KR20230117548A

KR20230117548A - 홀더 개방기

Info

Publication number: KR20230117548A
Application number: KR1020230098425A
Authority: KR
Inventors: 남경표; 송지훈
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2018-04-23
Filing date: 2023-07-27
Publication date: 2023-08-08
Also published as: KR20230166056A; KR20240001094A; KR102617473B1; KR102606650B1; KR20220150253A; KR20230117082A; KR20190123015A

Abstract

본 발명은 홀더 개방기에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 발명의 설명에 기재된 홀더 개방기가 제공될 수 있다.

Description

홀더 개방기{HOLDER OPENING DEVICE}

본 발명은 홀더 개방기에 대한 발명이다.

핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체 소자 등의 전자부품이 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 전자부품을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기이다.

이러한 핸들러에는 이송경로를 따라 전자부품을 이송시킬 수 있다. 또한, 핸들러는 전자부품을 테스트트레이에 적재하여 이동시킬 수 있으며, 여러 장의 테스트트레이를 순환시킬 수 있다. 이러한 테스트트레이의 이송경로는 로딩장치, 테스트 챔버, 및 언로딩 장치를 경유할 수 있다. 핸들러는 테스트 되지 않은 전자부품들을 고객트레이로부터 테스트트레이에 장착한 후, 전자부품들이 적재된 테스트트레이를 일정 경로를 따라서 순환시킴으로써 테스트트레이에 적재된 전자부품들의 테스트를 지원한다. 또한, 테스트트레이에 적재된 전자부품들의 테스트가 완료되면 테스트 완료된 전자부품들을 다시 고객트레이로 이송하도록 구성된다.

이와 같은, 핸들러에 구비되는 테스트트레이는 일반적으로 사각프레임에 다수의 인서트가 행렬 형태로 배열되어 있는 구조를 가지며, 각각의 인서트에는 전자부품이 적재된다.

핸들러는 전자부품을 고객트레이와 테스트트레이 사이에서 이송시키게 되고, 이러한 핸들러의 픽커는 이러한 고객트레이, 테스트트레이 등에 놓인 전자부품을 들어올리게 된다. 또한, 픽커가 전자부품을 안정적으로 파지하기 위해 픽커가 들어올리는 전자부품의 종류가 바뀔 때마다 픽커의 전자부품에 접촉하는 부분에 해당하는 픽커의 팁은 전자부품의 종류에 맞게 교체된다. 종래에는 핸들러의 구동을 정지시킨 후 작업자가 직접 손으로 픽커의 팁을 교체하였다.

그런데, 최근 들어서는 단위시간당 처리되어야 할 전자부품의 수가 계속 증가하는 추세이고, 이에 따라 픽커가 들어올리게 되는 전자부품의 수도 증가하게 되었다. 또한, 최근에는 전자부품의 종류가 다양해짐에 따라 핸들러가 구동하는 도중에 전자부품의 종류가 교체되는 빈도수가 증가되고 있다. 따라서, 많은 수의 픽커의 팁을 빠른 시간 내에 교체할 것이 요구되고 있다.

게다가, 최근에는 전자부품가 점차 소형화됨에 따라 픽커와 픽커 간의 간격이 좁아지게 되었다. 따라서, 작업자가 종래와 같이 픽커 사이의 좁은 공간에서 손을 넣어 픽커의 팁을 교체하는 것에 어려움이 있었다.

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 종래의 문제점에 착안하여 발명된 것으로서, 픽커의 팁을 용이하게 교체할 수 있는 홀더 개방기를 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용의 특징 중 하나 이상을 포함하는 홀더 개방기가 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 픽커의 팁을 빠른 속도로 교체할 수 있고, 핸들러의 가동률을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 픽커 팁 교환 장치와 이송 설비를 포함하는 핸들러의 개념도이다.
도 2는 도 1의 이송 설비에 구비되는 운반 장치를 나타내는 개념도이다.
도 3은 도 1의 이송설비에 구비되는 픽커 팁 교환 장치의 사시도이다.
도 4는 도 3의 픽커 팁 교환 장치에 포함되는 홀더 모듈과 홀더 개방기를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4의 홀더 모듈을 나타내는 저면 사시도이다.
도 6은 도 4의 홀더 개방기의 분해 사시도이다.
도 7 및 도 8은 홀더 개방기가 홀더 모듈을 개방하는 과정을 나타내는 평면도이다.
도 9는 운반 장치의 픽커 몸체에 홀더 모듈의 픽커 팁이 체결되는 과정을 모식적으로 나타낸 사시도이다.

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '전달', '접촉'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 전달, 접촉될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.

또한, 본 명세서에서 상측, 하측, 측면 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다.

또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 홀더 개방기의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.

먼저, 도 1을 참조하면, 테스트 핸들러(1)는 전자부품을 픽업하기 위한 픽커를 구비하는 이송헤드를 포함하는 이송 설비(2) 및 픽커에 포함된 픽커 팁을 교체하기 위한 픽커 팁 교환 장치(3)를 포함할 수 있다.

