KR20230068769A - 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템 - Google Patents

유연디스플레이 인식마크 측정 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 본 발명의 구성은 플렉시블 필름(2)을 이송시키는 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 소자(3)를 상기 플렉시블 필름(2)에 본딩시키는 본딩 가압부가 메인 프레임(110)에 지지되도록 구성된 유연디스플레이 열공정 시스템의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템으로서, 상기 언와인더 유닛(210)과 상기 본딩 가압부 사이에 배치되도록 상기 메인 프레임(110)에 지지되어 상기 플렉시블 필름의 인식마크(MK)를 측정하는 제1측정부(612); 상기 플렉시블 필름의 이송 경로를 기준으로 상기 제1측정부(612)를 벗어난 위치에 배치되도록 상기 메인 프레임(110)에 지지되어 상기 플렉시블 필름의 인식마크(MK)를 측정하는 제2측정부(614);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유연디스플레이 인식마크 측정 시스템{Flexible display detection mark measurement system}
본 발명은 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자 등의 소자와 플렉시블 필름 간의 본딩 정밀도를 높일 수 있도록 플렉시블 필름의 인식마크를 제대로 측정할 수 있는 새로운 구성의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 엘씨디(LCD)나 엘이디(LED)와 같은 평판 디스플레이들은 점차 경박단소화되어 감에따라 이에 대응하여 글래스의 패턴부에 반도체 소자나 회로기판과 같은 소자들이 직접 본딩되어 제작되는 경우가 많으며, 이러한 본딩작업은 로딩부와 본딩부가 각각 구비된 소자본딩장치에 의해 이루어진다.
상기 소자본딩장치에 글래스와 반도체 소자 등을 본딩하려면 로딩부에 글래스와 반도체 소자를 각각 로딩시켜 셋팅한 후 본딩부에서 본딩헤드로 가압하면서 본딩을 행하게 된다. 유연성, 경량화 및 휴대성이 우수한 특성을 동시에 만족시키기 위해서는 디스플레이 장치의 배선 및 소자를 플라스틱 기판 상에 형성하는 유연디스플레이 장치의 필요성이 대두되고 있다. 유연디스플레이 장치는 롤러(Roll) 투 롤러(Roll) 방식으로 제조되는 경우가 많다. 이러한 유연디스플레이의 제조 공정에서는 플렉시블 필름과 반도체 소자나 플렉시블 인쇄회로기판과 같은 소자 간의 본딩 작업이 수행된다.
그런데, 유연디스플레이 장치를 생산하기 위해서는 플렉시블 필름과 소자 간의 정밀하고 오차없는 본딩 작업이 요구되는데, 플렉시블 필름(유연디스플레이)의 이송 중에 인식마크를 제대로 인식해야 정밀하고 오차없는 본딩 작업이 가능하다. 따라서, 유연디스플레이에 소자 본딩 작업 이전에 이송 경로상에 미리 인식마크를 인식하여 소자 본딩부의 X축 방향 이동과 Y축 방향 이동이 이루어지도록 한 상태에서 본딩을 수행하도록 함으로서 본덩 정밀도를 제대로 맞출 수 있는 수단이 필요한 실정이다.
한국등록특허 제10-1754511호(2017년06월29일 등록) 한국공개특허 제10-1996-0035935호(1996년10월28일 공개) 한국공개특허 제10-2000-0074174호(2000년12월05일 공개) 한국등록실용신안 제20-0311427호(2003년04월11일 등록)
본 발명은 전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위해 개발된 것으로, 본 발명의 목적은 플렉시블 필름의 인식마크를 제대로 측정함으로써 플렉시블 필름과 반도체 소자와 같은 소자 간의 본딩 정밀도를 높일 수 있고, 본딩 정밀도 향상으로 인하여 유연디스플레이의 품질 보장에 기여하는 새로운 구성의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의하면, 플렉시블 필름을 이송시키는 언와인더 유닛과 리와인더 유닛 사이에 소자를 상기 플렉시블 필름에 본딩시키는 본딩 가압부가 메인 프레임에 지지되도록 구성된 유연디스플레이 열공정 시스템의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템으로서, 상기 언와인더 유닛과 상기 본딩 가압부 사이에 배치되도록 상기 메인 프레임에 지지되어 상기 플렉시블 필름의 인식마크를 측정하는 제1측정부; 상기 플렉시블 필름의 이송 경로를 기준으로 상기 제1측정부를 벗어난 위치에 배치되도록 상기 메인 프레임에 지지되어 상기 플렉시블 필름의 인식마크를 측정하는 제2측정부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템이 제공된다.
