KR102459070B1 - Organic light emitting diode display and manufacturing method of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 따른 균일한 휘도를 갖는 유기 발광 표시 장치가 제공된다. 보조전극이 배치된 기판상에 컨택홀을 구비한 평탄층이 배치된다. 평탄층의 컨택홀은 보조전극과의 접점에서 언더컷 구조를 갖으며, 유기 발광층은 컨택홀의 언더컷 구조에서 불연속 구간을 갖고 공통전극은 언더컷 구조의 내측에서 보조전극과 연결된다. 보조전극과 공통전극을 평탄층의 언더컷 구조를 구비한 컨택홀을 통해 연결함으로서 유기 발광 표시 장치의 균일한 휘도를 유지할 수 있다.An organic light emitting diode display having a uniform luminance according to an embodiment of the present invention is provided. A flat layer having a contact hole is disposed on the substrate on which the auxiliary electrode is disposed. The contact hole of the planarization layer has an undercut structure at the contact point with the auxiliary electrode, the organic light emitting layer has a discontinuous section in the undercut structure of the contact hole, and the common electrode is connected to the auxiliary electrode inside the undercut structure. By connecting the auxiliary electrode and the common electrode through a contact hole having an undercut structure of a planarization layer, a uniform luminance of the organic light emitting diode display may be maintained.

Figure R1020220094890
Figure R1020220094890

Description

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}Organic light emitting display device and manufacturing method thereof

본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 균일한 휘도를 유지하기 위한 보조전극과 공통전극의 연결관계에서, 언더컷 구조를 포함하는 평탄층의 컨택홀을 이용한 보조전극과 공통전극의 새로운 연결 구조를 제공하여, 대형화 및 고해상도가 가능한 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, in a connection relationship between an auxiliary electrode and a common electrode for maintaining uniform luminance, between an auxiliary electrode and a common electrode using a contact hole of a flat layer including an undercut structure. It is to provide an organic light emitting display device capable of increasing in size and high resolution by providing a new connection structure.

유기 발광 표시 장치(OLED)는 자체 발광형 표시 장치로서, 액정 표시 장치(LCD)와는 달리 별도의 광원이 필요하지 않아 경량 박형으로 제조 가능하다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 저전압 구동에 의해 소비 전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 색상 구현, 응답 속도, 시야각, 명암 대비비(contrast ratio; CR)도 우수하여, 차세대 디스플레이 장치로서 연구되고 있다.An organic light emitting display (OLED) is a self-emission type display device, and unlike a liquid crystal display (LCD), it does not require a separate light source, so it can be manufactured in a lightweight and thin form. In addition, the organic light emitting diode display is being studied as a next-generation display device because it is advantageous in terms of power consumption due to low voltage driving, and has excellent color realization, response speed, viewing angle, and contrast ratio (CR).

유기 발광 표시 장치는 복수의 화소 각각에에 배치된 유기 발광층으로 주입되는 전자와 정공에 의해 발광하게 되므로 유기 발광 표시 장치에 인가되는 전류의 균일한 공급이 중요하다.Since the organic light emitting display emits light by electrons and holes injected into the organic light emitting layer disposed in each of a plurality of pixels, it is important to uniformly supply current to the organic light emitting display.

유기 발광 표시 장치의 각 화소는 유기 발광 소자 이외에도, 서로 교차하는 데이터 라인 및 게이트 라인과 이와 연결구조를 갖는 구동소자 등으로 이루어져 있다.Each pixel of the organic light emitting diode display includes, in addition to the organic light emitting diode, a data line and a gate line crossing each other, and a driving element having a connection structure therewith.

구동소자로서 비정질 실리콘으로 반도체층이 구성된 비정질 박막 트랜지스터보다 전자 이동속도가 빠르고, 폴리실리콘으로 반도체층이 구성된 폴리실리콘 박막 트랜지스터보다 제조공정이 단순하고, 제조단가가 상대적으로 낮은 산화물 반도체로 반도체층이 구성된 산화물 박막 트랜지스터 구동소자에 대한 활발한 연구가 진행되고 있다.As a driving element, the electron movement speed is faster than an amorphous thin film transistor composed of a semiconductor layer made of amorphous silicon, a manufacturing process is simpler than a polysilicon thin film transistor composed of a semiconductor layer made of polysilicon, and the semiconductor layer is an oxide semiconductor with a relatively low manufacturing cost. Active research on the configured oxide thin film transistor driving device is in progress.

또한, 유기 발광 표시 장치의 대형화로 인하여 균일한 전류공급을 위한 많은 연구과제들이 진행되고 있으며, 예로서, 보조전극을 구비하는 구조 등에 대한 연구과제가 진행되고 있다.In addition, due to the enlargement of the organic light emitting display device, many research projects for uniform current supply are being conducted, for example, research projects on a structure including an auxiliary electrode, etc. are being conducted.

[관련기술문헌][Related technical literature]

유기전압 발광소자 및 이의 제조방법 (특허출원번호 제 10-2012-0080841호)Organic voltage light emitting device and manufacturing method thereof (Patent Application No. 10-2012-0080841)

유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자를 포함하는 복수의 화소를 포함하여 사용자가 원하는 이미지 등을 유기 발광 소자를 발광시키어 디스플레이 하도록 한다.An organic light emitting diode display includes a plurality of pixels including an organic light emitting device to display an image desired by a user by emitting light to the organic light emitting device.

유기 발광 소자는 두개의 전극과 유기층을 포함한다. 이때 유기층은 유기발광층을 포함하고, 원활한 엑시톤(excition) 형성을 위해, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층 등을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting device includes two electrodes and an organic layer. In this case, the organic layer includes an organic light emitting layer, and for smooth exciton formation, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like may be further included.

