KR20230127184A - 프로브 어셈블리 정렬 장치 - Google Patents

프로브 어셈블리 정렬 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20230127184A
KR20230127184A KR1020230109952A KR20230109952A KR20230127184A KR 20230127184 A KR20230127184 A KR 20230127184A KR 1020230109952 A KR1020230109952 A KR 1020230109952A KR 20230109952 A KR20230109952 A KR 20230109952A KR 20230127184 A KR20230127184 A KR 20230127184A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shaft
axis
probe assembly
support plate
probe
Prior art date
Application number
KR1020230109952A
Other languages
English (en)
Inventor
박종군
김경호
윤기상
구황섭
Original Assignee
(주)위드멤스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)위드멤스 filed Critical (주)위드멤스
Priority to KR1020230109952A priority Critical patent/KR20230127184A/ko
Publication of KR20230127184A publication Critical patent/KR20230127184A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2825—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere in household appliances or professional audio/video equipment
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

Abstract

프로브 어셈블리 정렬 장치는, 피검사체에 형성된 패드와 프로브 어셈블리에 장착된 프로브 핀을 서로 정렬시키기 위한 프로브 어셈블리 정렬 장치로서, 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트에 결합되는 제1 축 고정부와, 동력에 의해 상기 지지 플레이트 상에서 제1 축 방향으로 슬라이딩되는 제1 축 슬라이딩부를 구비하는 제1 축 스테이지; 및 상기 제1 축 슬라이딩부에 결합되는 제2 축 고정부와, 동력에 의해 상기 지지 플레이트 상에서 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 슬라이딩되고 상기 프로브 어셈블리와 결합되는 제2 축 슬라이딩부를 구비하는 제2 축 스테이지를 포함한다.

