KR20230128424A - 글래스가 이용된 수직형 프로브 헤드 - Google Patents

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KR20230128424A
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Abstract

본 발명에 따른 수직형 프로브 헤드는; 양단이 각각 시험체와 공간변형기에 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있는 복수 개의　프로브와;　상기 프로브가 삽입될 수 있는 제1프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 시험체 쪽에 형성되는 제1플레이트와; 상기 프로브가 삽입될 수 있는 제2프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 공간변형기 쪽에 형성되는　제2플레이트와; 상기 프로브가 삽입될 수 있는 제3프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트의 사이에 형성되어 있으며, 상기 제2플레이트 보다 상기 제1플레이트와의 거리가 더 가깝게 형성되어 있으며, 상기 제2플레이트와 평행한 상태로 상기 제2플레이트와의 상대적 위치가 변화될 수 있는 제3플레이트를 구비하고 있으며; 상기 제1플레이트, 제2플레이트, 제3플레이트 중 적어도 하나는 레이저 빔(laser beam)이 통과할 수 있는 투명한 유리(glass) 또는 석영(quartz)으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 수직형 프로브 카드에 적합한 가이드 플레이트에 적합한 형태의 프로브홀을 쉽게 형성하는데 목적이 있다. 또한 가이드 플레이트를 조립함에 있어서, 각 가이드 플레이트에 손상이 없으며, 원하는 위치에 정확히 접합되도록 하는데 목적이 있다.

Description

글래스가 이용된 수직형 프로브 헤드 {Vertical probe head with glass}
본 발명은 반도체 직접회로 등의 전기적 특성을 검사하는 프로브 카드(probe card)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공간변형기(space transformer) 및 회로기판(PCB)과 함께 수직형 프로브 카드를 구성하는 수직형 프로브 헤드(vertical probe head)에 관한 것이다.
프로브 카드(probe card)는 반도체 집적회로, 반도체 패키지 PCB 등의 전자소자(electric device)가 정확한 사양으로 제조되었는지 검사하기 위해, 전자소자에 접촉되어 전기적 연결을 형성하는 장치이다. 수직형(vertical) 프로브 카드에서는, 프로브의 한 쪽 끝은 시험체(device under test)에 접촉하게 되고, 다른 한 쪽 끝은 공간변형기(space transformer)에 접촉되며, 공간변형기는 회로기판을 통해서 테스터(tester)까지 전기적으로 연결된다. 프로브가 삽입되어 있는 프로브 헤드가 시험체에 밀착되면, 프로브는 시험체와 공간변형기 사이에서 양쪽 끝이 눌리면서, 프로브의 양쪽 끝은 시험체의 단자와 공간변형기의 전극에 각각 접촉하게 되며, 시험체와 공간변형기가 프로브를 통하여 전기적으로 연결되게 된다. 복수의 가이드 플레이트와 상기 가이드 플레이트에 형성된 프로브홀에 삽입된 다수의 프로브 등으로 프로브 헤드는 구성된다.
