KR20230150920A - Organic light emitting display device and method of manufacturing the same - Google Patents

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KR20230150920A
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정한규
김태영
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Abstract

본 발명은 유기 발광층을 전면 증착하면서도, 보조 전극과 캐소드 전극을 연결시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것으로, 제1 기판 상에 배치된 보조 전극, 보조 전극과 이격되어 배치된 박막 트랜지스터, 및 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제1 전극을 포함한다. 또한, 본 발명은 보조 전극과 전기적으로 연결되는 다중층 전극, 제1 전극 상에 배치되는 유기 발광층 및 다중층 전극과 연결되는 제2 전극을 포함하고, 유기 발광층은 다중층 전극에 의해서 분리된다.The present invention provides an organic light emitting display device capable of connecting an auxiliary electrode and a cathode electrode while depositing an organic light emitting layer on the entire surface, and a method for manufacturing the same. The present invention provides an auxiliary electrode disposed on a first substrate, and an auxiliary electrode disposed spaced apart from the auxiliary electrode. It includes a thin film transistor and a first electrode electrically connected to the thin film transistor. Additionally, the present invention includes a multilayer electrode electrically connected to an auxiliary electrode, an organic light emitting layer disposed on the first electrode, and a second electrode connected to the multilayer electrode, and the organic light emitting layer is separated by the multilayer electrode.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Organic light emitting display device and manufacturing method thereof {ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 상부 발광 방식 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device, and more specifically, to a top emission type organic light emitting display device and a method of manufacturing the same.

유기 발광 표시 장치(OLED)는 자발광 소자로서, 소비전력이 낮고, 고속의 응답 속도, 높은 발광 효율, 높은 휘도 및 광시야각을 가지고 있다. An organic light emitting display (OLED) is a self-emitting device that has low power consumption, high-speed response speed, high luminous efficiency, high luminance, and wide viewing angle.

유기 발광 표시 장치(OLED)는 유기 발광 소자를 통해 발광된 빛의 투과 방향에 따라 상부 발광 방식(top emission type)과 하부 발광 방식(bottom emission type)으로 나뉜다. 상기 하부 발광 방식은 개구율이 저하되는 문제가 발생되기 때문에, 최근에는 상부 발광 방식이 주로 이용되고 있다.Organic light emitting display devices (OLEDs) are divided into a top emission type and a bottom emission type depending on the transmission direction of light emitted through the organic light emitting element. Since the bottom light emitting method has a problem of lowering the aperture ratio, the top light emitting method has been mainly used recently.

이와 같은, 종래의 상부 발광 방식 유기 발광 표시 장치는 기판 상에 박막 트랜지스터가 구비되고, 박막 트랜지스터 상에 패시베이션층, 평탄화층, 애노드 전극, 보조 전극, 뱅크, 유기 발광층, 및 캐소드 전극이 구비된다. Such a conventional top-emission organic light emitting display device includes a thin film transistor on a substrate, and a passivation layer, a planarization layer, an anode electrode, an auxiliary electrode, a bank, an organic light emitting layer, and a cathode electrode on the thin film transistor.

이때, 종래의 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층을 전면 증착하기 어려운 단점이 있다. 종래의 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층을 전면 증착할 경우, 캐소드 전극과 보조 전극을 연결시키기 위한 공간이 유기 발광층에 의해 가려지면서, 보조 전극과 캐소드 전극을 연결시킬 수 없게 되는 문제점이 있다.At this time, the conventional organic light emitting display device has a disadvantage in that it is difficult to deposit the organic light emitting layer on the entire surface. Conventional organic light emitting display devices have a problem in that when the organic light emitting layer is deposited on the entire surface, the space for connecting the cathode electrode and the auxiliary electrode is covered by the organic light emitting layer, making it impossible to connect the auxiliary electrode and the cathode electrode.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명은 유기 발광층을 전면 증착하면서도, 보조 전극과 캐소드 전극을 연결시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. The present invention was developed to solve the above-mentioned problems, and its technical task is to provide an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof that can connect an auxiliary electrode and a cathode electrode while depositing an organic light emitting layer on the entire surface.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 제1 기판 상에 배치된 보조 전극, 보조 전극과 이격되어 배치된 박막 트랜지스터, 및 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제1 전극을 포함한다. 또한, 본 발명은 보조 전극과 전기적으로 연결되는 다중층 전극, 제1 전극 상에 배치되는 유기 발광층 및 다중층 전극과 연결되는 제2 전극을 포함하고, 유기 발광층은 다중층 전극에 의해서 분리된 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공한다.The present invention for achieving the above-described technical problem includes an auxiliary electrode disposed on a first substrate, a thin film transistor disposed to be spaced apart from the auxiliary electrode, and a first electrode electrically connected to the thin film transistor. In addition, the present invention includes a multilayer electrode electrically connected to an auxiliary electrode, an organic light emitting layer disposed on the first electrode, and a second electrode connected to the multilayer electrode, and the organic light emitting layer is an organic light emitting layer separated by the multilayer electrode. A light emitting display device and a manufacturing method thereof are provided.

본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 다중층 전극이 언더컷 형태를 가짐으로써, 유기 발광층이 분리되어 화소간의 불량구동을 방지하는 효과가 있다. In the organic light emitting display device according to an example of the present invention, the multilayer electrode has an undercut shape, thereby preventing defective driving between pixels by separating the organic light emitting layer.

또한, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 다중층 전극의 언더컷 형태에 의해서 추가 공정 없이 유기 발광층을 액티브 영역에 전면 증착하면서도, 다중층 전극을 노출시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the organic light emitting display device according to an example of the present invention has the effect of exposing the multilayer electrode while depositing the organic light emitting layer on the entire active area without an additional process due to the undercut shape of the multilayer electrode.

또한, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 노출된 다중층 전극의 일측과 제2 전극이 연결됨으로써, 다중층 전극의 타측이 보조 전극과 전기적으로 연결되어, 보조 전극에 의해서 제2 전극의 저항을 감소시키는 효과가 있다.In addition, in the organic light emitting display device according to an example of the present invention, one side of the exposed multilayer electrode is connected to the second electrode, so that the other side of the multilayer electrode is electrically connected to the auxiliary electrode, and the second electrode is connected by the auxiliary electrode. It has the effect of reducing resistance.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects that can be obtained from the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description below. .

도 1은 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 2 내지 도 9는 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to an example of the present invention.
2 to 9 are cross-sectional process views for explaining a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an example of the present invention.

본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. The meaning of terms described in this specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. "상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.Singular expressions should be understood to include plural expressions unless the context clearly defines otherwise, and terms such as “first”, “second”, etc. are used to distinguish one element from another element. The scope of rights should not be limited by these terms. Terms such as “include” or “have” should be understood as not precluding the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. The term “at least one” should be understood to include all possible combinations from one or more related items. For example, “at least one of the first, second, and third items” means each of the first, second, or third items, as well as two of the first, second, and third items. It means a combination of all items that can be presented from more than one. The term “on” means not only the case where a component is formed directly on top of another component, but also the case where a third component is interposed between these components.