Description

프로브 어셈블리 정렬 장치{DEVICE FOR ALIGNING PROBE ASSEMBLY}
본 발명은 프로브 어셈블리 정렬 장치에 관한 것이다.
프로브 블록 조립체는 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 패널 등 피검사체의 전기적 특성 및 결함을 검사하는데 사용된다. 일반적으로, 제조 완료된 평판디스플레이 패널 등은 제품화되기 전 제조 공정에서 발생할 수 있는 결함 유무를 검사하는 과정을 거치게 된다. 검사 방법으로는 평판디스플레이 패널 라인의 단선 검사와 색상 검사를 위한 프로브 블록 조립체를 이용한 점등 검사가 주를 이룬다.
종래에는 프로브 블록 조립체와 피검사체의 위치를 정렬하기 위해 프로브 블록마다 설치된 카메라를 통해 사람이 직접 프로브 블록의 블록 핀과 피검사체(패널)의 패드를 1대 1로 맞추고 있다. 그러나, 이러한 방식은 정확한 수치에 기초하여 프로브 블록을 이동시키기 어렵고, 한번에 세팅을 완료하기 어려워 여러 차례 반복적인 조정 과정을 거치게 되는 등 프로브 블록 조립체의 세팅 시간이 지연될 수 있다.
도 1은 종래 복수의 프로브 어셈블리가 베이스 보드에 장착된 상태를 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 프로브 카드 등 검사 장치의 본체를 구성하는 베이스 보드(10)에 복수의 프로브 어셈블리(20)가 결합되어 있고, 프로브 어셈블리(20)에는 프로브 핀이 구비되어 피검사체의 패드와 접촉한다.
종래 방식에 따르면, 프로브 블록 조립체를 세팅하기 위해, 카메라(40)를 이용하여 각 프로브 블록의 프로브 핀과 피검사체의 패드 간의 위치를 하나씩 조절하여 정렬해야 하므로, 검사 준비에 시간이 소모된다. 또한, 검사 중 프로브 블록의 위치가 변화되는 경우가 있어, 공정 중간에 다시 정렬 상태를 확인하고 재조정하는 작업이 필요하다.
한국공개특허공보 제2017-0006127호 (2017. 1. 17. 공개)
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 수동이 아닌 자동으로 프로브 블록의 프로브 핀과 피검사체(패널)의 패드를 1대 1로 정렬할 수 있는 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공하고자 한다.
또한, 프로브 블록의 프로브 핀과 피검사체의 패드를 정렬하는 과정에서 액츄에이터 및 모터 등을 이용해 정확한 수치에 기초하여 정렬될 수 있고, 다수의 프로브 핀을 한 번에 정렬 가능한 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공하고자 한다.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 일 실시예는, 피검사체에 형성된 패드와 프로브 어셈블리에 장착된 프로브 핀을 서로 정렬시키기 위한 프로브 어셈블리 정렬 장치로서, 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트에 결합되는 제1 축 고정부와, 동력에 의해 상기 지지 플레이트 상에서 제1 축 방향으로 슬라이딩되는 제1 축 슬라이딩부를 구비하는 제1 축 스테이지; 및 상기 제1 축 슬라이딩부에 결합되는 제2 축 고정부와, 동력에 의해 상기 지지 플레이트 상에서 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 슬라이딩되고 상기 프로브 어셈블리와 결합되는 제2 축 슬라이딩부를 구비하는 제2 축 스테이지를 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 상기 제1 축 방향과 상기 제2 축 방향은 상기 지지 플레이트에 의해 형성되는 평면 상에서 서로 직교하고, 상기 제1 축 스테이지 및 상기 제2 축 스테이지는 상기 지지 플레이트에 의해 형성되는 평면에 수직인 방향으로 순차적으로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 상기 제1 축 스테이지는, 일 측이 상기 제1 축 고정부에 지지되고 상기 제1 축 방향으로 제1 축 슬라이더를 가압하는 동력을 제공하도록 형성되는 제1 축 액츄에이터를 더 포함하고, 상기 제2 축 스테이지는, 일 측이 상기 제2 축 고정부에 지지되고 상기 제2 축 방향으로 제2 축 슬라이더를 가압하는 동력을 제공하도록 형성되는 제2 축 액츄에이터를 더 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 상기 제1 축 액츄에이터는, 전력에 의해 회전력을 발생시키는 제1 모터; 및 상기 제1 모터의 회전력에 의하여 제1 축 방향으로 상기 제1 축 슬라이딩부를 밀도록 형성되는 제1 축 슬라이더를 구비하고, 상기 제2 축 액츄에이터는, 전력에 의해 회전력을 발생시키는 제2 모터; 및 상기 제2 모터의 회전력에 의하여 제2 축 방향으로 상기 제2 축 슬라이딩부를 밀도록 형성되는 제2 축 슬라이더를 구비하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 상기 지지 플레이트와 서로 고정되도록 위치되어, 상기 패드와 상기 프로브 핀의 위치 관계를 촬영하도록 구성되는 정렬 카메라를 더 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 상기 패드와 상기 프로브 핀의 위치 관계에 기초하여 상기 제1 축 슬라이딩부 및 상기 제2 축 슬라이딩부의 슬라이딩 거리를 제어하도록 구성되는 제어부를 더 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 상기 제1 축 스테이지는, 상기 제1 축 고정부와 상기 제1 축 슬라이딩부 간의 상대 위치를 고정시키거나 고정시킨 상태를 해제하도록 형성되는 제1 축 스토퍼를 더 구비하고, 상기 제2 축 스테이지는, 상기 제2 축 고정부와 상기 제2 축 슬라이딩부 간의 상대 위치를 고정시키거나 고정시킨 상태를 해제하도록 형성되는 제2 축 스토퍼를 더 구비하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본 발명을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
