KR20230124085A - 가공 장치 및 가공품의 제조 방법 - Google Patents

가공 장치 및 가공품의 제조 방법 Download PDF

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사토코 호리
유야 사카우에
유코 야마모토
쇼 요시오카
쇼이치 카타오카
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Abstract

본 발명은, 가공 장치의 점유공간(footprint)을 저감하는 것이고, 봉지 마친 기판(W)을 가공하는 가공 기구(4)와, 가공된 봉지 마친 기판(W)을 트레이(21a∼21c)로 구분하는 구분 기구(20)와, 트레이(21a∼21c)를 이동시키는 트레이 이동 기구(24)를 구비하고, 트레이 이동 기구(24)는, 트레이(21a∼21c)가 재치되는 3개 이상의 트레이 재치부(241a∼241c)를 가지고, 3개 이상의 트레이 재치부(241a∼241c)가 일렬로 배치됨과 함께, 그 일렬의 방향을 따라 서로 독립해서 구분 기구(20)에 의한 구분 위치(X1)로 이동 가능하게 구성되어 있다.

Description

가공 장치 및 가공품의 제조 방법
본 발명은, 가공 장치 및 가공품의 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 절단 시스템에 있어서, 패키지가 탑재된 트레이를 언로딩하거나, 새 트레이를 로딩하거나 하는 트레이 피커가 마련되어 있다. 이 트레이 피커는, 복수의 트레이 각각을 각기 다른 열의 피커 구동 부재에 의해 독립적으로 수평, 상하 이동하도록 구성되어 있다.
그렇지만, 상기의 절단 시스템에서는, 복수의 트레이 각각이 각기 다른 열의 피커 구동 부재에 의해 독립적으로 수평, 상하 이동하도록 구성되어 있으므로, 절단 시스템의 점유공간(footprint)이 커져 버린다.
일본공표특허 특표2007－536727호 공보
그래서 본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 가공 장치의 점유공간을 저감하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.
즉 본 발명에 관계된 가공 장치는, 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와, 가공된 가공 대상물을 복수의 트레이로 구분(仕分)하는 구분 기구와, 상기 트레이를 이동시키는 트레이 이동 기구를 구비하고, 상기 트레이 이동 기구는, 상기 트레이가 재치(載置)되는 3개 이상의 트레이 재치부를 가지고, 상기 3개 이상의 트레이 재치부가 일렬로 배치됨과 함께, 그(當該) 일렬의 방향을 따라 서로 독립해서 상기 구분 기구에 의한 구분 위치로 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 가공 장치의 점유공간을 저감할 수가 있다.
도 1은, 본 발명의 1실시형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는, 동(同) 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은, 동 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조의 구성을 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 4는, 동 실시형태의 절단용 테이블 및 그 주변 구조의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 5는, 동 실시형태의 제1 보유지지(保持) 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 6은, 동 실시형태의 제1 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 X방향에서 본 도면(측면도)이다.
도 7은, 동 실시형태의 제2 보유지지 기구 및 반송용 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Y방향에서 본 도면(정면도)이다.
도 8은, 동 실시형태의 랙 앤드 피니언 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 9는, 동 실시형태의 절단 장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 10은, 동 실시형태의 트레이 반송 기구 및 트레이 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 11은, 동 실시형태의 트레이 이동 기구의 구성을 모식적으로 나타내는 Z방향에서 본 도면(평면도)이다.
도 12는, 동 실시형태의 각 트레이가 구분 위치, 수용 위치 및 퇴피 위치에 있는 상태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 13은, 동 실시형태의 제2의 트레이 재치부의 높이 위치 H1, H2를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 14는, 동 실시형태의 제3의 트레이 재치부의 높이 위치 H1, H2를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 15는, 동 실시형태의 제1의 트레이 재치부 및 제2의 트레이 재치부가 엇갈릴 때의 상태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 16은, 동 실시형태의 제1의 트레이 재치부 및 제2의 트레이 재치부가 엇갈릴 때의 상태를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 17은, 동 실시형태의 제2의 트레이 재치부 및 제3의 트레이 재치부가 엇갈릴 때의 상태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 18은, 동 실시형태의 제2의 트레이 재치부 및 제3의 트레이 재치부가 엇갈릴 때의 상태를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 19는, 동 실시형태의 제1의 트레이 재치부 및 제3의 트레이 재치부가 엇갈릴 때의 상태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 20은, 동 실시형태의 제1의 트레이 재치부 및 제3의 트레이 재치부가 엇갈릴 때의 상태를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
다음에, 본 발명에 대하여, 예를 들어서 더욱 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명은, 이하의 설명에 의해 한정되지 않는다.
본 발명의 가공 장치는, 전술한 대로, 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와, 가공된 가공 대상물을 복수의 트레이로 구분하는 구분 기구(sorting mechanism)와, 상기 트레이를 이동시키는 트레이 이동 기구를 구비하고, 상기 트레이 이동 기구는, 상기 트레이가 재치되는 3개 이상의 트레이 재치부를 가지고, 상기 3개 이상의 트레이 재치부가 일렬로 배치됨과 함께, 그 일렬의 방향을 따라 서로 독립해서 상기 구분 기구에 의한 구분 위치로 이동 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 가공 장치라면, 3개 이상의 트레이 재치부가 일렬로 배치됨과 함께, 그 일렬의 방향을 따라 서로 독립해서 상기 구분 기구에 의한 구분 위치로 이동 가능하게 구성되어 있으므로, 가공 장치의 점유공간을 저감할 수가 있다. 또, 3개 이상의 트레이 재치부가 일렬로 배열되어 있으므로, 가공된 가공 대상물을 구분할 때에 각 트레이까지의 거리가 동일하게 되고, 각 트레이로 구분할 때의 반송 시간을 동일하게 할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수가 있다.
3개 이상의 트레이 재치부가 서로 독립해서 이동할 때에 서로 간섭하지 않도록 하기 위해서는, 상기 트레이 이동 기구는, 상기 3개 이상의 트레이 재치부의 적어도 하나의 높이 위치를 변경하는 높이 위치 변경부를 가지는 것이 바람직하다.
3개 이상의 트레이 재치부가 서로 독립해서 이동할 때에 서로 간섭하지 않도록 하면서, 구분 기구에 의해 각 트레이에 가공 후의 가공 대상물을 정확하게 재치할 수 있도록 하기 위해서는, 상기 높이 위치 변경부는, 상기 트레이 재치부를 상기 구분 위치에 있어서의 높이로 되는 상승 위치와, 다른(他) 상기 트레이 재치부와 간섭하지 않는 높이로 되는 하강 위치 사이에서 승강 이동시키는 것인 것이 바람직하다.
본 발명의 가공 장치는, 상기 트레이를 수용하는 트레이 수용부를 더 구비하고 있다. 이 구성에 있어서, 상기 트레이 이동 기구는, 상기 3개 이상의 트레이 재치부를, 상기 구분 위치와 상기 트레이를 상기 트레이 수용부에 수용하기 위한 수용 위치 사이에서 이동시키는 것이 바람직하다.
트레이 수용부로부터 트레이 재치부로의 트레이의 반송 및 트레이 재치부로부터 트레이 수용부로의 트레이의 반송을 자동적으로 행하기 위해서는, 본 발명의 가공 장치는, 상기 트레이 수용부 및 상기 수용 위치에 있는 상기 트레이 재치부 사이에서 상기 트레이를 반송하는 트레이 반송 기구를 더 구비하는 것이 바람직하다.
트레이 이동 기구의 구체적인 실시 양태로서는, 상기 트레이 이동 기구는, 서로 평행하게 마련된 제1의 이동 레일 및 제2의 이동 레일을 가지고, 상기 제1의 이동 레일에 있어서 2개의 상기 트레이 재치부가 서로 간섭하지 않도록 이동 가능하게 마련되어 있고, 상기 제2의 이동 레일에 있어서 1개의 상기 트레이 재치부가 상기 제1의 이동 레일에 마련된 2개의 상기 트레이 재치부와 간섭하지 않도록 이동 가능하게 마련되어 있는 것이 바람직하다.
또, 상기의 가공 장치를 사용하여 가공품을 제조하는 가공품의 제조 방법도 본 발명의 한 양태이다.
