KR20230155852A - A squeegee system - Google Patents

A squeegee system Download PDF

Info

Publication number
KR20230155852A
KR20230155852A KR1020220055595A KR20220055595A KR20230155852A KR 20230155852 A KR20230155852 A KR 20230155852A KR 1020220055595 A KR1020220055595 A KR 1020220055595A KR 20220055595 A KR20220055595 A KR 20220055595A KR 20230155852 A KR20230155852 A KR 20230155852A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
squeegee
mask
movable frame
support
pressure
Prior art date
Application number
KR1020220055595A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박강일
김용성
손경태
Original Assignee
주식회사 엘에이티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘에이티 filed Critical 주식회사 엘에이티
Priority to KR1020220055595A priority Critical patent/KR20230155852A/en
Publication of KR20230155852A publication Critical patent/KR20230155852A/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/44Squeegees or doctors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/34Screens, Frames; Holders therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/0009Central control units
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41NPRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
    • B41N1/00Printing plates or foils; Materials therefor
    • B41N1/24Stencils; Stencil materials; Carriers therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Screen Printers (AREA)

Abstract

일 실시예에 따른 스퀴지 시스템은 적어도 일 방향에 대하여 이동될 수 있는 몸체부, 상기 몸체부의 하측에 배치되는 스퀴지부 및 상기 스퀴지부의 하측에 배치되는 마스크부를 포함하고, 상기 스퀴지부의 하면이 상기 마스크부의 일면에 대하여 면 접촉하도록 상기 스퀴지부의 기울기가 자동적으로 제어될 수 있는 스퀴지 시스템이다.A squeegee system according to an embodiment includes a body portion that can be moved in at least one direction, a squeegee portion disposed below the body portion, and a mask portion disposed below the squeegee portion, and the lower surface of the squeegee portion is the mask portion. It is a squeegee system in which the inclination of the squeegee part can be automatically controlled to make surface contact with one surface.

Description

스퀴지 시스템 {A SQUEEGEE SYSTEM}Squeegee system {A SQUEEGEE SYSTEM}

아래의 실시예들은 스퀴지 시스템에 관한 것이다.The examples below relate to squeegee systems.

전자산업의 발달에 따라 전자부품의 고기능화, 소형화 요구가 급증하고 있다. 이러한 추세에 따라 IC 및 기판(Substrate)의 범프 피치(bump pitch)가 극미세화되고 다양해지고 있다. 이에 기판의 범프 형성을 위한 많은 과정이 현재 개발 및 양산 중에 있으며, 가장 많이 사용하는 범프 형성법으로는 메탈 마스크(metal mask)를 사용한 솔더 페이스트의 인쇄법이다.With the development of the electronics industry, demands for higher functionality and miniaturization of electronic components are rapidly increasing. According to this trend, the bump pitch of ICs and substrates is becoming extremely fine and diverse. Accordingly, many processes for forming bumps on boards are currently being developed and mass produced, and the most commonly used bump forming method is the solder paste printing method using a metal mask.

그러나, 이 메탈 마스크 인쇄법은 미세한(fine) 피치 범프에서는 범프의 높이와 형상 등의 품질수준에 따라가기 어려운 경향이 있어 이를 해결하기 위한 많은 연구와 특허가 출연되어 있는 상태이다.However, this metal mask printing method tends to be difficult to keep up with the quality level such as the height and shape of the bump in fine pitch bumps, so many researches and patents have been published to solve this problem.

현재 솔더 페이스트 충진시 스퀴지(Squeegee) 타입 또는 프로플로우(proflow) 타입이 주로 사용되고 있으며 특히 스퀴지 타입은 사용의 편리성 및 생산성에 장점이 있어 널리 사용되고 있다.Currently, the squeegee type or proflow type is mainly used when filling solder paste. In particular, the squeegee type is widely used due to its advantages in ease of use and productivity.

그러나 보이드(void) 발생, 롤링(rolling) 시 형상 유지의 어려움 등의 문제점이 범프의 미세 피치화와 더불어 심각한 문제로 대두되고 있다.However, problems such as the occurrence of voids and difficulty maintaining the shape during rolling are emerging as serious problems along with the finer pitch of the bump.

국내 공개 특허 공보 제10-2020-0144680호는 밀폐형 압력 블레이드를 구비하는 스퀴지 시스템에 관한 기술적 사상을 개시하고 있다.Domestic Patent Publication No. 10-2020-0144680 discloses the technical idea of a squeegee system having a sealed pressure blade.

일 실시예에 따른 목적은 탄성요소에 의해 분사요소의 기울기가 자동적으로 제어될 수 있는 스퀴지 시스템을 제공하는 것이다.An object according to one embodiment is to provide a squeegee system in which the inclination of a spray element can be automatically controlled by an elastic element.

일 실시예에 따른 목적은 스퀴지부가 마스크부와 이루는 각도 또는 마스크부에 의해 스퀴지부에 작용하는 압력을 조절할 수 있는 스퀴지 시스템을 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a squeegee system that can adjust the angle formed by the squeegee portion with the mask portion or the pressure applied to the squeegee portion by the mask portion.

일 실시예에 따른 목적은 기판 또는 마스크부가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단할 수 있는 스퀴지 시스템을 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a squeegee system that can determine whether a substrate or a mask portion is aligned at a preset position.

일 실시예에 따른 스퀴지 시스템은, 적어도 일 방향에 대하여 이동될 수 있는 몸체부, 상기 몸체부의 하측에 배치되는 스퀴지부 및 상기 스퀴지부의 하측에 배치되는 마스크부를 포함하고, 상기 스퀴지부의 하면이 상기 마스크부의 일면에 대하여 면 접촉하도록 상기 스퀴지부의 기울기가 자동적으로 제어될 수 있다.A squeegee system according to an embodiment includes a body portion that can be moved in at least one direction, a squeegee portion disposed below the body portion, and a mask portion disposed below the squeegee portion, and the lower surface of the squeegee portion is the mask portion. The inclination of the squeegee portion may be automatically controlled to make surface contact with one surface of the portion.

