KR20230121907A - 테이프 부착 장치 - Google Patents

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KR20230121907A
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키요타카 키자키
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가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔
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Abstract

다이싱 테이프를 적절한 장력으로 워크 및 다이싱 프레임에 부착하는 테이프 부착 장치를 제공한다.
테이프 부착 장치(1)는 다이싱 테이프(DT)를 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)에 부착 방향(D1)을 따라서 부착한다. 테이프 부착 장치(1)는 다이싱 테이프(DT)를 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)에 꽉 누르는 프레스 롤러(34)와, 다이싱 테이프(DT)를 폭 방향(D2)을 향하여 다이싱 테이프(DT)를 신장시키는 서포트 핀(4)을 구비하고 있다.

Description

테이프 부착 장치
본 발명은, 테이프 부착 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 분야에서는, 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 기판(이하, 「워크」라고 한다)을 칩으로 할단(割斷)하는 공정이 있고, 그 공정에서는, 워크에 부착된 다이싱 테이프가 개개의 칩의 위치를 구속함으로써, 칩의 할단을 효율 좋게 행할 수 있다.
특허문헌 1에는, 테이블(211)에 흡착 고정된 웨이퍼(W)에 확장 테이프(E)를 부착용 롤러의 가압력에 의해 부착하는 것이 기재되어 있다. 또한 부호는, 특허문헌 1의 것이다.
일본 공개특허공보 2013-4584호
그런데, 워크 및 다이싱 프레임에 부착된 다이싱 테이프는, 워크 및 다이싱 프레임의 이동 방향으로 신장되어 있고, 이동 방향에 대하여 수직인 폭 방향으로 작용하는 장력은 낮아지는 경향이 있다.
그렇지만, 다이싱 테이프에 작용하는 이동 방향 및 폭 방향의 장력이 각각 적절하지 않은 경우, 확장시에 칩간의 적정한 간격을 확보할 수 없어, 칩의 위치 검지가 곤란하게 된다고 하는 문제가 있었다.
그래서, 다이싱 테이프를 적절한 장력으로 워크 및 다이싱 프레임에 부착하기 위하여 해결해야 할 기술적 과제가 생기는 것이며, 본 발명은 이 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 다이싱 테이프의 테이프 부착 장치는, 다이싱 테이프를 워크 및 다이싱 프레임에 소정의 부착 방향을 따라 부착하는 테이프 부착 장치로서, 상기 다이싱 테이프를 상기 워크 및 다이싱 프레임에 꽉 누르는 프레스 롤러와, 상기 다이싱 테이프를 평면에서 보아 적어도 상기 부착 방향에 대하여 수직인 폭 방향을 향하여 상기 다이싱 테이프를 신장시키는 신장 수단을 구비하고 있다.
이 구성에 의하면, 신장 수단이, 다이싱 테이프를 폭 방향을 향하여 신장시킴으로써, 다이싱 테이프에 폭 방향의 장력을 부여할 수 있다.
본 발명은, 다이싱 테이프에 폭 방향의 장력을 부여한 상태로 다이싱 테이프를 워크 및 다이싱 프레임에 부착할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 테이프 부착 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 내주측 테이블, 외주측 테이블 및 서포트 핀을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2 중의 A－A선 단면도이다.
도 4는 서포트 핀의 배치 위치를 나타내는 모식도이다.
도 5는 도 3을 폭 방향에서 본 단면도이다.
도 6은 다이싱 테이프가 부착되는 순서를 나타내는 사시도이며, 도 6(a)는 부착 개시시의 모습을 나타내고, 도 6(b)는 부착이 진행되고 있는 상태를 나타내며, 도 6(c)는 부착 종료 후의 모습을 나타낸다.
도 7은 서포트 핀이 다이싱 테이프에 장력을 부여하는 모습을 나타내는 모식도이며, 도 7(a)는 프레스 롤러가 서포트 핀 위를 통과하기 전의 상태를 나타내고, 도 7(b)는 프레스 롤러가 서포트 핀 위를 통과하여 프레스 롤러의 하방에 요동하는 상태를 나타내고, 도 7(c)는 프레스 롤러가 서포트 핀 위를 통과한 후의 상태를 나타낸다.