이하에서는 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.Hereinafter, a preferred example of the organic light emitting display device and its manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. In adding reference numerals to components in each drawing, identical components may have the same reference numerals as much as possible even if they are shown in different drawings. Additionally, when describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description may be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to an example of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 액티브 영역(Active Area; AA) 및 패드 영역(Pad Area; PA)을 포함한다.Referring to FIG. 1, an organic light emitting display device according to an example of the present invention includes an active area (AA) and a pad area (PA).

상기 액티브 영역(AA)에는 제1 기판(100), 보조 전극(110), 버퍼층(120), 박막 트랜지스터(T), 연결 전극(175), 패시베이션층(180), 평탄화층(190), 제1 전극(200), 다중층 전극(210), 뱅크(220), 유기 발광층(230), 제2 전극(240), 및 제2 기판(300)을 포함한다.The active area (AA) includes a first substrate 100, an auxiliary electrode 110, a buffer layer 120, a thin film transistor (T), a connection electrode 175, a passivation layer 180, a planarization layer 190, It includes one electrode 200, a multilayer electrode 210, a bank 220, an organic light emitting layer 230, a second electrode 240, and a second substrate 300.

상기 제1 기판(100)은 유리가 주로 이용되지만, 구부리거나 휠 수 있는 투명한 플라스틱, 예로서, 폴리이미드가 이용될 수 있다. 폴리이미드를 상기 제1 기판(100)의 재료로 이용할 경우에는, 상기 제1 기판(100) 상에서 고온의 증착 공정이 이루어짐을 감안할 때, 고온에서 견딜 수 있는 내열성이 우수한 폴리이미드가 이용될 수 있다.The first substrate 100 is mainly made of glass, but a transparent plastic that can be bent or bent, for example, polyimide, may be used. When using polyimide as a material for the first substrate 100, considering that a high temperature deposition process is performed on the first substrate 100, polyimide with excellent heat resistance that can withstand high temperatures can be used. .

상기 보조 전극(110)은 제1 기판(100) 상의 액티브 영역(AA)에 배치된다. 보조 전극(110)은 후술되는 연결 전극(175) 및 다중층 전극(210)을 통해서 제2 전극(240)과 연결된다. 이러한 보조 전극(110)은 제2 전극(240)과 연결되어 제2 전극(240)의 저항을 감소시키는 역할을 한다. 이때, 보조 전극(110)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. The auxiliary electrode 110 is disposed in the active area AA on the first substrate 100. The auxiliary electrode 110 is connected to the second electrode 240 through a connection electrode 175 and a multilayer electrode 210, which will be described later. This auxiliary electrode 110 is connected to the second electrode 240 and serves to reduce the resistance of the second electrode 240. At this time, the auxiliary electrode 110 is, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). ) It may be a single layer or a multilayer made of any one or an alloy thereof.

상기 버퍼층(120)은 제1 기판(100) 상부 전면에 배치될 수 있다. 이러한 버퍼층(120)은 투습에 취약한 제1 기판(100)으로부터 내부로 수분이 침투하는 것을 방지하는 기능을 한다. 또한, 버퍼층(120)은 제1 기판(100)으로부터 금속 이온 등의 불순물이 확산되어 박막 트랜지스터(T)의 액티브층(130)에 침투하는 것을 방지하는 기능을 한다. 이때, 버퍼층(120)은 무기절연물질 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The buffer layer 120 may be disposed on the entire upper surface of the first substrate 100. This buffer layer 120 functions to prevent moisture from penetrating into the first substrate 100, which is vulnerable to moisture permeation. Additionally, the buffer layer 120 functions to prevent impurities such as metal ions from diffusing from the first substrate 100 and penetrating into the active layer 130 of the thin film transistor (T). At this time, the buffer layer 120 may be made of an inorganic insulating material, such as silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or multiple layers thereof, but is not limited thereto.

상기 박막 트랜지스터(T)는 버퍼층(120) 상에 배치된다. 이러한 박막 트랜지스터(T)는 액티브층(130), 게이트 절연층(140), 게이트 전극(150), 층간 절연층(160), 소스 전극(171) 및 드레인 전극(173)을 포함한다.The thin film transistor T is disposed on the buffer layer 120. This thin film transistor (T) includes an active layer 130, a gate insulating layer 140, a gate electrode 150, an interlayer insulating layer 160, a source electrode 171, and a drain electrode 173.

상기 액티브층(130)은 액티브 영역(AA)에 배치된 제1 기판(100) 상에 배치된다. 액티브층(130)은 게이트 전극(150)과 중첩되도록 배치된다. 액티브층(130)은 소스 전극(171) 측에 위치한 일단 영역, 드레인 전극(173) 측에 위치한 타단 영역, 및 일단 영역과 타단 영역 사이에 위치한 중심 영역으로 구성될 수 있다. 중심 영역은 도펀트가 도핑되지 않은 반도체 물질로 이루어지고, 일단 영역과 타단 영역은 도펀트가 도핑된 반도체 물질로 이루어질 수 있다. The active layer 130 is disposed on the first substrate 100 disposed in the active area AA. The active layer 130 is arranged to overlap the gate electrode 150. The active layer 130 may be composed of one end region located on the source electrode 171 side, the other end region located on the drain electrode 173 side, and a central region located between the one end region and the other end region. The central region may be made of a semiconductor material that is not doped with a dopant, and one end region and the other end region may be made of a semiconductor material that is doped with a dopant.

상기 게이트 절연층(140)은 액티브층(130) 상에 배치된다. 이러한 게이트 절연층(140)은 액티브층(130)과 게이트 전극(150)을 절연시키는 기능을 한다. 이때, 게이트 절연층(140)은 무기절연물질 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The gate insulating layer 140 is disposed on the active layer 130. This gate insulating layer 140 functions to insulate the active layer 130 and the gate electrode 150. At this time, the gate insulating layer 140 may be made of an inorganic insulating material, such as silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or multiple layers thereof, but is not limited thereto.

상기 게이트 전극(150)은 게이트 절연층(140) 상에 배치된다. 게이트 전극(150)은 게이트 절연층(140)을 사이에 두고, 액티브층(130)의 중심 영역과 중첩된다. 이때, 게이트 전극(150)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The gate electrode 150 is disposed on the gate insulating layer 140. The gate electrode 150 overlaps the central region of the active layer 130 with the gate insulating layer 140 interposed therebetween. At this time, the gate electrode 150 is made of, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). ) may be a single layer or a multi-layer made of any one of these or an alloy thereof, but is not limited thereto.

상기 층간 절연층(160)은 게이트 전극(150) 상에 배치된다. 층간 절연층(160)은 게이트 전극(150)을 포함한 액티브 영역(AA) 전면에 배치된다. 이때, 층간 절연층(160)은 게이트 절연층(140)과 동일한 무기절연물질 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The interlayer insulating layer 160 is disposed on the gate electrode 150. The interlayer insulating layer 160 is disposed on the entire surface of the active area AA including the gate electrode 150. At this time, the interlayer insulating layer 160 may be made of the same inorganic insulating material as the gate insulating layer 140, for example, silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or multiple layers thereof. However, it is not limited to this.

