KR102595445B1 - Organic light emitting diode display and manufacturing method of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 따른 균일한 휘도를 갖는 유기 발광 표시 장치가 제공된다. 보조전극이 배치된 기판상에 컨택홀을 구비한 평탄층이 배치된다. 평탄층의 컨택홀은 보조전극과의 접점에서 언더컷 구조를 갖으며, 유기 발광층은 컨택홀의 언더컷 구조에서 불연속 구간을 갖고 공통전극은 언더컷 구조의 내측에서 보조전극과 연결된다. 보조전극과 공통전극을 평탄층의 언더컷 구조를 구비한 컨택홀을 통해 연결함으로서 유기 발광 표시 장치의 균일한 휘도를 유지할 수 있다.An organic light emitting display device having uniform luminance according to an embodiment of the present invention is provided. A flat layer with a contact hole is disposed on the substrate on which the auxiliary electrode is disposed. The contact hole of the flat layer has an undercut structure at the contact point with the auxiliary electrode, and the organic light-emitting layer has a discontinuous section in the undercut structure of the contact hole, and the common electrode is connected to the auxiliary electrode inside the undercut structure. By connecting the auxiliary electrode and the common electrode through a contact hole having an undercut structure of a flat layer, uniform luminance of the organic light emitting display device can be maintained.

Description

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}Organic light emitting display device and manufacturing method thereof {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 발광 표시 장치의 균일한 휘도를 유지하기 위해 공통전극을 보조전극과 연결함에 있어서, 언더컷 구조를 사용함으로써 별도의 추가 공정 없이 보조전극과 공통전극을 연결할 수 있는 새로운 연결 구조를 제공하여, 대형화 및 고해상도가 가능한 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same. More specifically, in order to maintain uniform luminance of the organic light emitting display device, a separate additional process is required by using an undercut structure to connect the common electrode to the auxiliary electrode. The present invention relates to an organic light emitting display device capable of achieving large size and high resolution by providing a new connection structure capable of connecting an auxiliary electrode and a common electrode without a single electrode, and a method of manufacturing the same.

유기 발광 표시 장치(OLED)는 자체 발광형 표시 장치로서, 액정 표시 장치(LCD)와는 달리 별도의 광원이 필요하지 않아 경량 박형으로 제조 가능하다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 저전압 구동에 의해 소비 전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 색상 구현, 응답 속도, 시야각, 명암 대비비(contrast ratio; CR)도 우수하여, 차세대 디스플레이 장치로서 연구되고 있다.An organic light emitting display (OLED) is a self-emitting display device. Unlike a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting display (OLED) does not require a separate light source and can be manufactured in a lightweight and thin form. In addition, organic light emitting display devices are not only advantageous in terms of power consumption due to low voltage driving, but also have excellent color rendering, response speed, viewing angle, and contrast ratio (CR), and are being studied as next-generation display devices.

유기 발광 표시 장치(OLED)는 유기 발광 소자를 통해 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광 방식(top emission type)과 하부 발광 방식(bottom emission type)으로 나뉠 수 있다. 상기 하부 발광 방식은 유기 발광 소자를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(구동소자) 및 배선전극등이 각 화소별로 배치됨에 따라 발광 영역이 제한적일 수 밖에 없으므로 근래에는 상부 발광 방식이 주로 이용되고 있다.Organic light emitting display devices (OLEDs) can be divided into a top emission type and a bottom emission type depending on the transmission direction of light emitted through the organic light emitting element. In the bottom light emitting method, the light emitting area is inevitably limited as thin film transistors (driving elements) and wiring electrodes for driving organic light emitting devices are arranged for each pixel, so the top light emitting method is mainly used in recent years.

일반적인 상부 발광 방식의 유기 발광 표시 장치는 기판상에 배치된 구동소자(박막 트랜지스터)와 상기 구동소자를 덮도록 배치되며 구동소자를 보호하는 구동소자 보호층(passivation)과 평탄층(over coat)을 포함하고 유기 발광층을 구동하기 위한 화소전극(anode) 및 공통전극(cathode)를 포함한다.A typical top-emission organic light emitting display device includes a driving element (thin film transistor) disposed on a substrate, a driving element protection layer (passivation) and a flat layer (over coat) that cover the driving element and protect the driving element. and includes a pixel electrode (anode) and a common electrode (cathode) for driving the organic light emitting layer.

화소전극으로는 일함수 값이 비교적 큰 도전성 물질 예를 들어, 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)가 사용될 수 있다. 특히 화소전극은 반사효율이 우수한 금속물질 예를 들어, 은(Ag), APC(Ag; Pb; Cu)를 포함하는 적어도 둘 이상의 층으로 구성될 수 있다. 최근에는 주로 ITO/Ag alloy/ITO의 3중 적층 구조를 갖는 화소전극이 사용된다.As the pixel electrode, a conductive material with a relatively high work function value, such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO), may be used. In particular, the pixel electrode may be composed of at least two or more layers containing a metal material with excellent reflection efficiency, such as silver (Ag) or APC (Ag; Pb; Cu). Recently, pixel electrodes with a triple stack structure of ITO/Ag alloy/ITO are mainly used.

유기 발광 표시 장치는 복수의 화소가 배치되고, 각 화소에 배치된 유기 발광층으로 주입되는 전자와 정공에 의해 발광하게 되므로 유기 발광 표시 장치에 인가되는 전류의 균일한 공급이 중요하다.Since an organic light emitting display device has a plurality of pixels and emits light by electrons and holes injected into an organic light emitting layer disposed in each pixel, uniform supply of current applied to the organic light emitting display device is important.

이러한 일반적인 상부 발광 방식의 유기 발광 표시 장치는 상부 공통전극은 복수의 화소에 이어지는 통전극이 주로 사용되며, 상부 발광 방식이기에 빛을 투과하는 성질의 투명 도전성 물질이 사용된다. This general top-emitting type organic light emitting display device mainly uses a top common electrode connected to a plurality of pixels, and since it is a top-emitting type, a transparent conductive material that transmits light is used.

투명 도전성 물질은 금속에 비해 전기저항이 높기 때문에 상부 발광 방식의 유기 발광 표시 장치를 대형화로 구현함에 있어 공통전극의 전기저항을 균일하게 유지할 수 없기 때문에 유기 발광 표시 장치의 균일한 휘도를 유지하기에 어려움이 있을 수 있다. Transparent conductive materials have higher electrical resistance than metals, so when implementing a large-scale top-emission organic light emitting display device, the electrical resistance of the common electrode cannot be maintained uniformly, making it difficult to maintain uniform luminance of the organic light emitting display device. There may be difficulties.