테스트 핸들러(1)의 이송 설비(2)는 로딩 장치(10), 온도 조절부(20), 테스트 장치(30), 언로딩 장치(40) 및 적어도 하나의 운반 장치(50)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 운반 장치(50)가 두 개 구비되는 경우를 예로 들어 도시하였으나, 이는 예시적인 설명을 위한 것이고, 본 발명의 사상이 운반 장치(50)의 총 개수에 있어서 제한되지는 않는다.

로딩 장치(10)는 테스트 받을 전자부품을 온도 조절부(20)에 로딩하기 위해 준비시킬 수 있다. 로딩 장치(10)는 복수 개의 고객트레이(미도시)를 구비할 수 있으며, 고객트레이를 이송하는 모듈을 포함할 수 있다.

온도 조절부(20)는 전자부품의 온도를 조절할 수 있으며, 이를 위한 챔버를 포함할 수 있다. 또한, 이러한 온도 조절부(20)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 전자부품 테스트 과정에서 소크 챔버(soak chamber) 및 디소크 챔버(desoak chamber)의 역할을 수행할 수 있다.

테스트 장치(30)는 테스트 포켓을 구비하며, 전자부품을 테스트 포켓으로 이송시킬 수 있다. 이러한 전자부품은 테스트트레이(T)에 적재된 상태에서 이송될 수 있다. 테스트 장치(30)는 테스트 핸들러(1)와는 별도로 구비되는 테스터(Tester)에 결합되기 위한 공간을 제공할 수 있다.

언로딩 장치(40)는 테스트 완료된 전자부품을 전달받을 수 있다. 언로딩 장치(40)는 테스트 완료된 전자부품이 안착될 공간을 제공할 수 있다. 또한, 언로딩 장치(40)는 복수 개의 고객트레이를 구비할 수 있으며, 고객트레이를 이송하는 모듈을 포함할 수 있다.

운반 장치(50)는 로딩 장치(10), 온도 조절부(20), 테스트 장치(30) 및 언로딩 장치(40)들 사이에서, 또는 각 장치의 내부에서 대상물체를 픽업하거나 내려놓을 수 있으며, 수평 또는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이하에서는 도 2를 참조하여 운반 장치(50)의 구성을 설명한다.

도 2를 참조하면, 운반 장치(50)는 헤드(51), 종방향 이송기(52), 횡방향 이송기(53) 및 픽커(54)를 포함할 수 있다. 또한, 헤드(51)는 복수 개의 픽커(54)를 지지할 수 있다. 헤드(51)는 픽커(54)에 전자부품이 지지된 상태에서 이동함으로써 전자부품을 이송할 수 있다. 종방향 이송기(52) 및 횡방향 이송기(53)는 헤드(51)에 직접적, 간접적으로 연결되어 헤드(51)를 이동시킬 수 있다. 종방향 이송기(52)는 헤드(51)를 상하 방향(도 3 내지 도 9의 Z1, Z2 방향)으로 이동시킬 수 있고, 횡방향 이송기(53)는 헤드(51)를 횡방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2, Y1, Y2 방향)으로 이송시킬 수 있다. 픽커(54)는 픽커 몸체(55)와 픽커 팁(56)을 포함할 수 있고, 픽커 팁(56)은 픽커 몸체(55)에 대해 분리 가능하게 구성되어 교체될 수 있다. 픽커 팁(56)은 안착홀(1210)에 맞물릴 수 있도록 구성될 수 있으며, 다양한 형상을 가질 수 있다. 한편, 픽커 팁(56)은 픽커 팁 교환 장치(3)에 의해 픽커 몸체(55)에 결합되거나 분리될 수 있으므로, 이하에서는 픽커 팁 교환 장치(3)에 대하여 서술한다.

도 3을 참조하면, 픽커 팁 교환장치(10)는 홀더 모듈(100), 홀더 개방기(200), 홀더 스택커(300) 및 홀더 이송기(400)를 포함할 수 있다.

도 3 내지 도 5를 더 참조하면, 홀더 모듈(100)은 홀더 프레임(1100), 안착부(1200), 지지부재(1300) 및 탄성부재(1400)를 포함할 수 있다. 이러한 홀더 모듈(100)은 복수 개로 제공될 수 있고, 복수 개의 홀더 모듈(100) 중 적어도 일부는 다른 홀더 모듈(100)과 구별하기 위한 바코드 등의 고유 식별표시를 가질 수 있다.

홀더 프레임(1100)은 지지부재(1300)를 일방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)을 따라 이동 가능하도록 지지할 수 있다. 또한, 홀더 프레임(1100)에는 상하 방향으로 연통하는 것을 허용하도록 상하 방향으로 관통된 프레임 홀(1110)을 가질 수 있다. 또한, 홀더 프레임(1100)에는 홀더 개방기(200)에 맞물리기 위한 개방기 계합부(1120), 및 홀더 이송기(400)에 맞물리기 위한 파지용 홀(1130)이 형성될 수 있다.