상기 소스 전극(171) 및 드레인 전극(173)은 층간 절연층(160)상에서 서로 이격되어 배치된다. 층간 절연층(160)에는 액티브층(130)의 일단 영역 일부를 노출시키는 제1 콘택홀 및 액티브층(130)의 타단 영역 일부를 노출시키는 제2 콘택홀이 구비된다. 소스 전극(171)은 제1 콘택홀을 통해서 액티브층(130)의 일단 영역과 연결되고, 드레인 전극(173)은 제2 콘택홀을 통해서 액티브층(130)의 타단 영역과 연결된다. 이때, 소스 및 드레인 전극(171, 173)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. 특히, 본 발명의 일 예에 따른 소스 및 드레인 전극(171, 173)은 예를 들어, 차례로 적층된 MoTi/Cu/MoTi로 구성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다.remind The source electrode 171 and the drain electrode 173 are arranged to be spaced apart from each other on the interlayer insulating layer 160. The interlayer insulating layer 160 is provided with a first contact hole that exposes a portion of one end of the active layer 130 and a second contact hole that exposes a portion of the other end of the active layer 130. The source electrode 171 is connected to one end of the active layer 130 through a first contact hole, and the drain electrode 173 is connected to the other end of the active layer 130 through a second contact hole. At this time, the source and drain electrodes 171 and 173 are, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and neodymium (Nd). It may be a single layer or a multi-layer made of any one of and copper (Cu) or an alloy thereof. In particular, the source and drain electrodes 171 and 173 according to an example of the present invention may be composed of, for example, sequentially stacked MoTi/Cu/MoTi. However, it is not limited to this.

상술한 박막 트랜지스터(T)의 구성은 앞서 설명한 예에 한정되지 않고, 당업자가 용이하게 실시할 수 있는 공지된 구성으로 다양하게 변형 가능하다.The configuration of the thin film transistor T described above is not limited to the example described above, and can be modified in various ways to known configurations that can be easily implemented by those skilled in the art.

상기 연결 전극(175)은 층간 절연층(160) 상에 배치된다. 연결 전극(175)은 소스 및 드레인 전극(171, 173)과 동일한 층에 이격되어 배치되며, 소스 및 드레인 전극(171, 173)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 이러한 연결 전극(175)의 일측은 보조 전극(110)과 연결되고 타측은 다중층 전극(210)과 연결되어, 보조 전극(110)과 제2 전극(240)을 연결시키는 기능을 한다. 연결 전극(175)은 패시베이션층(180)에 구성된 홈에 의해서 일부가 노출되어 있으며, 노출된 연결 전극(175)을 통해서 다중층 전극(210)과 연결된다. 이때, 연결 전극(175)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. 특히, 본 발명의 일 예에 따른 연결 전극(175)은 예를 들어, 차례로 적층된 MoTi/Cu/MoTi로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The connection electrode 175 is disposed on the interlayer insulating layer 160. The connection electrode 175 is arranged to be spaced apart from the source and drain electrodes 171 and 173 and may be made of the same material as the source and drain electrodes 171 and 173. One side of the connection electrode 175 is connected to the auxiliary electrode 110 and the other side is connected to the multilayer electrode 210, and functions to connect the auxiliary electrode 110 and the second electrode 240. The connection electrode 175 is partially exposed by a groove formed in the passivation layer 180, and is connected to the multilayer electrode 210 through the exposed connection electrode 175. At this time, the connection electrode 175 is, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). ) It may be a single layer or a multilayer made of any one or an alloy thereof. In particular, the connection electrode 175 according to an example of the present invention may be composed of, for example, sequentially stacked MoTi/Cu/MoTi, but is not limited thereto.

상기 패시베이션층(180)은 박막 트랜지스터(T) 및 연결 전극(175) 상에 배치된다. 패시베이션층(180)은 제1 기판(100) 상의 액티브 영역(AA)에 배치되며, 일부 패드 영역(PA)에도 배치될 수 있다. 이러한 패시베이션층(180)은 박막 트랜지스터(T)를 보호하는 역할을 한다. 이때, 패시베이션층(180)은 무기절연물질 SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The passivation layer 180 is It is disposed on the thin film transistor (T) and the connection electrode 175. The passivation layer 180 is disposed in the active area (AA) on the first substrate 100, and may also be disposed in some pad areas (PA). This passivation layer 180 serves to protect the thin film transistor (T). At this time, the passivation layer 180 may be made of an inorganic insulating material such as silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or multiple layers thereof, but is not limited thereto.

상기 평탄화층(190)은 박막 트랜지스터(T) 및 패시베이션층(180) 상에 배치되며, 보다 구체적으로, 패시베이션층(180)과 제1 전극(200) 사이에 배치된다. 이러한 평탄화층(190)은 박막 트랜지스터(T) 및 패시베이션층(180) 상부를 평탄하게 해주는 역할을 한다. 평탄화층(190)은 유기절연물질 예를 들어, 아크릴계 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides resin)등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 패시베이션층(180)과 평탄화층(190)에는 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(173)을 노출시키는 제3 콘택홀이 구비되어 있다. 제3 콘택홀을 통하여 드레인 전극(173)과 제1 전극(200)이 전기적으로 연결된다.The planarization layer 190 is disposed on the thin film transistor (T) and the passivation layer 180, and more specifically, between the passivation layer 180 and the first electrode 200. This planarization layer 190 serves to flatten the top of the thin film transistor (T) and the passivation layer 180. The planarization layer 190 is made of an organic insulating material, such as acryl resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamides resin, and polyimides resin. ), etc., but is not limited to this. The passivation layer 180 and the planarization layer 190 are provided with a third contact hole exposing the drain electrode 173 of the thin film transistor (T). The drain electrode 173 and the first electrode 200 are electrically connected through the third contact hole.

상기 제1 전극(200)은 평탄화층(190) 상에 배치된다. 제1 전극(200)은 패시베이션층(180)과 평탄화층(190)에 구비된 제3 콘택홀을 통해 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(173)에 연결된다. 이러한 제1 전극(200)은 일 예로 애노드 전극의 역할을 할 수 있다. 이때, 제1 전극(200)은 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를 들어, 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 전극(200)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를 들어, 알루미늄(Al), 은(Ag), APC(Ag;Pb;Cu) 등을 포함하는 적어도 둘 이상의 층으로 구성될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 예에 따른 제1 전극(200)은 차례로 적층된 ITO/Ag/ITO로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The first electrode 200 is disposed on the planarization layer 190. The first electrode 200 is connected to the drain electrode 173 of the thin film transistor T through a third contact hole provided in the passivation layer 180 and the planarization layer 190. This first electrode 200 may serve as an anode electrode, for example. At this time, the first electrode 200 may be made of a transparent conductive material with a relatively high work function value, such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). In addition, the first electrode 200 may be composed of at least two or more layers containing a metal material with excellent reflection efficiency, such as aluminum (Al), silver (Ag), APC (Ag; Pb; Cu), etc. . Additionally, the first electrode 200 according to an example of the present invention may be composed of sequentially stacked ITO/Ag/ITO, but is not limited thereto.