이에, 유기 발광 표시 장치의 대형화에 있어, 유기 발광 소자에 균일한 전류공급을 할 수 있는 구조에 대한 많은 연구과제들이 진행되고 있다.Accordingly, in order to enlarge organic light emitting display devices, many research projects are being conducted on structures that can uniformly supply current to organic light emitting devices.

유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자를 포함하는 복수의 화소를 배치하여 사용자가 원하는 이미지 등을 유기 발광 소자를 발광시키어 디스플레이 하도록 한다.An organic light emitting display device arranges a plurality of pixels including organic light emitting elements to display a user's desired image by emitting light from the organic light emitting elements.

유기 발광 소자는 두개의 전극과 유기층을 포함한다. 이때 유기층은 유기발광층을 포함하고, 원활한 엑시톤(excition) 형성을 위해, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층 등을 더 포함할 수 있다.An organic light emitting device includes two electrodes and an organic layer. At this time, the organic layer includes an organic light-emitting layer, and may further include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, etc., for smooth exciton formation.

두개의 전극중 하나는 구동소자와 연결된 화소전극이며 나머유기 발광 표시 장치(OLED)는 자체 발광형 표시 장치로서, 액정 표시 장치(LCD)와는 달리 별도의 광원이 필요하지 않아 경량 박형으로 제조 가능하다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 저전압 구동에 의해 소비 전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 색상 구현, 응답 속도, 시야각, 명암 대비비(contrast ratio; CR)도 우수하여, 차세대 디스플레이 장치로서 연구되고 있다.One of the two electrodes is a pixel electrode connected to the driving element, and an organic light emitting display (OLED) is a self-emitting display device. Unlike a liquid crystal display (LCD), it does not require a separate light source and can be manufactured in a lightweight and thin form. . In addition, organic light emitting display devices are not only advantageous in terms of power consumption due to low voltage driving, but also have excellent color rendering, response speed, viewing angle, and contrast ratio (CR), and are being studied as next-generation display devices.

유기 발광 표시 장치(OLED)는 유기 발광 소자를 통해 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광 방식(top emission type)과 하부 발광 방식(bottom emission type)으로 나뉠 수 있다. 상기 하부 발광 방식은 유기 발광 소자를 구동하기 위한 박막 트랜지스터(구동소자) 및 배선전극등이 각 화소별로 배치됨에 따라 발광 영역이 제한적일 수 밖에 없으므로 근래에는 상부 발광 방식이 주로 이용되고 있다.Organic light emitting display devices (OLEDs) can be divided into a top emission type and a bottom emission type depending on the transmission direction of light emitted through the organic light emitting element. In the bottom light emitting method, the light emitting area is inevitably limited as thin film transistors (driving elements) and wiring electrodes for driving organic light emitting devices are arranged for each pixel, so the top light emitting method is mainly used in recent years.

일반적인 상부 발광 방식의 유기 발광 표시 장치는 기판상에 배치된 구동소자(박막 트랜지스터)와 상기 구동소자를 덮도록 배치되며 구동소자를 보호하는 구동소자 보호층(passivation)과 평탄층(over coat)을 포함하고 유기 발광층을 구동하기 위한 화소전극(anode) 및 공통전극(cathode)를 포함한다.A typical top-emission organic light emitting display device includes a driving element (thin film transistor) disposed on a substrate, a driving element protection layer (passivation) and a flat layer (over coat) that cover the driving element and protect the driving element. and includes a pixel electrode (anode) and a common electrode (cathode) for driving the organic light emitting layer.

화소전극으로는 일함수 값이 비교적 큰 도전성 물질 예를 들어, 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)가 사용될 수 있다. 특히 화소전극은 반사효율이 우수한 금속물질 예를 들어, 은(Ag), APC(Ag; Pb; Cu)를 포함하는 적어도 둘 이상의 층으로 구성될 수 있다. 최근에는 주로 ITO/Ag alloy/ITO의 3중 적층 구조를 갖는 화소전극이 사용된다.As the pixel electrode, a conductive material with a relatively high work function value, such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO), may be used. In particular, the pixel electrode may be composed of at least two or more layers containing a metal material with excellent reflection efficiency, such as silver (Ag) or APC (Ag; Pb; Cu). Recently, pixel electrodes with a triple stack structure of ITO/Ag alloy/ITO are mainly used.

유기 발광 표시 장치는 복수의 화소가 배치되고, 각 화소에 배치된 유기 발광층으로 주입되는 전자와 정공에 의해 발광하게 되므로 유기 발광 표시 장치에 인가되는 전류의 균일한 공급이 중요하다.Since an organic light emitting display device has a plurality of pixels and emits light by electrons and holes injected into an organic light emitting layer disposed in each pixel, uniform supply of current applied to the organic light emitting display device is important.

이러한 일반적인 상부 발광 방식의 유기 발광 표시 장치는 상부 공통전극은 복수의 화소에 이어지는 통전극이 주로 사용되며, 상부 발광 방식이기에 빛을 투과하는 성질의 투명 도전성 물질이 사용된다. This general top-emitting type organic light emitting display device mainly uses a top common electrode connected to a plurality of pixels, and since it is a top-emitting type, a transparent conductive material that transmits light is used.

투명 도전성 물질은 금속에 비해 전기저항이 높기 때문에 상부 발광 방식의 유기 발광 표시 장치를 대형화로 구현함에 있어 공통전극의 전기저항을 균일하게 유지할 수 없기 때문에 유기 발광 표시 장치의 균일한 휘도를 유지하기에 어려움이 있을 수 있다. Transparent conductive materials have higher electrical resistance than metals, so when implementing a large-scale top-emission organic light emitting display device, the electrical resistance of the common electrode cannot be maintained uniformly, making it difficult to maintain uniform luminance of the organic light emitting display device. There may be difficulties.

이에, 유기 발광 표시 장치의 대형화에 있유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자를 포함하는 복수의 화소를 배치하여 사용자가 원하는 이미지 등을 유기 발광 소자를 발광시키어 디스플레이 하도록 한다.Accordingly, in order to expand the size of the organic light emitting display device, the organic light emitting display device arranges a plurality of pixels including organic light emitting elements to display a user's desired image by emitting light from the organic light emitting elements.