상기 몸체부에 연결되어 상기 몸체부의 하측에 배치되는 제1 가동 프레임, 상기 제1 가동 프레임에 대하여 제1 축을 기준으로 힌지될 수 있는 제2 가동 프레임 및 상기 제2 가동 프레임의 하측에 배치되어 상기 마스크부를 향해 유체를 분사할 수 있는 분사요소를 포함할 수 있다.A first movable frame connected to the body portion and disposed below the body portion, a second movable frame capable of being hinged about a first axis with respect to the first movable frame, and disposed below the second movable frame It may include a spray element capable of spraying fluid toward the mask portion.

특히, 상기 스퀴지부는 상기 제1 가동 프레임과 상기 제2 가동 프레임 사이의 양단에 각각 배치되는 복수 개의 탄성요소를 포함하고, 각각의 상기 탄성요소는 상기 제2 가동 프레임을 하측으로 가압하도록 배치됨으로써, 상기 분사요소의 기울기는 상기 제1 축을 기준으로 자동적으로 제어될 수 있다.In particular, the squeegee unit includes a plurality of elastic elements respectively disposed at both ends between the first movable frame and the second movable frame, and each of the elastic elements is arranged to press the second movable frame downward, The tilt of the injection element can be automatically controlled based on the first axis.

이때, 상기 스퀴지부는, 상기 분사요소의 일 부분에 배치되어, 상기 분사요소가 상기 마스크부의 일면과 접촉시 상기 분사요소에 작용하는 압력 값을 측정할 수 있는 센서요소를 더 포함할 수 있다.At this time, the squeegee part may further include a sensor element disposed on a portion of the spray element and capable of measuring a pressure value acting on the spray element when the spray element contacts one surface of the mask portion.

더욱이, 상기 분사요소가 상기 마스크부의 일면과 접촉시 상기 분사요소에 작용하는 압력을 조절하는 압력 조절부를 더 포함하고, 상기 압력 조절부는 상기 센서요소에 의해 측정된 압력 값과 기 설정된 압력 값을 비교하여 상기 분사요소에 작용하는 압력 값이 상기 기 설정된 압력 값과 같아지도록 상기 분사요소를 가압할 수 있다.Furthermore, the spray element further includes a pressure control unit that adjusts the pressure applied to the spray element when it contacts one surface of the mask unit, and the pressure control unit compares the pressure value measured by the sensor element with a preset pressure value. Thus, the injection element can be pressurized so that the pressure value acting on the injection element is equal to the preset pressure value.

상기 압력 조절부는, 높이 방향으로 연장되는 압력 조절 축, 상기 스퀴지부에 연결되어 상기 압력 조절 축을 따라 이동하는 압력 조절 부재 및 상기 압력 조절 축의 상단에 형성되는 압력 조절 모터를 포함할 수 있다.The pressure control unit may include a pressure control shaft extending in a height direction, a pressure control member connected to the squeegee unit and moving along the pressure control shaft, and a pressure control motor formed at an upper end of the pressure control shaft.

또한, 상기 스퀴지부를 제2 축에 대하여 각도를 조절할 수 있는 각도 조절부를 더 포함하고, 상기 각도 조절부는, 상기 제2 가동 프레임과 일단이 연결되는 링크부재, 높이 방향으로 연장되는 각도 조절 축, 상기 링크부재와 상기 각도 조절 축 사이에 배치되어 상기 각도 조절 축을 따라 이동하는 각도 조절 부재 및 상기 각도 조절 축의 상단에 형성되는 각도 조절 모터를 포함할 수 있다.In addition, it further includes an angle adjusting unit capable of adjusting the angle of the squeegee unit with respect to the second axis, wherein the angle adjusting unit includes a link member at one end connected to the second movable frame, an angle adjusting shaft extending in the height direction, and It may include an angle adjustment member disposed between a link member and the angle adjustment axis and moving along the angle adjustment axis, and an angle adjustment motor formed at an upper end of the angle adjustment axis.

또한, 상기 마스크부의 하측에 배치되어 기판을 지지할 수 있는 지지부를 더 포함하고, 상기 지지부의 일측에 형성되어 상기 지지부 상에 놓이는 상기 기판이 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하기 위한 적어도 하나의 제1 판단요소 및 상기 지지부의 타측에 형성되어 상기 지지부의 상측에 배치되는 상기 마스크부가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하기 위한 적어도 하나의 제2 판단요소를 포함할 수 있다.In addition, it further includes a support part disposed below the mask part and capable of supporting the substrate, and at least one support part formed on one side of the support part and used to determine whether the substrate placed on the support part is aligned at a preset position. It may include a first determination element and at least one second determination element for determining whether the mask unit formed on the other side of the support unit and disposed on the upper side of the support unit is aligned at a preset position.

상기 제1 판단요소는, 상기 지지부 상에 형성된 제1 홀 및 상기 제1홀을 통하여 상기 기판의 모서리 부분을 모니터링하는 제1 비젼을 포함할 수 있다.The first determination element may include a first hole formed on the support portion and a first vision for monitoring a corner portion of the substrate through the first hole.

상기 제2 판단요소는, 상기 지지부 상에 형성된 제2 홀 및 상기 제2홀을 통하여 상기 마스크부의 모서리 부분을 모니터링하는 제2 비젼을 포함할 수 있다.The second determination element may include a second hole formed on the support part and a second vision for monitoring a corner portion of the mask part through the second hole.