*전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 프로브 블록의 블록 핀과 피검사체의 패드의 위치를 액츄에이터 또는 모터 등을 이용해 자동으로 정확한 수치에 기초하여 한 번에 정렬 가능하여 검사 준비에 소모되는 시간을 단축시킬 수 있는 프로브 어셈블리 정렬 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 종래 복수의 프로브 어셈블리가 베이스 보드에 장착된 상태를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 측면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 분해 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 평면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치의 측면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 액츄에이터 또는 모터 등을 이용해 프로브 블록의 블록 핀과 피검사체의 패드를 정확한 수치에 기초하여 자동으로 한 번에 정렬 가능하다.
도 2를 참조하면, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 베이스 보드(10)에 고정되도록 위치되는 지지 플레이트(110), 제1 축 스테이지(120) 및 제2 축 스테이지(130)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 축 스테이지(120)는 프로브 핀이 구비되어 있는 프로브 어셈블리(20)를 X축 방향으로 정렬시킬 수 있고, 제2 축 스테이지(130)는 프로브 어셈블리(20)를 Y축 방향으로 정렬시킬 수 있다. 즉, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 제1 축 스테이지(120) 및 제2 축 스테이지(130)를 X축 또는 Y축으로 이동시켜 프로브 핀과 피검사체의 패드와의 정렬을 조절하기 위해, 베이스 보드(10)에 고정되고, 프로브 핀이 부착되어 있는 프로브 어셈블리(20)의 위치를 이동시킬 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 축 스테이지(120)는 제1 축 고정부(121) 및 제1 축 슬라이딩부(122)를 구비할 수 있다. 제1 축 고정부(121)는 지지 플레이트(110)에 결합될 수 있고, 제1 축 슬라이딩부(122)는 동력에 의해 지지 플레이트(110) 상에서 제1 축 방향으로 슬라이딩될 수 있다.
보다 구체적으로, 도 1 및 도 3을 참조하면, 지지 플레이트(110)는 검사 장치의 본체를 구성하는 베이스 보드(10)에 결합될 수 있다. 제1 축 고정부(121)는 지지 플레이트(110)에 결합될 수 있고, 제1 축 슬라이딩부(122)는 제1 축 고정부(121)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 동력이 가해지면 제1 축 슬라이딩부(122)는 제1 축 고정부(121)의 지지를 받아 제1 축으로 슬라이딩되어, 제2 축 스테이지(130) 및 프로브 어셈블리(20)를 제1 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 프로브 어셈블리(20)를 X축으로 정렬시킬 수 있다.
제2 축 스테이지(130)는 제2 축 고정부(131) 및 제2 축 슬라이딩부(132)를 구비할 수 있다. 제2 축 고정부(131)는 제1 축 슬라이딩부(122)에 결합될 수 있고, 제2 축 슬라이딩부(132)는 동력에 의해 지지 플레이트(110) 상에서 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 슬라이딩되고 프로브 어셈블리(20)와 결합될 수 있다.
보다 구체적으로, 도 3을 참조하면, 제2 축 고정부(131)는 제1 축 슬라이딩부(122)에 결합될 수 있고, 제2 축 슬라이딩부(132)는 제2 축 고정부(131)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 동력이 가해지면 제2 축 슬라이딩부(132)는 제2 축 고정부(131)의 지지를 받아 제2 축으로 슬라이딩되어 프로브 어셈블리(20)를 제2 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 프로브 어셈블리(20)를 Y축으로 정렬시킬 수 있다.
여기서, 제1 축 방향과 제2 축 방향은 지지 플레이트(110)에 의해 형성되는 평면 상에서 서로 직교할 수 있다. 또한, 제1 축 스테이지(120) 및 제2 축 스테이지(130)는 지지 플레이트(110)에 의해 형성되는 평면에 수직인 방향으로 순차적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 제1 축 스테이지(120)는 지지 플레이트(110)에 X축 방향으로 슬라이딩되도록 결합될 수 있고, 제2 축 스테이지(130)는 제1 축 스테이지(120)와 직교하는 Y축 방향으로 슬라이딩되도록 제1 축 스테이지(120)에 결합될 수 있고, 지지 플레이트(110) 상의 Z축 방향으로 제1 축 스테이지(120) 및 제2 축 스테이지(130)가 세워질 수 있다.
따라서, 동력이 가해짐에 따라 제1 축 스테이지(120)는 프로브 어셈블리(20)를 제1 축으로 정렬시킬 수 있고, 제2 축 스테이지(130)는 프로브 어셈블리(20)를 제2 축으로 정렬시킬 수 있다. 프로브 핀이 부착되어 있는 프로브 어셈블리(20)는 제1 축 스테이지(120) 및 제2 축 스테이지(130)의 이동에 따라 X축 또는 Y축으로 정렬될 수 있다.
도 3 및 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 축 스테이지(120)는 제1 축 액츄에이터(123)를 더 포함할 수 있다. 제1 축 액츄에이터(123)는 일 측이 제1 축 고정부(121)에 지지되고, 제1 축 방향으로 제1 축 슬라이딩부(122)를 가압하는 동력을 제공하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 프로브 어셈블리(20)를 제1 축 방향으로 정렬시키기 위해, 제1 액츄에이터(123)의 동력을 받아 제1 축 슬라이딩부(122)를 제1 축 방향으로 이동시킬 수 있다.
