KR20230129133A - 표시 패널 및 이의 제조를 위한 메탈 마스크 - Google Patents

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Abstract

적어도 하나의 박막 트랜지스터를 포함하는 화소 회로 및 화소 회로에 접속된 단위 화소군을 포함하고, 단위 화소군은, 4개의 제1 컬러 발광 패턴들, 서로 상이한 형상을 가진 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들, 및 서로 상이한 형상을 가진 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들을 포함하고, 제1 내지 제3 컬러 발광 패턴들은 각각 서로 상이한 컬러들을 표시하고, 제1 컬러 발광 패턴들은, 서로 동일한 형상을 가진 2 개의 제1 컬러 제1 발광 패턴들, 및 서로 동일한 형상을 갖고 제1 컬러 제1 발광 패턴들과 상이한 형상을 가진 제1 컬러 제2 발광 패턴들을 포함한다.

Description

표시 패널 및 이의 제조를 위한 메탈 마스크{DISPLAY PANEL AND METAL MASK MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 표시 패널 및 이의 제조를 위한 메탈 마스크에 관한 것으로, 상세하게는 유기 패턴을 포함하는 표시 패널 및 이의 제조를 위한 메탈 마스크에 관한 것이다.
일반적으로 발광 표시장치는 화소들마다 발광소자가 배치된다. 발광소자는 2개의 전극 사이에 배치된 발광층을 포함한다. 화소들에 배치되는 발광층들은 복수개의 그룹으로 구분될 수 있다.
복수개의 그룹의 발광층들을 작업기판에 증착하기 위해서 마스크 어셈블리를 이용한다. 마스크 어셈블리는 프레임, 지지스틱, 및 마스크를 포함한다. 마스크 상에 작업기판을 배치한 후 발광물질을 작업기판에 증착함으로써 패터닝된 발광층들이 형성될 수 있다.
본 발명은 스트레스에 따른 변형이 최소화된 메탈 마스크 및 이를 이용하여 형성된 표시 패널을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널은 적어도 하나의 박막 트랜지스터를 포함하는 화소 회로, 및 상기 화소 회로에 접속된 단위 화소군을 포함하고, 상기 단위 화소군은, 4개의 제1 컬러 발광 패턴들, 서로 상이한 형상을 가진 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들, 및 서로 상이한 형상을 가진 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들을 포함하고, 상기 제1 내지 제3 컬러 발광 패턴들은 각각 서로 상이한 컬러들을 표시하고, 상기 제1 컬러 발광 패턴들은, 서로 동일한 형상을 가진 2 개의 제1 컬러 제1 발광 패턴들, 및 서로 동일한 형상을 갖고 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들과 상이한 형상을 가진 제1 컬러 제2 발광 패턴들을 포함한다.
상기 제1 내지 제3 컬러 발광 패턴들 각각은 삼각형 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들은 제1 방향을 따라 배열되고, 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들과 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들은 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 서로 이격되고, 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들과 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들은 상기 제2 방향과 나란한 대칭축에 대하여 선대칭 형상을 가질 수 있다.
상기 제2 컬러 발광 패턴들은 상기 제2 방향과 나란한 대칭축에 대하여 서로 선대칭 형상을 가질 수 있다.
상기 제3 컬러 발광 패턴들은 상기 제2 방향과 나란한 대칭축에 대하여 서로 선대칭 형상을 가질 수 있다.
상기 삼각형은 제1 방향을 따라 연장된 밑변 및 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 연장된 높이를 가진 직각 삼각형일 수 있다.
상기 제2 컬러 발광 패턴들은, 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들 사이에 배치된 제2 컬러 제1 발광 패턴, 및 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들 사이에 배치된 제2 컬러 제2 발광 패턴을 포함할 수 있다.
상기 제2 컬러 제1 발광 패턴과 상기 제2 컬러 제2 발광 패턴은 상기 제2 방향과 나란한 방향을 따라 연장된 대칭축에 대하여 선대칭 형상을 가질 수 있다.
상기 제3 컬러 발광 패턴들은, 상기 제2 컬러 제1 발광 패턴과 상기 제1 방향에서 이격된 제3 컬러 제1 발광 패턴, 및 상기 제2 컬러 제1 발광 패턴과 상기 제2 방향에서 이격된 제3 컬러 제2 발광 패턴을 포함하고, 상기 제2 컬러 제1 발광 패턴은 상기 제3 컬러 제1 발광 패턴과 동일한 형상을 갖고, 상기 제3 컬러 제2 발광 패턴과 상이한 형상을 가질 수 있다.
상기 제2 컬러 제1 발광 패턴은 상기 제3 컬러 제2 발광 패턴이 반 시계 방향으로 90도 회전한 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다.
상기 제2 컬러 제1 발광 패턴은 상기 제3 컬러 제2 발광 패턴이 시계 방향으로 90도 회전한 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 컬러 제1 발광 패턴과 상기 제2-1 컬러 발광패턴은 상기 사변과 나란한 방향을 따라 연장된 대칭축에 대하여 선대칭 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 컬러 제1 발광 패턴과 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴은 상기 제1 방향과 나란한 방향을 따라 연장된 대칭축을 중심으로 선대칭 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 컬러 발광 패턴들 사이의 최소 간격은 15㎛ 이상일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 메탈 마스크는 제1 개구부, 및 상기 제1 개구부로부터 제1 방향에서 이격되고 상기 제1 개구부와 상이한 형상을 가진 제2 개구부를 포함하고, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부 각각은 좌우 비 대칭 형상을 갖고, 상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부가 90도 회전 대칭된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 개구부는 복수로 구비되어 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되고, 상기 제2 개구부는 복수로 구비되어 상기 제2 방향을 따라 배열되고, 상기 제1 개구부들로부터 상기 제1 방향에서 각각 이격될 수 있다.
상기 제1 개구부는 복수로 구비되어 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되고, 상기 제2 개구부는 복수로 구비되어 상기 제2 방향을 따라 배열되고, 상기 제1 개구부들로부터 상기 제1 방향에서 각각 이격되고, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향이 이루는 각도는 예각일 수 있다.
상기 제1 개구부들 사이의 상기 제2 방향에서의 이격 거리는 상기 제1 방향에서 서로 인접하는 제1 개구부와 제2 개구부 사이의 이격 거리보다 클 수 있다.
상기 제2 개구부들 각각의 형상은 상기 제1 개구부들 각각을 반 시계 방향으로 90도 회전한 형상과 대응될 수 있다.
상기 제2 개구부들 각각의 형상은 상기 제1 개구부들 각각을 시계 방향으로 90도 회전한 형상과 대응될 수 있다.
상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부 각각은 꼭지점이 둥근 직각 삼각형 형상과 대응될 수 있다.
상기 꼭지점의 곡률 반경은 8㎛ 이상일 수 있다.
상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부 사이의 최소 간격은 15㎛ 이상일 수 있다.
상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부 각각은 사변을 갖고, 상기 제1 개구부의 사변과 상기 제2 개구부의 사변은 서로 상이한 방향을 따라 연장될 수 있다.
본 발명에 따르면, 신뢰성이 향상된 메탈 마스크가 제공될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 표시 패널의 공정 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 사시도들이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 분해 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 블록도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 표시 패널의 일부를 도시한 단면도이다.
도 4는 증착 설비의 단면도이다.
도 5는 마스크 어셈블리의 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다.
도 6b는 작업 기판에 마스크가 결합된 일부 영역을 도시한 단면도이다.
도 6c는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다.
도 6d는 단위 화소군을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 도시한 평면도이다.
도 7b는 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 도시한 평면도이다.
도 8b는 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다.
도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 도시한 평면도이다.
도 9b는 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다.
도 10a는 비교 실시예에 따른 표시 패널의 일 영역을 도시한 평면도이다.
도 10b 및 도 10c는 비교 실시예에 따른 마스크들을 도시한 평면도들이다.
도 11a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 일 영역을 도시한 평면도이다.
도 11b 및 도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들을 도시한 평면도들이다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 일부 영역들을 표시한 평면도들이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의될 수 있다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 사시도들이다. 도 1a는 전자 장치(ED)의 펼쳐진 상태(또는 언폴딩 상태)를, 도 1b는 전자 장치(ED)의 폴딩 상태를 도시하였다.
표시면(DS)은 표시 영역(DA) 및 표시 영역(DA) 주변의 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 영역(DA)은 이미지(IM)를 표시하고, 비표시 영역(NDA)은 이미지(IM)를 표시하지 않을 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)을 에워쌀 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 표시 영역(DA)의 형상과 비표시 영역(NDA)의 형상은 변형될 수 있다.
이하, 제1 방향축(DR1) 및 제2 방향축(DR2)에 의해 정의된 평면과 실질적으로 수직하게 교차하는 방향은 제3 방향축(DR3)으로 정의된다. 또한, 본 명세서에서 "평면 상에서"는 제3 방향축(DR3)에서 바라본 상태로 정의될 수 있다.
전자 장치(ED)의 표시 영역(DA) 내에서는 센싱 영역(ED-SA)이 정의될 수 있다. 도 1a에는 하나의 센싱 영역(ED-SA)이 예시적으로 도시되었으나, 센싱 영역(ED-SA)의 개수가 이에 제한되는 것은 아니다. 센싱 영역(ED-SA)은 표시 영역(DA)의 일부분일 수 있다. 따라서, 전자 장치(ED)는 센싱 영역(ED-SA)을 통해 영상을 표시할 수 있다.
센싱 영역(ED-SA)과 중첩하는 영역에는 전자 모듈이 배치될 수 있다. 전자 모듈은 센싱 영역(ED-SA)을 통해 전달되는 외부 입력을 수신하거나, 센싱 영역(ED-SA)을 통해 출력을 제공할 수 있다. 예를 들어, 전자 모듈은 카메라 모듈, 근접 센서와 같이 거리를 측정하는 센서, 사용자의 신체의 일부(예, 지문, 홍채, 또는 얼굴)를 인식하는 센서, 또는 광을 출력하는 소형 램프일 수 있으며, 특별히 이에 제한되는 것은 아니다. 이하에서는, 센싱 영역(ED-SA)과 중첩하는 전자 모듈이 카메라 모듈인 것을 예로 들어 설명한다.
전자 장치(ED)는 폴딩 영역(FA) 및 복수 개의 비폴딩 영역들(NFA1, NFA2)을 포함할 수 있다. 비폴딩 영역들(NFA1, NFA2)은 제1 비폴딩 영역(NFA1) 및 제2 비폴딩 영역(NFA2)을 포함할 수 있다. 제2 방향축(DR2) 내에서, 폴딩 영역(FA)은 제1 비폴딩 영역(NFA1) 및 제2 비폴딩 영역(NFA2) 사이에 배치될 수 있다. 폴딩 영역(FA)은 폴더블 영역으로 지칭되고, 제1 및 제2 비폴딩 영역들(NFA1, NFA2)은 제1 및 제2 비폴더블 영역으로 지칭될 수 있다.
도 1b에 도시된 것과 같이, 폴딩 영역(FA)은 제1 방향축(DR1)에 평행한 폴딩축(FX)을 기준으로 폴딩될 수 있다. 전자 장치(ED)가 폴딩된 상태에서 폴딩 영역(FA)은 소정의 곡률 및 곡률반경을 갖는다. 제1 비폴딩 영역(NFA1) 및 제2 비폴딩 영역(NFA2)은 서로 마주보고, 전자 장치(ED)는 표시면(DS)이 외부에 노출되지 않도록 인-폴딩(inner-folding)될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 전자 장치(ED)는 표시면(DS)이 외부에 노출되도록 아웃-폴딩(outer-folding)될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 전자 장치(ED)는 펼침 동작으로부터 인-폴딩 또는 아웃-폴딩 동작이 상호 반복되도록 구성될 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 본 발명의 일 실시예에서 전자 장치(ED)는 펼침 동작, 인-폴딩 동작, 및 아웃-폴딩 동작 중 어느 하나를 선택할 수 있도록 구성될 수 있다.
도 1a 및 도 1b에서는 폴더블 전자 장치(ED)를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명의 적용이 폴더블 전자 장치(ED)에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 본 발명은 리지드 전자 장치, 예를 들어, 폴딩 영역(FA)을 포함하지 않는 전자 장치에도 적용될 수 있다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 분해 사시도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 장치의 블록도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 전자 장치(ED)는 표시 모듈(DM), 윈도우(WM), 제1 전자 모듈(EM1), 제2 전자 모듈(EM2), 전원공급 모듈(PM) 및 하우징(EDC1, EDC2)을 포함할 수 있다. 별도로 도시하지 않았으나, 전자 장치(ED)는 표시 모듈(DM)의 폴딩 동작을 제어하기 위한 기구 구조물을 더 포함할 수 있다.
표시 모듈(DM)은 이미지를 생성하고 외부 입력을 감지한다. 표시 모듈(DM)은 전자 장치(ED)의 표시 영역(DA, 도 1a) 및 비표시 영역(NDA, 도 1a)에 각각 대응하는 표시 영역(DP-DA) 및 비표시 영역(DP-NDA)을 포함한다. 본 명세서에서 “영역/부분과 영역/부분이 대응한다”는 것은 중첩한다는 것을 의미하며, 동일한 면적으로 제한되지 않는다.
표시 영역(DP-DA)은 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2)을 포함할 수 있다. 제1 영역(A1)은 전자 장치(ED)의 센싱 영역(ED-SA, 도 1a)과 중첩 또는 대응될 수 있다. 본 실시예에서, 제1 영역(A1)은 원 형상으로 도시되었으나, 다각형, 타원, 적어도 하나의 곡선 변을 가진 도형, 또는 비정형의 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다. 제1 영역(A1)은 컴포넌트 영역, 제2 영역(A2)은 주 표시 영역 또는 일반 표시 영역으로 지칭될 수 있다.
제1 영역(A1)은 제2 영역(A2)보다 높은 투과율을 가질 수 있다. 또한, 제1 영역(A1)의 해상도는 제2 영역(A2)의 해상도보다 낮을 수 있다. 제1 영역(A1)은 후술되는 카메라 모듈(CMM)과 중첩할 수 있다.
표시 모듈(DM)은 표시 패널(DP), 구동 회로(DIC), 및 회로 기판(FCB)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP), 구동 회로(DIC), 및 회로 기판(FCB)은 전기적으로 연결된다. 도 2b를 참조하면, 표시 패널(DP)은 표시층(100) 및 센서층(200)을 포함할 수 있다.
표시층(100)은 실질적으로 영상을 생성하는 구성일 수 있다. 표시층(100)은 발광형 표시층일 수 있으며, 예를 들어, 표시층(100)은 유기발광 표시층, 무기발광 표시층, 유기-무기발광 표시층, 퀀텀닷 표시층, 마이크로 엘이디 표시층, 또는 나노 엘이디 표시층일 수 있다.
