KR20230095981A - 기판을 보유 지지하기 위한 헤드 및 기판 처리 장치 - Google Patents

기판을 보유 지지하기 위한 헤드 및 기판 처리 장치 Download PDF

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마코토 가시와기
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

기판이 리테이너 부재에 충돌했을 때에 리테이너 부재의 설치 기구에 끼치는 리스크를 경감시키는 구조를 제공한다. 일 실시 형태에 따르면, 다각형의 기판을 보유 지지하기 위한 헤드가 제공되고, 이러한 헤드는, 다각형의 기판의 형상에 대응하는 형상의 기판 지지면과, 기판 지지면의 각 변의 외측에 배치되는 리테이너 부재와, 상기 리테이너 부재를 지지하는 리테이너 가이드와, 상기 리테이너 부재는, 상기 기판 지지면에 수직인 방향으로 연장되는 걸림 결합면을 갖고, 상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 리테이너 가이드에 걸림 결합되어 있다.

Description

기판을 보유 지지하기 위한 헤드 및 기판 처리 장치
본원은, 기판을 보유 지지하기 위한 헤드 및 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본원은, 2020년 10월 30일 출원된 일본 특허 출원 번호 제2020-182844호에 기초하는 우선권을 주장한다. 일본 특허 출원 번호 제2020-182844호의 명세서, 특허 청구 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시 내용은, 참조에 의해 전체적으로 본원에 원용된다.
반도체 디바이스의 제조에, 기판의 표면을 평탄화하기 위하여 화학 기계 연마(CMP) 장치가 사용되고 있다. 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 기판은, 대부분의 경우, 원판 형상이다. 또한, 반도체 디바이스에 한정되지 않고, CCL 기판(Copper Clad Laminate 기판)이나 PCB(Printed Circuit Board) 기판, 포토마스크 기판, 디스플레이 패널 등의 사각형의 기판의 표면을 평탄화할 때의 평탄도의 요구도 높아지고 있다. 또한, PCB 기판 등의 전자 디바이스가 배치된 패키지 기판의 표면을 평탄화하는 것에 대한 요구도 높아지고 있다.
또한, 원형의 반도체 기판은 규격(예를 들어 SEMI 규격)에 따라 치수가 정해져 있지만, 상술한 CCL 기판(Copper Clad Laminate 기판)이나 PCB(Printed Circuit Board) 기판, 포토마스크 기판, 디스플레이 패널 등의 사각형의 기판은, 규격 등에 따라 치수가 정해져 있지 않으므로, 여러 가지 치수의 기판이 존재할 수 있다. 근년, 디바이스의 제조 효율의 점에서 기판의 치수가 커지는 경향이 있다.
일본 특허 공개 제2003-179015호 공보 미국 특허 제6019670호 명세서 일본 특허 공개 제2020-019115호 공보
CMP에 의해 사각형의 기판을 연마하는 경우, 연마 헤드에 의해 기판을 보유 지지하고, 연마 테이블 상에 지지된 연마 패드에 기판을 압박하고, 연마 헤드 및 연마 테이블을 회전시켜 기판을 연마한다. 연마 중에 기판이 연마 헤드로부터 튀어나오지 않도록, 리테이너 부재에 의해 기판을 헤드 내의 소정의 위치에 보유 지지하는 경우가 있다. 연마 중에는, 사각형의 기판의 측면이 리테이너 부재에 충돌하는 경우가 있다. 사각형의 기판은 치수가 크고 중량이 있는 경우가 있어, 기판이 리테이너 부재에 충돌하면, 리테이너 부재의 설치 기구에 악영향을 끼치는 경우가 있다. 그래서, 본원은, 기판이 리테이너 부재에 충돌했을 때에 리테이너 부재의 설치 기구에 끼치는 리스크를 경감시키는 구조를 제공하는 것을 하나의 목적으로 하고 있다.
일 실시 형태에 따르면, 다각형의 기판을 보유 지지하기 위한 헤드가 제공되고, 이러한 헤드는, 다각형의 기판의 형상에 대응하는 형상의 기판 지지면과, 기판 지지면의 각 변의 외측에 배치되는 리테이너 부재와, 상기 리테이너 부재를 지지하는 리테이너 가이드와, 상기 리테이너 부재는, 상기 기판 지지면에 수직인 방향으로 연장되는 걸림 결합면을 갖고, 상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 리테이너 가이드에 걸림 결합되어 있다.
도 1은 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 일 실시 형태에 따른 연마 모듈의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은 일 실시 형태에 따른 헤드의 상세한 구조를 나타내는 단면도이다.
도 4는 일 실시 형태에 따른 헤드를 연마 테이블 측에서 본 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 단면도의 리테이너부를 확대하여 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 단면도의 리테이너부를 확대하여 나타내는 단면 사시도이다.
도 7은 일 실시 형태에 따른 하부 하우징을 상부에서 본 평면도이다.
도 8은 일 실시 형태에 따른 리테이너 부재를 상방(리테이너 가이드 측)에서 본 개략도이다.
도 9는 도 8에 도시된 리테이너 부재의 단체의 부분 단면도이다.
도 10은 도 8에 도시된 화살표 BB-BB의 방향에서 본 부분 단면도이다.
도 11은 일 실시 형태에 따른 리테이너부를 나타내는 단면도이다.
이하에, 본 발명에 따른 헤드 및 헤드를 구비하는 기판 처리 장치의 실시 형태를 첨부 도면과 함께 설명한다. 첨부 도면에 있어서, 동일하거나 또는 유사한 요소에는 동일하거나 또는 유사한 참조 부호가 부여되고, 각 실시 형태의 설명에 있어서 동일하거나 또는 유사한 요소에 관한 중복되는 설명은 생략하는 경우가 있다. 또한, 각 실시 형태에서 나타내는 특징은, 서로 모순되지 않는 한 다른 실시 형태에도 적용 가능하다.
