KR20230122253A

KR20230122253A - 반도체 칠러 밸브 보온키트 및 그 설치방법

Info

Publication number: KR20230122253A
Application number: KR1020220018682A
Authority: KR
Inventors: 오세웅
Original assignee: 주식회사 씨앤에스시스템즈
Priority date: 2022-02-14
Filing date: 2022-02-14
Publication date: 2023-08-22
Also published as: KR102651096B1

Abstract

본 발명은 반도체 칠러 밸브 보온키트 및 그 설치방법에 관한 것으로써, 이를 실현하기 위한 본 발명은 수직부와 상기 수직부에 일측이 연결되는 연결부 및 상기 연결부의 타측에 회전 가능하게 연결되면서 노브의 회전에 의해 내부 통로가 개폐되는 수평부가 포함된 반도체 칠러 밸브의 보온키트에 있어서, 상기 밸브의 수직부와 연결부에 감싸져 설치되는 제1보온재와, 상기 밸브의 수평부에 감싸져 설치되는 제2보온재와, 상기 제1보온재의 외부에 감싸져 설치되는 제1케이스와, 상기 제1케이스와 회전 가능하게 연결되며, 상기 제2보온재의 외부에 감싸져 설치되는 제2케이스가 포함되어 구성된 것이 특징이다.

Description

반도체 칠러 밸브 보온키트 및 그 설치방법{Semiconductor chiller valve thermal insulation kit}

반도체 칠러의 밸브에 설치되는 보온키트에 관한 것으로, 더욱 상세히는 반도체 설비에 사용되는 칠러 장비의 밸브에 감싸져 설치되면서 밸브의 결로 현상을 효과적으로 방지할 수 있는 반도체 칠러 밸브 보온키트 및 그 설치방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 제조하는 과정에서 반도체 공정용 설비는 항상 그 챔버 내부의 온도를 일정하게 유지시켜야 하며, 이러한 온도 유지의 역할을 하는 장비가 반도체 공정용 칠러(chiller)이다.

이러한 칠러는 암모니아, 푸론 등의 용매를 사용하여 냉각수만으로는 달성할 수 없는 저온까지 유체를 냉각하는 장치이며, 특히 저온의 용매가 이동되는 칠러 라인은 대기와의 온도차로 인한 결로현상으로 인하여 결로수가 발생하게 됨에 따라 결로현상을 방지하기 위한 보온재 등이 설치될 수 있다.

한편, 칠러 라인에서 용매가 이동되는 배관은 균일한 외형으로 인하여 보온재의 설치가 용이한 반면에, 배관을 따라 이동되는 용매의 흐름을 단속하기 위하여 배관 상에 설치되는 밸브의 경우, 그 형상 및 회전되는 노브의 특성에 따라 보온캡이나 보온재 테이프가 사용되어 결로를 방지하고 있다.

그러나 종래의 보온캡이나 보온재 테이프는 사용의 불편함은 물론 설치 후에도 결로현상을 효과적으로 방지해주지 못하는 문제점이 있었다.

특히 밸브가 엘보우형 밸브인 경우, 보온캡이나 보온재 테이프의 사용이 더욱 힘들어 결로 현상을 효과적으로 방지하기 어려우며, 특히, 밸브의 수평부에 대한 수직부가 회전이 가능하게 설치되면서 설치공간의 상태에 따라 수직부가 회전될 경우, 보온캡이나 보온재 테이프의 설치상태가 유지될 수 없어 결국 밸브에서 결로 현상이 발생되는 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허 제10-2062042호

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 엘보우형 밸브의 결로 현상을 방지하기 밸브에 보온키트를 설치함에 있어서, 보온키트의 설치 효율성을 높이고, 밸브의 결로 현상을 보다 효과적으로 방지할 수 있도록 한 반도체 칠러 밸브 보온키트 및 그 설치방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 위에서 언급한 기술적 과제로 제한될 필요는 없으며, 언급되지 않은 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 반도체 칠러 밸브 보온키트는 수직부와 상기 수직부에 일측이 연결되는 연결부 및 상기 연결부의 타측에 회전 가능하게 연결되면서 노브의 회전에 의해 내부 통로가 개폐되는 수평부가 포함된 반도체 칠러 밸브의 보온키트에 있어서,

상기 밸브의 수직부와 연결부에 감싸져 설치되는 제1보온재와,

상기 밸브의 수평부에 감싸져 설치되는 제2보온재와,

상기 제1보온재의 외부에 감싸져 설치되는 제1케이스 및

상기 제1케이스와 회전 가능하게 연결되며, 상기 제2보온재의 외부에 감싸져 설치되는 제2케이스가 포함되어 구성된다.

