KR20230102113A - Transferring apparatus - Google Patents

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KR20230102113A KR1020210191996A KR20210191996A KR20230102113A KR 20230102113 A KR20230102113 A KR 20230102113A KR 1020210191996 A KR1020210191996 A KR 1020210191996A KR 20210191996 A KR20210191996 A KR 20210191996A KR 20230102113 A KR20230102113 A KR 20230102113A
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최중길
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세메스 주식회사
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Abstract

이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 것으로써, 상기 물품의 이송시 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부, 및 상기 물품의 이송시 상기 물품 이송부와 주고받는 상기 물품을 임시 보관할 수 있게 상기 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부를 포함하도록 이루어질 수 있고, 특히 상기 임시 보관부는 상기 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 상기 적어도 2열 구조 내에서 상기 물품을 운반시키도록 구비되는 운반부를 더 포함할 수 있다.The conveying device is for transporting an article used in manufacturing an integrated circuit device, and includes an article conveying unit provided to travel along the ceiling of the manufacturing line of the integrated circuit device when the article is transferred, and the article when the article is conveyed. It may be made to include a temporary storage unit provided to be located on one side and/or the other side of the product transfer unit travel direction so as to temporarily store the goods exchanged with the transfer unit. It may be provided to have at least a two-column structure extending along the at least two-column structure, and may further include a carrying unit provided to transport the article within the at least two-column structure.

Description

이송 장치{TRANSFERRING APPARATUS}Transfer device {TRANSFERRING APPARATUS}

본 발명은 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품을 이송하기 위한 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a transport device. More specifically, the present invention relates to a conveying device for conveying articles for use in the manufacture of integrated circuit devices.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품, 즉 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 적재하는 풉(FOUP) 등과 같은 물품에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있는데, 최근에는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등과 같은 이송 장치를 사용하고 있다.In the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices, there is a frequent transfer process for articles used in the manufacture of integrated circuit devices, that is, articles such as FOUPs that stack a large number of substrates for manufacturing integrated circuit devices. However, recently, a transfer device such as an overhaed hoist transport (OHT) provided on the ceiling side of an integrated circuit device manufacturing line is used.

OHT 등과 같은 이송 장치는 주로 천장에 위치하는 주행 레일을 따라 주행하는 주행 대차로 이루어지는 물품 이송부를 포함함과 아울러 집적회로 소자의 제조 장치와 주고받는 물품을 보관하는 보관부 등을 포함할 수 있다.A transfer device such as an OHT may include a product transfer unit composed of a traveling cart that travels along a travel rail located on the ceiling, and may include a storage unit for storing items exchanged with an integrated circuit device manufacturing device.

보관부는 집적회로 소자의 제조 라인의 다양한 장소에 위치하도록 구비될 수 있는 것으로써, 예를 들면 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부(STB : Side Track Buffer) 등이 있다.The storage unit may be provided to be located in various places of the manufacturing line of the integrated circuit device, for example, a temporary storage unit (STB: Side Track) provided to be located on one side or / and the other side based on the running direction of the product transfer unit. Buffer), etc.

그런데 종래의 임시 보관부는 물품을 임시 보관하는 공간이 상대적으로 협소하다는 문제점이 있다.However, the conventional temporary storage unit has a problem in that the space for temporarily storing items is relatively narrow.

한국등록특허 10-2206058호Korean Patent Registration No. 10-2206058

본 발명의 일 목적은 집적회로 소자의 제조에서 물품의 이송시 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부의 물품 적재 공간을 상대적으로 넓게 확보할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 있다.One object of the present invention is a temporary storage provided to be located on one side or / and the other side with respect to the running direction of an article transfer unit provided to travel along the ceiling of the manufacturing line of the integrated circuit device during the transfer of the product in the manufacture of the integrated circuit device. An object of the present invention is to provide a transfer device capable of securing a relatively wide loading space for goods in the unit.

