심 부근에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 한편으로, 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에 가해지는 하중이 상대적으로 작아진다.
이러한 경우에는, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에 배치되는 기둥형상 부재(50)일수록 변형이 크고, 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에 배치되는 기둥형상 부재(50)일수록 변형이 작아지도록, 설치부(52)에 배치하는 복수의 기둥형상 부재(50)의 재질(영률), 형상, 혹은 배치 등을 적절히 선택하면 된다. 예를 들면, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 부근에 배치되는 기둥형상 부재(50)에 대해서는, 영률을 작게 하고, 혹은 직경을 가늘게 함과 더불어, 하측 지그 플레이트(46)의 외주 부근에 배치되는 기둥형상 부재(50)에 대해서는, 영률을 크게 하고, 혹은 직경을 굵게 하면 된다.
이러한 변형 특성을 갖는 복수의 기둥형상 부재(50)로 하측 지그 플레이트(46)를 지지했을 경우, 하측 지그 플레이트(46)의 중심에 가까운 위치에서는, 하측 지그 플레이트(46)가 휘기 쉬워져, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 당해 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다.
또, 하측 지그 플레이트(46)의 외주에 가까운 위치에서는, 하측 지그 플레이트(46)가 휘기 어려워져, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 당해 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에 배치된 기판(2)에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 설치부(52)는, 대략 평판형상을 갖는 판체로 이루어지고, 복수의 기둥형상 부재(50)가 직립한 상태로 유지되도록, 복수의 기둥형상 부재(50)를 지지하는 기능을 갖는다. 설치부(52)는, 복수의 기둥형상 부재(50)가 각각 설치되는 복수의 설치 구멍(53)을 갖는다. 복수의 설치 구멍(53)에는, 각각 복수의 기둥형상 부재(50)를 삽입하여, 고정하는 것이 가능하게 되어 있다. 설치부(52)의 X축 방향의 길이는 바람직하게는 100~500mm이고, 설치부(52)의 Y축 방향의 길이는 바람직하게는 100~500mm이며, 설치부(52)의 높이(두께)는 바람직하게는 10~100mm이다.
설치부(52)는, 중앙 영역(520)과, 외측 영역(521)을 갖는다. 중앙 영역(520)에 형성된 복수의 설치 구멍(53)에는, 도 4에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50a)가 삽입되고, 외측 영역(521)에 형성된 복수의 설치 구멍(53)에는, 복수의 기둥형상 부재(50b, 50c)가 삽입된다. 이하에 있어서, 기둥형상 부재(50a)가 삽입되는 설치 구멍(53)을 「설치 구멍(53a)」으로 표기하고, 기둥형상 부재(50b)가 삽입되는 설치 구멍(53)을 「설치 구멍(53b)」으로 표기하며, 기둥형상 부재(50c)가 삽입되는 설치 구멍(53)을 「설치 구멍(53c)」으로 표기하는 경우가 있다.
복수의 설치 구멍(53a)은, 5행 5열의 매트릭스형상으로 배치되어 있으며, 복수의 설치 구멍(53a)의 배치는, 도 4에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50a)의 배치와 대응하고 있다. 또, 복수의 설치 구멍(53b)의 배치는, 도 4에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50b)의 배치와 대응하고 있으며, 복수의 설치 구멍(53c)의 배치는, 도 4에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50c)의 배치와 대응하고 있다. 각 설치 구멍(53)의 피치는, 각 기둥형상 부재(50)의 피치와 대응하고 있다.
복수의 설치 구멍(53)의 폭(직경)은, 모두 동일하게 되어 있는 것은 아니며, 복수의 설치 구멍(53)의 폭(직경)의 분포는, 도 4에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50)의 폭(직경)의 분포에 대응하고 있다. 즉, 중앙 영역(520)에서는 설치 구멍(53)(53a)의 폭이 크게 되어 있으며, 외측 영역(521)에서는 설치 구멍(53)의 폭이 작게 되어 있다.
