KR20230102066A - 이송 대차 시스템 및 그 구동방법 - Google Patents

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Abstract

이적재 위치가 변경되더라도 티칭 작업을 용이하게 할 수 있는 이송 대차 시스템이 제공된다. 상기 이송 대차 시스템은 레일 장치와, 상기 레일 장치를 따라 이동하는 이송 대차와, 상기 이송 대차를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 이송 대차 시스템로서, 상기 레일 장치는, 일방향으로 연장된 제1 주행레일과, 상기 제1 주행레일에서 분기된 제2 주행레일과, 상기 제1 주행레일에 설치된 제1 스케일과, 상기 제2 주행레일에 설치된 제2 스케일을 포함하는 스케일과, 상기 제1 주행레일과 상기 제2 주행레일의 연결부에 설치된 제1 태그를 포함하는 레일 장치를 포함하고, 상기 이송 대차는 기판이 수납된 용기를 운반할 수 있는 바디와, 상기 바디에 설치되고, 상기 스케일을 리드하는 스케일 리더와, 상기 바디에 설치되고, 상기 제1 태그를 리드하는 태그 리더를 포함한다.

Description

이송 대차 시스템 및 그 구동방법{Transfer vehicle system and operating system thereof}
본 발명은 이송 대차 시스템 및 그 구동방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서, 기판은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 무인 운반 시스템은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 주행레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 대차(예를 들어, OHT(Overhead Hoist Transport), RGV(Rail Guided Vehicle) 등)를 포함할 수 있다. 이송 대차의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.
한편, 종래에는 이송 대차의 동작 제어와 관련하여, 주행레일에 다수의 태그가 설치될 수 있다. 예를 들어, 이송 대차가 용기(예를 들어, FOUP(Front　Opening Unified Pod))를 이적재하기 위한 주행레일 상의 위치에, 태그를 설치한다. 그런데, 이러한 이적재 위치가 변경되면, 작업자는 새롭게 태그를 설치해야 하고, 태그와 포트의 위치를 맞추는 티칭 작업도 새롭게 해야 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이적재 위치가 변경되더라도 티칭 작업을 용이하게 할 수 있는 이송 대차 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 이적재 위치가 변경되더라도 티칭 작업을 용이하게 할 수 있는 이송 대차 시스템의 구동 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 이송 대차 시스템의 일 면(aspect)은, 레일 장치와, 상기 레일 장치를 따라 이동하는 이송 대차와, 상기 이송 대차를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 이송 대차 시스템으로서, 상기 레일 장치는, 일방향으로 연장된 제1 주행레일과, 상기 제1 주행레일에서 분기된 제2 주행레일과, 상기 제1 주행레일에 설치된 제1 스케일과, 상기 제2 주행레일에 설치된 제2 스케일을 포함하는 스케일과, 상기 제1 주행레일과 상기 제2 주행레일의 연결부에 설치된 제1 태그를 포함하는 레일 장치를 포함하고, 상기 이송 대차는 기판이 수납된 용기를 운반할 수 있는 바디와, 상기 바디에 설치되고, 상기 스케일을 리드하는 스케일 리더와, 상기 바디에 설치되고, 상기 제1 태그를 리드하는 태그 리더를 포함한다.
상기 컨트롤러는 상기 스케일 리더에 의해서 리드된 스케일의 위치값을 기초로, 상기 이송 대차의 위치를 확인한다.
상기 이송 대차는 상기 제1 주행레일에서 상기 제2 주행레일을 따라 이동하고, 상기 컨트롤러는 상기 태그 리더와 통신한 제1 태그의 위치값을, 기준위치로 하고, 상기 스케일 리더에 의해서 리드된 제2 스케일의 위치값을 이동거리로 하여, 상기 기준위치와 상기 이동거리를 이용하여, 상기 이송 대차가 상기 제2 주행레일의 어디까지 이동하였는지를 확인한다.