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 것으로써, 상기 물품의 이송시 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부, 및 상기 물품의 이송시 상기 물품 이송부와 주고받는 상기 물품을 임시 보관할 수 있게 상기 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부를 포함하도록 이루어질 수 있고, 특히 상기 임시 보관부는 상기 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 상기 적어도 2열 구조 내에서 상기 물품을 운반시키도록 구비되는 운반부를 더 포함할 수 있다.A transfer device according to exemplary embodiments of the present invention for achieving the above object is for transferring an article used in the manufacture of an integrated circuit device, and when the article is transferred, the ceiling of the manufacturing line of the integrated circuit device An article transport unit provided to travel along the transport unit, and a temporary storage unit provided to be located on one side or/and the other side of the travel direction of the product transport unit so as to temporarily store the goods exchanged with the product transport unit during transport of the goods. In particular, the temporary storage unit may be provided to have at least a two-column structure extending along one side or/and the other side, and a carrying unit provided to transport the product within the at least two-column structure. can include more.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the at least two-column structure of the temporary storage unit may be provided to have a structure capable of being separated and combined.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 서로 다른 높이를 갖도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the at least two-row structure of the temporary storage unit may have different heights.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 가질 수 있게 상기 적어도 2열 구조에서의 상부가 상기 천정에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되도록 설치할 수 있다.In example embodiments, the upper portion of the at least two-column structure may be disposed to have substantially the same height as the ceiling so that the lower portion of the at least two-column structure may have a stepped structure of at least two stages.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 운반부는 전진 및 후진이 가능하도록 구비됨과 아울러 상기 물품을 지지할 수 있는 블레이드 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the carrying unit may be provided to have a blade structure capable of supporting the article as well as being provided to enable forward and backward movement.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 임시 보관부의 물품 적재 공간을 상대적으로 넓게 확보함으로써 한 번에 보다 많은 물품을 임시 보관할 수 있기 때문에 물품의 이송시 소요되는 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 것이다.The transfer device according to exemplary embodiments of the present invention can sufficiently shorten the time required for transferring the items because more items can be temporarily stored at a time by securing a relatively wide space for loading items in the temporary storage unit. There will be.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 물품의 이송에 따른 소요 시간을 충분하게 단축시킬 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Therefore, since the transfer device according to exemplary embodiments of the present invention can sufficiently reduce the time required for transferring an article, productivity improvement according to the manufacturing of an integrated circuit device can be expected.

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the tasks and effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram for explaining a transfer device according to exemplary embodiments of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be applied with various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numbers have been used for like elements in describing each figure. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "consisting of" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.And with reference to the accompanying drawings will be described in more detail exemplary embodiments. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and redundant descriptions of the same components are omitted.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram for explaining a transfer device according to exemplary embodiments of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품(13)을 이송하는 이송 공정의 수행시 집접회로 소자의 제조 장치로 이송이 이루어지는 물품(13)을 임시 보관하는데 사용하기 위한 것으로써, 물품 이송부(15), 임시 보관부(21) 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 1 , a transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention performs a transfer process of transferring an article 13 for use in manufacturing an integrated circuit device such as a semiconductor device or a display device. It is used to temporarily store the article 13 transferred to the integrated circuit device manufacturing device, and may have a structure including an article transfer unit 15 and a temporary storage unit 21.

먼저, 집적회로 소자의 제조 장치는 노광 장치, 코팅 장치, 현상 장치, 박막 형성 장치, 식각 장치 등일 수 있고, 집적회로 소자의 제조 라인의 정해진 위치에 다수개가 배열되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 아울러 공정 진행 순서에 따라 서로 이웃하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.First, the integrated circuit device manufacturing device may be an exposure device, a coating device, a developing device, a thin film forming device, an etching device, and the like, and may be provided to have a structure in which a plurality of devices are arranged at a predetermined position in an integrated circuit device manufacturing line, In addition, it may be provided to have a structure that is disposed next to each other according to the process progress order.