프로브 헤드는 가능하면 한 번에 많은 수의 칩(chip)을 검사하기 위해 프로브의 수가 증가해 왔으며, 현재는 3만개 이상의 프로브를 가지는 수직형 프로브 헤드가 일반화되었다. 수직형 프로브 카드에는 프로브의 숫자에 해당하는 프로브홀이 3장 또는 4장의 가이드 플레이트에 모두 형성되어야 한다. 즉 3만개의 프로브가 있는 경우에 적어도 9만개의 홀을 형성하여야 한다. 고정밀도가 요구되는 미세 홀을 수 만개 형성하는 공정은 프로브 헤드 제작에 큰 문제로 대두되고 있다. 각 가이드 플레이트에 프로브 홀을 뚫은 이후에는 가이드 플레이트들을 조립하고 고정해야 한다. 이 과정은 각 가이드 플레이트를 관통하는 고정홀을 형성한 후에 볼트와 너트를 이용하여 플레이트들을 조립하는 것이 일반적이다. 볼트와 너트를 조우는 과정에서 볼트와 너트에 밀려서 가이드 플레이트의 위치가 변하거나 가이드 플레이트가 손상되는 것도 문제가 되고 있다. 프로브 헤드를 사용하는 과정에서 프로브가 손상되어 부러지는 경우가 있으며, 이 경우에는 프로브 헤드 내부에 남은 잔여물을 확인하고 제거하기 위해서 프로브 헤드를 분해해야만 한다. 종래에는 프로브 헤드의 내부 상태를 확인하기 위해 프로브 헤드를 분해해야만 하는 문제가 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 가이드 플레이트에 적합한 형태의 프로브홀을 쉽게 형성하는데 목적이 있다. 또한 가이드 플레이트를 조립함에 있어서, 볼트와 너트를 쓰지 않고, 비접촉으로 각 가이드 플레이트를 접합하는데 목적이 있다. 또한 프로브 헤드를 분해하지 않고도 프로브 헤드 내부 상태를 확인하는데 목적이 있다. 해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 수직형 프로브 헤드는;
양단이 각각 시험체와 공간변형기에 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있는 복수 개의　프로브와;　상기 프로브가 삽입될 수 있는 제1프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 시험체 쪽에 형성되는 제1플레이트와; 상기 프로브가 삽입될 수 있는 제2프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 공간변형기 쪽에 형성되는　제2플레이트와;　상기 프로브가 삽입될 수 있는 제3프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트의 사이에 형성되어 있으며, 상기 제2플레이트 보다 상기 제1플레이트와의 거리가 더 가깝게 형성되어 있으며, 상기 제2플레이트와 평행한 상태로 상기 제2플레이트와의 상대적 위치가 변화될 수 있는 제3플레이트를 구비하고 있으며; 상기 제1플레이트, 제2플레이트, 제3플레이트 중 적어도 하나는 레이저 빔(laser beam)이 통과할 수 있는 투명한 유리(glass) 또는 석영(quartz)으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1프로브홀, 제2프로브홀, 제3프로브홀 중 적어도 하나는 양 쪽 홀 입구에서 홀의 외면과 홀의 내벽이 이루는 각도가 90° 미만이며, 홀의 길이 방향으로 중간부분에 직경이 가장 작은 부분이 형성되거나; 상기 제1프로브홀, 제2프로브홀, 제3프로브홀 중 적어도 하나는 한 쪽 홀 입구에서 홀의 외면과 홀의 내벽이 이루는 각도가 90° 미만이며, 반대편 홀의 입구부분에 홀의 직경이 가장 작은 부분이 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1플레이트, 제2플레이트, 제3플레이트 중 적어도 하나는 겹쳐진 플레이트와 서로 레이저 웰딩으로 접합될 수 있다.
또한, 상기 제3플레이트가 삽입위치에 있을 때는 직선의 형태를 갖는 프로브를 상기 제1프로브홀, 제2프로브홀, 제3프로브홀로 통과시켜 삽입할 수 있으며, 상기 제3플레이트가 동작위치에 있을 때는 삽입된 프로브가 곡선의 형태를 갖질 수 있다.
또한, 외형은 상기 제1플레이트와 동일하거나 더 크며, 상기 제1프로브홀이 형성된 부분은 비어 있는 제1보강판이 상기 제1플레이트와 접합되어 있거나, 외형은 상기 제2플레이트와 동일하거나 더 크며, 상기 제2프로브홀이 형성된 부분은 비어 있는 제2보강판이 상기 제2플레이트와 접합되어 있거나, 외형은 상기 제3플레이트와 동일하거나 더 크며, 상기 제3프로브홀이 형성된 부분은 비어 있는 제3보강판이 상기 제2플레이트와 접합되어 있을 수 있다.
또한, 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트 사이에 공간을 형성하며, 비어 있는 중앙 부분으로는 상기 프로브가 위치할 수 있으며, 상기 공간변형기에 고정하는데 이용되는 고정핀이 삽입될 수 있는 고정홀이 형성되어 있는 제4플레이트를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 제4플레이트는 두 개 이상으로 부품으로 구성되며, 상기 두 개 이상의 부품은 프로브의 길이 방향으로 봐서 서로 겹쳐지는 겹침부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 레이저 웰딩(laser welding)은 서로 겹쳐진 플레이트 사이에 형성되며, 연속된 점(point)접합으로 이루어진 선(line)접합의 형태를 갖을 수 있다.