상기 제1측정부는, 상기 플렉시블 필름의 이송 방향과 교차되는 한쪽 위치에 배치되도록 상기 메인 프레임에 지지된 제1포스트; 상기 제1포스트에 지지된 제1 X축 이동패널; 상기 제1 X축 이동패널이 상기 메인 프레임의 X축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제1 X축 이동수단; 상기 제1 X축 이동패널에 슬라이드 가능하게 결합된 제1 Y축 이동패널; 상기 제1 Y축 이동패널이 상기 메인 프레임의 Y축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제1 Y축 이동수단; 상기 제1 Y축 이동패널의 상면에 구비된 제1 Z축 서포트 패널; 상기 제1 Z축 서포트 패널에 승강 가능하게 결합된 제1 Z축 이동패널; 상기 제1 Z축 이동패널이 승강되도록 하는 제1 Z축 이동수단; 상기 제1 Z축 이동패널에 장착된 제1측정 헤드;를 포함하여 구성되고, 상기 제2측정부는, 상기 플렉시블 필름의 이송 방향과 교차되는 다른 쪽 위치에 배치되도록 상기 메인 프레임에 지지된 제2포스트; 상기 제2포스트에 지지된 제2 X축 이동패널; 상기 제2 X축 이동패널이 상기 메인 프레임의 X축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제2 X축 이동수단; 상기 제2 X축 이동패널에 슬라이드 가능하게 결합된 제2 Y축 이동패널; 상기 제2 Y축 이동패널이 상기 메인 프레임의 Y축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제2 Y축 이동수단; 상기 제2 Y축 이동패널의 상면에 구비된 제2 Z축 서포트 패널; 상기 제2 Z축 서포트 패널에 승강 가능하게 결합된 제2 Z축 이동패널; 상기 제2 Z축 이동패널이 승강되도록 하는 제2 Z축 이동수단; 상기 제2 Z축 이동패널에 장착된 제2측정 헤드;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 제1 X축 이동패널은 상기 제1포스트의 상단부에 구비된 제1이동 서포트 패널의 상면에 슬라이드 가능하게 결합되고, 상기 제1 X축 이동수단은 상기 제1 X축 이동패널에 연결된 제1 X축 스핀들로 구성되고, 상기 제1 Y축 이동수단은 상기 제1 Y축 이동패널에 연결된 제1 Y축 스핀들로 구성되고, 상기 제1 Z축 이동수단은 상기 제1 Z축 이동패널에 연결된 제1 Z축 스핀들로 구성되고, 상기 제2 X축 이동패널은 상기 제2포스트의 상단부에 구비된 제2이동 서포트 패널의 상면에 슬라이드 가능하게 결합되고, 상기 제2 X축 이동수단은 상기 제2 X축 이동패널에 연결된 제2 X축 스핀들로 구성되고, 상기 제2 Y축 이동수단은 상기 제2 Y축 이동패널에 연결된 제2 Y축 스핀들로 구성되고, 상기 제2 Z축 이동수단은 상기 제2 Z축 이동패널에 연결된 제2 Z축 스핀들로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 제1 X축 스핀들은 상기 제1이동 서포트 패널에 구비되고, 상기 제1 Y축 스핀들은 상기 제1 X축 이동패널에 구비되고, 상기 제1 Y축 이동패널의 상면에는 제1 Z축 서포트 패널이 구비되고, 상기 제1 Z축 스핀들은 상기 제1 Z축 서포트 패널에 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 제2 X축 스핀들은 상기 제2이동 서포트 패널에 구비되고, 상기 제2 Y축 스핀들은 상기 제2 X축 이동패널에 구비되고, 상기 제2 Y축 이동패널의 상면에는 제2 Z축 서포트 패널이 구비되고, 상기 제2 Z축 스핀들은 상기 제2 Z축 서포트 패널에 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 제1 Z축 서포트 패널에 승강 가능하도록 제1 Z축 이동패널이 결합되고, 상기 제1 Z축 이동패널은 상기 제1 Z축 스핀들에 의해 승강 작동되고, 상기 제1 Z축 이동패널에는 제1측정 헤드가 장착되고, 상기 제1측정 헤드는 내부에 카메라가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 제2 Z축 서포트 패널에 승강 가능하도록 제2 Z축 이동패널이 결합되고, 상기 제2 Z축 이동패널은 상기 제2 Z축 스핀들에 의해 승강 작동되고, 상기 제2 Z축 이동패널에는 제2측정 헤드가 장착되고, 상기 제2측정 헤드는 내부에 카메라가 구비된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템에서는 PI Film(기판 : 플렉시블 필름) 위치결정 인식마크 확인에 의해 PI Film의 인식마크에 따라서 레이저 조사를 위한 레이저 헤드 조사 위치를 정위치로 이동되도록 하는 등의 정밀한 PI Film과 반도체 소자의 접합 조건을 형성하는데 도움을 줌으로써 유연디스플레이 장치를 생산하기 위하여 PI Film(유연 디스플레이 필름)과 소자(주로 반도체 소자)간의 정밀하고 오차없는 본딩 작업이 가능하도록 하는 효과가 있다.
한편, 상기한 효과는 본 발명의 주요 효과에 해당하며, 본 발명은 상기한 효과 이외에 다른 여러 가지 유용한 효과가 있으며, 본 발명은 상기한 효과에 의해서만 특징이 한정되는 것은 아니라는 점을 이해해야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템을 채용한 유연디스플레이 열공정 시스템의 정면도
도 2는 본 발명에 의한 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템의 구조를 보여주는 사시도
도 3는 도 2의 정면도
도 4는 도 2의 좌측면도
도 5은 도 2의 배면도
도 6은 도 2의 우측면도
도 7은 본 발명의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템을 채용하여 유연디스플레이 열공정 시스템에서 소자 본딩 작업이 이루어지는 플렉시블 필름의 일부를 보여주는 평면도
도 8은 도 7의 사시도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 상기 본 발명의 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 도면에서 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 사용한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
유연디스플레이 열공정 시스템은 언와인더 유닛(210)에서 플렉시블 필름(2)(PI Film이라고도 함)을 레이더 헤드(812) 아래와 본딩 테이블 상면 사이에 공급하고, 상기 본딩 테이블에서는 플렉시블 필름을 밑에서 받쳐주고 레이더 헤드(812)에서는 레이저를 조사한 상태에서 플렉시블 필름 위에 소자(주로 반도체 소자)를 본딩 가압부에 의해 가압하여 본딩하고, 소자(3)가 본딩된 플렉시블 필름(2)은 리와인더 유닛(310)에 의해서 리와인딩하게 되는데, 본 발명에 의한 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템은 플렉시블 필름에 구비된 인식마크(MK)를 측정하여 소자(3)가 플렉시블 필름(2) 위에 올바른 위치로 본딩되도록 하는 것이다. 상기 레이더 헤드(812)와 본딩 테이블과 본딩 가압부는 메인 프레임(110)에 설치된다.
