KR20230150542A - 컨디셔닝 시스템 및 그 방법 - Google Patents

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KR20230150542A
KR20230150542A KR1020220050059A KR20220050059A KR20230150542A KR 20230150542 A KR20230150542 A KR 20230150542A KR 1020220050059 A KR1020220050059 A KR 1020220050059A KR 20220050059 A KR20220050059 A KR 20220050059A KR 20230150542 A KR20230150542 A KR 20230150542A
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손지훈
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

컨디셔닝 시스템을 제공한다. 일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템은, 기판과 접촉하는 연마패드; 상기 연마패드의 표면을 컨디셔닝하는 컨디셔너; 상기 연마패드의 표면 상태를 측정하는 센서부; 제어 모델에 따라 상기 컨디셔너를 제어하는 제어부; 및 기계학습을 통하여 상기 제어 모델을 최적화하는 기계학습부를 포함하고, 상기 기계학습부는, 상기 센서부에서 측정된 측정 데이터를 기초로 상기 제어 모델을 평가하는 평가부; 및 상기 평가부에서 평가된 결과에 따라 상기 제어 모델을 수정하는 수정부를 포함할 수 있다.

Description

컨디셔닝 시스템 및 그 방법{CONDITIONING SYSTEM AND METHOD THEREOF}
아래의 실시 예는 기계학습을 이용한 컨디셔닝 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
기판의 제조에는, 연마와 버핑(buffing) 및 세정을 포함하는 CMP(chemical mechanical polishing) 작업이 필요하다. 기판의 CMP 작업에는, 연마패드를 통해 기판의 피연마면을 연마하는 공정이 요구된다. CMP 장치는 기판의 일면 또는 양면을 연마, 버핑 및 세정하기 위한 구성요소로서, 기판을 지지하는 캐리어, 기판의 표면을 물리적으로 마모시키는 연마패드를 포함한다.
한편, 연마패드를 통해 기판을 연마하는 과정에서, 연마패드는 기판과 마찰에 의해 마모된다. 예를 들어, CMP공정 중에 사용되는 슬러리와 기판의 연마에 따른 파티클과 같은 이물질은 화학적으로 연마패드를 부식시키고 물리적으로 연마패드 면의 불균일을 발생시킬 수 있다. 연마패드의 부식과 불균일은 기판이 원활하게 연마되지 못하도록 작용하여 기판 수율을 낮춰지는 원인으로 작용될 수 있다. 이를 최소화하기 위해, 연마패드의 불균일성 및 부식과 같은 상태변화를 감지하고 연마패드 표면에 존재하는 이물질을 제거하기 위해 컨디셔너가 사용된다.
따라서, 연마패드의 표면상태를 감지하고 이에 대응하여 컨디셔너를 제어할 수 있는 시스템 및 방법이 요구되는 실정이다.
전술한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예의 목적은, 측정된 연마패드의 표면 상태에 따라 컨디셔너를 제어할 수 있는 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템은, 기판과 접촉하는 연마패드; 상기 연마패드의 표면을 컨디셔닝하는 컨디셔너; 상기 연마패드의 표면 상태를 측정하는 센서부; 제어 모델에 따라 상기 컨디셔너를 제어하는 제어부; 및 기계학습을 통하여 상기 제어 모델을 최적화하는 기계학습부를 포함하고, 상기 기계학습부는, 상기 센서부에서 측정된 측정 데이터를 기초로 상기 제어 모델을 평가하는 평가부; 및 상기 평가부에서 평가된 결과에 따라 상기 제어 모델을 수정하는 수정부를 포함할 수 있다.
상기 기계학습부는, 초기 제어 모델을 임의로 변경하는 변경부를 더 포함할 수 있다.
상기 평가부는, 상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 대하여 평가 결과에 따른 점수를 부여할 수 있다.
상기 평가부는, 상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 부여된 점수에 따라 최종 제어 모델을 선정할 수 있다.