＜본 발명의 1실시형태＞
이하에, 본 발명에 관계된 가공 장치의 1실시형태에 대하여, 도면을 참조해서 설명한다. 한편, 이하에 나타내는 어느 도면에 대하여도, 알기 쉽게 하기 위해서, 적당히(適宜) 생략하거나 또는 과장해서 모식적으로 그려져 있다. 동일한 구성요소에 대하여는, 동일한 부호를 부가해서 설명을 적당히 생략한다.
＜가공 장치의 전체 구성＞
본 실시형태의 가공 장치(100)는, 가공 대상물인 봉지 마친(封止濟) 기판(W)을 절단하는 것에 의해서, 복수의 가공품인 제품(P)으로 개편화(個片化)하는 절단 장치이다.
구체적으로 절단 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 2개의 절단용 테이블(가공 테이블)(2A, 2B)과, 봉지 마친 기판(W)을 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송하기 위해서 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 제1 보유지지 기구(3)와, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)을 절단하는 절단 기구(가공 기구)(4)와, 복수의 제품(P)이 옮겨지는 이동적재(移載) 테이블(5)과, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 이동적재 테이블(5)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 제2 보유지지 기구(6)와, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축(71)을 가지는 반송용 이동 기구(7)와, 절단 기구(4)를 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)에 대해서 이동시키는 절단용 이동 기구(가공용 이동 기구)(8)를 구비하고 있다.
여기서, 봉지 마친 기판(W)이란, 반도체 칩, 저항 소자, 캐패시터 소자 등의 전자 소자가 접속된 기판에 대해서, 적어도 전자 소자를 수지 봉지하도록 수지 성형한 것이다. 봉지 마친 기판(W)을 구성하는 기판으로서는, 리드 프레임, 프린트 배선판을 사용할 수가 있고, 이것들 이외에도, 반도체제 기판(실리콘 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼를 포함한다), 금속제 기판, 세라믹제 기판, 유리제 기판, 수지제 기판 등을 사용할 수가 있다. 또, 봉지 마친 기판(W)을 구성하는 기판에는, 배선이 실시되어 있어도 실시되어 있지 않아도 된다.
이하의 설명에 있어서, 절단용 테이블(2A, 2B)의 상면을 따른 평면(수평면) 내에서 서로 직교하는 방향을 각각 X방향 및 Y방향, X방향 및 Y방향과 직교하는 연직 방향을 Z방향으로 한다. 구체적으로는, 도 1의 좌우 방향을 X방향으로 하고, 상하 방향을 Y방향으로 한다. 후술하겠지만, X방향은, 지지체(812)의 이동 방향이고, 또, 문형(門型)의 지지체(812)에 있어서의 한 쌍의 다리부(脚部)가 걸쳐 놓여지는 보부(梁部)(빔부)의 긴쪽 방향(보부가 연장되는 방향)과 직교하는 방향이다(도 2 참조).
＜절단용 테이블＞
2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, X방향, Y방향 및 Z방향으로 고정시켜 마련되어 있다. 한편, 절단용 테이블(2A)은, 절단용 테이블(2A) 아래에 마련된 회전 기구(9A)에 의해서 θ방향으로 회전 가능하다. 또, 절단용 테이블(2B)은, 절단용 테이블(2B) 아래에 마련된 회전 기구(9B)에 의해서 θ방향으로 회전 가능하다.
이것들 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 마련되어 있다. 구체적으로는, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, 그것들의 상면이 동일한 수평면 상에 위치하도록(Z방향에 있어서 동일 높이에 위치하도록) 배치됨과 함께(도 4 참조), 그것들의 상면의 중심(구체적으로는 회전 기구(9A, 9B)에 의한 회전 중심)이 X방향으로 연장되는 동일 직선 상에 위치하도록 배치되어 있다(도 2 및 도 3 참조).
또, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)은, 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지하는 것이고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)에 대응해서, 흡착 보유지지하기 위한 2개의 진공 펌프(10A, 10B)가 배치되어 있다. 각 진공 펌프(10A, 10B)는, 예를 들어 수봉식(水封式) 진공 펌프이다.
여기서, 절단용 테이블(2A, 2B)이 XYZ 방향으로 고정되어 있기 때문에, 진공 펌프(10A, 10B)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)에 접속되는 배관(도시하지 않음)을 짧게 할 수가 있고, 배관의 압력 손실을 저감해서, 흡착력의 저하를 방지할 수가 있다. 그 결과, 예를 들어 한 변이 1 ㎜(1㎜角) 이하인 극소 패키지이더라도 확실하게 절단용 테이블(2A, 2B)에 흡착할 수가 있다. 또, 배관의 압력 손실에 의한 흡착력의 저하를 방지할 수 있으므로, 진공 펌프(10A, 10B)의 용량을 작게 할 수 있어, 소형화나 비용 절감으로도 이어진다.
＜제1 보유지지 기구＞
제1 보유지지 기구(3)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 기판 공급 기구(11)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송하기 위해서 봉지 마친 기판(W)을 보유지지하는 것이다. 이 제1 보유지지 기구(3)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지하기 위한 복수의 흡착부(311)가 마련된 흡착 헤드(31)와, 그 흡착 헤드(31)의 흡착부(311)에 접속된 진공 펌프(도시하지 않음)를 가지고 있다. 그리고, 흡착 헤드(31)가, 후술하는 반송용 이동 기구(7) 등에 의해 원하는(所望) 위치로 이동되는 것에 의해, 봉지 마친 기판(W)을 기판 공급 기구(11)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)로 반송한다.
기판 공급 기구(11)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 봉지 마친 기판(W)이 외부로부터 수용되는 기판 수용부(111)와, 그 기판 수용부(111)에 수용된 봉지 마친 기판(W)을 제1 보유지지 기구(3)에 의해 흡착 보유지지되는 보유지지 위치(RP)로 이동시키는 기판 공급부(112)를 가지고 있다. 이 보유지지 위치(RP)는, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 X방향에 있어서 동렬(同列)로 되도록 설정되어 있다. 한편, 기판 공급 기구(11)는, 제1 보유지지 기구(3)에 의해 흡착되는 봉지 마친 기판(W)을 유연한 상태로 해서, 흡착을 용이하게 하기 위해서 가열하는 가열부(113)를 가지고 있어도 된다.
＜절단 기구(가공 기구)＞
절단 기구(4)는, 도 1, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 블레이드(41A, 41B) 및 2개의 스핀들부(42A, 42B)로 이루어지는 2개의 회전 공구(40)를 가지는 것이다. 2개의 스핀들부(42A, 42B)는, 그것들의 회전축이 Y방향을 따르도록 마련되어 있고, 그것들에 장착(부착)되는 블레이드(41A, 41B)가 서로 대향하도록 배치된다(도 3 참조). 스핀들부(42A)의 블레이드(41A) 및 스핀들부(42B)의 블레이드(41B)는, X방향과 Z방향을 포함하는 면 내에 있어서 회전하는 것에 의해서 각 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 봉지 마친 기판(W)을 절단한다. 한편, 본 실시형태의 절단 장치(100)에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 블레이드(41A, 41B)에 의해서 발생하는 마찰열을 억제하기 위해서 절삭수(가공액)를 분사(噴射)하는 분사 노즐(121)을 가지는 액체 공급 기구(12)가 마련되어 있다. 이 분사 노즐(121)은, 예를 들어, 후술하는 Z방향 이동부(83)에 지지되어 있다.
＜이동적재(移載) 테이블＞
본 실시형태의 이동적재 테이블(5)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 후술하는 검사부(13)에 의해 검사된 복수의 제품(P)이 옮겨지는 테이블이다. 이 이동적재 테이블(5)은, 이른바 인덱스 테이블이라고 불리는 것이고, 복수의 제품(P)을 각종 트레이(21)로 구분(sorting)하기 전에, 복수의 제품(P)이 일시적으로 재치된다. 또, 이동적재 테이블(5)은, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)과 수평면 상에 있어서 X방향을 따라 일렬로 배치된다. 또한, 이동적재 테이블(5)은, 테이블 이동 기구(25)에 의해 Y방향을 따라 전후로 이동 가능하고, 구분 기구(20)까지 이동할 수가 있다. 한편, 테이블 이동 기구(25)는, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되며, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다. 그리고, 이동적재 테이블(5)에 재치된 복수의 제품(P)은, 검사부(13)에 의한 검사 결과(양품, 불량품 등)에 따라, 구분 기구(20)에 의해서 각종 트레이(21)로 구분되어진다.