도 1은, 일 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(1000)의 전체 구성을 나타내는 평면도이다. 도 1에 나타내는 기판 처리 장치(1000)는, 로드 모듈(100), 반송 모듈(200), 연마 모듈(300), 건조 모듈(500) 및 언로드 모듈(600)을 갖는다. 도시한 실시 형태에 있어서, 반송 모듈(200)은 2개의 반송 모듈(200A, 200B)을 갖고, 연마 모듈(300)은 2개의 연마 모듈(300A, 300B)을 갖는다. 일 실시 형태에 있어서, 이러한 각 모듈은, 독립적으로 형성할 수 있다. 이러한 모듈을 독립적으로 형성함으로써, 각 모듈의 수를 임의로 조합하여 다른 구성의 기판 처리 장치(1000)를 간단하게 형성할 수 있다. 또한, 기판 처리 장치(1000)는, 제어 장치(900)를 구비하고, 기판 처리 장치(1000)의 각 구성 요소는 제어 장치(900)에 의해 제어된다. 일 실시 형태에 있어서, 제어 장치(900)는 입출력 장치, 연산 장치, 기억 장치 등을 구비하는 일반적인 컴퓨터로 구성할 수 있다.
<로드 모듈>
로드 모듈(100)은, 연마 및 세정 등의 처리가 행해지기 전의 기판(WF)을 기판 처리 장치(1000) 내로 도입하기 위한 모듈이다. 일 실시 형태에 있어서, 로드 모듈(100)은, 기판(WF)을 반송하기 위한 복수의 반송 롤러(202)를 구비하고 있다. 반송 롤러(202)는 롤러 샤프트(204)에 설치되어 있다. 롤러 샤프트(204)를 통하여 반송 롤러(202)를 회전시킴으로써, 반송 롤러(202) 상의 기판(WF)을 소정의 방향(도 1에 있어서는 좌측 방향)으로 반송할 수 있다. 일 실시 형태에 있어서, 로드 모듈(100)은, ID 리더를 구비하고, 받아들인 기판의 ID를 판독하도록 구성해도 된다. 일 실시 형태에 있어서, 로드 모듈(100)은, 반송 롤러(202) 상의 소정의 위치에 있어서의 기판(WF)의 존재 유무를 검지하기 위한 센서를 구비해도 된다.
도시한 실시 형태에 있어서, 로드 모듈(100)의 반송 기구는, 복수의 반송 롤러(202)와, 반송 롤러(202)가 설치되는 복수의 롤러 샤프트(204)를 갖는다. 도 1에 나타내는 실시 형태에 있어서는, 각 롤러 샤프트(204)에는 3개의 반송 롤러(202)가 설치되어 있다. 기판(WF)은, 반송 롤러(202) 상에 배치되고, 반송 롤러(202)가 회전함으로써 기판(WF)이 반송된다. 롤러 샤프트(204) 상의 반송 롤러(202)의 설치 위치는, 기판(WF)을 안정적으로 반송할 수 있는 위치라면 임의로 할 수 있다. 단, 반송 롤러(202)는 기판(WF)에 접촉하므로, 처리 대상인 기판(WF)에 접촉해도 문제가 없는 영역에 반송 롤러(202)가 접촉하도록 배치해야 한다. 일 실시 형태에 있어서, 로드 모듈(100)의 반송 롤러(202)는 도전성 폴리머로 구성할 수 있다. 일 실시 형태에 있어서, 반송 롤러(202)는 롤러 샤프트(204) 등을 통하여 전기적으로 접지된다. 이것은, 기판(WF)이 대전하여 기판(WF)을 손상시키는 것을 방지하기 위해서이다. 또한, 일 실시 형태에 있어서, 로드 모듈(100)에, 기판(WF)의 대전을 방지하기 위하여 이오나이저(도시하지 않음)를 마련해도 된다.
<반송 모듈>
도 1에 나타내는 기판 처리 장치(1000)는, 2개의 반송 모듈(200A, 200B)을 구비하고 있다. 2개의 반송 모듈(200A, 200B)은 동일한 구성으로 할 수 있으므로, 이하에 있어서, 일괄하여 반송 모듈(200)로서 설명한다.
도시한 반송 모듈(200)은 기판(WF)을 반송하기 위한 복수의 반송 롤러(202)를 구비하고 있다. 반송 롤러(202)를 회전시킴으로써, 반송 롤러(202) 상의 기판(WF)을 소정의 방향으로 반송할 수 있다. 반송 모듈(200)의 반송 롤러(202)는 도전성 폴리머로 형성되어도, 도전성이 없는 폴리머로 형성되어도 된다. 반송 롤러(202)는 롤러 샤프트(204)에 설치되어 있고, 기어를 통하여, 모터에 의해 구동된다. 일 실시 형태에 있어서, 반송 모듈(200)은 반송 롤러(202) 상의 소정의 위치에 있어서의 기판(WF)의 존재 유무를 검지하기 위한 센서를 구비할 수 있다.
일 실시 형태에 있어서, 반송 모듈(200)은 반송 롤러(202) 상의 기판을 연마 모듈(300)로 전달하기 위한, 또한 연마 모듈(300)로부터 기판을 수취하기 위한, 수수 기구를 구비할 수 있다. 수수 기구는, 반송 롤러(202) 상의 기판을 들어 올리는 푸셔(230)로 할 수 있다. 푸셔(230)에 대해서는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2020-019115호 공보에 개시되어 있는 푸셔와 마찬가지 또는 유사한 푸셔를 이용할 수 있다.
일 실시 형태에 있어서, 반송 모듈(200)은 반송 롤러(202) 상을 이동하는 기판을 세정하기 위한 세정 기구를 갖는다. 세정 기구는, 반송 롤러(202) 상을 이동하는 기판을 향하여 세정액을 분사하는 세정 노즐(284)을 구비할 수 있다. 세정 노즐(284)에 대해서는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2020-019115호 공보에 개시되어 있는 세정 노즐과 마찬가지 또는 유사한 세정 노즐을 이용할 수 있다.
<연마 모듈>
도 2는, 일 실시 형태에 따른 연마 모듈(300)의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타내는 기판 처리 장치(1000)는, 2개의 연마 모듈(300A, 300B)을 구비하고 있다. 2개의 연마 모듈(300A, 300B)은 동일한 구성으로 할 수 있으므로, 이하에 있어서, 일괄하여 연마 모듈(300)로서 설명한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 연마 모듈(300)은 연마 테이블(350)과, 연마 대상물인 기판을 보유 지지하여 연마 테이블(350) 상의 연마면에 압박하는 연마 헤드를 구성하는 헤드(302)를 구비하고 있다. 연마 테이블(350)은 테이블 축(351)을 통하여 그 하방에 배치되는 연마 테이블 회전 모터(도시하지 않음)에 연결되어 있고, 그 테이블 축(351) 주위로 회전 가능하게 되어 있다. 연마 테이블(350)의 상면에는 연마 패드(352)가 첩부되어 있고, 연마 패드(352)의 표면(352a)이 기판을 연마하는 연마면을 구성하고 있다. 일 실시 형태에 있어서, 연마 패드(352)는 연마 테이블(350)로부터의 박리를 용이하게 하기 위한 층을 통하여 첩부되어도 된다. 그러한 층은, 예를 들어 실리콘층이나 불소계 수지층 등이 있고, 예를 들어 일본 특허 공개 제2014-176950호 공보 등에 기재되어 있는 것을 사용해도 된다.