설치 구멍(53)의 폭(직경)은, 지지 부재(50)의 폭(직경)과 대략 동등하거나, 그것보다 크게 되어 있다. 설치 구멍(53)의 폭이 지지 부재(50)의 폭과 대략 동등한 경우, 설치 구멍(53)의 내부에 지지 부재(53)를 삽입했을 때에, 지지 부재(53)를 위치 어긋나지 않도록 강고하게 고정할 수 있다.
설치 구멍(53)의 개구 형상은, 지지 부재(50)의 형상에 따라 결정되고, 예를 들면 지지 부재(53)가 원기둥 형상 혹은 원뿔 형상으로 이루어질 때에는, 설치 구멍(53)의 개구 형상은 원형인 것이 바람직하다. 또, 예를 들면 지지 부재(53)가 사각기둥 형상 혹은 사각뿔 형상으로 이루어질 때에는, 설치 구멍(53)의 개구 형상은 사각형인 것이 바람직하다.
설치 구멍(53)의 수는, 지지 부재(50)의 개수에 따라 결정되고, 기둥형상 부재(50)의 개수와 동등해도 되고, 혹은 기둥형상 부재(50)의 개수보다 많게 하여, 임의의 설치 구멍(53)에 복수의 기둥형상 부재(50)를 설치해도 된다. 즉, 반드시 모든 설치 구멍(53)의 내부에 기둥형상 부재(50)가 설치되어 있을 필요는 없으며, 기둥형상 부재(50)가 설치되지 않은 설치 구멍(53)이 있어도 된다.
또, 도 11에 나타내는 예에서는, 설치부(52)에는, 복수의 설치 구멍(53)이 7행 7열의 매트릭스형상으로 배치되어 있는데, 도 12a에 나타내는 바와 같이 5행 5열로 배치되어 있어도 된다. 혹은, 도 12b에 나타내는 바와 같이, 설치부(52)에는, 도 12a에 나타내는 설치 구멍(53)보다 작은 폭을 갖는 설치 구멍(53)이 9행 9열로 배치되어 있어도 된다.
또, 도 12c에 나타내는 바와 같이, 복수의 설치 구멍(53)은, 동심원형상으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 각 설치 구멍(53)에 각 기둥형상 부재(50)를 배치하고, 각 기둥형상 부재(50)로 하측 지그 플레이트(46)(도 1b)를 지지했을 때에, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 조정하는 작용을 양호하게 얻을 수 있다.
설치 구멍(53)의 깊이(D)와, 기둥형상 부재(50)의 길이(L)의 비(D/L)는, 바람직하게는 1/10~3/4이고, 더욱 바람직하게는 1/8~1/2이다. 상기 비(D/L)를 상기의 범위로 설정함으로써, 기둥형상 부재(50)를 설치 구멍(53)의 내부에 설치했을 때에, 기둥형상 부재(50)를 직립한 상태에서 안정적으로 고정할 수 있다.
또한, 복수의 설치 구멍(53)의 깊이(D)는, 각각 동등해도 되고, 혹은 상이해도 된다. 예를 들면, 복수의 기둥형상 부재(50) 각각의 길이를 동일하게 한 다음, 이들을 깊이(D)가 상이한 복수의 설치 구멍(53)에 설치했을 경우, 상대적으로 깊이가 깊은 설치 구멍(53)에 설치된 기둥형상 부재(50)의 상단의 높이 위치는, 상대적으로 깊이가 얕은 설치 구멍(53)에 설치된 기둥형상 부재(50)의 상단의 높이 위치보다 낮아진다. 따라서, 도 6b에 나타내는 바와 같이, 각 기둥형상 부재(50)의 상단의 높이 위치에 분포를 형성하는 것이 가능해진다.
복수의 기둥형상 부재(50)는, 연결 부재 등으로 하측 지그 플레이트(46)에 연결(고정)되어 있어도 되고, 혹은, 연결 부재 등으로 하측 지그 플레이트(46)에 연결(고정)되지 않고, 복수의 기둥형상 부재(50)의 상단면이, 간단히 하측 지그 플레이트(46)의 바닥면에 맞닿아 있을 뿐이어도 된다.