이에, 집적회로 소자의 제조 장치에서의 물품(13) 이송을 위하여 이송 장치(100)가 집적회로 소자의 제조 라인의 다양한 장소에 위치하도록 구비될 수 있고, 또한 집적회로 소자의 제조 라인에는 제조 장치와 이송 장치(100) 사이에서의 이송이 이루어지는 물품(13)을 보관하기 위한 스토커(stocker) 등과 같은 보관부 등이 위치하도록 구비될 수 있다.Therefore, in order to transfer the article 13 in the manufacturing device of the integrated circuit device, the conveying device 100 may be provided to be located in various places of the manufacturing line of the integrated circuit device, and also the manufacturing device in the manufacturing line of the integrated circuit device. A storage unit such as a stocker or the like for storing the goods 13 to be transported between the and the transfer device 100 may be provided to be located.

집적회로 소자의 제조에서 이송되는 물품(13)의 예로서는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 적재하는 풉(FOUP), 집적회로 소자의 제조에 사용되는 레티클을 다수매 적재하는 컨테이너 등일 수 있다.An example of the article 13 transported in the manufacture of an integrated circuit device may be a FOUP for loading a plurality of substrates for manufacturing an integrated circuit device, a container for loading a plurality of reticles used in the manufacture of an integrated circuit device, and the like. .

언급한 바와 같이, 이송 장치(100)는 집적회로 소자의 제조 라인의 다양한 장소에 위치하도록 구비될 수 있는데, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 위치하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.As mentioned, the transfer device 100 may be provided to be located at various places in the manufacturing line of the integrated circuit device, the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention is the manufacturing line of the integrated circuit device It may be provided to have a structure located on the ceiling side of the.

구체적으로, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 천장에 위치하는 주행 레일(19)과 주행 레일(19)을 따라 주행하는 주행 대차(17)로 이루어지는 물품 이송부(15)를 포함함과 아울러 물품 이송부(15)를 사용한 물품(13)의 이송시 물품(13)을 임시 보관하는 임시 보관부(21)를 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 특히 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)는 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 버퍼 부재(STB : Side Track Buffer)일 수 있다.Specifically, the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention includes a product transfer unit 15 composed of a travel rail 19 located on the ceiling and a travel cart 17 traveling along the travel rail 19 In addition, it may be provided to have a structure including a temporary storage unit 21 for temporarily storing the item 13 when the item 13 is transferred using the item transfer unit 15, and is particularly exemplary of the present invention. The temporary storage unit 21 in the transfer device 100 according to the embodiments is a buffer member (STB: Side Track Buffer) provided to be located on one side or / and the other side with respect to the driving direction of the article transfer unit 15 can

다만, 본 발명의 예시시적인 실시예들에서는 임시 보관부(21)를 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 일측에만 위치하도록 구비하지만, 이와 달리 임시 보관부(21)를 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 타측에만 위치하도록 구비하거나, 임시 보관부(21)를 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 양측 모두에 위치하도록 구비할 수 있다.However, in exemplary embodiments of the present invention, the temporary storage unit 21 is provided to be located on only one side of the goods transport unit 15 based on the running direction, but unlike this, the temporary storage unit 21 is provided to the product transport unit 15 It may be provided to be located only on the other side based on the traveling direction of the product, or the temporary storage unit 21 may be provided to be located on both sides based on the traveling direction of the article transfer unit 15.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)를 사용하는 물품(13)의 이송시에는 물품 이송부(15)와 주고받는 물품(13)을 임시 보관부(21)에 임시 보관할 수 있는 것으로써, 물품 이송부(15)와 물품(13)을 주고받을 수 있도록 이루어질 수 있을 뿐만 아니라 임시 보관부(21)에 임시 보관 중에 있는 물품(13)을 승강 부재 등을 사용하여 제조 장치와도 주고받을 수 있도록 이루어질 수 있을 것이다.When the goods 13 are transferred using the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the goods 13 exchanged with the goods transfer unit 15 can be temporarily stored in the temporary storage unit 21. As a result, not only can the product transfer unit 15 and the product 13 be exchanged, but also the product 13 temporarily stored in the temporary storage unit 21 can be exchanged with the manufacturing device using an elevating member or the like. It can be done so that you can receive it.