상기 다중층 전극(210)은 패시베이션층(180) 상에 배치된다. 다중층 전극(210)은 패시베이션층(180)에 구비된 홈에 의해서 노출된 연결 전극(175)과 연결된다. 이러한 다중층 전극(210)의 일측은 연결 전극(175)과 연결되고, 타측은 제2 전극(240)과 연결 되어, 제2 전극(240)과 보조 전극(110)을 연결시키는 기능을 한다. 이때, 다중층 전극(210)은 제1 전극(200)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 다중충 배선(210)은 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를 들어, 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어질 수 있다. 또한, 본 발명의 일 예에 따른 다중충 배선(210)은 알루미늄(Al), 은(Ag), APC(Ag;Pb;Cu) 등을 포함하는 적어도 둘 이상의 층으로 구성될 수 있다.The multilayer electrode 210 is disposed on the passivation layer 180. The multilayer electrode 210 is connected to the exposed connection electrode 175 through a groove provided in the passivation layer 180. One side of this multilayer electrode 210 is connected to the connection electrode 175, and the other side is connected to the second electrode 240, and functions to connect the second electrode 240 and the auxiliary electrode 110. At this time, the multilayer electrode 210 may be made of the same material as the first electrode 200. Additionally, the multi-layer wiring 210 may be made of a transparent conductive material with a relatively high work function, such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). Additionally, the multi-layer wiring 210 according to an example of the present invention may be composed of at least two or more layers including aluminum (Al), silver (Ag), APC (Ag;Pb;Cu), etc.

본 발명의 일 예에 따른 다중충 배선(210)은 차례로 적층된 제1 다중층 전극(211), 제2 다중층 전극(213), 및 제3 다중층 전극(215)를 포함할 수 있다.The multi-layer wiring 210 according to an example of the present invention may include a first multi-layer electrode 211, a second multi-layer electrode 213, and a third multi-layer electrode 215 that are sequentially stacked.

상기 제1 다중층 전극(211)은 연결 전극(175) 상에 배치된다. 이러한 제1 다중층 전극(211)의 일측은 연결 전극(175)과 연결되고 타측은 제2 전극(240)과 연결되어, 제2 전극(240)과 보조 전극(110)을 연결하는 역할을 한다. 이때, 본 발명의 일 예에 따른 제1 다중층 전극(211)은 열을 가하면 습식 에칭이 되지 않는 재질로 구성될 수 있으며, 일 예로 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The first multilayer electrode 211 is disposed on the connection electrode 175. One side of the first multilayer electrode 211 is connected to the connection electrode 175 and the other side is connected to the second electrode 240, thereby serving to connect the second electrode 240 and the auxiliary electrode 110. . At this time, the first multilayer electrode 211 according to an example of the present invention may be made of a material that does not undergo wet etching when heat is applied, for example, indium-tin-oxide (ITO). It is not limited.

상기 제2 다중층 전극(213)은 제1 다중층 전극(211)과 제3 다중층 전극(215) 사이에 배치된다. 제2 다중층 전극(213)은 제1 및 제3 다중층 전극(211, 215) 보다 길이가 짧아, 다중층 전극(210)이 파여있는 형태를 구성한다. 즉, 다중층 전극(210)은 제1 및 제3 다중층 전극(211, 215) 보다 길이가 짧은 제2 다중층 전극(213)에 의해서 언더컷(undercut) 형태를 가진다. 다중층 전극(210)은 이러한 언더컷 형태에 의해서 다중층 전극(210) 상에 배치되는 유기 발광층(230)을 화소별로 분리한다. 유기 발광층(230)은 증발법(Evaporation)과 같은 증착 물질의 직진성이 우수한 증착 공정을 통해 구성됨으로써 다중층 전극(210)의 언더컷 형태에 의해 분리된다. 따라서, 본 발명의 일 예에 따른 다중층 전극(210)은 안쪽까지 유기 발광층(230)이 침투하지 않고 노출될 수 있으며, 유기 발광층(230)이 분리되어 화소간의 불량구동을 방지하는 효과가 있다. 이때, 제2 다중층 전극(213)은 은(Ag)으로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The second multilayer electrode 213 is disposed between the first multilayer electrode 211 and the third multilayer electrode 215. The second multilayer electrode 213 is shorter than the first and third multilayer electrodes 211 and 215, so that the multilayer electrode 210 has a hollow shape. That is, the multilayer electrode 210 has an undercut shape due to the second multilayer electrode 213, which is shorter than the first and third multilayer electrodes 211 and 215. The multilayer electrode 210 separates the organic light emitting layer 230 disposed on the multilayer electrode 210 into pixels by this undercut shape. The organic light-emitting layer 230 is formed through a deposition process such as evaporation with excellent straightness of the deposition material, and is separated by the undercut shape of the multilayer electrode 210. Therefore, the multilayer electrode 210 according to an example of the present invention can be exposed without the organic light emitting layer 230 penetrating into the inside, and the organic light emitting layer 230 is separated, which has the effect of preventing defective driving between pixels. . At this time, the second multilayer electrode 213 may be made of silver (Ag), but is not limited thereto.

상기 제3 다중층 전극(215)은 제2 다중층 전극(213) 상에 배치된다. 이때, 본 발명의 일 예에 따른 제3 다중층 전극(215)은 열을 가하면 습식 에칭이 되지 않는 재질로 구성될 수 있으며, 일 예로 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The third multilayer electrode 215 is disposed on the second multilayer electrode 213. At this time, the third multilayer electrode 215 according to an example of the present invention may be made of a material that does not undergo wet etching when heat is applied, and may be made of indium-tin-oxide (ITO), for example. It is not limited.

이와 같은 본 발명의 일 예에 따른 다중층 전극(210)은 언더컷 형태를 가짐으로써, 유기 발광층(230)이 분리되고 다중층 전극(210)이 노출되어 제2 전극(240)과 다중층 전극(210)이 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 본 발명의 일 예에 따른 다중층 전극(210)은 언더컷 형태에 의해 노출된 제1 다중층 전극(211)의 일측과 제2 전극(240)이 연결됨으로써, 제1 다중층 전극(211)의 타측과 연결된 연결 전극(175) 및 보조 전극(110)과 전기적으로 연결되고, 보조 전극(110)에 의해서 제2 전극(240)의 저항을 감소시키는 효과가 있다.The multilayer electrode 210 according to an example of the present invention has an undercut shape, so that the organic light emitting layer 230 is separated and the multilayer electrode 210 is exposed to form the second electrode 240 and the multilayer electrode ( 210) can be connected. More specifically, in the multilayer electrode 210 according to an example of the present invention, one side of the first multilayer electrode 211 exposed by an undercut shape is connected to the second electrode 240, thereby forming the first multilayer electrode. It is electrically connected to the connection electrode 175 connected to the other side of 211 and the auxiliary electrode 110, and has the effect of reducing the resistance of the second electrode 240 by the auxiliary electrode 110.