두개의 전극 중 하나는 구동소자와 연결된 화소전극(anode)이며 나머지 하나는 공통전극(cathode)일 수 있다.One of the two electrodes may be a pixel electrode (anode) connected to the driving device, and the other may be a common electrode (cathode).

상향 발광 방식의 유기 발광 표시 장치(Top emission)의 경우 공통전극은 일반적으로 투명 전극을 사용하게 되는 데, 투명전극의 경우 높은 저항값을 가지므로 유기 발광 표시 장치의 주변부로부터 중앙부로 갈수록 유기 발광 소자에 공급되는 전류는 투명전극의 전기적 저항의 증가로 인하여 휘도가 낮아지게 된다.In the case of a top emission type organic light emitting display device (Top emission), a common electrode is generally used as a transparent electrode. Since the transparent electrode has a high resistance value, the organic light emitting device goes from the periphery to the center of the organic light emitting display device. The luminance of the current supplied to the transparent electrode is lowered due to an increase in the electrical resistance of the transparent electrode.

중앙부에서 낮아진 휘도를 극복하기 위하여 보조전극을 유기 발광 표시 장치에 배치시키고 공통전극과 연결시키어 패널의 중앙부로의 전기적 저항이 감소될 수 있다.In order to overcome the lowered luminance in the central portion, an auxiliary electrode may be disposed in the organic light emitting display device and connected to the common electrode to reduce electrical resistance to the central portion of the panel.

유기 발광층의 상부에 배치된 공통전극과 유기 발광층의 하부에 배치된 보조전극간의 연결을 위해 격벽과 같은 역테이퍼 구조의 구조물을 사용하여 유기 발광층의 불연속 구간을 유도하여, 공통전극을 유기 발광층의 불연속 구간에 의해 오픈된 보조전극의 부분과 연결할 수 있다. 구체적으로, 보조 전극 상에 역테이퍼 구조의 격벽을 형성하고 유기 발광층 및 공통전극을 증착하면, 공통전극은 유기 발광층에 비해서 스탭 커버리지(step coverage)가 높기에 격벽의 측면을 둘러싸도록 배치 가능하여, 격벽의 하단부에서 보조전극과 전기적으로 연결될 수 있다.A discontinuous section of the organic light emitting layer is induced by using a structure having a reverse tapered structure such as a barrier rib for connection between the common electrode disposed on the upper portion of the organic light emitting layer and the auxiliary electrode disposed under the organic light emitting layer, so that the common electrode is connected to the discontinuous portion of the organic light emitting layer. It can be connected to the part of the auxiliary electrode opened by the section. Specifically, when a barrier rib having a reverse tapered structure is formed on the auxiliary electrode and an organic light emitting layer and a common electrode are deposited, the common electrode has higher step coverage compared to the organic light emitting layer, so it can be arranged to surround the side of the barrier rib, The lower end of the barrier rib may be electrically connected to the auxiliary electrode.

역테이퍼 구조의 격벽은 폴리이미드 계열의 물질을 사용하여 형성할 수 있다. 그러나 이러한 역테이퍼 구조의 격벽은 제조 공정중에 무너지기 쉬우며 유기 발광 표시 장치의 개구율이 낮아질 수 있는 단점이 있다. 또한, 격벽을 형성하기 위한 추가적인 공정이 필요함으로써 유기 발광 표시 장치의 제조 단가가 높아질 수 있는 단점이 있다. 이에 본 발명의 발명자들은 격벽을 사용하지 않으면서 보조전극과 공통전극을 연결할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 보조전극 연결 구조를 발명하였다.The barrier rib having a reverse tapered structure may be formed using a polyimide-based material. However, the barrier ribs having the reverse tapered structure are prone to collapse during a manufacturing process and have disadvantages in that the aperture ratio of the organic light emitting diode display may be lowered. In addition, since an additional process for forming the barrier rib is required, there is a disadvantage in that the manufacturing cost of the organic light emitting diode display may increase. Accordingly, the inventors of the present invention have invented an auxiliary electrode connection structure of an organic light emitting diode display capable of connecting an auxiliary electrode and a common electrode without using a barrier rib.

본 발명의 일 실시예에 따른 해결 과제는 보조전극 상의 평탄층에 언더컷 구조를 포함하는 컨택홀을 배치하여 유기 발광층의 불연속 구간을 유도 하여 보조전극을 오픈시키고, 오픈된 보조전극과 공통전극을 연결하여 고해상도가 가능하고, 대면적이 가능한 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.To solve the problem according to an embodiment of the present invention, a contact hole including an undercut structure is arranged in a flat layer on the auxiliary electrode to induce a discontinuous section of the organic light emitting layer to open the auxiliary electrode, and to connect the open auxiliary electrode and the common electrode Accordingly, an organic light emitting display device capable of high resolution and large area is provided.

본 발명의 일 실시예에 따른 다른 해결 과제는 평탄층의 컨택홀의 내측면에 아웃개스 저감구조를 배치하여 평탄층으로부터 유기 발광층으로 유입될 수 있는 가스를 차단하여 유기 발광 소자의 수명에 대한 신뢰성이 향상된 유기 발광 표시장치를 제공하는 것이다.Another problem to be solved according to an embodiment of the present invention is to provide an outgas reduction structure on the inner surface of the contact hole of the planarization layer to block gas that can flow into the organic light emitting layer from the planarization layer, thereby increasing the reliability of the lifespan of the organic light emitting diode. An object of the present invention is to provide an improved organic light emitting diode display.

