KR20230135479A - 이물 제거 장치, 회로 기판 및 이를 포함하는 전자 장치 - Google Patents

이물 제거 장치, 회로 기판 및 이를 포함하는 전자 장치 Download PDF

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KR20230135479A
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최철민
이명균
김영만
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스템코 주식회사
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    • B08B2205/005—Using the coanda effect of the gas flow/stream

Abstract

제품의 표면과 이면 동시 세척이 가능하며 흡입을 통해 이물의 완전 제거가 가능한 이물 제거 장치, 이물 제거 장치에 의해 제조되는 회로 기판, 및 회로 기판을 포함하는 전자 장치를 제공한다. 상기 이물 제거 장치는, 제품이 인입되는 인입구 및 제품이 반출되는 반출구를 포함하는 하우징; 하우징의 내부에 배치되며, 제품에 에어를 분사하여 제품으로부터 이물을 분리시키는 제1 에어 컷팅 유닛; 및 하우징의 표면에 형성된 흡입구를 통해 하우징의 내부와 연결되며, 이물을 포집하는 흡입 유닛을 포함한다.

Description

이물 제거 장치, 회로 기판 및 이를 포함하는 전자 장치 {Foreign material removing apparatus, circuit board and electronic apparatus including the same}
본 발명은 회로 기판과 같은 제품 상에서 이물(異物)을 제거할 수 있는 장치, 상기 장치에 의해 제조되는 회로 기판 및 상기 회로 기판을 포함하는 전자 장치에 관한 것이다.
파티클(Particle)과 같이 제품 상에 부착되는 이물(異物)은 제품의 불량 원인이 될 수 있다. 따라서 검사 공정 중에 제품 상에서 이물이 검출되면, 이물 제거 장치를 통해 상기 이물을 제거할 수 있다.
그런데, 종래의 이물 제거 장치는 직접 터치 방식으로 이물을 제거하기 때문에 제품이 스크래치(Scratch)가 발생할 수 있으며, 이물 재전사 등으로 인해 이물 제거 능력이 떨어지는 문제가 있었다. 또한, 종래의 이물 제거 장치는 한쪽 방향에 대해서만 세척이 가능하기 때문에 칩 온 필름(COF; Chip On Film)과 같은 필름 소재에 대하여 표면과 이면을 동시에 세척하는 것이 불가능한 문제도 있었다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제는, 제품의 표면과 이면 동시 세척이 가능하며 흡입을 통해 이물의 완전 제거가 가능한 이물 제거 장치, 상기 이물 제거 장치에 의해 제조되는 회로 기판, 및 상기 회로 기판을 포함하는 전자 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 이물 제거 장치의 일 면(Aspect)은, 제품이 인입되는 인입구 및 상기 제품이 반출되는 반출구를 포함하는 하우징; 상기 하우징의 내부에 배치되며, 상기 제품에 에어를 분사하여 상기 제품으로부터 이물을 분리시키는 제1 에어 컷팅 유닛; 및 상기 하우징의 표면에 형성된 흡입구를 통해 상기 하우징의 내부와 연결되며, 상기 이물을 포집하는 흡입 유닛을 포함한다.
상기 제1 에어 컷팅 유닛은, 상기 제품의 일면에 에어를 분사하는 제1 에어 컷팅 모듈; 및 상기 제품의 타면에 에어를 분사하는 제2 에어 컷팅 모듈을 포함할 수 있다.
상기 제1 에어 컷팅 유닛은 상기 제품의 이동 방향에 대해 경사지게 배치될 수 있다.
상기 제1 에어 컷팅 모듈 및 상기 제2 에어 컷팅 모듈은 상기 제품을 기준으로 미러 대칭 관계를 형성할 수 있다.
상기 제1 에어 컷팅 유닛은 상기 하우징으로부터 분리 가능하게 마련될 수 있다.
상기 제1 에어 컷팅 유닛은 회전 가능할 수 있다.
상기 흡입 유닛은 상기 하우징에 일체형으로 마련될 수 있다.
상기 흡입 유닛의 흡입 압력은 상기 제1 에어 컷팅 유닛의 분출 압력보다 클 수 있다.
상기 이물 제거 장치는, 상기 인입구에 인접하여 배치되며, 상기 제품을 상기 하우징의 내부로 인입시키는 제1 가이드 유닛; 상기 반출구에 인접하여 배치되며, 상기 제품을 상기 하우징의 외부로 반출시키는 제2 가이드 유닛; 및 상기 하우징의 전면에 설치되며, 개폐 가능한 도어 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
상기 하우징의 전면은 투명한 소재로 형성될 수 있다.
상기 이물 제거 장치는 상기 제품을 이동시키면서 작동할 수 있다.
상기 이물 제거 장치는, 상기 하우징의 내부에 배치되며, 상기 제품에 흡착된 금속 이물을 포집하는 마그넷 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 마그넷 유닛은 상기 인입구 또는 상기 반출구에 인접하여 배치될 수 있다.
상기 마그넷 유닛에 인접하는 상기 하우징의 내측벽은 경사지게 형성될 수 있다.