상기 마스크부의 하측에 배치되어 기판을 지지할 수 있는 지지부를 더 포함하고, 상기 지지부의 일측에 형성되어 상기 지지부 상에 놓이는 상기 기판 및 상기 지지부의 상측에 배치되는 상기 마스크부가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하기 위한 적어도 하나의 제3 판단요소를 포함할 수 있다.It further includes a support part disposed below the mask part and capable of supporting a substrate, and determines whether the substrate formed on one side of the support part and placed on the support part and the mask part disposed on an upper side of the support part are aligned at a preset position. It may include at least one third judgment element for determining whether or not.

상기 제3 판단요소는, 상기 지지부 상에 형성된 제3 홀, 상기 제3 홀을 통하여 상기 기판의 모서리 부분을 모니터링하는 제3 비젼 및 상기 제3 홀을 통하여 상기 마스크부의 모서리 부분을 모니터링하는 제4 비젼을 포함할 수 있다.The third determination element includes a third hole formed on the support portion, a third vision monitor for monitoring the corner portion of the substrate through the third hole, and a fourth vision monitor for monitoring the corner portion of the mask portion through the third hole. May include vision.

일 실시예에 따른 스퀴지 시스템은 탄성요소에 의해 분사요소의 기울기가 자동적으로 제어될 수 있다.In the squeegee system according to one embodiment, the tilt of the spraying element can be automatically controlled by the elastic element.

일 실시예에 따른 스퀴지 시스템은 스퀴지부가 마스크부와 이루는 각도 또는 마스크부에 의해 스퀴지부에 작용하는 압력을 조절할 수 있다.The squeegee system according to one embodiment can adjust the angle formed by the squeegee part and the mask part or the pressure applied to the squeegee part by the mask part.

일 실시예에 따른 스퀴지 시스템은 기판 또는 마스크부가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단할 수 있다.The squeegee system according to one embodiment may determine whether the substrate or the mask portion is aligned at a preset position.

도1은 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템을 나타낸다.
도2는 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 스퀴지부를 상세히 나타낸다.
도3은 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 센서요소 부분의 단면을 나타낸다.
도4는 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 압력 조절 과정을 상세히 나타낸다.
도5는 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 각도 조절 과정을 상세히 나타낸다.
도6은 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 지지부 부분을 나타낸다.
1 shows a squeegee system according to one embodiment.
Figure 2 shows the squeegee portion of a squeegee system according to one embodiment in detail.
Figure 3 shows a cross-section of a sensor element portion of a squeegee system according to one embodiment.
Figure 4 shows in detail the pressure control process of the squeegee system according to one embodiment.
Figure 5 shows in detail the angle adjustment process of the squeegee system according to one embodiment.
Figure 6 shows a support portion of a squeegee system according to one embodiment.

이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the attached drawings. However, various changes can be made to the embodiments, so the scope of the patent application is not limited or limited by these embodiments. It should be understood that all changes, equivalents, or substitutes for the embodiments are included in the scope of rights.

실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안 된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the examples are for descriptive purposes only and should not be construed as limiting. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as generally understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the embodiments belong. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and unless explicitly defined in the present application, should not be interpreted in an ideal or excessively formal sense. No.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, when describing with reference to the accompanying drawings, identical components will be assigned the same reference numerals regardless of the reference numerals, and duplicate descriptions thereof will be omitted. In describing the embodiments, if it is determined that detailed descriptions of related known technologies may unnecessarily obscure the gist of the embodiments, the detailed descriptions are omitted.

또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. Additionally, in describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, sequence, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected," "coupled," or "connected" to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but there is no need for another component between each component. It should be understood that may be “connected,” “combined,” or “connected.”

어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Components included in one embodiment and components including common functions will be described using the same names in other embodiments. Unless stated to the contrary, the description given in one embodiment may be applied to other embodiments, and detailed description will be omitted to the extent of overlap.

도1은 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템을 나타낸다. 도2는 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 스퀴지부를 상세히 나타낸다. 도3은 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 센서요소 부분의 단면을 나타낸다. 도4는 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 압력 조절 과정을 상세히 나타낸다. 또한, 도5는 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 각도 조절 과정을 상세히 나타낸다. 도6은 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템의 지지부 부분을 나타낸다.1 shows a squeegee system according to one embodiment. Figure 2 shows the squeegee portion of a squeegee system according to one embodiment in detail. Figure 3 shows a cross-section of a sensor element portion of a squeegee system according to one embodiment. Figure 4 shows in detail the pressure control process of the squeegee system according to one embodiment. Additionally, Figure 5 shows in detail the angle adjustment process of the squeegee system according to one embodiment. Figure 6 shows a support portion of a squeegee system according to one embodiment.

도1을 참조하면, 스퀴지 시스템(10)은 몸체부(100), 스퀴지부(200) 및 마스크부(500)를 포함할 수 있다. 또한, 후술할 바와 같이, 스퀴지 시스템(10)은 각도 조절부(300) 및 압력 조절부(400)를 더 포함할 수 있다.Referring to Figure 1, the squeegee system 10 may include a body portion 100, a squeegee portion 200, and a mask portion 500. Additionally, as will be described later, the squeegee system 10 may further include an angle adjusting unit 300 and a pressure adjusting unit 400.

몸체부(100)의 어느 한 부분에는 볼스크류(110)가 형성될 수 있고, 볼스크류는 특정 축(미도시)에 결합될 수 있다. 몸체부(100)는 특정 축을 따라 적어도 일 방향에 대하여 이동할 수 있다.A ball screw 110 may be formed in one part of the body 100, and the ball screw may be coupled to a specific axis (not shown). The body portion 100 can move in at least one direction along a specific axis.

스퀴지부(200)는 몸체부(100)와 마스크부(500) 사이에 형성될 수 있다. 스퀴지부(200)의 하면이 마스크부(500)의 일면에 대하여 면 접촉하도록 스퀴지부(200)의 기울기는 자동적으로 제어될 수 있다. 스퀴지부(200)는 제1 가동프레임(210), 제2 가동프레임(220) 및 분사요소(230)를 포함할 수 있다.The squeegee part 200 may be formed between the body part 100 and the mask part 500. The inclination of the squeegee unit 200 may be automatically controlled so that the lower surface of the squeegee unit 200 makes surface contact with one surface of the mask unit 500. The squeegee unit 200 may include a first movable frame 210, a second movable frame 220, and an injection element 230.