이에, 임시 보관부(21)에서의 물품(13)을 임시 보관하는 공간을 상대적으로 넓게 확보하는 것이 물품(13)의 이송에 따른 이송 공정에 보다 유리할 수 있을 것이다.Accordingly, securing a relatively wide space for temporarily storing the goods 13 in the temporary storage unit 21 may be more advantageous in the transfer process according to the transportation of the goods 13 .

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서는 임시 보관부(21)를 종래의 단일 구조를 갖도록 구비되는 것과는 달리 적어도 2열 구조를 갖도록 구비할 수 있다.Therefore, in the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the temporary storage unit 21 may have at least a two-column structure, unlike a conventional single structure.

구체적으로, 본 발명의 예시적인 실시예들에서의 임시 보관부(21)는 물품 이송부(15)의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 즉 주행 대차(17)의 주행 방향(x 방향)을 기준으로 이와 수직하는 일측 방향(+y 방향) 또는/및 타측 방향(-y 방향)을 따라 적어도 두 개가 배열되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.Specifically, the temporary storage unit 21 in exemplary embodiments of the present invention may be provided to have at least a two-column structure extending along one side or / and the other side based on the running direction of the article transfer unit 15 That is, it is provided to have a structure in which at least two are arranged along one direction (+y direction) or / and the other direction (-y direction) perpendicular to the traveling direction (x direction) of the traveling cart 17. It can be.

본 발명에 따르면, 주행 대차(17)의 주행 방향을 기준으로 이와 수직하는 일측 방향을 따라 제1 임시 보관부(23) 그리고 제1 임시 보관부(23)로부터 연장되는 제2 임시 보관부(25)가 배열되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.According to the present invention, the first temporary storage unit 23 and the second temporary storage unit 25 extending from the first temporary storage unit 23 along one direction perpendicular to the driving direction of the traveling cart 17. ) may be provided to have a structure in which they are arranged.

다만, 본 발명에서는 주행 대차(17)의 주행 방향을 기준으로 일측 방향을 따라 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)가 배열되는 구조에 대하여 설명하고 있지만, 언급한 일측 방향 또는/및 타측 방향을 따라 적어도 2열로 배열되는 구조를 갖도록 구비될 경우에는 그 개수에 한정되지 않을 것이다.However, in the present invention, the structure in which the first temporary storage unit 23 and the second temporary storage unit 25 are arranged along one direction based on the traveling direction of the traveling cart 17 is described, but the mentioned one side When provided to have a structure arranged in at least two rows along one direction or/and the other direction, the number will not be limited.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 임시 보관부(21)에서의 2열 구조는 서로 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 예를 들면 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)를 서로 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 더욱이 제1 임시 보관부(23)를 기본으로 제2 내지 제n 임시 보관부(n은 3이상의 자연수)까지 분리 및 결합시키도록 구비될 수 있을 것이다.And the two-column structure in the temporary storage unit 21 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided to have a structure that can be separated and combined with each other, for example, the first temporary storage unit 23 and It can be provided to have a structure capable of separating and coupling the second temporary storage unit 25 to each other, and furthermore, based on the first temporary storage unit 23, the second to nth temporary storage units (n is 3 It may be provided to separate and combine up to natural numbers above).

이와 같이, 적어도 2열 구조의 임시 보관부(21)를 서로 분리 및 결합시키도록 구비하는 것은 원하는 만큼의 물품(13)을 적재할 수 있는 적재 공간을 용이하게 확보하기 위함이다.In this way, providing the at least two-column temporary storage unit 21 to be separated and combined with each other is to easily secure a loading space in which a desired number of articles 13 can be loaded.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 임시 보관부(21)가 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 임시 보관부(21) 내에서의 물품(13)을 운반시킬 수 있는 부재인 운반부(27)를 더 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the transport device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, since the temporary storage unit 21 may be provided to have a two-row structure, the article 13 in the temporary storage unit 21 may be transported. It may be provided to have a structure further including a carrying unit 27, which is a member therein.