제1 축 액츄에이터(123)는 제1 모터(123a) 및 제1 축 슬라이더(123b)를 구비할 수 있다. 제1 모터(123a)는 전력에 의해 회전력을 발생시키고, 제1 축 슬라이더(123b)는 제1 모터(123a)의 회전력에 의하여 제1 축 방향으로 제1 축 슬라이딩부(122)를 밀도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 축 액츄에이터(123)의 동력은 제1 모터(123a) 및 제1 축 슬라이더(123b)를 통해 발생될 수 있다. 제1 모터(123a)의 회전력에 의하여 제1 축 슬라이더(123b)가 제1 축 슬라이딩부(122)를 제1 축 방향으로 이동시킴으로써, 프로브 어셈블리(20)는 제1 축 방향으로 이동될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제2 축 스테이지(130)는 제2 축 액츄에이터(133)를 더 포함할 수 있다. 제2 축 액츄에이터(133)는 일 측이 제2 축 고정부(131)에 지지되고, 제2 축 방향으로 제2 축 슬라이딩부(132)를 가압하는 동력을 제공하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 프로브 어셈블리(20)를 제2 축 방향으로 정렬시키기 위해, 제2 액츄에이터(133)의 동력을 받아 제2 축 슬라이딩부(132)를 제2 축 방향으로 이동시킬 수 있다.
제2 축 액츄에이터(133)는 제2 모터(133a) 및 제2 축 슬라이더(133b)를 구비할 수 있다. 제2 모터(133a)는 전력에 의해 회전력을 발생시키고, 제2 축 슬라이더(133b)는 제2 모터(133a)의 회전력에 의하여 제2 축 방향으로 제2 축 슬라이딩부(132)를 밀도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2 축 액츄에이터(133)의 동력은 제2 모터(133a) 및 제2 축 슬라이더(133b)를 통해 발생될 수 있다. 제2 모터(133a)의 회전력에 의하여 제2 축 슬라이더(133b)가 제2 축 슬라이딩부(132)를 제2 축 방향으로 이동시킴으로써, 프로브 어셈블리(20)는 제2 축 방향으로 이동될 수 있다.
이와 같이, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 동력에 의해 이동하는 제1 축 스테이지(120) 및 제2 축 스테이지(130)를 통해 프로브 어셈블리(20)를 제1 축 및 제2 축, 두 개의 축에 대하여 이동시킴으로써, 프로브 핀의 위치를 피검사체의 패드에 맞게 자동으로 조정할 수 있다.
또한, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 프로브 핀이 부착되어 있는 프로브 어셈블리(20)를 필요한 수치만큼 정확한 수치에 기초하여 이동시킬 수 있어 프로브 핀의 위치를 피검사체의 패드에 맞게 정확하게 조정할 수 있다.
또한, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 프로브 어셈블리(20)의 위치를 자동으로 정확하게 조정함으로써, 프로브 핀의 위치를 피검사체의 패드에 맞게 한 번에 조정 가능하고 검사 준비에 소모되는 시간 및 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 정렬 카메라(40) 및 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 정렬 카메라(40)는 지지 플레이트(110)와 서로 고정되도록 위치되어, 피검사체의 패드와 프로브 핀의 위치 관계를 촬영하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 정렬 카메라(40)를 통해 패드와 프로브 핀의 위치 관계를 측정 및 판단할 수 있다.
제어부는 패드와 프로브 핀의 위치 관계에 기초하여 제1 축 슬라이딩부(122) 및 제2 축 슬라이딩부(132)의 슬라이딩 거리를 제어하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제어부는 정렬 카메라(40)를 통해 확인된 패드와 프로브 핀의 위치 관계에 기초하여 제1 축 스테이지(120) 및 제2 축 스테이지(130)의 이동량을 산출할 수 있다. 구체적으로, 제어부는 패드와 프로브 핀의 위치 관계에 기초하여 제1 축 슬라이딩부(122)가 제1 축으로 슬라이딩될 거리를 산출하여 제1 슬라이딩부(122)의 동작을 제어할 수 있고, 제2 축 슬라이딩부(132)가 제2 축으로 슬라이딩될 거리를 산출하여 제2 슬라이딩부(122)의 동작을 제어할 수 있다.
이와 같이, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 정렬 카메라(40) 및 제어부에 의해, 패드와 프로브 핀 간의 위치 측정 및 거리 제어를 연동시켜 프로브 어셈블리 정렬 작업을 자동으로 수행할 수 있다.
도 4 및 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 축 스테이지(120)는 제1 축 스토퍼(124)를 더 구비할 수 있다. 제1 축 스토퍼(124)는 제1 축 고정부(121)와 제1 축 슬라이딩부(122) 간의 상대 위치를 고정시키거나 고정시킨 상태를 해제하도록 형성될 수 있다.
제2 축 스테이지(130)는 제2 축 스토퍼(134)를 더 구비할 수 있다. 제2 축 스토퍼(134)는 제2 축 고정부(131)와 제2 축 슬라이딩부(132) 간의 상대 위치를 고정시키거나 고정시킨 상태를 해제하도록 형성될 수 있다.
즉, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 제1 축 스토퍼(124) 및 제2 축 스토퍼(134)를 통해 제1 축 고정부(121) 및 제2 축 고정부(131)와 제1 축 슬라이딩부(122) 및 제2 축 슬라이딩부(132) 간의 상대 위치를 수동으로 고정시킬 수 있다.
본 발명에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 제1 축 고정부(121)와 제1 축 슬라이딩부(122) 간의 정렬 상태를 필요에 따라 고정 또는 고정 해제 가능하고, 제1 축 고정부(121)와 제1 축 슬라이딩부(122) 간의 상대 위치를 수동으로 결정할 수 있다.
또한, 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 제2 축 고정부(131)와 제2 축 슬라이딩부(132) 간의 정렬 상태를 필요에 따라 고정 또는 고정 해제 가능하고, 제2 축 고정부(131)와 제2 축 슬라이딩부(132) 간의 상대 위치를 수동으로 결정할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 프로브 어셈블리 정렬 장치(100)는 제1 축 스토퍼(124) 및 제2 축 스토퍼(134)를 통해, 공정 상황에 따른 수동 미세 조정이 가능하다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 프로브 어셈블리 정렬 장치
110: 지지 플레이트
120: 제1 축 스테이지
130: 제2 축 스테이지