더 바람직하게 서로 마주하게 되는 상기 제1보온재의 단부와 상기 제2보온재의 단부는 어느 하나가 다른 하나의 내부에 끼워진 상태에서 회전이 가능하도록 구성될 수 있다.

더 바람직하게 상기 제1보온재와 상기 제2보온재는 길이방향을 따라 반원형으로 이분되어 서로 마주하는 상태로 결합되되, 이분된 어느 하나의 결합면에는 걸림턱이 돌출 형성되고, 이분된 다른 하나의 내면에는 상기 걸림턱이 끼워져 결합될 수 있도록 걸림홈이 형성될 수 있다.

더 바람직하게 상기 제1케이스와 상기 제2케이스는 길이방향을 따라 반원형으로 이분되어 원통형을 이루면서 서로 결합되되, 이분된 길이방향 한쪽은 힌지부를 이루어 서로 연결되고, 이분된 길이방향 다른 한쪽은 단부에 각각 연장부가 형성되면서, 상기 연장부가 마주하여 접면된 상태에서 고정클립을 통해 서로 고정될 수 있다.

더욱 바람직하게 상기 제1케이스의 연장부는 마주하는 한쪽 내면에 안내돌기가 형성되고, 다른 한쪽 내면에는 상기 안내돌기가 끼워지는 안내홈이 형성될 수 있다.

더 바람직하게 상기 제1케이스는 길이방향을 따라 이분되어 서로 결합되되, 상기 밸브의 수직부에 대응하는 제1몸체와 상기 밸브의 연결부에 대응하는 제2몸체로 구성되며, 서로 마주하게 되는 상기 제1몸체의 길이방향 단부에는 단턱이 형성되고, 상기 제2몸체의 길이방향 단부에는 상기 단턱이 끼움 결합되는 단턱홈이 형성될 수 있다.

더 바람직하게 상기 제1케이스와 상기 제2케이스는 서로 마주하는 단부가 회전 가능하게 결합되되, 상기 제1케이스의 단부에는 제1연결홈이 형성되고 상기 제2케이스의 단부에는 제2연결홈이 형성되면서 상기 제1연결홈의 외측벽은 상기 제2연결홈의 내부에 끼워지고 상기 제2연결홈의 외측벽은 상기 제1연결홈에 끼워지도록 구성될 수 있다.

더욱 바람직하게 상기 제1연결홈의 내부 폭은 상기 제1연결홈의 내부에 끼워지는 제2연결홈의 외측벽 두께보다 크게 형성되고, 상기 제2연결홈의 내부 폭은 상기 제2연결홈의 내부에 끼워지는 제1연결홈의 외측벽 두께보다 크게 형성될 수 있다.

더욱 바람직하게 상기 제2케이스의 한쪽 연장부의 내면에는 설치공이 형성되며, 다른 한쪽 연장부의 내면에는 상기 설치공으로 관통되고 단부에 끼움공이 구비된 돌기가 돌출 형성되며, 마주하여 접면되는 상기 연장부를 고정시켜주기 위한 상기 고정클립의 한쪽 선단에는 상기 끼움공으로 끼워질 수 있도록 끼움돌부가 연장 형성될 수 있다.

그리고 반도체 칠러 밸브 보온키트의 설치방법으로,

배관이 인출되어 있는 칠러 장비측의 표면에 가이드 브래킷을 설치하되, 상기 가이드 브래킷의 중심부에 형성된 관통공으로 상기 배관이 인출되도록 하는 단계와,

상기 가이드 브래킷의 내면을 장비측에 표면에 체결부품을 이용하여 직접 또는 보조 가이드 브래킷과 함께 고정시키는 단계와,

상기 가이드 브래킷의 관통공을 통해 인출되어 있는 배관의 단부에 밸브의 수평부를 연결하고 상기 밸브의 수직부에는 연결배관을 연결시키는 단계와,

상기 밸브의 수평부에 제2보온재를 설치하는 단계와,

상기 밸브의 연결부와 수직부에 제1보온재를 설치하는 단계와,

상기 제2보온재의 외부로 제2케이스를 감싸지도록 설치한 후 고정클립을 이용하여 고정시키는 단계 및

상기 제1보온재의 외부로 제1케이스를 감싸지도록 설치하되, 마주하는 제1케이스의 단부와 제2케이스의 단부를 회전 가능하게 결합시킨 상태에서 고정클립을 이용하여 고정시키는 단계가 포함되어 구성된다.

더 바람직하게 상기 제2케이스로부터 상기 제1케이스를 회전시키면서 상기 연결배관의 위치를 조절하는 단계가 더 포함될 수 있다.

이상과 같은 구성에 따른 본 발명에 따른 반도체 칠러 밸브 보온키트 및 그 설치방법은 다음과 같은 효과를 가진다.

즉, 본 발명은 엘보우 형상을 가지는 밸브의 결로를 방지하기 위하여 밸브의 수평부 및 연결부를 포함하는 수직부에 각각 보온재를 설치하고, 수평부에 설치된 보온재와 연결부를 포함하는 수직부에 설치된 보온재의 외부에 케이스를 각각 설치함으로써, 밸브의 보온을 유지하여 결로현상을 효과적으로 방지할 수 있으며, 수평부로부터 연결부를 포함하는 수직부가 회전되더라도 보온재와 케이스가 함께 회전됨에 따라 수직부에 연결되는 연결배관의 위치를 회전시키면서 이웃하는 다른 연결배관의 간섭을 피해 효과적으로 설치할 수 있는 효과를 가진다.

아울러, 이와 같이 기재된 본 발명의 효과는 발명자의 인지 여부와 무관하게 기재된 내용의 구성에 의해 당연히 발휘되게 되는 것이므로 상술한 효과는 기재된 내용에 따른 몇 가지 효과일 뿐 발명자가 파악한 또는 실재하는 모든 효과를 기재한 것이라 인정되어서는 안 된다.

또한, 본 발명의 효과는 명세서의 전체적인 기재에 의해서 추가로 파악되어야 할 것이며, 설사 명시적인 문장으로 기재되어 있지 않더라도 기재된 내용이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 명세서를 통해 그러한 효과가 있는 것으로 인정할 수 있는 효과라면 본 명세서에 기재된 효과로 보아야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따라 반도체 칠러 밸브 보온키트를 구성하는 제1케이스와 제2케이스를 나타낸 분리 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따라 반도체 칠러 밸브 보온키트를 구성하는 제1케이스와 제2케이스와 제1보온재 및 제2보온재를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따라 반도체 칠러 밸브 보온키트를 구성하는 제1케이스와 제2케이스에 제1보온재와 제2보온재가 설치된 상태를 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따라 반도체 칠러 밸브에 제1보온재와 제2보온재와 제1케이스와 제2케이스가 결합된 상태를 나타낸 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따라 반도체 칠러 밸브에 제1보온재와 제2보온재와 제1케이스와 제2케이스가 결합된 상태를 나타낸 정단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따라 반도체 칠러 밸브 보온키트의 제1케이스가 회전되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 7의 (a),(b)는 도 5의 A부분을 확대하여 작동전후를 나타낸 확대도이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 구성 및 작용을 상세히 설명하기로 한다.

이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 내용을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.

또한, 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어, 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 하며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 판단되어야 한다.

아울러, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

우선, 본 발명에 따른 반도체 칠러 밸브 보온키트의 구성은 크게 밸브의 수직부에 감싸져 설치되는 제1보온재와, 밸브의 수평부에 감싸져 설치되는 제2보온재와 수직부를 감싸고 있는 제1보온재에 감싸져 설치되는 제1케이스와 수평부를 감싸고 있는 제2보온재에 감싸져 설치되는 제2케이스로 구분될 수 있으며, 이와 같이 구분되는 본 발명의 구성에 대해 예시된 도면을 참고하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 밸브용 보온키트의 구성에 앞서 밸브(500)는 칠러 장비로부터 인출된 배관과 연결배관을 연결시켜 칠러 장비에서 연결배관으로 이동되는 저온의 용매를 단속하게 되며, 예를 들어 볼밸브, 체크밸브 등으로 구성될 수 있고, 형상은 엘보우형으로 한쪽에는 수평부(530)가 형성되고, 다른 한쪽은 구부러진 형태의 연결부(520)를 포함하는 수직부(510)로 구성되며, 이러한 수평부(530)에는 내부의 통로를 개폐하기 위한 노브(531)가 형성된다.

한편, 보온키트를 구성하는 제1보온재(100)는,

밸브(500)의 수직부(510) 및 그러한 수직부(510)와 연결된 곡선형태의 연결부(520) 표면에 밀착되어 감싸지는 형태로 설치되면서 밸브(500)의 수직부(510)와 연결부(520)가 보온될 수 있도록 대략 "ㄴ"자 형상의 원통형으로 구성될 수 있다.