또한, 프로브 헤드가 조립된 상태에서 파손된 프로브의 잔여물이 프로브 헤드에서 빠져나올 수 있는 드레인홀이 형성되어 있을 수 있다.
또한, 볼트 또는 너트가 사용되지 않고 조립될 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 수직형 프로브 카드에 적합한 가이드 플레이트에 적합한 형태의 프로브홀을 쉽게 형성하는데 목적이 있다. 또한 가이드 플레이트를 조립함에 있어서, 각 가이드 플레이트에 손상이 없으며, 원하는 위치에 정확히 접합되도록 하는데 목적이 있다. 또한 프로브 헤드를 분해하지 않고도 프로브 헤드 내부의 상태를 확인할 수 있도록 하는데 목적이 있다.
도1은 본 발명에 따른 수직형 프로브 헤드의 구조를 보여주는 개념도이다.
도2는 프로브가 삽입된 제1프로브홀을 부분적으로 확대해서 보여주는 개념도이다.
도3은 레이저 웰딩으로 접합된 제2플레이트를 부분적으로 확대해서 보여주는 개념도이다.
도4는 2개의 부품으로 이루어진 제4플레이트를 보여주는 개념도이다.
도5는 플레이트 사이에 접합이 모두 레이저 웰딩으로 이루어진 프로브 헤드의 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성요소의 크기나 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.
도 1은 본 발명에 따른 수직형 프로브 헤드의 구조를 보여주는 개념도이다. 양단이 각각 시험체와 공간변형기에 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있는 복수 개의　프로브(90)가 프로브 헤드에 삽입되어 있다. 시험체 쪽에 형성되는 제1플레이트(10)에는 프로브가 삽입될 수 있는 제1프로브홀(19)이 형성되어 있으며, 제1보강판(11)이 접합될 수 있다. 제1보강판의 외형은 제1플레이트와 동일하거나 더 크며, 두께도 제1플레이트와 동일하거나 더 두껍다. 제1플레이트에서 제1프로브홀이 형성된 곳에 해당하는 부분이 제1보강판에서는 비어 있다. 공간변형기 쪽에 형성되는 제2플레이트(20)에는 프로브가 삽입될 수 있는 제2프로브홀(29)이 형성되어 있으며, 제2보강판(21)이 접합될 수 있다. 보강판의 외형은 제2플레이트와 동일하거나 더 크며, 두께도 제2플레이트와 동일하거나 더 두껍다. 제2플레이트에서 제2프로브홀이 형성된 곳에 해당하는 부분이 제2보강판에서는 비어 있다.
제1플레이트와 제2플레이트의 사이에서, 제2플레이트 보다 제1플레이트와의 거리가 더 가깝게 제3플레이트(30)가 형성되어 있다. 제3플레이트는 제2플레이트와 평행한 상태로 제2플레이트와의 상대적 위치가 변화될 수 있다. 위치가 이동되는 제3플레이트는 삽입위치 또는 동작위치에 있을 수 있다. 제3플레이트에는 프로브가 삽입될 수 있는 제3프로브홀(39)이 형성되어 있으며, 제3보강판(31)이 접합될 수 있다. 보강판의 외형은 제3플레이트와 동일하거나 더 크며, 두께도 제3플레이트와 동일하거나 더 두껍다. 제3플레이트에 제3프로브홀이 형성된 곳에 해당하는 부분이 제3보강판에서는 비어 있다. 제3플레이트는 제2플레이트를 기준으로 수평으로 이동할 수 있다. 프로브를 삽입하는 단계에서는 제3플레이트는 삽입위치에 있게 되며, 이 때는 직선의 프로브가 제2프로브홀, 제3프로브홀, 제1프로브홀을 차례로 통과하여 삽입될 수 있다. 프로브가 모두 삽입된 이후에는 제3플레이트를 동작위치로 옮기게 되며, 이 때는 이미 삽입된 직선의 프로브들이 곡선으로 휘게 된다. 이 상태로 프로브 카드를 사용할 수 있으며, 사용중에 프로브로가 파손되거나 하면, 다시 제3플레이트를 삽입위치로 이동시켜서 손상된 프로브를 교환할 수 있다. 제3플레이트를 삽입위치에 정렬시킬 때 사용되는 것이 제1정렬홀(66)이며, 제1정렬홀에는 제1정렬핀이 삽입될 수 있다. 제3플레이트를 동작위치에 정렬시킬 때 사용되는 것이 제2정렬홀(67)이며, 제2정렬홀에는 제2정렬핀이 삽입될 수 있다.