Claims (7)

  1. 피검사체에 형성된 패드와 프로브 어셈블리에 장착된 프로브 핀을 서로 정렬시키기 위한 프로브 어셈블리 정렬 장치로서,
    지지 플레이트;
    상기 지지 플레이트에 결합되는 제1 축 고정부와, 동력에 의해 상기 지지 플레이트 상에서 제1 축 방향으로 슬라이딩되는 제1 축 슬라이딩부를 구비하는 제1 축 스테이지; 및
    상기 제1 축 슬라이딩부에 결합되는 제2 축 고정부와, 동력에 의해 상기 지지 플레이트 상에서 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 슬라이딩되고 상기 프로브 어셈블리와 결합되는 제2 축 슬라이딩부를 구비하는 제2 축 스테이지를 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 축 방향과 상기 제2 축 방향은 상기 지지 플레이트에 의해 형성되는 평면 상에서 서로 직교하고,
    상기 제1 축 스테이지 및 상기 제2 축 스테이지는 상기 지지 플레이트에 의해 형성되는 평면에 수직인 방향으로 순차적으로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 축 스테이지는, 일 측이 상기 제1 축 고정부에 지지되고 상기 제1 축 방향으로 제1 축 슬라이더를 가압하는 동력을 제공하도록 형성되는 제1 축 액츄에이터를 더 포함하고,
    상기 제2 축 스테이지는, 일 측이 상기 제2 축 고정부에 지지되고 상기 제2 축 방향으로 제2 축 슬라이더를 가압하는 동력을 제공하도록 형성되는 제2 축 액츄에이터를 더 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 축 액츄에이터는,
    전력에 의해 회전력을 발생시키는 제1 모터; 및
    상기 제1 모터의 회전력에 의하여 제1 축 방향으로 상기 제1 축 슬라이딩부를 밀도록 형성되는 제1 축 슬라이더를 구비하고,
    상기 제2 축 액츄에이터는,
    전력에 의해 회전력을 발생시키는 제2 모터; 및
    상기 제2 모터의 회전력에 의하여 제2 축 방향으로 상기 제2 축 슬라이딩부를 밀도록 형성되는 제2 축 슬라이더를 구비하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 플레이트와 서로 고정되도록 위치되어, 상기 패드와 상기 프로브 핀의 위치 관계를 촬영하도록 구성되는 정렬 카메라를 더 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 패드와 상기 프로브 핀의 위치 관계에 기초하여 상기 제1 축 슬라이딩부 및 상기 제2 축 슬라이딩부의 슬라이딩 거리를 제어하도록 구성되는 제어부를 더 포함하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 축 스테이지는, 상기 제1 축 고정부와 상기 제1 축 슬라이딩부 간의 상대 위치를 고정시키거나 고정시킨 상태를 해제하도록 형성되는 제1 축 스토퍼를 더 구비하고,
    상기 제2 축 스테이지는, 상기 제2 축 고정부와 상기 제2 축 슬라이딩부 간의 상대 위치를 고정시키거나 고정시킨 상태를 해제하도록 형성되는 제2 축 스토퍼를 더 구비하는, 프로브 어셈블리 정렬 장치.
KR1020230109952A 2021-04-15 2023-08-22 프로브 어셈블리 정렬 장치 KR20230127184A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230109952A KR20230127184A (ko) 2021-04-15 2023-08-22 프로브 어셈블리 정렬 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210048897A KR20220142628A (ko) 2021-04-15 2021-04-15 프로브 어셈블리 정렬 장치
KR1020230109952A KR20230127184A (ko) 2021-04-15 2023-08-22 프로브 어셈블리 정렬 장치