유기 발광 소자는 두개의 전극과 유기층을 포함한다. 이때 유기층은 유기발광층을 포함하고, 원활한 엑시톤(excition) 형성을 위해, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층 등을 더 포함할 수 있다.An organic light emitting device includes two electrodes and an organic layer. At this time, the organic layer includes an organic light-emitting layer, and may further include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, etc., for smooth exciton formation.

두개의 전극중 하나는 구동소자와 연결된 화소전극이며 나머지 하나는 공통전극(cathode)일 수 있다.One of the two electrodes may be a pixel electrode connected to the driving element, and the other may be a common electrode (cathode).

상향 발광 방식의 유기 발광 표시 장치(Top emission)의 경우 공통전극은 일반적으로 투명 전극을 사용하게 되는 데 투명전극의 경우 높은 저항값을 가지고 있으므로 유기 발광 표시 장치의 주변부로부터 중앙부로 갈수록 유기 발광 소자에 공급되는 전류는 전극의 전기적 저항의 증가로 인하여 휘도가 낮아지게 된다.In the case of an upward-emitting organic light emitting display device (Top emission), the common electrode generally uses a transparent electrode. Transparent electrodes have a high resistance value, so the organic light emitting device decreases from the periphery to the center of the organic light emitting display device. The brightness of the supplied current decreases due to an increase in the electrical resistance of the electrode.

중앙부에서 낮아진 휘도를 극복하기 위하여 보조전극을 유기 발광 표시 장치에 배치시키고 공통전극과 연결시키어 공통전극의 전기적 저항을 낮추어 일정하게 유지할 수 있다.In order to overcome the lowered luminance in the center, an auxiliary electrode can be placed in the organic light emitting display device and connected to the common electrode to lower the electrical resistance of the common electrode and keep it constant.

유기 발광층의 상부에 배치된 보조전극과 유기 발광층의 하부에 배치된 공통전극간의 연결을 위해 격벽을 포함하는 역테이퍼 구조의 구조물을 보조전극 상에 배치하여 유기 발광층의 불연속 구간을 유도하고 불연속 구간으로 오픈된 보조전극과 공통전극을 전기적으로 연결할 수 있다.To connect the auxiliary electrode disposed on the top of the organic light-emitting layer and the common electrode disposed on the bottom of the organic light-emitting layer, a structure with an inverted taper structure including a partition is placed on the auxiliary electrode to induce a discontinuous section of the organic light-emitting layer and form a discontinuous section. The open auxiliary electrode and the common electrode can be electrically connected.

이러한 역테이퍼 구조물의 연결방식은 유기 발광층과 공통전극의 스탭 커버리지(step coverage) 차이를 이용한 연결 방식으로 격벽구조의 하단부에 보조전극을 형성하고 유기 발광층 및 공통전극을 증착하면, 공통전극은 유기 발광층에 비해서 스탭 커버리지(step coverage)가 높기에 격벽구조의 측면을 포함하여 배치 가능하여, 격벽구조의 하단부에서 보조전극과 전기적으로 연결될 수 있다.The connection method of this reverse taper structure is a connection method that utilizes the step coverage difference between the organic light-emitting layer and the common electrode. When an auxiliary electrode is formed at the bottom of the barrier structure and the organic light-emitting layer and the common electrode are deposited, the common electrode is the organic light-emitting layer. Since the step coverage is high compared to that, it can be placed including the side of the partition wall structure, and can be electrically connected to the auxiliary electrode at the lower part of the partition structure.

격벽구조는 폴리이미드 계열의 물질을 사용할 수 있다. 그러나 이러한 격벽구조물은 제조 공정중에 무너지기 쉬우며 유기 발광 표시 장치의 개구율이 낮아질 수 있는 단점이 있다. 또한, 격벽구조를 형성 하기 위한 추가적인 공정이 필요하므로 유기 발광 표시 장치의 제조 단가가 높아질 수 있는 단점이 있다. 이에 본 발명의 발명자들은 격벽구조를 사용하지 않으면서 보조전극과 공통전극을 연결할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 보조전극 연결 구조를 발명하였다.The partition wall structure can use a polyimide-based material. However, these barrier structures have the disadvantage of being prone to collapse during the manufacturing process and lowering the aperture ratio of the organic light emitting display device. Additionally, since an additional process is required to form the barrier structure, there is a disadvantage that the manufacturing cost of the organic light emitting display device may increase. Accordingly, the inventors of the present invention invented an auxiliary electrode connection structure for an organic light emitting display device that can connect an auxiliary electrode and a common electrode without using a partition structure.

본 발명의 일 실시예에 따른 해결 과제는 보조전극 상에 언더컷 구조를 포함하는 컨택홀을 배치하여 유기 발광층의 불연속 구간을 유도하여 보조전극을 오픈시키고, 오픈된 보조전극과 공통전극을 연결하여 고해상도가 가능하고, 대면적이 가능한 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.The problem to be solved according to one embodiment of the present invention is to open the auxiliary electrode by inducing a discontinuous section of the organic light emitting layer by placing a contact hole including an undercut structure on the auxiliary electrode, and to connect the open auxiliary electrode and the common electrode to provide high resolution. To provide an organic light emitting display device capable of producing a large area and a method of manufacturing the same.

본 발명의 일 실시예에 따른 또다른 해결 과제는 공통전극과 보조전극의 연결성공율을 높이기 위해 컨택홀의 일측면은 언터컷 모양을 갖고 타측면은 경사면 모양을 갖는 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.Another problem to be solved according to an embodiment of the present invention is to provide an organic light emitting display device in which one side of the contact hole has an undercut shape and the other side has an inclined surface shape to increase the connection success rate between the common electrode and the auxiliary electrode, and a manufacturing method thereof. It is provided.

본 발명의 일 실시예에 따른 해결 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved according to an embodiment of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

본 발명의 일 실시예에 따른 보조전극상에 언더컷을 갖는 컨택홀을 배치하여 공통전극을 보조전극과 연결하여 유기 발광 표시 장치의 균일한 휘도를 유지 할 수 있는 유기 발광 표시 장치가 제공된다. 기판상에 구동소자 및 보조전극이 있고 구동소자상에 구동소자 보호층 및 평탄층이 있다. 평탄층상에는 화소전극, 유기 발광층, 및 공통전극이 있으며 구동소자 보호층 및 평탄층은 보조전극을 오픈하는 컨택홀이 배치되되 컨택홀의 일층면은 언더컷의 모양을 갖고, 타측면은 경사면 모양을 갖는다. 유기 발광층은 언더컷 모양의 내측에서 불연속되고 공통전극은 언더컷 모양의 내측에서 보조전극과 전기적으로 연결되어 균일한 전기저항을 갖을 수 있게 된다. 이때, 컨택홀의 경사면은 공통전극이 언더컷의 내측으로 더욱 원활이 배치되도록 한다. 이와 같이 언더컷 및 경사면을 갖는 컨택홀을 보조전극 상에 배치함으로써 공통전극의 전기저항을 일정하게 하여 균일한 휘도를 갖는 유기 발광 표시 장치를 제공할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, an organic light emitting display device is provided that can maintain uniform luminance of the organic light emitting display device by connecting a common electrode to the auxiliary electrode by disposing a contact hole having an undercut on the auxiliary electrode. There is a driving element and an auxiliary electrode on the substrate, and a driving element protection layer and a flattening layer on the driving element. There is a pixel electrode, an organic light emitting layer, and a common electrode on the flat layer, and the driving element protection layer and the flat layer have a contact hole that opens the auxiliary electrode. The first side of the contact hole has the shape of an undercut, and the other side has the shape of an inclined plane. . The organic light-emitting layer is discontinuous on the inside of the undercut shape, and the common electrode is electrically connected to the auxiliary electrode on the inside of the undercut shape to have uniform electrical resistance. At this time, the inclined surface of the contact hole allows the common electrode to be more smoothly placed inside the undercut. In this way, by disposing a contact hole having an undercut and an inclined surface on the auxiliary electrode, the electrical resistance of the common electrode can be made constant, thereby providing an organic light emitting display device with uniform brightness.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 기판상에 구동소자 및 보조전극을 형성한다. 구동소자 상에 구동소자 보호층 및 평탄층을 형성하고 평탄층 상에 화소전극, 유기 발광층 및 공통전극을 형성한다. 이때, 구동소자 보호층 및 평탄층은 보조전극을 오픈하도록 컨택홀을 형성하되 일측면은 언더컷 모양을 갖고 타측면은 경사면을 갖도록 형성하도록 한다. 상술한 바와 같이 이후 유기 발광층과 공통전극을 형성하면, 공통전극과 보조전극은 컨택홀에 형성된 언더컷 모양의 내측에서 전기적으로 연결할 수 있게 되므로, 균일한 휘도를 갖는 유기 발광 표시 장치를 제공할 수 있다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention is provided. A driving element and an auxiliary electrode are formed on the substrate. A driving element protective layer and a flattening layer are formed on the driving element, and a pixel electrode, an organic light emitting layer, and a common electrode are formed on the flattening layer. At this time, the driving element protective layer and the flat layer are formed with contact holes to open the auxiliary electrode, with one side having an undercut shape and the other side having an inclined surface. As described above, when the organic light emitting layer and the common electrode are formed, the common electrode and the auxiliary electrode can be electrically connected inside the undercut shape formed in the contact hole, thereby providing an organic light emitting display device with uniform brightness. .

본 발명의 실시예에 따라 공통전극의 전류를 균일하게 하도록 보조전극과 공통전극을 전기적으로 연결하는데 있어 평탄층의 컨택홀을 통한 연결구조를 구비함으로써 유기 발광 표시 장치의 휘도 균일성을 향상 시킬 수 있는 효과가 있다.According to an embodiment of the present invention, the luminance uniformity of the organic light emitting display device can be improved by providing a connection structure through a contact hole in the flat layer to electrically connect the auxiliary electrode and the common electrode to make the current of the common electrode uniform. There is an effect.

또한, 상기 컨택홀을 언더컷 모양과 경사면 모양을 갖도록 배치함으로써 공통전극과 보조전극의 연결율을 샹항 시킬 수 있는 효과가 있다.Additionally, arranging the contact hole to have an undercut shape and an inclined surface shape has the effect of improving the connection ratio between the common electrode and the auxiliary electrode.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

이상에서 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 효과에 기재한 발명의 내용이 청구항의 필수적인 특징을 특정하는 것은 아니므로, 청구항의 권리범위는 발명의 내용에 기재된 사항에 의하여 제한되지 않는다.Since the content of the invention described above in the problem to be solved, the means for solving the problem, and the effect do not specify the essential features of the claim, the scope of the claim is not limited by the matters described in the content of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공통전극과 보조전극의 연결을 설명하기 위한 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 2a내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device to illustrate the connection between a common electrode and an auxiliary electrode according to an embodiment of the present invention.
2A to 2F are schematic cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms. The present embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete and that common knowledge in the technical field to which the present invention pertains is not limited. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다. The shapes, sizes, proportions, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining embodiments of the present invention are illustrative, and the present invention is not limited to the matters shown. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. Additionally, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. When 'includes', 'has', 'consists of', etc. mentioned in this specification are used, other parts may be added unless 'only' is used. When a component is expressed in the singular, the plural is included unless specifically stated otherwise.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.When interpreting a component, it is interpreted to include the margin of error even if there is no separate explicit description.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of a description of a positional relationship, for example, if the positional relationship of two parts is described as 'on top', 'on the top', 'on the bottom', 'next to', etc., 'immediately' Alternatively, there may be one or more other parts placed between the two parts, unless 'directly' is used.

제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are merely used to distinguish one component from another. Accordingly, the first component mentioned below may also be the second component within the technical spirit of the present invention.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each feature of the various embodiments of the present invention can be combined or combined with each other, partially or entirely, and various technological interconnections and operations are possible, and each embodiment can be implemented independently of each other or together in a related relationship. It may be possible.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택홀을 포함하여 보조전극과 공통전극의 연결구조에 대해 설명한다.Below, the connection structure of the auxiliary electrode and the common electrode, including the contact hole, according to an embodiment of the present invention will be described.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공통전극과 보조전극의 연결을 설명하기 위한 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device to illustrate the connection between a common electrode and an auxiliary electrode according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면 유기 발광 표시 장치(100)는 기판(110)상에 구동소자(120), 보조전극(130) 및 패드전극(140)이 배치된다.Referring to FIG. 1 , the organic light emitting display device 100 includes a driving element 120, an auxiliary electrode 130, and a pad electrode 140 disposed on a substrate 110.