본 발명의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템은 플렉시블 필름(2)을 이송시키는 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 소자(3)를 플렉시블 필름(2)에 본딩시키는 본딩 가압부가 메인 프레임(110)에 지지되도록 구성된 유연디스플레이 열공정 시스템에 이용되는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템이다.
도 1은 본 발명에 의한 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템을 채용한 유연디스플레이 열공정 시스템의 정면도, 도 2는 본 발명에 의한 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템의 구조를 보여주는 사시도, 도 3는 도 2의 정면도, 도 4는 도 2의 좌측면도, 도 5은 도 2의 배면도, 도 6은 도 2의 우측면도, 도 7은 본 발명의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템을 채용하여 유연디스플레이 열공정 시스템에서 소자 본딩 작업이 이루어지는 플렉시블 필름의 일부를 보여주는 평면도, 도 8은 도 7의 사시도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템은 언와인더 유닛(210)과 본딩 가압부 사이에 배치되도록 메인 프레임(110)에 지지되어 플렉시블 필름의 인식마크(MK)를 측정하는 제1측정부(612)와, 상기 플렉시블 필름(2)의 이송 경로를 기준으로 제1측정부(612)를 벗어난 위치에 배치되도록 메인 프레임(110)에 지지되어 플렉시블 필름의 인식마크(MK)를 측정하는 제2측정부(614)를 포함한다.
상기 제1측정부(612)는 제1포스트(612PS), 제1 X축 이동패널(612XMP), 제1 X축 이동수단(612XMD), 제1 Y축 이동패널(612YMP), 제1 Y축 이동수단(612YMD), 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP), 제1 Z축 이동패널(612ZMP), 제1 Z축 이동수단(612ZMD), 제1측정 헤드(612MEH)를 포함한다.
상기 언와인더 유닛(210)과 레이더 헤드(812) 사이에 배치되도록 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에 제1포스트(612PS)가 구비된다. 상기 메인 프레임(110)의 이송 경로(X축 방향)를 따라 지나가는 PI Film(2)의 한쪽 위치에 제1포스트(612PS)가 배치된다. 상기 제1포스트(612PS)의 상단부에는 제1이동 서포트 패널(612XSP)이 구비된다.
상기 제1이동 서포트 패널(612XSP)의 상면에는 제1 X축 이동패널(612XMP)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 제1 X축 이동패널(612XMP)이 크로스 롤러 베어링에 의해 제1이동 서포트 패널(612XSP)의 상면에 슬라이드 가능하게 결합됨으로써, 상기 제1이동 서포트 패널(612XSP)의 상면에서 제1 X축 이동패널(612XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동될 수 있도록 구성된다.
상기 제1 X축 이동수단(612XMD)은 제1이동 서포트 패널(612XSP)에 구비된 제1 X축 스핀들로 구성된다. 상기 제1 X축 스핀들은 제1 X축 이동패널(612XMP)에 홀더와 같은 연결구를 매개로 연결되고, 상기 홀더는 제1 X축 스핀들과 제1 X축 이동패널(612XMP)에 상대 회전 가능하게 결합되어, 상기 제1 X축 스핀들의 회전에 따라 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 전후진될 수 있다.
또한, 상기 제1이동 서포트 패널(612XSP)에는 메인 프레임(110)의 X축 방향과 나란한 방향으로 고정 지지부(612XFP)가 구비되고, 상기 고정 지지부(612XFP)에는 볼트 결합홀이 구비되고, 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)에는 상기 고정 지지부(612XFP)의 전면에 배치되도록 고정 지지 브라켓(612XBR)이 구비되고, 상기 고정 지지 브라켓(612XBR)에는 상기 고정 지지부(612XFP)의 볼트 결합홀과 만나면서 동시에 상기 메인 프레임(110)의 X축 방향으로 연장된 장홀(612XLH)이 구비된다. 또한, 상기 제1이동 서포트 패널(612XSP)에는 상기 고정 지지 브라켓(612XBR)과 마주하는 가압 브라켓(612XPR)이 구비되고, 상기 가압 브라켓(612XPR)에는 상기 고정 지지 브라켓(612XBR)의 장홀(612XLH)과 만나는 볼트 관통홀이 구비된다.
따라서, 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 상기 가압 브라켓(612XPR)의 볼트 관통홀과 고정 지지 브라켓(612XBR)의 장홀(612XLH)을 관통한 볼트(BT)를 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)의 고정 지지부(612XFP)에 구비된 볼트 결합홀에 조여주면, 상기 볼트(BT)의 헤드부가 제1 X축 이동패널(612XMP)에 구비된 고정 지지 브라켓(612XBR)과 고정 지지부(612XFP)에 제1이동 서포트 패널(612XSP)에 구비된 가압 브라켓(612XPR)이 가압되도록 하므로, 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 제1 X축 이동패널(612XMP)이 안정적으로 고정되도록 한다.