제1플레이트, 제2플레이트, 제3플레이트는 투명한 물질로 만들어질 수 있다. 상기 투명한 물질로 만들어진 프로브 헤드는 프로브 헤드를 분해하지 않고도 프로브 헤드 내부의 상태를 확인할 수 있어서 매우 편리하다. 또한 프로브 헤드를 분해하지 않고도 내부에 있는 잔여물을 보면서 제거할 수 있는 장점이 있다. 잔여물 제거를 위해서는 드레인홀(81)을 형성할 수 있다. 상기 제1플레이트, 제2플레이트, 제3플레이트 중 적어도 하나는 레이저 빔(laser beam)이 통과할 수 있는 투명한 유리(glass) 또는 석영(quartz)으로 형성될 수 있다.
제4플레이트(40)은 제1플레이트와 상기 제2플레이트 사이에 공간을 형성하며, 비어 있는 중앙 부분으로는 상기 프로브가 위치할 수 있으며, 프로브 헤드를 상기 공간변형기에 고정하는데 이용되는 고정핀이 삽입될 수 있는 고정홀(69)이 형성되어 있을 수 있다.
도2는 프로브가 삽입된 제1프로브홀을 부분적으로 확대해서 보여주는 개념도이다. 도2의 (a)에 도시된 제1프로브홀(19)은 양 쪽 홀 입구에서 홀의 외면과 홀의 내벽이 이루는 프로브홀 입사각(18)이 90°보다 작다. 또한, 홀의 길이 방향으로 중간부분에 직경이 가장 작은 부분이 형성된다. 제2프로브홀과 제3프로브홀도 제1프로홀과 유사한 단면 형상을 가질 수 있다. 이러한 형상을 에칭(etching) 기법으로 하나의 플레이트에 있는 모든 프로브홀을 동시에 생성시킬 때 나타날 수 있다.
제1프로브홀(19)에 프로브(90)가 삽입되어 있으며, 프로브 헤드 안쪽으로 연장된 프로브는 좌굴(Buckling) 동작을 하면서 벤딩(bending)될 수 있다. 이 경우에 프로브는 프로브홀 내부에서 대각선의 방향으로 양쪽 벽에 닿게 된다. 프로브 홀의 양쪽 입구부분이 넓고, 중간부분을 좁게 형성하면, 프로브홀 내부에서 프로브의 움직임이 원할하면서도 프로브홀의 벽이 두꺼워서 가이드 플레이트의 내구성이 향상되는 장점이 있다.
도2의 (b)에 도시된 제1프로브홀(19)은 양 쪽 홀 입구에서 홀의 외면과 홀의 내벽이 이루는 프로브홀 입사각(18)이 90°보다 작으며, 반대편 홀의 입구부분에 홀의 직경이 가장 작은 부분이 형성되어 있다. 에칭 공법을 이용하여 한 쪽 면에서만 에칭을 시키는 경우에 나타날 수 있는 플로브홀의 형상이다. 제2프로브홀과 제3프로브홀도 유리 또는 석영으로 형성될 수 있으며, 제1프로홀과 유사한 단면 형상을 가질 수 있다. 레이저를 이용하여 프로브홀이 형성되는 부분의 선택적 에칭속도를 높이면, 도2에 나타난 바람직한 단면 형상의 프로브홀을 형성할 수 있다.