복수의 기둥형상 부재(50)가 연결 부재 등으로 하측 지그 플레이트(46)에 연결되는 양태로서, 예를 들면, 도 13a에 나타내는 바와 같이, 복수의 기둥형상 부재(50) 중 어느 하나는, 설치 구멍(53)의 내부에 설치된 상태로, 관통형 연결 부재(54a)로 하측 지그 플레이트(46) 및 설치부(52)(설치 구멍(53))에 고정되어 있어도 된다.
특히, 기판(2)을 가압하기 위한 가압축의 하방에 배치되어 있는 기둥형상 부재(50)(예를 들면, 도 4에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50) 중, 중앙에 위치하는 기둥형상 부재(50a1))에 대해서는, 관통형 연결 부재(54a)를 통해 하측 지그 플레이트(46)에 연결되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 기판(2)을 가압하기 위한 가압축이란, 하중 발생부(30)를 구성하는 장치의 가압축에 대응한다.
가압축의 하방에서는, 하측 지그 플레이트(46)의 휨에 의해, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중량이 상대적으로 작아지는 경우가 있고, 이러한 위치에 배치된 기둥형상 부재(50a1)를, 관통형 연결 부재(54a)를 통해, 하측 지그 플레이트(46)에 연결함으로써, 당해 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 효과적으로 방지할 수 있다.
복수의 기둥형상 부재(50) 중, 기둥형상 부재(50a1)만, 관통형 연결 부재(54a)로 설치 구멍(53)의 내부에 고정함으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙부에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 작아지도록 조정하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 상대적으로 크게 하는 작용을 양호하게 얻을 수 있다.
관통형 연결 부재(54a)는, 예를 들면 볼트나 리벳 등의 체결구, 혹은 그 외의 연결 부재로 이루어진다. 후술하는 비(非)관통형 연결 부재(54b)에 대해서도 동일하다. 관통형 연결 부재(54a)는, 기둥형상 부재(50)(50a1)에 형성된 관통 구멍(510)의 내부를 관통하여, 관통 구멍(510)에 나사결합되어 있다. 또한, 관통 구멍(510)에는 나사결합 홈이 형성되지 않아도 되고, 관통 구멍(510)의 내부에 연결 부재를 삽입하고, 이것을 접착 부재로 관통 구멍(510)의 내벽면에 고정해도 된다.
관통형 연결 부재(54a)의 하단부는, 설치 구멍(53)에 형성된 연결용 오목부(530)의 내부에 삽입되고, 연결용 오목부(530)에 나사결합(결합)되어 있다. 또, 관통형 연결 부재(54a)의 상단부는, 하측 지그 플레이트(46)에 형성된 연결용 오목부(462)의 내부에 삽입되고, 연결용 오목부(462)에 나사결합(결합)되어 있다.
이에 의해, 관통형 연결 부재(54a)를 통해, 설치부(52)와 기둥형상 부재(50)(50a1)와 하측 지그 플레이트(46)가 물리적으로 연결됨과 더불어, 기둥형상 부재(50)(50a1)가 설치부(52)와 하측 지그 플레이트(46) 사이에 강고하게 고정(협지)된다. 기둥형상 부재(50)(50a1)를 하측 지그 플레이트(46)뿐만 아니라 설치부(52)에도 연결함으로써, 당해 기둥형상 부재(50)(50a1)가 배치된 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 연결용 오목부(530) 및 연결용 오목부(462)의 직경은, 관통형 연결 부재(54a)(혹은, 후술하는 비관통형 연결 부재(54b))의 직경에 따라 적절히 결정된다.
또, 복수의 기둥형상 부재(50)가 연결 부재 등으로 하측 지그 플레이트(46)에 연결되지 않는 양태로서, 도 13a에 나타내는 바와 같이, 복수의 기둥형상 부재(50)의 상단면이 하측 지그 플레이트(46)의 바닥면에 맞닿고, 또한, 복수의 기둥형상 부재(50)의 하단면이 복수의 설치 구멍(53)의 바닥면에 맞닿을 뿐이어도 된다. 이 경우, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 하측 지그 플레이트(46) 및 설치부(52) 중 어느 쪽에도 연결되지 않고, 설치부(52)에 설치되게 된다.