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210048897A Division KR20220142628A (ko) 2021-04-15 2021-04-15 프로브 어셈블리 정렬 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230127184A true KR20230127184A (ko) 2023-08-31

Family

ID=83805724

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210048897A KR20220142628A (ko) 2021-04-15 2021-04-15 프로브 어셈블리 정렬 장치
KR1020230109952A KR20230127184A (ko) 2021-04-15 2023-08-22 프로브 어셈블리 정렬 장치

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210048897A KR20220142628A (ko) 2021-04-15 2021-04-15 프로브 어셈블리 정렬 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (2) KR20220142628A (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170006127A (ko) 2015-07-07 2017-01-17 삼성전자주식회사 프로브 카드, 프로브 카드용 단열 커버 어셈블리, 및 이를 갖는 반도체 디바이스의 검사 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170006127A (ko) 2015-07-07 2017-01-17 삼성전자주식회사 프로브 카드, 프로브 카드용 단열 커버 어셈블리, 및 이를 갖는 반도체 디바이스의 검사 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220142628A (ko) 2022-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4495919B2 (ja) プラナリゼーション装置
US6906546B2 (en) Semiconductor device inspection apparatus and inspection method
US7671614B2 (en) Apparatus and method for adjusting an orientation of probes
JP5179289B2 (ja) 回路基板固定装置および回路基板検査装置
TWI336427B (en) Method for docking a test head
TWI718773B (zh) 探測設備的操作方法
CN110749511A (zh) 一种显示面板弯折测试治具
US20050057270A1 (en) Contactor assembly for testing electrical circuits
KR20060074077A (ko) 3축 굽힘 실험용 지그
CN109633934A (zh) 点灯压合机构以及点灯治具
WO2015033744A1 (ja) 電気検査装置
KR20230127184A (ko) 프로브 어셈블리 정렬 장치
JP2008101938A (ja) 検査装置
JP4965101B2 (ja) プローブの針先と被検査体の電極との位置合わせ方法
JP2010002390A (ja) 基板固定装置および基板検査装置
US9234853B2 (en) Probe apparatus
CN107490733B (zh) 将探针销与电子设备的位置对准的方法及装置
KR101751801B1 (ko) 기판 결함 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법
CN116847974A (zh) 接合测试设备
JP2005507559A (ja) 部品装着機を較正する方法、このような方法を実行するのに適した装置及びこのような方法又は装置における使用に適した較正部
KR101985209B1 (ko) 동력전달방향과 직각 방향으로 컨택 동작이 이루어지는 멀티 푸셔 기능을 갖는 전자부품 테스트 소켓
JP6035168B2 (ja) 基板検査装置
KR20210055708A (ko) 테스트 기판, 프로브들 및 검사 유닛을 서로 상대적으로 위치 설정하기 위한 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 테스터
WO2023248595A1 (ja) プローブユニットの製造方法、プローブユニット、プローブ実装体及び電気検査装置
KR102366593B1 (ko) 셀프얼라인 검사소켓

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent