KR20230136934A

KR20230136934A - 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치

Info

Publication number: KR20230136934A
Application number: KR1020220034423A
Authority: KR
Inventors: 최원호
Original assignee: 에이엠티 주식회사
Priority date: 2022-03-21
Filing date: 2022-03-21
Publication date: 2023-10-04
Also published as: KR102657984B1

Abstract

본 발명은 고압가스통의 교체 시 가스켓의 변형에 따라 기밀이 유지되도록 새로운 가스켓으로 교체할 때 사용하고 난 폐 가스켓을 수거하여 보관하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치에 관한 것으로, 사용하고 난 폐 가스켓을 수거하여 밀폐된 폐기함의 내부에 보관할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 가스켓 교체장치(50)의 일측에 설치된 하우징(60)과, 상기 하우징(60)에 착탈 가능하게 설치되며 폐 가스켓(40)이 통과되는 입구(71)를 갖는 폐기함(70)과, 상기 하우징(60)의 상부에 회동 가능하게 설치되어 폐기함(70)의 입구(71)를 개폐하는 도어(81)와, 상기 폐 가스켓(40)을 폐기함(70)으로 회수할 때 도어(81)를 개폐하는 도어개폐수단(80)과, 상기 하우징(60)의 일측에 고정된 설치판(21)에 설치되어 폐기함의 착탈상태를 검출하는 제1 검출수단(20)으로 구성된 것을 특징으로 한다.

Description

가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치{The wasted gasket collecting apparatus of the gas supply equipment}

본 발명은 고압가스통의 교체 시 가스켓의 변형에 따라 기밀이 유지되도록 새로운 가스켓으로 교체할 때 사용하고 난 폐 가스켓을 수거하여 보관하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 사용하고 난 폐 가스켓을 수거하여 밀폐된 폐기함의 내부에 보관할 수 있도록 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 가스가 공급되어 사용되는데, 이러한 가스들은 대부분 인체에 흡입되거나 대기중에 노출될 경우 안전사고 및 환경오염 등의 큰 피해를 일으키게 되므로 세심한 주의를 요한다.

예를 들면, 이온주입공정에 사용되는 가스의 종류로는, 수소화비소(AsH3 : Arsine), 인화수소(PH 3 : Phosphine) 또는 삼플루오르화붕소(BF3 : Boron Fluoride) 등과 같은 유동성 가스가 있는데, 이들 가스는 독성이 매우 강하여 작업자가 호흡기로 흡입할 경우 치명적인 결과를 초래하므로 생산라인으로 공급하는 과정에서 누출(漏出)되지 않도록 세심하게 관리하여야 된다.

이와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스들은 그 관리가 매우 중요한데, 이러한 가스들은 가스통(이하 "고압가스통"이라 함)에 고압으로 충전된 상태로 캐비닛에 장착되어 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급되며, 가스가 약 90% 정도 소진되면 고압가스통의 내부에 잔류하는 이물질이 웨이퍼 가공공정으로 공급되지 않도록 작업자가 새로운 고압가스통으로 교체함으로써, 계속해서 가스를 공급하게 된다.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도로써, FAB(7) 외부의 소정 장소에는 FAB(7) 내의 여러 장비(8)에서 필요로 하는 SiH4, PH3, NF3, CF4 등과 같은 공정 가스가 각각 충전된 복수 개의 고압가스통(도시는 생략함)을 안착할 수 있도록 캐비닛(1)이 위치하고 있고, 상기 캐비닛(1)의 일 측에는 상기 고압가스통에 각각 연결된 가스 공급라인(3)을 안내할 수 있도록 덕트(4)가 설치되어 있다.

상기 덕트(4)의 타 측에는 가스 공급라인(3)을 따라 유입된 공정 가스를 공급할 수 있도록 고압가스통에 대응하는 개수로 레귤레이터 박스(5)가 설치되어 있고 상기 각각의 레귤레이터 박스(5)의 상단부에는 FAB(7) 내의 각 장비(8)에 대응하여 연결될 수 있도록 장비(8)의 개수와 동일한 개수의 공급관(9)이 연결되어 있다.

따라서 캐비닛(1)에 안착되어 있는 각각의 고압가스통으로부터 공정 가스가 공급되면, 각각의 공정 가스는 덕트(4)의 내부를 통과하는 가스 공급라인(3)을 따라 각각의 레귤레이터 박스(5)로 유입된다.