도 8은 내주측 테이블의 대략 전체 둘레를 둘러싸도록 배치된 서포트 핀의 배치 위치를 나타내는 모식도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 테이프 부착 장치의 주요부를 부착 방향의 전방측에서 본 주요부 사시도이다.
도 10은 테이프 부착 장치의 주요부를 부착 방향의 후방측에서 본 일부 절결 사시도이다.
도 11은 테이프 부착 장치의 주요부를 나타내는 종단면도이다.
도 12는 서포트 롤러가 폭 방향으로 슬라이드하는 모습을 나타내는 모식도이고, 도 12(a)는 부착 개시시의 서포트 롤러의 위치를 나타내며, 도 12(b)는 부착이 진행되고 있을 때의 서포트 롤러의 위치를 나타내고, 도 12(c)는 부착 종료시의 서포트 롤러의 위치를 나타낸다.
도 13은 본 발명의 변형예에 따른 테이프 부착 장치의 주요부를 부착 방향의 전방측에서 본 사시도이다.
도 14는 테이프 부착 장치의 주요부를 부착 방향의 후방측에서 본 일부 절결 사시도이다.
도 15는 테이프 부착 장치의 주요부를 나타내는 종단면도이다.
본 발명의 제 1 실시형태에 대하여 도면에 근거하여 설명한다. 또한 이하에서는, 구성요소의 수, 수치, 양, 범위 등을 언급하는 경우, 특별히 명시된 경우 및 원리적으로 분명하게 특정 수로 한정되는 경우를 제외하고, 그 특정 수로 한정되지 않고, 특정 수 이상이라도 이하라도 상관없다.
또, 구성요소 등의 형상, 위치 관계를 언급할 때는, 특별히 명시된 경우 및 원리적으로 분명하게 그렇지 않다고 생각할 수 있는 경우 등을 제외하고, 실질적으로 그 형상 등에 근사 또는 유사한 것 등을 포함한다.
또, 도면은 특징을 알기 쉽게 하기 위하여 일부의 구성요소를 생략하거나, 특징적인 부분을 확대하는 등 하여 과장되는 경우가 있어, 구성요소의 치수 비율 등이 실제와 같다라고는 할 수 없다. 또, 단면도에서는, 구성요소의 단면 구조를 알기 쉽게 하기 위하여, 일부 구성요소의 햇칭을 생략하는 경우가 있다. 또한 본 실시형태에 있어서, 상하나 좌우 등의 방향을 나타내는 표현은, 절대적인 것이 아니며, 각 구성요소가 도면에 그려져 있는 자세인 경우에 적절하지만, 그 자세가 변화했을 경우에는 자세의 변화에 따라 변경하여 해석되어야 할 것이다.
도 1은, 테이프 부착 장치(1)를 나타내는 사시도이다. 테이프 부착 장치(1)는 다이싱 테이프(DT)를 부착 방향(D1)을 따라서 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)에 부착하는 것이다. 워크(W)는 예를 들면 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 기판이지만, 이것으로 한정되는 것은 아니다. 다이싱 테이프(DT)는, 자외선 경화 테이프 등이다.
테이프 부착 장치(1)는 반송부(2)와, 부착부(3)를 구비하고 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 반송부(2)는 워크(W)를 유지하는 내주측 테이블(21)과, 다이싱 프레임(DF)을 재치하는 외주측 테이블(22)을 구비하고 있다.
내주측 테이블(21)의 표면에는, 무수한 기공을 가지는 다공질 재료로 이루어지는 흡착체(23)가 매설(埋設)되어 있다. 흡착체(23)의 기공의 성김은, 예를 들면, ＃400 또는 ＃800 등이다.