상기 레일 장치는, 상기 제2 주행레일이 합류되는 제3 주행레일을 더 포함하고, 상기 제2 주행레일과 상기 제3 주행레일의 연결부에 설치된 제2 태그를 더 포함한다.
상기 컨트롤러는 이송 대차의 휠 모터 엔코드 값과, 상기 스케일의 위치값을 비교하여, 상기 이송 대차의 휠의 마모도를 확인한다.
상기 제1 주행레일은 제1 위치와 제2 위치를 포함하고, 상기 제1 위치와 제2 위치 각각은 상기 제1 스케일에서 제1 위치값과 제2 위치값에 대응되고, 상기 이송 대차의 이적재 위치가, 상기 제1 주행레일의 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동되면, 상기 컨트롤러는, 상기 이송 대차의 이적재 위치를, 상기 제1 위치값에서 상기 제2 위치값으로 변경하여 저장유닛에 저장한다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 이송 대차 시스템의 구동 방법의 일 면은, 레일 장치, 이송 대차 및 컨트롤러를 포함하는 이송 대차 시스템이 제공되되, 상기 레일 장치는 제1 주행레일과, 상기 제1 주행레일에서 분기된 제2 주행레일과, 상기 제1 주행레일에 설치된 제1 스케일과, 상기 제2 주행레일에 설치된 제2 스케일을 포함하는 스케일과, 상기 제1 주행레일과 상기 제2 주행레일의 연결부에 설치된 제1 태그를 포함하고, 상기 이송 대차는 기판이 수납된 용기를 운반할 수 있는 바디와, 상기 바디에 설치되고, 상기 제1 스케일을 리드하는 스케일 리더와, 상기 바디에 설치되고, 상기 제1 태그를 리드하는 태그 리더를 포함하고, 상기 태그 리더와 통신한 제1 태그의 위치값을 기준위치로 하고, 상기 스케일 리더에 의해서 리드된 제2 스케일의 위치값을 이동거리로 하여, 상기 기준위치와 상기 이동거리를 이용하여, 상기 이송 대차의 상기 제2 주행레일에서의 위치를 확인하는 것을 포함한다.
상기 이송 대차의 휠 모터 엔코드 값과, 상기 스케일의 위치값을 비교하여, 상기 이송 대차의 휠의 마모도를 확인하는 것을 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템을 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 대차를 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템을 설명하기 위한 개념도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템을 설명하기 위한 개념도이다. 도 2는 도 1에 도시된 이송 대차를 설명하기 위한 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템(1)은 레일 장치(90), 이송 대차(200), 컨트롤러(300) 및 메모리(310)를 포함한다.
레일 장치(90)는 제1 주행레일(100), 제1 스케일(120) 및 제1 태그(150)를 포함한다.
제1 주행레일(100)은 일 방향으로 길게 연장될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
제1 스케일(120)은 제1 주행레일(100)에 설치되고, 제1 주행레일(100)에서의 위치를 나타내기 위한 것이다.
도 1에서는, 제1 스케일(120)이 제1 주행레일(100)의 상측에 설치된 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 제1 스케일(120)은 제1 주행레일(100)의 측면, 하측 등에 설치될 수도 있고, 이송 대차(200)(즉, 스케일 리더(도 2의 210 참고))에 의해 제1 스케일(120)이 리드될 수 있는 위치라면 어디든 가능하다. 또한, 제1 스케일(120)에 숫자(0, 1, 2, …, 9)가 도시된 것으로 기재하였으나, 이는 이해를 쉽게 하기 위함이다.
제1 태그(150)는 예를 들어, 제1 스케일(120)의 일측(예를 들어, 하부)에 배치될 수 있다.
이송 대차(200)는 바디(209), 스케일 리더(210) 및 태그 리더(220)를 포함한다. 바디(209)에는 휠이 설치되고, 바디(209)는 휠을 이용하여 제1 주행레일(100)을 따라 이동한다. 바디(209)는 기판이 수납된 용기를 운반할 수 있다. 운반되는 용기는 예를 들어, FOUP(Front　Opening Unified Pod)을 포함한다.