다중층 전극(210)을 언더컷 형태로 구성하지 않는 경우에는, 보조 전극(110)과 연결되는 연결 전극(175)을 노출시키기 위해서, 유기 발광층(240)을 증착할 때 연결 전극(175)의 상면을 가리는 마스크 패턴이 필요하게 되고, 이에 따른 추가 공정이 발생하게 된다. 그러나, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층(230)을 액티브 영역(AA)에 전면 증착 하면서도, 다중층 전극(210)의 언더컷 형태에 의해서 유기 발광층(240)을 분리시킬 수 있으며, 노출된 다중층 전극(210)에 제2 전극(240)을 연결시킬 수 있다.When the multilayer electrode 210 is not configured in an undercut shape, in order to expose the connection electrode 175 connected to the auxiliary electrode 110, the upper surface of the connection electrode 175 is removed when depositing the organic light emitting layer 240. A mask pattern is needed to cover the , and additional processes occur accordingly. However, in the organic light emitting display device according to an example of the present invention, the organic light emitting layer 230 is entirely deposited on the active area (AA), but the organic light emitting layer 240 can be separated by the undercut shape of the multilayer electrode 210. and the second electrode 240 can be connected to the exposed multilayer electrode 210.

상기 뱅크(220)는 패시베이션층(180)과 평탄화층(190)의 측면을 감싸며 제1 전극(200) 상에 배치된다. 뱅크(220)는 제1 전극(200)의 일측 및 타측과 중첩될 수 있다. 이러한 뱅크(220)는 제1 전극(200)을 구획한다. 이때, 뱅크(220)는 유기절연물질 예를 들어, 폴리이미드계 수지(polyimides resin), 아크릴계 수지(acryl resin), 벤조사이클로뷰텐(BCB) 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The bank 220 surrounds the side surfaces of the passivation layer 180 and the planarization layer 190 and is disposed on the first electrode 200. The bank 220 may overlap one side and the other side of the first electrode 200. These banks 220 partition the first electrode 200. At this time, the bank 220 may be made of an organic insulating material, such as polyimide resin, acryl resin, or benzocyclobutene (BCB), but is not limited thereto.

상기 유기 발광층(230)은 제1 전극(200) 상에 배치된다. 유기 발광층(230)은 액티브 영역(AA)의 제1 기판(100) 상에 전면 증착되며, 다중층 전극(210)에 의해서 분리된다. 이러한, 유기 발광층(230)은 정공 주입층(Hole Injecting Layer), 정공 수송층(Hole Transporting Layer), 발광층(Emitting Layer), 전자 수송층(Electron Transporting Layer), 및 전자 주입층(Electron Injecting Layer)의 조합으로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 당업계에 공지된 다양한 구조로 변경될 수 있다. The organic light-emitting layer 230 is disposed on the first electrode 200. The organic light emitting layer 230 is deposited on the entire surface of the first substrate 100 in the active area (AA) and is separated by a multilayer electrode 210. This organic light-emitting layer 230 is a combination of a hole injection layer, a hole transport layer, an emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. It may be composed of, but is not necessarily limited to, and may be changed to various structures known in the art.

상기 제2 전극(240)은 유기 발광층(230) 상에 배치된다. 제2 전극(240)은 유기 발광층(230)에서부터 연장되어 제1 기판(100) 상에 전체적으로 배치되고, 다중층 전극(210)에 의해서 보조 전극(110)과 전기적으로 연결된다. 이러한 제2 전극(240)은 제1 전극(200)과 함께 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 유기 발광층(230)으로 이동되며, 상기 유기 발광층(230)에서 서로 결합하여 발광하게 된다. 이때, 제2 전극(240)은 매우 얇은 두께의 일함수가 낮은 금속성 물질이 사용될 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(240)은 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 또는 은(Ag)과 마그네슘(Mg)의 합금 등과 같은 금속성 물질이 사용될 수 있다.The second electrode 240 is disposed on the organic light emitting layer 230. The second electrode 240 extends from the organic light emitting layer 230 and is disposed entirely on the first substrate 100, and is electrically connected to the auxiliary electrode 110 by the multilayer electrode 210. When a voltage is applied to the second electrode 240 together with the first electrode 200, holes and electrons move to the organic light-emitting layer 230 through the hole transport layer and the electron transport layer, respectively, and combine with each other in the organic light-emitting layer 230. This causes it to emit light. At this time, the second electrode 240 may be made of a very thin metallic material with a low work function. For example, the second electrode 240 may be made of a metallic material such as silver (Ag), titanium (Ti), aluminum (Al), molybdenum (Mo), or an alloy of silver (Ag) and magnesium (Mg). there is.

상기 제2 기판(300)은 제1 기판(100)과 마주보도록 제2 전극(240) 상에 배치된다. 제2 기판(300)과 제1 기판(100) 사이에는 봉지층이 배치될 수 있으며, 봉지층은 유기 발광 표시 장치 내부로 수분이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 봉지층은 접착 물질이 포함되어, 제1 기판(100)과 제2 기판(300)을 합착할 수 있다. 봉지층은 당업계에 공지된 다양한 재료가 이용될 수 있다. 이때, 제2 기판(300)에는 컬러 필터(310)가 배치될 수 있다. The second substrate 300 is disposed on the second electrode 240 to face the first substrate 100. An encapsulation layer may be disposed between the second substrate 300 and the first substrate 100, and the encapsulation layer may prevent moisture from penetrating into the organic light emitting display device. In addition, the encapsulation layer contains an adhesive material and can bond the first substrate 100 and the second substrate 300. The encapsulation layer can be made of various materials known in the art. At this time, a color filter 310 may be disposed on the second substrate 300.

상기 컬러 필터(310)는 각각의 화소 영역에 대응되도록 제2 기판(300) 상에 배치된다. 컬러 필터(310)는 각 화소 영역에 대응되는 적색, 녹색, 및 청색의 컬러 필터로 이루어질 수 있으며, 상기 적색, 녹색, 및 청색의 컬러 필터 사이에 색의 혼합을 방지하는 차광층(320)이 포함될 수 있다.The color filter 310 is disposed on the second substrate 300 to correspond to each pixel area. The color filter 310 may be made of red, green, and blue color filters corresponding to each pixel area, and a light blocking layer 320 to prevent color mixing between the red, green, and blue color filters is provided. may be included.

상기 패드 영역(PA)은 제1 기판(100) 및 버퍼층(120) 상에 제1 신호 패드(135), 제2 신호 패드(155), 및 제3 신호 패드(177)를 포함한다.The pad area PA includes a first signal pad 135, a second signal pad 155, and a third signal pad 177 on the first substrate 100 and the buffer layer 120.

상기 제1 신호 패드(135)는 버퍼층(120) 상에 배치된다. 제1 신호 패드(135)는 액티브층(130)과 동일한 층에 이격되어 배치되며, 액티브층(130)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. The first signal pad 135 is disposed on the buffer layer 120. The first signal pad 135 is disposed on the same layer as the active layer 130 and spaced apart from each other, and may be made of the same material as the active layer 130.

상기 제2 신호 패드(155)는 제1 신호 패드(135) 상에 배치된다. 제2 신호 패드(155)는 게이트 전극(150)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 이때, 제2 신호 패드(155)는 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The second signal pad 155 is disposed on the first signal pad 135. The second signal pad 155 may be made of the same material as the gate electrode 150. At this time, the second signal pad 155 is made of, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper. It may be a single layer or a multi-layer made of any one of (Cu) or an alloy thereof, but is not limited thereto.