내주측 테이블(21)은, 도시하지 않은 진공원 및 압축 공기원으로 전환 가능하게 접속되어 있다. 진공원이 기동되면, 내주측 테이블(21)에 재치된 워크(W)와 흡착체(23)의 상면(흡착면(21a))과의 사이에 부압이 공급되고, 워크(W)가 흡착면(21a)에 흡착 유지된다. 또, 압축 공기원이 기동되면, 워크(W)와 흡착면(21a)과의 사이에 압축 공기(릴리스 에어)가 공급되어, 워크(W)와 흡착면(21a)과의 흡착이 해제된다.
내주측 테이블(21) 및 외주측 테이블(22)은, 도시하지 않은 슬라이더에 재치되어 있고, 반송 방향(부착 방향(D1)의 역방향)을 향하여 슬라이드 가능하게 구성되어 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 부착부(3)는 다이싱 테이프(DT)를 풀어낼 수 있도록 지지하는 이송 롤러(31)와, 다이싱 테이프(DT)에 풀어내는 힘을 부여하여 감는 권취 롤러(winding roller, 32)와, 다이싱 테이프(DT)에 장력을 작용시킴과 함께 다이싱 테이프(DT)의 궤도를 규제하는 제 1∼제 6 가이드 롤러(33a∼33f)와, 상하로 승강 가능하며 다이싱 테이프(DT)를 워크(W)에 부착하는 프레스 롤러(34)와, 다이싱 테이프(DT)로부터 박리된 세퍼레이터(S)의 궤도를 규제하는 나이프 플레이트(35)를 구비하고 있다.
도 2, 3에 나타내는 바와 같이, 테이프 부착 장치(1)는, 신장 수단으로서의 복수의 서포트 핀(4)을 구비하고 있다. 서포트 핀(4)은, 내주측 테이블(21)과 외주측 테이블(22)과의 사이에 설치되어 있다.
서포트 핀(4)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 내주측 테이블(21)의 반송 방향의 전방측 대략 반을 둘러싸도록 배치되어 있다. 또, 서포트 핀(4)은, 폭 방향(D2)으로 좌우 대칭으로 배치되어 있다. 또한 도 4에서는, 서포트 핀(4)의 일부를 생략하고 있다.
또, 서포트 핀(4)은, 평면에서 보아 폭 방향(D2)의 내측으로부터 외측을 향하여 부착 방향(D1)의 전방측으로 경사지도록 배치되어 있다. 이러한 서포트 핀(4)의 기울기는 부착 방향(D1)의 전방측에 배치된 서포트 핀(4) 만큼, 부착 방향(D1)에 대하여 평행에 가까워지도록 설정되어 있다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 서포트 핀(4)은, 측면에서 보아 대략 부채꼴 형상으로 형성된 핀 본체(41)와, 핀 본체(41)의 기단측으로부터 측방으로 돌출되어 설치된 축부(42)를 구비하고 있다.
또한 핀 본체(41)의 형상은 대략 부채꼴 형상으로 한정되지 않고, 어떤 형상이라도 상관없다. 또, 핀 본체(41)의 표면은 다이싱 테이프(DT)가 과도하게 점착하지 않도록, 예를 들면, 불소 수지로 코팅 되거나 널링(knurling) 가공을 하는 것이 바람직하다.
핀 본체(41)는 축부(42) 주위로 요동 가능하게 링 테이블(43) 위에 설치되어 있다. 핀 본체(41)는 프레스 롤러(34)에 의한 누르는 힘이 작용하지 않는 무부하 상태로, 적어도 일부가 다이싱 프레임(DF)의 상면 및 워크(W)의 상면보다 수직 방향(D3)의 상방에 위치한다. 또, 핀 본체(41)는 후술하는 바와 같이 선단측에 프레스 롤러(34)가 누르는 힘을 작용시켰을 때에 탄성 변형하도록, 적당한 가요성을 가지고 있다.