개방기 계합부(1120)는 측방향을 따라 연장 형성된 홀 또는 돌기일 수 있다. 일 예로, 개방기 계합부(1120)는 일방향의 일측(도 3 내지 도 9의 X1 측)을 향해 개구되어 상기의 일방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)을 따라 연장 형성된 홀일 수 있다. 또한, 개방기 계합부(1120)는 홀더 프레임(1100)의 가장자리 부위, 또는 프레임 홀(1110)의 안쪽에 형성될 수 있다. 홀더 모듈(100)은 안착부(1200)에 맞물린 픽커 팁(56), 및 이러한 픽커 팁(56)에 연결된 운반 장치(50) 등으로부터 외력을 받을 수 있다. 개방기 계합부(1120)는 후술할 홀더 고정부(2112)와 맞물림으로써 홀더 모듈(100)이 홀더 개방기(200)에 안착되었을 때에 홀더 모듈(100)이 외력에 의해 홀더 개방기(200)로부터 이탈하는 것이 방지될 수 있다.

파지용 홀(1130)은 홀더 프레임(1100)의 사이드부에 형성된 홀 또는 돌기 일 수 있다. 파지용 홀(1130)이 후술할 홀더 이송기(400)의 홀더 암(410)의 돌기 또는 홀에 맞물림으로써 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 안정적으로 파지될 수 있다.

홀더 프레임(1100)은 지지부재(1300)를 슬라이드 이동 가능하게 지지하고, 지지부재(1300)의 이동을 안내하기 위해 지지부재 가이드(1140)를 포함할 수 있다. 지지부재 가이드(1140)는 일방향으로 연장 형성될 수 있으며, 봉 형상을 가질 수 있다. 이러한 지지부재 가이드(1140)는 홀더 프레임(1100)의 타방향으로의 양측(도 3 내지 도 9의 Y1 측 및 Y2 측)에 구비될 수 있다.

안착부(1200)는 픽커 팁(56)이 수용되기 위한 안착홀(1210)을 가질 수 있다. 안착홀(1210)은 안착부(1200)의 일방향을 따라 요입 형성될 수 있으며, 안착부(1200)의 일측을 향해 개구될 수 있다. 이러한 안착홀(1210)은 복수 개로 형성될 수 있다. 또한, 복수 개의 안착홀(1210)은 타방향(도 3 내지 도 9의 Y1, Y2 방향)으로의 열을 따라 나란하게 배열될 수 있다. 본 명세서에서 '타방향'은 일방향과 어긋나는 방향을 의미한다. 예를 들어 일방향이 전후방향(도 3 내지 도 9의 X1, X2 방향)인 경우 타방향은 좌우방향이라 할 수 있다. 또한, 안착홀(1210)은 복수 개의 열로 배열될 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서 안착부(1200)는 홀더 프레임(1100)과 별도의 부재인 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 홀더 프레임(1100)과 단일의 부재를 구성하는 것도 가능하다.

지지부재(1300)는 일방향으로 이동 가능하도록 홀더 프레임(1100)에 지지될 수 있다. 또한, 지지부재(1300)는 픽커 팁(56)이 안착홀(1210) 내에 맞물리거나 이탈하는 것이 가능하도록 안착홀(1210)을 개방하거나, 안착홀(1210)에 안착된 픽커 팁(56)의 이탈을 방지하도록 안착홀(1210)을 폐쇄할 수 있다. 본 명세서에서 '폐쇄'는 지지부재(1300)가 안착홀(1210)의 개구에 완전히 밀착하는 것에만 국한되는 것이 아니고, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)의 개구를 통해 안착홀(1210)에 삽입 또는 이탈하는 것을 방지하는 것을 의미한다. 따라서, 지지부재(1300)가 안착홀(1210)의 개구로부터 소정간격 이격되어 있더라도, 지지부재(1300)와 안착홀(1210)의 개구 사이의 간격이 픽커 팁(56)이 이동할 수 없을 정도로 좁다면 지지부재(1300)가 개구를 폐쇄한 것으로 간주된다.

이러한 지지부재(1300)는 개폐부(1310), 지지부재 슬라이딩부(1320), 및 푸셔 대응부(1330)를 포함할 수 있다.

개폐부(1310)는 안착홀(1210)을 개방시키거나 폐쇄시킬 수 있다[도 4]. 이러한 계패부(1310)는 타방향(도 3 내지 도 9의 Y1, Y2 방향)으로 연장되는 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 안착홀(1210)이 복수 개의 열로 배열되는 경우, 개폐부(1310)도 안착홀(1210)의 열의 개수에 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 도면에서와 같이 안착홀(1210)이 2개의 열로 배열될 경우 개폐부(1310)도 2개로 제공될 수 있다. 하나의 개폐부(1310)는 하나의 열에 놓인 복수 개의 안착홀(1210)을 동시에 개폐할 수 있다.