한편, 제품(P)을 수용하기 전의 트레이(21)는, 트랜스퍼축(71)을 따라 이동하는 트레이 반송 기구(22)에 의해 트레이 이동 기구(24)로 반송되고, 그 후, 트레이 이동 기구(24)에 의해 소정의 구분 위치(X1)로 반송되어서, 구분 기구(20)에 의해서 구분되어지는 제품(P)이 재치된다. 구분되어진 후에 각종 트레이(21)는, 트레이 이동 기구(24) 및 트레이 반송 기구(22)에 의해 트레이 수용부(23)에 수용된다. 본 실시형태에서는, 트레이 수용부(23)에, 예를 들어 제품(P)을 수용하기 전의 트레이(21), 양품의 제품(P)을 수용한 트레이(21), 리워크(재검사)가 필요한 불량품의 제품(P)을 수용한 트레이(21)라고 하는 3종류의 트레이(21)를 수용하도록 구성되어 있다. 한편, 트레이 이동 기구(24)에 대하여는 후술한다.
＜검사부＞
여기서, 검사부(13)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 절단용 테이블(2A, 2B)과 이동적재 테이블(5) 사이에 마련되어, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)을 검사하는 것이다. 본 실시형태의 검사부(13)는, 제품(P)의 봉지면(패키지면)을 검사하는 제1 검사부(131)와, 제품(P)의 리드면을 검사하는 제2 검사부(132)를 가지고 있다. 제1 검사부(131)는, 패키지면을 검사하기 위한 광학계를 가지는 촬상 카메라이고, 제2 검사부(132)는, 리드면을 검사하기 위한 광학계를 가지는 촬상 카메라이다. 한편, 제1 검사부(131) 및 제2 검사부(132)를 공통으로 해도 된다.
본 실시형태의 봉지 마친 기판(W) 및 제품(P)은, 기판의 일면이 수지 성형된 구성으로 되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서, 수지 성형된 면은, 기판에 접속된 전자 소자가 수지 봉지된 면으로서, 「봉지면」 또는 「패키지면」이라고 불린다. 반면에, 수지 성형된 면과는 반대측의 수지 성형되지 않는 면은, 통상 제품의 외부 접속 전극으로서 기능하는 리드가 노출되므로, 리드면이라고 불린다. 이 리드가, BGA(Ball　Grid　Array) 등의 전자 부품에서 사용되는 돌기형(突起狀) 전극인 경우에는, 「볼면」이라고 불리는 경우도 있다. 또한, 수지 성형된 면과는 반대측의 수지 성형되지 않는 면은, 리드가 형성되어 있지 않은 형태도 있으므로, 「기판면」이라고 불리는 경우도 있다. 본 실시형태의 설명에서는, 수지 성형된 면을 「봉지면」 또는 「패키지면」이라고 기재하고, 수지 성형된 면과 반대측의 수지 성형되지 않는 면을 「리드면」이라고 기재한다.
또, 검사부(13)에 의해 복수의 제품(P)의 양면을 검사 가능하게 하기 위해서, 복수의 제품(P)을 반전시키는 반전 기구(14)가 마련되어 있다(도 1 참조). 이 반전 기구(14)는, 복수의 제품(P)을 보유지지하는 보유지지 테이블(141)과, 그 보유지지 테이블(141)을 표리가 역으로(반대로) 되도록 반전시키는 모터 등의 반전부(142)를 가지고 있다.
제2 보유지지 기구(6)가 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 복수의 제품(P)을 보유지지했을 때에는, 제품(P)의 패키지면이 하측을 향하고 있다. 이 상태에서, 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 반전 기구(14)로 복수의 제품(P)을 반송하는 도중에 있어서, 제1 검사부(131)에 의해 제품(P)의 패키지면이 검사된다. 그 후, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)이 반전 기구(14)에 의해 반전된다. 이 상태에서, 제품(P)의 리드면이 하측을 향하고 있고, 반전 기구(14)를 제2 검사부(132)로 이동시키는 것에 의해서, 제품(P)의 리드면이 검사된다.
＜제2 보유지지 기구＞
제2 보유지지 기구(6)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 이동적재 테이블(5)로 반송하기 위해서 복수의 제품(P)을 보유지지하는 것이다. 이 제2 보유지지 기구(6)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 복수의 제품(P)을 흡착 보유지지하기 위한 복수의 흡착부(611)가 마련된 흡착 헤드(61)와, 그 흡착 헤드(61)의 흡착부(611)에 접속된 진공 펌프(도시하지 않음)를 가지고 있다. 그리고, 흡착 헤드(61)가, 후술하는 반송용 이동 기구(7) 등에 의해 원하는 위치로 이동되는 것에 의해, 복수의 제품(P)을 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 보유지지 테이블(141) 또는 이동적재 테이블(5)로 반송한다.
＜반송용 이동 기구＞
반송용 이동 기구(7)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)를 적어도 기판 공급 기구(11)와 절단용 테이블(2A, 2B) 사이에서 이동시킴과 함께, 제2 보유지지 기구(6)를 적어도 절단용 테이블(2A, 2B)과 보유지지 테이블(141) 사이에서 이동시키는 것이다.
그리고, 반송용 이동 기구(7)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B) 및 이동적재 테이블(5)의 배열 방향(X방향)을 따라 일직선으로 연장되고, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키기 위한 공통의 트랜스퍼축(71)을 가진다.
이 트랜스퍼축(71)은, 제1 보유지지 기구(3)가 기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(112) 위쪽으로 이동할 수 있음과 함께, 제2 보유지지 기구(6)가 이동적재 테이블(5)의 위쪽으로 이동할 수 있는 범위에서 마련되어 있다(도 1 참조). 또, 이 트랜스퍼축(71)에 대해서, 제1 보유지지 기구(3), 제2 보유지지 기구(6), 절단용 테이블(2A, 2B) 및 이동적재 테이블(5)은, 평면시(平面視)에 있어서 동일측(Y방향에 있어서 앞쪽측(手前側))에 마련되어 있다. 그밖에, 검사부(13), 반전 기구(14), 각종 트레이(21), 트레이 반송 기구(22), 트레이 수용부(23), 후술하는 제1 클리닝 기구(18) 및 제2 클리닝 기구(19), 회수 용기(172)도, 트랜스퍼축(71)에 대해서 동일측(Y방향에 있어서 앞쪽측)에 마련되어 있다. 한편, 구분 기구(20)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서 Y방향에 있어서 뒤쪽측(奧側)에 마련되어 있다.
또한 반송용 이동 기구(7)는, 도 5, 도 6 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)을 따라 X방향으로 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키는 메인 이동 기구(72)와, 트랜스퍼축(71)에 대해서 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 Z방향으로 승강 이동시키는 승강 이동 기구(73)와, 트랜스퍼축(71)에 대해서 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 Y방향으로 수평 이동시키는 수평 이동 기구(74)를 가지고 있다.
메인 이동 기구(72)는, 도 5 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)에 마련되어, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 가이드하는 공통의 가이드 레일(721)과, 그 가이드 레일(721)을 따라 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키는 랙 앤드 피니언 기구(722)를 가지고 있다.
가이드 레일(721)은, 트랜스퍼축(71)을 따라 X방향으로 일직선으로 연장되어 있고, 트랜스퍼축(71)과 마찬가지로, 제1 보유지지 기구(3)가 기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(112) 위쪽으로 이동할 수 있음과 함께, 제2 보유지지 기구(6)가 이동적재 테이블(5)의 위쪽으로 이동할 수 있는 범위에서 마련되어 있다. 이 가이드 레일(721)에는, 승강 이동 기구(73) 및 수평 이동 기구(74)를 거쳐 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)가 마련되는 슬라이드 부재(723)가 슬라이드 가능하게 마련되어 있다. 여기서, 가이드 레일(721)은 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)에 공통되지만, 승강 이동 기구(73), 수평 이동 기구(74) 및 슬라이드 부재(723)는, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)의 각각에 대해 개별적으로 마련되어 있다.