상기 수정부는, 상기 초기 제어 모델을 상기 최종 제어 모델로 수정할 수 있다.
상기 기계학습부는, 상기 수정된 최종 제어 모델을 다시 상기 초기 제어 모델로 설정하는 반복부를 더 포함할 수 있다.
상기 연마패드의 표면 상태는 상기 연마패드의 프로파일일 수 있다.
상기 제어 모델은 상기 컨디셔너에 가해지는 압력, 컨디셔너의 회전속도 및 컨디셔너와 연마패드 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 변수로 할 수 있다.
상기 평가부는 상기 연마패드의 평평도를 기준으로 상기 제어 모델을 평가할 수 있다.
일 실시 예에 따른 컨디셔닝 방법은, 기계학습을 통하여 제어 모델을 최적화하는 기계학습 단계; 기판과 접촉하는 연마패드를 제공하는 연마패드 제공 단계; 컨디셔너가 상기 연마패드의 표면을 컨디셔닝하는 컨디셔닝 단계; 상기 연마패드의 표면 상태를 측정하는 측정 단계; 및 상기 제어 모델에 따라 상기 컨디셔너를 제어하는 제어 단계를 포함하고, 상기 기계학습 단계는, 상기 측정 단계에서 측정된 측정 데이터를 기초로 상기 제어 모델을 평가하는 평가 단계; 및 상기 평가 단계에서 평가된 결과에 따라 상기 제어 모델을 수정하는 수정 단계를 포함할 수 있다.
상기 기계학습 단계는, 초기 제어 모델을 임의로 변경하는 변경 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 평가 단계는, 상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 대하여 평가 결과에 따른 점수를 부여할 수 있다.
상기 평가 단계는, 상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 부여된 점수에 따라 최종 제어 모델을 선정할 수 있다.
상기 수정 단계는, 상기 초기 제어 모델을 상기 최종 제어 모델로 수정할 수 있다.
상기 기계학습 단계는, 상기 수정된 최종 제어 모델을 다시 상기 초기 제어 모델로 설정하는 반복 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 연마패드의 표면 상태는 상기 연마패드의 프로파일일 수 있다.
상기 제어 모델은 상기 컨디셔너에 가해지는 압력, 컨디셔너의 회전속도 및 컨디셔너와 연마패드 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 변수로 할 수 있다.
상기 평가 단계는 상기 연마패드의 평평도를 기준으로 상기 제어 모델을 평가할 수 있다.
일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템 및 방법은, 측정된 연마패드의 표면 상태에 따라 컨디셔너를 피드백 제어함으로써, 공정 효율을 일정하게 유지할 수 있다.
일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템 및 방법의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템의 블록도이다.
도 2a는 일 실시 예에 따른 연마부의 사시도이다.
도 2b는 일 실시 예에 따른 연마부의 평면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 기계학습부의 블록도이다.
도 4a 및 도 4b는 일 실시 예에 따른 연마패드의 프로파일을 나타내는 그래프이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 컨디셔닝 방법의 순서도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 기계학습 단계의 순서도이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시 예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안 된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템(1)의 블록도이고, 도 2a는 일 실시 예에 따른 연마부(11)의 사시도이고, 도 2b는 일 실시 예에 따른 연마부(11)의 평면도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 기계학습부(14)의 블록도이고, 도 4a 및 도 4b는 일 실시 예에 따른 연마패드(1122)의 프로파일을 나타내는 그래프이다.
도 1 내지 도 4b를 참조하면, 일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템(1)은 기계학습을 통해 제어 모델(M)을 최적화시키고, 최적화된 제어 모델(M)에 따라 컨디셔너(113)를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 따른 컨디셔닝 시스템(1)은 연마부(11), 센서부(12), 제어부(13) 및 기계학습부(14)를 포함할 수 있다.