각도 조절부(300)는 각도 조절 모터(310), 각도 조절 부재(320), 각도 조절 축(330) 및 링크부재(340)를 포함할 수 있다. 압력 조절부(400)는 압력 조절 모터(410), 압력 조절 부재(420) 및 압력 조절 축(430)을 포함할 수 있다.The angle adjusting unit 300 may include an angle adjusting motor 310, an angle adjusting member 320, an angle adjusting shaft 330, and a link member 340. The pressure control unit 400 may include a pressure control motor 410, a pressure control member 420, and a pressure control shaft 430.

도2의 (a)를 참조하면, 제1 가동 프레임(210)은 몸체부(100)에 연결되고, 몸체부(100)의 하측에 배치될 수 있다. 제2 가동 프레임(220)은 체결요소(221)에 의해 제1 가동 프레임(210)에 연결되고, 제1 가동 프레임(210)에 대하여 체결요소(221)에 의해 결합된 지점인 제1 축(S1)을 기준으로 힌지될 수 있다. 분사요소(230)는 제2 가동 프레임(220)의 하측에 배치되고, 마스크부(500)를 향해 유체를 분사할 수 있다. 분사요소(230)는 블레이드 형상일 수 있다. 분사요소(230)는 제2 가동 프레임(220)의 하측에 형성된 스퀴지 홀더(231)에 의해 지지될 수 있다.Referring to (a) of Figure 2, the first movable frame 210 is connected to the body portion 100 and may be disposed below the body portion 100. The second movable frame 220 is connected to the first movable frame 210 by a fastening element 221, and has a first axis ( It can be hinged based on S1). The injection element 230 is disposed below the second movable frame 220 and can spray fluid toward the mask unit 500. The injection element 230 may have a blade shape. The injection element 230 may be supported by a squeegee holder 231 formed on the lower side of the second movable frame 220.

스퀴지부(200)는 탄성요소(240)를 더 포함할 수 있다. 탄성요소(240)는 제1 가동 프레임(210)과 제2 가동 프레임(220)의 사이의 양단에 각각 배치될 수 있다. 각각의 탄성요소(240)는 제1 가동 프레임(210) 상에 고정되고, 제2 가동 프레임(220)을 하측으로 가압하도록 배치될 수 있다. 제1 가동 프레임(210)의 움직임 없이 제2 가동 프레임(220)은 체결요소(221)에 의해 힌지된 제1 축(S1)을 기준으로 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 움직일 수 있다. 분사요소(230)의 기울기는 제1 축(S1)을 기준으로 자동적으로 제어될 수 있다.The squeegee unit 200 may further include an elastic element 240. The elastic elements 240 may be disposed at both ends between the first movable frame 210 and the second movable frame 220, respectively. Each elastic element 240 is fixed on the first movable frame 210 and may be arranged to press the second movable frame 220 downward. Without movement of the first movable frame 210, the second movable frame 220 moves in the first direction D1 or the second direction D2 based on the first axis S1 hinged by the fastening element 221. You can move. The tilt of the injection element 230 can be automatically controlled based on the first axis S1.

도2의 (b)를 참조하면, 일 실시예에 따른 제2 가동 프레임(220)은 기울어진 마스크부(500)의 기울기에 대응하여 제1 방향(D1)으로 움직일 수 있다. 분사요소(230)의 기울기를 자동적으로 제어함으로써, 마스크부(500)와 면 접촉하는 분사요소(230)의 면적을 증가시킬 수 있다. 분사요소(230)로부터 마스크부(500)를 향한 유체의 분사 또는 도포가 더욱 원활하게 달성될 수 있다.Referring to (b) of FIG. 2, the second movable frame 220 according to one embodiment may move in the first direction D1 in response to the tilt of the tilted mask portion 500. By automatically controlling the inclination of the injection element 230, the area of the injection element 230 in surface contact with the mask portion 500 can be increased. Injection or application of fluid from the injection element 230 toward the mask unit 500 can be achieved more smoothly.

도3을 참조하면 스퀴지부(200)는 센서요소(211)를 더 포함할 수 있다. 센서요소(211)는 분사요소(230)의 일 부분에 배치될 수 있다. 센서요소(211)는 분사요소(230)가 마스크부(500)의 일면과 접촉시 분사요소(230)에 작용하는 압력 값을 측정할 수 있다.Referring to Figure 3, the squeegee unit 200 may further include a sensor element 211. The sensor element 211 may be disposed in a portion of the injection element 230. The sensor element 211 can measure the pressure value acting on the injection element 230 when the injection element 230 contacts one surface of the mask portion 500.

도4를 참조하면, 스퀴지 시스템(10)은 압력 조절부(400)를 더 포함할 수 있다. 압력 조절부(400)는 분사요소(230)가 마스크부(500)의 일면과 접촉시 분사요소(230)에 작용하는 압력을 조절할 수 있다. 압력 조절부(400)는 센서요소(211)에 의해 측정된 압력 값과 기 설정된 압력 값을 비교하여 분사요소(230)에 작용하는 압력 값이 기 설정된 압력 값과 같아지도록 상기 분사요소를 가압할 수 있다.Referring to Figure 4, the squeegee system 10 may further include a pressure regulator 400. The pressure adjusting unit 400 can adjust the pressure applied to the spraying element 230 when the spraying element 230 contacts one surface of the mask unit 500. The pressure regulator 400 compares the pressure value measured by the sensor element 211 with the preset pressure value and pressurizes the injection element 230 so that the pressure value acting on the injection element 230 is equal to the preset pressure value. You can.