랙 앤드 피니언 기구(722)는, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)에 공통인 캠랙(722a)과, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6) 각각에 마련되어, 액추에이터(도시하지 않음)에 의해 회전하는 피니언 기어(722b)를 가지고 있다. 캠랙(722a)은, 공통의 트랜스퍼축(71)에 마련되어 있고, 복수의 캠랙 요소를 연결하는 것에 의해, 갖가지 길이로 변경할 수가 있는 것이다. 또, 피니언 기어(722b)는, 슬라이드 부재(723)에 마련되어, 이른바 롤러 피니언이라고 불리는 것이고, 도 7에 나타내는 바와 같이, 모터의 회전축과 함께 회전하는 한 쌍의 롤러 본체(722b1)와, 그 한 쌍의 롤러 본체(722b1) 사이에 있어서 둘레방향에 등간격으로 마련되고, 롤러 본체(722b1)에 대해서 전동(轉動) 가능하게 마련된 복수의 롤러 핀(722b2)을 가지는 것이다. 본 실시형태의 랙 앤드 피니언 기구(722)는, 상기의 롤러 피니언을 사용하고 있으므로, 캠랙(722a)에 대해서 2개 이상의 롤러 핀(722b2)이 접촉하게 되어, 정역(正逆) 방향으로 백래시가 발생하지 않아, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 X방향으로 이동시킬 때에 위치결정 정밀도가 좋아진다.
승강 이동 기구(73)는, 도 5 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6) 각각에 대응해서 마련되어 있다. 제1 보유지지 기구(3)의 승강 이동 기구(73)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)(구체적으로는 메인 이동 기구(72))과 제1 보유지지 기구(3) 사이에 개재해서 마련되어 있고, Z방향을 따라 마련된 Z방향 가이드 레일(73a)과, 그 Z방향 가이드 레일(73a)을 따라 제1 보유지지 기구(3)를 이동시키는 액추에이터부(73b)를 가지고 있다. 한편, 액추에이터부(73b)는, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되며, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다. 한편, 제2 보유지지 기구(6)의 승강 이동 기구(73)의 구성은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)의 승강 이동 기구(73)와 마찬가지이다.
수평 이동 기구(74)는, 도 5, 도 6 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6) 각각에 대응해서 마련되어 있다. 제1 보유지지 기구(3)의 수평 이동 기구(74)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)(구체적으로는 승강 이동 기구(73))과 제1 보유지지 기구(3) 사이에 개재해서 마련되어 있고, Y방향을 따라 마련된 Y방향 가이드 레일(74a)과, 제1 보유지지 기구(3)에 대해서 Y방향 가이드 레일(74a)의 한쪽측에 힘을 부여하는 탄성체(74b)와, 제1 보유지지 기구(3)를 Y방향 가이드 레일(74a)의 다른쪽 측으로 이동시키는 캠 기구(74c)를 가진다. 여기서, 캠 기구(74c)는, 편심 캠을 사용한 것이고, 그 편심 캠을 모터 등의 액추에이터로 회전시키는 것에 의해, 제1 보유지지 기구(3)의 Y방향으로의 이동량을 조정할 수가 있다.
한편, 제2 보유지지 기구(6)의 수평 이동 기구(74)의 구성은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)의 승강 이동 기구(73)와 마찬가지이다. 또, 제2 보유지지 기구(6)에는 수평 이동 기구(74)를 마련하지 않는 구성으로 해도 되며, 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)의 양쪽(둘 다)에 수평 이동 기구(74)를 마련하지 않는 구성으로 해도 된다. 또한, 수평 이동 기구(74)는, 승강 이동 기구(73)와 마찬가지로, 캠 기구(74c)를 사용하는 일 없이, 예를 들어 볼나사 기구를 사용한 것이더라도 되며, 에어 실린더를 사용한 것이더라도 되며, 리니어 모터를 사용한 것이더라도 된다.
＜절단용 이동 기구(가공용 이동 기구)＞
절단용 이동 기구(8)는, 2개의 스핀들부(42A, 42B) 각각을, X방향, Y방향 및 Z방향 각각으로 독립해서(독립적으로) 직선 이동시키는 것이다.
구체적으로 절단용 이동 기구(8)는, 도 2, 도 3, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 스핀들부(42A, 42B)를 X방향으로 직선 이동시키는 X방향 이동부(81)와, 스핀들부(42A, 42B)를 Y방향으로 직선 이동시키는 Y방향 이동부(82)와, 스핀들부(42A, 42B)를 Z방향으로 직선 이동시키는 Z방향 이동부(83)를 구비하고 있다.
X방향 이동부(81)는, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)에서 공통된 것이고, 특히 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)을 사이에 두고 X방향을 따라 마련된 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)과, 그 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)을 따라 이동함과 함께, Y방향 이동부(82) 및 Z방향 이동부(83)를 거쳐 스핀들부(42A, 42B)를 지지하는 지지체(812)를 가지고 있다. 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)은, X방향을 따라 마련된 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)의 측방에 마련되어 있다. 또, 지지체(812)는, 예를 들어 문형의 것이고, Y방향으로 연장되는 형상을 가지고 있다. 구체적으로 지지체(812)는, 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811)로부터 위쪽으로 연장되는 한 쌍의 다리부와, 그 한 쌍의 다리부에 걸쳐 놓여지는 보부(빔부)를 가지고, 그 보부가 Y방향으로 연장되어 있다.
그리고, 지지체(812)는, 예를 들어, X방향으로 연장되는 볼나사 기구(813)에 의해, 한 쌍의 X방향 가이드 레일(811) 상을 X방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 이 볼나사 기구(813)는 서보모터 등의 구동원(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 그밖에, 지지체(812)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
Y방향 이동부(82)는, 특히 도 3에 나타내는 바와 같이, 지지체(812)에 있어서 Y방향을 따라 마련된 Y방향 가이드 레일(821)과, 그 Y방향 가이드 레일(821)을 따라 이동하는 Y방향 슬라이더(822)를 가지고 있다. Y방향 슬라이더(822)는, 예를 들어 리니어 모터(823)에 의해 구동되는 것이고, Y방향 가이드 레일(821) 상을 직선적으로 왕복 이동한다. 본 실시형태에서는, 2개의 스핀들부(42A, 42B)에 대응해서 2개의 Y방향 슬라이더(822)가 마련되어 있다. 이것에 의해, 2개의 스핀들부(42A, 42B)는 서로 독립해서 Y방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그밖에, Y방향 슬라이더(822)는, 볼나사 기구를 사용한 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
Z방향 이동부(83)는, 도 2 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 각 Y방향 슬라이더(822)에 있어서 Z방향을 따라 마련된 Z방향 가이드 레일(831)과, 그 Z방향 가이드 레일(831)을 따라 이동함과 함께 스핀들부(42A, 42B)를 지지하는 Z방향 슬라이더(832)를 가지고 있다. 다시 말해, Z방향 이동부(83)는, 각 스핀들부(42A, 42B)에 대응해서 마련되어 있다. Z방향 슬라이더(832)는, 예를 들어, 편심 캠 기구(도시하지 않음)에 의해 구동되는 것이고, Z방향 가이드 레일(831) 상을 직선적으로 왕복 이동한다. 그밖에, Z방향 슬라이더(832)는, 볼나사 기구 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
이 절단용 이동 기구(8)와 트랜스퍼축(71)의 위치 관계는, 도 1 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 트랜스퍼축(71)이, 절단용 이동 기구(8)의 위쪽에 있어서 절단용 이동 기구(8)를 가로지르도록 배치되어 있다. 구체적으로 트랜스퍼축(71)은, 지지체(812)의 위쪽에 있어서 그 지지체(812)를 가로지르도록 배치되고, 트랜스퍼축(71) 및 지지체(812)는 서로 교차하는 위치 관계로 된다.
＜가공칩 수용부＞
또, 본 실시형태의 절단 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 봉지 마친 기판(W)의 절단에 의해 생긴 단재(端材) 등의 가공칩(S)을 수용하는 가공칩 수용부(17)를 더 구비하고 있다.
이 가공칩 수용부(17)는, 도 2 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 절단용 테이블(2A, 2B)의 아래쪽에 마련되어 있고, 평면시에 있어서 절단용 테이블(2A, 2B)을 둘러싸는 상부 개구(171X)를 가지는 안내 슈터(171)와, 그 안내 슈터(171)에 의해 가이드된 가공칩(S)을 회수하는 회수 용기(172)를 가지고 있다. 가공칩 수용부(17)를 절단용 테이블(2A, 2B)의 아래쪽에 마련하는 것에 의해서, 가공칩(S)의 회수율을 향상시킬 수가 있다.
