KR100685840B1 - Organic electroluminescence device and method for fabricating of the same - Google Patents

Organic electroluminescence device and method for fabricating of the same Download PDF

Info

Publication number
KR100685840B1
KR100685840B1 KR1020050119691A KR20050119691A KR100685840B1 KR 100685840 B1 KR100685840 B1 KR 100685840B1 KR 1020050119691 A KR1020050119691 A KR 1020050119691A KR 20050119691 A KR20050119691 A KR 20050119691A KR 100685840 B1 KR100685840 B1 KR 100685840B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
electrode
film
organic
planarization
Prior art date
Application number
KR1020050119691A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박문희
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성에스디아이 주식회사 filed Critical 삼성에스디아이 주식회사
Priority to KR1020050119691A priority Critical patent/KR100685840B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100685840B1 publication Critical patent/KR100685840B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/844Encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/124Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

An organic electroluminescence device and a method for fabricating the same are provided to secure a superior moisture-transmission preventing effect by covering a second electrode with an inorganic layer. In an organic electroluminescence device, a semiconductor layer(320) is placed on a substrate(300). A gate insulation layer(330) is placed on the semiconductor layer(320). A gate electrode(340) is placed on the gate insulation layer(330). An insulation interlayer(350) is placed on the gate electrode(340). Source/drain electrodes(351,352) are placed on the insulation interlayer(350). A planarization layer(360) is placed on the insulation interlayer(350) and the source/drain electrodes(351,352). A first electrode(371) is placed on the planarization layer(360). A pixel defining layer(375) is placed on the planarization layer(360) and the first electrode(371), and exposes a part of the first electrode(371). An organic layer(380) is placed on the exposed first electrode(371). A second electrode is placed on the pixel defining layer(375) and the organic layer(380), covers the entire sides of the pixel defining layer(375) and the planarization layer(360), and is connected to the insulation interlayer(350) or the gate insulation layer(350). An inorganic layer is placed on the second electrode, covers the second electrode, and is connected to the insulation interlayer(350) or the gate insulation layer(330).

Description

유기전계발광소자 및 그 제조방법{Organic Electroluminescence Device And Method For Fabricating Of The Same}Organic electroluminescent device and method for manufacturing same {Organic Electroluminescence Device And Method For Fabricating Of The Same}

도 1은 종래 유기전계발광소자의 단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device.

도 2a 및 2b는 유기전계발광소자의 화소축소현상을 나타낸 평면도.2A and 2B are plan views showing pixel reductions of organic light emitting diodes;

도 3 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 유기전계발광소자의 단면도.3 to 6 are cross-sectional views of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

<도면 주요부호에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Major Symbols in Drawings>

100 : 기판 110 : 버퍼층100 substrate 110 buffer layer

120 : 반도체층 130 : 게이트 절연막120 semiconductor layer 130 gate insulating film

140 : 게이트 전극 150 : 층간 절연막140: gate electrode 150: interlayer insulating film

151,152 : 소스/드레인 전극151,152: source / drain electrodes

160 : 평탄화막 171 : 제 1 전극160: planarization film 171: first electrode

175 : 화소정의막 180 : 유기막층175: pixel definition layer 180: organic layer

190 : 제 2 전극 200 : 무기막층190: second electrode 200: inorganic film layer

본 발명은 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 외부로부터 수분 및 산소를 효과적으로 차단할 수 있는 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting display device and a method for manufacturing the same that can effectively block moisture and oxygen from the outside.

일반적으로 유기전계발광소자는 형광성 유기막층에 전류를 흘려주면 전자와 정공이 유기막층에서 재합하면서 빛을 발생하는 현상을 이용한 자발광형 표시소자이다. 이러한 유기전계발광소자는 구조적으로 박형, 경량으로 부품이 간소하고, 제조공정이 간단한 장점을 갖는다. 또한, 광시야각 확보, 완벽한 동영상과 고색순도구현으로 고화질 표시소자에 적용가능하며, 저소비전력, 저전압 직류전압구동으로 모바일(Mobile)소자에 적합한 전기적 특성을 갖는다.In general, an organic light emitting display device is a self-luminous display device using a phenomenon that light is generated when electrons and holes recombine in an organic film layer when a current flows through a fluorescent organic film layer. Such an organic light emitting display device is structurally thin, lightweight, and has a simple component and a simple manufacturing process. In addition, it is possible to apply to high-definition display device with wide viewing angle, perfect video and high color display. It has low power consumption, low voltage DC voltage driving, and has suitable electrical characteristics for mobile devices.