센서층(200)은 외부에서 인가되는 외부 입력을 감지할 수 있다. 외부 입력은 사용자의 입력일 수 있다. 사용자의 입력은 사용자 신체의 일부, 광, 열, 펜, 또는 압력 등 다양한 형태의 외부 입력들을 포함할 수 있다.
구동 회로(DIC)는 칩(chip) 형태로 표시 패널(DP)에 실장될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 구동 회로(DIC)는 표시 영역(DP-DA)의 화소들과 동일 공정을 통해 형성되어 표시 패널(DP)의 일 구성으로 제공될 수도 있다.
본 실시예에서, 구동 회로(DIC)는 비표시 영역(DP-NDA) 상에 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 구동 회로(DIC)는 표시 영역(DP-DA)에 배치되어 후술하는 화소들과 평면상에서 중첩할 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
구동 회로(DIC)는 표시 패널(DP)의 화소를 구동하기 위한 구동 소자들 예를 들어, 데이터 구동회로를 포함할 수 있다. 한편, 도 2a에서는 구동 회로(DIC)가 표시 패널(DP) 상에 실장된 구조를 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 구동 회로(DIC)는 회로 기판(FCB) 상에 실장될 수도 있다.
회로 기판(FCB)은 표시 패널(DP)에 접속될 수 있다. 회로 기판(FCB)은 도전성 점착 필름(ACF)을 통해 표시 패널(DP)에 부착되거나 초음파 접속을 통해 표시 패널(DP)에 전기적으로 연결될 수 있다. 회로 기판(FCB)은 플렉서블한 형태(FPCB)나 리지드한 형태(PCB)로 제공될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
전원공급 모듈(PM)은 전자 장치(ED)의 전반적인 동작에 필요한 전원을 공급한다. 전원공급 모듈(PM)은 통상적인 배터리 모듈을 포함할 수 있다.
제1 전자 모듈(EM1) 및 제2 전자 모듈(EM2)은 전자 장치(ED)를 동작시키기 위한 다양한 기능성 모듈을 포함한다. 제1 전자 모듈(EM1) 및 제2 전자 모듈(EM2) 각각은 표시 패널(DP)과 전기적으로 연결된 마더보드에 직접 실장되거나 별도의 기판에 실장되어 커넥터(미 도시) 등을 통해 마더보드에 전기적으로 연결될 수 있다.
제1 전자 모듈(EM1)은 제어 모듈(CTM), 무선통신 모듈(TM), 영상입력 모듈(IIM), 음향입력 모듈(AIM), 메모리(MM), 및 외부 인터페이스(IF)를 포함할 수 있다.
제어 모듈(CTM)은 전자 장치(ED)의 전반적인 동작을 제어한다. 제어 모듈(CTM)은 마이크로프로세서일 수 있다. 예를 들어, 제어 모듈(CTM)은 표시 패널(DP)을 활성화 시키거나, 비활성화 시킨다. 제어 모듈(CTM)은 표시 패널(DP)로부터 수신된 터치 신호에 근거하여 영상입력 모듈(IIM)이나 음향입력 모듈(AIM) 등의 다른 모듈들을 제어할 수 있다.
무선통신 모듈(TM)은 제1 네트워크(예를 들어, 블루투스, WiFi direct 또는 IrDA(infrared data association) 같은 근거리 통신 네트워크) 또는 제2 네트워크 (예를 들어, 셀룰러 네트워크, 인터넷, 또는 컴퓨터 네트워크(예: LAN 또는 WAN)와 같은 원거리 통신 네트워크)를 통하여 외부 전자 장치와 통신할 수 있다. 무선통신 모듈(TM)에 포함된 통신 모듈들은 하나의 구성 요소(예를 들어, 단일 칩)로 통합되거나, 또는 서로 분리된 복수의 구성 요소들(예를 들어, 복수 칩들)로 구현될 수 있다. 무선통신 모듈(TM)은 일반 통신회선을 이용하여 음성신호를 송/수신할 수 있다. 무선통신 모듈(TM)은 송신할 신호를 변조하여 송신하는 송신부(TM1)와, 수신되는 신호를 복조하는 수신부(TM2)를 포함할 수 있다.
영상입력 모듈(IIM)은 영상 신호를 처리하여 표시 패널(DP)에 표시 가능한 영상 데이터로 변환한다. 음향입력 모듈(AIM)은 녹음 모드, 음성인식 모드 등에서 마이크로폰(Microphone)에 의해 외부의 음향 신호를 입력 받아 전기적인 음성 데이터로 변환한다.
외부 인터페이스(IF)는 전자 장치(ED)와 외부 전자 장치를 물리적으로 연결시킬 수 있는 커넥터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 외부 인터페이스(IF)는 외부 충전기, 유/무선 데이터 포트, 카드 소켓(예를 들어, 메모리 카드, SIM/UIM 카드) 등에 연결되는 인터페이스 역할을 한다.
제2 전자 모듈(EM2)은 음향출력 모듈(AOM), 발광 모듈(LTM), 수광 모듈(LRM), 및 카메라 모듈(CMM) 등을 포함할 수 있다. 음향출력 모듈(AOM)은 무선통신 모듈(TM)로부터 수신된 음향 데이터 또는 메모리(MM)에 저장된 음향 데이터를 변환하여 외부로 출력한다.
발광 모듈(LTM)은 광을 생성하여 출력한다. 발광 모듈(LTM)은 적외선을 출력할 수 있다. 발광 모듈(LTM)은 LED 소자를 포함할 수 있다. 수광 모듈(LRM)은 적외선을 감지할 수 있다. 수광 모듈(LRM)은 소정 레벨 이상의 적외선이 감지된 때 활성화될 수 있다. 수광 모듈(LRM)은 CMOS 센서를 포함할 수 있다. 발광 모듈(LTM)에서 생성된 적외광이 출력된 후, 외부 물체(예컨대 사용자 손가락 또는 얼굴)에 의해 반사되고, 반사된 적외광이 수광 모듈(LRM)에 입사될 수 있다.
카메라 모듈(CMM)은 정지 영상 및 동영상을 촬영할 수 있다. 카메라 모듈(CMM)은 복수로 제공될 수 있다. 그 중 일부 카메라 모듈(CMM)은 제1 영역(A1)과 중첩할 수 있다. 외부 입력(예를 들어, 광)은 제1 영역(A1)을 통해 카메라 모듈(CMM)로 제공될 수 있다. 예를 들어, 카메라 모듈(CMM)은 제1 영역(A1)을 통해 자연 광을 수신하여 외부 이미지를 촬영할 수 있다.
하우징(EDC1, EDC2)은 표시 모듈(DM), 제1 및 제2 전자 모듈들(EM1, EM2), 및 전원공급 모듈(PM)을 수용한다. 하우징(EDC1, EDC2)은 표시 모듈(DM), 제1 및 제2 전자 모듈들(EM1, EM2), 및 전원공급 모듈(PM) 등 하우징(EDC1, EDC2)에 수용된 구성들을 보호한다. 도 2a에는 서로 분리된 2개의 하우징들(EDC1, EDC2)을 예시적으로 도시하였으나 이에 제한되지 않는다. 미-도시하였으나, 전자 장치(ED)는 2개의 하우징들(EDC1, EDC2)을 연결하기 위한 힌지 구조물을 더 포함할 수 있다. 하우징(EDC1, EDC2)은 윈도우(WM)와 결합될 수 있다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈의 평면도이다. 도 3b는 도 3a에 도시된 표시 패널의 일부를 도시한 단면도이다. 이하, 도 3a 및 도 3b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
도 3a을 참조하면, 표시 패널(DP)은 복수의 화소들(PX)을 포함할 수 있다. 화소(PX)는 표시 영역(DA-DA)에 배치된다. 비표시 영역(DP-NDA)에 주사 구동부(SDV), 데이터 구동부, 및 발광 구동부(EDV)가 배치될 수 있다. 데이터 구동부는 구동 회로(DIC)에 구성된 일부 회로일 수 있다.
표시 영역(DP-DA)은 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2)을 포함할 수 있다. 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)은 화소(PX)의 배열 간격, 화소(PX)의 크기, 또는 투과 영역(TP)의 유무에 의해 구분될 수 있다. 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)에 대한 상세한 설명은 후술한다.
표시 패널(DP)은 제2 방향축(DR2)을 따라 정의된 제1 패널 영역(AA1), 벤딩 영역(BA), 및 제2 패널 영역(AA2)을 포함할 수 있다. 제2 패널 영역(AA2) 및 벤딩 영역(BA)은 비표시 영역(DP-NDA)의 일부 영역일 수 있다. 벤딩 영역(BA)은 제1 패널 영역(AA1)과 제2 패널 영역(AA2) 사이에 배치된다.
제1 패널 영역(AA1)은 도 1a의 표시면(DS)에 대응하는 영역이다. 제1 패널 영역(AA1)은 제1 비폴딩 영역(NFA10), 제2 비폴딩 영역(NFA20), 및 폴딩 영역(FA0)을 포함할 수 있다. 제1 비폴딩 영역(NFA10), 제2 비폴딩 영역(NFA20), 및 폴딩 영역(FA0)은 도 1a 및 도 1b의 제1 비폴딩 영역(NFA1), 제2 비폴딩 영역(NFA2), 및 폴딩 영역(FA)에 각각 대응한다.
벤딩 영역(BA)은 전자 장치(ED)가 조립될 때 벤딩되는 영역에 해당될 수 있다. 표시 패널(DP)이 벤딩 영역(BA)을 구비함으로써, 좁은 베젤(narrow bezel)을 가진 전자 장치가 용이하게 구현될 수 있다.
제1 방향축(DR1)과 나란한 벤딩 영역(BA)의 폭 및 제2 패널 영역(AA2)의 폭(또는 길이)은 제1 방향축(DR1)과 나란한 제1 패널 영역(AA1)의 폭(또는 길이)보다 작을 수 있다. 벤딩축 방향의 길이가 짧은 영역은 좀 더 쉽게 벤딩될 수 있다.
표시 패널(DP)은 복수 개의 화소들(PX), 복수 개의 스캔선들(SL1-SLm), 복수 개의 데이터선들(DL1-DLn), 복수 개의 발광제어선들(ECL1-ECLm), 제1 및 제2 제어 라인들(CSL1, CSL2), 구동 전압선(PL), 및 복수 개의 패드들(PD)을 포함할 수 있다. 여기서, m 및 n은 자연수이다. 화소들(PX)은 스캔선들(SL1-SLm), 데이터선들(DL1-DLn), 및 발광제어선들(ECL1-ECLm)에 연결될 수 있다.
스캔선들(SL1-SLm)은 제1 방향축(DR1)으로 연장되어 주사 구동부(SDV)에 전기적으로 연결될 수 있다. 데이터선들(DL1-DLn)은 제2 방향축(DR2)으로 연장되고, 벤딩 영역(BA)을 경유하여 구동칩(DIC)에 전기적으로 연결될 수 있다. 발광제어선들(ECL1-ECLm)은 제1 방향축(DR1)으로 연장되어 발광 구동부(EDV)에 전기적으로 연결될 수 있다.
구동 전압선(PL)은 제1 방향축(DR1)으로 연장된 부분과 제2 방향축(DR2)으로 연장된 부분을 포함할 수 있다. 제1 방향축(DR1)으로 연장된 부분과 제2 방향축(DR2)으로 연장된 부분은 서로 다른 층 상에 배치될 수 있다. 구동 전압선(PL) 중 제2 방향축(DR2)으로 연장된 부분은 벤딩 영역(BA)을 경유하여 제2 패널 영역(AA2)으로 연장될 수 있다. 구동 전압선(PL)은 제1 전압을 화소들(PX)에 제공할 수 있다.
제1 제어 라인(CSL1)은 주사 구동부(SDV)에 연결되고, 벤딩 영역(BA)을 경유하여 제2 패널 영역(AA2)의 하단을 향해 연장될 수 있다. 제2 제어 라인(CSL2)은 발광 구동부(EDV)에 연결되고, 벤딩 영역(BA)을 경유하여 제2 패널 영역(AA2)의 하단을 향해 연장될 수 있다.
평면 상에서 봤을 때, 패드들(PD)은 제2 패널 영역(AA2)의 하단에 인접하게 배치될 수 있다. 구동칩(DIC), 구동 전압선(PL), 제1 제어 라인(CSL1), 및 제2 제어 라인(CSL2)은 패드들(PD)에 전기적으로 연결될 수 있다. 회로 기판(FCB)은 이방성 도전 접착층을 통해 패드들(PD)에 전기적으로 연결될 수 있다.
도 3b를 참조하면, 표시 패널(DP)은 표시층(100), 센서층(200), 및 반사 방지층(300)을 포함할 수 있다. 표시층(100)은 기판(110), 회로층(120), 발광 소자층(130), 및 봉지층(140)을 포함할 수 있다.
기판(110)은 복수의 층들을(111, 112, 113, 114)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 제1 서브 베이스층(111), 제1 중간 배리어층(112), 제2 중간 배리어층(113), 및 제2 서브 베이스층(114)을 포함할 수 있다. 제1 서브 베이스층(111), 제1 중간 배리어층(112), 제2 중간 배리어층(113), 및 제2 서브 베이스층(114)은 제3 방향축(DR3)으로 순차적으로 적층될 수 있다.
제1 서브 베이스층(111) 및 제2 서브 베이스층(114) 각각은 폴리이미드(polyimide)계 수지, 아크릴(acrylate)계 수지, 메타크릴(methacrylate)계 수지, 폴리아이소프렌(polyisoprene)계 수지, 비닐(vinyl)계 수지, 에폭시(epoxy)계 수지, 우레탄(urethane)계 수지, 셀룰로오스(cellulose)계 수지, 실록산(siloxane)계 수지, 폴리아미드(polyamide)계 수지 및 페릴렌(perylene)계 수지 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다. 한편, 본 명세서에서 “”계 수지는 “”의 작용기를 포함하는 것을 의미한다. 배리어층(BR)은 기판(110) 위에 배치될 수 있다.
제1, 및 제2 중간 배리어층들(112, 113) 각각은 무기물을 포함할 수 있다. 제1, 및 제2 중간 배리어층들(112, 113) 각각은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드, 및 비정질 실리콘 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 서브 베이스층들(111, 114) 각각은 폴리이미드를 포함하고 제1 중간 배리어층(112)은 실리콘옥시나이트라이드(SiON)를 포함하고 제2 중간 배리어층(113)은 실리콘옥사이드(SiOX)를 포함할 수 있다.