도3은 레이저 웰딩으로 접합된 제2플레이트를 부분적으로 확대해서 보여주는 개념도이다. 제2플레이트(20)와 제2보강판(21)이 레이저 웰딩으로 접합된 부분 평면도와 부분 단면도가 나타나 있다. 두 장의 플레이트가 서로 접합할 때, 한 쪽이 레이저 빔이 통과할 수 있는 유리 또는 석영으로 형성되면 레이저 웰딩을 이용한 접합이 가능하다. 레이저 웰딩(laser welding)은 서로 겹쳐진 플레이트 사이에 형성된다. 레이저 웰딩은 레이저 초점이 맺힌 곳에서 물질이 녹아서 접합되는 점(point) 접합이다. 다수의 점 접합이 연속되면 선(line) 접합이 될 수 있다. 레이저 웰딩의 선 접합의 길이를 조정해서 프로브 헤드에 요구되는 적합한 접합 강도를 얻을 수 있다. 투명한 유리나 석영으로 이루어진 플레이트에 에칭 공정으로 프로브홀을 형성한 후에, 이를 다시 레이저 웰딩을 이용해서 접합할 수 있다.
도4는 2개의 부품으로 이루어진 제4플레이트를 보여주는 개념도이다. 제4플레이트(40)은 제1파트(41)와 제2파트(42)로 이루어질 수 있다. 제2프로브홀과 제3프로브홀 사이의 거리가 가까우면 프로브의 삽입이 더 용이하다. 제2플레이트와 제3플레이트를 겹쳐서 프로브를 삽입한 후에, 제2플레이트와 제3플레이트 사이에 제4플레이트를 삽입할 수 있다. 이 경우에 이미 삽입된 프로브 주위로 제4플레이트가 위치하기 위해서 제4플레이트는 2개의 파트로 나누어질 수 있다. 제4플레이트를 구성하는 제1파트와 제2파트에는 프로브의 길이 방향으로 봐서 서로 겹쳐지는 겹침부(45)가 형성될 수 있다. 또한 겹침부의 가장자리에 제1파트와 제2파트가 서로 조립되어 고정되는 걸림부(46)를 형성할 수 있다. 프로브 헤드를 공간변형기에 고정하는데 이용되는 고정핀이 삽입될 수 있는 고정홀(69)이 제4플레이트에 형성될 수 있다.
도5는 플레이트 사이에 접합이 모두 레이저 웰딩으로 이루어진 프로브 헤드의 개념도이다. 제1플레이트(10)와 제2플레이트(20)는 각각 제1보강판(11)과 제2보강판(21)에 레이저 웰딩으로 접합될 수 있으며, 이들은 다시 제4플레이트(40)의 양 쪽에 레이저 웰딩으로 접합될 수 있다. 제3플레이트(30)는 제3보강판(31)에 레이저 웰딩(73)으로 접합되어 있으며, 프로브 헤드의 내부에서 삽입위치 또는 동작위치로 이동할 수 있게 되어있다. 제4플레이트에는 상기 공간변형기에 고정하는데 이용되는 고정핀이 삽입될 수 있는 고정홀(69)이 형성되어 있을 수 있다. 프로브 헤드 전체가 볼트 또는 너트가 전형 사용되지 않고 조립되었다. 기존에는 볼트를 조우는 과정에서 가이드 프레이트 간의 위치 정렬이 틀어지거나 파손이 생기던 단점이 있었다. 프로브 헤드가 레이저 웰딩으로 접합되면 다시 분해하기가 어렵다. 프로브 헤드가 조립된 상태에서 파손된 프로브의 잔여물이 프로브 헤드에서 빠져나올 수 있는 드레인홀이 형성될 수 있다. 드레인 홀(81)이 있으면 프로브 헤드를 분해하지 않고도 프로브 헤드 내부의 잔여물을 제거할 수 있다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.