제1보온재(100)는 폴리우레탄으로 명명되는 발포합성고무와 같은 재질로 구성될 수 있으며, 제1보온재(100)의 내면에는 필요에 따라 단열효과를 가지는 단열도료가 단층 또는 복수의 층으로 도포되어 구성될 수도 있다.

제1보온재(100)의 내면은 감싸지는 밸브(500)의 수직부(510) 및 연결부(520)의 돌출되고 함몰되는 외부 표면 형상과 대응하는 형상으로 구성될 수 있다.

제1보온재(100)는 수직부(510)를 감싸는 하나의 몸체와 연결부(520)를 감싸는 또 하나의 몸체로 분리되어 구성될 수 있으며, 예시된 도면과 같이 수직부(510)를 감싸는 하나의 몸체와 연결부(520)를 감싸는 또 하나의 몸체가 일체형으로 구성될 수 있다.

바람직하게 제1보온재(100)는 원통형을 이루면서 수직부(510)를 감싸는 하나의 몸체와 연결부(520)를 감싸는 또 하나의 몸체가 일체형으로 구성되되, 길이방향을 따라 반원형으로 이분되어 구성된 후, 밸브(500)의 수직부(510)와 연결부(520)를 사이에 두고 마주하여 결합되도록 구성될 수도 있으며, 이때 이분된 어느 하나는 가장자리에 걸림턱(110)이 형성되고, 이분된 다른 하나는 가장자리에 그러한 걸림턱(110)이 끼워질 수 있도록 걸림홈(120)이 형성될 수 있다.

그리고 제2보온재(200)는,

밸브(500)의 수평부(530)의 표면에 밀착되어 감싸지는 형태로 설치되면서 수평부(530)가 보온될 수 있도록 대략 "ㅗ" 자 형의 원통형으로 구성될 수 있다.

제2보온재(200) 또한 앞서 설명한 제1보온재(100)와 같이 발포합성고무와 같은 재질로 구성될 수 있으며, 제2보온재(200)의 내면 또한 필요에 따라 단열효과를 가지는 단열도료가 단층 또는 복수의 층으로 도포되어 구성될 수도 있다.

제2보온재(200)의 내면은 감싸지는 수평부(530)의 돌출되고 함몰되는 외부 표면 형상과 대응하는 형상으로 구성될 수 있다.

바람직하게 제2보온재(200)는 원통형을 이루면서 구성되되, 길이방향을 따라 반원형으로 이분되어 구성된 후, 밸브(500)의 수평부(530)를 사이에 두고 마주하여 결합되도록 구성될 수도 있으며, 이때 이분된 어느 하나는 가장자리에 걸림턱(210)이 형성되고, 이분된 다른 하나는 가장자리에 그러한 걸림턱(210)이 끼워질 수 있도록 걸림홈(220)이 형성될 수 있다.

한편, 제1보온재(100)와 제2보온재(200)는 마주하는 단부가 서로 연결될 수 있으며, 이때 회전 가능하게 연결되면서 수직부(510)와 연결부(520)가 수평부(530)의 축중심을 기준으로 회전되도록 구성될 수 있다.

여기서, 제1보온재(100)와 제2보온재(200)의 마주하는 단부가 회전 가능하게 연결되기 위한 실시 예로는 제1보온재(100)의 단부 내부로 제2보온재(200)의 단부가 끼워져 결합되거나, 또는 제2보온재(200)의 단부 내부로 제1보온재(100)의 단부가 끼워져 결합될 수도 있으며, 단부간의 밀착된 결합을 위해 어느 하나의 단부는 단턱진 홈부로 구성되고, 다른 하나는 단턱진 돌부로 구성될 수 있다.

그리고 제1케이스(300)는,

밸브(500)를 수직부(510)와 연결부(520)를 감싸면서 설치된 제1보온재(100)의 외부 표면에 감싸져 설치되며, 제1보온재(100)를 고정 및 보호해주면서 제1보온재(100)와 함께 밸브(500)의 수직부(510)와 연결부(520)를 함께 보온해주는 역할을 한다.

제1케이스(300)는 바람직하게 경질의 합성수지로 구성될 수 있으며, 제1보온재(100)와 상응하는 대략 "ㄴ"자 형의 원통형으로 구성될 수 있다.

제1케이스(300)의 내면에는 보온의 효과를 높이기 위하여 단열효과를 가지는 단열도료가 단층 또는 복수의 층으로 도포되어 구성될 수도 있다.