이러한 유기전계발광소자의 유기막층은 대기중의 수분 및 산소에 의하여 쉽게 열화되어 소자의 특성이 저하되게 된다. 최근에는 유기막층이 쉽게 열화되는 것을 방지하기 위한 방법이 모색되고 있다.The organic layer of the organic light emitting device is easily deteriorated by moisture and oxygen in the air, thereby deteriorating the characteristics of the device. Recently, a method for preventing the organic film layer from easily deteriorating has been sought.

도 1은 종래 유기전계발광소자의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device.

도 1을 참조하면, 기판(100) 상에 버퍼층(110)을 형성한다. 상기 버퍼층(110) 상에 반도체층(120)을 형성하고, 상기 기판(100) 전면에 게이트 절연막(130)을 형성하고, 상기 게이트 절연막(130) 상에 게이트 전극(140)을 형성한다. Referring to FIG. 1, a buffer layer 110 is formed on a substrate 100. The semiconductor layer 120 is formed on the buffer layer 110, the gate insulating layer 130 is formed on the entire surface of the substrate 100, and the gate electrode 140 is formed on the gate insulating layer 130.

이어서, 상기 기판(100) 전면에 층간 절연막(150)을 형성한다. 상기 층간 절연막(150) 상에 소스/드레인 전극(151,152)을 형성하고, 상기 소스/드레인 전극 (151,152) 상에 평탄화막(160)을 형성한다. 상기 평탄화막(160)은 상기 소스/드레인 전극(151,152)중 어느 하나를 노출시키는 비어홀을 구비한다.Subsequently, an interlayer insulating layer 150 is formed on the entire surface of the substrate 100. Source / drain electrodes 151 and 152 are formed on the interlayer insulating layer 150, and planarization layer 160 is formed on the source / drain electrodes 151 and 152. The planarization layer 160 includes a via hole exposing any one of the source / drain electrodes 151 and 152.

상기 평탄화막(160) 상에 반사막(170)을 형성하고, 상기 반사막(170) 및 평탄화막(160) 상에 제 1 전극(171)을 형성한다. 상기 제 1 전극(171) 상에 화소정의막(175)을 형성하고, 상기 제 1 전극(171)을 노출시키는 개구부를 형성한다. A reflective film 170 is formed on the planarization film 160, and a first electrode 171 is formed on the reflective film 170 and the planarization film 160. A pixel defining layer 175 is formed on the first electrode 171, and an opening is formed to expose the first electrode 171.

이후에, 상기 개구부를 통해 노출된 제 1 전극(171) 상에 적어도 발광층을 포함하는 유기막층(180)을 형성한다. 상기 유기막층(180) 상에 제 2 전극(190)을 형성하고, 상기 기판(100) 상에 실런트(200)을 도포하여, 투명흡습제(220)를 구비하는 봉지기판(210)을 얼라인하고 합착하여 종래 유기전계발광소자를 완성한다.Thereafter, the organic layer 180 including the light emitting layer is formed on the first electrode 171 exposed through the opening. The second electrode 190 is formed on the organic layer 180, and the sealant 200 is coated on the substrate 100 to align the encapsulation substrate 210 having the transparent absorbent 220. Bonding to complete the conventional organic light emitting device.