10: 제1플레이트 11: 제1보강판
19: 제1프로브홀 20: 제2플레이트
21: 제2보강판 29: 제2프로브홀
30: 제3플레이트 31: 제3보강판
39: 제3프로브홀 40: 제4플레이트
41: 제1파트 42: 제2파트
45: 겹침부 46: 걸림부
66: 제1정렬홀 67: 제2정렬홀
69: 고정홀 71, 72, 73, 76, 77: 레이저 웰딩 라인

Claims (10)

  1. 양단이 각각 시험체와 공간변형기에 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있는 복수 개의　프로브와;　
    상기 프로브가 삽입될 수 있는 제1프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 시험체 쪽에 형성되는 제1플레이트와;
    상기 프로브가 삽입될 수 있는 제2프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 공간변형기 쪽에 형성되는　제2플레이트와;　
    상기 프로브가 삽입될 수 있는 제3프로브홀이 형성되어 있으며, 상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트의 사이에 형성되어 있으며, 상기 제2플레이트 보다 상기 제1플레이트와의 거리가 더 가깝게 형성되어 있으며, 상기 제2플레이트와 평행한 상태로 상기 제2플레이트와의 상대적 위치가 변화될 수 있는 제3플레이트를 구비하고 있으며;
    상기 제1플레이트, 제2플레이트, 제3플레이트 중 적어도 하나는 레이저 빔(laser beam)이 통과할 수 있는 투명한 유리(glass) 또는 석영(quartz)으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1프로브홀, 제2프로브홀, 제3프로브홀 중 적어도 하나는 양 쪽 홀 입구에서 홀의 외면과 홀의 내벽이 이루는 각도가 90° 미만이며, 홀의 길이 방향으로 중간부분에 직경이 가장 작은 부분이 형성되거나;
    상기 제1프로브홀, 제2프로브홀, 제3프로브홀 중 적어도 하나는 한 쪽 홀 입구에서 홀의 외면과 홀의 내벽이 이루는 각도가 90° 미만이며, 반대편 홀의 입구부분에 홀의 직경이 가장 작은 부분이 형성되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1플레이트, 제2플레이트, 제3플레이트 중 적어도 하나는 겹쳐진 플레이트와 서로 레이저 웰딩(laser welding)으로 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 헤드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제3플레이트가 삽입위치에 있을 때는 직선의 형태를 갖는 프로브를 상기 제1프로브홀, 제2프로브홀, 제3프로브홀로 통과시켜 삽입할 수 있으며,
    상기 제3플레이트가 동작위치에 있을 때는 삽입된 프로브가 곡선의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    외형은 상기 제1플레이트와 동일하거나 더 크며, 상기 제1프로브홀이 형성된 부분은 비어 있는 제1보강판이 상기 제1플레이트와 접합되어 있거나,
    외형은 상기 제2플레이트와 동일하거나 더 크며, 상기 제2프로브홀이 형성된 부분은 비어 있는 제2보강판이 상기 제2플레이트와 접합되어 있거나,
    외형은 상기 제3플레이트와 동일하거나 더 크며, 상기 제3프로브홀이 형성된 부분은 비어 있는 제3보강판이 상기 제2플레이트와 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 헤드.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1플레이트와 상기 제2플레이트 사이에 공간을 형성하며, 비어 있는 중앙 부분으로는 상기 프로브가 위치할 수 있으며, 상기 공간변형기에 고정하는데 이용되는 고정핀이 삽입될 수 있는 고정홀이 형성되어 있는 제4플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 헤드.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제4플레이트는 두 개 이상으로 부품으로 구성되며, 상기 두 개 이상의 부품은 프로브의 길이 방향으로 봐서 서로 겹쳐지는 겹침부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브 헤드.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 레이저 웰딩(laser welding)은 서로 겹쳐진 플레이트 사이에 형성되며, 연속된 점(point)접합으로 이루어진 선(line)접합의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 헤드.
  9. 제1항에 있어서,
    프로브 헤드가 조립된 상태에서 파손된 프로브의 잔여물이 프로브 헤드에서 빠져나올 수 있는 드레인홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 헤드.
  10. 제1항에 있어서,
    볼트가 사용되지 않고 조립된 것을 특징으로 하는 프로브 헤드.
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