상기 이물 제거 장치는, 상기 하우징의 내부에 배치되며, 상기 흡입 유닛을 사이에 두고 상기 제1 에어 컷팅 유닛의 맞은편에 배치되는 제2 에어 컷팅 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 에어 컷팅 유닛은 상기 제1 에어 컷팅 유닛과 다른 각도로 경사지게 마련될 수 있다.
상기 제품은 필름 형태의 기판일 수 있다.
상기 제품은 높이 방향으로 반송될 수 있다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 회로 기판의 일 면은, 상기 이물 제거 장치를 이용하여 제조된다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 전자 장치의 일 면은, 상기 회로 기판을 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 효과는 다음과 같다.
첫째, 본 발명의 이물 제거 장치는 하우징 내 에어 컷팅 유닛을 양면 적용하여 제품의 표면 및 이면 동시 세척이 가능하며, 흡입 장치를 사용하여 그 이물을 완전 제거함으로써 제품의 품질 및 제품 생산 신뢰성을 향상시키는 효과를 얻을 수 있다.
둘째, 기존 에어 컷팅을 통한 이물 세척 방식에서 거르지 못한 이물을 추가적으로 제거하기 위해 흡입부를 통한 2차 세척 방식을 적용함으로써 기존 장치보다 우수한 성능을 확보하는 효과를 얻을 수 있다.
셋째, 전면부 개폐 가능 투명 소재를 적용하여 하우징 내부 청결 및 제품 상태 확인이 가능하며, 하우징을 통해 제품으로부터 분리된 대기(大氣) 중의 이물이 제품에 재전사되어 발생하는 품질 저하를 미연에 방지하는 효과도 얻을 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 제1 가이드 유닛 및 제2 가이드 유닛의 작동 방법을 설명하기 위한 예시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 에어 컷팅 모듈의 구조를 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 에어 컷팅 모듈의 구조를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 흡입 모듈의 기능을 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 도어를 설명하기 위한 예시도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 이물 제거 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이물 제거 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 에어 컷팅 모듈의 구조를 설명하기 위한 예시도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이물 제거 장치의 작용 효과를 설명하기 위한 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위 뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성요소들과 다른 소자 또는 구성요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명은 회로 기판이나 칩 온 필름(COF; Chip On Film)과 같은 제품 상에서 이물(異物)을 제거할 수 있는 이물 제거 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 이물 제거 장치 및 방법은 제품의 표면과 이면에 대해 동시 세척이 가능하며, 흡입(Suction)을 통해 이물의 완전 제거가 가능한 것을 특징으로 한다. 이러한 이물 제거 장치 및 방법은 PCB, FPCB 등과 같은 회로 기판 또는 필름을 생산하는 설비 내 필요한 위치에 적용할 수 있으며, 대표적으로 반송 경로 상에 또는 가공 처리 전단과 후단에 선택적으로 적용될 수 있다. 이하, 도면을 참조하여 본 발명을 자세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 따르면, 이물 제거 장치(100)는 하우징(110), 제1 가이드 유닛(120), 제2 가이드 유닛(130), 에어 컷팅 유닛(Air Cutting Unit; 140) 및 흡입 유닛(Suction Unit; 150)을 포함하여 구성될 수 있다.
하우징(110)은 이물 제거 장치(100)에 의해 제품(S)에서 이물 제거가 수행되는 공간을 제공하는 것이다. 하우징(110)은 이를 위해 내부가 비어 있는 형태로 형성될 수 있으며, 그 내부에 에어 컷팅 유닛(140) 등이 배치될 수 있다. 하우징(110)은 전면과 후면이 다각형인 다각기둥 형상을 가질 수 있다.
제품(S)으로부터 이물을 분리시키는 에어 컷팅 유닛(140)은 하우징(110)의 내부에 배치되고, 상기 이물을 포집하는 흡입 유닛(150)은 하우징(110)의 흡입구(113, 114)를 통해 하우징(110)의 내부와 연결될 수 있다. 본 실시예에서는 이와 같이 설치되는 하우징(110)을 통해 이물이 외부로 확산되지 않도록 방지하는 효과도 얻을 수 있다.
상기에서, 제품(S)은 필름 소재의 기판일 수 있다. 예를 들어, 제품(S)은 칩 온 필름(COF)일 수 있다. 본 실시예에서 제품(S)은 이에 한정되지 않고, 단면 기판, 양면 처리가 필요한 양면 기판 또는 다층 기판을 모두 포함하는 것으로 이해될 수 있다.
제1 가이드 유닛(120)은 제품(S)이 하우징(110)의 내부로 인입(引入)될 수 있도록 가이드하는 것이다. 제1 가이드 유닛(120)은 한 쌍의 회전 롤러(121, 122)를 포함할 수 있으며, 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)의 회전에 따라 제품(S)을 하우징(110)의 내부로 인입시킬 수 있다. 제1 가이드 유닛(120)은 제품(S)의 패스 라인(Pass Line) 틀어짐을 방지하기 위해 가이드 롤(Guide Roll) 형상으로 하우징(110)의 인입구(111)에 인접하여 마련될 수 있다.