그러나, 종래의 유기전계발광소자는 외부의 수분 및 산소가 봉지기판에 위치한 흡습제가 흡수하는 속도에 비해 많은 양이 들어오면, 유기물의 경우에 투습방지를 하지 못하므로 패널의 액티브영역의 외각에 노출된 유기물로 이루어진 화소정의막이나 평탄화막을 통해 외부의 수분 및 산소가 침투하게 된다.However, the conventional organic light emitting device is exposed to the outer surface of the active area of the panel because the organic material does not prevent moisture permeation when the amount of moisture and oxygen outside the absorption rate of the absorbent located in the encapsulating substrate absorbs. External moisture and oxygen penetrate through the pixel definition layer or the planarization layer made of organic material.

따라서, 도 2a 및 도 2b의 유기전계발광소자의 화소축소현상을 나타낸 평면도에 도시된 바와 같이, 패널 최외각 픽셀부터 수분 및 산소에 의해 열화되어 화소축소현상(pixel shrinkage)이 나타나는 문제점이 있다. Accordingly, as shown in the plan view showing the pixel reduction phenomenon of the organic light emitting display device of FIGS. 2A and 2B, there is a problem in that pixel shrinkage occurs due to deterioration due to moisture and oxygen from the outermost pixel of the panel.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 외부의 수분 및 산소를 효과적으로 차단 할 수 있는 유기전계발광소 자 및 그 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic electroluminescent device and a method for manufacturing the same, which can effectively block external moisture and oxygen. .

본 발명의 상기 목적은 기판; 상기 기판 상에 위치하는 반도체층; 상기 반도체층 상에 위치하는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상에 위치하는 게이트 전극; 상기 게이트 전극 상에 위치하는 층간 절연막; 상기 층간 절연막 상에 위치하는 소스/드레인 전극; 상기 층간 절연막 및 소스/드레인 전극 상에 위치하는 평탄화막; 상기 평탄화막 상에 위치하는 제 1 전극; 상기 평탄화막 및 제 1 전극 상에 위치하며, 상기 제 1 전극의 일부영역을 노출시키는 화소정의막; 상기 노출된 제 1 전극 상에 위치하는 유기막층; 상기 화소정의막 및 유기막층 상에 위치하고, 상기 화소정의막의 측부 및 상기 평탄화막의 측부를 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 제 2 전극; 및 상기 제 2 전극 상에 위치하고, 상기 제 2 전극을 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 무기막층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자에 의해 달성된다.The object of the present invention is a substrate; A semiconductor layer on the substrate; A gate insulating layer on the semiconductor layer; A gate electrode on the gate insulating layer; An interlayer insulating layer on the gate electrode; A source / drain electrode on the interlayer insulating film; A planarization layer on the interlayer insulating layer and the source / drain electrode; A first electrode on the planarization film; A pixel definition layer on the planarization layer and the first electrode and exposing a portion of the first electrode; An organic layer disposed on the exposed first electrode; A second electrode on the pixel definition layer and the organic layer, the second electrode covering both sides of the pixel definition layer and sides of the planarization layer and connected to the interlayer or gate insulating layer; And an inorganic film layer disposed on the second electrode and covering all of the second electrodes and connected to the interlayer insulating film or the gate insulating film.

또한, 본 발명의 상기 목적은 기판을 제공하는 단계; 상기 기판 상에 반도체층을 형성하는 단계; 상기 반도체층 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연막 상에 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극 상에 층간 절연막을 형성하는 단계; 상기 층간 절연막 상에 소스/드레인 전극을 형성하는 단계; 상기 층간 절연막 및 소스/드레인 전극 상에 평탄화막을 형성하는 단계; 상기 평탄화막 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상에 상기 제 1 전극의 일 부영역을 노출시키는 화소정의막을 형성하는 단계; 상기 노출된 제 1 전극 상에 유기막층을 형성하는 단계; 상기 화소정의막 및 유기막층 상에 상기 화소정의막의 측부 및 상기 평탄화막의 측부를 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 제 2 전극을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 전극 상에 제 2 전극을 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 무기막층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법에 의해서도 달성된다.In addition, the object of the present invention is to provide a substrate; Forming a semiconductor layer on the substrate; Forming a gate insulating film on the semiconductor layer; Forming a gate electrode on the gate insulating film; Forming an interlayer insulating film on the gate electrode; Forming a source / drain electrode on the interlayer insulating film; Forming a planarization film on the interlayer insulating film and the source / drain electrode; Forming a first electrode on the planarization film; Forming a pixel definition layer on the first electrode to expose a portion of the first electrode; Forming an organic layer on the exposed first electrode; Forming a second electrode on the pixel definition layer and the organic layer to cover both sides of the pixel definition layer and sides of the planarization layer and connected to the interlayer or gate insulating layer; And forming an inorganic film layer covering all of the second electrodes on the second electrode and being connected to the interlayer insulating film or the gate insulating film.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 또한 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Details of the above object and technical configuration of the present invention and the effects thereof according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention. In the drawings, the length, thickness, etc. of layers and regions may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.

도 3 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 유기전계발광소자의 단면도이다.3 to 6 are cross-sectional views of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 기판(300)을 제공한다. 상기 기판(300) 상에 버퍼층(310)을 형성한다. 상기 버퍼층(310)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. Referring to FIG. 3, a substrate 300 is provided. A buffer layer 310 is formed on the substrate 300. The buffer layer 310 may be a silicon oxide film, a silicon nitride film, or multiple layers thereof.

상기 버퍼층(310) 상에 반도체층(320)을 형성한다. 상기 반도체층(320)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(320) 상에 게이트 절연막(330)을 형성한다. 상기 게이트 절연막(330)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.The semiconductor layer 320 is formed on the buffer layer 310. The semiconductor layer 320 may be an amorphous silicon film or a polycrystalline silicon film obtained by crystallizing an amorphous silicon film. A gate insulating layer 330 is formed on the semiconductor layer 320. The gate insulating layer 330 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof.

이어서, 상기 게이트 절연막(330) 상에 게이트 전극물질을 적층하고 패터닝하여 상기 반도체층(320)의 일부영역과 대응되는 영역에 게이트 전극(340)을 형성한다. Subsequently, a gate electrode material 340 is formed on the gate insulating layer 330 and patterned to form a gate electrode 340 in a region corresponding to a portion of the semiconductor layer 320.

상기 기판(300) 상에 층간 절연막(350)을 형성한다. 상기 층간 절연막(350)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 상기 층간 절연막(350) 상에 상기 반도체층(320)을 노출시키는 콘택홀들을 형성한다. 상기 콘택홀들이 형성된 상기 기판(300) 상에 도전막을 적층한 후, 패터닝하여 소스/드레인 전극(351,352)을 형성한다. 상기 소스 전극 및 드레인 전극(351,352)은 상기 콘택홀을 통해 상기 반도체층(320)에 연결된다.An interlayer insulating layer 350 is formed on the substrate 300. The interlayer insulating film 350 may be a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof. Contact holes exposing the semiconductor layer 320 are formed on the interlayer insulating layer 350. A conductive film is stacked on the substrate 300 on which the contact holes are formed, and then patterned to form source / drain electrodes 351 and 352. The source and drain electrodes 351 and 352 are connected to the semiconductor layer 320 through the contact hole.

상기 소스/드레인 전극(351,352)과 층간 절연막(350) 상에 평탄화막(360)을 형성하고, 상기 평탄화막(360)을 식각하여 비어홀을 형성한다. The planarization layer 360 is formed on the source / drain electrodes 351 and 352 and the interlayer insulating layer 350, and the planarization layer 360 is etched to form via holes.

상기 평탄화막(360)은 전면발광일 경우에 유기물인 아크릴계 수지 또는 폴리이미드계 수지로 형성할 수 있고, 배면발광일 경우에는 무기물인 실리콘산화막, 실리콘질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. The planarization layer 360 may be formed of an acrylic resin or a polyimide resin, which is an organic material in the case of top emission, and may be a silicon oxide film, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof, which is an inorganic material in the case of the bottom emission.

상기 평탄화막(360) 상에 반사막(370)을 형성한다. 상기 반사막(370)은 Ag, Al 또는 이들의 합금일 수 있다. 또한, 상기 반사막(370)은 배면발광일 경우에는 형성하지 않을 수 있다.The reflective film 370 is formed on the planarization film 360. The reflective film 370 may be Ag, Al, or an alloy thereof. In addition, the reflective film 370 may not be formed in the case of the bottom emission.

이어, ITO와 같은 투명도전막을 상기 기판(300) 상에 적층한 후, 투명도전막을 패터닝하여 상기 반사막(370)을 포함하는 제 1 전극(371)을 형성한다. 상기 제 1 전극(371)은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다. Subsequently, a transparent conductive film such as ITO is stacked on the substrate 300, and then the transparent conductive film is patterned to form a first electrode 371 including the reflective film 370. The first electrode 371 may use ITO or IZO.

상기 기판(300) 전면에 개구부를 구비한 화소 정의막(375)을 형성한다. 상기 화소 정의막(375)은 아크릴계 수지 또는 폴리이미드계 수지로 이루어진 유기막일 수 있고, SOG(Spin On Glass)와 같은 무기막으로 형성할 수 있다. A pixel defining layer 375 having an opening is formed on the entire surface of the substrate 300. The pixel defining layer 375 may be an organic film made of acrylic resin or polyimide resin, and may be formed of an inorganic film such as spin on glass (SOG).

상기 개구부를 통해 노출된 제 1 전극(371) 상에 유기막층(380)을 형성한다. 상기 유기막층(380)은 적어도 유기발광층을 포함하며 그 외에 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 중 어느 하나 이상의 층을 추가로 포함할 수 있다. The organic layer 380 is formed on the first electrode 371 exposed through the opening. The organic layer 380 may include at least an organic light emitting layer and may further include at least one of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer.

상기와 같이, 유기막층(380), 화소정의막(375) 및 평탄화막(360)은 패널의 외곽에 실런트가 형성되는 영역에서 실런트와의 접착력이 나쁘기 때문에 유기물로 이루어진 상기 화소정의막(375) 및 평탄화막(360)이 존재하지 않도록 식각되므로 상기 화소정의막(375) 및 평탄화막(360)의 측면이 노출된다.As described above, the organic layer 380, the pixel definition layer 375, and the planarization layer 360 have poor adhesion to the sealant in the region where the sealant is formed on the outer side of the panel, and thus the pixel definition layer 375 made of organic material. And the sidewalls of the pixel definition layer 375 and the planarization layer 360 are exposed since the planarization layer 360 is not etched.

따라서, 이와 같이 노출된 화소정의막(375) 및 평탄화막(360)의 측면을 따라 외기가 소자 내부로 유입될 수 있다.Therefore, outside air may flow into the device along side surfaces of the pixel definition layer 375 and the planarization layer 360 exposed as described above.

본 발명에서는 이와 같은 외기의 유입을 방지하기 위해, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 화소정의막(375) 및 유기막층(380) 상에 위치하고, 상기 화소정의막(375)의 측부 및 상기 평탄화막(360)의 측부를 모두 덮으며 상기 층간 절연막(350) 또는 게이트 절연막(330)에 연결되는 제 2 전극(390)을 형성한다. 상기 제 2 전극(390)은 전면발광일 경우에는 Mg, Ag, Al, Ca 및 이들의 합금을 얇게 형성하여 사용할 수 있고, 배면발광일 경우에는 두껍게 형성할 수 있다. 또한, 상기 제 2 전극 (390)은 스퍼터링방법 등을 이용하여 형성할 수 있다. In the present invention, in order to prevent the inflow of the outside air, as shown in FIG. 4, the pixel definition layer 375 and the organic layer 380 are disposed on the side of the pixel definition layer 375 and the planarization. A second electrode 390 is formed to cover all sides of the film 360 and to be connected to the interlayer insulating film 350 or the gate insulating film 330. The second electrode 390 may be formed by thinly forming Mg, Ag, Al, Ca, and an alloy thereof in the case of top emission, and may be formed thick in the case of the bottom emission. In addition, the second electrode 390 may be formed using a sputtering method or the like.

이후에, 도 5를 참조하면, 상기 제 2 전극(390) 상에 위치하며, 상기 제 2 전극(390)을 모두 덮으며 상기 게이트 절연막(330) 또는 상기 층간 절연막(350)에 연결되는 무기막층(400)을 형성한다. 상기 무기막층(400)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있고, CVD법 등을 이용하여 형성할 수 있다.Subsequently, referring to FIG. 5, an inorganic film layer disposed on the second electrode 390 and covering all of the second electrodes 390 and connected to the gate insulating film 330 or the interlayer insulating film 350. To form 400. The inorganic film layer 400 may be a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a multilayer thereof, and may be formed using a CVD method or the like.

상기와 같이, 상기 화소정의막(375) 및 평탄화막(360)으로 외기가 침투하는 것을 방지하기 위해 상기 화소정의막(375) 및 평탄화막(360)의 측부까지 모두 덮고 있는 상기 제 2 전극(390)을 또 한번 상기 무기막층(400)으로 덮어줌으로써, 보다 우수한 투습방지효과를 나타낼 수 있다.As described above, in order to prevent outside air from penetrating into the pixel defining layer 375 and the flattening layer 360, the second electrode covering both the side surfaces of the pixel defining layer 375 and the flattening layer 360 ( By covering 390 with the inorganic layer 400 once again, it is possible to exhibit a better moisture permeation prevention effect.

이후에, 도 6을 참조하면, 상기 기판(300) 상에 형성되어 있는 무기물로 이루어진 층간 절연막(350), 게이트 절연막(330) 또는 버퍼층(310) 상에 실런트(410)를 도포한다. Subsequently, referring to FIG. 6, a sealant 410 is coated on the interlayer insulating film 350, the gate insulating film 330, or the buffer layer 310 made of an inorganic material formed on the substrate 300.

이어서, 봉지기판(420)의 일면에 투명흡습제(430)를 형성한다. 상기 투명흡습제(430)는 배면발광일 경우에는 투명한 성질이 없는 흡습제를 형성할 수 있다.Subsequently, the transparent absorbent 430 is formed on one surface of the encapsulation substrate 420. The transparent absorbent 430 may form an absorbent having no transparent property in case of back emission.

이후에, 상기 기판(300)과 봉지기판(420)을 얼라인하고, 합착하여 본 발명의 실시 예에 따른 유기전계발광소자를 완성한다.Thereafter, the substrate 300 and the encapsulation substrate 420 are aligned and bonded to complete the organic light emitting display device according to the embodiment of the present invention.

상기와 같이, 유기물로 이루어진 평탄화막 및 화소정의막을 모두 덮도록 제 2 전극을 형성하고, 상기 제 2 전극을 모두 덮도록 무기막층을 형성함으로써, 종래 패널의 액티브영역의 외각에 노출되는 유기물로 이루어진 평탄화막 및 화소정의막으로 침투하는 외부의 수분 및 산소를 차단할 수 있는 이점이 있다.As described above, the second electrode is formed to cover both the planarization film and the pixel definition film made of the organic material, and the inorganic film layer is formed to cover all of the second electrodes, thereby forming an organic material exposed to the outer surface of the active area of the conventional panel. There is an advantage that can block external moisture and oxygen penetrating into the planarization film and the pixel definition film.

본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.The present invention has been shown and described with reference to the preferred embodiments as described above, but is not limited to the above embodiments and those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible.

따라서, 본 발명의 유기전계발광소자 및 그 제조방법은 외부의 수분 및 산소를 차단하여 소자의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.Therefore, the organic light emitting display device and the manufacturing method thereof according to the present invention have an effect of increasing the reliability of the device by blocking external moisture and oxygen.