즉, 제1 중간 배리어층(112)의 굴절률은 제1 서브 베이스층(111)의 굴절률과 제2 중간 배리어층(113)의 굴절률 사이의 값을 가질 수 있다. 서로 맞닿는 층들의 굴절률 차이가 감소함에 따라, 상기 서로 맞닿는 층들 사이의 계면에서의 반사가 감소될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 층들 각각은 다양한 물질로 구성될 수 있으며 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제1 서브 베이스층(111)의 두께는 제2 서브 베이스층(114)의 두께보다 두꺼울 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 제1 중간 배리어층(112)의 두께는 제2 중간 배리어층(113)의 두께보다 얇을 수 있다. 다만, 제1, 제2 중간 배리어층들(112, 113) 각각의 두께가 이에 제한되는 것은 아니다.
회로층(120)은 화소 회로(PC), 및 복수의 절연층들(BR, BF, 10~80)을 포함할 수 있다. 절연층들(BR, BF, 10~80)은 제3 방향(D3)을 따라 배치된 배리어층(BR), 버퍼층(BF), 제1 내지 제8 절연층들(10~80)을 포함할 수 있다.
화소 회로(PC)는 차광층(BML), 복수의 박막 트랜지스터들(S-TFT, O-TFT), 및 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 화소 회로(PC)는 발광 소자(LD)와 함께 상술한 화소(PX)를 구성한다. 화소(PX)는 복수의 박막 트랜지스터들(S-TFT, O-TFT) 및 발광 소자(LD)를 포함할 수 있다. 도 3b에는 용이한 설명을 위해 박막 트랜지스터들(S-TFT, O-TFT) 중 2 개의 박막 트랜지스터들(S-TFT, 이하 제1 박막 트랜지스터, O-TFT, 이하 제2 박막 트랜지스터)를 예시적으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않고 화소(PX)는 다양한 수의 박막트랜지스터를 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
배리어층(BR)은 기판(110) 위에 배치될 수 있다. 배리어층(BR)은 기판(110) 위에 배치된 제1 서브 배리어층(BR1) 및 제1 서브 배리어층(BR1) 위에 배치된 제2 서브 배리어층(BR2)을 포함할 수 있다.
제1 및 제2 서브 배리어층들(BR1, BR2) 각각은 무기물을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 서브 배리어층들(BR1, BR2) 각각은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드, 및 비정질 실리콘 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 서브 배리어층(BR1)은 실리콘옥시나이트라이드(SiON)를 포함하고, 제2 서브 배리어층(BR2)은 1 실리콘옥사이드(SiOX)를 포함할 수 있다.
제1 서브 배리어층(BR1)은 굴절률은 제2 서브 베이스층(114)의 굴절률과 제2 서브 배리어층(BR2)의 굴절률 사이의 값을 가질 수 있다. 서로 맞닿는 층들의 굴절률 차이가 감소함에 따라, 상기 서로 맞닿는 층들 사이의 계면에서의 반사가 감소될 수 있다. 그 결과, 투과 영역(TP)을 투과하는 광의 투과율이 향상될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 제1 및 제2 서브 배리어층들(BR1, BR2) 각각은 다양한 물질을 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
차광층(BML)은 배리어층(BR) 위에 배치될 수 있다. 차광층(BML)은 몰리브데늄(Mo), 몰리브데늄을 함유하는 합금, 은(Ag), 은을 함유하는 합금, 알루미늄(Al), 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물(AlN), 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WN), 구리(Cu), 티타늄(Ti), p+ 도핑된 비정질 실리콘, 및 MoTaOx 등을 포함할 수 있으나, 이에 특별히 제한되는 것은 아니다. 차광층(BML)은 배면 금속층, 또는 배면층으로 지칭될 수 있다.
차광층(BML)은 서로 상이한 층 상에 배치된 제1 차광층(BMLa) 및 제2 차광층(BMLb)을 포함할 수 있다. 제1 차광층(BMLa) 및 제2 차광층(BMLb) 각각은 기판(110)의 배면으로부터 제1 및 제2 박막 트랜지스터들(S-TFT, O-TFT)에 입사되는 광을 각각 차광한다. 이에 따라, 광에 의해 제1 및 제2 박막 트랜지스터들(S-TFT, O-TFT)의 특성이 변형되거나 노이즈 신호가 발생되는 불량을 방지할 수 있다.
제1 차광층(BMLa)은 제1 서브 배리어층(BR1) 상에 배치되고, 제2 서브 배리어층(BR2) 내에 배치될 수 있다. 즉, 제2 서브 배리어층(BR2)의 두께 방향의 일부를 형성한 후 제1 차광층(BMLa)이 형성되고, 제2 서브 배리어층(BR2)의 두께 방향의 나머지 일부는 제1 차광층(BMLa)을 커버할 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 차광층(BMLa)은 박막 트랜지스터(S-TFT) 하 측에 배치된다면 제2 서브 배리어층(BR2) 하 측에 배치되거나 상측에 배치될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
버퍼층(BF)은 배리어층(BR) 상에 배치된다. 버퍼층(BF)은 기판(110)으로부터 금속 원자들이나 불순물들이 박막 트랜지스터(S-TFT)의 반도체 패턴으로 확산되는 현상을 방지할 수 있다. 또한, 버퍼층(BF)은 제1 반도체 패턴을 형성하기 위한 결정화 공정 동안 열의 제공 속도를 조절하여, 박막 트랜지스터(S-TFT)의 반도체 패턴이 균일하게 형성되도록 할 수 있다.
버퍼층(BF)은 제1 서브 버퍼층(BF1) 및 제1 서브 버퍼층(BF1) 상에 배치된 제2 서브 버퍼층(BF2)을 포함할 수 있다. 제1 서브 버퍼층(BF1) 및 제2 서브 버퍼층(BF2) 각각은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 및 실리콘옥시나이트라이드 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 서브 버퍼층(BF1)은 실리콘나이트라이드를 포함하고, 제2 서브 버퍼층(BF2)은 실리콘옥사이드를 포함할 수 있다.
도시되지 않았으나, 제2 서브 버퍼층(BF2) 중 일부분은 제1 영역(A1)에서 제거될 수도 있다. 따라서, 소자 영역(EP)에 배치된 제2 서브 버퍼층(BF2)의 일부분의 두께는 제1 영역(A1)에 배치된 제2 서브 버퍼층(BF2)의 일부분의 두께보다 클 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 제2 서브 버퍼층(BF2)은 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2) 전 영역에 대해 균일한 두께로 제공될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
절연층들(10~80)은 복수의 무기 절연층을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 버퍼층(BF) 상에 순차적으로 적층된 제1 절연층(10) 내지 제5 절연층(50) 중 적어도 일부가 무기 절연층일 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(10) 내지 제5 절연층(50)은 모두 무기 절연층일 수 있다.
제1 박막 트랜지스터(S-TFT)는 버퍼층(BF) 상에 배치된다. 제1 박막 트랜지스터(S-TFT)는 제1 게이트(GT1), 제1 소스(SE1), 제1 드레인(DE1), 및 제1 채널(AC1)을 포함할 수 있다. 제1 소스(SE1), 제1 드레인(DE1), 및 제1 채널(AC1)은 단일의 반도체 패턴(이하, 제1 반도체 패턴)을 구성할 수 있다.
제1 반도체 패턴은 버퍼층(BF) 위에 배치될 수 있다. 제1 반도체 패턴은 실리콘 반도체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 실리콘 반도체는 비정질 실리콘, 다결정 실리콘 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 반도체 패턴은 저온 폴리 실리콘을 포함할 수 있다.
한편, 도 3b는 버퍼층(BF) 위에 배치된 제1 반도체 패턴의 일부분을 도시한 것일 뿐이고, 다른 영역에 제1 반도체 패턴이 더 배치될 수 있다. 제1 반도체 패턴은 화소들에 걸쳐 특정한 규칙으로 배열될 수 있다. 제1 반도체 패턴은 도핑 여부에 따라 전기적 성질이 다를 수 있다. 제1 반도체 패턴은 전도율이 높은 제1 영역과 전도율이 낮은 제2 영역을 포함할 수 있다. 제1 영역은 N형 도판트 또는 P형 도판트로 도핑될 수 있다. P타입의 트랜지스터는 P형 도판트로 도핑된 도핑영역을 포함하고, N타입의 트랜지스터는 N형 도판트로 도핑된 도핑영역을 포함할 수 있다. 제2 영역은 비-도핑 영역이거나, 제1 영역 대비 낮은 농도로 도핑된 영역일 수 있다.
제1 영역의 전도성은 제2 영역의 전도성보다 크고, 제1 영역은 제1 박막 트랜지스터(S-TFT)의 소스 영역 또는 드레인 영역이거나, 실질적으로 전극 또는 신호 라인의 역할을 할 수 있다. 제2 영역은 제1 박막 트랜지스터(S-TFT)의 액티브 영역(또는 채널)에 해당할 수 있다.
본 실시예에서, 제1 소스(SE1) 및 제1 드레인(DE1)은 각각 제1 영역이고, 제1 채널(AC1)은 제2 영역일 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 소스(SE1) 및 제1 드레인(DE1)은 제1 채널(AC1)과 분리된 별도의 전극들로 제공되어 제1 반도체 패턴에 접속될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제1 게이트(GT1)는 제1 절연층(10) 위에 배치된다. 제1 게이트(GT1)는 금속 패턴의 일부분일 수 있다. 제1 게이트(GT1)는 제1 채널(AC1)에 중첩한다. 제1 반도체 패턴을 도핑하는 공정에서 제1 게이트(GT1)는 마스크로 기능할 수 있다. 제1 게이트(GT1)는 티타늄(Ti), 은(Ag), 은을 함유하는 합금, 몰리브데늄(Mo), 몰리브데늄을 함유하는 합금, 알루미늄(Al), 알루미늄을 함유하는 합금, 알루미늄 질화물(AlN), 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WN), 구리(Cu), 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO) 등을 포함할 수 있으나, 이에 특별히 제한되는 것은 아니다.
제2 절연층(20)은 제1 절연층(10) 위에 배치되며, 제1 게이트(GT1)를 커버할 수 있다. 제2 절연층(20)은 무기층일 수 있으며, 단층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 제2 절연층(20)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 및 실리콘옥시나이트라이드 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 제2 절연층(20)은 실리콘옥사이드층 및 실리콘나이트라이드층을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다.
제3 절연층(30)은 제2 절연층(20) 위에 배치될 수 있다. 제3 절연층(30)은 무기층일 수 있으며, 단층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 제3 절연층(30)은 실리콘옥사이드층 및 실리콘나이트라이드층을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 제2 절연층(20)과 제3 절연층(30) 사이에는 스토리지 커패시터(Cst)의 제2 전극(CE2)이 배치될 수 있다. 또한, 스토리지 커패시터(Cst)의 제1 전극(CE1)은 제1 절연층(10)과 제2 절연층(20) 사이에 배치될 수 있다.
제2 차광층(BMLb)은 제2 절연층(20) 상에 배치되고 제3 절연층(30)에 의해 커버될 수 있다. 제2 차광층(BMLb)은 제2 전극(CE2)과 동일한 층 상에 배치되고 제2 전극(CE2)과 동일 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 이에 따라, 공정 비용이 절감되고 공정이 단순화될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제2 차광층(BMLb)은 제2 전극(CE2)과 다른 층 상에 배치되거나 다른 재료로 형성될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제2 박막 트랜지스터(O-TFT)는 제3 절연층(30) 상에 배치된다. 제2 박막 트랜지스터(O-TFT)는 제2 게이트(GT2), 제2 소스(SE2), 제2 드레인(DE2), 및 제2 채널(AC2)을 포함할 수 있다. 제2 소스(SE2), 제2 드레인(DE2), 및 제2 채널(AC2)은 단일의 반도체 패턴(이하, 제2 반도체 패턴)을 구성할 수 있다.
제2 반도체 패턴은 제3 절연층(30) 위에 배치될 수 있다. 제2 반도체 패턴은 산화물 반도체를 포함할 수 있다. 산화물 반도체는 금속 산화물이 환원되었는지의 여부에 따라 구분되는 복수 개의 영역들을 포함할 수 있다. 금속 산화물이 환원된 영역(이하, 환원 영역)은 그렇지 않은 영역(이하, 비환원 영역) 대비 큰 전도성을 갖는다.
환원 영역은 제2 박막 트랜지스터(O-TFT)의 소스 영역 또는 드레인 영역이거나, 실질적으로 전극 또는 신호라인의 역할을 할 수 있다. 비환원 영역은 제2 박막 트랜지스터(O-TFT)의 액티브 영역(또는 채널)에 해당한다.
본 실시예에서, 제2 소스(SE2) 및 제2 드레인(DE2)은 각각 환원 영역이고, 제2 채널(AC2)은 비환원 영역일 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제2 소스(SE2) 및 제2 드레인(DE2)은 제2 채널(AC2)과 분리된 별도의 전극들로 제공되어 제2 반도체 패턴에 접속될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
제4 절연층(40)은 제3 절연층(30) 위에 배치될 수 있다. 제4 절연층(40)은 복수 개의 화소들에 공통으로 중첩하며, 제2 반도체 패턴을 커버할 수 있다. 제4 절연층(40)은 무기층일 수 있으며, 단층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 제4 절연층(40)은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드, 지르코늄옥사이드, 및 하프늄옥사이드 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
제2 게이트(GT2)는 제4 절연층(40) 위에 배치된다. 게이트(GT2)는 금속 패턴의 일부분일 수 있다. 게이트(GT2)는 평면상에서 제2 채널(AC2)에 중첩한다. 제2 반도체 패턴을 도핑하는 공정에서 게이트(GT2)는 마스크로 기능할 수 있다.
제5 절연층(50)은 제4 절연층(40) 위에 배치되며, 게이트(GT2)를 커버할 수 있다. 제5 절연층(50)은 무기층 및/또는 유기층일 수 있으며, 단층 또는 다층 구조를 가질 수 있다.
제1 연결 전극(CNE1)은 제5 절연층(50) 위에 배치될 수 있다. 제1 연결 전극(CNE1)은 제1 내지 제5 절연층들(10, 20, 30, 40, 50)을 관통하는 컨택홀을 통해 제1 드레인(DE1)에 접속될 수 있다. 한편, 도 5b에는 도시되지 않았으나, 표시 패널(DP)은 제1 연결 전극(CNE1)과 대응되는 위치에 정의되어 제2 드레인(DE2)이나 제2 소스(SE2)에 접속된 연결 전극을 더 포함할 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
한편, 본 실시예에서, 제1 박막 트랜지스터(S-TFT)가 실리콘 박막 트랜지스터로 설명되고 제2 박막 트랜지스터(O-TFT)가 산화물 박막 트랜지스터로 설명되었으나, 이에 한정되지 않고, 제1 박막 트랜지스터(S-TFT)가 산화물 박막 트랜지스터이고 제2 박막 트랜지스터(O-TFT)가 실리콘 박막 트랜지스터일 수도 있다. 또는, 제1 및 제2 박막 트랜지스터들(S-TFT, O-TFT)은 서로 동일한 반도체 물질로 형성될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 화소 회로(PC)는 다양한 박막 트랜지스터들로 설계될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
회로층(120)은 복수의 무기 절연층 상에 배치된 복수의 유기 절연층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제6 내지 제8 절연층(60, 70, 80) 중 적어도 하나는 유기 절연층일 수 있다.