또한, 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)의 상면에는 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 크로스 롤러 베어링에 의해 제1 X축 이동패널(612XMP)에 슬라이드 가능하게 결합됨으로써, 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)의 상면에서 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동될 수 있도록 구성된다.
상기 제1 Y축 이동수단(612YMD)은 제1 X축 이동패널(612XMP)에 구비된 제1 Y축 스핀들로 구성된다. 상기 제1 Y축 스핀들은 제1 Y축 이동패널(612YMP)에 홀더와 같은 연결구를 매개로 연결되고, 상기 홀더는 제1 Y축 스핀들과 제1 Y축 이동패널(612YMP)에 상대 회전 가능하게 결합되어, 상기 제1 Y축 스핀들의 회전에 따라 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향과 직교하는 Y축 방향을 따라 전후진될 수 있다.
또한, 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)에는 메인 프레임(110)의 Y축 방향과 나란한 방향으로 고정 지지부(612YFP)가 구비되고, 상기 고정 지지부(612YFP)에는 볼트 결합홀이 구비되고, 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)에는 상기 고정 지지부(612YFP)의 전면에 배치되도록 고정 지지 브라켓(612YBR)이 구비되고, 상기 고정 지지 브라켓(612YBR)에는 상기 고정 지지부(612YFP)의 볼트 결합홀과 만나면서 동시에 상기 메인 프레임(110)의 Y축 방향으로 연장된 장홀(612YLH)이 구비된다. 또한, 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)에는 상기 고정 지지 브라켓(612YBR)과 마주하는 가압 브라켓(612YPR)이 구비되고, 상기 가압 브라켓(612YPR)에는 상기 고정 지지 브라켓(612YBR)의 장홀(612YLH)과 만나는 볼트 관통홀이 구비된다.
따라서, 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 상기 가압 브라켓(612YPR)의 볼트 관통홀과 고정 지지 브라켓(612YBR)의 장홀(612YLH)을 관통한 볼트(BT)를 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)의 고정 지지부(612YFP)에 구비된 볼트 결합홀에 조여주면, 상기 볼트(BT)의 헤드부가 제1 Y축 이동패널(612YMP)에 구비된 가압 브라켓(612YPR)을 제1 X축 이동패널(612XMP)의 고정 지지부(612XFP)에 가압하므로, 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 안정적으로 고정되도록 한다.
또한, 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)의 상면에는 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)이 구비된다. 상기 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)은 제1 Y축 이동패널(612YMP)에서 수직 방향으로 세워진 구조이다.
상기 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에는 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 승강 가능하게 결합된다. 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 크로스 롤러 베어링에 의해 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 슬라이드 가능하게 결합됨으로써, 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)의 상면에서 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향(즉, 수직 방향)을 따라 승강될 수 있도록 구성된다.
상기 제1 Z축 이동수단(612ZMD)은 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 구비된 제1 Z축 스핀들로 구성된다. 상기 제1 Z축 스핀들은 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 브라켓과 같은 지지수단에 의해 고정된 상태에서 제1 Z축 이동패널(612ZMP)에 홀더와 같은 연결구를 매개로 연결되고, 상기 홀더는 제1 Z축 스핀들과 제1 Z축 이동패널(612ZMP)에 상대 회전 가능하게 결합되어, 상기 제1 Z축 스핀들의 회전에 따라 상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향을 따라 승강될 수 있게 된다.
또한, 상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)에는 메인 프레임(110)의 Z축 방향과 나란한 방향으로 고정 지지부(612ZFP)가 구비되고, 상기 고정 지지부(612ZFP)에는 볼트 결합홀이 구비되고, 상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)에는 상기 고정 지지부(612ZFP)의 전면에 배치되도록 고정 지지 브라켓(612ZBR)이 구비되고, 상기 고정 지지 브라켓(612ZBR)에는 상기 고정 지지부(612ZFP)의 볼트 결합홀과 만나면서 동시에 상기 메인 프레임(110)의 Z축 방향으로 연장된 장홀(612ZLH)이 구비된다. 또한, 상기 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에는 상기 고정 지지 브라켓(612ZBR)과 마주하는 가압 브라켓(612ZPR)이 구비되고, 상기 가압 브라켓(612ZPR)에는 상기 고정 지지 브라켓(612ZBR)의 장홀(612ZLH)과 만나는 볼트 관통홀이 구비된다.
따라서, 상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향을 따라 승강되어 위치 설정된 다음에 상기 가압 브라켓(612XPR)의 볼트 관통홀과 고정 지지 브라켓(612XBR)의 장홀(612XLH)을 관통한 볼트(BT)를 상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)의 고정 지지부(612XFP)에 구비된 볼트 결합홀에 조여주면, 상기 볼트(BT)의 헤드부가 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 구비된 가압 브라켓(612XPR)을 제1 Z축 이동패널(612ZMP)의 고정 지지 브라켓(612XBR)과 고정 지지부(612XFP)에 가압하므로, 상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향을 따라 승강되어 위치 설정된 다음에 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 안정적으로 고정되도록 한다.