연마부(11)는 기판(W)에 대한 연마 공정을 수행하는 기구일 수 있다. 기판(W)에 대한 연마 공정은 기판(W)을 직접 연마하는 공정뿐만 아니라, 연마 패드를 컨디셔닝하거나, 기판(W) 위로 슬러리를 공급하는 공정까지 모두 포함하는 개념일 수 있다. 일 실시 예에서, 연마부(11)는 캐리어 헤드(111), 연마정반(112), 컨디셔너(113) 및 슬러리 공급 장치(114)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에서, 캐리어 헤드(111)는 기판(W)을 파지할 수 있다. 캐리어 헤드(111)는 기판(W)을 파지한 상태로 후술하는 연마패드(1122)에 가압함으로써, 기판(W)를 연마할 수 있다. 캐리어 헤드(111)는 기판(W)을 파지한 상태로 회전할 수 있다. 캐리어 헤드(111)는 기판(W) 면에 수직한 축(예: z축)을 중심으로 회전할 수 있다. 캐리어 헤드(111)는 기판(W) 면에 평행한 평면상에서 제1방향(예: x축 방향) 및 제1방향에 수직한 제2방향(예: y축 방향)으로 이동할 수 있다. 따라서, 기판(W)은 캐리어 헤드(111)의 이동에 따라 연마패드(1122)의 상부에서 위치가 조절될 수 있다.
일 실시 예에서, 연마정반(112)은 캐리어 헤드(111)에 파지된 기판(W)과 접촉하여 기판(W)을 연마할 수 있다. 연마정반(112)은 회전테이블(1121) 및 연마패드(1122)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에서, 회전테이블(1121)은 지면에 수직한 축(예: z축)을 중심으로 회전할 수 있다. 회전테이블(1121)의 상부에는 연마패드(1122)가 구비될 수 있다. 연마패드(1122)는 표면에는 그루브(groove)가 형성될 수 있다. 연마패드(1122)는 기판(W)보다 큰 면적을 가질 수 있다. 기판(W)이 연마되는 과정에서, 기판(W)은 연마패드(1122)의 국부 지점과 접촉될 수 있다.
일 실시 예에서, 컨디셔너(113)는 연마패드(1122)의 표면을 컨디셔닝할 수 있다. 연마가 수행됨에 따라 연마패드(1122)의 표면이 마모될 수 있는데, 예를 들어, 연마패드(1122) 표면에 형성된 그루브가 평평해질 수 있다. 그루브의 마모는 기판(W)의 연마 효율을 감소시키기 때문에, 컨디셔너(113)는 연마패드(1122)의 표면을 깎아내는 재생화 작업을 통해 연마패드(1122)의 표면이 충분한 거칠기를 가지도록 복구시킬 수 있다. 컨디셔너(113)는 연마패드(1122)에 접촉되는 컨디셔닝 패드와, 컨디셔닝 패드를 연마패드(1122)에 대해 회전시키는 컨디셔닝 헤드를 포함할 수 있다.
일 실시 예에서, 슬러리 공급 장치(114)는 연마패드(1122)로 슬러리를 분사할 수 있다. 분사된 슬러리에 포함된 화학적 성분이 기판(W)의 표면을 화학적으로 반응시켜 기판(W)의 표면 부위를 화학적으로 연마하는 화학적 연마 공정이 수행될 수 있다.
센서부(12)는 연마부(11)의 표면 상태를 측정할 수 있다. 예를 들어, 연마패드(1122)의 표면 상태는 연마패드(1122)의 프로파일일 수 있다. 예를 들어, 센서부(12)는 가속도 센서, 광학 센서, 압력 센서, 모터 토크 센서 및 전자기장 센서 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 다만, 센서부(12)의 종류가 이에 한정되는 것은 아니다. 센서부(12)에서 측정되는 측정 데이터(SD)는 실시간으로 측정될 수 있다.