이후, 각각의 레귤레이터 박스(5) 내부로 유입된 각각의 공정 가스는 필터(도시는 생략함)를 통해 정화된 후 FAB(7) 내의 장비(8)에 대응되는 개수로 분기되어 연결되어 있는 각각의 공급관(9)을 따라 흘러 공급되므로 웨이퍼를 가공할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이 가스를 가스 공급라인(3)으로 공급하다가 가스가 소진되어 고압가스통의 교체시기가 제어부(도시는 생략함)에 의해 검출되면 작업자가 사용하고 난 고압가스통의 밸브를 잠근 다음 외부의 가스라인으로부터 분리하게 된다.

이후, 작업자가 가스라인으로부터 분리된 고압가스통을 캐비닛(1)에서 언로딩한 다음 새로운 고압가스통으로 교체한 후 상기 고압가스통을 다시 외부의 가스라인에 연결시킨 뒤 가스분사노즐을 닫고 있는 밸브 핸들을 오픈(Open)하면 고압가스통의 교체가 완료된다.

종래의 고압가스통의 연결부위에는 1번 사용하고 난 가스켓은 가스분사노즐의 입구에 형성된 환상의 돌출 띠에 의해 눌려 변형되어 요입 홈이 형성되므로 고압가스통의 교체시마다 작업자가 사용하고 난 가스켓(이하 "폐 가스켓"이라 함)을 제거한 다음 새로운 가스켓으로 교체하여야 고압가스가 누설되는 현상을 방지하게 된다.

(선행기술문헌)

(특허문헌 0001) 대한민국 공개특허공보 10-2019-0070878(2019.06.21.공개)

(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-2040713(2019.10.30.등록)

그러나 이러한 종래의 가스공급장비에서는 사용하고 난 폐 가스켓을 실린더형상의 카트리지 내에 차례로 밀어넣어 수거함에 따라, 공급되는 가스가 유독성가스인 경우에는 폐 가스켓에 의해 흄(fume)이 발생하게 되므로 주위가 오염되어 불량품이 양산될 우려가 있고, 부식성가스인 경우에는 장비가 부식되는 문제점이 발생되었다.

또한, 카트리지의 길이가 한정됨에 따라 수거되는 폐 가스켓의 개수가 적으므로 카트리지의 교체주기가 짧아지게 되고, 작업자가 카트리지를 수동으로 교체하여야 하는 사용상의 불편함도 수반되었다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 커넥터에서 제거된 폐 가스켓을 폐기함의 내부로 수거한 다음 도어가 폐기함의 입구를 밀폐시킴에 따라 흄 또는 부식성가스가 외부로 빠져나오지 못하도록 하는 데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 도어가 폐기함의 입구를 개폐할 때 마찰이 발생되지 않도록 함에 따라 기밀을 유지하는 패킹의 손상을 미연에 방지할 수 있도록 하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 가스켓 교체장치의 일측에 설치된 하우징과, 상기 하우징에 착탈 가능하게 설치되며 폐 가스켓이 통과되는 입구를 갖는 폐기함과, 상기 하우징의 상부에 회동 가능하게 설치되어 폐기함의 입구를 개폐하는 도어와, 상기 폐 가스켓을 폐기함으로 회수할 때 도어를 개폐하는 도어개폐수단과, 상기 하우징의 일측에 고정된 설치판에 설치되어 폐기함의 착탈상태를 검출하는 제1 검출수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치가 제공된다.

본 발명은 종래에 비하여 다음과 같은 여러 가지 장점을 갖는다.

첫째, 가스켓 제거장치에 의해 제거된 폐 가스켓을 폐기함의 내부에 밀폐되게 수거하여 보관하였다가 폐기 처리함에 따라 폐 가스켓으로부터 흄 또는 부식성가스의 발생을 근본적으로 해소할 수 있게 된다.

둘째, 폐기함의 용량을 증대시킴에 따라 많은 개수의 폐 가스켓을 회수하여 보관할 수 있게 된다.