한편, 제1케이스(300)는 제1보온재(100) 외부 표면에 용이하게 감싸져 설치될 수 있도록 제1보온재(100)의 길이방향 한쪽 표면을 감싸는 하나의 반원형 몸체와 제1보온재(100)의 길이방향 나머지 한쪽 표면을 감싸는 또 하나의 반원형 몸체로 이분되어 구성되되, 마주하는 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 한쪽이 힌지부(310)를 이루면서 회전 가능하게 결합됨으로써, 이러한 힌지부(310)를 중심으로 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 다른 한쪽이 회전되어 서로 결합되면 제1케이스(300)를 통해 제1보온재(100)의 외부 표면이 감싸질 수 있다.

여기서, 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 다른 한쪽은 각각의 단부에 연장부(320)가 형성됨으로써, 마주하여 접면되는 연장부(320)에 고정클립(330)을 고정시켜 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 다른 한쪽을 견고하게 결합시킬 수 있다.

아울러, 바람직하게 마주하는 연장부(320) 중 어느 하나의 내면에는 안내돌기(321)를 형성하고 다른 하나의 내면에는 이러한 안내돌기(321)가 끼워질 수 있도록 안내홈(322)을 구성함으로써, 마주하는 연장부(320)가 서로 접면될 때 안내돌기(321)가 안내홈(322)에 끼워지면서 연장부(320)가 정확하게 접면될 수 있고, 연장부(320)가 벌어지지 않고 접면된 상태를 유지하게 되면서 접면된 연장부(320)에 고정클립(330)을 보다 용이하게 결합시킬 수 있다.

한편, 접면되는 연장부(320)의 결합은 앞서 설명한 고정클립(330)을 사용하지 않고, 접면된 연장부(320)를 나사와 같은 체결부품으로 고정시키거나, 연장부(320)의 한쪽 내면에는 끼움구를 형성하고 마주하는 다른 한쪽 내면에는 끼움홈을 형성하여 억지끼움방식으로 탈착가능하게 구성될 수도 있다.

이와 같은 제1케이스(300)는 바람직하게는 길이방향을 따라 이분되어 서로 결합되는 형태로 구성될 수 있다.

즉, 제1케이스(300)는 밸브(500)의 수직부(510)와 대응하는 제1몸체(300a) 및 밸브(500)의 연결부(520)와 대응하는 제2몸체(300b)로 구성되면서 마주하게 되는 제1몸체(300a)의 단부와 제2몸체(300b)의 단부가 서로 결합되도록 구성될 수 있다.

여기서, 바람직하게 마주하게 되는 제1몸체(300a)의 단부에는 단턱(302a)이 형성되고, 제2몸체(300b)의 단부에는 이러한 단턱(302a)이 끼움 결합될 수 있도록 단턱홈(302b)이 형성될 수 있다.

그리고 제2케이스(400)는,

밸브(500)의 수평부(530)를 감싸면서 설치된 제2보온재(200)의 외부 표면에 감싸져 설치되며, 제2보온재(200)를 고정 및 보호해주면서 제2보온재(200)와 함께 밸브(500)의 수평부(530)를 함께 보온해주는 역할을 한다.

제2케이스(400)는 앞서 설명한 제1케이스(300)와 같이 경질의 합성수지로 구성될 수 있으며, 제2보온재(200)와 상응하는 원통형으로 구성되되, 밸브(500)의 수평부(530)에 구비되는 노브(531)에 의해 대략 "ㅗ"자형 으로 구성될 수 있다.

제2케이스(400)의 내면 또한 앞서 설명한 제1케이스(300)와 같이 보온의 효과를 높이기 위하여 단열효과를 가지는 단열도료가 단층 또는 복수의 층으로 도포되어 구성될 수도 있다.

한편, 제2케이스(400)는 제2보온재(200) 외부 표면에 용이하게 감싸져 설치될 수 있도록 제2보온재(200)의 길이방향 한쪽 표면을 감싸는 하나의 반원형 몸체와 제2보온재(200)의 길이방향 나머지 한쪽 표면을 감싸는 또 하나의 반원형 몸체로 이분되어 구성되되, 마주하는 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 한쪽이 힌지부(410)를 이루면서 회전 가능하게 결합됨으로써, 이러한 힌지부(410)를 중심으로 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 다른 한쪽이 회전되어 서로 결합되면 제2케이스(400)를 통해 제2보온재(200)의 외부 표면이 감싸질 수 있다.