제어부(13)는 제어 모델(M)에 따라 컨디셔너(113)를 제어할 수 있다. 일 실시 예에서, 제어 모델(M)은 컨디셔너(113)에 가해지는 압력, 컨디셔너(113)의 회전속도 및 컨디셔너(113)와 연마패드(1122) 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 변수로 할 수 있다. 따라서, 제어부(13)는 컨디셔너(113)에 가해지는 압력, 컨디셔너(113)의 회전속도 및 컨디셔너(113)와 연마패드(1122) 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 제어할 수 있다.
기계학습부(14)는 기계학습을 통한 기계학습 과정에 의해 제어 모델(M)을 최적화할 수 있다. 일 실시 예에서, 기계학습부(14)는 제어모델의 최적화를 위해 제어 모델(M)을 실시간으로 변경할 수 있다. 일 실시 예에서, 기계학습부(14)는 변경부(141), 평가부(142), 수정부(143) 및 반복부(144)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에서, 변경부(141)는 초기 제어 모델(M')을 임의로 변경할 수 있다. 초기 제어 모델(M')은 최초 사용자로부터 입력 받은 모델 또는 반복부(144)에서 설정된 초기 제어 모델(M')일 수 있다. 사용자는 초기 제어 모델(M')을 입력하는 과정에서 컨디셔너(113)의 작동 시간을 함께 입력할 수 있다. 예를 들어, 변경부(141)는 컨디셔너(113)에 가해지는 압력, 컨디셔너(113)의 회전속도 및 컨디셔너(113)와 연마패드(1122) 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 무작위로 변경하는 방식으로 초기 제어 모델(M')을 변경할 수 있다.
일 실시 예에서, 평가부(142)는 센서부(12)에서 측정된 측정 데이터(SD)를 기초로 제어 모델(M)을 평가할 수 있다. 예를 들어, 평가부(142)는 연마 패드의 평평도를 기준으로 상기 제어 모델(M)을 평가할 수 있다. 일 실시 예에서, 평가부(142)는 임의로 변경된 제어 모델(M1'', M2'', M3'') 각각에 대하여 평가 결과에 따른 점수를 부여할 수 있다. 예를 들어, 평가부(142)는 임의로 변경된 제어 모델(M1'', M2'', M3'') 각각에 대하여 평평도가 높은 순으로 높은 점수를 부여할 수 있다. 일 실시 예에서, 평가부(142)는 임의로 변경된 제어 모델(M1'', M2'', M3'') 각각에 부여된 점수에 따라 최종 제어 모델(M''')을 선정할 수 있다. 예를 들어, 평가부(142)는 임의로 변경된 제어 모델(M1'', M2'', M3'') 중에서 가장 점수가 높은 제어 모델(예: M1'')을 최종 제어 모델(M''')으로 선정할 수 있다.
일 실시 예에서, 수정부(143)는 평가부(142)에서 평가된 결과에 따라 제어 모델(M)을 수정할 수 있다. 일 실시 예에서, 수정부(143)는 초기 제어 모델(M')을 평가부(142)에서 선정된 최종 제어 모델(M''')로 수정할 수 있다. 따라서, 최종 제어 모델(M''')은 초기 제어 모델(M')보다 평가부(142)에서 부여되는 점수가 높을 수 있다. 이로 인해, 기계학습이 반복됨에 따라 최종 제어 모델(M''')은 평가부(142)에서 부여되는 점수가 높은 제어 모델로 계속 수정될 수 있다.