상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)에는 제1측정 헤드(612MEH)가 구비된다. 제1측정 헤드(612MEH)는 Z축 방향(즉, 수직 방향)으로 세워져서 배치된다. 상기 제1측정 헤드(612MEH)는 내부에 카메라가 구비되고, 상기 제1측정 헤드(612MEH)의 저면에는 카메라의 주위에 배치되도록 복수개의 엘이디가 구비된다. 상기 메인 프레임(110)의 일측에서 볼 때에 제1측정 헤드(612MEH)는 메인 프레임(110)의 PI Film(2)이 지나가는 이송 경로를 기준으로 앞쪽에 배치된다.
상기 제2측정부(614)는 제2포스트(614PS), 제2 X축 이동패널(612XMP), 제2 X축 이동수단(612XMD), 제2 Y축 이동패널(612YMP), 제2 Y축 이동수단(612YMD), 제2 Z축 서포트 패널(612ZSP), 제2 Z축 이동패널(612ZMP), 제2 Z축 이동수단(612ZMD), 제2측정 헤드(612MEH)를 포함한다.
상기 언와인더 유닛(210)과 레이더 헤드(812) 사이에 배치되도록 메인 프레임(110)의 메인 베이스(112)에는 제2포스트(614PS)가 구비된다. 상기 메인 프레임(110)의 이송 경로(X축 방향)를 따라 지나가는 PI Film(2)의 다른 쪽 위치에 제2포스트(614PS)가 배치된다. 상기 제2포스트(614PS)의 상단부에는 제2이동 서포트 패널(614XSP)이 구비된다.
상기 제2이동 서포트 패널(614XSP)의 상면에는 제2 X축 이동패널(614XMP)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 제2 X축 이동패널(614XMP)이 크로스 롤러 베어링에 의해 제2이동 서포트 패널(614XSP)의 상면에 슬라이드 가능하게 결합됨으로써, 상기 제2이동 서포트 패널(614XSP)의 상면에서 제2 X축 이동패널(614XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동될 수 있도록 구성된다.
제2 X축 이동수단(614XMD)은 제2이동 서포트 패널(614XSP)에 구비된 제2 X축 스핀들로 구성된다. 상기 제2 X축 스핀들은 제2 X축 이동패널(614XMP)에 홀더와 같은 연결구를 매개로 연결되고, 상기 홀더는 제2 X축 스핀들과 제2 X축 이동패널(614XMP)에 상대 회전 가능하게 결합되어, 상기 제2 X축 스핀들의 회전에 따라 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 전후진될 수 있다.
또한, 상기 제2이동 서포트 패널(614XSP)에는 메인 프레임(110)의 X축 방향과 나란한 방향으로 고정 지지부(614XFP)가 구비되고, 상기 고정 지지부(614XFP)에는 볼트 결합홀이 구비되고, 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)에는 상기 고정 지지부(614XFP)의 전면에 배치되도록 고정 지지 브라켓(614XBR)이 구비되고, 상기 고정 지지 브라켓(614XBR)에는 상기 고정 지지부(614XFP)의 볼트 결합홀과 만나면서 동시에 상기 메인 프레임(110)의 X축 방향으로 연장된 장홀(614XLH)이 구비된다. 또한, 상기 제2이동 서포트 패널(614XSP)에는 상기 고정 지지 브라켓(614XBR)과 마주하는 가압 브라켓(614XPR)이 구비되고, 상기 가압 브라켓(614XPR)에는 상기 고정 지지 브라켓(614XBR)의 장홀(614XLH)과 만나는 볼트 관통홀이 구비된다.
따라서, 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 상기 가압 브라켓(614XPR)의 볼트 관통홀과 고정 지지 브라켓(614XBR)의 장홀(614XLH)을 관통한 볼트(BT)를 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)의 고정 지지부(614XFP)에 구비된 볼트 결합홀에 조여주면, 상기 볼트(BT)의 헤드부가 제2 X축 이동패널(614XMP)에 구비된 고정 지지 브라켓(614XBR)과 고정 지지부(614XFP)에 제2이동 서포트 패널(614XSP)에 구비된 가압 브라켓(614XPR)이 가압되도록 하므로, 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 제2 X축 이동패널(614XMP)이 안정적으로 고정되도록 한다.
또한, 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)의 상면에는 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 슬라이드 가능하게 결합된다. 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 크로스 롤러 베어링에 의해 제2 X축 이동패널(614XMP)에 슬라이드 가능하게 결합됨으로써, 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)의 상면에서 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동될 수 있도록 구성된다.
제2 Y축 이동수단(614YMD)은 제2 X축 이동패널(614XMP)에 구비된 제2 Y축 스핀들로 구성된다. 상기 제2 Y축 스핀들은 제2 Y축 이동패널(614YMP)에 홀더와 같은 연결구를 매개로 연결되고, 상기 홀더는 제Y X축 스핀들과 제2 Y축 이동패널(614YMP)에 상대 회전 가능하게 결합되어, 상기 제2 Y축 스핀들의 회전에 따라 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 메인 프레임(110)의 X축 방향과 직교하는 Y축 방향을 따라 전후진될 수 있다.
또한, 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)에는 메인 프레임(110)의 Y축 방향과 나란한 방향으로 고정 지지부(614YFP)가 구비되고, 상기 고정 지지부(614YFP)에는 볼트 결합홀이 구비되고, 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)에는 상기 고정 지지부(614YFP)의 전면에 고정 지지 브라켓(614YBR)이 구비되고, 상기 고정 지지 브라켓(614YBR)에는 상기 고정 지지부(614YFP)의 볼트 결합홀과 만나면서 동시에 상기 메인 프레임(110)의 Y축 방향으로 연장된 장홀(614YLH)이 구비된다. 또한, 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)에는 상기 고정 지지 브라켓(614YBR)과 마주하는 위치에 배치되도록 가압 브라켓(614YPR)이 구비되고, 상기 가압 브라켓(614YPR)에는 상기 고정 지지 브라켓(614YBR)의 장홀(614YLH)과 만나는 볼트 관통홀이 구비된다.
