KR20230164010A - 용접 테스트 시스템 - Google Patents

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KR20230164010A
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KR1020237029599A
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존 하일베르트
로즈 카이저
매튜 밀번
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울트라 클린 홀딩즈 인코포레이티드
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Abstract

유체 구성요소의 연결부들 및 용접부들의 무결성을 점검하기 위한 유체 테스트 시스템은 제1 및 제2 이소프로판올 탱크들에 선택적으로 연결된 제1 질소 소스, 유체 라인 순환 회로, 유체 순환 라인에 선택적으로 연결된 드레인, 제1 IPA 라인을 통해 유체 라인 순환 회로에 연결된 제1 IPA 탱크와 제2 IPA를 통해 유체 라인 순환 회로에 연결된 제2 IPA 탱크, 제1 및 제2 IPA 탱크들에 선택적으로 연결된 제2 드레인, 탈이온수 소스 및 유체 라인 순환 회로에 선택적으로 연결가능한 제1 탈이온수 라인 및 진공 선택 밸브를 통해 유체 라인 순환 회로에 선택적으로 연결가능한 진공 펌프를 포함하며, 유체 라인 순환 회로는 테스트 대상 유닛을 통해 물, 질소 및 IPA를 흐르도록 선택적으로 구성될 수 있다.

Description

용접 테스트 시스템
[0001] 본 출원은 2021년 2월 1일자로 출원된 미국 가특허 출원 제63/144,008호의 이익을 주장하며, 상기 가특허 출원은 본 명세서에 참조로 포함된다.
[0002] 본 개시는 공정 배관에 사용되는 용접부들, 예를 들어 나사산 커넥터를 일정 길이의 튜빙에 연결하는 데 사용되는 용접부들의 분야에 관한 것이며, 특히 압력 및 진공 무결성을 위한 용접부들 및 연결부들의 세척 및 테스트에 관한 것이다.
[0003] 공정 배관 또는 튜빙은 다수의 산업들에서 공정 유체들을 공정 장비, 예를 들어 반도체 및 기타 재료들의 표면들 상에 박막 층들을 형성하거나, 반도체 및 기타 재료들의 표면들로부터 재료 또는 박막 층들을 제거하기 위해 사용되는 장비에 전달하기 위해 사용된다. 이러한 공정 배관은 마스크를 통과하는 전자기 에너지를 사용하여 박막 층들을 노출시키는 데 사용되는 장비 및 패턴화된 재료 제거에 사용되는 장비에도 채용된다. 화학 기상 증착을 사용하여 박막 층들을 증착하거나 재료 박막 층들 또는 기본 기판 표면을 에칭하는 데 사용되는 공정 가스들은 종종 부식성, 발열성, 폭발성 또는 유독성 중 적어도 하나인 경우가 많다. 이러한 가스들은 원하는 길이로 절단 및/또는 구부러진 튜빙을 통해 공정 디바이스에 공급되고 맞춤형 방식으로 라우팅되며, 이 튜빙들은 개별 튜빙 단부들에서 피팅 연결부의 수형 절반부 또는 암형 절반부 중 하나에 용접되거나 다른 방식으로 상호 연결된다. 그 후, 이러한 암형 및 수형 피팅 절반부들을 사용하여 추가의 튜빙 단부에 있는 피팅의 대응 및 정합하는 수형 또는 암형 절반부에 또는 공정 장비, 가스 패널, 공장 가스 공급 라인, 가스 보틀, 버블러 또는 증발기 또는 기타 연결부 상의 피팅의 대응 및 정합하는 수형 또는 암형 절반부에 연결한다. 이러한 피팅 구성 중 하나는 스웨즈락(등록상표)(Swagelok®)으로부터 입수 가능한 VCR 연결부로, 피팅의 암형 절반부에는 나사산 보어가 포함되고, 피팅의 수형 절반부에는 정합 나사산 보스와 관통 보어가 포함된다. 각각 이의 일단부에서 공정 튜빙의 섹션에, 그리고 타단부에 확대된 환형 밀봉면에 유체 밀봉 방식으로 용접되거나 다른 방식으로 연결되도록 구성된 관형 부분을 포함하는 한 쌍의 튜빙 스터브들도 제공된다. 튜빙 스터브들의 관형 부분들은 수형 및 암형 부분들의 개구부들을 통해 연장되어, 수형 및 암형 부분들이 함께 나사 결합될 때, 환형 밀봉면들이 피팅 내에서 서로 인접하고 마주보게 된다. 밀봉 개스킷이 환형 밀봉면들 사이에 제공되어 밀봉 연결부를 형성할 수도 있다. 다른 이러한 피팅 구성은 플랜지 유형들이 대칭이고 볼트들 또는 클램프로 미리 로드된 개스킷을 사용하는 KF 스타일 또는 볼트형 플랜지 스타일 연결부들을 튜브들이 갖는 구성이다. 피팅 또는 상호 연결되는 연결 부분들이 튜브들에 연결되고, 튜브들이 유체 회로를 구성하기 위해 다른 튜빙의 섹션들에 용접되는 추가의 연결부들 또는 피팅들이 알려져 있다.
[0004] 공정 튜빙 및 수형 또는 암형 절반부, 또는 적어도 이의 일 단부에 연결된 대칭 플랜지 유형의 피팅을 포함하는 공정 배관들은 부식성, 발열성, 폭발성 또는 유독성일 수 있는 유체들을 운반하기 때문에, 공정 배관들은 누출이 없는지 확인하기 위해 테스트되어야 한다. 여기에는 공정 배관을 구성하기 위해 튜빙 스터브 또는 기타 피팅 요소가 일정 길이의 튜빙에 용접된 위치에서 누출이 발생하지 않는지 확인하기 위해 독립형 상태에서 공정 배관들을 테스트하는 것이 포함된다. 즉, 공정 배관에서 운반되는 유체들이 공정 배관 외부로, 그리고 공정 배관들이 설치된 공장의 공장 환경이나 장비 내부로 누출될 수 없음을 보장하기 위해 테스트되어야 한다. 마찬가지로, 공정 배관들이 상대적으로 높은 압력으로 유지되는 유체를 공정 배관들 내에서 흐르게 하는 고압 적용예들에 사용되는 경우, 피팅들의 수형 및 암형 절반부들의 튜빙 스터브들 또는 기타 요소들의 튜빙에의 연결부 및/또는 임의의 용접된 조인트들이 고압에 노출되었을 때 누출되거나 고장 나지 않는지 확인하기 위해 압력 테스트를 수행해야 한다. 그러나, 이러한 공정 배관들을 세척 및 테스트하는 동안 이러한 공정 배관들을 취급하는 것은 튜빙 스터브들 또는 피팅 절반부들의 기타 요소들과 예를 들어, 용접 또는 기타 밀봉 메커니즘을 통해 이들이 연결되는 튜빙 단부들의 기계적 밀봉 연결부가 누출되거나 고장날 수 있는 손상 원인으로 여겨진다.
[0005] 통합 세척 및 테스트 시스템은, 공정 튜빙의 제1 정합 연결부에 연결되도록 구성된 제1 커넥터, 공정 튜빙의 제2 정합 연결부에 연결되도록 구성된 제2 커넥터, 제1 및 제2 커넥터들 중 하나에 작동가능하게 연결가능한 제1 유체 테스트 디바이스, 제1 및 제2 커넥터들 중 하나에 작동가능하게 연결가능한 제1 유체 소스, 제1 및 제2 커넥터들 중 하나에 작동가능하게 연결가능한 제2 유체 소스 및 복수의 테스트 배관 및 밸브들을 포함하는 테스트 회로를 포함하며, 밸브들은 제1 유체 테스트 디바이스, 제1 유체 소스 또는 제2 유체 소스 중 하나를 제1 및 제2 커넥터들 중 하나와 유체 연통하도록 선택적으로 배치되도록 선택적으로 위치결정가능하며, 이로써 제1 유체 테스트 디바이스, 제1 유체 소스 또는 제2 유체 소스 각각은 사용자 선택 가능한 순서로 제1 및 제2 커넥터 중 하나와 유체 연통하여 시스템이 테스트, 세척 또는 건조 단계들 중 임의의 단계들 사이에서 공정 배관을 시스템으로부터 제거할 필요 없이 공정 튜빙을 테스트, 세척 및 건조할 수 있도록 한다.
[0006] 전술한 본 개시의 특징들이 상세하게 이해될 수 있도록, 위에서 간략하게 요약된 본 개시의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있으며, 실시예들 중 일부는 첨부 도면들에 예시되어 있다. 그러나, 첨부 도면들은 예시적인 실시예들만을 예시한 것이므로, 그 범위가 제한되는 것으로 간주되어서는 안 되며, 다른 동등하게 효과적인 실시예들을 인정할 수 있다는 점에 유의해야 한다.
[0007] 도 1은 압력 및 진공, 즉 비누출, 무결성에 대한 용접부들의 테스트를 위해 제공되는 일 예의 배관 테스트 디바이스 또는 캐비닛의 등각도이다.
[0008] 도 2a는 도 1의 배관 테스트 디바이스의 일부에 대한 확대 등각도로서, 여기서 캐비닛의 상부 부분의 하부 베이스를 통해 상방으로 연장되는 파이프 개구부를 도시한다.
[0009] 도 2b는 도 1의 배관 테스트 디바이스의 일부에 대한 확대 등각도로서, 여기서 각각 파이프 개구부들 중 하나에 연결된 다수의 공정 배관들을 테스트하기 위해 포함된 한 쌍의 매니폴드들을 도시한다.
[0010] 도 2c는 도 1의 배관 테스트 디바이스의 일부에 대한 배면도이다.
[0011] 도 3은 도 1의 배관 테스트 디바이스의 일부에 대한 확대 등각도로서, 여기서 파이프 개구부들 중 하나에 연결된 용접부들의 수압 테스트를 위한 고압 차단 밸브들을 도시한다.
[0012] 도 4는 도 1의 테스트 캐비닛의 구성 가능한 배관 유체 테스트 회로와, 테스트 대상 배관의 유닛, 여기서는 테스트 대상 유닛의 용접부들에 대한 진공 누출 테스트를 수행하기 위한 이의 구성을 도시한다.
[0013] 도 5는 고압수 또는 다른 고압 유체를 사용하여 테스트 대상 유닛의 자동화된 정수압 테스트를 위한 유동 경로를 형성하기 위한 도 4의 배관 유체 테스트 회로의 구성을 묘사한다.
[0014] 도 6은 테스트 대상 유닛으로부터 물을 밀어내고 가열된 질소로 테스트 대상 유닛을 플러싱/건조하기 위한 유동 경로를 형성하기 위한 도 4의 배관 유체 테스트 회로의 구성을 묘사한다.
[0015] 도 7은 이소프로판올(IPA)을 사용하여 테스트 대상 유닛의 플러싱을 위한 유동 경로를 형성하기 위한 도 4의 배관 유체 테스트 회로의 구성을 묘사하는 것으로, 이소프로판올은 IPA 저장 탱크 내의 IPA를 통해 질소 가스 압력에 의해 유체 테스트 회로의 일부에서 유동하도록 가압된다.
[0016] 도 8은 이소프로판올의 흐름에 이어 질소로 테스트 대상 유닛을 플러싱하기 위한 유동 경로를 형성하기 위한 도 4의 배관 유체 테스트 회로의 구성을 묘사한다.
[0017] 도 9는 탈이온수로 테스트 대상 유닛을 플러싱하기 위한 유동 경로를 형성하기 위한 도 4의 배관 유체 테스트 회로의 구성을 묘사한다.
[0018] 도 10은 테스트 대상 유닛으로부터 물을 밀어내고, 테스트 대상 유닛을 질소로 플러싱하기 위한 유동 경로를 형성하기 위한 도 4의 배관 유체 테스트 회로의 구성을 묘사한다.
[0019] 도 11은 테스트 대상 유닛을 진공 건조시키기 위한 유동 경로를 형성하기 위한 도 4의 배관 유체 테스트 회로의 구성을 묘사한다.
[0020] 도 12는 테스트 대상 유닛의 양방향 질소 플러싱 또는 퍼징을 가능하게 하기 위해 도 4의 배관 유체 테스트 회로를 수정한 구성을 묘사한다.
[0021] 이해를 용이하게 하기 위해, 가능한 경우 도면들에 공통적인 동일한 요소들을 지정하는 데에는 동일한 참조 번호들이 사용되었다. 일 실시예의 요소들 및 특징들은 추가적인 언급 없이 다른 실시예들에 유리하게 통합될 수 있는 것으로 고려된다.