일 실시 예에서, 반복부(144)는, 수정부(143)에서 수정된 최종 제어 모델(M''')을 다시 초기 제어 모델(M')로 설정할 수 있다. 반복부(144)에 의해 수정된 최종 제어 모델(M''')이 다시 초기 제어 모델(M')로 설정되면, 변경부(141)는 전술한 과정과 동일하게 초기 제어 모델(M')을 임의로 변경할 수 있다. 반복부(144)에 의해서 기계학습 과정이 계속 반복될 수 있다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 기계학습 과정이 진행됨에 따라서 연마패드(1122)의 평평도가 높아짐을 알 수 있다. x축은 연마패드(1122)의 중심으로부터의 거리를 나타내며 단위는 mm이다. 그리고, y축은 연마패드(1122)의 높이를 나타내며 단위는 ㎛이다. 도 4a는 초기 제어 모델(M')에 따른 연마패드(1122)의 프로파일을 나타낸다. 연마패드(1122)의 중심으로부터 거리가 멀어질수록 연마패드(1122)의 높이가 높아져 평평도가 균일하지 않은 것을 알 수 있다. 도 4b는 기계학습이 시작된 후 20시간이 경과했을 때 제어 모델(M)에 따른 연마패드(1122)의 프로파일을 나타낸다. 연마패드(1122)의 중심으로부터 거리가 멀어지더라도, 도 4a와 비교하여, 연마패드(1122)의 높이가 일정하여 평평도가 균일한 것을 알 수 있다.
도 5는 일 실시 예에 따른 컨디셔닝 방법(2)의 순서도이고, 도 6은 일 실시 예에 따른 기계학습 단계(21)의 순서도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 일 실시 예에 따른 컨디셔닝 방법(2)은 기계학습을 통해 제어 모델을 최적화시키고, 최적화된 제어 모델에 따라 컨디셔너를 제어할 수 있다. 도 5 및 도 6을 참조하여, 컨디셔닝 방법(2)을 설명함에 있어서 상술한 내용과 중복되는 내용은 되도록 생략하도록 한다.
일 실시 예에 따른 컨디셔닝 방법(2)은 기계학습 단계(21), 연마패드 제공 단계(22), 컨디셔닝 단계(23), 측정 단계(24) 및 제어 단계(25)를 포함할 수 있다.
기계학습 단계(21)는 기계학습을 통하여 제어 모델을 최적화할 수 있다. 일 실시 예에서, 제어 모델은 컨디셔너에 가해지는 압력, 컨디셔너의 회전속도 및 컨디셔너와 연마패드 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 변수로 할 수 있다. 일 실시 예에서, 기계학습 단계(21)는 변경 단계(211), 평가 단계(212), 수정 단계(213) 및 반복 단계(214)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에서, 변경 단계(211)는 초기 제어 모델을 임의로 변경하는 단계일 수 있다.
일 실시 예에서, 평가 단계(212)는 측정 단계(24)에서 측정된 측정 데이터를 기초로 제어 모델을 평가하는 단계일 수 있다. 일 실시 예에서, 평가 단계(212)는 임의로 변경된 제어 모델 각각에 대하여 평가 결과에 따른 점수를 부여할 수 있다. 일 실시 예에서, 평가 단계(212)는 임의로 변경된 제어 모델 각각에 부여된 점수에 따라 최종 제어 모델을 선정할 수 있다. 일 실시 예에서, 평가 단계(212)는 연마패드의 평평도를 기준으로 제어 모델을 평가할 수 있다.
일 실시 예에서, 수정 단계(213)는 평가 단계(212)에서 평가된 결과에 따라 제어 모델을 수정하는 단계일 수 있다. 일 실시 예에서, 수정 단계(213)는 초기 제어 모델을 최종 제어 모델로 수정할 수 있다.
일 실시 예에서, 반복 단계(214)는 기 수정된 최종 제어 모델을 다시 상기 초기 제어 모델로 설정하는 단계일 수 있다.
연마패드 제공 단계(22)는 기판과 접촉하는 연마패드를 제공하는 단계일 수 있다.
컨디셔닝 단계(23)는 컨디셔너가 연마패드의 표면을 컨디셔닝하는 단계일 수 있다.
측정 단계(24)는 연마패드의 표면 상태를 측정하는 단계일 수 있다. 일 실시 예에서, 연마패드의 표면 상태는 연마패드의 프로파일일 수 있다.
제어 단계(25)는 제어 모델에 따라 컨디셔너를 제어하는 단계일 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.