연마 테이블(350)의 상방에는 연마액 공급 노즐(354)이 설치되어 있고, 이 연마액 공급 노즐(354)에 의해 연마 테이블(350) 상의 연마 패드(352) 상으로 연마액이 공급되도록 되어 있다. 또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 연마 테이블(350) 및 테이블 샤프트(351)에는, 연마액을 공급하기 위한 통로(353)가 마련되어 있다. 통로(353)는 연마 테이블(350)의 표면의 개구부(355)에 연통되어 있다. 연마 테이블(350)의 개구부(355)에 대응하는 위치에 있어서 연마 패드(352)는 관통 구멍(357)이 형성되어 있고, 통로(353)를 지나는 연마액은, 연마 테이블(350)의 개구부(355) 및 연마 패드(352)의 관통 구멍(357)으로부터 연마 패드(352)의 표면으로 공급된다. 또한, 연마 테이블(350)의 개구부(355) 및 연마 패드(352)의 관통 구멍(357)은 1개여도 복수여도 된다. 또한, 연마 테이블(350)의 개구부(355) 및 연마 패드(352)의 관통 구멍(357)의 위치는 임의인데, 일 실시 형태에 있어서는 연마 테이블(350)의 중심 부근에 배치된다.
도 2에는 도시되어 있지 않지만, 일 실시 형태에 있어서, 연마 모듈(300)은 액체, 또는 액체와 기체의 혼합 유체를 연마 패드(352)를 향하여 분사하기 위한 아토마이저(358)를 구비한다(도 1 참조). 아토마이저(358)로부터 분사되는 액체는, 예를 들어 순수이며, 기체는, 예를 들어 질소 가스이다.
헤드(302)는 헤드 샤프트(18)에 접속되어 있고, 이 헤드 샤프트(18)는 상하 이동 기구(319)에 의해 요동 암(360)에 대하여 상하 이동하도록 되어 있다. 이 헤드 샤프트(18)의 상하 이동에 의해, 요동 암(360)에 대하여 헤드(302)의 전체를 상하 이동시켜 위치 결정하도록 되어 있다. 헤드 샤프트(18)는 도시하지 않은 헤드 회전 모터의 구동에 의해 회전하도록 되어 있다. 헤드 샤프트(18)의 회전에 의해, 헤드(302)가 헤드 샤프트(18)를 중심으로 하여 회전하도록 되어 있다. 또한, 헤드 샤프트(18)의 상단에는 로터리 조인트(323)가 설치되어 있다.
또한, 시장에서 입수할 수 있는 연마 패드로서는 다양한 것이 있고, 예를 들어 닛타 하스 가부시키가이샤 제조의 SUBA800(「SUBA」는 등록 상표), IC-1000, IC-1000/SUBA400(2층 클로스), 후지미 인코퍼레이티드사 제조의 Surfin xxx-5, Surfin 000 등(「surfin」은 등록 상표)이 있다. SUBA800, Surfin xxx-5, Surfin 000은 섬유를 우레탄 수지로 굳힌 부직포이며, IC-1000은 경질의 발포 폴리우레탄(단층)이다. 발포 폴리우레탄은, 포러스(다공질상)로 되어 있고, 그 표면에 다수의 미세한 오목부 또는 구멍을 가지고 있다.
헤드(302)는 그 하면에 사각형의 기판을 보유 지지할 수 있도록 되어 있다. 요동 암(360)은 지지축(362)을 중심으로 하여 선회 가능하게 구성되어 있다. 헤드(302)는 요동 암(360)의 선회에 의해, 상술한 반송 모듈(200)의 기판 수수 위치와 연마 테이블(350)의 상방 사이에서 이동 가능하다. 헤드 샤프트(18)를 하강시킴으로써, 헤드(302)를 하강시켜 기판을 연마 패드(352)의 표면(연마면)(352a)에 압박할 수 있다. 이때, 헤드(302) 및 연마 테이블(350)을 각각 회전시켜, 연마 테이블(350)의 상방에 마련된 연마액 공급 노즐(354)로부터, 및/또는, 연마 테이블(350)에 마련된 개구부(355)로부터 연마 패드(352) 상으로 연마액을 공급한다. 이와 같이, 기판을 연마 패드(352)의 연마면(352a)에 압박하여 기판의 표면을 연마할 수 있다. 기판(WF)의 연마 중에, 헤드(302)가 연마 패드(352)의 중심을 통과하도록(연마 패드(352)의 관통 구멍(357)을 덮도록), 암(360)을 고정 혹은 요동시켜도 된다.
헤드 샤프트(18) 및 헤드(302)를 상하 이동시키는 상하 이동 기구(319)는, 베어링(321)을 통하여 헤드 샤프트(18)를 회전 가능하게 지지하는 브리지(28)와, 브리지(28)에 설치된 볼 나사(32)와, 지주(130)에 의해 지지된 지지대(29)와, 지지대(29) 상에 마련된 AC 서보 모터(38)를 구비하고 있다. 서보 모터(38)를 지지하는 지지대(29)는 지주(130)를 통하여 요동 암(360)에 고정되어 있다.
볼 나사(32)는 서보 모터(38)에 연결된 나사축(32a)과, 이 나사축(32a)이 나사 결합되는 너트(32b)를 구비하고 있다. 헤드 샤프트(18)는 브리지(28)와 일체가 되어 상하 이동하도록 되어 있다. 따라서, 서보 모터(38)를 구동하면, 볼 나사(32)를 통하여 브리지(28)가 상하 이동하고, 이에 의해 헤드 샤프트(18) 및 헤드(302)가 상하 이동한다. 연마 모듈(300)은 브리지(28)의 하면까지의 거리, 즉 브리지(28)의 위치를 검출하는 위치 검출부로서의 측거 센서(70)를 구비하고 있다. 이 측거 센서(70)에 의해 브리지(28)의 위치를 검출함으로써, 헤드(302)의 위치를 검출할 수 있도록 되어 있다. 측거 센서(70)는 볼 나사(32), 서보 모터(38)와 함께 상하 이동 기구(319)를 구성하고 있다. 또한, 측거 센서(70)는 레이저식 센서, 초음파 센서, 과전류식 센서, 혹은 리니어 스케일식 센서여도 된다. 또한, 측거 센서(70), 서보 모터(38)를 비롯한 연마 모듈 내의 각 기기는, 제어 장치(900)에 의해 제어되도록 구성된다.