스케일 리더(210)는 바디(209)에 설치되고, 제1 스케일(120)을 리드한다. 스케일 리더(210)는 제1 스케일(120)의 위치값(SV)을 제공받는다.
태그 리더(220)는 바디(209)에 설치되고, 제1 태그(150)를 리드한다. 태그 리더(220)는 제1 태그(150)와 통신하여, 제1 태그(150)로부터 데이터(TV)를 제공받는다. 데이터(TV)는 예를 들어, 제1 태그(150)의 ID 정보일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 메모리(310)에는 제1 태그(150)가 설치된 위치(즉, 위치값)가 저장되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템(1)의 동작을 설명하면, 이송 대차(200)가 제1 주행레일(100)을 따라, 예를 들어, 좌측에서 우측으로 이동한다고 가정한다.
이송 대차(200)가 제1 태그(150)가 설치된 위치를 지날 때 이송 대차(200)의 태그 리더(220)는 제1 태그(150)와 통신하여, 제1 태그(150)의 데이터(TV)를 제공받는다. 컨트롤러(300)는 데이터(TV)를 이용하여 메모리(310)로부터 제1 태그(150)가 설치된 위치를 제공받을 수 있다. 제1 태그(150)가 설치된 위치는 기준위치(즉, 시작위치)가 될 수 있다.
이송 대차(200)는 이동하면서, 이송 대차(200)의 스케일 리더(210)는 제1 스케일(120)의 위치값(SV)을 리드한다. 컨트롤러(300)는 스케일 리더(210)에 의해서 리드된 제1 스케일(120)의 위치값(SV)을 이동거리로 한다.
즉, 컨트롤러(300)는 기준위치(제1 태그(150)의 설치 위치)와 이동거리(제1 스케일(120)의 위치값(SV))를 이용하여, 이송 대차(200)의 제1 주행레일(100)에서의 위치를 확인할 수 있다. 예를 들어, 기준위치는 제1 주행레일(100) 상에서 위치 0이고, 제1 스케일 리더(210)에 의해서 리드된 위치값(SV)가 3이라면, 이송 대차(200)의 위치는 제1 주행레일(100)에서 위치3으로 확인될 수 있다.
한편, 컨트롤러(300)는 제1 스케일(120)의 위치값을 이용하여, 이송 대차(200)의 휠의 마모도를 확인할 수 있다.
구체적으로, 컨트롤러(300)는 이송 대차(200)의 휠 모터의 엔코드 값과, 제1 스케일(120)의 위치값을 비교하여, 이송 대차(200)의 휠의 마모도를 확인할 수 있다. 이송 대차(200)의 휠은 제1 주행레일(100)을 따라 이동하기 때문에, 휠 모터의 엔코드 값과, 제1 스케일(120)의 위치값은 서로 대응되어야 한다. 예를 들어, 제1 스케일(120)의 위치값이 10이면, 이송 대차(200)의 휠 모터의 엔코드 값도 10에 대응되어야 한다. 만약, 제1 스케일(120)의 위치값이 10인데, 이송 대차(200)의 휠 모터의 엔코드 값이 12일 수 있다. 휠의 마모도가 높아서, 휠 모터의 회전력이 휠 회전에 전부 반영되지 않기 때문이다. 이와 같은 방식으로 이송 대차(200)의 휠의 마모도를 체크할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템을 설명하기 위한 개념도이다. 설명의 편의상 도 1 및 도 2를 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 3을 참고하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템(2)에서, 레일 장치(91)는 일방향으로 연장된 제1 주행레일(100)과, 제1 주행레일(100)에서 분기된 제2 주행레일(102)을 포함한다.
제1 주행레일(100)에는 제1 스케일(120)이 설치되고, 제2 주행레일(102)에는 제2 스케일(122)이 설치된다.