제6 절연층(60)은 제5 절연층(50) 위에 배치될 수 있다. 제6 절연층(60)은 유기물을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 제6 절연층(60)은 폴리이미드계 수지를 포함할 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2)은 제6 절연층(60) 위에 배치될 수 있다. 제2 연결 전극(CNE2)은 제6 절연층(60)을 관통하는 컨택홀을 통해 제1 연결 전극(CNE1)에 접속될 수 있다.
제7 절연층(70)은 제6 절연층(60) 위에 배치되며, 제2 연결 전극(CNE2)을 커버할 수 있다. 제8 절연층(80)은 제7 절연층(70) 위에 배치될 수 있다.
제6 절연층(60), 제7 절연층(70), 및 제8 절연층(80) 각각은 유기층일 수 있다. 본 명세서에서, 제6 절연층(60)은 제1 유기 절연층으로, 제7 절연층(70)은 제2 유기 절연층으로, 제8 절연층(80)은 제3 유기 절연층으로 지칭될 수 있다. 예를 들어, 제6 절연층(60), 제7 절연층(70), 및 제8 절연층(80) 각각은 BCB(Benzocyclobutene), 폴리이미드(polyimide), HMDSO(Hexamethyldisiloxane), Polymethylmethacrylate(PMMA)나, Polystyrene(PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등을 포함할 수 있다.
한편, 회로층(120)에 포함된 버퍼층(BF), 배리어층(BR), 및 절연층들(10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80) 중 적어도 일부 절연층에는 제1 영역(A1)과 중첩하는 소정의 개구가 정의될 수 있다. 본 발명에 따르면, 제1 영역(A1)과 중첩하는 절연층들을 제거함으로써, 제1 영역(A1)의 투과율을 향상시킬 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 버퍼층(BF), 배리어층(BR), 및 절연층들(10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80)은 모두 제1 영역(A1)과 중첩할 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
발광 소자(LD)를 포함하는 발광 소자층(130)은 회로층(120) 위에 배치될 수 있다. 발광 소자(LD)는 화소 전극(AE), 제1 기능층(HFL), 발광층(EL), 제2 기능층(EFL), 및 공통 전극(CE)을 포함할 수 있다. 제1 기능층(HFL), 제2 기능층(EFL), 및 공통 전극(CE)은 표시 영역(DP-DA) 전체에 일체의 형상으로 제공될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 기능층(HFL), 제2 기능층(EFL), 및 공통 전극(CE)은 화소(PX)마다 패터닝될 수도 있으며 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
화소 전극(AE)은 제8 절연층(80) 위에 배치될 수 있다. 화소 전극(AE)은 (반)투광성 전극 또는 반사 전극일 수 있다. 일 실시예로, 화소 전극(AE)은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 또는 이들의 화합물 등으로 형성된 반사층과, 반사층 상에 형성된 투명 또는 반투명 전극층을 구비할 수 있다. 투명 또는 반투명 전극층은 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 인듐갈륨아연산화물(IGZO), 아연 산화물(ZnO) 또는 인듐 산화물(In2O3), 및 알루미늄 도핑된 아연 산화물(AZO)를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다. 예컨대, 화소 전극(AE)은 ITO/Ag/ITO로 구비될 수 있다.
한편, 본 실시예에서, 화소 전극(AE)은 제1 연결 전극(CNE1) 및 제2 연결 전극(CNE2)을 통해 제1 박막트랜지스터(S-TFT)에 접속된 것으로 도시되었다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 화소 전극(AE)은 제2 박막트랜지스터(O-TFT)에 접속될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
화소 정의막(PDL)은 제8 절연층(80) 위에 배치될 수 있다. 화소 정의막(PDL)은 광을 흡수하는 성질을 가질 수 있으며, 예를 들어, 화소 정의막(PDL)은 블랙의 색상을 가질 수 있다. 화소 정의막(PDL)은 블랙 성분(black coloring agent)을 포함할 수 있다. 블랙 성분은 블랙 염료, 블랙 안료를 포함할 수 있다. 블랙 성분은 카본 블랙, 크롬과 같은 금속 또는 이들의 산화물을 포함할 수 있다.
화소 정의막(PDL)에는 화소 전극(AE)의 일부분을 노출시키는 개구(PDL-OP, 이하 발광 개구부)가 정의될 수 있다. 즉, 화소 정의막(PDL)은 화소 전극(AE)의 가장자리를 커버할 수 있다. 또한, 화소 정의막(PDL)은 투과 영역(TP)과 인접한 제8 절연층(80)의 측면을 커버할 수 있다.
제1 기능층(HFL)은 화소 전극(AE) 및 화소 정의막(PDL) 위에 배치될 수 있다. 제1 기능층(HFL)은 정공 수송층(HTL: Hole Transport Layer)을 포함하거나, 정공 주입층(HIL: Hole Injection Layer)을 포함하거나, 정공 수송층 및 정공 주입층을 모두 포함할 수 있다. 제1 기능층(HFL)은 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2) 전체에 배치될 수 있으며, 제1 기능층(HFL)은 투과 영역(TP)에도 배치될 수 있다.
발광층(EL)은 제1 기능층(HFL) 위에 배치되며, 화소 정의막(PDL)의 발광 개구부(PDL-OP)와 대응하는 영역에 배치될 수 있다. 발광층(EL)은 소정의 색상의 광을 방출하는 유기물, 무기물, 또는 유-무기물을 포함할 수 있다. 발광층(EL)은 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2)에 배치될 수 있다. 제1 영역(A1)에 배치된 발광층(EL)은 투과 영역(TP)과 이격된 영역, 즉, 소자 영역(EP)에 배치될 수 있다.
제2 기능층(EFL)은 제1 기능층(HFL) 위에 배치되며, 발광층(EL)을 커버할 수 있다. 제2 기능층(EFL)은 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer)을 포함하거나, 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함하거나, 전자 수송층 및 전자 주입층을 모두 포함할 수 있다. 제2 기능층(EFL)은 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2) 전체에 배치될 수 있으며, 제2 기능층(EFL)은 투과 영역(TP)에도 배치될 수 있다.
공통 전극(CE)은 제2 기능층(EFL) 위에 배치될 수 있다. 공통 전극(CE)은 투명 전극층으로 형성되거나 반투명 전극층으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 공통 전극(CE)은 광투과성을 가진 얇은 박막의 Ag층을 포함할 수 있다.
도시되지 않았으나, 발광 소자층(130)은 공통 전극(CE) 위에 배치된 캡핑층(capping layer)을 더 포함할 수도 있다. 캡핑층은 LiF, 무기물, 또는/및 유기물을 포함할 수 있다. 캡핑층은 봉지층(140) 형성 공정에서 공통 전극(CE)을 보호하고, 공통 전극(CE)과의 굴절률 매칭(index matcing)을 통해 발광 소자(LD)의 광 추출 효율을 향상시킬 수 있다.
봉지층(140)은 발광 소자층(130) 위에 배치될 수 있다. 봉지층(140)은 순차적으로 적층된 무기층(141), 유기층(142), 및 무기층(143)을 포함할 수 있으나, 봉지층(140)을 구성하는 층들이 이에 제한되는 것은 아니다.
무기층들(141, 143)은 수분 및 산소로부터 발광 소자층(130)을 보호하고, 유기층(142)은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 발광 소자층(130)을 보호할 수 있다. 무기층들(141, 143)은 실리콘나이트라이드층, 실리콘옥시나이트라이드층, 실리콘옥사이드층, 티타늄옥사이드층, 또는 알루미늄옥사이드층 등을 포함할 수 있다. 유기층(142)은 아크릴 계열 유기층을 포함할 수 있고, 이에 제한되지 않는다.
센서층(200)은 표시층(100) 위에 배치될 수 있다. 센서층(200)은 센서, 입력 감지층, 또는 입력 감지 패널로 지칭될 수 있다. 센서층(200)은 센서 베이스층(210), 제1 센서 도전층(220), 센서 절연층(230), 제2 센서 도전층(240), 및 센서 커버층(250)을 포함할 수 있다.
센서 베이스층(210)은 표시층(100) 위에 직접 배치될 수 있다. 센서 베이스층(210)은 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드, 및 실리콘옥사이드 중 적어도 어느 하나를 포함하는 무기층일 수 있다. 또는 센서 베이스층(210)은 에폭시 수지, 아크릴 수지, 또는 이미드 계열 수지를 포함하는 유기층일 수도 있다. 센서 베이스층(210)은 단층 구조를 갖거나, 제3 방향축(DR3)을 따라 적층된 다층 구조를 가질 수 있다.
제1 센서 도전층(220) 및 제2 센서 도전층(240) 각각은 단층구조를 갖거나, 제3 방향축(DR3)을 따라 적층된 다층 구조를 가질 수 있다.
단층구조의 도전층은 금속층 또는 투명 도전층을 포함할 수 있다. 금속층은 몰리브데늄, 은, 티타늄, 구리, 알루미늄, 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다. 투명 도전층은 인듐주석산화물(indium tin oxide, ITO), 인듐아연산화물(indium zinc oxide, IZO), 산화아연(zinc oxide, ZnO), 또는 인듐아연주석산화물(indium zinc tin oxide, IZTO) 등과 같은 투명한 전도성산화물을 포함할 수 있다. 그밖에 투명 도전층은 PEDOT과 같은 전도성 고분자, 금속 나노 와이어, 그라핀 등을 포함할 수 있다.
다층구조의 도전층은 금속층들을 포함할 수 있다. 금속층들은 예컨대 티타늄/알루미늄/티타늄의 3층 구조를 가질 수 있다. 다층구조의 도전층은 적어도 하나의 금속층 및 적어도 하나의 투명 도전층을 포함할 수 있다.
센서 절연층(230)은 제1 센서 도전층(220)과 제2 센서 도전층(240) 사이에 배치될 수 있다. 센서 절연층(230)은 무기막을 포함할 수 있다. 무기막은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드, 지르코늄옥사이드, 및 하프늄옥사이드 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
또는 센서 절연층(230)은 유기막을 포함할 수 있다. 유기막은 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지, 폴리이소프렌, 비닐계 수지, 에폭시계 수지, 우레탄계 수지, 셀룰로오스계 수지, 실록산계 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드계 수지 및 페릴렌계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
센서 커버층(250)은 센서 절연층(230) 위에 배치되며 제2 센서 도전층(240)을 커버할 수 있다. 제2 센서 도전층(240)은 도전 패턴(240P)을 포함할 수 있다. 센서 커버층(250)은 도전 패턴(240P)을 커버하며, 후속 공정에서 도전 패턴(240P)에 데미지가 발생될 확률을 감소 또는 제거할 수 있다.
센서 커버층(250)은 무기물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 센서 커버층(250)은 실리콘나이트라이드를 포함할 수 있으나, 이에 특별히 제한되는 것은 아니다.
반사 방지층(300)은 센서층(200) 위에 배치될 수 있다. 반사 방지층(300)은 분할층(310), 복수의 컬러 필터들(320), 및 평탄화층(330)를 포함할 수 있다.
분할층(310)은 제2 센서 도전층(240)과 중첩하여 배치될 수 있다. 본 실시예에서 도전 패턴(240P)은 제2 센서 도전층(240)과 대응될 수 있다. 센서 커버층(250)은 분할층(310)과 제2 센서 도전층(240) 사이에 배치될 수 있다. 분할층(310)은 제2 센서 도전층(240)에 의한 외부 광 반사를 방지할 수 있다. 분할층(310)을 구성하는 물질은 광을 흡수하는 물질이라면 특별히 한정되지 않는다.
분할층(310)은 블랙 컬러를 갖는 층으로, 일 실시예에서 분할층(310)은 블랙 성분(black coloring agent)을 포함할 수 있다. 블랙 성분은 블랙 염료, 블랙 안료를 포함할 수 있다. 블랙 성분은 카본 블랙, 크롬과 같은 금속 또는 이들의 산화물을 포함할 수 있다.
분할층(310)에는 복수의 분할 개구들(310-OP)이 정의될 수 있다. 복수의 분할 개구들(310-OP)은 복수의 발광층들(EL)과 각각 중첩할 수 있다. 컬러 필터들(320)은 복수의 분할 개구들(310-OP)에 각각 대응하여 배치될 수 있다. 컬러 필터(320)는 컬러 필터(320)와 중첩하는 발광층(EL)에서 제공되는 광을 투과시킬 수 있다.
본 실시예에서, 분할층(310) 및 컬러 필터들(320) 중 적어도 어느 하나는 제1 영역(A1)에는 배치되지 않을 수도 있다. 이에 따라, 제1 영역(A1)의 광 투과율이 향상될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 설명한 것이고, 분할층(310) 및 컬러 필터들(320)은 카메라 모듈(CMM)의 성능에 영향을 미치지 않는다면 부분적으로 제1 영역(A1)에 배치될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
평탄화층(330)은 분할층(310) 및 컬러 필터들(320)을 커버할 수 있다. 평탄화층(330)은 유기물을 포함할 수 있으며, 평탄화층(330)의 상면에 평탄면을 제공할 수 있다. 일 실시예에서, 평탄화층(330)은 생략될 수도 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)에 있어서, 센서층(200)과 반사 방지층(300) 중 적어도 어느 하나는 생략될 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 4는 증착 설비의 단면도이다. 도 5는 마스크 어셈블리의 사시도이다. 증착 설비(DPA)는 도 3b의 표시 패널(DP), 특히 발광층(EL)의 증착 공정에 이용될 수 있다. 증착 설비(DPA)는 증착 챔버(CB), 고정 부재(CM), 증착 소스(DS), 및 마스크 어셈블리(MSA)를 포함한다. 별도로 도시하지 않았으나, 증착 설비(DPA)는 인라인 시스템을 구현하기 위한 추가 기계장치를 더 포함할 수 있다.