따라서, 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 상기 가압 브라켓(614YPR)의 볼트 관통홀과 고정 지지 브라켓(614YBR)의 장홀(614YLH)을 관통한 볼트(BT)를 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)의 고정 지지부(614YFP)에 구비된 볼트 결합홀에 조여주면, 상기 볼트(BT)의 헤드부가 제2 Y축 이동패널(614YMP)에 구비된 가압 브라켓(614YPR)을 제2 X축 이동패널(614XMP)의 고정 지지부(614YFP)에 가압하므로, 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동하여 위치 설정된 다음에 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 안정적으로 고정되도록 한다.
또한, 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)의 상면에는 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)이 구비된다. 상기 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)은 제2 Y축 이동패널(614YMP)에서 수직 방향으로 세워진 구조이다.
상기 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)에는 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 승강 가능하게 결합된다. 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 크로스 롤러 베어링에 의해 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)에 슬라이드 가능하게 결합됨으로써, 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)의 상면에서 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향(즉, 수직 방향)을 따라 승강될 수 있도록 구성된다.
상기 제2 Z축 이동수단(614ZMD)은 제2 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 구비된 제2 Z축 스핀들로 구성된다. 상기 제2 Z축 스핀들은 제2 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 브라켓과 같은 지지수단에 의해 고정된 상태에서 제2 Z축 이동패널(614ZMP)에 홀더와 같은 연결구를 매개로 연결되고, 상기 홀더는 제2 Z축 스핀들과 제2 Z축 이동패널(614ZMP)에 상대 회전 가능하게 결합되어, 상기 제2 Z축 스핀들의 회전에 따라 상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향을 따라 승강될 수 있다.
또한, 상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)에는 메인 프레임(110)의 Z축 방향과 나란한 방향으로 고정 지지부(614ZFP)가 구비되고, 상기 고정 지지부(614ZFP)에는 볼트 결합홀이 구비되고, 상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)에는 상기 고정 지지부(614ZFP)의 전면에 배치되도록 고정 지지 브라켓(614ZBR)이 구비되고, 상기 고정 지지 브라켓(614ZBR)에는 상기 고정 지지부(614ZFP)의 볼트 결합홀과 만나면서 동시에 상기 메인 프레임(110)의 Z축 방향으로 연장된 장홀(614ZLH)이 구비된다. 또한, 상기 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)에는 상기 고정 지지 브라켓(614ZBR)과 마주하는 가압 브라켓(614ZPR)이 구비되고, 상기 가압 브라켓(614ZPR)에는 상기 고정 지지 브라켓(614ZBR)의 장홀(614ZLH)과 만나는 볼트 관통홀이 구비된다.
따라서, 상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향을 따라 승강되어 위치 설정된 다음에 상기 가압 브라켓(614ZPR)의 볼트 관통홀과 고정 지지 브라켓(614ZBR)의 장홀(614ZLH)을 관통한 볼트(BT)를 상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)의 고정 지지부(614ZFP)에 구비된 볼트 결합홀에 조여주면, 상기 볼트(BT)의 헤드부가 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)에 구비된 가압 브라켓(614ZPR)을 제2 Z축 이동패널(614ZMP)의 고정 지지 브라켓(614ZBR)과 고정 지지부(614ZFP)에 가압하므로, 상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 메인 프레임(110)의 Z축 방향을 따라 승강되어 위치 설정된 다음에 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 안정적으로 고정되도록 한다.
상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)에는 제2측정 헤드(614MEH)가 구비된다. 제2측정 헤드(614MEH)는 Z축 방향(즉, 수직 방향)으로 세워져서 배치된다. 상기 제2측정 헤드(614MEH)는 내부에 카메라가 구비되고, 상기 제2측정 헤드(614MEH)의 저면에는 카메라의 주위에 배치되도록 복수개의 엘이디가 구비된다. 상기 메인 프레임(110)의 일측에서 볼 때에 제2측정 헤드(614MEH)는 메인 프레임(110)의 PI Film(2)이 지나가는 이송 경로를 기준으로 뒤쪽에 배치된다.
상기 메인 프레임(110)을 좌측면에서 볼 때에 메인 프레임(110)의 이송 경로로 지나가는 PI Film(2)의 뒤쪽 위치에 제1측정부(612)의 제1측정 헤드(612MEH)가 배치되고, PI Film(2)의 앞쪽 위치에 제2측정부(614)의 제2측정 헤드(614MEH)가 배치된다.
상기 인식마크 측정 시스템의 제1측정부(612)와 제2측정부(614)에는 카메라가 구비된다. 정확하게는 제1측정 헤드(612MEH)와 제2측정 헤드(614MEH)에 카메라가 구비되고, 상기 제1측정 헤드(612MEH)와 제2측정 헤드(614MEH)의 저면에는 카메라의 주위에 배치되도록 복수개의 엘이디가 구비되어, 상기 인식마크 측정 시스템(610)의 카메라에 의해 PI Film(2)(기판) 위치결정 인식마크(MK)를 확인한다.