다음으로, 일 실시 형태에 따른 연마 모듈(300)에 있어서의 헤드(302)에 대하여 설명한다. 도 3은, 일 실시 형태에 따른 헤드(302)의 상세한 구조를 나타내는 단면도이다. 도 3은, 도 2에 나타내는 헤드(302)를 화살표 AA-AA를 따라 잘라낸 단면도에 상당한다. 도 4는, 일 실시 형태에 따른, 헤드(302)를 연마 테이블(350) 측에서 본 도면이다.
도 3에 나타내는 실시 형태에 있어서, 헤드(302)는 헤드 본체(2) 및 리테이너부(380)를 갖는다. 헤드 본체(2)는 사각형의 판상의 상부 부재(303)와, 상부 부재(303)의 하면에 설치된 중간 부재(304)와, 중간 부재(304)의 하면에 설치된 하부 부재(306)를 구비하고 있다. 리테이너부(380)는 상부 부재(303)의 외주부에 설치되어 있다. 상부 부재(303)는 볼트(308) 등에 의해 헤드 샤프트(18)에 연결된다. 또한, 중간 부재(304)는 볼트(309) 등에 의해 상부 부재(303)에 연결된다. 하부 부재(306)는 볼트(310) 등에 의해 상부 부재(303)에 연결된다. 상부 부재(303), 중간 부재(304) 및 하부 부재(306)는 금속 재료나 플라스틱 재료로 형성할 수 있다. 일 실시 형태에 있어서, 상부 부재(303)는 스테인리스강(SUS)으로 형성되고, 중간 부재(304) 및 하부 부재(306)는 플라스틱 재료로 형성된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 하부 부재(306)의 하면에는, 기판(WF)의 이면에 접촉하는 탄성막(4)이 설치되어 있다. 즉, 탄성막(4)은 헤드(302)에 있어서 기판을 지지하는 지지면을 구성하고 있다. 탄성막(4)에 의한 기판의 지지면은, 헤드(302)에 보유 지지되는 기판과 동일한 치수 또는 기판보다도 조금 큰 치수이다. 이 탄성막(4)은 도시된 바와 같이 동심의 3개의 홀더(316)(중심부는 얇은 원주상 부재, 그 주위의 2개는 네모진 환상 부재)에 의해 하부 부재(306)의 하면에 설치된다. 홀더(316)는 볼트(311) 등에 의해 하부 부재(306)에 고정되고, 홀더(316)와 하부 부재(306)에 의해 탄성막(4)을 사이에 둠으로써 탄성막(4)을 하부 부재(306)의 하면에 설치할 수 있다. 탄성막(4)은 격벽(4a)에 의해 복수의 구획이 형성되어 있다. 일 실시 형태에 있어서, 탄성막(멤브레인)(4)은, 에틸렌프로필렌 고무(EPDM), 폴리우레탄 고무, 실리콘 고무 등의 강도 및 내구성이 우수한 고무재에 의해 형성된다. 일 실시 형태에 있어서, 탄성막(멤브레인)(4)은, 금형을 사용하여 고무재로 형성할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 탄성막(4) 및 하부 부재(306)의 하면에 의해, 센터실(5), 리플실(6), 중간실(7), 아우터실(8) 및 에지실(9)이 획정되어 있다. 센터실(5), 리플실(6), 중간실(7), 아우터실(8) 및 에지실(9)에는, 각각 도시하지 않은 유로가 연락되어 있고, 이러한 유로를 통하여 유체를 센터실(5), 리플실(6), 중간실(7), 아우터실(8) 및 에지실(9)에 공급하여, 각 실(5, 6, 7, 8, 9)의 내부 압력을 독립적으로 제어할 수 있다. 그 때문에, 기판(WF)을 연마할 때에, 기판(WF)의 에어리어 영역마다, 연마 패드(352)에 대한 접촉 압력을 제어할 수 있다.
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 탄성막(4)에는, 리플실(6)에 연통되어 기판(WF)을 헤드(302)에 진공 흡착시키기 위한 복수의 진공 흡착 구멍(315)이 형성되어 있다. 일 실시 형태로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 진공 흡착 구멍(315)은 8개 마련되어 있다. 진공 흡착 구멍(315)은 도시하지 않은 통로에 연통되고, 진공원에 연결된다. 진공 흡착 구멍(315)을 통하여, 기판(WF)을 헤드(302)의 탄성막(4)에 대하여 진공 흡착시킬 수 있다.
도 5는, 도 3에 도시된 단면도의 리테이너부(380)를 확대하여 나타내는 단면도이다. 도 6은, 도 3에 도시된 단면도의 리테이너부(380)를 확대하여 나타내는 단면 사시도이다. 도시된 바와 같이, 상부 부재(303)의 외주부에는, 리테이너부(380)가 마련되어 있다. 도시된 바와 같이, 상부 부재(303)의 외주부의 하면에는 상부 하우징(402)이 연결되어 있다. 일 실시 형태에 있어서, 상부 하우징(402)은 시일 패킹 등을 통하여 상부 부재(303)에 볼트 등으로 고정할 수 있다. 상부 하우징(402)의 하면에는, 하부 하우징(404)이 구비되어 있다. 일 실시 형태에 있어서는, 상부 하우징(402) 및 하부 하우징(404)은, 전체적으로 네모진 환상의 부재이며, 폴리페닐렌술피드(PPS) 수지로 형성할 수 있다. 하부 하우징(404)의 내부에는, 원통형의 실린더(406)가 획정되어 있다. 실린더(406) 내에는, 다이어프램(408)이 배치되어 있다. 일 실시 형태에 있어서, 다이어프램(408)은 고무재로 형성된다. 다이어프램(408)은 상부 하우징(402)과 하부 하우징(404) 사이에 끼워짐으로써 고정된다. 실린더(406)의 내부 공간은, 다이어프램(408)에 의해 상부 공간과 하부 공간으로 칸막이되어 있다. 하부 하우징(404)의 다이어프램(408) 내에는, 피스톤(410)이 배치되어 있다. 피스톤(410)의 일단은, 다이어프램(408)의 하면에 접촉되어 있다. 또한, 피스톤(410)의 타단은, 하부 하우징(404)의 하측으로부터 나와, 리테이너 지지 가이드(412)에 접촉되어 있다. 일 실시 형태에 있어서, 피스톤(410)은 PPS 수지로 형성할 수 있다.