여기서, 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 다른 한쪽은 각각의 단부에 노브(531)의 간섭을 피하여 연장부(420)가 형성됨으로써, 마주하여 접면되는 연장부(420)에 고정클립(430)을 고정시켜 하나의 반원형 몸체와 또 하나의 반원형 몸체의 길이방향 다른 한쪽을 견고하게 결합시킬 수 있다.

아울러, 바람직하게 마주하는 연장부(420) 중 어느 하나에는 내면에는 돌기(421)를 형성하고, 다른 하나의 내면에는 그러한 돌기(421)가 관통될 수 있는 설치공(422)을 형성함으로써, 돌기(421)가 설치공(422)에 관통되면서 제2케이스(400)의 마주하는 반원형 몸체가 서로 정확하게 결합되도록 구성될 수 있다.

또한, 돌기(421)의 선단 표면에는 상하로 관통되는 끼움공(421a)을 형성하고, 마주하는 연장부(420)를 서로 고정시켜주는 고정클립(430)의 한쪽에는 끼움돌부(431)가 연장 형성됨으로써, 고정클립(430)이 마주하는 연장부(420)에 끼워지면서 마주하는 연장부(420)를 서로 고정시킬 때 연장된 끼움돌부(431)가 돌기(421)의 설치공(421a)으로 끼워지게 됨에 따라 제2케이스(400)의 서로 결합된 반원형 몸체가 불필요하게 분리되는 현상을 방지할 수 있다.

한편, 마주하게 되는 제1케이스(300)의 단부와 제2케이스(400)의 단부는 단순하게 접면되도록 구성될 수도 있지만 바람직하게 서로 결합되는 형태로 구성될 수 있으며, 더 바람직하게는 회전 가능하게 결합되도록 구성될 수도 있다.

제1케이스(300)의 단부와 제2케이스(400)의 단부가 회전 가능하게 결합되는 실시 예로는 제1케이스(300)의 단부에 대략 "U" 자형의 제1연결홈(303a)이 형성되고, 제2케이스(400)의 단부 또한 대략 "U" 자형의 제2연결홈(402a)이 형성되면서 제1연결홈(303a)의 외측벽(304b)은 제2연결홈(402a)의 내부에 끼워지고, 제2연결홈(402a)의 외측벽(403b)은 제1연결홈(303a)의 내부에 끼워지도록 구성될 수 있다.

여기서, 장비에서 인출되는 배관의 길이는 일정하지 않으므로 이러한 배관에 밸브(500)의 수평부(530)가 연결되고, 수평부(530)에 연결부(520)를 통해 연결된 수직부(510)의 위치에 따라 수직부(510)와 연결되는 연결배관의 위치 또한 달라지게 되므로 장비에서 인출되는 배관의 길이에 따라 수평부(530)로부터 연결부(520)와 수직부(510)의 위치를 어느 정도 조절할 필요가 있다.

따라서, 이를 위해 제1케이스(300)와 단부와 제2케이스(400)의 단부가 서로 결합된 상태에서 간격이 조절되도록 구성될 수 있으며, 그 실시 예로 제1연결홈(303a)과 제2연결홈(402a)의 내부 폭을 제1케이스(300)의 외측벽(304b)과 제2케이스(400)의 외측벽(403b)의 두께 보다 크게 형성하게 되면 제1케이스(300)의 외측벽(304b)과 제2케이스(400)의 외측벽(403b)이 제1연결홈(303a)과 제2연결홈(402a)의 내부에 끼워진 상태에서 제1연결홈(303a)과 제2연결홈(402a)의 내부 폭 안에서 양방향 이동될 수 있으므로 상황에 따라 제2케이스(400)와 제1케이스(300)의 간격을 조절하여 제1케이스(300)쪽에 위치한 연결배관의 위치를 적절하게 조절하면서 연결배관의 정리를 용이하게 할 수 있는 것이다.

이는 장비측 다수의 배관마다 밸브(500)를 통해 연결배관이 연결되고, 다수의 연결배관이 서로 간섭을 일으킬 수 있으며, 이러한 연결배관의 간섭이 우려되는 경우, 제2케이스(400)를 중심으로 제1케이스(300)를 회전시키거나, 제2케이스(400)로부터 제1케이스(300)의 연결 간격을 조절하여 연결배관 사이의 간섭을 피해 연결배관을 효과적으로 정리할 수 있는 것이다.

다음은 이와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반도체 칠러 밸브 보온키트의 설치 방법에 대해 살펴본다.