본 발명의 일 실시예에 따른 해결 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved according to an embodiment of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판상에 배치된 구동소자와 보조전극상에 유기 발광 소자를 배치하기 위한 평탄층을 포함하는 유기 발광 표시 장치가 제공된다. 보조전극은 구동소자를 구성하는 전극 중 적어도 하나의 전극과 동일한 재질이고, 유기 발광 소자를 구성하는 공통전극이 균일한 전기저항을 갖도록 공통전극은 평탄층의 컨택홀을 통하여 보조전극과 연결되되, 보조전극과 공통전극을 연결하기 위하여 컨택홀은 언더컷 구조를 포함하고, 컨택홀은 평탄층에서 발생하는 가스를 최소화 할 수 있는 아웃개스 저감구조를 포함한다. 언더컷 구조의 컨택홀은 유기 발광층의 불연속 구간을 유도하여 오픈된 보조전극과 공통전극이 전기적으로 연결되도록 한다. 이에 따라 유기 발광 소자에 균일한 전류가 공급되어 대면적의 유기 발광 표시 장치가 구현될 수 있다. 또한, 컨택홀은 평탄막에서 발생가능한 가스를 최소화하여 유기 발광 소자의 수명에 대한 신뢰성이 개선된 유기 발광 표시 장치가 구현될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided an organic light emitting diode display including a driving device disposed on a substrate and a planarization layer for disposing the organic light emitting device on an auxiliary electrode. The auxiliary electrode is made of the same material as at least one of the electrodes constituting the driving device, and the common electrode is connected to the auxiliary electrode through the contact hole of the flat layer so that the common electrode constituting the organic light emitting device has a uniform electrical resistance, In order to connect the auxiliary electrode and the common electrode, the contact hole includes an undercut structure, and the contact hole includes an outgas reduction structure capable of minimizing the gas generated in the planarization layer. The contact hole of the undercut structure induces a discontinuous section of the organic light emitting layer so that the open auxiliary electrode and the common electrode are electrically connected. Accordingly, a uniform current is supplied to the organic light emitting diode, so that an organic light emitting diode display having a large area can be realized. In addition, since the contact hole minimizes gas that may be generated in the flat layer, an organic light emitting diode display having improved reliability for the lifespan of the organic light emitting diode may be realized.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 구동소자는 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극 및 액티브층을 포함하고, 보조전극은 구동소자를 구성하는 전극 중 적어도 하나의 전극과 동일한 재질인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the driving device includes a gate electrode, a source electrode, a drain electrode, and an active layer, and the auxiliary electrode is made of the same material as at least one of the electrodes constituting the driving device.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 유기 발광 표시 장치는 기판과 보조전극 사이에 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the organic light emitting diode display further includes an insulating layer between the substrate and the auxiliary electrode.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 평탄층은 서로 다른 식각용매에 반응하는 적어도 두개의 층으로 구성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.According to another aspect of the present invention, the planarization layer comprises at least two layers reacting to different etching solvents.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 평탄층은 식각율이 상이한 적어도 두개의 층으로 구성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.According to another aspect of the present invention, the organic light emitting diode display device, wherein the planarization layer is composed of at least two layers having different etch rates.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 평탄층은 구동소자를 보호하는 보호막(Passivation)과 평탄막을 포함하고, 컨택홀은 보호막 및 평탄막에 배치된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the planarization layer includes a passivation layer and a planarization layer for protecting the driving device, and the contact hole is disposed in the passivation layer and the planarization layer.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 컨택홀은 보호막에 배치된 제1 컨택홀 및 평탄막에 배치된 제2 컨택홀을 포함하고, 제1 컨택홀과 제2 컨택홀은 부분적으로 오버랩되어 보조전극을 오픈하면서 언더컷 구조를 구성하는 것을 특징으로 한다.According to still another feature of the present invention, the contact hole includes a first contact hole disposed on the passivation layer and a second contact hole disposed on the flat layer, and the first contact hole and the second contact hole partially overlap to form an auxiliary electrode. It is characterized in that it constitutes an undercut structure while opening.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 컨택홀의 내측면 일부는 경사면인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, a portion of the inner surface of the contact hole is characterized in that the inclined surface.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 유기 발광 소자는 유기 발광층을 포함하고 컨택홀의 언더컷 구조에서 불연속인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the organic light emitting device includes an organic light emitting layer and is discontinuous in the undercut structure of the contact hole.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 유기 발광 소자는 화소전극을 포함하고 아웃개스 저감구조는 화소전극과 동일한 재질인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the organic light emitting device includes a pixel electrode, and the outgas reduction structure is made of the same material as the pixel electrode.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 아웃개스 저감구조는 컨택홀의 내측을 커버하도록 배치된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the outgas reduction structure is arranged to cover the inside of the contact hole.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 유기 발광 표시 장치 제조 방법은 기판상에 구동소자 및 보조전극을 형성하는 단계, 구동소자 및 보조전극상에 구동소자 보호막을 형성하는 단계, 구동소자 보호막에 제1 컨택홀을 형성하여 보조전극을 오픈하는 단계, 구동소자 보호막상에 평탄막을 형성하는 단계, 평탄막에 제2 컨택홀을 형성하여 보조전극 및 구동소자 보호막의 일부를 오픈하는 단계, 평탄막상에 구동소자와 연결된 화소전극을 형성하는 단계, 제2 컨택홀에 아웃개스 저감구조를 형성하는 단계, 제2 컨택홀에 의해 오픈된 구동소자 보호막을 식각하는 단계, 화소전극상에 유기 발광층을 형성하는 단계 및 유기 발광층 상에 공통전극을 형성하는 단계를 포함한다. 화소전극상에 유기 발광층 및 공통전극을 형성하면, 언더컷 구조에 의해 유기 발광층은 불연속 구간을 갖게 되고 보조전극과 공통전극이 전기적으로 연결되게 되어 유기 발광 소자에 안정적인 전류를 공급할 수 있는 유기 발광 표시 장치가 제공될 수 있다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention is provided. The organic light emitting display manufacturing method includes the steps of forming a driving element and an auxiliary electrode on a substrate, forming a driving element protective film on the driving element and the auxiliary electrode, and forming a first contact hole in the driving element protective film to open the auxiliary electrode. forming a flat layer on the driving device passivation layer, forming a second contact hole in the flat layer to open a part of the auxiliary electrode and the driving device passivation layer, forming a pixel electrode connected to the driving device on the flat layer , forming an outgas reducing structure in the second contact hole, etching the driving device protective film opened by the second contact hole, forming an organic light emitting layer on the pixel electrode, and forming a common electrode on the organic light emitting layer including the steps of When the organic light emitting layer and the common electrode are formed on the pixel electrode, the organic light emitting layer has a discontinuous section due to the undercut structure and the auxiliary electrode and the common electrode are electrically connected to each other to supply a stable current to the organic light emitting diode display. may be provided.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 제2 컨택홀에 의해 오픈된 구동소자 보호막을 식각하는 단계는 평탄막의 하부까지 침식하여 언더컷 구조를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the step of etching the driving device passivation layer opened by the second contact hole includes the step of eroding the lower portion of the planarization layer to form an undercut structure.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 유기 발광층 상에 공통전극을 형성하는 단계는 언더컷 구조의 내측에서 공통전극과 보조전극이 연결되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the step of forming the common electrode on the organic light emitting layer is characterized in that it includes the step of connecting the common electrode and the auxiliary electrode inside the undercut structure.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예에 따라 공통전극의 전류를 균일하게 하도록 보조전극과 공통전극을 전기적으로 연결하는데 있어 평탄층의 컨택홀을 통한 연결구조를 구비함으로써 유기 발광 표시 장치의 휘도 균일성을 향상시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the luminance uniformity of the organic light emitting diode display can be improved by providing a connection structure through the contact hole of the flat layer in electrically connecting the auxiliary electrode and the common electrode to make the current of the common electrode uniform. have.