제1 주행레일(100)과 제2 주행레일(102)의 연결부(190)에는, 제2 태그(152)가 설치된다. 제2 태그(152)는 제1 주행레일(100)에서 제2 주행레일(102)로 분지되는 영역(즉, 연결부(190))에 설치된다.
제2 태그(152)는 제1 주행레일(100) 및 제2 주행레일(102)을 따라 다수개 설치되지 않고, 기준이 되는 위치에만 설치된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템(2)의 동작을 설명하면, 이송 대차(200)가 제1 주행레일(100)을 따라 이동하다가, 연결부(190)에서 제2 주행레일(102)로 옮겨가서 제2 주행레일(102)을 따라 이동한다고 가정한다.
이송 대차(200)가 연결부(190)를 지나갈 때 이송 대차(200)의 태그 리더(220)는 제2 태그(152)와 통신하고, 제2 태그(152)의 데이터(TV)를 제공받는다. 컨트롤러(300)는 제2 태그(152)가 설치된 위치를 기준위치(즉, 시작위치)로 한다.
이송 대차(200)는 이동하면서, 이송 대차(200)의 스케일 리더(210)는 제2 스케일(122)의 위치값(SV)을 리드한다. 컨트롤러(300)는 스케일 리더(210)에 의해서 리드된 제2 스케일(122)의 위치값(SV)을 이동거리로 한다.
컨트롤러(300)는 기준위치와 이동거리를 이용하여, 이송 대차(200)의 제2 주행레일(102)에서의 위치를 확인할 수 있다. 즉, 기준위치는 제2 주행레일(102) 상에서 위치 0이고, 제2 스케일 리더(210)에 의해서 리드된 위치값(SV)가 5이라면, 이송 대차(200)의 위치는 제2 주행레일(102)에서 위치5로 확인될 수 있다.
제2 태그(152)는 제1 주행레일(100) 및/또는 제2 주행레일(102) 상에 다수개 설치되는 것이 아니고, 기준이 되는 위치(예를 들어, 제1 주행레일(100)과 제2 주행레일(102)이 분지되는 영역)에만 설치될 수 있다. 그리고, 제2 태그(152)가 설치된 위치를 기준으로, 제2 스케일(122)을 이용하여 이송 대차(200)의 위치를 파악하게 된다. 따라서, 추후 운행과정에서 이적재 위치가 변경되는 등의 이유로, 제2 태그(152)의 설치위치를 변경할 필요가 없다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템을 설명하기 위한 개념도이다. 설명의 편의상 도 1 내지 도 3을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 4을 참고하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템(3)에서, 레일 장치(91)는 제2 주행레일(102)과, 제2 주행레일(102)이 합류되는 제3 주행레일(104)을 포함한다.
제2 주행레일(102)에는 제2 스케일(122)이 설치되고, 제3 주행레일(104)에는 제3 스케일(124)이 설치된다.
제2 주행레일(102)과 제3 주행레일(104)의 연결부(192)에는, 제3 태그(154)가 설치된다. 제3 태그(154)는 제2 주행레일(102)과 제3 주행레일(104)이 합류되는 영역(즉, 연결부(192))에 제3 태그(154)가 설치되어 있다.
제3 태그(154)는 제2 주행레일(102) 및 제3 주행레일(104)을 따라 다수개 설치되지 않고, 기준이 되는 위치에만 제3 태그(154)가 설치된다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템(3)의 동작을 설명하면, 이송 대차(200)가 제2 주행레일(102)을 따라 이동하다가, 연결부(154)에서 제3 주행레일(104)로 옮겨가서 제3 주행레일(104)을 따라 이동한다고 가정한다.