제품(S)을 하우징(110)의 내부로 인입시키기 위해, 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)는 제품(S)을 사이에 두고 그 양측에 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)는 서로 다른 방향으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이 제1 회전 롤러(121)는 반시계 방향으로 회전하고, 제2 회전 롤러(122)는 시계 방향으로 회전할 수 있다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 제1 가이드 유닛 및 제2 가이드 유닛의 작동 방법을 설명하기 위한 예시도이다.
또한, 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)는 서로 다른 크기를 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 회전 롤러(121)는 제2 회전 롤러(122)보다 더 큰 직경을 가질 수 있다.
또한, 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)는 하우징(110)의 인입구(111)로부터 서로 다른 이격 거리를 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 회전 롤러(121)는 하우징(110)의 인입구(111)에 근접하도록 배치되고, 제2 회전 롤러(122)는 하우징(110)의 인입구(111)로부터 소정 거리 떨어지도록 배치될 수 있다.
다시 도 1을 참조하여 설명한다.
제2 가이드 유닛(130)은 제품(S)이 하우징(110)의 내부로부터 인출(引出)될 수 있도록 가이드하는 것이다. 제2 가이드 유닛(130)은 제1 가이드 유닛(120)과 마찬가지로 한 쌍의 회전 롤러(131, 132)를 포함할 수 있으며, 제3 회전 롤러(131) 및 제4 회전 롤러(132)는 각각 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)에 대응하는 크기 및 이격 거리를 가질 수 있다.
제3 회전 롤러(131) 및 제4 회전 롤러(132)는 제품(S)을 사이에 두고 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)와 서로 다른 측에 배치될 수 있다. 즉, 제1 회전 롤러(121) 및 제4 회전 롤러(132)가 같은 측(제품(S)의 표면 상)에 배치되고, 제2 회전 롤러(122) 및 제3 회전 롤러(131)가 같은 측(제품(S)의 이면 상)에 배치될 수 있다. 또한, 제3 회전 롤러(131)는 제품(S)을 하우징(110)의 내부로부터 인출시키기 위해, 제1 회전 롤러(121)와 서로 다른 방향으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이 제3 회전 롤러(131)는 시계 방향으로 회전하고, 제4 회전 롤러(132)는 반시계 방향으로 회전할 수 있다.
한편, 제2 가이드 유닛(130)도 제1 가이드 유닛(120)과 마찬가지로 제품(S)의 패스 라인 틀어짐을 방지하기 위해 가이드 롤 형상으로 마련될 수 있으며, 하우징(110)의 반출구(112)에 인접하여 마련될 수 있다.
다시 도 1을 참조하여 설명한다.
에어 컷팅 유닛(140)은 하우징(110)의 인입구(111)로부터 반출구(112)가 위치한 방향으로 이동하는 제품(S)에 대해 에어를 분사하는 것이다. 에어 컷팅 유닛(140)은 한 쌍의 에어 컷팅 모듈 즉, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)을 포함할 수 있으며, 이 경우 제1 에어 컷팅 모듈(140a)은 제품(S)의 표면에 대해 에어를 분사할 수 있고, 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 제품(S)의 이면에 대해 에어를 분사할 수 있다.
제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 제품(S)의 이동 방향에 대해 경사각을 가지도록 하우징(110)의 내부에 배치될 수 있다. 이러한 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 도 3에 도시된 바와 같이 제품(S)의 이동 방향에 대해 그 경사각(θ)이 둔각이 되도록 배치된 상태(90°< θ < 180°)에서 제품(S)에 에어를 분사할 수 있다. 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 에어 컷팅 모듈의 구조를 설명하기 위한 제1 예시도이다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 제품(S)의 이동 방향에 대해 그 경사각(θ)이 예각이 되도록 배치된 상태(0°< θ < 90°)에서 제품(S)에 에어를 분사하는 것도 가능하다. 또는, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 제품(S)의 이동 방향에 대해 직각이 되도록 배치된 상태(θ = 90°)에서 제품(S)에 에어를 분사하는 것도 가능하다.
제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 하우징(110)에 대해 일체형 구조가 아닌, 단독형 구조를 가질 수 있다. 즉, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 하우징(110) 내에 고정되지 않고, 장착 및 탈착 가능하게 하우징(110) 내에 마련될 수 있다. 본 실시예에서는 하우징(110) 내에 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)을 이와 같이 마련함으로써, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)의 성능 저하시 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)을 즉시 교체하여 이물 제거 장치(100)의 성능이 저하되는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 하우징(110) 내에 회전 가능하게 마련될 수 있다. 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)의 이러한 회전은 도 4에 도시된 바와 같이 제품(S)의 이동 방향에 대한 그 경사각(θ1, θ2)을 변경시킬 수 있다(θ1 ≠ θ2). 이 경우, 변경되는 경사각은 제품(S)이 에어로 인해 패스 라인을 벗어나지 않도록 0°< θ < 180° 내에서 결정될 수 있다. 변경되는 경사각은 제품(S)의 종류에 따라 달라질 수 있으며, 에어의 강도에 따라 달라질 수도 있다. 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 에어 컷팅 모듈의 구조를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
한편, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 도 4에 도시된 바와 같이 시계 방향으로 회전할 수 있지만, 이에 한정되지 않고 반시계 방향으로도 회전 가능함은 물론이다.