안내 슈터(171)는, 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 비산 또는 낙하한 가공칩(S)을 회수 용기(172)로 이끄는 것이다. 본 실시형태는, 안내 슈터(171)의 상부 개구(171X)가 절단용 테이블(2A, 2B)을 둘러싸도록 구성되어 있으므로(도 3 참조), 가공칩(S)을 놓치기 어렵게 되어, 가공칩(S)의 회수율을 한층 향상시킬 수가 있다. 또, 안내 슈터(171)는, 절단용 테이블(2A, 2B) 아래에 마련된 회전 기구(9A, 9B)를 둘러싸도록 마련되어 있고(도 4 참조), 가공칩(S) 및 절삭수로부터 회전 기구(9A, 9B)를 보호하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 가공칩 수용부(17)는 2개의 절단용 테이블(2A, 2B)에 공통인 것으로 되어 있지만, 절단용 테이블(2A, 2B) 각각에 대응해서 마련되어도 된다.
회수 용기(172)는, 안내 슈터(171)를 자중(自重)에 의해 통과한 가공칩(S)을 회수하는 것이고, 본 실시형태에서는, 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 2개의 절단용 테이블(2A, 2B) 각각에 대응해서 마련되어 있다. 그리고, 2개의 회수 용기(172)는, 트랜스퍼축의 앞쪽측에 배치되어 있고, 각각 독립해서 절단 장치(100)의 앞쪽측으로부터 탈거(분리)할 수 있도록 구성되어 있다. 이 구성에 의해, 가공칩(S) 폐기 등의 메인터넌스성을 향상시킬 수가 있다. 한편, 회수 용기(172)는, 봉지 마친 기판(W)의 사이즈나, 가공칩(S)의 사이즈 및 양, 작업성 등을 고려해서, 모든 절단용 테이블 아래 전체에 1개 마련해도 되고, 3개 이상으로 분할해서 마련해도 된다.
또, 가공칩 수용부(17)는, 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 절삭수와 가공칩을 분리하는 분리부(173)를 가지고 있다. 이 분리부(173)의 구성으로서는, 예를 들어, 회수 용기(172)의 밑면에 절삭수를 통과시키는 다공판 등의 필터를 마련하는 것이 생각된다. 이 분리부(173)에 의해, 회수 용기(172)에 절삭수를 모아 두는 일 없이, 가공칩(S)을 회수할 수가 있다.
＜제1 클리닝 기구＞
또, 본 발명의 절단 장치(100)는, 도 1 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 상면측(리드면)을 클리닝하는 제1 클리닝 기구(18)를 더 구비하고 있다. 이 제1 클리닝 기구(18)는, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 상면에 세정액 및/또는 압축 공기를 분사하는 분사 노즐(18a)(도 5 참조)에 의해서, 제품(P)의 상면측을 클리닝하는 것이다.
이 제1 클리닝 기구(18)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 보유지지 기구(3)와 함께 트랜스퍼축(71)을 따라 이동 가능하게 구성되어 있다. 여기에서는, 제1 클리닝 기구(18)는, 트랜스퍼축(71)에 마련되는 가이드 레일(721)을 슬라이드하는 슬라이드 부재(723)에 마련되어 있다. 여기서, 제1 클리닝 기구(18) 및 슬라이드 부재(723) 사이에는, 제1 클리닝 기구(18)를 Z방향으로 승강 이동시키기 위한 승강 이동 기구(181)가 마련되어 있다. 이 승강 이동 기구(181)는, 예를 들어 랙 앤드 피니언 기구를 사용한 것, 볼나사 기구를 사용한 것, 또는 에어 실린더를 사용한 것 등이 생각된다.
＜제2 클리닝 기구＞
또한, 본 발명의 절단 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 하면측(패키지면)을 클리닝하는 제2 클리닝 기구(19)를 더 구비하고 있다. 이 제2 클리닝 기구(19)는, 절단용 테이블(2B)과 검사부(13) 사이에 마련되어 있고, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)의 하면에 세정액 및/또는 압축 공기를 분사하는 것에 의해서, 제품(P)의 하면측을 클리닝한다. 다시 말해, 제2 보유지지 기구(6)가 트랜스퍼축(71)을 따라 이동되는 도중에 있어서, 제2 클리닝 기구(19)는 제품(P)의 하면측을 클리닝한다.
＜절단 장치의 동작의 일례＞
다음에, 절단 장치(100)의 동작의 일례를 설명한다. 도 9에는, 절단 장치(100)의 동작에 있어서의 제1 보유지지 기구(3)의 이동 경로 및, 제2 보유지지 기구(6)의 이동 경로를 나타내고 있다. 한편, 본 실시형태에 있어서는, 절단 장치(100)의 동작, 예를 들어 봉지 마친 기판(W)의 반송, 봉지 마친 기판(W)의 절단, 제품(P)의 검사, 후술하는 각종 트레이의 이동, 제품(P)의 구분 등, 모든 동작이나 제어는 제어부(CTL)(도 1 참조)에 의해 행해진다.
기판 공급 기구(11)의 기판 공급부(112)는, 제1 보유지지 기구(3)에 의해 보유지지되는 보유지지 위치(RP)를 향하여, 기판 수용부(111)에 수용된 봉지 마친 기판(W)을 이동시킨다.
다음에, 반송용 이동 기구(7)는 제1 보유지지 기구(3)를 보유지지 위치(RP)로 이동시키고, 제1 보유지지 기구(3)는 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지한다. 그 후, 반송용 이동 기구(7)는, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지한 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 테이블(2A, 2B)로 이동시키고, 제1 보유지지 기구(3)는 흡착 보유지지를 해제해서, 봉지 마친 기판(W)을 절단용 테이블(2A, 2B)에 재치한다. 이 때, 메인 이동 기구(72)에 의해 봉지 마친 기판(W)의 X방향의 위치를 조정하고, 수평 이동 기구(74)에 의해 봉지 마친 기판(W)의 Y방향의 위치를 조정한다. 그리고, 절단용 테이블(2A, 2B)은, 봉지 마친 기판(W)을 흡착 보유지지한다.
여기서, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지한 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 테이블(2B)로 이동시키는 경우에는, 승강 이동 기구(73)가 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 이동 기구(8)(지지체(812))와 물리적으로 간섭하지 않는 위치까지 상승시킨다. 한편, 봉지 마친 기판(W)을 보유지지한 제1 보유지지 기구(3)를 절단용 테이블(2B)로 이동시킬 때에, 지지체(812)를 절단용 테이블(2B)로부터 이동적재 테이블(5) 측으로 퇴피시키는 경우에는, 상기와 같이 제1 보유지지 기구(3)를 승강시킬 필요는 없다.
이 상태에서, 절단용 이동 기구(8)가 2개의 스핀들부(42A, 42B)를 X방향 및 Y방향으로 순차적으로 이동시킴과 함께, 절단용 테이블(2A, 2B)이 회전하는 것에 의해서, 봉지 마친 기판(W)을 격자형(格子狀)으로 절단해서 개편화한다.
절단 후에, 반송용 이동 기구(7)는 제1 클리닝 기구(18)를 이동시켜서, 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유지지되어 있는 복수의 제품(P)의 상면측(리드면)을 클리닝한다. 이 클리닝 후, 반송용 이동 기구(7)는, 제1 보유지지 기구(3) 및 제1 클리닝 기구(18)를 소정의 위치로 퇴피시킨다.
다음에, 반송용 이동 기구(7)는 제2 보유지지 기구(6)를 절단 후의 절단용 테이블(2A, 2B)로 이동시키고, 제2 보유지지 기구(6)는 복수의 제품(P)을 흡착 보유지지한다. 그 후, 반송용 이동 기구(7)는, 복수의 제품(P)을 보유지지한 제2 보유지지 기구(6)를 제2 클리닝 기구(19)로 이동시킨다. 이것에 의해, 제2 클리닝 기구(19)가, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지되어 있는 복수의 제품(P)의 하면측(패키지면)을 클리닝한다.
클리닝 후, 제2 보유지지 기구(6)에 보유지지된 복수의 제품(P)은, 검사부(13) 및 반전 기구(14)에 의해, 양면 검사가 행해진다. 그 후, 반송용 이동 기구(7)는, 제2 보유지지 기구(6)를 이동적재 테이블(5)로 이동시키고, 제2 보유지지 기구(6)는 흡착 보유지지를 해제해서, 복수의 제품(P)을 이동적재 테이블(5)에 재치한다. 이동적재 테이블(5)에 재치된 복수의 제품(P)은, 검사부(13)에 의한 검사 결과(양품, 불량품 등)에 따라, 구분 기구(20)에 의해서 각종 트레이(21)로 구분되어진다.