기판(110)은 유리기판일 수 있으며 또는 폴리이미드계열의 플렉서블한 기판일 수 있다. 기판(110) 상에는 수분과 산소의 침투를 최소화하기 위한 베리어층(112)이 배치될 수 있다. 또한, 기판(110)은 공정의 정렬을 위한 정렬마크(111)을 포함할 수 있다.The substrate 110 may be a glass substrate or a polyimide-based flexible substrate. A barrier layer 112 may be disposed on the substrate 110 to minimize penetration of moisture and oxygen. Additionally, the substrate 110 may include an alignment mark 111 for process alignment.

구동소자(120)는 비정질 실리콘, 다결정 실리콘 또는 산화물 반도체를 사용한 박막 트랜지스터일수 있다. 또한 구동소자(120)는 게이트 전극(121), 게이트 절연막(122), 액티브층(123) 및 소스전극 및 드레인전극(124)을 포함하고, 게이트 전극(121)상에 게이트전극(121)과 소스전극 및 드레인전극(124)간의 도통을 방지하고 게이트전극(121) 하부의 오염과 손상을 막기 위한 무기막층인 인터레이어층(113)을 더 포함할 수 있다. 도 1에서는 구동소자(120)를 액티브층(123) 상에 게이트 전극(121)이 있는 탑 게이트(top gate)로 도시하였으나 게이트 전극(121)이 액티브층(123) 및에 있는 바텀 게이트(bottom gate)의 구동소자일 수 있다.The driving element 120 may be a thin film transistor using amorphous silicon, polycrystalline silicon, or an oxide semiconductor. Additionally, the driving element 120 includes a gate electrode 121, a gate insulating film 122, an active layer 123, and a source electrode and a drain electrode 124. It may further include an interlayer layer 113, which is an inorganic layer to prevent conduction between the source electrode and the drain electrode 124 and to prevent contamination and damage to the lower part of the gate electrode 121. In Figure 1, the driving element 120 is shown as a top gate with a gate electrode 121 on the active layer 123, but the gate electrode 121 is a bottom gate on the active layer 123 and It may be a driving element of a gate.

게이트전극(121)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 다양한 물질로 형성될 수 있다.The gate electrode 121 is made of any one of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). It may be made of an alloy, but is not limited to this, and may be formed of various materials.

또한, 게이트전극(121)는 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 다중층일 수도 있다.Additionally, the gate electrode 121 may be made of, for example, molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). ) may be a multi-layer made of any one selected from the group consisting of or an alloy thereof.

구동소자(120)를 구성하는 소스전극 및 드레인전극(124)과 패드전극(140) 및 보조전극(130)은 동일한 평면상에 동일한 재질을 사용하여 배치함으로써 배치공정을 간편하게 할 수 있으며, 전류 및 신호의 원활한 전달을 위한 구리(Cu)등의 저저항 금속 물질로 이루어 질수 있다.The source and drain electrodes 124, pad electrode 140, and auxiliary electrode 130 that make up the driving element 120 are arranged on the same plane using the same material, so that the arrangement process can be simplified. It can be made of a low-resistance metal material such as copper (Cu) for smooth signal transmission.

이러한 소스전극 및 드레인전극(124)과 패드전극(140) 및 보조전극(130)은 구리(Cu) 또는 은(Ag)과 같은 재질을 사용하여 배치될 수 있으나, 무기물층 또는 유기물층 상에 배치될 때 접착력의 문제가 있을 수 있으므로 몰리티타늄(MoTi)층을 더 포함할 수 있고, 전극을 배치한 이후에 수반되는 에칭(etching)등의 공정에서 손상될 수 있으므로 ITO 또는 IZO층을 더 포함할 수 있다. 조금더 구체적으로 예를 들어 설명하면, 소스전극 및 드레인전극(124), 패드전극(140) 및 보조전극(130)은 MoTi, Cu, ITO 의 다층구조를 갖는 전극일 수 있다. 몇몇 실시예에서, 보조전극(130)은 소스전극 및 드레인전극(124)이 아닌 게이트 전극(121)과 동일한 재질로 이루어질 수도 있다.These source and drain electrodes 124, pad electrode 140, and auxiliary electrode 130 may be disposed using materials such as copper (Cu) or silver (Ag), but may be disposed on an inorganic material layer or an organic material layer. Since there may be problems with adhesion, an additional moly titanium (MoTi) layer may be included, and an ITO or IZO layer may be further included since it may be damaged in processes such as etching following electrode placement. there is. To explain in more detail, the source and drain electrodes 124, pad electrode 140, and auxiliary electrode 130 may be electrodes having a multilayer structure of MoTi, Cu, and ITO. In some embodiments, the auxiliary electrode 130 may be made of the same material as the gate electrode 121 rather than the source and drain electrodes 124.

구동소자(120)상에는 이후 이어지는 공정 등의 과정에서 구동소자(120)이 손상되는 것을 보호하기 위한 구동소자 보호층(114)이 배치되고 구동소자 보호층(114)상에 평탄층(115) 및 유기 발광 소자(150)가 배치된다.A driving element protection layer 114 is disposed on the driving element 120 to protect the driving element 120 from damage during subsequent processes, and a flat layer 115 and An organic light emitting device 150 is disposed.

유기 발광 소자(150)는 평탄층(115)상에 배치된 화소전극(151)과 유기 발광층(152) 및 공통전극(153)을 포함하며, 화소전극(151)은 구동소자(120)와 전기적으로 연결된다. 조금 더 구체적으로 말하면 화소전극(151)은 화소전극 연결부(116)을 통해 구동소자(120)의 소스전극 및 드레인전극(124)과 전기적으로 연결된다.The organic light emitting device 150 includes a pixel electrode 151, an organic light emitting layer 152, and a common electrode 153 disposed on a flat layer 115, and the pixel electrode 151 is electrically connected to the driving device 120. It is connected to To be more specific, the pixel electrode 151 is electrically connected to the source electrode and drain electrode 124 of the driving element 120 through the pixel electrode connection portion 116.

유기 발광층(152)은 화소전극(151)과 공통전극(153)으로부터 주입되는 전자와 정공에 의해 발광을 하며, 원활한 엑시톤(excition) 형성을 위해 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층을 포함할 수 있으며, 적어도 두층의 발광층을 포함하는 다층구조의 유기 발광층 일 수 있다.The organic light emitting layer 152 emits light by electrons and holes injected from the pixel electrode 151 and the common electrode 153, and is composed of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer to smoothly form exciton. It may include, and may be an organic light-emitting layer with a multi-layer structure including at least two light-emitting layers.

화소전극(151)과 공통전극(153)은 애노드(anode) 전극 또는 캐소드(cathod) 전극일 수 있으며 유기 발광층(152)에서 발광되는 빛을 투과할 수 있는 투명전극일 수 있고, 일 방향으로 발광을 유도하도록 두 전극중 하나의 전극은 반사전극일 수 있다.The pixel electrode 151 and the common electrode 153 may be an anode electrode or a cathode electrode, and may be transparent electrodes capable of transmitting light emitted from the organic light emitting layer 152, and emit light in one direction. One of the two electrodes may be a reflective electrode to induce .

또한 화소전극(151)의 주변에는 화소를 구분짓도록 뱅크층(190)이 배치된다.Additionally, a bank layer 190 is disposed around the pixel electrode 151 to distinguish pixels.

패드전극(140)상의 구동소자 보호층(114)은 패드전극(140)을 오픈하는 패드오픈부(141)가 배치되고, 보조전극(130)을 오픈하는 컨택홀(160)이 배치된다.The driving element protection layer 114 on the pad electrode 140 is provided with a pad open portion 141 that opens the pad electrode 140 and a contact hole 160 that opens the auxiliary electrode 130.

컨택홀(160)은 구동소자 보호층(114) 및 평탄층(115)으로 이루어지는 층간의 오픈정도차이에 따라 일측은 언더컷 모양(161)을 갖고 타측은 경사면 모양(162)을 갖도록 배치된다. 여기서, 경사면 모양(162)은 도 1에 도시된 바와 같이 보호층(114) 및 평탄층(115)으로 이루어지는 계단 모양일 수 있다.The contact hole 160 is arranged to have an undercut shape 161 on one side and an inclined surface shape 162 on the other side according to the difference in openness between the layers consisting of the driving device protection layer 114 and the flat layer 115. Here, the slope shape 162 may be a step shape made of a protective layer 114 and a flat layer 115, as shown in FIG. 1 .

컨택홀(160)의 경사면 모양(162)의 적어도 일부는 뱅크층(170)에 의해 덮여 있는 구조일 수 있으며, 또는 구동소자 보호층(114)와 평탄층(115)만으로 이루어진 경사면 모양(162)일 수 있다.At least a portion of the inclined surface shape 162 of the contact hole 160 may be covered by the bank layer 170, or the inclined surface shape 162 consisting only of the driving device protection layer 114 and the flat layer 115. It can be.

컨택홀(160)에 있는 언더컷 모양(161)의 내부에서 보조전극(130)과 공통전극(153)이 전기적으로 연결되는데, 상기 언더컷 모양(151)을 갖는 컨택홀(160)은 보조전극(130)의 적어도 일부를 오픈 시키고 유기 발광층(152)은 언더컷 모양(161)의 내측에 배치되지 않고 불연속 되게 되는데 불연속되어 오픈된 보조전극(130)은 공통전극(153)이 배치되는 과정에서 전기적으로 연결된다. The auxiliary electrode 130 and the common electrode 153 are electrically connected inside the undercut shape 161 in the contact hole 160, and the contact hole 160 having the undercut shape 151 is connected to the auxiliary electrode 130. ) is opened, and the organic light emitting layer 152 is not disposed inside the undercut shape 161 but becomes discontinuous. The discontinuous and open auxiliary electrode 130 is electrically connected during the process of disposing the common electrode 153. do.

공통전극(153)은 유기 발광층(152)에 비하여 스탭 커버리지(step coverage)가 높기 때문에 언더컷 모양(161)의 내측에서 유기 발광층(152)은 불연속 되고, 공통전극(153)은 스탭 커버리지가 높기 때문에 언더컷 모양(161)의 내측까지 배치되어 보조전극(130)과 전기적으로 연결된다.Because the common electrode 153 has a higher step coverage than the organic light emitting layer 152, the organic light emitting layer 152 is discontinuous inside the undercut shape 161, and the common electrode 153 has a high step coverage. It is disposed inside the undercut shape 161 and is electrically connected to the auxiliary electrode 130.

도 2a내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.2A to 2F are schematic cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 2a를 참조하여 설명하면, 기판(210) 상에 구동소자(220) 패드전극(240) 및 보조전극(230)을 형성한다. 기판(210)은 버퍼층(212)을 포함할 수 있으며 공정의 정렬을 위한 정렬마크(211)를 기판(210)상에 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2A , the driving element 220, the pad electrode 240, and the auxiliary electrode 230 are formed on the substrate 210. The substrate 210 may include a buffer layer 212 and may include forming an alignment mark 211 on the substrate 210 for process alignment.

구동소자(220)는 액티브층(223)을 형성하고 게이트 절연막(222)과 게이트 전극(221)순으로 형성하고 게이트전극(221)을 절연하기위한 인터레이어층(213)을 형성한다. 이어서 소스전극 및 드레인전극(224)을 형성하는데, 소스전극 및 드레인전극(224)은 액티브층(223)과 각각 전기적으로 연결되도록 형성한다.The driving element 220 forms an active layer 223, followed by a gate insulating film 222 and a gate electrode 221, and forms an interlayer layer 213 to insulate the gate electrode 221. Next, the source electrode and the drain electrode 224 are formed, and the source electrode and the drain electrode 224 are formed to be electrically connected to the active layer 223, respectively.

패드전극(240), 소스전극 및 드레인전극 (224) 및 보조전극(230)은 동일한 재질을 사용하여 동시에 형성할 수 있다.The pad electrode 240, the source and drain electrodes 224, and the auxiliary electrode 230 can be formed simultaneously using the same material.

패드전극(240), 소스전극 및 드레인전극 (224) 및 보조전극(230)은 구리(Cu) 또는 은(Ag)와 같이 전기저항이 낮은 물질을 사용하여 형성하는데, 구리(Cu) 또는 은(Ag)은 증착 안정성이 낮으므로 몰리티탄(MoTi)을 먼저 형성한 후 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 형성하여 증착 안정성을 높이도록 한다. 또한, 구리(Cu) 또는 은(Ag)은 이후 공정에서 부식될 가능성이 높기에 구리(Cu) 또는 은(Ag) 상부에 ITO 또는 IZO를 형성한다.The pad electrode 240, the source and drain electrodes 224, and the auxiliary electrode 230 are formed using a material with low electrical resistance, such as copper (Cu) or silver (Ag). Since Ag) has low deposition stability, moly titanium (MoTi) is formed first and then copper (Cu) or silver (Ag) is formed to increase deposition stability. In addition, copper (Cu) or silver (Ag) is highly likely to corrode in the subsequent process, so ITO or IZO is formed on top of copper (Cu) or silver (Ag).

이와 같이 패드전극(240), 소스전극 및 드레인전극 (224) 및 보조전극(230)을 다층의 전극구조로 형성하면 공정안정성을 더욱 높일 수 있다.In this way, process stability can be further improved by forming the pad electrode 240, the source and drain electrodes 224, and the auxiliary electrode 230 into a multi-layer electrode structure.

도 2b를 참조하면, 구동소자(220)를 보호하는 구동소자 보호층(214)을 구동소자(220)상에 형성하되, 소스전극 및 드레인전극 (224)중 하나의 전극을 오픈하는 화소전극연결부(216)를 형성한다.Referring to Figure 2b, a driving element protection layer 214 that protects the driving element 220 is formed on the driving element 220, and a pixel electrode connection part that opens one of the source electrode and the drain electrode 224. It forms (216).

이어서, 구동소자 보호층(214)상에 레진(Resin)등의 재료를 사용하여 평탄층(215)을 형성하는데, 패드전극(240), 화소전극연결부(216) 및 보조전극(230)을 덮지 않도록 형성한다.Next, a flat layer 215 is formed on the driving device protection layer 214 using a material such as resin, but does not cover the pad electrode 240, the pixel electrode connection portion 216, and the auxiliary electrode 230. form so as not to

보호막(241)에 화소전극연결부(216)를 형성하는 단계는 건식(Dry) 또는 습식(Wet) 에치(Etch)공정 또는 플라즈마 에치(Plasma Etch)등의 공정을 사용하여 형성 할 수 있다.The step of forming the pixel electrode connection portion 216 on the protective film 241 can be performed using a dry or wet etch process or a plasma etch process.

도 2c를 참조하여 이어서 설명하면, 평탄층(215)상에 화소전극(251)을 형성한다. 화소전극(251)은 화소전극연결부(216)을 통해 소스전극 및 드레인전극 (224)와 전기적으로 연결되도록 형성하여 구동소자(220)의 전기적 신호 및 전류를 받을 수 있도록 한다.Next described with reference to FIG. 2C, the pixel electrode 251 is formed on the flattening layer 215. The pixel electrode 251 is electrically connected to the source electrode and the drain electrode 224 through the pixel electrode connection portion 216 to receive electrical signals and current from the driving element 220.

이어서, 도 2d에 도시된 바와 같이 패드전극(240)을 오픈하도록 구동소자 보호층(214)상에 패드오픈부(241)을 형성하고, 보조전극(230)상의 구동소자 보호층(214)를 오픈하여 컨택홀(260)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 2D, a pad open portion 241 is formed on the driving device protection layer 214 to open the pad electrode 240, and the driving device protection layer 214 is formed on the auxiliary electrode 230. It opens to form a contact hole 260.

컨택홀(260)을 형성함에 있어 일측면은 언더컷 모양(261)을 갖도록 하고 타측면은 경사면 모양(262)을 갖도록 형성한다. 컨택홀(260)에 언더컷 모양(261) 및 경사면 모양(262)를 갖도록 형성하는 방법은 공정 마진을 활용하고 구동소자 보호층(214)를 식각등의 공정을 사용하면 형성 가능하다.When forming the contact hole 260, one side is formed to have an undercut shape (261) and the other side is formed to have an inclined surface shape (262). A method of forming the contact hole 260 to have an undercut shape 261 and an inclined surface shape 262 can be formed by utilizing a process margin and using a process such as etching the driving device protection layer 214.

이어서, 도 2e를 참조하면, 화소전극(251)의 주변에 뱅크층(270)을 형성한다. 뱅크층(270)은 컨택홀(260)의 적어도 일부를 덮도록 배치할 수 있으며, 컨택홀(260)의 적어도 일부를 덮도록 배치하는 경우 컨택홀(260)의 일측면이 경사면(262)을 더 효율적으로 형성할 수 있다.Next, referring to FIG. 2E, a bank layer 270 is formed around the pixel electrode 251. The bank layer 270 may be arranged to cover at least part of the contact hole 260, and when arranged to cover at least part of the contact hole 260, one side of the contact hole 260 has an inclined surface 262. It can be formed more efficiently.

이어서, 도 2f에 도시된 바와 같이 유기 발광층(252) 및 공통전극(253)을 형성하여 유기 발광 소자(250)을 형성한다. 이때, 유기 발광층(252)은 스탭 커버리지가 컨택홀(260)의 언더컷 모양(261)내측까지 형성될 수 있을 정도로 높지 않기 때문에 불연속 구간이 형성되게 된다. 그러나, 공통전극(253)은 유기 발광층(252)에 비해 스탭 커버리지가 높아 컨택홀(260)의 언더컷 모양(261)내측까지 형성되어 컨택홀(260)에 의해 오픈된 보조전극(230)과 연결된다.Next, as shown in FIG. 2F, the organic light emitting layer 252 and the common electrode 253 are formed to form the organic light emitting device 250. At this time, since the step coverage of the organic light emitting layer 252 is not high enough to be formed inside the undercut shape 261 of the contact hole 260, a discontinuous section is formed. However, the common electrode 253 has a higher step coverage than the organic light emitting layer 252, so it is formed inside the undercut shape 261 of the contact hole 260 and is connected to the auxiliary electrode 230 opened by the contact hole 260. do.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention. . Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but are for illustrative purposes, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of protection of the present invention should be interpreted in accordance with the claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of rights of the present invention.

100: 유기 발광 디스플레이 장치
110, 210: 기판
111, 220: 정렬마크
112, 212: 버퍼층
113, 213: 인터레이어층
114, 214: 구동소자 보호층
115, 215: 평탄층
116, 216: 화소전극연결부
120, 220: 구동소자
130, 230: 보조전극
140, 240: 패드전극
150, 250: 유기 발광 소자
160, 260: 컨택홀
170, 270: 뱅크층
100: Organic light emitting display device
110, 210: substrate
111, 220: Alignment mark
112, 212: buffer layer
113, 213: Interlayer layer
114, 214: Drive element protection layer
115, 215: Flat layer
116, 216: Pixel electrode connection part
120, 220: driving element
130, 230: Auxiliary electrode
140, 240: Pad electrode
150, 250: Organic light emitting device
160, 260: Contact hole
170, 270: Bank layer

Claims (19)

삭제delete 기판상에 있는 구동소자 및 보조전극;
상기 구동소자상에 배치되고, 화소전극, 유기 발광층 및 공통전극을 포함하는 유기 발광 소자; 및
상기 화소전극 상에 배치된 뱅크층을 포함하고,
상기 보조전극을 오픈하는 컨택홀을 포함하되,
상기 유기 발광층은 상기 컨택홀의 일측에서 연장되어 상기 보조 전극의 상면과 접하도록 배치되고, 상기 보조 전극의 상면과 상기 컨택홀의 타측 사이에서 불연속적으로 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
Drive elements and auxiliary electrodes on the substrate;
an organic light-emitting device disposed on the driving device and including a pixel electrode, an organic light-emitting layer, and a common electrode; and
It includes a bank layer disposed on the pixel electrode,
Includes a contact hole for opening the auxiliary electrode,
The organic light emitting layer extends from one side of the contact hole and is disposed to contact the top surface of the auxiliary electrode, and is discontinuously disposed between the top surface of the auxiliary electrode and the other side of the contact hole.
제2항에 있어서,
상기 컨택홀 상에서 상기 뱅크층은 상기 뱅크층의 하단이 상기 뱅크층의 상단보다 상기 컨택홀의 내측으로 돌출되는 경사면만을 포함하도록 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
According to paragraph 2,
The organic light emitting display device wherein the bank layer is disposed on the contact hole so that the bottom of the bank layer includes only an inclined surface that protrudes inside the contact hole more than the top of the bank layer.
제2항에 있어서,
상기 뱅크층은 상기 컨택홀 상에 배치되는 복수의 경사면을 포함하고, 상기 보조 전극 상에 배치된 상기 유기 발광층은 적어도 두개의 경사면으로 연장되어 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
According to paragraph 2,
The bank layer includes a plurality of inclined surfaces disposed on the contact hole, and the organic light emitting layer disposed on the auxiliary electrode extends to at least two inclined surfaces.
제2항에 있어서,
상기 구동소자 상에 있는 보호층을 더 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to paragraph 2,
An organic light emitting display device further comprising a protective layer on the driving element.
제5항에 있어서,
상기 보호층 상에 배치되는 평탄층을 더 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 5,
The organic light emitting display device further includes a planarization layer disposed on the protective layer.
제6항에 있어서,
상기 컨택홀의 타측 상에는 상기 보호층의 상단이 상기 평탄층의 하단보다 상기 컨택홀의 외측으로 후퇴된 처마 모양이 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 6,
An organic light emitting display device in which an eaves shape is disposed on the other side of the contact hole, with the upper end of the protective layer receding to an outer side of the contact hole than the lower end of the planar layer.
제7항에 있어서,
상기 컨택홀의 타측에서 상기 뱅크층은 상기 평탄층 및 상기 보호층의 상단보다 상기 컨택홀의 외측으로 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
In clause 7,
On the other side of the contact hole, the bank layer is disposed outside the contact hole beyond the top of the planar layer and the protective layer.
제6항에 있어서,
상기 컨택홀의 일측에서 상기 보호층은 상기 평탄층보다 상기 컨택홀의 내측으로 돌출되어 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 6,
The organic light emitting display device is disposed on one side of the contact hole so that the protective layer protrudes further inside the contact hole than the planar layer.
제9항에 있어서,
상기 컨택홀의 일측에서 상기 뱅크층은 상기 평탄층의 끝단을 덮고, 상기 상기 보호층은 상기 뱅크층보다 상기 컨택홀의 내측으로 돌출되어 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 9,
The bank layer covers an end of the planar layer on one side of the contact hole, and the protective layer is disposed to protrude more inside the contact hole than the bank layer.
제2항에 있어서,
상기 구동소자는 게이트 전극, 소스전극, 드레인전극 및 액티브층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to paragraph 2,
An organic light emitting display device wherein the driving element includes a gate electrode, a source electrode, a drain electrode, and an active layer.
제11항에 있어서,
상기 게이트 전극 하부에서 상기 게이트 전극과 동일한 형상으로 패터닝 되어 배치되는 게이트 절연막을 더 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 11,
The organic light emitting display device further includes a gate insulating film patterned and disposed under the gate electrode to have the same shape as the gate electrode.
제12항에 있어서,
상기 구동소자는 상기 액티브층 상에 상기 게이트 전극이 있는 탑 게이트(top gate) 구조인, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 12,
The organic light emitting display device wherein the driving element has a top gate structure with the gate electrode on the active layer.
제11항에 있어서,
상기 보조전극은 상기 구동소자를 구성하는 상기 소스전극, 상기 드레인 전극 또는 상기 게이트 전극과 동일한 물질로 이루어진, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 11,
The organic light emitting display device wherein the auxiliary electrode is made of the same material as the source electrode, the drain electrode, or the gate electrode constituting the driving element.
제11항에 있어서,
상기 소스전극 및 상기 드레인전극은 3중층 구조인, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 11,
The source electrode and the drain electrode have a triple-layer structure.
제15항에 있어서,
상기 소스전극 및 상기 드레인전극은 몰리티탄(MoTi)으로 이루어진 층, 구리(Cu) 또는 은(Ag)으로 이루어진 층 및 인듐 주석 산화물(ITO) 또는 인듐 주석 산화물(IZO)로 이루어진 층을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to clause 15,
The source electrode and the drain electrode include a layer made of moly titanium (MoTi), a layer made of copper (Cu) or silver (Ag), and a layer made of indium tin oxide (ITO) or indium tin oxide (IZO). Organic light emitting display device.
제2항에 있어서,
상기 기판 상에 배치되고, 공정의 정렬을 위한 정렬마크를 더 포함하는, 유기 발광 표시 장치.
According to paragraph 2,
An organic light emitting display device disposed on the substrate and further comprising an alignment mark for process alignment.
제2항에 있어서,
상기 유기 발광층은 상기 뱅크층 상에 배치되는, 유기 발광 표시 장치.
According to paragraph 2,
The organic light emitting layer is disposed on the bank layer.
제2항에 있어서,
상기 유기 발광층은 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층을 포함할 수 있으며, 적어도 두층의 발광층을 포함하는 다층구조인, 유기 발광 표시 장치.
According to paragraph 2,
The organic light emitting layer may include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer, and has a multilayer structure including at least two light emitting layers.
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