한편, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 제품(S)을 기준으로 미러 대칭 구조로 배치될 수 있다. 후술하는 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)도 이와 같은 구조로 배치됨은 물론이다.
다시 도 1을 참조하여 설명한다.
흡입 유닛(150)은 제품(S)으로부터 이탈된 이물을 흡입하는 것이다. 흡입 유닛(150)은 한 쌍의 흡입 모듈 즉, 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)을 포함할 수 있으며, 이 경우 제1 흡입 모듈(150a)은 제품(S)의 표면으로부터 이탈된 이물을 흡입할 수 있고, 제2 흡입 모듈(150b)은 제품(S)의 이면으로부터 이탈된 이물을 흡입할 수 있다.
도 5를 참조하여 설명하면, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)이 제품(S)의 표면 및 이면에 각각 에어(Air)를 분사하면, 에어(Air)의 영향으로 제품(S)에 부착되어 있던 이물(P)은 제품(S)으로부터 비산될 수 있다. 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)은 이와 같이 제품(S)으로부터 비산된 이물(P)을 흡입 및 포집함으로써, 이물(P)이 제품(S)에 재흡착되는 것을 방지할 수 있다. 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 흡입 모듈의 기능을 설명하기 위한 예시도이다.
제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)은 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)에 의해 제품(S)으로부터 비산된 이물(P)을 흡입하기 위해 제품(S)의 이동 방향을 기준으로 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)의 전단에 배치될 수 있다. 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)은 하우징(110)의 표면에 형성된 제1 흡입구(113) 및 제2 흡입구(114)를 통해 하우징(110)에 결합될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)과 마찬가지로 하우징(110)의 내부에 배치되는 것도 가능하다. 한편, 흡입 유닛(150)은 하우징(110)에 고정되어 하우징(110)과 일체형으로 제작될 수도 있다.
여기서, 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)이 하우징(110)의 표면에 형성된 제1 흡입구(113) 및 제2 흡입구(114)를 통해 하우징(110)에 결합되는 구성을 가지면, 하우징 내 에어의 흐름 방향이 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)로 향하게 되어 하우징 내 에어 와류를 최소화할 수 있으며, 이에 따라 비산된 이물이 제품(S)에 재부착되는 것을 예방할 수 있다.
한편, 제품(S)으로부터 분리된 이물(P)을 흡입 유닛(150)으로 집중시키고 와류를 방지하기 위해, 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)의 흡입 압력은 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)의 분출 압력보다 클 수 있다. 예를 들어, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)의 분출 압력은 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)의 흡입 압력에 대해 80% ~90%일 수 있다.
한편, 하우징(110)의 전면부에는 개폐 가능한 도어(115)가 설치될 수 있다. 도어(115)는 도 6에 도시된 바와 같이 상부에 설치된 힌지 부재(116)를 통해 하우징(110)의 높이 방향(제3 방향(30))으로 개폐될 수 있으며, 측부에 설치된 힌지 부재를 통해 하우징(110)의 폭 방향(제1 방향(10))으로 개폐되는 것도 가능하다. 또는, 도어(115)는 하부에 설치된 힌지 부재를 통해 하우징(110)의 아래쪽 방향으로 개폐되는 것도 가능하다.
하우징(110)은 이와 같은 도어(115)를 포함함으로써, 하우징(110)의 내부를 수시로 청소하는 것이 가능해지는 효과를 얻을 수 있으며, 제품(S)을 세척하는 도중에 하우징(110) 내에 잔여하던 이물에 의해 제품(S)이 오염되는 현상을 미연에 방지하는 효과도 얻을 수 있다. 또한, 하우징(110) 내에 배치되는 부품(예를 들어, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b))을 용이하게 교체하는 효과도 얻을 수 있다. 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 도어를 설명하기 위한 예시도이다.
한편, 도어(115)를 포함하여 하우징(110)의 전면부는 그 내부 확인이 용이하도록 투명 재질(예를 들어, 투명 PVC 재질)로 제조될 수 있다.
이물 제거 장치(100)는 이상 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한 바와 같이 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)을 통해 제품(S)에 에어를 분사하고 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)을 통해 에어를 흡입함으로써, 코안다 효과(Coanda Effect)로 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)이 위치한 방향으로 기류 흐름이 형성되어 이물(P) 포집을 유도하는 구조로 형성될 수 있다.
즉, 이물 제거 장치(100)는 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)을 통해 유틸리티(Utility)의 에어를 제품(S)의 표면과 이면에 각각 분사하여 1차 이물 제거를 실행할 수 있으며, 이후 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)을 통해 제품(S)으로부터 비산된 이물(P)을 흡입 및 포집함으로써 이물(P)이 기류 정체에 의해 제품(S)에 재전사되지 않게 할 수 있다. 상기에서, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)은 일정한 압력과 평탄화를 가진 압축 공기(Compressed Air)를 활용하여 이물(P)의 제거 성능을 높일 수 있으며, 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)을 하우징(110)의 일부분에 채택된 라운드형(Round Type) 구조에 배치하여 이물(P)의 흡입 및 포집 성능도 높일 수 있다.
또한, 이물 제거 장치(100)는 반송중이던 제품(S)을 정지시키지 않고도 제품(S)에서 이물(P)을 제거할 수 있게 논 스톱(Non Stop) 방식으로 작동하며, 제품(S)의 표면과 이면을 동시에 세척할 수 있는 구조를 가질 수 있다. 또한, 이물 제거 장치(100)는 도어(115)를 이용한 하우징(110)의 전면부 개폐를 통해 하우징(110)의 내부 유지보수 PM(정기 점검 및 부품 교체)이 편리한 구조로 제작될 수도 있다.
한편, 도 2의 예시에서 제품(S)은 이물 제거 장치(100)의 위쪽에서 아래쪽 방향으로 이동하면서 이물(P)이 제거될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제품(S)은 이물 제거 장치(100)의 아래쪽에서 위쪽 방향으로 이동하면서 이물(P)이 제거되는 것도 가능하다. 이 경우, 제1 회전 롤러(121) 내지 제4 회전 롤러(132)는 반대 방향으로 회전될 수 있음은 물론이다. 이와 같이, 도 2의 예시에서 제품(S)을 위쪽으로 이동시키게 되면, 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)로부터 인입구(111)의 거리가 가깝기 때문에 이물 제거 장치(100) 내에 부유된 이물이 재부착되지 않는 효과가 더욱 증대될 수 있다.
한편, 이물 제거 장치(100)는 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)에 의해 포집되지 못한 금속성 이물을 제거하기 위해 하우징(110)의 내부에 마그넷 유닛(210)을 포함할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 이물 제거 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 7에 따르면, 이물 제거 장치(100)는 하우징(110), 제1 가이드 유닛(120), 제2 가이드 유닛(130), 에어 컷팅 유닛(140), 흡입 유닛(150) 및 마그넷 유닛(210)을 포함하여 구성될 수 있다.
하우징(110), 제1 가이드 유닛(120), 제2 가이드 유닛(130), 에어 컷팅 유닛(140) 및 흡입 유닛(150)에 대해서는 도 1 내지 도 5를 참조하여 전술하였는 바, 여기서는 그 자세한 설명을 생략한다.
마그넷 유닛(210)은 앞서 설명한 바와 같이 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)에 의해 제품(S)으로부터 비산되지 못했거나 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)에 의해 포집되지 못한 금속성 이물을 제거하는 역할을 할 수 있다. 마그넷 유닛(210)은 이를 위해 하우징(110) 내에서 제품(S)이 통과하는 반출구(112)에 인접하여 배치될 수 있으며, 제품(S)의 표면 상에 흡착되어 있는 금속성 이물을 포집하기 위한 제1 마그넷 모듈(210a)과 제품(S)의 이면 상에 흡착되어 있는 금속성 이물을 포집하기 위한 제2 마그넷 모듈(210b)을 포함할 수 있다.
제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)은 가장 마지막에 제품(S)에서 금속성 이물을 제거할 수 있지만, 본 실시예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)은 가장 먼저 제품(S)에서 금속성 이물을 제거하는 것도 가능하다. 이 경우, 제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)은 하우징(110) 내에서 제품(S)이 통과하는 인입구(111)에 인접하여 배치될 수 있다. 또는, 제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)은 제품(S)으로부터 이물(P)을 비산시켜 포집할 때 상기 제품(S)에서 금속성 이물을 제거하는 것도 가능하다. 이 경우, 제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)은 하우징(110) 내에서 한 쌍의 에어 컷팅 모듈(140a, 140b)과 한 쌍의 흡입 모듈(150a, 150b) 사이에 배치될 수 있다.
한편, 제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)에 인접하는 하우징(110)의 내측벽은 경사지게 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 이를 통해 금속성 이물이 경사벽을 따라 제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)이 위치한 방향으로 낙하 및 부착되게 할 수 있다.
이물 제거 장치(100)는 이상 도 7을 참조하여 설명한 바와 같이 금속성 이물이 그 중량으로 인해 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)에 의해 형성된 기류를 통해 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)에 포집되지 못하더라도, 후드(Hood) 하부에 설치된 제1 마그넷 모듈(210a) 및 제2 마그넷 모듈(210b)을 통해 상기 금속성 이물을 제품(S)에서 유효하게 제거하는 효과를 얻을 수 있다.