한편, 양면 검사에 대하여는, 예를 들어, 우선, 제2 보유지지 기구(6)에 의해 흡착 보유지지한 상태에서 제품(P)의 한쪽 면을 검사한다. 다음에, 제2 보유지지 기구(6)로부터 반전 기구(14)의 보유지지 테이블(141)로 제품(P)을 이동적재해서, 반전 후의 보유지지 테이블(141)에 의해 흡착 보유지지한 상태에서 제품(P)의 다른쪽 면을 검사하는 것에 의해, 양면 검사를 실행할 수가 있다. 그리고, 이 후의 보유지지 테이블(141)로부터 이동적재 테이블(5)로의 제품(P)의 반송은, 보유지지 테이블(141)로부터 제2 보유지지 기구(6)로 이동적재하는 것에 의해 행할 수가 있다. 또, 보유지지 테이블(141)을 X방향으로 이동 가능한 구성으로 하고, 보유지지 테이블(141) 또는 이동적재 테이블(5)의 적어도 한쪽을 Z방향으로 이동 가능한 구성으로 해서, 보유지지 테이블(141)을 이동적재 테이블(5)의 위쪽으로 이동시키는 것에 의해, 제품(P)을 이동적재 테이블(5)로 반송해서 이동적재할 수도 있다.
＜트레이 이동 기구＞
다음에, 본 실시형태의 트레이 이동 기구(24)의 상세한 구성에 대하여 설명한다.
본 실시형태의 트레이 이동 기구(24)는, 도 10 내지 도 12에 나타내는 바와 같이, 3종류의 트레이(21) 각각을 이동시키는 것이다. 여기서, 3종류의 트레이(21)는, 예를 들어, 양품의 제품(P)을 수용하는 제1, 제2의 트레이(21a, 21b)와, 리워크(재검사)가 필요한 불량품의 제품(P)을 수용하는 제3의 트레이(21c)이다.
구체적으로 트레이 이동 기구(24)는, 도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 3종류의 트레이(21a∼21c) 각각이 재치되는 트레이 재치부(241a∼241c)와, 그것들 트레이 재치부(241a∼241c)를 직선 상으로 이동시키는 이동 레일(242A, 242B)을 구비하고 있다. 그리고, 트레이 이동 기구(24)는, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)가 Y방향을 따라 일렬로 배치됨과 함께, 그 일렬의 방향(Y방향)을 따라 서로 독립해서 구분 기구(20)에 의한 구분 위치(X1)로 이동 가능하게 구성되어 있다.
한편, 이하에 있어서, 제1의 트레이(21a)가 재치되는 트레이 재치부(241a)를 제1의 트레이 재치부(241a)로 하고, 제2의 트레이(21b)가 재치되는 트레이 재치부(241b)를 제2의 트레이 재치부(241b)로 하고, 제3의 트레이(21c)가 재치되는 트레이 재치부(241c)를 제3의 트레이 재치부(241c)라고 한다.
구체적으로 본 실시형태의 이동 레일(242A, 242B)은, 서로 평행하게 마련된 제1의 이동 레일(242A) 및 제2의 이동 레일(242B)을 가지고 있다. 제1의 이동 레일(242A) 및 제2의 이동 레일(242B)은 어느것이나(모두) Y방향을 따라 연장되어 있다. 그리고 제1의 이동 레일(242A)에는, 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b)가 서로 간섭하지 않도록 이동 가능하게 마련되어 있고, 제2의 이동 레일(242B)에는, 제3의 트레이 재치부(241c)가, 제1의 이동 레일(242A)에 마련된 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b)와 간섭하지 않도록 이동 가능하게 마련되어 있다.
본 실시형태에서는, 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b)는, 제1의 이동 레일(242A)에 있어서 서로 대향하는 좌우 측면(X방향에 있어서의 측면)에 이동 가능하게 마련되어 있다. 구체적으로 제1의 트레이 재치부(241a)는, 제1의 이동 레일(242A)의 좌측면에 이동 가능하게 마련되고, 제2의 트레이 재치부(241b)는, 제1의 이동 레일(242A)의 우측면에 이동 가능하게 마련되어 있다. 또, 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b)는, 제1의 이동 레일(242A) 상에 있어서 일렬로 되도록 배치되어 있다. 그리고, 제1의 이동 레일(242A)에 있어서 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b) 각각은, Y방향으로 연장되는 볼나사 기구(243A)에 의해, 제1의 이동 레일(242A) 상을 Y방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 이 볼나사 기구(243A)는 서보모터 등의 구동원(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 그밖에, 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
제2의 이동 레일(242B)에는, 그의 좌측면에 제3의 트레이 재치부(241c)가 이동 가능하게 마련되어 있다. 또, 제2의 이동 레일(242B)에 마련된 제3의 트레이 재치부(241c)는, 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b)와 일렬로 되도록 제1의 이동 레일(242A)측으로 연장되어 있다. 그리고, 제2의 이동 레일(242B)에 있어서 제3의 트레이 재치부(241c)는, Y방향으로 연장되는 볼나사 기구(243B)에 의해, 제2의 이동 레일(242B) 상을 Y방향을 따라 직선적으로 왕복 이동한다. 이 볼나사 기구(243B)는 서보모터 등의 구동원(도시하지 않음)에 의해 구동된다. 그밖에, 제3의 트레이 재치부(241c)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.
그리고, 트레이 이동 기구(24)는, 도 10 내지 도 12에 나타내는 바와 같이, 제1∼제3의 트레이 재치부(241a∼241c) 각각을, 구분 기구(20)에 의해 구분되어지는 구분 위치(X1)와, 트레이(21a∼21c)를 트레이 수용부(23)에 수용하기 위한 수용 위치(X2)와, 다른 트레이 재치부(241a∼241c)가 구분 위치(X1) 또는 수용 위치(X2)에 있을 때에 퇴피하는 퇴피 위치(X3) 사이에서 이동시킨다. 구분 위치(X1)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서 Y방향에 있어서 뒤쪽측에 설정되어 있고, 수용 위치(X2)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서 Y방향에 있어서 앞쪽측에 설정되어 있다. 또, 퇴피 위치(X3)는, 트랜스퍼축(71)에 대해서 Y방향에 있어서 수용 위치(X2)보다도 앞쪽측에 설정되어 있다.
이와 같이 일렬로 배치된 제1∼제3의 트레이 재치부(241a∼241c)는, 각각이 이동할 때에 서로 간섭하지 않도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 트레이 이동 기구(24)는, 도 11 내지 도 14에 나타내는 바와 같이, 제1∼제3의 트레이 재치부(241a∼241c) 중 제2, 제3의 트레이 재치부(241b, 241c)의 높이 위치를 변경하는 높이 위치 변경부(244)를 가지고 있다. 한편, 높이 위치 변경부(244)가 마련되지 않는 제1의 트레이 재치부(241a)는, 구분 기구(20)에 의한 구분 위치(X1)에 있어서의 높이로 되는 상승 위치(H1)에 고정되어 있다.
높이 위치 변경부(244)는, 제2, 제3의 트레이 재치부(241b, 241c) 각각에 대응해서 마련되어 있고, 예를 들어, 랙 앤드 피니언 기구를 사용한 것, 볼나사 기구를 사용한 것, 또는 에어 실린더를 사용한 것 등이 생각된다. 구체적으로 높이 위치 변경부(244)는, 도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 제2, 제3의 트레이 재치부(241b, 241c)를 구분 기구(20)에 의한 구분 위치(X1)에 있어서의 높이로 되는 상승 위치(H1)와, 상승 위치(H1)에 있는 다른 트레이 재치부(241a∼241c)와 간섭하지 않는 높이로 되는 하강 위치(H2) 사이에서 승강 이동시킨다.
예를 들어, 도 15 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 제1의 트레이 재치부(241a) 및 제2의 트레이 재치부(241b)가 서로 엇갈리는 경우에는, 제2의 트레이 재치부(241b)가 높이 위치 변경부(244)에 의해 하강 위치(H2)로 된다. 이것에 의해, 제2의 트레이 재치부(241b)가 제1의 트레이 재치부(241a)의 하측을 통과하게 되어, 제1의 트레이 재치부(241a) 및 제2의 트레이 재치부(241b)가 서로 간섭하는 일 없이 이동한다.