[0022] 본 발명에는 예를 들어 배관의 단부들을 피팅들의 대응하는 부분들에 용접하여 피팅들에 연결된 일정 길이의 튜빙들을 포함하는 공정 배관을 테스트, 세척 및 건조하기 위한 배관 유체 테스트 디바이스가 제공된다. 도 1에 도시된 이의 양태에서, 디바이스는 하나 이상의 공정 배관들을 연결할 수 있는 테스트 캐비닛(100)으로서 구성되며, 공정 배관들 각각은 용접부 진공 무결성을 포함한 진공 무결성에 대해, 그리고 원하는 경우 고압 유체 무결성에 대해, 즉 공정 배관의 내부가 고압일 때 용접부가 누출되지 않는지에 대해 평가된다. 테스트 유체 회로는 적어도 부분적으로는 캐비닛 내에 제공되며, 이는 공정 배관, 여기서는 "테스트 대상 유닛"의 내부를 진공에, 원하는 경우 높은 유체 압력에, 그리고 이소프로필 알코올과 같은 세척제, 건조 가열 가스, 예를 들어 건조 가열 질소 또는 N2와 같은 건조제에 노출하도록 선택적으로 구성할 수 있다. 테스트 대상 유닛의 내부가 진공에 노출되면, 테스트 대상 유닛의 용접 조인트(들)의 외부로 누출 점검 가스를 도입할 수 있으며, 테스트 유체 회로는 누출 점검 가스가 용접 조인트(들)를 통과하여 테스트 대상 유닛의 내부로 들어갈 경우 헬륨 검출기에 도달할 수 있도록 구성된다. 테스트 유체 회로는 컴퓨터 또는 다른 사용자 주소 지정 가능 논리 디바이스를 사용하여, 사용자가 원하는 임의의 순서로 테스트 대상 유닛의 내부가 진공, 고압, 세척 유체 및 건조 유체에 선택적으로 노출되도록 유체 테스트 회로의 서브 회로들을 형성하기 위해 밸브를 선택적으로 개방 및 폐쇄하도록 사용자가 구성할 수 있다.
[0023] 도 1을 먼저 참조하면, 공정 배관들, 이하 "테스트 대상 유닛들" (1066)(도 2a 및 도 2b)을 테스트하고 그 후에 세척할 수 있는 통합 용접 테스트 캐비닛(100)의 등각도가 묘사된다. 여기서, 통합 용접 테스트 캐비닛(100)은 연결될 테스트 대상 유닛의 단부들에 있는 피팅 절반부들을 연결할 수 있고, 테스트 대상 유닛(1066)에 대해 하나 이상의 평가들 또는 테스트들을 수행할 수 있도록 구성된다. 예를 들어, 캐비닛(100)은 헬륨을 사용하여 테스트 대상 유닛(1066)의 자동 누출 테스트를 수행하고, 그 후 테스트 대상 유닛(1066)의 누출 테스트 전, 후 또는 전후에 테스트 대상 유닛(1066)의 내부 표면들의 플러싱 및 건조를 수행하는 데 사용될 수 있다. 추가로, 캐비닛(100)을 사용하여 테스트 대상 유닛(1066)의 진공 테스트에 추가하여, 또는 대안적으로, 주위 주변보다 큰 압력에서 테스트 대상 유닛(1066)의 압력 테스트도 가능하다.
[0024] 여기서, 캐비닛(100)은 강철 또는 다른 금속 프레임(70)을 포함하는 캐비닛 쉘(116)을 포함하며, 나사산 패스너들 또는 다른 고정 요소들에 의해 프레임(70)에 연결된 스킨들(72)에 의해 경계 설정된 하부 인클로저(80)를 갖는 직사각형 프리즘으로 구성된다. 캐비닛(100)은, 각각 스크린(74)으로 덮이고 캐비닛(100)의 대향되는 측면들에 각각 하나씩인 스킨들(72)을 통해 연장되는 적어도 2개의 환기 개구부들(117), 상부 캐비닛 표면(84) 및 하부 인클로저(80) 내의 하부 장비 베이스(76)를 포함한다. 사용자 인터페이스 격실(121)은 프레임(70)의 내부 경계 내에서 상부 캐비닛 표면(84) 위로 연장된다. 하부 인클로저(80)는 후면 패널(86)(도 2c)을 형성하는 스킨에 의해 추가로 경계 설정되며, 후면 패널을 통해 DI 수, 이소프로필 알코올(IPA), 헬륨 및 질소와 같은 테스트용 시설 유체들이 캐비닛(100)을 사용하여 테스트 대상 유닛(1066)을 테스트하는 데 사용될 수 있도록 하부 인클로저(80) 내부로 공급될 수 있다. 시설 라인들, 독립 보틀들 또는 이 둘의 조합이 이러한 시설들을 공급할 수 있다. 캐비닛(100)은 프레임(70)의 하부 단부(78)의 이의 네 모서리들 각각에서, 캐비닛(100)의 이동을 가능하게 하고, 캐비닛(100)의 이동으로부터 원하는 위치에 캐비닛(100)을 로킹 또는 고정하기 위해 캐스터 또는 로킹 가능 휠(114)(3개만 도시됨)에 연결된다.
[0025] 캐비닛(100)의 하부 인클로저(80)는 렌치들, 유닛 어댑터들(201)(도 2) 및 테스트 대상 유닛들의 테스트에 사용되는 기타 용품과 같은 도구들을 수용하기 위해, 하부 인클로저(80)의 외부로부터 접근 가능한 복수의 서랍들(118), 여기서는 각각 서랍 핸들들(119) 및 잠금 장치들(120)을 갖는 2개의 서랍들을 포함한다. 하부 인클로저(80)의 나머지 부분에는 각각 이소프로필 알코올(액체 상태로 저장된 IPA)과 같은 세척제를 수용, 저장 및 분배할 수 있는 복수, 여기서는 2개의 유체 탱크들(103) 및 한 쌍의 배관들의 단부들, 여기서는 C-밀봉 표면 장착 밸브들 또는 매니폴드들의 단부들에 한 쌍의 파이프 개구부들(115) 및 진공 펌프(107)가 있으며, 상기 밸브들 또는 매니폴드들 모두는 복수의 테스트 배관들(110), 여기서는 테스트 중에 통과될 유체들에 대해 불활성인 깨끗한 매끄러운 내부 표면들을 갖는 스테인리스강 또는 기타 배관의 섹션들 또는 길이들에 유동적으로 상호 연결가능하다. 본 명세서 후술하는 바와 같이, 추가적인 유체 구성요소들이 하부 인클로저에 존재하고 테스트 배관들(110) 중 선택된 배관들에 연결된다. 본 명세서에서 후술하는 바와 같이, 복수의 밸브들도 하부 인클로저(80) 내에 위치하며, 테스트 배관들(110) 중 선택된 배관들과 진공 펌프(107), 유체 탱크들(103) 및 선택적 고압 테스트 시스템(1063)(도 3, 도 4)을 상호 연결하여 배관 유체 테스트 회로를 형성한다. 배관 유체 테스트 회로는 캐비닛(100)을 사용하여 평가되는 테스트 대상 유닛(1066)에서 하나 이상의 테스트 작업들 또는 절차들을 수행하기 위한 개별 구성 가능한 유체 회로들을 형성하도록 구성할 수 있다.
[0026] 배관 유체 테스트 회로는 테스트 대상 유닛(1066)이 부착될 테스트 배관들(110)을 포함한다. 이러한 테스트 배관들(110)은, 하부 인클로저(80)의 외측으로, 그리고 상부 캐비닛 표면(84)을 통해 연장되는 배관들의 쌍의 단부들에 한 쌍의 파이프 개구부들(115)을 포함하며, 이 개구부들 사이에는 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 테스트 대상 유닛(1066)이 두 파이프 개구부들(115) 사이 및 이들에 걸쳐 연결될 수 있도록 충분한 공간이 존재한다. 파이프 개구부들(115)을 갖는 배관의 단자 단부들은 캐비닛(100)의 사용자 인터페이스 격실(121) 내의 상부 캐비닛 표면(84)에 대해 약 2㎝ 내지 10㎝ 위에 위치한다. 상부 캐비닛 표면(84) 위의 캐비닛(100) 영역은 캐비닛(100)의 사용자가 파이프 개구부들(115)에 걸쳐 테스트 대상 유닛(1066)을 부착하기 위해 접근할 수 있는 사용자 인터페이스 격실(121)을 형성한다. 어댑터들은 테스트 대상 유닛(1066)이 한 쌍의 파이프 개구부들(115) 사이에 밀폐된 유체 경로를 제공하도록, 테스트 대상 유닛(1066)의 양단부들에 있는 대향 피팅 절반부들에 연결되어, 파이프 개구부들(115)에 연결될 수 있다. 또한, 고압 차단 밸브들(301)이 캐비닛(100)에 연결되고, 도 3에 도시된 바와 같이 테스트 대상 유닛(1066)이 이에 연결될 때, 테스트 대상 유닛(1066)의 유동 통로 내에 고압 유체를 공급하기 위한 별도의 고압 테스트 유닛이 파이프 개구부들(115)에 개별적으로 연결될 수 있다.
[0027] 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)는 후면 패널(86) 위의 캐비닛의 프레임(70) 부분에 연결된다. 그래픽 사용자 인터페이스(113)는 컴퓨터 및/또는 프로그래머블 논리 제어기(PLC)의 최상부에 연결되고, 그리고, 또는 그 위에 놓이며, 컴퓨터 및/또는 프로그래머블 논리 제어기(PLC)는 테스트 구성들 및 속성들을 표시하도록 그래픽 사용자 인터페이스(113)에 지시할 수 있고, 테스트 구성들, 속성들 또는 레시피에 관한 사용자 명령들을 수신할 수 있으며, 테스트 중인 특정 유닛과 연관된 테스트 결과들을 출력 및 저장할 수 있고, 캐비닛의 하부 인클로저(80) 및 사용되는 경우 임의의 고압 테스트 유닛 내의 구성요소들 및 밸브들의 작동을 제어하여 테스트 대상 유닛(1066)에서 테스트를 실행하도록 지시할 수 있다. 예를 들어, 테스트 대상 유닛(1066) 각각은 테스트 대상 유닛 상의 코드 또는 바코드와 같은 고유 식별자를 포함할 수 있고, 이 코드는 스캐너(도시되지 않음)를 통해 컴퓨터에 입력되거나 캐비닛(100)의 사용자가 GUI를 통해 수동으로 입력하고, 컴퓨터는 테스트 대상 유닛의 코드에 기초하여 캐비닛(100)의 사용자 또는 소유자에 의해 사전 프로그래밍된 일련의 절차들을 수행하기 위해 또는 테스트 중인 특정 유닛(1066)에 대한 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 특별히 서로 다르게 입력된 일련의 절차들을 수행하기 위해 하부 엔클로저(80) 내 밸브들 및 기타 구성요소들의 작동을 제어한다.
[0028] 이제 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 파이프 개구부들(115)과 테스트 대상 유닛(1066)을 유동적으로 함께 연결할 수 있는 복수의 유닛 어댑터들(201)을 구비한 사용자 인터페이스 격실(121)의 일부에 대한 등각도가 도시되어 있다. 일 양태에서, 유닛 어댑터는 이의 양 단부에 형성된 일체형 피팅 절반부들을 갖는 고압 스테인리스 스틸 튜빙이고, 테스트 대상 유닛(1066)의 수압 테스트가 수행되는 압력을 견딜 수 있도록 정격화된다. 여기서, 유닛 어댑터는 유연할 수 있고, 튜빙 길이가 서로 다르지만 동일한 크기의 피팅 절반부들을 갖는 다수의 서로 다른 유형들의 테스트 대상 유닛들에 대해 재사용할 수 있다.
[0029] 다른 양태에서, 유닛 어댑터(201)는 대향하는 피팅 절반부들을 갖는 스테인리스 스틸 튜브를 포함하는데, 하나의 피팅 절반부는 파이프 개구부들(115) 중 하나에 결합하는 암형 피팅 절반부로서 구성되고, 다른 피팅 절반부는 테스트 대상 유닛(1066)의 단부들 중 하나에 있는 정합 피팅 절반부와 결합하는 수형 또는 암형 절반부이고, 두 결합들은 유체 밀폐 방식으로 연결되어, 컴퓨터의 제어 또는 수동 제어 하에 액체들 및 가스들이 파이프 개구부들(115) 사이 및 이들에 걸쳐 유체 흐름을 가능하게 하기 위해 테스트 대상 유닛(1066)을 연결한다. 이러한 양태에서, 유닛 어댑터들(201)은 파이프 개구부들(115) 사이의 간격들 및 테스트 대상 유닛(1066)의 특정 구성 상의 피팅들의 위치들 및 유형들에 기초하여 맞춤 제조되며, 따라서 유닛 어댑터들(201)은 테스트 대상 특정 유닛(1066)에 맞춤화되고, 테스트 대상 각각의 유닛(1066)은 동일한 유형의 다른 테스트 대상 유닛(1066)을 파이프 개구부들(115)에 연결하는 데 재사용할 수 있는 특정 세트의 유닛 어댑터들(201)을 필요로 한다. 이러한 양태에서, 유닛 어댑터들(201)의 피팅 절반부들은 먼저 테스트 대상 유닛(1066)의 대향 단부들에 있는 피팅 절반부들에 연결되고, 그 후 유닛 어댑터들의 타단부들에 있는 암형 피팅 절반부들이 수형 피팅 절반부로서 구성된 파이프 개구부들(115)에 연결되어 파이프 개구부들(115) 사이 및 이들에 걸쳐 테스트 대상 유닛(1066)을 연결한다. 여기서, 도 2a 및 도 2b에 도시된 테스트 대상 유닛(1066)의 경우, 유닛 어댑터들(201)은 각각 90° 구부러진 튜빙의 길이를 포함하여, 파이프 개구부(115)에 연결된 일정 길이의 튜빙의 일단부가 상부 캐비닛 표면(84)으로부터 연장되어 파이프 개구부(115)에서 종단되는 파이프의 부분과 일반적으로 평행하고 선형적으로 연장되고, 테스트 대상 유닛(1066)의 피팅에 연결된 튜빙의 제2 단부는 일반적으로 상부 캐비닛 표면(84)과 평행하도록 구성한다. 추가로, 테스트 대상 유닛(1066)은 그 안에 2개 초과의 피팅 절반부들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 테스트 대상 유닛은 추가의 튜빙들 및 연관된 피팅 절반부들을 갖는 하나 이상의 연결 위치들로부터 나오는 하나 이상의 분기들을 포함할 수 있다. 이들 테스트 대상 유닛들(1066)을 테스트하기 위해, 2개 초과의 피팅 절반부들은 블라인드 정합 피팅 절반부들, 즉 블라인드 피팅 절반부의 하류 측에 있는 임의의 길이의 배관을 통해 유체가 유입될 수 있지만 흐르지 않도록 그 안의 폐쇄 또는 블라인드 보어에만 유동적으로 연결되는 피팅 절반부들에 연결된다.
[0030] 테스트 대상 유닛 상에 서로 다른 피팅 구성들이 존재하는 경우, 유닛 어댑터(201)의 피팅 절반부는 테스트 대상 유닛(1066) 상의 피팅 절반부의 적절한 크기에 대해 선택된다. 도 2a에 도시된 바와 같은 일 실시예에서, 유닛 어댑터(201)는 개구부들(115)의 배관 및 테스트 대상 유닛(1066)에 직접 고정되고, 캐비닛(100)은 테스트 대상 유닛(1066)을 한 번에 하나씩 테스트하도록 구성된다. 제2 실시예에서, 제2 이상의 쌍들의 파이프 개구부들(115) 및 대응하는 유닛 어댑터들(201)이 제공된다. 도 2b에서, 이것은 한 쌍의 어댑터 매니폴드들(202)에 의해 제공되며, 각 어댑터 매니폴드는 중앙 공통 매니폴드에 연결된 어댑터 매니폴드 파이프 개구부들(115a)을 통해 복수, 여기서는 3개의 파이프 개구부들(115)에 연결되고, 각각의 어댑터 매니폴드의 중앙 공통 매니폴드는 파이프 개구부들(115) 중 하나에 연결된다. 어댑터 매니폴드들(202)은 테스트 대상 다수의 유닛들(1066)을 캐비닛 상에서 또는 캐비닛 내에서 동시에 테스트할 수 있도록 한다.
[0031] 캐비닛(100)은 본 명세서에서 테스트 대상 유닛(1066)을 통한 유체들의 자동 순환을 위해 구성된다. 그러나, 수동 작동도 고려된다. 특히, 테스트 대상 유닛들(1066)의 일부만 고압 용접 무결성을 테스트할 필요가 있는 경우, 고압 테스트 장비는 캐비닛(100)의 하부 인클로저(80) 내에 위치할 필요는 없고, 파이프 개구부들(115) 위에 제공된다. 도 3을 참조하면, 외부 고압 테스트 디바이스에 연결하기 위한 한 쌍의 수압 테스트 밸브들(301)이 있는 사용자 인터페이스 격실(121)의 등각도가 도시되어 있다. 각각의 정수압 테스트 밸브는 파이프 개구부들(115) 중 대응하는 하나에 나사 결합되는 연결 단부(306)를 갖는 밸브체(302), 밸브체(302)를 통과하는 유동 통로의 개폐를 허용하도록 밸브체(302)에 작동적으로 연결된 수동 조작들 레버(304) 및 테스트 대상 유닛(1066)에 연결된 유닛 커넥터의 연결을 위한 보조 파이프 개구부(115)를 포함한다. 정수압 테스트 밸브들(301) 중 하나는 고압 유체 라인을 연결하기 위한 고압 유체 유입구(308)를 또한 포함한다. 테스트 대상 유닛의 고압 테스트 동안, 유체, 즉 고압 유체가 데드헤드되고, 여기서 물이 정수압 테스트에 사용되는 테스트 배관들(110)의 부분들을 채우기 위해 흐르고, 그 후 드레인 밸브가 폐쇄되어, 유체 압력이 원하는 테스트 압력까지 공정 배관들(110) 및 테스트 대상 유닛 내에서 증가하도록 허용한다. 테스트 대상 유닛(1066)과, 테스트 대상 유닛(1066)에 장착할 수 있는 대응하는 유닛 어댑터들(201)이 도시되어 있으며, 여기서 유닛 어댑터들(201)의 암형 단부들은 보조 파이프 개구부들(115')에 연결된다. 추가로, 각각의 정수압 테스트 밸브(301)는 정수압 테스트 밸브 상의 수동 조작들 레버(304)를 대체하는 솔레노이드 작동기를 포함하여, 컴퓨터의 제어 하에 정수압 테스트 밸브를 완전 개방 포지션과 폐쇄 포지션 사이에서 자동으로 순환시킬 수 있다. 수동 작동 중에, 고압의 정수압 테스트 유체가 고압 유체 유입구(308)에 존재한다. 수동 조작들 레버(304)가 제1 포지션에 위치결정되면, 테스트 대상 유닛은 파이프 개구부들(115)로부터 유동적으로 분리되고, 고압 유체 유입구(308)에 존재하는 고압에 유동적으로 결합되어 테스트 대상 유닛(1066)의 용접부들에 대한 고압 테스트를 수행한다. 수동 조작들 레버(304)가 제2 포지션에 위치결정되면, 테스트 대상 유닛(1066)은 테스트 대상 유닛(1066)의 용접부들의 누출 테스트를 위해, 고압 유체 유입구(308)로부터 유동적으로 분리되고, 파이프 개구부들(115)에 유동적으로 결합된다.
[0032] 일 실시예에서, 테스트 대상 유닛(1066)(예를 들어, 고압 가스 라인)에 대한 테스트 및 처리 절차는 테스트 대상 유닛을 통한 유체들의 흐름 및 이에 대한 테스트 대상 유닛의 반응의 측정을 허용하는 일련의 작업들로 구성된다. 고압 가스 라인에 대한 하나의 테스트 및 처리 절차는 사용자가 테스트 대상 유닛(1066)을 대응하는 유닛 어댑터들(201)에 연결한 다음, 이들 유닛 어댑터들을 파이프 개구부(115, 115a 또는 115')의 배관에 연결함으로써 시작된다. 사용자는 암형 피팅 절반부들을 대응하는 수형 피팅 절반부들과 관련하여 암형 피팅 절반부들을 맞추고 돌리고, 적용된 토크를 검출하거나, 원하는 토크에 도달했음을 나타내는 가청 신호를 표시 또는 토닝하거나, 또는 둘 다 또는 수동 토크 렌치를 사용하여 지정된 토크까지 조일 수 있는 토크 렌치를 사용하거나, 조인트의 적절한 조립을 보장하기 위해 제조업체들이 규정하는 방법에 따라 수동으로 함께 조여 피팅 절반부들을 함께 고정해야 한다. 대안적으로, 피팅 절반부들을 "손으로 꽉 조인" 상태로 함께 나사 결합한 후 수형 피팅 절반부에 대해 암형 피팅 절반부를 일정 횟수 부분 또는 전체 회전시킬 수 있다.
[0033] 테스트 대상 유닛(1066)이 파이프 개구부들(115)(또는 115', 115a)에 적절하게 연결된 상태에서, 사용자는 일 양태에서, 그래픽 사용자 인터페이스(113)에 디스플레이된 가상 키보드 상의 터치 펜을 사용하여, 가상 키보드를 수동으로 터치하여, 또는 컴퓨터 자동화된 사용자 인터페이스 표면에서 그래픽 사용자 인터페이스(113)로부터 이격된 조작에 의해, 먼저 그래픽 사용자 인터페이스(113)에 테스트 대상 유닛(1066)에 적합한 코드를 입력함으로써 절차를 선택하여 자동화된 테스트 및 처리 절차를 시작한다. 절차가 시작되기 전에, 시스템 내의 밸브들 모두는 밸브들에 폐쇄 포지션을 달성 또는 유지하도록 지시하거나 본 명세서에 사용되는 공압 작동식 밸브들과 관련하여 해당 기능을 수행하도록 EV 블록(1053)에 지시하는 컴퓨터로부터의 신호들에 의해 초기화되거나 폐쇄 포지션으로 설정된다.
[0034] 도 4를 참조하면, 테스트 배관들(110)은 밸브들의 사용에 의해, 테스트 대상 유닛(1066)에 대한 서로 다른 테스트 체제들을 가능하게 하기 위해 다수의 서로 다른 유체 회로들을 구성하도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 복수의 개별 배관들 및 밸브들을 포함하는 테스트 배관들(110)은 테스트 대상 유닛(1066)의 내부 유체 통로(들)에 적어도 진공 압력(대기압 미만), 질소, IPA 및 탈이온수와 같은 가스를 제공하도록 구성될 수 있다.
[0035] 개별 회로들은 질소 공급 회로를 포함한다. 유체 탱크들(103)을 가압하고, 테스트 배관들 및 테스트 대상 유닛(1066)의 배관들로부터 다른 유체들을 퍼지하거나 밀어내는 데 유용한 질소를 제공하기 위해, 공장 질소 공급은 질소 공급 포트(1055a)(도 2c의 상부 중앙에 있음)에서 캐비닛(100)에 연결될 수 있다. 제1 구성 가능한 주 질소 압력 라인은 캐비닛 내에서 질소 공급부(1055)로부터 제1 질소 압력 서브 라인이 제1 선택기 밸브(1019)를 통해 유체 탱크들(103) 중 하나, 여기서는 제1 IPA 탱크(1078)로 연장되는 분기까지 연장된다. 제1 선택기 밸브(1019)는 공압 밸브이며, 그 개폐는 캐비닛의 컴퓨터 또는 제어기의 제어하에 있는 EV 블록(1053)에 의해 선택적으로 지시되는 압력, 즉 작동 선택기 요소에 선택적으로 적용되는 가스 압력에 의해 제어된다. 제1 선택기 밸브(1019)가 개방 포지션에 있을 때, 질소는 제1 질소 압력 서브라인(1106)으로부터 제1 IPA 탱크(1078)로 유입되어 제1 IPA 탱크(1078)의 액체 IPA 위에 가압된 질소 블랭킷을 형성한다. 제2 질소 압력 서브라인(1104)은 제2 선택기 밸브(1003)를 통해 분기로부터 제2 탱크(103), 여기서는 제2 IPA 탱크(1050)로 연장되어 제2 IPA 탱크(1050)의 액체 IPA 위에 선택적으로 질소를 가압하여 공급한다. 제1 및 제2 IPA 탱크들(1050, 1078)에서 압력을 받는 질소는 캐비닛(100) 내의 테스트 배관들(110)의 구성에 의해 탱크들 중 하나(제1 탱크(1078) 또는 제2 IPA 탱크(1050))로부터 액체 IPA를 밀어내기에 충분한 에너지가 존재하는 것을 보장하고, 테스트 대상 유닛(1066)이 IPA로 플러시될 때 이를 통해 테스트 대상 유닛을 관통한다. 본 명세서에서 설명되는 바와 같이, 테스트 배관들(110)은 테스트 대상 유닛을 통과하는 IPA가 제1 IPA 탱크(1078) 및 제2 IPA 탱크(1050) 중 하나로부터 테스트 대상 유닛(1066)을 통과한 후, 제1 IPA 탱크(1078) 및 제2 IPA 탱크(1050) 중 다른 하나로 흐르도록 본 명세서에서 구성된다. 테스트 대상 유닛(1066)을 통해 제1 IPA 탱크(1078)로부터 제2 IPA 탱크(1050)로 IPA를 흐르게 하기 위해, 제1 IPA 탱크(1078)는 가압되고 제2 IPA 탱크(1050)는 감압되거나 국부 대기압으로 배출되어, 제1 IPA 탱크(1078)로부터 제2 IPA 탱크(1050)로 흐르도록 한다. IPA가 제2 IPA 탱크(1050)로부터 제1 IPA 탱크(1078)로 이동할 때, 제2 IPA 탱크(1050)는 가압되고 제1 IPA 탱크(1078)는 감압되거나 국부 대기압으로 배출되어, IPA 플러시가 발생할 때 테스트 대상 유닛(1066)을 통해 제2 IPA 탱크(1050)로부터 제1 IPA 탱크(1078)로의 흐름이 허용된다. 제1 IPA 탱크(1078)의 압력을 감소시키기 위해, 질소 공급 회로는 제1 선택기 밸브(1019)와 제1 IPA 탱크(1078) 내로의 제1 질소 압력 서브라인(1106)의 개구부 사이의 제1 질소 압력 서브라인(1106)에 연결된 제1 벤트 밸브(1020)를 포함하여, 제1 질소 압력 벤트 라인(1110)을 제1 IPA 탱크(1078)에 선택적으로 연결하며, 제1 선택기 밸브(1019)를 폐쇄 포지션에 두어 질소 소스로부터 제1 IPA 탱크(1078)로 질소가 유입되는 것을 방지하고, 대기 또는 주위 주변 벤트(1069)로, 예컨대, 캐비닛의 후면 패널을 통한 연결을 통해 시설 중앙 배기 시스템으로 제1 IPA 탱크(1078)의 IPA에 대한 압력을 배출한다. 제2 IPA 탱크(1050)의 압력을 감소시키기 위해, 질소 공급 회로는 제2 선택기 밸브(1003)와 제2 IPA 탱크(1050) 내로의 제2 질소 압력 서브라인(1104)의 개구부 사이의 제2 질소 압력 서브라인(1104)에 연결된 제2 벤트 밸브(1002)를 포함하여, 제2 질소 압력 벤트 라인(1108)을 제2 IPA 탱크(1050)에 선택적으로 연결하며, 제2 선택기 밸브(1003)를 폐쇄 포지션에 두어 질소 소스로부터 제2 IPA 탱크(1050)로 질소가 유입되는 것을 방지하고, 제2 IPA 탱크(1050)의 IPA에 대한 압력을 캐비닛(100)을 둘러싼 주변으로 개방된 대기 또는 주변 벤트(1051)로 배출한다. IPA는 제2 벤트/깔때기(1069)를 통해 제1 IPA 탱크(1078)로 유입되거나 추가될 수 있다. 유사한 충진 깔때기가 대안적으로 또는 추가적으로 제1 IPA 탱크(1050)에 유동적으로 연결될 수 있다.
[0036] 질소 공급 회로는 제1 질소 분기 라인(1140) 및 제2 질소 분기 라인(1142)을 더 포함한다. 제1 질소 분기 라인(1140)은 압력 조절기(1022)를 통해 EV 블록에 연결되고, 압력 조절기는 또한 블록 압력 게이지(1054)에 연결된다. 이는 EV 블록에 조절된 압력으로 질소를 공급하며, 이 질소는 EV 블록을 통해 공압 제어 튜빙들(도시되지 않음)을 거쳐 테스트 회로의 공압 밸브들로 선택적으로 공급된다. 제2 질소 분기 라인(1142)은 캐비닛 내의 테스트 배관들(110)로 구성된 유체 라인 순환 회로(1116)에서 질소 소스(1055)로부터의 질소를 테스트 대상 유닛(1066)에 연결하도록 구성되며, 이에 대해서는 본 명세서에서 추가로 상세하게 설명할 것이다. 제2 질소 분기 라인(1142)은 선택된 압력 범위 내에서 제2 질소 분기 라인 내의 질소 압력을 조절하기 위한 조절기(1017), 질소 흐름에서 미립자들을 제거하기 위한 필터(1059), 비질소 가스를 제거하기 위한 게터 역할을 하는 정화기(1058) 및 히터(1060)를 포함한다.
[0037] IPA 유체 회로는 IPA 플러시 회로를 포함한다. 이 회로는 제1 IPA 탱크(1078) 내의 IPA의 액체 체적 내에서부터 제1 IPA 플러시 밸브(1016)로 연장되는 제1 IPA 플러시 라인(1114)을 포함하며, 제1 IPA 플러시 밸브는 EV 블록(1053)에 의해 선택적으로 공급되는 공압에 의해 제어되는 공압 밸브이다. 제1 IPA 플러시 밸브(1016)로부터, 제1 IPA 플러시 라인(1114)은 본 명세서에서 후술하는 바와 같이, 테스트 대상 유닛(1066)이 유동 경로를 형성하는 유체 라인 순환 회로(1116)에 유동적으로 연결된다. 참조 목적으로만, 제1 IPA 플러시 라인(1114)은 여기서 테스트 대상 유닛(1066) 및 유체 라인 순환 회로(1116)의 제1 측에 유동적으로 연결되는 것으로 간주된다. 제2 IPA 플러시 라인(1112)은 제2 IPA 탱크(1050) 내의 IPA의 유체 체적 내부로부터 제2 IPA 탱크(1050)의 외부로 제2 IPA 플러시 밸브(1004)로 연장된다. 제2 IPA 플러시 밸브(1004)는 EV 블록(1053)의 제어 하에 유체로 작동되는 밸브이다. 제2 IPA 플러시 밸브(1004)를 통해, 제2 IPA 플러시 라인(1112)은 테스트 대상 유닛(1066) 및 유체 라인 순환 회로(1116)의 제2 측에 있는 유체 라인 순환 회로(1116)에 유동적으로 연결된다.
[0038] IPA 회로는 플러시 회로를 더 포함한다. 이 플러시 회로(1118)에서, 제1 IPA 드레인 라인(1120)은 제2 IPA 탱크(1050)로부터 분기 라인을 향해 하방으로 연장된다. 제1 IPA 드레인 라인은 제1 IPA 탱크(1078)의 하부 부분으로부터 하방으로 연장된다. 제1 IPA 드레인 라인(1122) 및 제2 IPA 드레인 라인(1120)은 공통 드레인 라인(1124)에 연결되며, 그 개폐는 드레인 밸브(1001)에 의해 제어되며, 드레인 밸브는 IPA가 별도의 폐기물 라인으로 배출되거나 재활용될 수 있도록 개방 또는 폐쇄될 수 있다.
[0039] 유체 라인 순환 회로(1116)는 테스트 대상 유닛(1066)의 테스트에 사용되는 서로 다른 유체 구성요소들이 테스트 대상 유닛(1066)에 선택적으로 연결될 수 있게 한다. 유체 라인 순환 회로(1116)는 테스트 대상 유닛(1160)의 제2 측면의 위치와 고압(HP) 볼 밸브(1015)와의 연결부 사이를 연결하는 제1 순환 유체 라인(1126)을 포함하며, 이는 HP 볼 밸브(1015)를 통해, 제2 IPA 플러시 밸브(1004)를 거쳐 제2 IPA 플러시 라인(1112)에 연결되는 제2 순환 유체 라인(1128)에 연결된다. 제2 순환 유체 라인(1128)은 또한 공압 밸브, 여기서는 제2 드레인 밸브(1005)에 연결된 제2 드레인 라인(1130)에 연결되며, 공압 밸브, 여기서는 제2 드레인 밸브는 EV 블록(1053)의 제어하에서 제2 드레인 라인을 드레인(1067)에 선택적으로 유체 연통시킨다. 제2 순환 유체 라인(1128)은 진공 제어 라인 밸브(1006)에 연결된 제3 분기 라인(1132)과의 연결로 계속 이어지며, 진공 제어 라인 밸브는 제3 분기 라인을 러프 진공 펌프(1068)와 선택적으로 연통시킨다. 제1 순환 유체 라인은 HP 볼 밸브(1015) 쪽 원위 단부에서 EV 블록(1053)에 의해 제어되는 제1 순환 공압 밸브(1007)에 유동적으로 연결된다.
[0040] 제3 순환 유체 라인(1134)은 제1 순환 공압 밸브(1007)와의 유체 연결부로부터 유체 라인 순환 회로(1116)의 제3 순환 유체 라인(1138) 및 제2 질소 분기 라인(1142)이 유체 연결되는 순환 티로 연장된다. 제3 순환 유체 라인(1134) 및 제2 질소 분기 라인(1142)의 제4 순환 유체 라인(1138)으로의 유체 연결은 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)에 의해 제어된다. 제4 순환 유체 라인(1138)은 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)로부터 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)로 연장된다. 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)와 제2 공압 순환 라인 밸브(1008) 사이에서, 제4 순환 유체 라인(1138)은 복수의 유체 라인들에 연결된다. 캐비닛(100)의 후면 패널의 연결부를 통해 공급되는 가정용 탈이온수 소스(1062)에 연결되는 제1 탈이온수 라인(1144)은 EV 블록(1053)의 제어 하에 탈이온수 공압 밸브(1010)를 통해 이에 연결된다. 또한, 제1 IPA 플러시 라인(1114)은 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)와 제1 탈이온수 라인(1144)의 연결부 사이의 제4 순환 유체 라인(1138)에 연결된다. 헬륨 누출 점검 제어 라인 밸브(1009)에 연결된 헬륨 누출 테스트 포트 라인(1152)은 선택적으로 작동하여 외부 헬륨 누출 테스터와 같은 헬륨 누출 점검부(1070)가 제4 순환 유체 라인(1138)에서 진공을 당길 수 있도록 한다. 제5 순환 유체 라인(1146)은 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)로부터 테스트 대상 유닛(1066)의 테스트 포지션의 제1 측으로 연장된다.
[0041] 가정용 탈이온수 소스(1062)로부터 얻어진 탈이온수를 가압할 수 있는 통합 고압 테스트 시스템(1063)이 도 2c의 고압 밸브 대신에 제공될 수 있다. 이러한 통합 고압 테스트 시스템(1063)은 압력 테스트를 위해 테스트 대상 유닛(1066)에 고압 하의 유체를 공급할 수 있도록, 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)로의 제3 유입구에 연결된다.
[0042] 정수압 테스트 회로는 고압 테스트 시스템(1063), 예를 들어, 맥스프로(Maxpro) 정수압 테스트 유닛을 테스트 대상 유닛(1066)의 제2 측에 연결함으로써 제공된다. 제2 탈이온수 라인(1148)은 가정용 DI 수원(1062)으로부터 고압 테스트 시스템(1063)의 유입구까지 연장된다. 가압 탈이온수 라인(1150)은 고압 테스트 시스템(1063)으로부터 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)의 제3 유입구로 연장된다. 압력 게이지(1064) 및 탈이온수 라인(1150)에서 원하지 않는 압력 미만의 블로우 오프 압력으로 설정된 릴리프 밸브(1011)가 탈이온수 라인(1150)에 연결된다. 고압 테스트 시스템(1063)과 3-방향 선택기 볼 밸브(1014) 사이의 가압 탈이온수 라인(1150)에는 높은 유체 압력하에서 작동할 수 있는 니들 밸브(1012)가 존재한다. 니들 밸브는 이를 통해 흐르는 고압 탈이온수의 유량을 제어하도록 작동될 수 있다. 테스트 배관 내의 밸브 포지션들의 적절한 선택에 의해, 서로 다른 유체들이 테스트 대상 유닛(1066)의 내부를 통해 흐를 수 있고, 따라서 테스트 대상 유닛(1066)에 대해 서로 다른 테스트들이 수행될 수 있다.
[0043] 추가적으로, 잔류 가스 분석(RGA), 수분 수준 검출, 공기 중 입자 측정 또는 총 유기 성분(TOC) 또는 기타 필요한 샘플링 또는 검출을 위한 샘플 수집 용기를 포함할 수 있는 센서에 선택적으로 연결할 수 있는 테스트 포트가 제공될 수 있다. 예를 들어, 이 포트는 테스트 대상 유닛의 하류에 위치될 수 있다.
[0044] 일 양태에서는, 테스트 대상 유닛이 정수압, 즉 고압으로 테스트될 필요가 없는 경우, 테스트 대상 유닛은 다음과 같은 순서로 처리될 수 있다.
단계 1 - 헬륨 누출 점검
단계 2 - N2 퍼지로 압력 테스트로부터 잔류 DI 수 제거
단계 3 - 용매(IPA) 헹굼
단계 4 - N2 퍼지로 잔류 용매 제거
단계 5 - DI 수 플러시
단계 6 - 가열된 N2 퍼지로 잔류 DI 수 제거 및 건조
단계 7 - 내부 진공 펌프(1068)로 진공 건조.
[0045] 다른 양태에서, 테스트 대상 유닛이 압력 용량, 즉 고압을 유지할 수 있는 능력에 대해 평가되어야 하는 경우, 하나의 일련의 테스트들은 다음과 같다. 테스트 대상 유닛(1066)이 테스트 시스템에 연결된 후, 이하의 테스트 순서가 수행된다.
단계 1 - 헬륨 누출 점검
단계 2 - 정수압 테스트
단계 3 - N2 퍼지로 압력 테스트로부터 잔류 DI 수 제거
단계 4 - 용매(IPA) 헹굼
단계 5 - N2 퍼지로 잔류 용매 제거
단계 6 - DI 수 플러시
단계 7 - 가열된 N2 퍼지로 잔류 DI 수 제거 및 건조
단계 8 - 내부 진공 펌프(1068)로 진공 건조.
[0046] 이하, 테스트 대상 유닛의 8 단계 테스트, 세척 및 건조를 수행하기 위한 작업들의 순서가 본 명세서에 설명된다. 그러나, 본 명세서에 설명된 작업들의 순서들은 각각의 단계에서, 일반적으로 테스트 대상 유닛(1066)에 대한 헬륨 누출 테스트 및 고압 테스트를 수행하기 위해 테스트 배관들(110) 및 캐비닛(100) 내의 밸브들을 구성하는 방법 및 테스트 대상 유닛(1066)을 세척 및 건조하는 방법과 관련된다. 이러한 작업의 순서들은 수압 테스트가 수행되지 않는 전술한 7 단계 테스트, 또는 본 명세서에 개시된 바와 같이 테스트들, 세척 및 건조를 수행하기 위한 배관들(110) 및 밸브들의 서로 다른 구성들을 생성하기 위해 작업들의 순서들의 타이밍들을 간단히 변경함으로써, 다른 수들 또는 순서들의 단계들을 수행하도록 변경될 수 있다. 따라서, 캐비닛은 질소, 헬륨과 같은 누출 테스트 유체, 고압 소스, 질소 소스 및 IPA와 같은 용매를 사용하여 원하는 테스트, 세척 및 건조 작업들의 임의의 순서를 프로그래밍하거나 유발할 수 있는 기능을 이의 사용자에게 제공한다. 추가적으로, 사용자가 수행되는 공정들을 조정하기 위해 원하는 경우, 본 명세서에 사용된 용매들 및 가스들은 다른 가스들 및 용매들로 대체될 수 있다.
[0047] 8 단계 테스트 공정의 제1 단계에서는, 테스트 대상 유닛(1066)의 헬륨 누출 점검이 수행된다. 이러한 헬륨 누출 점검을 수행하기 위해, 외부 헬륨 누출 테스트 디바이스가 캐비닛(100)의 후면 스킨을 통해 헬륨 누출 테스트 포트(1070)에 연결되거나, 테스트 배관들(110), 밸브들 및 테스트 대상 유닛의 내부 체적을 진공 배출하고 헬륨의 존재를 확인할 수 있는 전용 헬륨 누출 점검 디바이스가 캐비닛에 통합될 수 있다. 헬륨 누출 점검 디바이스(1174)가 포트(1070)를 통해 헬륨 누출 점검 포트 라인(1152)에 연결된 상태에서, 컴퓨터는 진공 제어 라인 밸브(1006), 제1 공압 순환 라인 밸브(1008), 제2 공압 순환 라인 밸브(1007), 탈이온수 공압 밸브(1010), 제2 드레인 밸브(1005), 제1 IPA 플러시 밸브(1016) 및 제2 IPA 플러시 밸브(1004)를 폐쇄하여 유체의 흐름을 방지함으로써, 헬륨 공급 제어 라인 밸브(1009) 및 HP 볼 밸브(1015)를 개방하여 유체가 흐르도록 함으로써, 그리고 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 위치결정하여 제4 순환 유체 라인(1138)을 제5 순환 유체 라인(1146)에 유동적으로 연결하고 탈이온수 라인(1150)을 제5 순환 유체 라인(1146)으로부터 분리하여 헬륨 누출 점검 진공 디바이스(1174)를 연결하여 진공이 테스트 대상 유닛(1066)을 통해 끌어내도록 함으로써 진공 누출 테스트를 개시한다. 헬륨 누출 점검 진공 디바이스(1174)는 테스트 배관들(110) 및 테스트 대상 유닛(1160) 내에서 10-9 토르 이하의 압력을 얻을 수 있는 것이 바람직하다. 테스트 대상 유닛(1066)의 개별 테스트 사양들에 기초하여 누출 테스트에 필요한 것과 같은 진공 압력 수준에 도달하면, 예를 들어 테스트 대상 유닛(1066)의 외부 표면들 상에 또는 외부 표면에 헬륨을 분사하여 테스트 대상 유닛(1066)의 연결부들 및 용접부들 또는 용접 영역들에 헬륨 방출을 집중시키는 방법으로 헬륨(보틀은 도시되지 않음)이 방출된다. 진공은 테스트 배관들(110), 밸브들 및 테스트 대상 유닛(1066)의 유체가 도 4에 도시된 바와 같이 화살표들(A 내지 E)의 방향으로 흐르도록 당겨져, 헬륨 누출 점검 진공 디바이스(1174)의 펌핑 작용에 의해 제1 순환 유체 라인(1126), 제5 유체 순환 라인(1146), 테스트 대상 유닛(1066), 제4 유체 순환 라인(1138), 3-방향 선택기 볼 밸브(1014) 및 헬륨 누출 점검 포트 라인(1152) 내 잔류 유체가 외측으로 당겨진다. 따라서, 이 잔류 유체는 헬륨 누출 점검 진공 디바이스(1174)에 의해 펌핑되어 화살표(A) 방향으로 헬륨 체크 라인 밸브(1009)를 통해, 화살표(B) 방향으로 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)로 이어지는 제4 순환 유체 라인(1138)을 통해, 화살표(C) 방향으로 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 통해, 화살표(D) 방향으로 테스트 대상 유닛(1066)으로 흐르게 된다. 그 후, 진공은 화살표(E) 방향으로 HP 볼 밸브(1015)를 통해 당겨진다. 테스트 대상 유닛(1066)으로부터 테스트를 위해 원하는 진공 압력을 설정하기에 충분한 유체가 당겨지면, 테스트 대상 유닛(1066)에서 헬륨을 방출하거나 분사함으로써 진공 누출 테스트가 시작될 수 있다.
[0048] 세장형 파이프 또는 완드(1105) 형태와 같은 헬륨 소스 또는 분무기는, 테스트 대상 유닛(1066) 내에서 원하는 진공 압력 수준에 도달한 후에 헬륨을 방출하기 위해, 테스트 대상 유닛(1066)의 용접부들의 외부에 순차적으로 위치결정된다. 용접부의 배관들 또는 튜빙들의 외부로부터 내부로 용접부들을 통해 연장되는 개구부들이 대략 헬륨 원자 크기보다 큰 경우, 헬륨은 개구부를 통해 흡입되어 헬륨 누출 점검 진공 디바이스(1174)의 검출기에 의해 검출된다. 헬륨이 헬륨 누출 진공 디바이스(1174)에 의해 검출되면, 테스트 대상 유닛(1066)은 거부되고 폐기되거나 재작업된다. 헬륨은 가장 작은 불활성 기체 분자이기 때문에 누출 테스트 가스로서 사용되며, 용접의 용접부의 극히 작은 원자 크기의 틈새들로 침투할 수 있다.
[0049] 진공 누출 테스트가 종료된 후, 또는 그렇지 않으면, 사용자 요구사항들에 따라, 테스트 대상 유닛(1066)은 전술한 8 단계 공정의 제2 테스트로서 정수압 테스트를 겪을 수 있다. 도 5를 참조하면, 컴퓨터는 모든 온오프 밸브들, 즉 개방 또는 폐쇄 상태만 있고 두 개의 테스트 배관들(110) 사이에 연결된 밸브들을 차단하거나, 각각의 온오프 밸브의 차단 상태를 평가하고 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 임의의 밸브를 차단함으로써 이 절차를 개시한다. 그 후, 밸브들은 선택적으로 개방되거나, 3-방향 밸브들의 경우, 고압 볼 밸브(1015)를 폐쇄하거나 폐쇄된 상태로 유지함으로써, 유체가 DI 수원(1062)으로부터 데드헤드인 제1 회로 유체 순환 라인(1126)으로 흐르도록, 즉 테스트 대상 유닛(1066)으로부터 원위쪽 단부에서 차단되도록 선택적으로 배치된다. 유체 라인 순환 회로(1116)를 이렇게 구성하기 위해, 컴퓨터는 EV 블록이 가압 탈이온수 라인(1150)을 제5 순환 유체 라인(1146)과 연통하고 제4 순환 유체 라인(1138)을 제5 순환 라인(1146)으로부터 분리하도록 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 위치결정하도록 지시한다. 컴퓨터는 HP 볼 밸브(1015)와 제2 드레인 밸브(1005)도 개방한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 고압 테스트 시스템(1063)은 제2 탈이온수 라인(1148)을 통해 화살표(A) 방향으로 흐르는 탈이온수 소스(1062)로부터 탈이온수를 공급받고, 이 물을 고압으로 압축하여 화살표들(B 및 C)의 방향들로 가압된 탈이온수 라인(1150)을 통해 출력한다. 이 물은 처음에는 저압으로 제5 순환 유체 라인(1146), 테스트 대상 유닛(1166), 제1 순환 유체 라인(1126), HP 볼 밸브(1015) 및 제2 순환 유체 라인(1128)을 통해 흐른 다음 제2 드레인 밸브(1005)를 통해 드레인(1067)으로 흘러 들어간다. 라인들이 탈이온수로 채워지면, HP 볼 밸브(1015)가 폐쇄되고, 고압 테스트 시스템(1063)은 압력 테스트를 위한 압력이 도달되고 그리고 미리결정된 시간 동안 유지될 때까지 라인들 및 테스트 대상 유닛(1066)의 정적 수 기둥에서 연통되는 탈이온수의 압력을 계속 증가시킨다. 대안적으로, 탈이온수가 고압 테스트 시스템(1063)에 의해 초기에 가압될 때, HP 볼 밸브(1015)는 폐쇄 포지션으로 유지될 수 있다. 이 구성에서, 진공 압력이 이전에 테스트 배관들(110) 및 테스트 대상 유닛(1066)에 존재했다면, 탈이온수는 테스트 대상 유닛(1066)의 내부 체적을 통해 채워질 것이다. 가스가 이러한 테스트 배관들(110) 및 테스트 대상 유닛(1066)에 존재하는 경우, 가스는 탈이온수보다 훨씬 더 압축성이 있기 때문에, 가스는 탈이온수가 압축될 때 압축될 것이고, 고압수는 테스트 대상 유닛(1066)의 내부 체적 전체에 걸쳐 확장될 것이다.
[0050] 만약, 탈이온수의 가압 동안, 그리고 탈이온수의 전체 압력이 달성된 후 사용자가 선택한 기간 동안, 테스트 대상 유닛(1066)으로부터 물이 누출되는 것이 검출되면, 테스트 대상 유닛(1066)은 폐기되거나 재작업된다. 압력 테스트가 종료된 후, 제2 드레인 밸브(1005)를 개방한 다음 HP 볼 밸브(1015)를 개방하여 제2 드레인 밸브(1005) 및 드레인(1067)(또는 고압 테스트 시스템(1063) 내의 별도의 드레인 또는 벤트 라인(1011)이 수압을 배출하기 위해 개방됨)를 통해 수압을 완화함으로써 라인들 및 테스트 대상 유닛(1066)의 수압이 매우 빠른 방식으로 감소된다. 마찬가지로, 고압 테스트 시스템(1063) 자체는 일단 압력에 도달하면 물의 압축을 중단한다. 테스트 대상 유닛으로부터 수집된 폐기물은 드레인(1067)으로 모이고, 적절한 처리를 위해 제거할 수 있다.
[0051] 고압 테스트 동안, 테스트 대상 유닛(1066)의 압력은 압력 변환기(1065)에서 측정될 수 있고, 테스트 대상 유닛(1066)의 아이덴터티에 대하여 컴퓨터 메모리에 기록될 수 있다. 테스트 대상 유닛(1066)에서 물이 빠져나갈 수 있는 누출이 발생한 경우, 유량 압력이 유지될 수 없거나, 테스트 대상 유닛(1066)에 대한 적절한 테스트 압력에 도달하지 못할 수 있거나, 단위 시간에 대한 압력 상승으로 측정되는 압력 램프율이 낮은 램프율에 대한 허용 범위를 벗어날 수 있다. 컴퓨터는 압력 변환기(1065)를 사용하여 이러한 압력 판독값을 유지하고, 압력 램프율을 계산하여 테스트 중인 특정 유닛의 특정 램프율과 비교하고, 테스트 대상 유닛이 테스트를 통과하지 못하는 경우 GUI에 시각적 알람을 제공하거나 청각적 알람을 제공할 수 있다. 추가로, 테스트 대상 유닛(1066)에 흐름을 막거나 적절한 흐름을 방해하는 막힘이 있는 경우, 변환기에 의해 높은 유량 압력이 검출되어 테스트 대상 유닛(1066)에 결함이 있음을 다시 나타낸다. 추가적으로, 사용자는 테스트 대상 유닛(1066)으로부터의 누수 또는 누출에 대한 관찰을 기반으로 테스트 대상 유닛(1066)의 합격 또는 불합격에 관한 정보를 수동으로 입력할 수 있다. 가압 탈이온수 라인(1150)에서 바람직하지 않은 고압이 발생하면, 릴리프 밸브(1011)의 블로우 오프 또는 개방 압력 설정 포인트에 기초하여 릴리프 밸브(1011)가 자동으로 개방된다. 고압 테스트 후, 테스트 대상 유닛(1066)의 아이덴터티와 최대 압력 및 최대 압력에 노출된 기간의 상관관계가 컴퓨터 또는 제어기 메모리 또는 별도의 메모리 디바이스에 유지된다. 릴리프 밸브(1011)의 개방은 또한 컴퓨터 또는 제어기가 즉시 제2 드레인 밸브(1005)를 개방하도록 촉발할 수 있다.
[0052] 본 명세서의 일 양태에서, 압력 테스트가 종료된 후, 테스트 대상 유닛(1066)은 8 단계 공정의 제3 단계에서 가열된 N2(질소)로 플러시된다. 컴퓨터는 모든 온오프 밸브들을 차단하거나, 각각의 온오프 밸브의 오프 또는 차단 상태를 평가하고 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 모든 밸브를 차단함으로써 이 절차를 시작한다. 그 후, 컴퓨터는 EV 블록에 제1 공압 순환 라인 밸브(1008)와 제2 드레인 밸브(1005)를 개방하도록 지시한다. 또한, 3-방향 선택기 밸브(1014)를 위치결정하여 가압된 탈이온수 라인을 분리하고 제3 순환 유체 라인(1038)을 제5 순환 흐름 라인(1146)에 유동적으로 연결한다. 컴퓨터는 또한 HP 볼 밸브(1015)를 개방한다. 이를 통해 N2 소스 공급부(1055)로부터 N2가 흐르도록 한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 밸브 포지션들이 이렇게 설정된 상태에서 N2는 레귤레이터(1017)를 통해 제2 질소 분기 라인(1142)에서 화살표(A) 방향으로 흐르고 압력 변환기(1057)를 지나 화살표(B) 방향으로 정화기(1058), 필터(1059), N2 히터(1060)를 통과하여 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)를 통해 화살표(C) 방향으로 흐르게 된다. 그 후, 히터(1060)에 의해 가열된 질소는 제4 및 제5 순환 유체 라인들(1138, 1146)을 통해 화살표(D) 방향으로 테스트 대상 유닛(1066)으로 흐른다. 그 후, 제2 순환 유체 라인(1128)을 통해 화살표(E) 방향으로 흐르고, 그 후 제2 드레인 밸브(1005)를 통해 화살표(F) 방향으로 흐른다.
[0053] 테스트 배관들(110) 및 밸브들뿐만 아니라 테스트 대상 유닛의 내부로부터 물을 제거하기 위한 질소의 흐름은 압력 테스트 동안 탈이온수와 접촉했던 테스트 배관들 및 밸브들뿐만 아니라 테스트 대상 유닛(1066)의 내부 표면들에 흡수되거나 흡착된 수분을 제거하기에 충분한 기간 동안 계속된다. N2는 히터(1060)를 통과할 때 히터(1060)에서 가열되어 건조 능력을 증가시킬 수 있다.
[0054] 본 명세서의 일 양태에서, N2 퍼지가 종료된 후, 테스트 대상 유닛은 전술한 8 단계 공정 중 제4 단계에서 용매(IPA)로 세척 또는 헹굼된다. 이 단계를 수행하기 위해, 다시 컴퓨터는 모든 온오프 밸브들을 폐쇄하거나 각각의 온오프 밸브의 상태를 평가하고 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 모든 온오프 밸브들을 차단하는 것으로 이 절차를 시작한다. 컴퓨터는 EV 블록의 제어 하에 제1 및 제2 IPA 플러시 밸브들(1016, 1004) 및 HP 볼 밸브(1015)를 개방하고, 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 설정하여 고압 테스트 시스템(1063)을 제5 순환 유체 라인으로부터 분리하고 제4 순환 유체 라인(1138)과 제5 순환 유체 라인(1146) 사이의 연통을 허용한다. 본 명세서에서 논의된 바와 같이, 테스트 대상 유닛(1066)에 대한 테스트를 수행하기 위한 캐비닛(100)의 작동 동안, 제1 및 제2 IPA 탱크들(1078, 1050) 중 하나에서 가압된 질소 가스의 블랭킷이 액체 IPA 위에 존재하고, 제1 및 제2 IPA 탱크들(1078, 1050) 중 다른 하나에서 액체 IPA 위에 존재하는 압력은 대략 로컬 주변(캐비닛 외부) 대기압으로 유지되도록 하기 위해 IPA의 유동이 제1 및 제2 IPA 탱크들(1078, 1050) 사이에 유지된다. 따라서, 제1 IPA 탱크(1078)의 IPA 체적이 제2 IPA 탱크(1050)의 체적보다 큰 경우, IPA는 도 7에 도시된 바와 같이 제1 IPA 탱크(1078)로부터 테스트 대상 유닛(1066)을 거쳐 제2 IPA 탱크(1050)로 흐르게 된다. 구체적으로, 제1 IPA 탱크(1078)의 IPA 위 대기압보다 높은 양의 질소 압력이 있고, 제2 벤트 밸브(1002)를 개방하여 제2 IPA 탱크(1050)가 대기 중으로 배출된 상태에서, IPA는 화살표(A)로 도시된 바와 같이 제1 IPA 탱크(1178)로부터 제1 IPA 플러시 라인(1114)을 통해, 화살표(B) 방향으로 제4 순환 유체 라인(1138)을 통해, 화살표들(C 및 D) 방향으로 제5 순환 유체 라인(1146)을 통해, 테스트 대상 유닛(1066)을 통해, 그 후, 화살표(E) 방향으로 제1 순환 라인(1026)(제1 순환 분기 라인(1028)을 포함)에서, 그리고 그 후, 화살표(F) 방향으로 제1 IPA 플러시 라인(1112)으로 그리고 제2 IPA 탱크(1050)로 흐른다. 제1 IPA 탱크(1078) 내의 고압 가압 질소와 비교하여, 제2 IPA 탱크(1050) 내의 IPA 위의 대기압의 존재는 컴퓨터가 제2 벤트 밸브(1002)를 개방하도록 EV 블록에 지시함으로써 보장될 수 있으며, 제2 IPA 탱크(1050) 내의 IPA의 체적 또는 양이 증가함에 따라, 제2 탱크(1050) 내에서 일정한 주변 대기압이 유지될 수 있다. 마찬가지로, 컴퓨터는 제2 선택기 밸브(1003)가 폐쇄되어 있는 동안 제1 선택기 밸브(1019)를 개방하도록 EV 블록에 지시하여, 제1 IPA 탱크(1078) 내의 IPA보다 질소 압력을 증가시킬 수 있다. 제2 탱크 내의 IPA의 체적이 제1 IPA 탱크(1178) 내 IPA보다 상당히 큰 값으로 증가함에 따라, 테스트 대상 유닛(1066)을 통한 IPA의 흐름이 역전된다. 이는 EV 블록의 제어하에 있는 제1 및 제2 IPA 플러시 밸브들(1016, 1004) 및 HP 볼 밸브(1015)를 개방하고, 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 설정하여 고압 테스트 시스템(1063)을 분리하고 제4 순환 유체 라인(1138)과 제5 순환 유체 라인(1146) 사이의 연통을 허용함으로써 달성된다. 제2 IPA 탱크(1050)의 질소 압력이 제1 IPA 탱크(1078)의 IPA에 대한 압력보다 충분히 커서 그 사이의 최소 마찰 유동 손실들을 극복하는 한, IPA는 이제 제2 IPA 탱크(1050)로부터 제1 IPA 탱크(1078)로 흐르게 된다. 마찬가지로, 제1 IPA 탱크(1078)의 질소 압력이 제2 IPA 탱크(1050)의 IPA에 대한 압력보다 충분히 커서 그 사이의 최소 마찰 흐름 손실들을 극복하는 한, IPA는 이제 제1 IPA 탱크(1078)로부터 제2 IPA 탱크(1050)로 흐르게 된다. 다시 말하지만, 제2 IPA 탱크(1050)에서 이 압력 차이를 더 높게 유지하기 위해, 제1 벤트 밸브(1020)가 개방되어 주위 주변 대기압을 제1 IPA 탱크(1078)의 IPA를 초과하여 유지할 수 있고, 제2 선택기 밸브(1003)가 개방되어 제2 IPA 탱크(1050)의 IPA 초과의 압력하에 질소를 공급하고 제2 벤트 밸브(1002)가 폐쇄 포지션으로 있을 수 있다. 대안적으로, 제2 벤트 밸브(1002) 또는 제1 벤트 밸브(1020)는 주기적으로 개방되어, 탱크들 사이의 IPA의 흐름 방향에 따라 필요에 따라 각각 제1 및 제2 IPA 탱크들(1078, 1050) 내의 IPA에 대한 질소의 압력을 감소시켜, 탱크들 사이의 원하는 유량 및 IPA의 흐름 방향에 대한 적절한 질소 압력 차를 유지할 수 있다. 추가적으로 또는 대안적으로, 제1 및 제2 선택기 밸브들(1019, 1003) 중 하나는 탱크들 사이의 IPA의 흐름 방향에 따라 필요에 따라 각각 제1 및 제2 IPA 탱크들(1078, 1050) 중 원하는 하나의 질소 압력을 선택적으로 증가시키기 위해 선택적으로 개방되어, 탱크들 사이의 IPA의 원하는 유량 및 흐름 방향에 대한 적절한 질소 압력 차를 유지할 수 있다.
[0055] 예를 들어, 하나 이상의 테스트 대상 유닛들(1066)이 동일한 방향으로 흐르는 IPA로 플러싱된 후에만, 제1 및 제2 IPA 탱크들(1078, 1050) 중 하나가 IPA로 거의 채워지고 제1 및 제2 IPA 탱크들(1078, 1050) 중 다른 하나가 거의 비어 있을 때, 테스트 대상 유닛의 IPA 플러싱 동안 IPA의 유동 방향이 반전될 수 있다. 대안적으로, 테스트 대상 개별 유닛(1066)을 플러싱하는 동안 IPA의 흐름 방향이 테스트 대상 단일 유닛(1066)에서 한 번 이상 반전될 수 있다. 이는 특히 DI 수 테스트 동안 침전되었을 수 있는 임의의 미립자들이 테스트 대상 유닛(1066)에서 플러시되는 것을 보장하는 데 도움이 될 수 있다. IPA 플러시가 종료되면 컴퓨터는 개방되어 있는 모든 온오프 밸브들을 폐쇄한다.
[0056] 전술한 8 단계 공정에서 제5 절차는, 테스트 대상 유닛의 잔류 용매를 제거하기 위한 N2 퍼지 또는 플러시이다. 이는 가스가 히터(1060)를 통과할 때 히터(1060)에서 가열된 N2 가스와 함께 다시 수행될 수 있다. 테스트 대상 유닛(1066)의 N2 플러시를 수행하기 위해, 컴퓨터는 처음에 모든 온-오프 밸브들을 차단하거나, 각각의 온-오프 밸브의 차단 상태를 평가하고, 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 모든 온-오프 밸브를 차단한다. 그 후, 컴퓨터는 EV 블록에 제2 드레인 밸브(1005) 및 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)를 개방하고, HP 볼 밸브(1015)를 개방하고, 3-방향 선택기 볼 밸브를 설정하여 고압 테스트 시스템(1063)을 분리하고 제3 순환 유체 라인(1138)과 제5 순환 유체 라인(1146) 사이에 유체 연통 경로를 설정하여 도 8의 강조 표시된 유동 경로를 만들도록 지시한다. 질소 압력이 대기압보다 높은 압력으로 조절되므로, 이 구성에서 질소는 1055의 고압 공급부로부터 저압 드레인으로 흐르면서 테스트 배관들(110)과 그 앞의 테스트 대상 유닛에 존재하는 유체, 예를 들어 물, IPA 또는 둘 모두를 밀어내다. 도 8에 도시된 바와 같이, 일 양태에서, 이는 화살표(A) 방향으로 제2 질소 분기 라인(1142)을 통해 N2를 흐르게 한 다음, 화살표(B) 방향으로 조절기(1017)를 통해 압력 변환기(1057)를 지나, 화살표(C) 방향으로 정화기(1058), 필터(1059), N2 히터(1060) 및 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)를 거쳐 제4 순환 유체 라인(1138)으로 흐르게 하여 성취된다. 그 후, 질소는 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 통해 제5 순환 유체 라인(1146)으로 흐르고, 화살표(E) 방향으로 테스트 대상 유닛(1066)을 통해 흐른다. 그 후, 질소는 화살표(F) 방향으로 제1 순환 유체 라인(1126) 및 제2 순환 유체 라인(1128)을 통해 흐르고 난 후 제2 드레인 밸브(1005)를 통해 화살표(G) 방향으로 드레인(1067)으로 흘러 테스트 배관 내의 IPA를 드레인(1067)으로 밀어 넣는다.
[0057] N2 흐름은 또한 테스트 대상 유닛(1066)에서 양방향으로 제공, 즉 제1 측으로부터 테스트 대상 유닛으로 유입된 다음, 제2 측으로 유입되거나, 그 반대로 한 번 이상 제공될 수 있다.
[0058] N2 세척 작업이 종료된 후, 테스트 대상 유닛은 전술된 8 단계 공정의 제6 단계로서 다시 DI 수로 플러시될 수 있지만, 여기서는 압력하에서 탈이온화된 물이 아니다. 컴퓨터는 모든 온오프 밸브들을 차단하거나 각각의 온오프 밸브의 차단 상태를 평가하고 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 임의의 온오프 밸브를 차단함으로써 이 DI 수 플러시 절차를 시작한다. 컴퓨터는 EV 블록(1053)을 통해 물 공압 밸브(1010)와 제2 드레인 밸브를 개방하고, HP 볼 밸브(1015)를 개방하고, 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 위치결정하여 고압 테스트 시스템(1063)을 분리하고 제3 순환 유체 라인(1038)을 제5 순환 유체 라인(1146)과 유동적으로 연결한다. 이러한 구성에서, DI 수원(1062)이 주위 대기 주변 압력보다 높은 압력으로 있고, 제2 드레인 라인(1130)의 내부가 주위 대기 주변 압력에 노출되도록 제2 드레인 밸브(1005)가 개방된 상태에서, DI 수는 도 9에 도시된 바와 같이 수원(1062)으로부터 화살표(A) 방향으로 제1 탈이온수 라인(1133)과 탈이온수 공압 밸브(1010)를 거쳐 화살표(B) 방향으로 제4 순환 유체 라인(1138)을 통해 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)로 흐른다. 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 통과한 후, 탈이온수는 화살표 방향으로 제5 순환 유체 라인(1146)을 통해 테스트 대상 유닛(1066)을 통과하여 제1 순환 유체 라인(1126)으로 HP 볼 밸브(1015)로 흐르게 된다. 그 후, 탈이온수는 화살표(E) 방향으로 제2 드레인 라인(1130)으로 흐른 다음 화살표(F) 방향으로 드레인 라인(1067)으로 흐른다.
[0059] DI 수 플러시가 종료된 후, 테스트 유닛은 전술된 8 단계 공정의 제7 단계에서 테스트 배관들(110)의 밖으로 잔류하는 DI 수 및 임의의 잔류 IPA를 세척하기 위해 다시 N2로 퍼지된다. 다시, 컴퓨터는 모든 온오프 밸브들을 차단하거나 각각의 온오프 밸브의 차단 상태를 평가하고 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 모든 온오프 밸브들을 차단함으로써 이 절차를 시작한다. 그 후, 컴퓨터는 EV 블록에 제2 드레인 밸브(1005) 및 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)를 개방하고, HP 볼 밸브(1015)를 개방하고, 3-방향 선택기 볼 밸브를 설정하여 고압 테스트 시스템(1063)을 분리하고 제4 순환 유체 라인(1138)과 제5 순환 유체 라인(1146) 사이에 유체 연통 경로를 설정하도록 지시한다. 질소 압력은 대기압보다 높은 압력으로 조절되므로 이 구성에서 질소는 고압 공급부(1055)로부터 저압 드레인(1067)으로 흐르면서 테스트 배관에 있는 물을 앞쪽으로 밀어낸다. 도 10에 도시된 바와 같이, 일 양태에서 이 흐름은 화살표(A) 방향으로 제2 질소 분기 라인(1142)을 통과한 다음, 화살표(B) 방향으로 조절기(1017)를 통해 압력 변환기(1057)를 지나고, 정화기(1058), 필터(1059), N2 히터(1060) 및 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)를 통과하여 화살표(C) 방향으로 제4 순환 유체 라인(1138)으로 유입된다. 그 후, 질소는 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 통해 제5 순환 유체 라인(1146)으로 흐르고 화살표(E) 방향으로 테스트 대상 유닛(1066)으로 흐른다. 그 후, 질소는 화살표(F) 방향으로 제1 순환 유체 라인(1126) 및 제2 순환 유체 라인(1128)을 통해 흐르고, 제2 배출 밸브(1005)를 통해 화살표(G) 방향으로 드레인(1067)으로 흐른다.
[0060] N2 퍼지가 종료된 후, 컴퓨터는 모든 개방 밸브들을 폐쇄한다. DI 수 플러시가 종료된 후, 테스트 대상 유닛은 전술한 8 단계 공정의 제8 단계로서 진공 건조 및 탈기체화되어야 하며, 즉 물 또는 수증기가 흡수 또는 흡착되거나 제거되어야 한다. 이 작업에서, 테스트 대상 유닛(1066)은 러프 진공 펌프(1068)에 연결된다. 컴퓨터는 모든 온오프 밸브들을 차단하거나 각각의 온오프 밸브의 차단 상태를 평가하고 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 모든 온오프 밸브들을 차단함으로써 이 절차를 시작한다. 그 후, 컴퓨터는 EV 블록이 진공 제어 라인 밸브(1006)를 개방하도록 하고 HP 볼 밸브(1015)도 개방하도록 한다. 이러한 테스트 배관들의 구성에서는 제5 순환 유체 라인(1146), 테스트 대상 유닛(1066)의 내부 표면들, 제1 순환 유체 라인(1126), 제1 순환 분기 라인 및 제2 드레인 라인(1130)의 내부 체적들만 진공에 노출된다. 러프 진공 펌프(1068)는 이 내부 체적을 감압으로 펌핑하여, 이러한 구성요소들 또는 그 내부 표면들의 수증기가 테스트 대상 유닛(1066) 내부의 감압 조건들하에서 기화 또는 증발하여 내부 체적으로 펌핑되어 내부 표면들이 건조되도록 한다. 건조 후, 러프 진공 펌프(1068)가 꺼지고, 제2 드레인 밸브(1005)가 개방되어 테스트 대상 유닛(1066) 내부의 압력을 대기압으로 증가시킬 수 있다. 이 시점에서, 테스트 대상 유닛은 테스트되고, 세척되고, 캐비닛으로부터 제거되어 추가 검사되거나, 가스 회로로 처리되거나, 독립적으로 포장되어 사용자에게 배송되거나, 재고로 설정되거나, 또는 다른 방식으로 보유 또는 폐기될 준비가 된다.
[0061] 본 발명의 일 양태에서, 압력 테스트가 종료된 후, 테스트 대상 유닛(1066)은 8 단계 공정의 제3 단계에서 가열된 N2(질소)로 플러시되는데, 여기서 가열된 N2(질소) 플러시는 양방향으로 수행되며, 즉 테스트 배관들은 가열된 N2를 제1 방향으로 테스트 대상 유닛(1066)을 통해 흐르도록 구성된 후, 제1 방향에 반대되는 제2 방향으로 테스트 대상 유닛(1066)을 통과하도록 구성된다. 이러한 양방향 플러싱은 부분적인 제2 또는 제3 양방향 플러시들을 포함하여 여러 번 수행될 수 있으며, 여기서 플러싱은 다른 방향보다 방향들 중 하나의 방향에서 한 번 더 발생한다. 예를 들어, 플러싱은 제1 방향, 제2 방향, 제1 방향, 제2 방향의 순서로 이루어질 수 있으며, 이 순서에서 두 개의 양방향 플러시들이 정수 단위로 수행된다. 또는, 플러싱은 비정수 증분 단위, 예를 들어 양방향 플러시의 정수 1.5 단위에 대해, 제1 방향 플러시, 제2 방향 플러시 그리고 나서 제1 방향 플러시, 또는 예를 들어 양방향 플러시의 정수 1.5 단위에 대해, 제1 방향 플러시, 제2 방향 플러시, 제1 방향 플러시, 제2 방향 플러시 그리고 나서 제1 방향 플러시로 수행된다. 본 명세서에서는 사용자가 원하는 대로 임의의 정수 개수의 플러시 단위들을 고려할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 제1 방향 N2 플러시를 시작하기 위해 컴퓨터는 모든 온오프 밸브들을 차단하거나 각각의 온오프 밸브의 오프 또는 차단 상태를 평가하고 이전 작업 순서 이후 개방되었을 수 있는 임의의 밸브를 차단함으로써 이 절차를 시작한다. 그 후, 컴퓨터는 EV 블록에 제1 공압 순환 라인 밸브(1008)와 제2 드레인 밸브(1005)를 개방하도록 지시한다. 또한, 3-방향 선택기 밸브(1014)를 위치결정하여 가압 탈이온수 라인을 분리하고 제3 순환 유체 라인(1038)을 제5 순환 흐름 라인(1146)에 유동적으로 연결한다. 컴퓨터는 또한 HP 볼 밸브(1015)를 개방한다. 이를 통해 N2 소스 공급(1055)에서 N2가 흐르도록 한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 밸브 포지션들이 이렇게 설정된 상태에서, N2는 레귤레이터(1017)를 통해 제2 질소 분기 라인(1142)에서 화살표(A) 방향으로 흐르고, 화살표(B) 방향으로 압력 변환기(1057)를 지나, 화살표(C) 방향으로 정화기(1058), 필터(1059), N2 히터(1060)를 거쳐 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)를 통해 흐르게 된다. 히터(1060)에 의해 가열된 질소는 화살표(D) 방향으로 제4 및 제5 순환 유체 라인들(1138, 1146)을 통해 테스트 대상 유닛(1066)으로 흐르고, 화살표(E) 방향으로 제2 순환 유체 라인(1128)을 통해 흐른 다음 화살표(F) 방향으로 제2 드레인 밸브(1005)를 통해 흐른다.
[0062] 제2 방향 N2 플러시를 개시하기 위해, 컴퓨터는 EV 블록이 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)를 폐쇄하고, 제1 순환 공압 라인 밸브(1007)를 개방하고, 제2 드레인 밸브(1005)를 폐쇄하도록 한다. 추가적으로, 여기서, 유체 매니폴드(1178)로 개방되는 매니폴드 라인(1176)은 제2 공압 순환 라인 밸브(1008)의 연결부들과 제1 IPA 플러시 라인(1114) 사이의 위치에서 제3 순환 유체 라인(1138)에 유동적으로 연결된다. 여기서, 헬륨 누출 점검 포트 라인(1152)은 헬륨 누출 점검 제어 라인 밸브(1009)를 통해 매니폴드(1178) 및 이에 따라 제3 유체 순환 유체 라인(1138)에 연결된다. 추가적으로, 보조 벤트/드레인 라인(1184)은 매니폴드(1178)로부터 보조 벤트/드레인 밸브(1180)로 연장되며, 이는 개방될 때 매니폴드(1178)의 내부 체적을 주변 대기 또는 가정용 배기 또는 드레인(1182)에 노출시킨다. 가열된 N2가 제1 방향으로 흐르는 동안, 보조 벤트/드레인 밸브(1180) 및 헬륨 누출 점검 제어 라인 밸브(1009)는 유체 흐름을 방지하기 위해 폐쇄된다. 가열된 N2가 제2 방향으로 흐르도록 하기 위해, 컴퓨터는 EV 블록(1053)이 제2 벤트/드레인 밸브(1180)를 개방하도록 지시하여 매니폴드(1178)의 내부 체적을 주변 대기 또는 가정용 배기 또는 드레인(1182)에 노출시킨다. 이러한 밸브 구성의 결과, 방향(B)으로 N2 히터를 통해 흐르는 가열된 N2는 도 12의 화살표(C) 방향으로 제1 순환 공압 라인 밸브(1007)를 향하여 그리고 이를 통해 그리고 화살표(D) 방향(제2 방향)으로 제2 순환 유체 라인(1128) 및 제1 순환 유체 라인(1126)을 통해 흐르도록 전환된 다음 화살표(E) 방향으로 테스트 대상 유닛(1066), 제5 순환 유체 라인(1146) 및 3-방향 선택기 볼 밸브(1014)를 통해 유동한다. 가열된 N2는 화살표(F) 방향으로 제3 유체 순환 라인(1138)을 통해 매니폴드(1178)로 계속 흐르고, 이후 보조 벤트/드레인 밸브(1180)를 통해 시스템 밖으로 배출된다. 밸브를 선택적으로 설정하여 테스트 대상 유닛을 통과하는 N2의 흐름을 제1 또는 제2 방향으로 선택하면 양방향 플러싱이 이루어진다.
[0063] 본 명세서에 설명된 바와 같이, 테스트 단계들, 세척 및 건조 절차들 동안 또는 그 사이에 테스트 대상 유닛들을 물리적으로 취급함이 없이, 테스트 대상 유닛들을 테스트 및 후속적으로 세척 및 건조하기 위한 시스템이 제공된다. 그 결과, 배관들 또는 튜빙들을 연결하는 용접부들 및 응력이 감소하여 부품들의 전반적인 신뢰성이 향상된다.

Claims (17)

  1. 통합 세척 및 테스트 시스템(integrated cleaning and test system)으로서,
    상기 통합 세척 및 테스트 시스템은,
    공정 튜빙(process tubing)의 제1 정합 연결부에 연결하도록 구성된 제1 커넥터(connector);
    상기 공정 튜빙의 제2 정합 연결부에 연결하도록 구성된 제2 커넥터;
    상기 제1 커넥터 및 제2 커넥터 중 하나에 작동가능하게 연결가능한 제1 유체 테스트 디바이스(fluid test device);
    상기 제1 커넥터 및 제2 커넥터 중 하나에 작동가능하게 연결가능한 제1 유체 소스(source);
    상기 제1 커넥터 및 제2 커넥터 중 하나에 작동가능하게 연결가능한 제2 유체 소스; 및
    복수의 테스트 배관 및 밸브(valve)들을 포함하는 테스트 회로(testing circuit)를 포함하고,
    상기 밸브들은 상기 제1 유체 테스트 디바이스, 상기 제1 유체 소스 또는 상기 제2 유체 소스 중 하나를 상기 제1 커넥터 및 제2 커넥터 중 하나와 유체 연통하여 선택적으로 배치하도록 선택적으로 위치결정가능하고, 이에 따라
    상기 제1 유체 테스트 디바이스, 상기 제1 유체 소스 또는 상기 제2 유체 소스 각각은 사용자가 선택할 수 있는 순서로 상기 제1 커넥터 및 제2 커넥터 중 하나와 유체 연통하여, 상기 시스템이 테스트, 세척 또는 건조 단계들 중 임의의 단계들 사이에서 공정 배관을 상기 시스템으로부터 제거할 필요 없이 상기 공정 배관을 테스트, 세척 및 건조할 수 있도록 하는,
    통합 세척 및 테스트 시스템.
  2. 테스트 대상 유닛을 연결하기 위해 위치결정된 제1 및 제2 파이프 개구부들을 갖는, 유체 테스트 회로(fluid test circuit)로서,
    상기 유체 테스트 회로는,
    각각 대향하는 제1 및 제2 단부들에 제1 및 제2 연결 부분들을 갖는 튜브(tube)를 포함하고,
    질소 선택기 밸브를 통해 IPA 탱크에 선택적으로 연결되어 제1 IPA 탱크 내 이소프로판올에 질소 압력을 선택적으로 가하는 제1 질소 소스 라인(nitrogen source line);
    제2 질소 선택기 밸브를 통해 제2 IPA 탱크에 선택적으로 연결되어 제2 IPA 탱크 내 이소프로판올에 질소 압력을 선택적으로 가하는 제2 질소 소스 라인;
    유체 라인 순환 회로를 포함하는 유체 회로;
    제1 드레인 밸브(drain valve)를 통해 유체 순환 라인에 선택적으로 연결된 제1 드레인(drain);
    제1 IPA 라인 및 제1 IPA 밸브를 통해 유체 라인 순환 회로에 연결된 제1 IPA 탱크, 및 제2 IPA 라인 및 제2 IPA 밸브를 통해 유체 라인 순환 회로에 연결된 제2 IPA 탱크;
    제1 IPA 드레인 밸브를 통해 제1 IPA 탱크에 연결되고, 제2 IPA 드레인 밸브를 통해 제2 IPA 탱크에 연결된 제2 드레인;
    제1 IPA 벤트 밸브를 통해 제1 IPA 탱크에 연결된 제1 IPA 벤트(vent);
    제2 IPA 벤트 밸브를 통해 제2 IPA 탱크에 연결된 제2 IPA 벤트;
    물 밸브(water valve)를 통해 수원 및 유체 라인 순환 회로에 선택적으로 연결가능한 제1 물 라인; 및
    진공 선택 밸브를 통해 유체 라인 순환 회로에 선택적으로 연결가능한 진공 펌프(vacuum pump)를 포함하며,
    질소 소스는 제1 서브 라인(subline) 및 제2 서브 라인을 더 포함하고;
    상기 유체 라인 순환 회로는 테스트 대상 유닛을 통해 물, 질소, 및 IPA를 흐르도록 선택적으로 구성할 수 있는,
    유체 테스트 회로.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 유체 라인 순환 회로는,
    제1 단부 및 제2 단부를 포함하는 제1 순환 유체 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 테스트 대상 유닛에 유동적으로 연결하기 위한 제1 파이프 개구부를 제공함 ─ ;
    제1 단부 및 제2 단부를 포함하는 제1 순환 분기 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 상기 제1 순환 유체 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결됨 ─ ;
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 제2 순환 유체 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 상기 제1 순환 분기 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결됨 ─ ;
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 제3 순환 유체 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 상기 제2 순환 유체 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결됨 ─ ; 및
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 제4 유체 순환 라인 ─ 상기 제1 단부는 상기 제3 순환 유체 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결되고, 상기 이의 제2 단부는 테스트 대상 유닛에 연결가능한 제2 파이프 개구부를 제공함 ─ 을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  4. 제3 항에 있어서,
    제1 유체 서브 회로가 헬륨 누출 점검 제어 밸브(helium leak check control valve)를 통해 상기 제3 유체 순환 라인, 상기 제4 유체 순환 라인, 상기 제1 유체 순환 라인, 상기 제1 순환 분기 라인에 선택적으로 연결가능한 헬륨 누출 점검 소스(helium leak check source); 및 상기 제1 순환 분기 라인에 선택적으로 유동적으로 결합되는 유체 유출구를 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 유체 유출구는 헬륨 누출 점검 포트(helium leak check port)를 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  6. 제3 항에 있어서,
    제2 유체 서브 회로는 상기 물 라인, 상기 제3 순환 유체 라인, 상기 제4 순환 유체 라인, 상기 제1 순환 유체 라인, 상기 제1 순환 분기 라인 및 상기 드레인을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  7. 제3 항에 있어서,
    제3 유체 서브 회로가,
    상기 수원에 연결된 제2 물 라인;
    이의 제1 측에서 상기 제2 물 라인에 연결되고, 그리고 이의 제2 단부에서 상기 제4 순환 유체 라인에 연결되는 고압 정수압 테스트 시스템(high-pressure hydrostatic test system );
    상기 제1 순환 유체 라인; 및
    상기 제1 순환 유체 라인의 제2 단부와 상기 제1 순환 분기 라인의 제1 단부 사이에 배치되고, 상기 제1 순환 유체 라인의 제2 단부와 상기 제1 순환 분기 라인의 제1 단부 사이에 유체 연통을 선택적으로 개방 또는 차단하도록 구성되는 제1 순환 유체 밸브를 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  8. 제3 항에 있어서,
    제4 유체 서브 회로가,
    상기 제1 질소 서브 라인;
    상기 제3 순환 유체 라인;
    상기 제4 순환 유체 라인;
    상기 제1 순환 유체 라인; 및
    상기 제1 순환 분기 라인을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  9. 제3 항에 있어서,
    제5 유체 서브 회로가,
    상기 제3 순환 유체 라인;
    상기 제4 순환 유체 라인;
    상기 제1 순환 유체 라인;
    상기 제1 순환 분기 라인;
    상기 제1 이소프로판올 탱크;
    상기 제1 이소프로판올 탱크로부터 상기 제1 순환 분기 라인으로 연장되는 제1 IPA 플러시 라인;
    제2 이소프로판올 탱크; 및
    상기 제1 이소프로판올 탱크로부터 상기 제1 순환 분기 라인으로 연장되는 제2 IPA 플러시 라인을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  10. 대향 피팅(opposed fitting)들을 구비한 배관을 포함하여 테스트 대상 유닛의 유체 무결성을 테스트하기 위한 테스트 시스템(testing system)으로서,
    내부 선반, 상기 선반의 제1 측에 있는 유체 테스트 회로 영역 및 상기 선반의 제2 측에 있는 테스트 영역을 갖는 캐비닛(cabinet);
    상기 선반의 제1 측으로부터 상기 선반의 제2 측으로 연장되는 제1 및 제2 파이프들을 갖는 유체 테스트 회로 ─ 상기 이의 개방 단부들은 상기 선반의 제2 측으로부터 원위쪽에 배치되어 상기 단부들에 걸쳐 테스트 대상 유닛을 연결하도록 위치결정되고, 상기 테스트 대상 유닛은 각각 대향되는 제1 및 제2 단부들에 제1 및 제2 연결 부분들을 갖는 튜브를 포함함 ─ 를 포함하고,
    상기 유체 테스트 회로는,
    질소 선택기 밸브를 통해 제1 IPA 탱크에 선택적으로 연결되어 제1 IPA 탱크 내 이소프로판올에 질소 압력을 선택적으로 가하는 제1 질소 소스 라인;
    제2 질소 선택기 밸브를 통해 제2 IPA 탱크에 선택적으로 연결되어 제2 IPA 탱크 내 이소프로판올에 질소 압력을 선택적으로 가하는 제2 질소 소스 라인;
    유체 라인 순환 회로를 포함하는 유체 회로;
    제1 드레인 밸브를 통해 유체 순환 라인에 선택적으로 연결된 제1 드레인;
    제1 IPA 라인 및 제1 IPA 밸브를 통해 유체 라인 순환 회로에 연결된 제1 IPA 탱크, 및 제2 IPA 라인 및 제2 IPA 밸브를 통해 유체 라인 순환 회로에 연결된 제2 IPA 탱크;
    제1 IPA 드레인 밸브를 통해 제1 IPA 탱크에 연결되고, 제2 IPA 드레인 밸브를 통해 제2 IPA 탱크에 연결된 제2 드레인;
    제1 IPA 벤트 밸브를 통해 제1 IPA 탱크에 연결된 제1 IPA 벤트;
    제2 IPA 벤트 밸브를 통해 제2 IPA 탱크에 연결된 제2 IPA 벤트;
    물 밸브를 통해 수원 및 유체 라인 순환 회로에 선택적으로 연결가능한 제1 물 라인; 및
    드레인 밸브를 통해 유체 라인 순환 회로에 선택적으로 연결가능한 드레인을 포함하며,
    상기 질소 소스는 제1 서브 라인 및 제2 서브 라인을 더 포함하고;
    상기 유체 라인 순환 회로는 테스트 대상 유닛을 통해 물, 질소, 및 IPA를 흐르도록 선택적으로 구성할 수 있는,
    테스트 시스템.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 유체 라인 순환 회로는,
    제1 단부 및 제2 단부를 포함하는 제1 순환 유체 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 테스트 대상 유닛에 유동적으로 연결하기 위한 제1 파이프 개구부를 제공함 ─;
    제1 단부 및 제2 단부를 포함하는 제1 순환 분기 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 상기 제1 순환 유체 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결됨 ─ ;
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 제2 순환 유체 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 상기 제1 순환 분기 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결됨 ─ ;
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 제3 순환 유체 라인 ─ 상기 이의 제1 단부는 상기 제2 순환 유체 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결됨 ─ ; 및
    제1 단부 및 제2 단부를 갖는 제4 유체 순환 라인 ─ 상기 제1 단부는 상기 제3 순환 유체 라인의 제2 단부에 유동적으로 연결되고, 상기 이의 제2 단부는 테스트 대상 유닛에 연결가능한 제2 파이프 개구부를 제공함 ─ 을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  12. 제11 항에 있어서,
    제1 유체 서브 회로가 질소 제어 밸브를 통해 상기 제3 유체 순환 라인, 상기 제4 유체 순환 라인, 상기 제1 유체 순환 라인, 상기 제1 순환 분기 라인에 선택적으로 연결가능한 질소 소스; 및 상기 제1 순환 분기 라인에 선택적으로 유동적으로 결합되는 유체 유출구를 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 유체 유출구는 상기 제1 드레인을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  14. 제11 항에 있어서,
    제2 유체 서브 회로가 상기 물 라인, 상기 제3 순환 유체 라인, 상기 제4 순환 유체 라인, 상기 제1 순환 유체 라인, 상기 제1 순환 분기 라인 및 상기 드레인을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  15. 제11 항에 있어서,
    제3 유체 서브 회로가,
    상기 수원에 연결된 제2 물 라인;
    이의 제1 측에서 상기 제2 물 라인에 연결되고, 이의 제2 단부에서 상기 제4 순환 유체 라인에 연결되는 고압 정수압 테스트 시스템;
    상기 제1 순환 유체 라인; 및
    상기 제1 순환 유체 라인의 제2 단부와 상기 제1 순환 분기 라인의 제1 단부 사이에 배치되고, 상기 제1 순환 유체 라인의 제2 단부와 상기 제1 순환 분기 라인의 제1 단부 사이에 유체 연통을 선택적으로 개방 또는 차단하도록 구성되는 제1 순환 유체 밸브를 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  16. 제11 항에 있어서,
    제4 유체 서브 회로가,
    상기 제1 질소 서브 라인;
    상기 제3 순환 유체 라인;
    상기 제4 순환 유체 라인;
    상기 제1 순환 유체 라인;
    상기 제1 순환 분기 라인; 및
    상기 드레인을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
  17. 제11 항에 있어서,
    제5 유체 서브 회로가,
    상기 제3 순환 유체 라인;
    상기 제4 순환 유체 라인;
    상기 제1 순환 유체 라인;
    상기 제1 순환 분기 라인;
    상기 제1 이소프로판올 탱크;
    상기 제1 이소프로판올 탱크로부터 상기 제1 순환 분기 라인으로 연장되는 제1 IPA 플러시 라인;
    상기 제2 이소프로판올 탱크; 및
    상기 제1 이소프로판올 탱크로부터 상기 제1 순환 분기 라인으로 연장되는 제2 IPA 플러시 라인을 포함하는,
    유체 테스트 회로.
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