혹은, 복수의 기둥형상 부재(50)가 연결 부재 등으로 하측 지그 플레이트(46)에 연결되지 않는 양태로서, 도 13b에 나타내는 바와 같이, 복수의 기둥형상 부재(50)의 상단면이 하측 지그 플레이트(46)의 바닥면에 맞닿고, 또한, 복수의 기둥형상 부재(50)가 설치 구멍(53)의 내부에 설치된 상태로, 복수의 기둥형상 부재(50)의 한쪽 측(하단부)이 비관통형 연결 부재(54b)로 설치 구멍(53)의 바닥면에 연결되어 있어도 된다.
비관통형 연결 부재(54b)의 한쪽 측은, 설치 구멍(53)에 형성된 연결용 오목부(530)의 내부에 삽입되고, 연결용 오목부(530)에 나사결합(결합)되어 있다. 비관통형 연결 부재(54b)의 다른 쪽 측은, 기둥형상 부재(50)에 형성된 연결용 오목부(511)의 내부에 삽입되고, 연결용 오목부(511)에 나사결합(결합)되어 있다. 이에 의해, 비관통형 연결 부재(54b)를 통해, 설치부(52)와 기둥형상 부재(50)가 물리적으로 연결된다.
또한, 도 13c에 나타내는 바와 같이, 설치부(52)로부터 복수의 설치 구멍(53)을 생략하고, 대략 평면 형상(대략 평탄 형상)으로 이루어지는 설치부(52)의 표면에 복수의 연결용 오목부(530)만이 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 기둥형상 부재(50)를 설치부(52)와 하측 지그 플레이트(46) 사이에 배치한 상태에서, 비관통형 연결 부재(54b)의 한쪽 측을 연결용 오목부(530)의 내부에 삽입하고 이것에 나사결합(결합)함과 더불어, 비관통형 연결 부재(54b)의 다른 쪽 측을 연결용 오목부(511)의 내부에 삽입하고 이것에 나사결합(결합)함으로써, 비관통형 연결 부재(54b)를 통해 기둥형상 부재(50)를 설치부(52)에 고정할 수 있다.
또, 기둥형상 부재(50)를 설치부(52)와 하측 지그 플레이트(46) 사이에 배치한 상태에서, 관통형 연결 부재(54a)의 하단부를 연결용 오목부(530)의 내부에 삽입하고 이것에 나사결합(결합)함과 더불어, 관통형 연결 부재(54a)의 상단부를 연결용 오목부(511)의 내부에 삽입하고 이것에 나사결합(결합)함으로써, 관통형 연결 부재(54a)를 통해 기둥형상 부재(50)를 설치부(52) 및 하측 지그 플레이트(46)에 고정할 수 있다.
또한, 도 13a~도 13c에 나타내는 비관통형 연결 부재(54b)는, 기둥형상 부재(50)의 하단부와 설치부(52)(설치 구멍(53)의 바닥면)를 연결하고 있는데, 기둥형상 부재(50)의 상단부와 하측 지그 플레이트(46)를 연결하고 있어도 된다. 또, 비관통형 연결 부재(54b)로 기둥형상 부재(50)의 하단부와 설치부(52)를 연결하는데 더하여, 비관통형 연결 부재(54b)로 기둥형상 부재(50)의 상단부와 하측 지그 플레이트(46)를 연결해도 된다.
또, 도 13a~도 13c에 나타내는 어느 양태에 있어서도, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 비관통형 연결 부재(54b)를 이용하지 않고, 접착제 등의 접속 부재로 설치부(52)에 고정되어 있어도 된다. 또, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 관통형 연결 부재(54a)를 이용하지 않고, 접착제 등의 접속 부재로 설치부(52) 및 하측 지그 플레이트(46)에 고정되어 있어도 된다.
도 13a~도 13c에 있어서, 연결 부재 등을 통해 하측 지그 플레이트(46) 및/또는 설치부(52)에 연결되지 않은 어느 하나의 기둥형상 부재(50)는, 방열성 부재(60)를 통해, 하측 지그 플레이트(46)에 맞닿아 있어도 된다. 이 경우, 도 13b 및 도 13c에 나타내는 바와 같이, 기둥형상 부재(50)의 상단면과 하측 지그 플레이트(46)의 바닥면 사이에, 양호한 방열 성능을 갖는 방열성 부재(60)를 개재시켜도 되고, 혹은 기둥형상 부재(50)의 외표면을 방열성 부재로 덮어도 된다. 도시의 예에서는, 방열성 부재(60)는 판형상의 형상을 갖는데, 기둥형상 부재(50)를 덮는 것이 가능한 커버 등으로 구성되어도 된다.
방열성 부재(60)를 통해 기둥형상 부재(50)의 상단면을 하측 지그 플레이트의 바닥면에 맞닿게 함으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 열을 기둥형상 부재(50)에 효율적으로 전달시킬 수 있음과 더불어, 기둥형상 부재(50)를 통해, 당해 열을 외부에 효율적으로 방열시킬 수 있다. 방열성 부재(60)는, 열전도성이 높은 부재로 구성되어 있으며, 알루미늄, 철, 은, 구리, 또는, 적어도 이들 1종을 포함하는 합금 등에 의해 구성되어 있다. 또한, 방열성 부재(60)가 설치되는 기둥형상 부재(50)의 적어도 일부를 열전도성이 뛰어난 부재로 구성해도 된다.
도 3a에 나타내는 복수의 기둥형상 부재(50)는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 설치 구멍(53)에 설치 가능하게 되어 있다. 예를 들면, 도 14a~도 14h에 나타내는 바와 같이, 복수의 기둥형상 부재(50)는, 복수의 설치 구멍(53) 중, 임의의 설치 구멍(53)에 설치되어도 된다. 도면에 있어서, 흑색부 및 사선부는, 설치 구멍(53)에 기둥형상 부재(50)가 배치되어 있는 것을 나타내고 있다. 예를 들면, 도 14a에 나타내는 예에서는, 설치부(52)에는 5행 5열의 매트릭스형상으로 배치된 복수의 설치 구멍(53)이 형성되어 있으며, 설치부(52)의 중앙 영역(520)에 5개의 기둥형상 부재(50)가 설치되고, 설치부(52)의 네 모퉁이에는 4개의 기둥형상 부재(50)가 설치되어 있다. 다른 설치 구멍(53)에는, 기둥형상 부재(50)는 설치되어 있지 않다.
같은 도면에 나타내는 바와 같이, 중앙 영역(520)에 상대적으로 많은 기둥형상 부재(50)가 배치되어 있는 경우, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)(도 7b 참조)이 휘기 어려워져, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)에 가해지는 하중을 크게 할 수 있다.
보다 상세하게는, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 중앙 영역(520)에서는, 복수의 기둥형상 부재(50)로부터 하측 지그 플레이트(46)에 큰 지지력이 부여되도록, 복수의 기둥형상 부재(50)를 복수의 설치 구멍(53)에 설치함으로써, 하측 지그 플레이트(46)를 휘기 어렵게 하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다. 또, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 중앙 영역(520)의 외측에서는, 복수의 기둥형상 부재(50)로부터 하측 지그 플레이트(46)에 작은 지지력이 부여되도록, 기둥형상 부재(50)의 설치수를 줄임으로써, 하측 지그 플레이트(46)를 휘기 쉽게 하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 조정하여, 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
또한, 중앙 영역(520)의 중심부에 배치된 기둥형상 부재(50a1)에 대해서는, 도 13a에 나타내는 관통형 연결 부재(54a)로 설치부(52) 및 하측 지그 플레이트(46)의 양쪽에 고정되어 있는 것이 바람직하다. 도 14b~도 14h에 대해서도 동일하다. 또, 기둥형상 부재(50a1)는 설치부(52) 및 하측 지그 플레이트(46)의 양쪽을 고정하는 구조이면, 도 13a~도 13c에서 나타낸 볼트 고정에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기둥형상 부재(50a1)의 주위를 둘러싸는 기둥형상 부재 고정용 부재를 설치하고, 그 기둥형상 부재 고정용 부재에 의해 기둥형상 부재(50a1)를 끼워맞춤 고정하는 클램프 고정이어도 된다.
이에 의해, 관통형 연결 부재(54a)를 통해, 기둥형상 부재(50a1)를 하측 지그 플레이트(46)에 강고하게 고정하는 것이 가능해져, 기둥형상 부재(50a1)가 배치된 위치에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)를 보다 휘기 어렵게 하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 효과적으로 증대시키는 것이 가능해진다.
또, 기둥형상 부재(50a1) 이외의 복수의 기둥형상 부재(50)는, 하측 지그 플레이트(46)에 연결 부재 등을 통해 연결되지 않고, 설치부(52)에 설치되어 있다. 그 때문에, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에서는, 하측 지그 플레이트(46)를 보다 휘기 쉽게 하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 효과적으로 감소시킬 수 있다.
또, 도 14b에 나타내는 예에서는, 설치부(52)의 중앙 영역(520)에 1개의 기둥형상 부재(50)(50a1)가 설치되고, 설치부(52)의 네 모퉁이에 4개의 기둥형상 부재(50)가 설치되어 있다. 다른 설치 구멍(53)에는, 기둥형상 부재(50)는 설치되어 있지 않다.
이 경우, 예를 들면, 중앙 영역(520)에 배치된 기둥형상 부재(50a1)의 폭(직경)을 다른 기둥형상 부재(50)의 폭(직경)에 비해 상대적으로 크게 함으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 중앙 영역(460)(도 7b 참조)이 휘기 어려워져, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 증대시킬 수 있다.
또, 도 14c에 나타내는 예에서는, 도 14b에 나타내는 배치에 대해, 추가로 2개의 기둥형상 부재(50)가 중앙 영역(520)의 외측의 영역에 배치되어 있다. 이 경우, 하측 지그 플레이트(46)에 있어서, 중앙 영역(460)(도 7b)의 외측의 영역이 휘기 어려워져, 당해 영역에 있어서, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 증대시킬 수 있다.
또, 도 14d에 나타내는 예에서는, 설치부(52)의 중앙 영역(520)에 9개의 기둥형상 부재(50)가 배치되고, 그 외측의 영역에 12개의 기둥형상 부재(50)가 배치되어 있다. 도 14d에 나타내는 기둥형상 부재(50)의 배치는, 도 7a에 나타내는 기둥형상 부재(50)의 배치와 동일하고, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포는, 도 7b에 나타내는 면내 분포와 동일한 면내 분포로 조정된다.
또, 도 14e에 나타내는 예에서는, 도 14d에 나타내는 배치에 대해, 추가로 4개의 기둥형상 부재(50)가 중앙 영역(520)의 외측의 영역에 배치되어 있다. 도 14e에 나타내는 배치는, 도 8a에 나타내는 기둥형상 부재(50)의 배치와 동일하고, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포는, 도 8b에 나타내는 면내 분포와 동일한 면내 분포로 조정된다.
또, 도 14f에 나타내는 예에서는, 도 14e에 나타내는 배치에 대해, 추가로 8개의 기둥형상 부재(50)가 중앙 영역(520)의 외측의 영역에 배치되어 있다. 도 14f에 나타내는 배치는, 도 10a에 나타내는 기둥형상 부재(50)의 배치와 동일하고, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포는, 도 10b에 나타내는 면내 분포와 동일한 면내 분포로 조정된다.
또, 도 14g에 나타내는 예에서는, 설치부(52)의 중앙 영역(520)에 배치되는 5개의 기둥형상 부재(50)의 폭(직경)이, 중앙 영역(520)의 외측에 배치되는 기둥형상 부재(50)의 폭(직경)보다 작게 되어 있다. 도 14g에 나타내는 배치는, 도 9a에 나타내는 기둥형상 부재(50)의 배치와 동일하고, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포는, 도 9b에 나타내는 면내 분포와 동일한 면내 분포로 조정된다. 이와 같이, 복수의 설치 구멍(53)의 직경은, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 상이해도 된다.
또한, 도 14g에 나타내는 예와는 반대로, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 작아지는 위치에서는, 설치 구멍(53)의 직경을 크게 하여, 직경이 큰 기둥형상 부재(50)를 설치함으로써, 기둥형상 부재(50)로부터 하측 지그 플레이트(46)에 큰 지지력이 부여되고, 하측 지그 플레이트(46)를 휘기 어렵게 하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중을 증대시키는 것이 가능해진다. 또, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 상대적으로 커지는 위치에서는, 설치 구멍(53)의 직경을 작게 하여, 직경이 작은 기둥형상 부재(50)를 설치함으로써, 하측 지그 플레이트를 휘기 쉽게 하여, 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중을 감소시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 조정하여, 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
도 14h에 나타내는 예에서는, 설치부(52)의 중앙 영역(520)에는 3개의 기둥형상 부재(50)가 배치되고, 중앙 영역(520)의 외측의 영역에는 6개의 기둥형상 부재(50)가 배치되어 있다. 복수의 설치 구멍(53)은, 설치부(52)에 동심원형상으로 형성되어 있다. 동심원형상으로 배치된 복수의 설치 구멍(53)에 복수의 기둥형상 부재(50)를 설치하고, 복수의 기둥형상 부재(50)를 동심원형상으로 배치함으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중이 균형을 이루도록 하측 지그 플레이트(46)의 휨을 조정하기 쉬워져, 기판(2)에 가해지는 하중의 균일화를 효과적으로 도모할 수 있다.
이상, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에서는, 설치부(52)에는, 복수의 기둥형상 부재(50)가 각각 설치되는 복수의 설치 구멍(53)이 형성되어 있다. 복수의 기둥형상 부재(50)를 설치부(52)(설치 구멍(53))에 설치함으로써, 복수의 기둥형상 부재(50)의 위치 결정이 용이해짐과 더불어, 복수의 기둥형상 부재(50)의 위치 어긋남을 방지하여, 안정된 상태에서, 복수의 기둥형상 부재(50)로 하측 지그 플레이트(46)를 지지하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에서는, 간이한 수단으로, 기판(2)에 가해지는 하중의 균일화를 효과적으로 도모할 수 있다.
또, 복수의 기둥형상 부재(50)를 각각 복수의 설치 구멍(53)에 설치하는 것만으로, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포에 따른 적절한 위치에 복수의 기둥형상 부재(50)를 위치 결정할 수 있다.
또한, 본 발명은, 전술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위 내에서 여러 가지로 개변할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 복수의 기둥형상 부재(50)는 모두 원기둥 형상을 갖고 있었는데, 복수의 기둥형상 부재(50) 중 어느 하나가 원기둥 형상이고, 나머지 중 어느 하나가 다각기둥 형상, 원뿔 형상, 혹은 다각뿔 형상 등이어도 된다. 이러한 형상으로 이루어지는 복수의 기둥형상 부재(50)는, 일정 하중을 받았을 경우에 있어서의 변형량이 상이하다. 그 때문에, 이 경우에도, 상기 실시 형태와 동일하게, 지지 부재(45)는, 복수의 기둥형상 부재(50)의 형상의 차이에 의거하는 변형량의 차이에 따라, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중의 면내 분포를 조정하여, 하측 지그 플레이트(46)에 발생하는 휨을 조정할 수 있다.
상기 실시 형태에 있어서, 지지 부재(45)는, 복수의 소자(4a, 4b, 4c)가 배치된 기판(2)의 높이의 분포에 따른 지지력을 하측 지그 플레이트(46)에 부여해도 된다. 기판(2)에 가해지는 하중의 불균일성은, 기판(2)의 높이의 분포가 요인으로 발생하는 경우가 있다. 기판(2)의 높이의 분포는, 복수의 소자(4a, 4b, 4c)의 형상이나 크기의 차이, 기판(2)에 대한 복수의 소자(4a, 4b, 4c)의 배치의 비대칭성, 혹은 가압 시에 있어서의 복수의 소자(4a, 4b, 4c)의 변형 등에 의해 발생할 수 있다. 예를 들면, 아무런 대책을 강구하지 않으면, 기판(2)의 높이가 상대적으로 낮은 위치에서는, 상대적으로 작은 하중이 부여되고, 기판(2)의 높이가 상대적으로 높은 위치에서는, 상대적으로 큰 하중이 부여되는 경우가 있다(그 반대의 패턴도 있다).