또, 도 17 및 도 18에 나타내는 바와 같이, 제2의 트레이 재치부(241b) 및 제3의 트레이 재치부(241c)가 서로 엇갈리는 경우에는, 제2의 트레이 재치부(241b)가 높이 위치 변경부(244)에 의해 하강 위치(H2)로 되고, 제3의 트레이 재치부(241c)가 높이 위치 변경부(244)에 의해 상승 위치(H1)로 된다. 이것에 의해, 제2의 트레이 재치부(241b)가 제3의 트레이 재치부(241c)의 하측을 통과하게 되어, 제2의 트레이 재치부(241b) 및 제3의 트레이 재치부(241c)가 서로 간섭하는 일 없이 이동한다.
또한, 도 19 및 도 20에 나타내는 바와 같이, 제1의 트레이 재치부(241a) 및 제3의 트레이 재치부(241c)가 서로 엇갈리는 경우에는, 제3의 트레이 재치부(241c)가 높이 위치 변경부(244)에 의해 하강 위치(H2)로 된다. 이것에 의해, 제3의 트레이 재치부(241c)가 제1의 트레이 재치부(241a)의 하측을 통과하게 되어, 제1의 트레이 재치부(241a) 및 제3의 트레이 재치부(241c)가 서로 간섭하는 일 없이 이동한다.
본 실시형태에서는, 제1∼제3의 트레이 재치부(241a∼241c)가 각 위치 X1∼X3으로 이동하는 경우, 상기 3개의 엇갈림 방식으로 서로 엇갈리는 것에 의해, 서로 간섭하지 않게 된다. 한편, 제2, 제3의 트레이 재치부(241b, 241c)가 수용 위치(X2)에 있는 경우에는, 트레이의 반송을 제1의 트레이 재치부(241a)와 맞추기 위해서, 제2, 제3의 트레이 재치부(241b, 241c)는 상승 위치(H1)로 된다. 또, 본 실시형태에서는, 제1의 트레이 재치부(241a)가 상승 위치(H1)에 고정되고, 제2, 제3의 트레이 재치부(241b, 241c)가 상승 위치(H1) 및 하강 위치(H2) 사이에서 승강 가능하게 되어 있고, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)가 Z방향으로 겹치지 않아, Z방향에 있어서의 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)의 통과 공간을 작게 할 수가 있다.
＜트레이로의 구분(仕分) 동작＞
다음에 트레이(21a∼21c)로의 구분 동작에 대하여 설명한다.
상술한 ＜절단 장치의 동작의 일례＞에 나타내는 바와 같이, 검사부(13)에 의한 검사 후에, 복수의 제품(P)이 이동적재 테이블(5)에 재치된다.
복수의 제품(P)이 재치된 이동적재 테이블(5)은, 테이블 이동 기구(25)에 의해 Y방향으로 이동되어서, 구분 기구(20)에 의한 소정의 구분 위치로 이동된다.
또, 트레이 이동 기구(24)는, 원하는 트레이 재치부(241a∼241c)를 수용 위치(X2)로 이동시키고, 트레이 반송 기구(22)는, 원하는 트레이(21a∼21c)를 수용 위치(X2)에 있는 트레이 재치부(241a∼241c)로 반송해서 재치한다.
그리고, 트레이 이동 기구(24)는, 각종 트레이(21a∼21c)가 재치된 트레이 재치부(241a∼241c)의 어느것인가 하나를 구분 위치(X1)로 이동시킨다. 한편, 구분 위치(X1)로 이동되지 않는 다른 트레이 재치부(241a∼241c)는, 수용 위치(X2) 또는 퇴피 위치(X3)로 이동된다.
이동적재 테이블(5)이 소정의 구분 위치(X1)로 이동되어, 1개의 트레이 재치부(241a∼241c)가 구분 위치(X1)로 이동된 상태에서, 구분 기구(20)는, 이동적재 테이블(5)에 재치된 복수의 제품(P)을, 검사부(13)에 의한 검사 결과(양품, 불량품 등)에 따라, 구분 위치(X1)에 있는 트레이 재치부(241a∼241c) 상의 트레이(21a∼21c)로 구분한다.
예를 들어, 제1, 제2의 트레이(21a, 21b)가 재치된 제1, 제2의 트레이 재치부(241a, 241b)가 구분 위치(X1)에 있는 경우에는, 구분 기구(20)는, 검사 결과에 의해 양품으로 판정된 제품(P)을 제1, 제2의 트레이(21a, 21b)로 구분한다. 또, 제3의 트레이(21c)가 재치된 제3의 트레이 재치부(241c)가 구분 위치(X1)에 있는 경우에는, 구분 기구(20)는, 검사 결과에 의해 불량품으로 판정된 제품(P)을 제3의 트레이(21c)로 구분한다.
각종 트레이(21a∼21c)가 제품(P)을 수납 가능한 최대의 수량(풀수납 상태나 가득 찬 상태)로 되거나, 또는, 제품(P)의 구분이 종료한 경우에는, 트레이 이동 기구(24)는, 구분 위치(X1)에 있는 트레이 재치부(241a∼241c)를 수용 위치(X2)로 이동시킨다. 그리고, 트레이 반송 기구(22)는, 수용 위치(X2)에 있는 트레이 재치부(241a∼241c)로부터 트레이 수용부(23)로 트레이(21a∼21c)를 반송한다. 또, 트레이 반송 기구(22)는, 트레이 수용부(23)에 있는 새 트레이(21a∼21c)를 수용 위치(X2)에 있는 트레이 재치부(241a∼241c)로 반송한다. 한편, 계속해서 구분을 행하는 경우에는, 트레이 이동 기구(24)는, 새 트레이(21a∼21c)가 재치된 트레이 재치부(241a∼241c)를 구분 위치(X1)로 이동시킨다.
＜본 실시형태의 효과＞
본 실시형태의 절단 장치(100)에 의하면, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)가 일렬로 배치됨과 함께, 그 일렬의 방향을 따라 서로 독립해서 구분 기구(20)에 의한 구분 위치(X1)로 이동 가능하게 구성되어 있으므로, 절단 장치(100)의 점유공간(footprint)을 저감할 수가 있다. 또, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)가 일렬로 배열되어 있으므로, 구분되기 전의 제품(P)이 재치되어 있는 이동적재 테이블(5)과 각 트레이(21a∼21c) 사이의 거리가 동일하게 되고, 각 트레이(21a∼21c)로 구분할 때의 반송 시간을 동일하게 할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수가 있다.
또한, 트레이 이동 기구(24)는, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)의 적어도 하나의 높이 위치를 변경하는 높이 위치 변경부(244)를 가지므로, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)가 서로 독립해서 이동할 때에 서로 간섭하지 않도록 할 수가 있다. 여기서, 높이 위치 변경부(244)는, 트레이 재치부(241a∼241c)를 구분 위치(X1)에 있어서의 높이로 되는 상승 위치(H1)와, 다른 트레이 재치부(241a∼241c)와 간섭하지 않는 높이 위치(H2) 사이에서 승강 이동시키므로, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)가 서로 독립해서 이동할 때에 서로 간섭하지 않도록 하면서, 구분 기구(20)에 의해 각 트레이(21a∼21c)에 제품(P)을 정확하게 재치할 수 있게 된다.
그밖에, 본 실시형태에서는, 절단용 테이블(2A, 2B) 및 이동적재 테이블(5)의 배열 방향을 따라 연장되는 공통의 트랜스퍼축(71)에 의해 제1 보유지지 기구(3) 및 제2 보유지지 기구(6)를 이동시키는 구성으로 하고, 절단용 이동 기구(8)에 의해 절단 기구(4)를 수평면에 있어서 트랜스퍼축(71)을 따른 X방향 및 X방향과 직교하는 Y방향 각각으로 이동시키므로, 절단용 테이블(2A, 2B)을 X방향 및 Y방향으로 이동시키는 일 없이, 봉지 마친 기판(W)을 가공할 수가 있다. 이 때문에, 절단용 테이블(2A, 2B)을 볼나사 기구에 의해 이동시키는 일 없이, 볼나사 기구를 보호하기 위한 벨로스(蛇腹) 부재 및 그 벨로스 부재를 보호하기 위한 커버 부재를 필요없게 할 수가 있다. 그 결과, 절단 장치(100)의 장치 구성을 간소화할 수가 있다. 또, 절단용 테이블(2A, 2B)을 X방향 및 Y방향으로 이동하지 않는 구성으로 할 수 있어, 절단 장치(100)의 점유공간을 저감할 수가 있다.