상기 제3 신호 패드(177)는 층간 절연층(160) 상에 배치되며, 층간 절연층(160)에 구비된 컨택홀에 의해서 제2 신호 패드(155)와 연결된다. 이때, 제3 신호 패드(177)는 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. 특히, 본 발명의 일 예에 따른 연결 전극(175)은 예를 들어, 차례로 적층된 MoTi/Cu/MoTi로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The third signal pad 177 is disposed on the interlayer insulating layer 160 and is connected to the second signal pad 155 through a contact hole provided in the interlayer insulating layer 160. At this time, the third signal pad 177 is made of, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper. It may be a single layer or a multilayer made of any one of (Cu) or an alloy thereof. In particular, the connection electrode 175 according to an example of the present invention may be composed of, for example, sequentially stacked MoTi/Cu/MoTi, but is not limited thereto.

이와 같은 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 액티브 영역(AA)에 배치된 다중층 전극(210)이 언더컷 형태를 가짐으로써, 유기 발광층(230)이 분리되어 화소간의 불량구동을 방지하는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 다중층 전극(210)의 언더컷 형태에 의해서 추가 공정 없이 유기 발광층(240)을 액티브 영역(AA)에 전면 증착하면서도, 다중층 전극(210)을 노출시킬 수 있는 효과가 있다. 따라서, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 노출된 제1 다중층 전극(211)의 일측과 제2 전극(240)이 연결됨으로써, 제1 다중층 전극(211)의 타측과 연결된 연결 전극(175) 및 보조 전극(110)과 전기적으로 연결되고, 보조 전극(110)에 의해서 제2 전극(240)의 저항을 감소시키는 효과가 있다.In the organic light emitting display device according to an example of the present invention, the multilayer electrode 210 disposed in the active area AA has an undercut shape, so that the organic light emitting layer 230 is separated to prevent defective driving between pixels. It works. In addition, the organic light emitting display device according to an example of the present invention deposits the organic light emitting layer 240 on the entire active area AA without an additional process due to the undercut shape of the multilayer electrode 210, while the multilayer electrode 210 It has the effect of exposing . Therefore, in the organic light emitting display device according to an example of the present invention, one side of the exposed first multilayer electrode 211 is connected to the second electrode 240, and thus the second electrode 240 is connected to the other side of the first multilayer electrode 211. It is electrically connected to the electrode 175 and the auxiliary electrode 110, and has the effect of reducing the resistance of the second electrode 240 by the auxiliary electrode 110.

도 2 내지 도 9는 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다. 이는 전술한 도 1에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략된다.2 to 9 are cross-sectional process views for explaining a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an example of the present invention. This relates to the manufacturing method of the organic light emitting display device according to FIG. 1 described above. Accordingly, the same reference numerals are assigned to the same components, and redundant descriptions of repeated parts in the materials and structures of each component are omitted.

우선, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 기판(100) 상에 보조 전극(110)을 형성하고, 버퍼층(120)을 형성한다. 그런 다음, 버퍼층(120) 상에 박막 트랜지스터(T), 연결 전극(175), 및 신호 패드(135, 155, 177)를 형성한다. First, as shown in FIG. 2, an auxiliary electrode 110 is formed on the first substrate 100, and a buffer layer 120 is formed. Then, a thin film transistor (T), a connection electrode 175, and signal pads 135, 155, and 177 are formed on the buffer layer 120.

상기 박막 트랜지스터(T)를 형성하는 공정은 제1 기판(100) 상에 액티브층(130)을 형성하고, 액티브층(130) 상에 게이트 절연층(140)을 형성하고, 게이트 절연층(140) 상에 게이트 전극(150)을 형성하고, 게이트 전극(150) 상에 층간 절연층(160)을 형성하고, 층간 절연층(160)에 컨택홀을 형성하여 층간 절연층(160) 상에 소스 및 드레인 전극(171, 173)이 컨택홀을 통해서 액티브층(130)과 연결되도록 형성하는 공정을 포함한다. The process of forming the thin film transistor (T) includes forming an active layer 130 on a first substrate 100, forming a gate insulating layer 140 on the active layer 130, and forming a gate insulating layer 140 on the first substrate 100. ) A gate electrode 150 is formed on the gate electrode 150, an interlayer insulating layer 160 is formed on the gate electrode 150, and a contact hole is formed in the interlayer insulating layer 160 to form a source on the interlayer insulating layer 160. and a process of forming the drain electrodes 171 and 173 to be connected to the active layer 130 through a contact hole.

상기 박막 트랜지스터(TFT)의 형성 공정은 당업계에 공지된 다양한 방법을 이용할 수 있다.The thin film transistor (TFT) formation process can use various methods known in the art.

상기 연결 전극(175)을 형성하는 공정은 버퍼층(120) 및 층간 절연층(160)에 컨택홀을 형성하고, 층간 절연층(160) 상에 연결 전극(175)이 컨택홀을 통해서 보조 전극(110)과 연결되도록 형성하는 공정을 포함한다.In the process of forming the connection electrode 175, a contact hole is formed in the buffer layer 120 and the interlayer insulating layer 160, and the connection electrode 175 is formed on the interlayer insulating layer 160 through the contact hole. 110) and includes a forming process to be connected.

상기 신호 패드(135, 155, 177)를 형성하는 공정은 버퍼층(120) 상에 제1 신호 패드(135)를 형성하고, 제1 신호 패드(135) 상에 제2 신호 패드(155)를 형성하고, 제2 신호 패드(155) 상에 층간 절연층(160)을 형성하고, 층간 절연층(160)에 컨택홀을 형성하고, 층간 절연층(160) 상에 제3 신호 패드(177)가 컨택홀을 통해서 제2 신호 패드(155)와 연결되도록 형성하는 공정을 포함한다. 이때, 제1 신호 패드(135)를 형성하는 공정은 박막 트랜지스터(T)의 액티브층(130)을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 동시에 이루어질 수 있다. 또한, 제2 신호 패드(155)를 형성하는 공정은 박막 트랜지스터(T)의 게이트 전극(150)을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 동시에 이루어질 수 있다. 또한, 제3 신호 패드(177)를 형성하는 공정은 연결 전극(175), 소스 전극(171), 및 드레인 전극(173)을 형성하는 공정과 동일한 공정으로 동시에 이루어질 수 있다.The process of forming the signal pads 135, 155, and 177 includes forming a first signal pad 135 on the buffer layer 120 and forming a second signal pad 155 on the first signal pad 135. Then, an interlayer insulating layer 160 is formed on the second signal pad 155, a contact hole is formed in the interlayer insulating layer 160, and a third signal pad 177 is formed on the interlayer insulating layer 160. It includes a forming process to be connected to the second signal pad 155 through a contact hole. At this time, the process of forming the first signal pad 135 may be performed simultaneously with the process of forming the active layer 130 of the thin film transistor (T). Additionally, the process of forming the second signal pad 155 may be performed simultaneously with the process of forming the gate electrode 150 of the thin film transistor (T). Additionally, the process of forming the third signal pad 177 may be performed simultaneously with the same process as the process of forming the connection electrode 175, the source electrode 171, and the drain electrode 173.