테이프 부착 장치(1)의 동작은 도시하지 않은 콘트롤러를 통하여 제어된다. 콘트롤러는 테이프 부착 장치(1)를 구성하는 구성요소를 각각 제어하는 것이다. 콘트롤러는 예를 들면 컴퓨터이며, CPU, 메모리 등에 의해 구성된다. 또한 콘트롤러의 기능은 소프트웨어를 이용하여 제어함으로써 실현되어도 좋고, 하드웨어를 이용하여 동작하는 것에 의해 실현되어도 좋다.
다음으로, 테이프 부착 장치(1)의 동작에 대하여 도면에 근거하여 설명한다.
＜워크 반송＞
우선, 다이싱 프레임(DF)이 도시하지 않은 반송 핸드 등에 의해 외주측 테이블(22) 위에 이재(移載)된다.
다음으로, 워크(W)가 도시하지 않은 반송 핸드 등에 의해 내주측 테이블(21) 위에 이재된다. 그 후, 압축 공기원으로부터 워크(W)와 흡착면(21a)과의 사이에 부압이 공급되면, 워크(W)가 내주측 테이블(21)에 흡착된다. 워크(W)의 상면과 다이싱 프레임(DF)의 상면은 대략 면일(面一)하게 설정된다.
＜테이프 부착＞
다음으로, 슬라이더를 구동하여, 프레스 롤러(34)의 하방에 다이싱 프레임(DF)의 한쪽 단(부착 개시 위치)이 배치되도록, 내주측 테이블(21) 및 외주측 테이블(22)을 이동시킨다.
다음으로, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 권취 롤러(32)가 회전하여 다이싱 테이프(DT)를 풀어냄과 함께, 프레스 롤러(34)가 다이싱 테이프(DT)를 다이싱 프레임(DF)에 밀착시켜 소정의 누르는 힘으로 부착한다. 또한 도 6에서는 스페이스의 형편상, 서포트 핀(4)을 생략하고 있다.
그 후, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 내주측 테이블(21) 및 외주측 테이블(22)이 반송 방향을 따라서 이동하면, 다이싱 테이프(DT)가 다이싱 프레임(DF) 및 워크(W)에 서서히 부착이 진행된다.
다이싱 테이프(DT)가 부착될 때에는, 서포트 핀(4)이 폭 방향(D2)의 내측으로부터 외측을 향하여 요동함으로써 다이싱 테이프(DT)에 장력을 부여한다.
구체적으로는, 도 7(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 무부하 상태에서는, 핀 본체(41)의 일부가 다이싱 프레임(DF) 및 워크(W)보다 상방에 위치하고 있다.
다음으로, 도 7(c), (d)에 나타내는 바와 같이, 프레스 롤러(34)가 핀 본체(41) 위에 위치하면, 핀 본체(41)는 프레스 롤러(34)에 의한 누르는 힘으로 축부(42) 주위에 하방으로 요동한다. 프레스 롤러(34)와 핀 본체(41)에 끼워진 다이싱 테이프(DT)는 핀 본체(41)의 요동에 수반하여, 다이싱 테이프(DT)가 폭 방향(D2)의 내측으로부터 외측을 향하여 신장된다.
그리고, 도 7(e), (f)에 나타내는 바와 같이, 다이싱 테이프(DT)가 진전된 상태에서, 프레스 롤러(34)가 다이싱 테이프(DT)를 다이싱 프레임(DF)에 부착한다. 이것에 의해, 다이싱 테이프(DT) 내의 다이싱 프레임(DF)과 워크(W)와의 사이에서 폭 방향(D2)의 장력이 부여된다.
그리고, 도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 다이싱 테이프(DT)가 다이싱 프레임(DF)의 다른 한쪽단(부착 종료 위치)까지 이르면, 워크(W)와 다이싱 프레임(DF)이 다이싱 테이프(DT)를 통하여 일체로 부착된다.
또한 서포트 핀(4)의 개수나 설치 위치는, 상술한 것으로 한정되지 않고, 다이싱 테이프(DT)를 국소적으로 신장시켜 폭 방향(D2)의 장력을 부여시키고 싶은 장소나 장력의 크기 등에 따라 적당히 변경 가능하다.