증착 챔버(CB)는 증착조건을 진공으로 설정할 수 있다. 증착 챔버(CB)는 바닥면, 천장면, 및 측벽들을 포함할 수 있다. 증착 챔버(CB)의 바닥면은 제1 방향축(DR1) 및 제2 방향축(DR2)이 정의하는 면과 평행한다. 증착 챔버(CB)의 바닥면의 법선 방향은 제3 방향축(DR3)이 지시한다. 이하, 제1 내지 제3 방향들은 제1 내지 제3 방향축들(DR1, DR2, DR3) 각각 이 지시하는 방향으로써 정의되고, 동일한 도면 부호를 참조한다. 이하에서 표현되는 "평면 상에서"는 제1 방향축(DR1) 및 제2 방향축(DR2)이 정의하는 면과 평행한 면을 기준으로 설정된다.
고정 부재(CM)는 증착 챔버(CB)의 내측에 배치되고, 증착 소스(DS) 상에 배치되며, 마스크 어셈블리(MSA)를 고정한다. 고정 부재(CM)는 증착 챔버(CB)의 천장면에 설치될 수 있다. 고정 부재(CM)는 마스크 어셈블리(MSA)를 홀딩하는 지그 또는 로봇암을 포함할 수 있다.
고정 부재(CM)는 바디부(BD) 및 바디부(BD)에 결합된 자성체들(MM)을 포함한다. 바디부(BD)는 마스크 어셈블리(MSA)를 고정하기 위한 기본구조로써 플레이트를 포함할 수 있으며, 이에 제한되지 않는다. 자성체들(MM)은 바디부(BD)의 내측에 배치되거나, 외측에 배치될 수 있다. 자성체들(MM)은 자기력으로 마스크 어셈블리(MSA)를 고정할 수 있다.
증착 소스(DS)는 증착 물질, 예컨대 발광 물질을 증발시켜, 증착 증기로써 분출할 수 있다. 해당 증착 증기는 마스크 어셈블리(MSA)를 통과하여 소정의 패턴으로 작업기판(WS)에 증착된다.
마스크 어셈블리(MSA)는 증착 챔버(CB)의 내측에 배치되고, 증착 소스(DS) 상에 배치되며, 작업기판(WS)을 지지한다. 작업기판(WS)은 유리기판 또는 플라스틱 기판을 포함할 수 있다. 작업기판(WS)은 베이스 기판 상에 배치된 고분자층을 포함할 수 있다. 표시패널의 제조공정의 후반부에서 베이스 기판은 제거될 수 있으며, 고분자층이 도 1의 베이스층(BL)에 해당할 수 있다.
마스크 어셈블리(MSA)는 프레임(FM), 복수의 스틱들(ST), 및 복수의 마스크들(MSK)을 포함한다. 본 실시예에서 동일한 방향으로 연장된 1종의 스틱들(ST)을 포함하는 마스크 어셈블리(MSA)를 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에서 마스크 어셈블리(MSA)는 다른 방향으로 연장된 다른 종류의 스틱들을 더 포함할 수 있다.
프레임(FM)에는 내측에 개구부(OP-F)가 정의된다. 프레임(FM)은 평면 상에서 사각 형상을 가질 수 있다. 프레임(FM)은 그 재료로써 금속 물질로 구성될 수 있다. 프레임(FM)은 예컨대 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금, 니켈-철 합금 등을 포함할 수 있다. 프레임(FM)은 4개의 부분들을 포함할 수 있다. 프레임(FM)은 제1 방향축(DR1)에서 마주하는 제1 연장 부분(FM-1) 및 제2 연장 부분(FM-2)을 포함할 수 있다. 프레임(FM)은 제2 방향축(DR2)에서 마주하며 각각이 제1 연장 부분(FM-1) 및 제2 연장 부분(FM-2)을 연결하는 제3 연장 부분(FM-3) 및 제4 연장 부분(FM-4)을 포함할 수 있다. 제1 연장 부분(FM-1) 내지 제4 연장 부분(FM-4)은 용접 등에 의해 결합되거나, 일체의 형상을 가질 수도 있다.
스틱들(ST)은 제1 내지 제3 스틱들(ST1, ST2, ST3)을 포함한다. 제1 내지 제3 스틱들(ST1, ST2, ST3)은 제1 개구부(OP-F)에 중첩하도록 프레임(FM)에 결합된다. 제1 내지 제3 스틱들(ST1, ST2, ST3)은 제1 연장 부분(FM-1) 및 제2 연장 부분(FM-2) 각각에 정의된 결합홈들에 결합될 수 있다. 한편, 스틱들(ST)의 개수는 제한되지 않으며, 프레임(FM)과 일체의 형상을 가질 수도 있다.
마스크들(MSK)은 프레임(FM)과 스틱들(ST) 상에 배치되며, 제2 방향축(DR2)으로 연장되며 제1 방향축(DR1)으로 나열될 수 있다. 마스크들(MSK)은 그 재료로써, 프레임(FM)에 비해 열팽창계수가 작은 인바를 포함할 수 있다. 마스크들(MSK)은 예컨대 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금, 니켈-철 합금 등을 포함할 수 있다.
마스크들(MSK) 각각에는 복수 개의 개구부들(OP-M, 이하 마스크 개구들)이 정의된다. 마스크들(MSK) 각각은 마스크 개구들(OP-M)이 정의된 개구영역(A-OP)과 개구영역(A-OP)에 인접한 비개구영역(A-NOP)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 마스크들(MSK) 각각은 제2 방향축(DR2)을 따라 연속적으로 정의된 단일의 개구영역(A-OP)을 포함할 수 있다. 마스크 개구들(OP-M)은 개구영역(A-OP) 내에서 소정의 규칙을 이루며(또는 균일하게) 배치된다. 발광층(EML)의 평면상 형상은 마스크 개구들(OP-M)의 평면 형상과 대응될 수 있다.
마스크들(MSK)은 프레임(FM)에 용접하여 결합될 수 있다. 마스크 어셈블리(MSA)를 제조하는 과정에서, 마스크들(MSK) 각각을 제2 방향축(DR2)으로 인장시킨 상태에서 마스크들(MSK)을 프레임(FM)에 용접한다. 마스크 어셈블리(MSA)는 복수 개의 분할된 마스크들(MSK)을 포함한다. 마스크들(MSK)은 프레임(FM)에 대응하는 1개의 대형 마스크 대비 마스크의 처짐 현상이 적게 발생할 수 있다.
이때, 마스크들(MSK) 각각에는 제2 방향축(DR2)에서의 인장력이 가해진다. 마스크들(MSK)은 인장력에 따른 스트레스에 의한 변형이 가해질 수 있다. 본 발명에 따르면, 마스크들(MSK) 각각에 정의된 마스크 개구들(OP-M)의 형상 및 배열을 균형있게 설계함으로써, 인장력이 마스크들(MSK)의 일부에 국부적으로 발생되거나 비대칭적으로 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 마스크들(MSK)의 스트레스에 따른 변형이나 손상이 방지될 수 있고, 마스크 어셈블리(MSA)의 신뢰성이 향상될 수 있다. 이하, 자세한 설명은 후술하기로 한다.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다. 도 6b는 작업 기판에 마스크가 결합된 일부 영역을 도시한 단면도이다. 도 6c는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다. 도 6d는 단위 화소군을 확대하여 도시한 평면도이다. 제1 작업 기판(WS1)은 도 3b에 도시된 표시 패널(DP) 중 화소 정의막(PDL)과 제1 기능층(HFL)이 형성된 상태의 기판을 의미하고, 용이한 설명을 위해, 작업 기판(WS1)에는 제1 기능층(HFL)은 생략하여 도시하였다.
제2 작업 기판(WS2)은 제1 작업 기판(WS1)에 발광 패턴들(EP_R, EP_G, EP_B)이 형성된 상태의 기판을 의미한다. 제2 작업 기판(WS2)은 도 3b에 도시된 표시 패널(DP) 중 발광층(EL)까지 형성된 상태의 기판과 대응될 수 있고, 발광 패턴들(EP_R, EP_G, EP_B)은 발광층(EL)과 대응될 수 있다.
한편, 도 6a 내지 도 6c에 도시된 제1 작업 기판(WS1)과 제2 작업 기판(WS2)은 하나의 예시에 불과하고 이에 제한되지 않는다. 이하, 도 6a 내지 도 6d를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다.
도 6a에는 발광 개구부들(PDL-OP)을 표시하였고 도 6c에는 발광 개구부들(PDL-OP)에 각각 형성된 발광층(EL)을 도시하였다. 발광 개구부들(PDL-OP)은 복수의 제1 개구부들(OP_G), 복수의 제2 개구부들(OP_R), 및 복수의 제3 개구부들(OP_B)을 포함할 수 있다. 제1 개구부들(OP_G), 제2 개구부들(OP_R), 및 제3 개구부들(OP_B) 각각은 좌우 비 대칭 형상을 가질 수 있다.
발광층(EL)은 복수의 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G), 복수의 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R), 및 복수의 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B)을 포함할 수 있다. 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)은 제1 개구부들(OP_G)에 각각 대응되어 배치되며 제1 컬러를 발광하는 발광부와 대응될 수 있다. 마찬가지로, 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R)은 제2 개구부들(OP_R)에 각각 대응되어 배치되며 제2 컬러를 발광하는 발광부와 대응될 수 있다. 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B)은 제3 개구부들(OP_B)에 각각 대응되어 배치되며 제3 컬러를 발광하는 발광부와 대응될 수 있다.
제1 내지 제3 컬러들은 서로 상이한 컬러들일 수 있다. 예를 들어, 본 실시예에서, 제1 내지 제3 컬러들은 각각 그린, 레드, 블루와 대응될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 내지 제3 컬러들은 서로 상이하다면 다양한 컬러로 선택될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 6b에는 용이한 설명을 위해 제1 발광 개구부(OP-G), 제2 발광 개구부(OP-R), 및 제3 발광 개구부(OP-B)에 대응하는 3개의 제1 전극들(AE-G, AE-R, AE-B)이 추가적으로 도시되었다. 또한, 도 6b에는 앞서 설명한 고정부재(CM)와 제1 마스크(MSK1)가 추가적으로 도시되었다. 제1 마스크(MSK1)는 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)을 형성하기 위한 마스크일 수 있다. 이에 따라, 제1 마스크(MSK1)에 정의된 마스크 개구들(OP_MG)은 제1 발광 개구부들(OP-G)에 각각 대응된다.
제1 마스크(MSK1)의 제1 마스크 개구(OP-MG)는 제1 발광 개구부(OP-G) 대비 더 큰 면적을 가질 수 있다. 마스크 어셈블리(MSA)가 챔버(CB)의 내부에 배치되며 제1 마스크(MSK1)와 작업기판(WS1)이 정렬된 상태에서, 제1 발광 개구부(OP-G)는 제1 마스크(MSK1)의 제1 마스크 개구(OP-MG) 내측에 배치되는 것이 바람직하다. 마찬가지로 도시되지 않았으나, 후술하는 제2 마스크(MSK2, 도 8a 참조)가 챔버(CB)에 체결되는 경우, 제2 발광 개구부(OP-R)는 제2 마스크(MSK2)의 제2 마스크 개구(OP-MR, 도 8a 참조) 내측에 배치되는 것이 바람직하다. 마찬가지로 후술하는 제3 마스크(MSK3, 도 9a 참조)가 챔버(CB)에 체결되는 경우, 제3 발광 개구부(OP-B)는 제3 마스크(MSK3)의 제3 마스크 개구(OP-MB, 도 9a 참조) 내측에 배치되는 것이 바람직하다.
도 6a 내지 도 6c를 참조하면, 제1 마스크(MSK1)를 통해 제1 발광 개구부들(OP-G)에 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)이 형성될 수 있다. 이후, 대응되는 마스크들을 통해 제2 발광 개구부들(OP-R) 및 제3 발광 개구부들(OP-B)에도 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R)과 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B)이 각각 형성될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
한편, 마스크(MSK1)는 스페이서(SPC)에 의해 지지될 수 있다. 스페이서(SPC)가 화소 정의막(PDL)의 상면으로부터 돌출되므로, 스페이서(SPC)는 마스크(MSK1)와 작업 기판(WS1) 사이의 충돌을 방지하고, 마스크(MSK1)에 따른 작업 기판(WS1)의 손상을 방지할 수 있다.
도 6d를 참조하면, 단위 화소군(UT)은 8 개의 컬러 발광부들을 포함하는 것으로 정의될 수 있다. 표시 패널(DP)은 단위 화소군(UT)이 복수로 구비되어 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따라 규칙적으로 배열되어 형성될 수 있다. 한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 화소군(UT)은 임의로 설정된 것이고, 단위 화소군(UT)을 구성하는 컬러 발광부들의 수는 다양하게 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
단위 화소군(UT)은 각각이 제1 컬러를 갖는 4개의 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4), 각각이 제2 컬러를 갖는 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R1, EP_R2), 및 각각이 제3 컬러를 갖는 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B1, EP_B2)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 컬러들은 서로 상이한 컬러들일 수 있다. 본 실시예에서, 2 개의 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2), 1 개의 제2 컬러 발광 패턴(EP_R1), 1 개의 제3 컬러 발광 패턴(EP_B1)이 단위 화소군(UT)의 제1 행을 이루고, 2 개의 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4), 1 개의 제2 컬러 발광 패턴(EP_R2), 1 개의 제3 컬러 발광 패턴(EP_B2)이 단위 화소군(UT)의 제2 행을 이룰 수 있다.
제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2), 및 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)을 포함할 수 있다. 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)은 서로 동일한 형상을 갖고 제1 방향(D1)을 따라 배열된다. 한편, 본 실시예에서 동일한 형상은 “모양의 동일”을 의미할 뿐 “위치의 동일”까지 포함하지 않는다. 즉, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)이 정의하는 평면상에서 서로 다른 위치에 있더라도, 위치 이동을 통해 서로 중첩하는 동일한 모양을 가진다면 실질적으로 동일한 형상일 수 있다.
제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 각각은 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변과 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이를 가진 삼각형 형상을 갖되, 꼭지점들이 둥근 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에서, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 각각은 대체로 직각 삼각형과 대응되며, 각 꼭지점들과 대응되는 부분에 소정의 곡률을 갖는 형상을 가질 수 있다.
제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)과 다른 행에 배치된다. 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)과 제2 방향(D2)에서 각각 이격되어 배치된다. 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)은 서로 동일한 형상을 갖고 제1 방향(D1)에서 서로 이격되어 배치된다.
제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 각각은 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변과 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이를 가진 삼각형 형상을 갖되, 꼭지점들이 둥근 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에서, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 각각은 대체로 직각 삼각형과 대응되며, 각 꼭지점들과 대응되는 부분에 소정의 곡률을 갖는 형상을 가질 수 있다.