먼저, 배관이 인출되어 있는 반도체 칠러 장비측 표면에 가이드 브래킷(600)을 설치하게 되며, 이때 가이드 브래킷(600)은 중심부에는 관통공(610)이 형성되어 있어 이러한 관통공(610)으로 배관이 인출되도록 하는 단계가 수행된다.

그리고 가이드 브래킷(600)의 내면을 장비측에 표면에 체결부품으로 직접 고정시키거나, 보조 가이드 브래킷을 포함시켜 함께 고정시키는 단계가 수행된다.

이후, 가이드 브래킷(600)의 관통공(610)을 통해 인출되어 있는 배관의 단부에 밸브(500)의 수평부(530)를 연결하고, 수평부(530)와 연결부(520)를 통해 연결된 수직부(510)에는 연결배관을 연결시키는 단계가 수행된다.

그리고 밸브(500)의 수평부(530)에 제2보온재(200)를 설치하는 단계와, 밸브(500)의 연결부(520)와 수직부(510)에 제1보온재(100)를 설치하는 단계가 수행된다.

이후, 제2보온재(200)의 외부로 제2케이스(400)가 감싸져 설치되고, 제2케이스(400)의 마주하여 접면되는 연장부(420)가 고정클립(430)을 통해 고정되는 단계가 수행된다.

그리고 제1보온재(100)의 외부로 제1케이스(300)가 감싸져 설치되되, 마주하는 제1케이스(300)의 단부와 제2케이스(400)의 단부가 회전 가능하게 결합되면서 마주하여 접면되는 연장부(320)가 고정클립(330)을 통해 고정되는 단계가 수행된다.

이와 같이 밸브(500)가 제1보온재(100)와 제2보온재(200)와 제1케이스(300) 및 제2케이스(400)를 통해 간편하고 신속하게 감싸져 설치되면 적절하게 보온이 유지되면 결로현상이 방지될 수 있다.

한편, 밸브(500)에 보온키트가 설치된 상태에서 연결배관의 위치를 조절할 필요가 있는 경우, 그 상태에서 연결배관과 함께 제1케이스(300)를 회전시키면서 다른 연결배관과의 간섭을 피해 위치를 조절할 수도 있으며, 제1케이스(300)와 제2케이스(400)의 연결부위 간격 또한 조절할 수 있어 연결배관 및 밸브(500)의 설치 효율성이 향상될 수 있다.

이상과 같이 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관한 설명을 하였으나, 기재된 내용의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 기재된 내용의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해질 필요는 없으며, 후술되는 청구범위 뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

100 : 제1보온재 110, 210 : 걸림턱
120, 220 : 걸림홈 200 : 제2보온재
300 : 제1케이스 310, 410 : 힌지부
320, 420 : 연장부 330, 430 : 고정클립
321, 421 : 안내돌기 322, 422 : 안내홈
300a : 제몸체 302a : 단턱
300b : 제2몸체 302b : 단턱홈
303a : 제1연결홈 304b, 403b : 외측벽
400 : 제2케이스 402a : 제2연결홈
421 : 돌기 421a : 끼움공
422 : 설치공 431 : 끼움돌부