예를 들면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 서포트 핀(4)은 내주측 테이블(21)의 대략 전체 둘레를 둘러싸도록 배치되어도 상관없다. 도 8에 나타내는 서포트 핀(4)은, 평면에서 보아 폭 방향(D2)의 내측으로부터 외측을 향하여 부착 방향(D1)의 전방측으로 경사지도록 배치되어 있다. 서포트 핀(4)의 기울기는, 부착 방향(D1)의 전방측에 배치된 서포트 핀(4)만큼, 부착 방향(D1)에 대하여 평행에 가까워지도록 설정되어 있다. 서포트 핀(4)이 내주측 테이블(21)의 대략 전체 둘레를 둘러싸도록 설치되어 있음으로써, 다이싱 테이프(DT)를 광범위하게 걸쳐 폭 방향(D2)의 내측으로부터 외측을 향하는 장력을 부여할 수 있다.
이와 같이 하여, 본 실시형태에 따른 테이프 부착 장치(1)는 다이싱 테이프(DT)를 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)에 부착 방향(D1)을 따라서 부착하는 테이프 부착 장치(1)로서, 다이싱 테이프(DT)를 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)에 꽉 누르는 프레스 롤러(34)와, 다이싱 테이프(DT)를 평면에서 보아 폭 방향(D2)으로 다이싱 테이프(DT)를 신장시키는 서포트 핀(4)을 구비하고 있는 구성으로 했다.
이 구성에 의하면, 서포트 핀(4)이 다이싱 테이프(DT)를 폭 방향(D2)으로 신장시킴으로써, 다이싱 테이프(DT)에 폭 방향(D2)의 장력을 부여할 수 있다.
또, 테이프 부착 장치(1)는 워크(W)를 유지하는 내주측 테이블(21)과 다이싱 프레임(DF)을 재치(載置)하는 외주측 테이블(22)을 더 구비하고, 서포트 핀(4)은 내주측 테이블(21) 및 외주측 테이블(22) 사이에 설치되며, 적어도 일부가 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)보다 상방에 위치하여, 프레스 롤러(34)의 누르는 힘을 받아 하방으로 요동할 때에, 프레스 롤러(34)와의 사이에 끼워진 다이싱 테이프(DT)를 신장시키는 구성으로 했다.
이 구성에 의하면, 다이싱 테이프(DT)가 서포트 핀(4)에 부착된 후에, 프레스 롤러(34)가 서포트 핀(4)을 밀어 넣고, 서포트 핀(4)의 요동에 수반하여 다이싱 테이프(DT)가 폭 방향(D2)으로 신장되기 때문에, 다이싱 테이프(DT)에 폭 방향(D2)의 장력을 부여할 수 있다. 또한 본 실시형태에서는, 다이싱 테이프(DT)에 부여하는 장력에 대하여 폭 방향(D2)의 성분에 한하여 설명했지만, 다이싱 테이프(DT)에 부여하는 장력은 폭 방향(D2)의 성분을 포함하는 것이면, 어떠한 것이라도 상관없다.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 테이프 부착 장치(1)에 대하여, 도면에 근거하여 설명한다. 또한 후술하는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 테이프 부착 장치(1)는 상술한 제 1 실시형태에 따른 테이프 부착 장치(1)와 비교하여, 신장 수단의 구성만이 다르기 때문에, 그 외 공통되는 구성은 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다. 또한 도 9, 도 10에서는, 스페이스의 형편상, 다이싱 테이프(DT)를 생략하고 있다.