상기 인식마크 측정 시스템(610)의 제1측정부(612)와 제2측정부(614)에 구비된 카메라로 PI Film(2)의 인식마크(MK)를 확인하여 레이더 헤드(812)(812)와 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)의 X축 위치와 Y축 위치와 Z축 위치가 PI Film(2) 위치에 맞춰서 조절될 수 있도록 한다. 상기 복수개의 엘이디들은 제1측정부(612)와 제2측정부(614)의 카메라가 PI Film(2)의 인식마크(MK)를 측정할 때에 불을 밝혀서 인식마크(MK) 측정이 확실하고 원할하게 이루어질 수 있도록 한다.
또한, 상기 제1측정부(612)에서 제1 X축 이동패널(612XMP)은 메인 프레임(110)에서 X축 방향을 따라 정밀하게 이동하고, 제1 Y축 이동패널(612YMP)은 메인 프레임(110)에서 Y축 방향을 따라 정밀하게 이동하고, 제1 Z축 이동패널(612ZMP)은 메인 프레임(110)에서 Z축 방향을 따라 정밀하게 승강되면서 제1측정부(612)의 제1측정 헤드(612MEH)를 PI Film(2)의 인식마크(MK) 위치에 따라 정밀하게 조정이 가능하고, 상기 제2측정부(614)에서 제2 X축 이동패널(614XMP)은 메인 프레임(110)에서 X축 방향을 따라 정밀하게 이동하고, 제2 Y축 이동패널(614YMP)은 메인 프레임(110)에서 Y축 방향을 따라 정밀하게 이동하고, 제2 Z축 이동패널(614ZMP)은 메인 프레임(110)에서 Z축 방향을 따라 정밀하게 승강되면서 제2측정부(614)의 제2측정 헤드(614MEH)를 PI Film(2)의 인식마크(MK) 위치에 따라 정밀하게 조정이 가능하다.
따라서, 상기 인식마크 측정 시스템(610)의 제1측정부(612)와 제2측정부(614)의 위치를 PI Film(2)의 인식마크(MK) 위치에 대응하여 카메라로 PI Film(2)의 인식마크(MK)를 정밀하게 확인하여 레이더 헤드(812)(812)와 본딩 가압부의 승강 슬라이더(854)와 쿼츠(855)의 X축 위치와 Y축 위치와 Z축 위치가 PI Film(2) 위치에 맞춰서 정밀하게 조절될 수 있도록 함으로써, 플렉시블 필름 위에 소자(주로 반도체 소자)가 정밀하고 정확하게 본딩되도록 한다.
다시 말해, 본 발명의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템에서는 PI Film(기판 : 플렉시블 필름) 위치결정 인식마크(MK) 확인에 의해 PI Film(2)(플렉시블 필름)의 인식마크(MK)에 따라서 레이저 조사를 위한 레이더 헤드(812) 조사 위치를 정위치로 이동되도록 하는 등의 정밀한 PI Film(2)과 반도체 소자(3)의 접합 조건을 형성하는데 도움을 줌으로써 유연디스플레이 장치를 생산하기 위하여 PI Film(유연 디스플레이 필름)과 소자(주로 반도체 소자)간의 정밀하고 오차없는 본딩 작업이 가능하도록 하는 효과가 있다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
2. 플렉시블 필름(PI Film) 3. 소자
110. 메인 프레임 112. 메인 베이스
210. 언와인더 유닛 310. 리와인더 유닛
612. 제1측정부 612XMP. 제1 X축 이동패널
612XMD. 제1 X축 이동수단 612YMD. 제1 Y축 이동수단
612ZMD. 제1 Z축 이동수단 612PS. 제1포스트
612XSP. 제1이동 서포트 패널 612XFP. 고정 지지부
612XBR. 고정 지지 브라켓 612XLH. 장홀
612XPR. 가압 브라켓 612YMP. 제1 Y축 이동패널
612YMD. 제1 Y축 이동수단 612YFP. 고정 지지부
612YBR. 고정 지지 브라켓 612YLH. 장홀
612YPR. 가압 브라켓 612ZSP. 제1 Z축 서포트 패널
612ZMP. 제1 Z축 이동패널 612ZMD. 제1 Z축 이동수단
612ZFP. 고정 지지부 612ZBR. 고정 지지 브라켓
612ZLH. 장홀 612ZPR. 가압 브라켓
612MEH. 제1측정 헤드 614. 제2측정부
614XMP. 제2 X축 이동패널 614XMD. 제2 X축 이동수단
614YMD. 제2 Y축 이동수단 614ZMD. 제2 Z축 이동수단
614PS. 제2포스트 614XSP. 제2이동 서포트 패널
614XFP. 고정 지지부 614XBR. 고정 지지 브라켓
614XLH. 장홀 614XPR. 가압 브라켓
614YMP. 제2 Y축 이동패널 614YMD. 제2 Y축 이동수단
614YFP. 고정 지지부 614YBR. 고정 지지 브라켓
614YLH. 장홀 614YPR. 가압 브라켓
614ZSP. 제2 Z축 서포트 패널 614ZMP. 제2 Z축 이동패널
614ZMD. 제2 Z축 이동수단 614ZFP. 고정 지지부
614ZBR. 고정 지지 브라켓 614ZLH. 장홀
614ZPR. 가압 브라켓 614MEH. 제2측정 헤드
812. 레이저 헤드

Claims (7)

  1. 플렉시블 필름(2)을 이송시키는 언와인더 유닛(210)과 리와인더 유닛(310) 사이에 메인 프레임(110)이 배치되고, 상기 메인 프레임(110)에는 소자(3)를 상기 플렉시블 필름(2)에 본딩시키는 본딩 가압부가 구비된 유연디스플레이 열공정 시스템의 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템으로서,
    상기 언와인더 유닛(210)과 상기 본딩 가압부 사이에 배치되도록 상기 메인 프레임(110)에 지지되어 상기 플렉시블 필름의 인식마크(MK)를 측정하는 제1측정부(612);
    상기 플렉시블 필름의 이송 경로를 기준으로 상기 제1측정부(612)를 벗어난 위치에 배치되도록 상기 메인 프레임(110)에 지지되어 상기 플렉시블 필름의 인식마크(MK)를 측정하는 제2측정부(614);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1측정부(612)는,
    제1 X축 이동패널(612XMP);
    상기 제1 X축 이동패널(612XMP)이 상기 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제1 X축 이동수단(612XMD);