1: 컨디셔닝 시스템
11: 연마부
12: 센서부
13: 제어부
14: 기계학습부
2: 컨디셔닝 방법
21: 기계학습 단계
22: 연마패드 제공 단계
23: 컨디셔닝 단계
24: 측정 단계
25: 제어 단계

Claims (18)

  1. 기판과 접촉하는 연마패드;
    상기 연마패드의 표면을 컨디셔닝하는 컨디셔너;
    상기 연마패드의 표면 상태를 측정하는 센서부;
    제어 모델에 따라 상기 컨디셔너를 제어하는 제어부; 및
    기계학습을 통하여 상기 제어 모델을 최적화하는 기계학습부를 포함하고,
    상기 기계학습부는,
    상기 센서부에서 측정된 측정 데이터를 기초로 상기 제어 모델을 평가하는 평가부; 및
    상기 평가부에서 평가된 결과에 따라 상기 제어 모델을 수정하는 수정부를 포함하는, 컨디셔닝 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기계학습부는,
    초기 제어 모델을 임의로 변경하는 변경부를 더 포함하는, 컨디셔닝 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 평가부는,
    상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 대하여 평가 결과에 따른 점수를 부여하는, 컨디셔닝 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 평가부는,
    상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 부여된 점수에 따라 최종 제어 모델을 선정하는, 컨디셔닝 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수정부는,
    상기 초기 제어 모델을 상기 최종 제어 모델로 수정하는, 컨디셔닝 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기계학습부는,
    상기 수정된 최종 제어 모델을 다시 상기 초기 제어 모델로 설정하는 반복부를 더 포함하는, 컨디셔닝 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 연마패드의 표면 상태는 상기 연마패드의 프로파일인, 컨디셔닝 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제어 모델은 상기 컨디셔너에 가해지는 압력, 컨디셔너의 회전속도 및 컨디셔너와 연마패드 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 변수로 하는, 컨디셔닝 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 평가부는 상기 연마패드의 평평도를 기준으로 상기 제어 모델을 평가하는, 컨디셔닝 시스템.
  10. 기계학습을 통하여 제어 모델을 최적화하는 기계학습 단계;
    기판과 접촉하는 연마패드를 제공하는 연마패드 제공 단계;
    컨디셔너가 상기 연마패드의 표면을 컨디셔닝하는 컨디셔닝 단계;
    상기 연마패드의 표면 상태를 측정하는 측정 단계; 및
    상기 제어 모델에 따라 상기 컨디셔너를 제어하는 제어 단계를 포함하고,
    상기 기계학습 단계는,
    상기 측정 단계에서 측정된 측정 데이터를 기초로 상기 제어 모델을 평가하는 평가 단계; 및
    상기 평가 단계에서 평가된 결과에 따라 상기 제어 모델을 수정하는 수정 단계를 포함하는, 컨디셔닝 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 기계학습 단계는,
    초기 제어 모델을 임의로 변경하는 변경 단계를 더 포함하는, 컨디셔닝 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 평가 단계는,
    상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 대하여 평가 결과에 따른 점수를 부여하는, 컨디셔닝 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 평가 단계는,
    상기 임의로 변경된 제어 모델 각각에 부여된 점수에 따라 최종 제어 모델을 선정하는, 컨디셔닝 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 수정 단계는,
    상기 초기 제어 모델을 상기 최종 제어 모델로 수정하는, 컨디셔닝 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 기계학습 단계는,
    상기 수정된 최종 제어 모델을 다시 상기 초기 제어 모델로 설정하는 반복 단계를 더 포함하는, 컨디셔닝 방법.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 연마패드의 표면 상태는 상기 연마패드의 프로파일인, 컨디셔닝 방법.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 제어 모델은 상기 컨디셔너에 가해지는 압력, 컨디셔너의 회전속도 및 컨디셔너와 연마패드 사이 접촉 시간 중 적어도 하나를 변수로 하는, 컨디셔닝 방법.
  18. 제10항에 있어서,
    상기 평가 단계는 상기 연마패드의 평평도를 기준으로 상기 제어 모델을 평가하는, 컨디셔닝 방법.
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