＜그밖의 변형 실시형태＞
한편, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다.
상기 실시형태에서는, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)를 가지는 구성이었지만, 4개 이상의 트레이 재치부를 가지는 구성으로 해도 된다. 예를 들어, 제2의 이동 레일(242B)에 2개의 트레이 재치부(241c, 241d)를 마련하는 구성으로 함으로써, 4개의 트레이 재치부(241a∼241d)를 가지는 구성으로 할 수 있다. 그밖에, 이동 레일을 증설함으로써, 트레이 재치부의 수를 늘릴 수가 있다.
상기 실시형태의 높이 위치 변경부(244)는, 2개의 높이 위치에서 승강 이동하는 것이었지만, 3개 이상의 높이 위치에서 승강 이동하는 구성으로 해도 된다.
상기 실시형태에서는, 제1의 트레이 재치부(241a)의 높이 위치가 고정이고, 제2, 제3의 트레이 재치부(241b, 241c)의 높이 위치가 변경 가능하게 구성되어 있지만, 제2의 트레이 재치부(241b) 또는 제3의 트레이 재치부(241c)의 높이 위치가 고정이고, 나머지 2개의 트레이 재치부의 높이 위치가 변경 가능하게 구성된 것이더라도 된다.
상기 실시형태에서는, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c) 중 2개의 트레이 재치부(241b, 241c)가 높이 변경 기구(243)에 의해 높이 변경할 수 있는 구성이었지만, 1개의 트레이 재치부가 높이 변경 기구(243)에 의해 높이 변경할 수 있는 구성으로 해도 된다. 또, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c) 각각이 높이 변경 기구에 의해 높이 변경할 수 있는 구성으로 해도 된다.
상기 실시형태에서는, 구분 기구(20)에 의한 구분 위치(X1)에 있어서의 높이를 상승 위치(H1)로 하고, 그 상승 위치(H1)에 대해서 하측에 하강 위치(H2)를 설정함으로써, 트레이 재치부끼리가 서로 간섭하지 않도록 구성하고 있었지만, 구분 기구(20)에 의한 구분 위치(X1)에 있어서의 높이를 하강 위치로 하고, 그 하강 위치에 대해서 상측에 상승 위치를 설정함으로써, 트레이 재치부끼리가 서로 간섭하지 않도록 구성해도 된다.
상기 실시형태에서는, 트레이 재치부(241a∼241c)의 높이 위치를 변경할 수 있는 구성으로 하고 있지만, 높이 위치 변경부(244)를 가지지 않고, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)를 서로 간섭하지 않는 높이 위치에 고정시키는 구성으로 해도 된다.
상기 실시형태에서는, 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)를 2개의 이동 레일(242A, 242B)을 사용하여 이동시키고 있었지만, 1개의 이동 레일에 3개의 트레이 재치부(241a∼241c)를 이동 가능하게 마련해도 된다.
상기 실시형태에서는, 트윈컷 테이블 방식으로서, 트윈스핀들 구성의 절단 장치를 설명했지만, 이것에 한하지 않고, 싱글컷 테이블 방식으로서, 싱글스핀들 구성의 절단 장치나, 싱글컷 테이블 방식으로서, 트윈스핀들 구성의 절단 장치 등이더라도 된다.
또, 상기 실시형태의 이동적재 테이블(5)은, 각종 트레이(21)로 구분하기 전에 일시적으로 재치되는 인덱스 테이블이었지만, 이동적재 테이블(5)을 반전 기구(14)의 보유지지 테이블(141)로 해도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 이동적재 테이블(5)로부터 트레이(21)로 구분하는 구성이었지만, 프레임형 부재의 내측에 배치된 점착 테이프로 제품(P)을 반송해서 첩부(貼付)하는 구성이더라도 된다.
게다가, 상기 실시형태의 구성에 있어서, 절단용 테이블(2A, 2B)에 있어서 봉지 마친 기판을 절단하는 일 없이, 홈을 형성하는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 예를 들어, 절단용 테이블(2A, 2B)에서 홈 가공이 실시된 봉지 마친 기판(W)은, 제1 보유지지 기구(3) 및 반송용 이동 기구(7)에 의해서, 기판 공급부(112)로 돌려보내는 구성으로 해도 된다. 또, 이 기판 공급부(112)로 돌려보내진 봉지 마친 기판(W)을 기판 수용부(111)에 수용하는 구성으로 해도 된다.
또, 트랜스퍼축(71)을 구성하는 캠랙 요소는 복수를 연결해서 구성할 수 있으므로, 예를 들어, 절단 장치(가공 장치)(100)를, 제2 클리닝 기구(19)와 검사부(13) 사이에서 분리 및 연결 가능(착탈 가능)한 모듈 구성으로 할 수가 있다. 이 경우, 예를 들어, 제2 클리닝 기구(19)측의 모듈과, 검사부(13)측의 모듈 사이에, 검사부(13)에서의 검사와는 다른 종류의 검사를 행하는 모듈을 추가할 수가 있다. 한편, 여기에 예시한 구성 이외에도, 절단 장치(가공 장치)(100)를 어디서 분리 및 연결 가능(착탈 가능)한 모듈 구성으로 해도 되고, 추가하는 모듈을 검사 이외의 다양한 기능의 모듈로 해도 된다.
또, 본 발명의 가공 장치는, 절단 이외의 가공을 행하는 것이더라도 되고, 예를 들어 절삭이나 연삭 등의 그밖의 기계 가공을 행하는 것이더라도 된다.
그밖에, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지(일탈하지) 않는 범위에서 갖가지 변형이 가능한 것은 물론이다.
본 발명에 의하면, 가공 장치의 점유공간을 저감할 수가 있다.
100…절단 장치(가공 장치)
W…봉지 마친 기판(가공 대상물)
P…제품(가공품)
2A, 2B…절단용 테이블(가공용 테이블)
4…절단 기구(가공 기구)
20…구분 기구(sorting mechanism)
21…트레이
22…트레이 반송 기구
23…트레이 수용부
24…트레이 이동 기구
241a∼241c…트레이 재치부
242A…제1의 이동 레일
242B…제2의 이동 레일
X1…구분 위치(sorting position)
X2…수용 위치
243…높이 위치 변경부
H1…높이 위치(상승 위치)
H2…높이 위치(하강 위치)

Claims (7)

  1. 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와,
    가공된 가공 대상물을 복수의 트레이로 구분(仕分)하는 구분 기구와,
    상기 트레이를 이동시키는 트레이 이동 기구를 구비하고,
    상기 트레이 이동 기구는, 상기 트레이가 재치(載置)되는 3개 이상의 트레이 재치부를 가지고, 상기 3개 이상의 트레이 재치부가 일렬로 배치됨과 함께, 그 일렬의 방향을 따라 서로 독립해서 상기 구분 기구에 의한 구분 위치로 이동 가능하게 구성되어 있는, 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 트레이 이동 기구는, 상기 3개 이상의 트레이 재치부의 적어도 하나의 높이 위치를 변경하는 높이 위치 변경부를 가지는, 가공 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 높이 위치 변경부는, 상기 트레이 재치부를 상기 구분 위치에 있어서의 높이로 되는 상승 위치와, 다른 상기 트레이 재치부와 간섭하지 않는 높이로 되는 하강 위치 사이에서 승강 이동시키는 것인, 가공 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 트레이를 수용하는 트레이 수용부를 더 구비하고,
    상기 트레이 이동 기구는, 상기 3개 이상의 트레이 재치부를, 상기 구분 위치와 상기 트레이를 상기 트레이 수용부에 수용하기 위한 수용 위치 사이에서 이동시키는, 가공 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 트레이 수용부 및 상기 수용 위치에 있는 상기 트레이 재치부 사이에서 상기 트레이를 반송하는 트레이 반송 기구를 더 구비하는, 가공 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 트레이 이동 기구는, 서로 평행하게 마련된 제1의 이동 레일 및 제2의 이동 레일을 가지고,
    상기 제1의 이동 레일에 있어서 2개의 상기 트레이 재치부가 서로 간섭하지 않도록 이동 가능하게 마련되어 있고,
    상기 제2의 이동 레일에 있어서 1개의 상기 트레이 재치부가 상기 제1의 이동 레일에 마련된 2개의 상기 트레이 재치부와 간섭하지 않도록 이동 가능하게 마련되어 있는, 가공 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 가공 장치를 사용하여 가공품을 제조하는 가공품의 제조 방법.
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