KR20230164417A - 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치 - Google Patents

히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치는, 상기 히터 내장형 스로틀밸브의 도어의 중심축에 연결된 샤프트(11); 일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 상기 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12); 상기 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13); 및 상기 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 개폐장치에서는 샤프트가 회동하더라도 히터부는 고정상태로 유지되므로, 히터의 전원케이블이나 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 문제가 발생하지 않게 되고, 결과적으로 구동에 따른 케이블 단락이 발생하지 않게되는 효과 및 케이블의 사용 수명이 획기적으로 늘어나 100만회 이상 유지되는 효과가 있다.

Description

히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치{Opening and closing device for Heater Built-in throttle valve}
본 발명은 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 챔버의 진공정도를 조절할 수 있는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작을 제어하는 개폐장치의 디스크히터의 케이블 수명을 획기적으로 늘릴수 있는 구성을 가진 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에 관한 것이다.
일반적으로, 히터 내장형 스로틀밸브는 진공 장비에서 활용되는 것으로 히터 내장형 스로틀밸브는 공정챔버 내부를 유량을 제어하여 진공도를 조절을 위해 사용된다.
종래에 히터 내장형 스로틀밸브가 사용되는 진공시스템 구조는, 반도체나 기타 공정을 위한 부품을 저장하는 챔버가 있고, 그 챔버에 공기를 빼주는 진공펌프를 결합한다. 진공펌프와 공정 챔버를 서로 연통시키는 것이 히터 내장형 스로틀밸브이다. 히터 내장형 스로틀밸브는 공정챔버 내부를 유량을 제어하여 진공도를 조절하기 위해 사용하는 것이다.
이때, 챔버 진공도를 조절하기 위하여 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작이 이루어지고, 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작은 Disk의 90도 회전 제어에 따라 이루어진다.
이와 같은 종래의 제어장치에는 체결된 샤프트와 샤프트를 회동시키는 회동디스크 및 샤프트내에 고정된 히터가 있으나, 샤프트가 회동함에 따라 히터도 회동하게 되므로, 가동횟수에 따라 히터와 연결된 전원케이블 또는 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 횟수가 증가하게 되고, 결국 대략 10,000 횟수를 넘기지 못하고 단락이 발생하게 되는 문제점이 있다.
따라서 이와 같은 문제점을 해결해줄 수 있는 구조가 필요하였다.
특허등록 제10-1164051호 특허등록 제10-1842970호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐동작을 제어하는 개폐장치의 디스크히터의 케이블 수명을 100만회 이상 획기적으로 늘릴수 있는 구성을 가진 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치는,
상기 히터 내장형 스로틀밸브의 중심축에 연결된 샤프트(11);
일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 상기 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12);
상기 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13); 및
상기 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,
상기 샤프트(11)는 중공으로 상부가 개방되어 있으며, 상부 측면은 상기 회동하우징(12)에 고정결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,
상기 회동하우징(12)은, 하부 또는 상하부가 개방된 중공의 형상이며, 개방된 하부는 상기 샤프트(11)와 고정결합되고, 일측면 상부에는 소정 폭의 통공(12a)이 원주를 따라 형성되며, 상기 통공(12a)의 하부에 회동디스크(13)가 고정구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,
상기 회동디스크(13)는 90도 각도 범위내에서 회동하는 것을 반복하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,
상기 히터부(14)는 직선 봉형상의 히터몸체(14a)와 절곡된 형상의 히터상부(14b)로 구성되며, 상기 히터몸체(14a)는 샤프트(11)내에 베어링(11a)이 게재되어 삽입되고, 상기 히터상부(14b)의 절곡된 부분은 회동하우징(12)의 통공(12a)을 통해 외부로 돌출되어, 상기 샤프트(11)의 회동에 대해 회동없이 고정위치를 유지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에서,
상기 히터상부(14b)의 내부에는 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선이 구비되고, 상기 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선은 전원 및 센서 인입부(34)에 인입되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치는, 샤프트가 회동하더라도 히터부는 고정상태로 유지되므로, 히터의 전원케이블이나 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 문제가 발생하지 않게 되고, 결과적으로 구동에 따른 케이블 단락이 발생하지 않게되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치의 디스크 케이블의 사용 수명이 획기적으로 늘어나 100만회 이상 유지되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치의 대략 사시도.
도 2는 도 1의 측단면도 및 확대도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 히터부의 예시도.
도 4의 (a),(b)는 도 1의 작동상태를 나타내는 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치(10)는, 히터 내장형 스로틀밸브(20)의 디스크(21)의 중심축에 연결된 샤프트(11), 일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 내재된 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12), 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13), 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14)를 포함하여 구성된다.
히터 내장형 스로틀밸브(20)는 원형 디스크(21)가 중심축(미도시)을 중심으로 개폐되도록 구성된다.
샤프트(11)는 중공으로 상부가 개방되어 있으며, 히터 내장형 스로틀밸브(20)의 디스크(21)와 연동되도록 도어의 중심축에 연결되고, 상부 측면은 회동하우징(12)에 고정되어 있고, 히터 내장형 스로틀밸브(20)의 디스크가 90도 각도 범위내에서 회동하며 개폐동작이 이루어지도록 한다.
회동하우징(12)은, 하부 또는 상하부가 개방된 중공의 형상을 가지며, 개방된 하부 내측면은 샤프트(11)와 고정결합되고, 지지대(31) 및 보조플레이트(32)의 관통홀에 상대적인 회동이 가능하도록 끼움결합된다.
또한, 회동하우징(12)의 일측면 상부에는 소정 폭의 통공(12a)이 원주를 따라 형성되며, 통공(12a)의 하부에는 회동디스크(13)가 고정구비되어 있다.
회동디스크(13)의 회동에 따라 회동하우징(12)에 내재된 샤프트(11)는 회동하게 된다.
회동디스크(13)는 보조플레이트(32)위에서 90도 각도 범위내에서 회동하는 것을 반복할 수 있도록 구성된 것으로, 보조플레이트(32)에는 회동디스크(13)의 회동각도를 제어하는 스토퍼(33)가 구비될 수 있다. 이때, 회동디스크(13)는 중심각이 90도인 1/4 원판 형태로 구성될 수 있고, 그에 따라 스토퍼(33)는 180도 각도에 서로 마주보도록 배치될 수 있다.
히터부(14)는 직선 봉형상의 히터몸체(14a)와 90도 각도로 절곡된 형상의 히터상부(14b)로 구성되며, 히터몸체(14a)는 샤프트(11)내에 베어링(11a)이 게재되어 삽입되고, 히터상부(14b)의 절곡된 부분은 회동하우징(12)의 통공(12a)을 통해 외부로 돌출된다. 히터몸체(14a)내에는 히터(H)가 구비된다.
여기서, 히터상부(14b)의 내부에는 히터 전원케이블과 센서케이블(C) 연장선이 구비됨으로써 외부충격에 강하게 보강된다. 이는 히터 전원케이블과 센서케이블(C)의 연결 용접을 히터부의 내부에서 진행하므로 가능하게 되는 것이다.
이와 같은 히터부(14)의 구성에 의해 샤프트가 회동하더라도 히터부(14)는 고정상태로 유지되므로, 히터의 전원케이블이나 센서케이블이 당겨지거나 꼬이는 문제가 발생하지 않게 되고, 결과적으로 구동에 따른 케이블 단락이 발생하지 않게된다.
이와 같은 구성에서 사용 수명이 획기적으로 늘어나 100만회 이상 유지되는 것을 확인하였다.
보조플레이트(32)에는 전원 및 센서 인입부(34)가 구비되어 히터부(14)의 히터의 전원케이블과 센서케이블(C)이 인입된다.
비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정이나 변형이 가능할 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허 청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치
11: 샤프트 12 회동하우징
12a: 통공 13: 회동디스크
14: 히터부 14a: 히터몸체
14b: 히터상부
20: 히터 내장형 스로틀밸브 21: 디스크
31: 지지대 32: 보조플레이트
33: 스토퍼 34: 전원 및 센서 인입부
H: 히터 C: 전원 케이블과 센서케이블

Claims (6)

  1. 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치에 있어서,
    상기 히터 내장형 스로틀밸브의 디스크의 중심축에 연결된 샤프트(11);
    일측면 상부에 통공(12a)이 형성되며, 상기 샤프트(11)를 회동시키는 회동하우징(12);
    상기 회동하우징(12)의 일측면에 고정구비된 회동디스크(13); 및
    상기 샤프트(11)내에 베어링이 게재되어 삽입된 히터부(14);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 샤프트(11)는 중공으로 상부가 개방되어 있으며, 상부 측면은 상기 회동하우징(12)에 고정되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 회동하우징(12)은, 하부 또는 상하부가 개방된 중공의 형상이며, 개방된 하부는 상기 샤프트(11)와 고정결합되고, 일측면 상부에는 소정 폭의 통공(12a)이 원주를 따라 형성되며, 상기 통공(12a)의 하부에 회동디스크(13)가 고정구비되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 회동디스크(13)는 90도 각도 범위내에서 회동하는 것을 반복하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 히터부(14)는 직선 봉형상의 히터몸체(14a)와 절곡된 형상의 히터상부(14b)로 구성되며, 상기 히터몸체(14a)는 샤프트(11)내에 베어링(11a)이 게재되어 삽입되고, 상기 히터상부(14b)의 절곡된 부분은 회동하우징(12)의 통공(12a)을 통해 외부로 돌출되어, 상기 샤프트(11)의 회동에 대해 회동없이 고정위치를 유지하는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 히터상부(14b)의 내부에는 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선이 구비되고, 상기 히터 케이블과 센서케이블(C) 연장선은 전원 및 센서 인입부(34)에 인입되는 것을 특징으로 하는 히터 내장형 스로틀밸브의 개폐장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10259877A (ja) * 1997-03-19 1998-09-29 Nippon Aera Kk ヒータを具えた制御弁
JP2001004064A (ja) * 1999-06-24 2001-01-09 Mitsubishi Electric Corp 圧力調整弁およびこれを備えた半導体製造装置
KR100927965B1 (ko) * 2009-06-11 2009-11-24 주식회사현대밸브 조립식 회전 제한수단을 갖는 버터플라이 밸브
KR101164051B1 (ko) 2011-11-25 2012-07-18 주식회사 마이크로텍 게이트밸브의 개폐장치
KR101842970B1 (ko) 2016-01-05 2018-03-29 주식회사 마이크로텍 게이트 밸브의 개폐장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10259877A (ja) * 1997-03-19 1998-09-29 Nippon Aera Kk ヒータを具えた制御弁
JP2001004064A (ja) * 1999-06-24 2001-01-09 Mitsubishi Electric Corp 圧力調整弁およびこれを備えた半導体製造装置
KR100927965B1 (ko) * 2009-06-11 2009-11-24 주식회사현대밸브 조립식 회전 제한수단을 갖는 버터플라이 밸브
KR101164051B1 (ko) 2011-11-25 2012-07-18 주식회사 마이크로텍 게이트밸브의 개폐장치
KR101842970B1 (ko) 2016-01-05 2018-03-29 주식회사 마이크로텍 게이트 밸브의 개폐장치

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