도 7은, 하부 하우징(404)을 상부에서 본 평면도이다. 일 실시 형태에 있어서, 하부 하우징(404)에는, 복수의 실린더(406)가 형성되어 있고, 각각의 실린더(406)에 다이어프램(408) 및 피스톤(410)이 배치되어 있다. 도 7은, 하부 하우징(404)에 복수의 실린더(406)가 형성되고, 각각의 실린더(406)에 배치된 다이어프램(408)을 나타내고 있다. 도시된 바와 같이, 동일한 형상의 실린더(406), 다이어프램(408), 피스톤(410)을 사용함으로써, 이것들을 제조하는 비용을 저감하는 것이 가능해진다. 예를 들어 치수가 다른 헤드 본체(2)를 제조하는 경우에도, 동일한 부품인 다이어프램(408), 피스톤(410)을 사용할 수 있고, 헤드 본체(2)의 크기에 따라 사용하는 수를 변경하도록 설계할 수 있다.
상부 하우징(402)에는, 통로(403)가 마련되어 있다. 통로(403)는 유체원에 접속되어 있다. 통로(403)를 지나, 유체원으로부터 유체(예를 들어 공기 또는 질소)를 하부 하우징(404)의 실린더(406)의 상부 공간 내에 공급할 수 있다. 실린더(406)의 상부 공간 내에 유체가 공급되면, 다이어프램(408)이 하측 방향으로 부풀어 올라서 피스톤(410)을 하측 방향으로 이동시킨다. 피스톤(410)이 하측 방향으로 이동함으로써, 리테이너 지지 가이드(412)를 하측 방향으로 이동시킬 수 있다.
일 실시 형태에 있어서, 도 5, 도 6에 도시된 바와 같이, 상부 하우징(402)의 외측 측면으로부터 리테이너 지지 가이드(412)의 외측 측면에 걸쳐서 밴드(414)가 설치되어 있다. 밴드(414)는 리테이너 지지 가이드(412)의 하부 하우징(404)에 대한 변위를 허용함과 함께, 하부 하우징(404)과 리테이너 지지 가이드(412) 사이의 공간에 연마액 등이 침입하는 것을 방지한다.
도시된 바와 같이, 리테이너 지지 가이드(412)의 하면에는, 리테이너 가이드(416)가 설치되어 있다. 일 실시 형태에 있어서, 도시된 바와 같이, 리테이너 지지 가이드(412)와 리테이너 가이드(416) 사이에는 고무재 등으로 이루어지는 시일 패킹(415)이 배치되어 있다. 도시된 바와 같이 리테이너 가이드(416)의 하면에는, 리테이너 부재(3)가 설치된다. 도 6에 도시된 바와 같이, 리테이너 지지 가이드(412), 리테이너 가이드(416) 및 리테이너 부재(3)는 볼트(417)에 의해 고정할 수 있다. 리테이너 지지 가이드(412) 및 리테이너 가이드(416)는, 전체적으로 네모진 환상의 부재이다. 일 실시 형태에 있어서, 리테이너 지지 가이드(412) 및 리테이너 가이드(416)는 스테인리스강(SUS)으로 형성되고, 리테이너 부재(3)는 스테인리스강(SUS), 세라믹스, PPS 수지, 폴리 염화 비닐 수지 등으로 형성된다. 상술한 바와 같이, 하부 하우징(404) 내의 피스톤(410)에 의해 리테이너 지지 가이드(412)가 하측 방향으로 이동됨으로써, 리테이너 부재(3)가 하측 방향으로 이동된다.
일 실시 형태에 있어서, 리테이너 부재(3)는 도 4에 도시된 바와 같이 가늘고 긴 직사각형의 판상의 부재이다. 도 4에 도시된 실시 형태에 있어서는, 리테이너 부재(3)는 4개의 판상의 부재가 사각형의 헤드 본체(2)의 각 변의 외측에 마련되어 있다. 도시된 바와 같이, 리테이너 부재(3)는 사각형의 기판의 형상에 대응하는 사각형의 지지면의 각 변의 외측에 배치되어 있다. 도시한 실시 형태에 있어서는, 가늘고 긴 리테이너 부재(3)의 단부가 부채형으로 된 형상이다. 그 때문에, 도 4에 도시된 바와 같이 4개의 리테이너 부재(3)를 조합함으로써, 헤드 본체(2)의 모퉁이부도 포함하여 거의 전체를 리테이너 부재(3)로 둘러쌀 수 있다. 또한, 일 실시 형태에 있어서, 도 4에 도시된 바와 같이 리테이너 부재(3)는 복수의 홈(3a)을 구비하고 있다. 도 4에 도시된 리테이너 부재(3)는 헤드(302)의 내측으로부터 외측으로 연장되는 홈(3a)이 형성되어 있다. 홈(3a)은 연마 중에 슬러리 등의 연마액이 통과하는 길을 구성한다. 홈(3a)의 크기나 수는 임의이며, 또한 홈(3a)은 없어도 된다.
도 8은, 일 실시 형태에 따른, 리테이너 부재(3)를 상방(리테이너 가이드(416) 측)에서 본 개략도이다. 도 9는, 도 8에 도시된 리테이너 부재(3)의 단체의 부분 단면도이다. 도시된 바와 같이 4개의 판상의 리테이너 부재(3)의 각각에는, 리테이너 부재(3)를 리테이너 지지 가이드(412) 및 리테이너 가이드(416)에 고정하기 위한 볼트(417)가 들어가는 볼트 구멍(419)이 마련되어 있다. 또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 리테이너 부재(3)에는, 리테이너 부재(3)를 리테이너 지지 가이드(412) 및 리테이너 가이드(416)에 위치 결정하기 위한 위치 결정 핀(423)을 배치하기 위한 핀 구멍(421)이 마련되어 있다. 도 10은, 도 8에 도시된 화살표 BB-BB의 방향에서 본 부분 단면도이다. 일 실시 형태에 있어서, 핀 구멍(421) 및 위치 결정 핀(423)은 없어도 된다.