또한, 컨택홀에 아웃개스 저감구조를 배치함으로써 유기 발광 소자의 수명 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, life reliability of the organic light emitting diode may be improved by disposing the outgas reducing structure in the contact hole.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

이상에서 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 효과에 기재한 발명의 내용이 청구항의 필수적인 특징을 특정하는 것은 아니므로, 청구항의 권리범위는 발명의 내용에 기재된 사항에 의하여 제한되지 않는다.Since the content of the invention described in the problems to be solved above, the means for solving the problems, and the effects do not specify the essential characteristics of the claims, the scope of the claims is not limited by the matters described in the content of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택홀을 구비한 평탄층을 통해 유기 발광 소자의 공통전극과 보조전극을 연결하여 유기 발광 소자에 균일한 전류를 유지할 수 있는 유기 발광 표시 장치에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2a내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자의 공통전극과 보조전극을 연결하여 균일한 휘도를 유지할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.1 is a schematic view of an organic light emitting diode display capable of maintaining a uniform current in an organic light emitting device by connecting a common electrode and an auxiliary electrode of an organic light emitting device through a planarization layer having a contact hole according to an embodiment of the present invention; It is a cross section.
2A to 2F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display capable of maintaining uniform luminance by connecting a common electrode and an auxiliary electrode of an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다. The shapes, sizes, proportions, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining the embodiments of the present invention are illustrative and the present invention is not limited to the illustrated matters. Like reference numerals refer to like elements throughout. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. When 'including', 'having', 'consisting', etc. mentioned in this specification are used, other parts may be added unless 'only' is used. When a component is expressed in the singular, the case in which the plural is included is included unless specifically stated otherwise.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the components, it is interpreted as including an error range even if there is no separate explicit description.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In the case of a description of the positional relationship, for example, when the positional relationship of two parts is described as 'on', 'on', 'on', 'beside', etc., 'right' Alternatively, one or more other parts may be positioned between two parts unless 'directly' is used.

제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although the first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, the first component mentioned below may be the second component within the spirit of the present invention.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each feature of the various embodiments of the present invention may be partially or wholly combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each of the embodiments may be implemented independently of each other or may be implemented together in a related relationship. may be

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택홀을 포함하여 보조전극과 공통전극의 연결구조에 대해 설명한다.Hereinafter, a connection structure of the auxiliary electrode and the common electrode including the contact hole according to an embodiment of the present invention will be described.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택홀을 구비한 평탄층을 통해 유기 발광 소자의 공통전극과 보조전극을 연결하여 유기 발광 소자에 균일한 전류를 유지 할 수 있는 유기 발광 표시 장치에 대한 개략적인 단면도이다.1 is a diagram of an organic light emitting diode display capable of maintaining a uniform current in an organic light emitting device by connecting a common electrode and an auxiliary electrode of an organic light emitting device through a planarization layer having a contact hole according to an embodiment of the present invention; It is a schematic cross-sectional view.

도 1을 참조하면 유기 발광 표시 장치(100)는 기판(110)상에 배치된 구동소자(120) 및 보조전극(130)을 포함한다. 기판(110)은 유리 기판일 수 있으며 폴리이미드계열의 플렉서블한 물질로 이루어진 기판일 수 있다. 도 1에 도시되지는 않았으나, 유기 발광 표시 장치(100)는 수분과 산소의 침투를 최소화 하기 위해 기판(110) 상에 배치되는 베리어층을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , the organic light emitting diode display 100 includes a driving device 120 and an auxiliary electrode 130 disposed on a substrate 110 . The substrate 110 may be a glass substrate or a substrate made of a polyimide-based flexible material. Although not shown in FIG. 1 , the organic light emitting diode display 100 may further include a barrier layer disposed on the substrate 110 to minimize penetration of moisture and oxygen.