이송 대차(200)가 연결부(192)를 통과할 때 이송 대차(200)의 태그 리더(220)는 제3 태그(154)와 통신하고, 제3 태그(154)의 데이터(TV)를 제공받는다. 컨트롤러(300)는 제3 태그(154)가 설치된 위치를 기준위치(즉, 시작위치)로 한다. 이송 대차(200)는 이동하면서, 이송 대차(200)의 스케일 리더(210)는 제3 스케일(124)의 위치값(SV)을 리드한다. 컨트롤러(300)는 스케일 리더(210)에 의해서 리드된 제3 스케일(124)의 위치값(SV)을 이동거리로 한다. 컨트롤러(300)는 기준위치와 이동거리를 이용하여, 이송 대차(200)의 제3 주행레일(104)에서의 위치를 확인할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3 및 도 5를 참고하면, 이송 대차 시스템(2)을 제공한다(S310).
구체적으로, 이송 대차 시스템(2)는 레일 장치(91), 이송 대차(200) 및 컨트롤러(300) 등을 포함한다. 레일 장치(91)는 제1 주행레일(100)과, 제1 주행레일(100)에서 분기된 제2 주행레일(102)과, 제1 주행레일(100)에 설치된 제1 스케일(120)과, 제2 주행레일(102)에 설치된 제2 스케일(122)을 포함하는 스케일과, 제1 주행레일(100)과 제2 주행레일(102)의 연결부에 설치된 제1 태그(150)를 포함한다. 이송 대차(200)는 제1 주행레일(100)과 제2 주행레일(102)을 따라 이동하고, 기판이 수납된 용기를 운반할 수 있는 바디와, 제1 스케일(120)을 리드하는 스케일 리더(210)와, 제1 태그(150)를 리드하는 태그 리더(220)를 포함한다.
이어서, 태그 리더(220)에 의해서 리드된 제2 태그(152)의 위치값을 기준위치로 한다(S320). 이어서, 스케일 리더(210)에 의해서 리드된 제2 스케일(122)의 위치값을 이동거리로 한다(S330). 이어서, 기준위치와 이동거리를 이용하여, 이송 대차(200)의 제2 주행레일(102)에서의 위치를 확인한다(S340).
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 대차 시스템의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6을 참고하면, 이송 대차(200)의 이적재 위치를 확인한다(S410). 구체적으로, 이적재 위치는, 도 1 내지 도 4를 이용하여 설명한 것과 같이, 태그의 설치 위치와 스케일에 의해 리드된 이동위치를 기초로, 이송 대차(200)의 이적재 위치를 파악할 수 있다. 이와 같이 파악된 주행레일에서의 이적재 위치는 제2 위치값에 대응된다.
이적재 위치가 이동되었는지 확인한다(S420).
구체적으로, 메모리(도 1의 310 참고)에 저장된 이적재 위치와, S410단계에서 파악된 이적재 위치가 서로 동일한지 확인한다. 메모리(310)에 저장된, 주행레일에서의 이전 이적재 위치는 제1 위치값에 대응된다. S410 단계에서 파악된 이적재 위치는 제2 위치값에 대응된다. 제1 위치값과 제2 위치값이 서로 동일한지 여부를 체크한다.
이적재 위치가 이동되지 않았으면, 메모리(310)에 저장되어 있는 이적재 위치의 저장값을 변경하지 않는다(S430). 이적재 위치가 이동되었으면, 컨트롤러(300)는 이적재 위치를 제1 위치값에서 제2 위치값으로 변경하여 메모리(310)에 저장한다(S440).