도 9, 도 10에 나타내는 바와 같이, 테이프 부착 장치(1)는 신장 수단으로서의 좌우 한 쌍의 서포트 롤러(5)가 설치되어 있다. 서포트 롤러(5)의 표면은, 다이싱 테이프(DT)가 과도하게 점착하지 않도록, 예를 들면, 불소 수지로 코팅하거나 널링 가공을 실시하는 것이 바람직하다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 서포트 롤러(5)는, 프레스 롤러(34)와의 사이에 다이싱 테이프(DT)가 위치하도록, 프레스 롤러(34)와 마주보도록 각각 설치되어 있다. 각 서포트 롤러(5)의 회전축(51)은, 프레임(52)에 각각 축 지지되어 있고, 서포트 롤러(5)는, 프레스 롤러(34)의 회전에 수반하여 회전축(51) 주위를 회전한다. 회전축(51)은, 폭 방향(D2)과 평행하게 배치되어 있다. 각 프레임(52)은, 도시하지 않은 구동 모터에 의해 회전 가능한 볼 나사(53)에 각각 접속되어 있다. 볼 나사(53)의 회전 방향에 따라, 프레임(52)이 폭 방향(D2)으로 이동하도록 구성되어 있다.
다음으로, 서포트 롤러(5)를 이용하여, 다이싱 테이프(DT)를 폭 방향(D2)을 따른 장력을 부여시키는 순서에 대하여, 도 12에 근거하여 설명한다.
우선, 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 프레스 롤러(34)의 하방에 다이싱 프레임(DF)의 한쪽 단(부착 개시 위치)이 배치되도록, 내주측 테이블(21) 및 외주측 테이블(22)을 이동시킨다. 그리고, 권취 롤러(32)가 회전하여 다이싱 테이프(DT)를 풀어냄과 함께, 프레스 롤러(34)가 다이싱 테이프(DT)를 다이싱 프레임(DF)의 한쪽 단에 밀착시켜 소정의 누르는 힘으로 부착한다. 이 때, 서포트 롤러(5)는 폭 방향(D2)의 대략 중앙에 위치하고 있다.
그 후, 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 내주측 테이블(21) 및 외주측 테이블(22)이 반송 방향을 따라서 이동하여, 다이싱 테이프(DT)가 다이싱 프레임(DF)의 대략 중앙 부근까지 다이싱 프레임(DF) 및 워크(W)에 부착이 진행된다. 이 때, 서포트 롤러(5)는 평면에서 보아, 폭 방향(D2)의 내측으로부터 외측을 향하도록, 볼 나사(53)가 프레임(52)을 이동시킨다. 그리고, 서포트 롤러(5)는 다이싱 테이프(DT)와의 마찰로 회전축(51) 주위를 따라 다니며 회전하면서 폭 방향(D2)의 외측을 향하여 이동할 때에, 다이싱 테이프(DT)를 폭 방향(D2)의 외측으로 끌어 당기도록 신장시킨다.
또한, 내주측 테이블(21) 및 외주측 테이블(22)이 반송 방향을 따라서 이동하여, 다이싱 테이프(DT)가 다이싱 프레임(DF)의 대략 중앙으로부터 다른 한쪽단에 걸쳐 다이싱 프레임(DF) 및 워크(W)에 부착이 진행된다. 이 때, 서포트 롤러(5)는 평면에서 보아, 폭 방향(D2)의 외측으로부터 내측을 향하도록, 볼 나사(53)가 프레임(52)을 이동시킨다. 그리고, 서포트 롤러(5)는 다이싱 테이프(DT)와의 마찰로 회전축(51) 주위를 따라 다니며 회전하면서 폭 방향(D2)의 내측을 향하여 이동할 때에, 다이싱 테이프(DT)를 폭 방향(D2)의 내측으로 끌어 당기도록 신장시킨다.
그리고, 도 12(c)에 나타내는 바와 같이, 다이싱 테이프(DT)가 다이싱 프레임(DF)의 다른 한쪽단(부착 종료 위치)까지 이르면, 워크(W)와 다이싱 프레임(DF)이 다이싱 테이프(DT)를 통하여 일체로 부착된다.
또한 서포트 롤러(5)는 회전축(51)이 폭 방향(D2)과 평행하게 설치된 것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 13, 도 14, 도 15에 나타내는 바와 같이, 회전축(51)이 다이싱 테이프(DT)가 풀리는 방향에 대하여 경사지도록, 구체적으로는, 한 쌍의 서포트 롤러(5)가 부착 방향(D1)에서 보아, 다이싱 테이프(DT)가 풀리는 방향에 대하여 대략 ハ형상으로 경사지도록 설치되어도 상관없다.
이것에 의해, 다이싱 테이프(DT)가 다이싱 프레임(DF)의 한쪽 단으로부터 대략 중앙 부근까지 다이싱 프레임(DF) 및 워크(W)에 부착이 진행될 때, 서포트 롤러(5)가 폭 방향(D2)의 내측으로부터 외측을 향하여 슬라이드할 때에, 다이싱 테이프(DT)를 폭 방향(D2)의 외측으로 치대어(knead) 신장시키기 때문에, 다이싱 테이프(DT)에 장력을 부여하기 쉬워진다.
이와 같이 하여, 본 실시형태에 따른 테이프 부착 장치(1)는 다이싱 테이프(DT)를 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)에 부착 방향(D1)을 따라 부착하는 테이프 부착 장치(1)로서, 다이싱 테이프(DT)를 워크(W) 및 다이싱 프레임(DF)에 꽉 누르는 프레스 롤러(34)와, 다이싱 테이프(DT)를 평면에서 보아 폭 방향(D2)을 향하여 다이싱 테이프(DT)를 신장시키는 서포트 롤러(5)를 구비하고 있는 구성으로 했다.
이 구성에 의하면, 서포트 롤러(5)가 다이싱 테이프(DT)를 폭 방향(D2)을 향하여 신장시킴으로써, 다이싱 테이프(DT)에 폭 방향(D2)의 장력을 부여할 수 있다.
또, 본 발명은 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 한, 상기 이외에도 여러 가지 개변을 할 수 있고, 그리고, 본 발명이 상기 개변된 것에 이르는 것은 당연하다.
1：테이프 부착 장치
2：반송부
21：내주측 테이블
21a：흡착면
22：외주측 테이블
23：흡착체
3：부착부
31：이송 롤러
32：권취 롤러
33a∼33f：제 6 가이드 롤러
34：프레스 롤러
35：나이프 플레이트
4：서포트 핀(신장 수단)
41：핀 본체
42：축부
43：링 테이블
5：서포트 롤러(신장 수단)
51：회전축
52：프레임
53：볼 나사
DF：다이싱 프레임
DT：다이싱 테이프
W：워크

Claims (5)

  1. 다이싱 테이프를 워크 및 다이싱 프레임에 소정의 부착 방향을 따라 부착하는 테이프 부착 장치로서,
    상기 다이싱 테이프를 상기 워크 및 다이싱 프레임에 꽉 누르는 프레스 롤러와,
    상기 다이싱 테이프를 평면에서 보아 적어도 상기 부착 방향에 대하여 수직인 폭 방향을 향하여 상기 다이싱 테이프를 신장시키는 신장 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 테이프 부착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크를 유지하는 내주측 테이블과,
    상기 다이싱 프레임을 재치(載置)하는 외주측 테이블을 더 구비하고,
    상기 신장 수단은, 상기 내주측 테이블 및 외주측 테이블 사이에 설치되며, 적어도 일부가 상기 워크 및 다이싱 프레임보다 상방에 위치하는 서포트 핀이고,
    상기 서포트 핀은, 상기 프레스 롤러의 누르는 힘을 받아 하방으로 요동할 때에, 상기 프레스 롤러와의 사이에 끼워진 상기 다이싱 테이프를 신장시키는 것을 특징으로 하는 테이프 부착 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 신장 수단은, 상기 프레스 롤러와 대향하여 배치되며, 상기 폭 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되고, 상기 프레스 롤러와의 사이를 통과하는 상기 다이싱 테이프를 신장시키는 서포트 롤러인 것을 특징으로 하는 테이프 부착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 서포트 롤러의 회전축은, 상기 다이싱 테이프가 상기 프레스 롤러로 이송되는 풀리는 방향에 대하여 평행하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 테이프 부착 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 서포트 롤러의 회전축은, 상기 다이싱 테이프가 상기 프레스 롤러로 이송되는 풀리는 방향에 대하여 경사지게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 테이프 부착 장치.
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