구동소자(120)는 산화물 반도체를 사용한 산화물 박막 트랜지스터일 수 있으며 폴리실리콘을 포함한 박막 트랜지스터일수 있으나 이에 한정되지는 않는다.The driving device 120 may be an oxide thin film transistor using an oxide semiconductor or a thin film transistor including polysilicon, but is not limited thereto.

구동소자(120)는 게이트 전극(121)을 포함하고, 게이트 전극(121)을 절연하기 위한 절연막(122)이 게이트 전극(121) 상에 배치되고, 절연막(122)상에 액티브 층(123)이 배치된다.The driving device 120 includes a gate electrode 121 , an insulating layer 122 for insulating the gate electrode 121 is disposed on the gate electrode 121 , and an active layer 123 is formed on the insulating layer 122 . this is placed

액티브층(123)상에 소스/드레인 전극(124)이 배치되고 소스/드레인 전극(124)사이에 ESL(Etch stopper layer, 125)이 배치된다. A source/drain electrode 124 is disposed on the active layer 123 , and an etch stopper layer (ESL) 125 is disposed between the source/drain electrodes 124 .

구동소자(120)상에는 구동소자(120)가 형성된 이후에 이어지는 공정 등의 과정에서 구동소자(120)가 손상되는 것을 보호하기 위한 보호막(141)이 배치되고 보호막(141)상에 평탄막(142)이 배치된다. 또한, 평탄막(142)상에 유기 발광 소자(150)이 배치된다.A protective film 141 is disposed on the driving element 120 to protect the driving element 120 from being damaged in a process such as a subsequent process after the driving element 120 is formed, and a flat film 142 is disposed on the protective film 141 . ) is placed. In addition, the organic light emitting device 150 is disposed on the flat layer 142 .

유기 발광 소자(150)는 평탄막(142) 상에 배치된 화소전극(151), 유기 발광층(152) 및 공통전극(153)을 포함하며, 화소전극(151)은 구동소자(120)와 전기적으로 연결된다.The organic light emitting device 150 includes a pixel electrode 151 , an organic light emitting layer 152 , and a common electrode 153 disposed on the flat layer 142 , and the pixel electrode 151 is electrically connected to the driving device 120 . is connected to

유기 발광층(152)은 화소전극(151)과 공통전극(153)으로부터 주입되는 전자와 정공에 의해 발광을 하며, 원활한 엑시톤(excition) 형성을 위해 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층을 포함할 수 있으며, 다층구조인 유기 발광층일 수 있다.The organic light emitting layer 152 emits light by electrons and holes injected from the pixel electrode 151 and the common electrode 153, and a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer for smooth exciton formation. and may be an organic light emitting layer having a multilayer structure.

화소전극(151)과 공통전극(153) 각각은 애노드(anode) 전극 또는 캐소드(cathod) 전극일 수 있으며, 화소전극(151)과 공통전극(153) 중 하나는 유기 발광층(152)에서 발광되는 빛을 투과할 수 있는 투명전극일 수 있고, 다른 하나는 일 방향으로 발광을 유도하도록 반사전극일 수 있다.Each of the pixel electrode 151 and the common electrode 153 may be an anode electrode or a cathode electrode, and one of the pixel electrode 151 and the common electrode 153 emits light from the organic light emitting layer 152 . It may be a transparent electrode that can transmit light, and the other one may be a reflective electrode to induce light emission in one direction.

화소전극(151)의 주변에 뱅크층(190)이 배치되어 화소를 구분지을 수 있다.A bank layer 190 is disposed around the pixel electrode 151 to distinguish the pixels.

한편, 보조전극(130)은 구동소자(120)을 구성하는 게이트전극(121) 또는 소스/드레인 전극(124)중에서 선택된 전극과 동일한 재질일 수 있다.Meanwhile, the auxiliary electrode 130 may be made of the same material as the electrode selected from the gate electrode 121 or the source/drain electrode 124 constituting the driving device 120 .

평탄층(140)에 보조전극(130)을 오픈하는 컨택홀(160)이 배치된다. 평탄층(140)은 보호막(141)과 평탄막(142)를 포함하는 다층구조일 수 있으며, 평탄층(140)은 당업자의 설계에 따라 다양하게 구성될 수 있다.A contact hole 160 for opening the auxiliary electrode 130 is disposed in the planarization layer 140 . The planarization layer 140 may have a multilayer structure including a passivation layer 141 and a planarization layer 142 , and the planarization layer 140 may be configured in various ways according to a design of those skilled in the art.

평탄층(140)에 포함된 보호막(141)과 평탄막(142)은 식각율이 다른 재질일 수 있다. 즉, 보호막(141)과 평탄막(142)은 동일한 식각용매에 대해 식각율이 상이한 물질로 이루어질 수 있다. 또는, 보호막(141)과 평탄막(142)은 서로 다른 식각용매에 반응하는 재질일 수 있다. 즉, 보호막(141)이 반응하는 식각용매에 평탄막(142)은 반응하지 않을 수 있고, 반대로 평탄막(142)이 반응하는 식각용매에 보호막(141)은 반응하지 않을 수 있다.The passivation layer 141 and the planarization layer 142 included in the planarization layer 140 may be made of materials having different etch rates. That is, the passivation layer 141 and the planarization layer 142 may be formed of materials having different etch rates with respect to the same etching solvent. Alternatively, the passivation layer 141 and the planarization layer 142 may be made of materials that react with different etching solvents. That is, the passivation layer 141 may not react with the etching solvent to which the passivation layer 141 reacts, and conversely, the passivation layer 141 may not react with the etching solvent to which the passivation layer 142 reacts.