압력 조절부(400)는 압력 조절 축(430), 압력 조절 부재(420) 및 압력 조절 모터(410)를 포함할 수 있다. 압력 조절 축(430)은 높이 방향으로 연장될 수 있다. 압력 조절 부재(420)는 스퀴지부(200)에 연결되고, 압력 조절 축(430)을 따라 이동할 수 있다. 압력 조절 모터(410)는 압력 조절 축(430)의 상단에 형성될 수 있다.The pressure control unit 400 may include a pressure control shaft 430, a pressure control member 420, and a pressure control motor 410. The pressure control shaft 430 may extend in the height direction. The pressure adjustment member 420 is connected to the squeegee unit 200 and can move along the pressure adjustment axis 430. The pressure control motor 410 may be formed at the top of the pressure control shaft 430.

도4의 (a)를 참조하면, 분사요소(230)가 마스크부(500)와 면 접촉하기 전에, 사용자는 제어부(미도시)를 통하여 설정하고자 하는 분사요소(230)에 대한 압력 값을 입력할 수 있다. 도4의 (b)와 같이 압력 조절 모터(410)가 일방향으로 작동하는 경우, 압력 조절 부재(420)는 압력 조절 축(430)을 따라 하강할 수 있다. 스퀴지부(200)가 하강하여, 마스크부(500)에 분사요소(230)가 면 접촉할 수 있다. 센서요소(211)는 분사요소(230)가 받는 압력 값을 측정할 수 있고, 측정된 값을 기초로 분사요소(230)에 작용하는 압력이 기 설정된 압력과 동일해질 수 있도록 압력 조절 모터(410)는 일방향 또는 타방향으로 작동하여 분사요소(230)를 하강 또는 상승시킬 수 있다.Referring to (a) of Figure 4, before the injection element 230 makes surface contact with the mask unit 500, the user inputs the pressure value for the injection element 230 to be set through the control unit (not shown). can do. When the pressure control motor 410 operates in one direction as shown in (b) of FIG. 4, the pressure control member 420 may descend along the pressure control axis 430. As the squeegee part 200 descends, the spray element 230 may come into surface contact with the mask part 500. The sensor element 211 can measure the pressure value received by the injection element 230, and the pressure adjustment motor 410 so that the pressure acting on the injection element 230 can be equal to the preset pressure based on the measured value. ) can operate in one direction or the other to lower or raise the injection element 230.

입력된 압력 값 보다 센서요소(211)가 측정한 분사요소(230)의 압력 값이 작은 경우, 압력 조절 모터(410)는 일방향으로 작동하여 분사요소(230)가 하강할 수 있다. 그로부터 마스크부(500)에 의해 분사요소(230)가 받는 압력 값은 증가하고, 분사요소(230)의 압력 값은 입력된 압력 값과 같아지도록 조절될 수 있다.When the pressure value of the injection element 230 measured by the sensor element 211 is smaller than the input pressure value, the pressure control motor 410 operates in one direction so that the injection element 230 can descend. From thereon, the pressure value received by the injection element 230 by the mask unit 500 increases, and the pressure value of the injection element 230 can be adjusted to be equal to the input pressure value.

도5를 참조하면, 스퀴지 시스템(10)은 각도 조절부(300)를 더 포함할 수 있다. 각도 조절부(300)는 후술할 바와 같이 스퀴지부(200)의 각도를 제2 축(S2)을 기준으로 제3 방향(D3) 또는 제4 방향(D4)에 대하여 조절할 수 있다. 각도 조절부(300)는 링크부재(340), 각도 조절 축(330), 각도 조절 부재(320) 및 각도 조절 모터(310)를 포함할 수 있다.Referring to Figure 5, the squeegee system 10 may further include an angle adjusting unit 300. As will be described later, the angle adjusting unit 300 may adjust the angle of the squeegee unit 200 in the third direction D3 or the fourth direction D4 based on the second axis S2. The angle adjustment unit 300 may include a link member 340, an angle adjustment shaft 330, an angle adjustment member 320, and an angle adjustment motor 310.

링크부재(340)의 일단은 제2 가동 프레임(220)에 연결될 수 있다. 각도 조절 축(330)은 높이 방향으로 연장될 수 있다. 각도 조절 부재(320)는 링크부재(340)와 각도 조절 축(330) 사이에 배치되고, 각도 조절 축(330)을 따라 이동할 수 있다. 각도 조절 모터(310)는 각도 조절 축(330)의 상단에 형성될 수 있다. 일 실시예에 따른 스퀴지 시스템(10)은 스퀴지부(200)의 각도를 제4 방향(D4)에 대하여 조절할 수 있다. 도5의 (a)와 같이, 분사요소(230)와 마스크부(500)의 수직 방향이 이루는 각도가 없는 상태에서, 도5의 (b)와 같이 각도 조절 모터(310)는 일방향으로 작동할 수 있다. 각도 조절 부재(320)는 각도 조절 축(330)을 따라 위로 움직이고, 각도 조절 부재(320)의 하단에 연결된 링크부재(340)의 일단도 위로 움직일 수 있다.One end of the link member 340 may be connected to the second movable frame 220. The angle adjustment axis 330 may extend in the height direction. The angle adjustment member 320 is disposed between the link member 340 and the angle adjustment axis 330 and can move along the angle adjustment axis 330. The angle adjustment motor 310 may be formed at the top of the angle adjustment shaft 330. The squeegee system 10 according to one embodiment may adjust the angle of the squeegee unit 200 with respect to the fourth direction D4. As shown in (a) of Figure 5, in a state where there is no angle formed by the vertical direction of the injection element 230 and the mask portion 500, the angle adjustment motor 310 can operate in one direction as shown in (b) of Figure 5. You can. The angle adjustment member 320 moves upward along the angle adjustment axis 330, and one end of the link member 340 connected to the lower end of the angle adjustment member 320 may also move upward.