제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4) 각각은 대체로 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이, 및 밑변과 높이를 연결하는 사변을 가진 직각 삼각형 형상을 갖되, 꼭지점들이 둥근 곡면들을 갖는 형상을 가질 수 있다. 한편, 본 실시예에서, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)과 상이한 형상을 가진다. 본 실시예에서 상이한 형상은 모양이 상이한 것을 의미하며, 동일한 모양을 가지나 평면상에서의 위치만 상이한 경우는 포함하지 않는다.
예를 들어, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)과 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)은 서로 상이한 방향을 따라 연장된 사변들을 가질 수 있다. 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)의 사변들 각각은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장되고, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)의 사변들 각각은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장될 수 있다.
구체적으로, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 각각은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 각각이 제2 방향(D2)과 나란한 대칭축에 대하여 선대칭 된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 즉, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)을 각각 제2 방향(D2)과 평행한 대칭축을 중심으로 대칭 이동시킨 형상들은, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)과 각각 동일할 수 있다. 구체적으로, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)은, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)을 가로지르고 제2 방향(D2)과 평행한 대칭축에 대해, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)이 선대칭 된 후 제2 방향(D2)의 반대 방향으로 위치 이동을 한 것과 동일할 수 있다.
또한, 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4) 각각이 대체로 직각 삼각형을 가짐에 따라, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)의 형상들 각각은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 각각이 반 시계 방향으로 90도 회전한 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)이 반 시계 방향으로 90도 회전된 후 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)에 의해 정의되는 평면상에서 위치 이동을 한 것과 동일할 수 있다.
제2 컬러 발광 패턴들(EP_R1, EP_R2)은 서로 다른 행에 배치된 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)을 포함할 수 있다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)은 제1 행에 배치되어 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 사이에 배치되고, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)은 제2 행에 배치되어 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 사이에 배치된다.
제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2) 각각은 대체로 삼각형 형상을 갖되, 꼭지점이 둥근 형상을 가질 수 있다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2) 각각은 대체로 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이, 및 밑변과 높이를 연결하는 사변을 가진 직각 삼각형 형상을 가질 수 있다.
한편, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)은 서로 상이한 형상을 가진다. 예를 들어, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)은 서로 상이한 방향을 따라 연장된 사변들을 가질 수 있다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)의 사변은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장되고, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)의 사변은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장될 수 있다.
제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)에 각각 마주하는 변들을 포함한다. 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)에 각각 마주하는 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)변들은 예각을 이룰 수 있다. 본 실시예에서, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)의 사변은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 중 좌측 컬러 발광 패턴(EP_G1)과 마주하고 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)의 다른 변은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 중 우측 컬러 발광 패턴(EP_G2)과 마주한다.
제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R1)은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)에 각각 마주하는 변들을 포함한다. 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)에 마주하는 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)의 변들은 예각을 이룰 수 있다. 본 실시예에서, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)의 사변은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 중 우측 컬러 발광 패턴(EP_G4)과 마주하고 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)의 다른 변은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 중 좌측 컬러 발광 패턴(EP_G3)과 마주한다.
제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)은 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)이 제2 방향(D2)과 나란한 대칭 축에 대하여 선대칭된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)은 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)이 선대칭 된 후 제1 방향(D1)으로 위치 이동을 한 것과 동일할 수 있다. 또한, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)은 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)이 90도 회전 대칭된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)은 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)이 반 시계 방향으로 90도 회전 대칭된 후 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)에 의해 정의되는 평면상에서 위치 이동을 한 것과 동일할 수 있다.
제3 컬러 발광 패턴들(EP_B1, EP_B2)은 서로 다른 행에 배치된 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)을 포함할 수 있다. 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)은 제1 행에 배치되어 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2)의 우 측에 배치되고, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 제2 행에 배치되어 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)의 좌 측에 배치된다. 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 제2 방향(D2)에서 서로 엇갈려 배치될 수 있다. 이에 따라, 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 제2 방향(D2)에서 볼 때 서로 비 중첩할 수 있다.
제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2) 각각은 대체로 삼각형 형상을 갖되, 꼭지점이 둥근 형상을 가질 수 있다. 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2) 각각은 대체로 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이, 및 밑변과 높이를 연결하는 사변을 가진 직각 삼각형 형상을 가질 수 있다.
한편, 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)과 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 서로 상이한 방향을 따라 연장된 사변들을 가질 수 있다. 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)의 사변은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장되고, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)의 사변은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장될 수 있다.
제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)은 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)이 제2 방향(D2)과 나란한 대칭 축에 대하여 선대칭된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)이 선 대칭된 후, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)에 의해 정의되는 평면상에서(이하, 평면상에서) 위치 이동을 한 것과 동일할 수 있다. 또한, 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)은 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)이 90도 회전 대칭된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)이 반 시계 방향으로 90도 회전 대칭된 후, 평면상에서 위치 이동을 한 것과 동일할 수 있다.
제2 컬러 발광 패턴들(EP_R1, EP_R2) 및 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B1, EP_B2)은 각각 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4)과 마주하는 사변들을 가지며 선대칭 관계를 가질 수 있다. 다시 말해, 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R1, EP_R2) 및 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B1, EP_B2)의 사변들을 통해 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R1, EP_R2) 및 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B1, EP_B2)은 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4)과 마주할 수 있다.
상술한 바와 같이, 컬러 발광 패턴들 각각이 직각 삼각형 형상을 가질 때, 사변들에 의해 정의되는 컬러 발광 패턴들의 내각들 각각은 예각일 수 있다. 사변을 통해 서로 마주하는 두 컬러 발광 패턴들이 하나의 사각 영역에 존재한다고 할 때, 두 컬러 발광 패턴들은 사각 영역을 가로지르는 대각선을 기준으로 분할되는 2 개의 삼각 영역들에 각각 존재할 수 있다. 하나의 사각 영역에서 마주하는 두 컬러 발광 패턴들은 서로 동일한 면적을 가진 대칭 관계를 가질 수 있다.
예를 들어, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 중 하나(EP_G1)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제2 대각 방향(S2)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP_G1)과 선대칭 형상을 가진다. 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP_R2)은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 중 하나(EP_G4)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제1 대각 방향(S1)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP_G4)과 선대칭 관계를 가진다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)과 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP_G1)은 사변에 의해 분할되는 2 개의 삼각 영역들에 각각 존재할 수 있다.
제3 컬러 제1 발광 패턴(EP_B1)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2) 중 다른 하나(EP_G2)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제2 대각 방향(S2)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP_G2)과 선대칭 형상을 가진다. 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP_B2)은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4) 중 다른 하나(EP_G3)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제1 대각 방향(S1)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP_G3)과 선대칭 관계를 가진다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP_R1)과 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP_G1)은 사변에 의해 분할되는 2 개의 삼각 영역들에 각각 존재할 수 있다.
본 발명에 따른 작업 기판(WS1)은 각각 직각 삼각형 형상의 개구부들(PDL-OP)을 포함할 수 있다. 또한, 작업 기판(WS2)은 개구부들(PDL-OP)에 각각 대응하는 대체로 삼각형 형상의 발광 패턴들(EP)을 포함할 수 있다. 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4)은 서로 상이한 형상을 갖고 회전 대칭 또는 선 대칭 형상을 갖는 두 행으로 배열된다. 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R1, EP_R2)도 서로 상이한 형상을 갖고 회전 대칭 또는 선 대칭 형상을 갖는 두 행으로 배열된다. 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B1, EP_B2)도 서로 상이한 형상을 갖고 회전 대칭 또는 선 대칭 형상을 갖는 두 행으로 배열된다.
본 발명에 따르면, 하나의 단위 화소군(UT)을 구성하는 발광 패턴들이 서로 대칭 되는 형상으로 제공됨으로써, 마스크(MSK)의 개구가 마스크(MSK) 전 영역에 균일하게 배열될 수 있다. 이에 따라, 마스크(MSK) 인장 시, 스트레스가 국부적으로 발생되는 문제를 방지할 수 있어, 마스크(MSK)의 손상이나 변형이 방지될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 도시한 평면도이다. 도 7b는 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다. 도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 도시한 평면도이다. 도 8b는 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다. 도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 일부를 도시한 평면도이다. 도 9b는 작업 기판의 일부 영역을 도시한 평면도이다.
도 7a, 8a, 9a에는 서로 상이한 컬러 발광 패턴들을 형성하기 위한 마스크들(MSK1, MSK2, MSK3)을 각각 도시하였고, 도 7b, 8b, 9b에는 마스크들(MSK1, MSK2, MSK3)에 의해 순차적으로 형성되는 발광 패턴들을 포함하는 기판들(WS1-G, WS1-R, DP-C)을 각각 도시하였다. 또한, 도 7a 내지 도 9b에는 도 6a와 대응되는 영역을 도시하였다. 이하, 도 7a 내지 도 9b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1 내지 도 6d에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 7a 및 도 7b에 도시된 것과 같이, 제1 마스크(MSK1)를 이용하여 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)을 형성한다. 제1 작업 기판(WS1: 도 6a 참조)는 제1 마스크(MSK1)를 통해 1차 표시 패널(WS1-G)이 될 수 있다. 1차 표시 패널(WS1-G)은 제1 작업 기판(WS1)에 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)이 형성된 상태일 수 있다.
제1 마스크(MSK1)에는 복수의 제1 마스크 개구들(OP_MG)이 정의된다. 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)은 제1 마스크 개구들(OP_MG)과 실질적으로 대응되는 형상을 가지므로, 제1 마스크 개구들(OP_MG)의 배열 및 형상은 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)의 배열 및 형상과 대응될 수 있다.
구체적으로, 제1 마스크 개구들(OP_MG) 각각은 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이, 및 밑변과 높이를 연결하는 사변을 가진 직각 삼각형 형상에서 각 꼭지점들이 둥근 형상을 가질 수 있다. 제1 마스크 개구들(OP_MG) 각각의 꼭지점들에 대응되는 에지들(RE1a, RE1b, RE1c) 각각의 곡률 반경은 8㎛ 이상일 수 있다. 이에 따라, 에지들(RE1a, RE1b, RE1c)과 대응되는 영역에도 발광 패턴이 미 증착되는 불량 없이 안정적으로 증착될 수 있다.
또한, 제1 마스크 개구들(OP_MG) 사이의 최소 폭은 15㎛ 이상일 수 있다. 예를 들어, 본 실시예에서, 하나의 에지에 대하여 제1 방향(D1)에서 인접하는 제1 마스크 개구들(OP_MG) 사이의 최소 폭(W1)은 15㎛ 이상일 수 있다. 또한, 하나의 에지에 대하여 제2 방향(D2)에서 인접하는 제1 마스크 개구들(OP_MG) 사이의 최소 폭(W2)은 15㎛ 이상일 수 있다. 최소 폭은 최소 간격이면 충분하고 제1 방향(D1)이나 제2 방향(D2)으로 한정되지 않는다. 본 발명에 따르면, 제1 마스크 개구들(OP_MG) 사이의 최소 폭을 확보함으로써, 제1 마스크(MSK1)의 가공성 및 신뢰성이 향상될 수 있어, 제1 마스크(MSK1)의 안정적인 제작이 가능할 수 있다.
제1 마스크 개구들(OP_MG) 중 단위 화소군을 구성하는 4 개의 제1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2, OP_MG3, OP_MG4)은 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G) 중 대응되는 단위 화소군을 구성하는 4 개의 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2, EP_G3, EP_G4)에 각각 대응될 수 있다.
구체적으로, 제1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2, OP_MG3, OP_MG4)은 제1 방향(D1)에서 서로 이격되고 서로 동일한 형상을 갖는 제1-1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2) 및 제1 방향(D1)에서 서로 이격되고 서로 동일한 형상을 갖는 제1-2 마스크 개구들(OP_MG3, OP_MG4)을 포함할 수 있다. 제1-1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2)과 제1-2 마스크 개구들(OP_MG3, OP_MG4)은 제2 방향(D2)에서 이격되어 서로 다른 행을 구성할 수 있다.
제1-1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2)과 제1-2 마스크 개구들(OP_MG3, OP_MG4)은 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1-2 마스크 개구들(OP_MG3, OP_MG4) 각각은 제1-1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2) 각각이 제2 방향(D2)과 나란한 대칭축에 대하여 선대칭인 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 즉, 제1-1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2)을 각각 제2 방향(D2)과 평행한 대칭축을 중심으로 대칭 이동시킨 형상들은, 제1-2 마스크 개구들(OP_MG3, OP_MG4)과 각각 동일할 수 있다.
또한, 제1-2 마스크 개구들(OP_MG3, OP_MG4)의 형상들 각각은 제1-1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2) 각각이 반 시계 방향으로 90도 회전한 형상과 대응될 수 있다. 즉, 제1-2 마스크 개구들(OP_MG3, OP_MG4)은 제1-1 마스크 개구들(OP_MG1, OP_MG2)이 반 시계 방향으로 90도 회전 대칭된 후 평면상에서 위치 이동된 것과 동일할 수 있다.
도 8a 및 도 8b에 도시된 것과 같이, 이후 제2 마스크(MSK2)를 이용하여 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R)을 형성한다. 1차 표시 패널(WS1-G)은 제2 마스크(MSK2)를 통해 2차 표시 패널(WS1-R)이 될 수 있다. 2차 표시 패널(WS1-R)은 제1 작업 기판(WS1)에 제1 컬러 발광 패턴들(EP_G)과 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R)이 형성된 상태일 수 있다.
제2 마스크(MSK2)에는 복수의 제2 마스크 개구들(OP_MR)이 정의된다. 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R)은 제2 마스크 개구들(OP_MR)과 실질적으로 대응되는 형상을 가지므로, 제2 마스크 개구들(OP_MR)의 배열 및 형상은 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R)의 배열 및 형상과 대응될 수 있다.
구체적으로, 제2 마스크 개구들(OP_MR) 각각은 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이, 및 밑변과 높이를 연결하는 사변을 가진 직각 삼각형 형상에서 각 꼭지점들이 둥근 형상을 가질 수 있다. 제2 마스크 개구들(OP_MR) 각각의 꼭지점들에 대응되는 에지들(RE2a, RE2b, RE2c) 각각의 곡률 반경은 8㎛ 이상일 수 있다. 이에 따라, 에지들(RE2a, RE2b, RE2c)과 대응되는 영역에도 발광 패턴이 미 증착되는 불량 없이 안정적으로 증착될 수 있다.
제2 마스크 개구들(OP_MR) 사이의 최소 폭은 15㎛ 이상일 수 있다. 예를 들어, 본 실시예에서, 가장 인접하는 2 개의 제2 마스크 개구들(OP_MR) 사이의 최소 폭은 15㎛ 이상일 수 있다. 최소 폭은 최소 간격이면 충분하고 제1 방향(D1)이나 제2 방향(D2)으로 한정되지 않는다. 본 발명에 따르면, 제2 마스크 개구들(OP_MR) 사이의 최소 폭을 확보함으로써, 제2 마스크(MSK2)의 가공성 및 신뢰성이 향상될 수 있어, 제2 마스크(MSK2)의 안정적인 제작이 가능할 수 있다.