셋째, 도어를 개폐시킬 때 폐기함의 상부에 마찰을 발생하지 않으므로 도어의 저면에 설치되는 패킹이 찢어지는 현상을 방지하게 된다.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도
도 2는 본 발명의 일 실시 예가 설치된 상태를 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도
도 4는 본 발명의 일부를 절개하여 나타낸 분해 사시도
도 5a 및 도 5b는 본 발명에서 도어의 개폐상태를 나타낸 정면도로써,
도 5a는 도어가 닫힌 상태도
도 5b는 도어가 열린 상태도
도 6은 본 발명의 종단면도

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예가 설치된 상태를 나타낸 사시도이고 도 3은 본 발명의 요부를 나타낸 사시도이며 도 4는 본 발명의 일부를 절개하여 나타낸 분해 사시도로써, 본 발명은 가스켓 교체장치(50)의 일측에 하우징(60)이 지지부재(61)에 브라켓(62)으로 고정 설치되어 있고 상기 하우징(60)에는 폐 가스켓(40)이 통과되는 입구(71)를 갖는 폐기함(70)이 착탈 가능하게 설치되어 있는 데, 상기 폐기함(70)의 일단에는 착탈이 용이하도록 손잡이(72)가 고정되어 있다.

상기 폐기함(70)은 폐기함 결합수단(30)에 의해 하우징(60)에 결합된 상태를 유지하는 데, 상기 폐기함 결합수단(30)을 본 발명의 일 실시 예에서는, 도 4와 같이 상기 하우징(60)에 고정된 철(Fe)성분이 포함된 금속(31)과, 상기 폐기함(70)에 고정되어 금속(31)이 달라붙는 자석(32)으로 구성되어 있다.

또한, 상기 하우징(60)에 착탈 가능하게 설치되는 폐기함(70)은 제1 검출수단(20)에 의해 하우징(60)에 장착되어 있는지를 검출하는 데, 상기 제1 검출수단(20)은, 상기 설치판(21)에 고정되어 절개부(21a)로 노출된 제1 센서(22)와, 상기 하우징(60)에 착탈 가능하게 설치되는 폐기함(70)의 후면에 형성되어 제1 센서(22)가 검출되도록 하는 제1 도그(23)로 구성되어 있다.

상기 하우징(60)의 상부에는 폐기함(70)의 입구(71)를 개폐하는 도어(81)가 회동 가능하게 설치되어 폐 가스켓(40)을 폐기함(70)으로 회수할 때 도어개폐수단(80)에 의해 도어(81)를 개폐하도록 되어 있다.

상기 도어개폐수단(80)을 본 발명의 일 실시 예에서는, 도 3 및 도 4와 같이 상기 설치판(21)의 양측으로 돌출된 가이드봉(24)이 끼워지는 장공(82a)이 형성되어 가스켓 교체장치(50)에 의해 눌리는 가동편(82)과, 상기 가동편(82)의 양단에 핀(83)으로 결합되어 가동편(82)의 이동에 따라 축(84)을 중심으로 회동운동하는 링크(85)와, 상기 링크(85)의 상, 하부를 지지하는 상, 하부 축(86a)(86b)과, 상기 하우징(60)과 링크(85) 사이에 양단이 고정되어 가동편(82)에 외력이 가해지지 않을 때 링크(85)를 초기위치로 환원시키는 리턴스프링(87)과, 상기 링크(85)의 상부에 형성된 또 다른 장공(85a)에 축(81a)이 끼워지도록 설치되며 저면에는 기밀을 유지하는 패킹(81b)이 고정된 도어(81)로 구성되어 있다.

이때, 상기 링크(85)에 형성된 장공(85a)을 경사장공으로 하고, 상기 각 링크(85)의 일측에는 경사장공으로 노출되게 플런저(89)를 각각 설치하여 상기 각 플런저(89)가 도어(81)의 축(81a)을 가압하도록 하면 도어(81)의 개폐 시 폐기함(70)과 도어(81)의 밀착면에서 패킹(88)에 쓸림이 발생되지 않아 패킹(88)이 찢어지는 현상을 방지하는 효과를 기대할 수 있다.

본 발명에서는 상기 도어(81)의 닫힘상태를 검출하는 제2 검출수단(90)이 더 구비되어 있는 데, 상기 제2 검출수단(90)은, 상기 설치판(21)의 상부로 노출되게 고정된 제2 센서(91)와, 상기 도어(81)의 일측에 구비되어 제2 센서(91)가 검출되도록 하는 제2 도그(92)로 구성되어 있다.

본 발명의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 폐기함(70)의 손잡이(72)를 파지한 상태에서 폐기함(70)을 하우징(60)에 밀어넣으면 폐기함 결합수단(30)으로 폐기함(70)의 후방에 고정된 자석(32)이 하우징(60)에 고정된 금속(31)에 달라붙으면서 장착됨과 동시에 폐기함(70)에 형성된 제1 도그(23)가 설치판(21)에 형성된 절개부(21a)를 통해 노출됨을 제1 센서(22)가 검출하게 되므로 작업자가 제어부(도시는 생략함)의 제어에 의해 폐기함(70)의 결합상태를 알 수 있게 된다.