Claims

수직부(510)와 상기 수직부(510)에 일측이 연결되는 연결부(520) 및 상기 연결부(520)의 타측에 회전 가능하게 연결되면서 노브(531)의 회전에 의해 내부 통로가 개폐되는 수평부(530)가 포함된 반도체 칠러 밸브(500)의 보온키트에 있어서,
상기 밸브(500)의 수직부(510)와 연결부(520)에 감싸져 설치되는 제1보온재(100);
상기 밸브(500)의 수평부(530)에 감싸져 설치되는 제2보온재(200);
상기 제1보온재(100)의 외부에 감싸져 설치되는 제1케이스(300); 및
상기 제1케이스(300)와 회전 가능하게 연결되며, 상기 제2보온재(200)의 외부에 감싸져 설치되는 제2케이스(400);
가 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 1에 있어서,
서로 마주하게 되는 상기 제1보온재(100)의 단부와 상기 제2보온재(200)의 단부는 어느 하나가 다른 하나의 내부에 끼워진 상태에서 회전이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 1에 있어서,
상기 제1보온재(100)와 상기 제2보온재(200)는 길이방향을 따라 반원형으로 이분되어 서로 마주하는 상태로 결합되되, 이분된 어느 하나의 결합면에는 걸림턱(110)(210)이 돌출 형성되고, 이분된 다른 하나의 내면에는 상기 걸림턱(110)(210)이 끼워져 결합될 수 있도록 걸림홈(120)(220)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 1에 있어서,
상기 제1케이스(300)와 상기 제2케이스(400)는,
길이방향을 따라 반원형으로 이분되어 원통형을 이루면서 서로 결합되되, 이분된 길이방향 한쪽은 힌지부(310)(410)를 이루어 서로 연결되고, 이분된 길이방향 다른 한쪽은 단부에 각각 연장부(320)(420)가 형성되면서, 상기 연장부(320)(420)가 마주하여 접면된 상태에서 고정클립(330)(430)을 통해 서로 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 4에 있어서,
상기 제1케이스(300)의 연장부(320)는 마주하는 한쪽 내면에 안내돌기(321)가 형성되고, 다른 한쪽 내면에는 상기 안내돌기(321)가 끼워지는 안내홈(322)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 1에 있어서,
상기 제1케이스(300)는 길이방향을 따라 이분되어 서로 결합되되, 상기 밸브(500)의 수직부(510)에 대응하는 제1몸체(300a)와 상기 밸브(500)의 연결부(520)에 대응하는 제2몸체(300b)로 구성되며, 서로 마주하게 되는 상기 제1몸체(300a)의 길이방향 단부에는 단턱(302a)이 형성되고, 상기 제2몸체(300b)의 길이방향 단부에는 상기 단턱(302a)이 끼움 결합되는 단턱홈(302b)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 1에 있어서,
상기 제1케이스(300)와 상기 제2케이스(400)는 서로 마주하는 단부가 회전 가능하게 결합되되, 상기 제1케이스(300)의 단부에는 제1연결홈(303a)이 형성되고 상기 제2케이스(400)의 단부에는 제2연결홈(402a)이 형성되면서 상기 제1연결홈(303a)의 외측벽(304b)은 상기 제2연결홈(402a)의 내부에 끼워지고 상기 제2연결홈(402a)의 외측벽(403b)은 상기 제1연결홈(303a)에 끼워지도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 7에 있어서,
상기 제1연결홈(303a)의 내부 폭은 상기 제1연결홈(303a)의 내부에 끼워지는 제2연결홈(402a)의 외측벽(403b) 두께보다 크게 형성되고, 상기 제2연결홈(402a)의 내부 폭은 상기 제2연결홈(402a)의 내부에 끼워지는 제1연결홈(303a)의 외측벽(304b) 두께보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
청구항 4에 있어서,
상기 제2케이스(400)의 한쪽 연장부(420)의 내면에는 설치공(422)이 형성되며, 다른 한쪽 연장부(400)의 내면에는 상기 설치공(422)으로 관통되고 단부에 끼움공(421a)이 구비된 돌기(421)가 돌출 형성되며, 마주하여 접면되는 상기 연장부(420)를 고정시켜주기 위한 상기 고정클립(430)의 한쪽 선단에는 상기 끼움공(421a)으로 끼워질 수 있도록 끼움돌부(431)가 연장 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트.
반도체 칠러 밸브에 보온키트를 설치하는 방법으로,
배관이 인출되어 있는 칠러 장비측의 표면에 가이드 브래킷(600)을 설치하되, 상기 가이드 브래킷(600)의 중심부에 형성된 관통공(610)으로 상기 배관이 인출되도록 하는 단계;
상기 가이드 브래킷(600)의 내면을 장비측에 표면에 체결부품을 이용하여 직접 또는 보조 가이드 브래킷과 함께 고정시키는 단계;
상기 가이드 브래킷(600)의 관통공(610)을 통해 인출되어 있는 배관의 단부에 밸브(500)의 수평부(530)를 연결하고 상기 밸브(500)의 수직부(510)에는 연결배관을 연결시키는 단계;
상기 밸브(500)의 수평부(530)에 제2보온재(200)를 설치하는 단계;
상기 밸브(500)의 연결부(520)와 수직부(510)에 제1보온재(100)를 설치하는 단계;
상기 제2보온재(200)의 외부로 제2케이스(400)를 감싸지도록 설치한 후 고정클립(430)을 이용하여 고정시키는 단계; 및
상기 제1보온재(100)의 외부로 제1케이스(300)를 감싸지도록 설치하되, 마주하는 제1케이스(300)의 단부와 제2케이스(400)의 단부를 회전 가능하게 결합시킨 상태에서 고정클립(330)을 이용하여 고정시키는 단계;
가 포함된 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트의 설치방법.
청구항 10에 있어서,
상기 제2케이스(400)로부터 상기 제1케이스(300)를 회전시키면서 상기 연결배관의 위치를 조절하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 칠러 밸브 보온키트의 설치방법.