링크부재(340)의 타단은 제2 가동 프레임(220)을 링크부재(340)의 방향으로 유도할 수 있다. 제1 가동 프레임(210)과 몸체부(100)가 연결된 지점인 제2 축(S2)을 기준으로, 제1가동 프레임(210) 및 제2 가동 프레임(220)은 일체로써 제4 방향(D4)으로 움직일 수 있다. 분사요소(230)와 마스크부(500)의 수직 방향이 이루는 각도(A)가 증가될 수 있다. 각도 조절 모터(310)가 타방향으로 작동할 경우, 분사요소(230)와 마스크부(500)의 수직 방향이 이루는 각도(A)는 감소할 수 있다.The other end of the link member 340 may guide the second movable frame 220 in the direction of the link member 340. Based on the second axis (S2), which is the point where the first movable frame 210 and the body portion 100 are connected, the first movable frame 210 and the second movable frame 220 are integrated and move in the fourth direction (D4). ) can be moved. The angle A formed by the vertical direction between the spray element 230 and the mask portion 500 may be increased. When the angle adjustment motor 310 operates in the other direction, the angle A formed by the vertical direction between the injection element 230 and the mask portion 500 may decrease.

도6을 참조하면, 스퀴지 시스템(10)은 지지부(600) 및 적어도 하나의 판단요소를 더 포함할 수 있다. 지지부(600)는 마스크부(500)의 하측에 배치되고, 기판(510)을 지지할 수 있다.Referring to Figure 6, the squeegee system 10 may further include a support portion 600 and at least one determination element. The support part 600 is disposed below the mask part 500 and can support the substrate 510.

도6의 (a)를 참조하면, 제1 판단요소(610)는 지지부(600)의 일측에 형성되고, 제1 홀(611) 및 제1 비젼(612)을 포함할 수 있다. 제1 홀(611)은 지지부(600) 상에 형성되고, 기판(510)의 모서리 두 개를 제1 홀(611)에 각각 배치할 수 있다. 제1 비젼(612)은 제1 홀(611)을 통하여 기판(510)의 모서리 부분을 모니터링할 수 있다. 제1 판단요소(610)는 지지부(600) 상에 놓이는 기판(510)이 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단할 수 있다.Referring to (a) of FIG. 6 , the first determination element 610 is formed on one side of the support part 600 and may include a first hole 611 and a first vision 612. The first hole 611 is formed on the support part 600, and two corners of the substrate 510 can be placed in each of the first holes 611. The first vision 612 can monitor the corner portion of the substrate 510 through the first hole 611. The first determination element 610 may determine whether the substrate 510 placed on the support unit 600 is aligned at a preset position.

제2 판단요소(620)는 지지부(600)의 타측에 형성될 수 있다. 제2 판단요소(620)는 제2 홀(621) 및 제2 비젼(622)을 포함할 수 있다. 제2 홀(621)은 지지부(600) 상에 형성되고, 마스크부(500)의 모서리 두 개를 제2홀(621)에 각각 배치할 수 있다. 제2 비젼(622)은 제2 홀(621)을 통하여 마스크부(500)의 모서리 부분을 모니터링할 수 있다. 제2 판단요소(620)는 지지부(600)의 상측에 배치되는 마스크부(500)가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단할 수 있다. The second determination element 620 may be formed on the other side of the support part 600. The second determination element 620 may include a second hole 621 and a second vision 622. The second hole 621 is formed on the support part 600, and two corners of the mask part 500 can be placed in the second holes 621, respectively. The second vision 622 can monitor the corner portion of the mask portion 500 through the second hole 621. The second determination element 620 may determine whether the mask unit 500 disposed on the upper side of the support unit 600 is aligned at a preset position.

도6의 (b)를 참조하면, 제3 판단요소(630)는 지지부(600)의 일측에 형성되고, 제3 홀(631), 제3 비젼(632) 및 제4 비젼(633)을 포함할 수 있다. 제3 홀(631)은 지지부(600) 상에 형성되고, 기판(510)의 모서리 두 개 및 마스크부(500)의 모서리 두 개를 제3 홀(631)에 각각 배치할 수 있다. Referring to (b) of Figure 6, the third judgment element 630 is formed on one side of the support part 600 and includes a third hole 631, a third vision 632, and a fourth vision 633. can do. The third hole 631 is formed on the support part 600, and two corners of the substrate 510 and two corners of the mask part 500 can be placed in the third hole 631, respectively.

제3 비젼(632)은 제3 홀(631)을 통하여 기판(510)의 모서리 부분을 모니터링할 수 있다. 제4 비젼(633)은 제3 홀(631)을 통하여 마스크부(500)의 모서리 부분을 모니터링할 수 있다.The third vision 632 can monitor the corner portion of the substrate 510 through the third hole 631. The fourth vision 633 can monitor the corner portion of the mask portion 500 through the third hole 631.

제3 판단요소(630)는 지지부(600) 상에 놓이는 기판(510) 및 지지부(600)의 상측에 배치되는 마스크부(500)가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단할 수 있다.The third determination element 630 may determine whether the substrate 510 placed on the support unit 600 and the mask unit 500 disposed on the upper side of the support unit 600 are aligned at a preset position.

상기에서 설명한 구성들을 포함하는 스퀴지 시스템은 탄성요소에 의해 분사요소의 기울기가 자동적으로 제어될 수 있고, 스퀴지부가 마스크부와 이루는 각도 또는 마스크부에 의해 스퀴지부에 작용하는 압력을 조절할 수 있다. 또한, 기판 또는 마스크부가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단할 수 있다.The squeegee system including the configurations described above can automatically control the inclination of the spray element by the elastic element, and can adjust the angle formed by the squeegee part with the mask part or the pressure applied to the squeegee part by the mask part. Additionally, it can be determined whether the substrate or mask part is aligned at a preset position.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.Although the embodiments have been described with limited drawings as described above, those skilled in the art can apply various technical modifications and variations based on the above. For example, the described techniques are performed in a different order than the described method, and/or components of the described system, structure, device, circuit, etc. are combined or combined in a different form than the described method, or other components are used. Alternatively, appropriate results may be achieved even if substituted or substituted by an equivalent.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents of the claims also fall within the scope of the following claims.

10 : 스퀴지 시스템
100 : 몸체부
200 : 스퀴지부
210 : 제1 가동 프레임
211 : 센서요소
220 : 제2 가동 프레임
221 : 체결요소
230 : 분사요소
240 : 탄성요소
300 : 각도 조절부
400 : 압력 조절부
500 : 마스크부
510 : 기판
600 : 지지부
610 : 제1 판단요소
620 : 제2 판단요소
630 : 제3 판단요소
10: Squeegee system
100: body part
200: Squeeze branch
210: first movable frame
211: sensor element
220: second movable frame
221: fastening element
230: Spray element
240: elastic element
300: Angle adjustment unit
400: pressure control unit
500: Mask part
510: substrate
600: support part
610: First judgment element
620: Second judgment element
630: Third judgment element

Claims (12)

적어도 일 방향에 대하여 이동될 수 있는 몸체부;
상기 몸체부의 하측에 배치되는 스퀴지부; 및
상기 스퀴지부의 하측에 배치되는 마스크부;
를 포함하고,
상기 스퀴지부의 하면이 상기 마스크부의 일면에 대하여 면 접촉하도록 상기 스퀴지부의 기울기가 자동적으로 제어될 수 있는,
스퀴지 시스템.
a body portion movable in at least one direction;
A squeegee portion disposed below the body portion; and
a mask portion disposed below the squeegee portion;
Including,
The inclination of the squeegee part can be automatically controlled so that the lower surface of the squeegee part makes surface contact with one surface of the mask part.
Squeegee system.
제1항에 있어서,
상기 스퀴지부는,
상기 몸체부에 연결되어 상기 몸체부의 하측에 배치되는 제1 가동 프레임;
상기 제1 가동 프레임에 대하여 제1 축을 기준으로 힌지될 수 있는 제2 가동 프레임; 및
상기 제2 가동 프레임의 하측에 배치되어 상기 마스크부를 향해 유체를 분사할 수 있는 분사요소;
를 포함하는, 스퀴지 시스템.
According to paragraph 1,
The squeegee part,
a first movable frame connected to the body and disposed below the body;
a second movable frame that can be hinged about a first axis with respect to the first movable frame; and
a spray element disposed below the second movable frame and capable of spraying fluid toward the mask portion;
Including a squeegee system.
제2항에 있어서,
상기 스퀴지부는,
상기 제1 가동 프레임과 상기 제2 가동 프레임 사이의 양단에 각각 배치되는 복수 개의 탄성요소;
를 포함하고,
각각의 상기 탄성요소는 상기 제2 가동 프레임을 하측으로 가압하도록 배치됨으로써 상기 분사요소의 기울기는 상기 제1 축을 기준으로 자동적으로 제어될 수 있는, 스퀴지 시스템.
According to paragraph 2,
The squeegee part,
a plurality of elastic elements respectively disposed at both ends between the first movable frame and the second movable frame;
Including,
Each of the elastic elements is arranged to press the second movable frame downward so that the tilt of the spray element can be automatically controlled with respect to the first axis.
제3항에 있어서,
상기 스퀴지부는,
상기 분사요소의 일 부분에 배치되어,
상기 분사요소가 상기 마스크부의 일면과 접촉시 상기 분사요소에 작용하는 압력 값을 측정할 수 있는 센서요소;
를 더 포함하는, 스퀴지 시스템.
According to paragraph 3,
The squeegee part,
disposed on a portion of the injection element,
A sensor element capable of measuring a pressure value acting on the spray element when the spray element contacts one surface of the mask portion;
A squeegee system further comprising:
제4항에 있어서,
상기 분사요소가 상기 마스크부의 일면과 접촉시 상기 분사요소에 작용하는 압력을 조절하는 압력 조절부;
를 더 포함하고,
상기 압력 조절부는 상기 센서요소에 의해 측정된 압력 값과 기 설정된 압력 값을 비교하여 상기 분사요소에 작용하는 압력 값이 상기 기 설정된 압력 값과 같아지도록 상기 분사요소를 가압하는, 스퀴지 시스템.
According to paragraph 4,
a pressure regulator that adjusts the pressure applied to the spray element when the spray element contacts one surface of the mask portion;
It further includes,
The pressure regulator compares the pressure value measured by the sensor element with a preset pressure value and pressurizes the injection element so that the pressure acting on the injection element is equal to the preset pressure value.
제5항에 있어서,
상기 압력 조절부는,
높이 방향으로 연장되는 압력 조절 축;
상기 스퀴지부에 연결되어 상기 압력 조절 축을 따라 이동하는 압력 조절 부재; 및
상기 압력 조절 축의 상단에 형성되는 압력 조절 모터;
를 포함하는, 스퀴지 시스템.
According to clause 5,
The pressure regulator,
a pressure regulating shaft extending in the height direction;
a pressure adjustment member connected to the squeegee unit and moving along the pressure adjustment axis; and
a pressure control motor formed at the top of the pressure control shaft;
Including a squeegee system.
제6항에 있어서,
상기 스퀴지부를 제2 축에 대하여 각도를 조절할 수 있는 각도 조절부;
를 더 포함하고,
상기 각도 조절부는,
상기 제2 가동 프레임과 일단이 연결되는 링크부재;
높이 방향으로 연장되는 각도 조절 축;
상기 링크부재와 상기 각도 조절 축 사이에 배치되어 상기 각도 조절 축을 따라 이동하는 각도 조절 부재; 및
상기 각도 조절 축의 상단에 형성되는 각도 조절 모터;
를 포함하는, 스퀴지 시스템.
According to clause 6,
An angle adjustment unit capable of adjusting the angle of the squeegee unit with respect to a second axis;
It further includes,
The angle adjusting unit,
a link member whose end is connected to the second movable frame;
An angle adjustment axis extending in the height direction;
An angle adjustment member disposed between the link member and the angle adjustment axis and moving along the angle adjustment axis; and
An angle adjustment motor formed at the top of the angle adjustment shaft;
Including a squeegee system.
제7항에 있어서,
상기 마스크부의 하측에 배치되어 기판을 지지할 수 있는 지지부;
를 더 포함하고,
상기 지지부의 일측에 형성되어 상기 지지부 상에 놓이는 상기 기판이 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하기 위한 적어도 하나의 제1 판단요소; 및
상기 지지부의 타측에 형성되어 상기 지지부의 상측에 배치되는 상기 마스크부가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하기 위한 적어도 하나의 제2 판단요소;
를 포함하는, 스퀴지 시스템.
In clause 7,
a support portion disposed below the mask portion to support the substrate;
It further includes,
at least one first determination element formed on one side of the support unit and configured to determine whether the substrate placed on the support unit is aligned to a preset position; and
at least one second determination element for determining whether the mask part formed on the other side of the support part and disposed on the upper side of the support part is aligned at a preset position;
Including a squeegee system.
제8항에 있어서,
상기 제1 판단요소는,
상기 지지부 상에 형성된 제1 홀; 및
상기 제1 홀을 통하여 상기 기판의 모서리 부분을 모니터링하는 제1 비젼;
을 포함하는, 스퀴지 시스템.
According to clause 8,
The first judgment element is,
a first hole formed on the support portion; and
a first vision that monitors a corner of the substrate through the first hole;
Including a squeegee system.
제9항에 있어서,
상기 제2 판단요소는,
상기 지지부 상에 형성된 제2 홀; 및
상기 제2 홀을 통하여 상기 마스크부의 모서리 부분을 모니터링하는 제2 비젼;
을 포함하는, 스퀴지 시스템.
According to clause 9,
The second judgment element is,
a second hole formed on the support part; and
a second vision that monitors a corner of the mask portion through the second hole;
Including a squeegee system.
제7항에 있어서,
상기 마스크부의 하측에 배치되어 기판을 지지할 수 있는 지지부;
를 더 포함하고,
상기 지지부의 일측에 형성되어 상기 지지부 상에 놓이는 상기 기판 및 상기 지지부의 상측에 배치되는 상기 마스크부가 기 설정된 위치에 정렬되었는지 여부를 판단하기 위한 적어도 하나의 제3 판단요소;
를 포함하는, 스퀴지 시스템.
In clause 7,
a support portion disposed below the mask portion to support the substrate;
It further includes,
at least one third determination element for determining whether the substrate formed on one side of the support portion and placed on the support portion and the mask portion disposed on an upper side of the support portion are aligned at a preset position;
Including a squeegee system.
제11항에 있어서,
상기 제3 판단요소는,
상기 지지부 상에 형성된 제3 홀;
상기 제3 홀을 통하여 상기 기판의 모서리 부분을 모니터링하는 제3 비젼; 및
상기 제3 홀을 통하여 상기 마스크부의 모서리 부분을 모니터링하는 제4 비젼;
을 포함하는, 스퀴지 시스템.
According to clause 11,
The third judgment factor is,
a third hole formed on the support portion;
a third vision that monitors a corner of the substrate through the third hole; and
a fourth vision that monitors a corner of the mask portion through the third hole;
Including a squeegee system.
KR1020220055595A 2022-05-04 2022-05-04 A squeegee system KR20230155852A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220055595A KR20230155852A (en) 2022-05-04 2022-05-04 A squeegee system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220055595A KR20230155852A (en) 2022-05-04 2022-05-04 A squeegee system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230155852A true KR20230155852A (en) 2023-11-13