지지부재 슬라이딩부(1320)는 지지부재 가이드(1140)를 따라 일방향으로 슬라이드 이동 가능하게 지지부재 가이드(1140)에 맞물릴 수 있다. 지지부재 슬라이딩부(1320)는 개폐부(1310)의 양측에 구비될 수 있다. 지지부재 슬라이딩부(1320)는 예를 들어, 지지부재 가이드(1140)에 삽입되도록 일방향으로 연장 형성되는 관통홀일 수 있다. 또한, 지지부재 슬라이딩부(1320)는 지지부재 가이드(1140)와 동일한 개수로 제공될 수 있다.

푸셔 대응부(1330)는 후술할 푸셔(2300)의 홀더 작용부(2320)로부터 힘을 받는 부분일 수 있다[도 5]. 예를 들어, 푸셔 대응부(1330)는 안착부(1200)의 하측에 배치되어 측방향으로 연장되는 돌출부일 수 있다. 푸셔 대응부(1330) 중 푸셔(2300)에 대향하는 부분에는 푸셔(2300)와의 접촉에 따른 충격을 완화하기 위하여 고무, 실리콘 등의 완충부재가 제공될 수도 있다.

탄성부재(1400)는 개폐부(1310)가 안착홀(1210)에 가까워지는 방향으로 지지부재(1300)에 탄성력을 가해줄 수 있다. 다시 말해, 탄성부재(1400)는 일방향 타측(도 3 내지 도 9의 X2 측)으로 지지부재(1300)를 밀 수 있고, 개폐부(1310)는 푸셔(2300) 등으로부터 힘을 받지 않는 상태에서는 탄성부재(1400)에 밀림으로써 안착홀(1210)을 폐쇄하는 상태를 유지할 수 있다. 따라서 홀더 모듈(100)이 이송되는 동안에도 홀더 모듈(100)의 안착홀(1210)이 임의로 개방되는 것이 방지될 수 있고, 안착홀(1210)에 수용된 픽커 팁(56)이 이탈하는 것도 방지될 수 있다.

한편, 본 실시예에서는 홀더 모듈(100)이 안착홀(1210)을 능동적으로 개폐하는 모듈을 포함하는 것을 완전히 배제하는 것은 아니다.

도 3, 도 4 및 도 6을 참조하면, 홀더 개방기(200)는 홀더 모듈(100)을 지지할 수 있고, 지지부재(1300)를 이동시킴으로써 안착홀(1210)을 개방시킬 수 있이다. 이러한 홀더 개방기(200)는 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)로부터 분리시키거나 픽커 몸체(55)에 연결시킴으로써 픽커 팁(56)을 교환하는 픽커 팁 교환부에 제공될 수 있다. 홀더 개방기(200)는 개방기 프레임부(2100), 푸셔(2300) 및 구동기(2400)를 포함할 수 있다.

개방기 프레임부(2100)는 푸셔(2300)와 구동기(2400)를 지지할 수 있는 프레임일 수 있다. 이러한 개방기 프레임부(2100)는 제1 개방기 프레임(2110) 및 제2 개방기 프레임(2120)을 포함할 수 있다. 홀더 모듈(100)은 제2 개방기 프레임(2120)에 탑재될 수 있다.

제1 개방기 프레임(2110)은 구동기(2400)를 지지하기 위한 제1 프레임 바디(2111), 개방기 계합부(1120)와 맞물리는 홀더 고정부(2112), 및 프레임 가이드(2114)를 포함할 수 있다. 제1 프레임 바디(2111), 홀더 고정부(2112) 및 프레임 가이드(2114)는 서로 간의 상대적인 위치가 변하지 않도록 고정될 수 있다.

홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)와 맞물리도록 구성될 수 있다. 예를 들어 홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)가 돌출 또는 인입되는 방향과 동일한 방향으로 연장되는 돌기 또는 홈일 수 있다. 따라서, 개방기 계합부(1120)가 일방향으로 인입 형성된 홀일 경우, 홀더 고정부(2112)는 개방기 계합부(1120)에 삽입되도록 일방향으로 돌출되는 돌기일 수 있다.

프레임 가이드(2114)는 제2 개방기 프레임(2120)을 이동 가능하게 지지할 수 있으며, 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112)가 서로 맞물릴 수 있도록 제2 개방기 프레임(2120)의 이동을 안내할 수 있다. 다시 말해, 프레임 가이드(2114)는 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112)가 돌출, 인입되는 방향을 따라 제2 개방기 프레임(2120)이 이동하도록 제2 개방기 프레임(2120)을 안내할 수 있다. 예를 들어, 개방기 계합부(1120)가 일방향으로 인입 형성된 홀인 경우 프레임 가이드(2114)는 일방향으로 연장되는 슬라이딩 레일일 수 있다. 이러한 슬라이딩 레일은 돌출부 또는 오목부를 포함할 수 있다. 또한, 프레임 가이드(2114)는 제1 프레임 바디(2111)의 타방향으로의 양측(도 3 내지 도 9의 Y1 측 및 Y2 측)에 구비될 수 있다.