    상기 제1 X축 이동패널(612XMP)에 슬라이드 가능하게 결합된 제1 Y축 이동패널(612YMP);
    상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)이 상기 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제1 Y축 이동수단(612YMD);
    상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)의 상면에 구비된 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP);
    상기 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 승강 가능하게 결합된 제1 Z축 이동패널(612ZMP);
    상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)이 승강되도록 하는 제1 Z축 이동수단(612ZMD);
    상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)에 장착된 제1측정 헤드(612MEH);를 포함하여 구성되고,
    상기 제2측정부(614)는,
    제2 X축 이동패널(614XMP);
    상기 제2 X축 이동패널(614XMP)이 상기 메인 프레임(110)의 X축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제2 X축 이동수단(614XMD);
    상기 제2 X축 이동패널(614XMP)에 슬라이드 가능하게 결합된 제2 Y축 이동패널(614YMP);
    상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)이 상기 메인 프레임(110)의 Y축 방향을 따라 이동될 수 있도록 하는 제2 Y축 이동수단(614YMD);
    상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)의 상면에 구비된 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP);
    상기 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)에 승강 가능하게 결합된 제2 Z축 이동패널(614ZMP);
    상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)이 승강되도록 하는 제2 Z축 이동수단(614ZMD);
    상기 제2 Z축 이동패널(614ZMP)에 장착된 제2측정 헤드(614MEH);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 X축 이동패널은 상기 제1포스트(612PS)의 상단부에 구비된 제1이동 서포트 패널(612XSP)의 상면에 슬라이드 가능하게 결합되고,
    상기 제1 X축 이동수단(612XMD)은 상기 제1 X축 이동패널에 연결된 제1 X축 스핀들로 구성되고, 상기 제1 Y축 이동수단은 상기 제1 Y축 이동패널에 연결된 제1 Y축 스핀들로 구성되고, 상기 제1 Z축 이동수단은 상기 제1 Z축 이동패널(612ZMP)에 연결된 제1 Z축 스핀들로 구성되고,
    상기 제2 X축 이동패널은 상기 제2포스트의 상단부에 구비된 제2이동 서포트 패널(614XSP)의 상면에 슬라이드 가능하게 결합되고,
    상기 제2 X축 이동수단(612XMD)은 상기 제2 X축 이동패널에 연결된 제2 X축 스핀들로 구성되고, 상기 제2 Y축 이동수단은 상기 제2 Y축 이동패널에 연결된 제2 Y축 스핀들로 구성되고, 상기 제2 Z축 이동수단은 상기 제2 Z축 이동패널(612ZMP)에 연결된 제2 Z축 스핀들로 구성된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 X축 스핀들은 상기 제1이동 서포트 패널(612XSP)에 구비되고, 상기 제1 Y축 스핀들은 상기 제1 X축 이동패널(612XMP)에 구비되고, 상기 제1 Y축 이동패널(612YMP)의 상면에는 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)이 구비되고, 상기 제1 Z축 스핀들은 상기 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제2 X축 스핀들은 상기 제2이동 서포트 패널(614XSP)에 구비되고, 상기 제2 Y축 스핀들은 상기 제2 X축 이동패널(614XMP)에 구비되고, 상기 제2 Y축 이동패널(614YMP)의 상면에는 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)이 구비되고, 상기 제2 Z축 스핀들은 상기 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)에 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 Z축 서포트 패널(612ZSP)에 승강 가능하도록 제1 Z축 이동패널(612XMP)이 결합되고, 상기 제1 Z축 이동패널(612XMP)은 상기 제1 Z축 스핀들에 의해 승강 작동되고, 상기 제1 Z축 이동패널(612XMP)에는 제1측정 헤드(612MEH)가 장착되고, 상기 제1측정 헤드(612MEH)는 내부에 카메라가 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제2 Z축 서포트 패널(614ZSP)에 승강 가능하도록 제2 Z축 이동패널(614XMP)이 결합되고, 상기 제2 Z축 이동패널(614XMP)은 상기 제2 Z축 스핀들에 의해 승강 작동되고, 상기 제2 Z축 이동패널(614XMP)에는 제2측정 헤드(614MEH)가 장착되고, 상기 제2측정 헤드(614MEH)는 내부에 카메라가 구비된 것을 특징으로 하는 유연디스플레이 인식마크 측정 시스템.
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