컨택홀(160)은 제1 컨택홀(161)과 제2 컨택홀(162)을 포함한다. 제1 컨택홀(161)은 보호막(141)에 배치되고, 제2 컨택홀(162)은 평탄막(142)에 배치된다. 제1 컨택홀(161)은 제2 컨택홀(162) 보다 넓게 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 컨택홀(161)의 일 측면은 제2 컨택홀의 일 측면보다 내측에 위치하여 제1 컨택홀(161)의 일 측면은 평탄막(142) 아래에 배치될 수 있다.The contact hole 160 includes a first contact hole 161 and a second contact hole 162 . The first contact hole 161 is disposed in the passivation layer 141 , and the second contact hole 162 is disposed in the flat layer 142 . The first contact hole 161 may be disposed wider than the second contact hole 162 . Specifically, one side of the first contact hole 161 may be located inside the one side of the second contact hole, so that one side of the first contact hole 161 may be disposed under the flat layer 142 .

상술한 바와 같이 제2 컨택홀(162)가 제1 컨택홀(161)보다 넓게 배치되어 언더컷 구조(170)을 구성하게 되고, 언더컷 구조(170)를 포함하는 컨택홀(160)은 보조전극(130)을 오픈시키고 언더컷 구조(170)에서 유기 발광층(152)이 불연속 구간을 갖게 된다.As described above, the second contact hole 162 is disposed wider than the first contact hole 161 to constitute the undercut structure 170 , and the contact hole 160 including the undercut structure 170 is formed by the auxiliary electrode ( 130 , and the organic emission layer 152 has a discontinuous section in the undercut structure 170 .

공통전극(153)은 유기 발광층(152)보다 비교적 스탭 커버리지(step coverage)가 높은 재질일 수 있으며, 이로 인해 언더컷 구조(170)에서 유기 발광층(152)는 불연속 구간을 포함하게 되고, 공통전극(153)은 보조전극(130)과 전기적으로 연결된다.The common electrode 153 may be made of a material having a relatively higher step coverage than the organic light emitting layer 152 , so that in the undercut structure 170 , the organic light emitting layer 152 includes a discontinuous section, and the common electrode ( 153 is electrically connected to the auxiliary electrode 130 .

한편, 평탄층(140)에 포함된 평탄막(142)은 제2 컨택홀(162)에 의해 오픈되게 되면, 시간이 지남에 따라 평탄막(142)에 포함된 산소, 수소 또는 수분이 제2 컨택홀(162)의 내측면에서 유기 발광층(152)으로 침투될 수 있다. 따라서, 아웃개스 저감구조(180)가 컨택홀(160)의 내측면에 배치되어 아웃개스를 최소화할 수 있다.On the other hand, when the planarization layer 142 included in the planarization layer 140 is opened by the second contact hole 162 , oxygen, hydrogen, or moisture included in the planarization layer 142 is released into the second layer over time. The inner surface of the contact hole 162 may penetrate into the organic emission layer 152 . Accordingly, the outgas reduction structure 180 is disposed on the inner surface of the contact hole 160 to minimize the outgas.

아웃개스 저감구조(180)은 컨택홀(160)의 내측면을 커버하도록 배치되되, 컨택홀(160)에 배치된 언더컷 구조(170)이 오픈되도록 컨택홀(160)의 일 측면을 부분적으로 커버하여 배치된다.The outgas reduction structure 180 is disposed to cover the inner surface of the contact hole 160 , and partially covers one side of the contact hole 160 so that the undercut structure 170 disposed in the contact hole 160 is opened. to be placed

다시 설명하자면, 아웃개스 저감구조(180)는 언더컷 구조(170)가 배치된 컨택홀(160)의 내측면을 커버하도록 배치되되, 제2 컨택홀(162)의 내측면을 커버하도록 배치되며 언더컷 구조(170)가 배치되지 않은 컨택홀(160)의 내측면은 제1 컨택홀(161)도 커버하도록 배치된다.In other words, the outgas reduction structure 180 is disposed to cover the inner surface of the contact hole 160 in which the undercut structure 170 is disposed, and is disposed to cover the inner surface of the second contact hole 162 and the undercut structure is disposed to cover the inner surface of the second contact hole 162 . The inner surface of the contact hole 160 on which the structure 170 is not disposed is disposed to also cover the first contact hole 161 .

또한 제1 컨택홀(161) 및 제2 컨택홀(162)을 포함하는 컨택홀(160)은 공통전극(153)이 언더컷 구조(170)에 연장되어 배치될 수 있도록 기판(110)을 기준으로 98도이내의 경사를 갖는 컨택홀(160)일 수 있다. 이 때, 아웃개스 저감구조(180)는 평탄막(142)에서 발생 가능한 가스를 더욱 최소화 하기 위하여 컨택홀(160)의 상단을 덮도록 배치될 수 있다.In addition, the contact hole 160 including the first contact hole 161 and the second contact hole 162 is formed with respect to the substrate 110 so that the common electrode 153 can be extended and disposed in the undercut structure 170 . The contact hole 160 may be inclined within 98 degrees. In this case, the outgas reduction structure 180 may be disposed to cover the upper end of the contact hole 160 in order to further minimize the gas that may be generated in the flat film 142 .

도 2a내지 도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 소자의 공통전극과 보조전극을 연결하여 균일한 휘도를 유지할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.2A to 2F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display capable of maintaining uniform luminance by connecting a common electrode and an auxiliary electrode of an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2a를 참조하면, 기판(210) 상에 구동소자(220)을 형성한다. 구동소자(220)는 게이트 전극(221)을 형성하고 절연막(222)을 형성한 후 반도체층인 액티브층(223)을 형성한뒤 소스/드레인 전극(224)를 형성하는데, 소스/드레인 전극(224)를 분리하기 위해 ESL(Etch stopper layer, 225)을 사용한다.Referring to FIG. 2A , a driving device 220 is formed on a substrate 210 . In the driving device 220, a gate electrode 221 is formed, an insulating film 222 is formed, an active layer 223 that is a semiconductor layer is formed, and then a source/drain electrode 224 is formed. 224), an ESL (Etch stopper layer, 225) is used.

한편, 기판(210)상에 보조전극(230)을 형성하는데 구동소자(220)를 구성하는 게이트 전극(221) 또는 소스/드레인 전극(224)과 동일한 재질을 사용하여 동시에 형성할 수 있다.Meanwhile, in forming the auxiliary electrode 230 on the substrate 210 , the same material as the gate electrode 221 or the source/drain electrode 224 constituting the driving device 220 may be used and simultaneously formed.

도 2b를 참조하면, 구동소자(220)를 보호하는 보호막(241)을 형성하되, 보조전극(230)을 오픈하도록 제1 컨택홀(261)을 보호막(241)에 형성한다.Referring to FIG. 2B , a passivation layer 241 protecting the driving device 220 is formed, but a first contact hole 261 is formed in the passivation layer 241 to open the auxiliary electrode 230 .

보호막(241)에 제1 컨택홀(261)을 형성하는 단계는 건식(Dry) 또는 습식(Wet) 에치(Etch)공정 또는 플라즈마 에치(Plasma Etch)등의 공정을 사용하여 제1 컨택홀(261)을 형성할 수 있다.The step of forming the first contact hole 261 in the passivation layer 241 is performed by using a dry or wet etch process or a plasma etch process, such as the first contact hole 261 . ) can be formed.

도 2c를 참조하면, 보호막(241)상에 제2 컨택홀(262)을 포함하는 평탄막(242)을 형성하여 평탄층(240)을 형성한다.Referring to FIG. 2C , a planarization layer 240 is formed by forming a planarization layer 242 including a second contact hole 262 on the passivation layer 241 .

평탄막(241)은 하나의 단일 층 또는 복수의 층일 수 있으며 보호막(241)과 상이한 식각율을 갖는 재질 또는 서로 다른 용매에 반응하여 식각되는 재질을 선택하여 형성할 수 있다.The planarization layer 241 may be a single layer or a plurality of layers, and may be formed by selecting a material having an etch rate different from that of the passivation layer 241 or a material that is etched in response to different solvents.

제1 컨택홀(261)과 오버랩하여 제2 컨택홀(262)를 형성하여 보조전극(230)이 오픈되도록 하되 제1 컨택홀(261)의 일 측면보다 넓도록 형성하여 보호막(241)의 일부가 오픈되도록 형성한다.A second contact hole 262 is formed to overlap the first contact hole 261 so that the auxiliary electrode 230 is opened, but is formed to be wider than one side of the first contact hole 261 to form a part of the protective film 241 . is formed to be open.

제1 컨택홀(261)과 제2 컨택홀(262)로 구성되는 컨택홀(260)은 일 측면이 기판(210)을 기준으로 89도 이내의 경사를 갖도록 형성될 수 있으며 이에 대한 자세한 설명은 후술하도록 한다.The contact hole 260 composed of the first contact hole 261 and the second contact hole 262 may be formed so that one side has an inclination of within 89 degrees with respect to the substrate 210, and a detailed description thereof is given below. to be described later.

도 2d를 참조하면, 평탄막(242)상에 화소전극(251) 및 아웃개스 저감구조(280)를 형성한다.Referring to FIG. 2D , the pixel electrode 251 and the outgas reduction structure 280 are formed on the flat film 242 .

화소전극(251)은 빛을 반사하는 재질의 금속 전극일 수 있으며 아웃 개스 저감구조(280)은 화소전극(251)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.The pixel electrode 251 may be a metal electrode made of a material that reflects light, and the outgas reduction structure 280 may be formed of the same material as the pixel electrode 251 .

아웃개스 저감구조(280)는 컨택홀(260)의 내측면을 덮도록 배치하되, 제2 컨택홀(262)에 의해 오픈된 보호막(241)을 덮지 않도록 배치한다.The outgas reduction structure 280 is disposed to cover the inner surface of the contact hole 260 , but not to cover the passivation layer 241 opened by the second contact hole 262 .

도 2e를 참조하여 설명하면, 제2 컨택홀(262)에 의해 오픈된 보호막(241)을 건식 또는 습식 에칭의 공정을 통하여 언더컨 구조(270)를 형성한다.Referring to FIG. 2E , the undercon structure 270 is formed on the passivation layer 241 opened by the second contact hole 262 through a dry or wet etching process.

이어서, 도 2f에 도시된 바와 같이 유기 발광층(252) 및 공통전극(253)을 형성하는데, 유기 발광층(252)은 언더컷 구조(270)의 내측까지 형성되지 못하게 되고 공통전극(253)은 유기 발광층(252)에 비해 스탭 커버리지가 높아 언더컷 구조(270)의 내측에서 오픈된 보조전극(230)과 연결된다.Subsequently, as shown in FIG. 2F , an organic light emitting layer 252 and a common electrode 253 are formed. The organic light emitting layer 252 cannot be formed to the inner side of the undercut structure 270 and the common electrode 253 is an organic light emitting layer. The step coverage is higher than that of 252 , and thus is connected to the auxiliary electrode 230 opened from the inside of the undercut structure 270 .

공통전극(253)이 언더컷 구조(270)내부에서 보조전극과 원활이 연결되도록, 컨택홀(260)의 내측면중 일측면은 기판(210)을 기준으로 89도 이내의 경사를 갖을 수 있다.One side of the inner surface of the contact hole 260 may have an inclination of within 89 degrees with respect to the substrate 210 so that the common electrode 253 is smoothly connected to the auxiliary electrode in the undercut structure 270 .

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be construed by the claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

100, 200: 유기 발광 표시 장치
110, 210: 기판
120, 220: 구동소자
130, 230: 보조전극
140, 240: 평탄층
150, 250: 유기 발광 소자
160, 260: 컨택홀
170, 270: 언더컷 구조
180, 280: 아웃개스 저감구조100, 200: organic light emitting display device
110, 210: substrate
120, 220: driving element
130, 230: auxiliary electrode
140, 240: flat layer
150, 250: organic light emitting device
160, 260: contact hole
170, 270: undercut structure
180, 280: Outgas reduction structure

Claims (14)

기판 상에 배치된 구동소자와 보조전극 상의 평탄층;
상기 평탄층 상의 유기 발광 소자;
상기 평탄층에 배치되는 언더컷 구조; 및
상기 평탄층의 측면의 적어도 일부를 커버하도록 배치되는 아웃개스 저감구조를 포함하고,
상기 유기 발광 소자의 공통전극이 상기 언더컷 구조를 가지는 평탄층에 배치된 컨택홀을 통해 상기 보조전극과 연결되는, 유기 발광 표시 장치.a planarization layer on the driving device and the auxiliary electrode disposed on the substrate;
an organic light emitting device on the planarization layer;
an undercut structure disposed on the planarization layer; and
and an outgas reduction structure arranged to cover at least a portion of a side surface of the flat layer,
and a common electrode of the organic light emitting device is connected to the auxiliary electrode through a contact hole disposed in the flat layer having the undercut structure. 제1 항에 있어서,
상기 평탄층은 상기 구동소자를 보호하는 보호막과 상기 보호막 상에 배치되는 평탄막을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The flattening layer includes a passivation layer protecting the driving element and a planarizing layer disposed on the passivation layer. 제2 항에 있어서,
상기 아웃개스 저감구조는 상기 평탄막의 적어도 상면 일부를 덮는, 유기 발광 표시 장치.3. The method of claim 2,
and the outgas reduction structure covers at least a portion of an upper surface of the flat layer. 제1 항에 있어서,
상기 공통전극은 상기 컨택홀을 통해 상기 보조전극과 직접 연결되는, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
and the common electrode is directly connected to the auxiliary electrode through the contact hole. 제1 항에 있어서,
상기 구동소자는 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극 및 액티브층을 포함하고,
상기 보조전극은 상기 구동소자를 구성하는 전극 중 적어도 하나의 전극과 동일한 재질로 구성되는, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The driving device includes a gate electrode, a source electrode, a drain electrode and an active layer,
and the auxiliary electrode is made of the same material as at least one of the electrodes constituting the driving element. 제1 항에 있어서,
상기 기판과 상기 보조전극 사이에 배치되는 절연막을 더 포함하는, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
and an insulating layer disposed between the substrate and the auxiliary electrode. 제2 항에 있어서,
상기 컨택홀은 상기 보호막에 배치된 제1 컨택홀 및 상기 평탄막에 배치된 제2 컨택홀을 포함하는, 유기 발광 표시 장치.3. The method of claim 2,
The contact hole includes a first contact hole disposed on the passivation layer and a second contact hole disposed on the flat layer. 제7 항에 있어서,
상기 제1 컨택홀과 상기 제2 컨택홀은 부분적으로 오버랩되어 상기 보조전극을 오픈하면서 상기 언더컷 구조를 구성하는, 유기 발광 표시 장치.8. The method of claim 7,
and the first contact hole and the second contact hole partially overlap to form the undercut structure while opening the auxiliary electrode. 제7 항에 있어서,
상기 제1 컨택홀의 일 측면은 상기 제2 컨택홀의 일 측면보다 내측에 위치하여 상기 제1 컨택홀의 일 측면은 상기 평탄막의 아래에 배치되는, 유기 발광 표시 장치.8. The method of claim 7,
One side of the first contact hole is located inside the one side of the second contact hole, and the one side of the first contact hole is disposed under the flat layer. 제1 항에 있어서,
상기 컨택홀의 내측면 일부는 경사면인, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
A portion of an inner surface of the contact hole is an inclined surface. 제1 항에 있어서,
상기 유기 발광 소자는 유기 발광층을 포함하고, 상기 컨택홀 내의 상기 언더컷 구조에서 불연속인, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The organic light emitting diode includes an organic light emitting layer and is discontinuous in the undercut structure in the contact hole. 제1 항에 있어서,
상기 유기 발광 소자는 화소전극을 포함하고, 상기 아웃개스 저감구조는 상기 화소전극과 동일한 층에 동일한 재질로 구성되는, 유기 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The organic light emitting diode includes a pixel electrode, and the outgas reduction structure is formed of the same material on the same layer as the pixel electrode. 제11 항에 있어서,
상기 유기 발광층은 상기 컨택홀 내의 상기 아웃개스 저감구조의 적어도 일부를 커버하도록 배치되는, 유기 발광 표시 장치.12. The method of claim 11,
The organic light emitting layer is disposed to cover at least a portion of the outgas reduction structure in the contact hole. 제13 항에 있어서,
상기 공통전극은 상기 컨택홀 내의 상기 유기 발광층을 커버하도록 배치되는, 유기 발광 표시 장치.14. The method of claim 13,
and the common electrode is disposed to cover the organic light emitting layer in the contact hole.
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