이러한 경우여도, 기판(2)의 높이가 상대적으로 낮은 위치에서는, 변형되기 어려운 기둥형상 부재를 배치하여, 지지 부재(45)(복수의 기둥형상 부재(50))로부터 하측 지그 플레이트(46)에 상대적으로 큰 지지력을 부여하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 증대하도록 하고, 기판(2)의 높이가 상대적으로 높은 위치에서는, 변형되기 쉬운 기둥형상 부재(50)를 배치하여, 지지 부재(45)(복수의 기둥형상 부재(50))로부터 하측 지그 플레이트(46)에 상대적으로 작은 지지력을 부여하여, 하측 지그 플레이트(46)에 가해지는 하중이 감소하도록 함으로써, 하측 지그 플레이트(46)의 각 위치에 가해지는 하중을 균형을 이루게하여, 기판(2)에 가해지는 하중을 균일하게 할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(2)의 형상은 대략 사각형이었지만, 원형 혹은 그 외의 다각형이어도 된다.
상기 실시 형태에 있어서, 설치 구멍(53)은, 설치부(52) 중, 기둥형상 부재(50)가 배치되는 위치에만 형성되어 있어도 된다. 혹은, 설치 구멍(53)은, 설치부(52) 중, 기둥형상 부재(50)가 배치되지 않는 위치에도 형성되어 있어도 된다.
2: 기판 4: 소자 어레이
4a, 4b, 4c: 소자 6: 감압지
10: 기판 처리 장치 20: 가대
21: 가대 상부 22: 가동 가압부
220: 관통 구멍 221: 중앙 영역
23: 가대 하부 24: 가이드 부시
25: 가이드 샤프트 30: 하중 발생부
40: 기판 가압부 41: 상측 스테이지
42: 하측 스테이지 43: 상측 탑재부
44: 상측 지그 플레이트 45: 지지 부재
46: 하측 지그 플레이트 460: 중앙 영역
461: 측방 영역 462: 연결용 오목부
50, 50a~50g: 기둥형상 부재 500: 집합체
510: 관통 구멍 511: 연결용 오목부
52: 설치부 520: 중앙 영역
521: 외측 영역 53: 설치 구멍
530: 연결용 오목부 54a: 관통형 연결 부재
54b: 비관통형 연결 부재 60: 방열성 부재

Claims (9)

  1. 가압 대상물이 배치되는 하측 지그 플레이트와,
    상기 하측 지그 플레이트를 지지하는 복수의 기둥형상 부재가 설치되는 설치부를 갖는 지지 부재를 갖고,
    복수의 상기 기둥형상 부재는, 상기 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라, 상기 설치부에 설치 가능하게 되어 있는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 설치부에는, 복수의 상기 기둥형상 부재가 각각 설치되는 복수의 설치 구멍이 형성되어 있는, 기판 처리 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    복수의 상기 설치 구멍의 직경은, 상기 하측 지그 플레이트에 가해지는 하중의 면내 분포에 따라 상이한, 기판 처리 장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    복수의 상기 설치 구멍은 동심원형상으로 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 기둥형상 부재 중 어느 하나는, 연결 부재를 통해, 상기 하측 지그 플레이트에 연결되어 있는, 기판 처리 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 연결 부재를 통해 상기 하측 지그 플레이트에 연결된 어느 하나의 상기 기둥형상 부재는, 가압 대상물을 가압하기 위한 가압축의 하방에 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 기둥형상 부재 중 어느 하나는, 연결 부재를 통해, 상기 하측 지그 플레이트 및 상기 설치부에 연결되어 있는, 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 기둥형상 부재 중 어느 하나는, 상기 하측 지그 플레이트 및 상기 설치부에 연결되지 않고, 상기 설치부에 설치되어 있는, 기판 처리 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 하측 지그 플레이트 및 상기 설치부에 연결되지 않은 어느 하나의 상기 기둥형상 부재는, 방열성 부재를 통해, 상기 하측 지그 플레이트에 맞닿아 있는, 기판 처리 장치.
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