상기한 바와 같이 하우징(60)에 폐기함(70)이 장착된 상태에서 커넥터(도시는 생략함)에서 폐 가스켓(40)을 교체하지 않을 때에는 가동판(82)에 힘이 가해지지 않으므로 도 5a와 같이 도어(81)가 폐기함(70)의 입구(71)를 폐쇄하고 있다.

상기 도어(81)가 폐기함(70)의 입구(71)를 폐쇄하고 있는지는 도어(81)에 형성된 제2 도그(92)를 설치판(21)에 설치된 제2 센서(91)가 검출함에 따라 제어부에 의해 알 수 있다.

이러한 상태에서 고압가스통(도시는 생략함)의 교체로 인해 고압가스통의 밸브 연결구를 커넥터에서 분리하고 나면 가스켓 교체장치(50)가 커넥터에서 폐 가스켓을 꺼내 폐기 처분하여야 된다.

즉, 가스켓 교체장치(50)가 도 2와 같이 커넥터에서 폐 가스켓(40)을 파지하여 꺼낸 다음 이동하면 가동편(82)이 도 3 및 도 5a의 화살표방향으로 눌리게 된다.

이와 같이 가동편(82)이 가스켓 교체장치(50)에 의해 눌리면 상기 가동편(82)에 형성된 장공(82a)이 가이드봉(24)에 끼워져 있어 가동편(82)이 안정적으로 이동하면서 리턴스프링(87)을 인장시키게 된다.

상기한 바와 같이 상기 가동편(82)이 이동하면 상기 가동편(82)의 끝단에 링크(85)가 핀(83)으로 결합됨과 동시에 링크(85)는 하우징(60)에 축(84)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 있어 상기 링크(85)가 도 5b와 같이 수직상태를 유지하는 데, 이때, 상기 링크(85)의 상부에 형성된 장공(85a)에 도어(81)의 축(81a)이 끼워져 있고 도어(81)의 축(81a)은 링크(85)에 설치된 플런저(89)에 눌려 있으므로 도어(81)가 개방되어 폐기함(70)의 입구(71)를 개방하게 된다.

상기 폐기함(70)의 입구(71)가 개방되면 가스켓 교체장치(50)에 파지되어 있던 폐 가스켓(40)의 파지상태를 해지하게 되므로 폐 가스켓(40)이 자중에 의해 낙하되어 도 6과 같이 폐기함(70)의 내부로 회수된다.

상기 폐 가스켓(40)이 폐기함(70)의 내부로 회수되고 나면 개방되었던 도어(81)를 닫아 폐 가스켓(40)으로부터 발생되는 흄 또는 부식성 가스가 폐기함(70)의 외부로 노출되지 않도록 도어(81)를 닫아야 된다.

상기 가스켓 교체장치(50)가 커넥터에 새로운 가스켓을 넣기 위해 가스켓 교체장치(50)의 전, 후진 실린더(도시는 생략함)가 초기위치로 후진함에 따라 가동편(82)에 가해지던 외력을 제거하면 링크(85)가 리턴스프링(87)의 복원력에 의해 초기상태로 환원되므로 상기 링크(85)에 핀(83)으로 결합된 가동편(82)도 초기상태로 환원된다.

상기 링크(85) 및 가동편(82)이 초기상태로 환원되면 상기 링크(85)의 상부에 형성된 장공(85a)에 도어(81)의 축(81a)이 끼워져 있고 상기 축(81a)은 플런저(89)에 의해 눌려져 있어 상기 도어(81)가 경사진 장공(85a)의 상측 끝에 유지하고 회전운동하게 된다.

이러한 상태에서 도어(81)의 저면에 고정된 패킹(88)이 폐기함(70)에 접촉하고부터는 도어(81)의 축(81a)이 플런저(89)를 밀어내며 경사진 장공(85a)의 홈을 타면서 회전운동이 수직운동으로 전환되어 패킹(88)이 쓸리지 않아 마찰에 의해 찢어지는 현상을 방지하게 되므로 긴밀하게 기밀을 유지하게 된다.

상기 고압가스통을 계속해서 교체함에 따라 폐기함(70)의 내부에 폐 가스켓(40)이 가득 채워짐이 제2 검출수단(90)에 의해 검출되고 나면 하우징(60)에서 폐기함(70)을 분리하여 수거된 폐 가스켓을 폐기 처분하게 된다.

즉, 폐 가스켓(40)이 폐기함(70)의 내부에 가득 채워지면 도어(81)가 닫히더라도 도어(81)에 형성된 제2 도그(92)를 설치판(21)에 고정된 제2 센서(91)가 검출하지 못하게 되고, 이에 따라 제어부가 알람 등의 알림수단을 통해 작업자에게 이를 알리게 되므로 조치가 가능해지게 되는 것이다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시 예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

20 : 제1 검출수단 21 : 설치판
22 : 제1 센서 23 : 제1 도그
24 : 가이드봉 30 : 폐기함 결합수단
31 : 금속 32 : 자석
40 : 폐 가스켓 50 : 가스켓 교체장치
60 : 하우징 70 : 폐기함
71 : 입구 80 : 도어개폐수단
81 : 도어 81a, 84 : 축
82 : 가동편 82a, 85a : 장공
85 : 링크 87 : 리턴스프링
88 : 패킹 89 : 플런저
90 : 제2 검출수단 91 : 제2 센서
92 : 제2 도그

Claims

가스켓 교체장치(50)의 일측에 설치된 하우징(60)과, 상기 하우징(60)에 착탈 가능하게 설치되며 폐 가스켓(40)이 통과되는 입구(71)를 갖는 폐기함(70)과, 상기 하우징(60)의 상부에 회동 가능하게 설치되어 폐기함(70)의 입구(71)를 개폐하는 도어(81)와, 상기 폐 가스켓(40)을 폐기함(70)으로 회수할 때 도어(81)를 개폐하는 도어개폐수단(80)과, 상기 하우징(60)의 일측에 고정된 설치판(21)에 설치되어 폐기함의 착탈상태를 검출하는 제1 검출수단(20)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 1에 있어서,
상기 폐기함(70)이 하우징(60)에 결합된 상태를 유지하는 폐기함 결합수단(30)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 2에 있어서,
상기 폐기함 결합수단(30)은,
상기 하우징(60)에 고정된 철(Fe)성분이 포함된 금속(31)과,
상기 폐기함(70)에 고정되어 금속(31)이 달라붙는 자석(32)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 1에 있어서,
상기 도어개폐수단(80)은,
상기 설치판(21)의 양측으로 돌출된 가이드봉(24)이 끼워지는 장공(82a)이 형성되어 가스켓 교체장치(50)에 의해 눌리는 가동편(82)과,
상기 가동편(82)의 양단에 핀(83)으로 결합되어 가동편(82)의 이동에 따라 축(84)을 중심으로 회동운동하는 링크(85)와,
상기 링크(85)의 상, 하부를 지지하는 상, 하부 축(86a)(86b)과,
상기 하우징(60)과 링크(85) 사이에 양단이 고정되어 가동편(82)에 외력이 가해지지 않을 때 링크(85)를 초기위치로 환원시키는 리턴스프링(87)과,
상기 링크(85)의 상부에 형성된 또 다른 장공(85a)에 축(81a)이 끼워지도록 설치된 도어(81)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 4에 있어서,
상기 링크(85)에 형성된 장공(85a)을 경사장공으로 하고, 상기 각 링크(85)의 일측에는 경사장공으로 노출되게 플런저(89)를 각각 설치하여 상기 각 플런저(89)가 도어(81)의 축(81a)을 가압하도록 된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 4에 있어서,
상기 도어(81)의 저면에 기밀을 유지하는 패킹(88)을 고정한 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 검출수단(20)은,
상기 설치판(21)에 고정되어 절개부(21a)로 노출된 제1 센서(22)와,
상기 하우징(60)에 착탈 가능하게 설치되는 폐기함(70)의 후면에 형성되어 제1 센서(22)가 검출되도록 하는 제1 도그(23)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 1에 있어서,
상기 도어(81)의 닫힘상태를 검출하는 제2 검출수단(90)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.
청구항 8에 있어서,
상기 제2 검출수단(90)은,
상기 설치판(21)의 상부로 노출되게 고정된 제2 센서(91)와,
상기 도어(81)의 일측에 구비되어 제2 센서(91)가 검출되도록 하는 제2 도그(92)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스공급장비의 폐 가스켓 수거장치.