일 실시 형태에 있어서, 도 5, 도 9, 도 10에 나타내는 바와 같이 리테이너 부재(3)는 리테이너 가이드(416)의 방향을 향하여 돌출되는 볼록부(425)를 구비한다. 혹은, 리테이너 부재(3)의 볼록부(425)는 판상의 리테이너 부재(3)의 판면으로부터 수직인 방향으로 돌출된다고도 할 수 있다. 리테이너 부재(3)의 볼록부(425)는 리테이너 가이드(416)의 측면에 접촉하는 걸림 결합면(427)을 구비한다. 리테이너 부재(3)의 걸림 결합면(427)은 리테이너 가이드(416) 쪽을 향하도록 구성되어 있다. 바꾸어 말하면, 리테이너 부재(3)의 걸림 결합면(427)은 헤드(302)의 중심으로부터 이격되는 쪽을 향하도록 구성되어 있다. 혹은, 걸림 결합면(427)은 기판 혹은 기판을 지지하는 면에 수직인 방향으로 연장된다고도 할 수 있다. 리테이너 부재(3)의 걸림 결합면(427)은 리테이너 부재(3)가 리테이너 지지 가이드(412) 및 리테이너 가이드(416)에 고정되었을 때에, 걸림 결합면(427)이, 헤드(302)의 중심에서 보아 리테이너 가이드(416)의 내측의 측면에 접촉하도록 구성되어 있다.
도 8, 도 9에 도시된 바와 같이, 리테이너 부재(3)의 볼록부(425) 및 걸림 결합면(427)은 판상의 리테이너 부재(3)의 길이 방향의 거의 전체에 걸쳐서 마련되어 있다. 리테이너 부재(3)의 볼록부(425) 및 걸림 결합면(427)은 가장 끝에 있는 볼트 구멍(419)보다도 리테이너 부재(3)의 단부까지 마련되어 있는 것이 바람직하다.
기판을 연마할 때는, 헤드(302)의 탄성막(4) 아래에 기판을 보유 지지시켜, 연마 테이블(350) 상의 연마면에 압박하면서, 헤드(302) 및 연마 테이블(350)을 회전시킨다. 리테이너 부재(3)는 연마 중에 기판이 헤드(302)로부터 가로 방향으로 튀어나오지 않도록, 연마 중의 기판 헤드(302)에 대한 가로 방향의 움직임을 제한한다. 기판의 연마 중에는, 헤드(302) 및 연마 테이블(350)이 회전하므로, 기판의 측면이 리테이너 부재(3)에 충돌한다. 기판이 리테이너 부재(3)에 충돌하면, 리테이너 부재(3)에는 가로 방향의 힘이 부여되게 된다. 상술한 실시 형태에 의한 리테이너 부재(3)는 리테이너 가이드(416)에 접촉하는 걸림 결합면(427)을 구비하고 있으므로, 리테이너 부재(3)에 부여된 가로 방향의 힘은, 걸림 결합면(427)으로부터 리테이너 가이드(416)에 전달되게 된다. 가령, 리테이너 부재(3)에, 상술한 바와 같은 걸림 결합면(427)이 없을 경우, 리테이너 부재(3)에 부여된 가로 방향의 힘은, 볼트(417)를 통하여 리테이너 가이드(416)에 전달되게 된다. 그 경우, 볼트(417)에 큰 힘이 가해지게 되어, 볼트(417)가 풀어지는 원인이 될 수 있다. 그러나, 본 개시의 실시 형태에 의한 리테이너 부재(3)에 있어서는, 리테이너 부재(3)에 부여된 가로 방향의 힘은, 걸림 결합면(427)으로부터 리테이너 가이드(416)에 전달되게 되므로, 볼트(417)에 전달되는 힘을 작게 할 수 있다. 그 때문에, 상술한 실시 형태에 있어서는, 볼트(417)가 풀어지는 리스크를 경감시킬 수 있다.
도시한 실시 형태에 있어서는, 리테이너 부재(3)는 리테이너 가이드(416)의 내측의 측면에 접촉하는 걸림 결합면(427)을 구비하고 있지만, 리테이너 부재(3)에 부여된 가로 방향의 힘을 리테이너 가이드(416)에 면으로 전달되도록 할 수 있으면, 다른 구조로 해도 된다. 예를 들어 리테이너 부재(3)가 볼록부를 구비하고, 리테이너 가이드(416)가 리테이너 부재(3)의 볼록부에 대응하는 오목부를 구비하도록 함으로써, 요철의 걸림 결합면에서 힘을 전달할 수 있으므로, 마찬가지의 효과를 기대할 수 있다. 또한, 리테이너 부재(3)가 오목부를 구비하고, 리테이너 가이드(416)가 볼록부를 구비해도 된다.
도 11은, 일 실시 형태에 따른 리테이너부(380)를 나타내는 단면도이다. 도 11에 나타내는 리테이너 부재는, 제1 층(3b)과 제2 층(3c)을 구비한다. 리테이너 부재(3)의 제1 층(3b)과 제2 층(3c)은 다른 재료로 할 수 있다. 상술한 바와 같이, 리테이너 부재(3b)는 스테인리스강(SUS), 세라믹스, PPS 수지, 폴리 염화 비닐 수지 등으로 형성할 수 있지만, 예를 들어 제1 층(3b)은 강성이 높은 스테인리스강(SUS) 등으로 형성하고, 제2 층(3c)을 PPS 수지로 형성할 수 있다. 혹은, 제2 층(3c)을 수지보다도 강성이 높은 세라믹스로 형성해도 된다. 리테이너 부재(3)의 제1 층(3b)과 제2 층(3c)은, 에폭시 수지 등의 접착제로 접착할 수 있다. 또한, 리테이너 부재(3)의 제1 층(3b)과 제2 층(3c)의 접합면에 요철 구조를 마련하여, 가로 방향의 충격에 강해지도록 형성해도 된다.