제2 개방기 프레임(2120)은 제2 프레임 바디(2121), 프레임 슬라이딩부(2122) 및 푸셔 가이드(2123)를 포함할 수 있다. 또한, 제2 개방기 프레임(2120)은 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동 가능하게 구성될 수 있다.

제2 프레임 바디(2121)는 홀더 모듈(100)이 안착될 수 있는 홀더 지지부(2121a)가 제공될 수 있다. 또한, 제2 개방기 프레임(2120)은 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해 홀더 지지부(2121a)의 가장자리에 구비되는 걸림쇠(2121b)를 포함할 수 있다. 이러한 걸림쇠(2121b)는 돌기 또는 홈의 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2 프레임 바디(2121)는 프레임 슬라이딩부(2122)와 푸셔 가이드(2123)를 지지할 수 있으며, 복수 개의 부재를 포함할 수 있다.

프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114)를 따라 슬라이드 이동 가능하게 프레임 가이드(2114)에 맞물릴 수 있다. 예를 들어, 프레임 가이드(2114)가 일방향으로 연장되는 경우, 프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114) 상에서 일방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 프레임 슬라이딩부(2122)는 제2 프레임 바디(2121)의 타방향으로의 양측에 구비될 수 있다. 또한, 프레임 슬라이딩부(2122)는 프레임 가이드(2114)와 동일한 개수로 제공될 수 있다.

푸셔 가이드(2123)는 푸셔(2300)의 이동을 안내하도록 연장 형성될 수 있다. 또한, 푸셔 가이드(2123)가 연장되는 방향은 지지부재(1300)가 이동하는 방향과 나란한 방향일 수 있다. 푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)에 맞물려서 푸셔 가이드(2123)를 따라 이동함으로써 지지부재(1300)가 안착홀(1210)로부터 멀어지는 방향으로 지지부재(1300)를 밀어줄 수 있다. 이러한 푸셔 가이드(2123)는 제2 프레임 바디(2121)의 타방향으로의 양측에 형성될 수 있다. 푸셔 가이드(2123)가 제2 개방기 프레임(2120)에 구비되고, 푸셔(2300)가 푸셔 가이드(2123)에 의해 지지되므로, 제2 개방기 프레임(2120)이 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동할 경우, 푸셔 가이드(2123)에 지지되는 푸셔(2300)도 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동하게 된다.

푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)에 맞물려서 푸셔 가이드(2123) 상에서 일방향을 따라 왕복 운동 가능하게 구성된다. 푸셔(2300)는 푸셔 가이드(2123)를 통해 제2 개방기 프레임(2120)에 지지될 수 있다. 푸셔(2300)는 일방향의 일측으로 이동함으로써 지지부재(1300)를 일방향의 일측으로 밀어줄 수 있다.

푸셔(2300)는 푸셔 몸체(2310), 홀더 작용부(2320) 및 푸셔 슬라이딩부(2330)를 포함할 수 있다.

푸셔 몸체(2310)는 홀더 작용부(2320) 및 푸셔 슬라이딩부(2330)에 연결된 프레임일 수 있다. 이러한 푸셔 몸체(2310)는 타방향으로 연장하는 부분과, 그 양측에서 일방향으로 연장하는 부분을 포함할 수 있다. 예를 들어, 푸셔 몸체(2310)는 상측에서 보았을 때 ㄷ자 형상 또는 I형상을 가질 수 있다.

홀더 작용부(2320)는 홀더 모듈(100)의 지지부재(1300)에 맞닿는 부분이다. 이러한 홀더 작용부(2320)는 푸셔 몸체(2310)로부터 상측으로 돌출된 돌출부재일 수 있다. 또한, 홀더 작용부(2320) 중 홀더 모듈(100)에 대향하는 부분에는 홀더 모듈(100)과의 접촉에 따른 충격을 완화하기 위하여 고무, 실리콘 등의 완충부재가 제공될 수도 있다.

푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)를 따라 슬라이드 이동 가능하게 푸셔 가이드(2123)에 맞물릴 수 있다. 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)상에서 일방향을 따라 움직일 수 있다. 이러한 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 몸체(2310)의 양측에 구비될 수 있다. 푸셔 슬라이딩부(2330)는 푸셔 가이드(2123)와 동일한 개수로 제공될 수 있다.

구동기(2400)는 제2 개방기 프레임(2120) 및 푸셔(2300)가 움직이기 위한 구동력을 제공할 수 있다. 이러한 구동기(2400)는 프레임 구동기(2410) 및 푸셔 구동기(2420)를 포함할 수 있다.

프레임 구동기(2410)는 제2 개방기 프레임(2120)을 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 프레임 구동기 몸체(2411), 및 프레임 구동기 몸체(2411)에 연결되어 움직이는 프레임 구동기 작용부(2412)를 포함할 수 있다. 프레임 구동기 몸체(2411)는 제1 프레임 바디(2111)에 지지될 수 있으며, 프레임 구동기 작용부(2412)는 제2 프레임 바디(2121)에 연결될 수 있다. 프레임 구동기(2410)는 제1 개방기 프레임(2110)에 지지된 상태에서 제2 개방기 프레임(2120)에 힘을 가하여, 제1 개방기 프레임(2110)에 대해 제2 개방기 프레임(2120)을 이동시킬 수 있다. 이러한 프레임 구동기(2410)는 예를 들어 실린더, 모터 등일 수 있다.

푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)를 이동시키기 위한 구동력을 발생시키는 푸셔 구동기 몸체(2421), 및 푸셔 구동기 몸체(2421)에 연결되어 움직이는 푸셔 구동기 작용부(2422)를 포함할 수 있다. 푸셔 구동기 몸체(2421)는 제2 프레임 바디(2121)에 지지될 수 있으며, 푸셔 구동기 작용부(2422)는 푸셔(2300)에 연결될 수 있다. 푸셔 구동기(2420)는 제2 개방기 프레임(2220)에 지지된 상태에서 푸셔(2300)를 이동시킬 수 있다. 푸셔 구동기(2420)와 푸셔(2300)가 제2 개방기 프레임(2120)에 지지되어 있으므로, 제2 개방기 프레임(2120)가 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 이동하더라도 푸셔 구동기(2420)와 푸셔(2300) 간의 상대 위치가 유지될 수 있다. 이러한 프레임 구동기(2410)는 예를 들어 실린더, 모터 등일 수 있다.

이하에서는 도 2를 다시 참조하여, 홀더 스택커(300), 홀더 이송기(400) 및 제어부(미도시)를 설명한다.

홀더 스택커(300)는 복수 개의 홀더 모듈(100)을 수용할 수 있다. 홀더 스택커(300)는 수용부(310), 이송부(320) 및 고정부(330)를 포함할 수 있다. 수용부(310)는 복수 개의 홀더 모듈(100)이 적층되기 위한 공간을 제공할 수 있으며, 층상 구조를 가질 수 있다. 또한, 이송부(320)는 수용부(310)를 이송하기 위한 구동력을 제공하는 액추에이터 및 가이드 레일을 포함할 수 있다. 수용부(310)는 이송부(320)에 의해 홀더 개방기(200) 측으로 가까워지거나 멀어지도록 이송될 수 있다. 수용부(310)가 홀더 개방기(200)로부터 멀어진 상태에서 수용부(310)에 수용된 홀더 모듈(100)이 한꺼번에 교체될 수 있다. 고정부(330)는 수용부(310)가 이송부(320)상에서 움직이지 않도록 수용부(310)를 고정시킬 수 있다. 또한 고정부(330)는 수용부(310)가 소정의 위치에 도달하였는지를 파악하기 위한 센서를 포함할 수 있다.

홀더 모듈(100)을 파지하여 이송할 수 있다. 홀더 이송기(400)는 이를 위해 적어도 2개의 홀더 암(410)을 포함할 수 있다. 또한, 이러한 홀더 암(410)에는 홀더 프레임(1100)의 파지용 홀(1130)에 맞물리기 위한 돌기가 제공될 수 있다. 홀더 이송기(400)는 홀더 암(410)을 이송하기 위한 암 무버(420)를 더 포함할 수 있다. 홀더 암(410)은 암 무버(420)에 의해 홀더 모듈(100)을 파지한 상태에서 홀더 암(410)을 수직 방향으로 이송하거나 수평 방향으로 이송할 수 있다. 이러한 암 무버(420)는 종방향 액츄에이터 및/또는 횡방향 액츄에이터를 포함할 수 있으며, 상기 액츄에이터에 의한 이동을 안내하는 가이드 레일 등을 더 포함할 수 있다.

제어부(미도시)는 홀더 개방기(200), 홀더 스택커(300) 및 홀더 이송기(400)의 구동을 제어할 수 있다. 또한, 제어부는 운반 장치(50)의 구동도 제어할 수 있다. 이러한 제어부는 마이크로프로세서를 포함하는 연산 장치에 의해 구현될 수 있으며, 그 구현 방식은 당업자에게 자명한 사항이므로 더 이상의 자세한 설명을 생략한다.

이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여 상술한 바와 같은 구성을 갖는 픽커 팁 교환장치(20)의 작용 및 효과에 대하여 설명한다. 참고로, 도 7은 홀더 개방기(200)가 홀더 모듈(100)을 개방하는 과정을 나타내는 평면도이고, 도 8은 홀더 개방기(200)가 홀더 모듈(100)을 개방하는 과정을 나타내되, 홀더 모듈(100)의 도시를 생략(홀더 모듈(100)의 지지부재(1300)만 점선으로 표현)한 평면도이다.

먼저, 이송 설비(2) 및 픽커 팁 교환 장치(3)가 픽커 팁(56)이 체결되어 있지 않은 픽커 몸체(55)에 픽커 팁(56)을 체결시키는 과정을 설명한다.