본 발명에서의 운반부(27)는 전진 및 후진이 가능하도록 구비됨과 아울러 물품 이송부(15)와 주고받는 물품(13)을 지지할 수 있는 블레이드 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the present invention, the transport unit 27 may be provided to move forward and backward, and may have a blade structure capable of supporting the transport unit 15 and the transport unit 15 .

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)의 적어도 2열 구조는 서로 다른 높이를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 천정(11)에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되게 설치될 수 있다.At least two rows of structures of the temporary storage unit 21 in the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided to have different heights, and have approximately the same height as the ceiling 11. It can be installed so that it is arranged to have.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)는 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 가질 수 있도록 구비될 수 있다.Accordingly, the temporary storage unit 21 in the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided so that the lower portion of the at least two-row structure may have a stepped structure of at least two stages.

예들 들면, 제1 임시 보관부(23)보다 제2 임시 보관부(25)가 더 높은 길이를 갖도록 구비함과 아울러 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)를 천정(11)에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되게 설치함으로써 제1 임시 보관부(23) 및 제2 임시 보관부(25)의 하부가 2단의 단차 구조를 갖도록 할 수 있는 것이다.For example, the second temporary storage unit 25 is provided to have a longer length than the first temporary storage unit 23, and the first temporary storage unit 23 and the second temporary storage unit 25 are installed on the ceiling ( 11), the lower portions of the first temporary storage unit 23 and the second temporary storage unit 25 can have a two-stage stepped structure.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)를 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 갖도록 구비하는 것은 운반부(27)의 전진 및 후진에 따른 움직임을 보다 용이하게 확보하기 위함이다.In this way, providing the temporary storage unit 21 in the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention to have a stepped structure of at least two stages in the lower part of the at least two-row structure is the transport unit 27 ) is to more easily secure the movement according to the forward and backward movement of the

그리고 본 발명에 따르면 임시 보관부(21)를 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 갖도록 구비함으로써 운반부(27) 또한 승강 및 하강하는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.And according to the present invention, by providing the temporary storage unit 21 so that the lower part of the at least two-row structure has a stepped structure of at least two stages, the transport unit 27 may also be provided to have a structure that ascends and descends.

이와 달리, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)에서의 임시 보관부(21)에는 물품(13)이 놓이는 선반(29)이 구비될 수 있는데, 선반(29)을 승강 및 하강하는 구조를 갖도록 구비함에 의해서도 적어도 2단의 단차 구조를 갖도록 구비되는 임시 보관부(21)에서의 물품(13)의 운반을 달성할 수 있을 것이다.Unlike this, the temporary storage unit 21 in the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided with a shelf 29 on which the article 13 is placed, and the shelf 29 can be moved up and down. Even by having a descending structure, it is possible to achieve transport of the article 13 in the temporary storage unit 21 provided to have a stepped structure of at least two stages.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)를 사용하는 물품(13)의 이송에 대한 예를 들면, 물품 이송부(15)로부터 임시 보관부(21)로 물품(13)을 받아서 먼저 1열의 제1 임시 보관부(23)를 거쳐 2열의 제2 임시 보관부(25)에 임시 보관시킴과 아울러 다시 물품 이송부(15)로부터 임시 보관부(21)로 물품(13)을 받아서 1열의 제1 임시 보관부(23)에 임시 보관시킬 수 있을 것이다.For example, for the transfer of the article 13 using the transfer device 100 according to the exemplary embodiments of the present invention, first receive the article 13 from the article transfer unit 15 to the temporary storage unit 21 Temporarily stored in the second temporary storage section 25 in the second row via the first temporary storage section 23 in the first row, and also receiving the article 13 from the article conveyance section 15 to the temporary storage section 21 again, It may be temporarily stored in the first temporary storage unit 23 .