Claims (8)

기판;Board; 상기 기판 상에 위치하는 반도체층;A semiconductor layer on the substrate; 상기 반도체층 상에 위치하는 게이트 절연막;A gate insulating layer on the semiconductor layer; 상기 게이트 절연막 상에 위치하는 게이트 전극;A gate electrode on the gate insulating layer; 상기 게이트 전극 상에 위치하는 층간 절연막;An interlayer insulating layer on the gate electrode; 상기 층간 절연막 상에 위치하는 소스/드레인 전극;A source / drain electrode on the interlayer insulating film; 상기 층간 절연막 및 소스/드레인 전극 상에 위치하는 평탄화막;A planarization layer on the interlayer insulating layer and the source / drain electrode; 상기 평탄화막 상에 위치하는 제 1 전극;A first electrode on the planarization film; 상기 평탄화막 및 제 1 전극 상에 위치하며, 상기 제 1 전극의 일부영역을 노출시키는 화소정의막;A pixel definition layer on the planarization layer and the first electrode and exposing a portion of the first electrode; 상기 노출된 제 1 전극 상에 위치하는 유기막층;An organic layer disposed on the exposed first electrode; 상기 화소정의막 및 유기막층 상에 위치하고, 상기 화소정의막의 측부 및 상기 평탄화막의 측부를 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 제 2 전극; 및A second electrode on the pixel definition layer and the organic layer, the second electrode covering both sides of the pixel definition layer and sides of the planarization layer and connected to the interlayer or gate insulating layer; And 상기 제 2 전극 상에 위치하고, 상기 제 2 전극을 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 무기막층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.And an inorganic film layer disposed on the second electrode and covering all of the second electrodes and connected to the interlayer insulating film or the gate insulating film. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 평탄화막은 유기막 또는 무기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The planarization film is an organic light emitting device, characterized in that consisting of an organic film or an inorganic film. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화소 정의막은 유기막 또는 무기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.And the pixel defining layer is formed of an organic layer or an inorganic layer. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 무기막층은 실리콘 나이트라이드 또는 실리콘 옥사이드로 이루어지는것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The inorganic layer is an organic light emitting display device, characterized in that made of silicon nitride or silicon oxide. 기판을 제공하는 단계;Providing a substrate; 상기 기판 상에 반도체층을 형성하는 단계;Forming a semiconductor layer on the substrate; 상기 반도체층 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;Forming a gate insulating film on the semiconductor layer; 상기 게이트 절연막 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;Forming a gate electrode on the gate insulating film; 상기 게이트 전극 상에 층간 절연막을 형성하는 단계;Forming an interlayer insulating film on the gate electrode; 상기 층간 절연막 상에 소스/드레인 전극을 형성하는 단계;Forming a source / drain electrode on the interlayer insulating film; 상기 층간 절연막 및 소스/드레인 전극 상에 평탄화막을 형성하는 단계;Forming a planarization film on the interlayer insulating film and the source / drain electrode; 상기 평탄화막 상에 제 1 전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode on the planarization film; 상기 제 1 전극 상에 상기 제 1 전극의 일부영역을 노출시키는 화소정의막을 형성하는 단계;Forming a pixel definition layer on the first electrode to expose a partial region of the first electrode; 상기 노출된 제 1 전극 상에 유기막층을 형성하는 단계;Forming an organic layer on the exposed first electrode; 상기 화소정의막 및 유기막층 상에 상기 화소정의막의 측부 및 상기 평탄화막의 측부를 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 제 2 전극을 형성하는 단계; 및Forming a second electrode on the pixel definition layer and the organic layer to cover both sides of the pixel definition layer and sides of the planarization layer and connected to the interlayer or gate insulating layer; And 상기 제 2 전극 상에 제 2 전극을 모두 덮으며 상기 층간 절연막 또는 게이트 절연막에 연결되는 무기막층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.Forming an inorganic film layer covering all of the second electrodes on the second electrode and connected to the interlayer insulating film or the gate insulating film; and manufacturing an organic light emitting display device. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 평탄화막은 유기막 또는 무기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.The planarization film is a manufacturing method of an organic light emitting device, characterized in that consisting of an organic film or an inorganic film. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 화소 정의막은 유기막 또는 무기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.And the pixel defining layer comprises an organic layer or an inorganic layer. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 무기막층은 실리콘 나이트라이드 또는 실리콘 옥사이드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.The inorganic film layer is a method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that consisting of silicon nitride or silicon oxide.
KR1020050119691A 2005-12-08 2005-12-08 Organic electroluminescence device and method for fabricating of the same KR100685840B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050119691A KR100685840B1 (en) 2005-12-08 2005-12-08 Organic electroluminescence device and method for fabricating of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050119691A KR100685840B1 (en) 2005-12-08 2005-12-08 Organic electroluminescence device and method for fabricating of the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100685840B1 true KR100685840B1 (en) 2007-02-22

Family

ID=38104370

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050119691A KR100685840B1 (en) 2005-12-08 2005-12-08 Organic electroluminescence device and method for fabricating of the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100685840B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101411749B1 (en) * 2007-08-21 2014-06-26 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030030380A (en) * 2001-10-10 2003-04-18 엘지.필립스 엘시디 주식회사 The organic electro-luminescence device
KR20040010370A (en) * 2002-07-25 2004-01-31 산요덴키가부시키가이샤 Organic el panel
KR20040036545A (en) * 2002-10-25 2004-04-30 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Electro-optical device and electronic apparatus
KR20040035929A (en) * 2002-10-12 2004-04-30 주식회사 엘리아테크 Organic electro-luminescence display panel and sealing method thereof
KR20040054829A (en) * 2002-12-18 2004-06-26 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Organic Electro luminescence Device and fabrication method of thereof
KR20050016036A (en) * 2003-08-01 2005-02-21 가부시키가이샤 도요다 지도숏키 El device and method for manufacturing the same

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030030380A (en) * 2001-10-10 2003-04-18 엘지.필립스 엘시디 주식회사 The organic electro-luminescence device
KR20040010370A (en) * 2002-07-25 2004-01-31 산요덴키가부시키가이샤 Organic el panel
KR20040035929A (en) * 2002-10-12 2004-04-30 주식회사 엘리아테크 Organic electro-luminescence display panel and sealing method thereof
KR20040036545A (en) * 2002-10-25 2004-04-30 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Electro-optical device and electronic apparatus
KR20040054829A (en) * 2002-12-18 2004-06-26 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Organic Electro luminescence Device and fabrication method of thereof
KR20050016036A (en) * 2003-08-01 2005-02-21 가부시키가이샤 도요다 지도숏키 El device and method for manufacturing the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101411749B1 (en) * 2007-08-21 2014-06-26 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10903449B2 (en) Display device
US10833291B2 (en) Display device
US10541288B2 (en) Flexible organic electroluminescent device and method for fabricating the same
JP7228378B2 (en) Display device
KR101818480B1 (en) Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
JP4864546B2 (en) Organic EL display device and manufacturing method thereof
KR101927334B1 (en) Organic electro luminescence device and method for fabricating the same
JP2006114499A (en) Organic electroluminescent display device and its manufacturing method
KR20230150920A (en) Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
KR20130138615A (en) Flat panel display device and manufacturing method thereof
JPWO2019186805A1 (en) Organic EL display device and manufacturing method thereof
US7839073B2 (en) Light-emitting display apparatus incorporating combined first and second auxiliary electrodes arranged at intervals and method of producing the same
KR100705819B1 (en) Method for manufacturing light emitting diode and light emitting diode the same
JP2004152563A (en) Display device
KR100685840B1 (en) Organic electroluminescence device and method for fabricating of the same
KR100611650B1 (en) organic electro-luminescence device and method for fabricating the same
KR100417921B1 (en) Canless Organic Electro Luminescence Display
JP2020024930A (en) Organic el display device and manufacturing method therefor
US20240040835A1 (en) Display panel and display device including the same
KR20100013879A (en) Organic luminescence dispaly panel and fabricating method of the same
JP6818590B2 (en) Organic EL display device and manufacturing method of organic EL display device
KR20060065393A (en) Oled and fabricating method of the same
TW202406137A (en) Display panel and display device including the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130205

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140129

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150130

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160129

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180201

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190129

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200203

Year of fee payment: 14