버퍼층(120) 상에 박막 트랜지스터(T), 연결 전극(175), 및 신호 패드(135, 155, 177)를 형성한 다음, 제1 기판(100) 상부 전면에 패시베이션층(180)을 형성하고, 패시베이션층(180) 상에 평탄화층(190)을 형성하고, 연결 전극(175), 드레인 전극(173), 및 신호 패드(135, 155, 177)를 노출시킨 후, 제1 기판(100) 상부 전면에 다중층 배선(210a)을 형성한다. 다중층 배선(210a)은 차례로 적층된 제1 다중층 배선(211a), 제2 다중층 배선(213a), 및 제3 다중층 배선(215a)으로 구성될 수 있다.A thin film transistor (T), a connection electrode 175, and a signal pad 135, 155, and 177 are formed on the buffer layer 120, and then a passivation layer 180 is formed on the entire upper surface of the first substrate 100. , After forming the planarization layer 190 on the passivation layer 180 and exposing the connection electrode 175, drain electrode 173, and signal pads 135, 155, and 177, the first substrate 100 A multi-layer wiring 210a is formed on the upper front surface. The multilayer wiring 210a may be composed of a first multilayer wiring 211a, a second multilayer wiring 213a, and a third multilayer wiring 215a stacked in order.

그런 다음, 도 3에 도시된 바와 같이, 박막 트랜지스터(T) 상부와 연결 전극(175) 상부에 하프톤(half tone) 마스크를 이용하여 뱅크(220)를 패턴 형성한다.Then, as shown in FIG. 3, a bank 220 is patterned on the top of the thin film transistor T and the connection electrode 175 using a half tone mask.

그런 다음, 도 4에 도시된 바와 같이, 뱅크(220)를 마스크로 다중층 배선(210a)을 패터닝(patterning)하여 제1 전극(200) 및 다중층 전극(210)을 형성한다.Then, as shown in FIG. 4, the first electrode 200 and the multilayer electrode 210 are formed by patterning the multilayer wiring 210a using the bank 220 as a mask.

그런 다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 애싱(ashig) 공정으로 제1 전극(200) 및 다중층 전극(210) 상에 형성된 뱅크(220)의 일부를 식각하여 제거한다. Then, as shown in FIG. 5, a portion of the bank 220 formed on the first electrode 200 and the multilayer electrode 210 is etched and removed through an ashing process.

그런 다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 큐어링(curing) 공정으로 뱅크(220)에 열을 가하여 퍼짐성을 증가시켜 뱅크(220)가 제1 전극(200)의 양측을 덮도록 유동시킨다.Then, as shown in FIG. 6, heat is applied to the bank 220 through a curing process to increase spreadability, so that the bank 220 flows to cover both sides of the first electrode 200.

그런 다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 전극(200) 및 다중층 전극(210)을 열처리한 뒤, 습식 에칭(wet etching) 공정으로 다중층 전극(210)을 언더컷 형태로 형성한다. 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 다중층 전극(210)은 차례로 적층된 제1 다중층 전극(211), 제2 다중층 전극(213), 및 제3 다중층 전극(215)을 포함하며, 제1 다중층 전극(211) 및 제3 다중층 전극(215)은 일 예로 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 구성될 수 있다. 인듐-틴-옥사이드(ITO)는 도전성 물질로, 비정질 인듐-틴-옥사이드(ITO)를 열처리 하면, 결정화 인듐-틴-옥사이드(ITO)가 되어 저항이 낮아지고, 습식 에칭(wet etching) 공정을 하더라도 깎이지 않는다. 따라서, 열처리된 제1 전극(200)의 노출된 부분과 제1 및 제3 다중층 전극(213)은 습식 에칭 공정을 하더라도 깎이지 않는다. 그러나, 외부로 노출된 제2 다중층 전극(213)은 습식 에칭 공정에 의해서 안쪽으로 파이게 된다. 따라서, 본 발명의 일 예에 따른 다중층 전극(210)은 제1 및 제3 다중층 전극(211, 215) 보다 길이가 짧은 제2 다중층 전극(213)에 의해서 언더컷(undercut) 형태를 가진다.Then, as shown in FIG. 7, the first electrode 200 and the multilayer electrode 210 are heat treated, and then the multilayer electrode 210 is formed in an undercut shape through a wet etching process. The multilayer electrode 210 of the organic light emitting display device according to an example of the present invention includes a first multilayer electrode 211, a second multilayer electrode 213, and a third multilayer electrode 215, which are sequentially stacked. For example, the first multilayer electrode 211 and the third multilayer electrode 215 may be made of indium-tin-oxide (ITO). Indium-tin-oxide (ITO) is a conductive material. When amorphous indium-tin-oxide (ITO) is heat treated, it becomes crystallized indium-tin-oxide (ITO), lowering the resistance, and performing a wet etching process. Even if it does, it will not be cut. Accordingly, the exposed portion of the heat-treated first electrode 200 and the first and third multilayer electrodes 213 are not chipped even if a wet etching process is performed. However, the externally exposed second multilayer electrode 213 is dug inward by a wet etching process. Accordingly, the multilayer electrode 210 according to an example of the present invention has an undercut shape due to the second multilayer electrode 213 having a shorter length than the first and third multilayer electrodes 211 and 215. .

그런 다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 기판(100) 액티브 영역(AA) 전면에 유기 발광층(230) 및 제2 전극(240)을 형성한다. 유기 발광층(230)은 증발법(Evaporation)과 같은 증착 물질의 직진성이 우수한 증착 공정으로 형성됨으로써 다중층 전극(210)의 언더컷 형태에 의해 분리된다. 제2 전극(240)은 분리된 유기 발광층(230)에 의해 노출된 제1 다중층 전극(211)과 연결된다.Then, as shown in FIG. 8, the organic light emitting layer 230 and the second electrode 240 are formed on the entire active area (AA) of the first substrate 100. The organic light-emitting layer 230 is formed through a deposition process such as evaporation, which has excellent straight-flow properties of the deposition material, and is separated by the undercut shape of the multilayer electrode 210. The second electrode 240 is connected to the first multilayer electrode 211 exposed by the separated organic light emitting layer 230.

그런 다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 컬러 필터(310)와 차광층(320)이 형성된 제2 기판(300)을 제1 기판(100)과 합착한다.Then, as shown in FIG. 9, the second substrate 300 on which the color filter 310 and the light blocking layer 320 are formed is bonded to the first substrate 100.

이와 같은 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 보조 전극(110)과 연결되는 연결 전극(175)을 노출시키기 위한 별도의 마스크 패턴 없이, 언더컷 형태의 다중층 전극(210)을 형성함으로써, 제2 전극(240)을 전면 증착하면서도 보조 전극(110)과 전기적으로 연결시킬 수 있다.The organic light emitting display device according to an example of the present invention forms an undercut-shaped multilayer electrode 210 without a separate mask pattern to expose the connection electrode 175 connected to the auxiliary electrode 110, The second electrode 240 can be electrically connected to the auxiliary electrode 110 while being deposited on the entire surface.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention. . Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but are for illustrative purposes, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of protection of the present invention should be interpreted in accordance with the claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of rights of the present invention.