그리고 임시 보관부(21)에 1열의 제1 임시 보관부(23)에 임시 보관되는 물품(13)을 물품 이송부(15)로 전달함과 아울러 다시 2 열의 제2 임시 보관부(25)에 임시 보관되는 물품(13)을 1열의 제1 임시 보관부(23)를 거쳐 물품 이송부(15)로 전달할 수 있을 것이다.In the temporary storage unit 21, the goods 13 temporarily stored in the first temporary storage unit 23 in row 1 are transferred to the article transfer unit 15 and temporarily stored in the second temporary storage unit 25 in the second row. The stored goods 13 may be delivered to the goods transfer unit 15 via the first temporary storage unit 23 in one row.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 임시 보관부(21)의 물품(13) 적재 공간을 상대적으로 넓게 확보함으로써 한 번에 보다 많은 물품(13)을 임시 보관하거나 또는 주고받을 수 있기 때문에 물품(13)의 이송시 소요되는 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 것이고, 이에 물품(13)의 이송에 따른 소요 시간을 충분하게 단축시킬 수 있을 것이다.As such, the transfer device 100 according to exemplary embodiments of the present invention temporarily stores more items 13 at a time by securing a relatively wide loading space for the items 13 of the temporary storage unit 21. Since the transfer of the product 13 is possible, the time required for transporting the product 13 can be sufficiently reduced, and thus the time required for the transport of the product 13 can be sufficiently reduced.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 물품을 이송하는 이송 공정에 사용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Since the transfer device according to exemplary embodiments of the present invention can be used in a transfer process for transferring an article such as a foo that accommodates a plurality of substrates for manufacturing integrated circuit devices, integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices will be more actively applied to the manufacture of

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

11 : 천정
13 : 물품
15 : 물품 이송부
21 : 임시 보관부
27 : 운반부
100 : 이송 장치11: ceiling
13: Goods
15: article transfer unit
21: temporary storage unit
27: transport unit
100: transfer device

Claims (5)

집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 이송 장치에 있어서,
상기 물품의 이송시 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천정을 따라 주행하도록 구비되는 물품 이송부; 및
상기 물품의 이송시 상기 물품 이송부와 주고받는 상기 물품을 임시 보관할 수 있게 상기 물품 이송부의 주행 방향을 기준으로 일측 또는/및 타측에 위치하도록 구비되는 임시 보관부를 포함하되,
상기 임시 보관부는 상기 일측 또는/및 타측을 따라 연장되는 적어도 2열 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 상기 적어도 2열 구조 내에서 상기 물품을 운반시키도록 구비되는 운반부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.A conveying device for conveying an article used in the manufacture of an integrated circuit device, comprising:
an article transfer unit provided to travel along the ceiling of the production line of the integrated circuit device when the article is transferred; and
Including a temporary storage unit provided to be located on one side or / and the other side based on the running direction of the product transport unit to temporarily store the product exchanged with the product transport unit when the product is transported,
The temporary storage unit may be provided to have at least a two-column structure extending along one side or / and the other side, and further comprising a carrying unit provided to transport the article within the at least two-column structure. transfer device. 제1 항에 있어서,
상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 분리 및 결합시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1,
Transfer device, characterized in that the at least two-column structure of the temporary storage unit is provided to have a structure that can be separated and combined. 제1 항에 있어서,
상기 임시 보관부의 적어도 2열 구조는 서로 다른 높이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1,
Transfer device, characterized in that the at least two-row structure of the temporary storage unit is provided to have different heights. 제3 항에 있어서,
상기 적어도 2열 구조에서의 하부가 적어도 2단의 단차 구조를 가질 수 있게 상기 적어도 2열 구조에서의 상부가 상기 천정에 대략 동일한 높이를 갖도록 배치되도록 설치하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 3,
The transfer device according to claim 1 , wherein the upper portion of the at least two-column structure is disposed to have substantially the same height as the ceiling so that the lower portion of the at least two-column structure has a stepped structure of at least two stages. 제1 항에 있어서,
상기 운반부는 전진 및 후진이 가능하도록 구비됨과 아울러 상기 물품을 지지할 수 있는 블레이드 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1,
The conveying device, characterized in that provided to have a blade structure capable of supporting the article as well as being provided to be able to move forward and backward.
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