먼저, 픽커 팁 교환 장치(3)의 홀더 이송기(400)가 홀더 스택커(300)에 수용된 홀더 모듈(100)을 파지하고, 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로부터 반출하여 홀더 개방기(200) 측으로 이송시킨다. 이러한 홀더 모듈(100)의 안착홀(1210)에는 픽커 팁(56)이 수용되어 있을 수 있다. 한편, 이송 설비(2)도 운반 장치(50)의 헤드(51)가 홀더 개방기(200) 측으로 이동하도록 구동된다.

도 7(a) 및 도 8(a)를 참조하면, 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 의해 홀더 개방기(200)를 향해 하강하고, 홀더 개방기(200)의 제2 개방기 프레임(2120)의 홀더 지지부(2121a)에 안착된다. 또한, 홀더 모듈(100)의 가장자리가 걸림쇠(2121b)에 걸림으로써 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다. 홀더 이송기(400)는 홀더 모듈(100)을 홀더 개방기(200)의 제2 개방기 프레임(2120)에 내려놓은 후 홀더 개방기(200)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.

도 7(b) 및 도 8(b)를 참조하면, 홀더 모듈(100)이 홀더 지지부(2121a)에 안착된 후, 프레임 구동기(2410)는 개방기 계합부(1120)가 홀더 고정부(2112)과 맞물리도록 제1 개방기 프레임(2110)에 대하여 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 일측으로 이동시킬 수 있다[도 4 및 도 5의 개방기 계합부(1120) 참조]. 제1 개방기 프레임(2110)에 지지되는 제2 개방기 프레임(2120) 및 이러한 제2 개방기 프레임(2120)에 안착된 홀더 모듈(100)은, 제1 개방기 프레임(2110)의 이동에 의해 일방향의 일측으로 이동될 수 있다. 홀더 모듈(100)의 개방기 계합부(1120)은 일방향의 일측으로 이동하여 홀더 고정부(2112)에 맞물린다. 이러한 홀더 고정부(2112)는 홀더 모듈(100)의 일방향의 일측에서 홀더 모듈(100)을 지지할 수 있다.

도 7(c) 및 도 8(c)를 참조하면, 홀더 모듈(100)이 홀더 고정부(2112)에 의해 고정되면, 푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)가 지지부재(1300)를 이동시키도록 제2 개방기 프레임(2120)에 대하여 푸셔(2300)를 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 푸셔 구동기(2420)는 푸셔(2300)를 일방향의 일측으로 이동시키고, 푸셔(2300)에 의해 지지부재(1300)도 일방향의 일측으로 이동하게 된다. 지지부재(1300)가 이동됨으로써 개폐부(1310)가 안착홀(1210)을 개방시킨다[도 4 및 도 5의 안착홀(1210) 참조].

한편, 홀더 모듈(100)이 홀더 고정부(2112)에 고정되면, 도 9에서와 같이 헤드(51)가 홀더 프레임(1100)의 안착홀(1210)에 수용된 픽커 팁(56)에 접근할 수 있다. 또한, 픽커 몸체(55)는 헤드(51)의 하강에 의해 픽커 팁(56)에 체결될 수 있다. 픽커 몸체(55)는 안착홀(1210)의 개방 전에 픽커 팁(56)에 결합되는 것도 가능하지만, 안착홀(1210)의 개방 후에 픽커 팁(56)에 결합되는 것도 가능하다. 픽커 팁(56)이 픽커 몸체(55)에 체결되면, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)로부터 이탈할 수 있도록, 안착홀(1210)이 개방된 방향으로 헤드(51)가 이동하게 된다. 따라서, 안착홀(1210)이 일방향의 일측을 향해 개방된 경우, 픽커 팁(56)은 도 9의 화살표와 같이 안착홀(1210)에서 이탈하도록 헤드(51)가 일방향의 일측을 향해 이동할 수 있다. 또한, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에서 이탈하면 헤드(51)는 승강함으로써 홀더 모듈(100)로부터 멀어지도록 이동할 수 있다.

도 7(d) 및 도 8(d)를 다시 참조하면, 픽커 팁(56)이 홀더 모듈(100)로부터 빠져나간 후, 푸셔 구동기(2420)는 일방향의 타측을 향해 이동하고, 지지부재(1300)는 홀더 모듈(100)의 탄성부재(1400)에 의해 이동되고 안착홀(1210)을 폐쇄할 수 있다. 한편, 푸셔(2300)는 푸셔 구동기(2420)로부터 힘을 받아 일방향의 타측으로 이동할 수 있고, 탄성부재(1400)의 탄성력에 의해 밀리는 지지부재(1300)로부터 힘을 받아 일방향의 타측으로 이동할 수도 있다.

또한, 푸셔 구동기(2420)에 의해 푸셔(2300)가 일방향의 타측으로 이동하면, 프레임 구동기(2410)가 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112) 간의 맞물림이 해제되도록 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 타측으로 이동시킬 수 있다. 다시 말해, 프레임 구동기(2410)는 제1 개방기 프레임(2110)을 일방향의 타측으로 이동시키고, 제1 개방기 프레임(2110)에 지지되는 제2 개방기 프레임(2120) 및 이러한 제2 개방기 프레임(2120)에 안착된 홀더 모듈(100)은 제1 개방기 프레임(2110)의 이동에 의해 일방향의 타측으로 이동될 수 있다. 이후, 홀더 이송기(400)가 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로 이송시킬 수 있다.

이상에서는 이송 설비(2)와 픽커 팁 교환 장치(3)는 픽커 몸체(55)에 픽커 팁(56)을 체결하는 과정을 설명하였다. 한편, 이송 설비(2)와 픽커 팁 교환 장치(3)는 픽커 몸체(55)에 체결된 픽커 팁(56)을 탈거하도록 구동될 수도 있다. 픽커 팁(56)을 탈거하는 과정에서의 픽커 팁 교환 장치(3)의 구동은 앞서 서술한 픽커 팁(56)을 체결하는 과정에서의 구동과 유사하다.

다시 말해, 홀더 스택커(300)에는 에는 픽커 팁(56)이 수용되지 않는 비어있는 홀더 모듈(100)이 수용될 수 있다. 픽커 팁 교환 장치(3)의 홀더 이송기(400)는 비어있는 상태로 홀더 스택커(300)에 수용된 홀더 모듈(100)을 파지하고, 이를 홀더 스택커(300)로부터 반출하여 홀더 개방기(200) 측으로 이송시킨다. 홀더 모듈(100)은 홀더 이송기(400)에 의해 홀더 개방기(200)에 안착된다.

이후, 프레임 구동기(2410)에 의해 홀더 모듈(100)이 홀더 개방기(200)에 고정되고, 푸셔 구동기(2420)에 의해 지지부재(1300)가 안착홀(1210)을 개방시킨다. 안착홀(1210)이 개방되면 헤드(51)의 하강(도 3 내지 도 9의 Z2 방향으로의 이동)에 의해 픽커 팁(56)이 체결된 픽커 몸체(55)는 안착홀(1210)의 일방향의 일측에 위치하도록 하강한다. 이후, 헤드(51)가 일방향의 타측으로 이동함으로써 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 체결된다. 이러한 픽커 몸체(55)의 이동은 도 9의 화살표의 반대 방향으로의 이동일 수 있다.

한편, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 삽입되면 지지부재(1300)가 안착홀(1210)을 폐쇄하도록 푸셔 구동기(2420)가 구동된다. 또한, 픽커 팁(56)이 안착홀(1210)에 맞물린 상태에서 헤드(51)가 승강함으로써, 픽커 몸체(55)로부터 픽커 팁(56)이 탈거되게 된다.

픽커 팁(56)이 탈거된 후, 프레임 구동기(2410)가 개방기 계합부(1120)와 홀더 고정부(2112) 간의 맞물림이 해제되도록 제2 개방기 프레임(2120)을 일방향의 타측으로 이동시킬 수 있다. 또한, 홀더 이송기(400)가 홀더 모듈(100)을 홀더 스택커(300)로 이송시킬 수 있다.

한편, 제어부는 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)에 장착되게 하거나, 픽커 팁(56)을 픽커 몸체(55)로부터 탈거하기 위하여, 이송 설비(2) 및 픽커 팁 교환 장치(3)의 일련의 구동을 제어할 수 있다.

이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.

1: 핸들러 2: 이송 설비
3: 픽커 팁 교환 장치 10: 로딩 장치
20: 온도 조절부 30: 테스트 장치
40: 언로딩 장치 50: 운반 장치
51: 헤드 52: 종방향 이송기
53: 횡방향 이송기 54: 픽커
55: 픽커 몸체 56: 픽커 팁
100: 홀더 모듈 200: 홀더 개방기
300: 홀더 스택커 310: 수용부
320: 이송부 330: 고정부
400: 홀더 이송기 410: 홀더 암
420: 암 무버 1100: 홀더 프레임
1110: 프레임 홀 1120: 개방기 계합부
1130: 파지용 홀 1140: 지지부재 가이드
1200: 안착부 1210: 안착홀
1300: 지지부재 1310: 개폐부
1320: 지지부재 슬라이딩부 1330: 푸셔 대응부
1400: 탄성부재 2100: 개방기 프레임부
2110: 제1 개방기 프레임 2111: 제1 프레임 바디
2112: 홀더 고정부 2114: 프레임 가이드
2120: 제2 개방기 프레임 2121: 제2 프레임 바디
2121a: 홀더 지지부 2121b: 걸림쇠
2122: 프레임 슬라이딩부 2123: 푸셔 가이드
2300: 푸셔 2310: 푸셔 몸체
2320: 홀더 작용부 2330: 푸셔 슬라이딩부
2400: 구동기 2410: 프레임 구동기
2411: 프레임 구동기 몸체 2412: 프레임 구동기 작용부
2420: 푸셔 구동기 2421: 푸셔 구동기 몸체
2422: 푸셔 구동기 작용부

Claims

발명의 설명에 기재된 홀더 개방기.