제2 마스크 개구들(OP_MR) 중 단위 화소군을 구성하는 2 개의 제2 마스크 개구들(OP_MR1, OP_MR2)은 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R) 중 대응되는 단위 화소군을 구성하는 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들(EP_R1, EP_R2)에 각각 대응될 수 있다.
구체적으로, 제2 마스크 개구들(OP_MR1, OP_MR2)은 서로 다른 행을 구성하고 서로 상이한 형상을 갖는 제2-1 마스크 개구(OP_MR1) 및 제2-2 마스크 개구(OP_MG2)를 포함할 수 있다. 제2-1 마스크 개구(OP_MR1) 및 제2-2 마스크 개구(OP_MR2)는 서로 상이한 방향으로 연장된 사변을 가진다. 제2-1 마스크 개구(OP_MR1)의 사변은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장되고 제2-2 마스크 개구(OP_MR2)의 사변은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장된다.
제2-1 마스크 개구(OP_MR1) 및 제2-2 마스크 개구(OP_MR2)는 제2 방향(D2)과 나란한 대칭축에 대하여 선대칭인 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2-2 마스크 개구(OP_MR2)는 제2-1 마스크 개구(OP_MR1)와 반 시계 방향으로 90도 회전 대칭인 관계를 가질 수 있다.
도 9a 및 도 9b에 도시된 것과 같이, 이후 제3 마스크(MSK3)를 이용하여 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B)을 형성한다. 2차 표시 패널(WS1-R)은 제3 마스크(MSK3)를 통해 제2 작업 기판(WS2)이 될 수 있다.
제3 마스크(MSK3)에는 복수의 제3 마스크 개구들(OP_MB)이 정의된다. 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B)은 제3 마스크 개구들(OP_MB)과 실질적으로 대응되는 형상을 가지므로, 제3 마스크 개구들(OP_MB)의 배열 및 형상은 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B)의 배열 및 형상과 대응될 수 있다.
구체적으로, 제3 마스크 개구들(OP_MB) 각각은 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이, 및 밑변과 높이를 연결하는 사변을 가진 직각 삼각형 형상에서 각 꼭지점들이 둥근 형상을 가질 수 있다. 제3 마스크 개구들(OP_MB) 각각의 꼭지점들에 대응되는 에지들(RE3a, RE3b, RE3c) 각각의 곡률 반경은 8㎛ 이상일 수 있다. 이에 따라, 에지들(RE3a, RE3b, RE3c)과 대응되는 영역에도 발광 패턴이 미 증착되는 불량 없이 안정적으로 증착될 수 있다.
제3 마스크 개구들(OP_MB) 사이의 최소 폭은 15㎛ 이상일 수 있다. 예를 들어, 가장 인접하는 2 개의 제3 마스크 개구들(OP_MB) 사이의 최소 폭은 15㎛ 이상일 수 있다. 최소 폭은 최소 간격이면 충분하고 제1 방향(D1)이나 제2 방향(D2)으로 한정되지 않는다. 본 발명에 따르면, 제3 마스크 개구들(OP_MB) 사이의 최소 폭을 확보함으로써, 제3 마스크(MSK3)의 가공성 및 신뢰성이 향상될 수 있어, 제3 마스크(MSK3)의 안정적인 제작이 가능할 수 있다.
제3 마스크 개구들(OP_MB) 중 단위 화소군을 구성하는 2 개의 제3 마스크 개구들(OP_MB1, OP_MB2)은 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B) 중 대응되는 단위 화소군을 구성하는 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들(EP_B1, EP_B2)에 각각 대응될 수 있다.
구체적으로, 제3 마스크 개구들(OP_MB1, OP_MB2)은 서로 다른 행을 구성하고 서로 상이한 형상을 갖는 제3-1 마스크 개구(OP_MB1) 및 제3-2 마스크 개구(OP_MB2)를 포함할 수 있다. 제2-1 마스크 개구(OP_MR1) 및 제3-2 마스크 개구(OP_MB2)는 서로 상이한 방향으로 연장된 사변을 가진다. 제3-1 마스크 개구(OP_MB1)의 사변은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장되고 제3-2 마스크 개구(OP_MB2)의 사변은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장된다.
제3-1 마스크 개구(OP_MB1) 및 제3-2 마스크 개구(OP_MB2)는 제2 방향(D2)과 나란한 대칭축에 대하여 선대칭인 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제3-2 마스크 개구(OP_MB2)는 제3-1 마스크 개구(OP_MB1) 선대칭 된 후 제2 방향(D2)의 반대 방향으로 위치 이동을 한 것과 동일할 수 있다. 또한, 제3-2 마스크 개구(OP_MB2)는 제3-1 마스크 개구(OP_MB1)가 반 시계 방향으로 90도 회전 대칭된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 제1 컬러 발광 패턴(EP_G), 제2 컬러 발광 패턴(EP_R), 및 제3 컬러 발광 패턴(EP_B)의 순서로 형성되는 제2 작업 기판(WS2)을 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 제1 컬러 발광 패턴(EP_G), 제2 컬러 발광 패턴(EP_R), 및 제3 컬러 발광 패턴(EP_B)의 형성 순서는 다양하게 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다. 또한, 본 실시예에서, 제1 컬러 발광 패턴(EP_G), 제2 컬러 발광 패턴(EP_R), 및 제3 컬러 발광 패턴(EP_B)은 서로 비 중첩하는 것으로 도시되었으나, 마스크 개구들(OP_MG, OP_MR, OP_MB)의 마진에 따라 부분적으로 중첩할 수도 있다. 발광 개구부들(PDL-OP)이 서로 이격되어 설계되었다면, 발광 개구부들(PDL-OP) 사이 영역에서 제1 컬러 발광 패턴(EP_G), 제2 컬러 발광 패턴(EP_R), 및 제3 컬러 발광 패턴(EP_B)은 서로 비 중첩하거나 부분적으로 중첩할 수도 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
본 발명에 따르면, 인장력이 가해지는 방향에서 마스크 개구가 비 대칭인 형상을 갖더라도, 마스크 개구들의 배열을 서로 대칭을 이루도록 설계함으로써, 마스크에 가해지는 인장력이 마스크 전면에 균일하게 분포되도록 할 수 있다. 이에 따라, 마스크에 발생되는 인장력을 마스크 전체 영역에 고르게 배분되도록 함으로써, 인장력에 따른 국부적 스트레스가 감소될 수 있고, 마스크의 변형 및 파괴가 최소화될 수 있다. 결과적으로 마스크 자체 및 이를 이용한 표시 패널 제조 공정의 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 10a는 비교 실시예에 따른 표시 패널의 일 영역을 도시한 평면도이다. 도 10b 및 도 10c는 비교 실시예에 따른 마스크들을 도시한 평면도들이다. 도 11a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 일 영역을 도시한 평면도이다. 도 11b 및 도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크들을 도시한 평면도들이다.
도 10a에 도시된 비교 실시예(DP-C) 및 도 11a의 실시예(DP-E) 각각에는 도 6c와 대응되는 영역을 도시하였다. 도 10b, 도 10c, 도 11b, 및 도 11c 각각에는 일 마스크에 인장력이 가해진 상태를 도시하였다. 이하, 도 10a 내지 도 11c를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1a 내지 도 9b에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 10a 내지 도 10c를 참조하면, 비교 실시예(DP-C)의 단위 화소군(UT-C)을 구성하는 8 개의 발광 패턴들의 배열은 동일 컬러의 발광 패턴들은 서로 동일한 형상을 가질 수 있다. 4 개의 제1 컬러 발광 패턴들(EP_GC)은 서로 동일한 형상을 갖고, 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들(EP_RC)도 서로 동일한 형상을 가진다. 마찬가지로 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들(EP_BC)은 서로 동일한 형상을 가진다.
이와 대응하여 도 10b에 도시된 것과 같이, 제1 컬러 발광 패턴들(EP_GC)을 형성하기 위한 제1 마스크(MSK1-C)에 정의된 제1 마스크 개구들(OP_MGC)은 모두 동일한 형상들을 가질 수 있다. 제1 마스크 개구들(OP_MGC) 각각은 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이 및 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장된 사변을 가진 삼각형 형상이되, 굴곡진 꼭지점들을 가진 형상을 가질 수 있다.
제1 마스크 개구들(OP_MGC)의 형상이 각 제1 마스크 개구들(OP_MGC)의 중심을 기준으로 대칭되는 형상이 아니므로, 제1 방향(D1)과 나란한 방향으로 제1 마스크(MSK1-C)에 인장력이 가해지는 경우, 제1 마스크 개구들(OP_MGC) 각각에는 불균형한 스트레스가 가해질 수 있다. 이에 따라, 제1 마스크(MSK1-C) 내에서 국부적으로 스트레스 불균형이 발생되고, 소정의 변형량(ds1)이 제1 마스크(MSK1-C)에 발생될 수 있다. 본 실시예에서 변형량(ds1)은 제1 방향(D1)에서 제1 마스크(MSK1-C)가 뒤틀린 정도와 대응될 수 있다.
마찬가지로, 도 10c를 참조하면, 제2 컬러 발광 패턴들(EP_RC)을 형성하기 위한 제2 마스크(MSK2-C)에 정의된 제2 마스크 개구들(OP_MRC)은 모두 동일한 형상들을 가질 수 있다. 제2 마스크 개구들(OP_MRC) 각각은 제1 방향(D1)을 따라 연장된 밑변, 제2 방향(D2)을 따라 연장된 높이 및 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장된 사변을 가진 삼각형 형상이되, 굴곡진 꼭지점들을 가진 형상을 가질 수 있다.
제2 마스크 개구들(OP_MRC)의 형상이 각 제2 마스크 개구들(OP_MRC)의 중심을 기준으로 대칭되는 형상이 아니므로, 제1 방향(D1)과 나란한 방향으로 제2 마스크(MSK2-C)에 인장력이 가해지는 경우, 제2 마스크 개구들(OP_MRC) 각각에는 불균형한 스트레스가 가해질 수 있다. 이에 따라, 제2 마스크(MSK2-C) 내에서 국부적으로 스트레스 불균형이 발생되고, 소정의 변형량(ds2)이 제2 마스크(MSK2-C)에 발생될 수 있다. 본 실시예에서 변형량(ds2)은 제1 방향(D1)에서 제2 마스크(MSK2-C)가 뒤틀린 정도와 대응될 수 있다.
제2 마스크(MSK2-C)에서의 변형량(ds2)은 제1 마스크(MSK1-C)에서의 변형량(ds1)에 비해 상대적으로 작을 수 있다. 이는 동일 면적 대비 제2 마스크(MSK2-C)에 정의된 마스크 개구들(OP_MRC)의 수가 제1 마스크(MSK1-C)에 정의된 마스크 개구들(OP_MGC)의 수 대비 적기 때문일 수 있다. 즉, 마스크 개구들(OP_MGC, OP_MRC)의 비 대칭적인 형상 및 배열에 의해 마스크(MSK1-C, MSK2-C)에 가해지는 인장력이 불균일하게 가해질 수 있고, 이에 따라 마스크(MSK1-C, MSK2-C)의 변형이 초래될 수 있다.
이와 달리, 도 11a 내지 도 11c에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널(DP-E)은 단위 화소군(UT-E)을 구성하는 발광 패턴들(EP_R, EP_G, EP_B)을 서로 대칭적으로 배열시킴으로써, 마스크(MSK1, MSK2)에 가해지는 인장력에 따른 변형이 최소화될 수 있다. 도 11b를 참조하면, 단위 화소군(UT1)을 구성하는 4 개의 제1 마스크 개구들(OP-MG)은 서로 상이한 형상들을 가질 수 있다.
구체적으로, 서로 다른 행을 구성하는 마스크 개구들이 서로 대칭되는 형상으로 배열될 수 있다. 이에 따라 한 행에서 인장력이 한쪽으로 치우쳐 발생되더라도, 다음 행에서 인장력이 윗 행과 반대 방향으로 치우쳐 발생됨으로써 두 행 간에 인장력이 상쇄될 수 있다. 이에 따라, 제1 마스크(MSK1) 전체에 가해지는 인장력이 균등하게 배분될 수 있어, 제1 마스크(MSK1)의 스트레스에 따른 변형이 최소화될 수 있다.
마찬가지로, 도 11c를 참조하면, 단위 화소군(UT2)을 구성하는 2 개의 제2 마스크 개구들(OP-MR)은 서로 상이한 형상들을 가질 수 있다. 2 개의 마스크 개구들(OP-MR)은 서로 다른 행을 구성한다. 이에 따라 한 행에서 인장력이 한쪽으로 치우쳐 발생되더라도, 다음 행에서 인장력이 윗 행과 반대 방향으로 치우쳐 발생됨으로써 두 행 간에 인장력이 상쇄될 수 있다. 이에 따라, 제2 마스크(MSK2) 전체에 가해지는 인장력이 균등하게 배분될 수 있어, 제2 마스크(MSK2)의 스트레스에 따른 변형이 최소화될 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크 개구가 상/하 또는 좌/우 비 대칭인 형상을 갖더라도, 마스크 개구들이 서로 대칭을 이루도록 배열됨으로써, 마스크에 가해지는 인장력이 마스크 전면에 균일하게 분포되도록 할 수 있다. 이에 따라, 인장력에 따른 국부적 스트레스가 감소될 수 있고, 마스크의 변형 및 파괴가 최소화될 수 있다. 결과적으로 마스크 자체 및 이를 이용한 표시 패널 제조 공정의 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 일부 영역들을 표시한 평면도들이다. 도 12a 및 도 12b는 각각 도 6c와 대응되는 영역을 도시하였고, 서로 다른 실시예들을 도시하였다. 이하, 도 12a 및 도 12b를 참조하여 본 발명에 대해 설명한다. 한편, 도 1a 내지 도 11c에서 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 12a에 도시된 것과 같이, 표시 패널(DP-1)은 복수의 단위 화소군(UT-1)을 포함할 수 있으며, 하나의 단위 화소군(UT-1)은 4 개의 제1 컬러 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2, EP1_G3, EP1_G), 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들(EP1_R1, EP1_R2), 및 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들(EP1_B1, EP1_B2)로 구성될 수 있다.
도 12a에 도시된 단위 화소군(UT-1)은 도 6c에 도시된 단위 화소군(UT)이 단위 화소군(UT)의 중심을 지나고 제2 방향(D2)과 나란한 대칭 축을 중심으로 좌/우 선대칭된 구조와 대응될 수 있다. 구체적으로, 제1 컬러 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2, EP1_G3, EP1_G4)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP_G1, EP_G2), 및 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP_G3, EP_G4)을 포함할 수 있다. 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2)과 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4)은 서로 상이한 방향을 따라 연장된 사변들을 가질 수 있다. 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2)의 사변들 각각은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장되고, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4)의 사변들 각각은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장될 수 있다.
제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4) 각각은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2) 각각이 제2 방향(D2)과 나란한 대칭축에 대하여 선대칭 된 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 즉, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2)을 각각 제2 방향(D2)과 평행한 대칭축을 중심으로 대칭 이동시킨 형상들은, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4)과 각각 동일할 수 있다.
또한, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4)의 형상들 각각은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2) 각각이 시계 방향으로 90도 회전한 형상과 대응될 수 있다. 즉, 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2) 각각이 시계 방향으로 90도 회전된 후 제2 방향(D2)의 반대 방향(D2)을 따라 이동을 한 것과 동일할 수 있다.
제2 컬러 발광 패턴들(EP1_R1, EP1_R2)은 서로 다른 행에 배치된 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)을 포함할 수 있다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)은 제1 행에 배치되어 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2) 사이에 배치되고, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)은 제2 행에 배치되어 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4) 우 측에 배치된다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)은 제2 방향(D2)에서 서로 엇갈려 배치될 수 있다. 이에 따라, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)은 제2 방향(D2)에서 볼 때 서로 비 중첩할 수 있다.
제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)은 서로 상이한 형상을 가진다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)은 서로 상이한 방향을 따라 연장된 사변들을 가질 수 있다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)의 사변은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장되고, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)의 사변은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장될 수 있다.
제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)과 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)은 제2 방향(D2)과 나란한 대칭 축에 대하여 형상과 동일한 형상들을 수 있다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)은 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)이 회전 대칭 이동된 형상과 대응될 수 있다. 예를 들어, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)은 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)이 반 시계 방향으로 90도 회전된 후 평면상에서 이동한 것과 동일할 수 있다.
제3 컬러 발광 패턴들(EP1_B1, EP1_B2)은 서로 다른 행에 배치된 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)을 포함할 수 있다. 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1)은 제1 행에 배치되어 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2)의 우 측에 배치되고, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)은 제2 행에 배치되어 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4) 사이에 배치된다.
제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1) 및 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)은 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1)의 사변은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장되고, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)의 사변은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장될 수 있다.
제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1)과 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)은 제2 방향(D2)과 나란한 대칭 축에 대하여 서로 선대칭된 형상과 대응되는 형상들을 가질 수 있다. 구체적으로, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)은 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1)이 선대칭된 후 평면상에서 위치 이동한 것과 동일할 수 있다. 또한, 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1)은 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)과 시계 방향으로 90도 회전 대칭된 형상과 대응될 수 있다. 구체적으로, 구체적으로, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)은 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1)이 시계 방향으로 90도 회전한 후 평면상에서 위치 이동한 것과 동일할 수 있다.
제2 컬러 발광 패턴들(EP1_R1, EP_R2) 및 제3 컬러 발광 패턴들(EP1_B1, EP1_B2)은 각각 제1 컬러 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2, EP1_G3, EP1_G4)과 마주하는 사변들을 가지며 선대칭 관계를 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP1_R1)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2) 중 하나(EP1_G2)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제1 대각 방향(S1)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP1_G2)과 선대칭 형상을 가진다. 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP1_R2)은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4) 중 하나(EP1_G3)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제2 대각 방향(S2)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP1_G3)과 선대칭 형상을 가진다.
제3 컬러 제1 발광 패턴(EP1_B1)은 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP1_G1, EP1_G2) 중 다른 하나(EP1_G1)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제1 대각 방향(S1)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP1_G1)과 선대칭 형상을 가진다. 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP1_B2)은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP1_G3, EP1_G4) 중 다른 하나(EP1_G4)와 마주하는 사변을 갖고, 사변이 연장된 방향 즉, 제2 대각 방향(S2)과 나란한 대칭 축에 대하여 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP1_G4)과 선대칭 형상을 가진다.
도 12b를 참조하면, 표시 패널(EP-2)의 단위 화소군(UT-2)을 구성하는 4 개의 제1 컬러 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2, EP2_G3, EP2_G4), 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들(EP2_R1, EP2_R2), 및 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들(EP2_B1, EP2_B2)은 상술한 단위 화소군들(UT, UT-1)과 상이한 배열을 가질 수 있다. 예를 들어, 단위 화소군(UT-2)은 동일 행을 구성하면서도 서로 상이한 형상을 가진 제1 컬러 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2, EP2_G3, EP2_G4)을 포함할 수 있다.
구체적으로, 제1 컬러 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2, EP2_G3, EP2_G4)은 동일 열을 구성하는 2 개의 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2) 및 이와 다른 열을 구성하는 2 개의 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP2_G3, EP2_G4)을 포함할 수 있다. 이때, 2 개의 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2)은 서로 동일한 형상을 갖고, 2 개의 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP2_G3, EP2_G4)도 서로 동일한 형상을 가질 수 있다. 즉, 본 실시예에서, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2)과 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP2_G3, EP2_G4)은 제1 방향(D1)에서 서로 이격되고, 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2)은 제2 방향(D2)을 따라 배열되고, 2 개의 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP2_G3, EP2_G4)도 제2 방향(D2)을 따라 배열된다.
2 개의 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP2_G1, EP2_G2)각각은 제1 대각 방향(S1)을 따라 연장된 사변을 갖고 꼭지점들이 둥근 직각 삼각형 형상을 가질 수 있다. 2 개의 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP2_G3, EP2_G4) 각각은 제2 대각 방향(S2)을 따라 연장된 사변을 가진다.
좌측에 배치된 제1 컬러 제1 발광 패턴들(EP2_G1, EP_G2)을 반 시계 방향으로 90도 회전한 후 평면상에서 이동시키면 우측에 배치된 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP2_G3, EP_G4) 과 대응될 수 있다.
제2 컬러 발광 패턴들(EP2_R1, EP2_R2)은 서로 상이한 형상을 가진다. 제2 컬러 발광 패턴들(EP2_R1, EP2_R2) 중 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP2_R2)은 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP2_R1)이 반 시계 방향으로 90도 회전 대칭된 형상과 대응될 수 있다. 또한, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP2_R2)은 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP2_R1)이 제1 방향(D1)과 나란한 대칭축에 대하여 선 대칭된 형상과 대응될 수 있다. 즉, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP2_R2)은 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP2_R1)이 선 대칭된 후 평면상에서 이동된 것과 동일할 수 있다.
제2 컬러 발광 패턴들(EP2_R1, EP2_R2) 중 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP2_R1)은 상측에 배치된 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP2_G1)과 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP_G3) 사이에 배치된다. 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP2_R1)은 상측 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP2_G1)의 사변과 마주하는 사변, 하측 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP2_G2)과 마주하는 일변, 및 상측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G3)과 마주하는 일변을 포함한다. 즉, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP2_R1)은 제1 대각 방향(S1)과 나란한 대칭축에 대하여 상측 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP_G1)과 선 대칭 관계를 가질 수 있다. 또한, 제2 컬러 제1 발광 패턴(EP2_R1)은 제2 방향(D2)과 나란한 대칭축에 대하여 상측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G3)과 선 대칭 관계를 가질 수 있다.
제2 컬러 발광 패턴들(EP2_R1, EP2_R2) 중 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP2_R2)은 제1 컬러 제2 발광 패턴들(EP2_G3, EP_G4) 사이에 배치된다. 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP2_R2)은 하측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G4)의 사변과 마주하는 사변 및 상측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G3)과 마주하는 일변을 포함한다. 즉, 제2 컬러 제2 발광 패턴(EP2_R2)은 제2 대각 방향(S2)과 나란한 대칭축에 대하여 하측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP_G4)과 선 대칭 관계를 가질 수 있다.
제3 컬러 발광 패턴들(EP2_B1, EP2_B2)은 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 다만, 제3 컬러 발광 패턴들(EP2_B1, EP2_B2)은 서로 대칭 이동된 형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제3 컬러 발광 패턴들(EP2_B1, EP2_B2) 중 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP2_B2)은 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP2_B1)이 시계 방향으로 90도 회전된 후 평면상에서 이동된 것과 동일할 수 있다. 또한, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP2_B2)은 제3 컬러 제1 발광 패턴(EP2_B1)이 제1 방향(D1)과 나란한 대칭축에 대하여 선 대칭된 후 평면상에서 이동된 것과 동일할 수 있다.
제3 컬러 제1 발광 패턴(EP2_B1)은 상측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G3)과 마주하는 사변을 갖고 제2 대각 방향(S2)에 대하여 상측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G3)과 선 대칭 관계일 수 있다.
제3 컬러 제2 발광 패턴(EP2_B2)은 하측 제1 컬러 제1 발광 패턴(EP2_G2)과 마주하는 사변 및 하측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G4)과 마주하는 일변을 포함한다. 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP2_B2)은 제1 대각 방향(S1)과 나란한 대칭축에 대하여 하측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP2_G2)과 선 대칭 관계일 수 있다. 또한, 제3 컬러 제2 발광 패턴(EP2_B2)은 제2 방향(D2)과 나란한 대칭축에 대하여 하측 제1 컬러 제2 발광 패턴(EP_G4)과 선 대칭 관계일 수 있다.
본 발명에 따르면, 하나의 단위 화소군(UT-1, UT-2)을 구성하는 발광 패턴들이 서로 대칭 되는 형상으로 제공됨으로써, 발광 패턴들과 대응되는 마스크의 개구들이 마스크 전 영역에 서로 대칭되게 배열될 수 있다. 이에 따라, 마스크 인장 시, 스트레스가 국부적으로 발생되는 문제를 방지할 수 있어, 마스크의 손상이나 변형이 방지될 수 있다. 따라서, 표시 패널(DP-1, DP-2)의 공정 신뢰성이 향상될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
UT: 단위 화소군

Claims (20)

  1. 적어도 하나의 박막 트랜지스터를 포함하는 화소 회로; 및
    상기 화소 회로에 접속된 단위 화소군을 포함하고,
    상기 단위 화소군은,
    4개의 제1 컬러 발광 패턴들;
    서로 상이한 형상을 가진 2 개의 제2 컬러 발광 패턴들; 및
    서로 상이한 형상을 가진 2 개의 제3 컬러 발광 패턴들을 포함하고,
    상기 제1 내지 제3 컬러 발광 패턴들은 각각 서로 상이한 컬러들을 표시하고,
    상기 제1 컬러 발광 패턴들은,
    서로 동일한 형상을 가진 2 개의 제1 컬러 제1 발광 패턴들; 및
    서로 동일한 형상을 갖고 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들과 상이한 형상을 가진 제1 컬러 제2 발광 패턴들을 포함하는 표시 패널.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 컬러 발광 패턴들 각각은 삼각형 형상을 갖는 표시 패널.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들은 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들이 90도 회전 대칭 이동된 형상들과 동일한 형상들을 갖는 표시 패널.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 컬러 발광 패턴들은,
    상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들 사이에 배치된 제2 컬러 제1 발광 패턴; 및
    상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들 사이에 배치된 제2 컬러 제2 발광 패턴을 포함하는 표시 패널.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제2 컬러 제1 발광 패턴 중 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들에 마주하는 변들이 연장된 방향들은 예각을 이루고,
    상기 제2 컬러 제2 발광 패턴 중 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들에 마주하는 변들이 연장된 방향들은 예각을 이루는 표시 패널.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 제2 컬러 제2 발광 패턴은 상기 제2 컬러 제1 발광 패턴이 90도 회전 대칭 이동된 형상과 동일한 형상을 갖는 표시 패널.
  7. 제4 항에 있어서,
    상기 제3 컬러 발광 패턴들은,
    상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들 중 어느 하나 또는 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들 중 어느 하나와 마주하는 변을 포함하는 제3 컬러 제1 발광 패턴; 및
    상기 제1 컬러 제1 발광 패턴들 중 다른 하나와 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴들 중 다른 하나 사이에 배치된 제3 컬러 제2 발광 패턴을 포함하고,
    상기 제3 컬러 제2 발광 패턴 중 상기 제1 컬러 제1 발광 패턴과 상기 제1 컬러 제2 발광 패턴에 마주하는 변들이 연장된 방향들은 예각을 이루는 표시 패널.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제3 컬러 제2 발광 패턴은 상기 제3 컬러 제1 발광 패턴이 90도 회전 대칭 이동된 형상과 동일한 형상을 갖는 표시 패널.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 컬러 발광 패턴들은 제1 방향을 따라 배열되고, 상기 제1 컬러 발광 패턴들과 상기 제2 컬러 발광 패턴들은 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향에서 서로 이격된 표시 패널.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 제2 컬러 제1 발광 패턴과 상기 제3 컬러 제1 발광 패턴은 제1 방향을 따라 배열되고 서로 동일한 형상을 갖는 표시 패널.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 제2 컬러 발광 패턴들 및 상기 제3 컬러 발광 패턴들은 상기 제1 컬러 발광 패턴들에 대하여 각각 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 대각 방향과 나란한 대칭 축을 기준으로 선대칭 관계를 갖는 표시 패널.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 컬러 발광 패턴들 사이의 최소 간격은 15㎛ 이상인 표시 패널.
  13. 제1 개구부; 및
    상기 제1 개구부로부터 제1 방향에서 이격되고 상기 제1 개구부와 상이한 형상을 가진 제2 개구부를 포함하고,
    상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부 각각은 좌우 비 대칭 형상을 갖고,
    상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부가 90도 회전 대칭 이동된 형상과 동일한 형상을 갖는 메탈 마스크.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부는 복수로 구비되어 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되고,
    상기 복수의 제1 개구부들과 상기 복수의 제2 개구부들은 상기 제2 방향을 따라 교번하여 배열되는 메탈 마스크.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 방향과 상기 제2 방향이 이루는 각도는 예각인 메탈 마스크.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 개구부들 사이의 상기 제2 방향에서의 이격 거리는 상기 제1 방향에서 서로 인접하는 제1 개구부와 제2 개구부 사이의 이격 거리보다 큰 메탈 마스크.
  17. 제13 항에 있어서,
    상기 회전은 시계 방향 또는 반 시계 방향인 메탈 마스크.
  18. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부 각각은 꼭지점이 둥근 직각 삼각형 형상과 대응되는 메탈 마스크.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 꼭지점의 곡률 반경은 8㎛ 이상인 메탈 마스크.
  20. 제18 항에 있어서,
    상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부 사이의 최소 간격은 15㎛ 이상인 메탈 마스크.
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