Family

ID=88746910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220055595A KR20230155852A (en) 2022-05-04 2022-05-04 A squeegee system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230155852A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3471362B2 (en) Screen printing method and screen printing apparatus
KR101893137B1 (en) Pressurization control head of mounting apparatus
EP0937577B1 (en) Creamed-solder printing machine
US20100313772A1 (en) Pressure-feedback-type squeegee module
JP2001001493A (en) Cream solder printing apparatus and method
JP6170454B2 (en) Printing device
KR20230155852A (en) A squeegee system
JP2009241286A (en) Printing apparatus
JP2513052B2 (en) Flip chip mounting equipment
KR101514503B1 (en) Appatus for printing the pattern on the substrate
KR101150672B1 (en) Apparatus for transferring a solder and method of transferring a solder using the same
JP2001096717A (en) Apparatus and method for screen printing
KR101740392B1 (en) Flux printing equipment of squeegee rotate type
JP4357985B2 (en) Parallel measurement method and adjustment method, parallel measurement apparatus, and component mounting apparatus
JP3422221B2 (en) Cream solder screen printing equipment
US6742695B2 (en) Soldering machine for tape carrier package outer leads
JPH1158154A (en) Fine ball mounting device
JP2007317738A (en) Weighting measuring method and apparatus for component pressure bonding and loading apparatus and component pressure bonding and loading apparatus using the method, and apparatus
JPH07195658A (en) Screen printing apparatus
JPH08300615A (en) Screen printing machine
JP2001044602A (en) Image drawing equipment
JP2003126748A (en) Method and apparatus for applying viscous material
JP7245116B2 (en) Coating equipment and surface mounters
KR102459229B1 (en) A real-time defect detection and feedback control method of a high-precision soldering device, and a high-precision soldering device using the same
JPH0410490A (en) Spreading device