일 실시 형태에 있어서, 헤드(302)는 리테이너 부재(3)를 상하 방향으로 변위 가능하게 안내하고, 또한 리테이너 부재(3)를 가로 방향으로 변위하는 것을 금지하도록 지지하는, 리테이너 안내 장치를 구비한다. 일 실시 형태에 있어서, 도 5, 도 6에 도시된 바와 같이, 리테이너 지지 가이드(412), 리테이너 가이드(416) 및 리테이너 부재(3)는 지지 롤러(450)에 의해 지지 및 안내되어, 상하 방향으로 이동 가능하다. 도시된 바와 같이, 리테이너 지지 가이드(412)의 내측 측면에는, 지지 패드(418)가 고정되어 있다. 도시된 바와 같이, 리테이너 지지 가이드(412)에 고정된 지지 패드(418)가 지지 롤러(450)에 접촉 및 지지된 상태에서, 리테이너 지지 가이드(412), 리테이너 가이드(416) 및 리테이너 부재(3)가 상하 방향으로 이동한다. 또한, 일 실시 형태에 있어서, 리테이너 지지 가이드(412)에 고정된 지지 패드(418)와 지지 롤러(450) 사이에는 약간 간극이 생기도록 구성해도 된다. 일 실시 형태에 있어서, 지지 패드(418)는 PPS 수지나 염화 비닐 수지, PEEK 수지 등으로 형성할 수 있다.
도 5, 도 6에 도시된 바와 같이, 헤드 본체(2)의 하부 부재(306)에는, 리테이너 지지 프레임(420)이 고정되어 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 리테이너 지지 프레임(420)은 볼트(422)에 의해 하부 부재(306)에 고정된다. 도 5, 도 6에 도시된 바와 같이, 하부 부재(306)와 리테이너 지지 프레임(420) 사이에는, 시일 패킹(415)이 끼워져 있다. 도시된 바와 같이, 시일 패킹(415)은 하부 부재(306)와 리테이너 지지 프레임(420) 사이의 영역으로부터, 리테이너 지지 가이드(412)와 리테이너 가이드(416) 사이의 영역까지 연장되어 있다. 또한, 시일 패킹(415)은 헤드 본체(2)로부터 리테이너부(380)에 걸쳐서 연장된다고도 할 수 있다. 그 때문에, 시일 패킹(415)은 헤드 본체(2)와 리테이너부(380) 사이로부터 연마액 등이 헤드(302)의 내부에 침입하는 것을 방지할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 리테이너 지지 프레임(420)에는 샤프트(424)가 고정되어 있다. 지지 롤러(450)는 샤프트(424)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 일 실시 형태에 있어서, 지지 롤러(450)는 네모진 환상의 리테이너부(380)의 각 변을 따라 복수 마련된다.
또한, 상술한 실시 형태에 있어서, 헤드 샤프트(18)의 회전력은, 상부 부재(303), 중간 부재(304) 및 하부 부재(306)에 전달된다. 또한, 회전력은 하부 부재(306)에 고정된 리테이너 지지 프레임(420)으로부터 지지 롤러(450)에 전달되고, 지지 롤러(450)로부터 지지 패드(418)를 통하여 리테이너부(380)에 전달된다. 그 때문에, 헤드(302)의 헤드 본체(2)의 회전력은 지지 롤러(450)를 통하여 리테이너부(380)에 전달된다.
또한, 상술한 실시 형태에 있어서, 통로(403)를 통하여 실린더(406)에 유체를 공급하여, 다이어프램(408)에 의해 피스톤(410)을 구동함으로써, 리테이너 부재(3)를 상하 방향으로 이동시켜 연마 패드(352)에 대하여 압박할 수 있다. 또한, 실린더(406)에 공급하는 유체의 압력에 의해, 리테이너 부재(3)의 연마 패드(352)로의 압박 압력을 제어할 수 있다. 상술한 실시 형태에 있어서는, 리테이너 부재(3)가 상하 방향으로 이동할 때, 지지 롤러(450)에 의해 안내되어 이동한다. 그 때문에, 지지 롤러(450)와 지지 패드(418) 사이의 저항을 작게 할 수 있다.
<건조 모듈>
건조 모듈은, 기판(WF)을 건조시키기 위한 장치이다. 도 1에 나타내는 기판 처리 장치(1000)에 있어서는, 건조 모듈(500)은 연마 모듈(300)에서 연마된 후에, 반송 모듈(200)의 세정부에서 세정된 기판(WF)을 건조시킨다. 도 1에 도시된 바와 같이, 건조 모듈(500)은 반송 모듈(200)의 하류에 배치된다.
건조 모듈(500)은 기판(WF)을 반송하기 위한 반송 롤러(202)를 갖는다. 일 실시 형태에 있어서, 건조 모듈(500)의 반송 롤러(202)는 도전성 폴리머로 구성할 수 있다. 반송 롤러(202)는 롤러 샤프트(204) 등을 통하여 전기적으로 접지된다. 이것은, 기판(WF)이 대전하여 기판(WF)을 손상시키는 것을 방지하기 위해서이다. 또한, 일 실시 형태에 있어서, 건조 모듈(500)에, 기판(WF)의 대전을 방지하기 위하여 이오나이저(도시하지 않음)를 마련해도 된다. 일 실시 형태에 있어서, 건조 모듈(500)은 반송 롤러(202) 상의 소정의 위치에 있어서의 기판(WF)의 존재 유무를 검지하기 위한 센서를 구비해도 된다.
실시 형태에 있어서, 건조 모듈(500)은 반송 롤러(202) 상을 반송되는 기판(WF)을 향하여 기체를 분사하기 위한 노즐(530)을 갖는다. 기체는, 예를 들어 압축된 공기 또는 질소로 할 수 있다. 건조 모듈(500)의 노즐(530)에 대해서는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2020-019115호 공보에 개시되어 있는 노즐과 마찬가지 또는 유사한 노즐을 이용할 수 있다.
<언로드 모듈>
언로드 모듈(600)은 연마 및 세정 등의 처리가 행해진 후의 기판(WF)을 기판 처리 장치(1000) 밖으로 반출하기 위한 모듈이다. 도 1에 나타내는 기판 처리 장치(1000)에 있어서는, 언로드 모듈(600)은 건조 모듈(500)에서 건조된 후의 기판을 받아들인다. 도 1에 도시된 바와 같이, 언로드 모듈(600)은 건조 모듈(500)의 하류에 배치된다.
도 1에 나타내는 실시 형태에 있어서, 언로드 모듈(600)은 기판(WF)을 반송하기 위한 복수의 반송 롤러(202)를 구비하고 있다. 반송 롤러(202)를 회전시킴으로써, 반송 롤러(202) 상의 기판을 소정의 방향으로 반송할 수 있다. 일 실시 형태에 있어서, 언로드 모듈(600)의 반송 롤러(202)는 도전성 폴리머로 구성할 수 있다. 일 실시 형태에 있어서, 반송 롤러(202)는 롤러 샤프트(204) 등을 통하여 전기적으로 접지된다. 이것은, 기판(WF)이 대전하여 기판(WF)을 손상시키는 것을 방지하기 위해서이다. 또한, 일 실시 형태에 있어서, 언로드 모듈(600)에, 기판(WF)의 대전을 방지하기 위하여 이오나이저(도시하지 않음)를 마련해도 된다. 일 실시 형태에 있어서, 언로드 모듈(600)은 반송 롤러(202) 상의 소정의 위치에 있어서의 기판(WF)의 존재 유무를 검지하기 위한 센서를 구비해도 된다.