이와 같이, 이적재 위치가 변경되더라도, 작업자는 새롭게 태그를 설치하거나, 태그와 포트의 위치를 맞추는 티칭 작업을 복잡하게 할 필요가 없다. 즉, 이적재 위치를 제1 위치값에서 제2 위치값으로 변경하는 방식으로 간단하게 티칭 작업을 할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1, 2, 3: 이송 대차 시스템 90: 레일 장치
100: 제1 주행 레일 102: 제2 주행 레일
104: 제3 주행 레일 120: 제1 스케일
122: 제2 스케일 124: 제3 스케일
150: 제1 태그 152: 제2 태그
154: 제3 태그

Claims (8)

  1. 레일 장치와, 상기 레일 장치를 따라 이동하는 이송 대차와, 상기 이송 대차를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 이송 대차 시스템로서,
    상기 레일 장치는,
    일방향으로 연장된 제1 주행레일과,
    상기 제1 주행레일에서 분기된 제2 주행레일과,
    상기 제1 주행레일에 설치된 제1 스케일과, 상기 제2 주행레일에 설치된 제2 스케일을 포함하는 스케일과,
    상기 제1 주행레일과 상기 제2 주행레일의 연결부에 설치된 제1 태그를 포함하는 레일 장치를 포함하고,
    상기 이송 대차는
    기판이 수납된 용기를 운반할 수 있는 바디와,
    상기 바디에 설치되고, 상기 스케일을 리드하는 스케일 리더와,
    상기 바디에 설치되고, 상기 제1 태그를 리드하는 태그 리더를 포함하는, 이송 대차 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 상기 스케일 리더에 의해서 리드된 스케일의 위치값을 기초로, 상기 이송 대차의 위치를 확인하는, 이송 대차 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이송 대차는 상기 제1 주행레일에서 상기 제2 주행레일을 따라 이동하고,
    상기 컨트롤러는
    상기 태그 리더와 통신한 제1 태그의 위치값을, 기준위치로 하고,
    상기 스케일 리더에 의해서 리드된 제2 스케일의 위치값을 이동거리로 하여,
    상기 기준위치와 상기 이동거리를 이용하여, 상기 이송 대차가 상기 제2 주행레일의 어디까지 이동하였는지를 확인하는, 이송 대차 시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 레일 장치는,
    상기 제2 주행레일이 합류되는 제3 주행레일을 더 포함하고,
    상기 제2 주행레일과 상기 제3 주행레일의 연결부에 설치된 제2 태그를 더 포함하는, 이송 대차 시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 이송 대차의 휠 모터 엔코드 값과, 상기 스케일의 위치값을 비교하여, 상기 이송 대차의 휠의 마모도를 확인하는, 이송 대차 시스템.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 주행레일은 제1 위치와 제2 위치를 포함하고, 상기 제1 위치와 제2 위치 각각은 상기 제1 스케일에서 제1 위치값과 제2 위치값에 대응되고,
    상기 이송 대차의 이적재 위치가, 상기 제1 주행레일의 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 이동되면,
    상기 컨트롤러는, 상기 이송 대차의 이적재 위치를, 상기 제1 위치값에서 상기 제2 위치값으로 변경하여 저장유닛에 저장하는, 이송 대차 시스템.
  7. 레일 장치, 이송 대차 및 컨트롤러를 포함하는 이송 대차 시스템이 제공되되, 상기 레일 장치는 제1 주행레일과, 상기 제1 주행레일에서 분기된 제2 주행레일과, 상기 제1 주행레일에 설치된 제1 스케일과, 상기 제2 주행레일에 설치된 제2 스케일을 포함하는 스케일과, 상기 제1 주행레일과 상기 제2 주행레일의 연결부에 설치된 제1 태그를 포함하고, 상기 이송 대차는 기판이 수납된 용기를 운반할 수 있는 바디와, 상기 바디에 설치되고, 상기 제1 스케일을 리드하는 스케일 리더와, 상기 바디에 설치되고, 상기 제1 태그를 리드하는 태그 리더를 포함하고,
    상기 태그 리더와 통신한 제1 태그의 위치값을 기준위치로 하고,
    상기 스케일 리더에 의해서 리드된 제2 스케일의 위치값을 이동거리로 하여,
    상기 기준위치와 상기 이동거리를 이용하여, 상기 이송 대차의 상기 제2 주행레일에서의 위치를 확인하는 것을 포함하는, 이송 대차 시스템의 구동 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 이송 대차의 휠 모터 엔코드 값과, 상기 스케일의 위치값을 비교하여, 상기 이송 대차의 휠의 마모도를 확인하는 것을 포함하는, 이송 대차 시스템의 구동 방법.
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