제품(S)에서 이물(P)을 제거하기 위해, 제품(S)의 이동 경로 상에서 그 전단에 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)이 배치되고, 그 후단에 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)이 배치될 수 있지만, 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 두 쌍의 에어 컷팅 모듈(140a, 140b, 140c, 140d)이 제품(S)의 이동 경로 상에서 전단과 후단에 각각 배치되고, 양단에 배치되어 있는 두 쌍의 에어 컷팅 모듈(140a, 140b, 140c, 140d) 사이에 한 쌍의 흡입 모듈(150a, 150b)이 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 이에 대해 자세하게 설명하기로 한다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이물 제거 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 8에 따르면, 이물 제거 장치(100)는 하우징(110), 제1 가이드 유닛(120), 제2 가이드 유닛(130), 제1 에어 컷팅 유닛(220), 제2 에어 컷팅 유닛(230), 흡입 유닛(150) 및 마그넷 유닛(210)을 포함하여 구성될 수 있다.
또는, 도 8에는 도시되어 있지 않지만, 이물 제거 장치(100)는 마그넷 유닛(210)을 제외한 나머지 구성들을 포함하도록 구성될 수도 있다. 즉, 이물 제거 장치(100)는 하우징(110), 제1 가이드 유닛(120), 제2 가이드 유닛(130), 제1 에어 컷팅 유닛(220), 제2 에어 컷팅 유닛(230) 및 흡입 유닛(150)을 포함하여 구성될 수 있다.
하우징(110), 제1 가이드 유닛(120), 제2 가이드 유닛(130) 및 흡입 모듈(150)에 대해서는 도 1 내지 도 5를 참조하여 전술하였으며, 마그넷 유닛(210)에 대해서는 도 7을 참조하여 전술하였는 바, 여기서는 그 자세한 설명을 생략하고, 차이점이 있는 부분에 대해서만 설명하기로 한다.
다만, 마그넷 유닛(210)은 도 8의 예시에서 보는 바와 같이 하우징(110)의 반출구(112)뿐만 아니라 하우징(110)의 인입구(111)에도 설치될 수 있으며, 마그넷 유닛(210)의 이러한 배치 구조는 도 7의 경우에도 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다. 즉, 도 7의 예시에 따른 이물 제거 장치(100)에서, 마그넷 유닛(210)은 하우징(110)의 반출구(112)에 설치되는 것에 한정되지 않고, 하우징(110)의 인입구(111) 및 반출구(112) 모두에 설치되는 것도 가능하다. 또는, 마그넷 유닛(210)은 하우징(110)의 인입구(111)에 한해 설치되는 것도 가능하다.
마찬가지로, 도 8의 예시에 따른 이물 제거 장치(100)에서도, 마그넷 유닛(210)은 하우징(110)의 인입구(111) 및 반출구(112) 모두에 설치되는 것에 한정되지 않고, 하우징(110)의 반출구(112)에 한해 설치되거나, 하우징(110)의 인입구(111)에 한해 설치되는 것도 가능하다.
도 1의 이물 제거 장치(100)는 위쪽에서 아래쪽 방향으로 이동하는 제품(S)에서 이물(P)을 제거하는 역할을 할 수 있다. 반면, 이물 제거 장치(100)가 도 8에 도시된 바와 같이 흡입 유닛(150)의 양측에 제1 에어 컷팅 유닛(220) 및 제2 에어 컷팅 유닛(230)을 각각 포함하는 경우, 상기 이물 제거 장치(100)는 오른쪽에서 왼쪽 방향으로 이동하는 제품(S)에서 이물(P)을 제거하는 역할을 할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 않고, 이물 제거 장치(100)가 흡입 유닛(150)의 양측에 제1 에어 컷팅 유닛(220) 및 제2 에어 컷팅 유닛(230)을 각각 포함하더라도 위쪽에서 아래쪽 방향으로 이동하는 제품(S)에서 이물(P)을 제거하는 역할을 할 수 있음은 물론이다. 이 경우, 제1 가이드 유닛(120) 및 제2 가이드 유닛(130)은 도 1의 예시와 같이 하우징(110)의 상부 및 하부에 각각 배치될 수 있다.
앞서 설명하였지만, 제1 가이드 유닛(120)은 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)를 포함하고, 제2 가이드 유닛(130)은 제3 회전 롤러(131) 및 제4 회전 롤러(132)를 포함할 수 있다.
제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)는 하우징(110)의 인입구(111)로부터 서로 다른 이격 거리를 가지도록 배치될 수 있는데, 제1 회전 롤러(121)가 하우징(110)의 인입구(111)로부터 소정 거리 떨어지도록 배치되고, 제2 회전 롤러(122)가 하우징(110)의 인입구(111)에 근접하도록 배치될 수 있다. 물론, 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)는 도 1의 예시와 같이 배치되는 것도 가능하다.
마찬가지로, 제3 회전 롤러(131) 및 제4 회전 롤러(132)도 하우징(110)의 반출구(112)로부터 서로 다른 이격 거리를 가지도록 배치될 수 있는데, 제3 회전 롤러(131)가 하우징(110)의 반출구(112)로부터 소정 거리 떨어지도록 배치되고, 제4 회전 롤러(132)가 하우징(110)의 반출구(112)에 근접하도록 배치될 수 있다. 물론, 제3 회전 롤러(131) 및 제4 회전 롤러(132)도 도 1의 예시와 같이 배치되는 것도 가능하다.
제3 회전 롤러(131) 및 제4 회전 롤러(132)는 제품(S)을 사이에 두고 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)와 같은 측에 배치될 수 있다. 즉, 제2 회전 롤러(122) 및 제4 회전 롤러(132)가 같은 측(제품(S)의 표면 상)에 배치되고, 제1 회전 롤러(121) 및 제3 회전 롤러(131)가 같은 측(제품(S)의 이면 상)에 배치될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 도 1의 경우와 같이, 제3 회전 롤러(131) 및 제4 회전 롤러(132)는 제품(S)을 사이에 두고 제1 회전 롤러(121) 및 제2 회전 롤러(122)와 서로 다른 측에 배치되는 것도 가능하다.
앞서 설명하였지만, 흡입 유닛(150)을 사이에 두고 그 양측에 제1 에어 컷팅 유닛(220) 및 제2 에어 컷팅 유닛(230)이 각각 배치될 수 있다. 제1 에어 컷팅 유닛(220)은 한 쌍의 에어 컷팅 모듈(220a, 220b) 즉, 제1 에어 컷팅 모듈(220a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(220b)을 포함하고, 제2 에어 컷팅 유닛(230)도 한 쌍의 에어 컷팅 모듈(230a, 230b) 즉, 제3 에어 컷팅 모듈(230a) 및 제4 에어 컷팅 모듈(230b)을 포함할 수 있다.
도 8의 제1 에어 컷팅 모듈(220a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(220b)은 도 1의 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)과 동일한 구조로 하우징(110) 내에 설치될 수 있으며, 도 1의 제1 에어 컷팅 모듈(140a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(140b)과 동일한 방식으로 작동할 수 있다. 즉, 본 실시예에서 도 8의 제1 에어 컷팅 유닛(220)은 도 1의 에어 컷팅 유닛(140)과 동일한 개념으로 이해해도 무방하다.
제3 에어 컷팅 모듈(230a)은 제1 에어 컷팅 모듈(220a)과 같은 측(제품(S)의 표면 상)에 배치되고, 제4 에어 컷팅 모듈(230b)은 제2 에어 컷팅 모듈(220b)과 같은 측(제품(S)의 이면 상)에 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 에어 컷팅 모듈(220a) 내지 제4 에어 컷팅 모듈(230b)은 제1 흡입 모듈(150a) 및 제2 흡입 모듈(150b)의 위치를 고려하여 특정 방향을 틸트된 상태로 제품(S)에 에어를 분사할 수 있다.
예를 들어, 제1 에어 컷팅 모듈(220a) 및 제2 에어 컷팅 모듈(220b)은 도 9에 도시된 바와 같이 제품(S)의 이동 방향에 대해 그 경사각(θ3)이 둔각이 되도록 배치된 상태(90°< θ3 < 180°)에서 제품(S)에 에어를 분사하고, 제3 에어 컷팅 모듈(230a) 및 제4 에어 컷팅 모듈(230b)은 제품(S)의 이동 방향에 대해 그 경사각(θ4)이 예각이 되도록 배치된 상태(0°< θ4 < 90°)에서 제품(S)에 에어를 분사할 수 있다. 제1 에어 컷팅 모듈(220a) 내지 제4 에어 컷팅 모듈(230b)이 이와 같이 하우징(110) 내에 배치되면, 도 10에 도시된 바와 같이 작동하여 이물(P)의 포집 성능을 향상시키는 효과를 얻을 수 있다. 도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 이물 제거 장치를 구성하는 에어 컷팅 모듈의 구조를 설명하기 위한 예시도이며, 도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이물 제거 장치의 작용 효과를 설명하기 위한 예시도이다.
한편, 제1 에어 컷팅 모듈(220a) 및 제3 에어 컷팅 모듈(230a)은 제1 흡입 모듈(150a)의 위치를 고려하여 서로 다른 방향으로 틸트되도록 설치될 수 있지만, 본 실시예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 마찬가지로, 제2 에어 컷팅 모듈(220b) 및 제4 에어 컷팅 모듈(230b)도 제2 흡입 모듈(150b)의 위치를 고려하여 서로 다른 방향으로 틸트되도록 설치될 수 있지만, 본 실시예가 이에 한정되지 않음은 물론이다.
이상 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 다양한 실시 형태에 따른 이물 제거 장치(100)에 대하여 설명하였다. 이물 제거 장치(100)는 제품(S)의 표면 및 이면에 에어를 분사하여(직접 또는 간접 터치) 제품(S)으로부터 이물(P)을 분리한 후 석션을 통해 이물(P)을 집진하는 장치이다. 즉, 이물 제거 장치(100)는 에어 나이프(Air Knife)를 활용한 압축 에어를 일정 압력으로 제품(S)에 고르게 토출하는 에어 분사 장치(도 1의 에어 컷팅 유닛(140), 도 8의 제1 에어 컷팅 유닛(220) 및 제2 에어 컷팅 유닛(230))를 적용하여 이물(P)을 효과적으로 분리시킬 수 있으며, 클린 룸 내 사용에 맞춰 이물(P)의 외부 확산을 막고, 흡입 장치(도 1 및 도 8의 흡입 유닛(150))를 통해 2차 세정 방식을 적용하여 하우징(110) 내부의 이물을 완전 제거할 수 있다. 또한, 이물 제거 장치(100)는 하우징(110) 전면에 개폐가 가능한 투명 재질을 적용하여 내부 이물 및 제품(S) 상태 확인이 가능하며, 유지보수 또한 용이한 잇점이 있다. 이물 제거 장치(100)는 이를 통해 제품(S)의 품질 향상과 더불어 이물(P)이 외부로 노출되는 것을 최소화하여 클린 룸(Clean Room) 내 청정 상태를 유지하는 효과도 얻을 수 있다.
이물 제거 장치(100)는 제품(S)에서 이물(P)을 제거할 수 있다. 여기서, 제품(S)은 회로 기판일 수 있으며, 회로 기판은 그 제조 과정에서 이물 제거 장치(100)에 의해 이물(P)을 제거하고 제조될 수 있다.
상기 회로 기판은 전자 장치 내에 설치될 수 있다. 전자 장치는 전동 모터, 안테나, 발전기, 필터, 인덕터, 자기 디스크, 카메라 모듈 등일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 이물 제거 장치 110: 하우징
111: 인입구 112: 반출구
113: 제1 흡입구 114: 제2 흡입구
115: 도어 116: 힌지 부재
120: 제1 가이드 유닛 121: 제1 회전 롤러
122: 제2 회전 롤러 130: 제2 가이드 유닛
131: 제3 회전 롤러 132: 제4 회전 롤러
140: 에어 컷팅 유닛 140a: 제1 에어 컷팅 모듈
140b: 제2 에어 컷팅 모듈 150: 흡입 유닛
150a: 제1 흡입 모듈 150b: 제2 흡입 모듈
210: 마그넷 유닛 210a: 제1 마그넷 모듈
210b: 제2 마그넷 모듈 220: 제1 에어 컷팅 유닛
230: 제2 에어 컷팅 유닛

Claims (20)

  1. 제품이 인입되는 인입구 및 상기 제품이 반출되는 반출구를 포함하는 하우징;
    상기 하우징의 내부에 배치되며, 상기 제품에 에어를 분사하여 상기 제품으로부터 이물을 분리시키는 제1 에어 컷팅 유닛; 및
    상기 하우징의 표면에 형성된 흡입구를 통해 상기 하우징의 내부와 연결되며, 상기 이물을 포집하는 흡입 유닛을 포함하는 이물 제거 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 에어 컷팅 유닛은,
    상기 제품의 일면에 에어를 분사하는 제1 에어 컷팅 모듈; 및
    상기 제품의 타면에 에어를 분사하는 제2 에어 컷팅 모듈을 포함하는 이물 제거 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 에어 컷팅 유닛은 상기 제품의 이동 방향에 대해 경사지게 배치되는 이물 제거 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 에어 컷팅 모듈 및 상기 제2 에어 컷팅 모듈은 상기 제품을 기준으로 미러 대칭 관계를 형성하는 이물 제거 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 에어 컷팅 유닛은 상기 하우징으로부터 분리 가능하게 마련되는 이물 제거 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 에어 컷팅 유닛은 회전 가능한 이물 제거 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡입 유닛은 상기 하우징에 일체형으로 마련되는 이물 제거 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡입 유닛의 흡입 압력은 상기 제1 에어 컷팅 유닛의 분출 압력보다 큰 이물 제거 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 인입구에 인접하여 배치되며, 상기 제품을 상기 하우징의 내부로 인입시키는 제1 가이드 유닛;
    상기 반출구에 인접하여 배치되며, 상기 제품을 상기 하우징의 외부로 반출시키는 제2 가이드 유닛; 및
    상기 하우징의 전면에 설치되며, 개폐 가능한 도어 중 적어도 하나를 더 포함하는 이물 제거 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징의 전면은 투명한 소재로 형성되는 이물 제거 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 이물 제거 장치는 상기 제품을 이동시키면서 작동하는 이물 제거 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징의 내부에 배치되며, 상기 제품에 흡착된 금속 이물을 포집하는 마그넷 유닛을 더 포함하는 이물 제거 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 마그넷 유닛은 상기 인입구 또는 상기 반출구에 인접하여 배치되는 이물 제거 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 마그넷 유닛에 인접하는 상기 하우징의 내측벽은 경사지게 형성되는 이물 제거 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징의 내부에 배치되며, 상기 흡입 유닛을 사이에 두고 상기 제1 에어 컷팅 유닛의 맞은편에 배치되는 제2 에어 컷팅 유닛을 더 포함하는 이물 제거 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제2 에어 컷팅 유닛은 상기 제1 에어 컷팅 유닛과 다른 각도로 경사지게 마련되는 이물 제거 장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 제품은 필름 형태의 기판인 이물 제거 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제품은 높이 방향으로 반송되는 이물 제거 장치.
  19. 제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 따른 이물 제거 장치를 이용하여 제조되는 회로 기판.
  20. 제 19 항에 따른 회로 기판을 포함하는 전자 장치.
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