도 1에 나타내는 기판 처리 장치(1000)에 있어서는, 반송 모듈(200) 및 연마 모듈(300)은 각각 2개 마련되어 있지만, 반송 모듈(200) 및 연마 모듈(300)은 각각 1개여도 되고, 각각 3개 이상이어도 된다. 또한, 상술한 바와 같이, 로드 모듈(100), 반송 모듈(200), 연마 모듈(300), 건조 모듈(500) 및 언로드 모듈(600)은 각각 독립된 모듈로서 구성할 수 있다.
상술한 실시 형태로부터 적어도 이하의 기술적 사상이 파악된다.
[형태 1] 형태 1에 의하면, 다각형의 기판을 보유 지지하기 위한 헤드가 제공되고, 이러한 헤드는, 다각형의 기판의 형상에 대응하는 형상의 기판 지지면과, 기판 지지면의 각 변의 외측에 배치되는 리테이너 부재와, 상기 리테이너 부재를 지지하는 리테이너 가이드와, 상기 리테이너 부재는, 상기 기판 지지면에 수직인 방향으로 연장되는 걸림 결합면을 갖고, 상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 리테이너 가이드에 걸림 결합되어 있다.
[형태 2] 형태 2에 의하면, 형태 1에 따른 헤드에 있어서, 상기 리테이너 부재와 상기 리테이너 가이드는, 볼트에 의해 고정되어 있다.
[형태 3] 형태 3에 의하면, 형태 1 또는 2에 따른 헤드에 있어서, 상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 헤드의 중심에서 보아 상기 리테이너 가이드의 내측의 측면에 걸림 결합되어 있다.
[형태 4] 형태 4에 의하면, 형태 1 내지 형태 3 중 어느 하나의 형태에 따른 헤드에 있어서, 상기 리테이너 부재는, 제1 층과 제2 층을 갖고, 상기 제1 층과 상기 제2 층은 다른 재료로 형성되어 있다.
[형태 5] 형태 5에 의하면, 다각형의 기판을 보유 지지하기 위한 헤드에 사용되는 리테이너 부재가 제공되고, 이러한 리테이너 부재는, 상기 리테이너 부재는 판상의 부재를 갖고, 상기 리테이너 부재는, 판면에 수직인 방향으로 연장되는 걸림 결합면을 갖고, 상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 리테이너가 헤드에 설치되었을 때에, 상기 리테이너 부재를 지지하는 리테이너 가이드에 걸림 결합되도록 구성되어 있다.
[형태 6] 형태 6에 의하면, 형태 5에 따른 리테이너 부재에 있어서, 상기 리테이너 부재는, 상기 리테이너 가이드에 볼트로 고정하기 위한 볼트 구멍을 갖는다.
[형태 7] 형태 7에 의하면, 형태 5 또는 6에 따른 리테이너 부재에 있어서, 상기 판상의 부재는, 제1 층과 제2 층을 갖고, 상기 제1 층과 상기 제2 층은 다른 재료로 형성되어 있다.
[형태 8] 형태 8에 의하면, 다각형의 기판을 처리하는 기판 처리 장치가 제공되고, 이러한 기판 처리 장치는, 형태 1 내지 형태 4 중 어느 하나의 형태의 헤드와, 연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블을 갖는다.
2: 헤드 본체
3: 리테이너 부재
4: 탄성막
100: 로드 모듈
200: 반송 모듈
300: 연마 모듈
302: 헤드
350: 연마 테이블
352: 연마 패드
380: 리테이너부
412: 리테이너 지지 가이드
416: 리테이너 가이드
417: 볼트
418: 지지 패드
419: 볼트 구멍
420: 리테이너 지지 프레임
421: 핀 구멍
423: 핀
425: 볼록부
427: 걸림 결합면
500: 건조 모듈
600: 언로드 모듈
900: 제어 장치
1000: 기판 처리 장치
WF: 기판

Claims (8)

  1. 다각형의 기판을 보유 지지하기 위한 헤드이며,
    다각형의 기판의 형상에 대응하는 형상의 기판 지지면과,
    기판 지지면의 각 변의 외측에 배치되는 리테이너 부재와,
    상기 리테이너 부재를 지지하는 리테이너 가이드와,
    상기 리테이너 부재는, 상기 기판 지지면에 수직인 방향으로 연장되는 걸림 결합면을 갖고,
    상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 리테이너 가이드에 걸림 결합되어 있는,
    헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 리테이너 부재와 상기 리테이너 가이드는, 볼트에 의해 고정되어 있는,
    헤드.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 헤드의 중심에서 보아 상기 리테이너 가이드의 내측의 측면에 걸림 결합되어 있는,
    헤드.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 리테이너 부재는, 제1 층과 제2 층을 갖고, 상기 제1 층과 상기 제2 층은 다른 재료로 형성되어 있는,
    헤드.
  5. 다각형의 기판을 보유 지지하기 위한 헤드에 사용되는 리테이너 부재이며,
    상기 리테이너 부재는 판상의 부재를 갖고,
    상기 리테이너 부재는, 판면에 수직인 방향으로 연장되는 걸림 결합면을 갖고,
    상기 리테이너 부재의 상기 걸림 결합면은, 상기 리테이너가 헤드에 설치되었을 때에, 상기 리테이너 부재를 지지하는 리테이너 가이드에 걸림 결합되도록 구성되어 있는,
    리테이너 부재.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 리테이너 부재는, 상기 리테이너 가이드에 볼트로 고정하기 위한 볼트 구멍을 갖는,
    리테이너 부재.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 판상의 부재는, 제1 층과 제2 층을 갖고, 상기 제1 층과 상기 제2 층은 다른 재료로 형성되어 있는,
    리테이너 부재.
  8. 다각형의 기판을 처리하는 기판 처리 장치이며,
    제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 헤드와,
    연마 패드를 지지하기 위한 연마 테이블을 갖는,
    기판 처리 장치.
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