100: 제1 기판 110: 보조 전극
120: 버퍼층 130: 액티브층
140: 게이트 절연층 150: 게이트 전극
160: 층간 절연층 171, 173: 소스 및 드레인 전극
175: 연결 전극 180: 패시베이션층
190: 평탄화층 200: 제1 전극
210: 다중층 전극 220: 뱅크
230: 유기 발광층 240: 제2 전극
300: 제2 기판 310: 컬러 필터
320: 차광층
100: first substrate 110: auxiliary electrode
120: buffer layer 130: active layer
140: gate insulating layer 150: gate electrode
160: interlayer insulating layer 171, 173: source and drain electrodes
175: connection electrode 180: passivation layer
190: Planarization layer 200: First electrode
210: multilayer electrode 220: bank
230: organic light emitting layer 240: second electrode
300: second substrate 310: color filter
320: light blocking layer

Claims (15)

제1 기판;
상기 제1 기판 위에 있는 버퍼층;
상기 버퍼층 위에 있는 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터 위에 있는 패시베이션층;
상기 패시베이션층 위에 있는 평탄화층;
상기 평탄화층 위에 있으며, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된 제1 전극;
상기 제1 전극의 일측 및 타측을 덮는 뱅크;
상기 제1 전극 위에 있는 유기 발광층;
상기 유기 발광층 위에 있는 제2 전극;
상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판;
상기 제2 전극과 마주보도록 상기 제2 기판에 구성된 컬러 필터; 및
상기 뱅크와 중첩되도록 상기 컬러 필터 사이에 구성된 차광층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
first substrate;
a buffer layer on the first substrate;
a thin film transistor on the buffer layer;
a passivation layer on the thin film transistor;
a planarization layer over the passivation layer;
a first electrode on the planarization layer and electrically connected to the thin film transistor;
a bank covering one side and the other side of the first electrode;
an organic light-emitting layer on the first electrode;
a second electrode on the organic light-emitting layer;
a second substrate facing the first substrate;
a color filter configured on the second substrate to face the second electrode; and
An organic light emitting display device comprising a light blocking layer configured between the color filters to overlap the banks.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 기판은 액티브 영역 및 패드 영역을 포함하고,
상기 패시베이션층은 상기 제1 기판 상의 상기 액티브 영역 및 상기 패드 영역의 일부에 구성된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The first substrate includes an active area and a pad area,
The passivation layer is formed in a portion of the active area and the pad area on the first substrate.
제 2 항에 있어서,
상기 패시베이션층은 SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 구성된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 2,
The passivation layer is comprised of SiO 2 (silicon dioxide), SiN x (silicon nitride), SiON (silicon oxynitride), or multiple layers thereof.
제 1 항에 있어서,
상기 평탄화층은 상기 패시베이션층과 상기 제1 전극 사이에 구성된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The planarization layer is configured between the passivation layer and the first electrode.
제 4 항에 있어서,
상기 평탄화층은 유기절연물질을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 4,
The planarization layer includes an organic insulating material.
제 1 항에 있어서,
상기 뱅크는 상기 패시베이션층 및 상기 평탄화층의 측면을 감싸는, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The bank surrounds sides of the passivation layer and the planarization layer.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 기판 위에 있는 보조 전극을 더 포함하고,
상기 버퍼층은 보조 전극의 일단 및 타단을 덮는, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
Further comprising an auxiliary electrode on the first substrate,
The buffer layer covers one end and the other end of the auxiliary electrode.
제 7 항에 있어서,
상기 보조 전극 상에 구성되며, 상기 보조 전극과 상기 제2 전극을 전기적으로 연결하는 다중층 전극을 더 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 7,
The organic light emitting display device further includes a multilayer electrode formed on the auxiliary electrode and electrically connecting the auxiliary electrode and the second electrode.
제 8 항에 있어서,
상기 뱅크는 상기 다중층 전극 위에 구성된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 8,
The organic light emitting display device wherein the bank is configured on the multilayer electrode.
제 9 항에 있어서,
상기 다중층 전극은 언더컷 형태를 갖는, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 9,
An organic light emitting display device, wherein the multilayer electrode has an undercut shape.
제 9 항에 있어서,
상기 다중층 전극은 차례로 적층된 제1 다중층 전극, 제2 다중층 전극, 및 제3 다중층 전극을 포함하고,
상기 제1 다중층 전극 및 상기 제3 다중층 전극은 상기 다중층 전극 위에 구성된 상기 뱅크보다 상기 제1 전극 방향으로 돌출되고,
상기 제2 전극은 상기 제1 다중층 전극과 연결되며, 상기 제2 다중층 전극과 이격된, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 9,
The multilayer electrode includes a first multilayer electrode, a second multilayer electrode, and a third multilayer electrode, which are sequentially stacked,
The first multilayer electrode and the third multilayer electrode protrude in the direction of the first electrode beyond the bank constructed on the multilayer electrode,
The second electrode is connected to the first multilayer electrode and is spaced apart from the second multilayer electrode.
제 11 항에 있어서,
상기 유기 발광층은 상기 다중층 전극에 의해서 각 화소 별로 서로 분리된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 11,
The organic light emitting layer is separated for each pixel by the multilayer electrode.
제 11 항에 있어서,
상기 제1 및 제3 다중층 전극은 열을 가하면 습식 에칭이 되지 않는 재질로 구성된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 11,
An organic light emitting display device in which the first and third multilayer electrodes are made of a material that does not undergo wet etching when heat is applied.
제 11 항에 있어서,
상기 다중층 전극은 상기 컬러 필터와 비중첩된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 11,
The multilayer electrode is non-overlapping with the color filter.
제 11 항에 있어서,
상기 다중층 전극은 상기 패시베이션층과 비중첩된, 유기 발광 표시 장치.
According to claim 11,
The multi-layer electrode is non-overlapping with the passivation layer.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102537760B1 (en) * 2017-12-22 2023-05-31 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device and manufacturing method there of
KR102482990B1 (en) * 2017-12-27 2022-12-29 엘지디스플레이 주식회사 Top Emission Type Organic Light Emitting Diode Display
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KR102596361B1 (en) * 2018-11-26 2023-10-30 엘지디스플레이 주식회사 Thin film transistor and display apparatus comprising the same
KR20210079615A (en) * 2019-12-20 2021-06-30 엘지디스플레이 주식회사 Display device and manufacturing method thereof
CN112310306B (en) * 2020-10-19 2022-04-08 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Display panel and manufacturing method thereof
CN112289946B (en) * 2020-10-21 2022-04-08 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Display panel and manufacturing method thereof
CN112310310A (en) * 2020-10-23 2021-02-02 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Organic light emitting diode display and method of fabricating the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100579198B1 (en) 2004-09-08 2006-05-11 삼성에스디아이 주식회사 Organic light emitting display device and fabricating method of the same
CN102077689B (en) * 2009-08-31 2013-05-15 松下电器产业株式会社 Light emitting element and method for producing the same, and light emitting device
KR102553212B1 (en) * 2014-07-08 2023-07-10 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device and method of fabricating the same
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KR102320591B1 (en) * 2014-10-30 2021-11-03 엘지디스플레이 주식회사 Organic Light Emitting Display Device and Manufacturing Method thereof
KR102178471B1 (en) * 2014-11-11 2020-11-16 엘지디스플레이 주식회사 Large Area Transparent Organic Light Emitting Diode Display

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