KR20230067759A - 광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법 - Google Patents

광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법 Download PDF

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Abstract

한 실시예에 따른 광학 검사 장치는 경통, 상기 경통의 제1측에 위치하며 제1 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제1 광원부, 상기 경통의 상기 제1측과 다른 제2측에 위치하며 상기 제1 파장 범위와 다른 제2 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제2 광원부, 그리고 카메라를 포함하고, 상기 제1 광원부의 빛이 지나는 제1 광경로의 적어도 일부는 상기 제2 광원부의 빛이 지나는 제2 광경로와 다르다.

Description

광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법{optical inspection device and inspecting method using the same}
본 개시는 광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.
표시 장치와 같은 전자 장치는 기판 및 기판 위에 적층된 여러 막을 포함한다. 막을 형성 후 막에 대한 검사 단계는 광학 카메라를 이용하여 검사체를 촬상한 후 취득한 이미지로 이물 존재 여부, 막의 결함 여부, 제거되지 않은 잔막 발생 여부 등을 판단하고 있다.
실시예들은 표시 장치 등의 전자 장치가 포함하는 투명막, 또는 불투명막 등의 존재 여부, 결함 여부, 또는 잔막 여부 등에 대한 정확하고 용이한 검사를 위한 것이다.
한 실시예에 따른 광학 검사 장치는 경통, 상기 경통의 제1측에 위치하며 제1 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제1 광원부, 상기 경통의 상기 제1측과 다른 제2측에 위치하며 상기 제1 파장 범위와 다른 제2 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제2 광원부, 그리고 카메라를 포함하고, 상기 제1 광원부의 빛이 지나는 제1 광경로의 적어도 일부는 상기 제2 광원부의 빛이 지나는 제2 광경로와 다르다.
상기 제1 광원부는 자외선 또는 적외선의 빛을 내보낼 수 있고, 상기 제2 광원부는 가시 광선 범위의 빛을 내보낼 수 있다.
상기 제2 광원부는 백색 광원부, 그리고 상기 백색 광원부와 상기 경통 사이에 위치하며 복수의 색필터를 포함하는 색 선택부를 포함할 수 있다.
상기 색 선택부는 회전할 수 있는 턴 테이블을 더 포함하고, 상기 복수의 색필터는 상기 턴 테이블의 가장자리에 위치할 수 있다.
상기 복수의 색필터는 백색 필터, 그리고 복수의 유색 필터를 포함할 수 있다.
검사 대상의 색 또는 투명도에 따라 상기 복수의 색필터 중 하나를 선택하여 상기 제2 광경로 상에 정렬시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 색필터는 서로 보색 관계인 두 개 이상의 색필터를 포함할 수 있다.
상기 카메라가 촬상한 이미지를 전달받아 이미지 처리하여 검사 대상의 이미지를 추출하는 이미지 처리부를 더 포함할 수 있다.
상기 이미지 처리는 이진화 처리를 포함할 수 있다.
한 실시예에 따른 광학 검사 장치는 자외선 또는 적외선의 빛을 조사하는 제1 광원부, 가시 광선 범위의 빛을 조사하는 제2 광원부, 그리고 제1 광원부 또는 제2 광원부의 빛이 조사된 검사체의 이미지를 촬상하는 카메라를 포함하고, 상기 제1 광원부의 빛이 지나는 제1 광경로의 적어도 일부는 상기 제2 광원부의 빛이 지나는 제2 광경로와 다르다.
상기 제2 광원부는, 백색 광원부, 그리고 복수의 색필터를 포함하는 색 선택부를 포함할 수 있다.
상기 색 선택부는 상기 복수의 색필터를 회전시킬 수 있는 턴 테이블을 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 색필터는 서로 보색 관계인 두 개 이상의 색필터를 포함할 수 있다.
한 실시예에 따른 검사 방법은 서로 다른 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제1 광원부 및 제2 광원부를 포함하는 광학 검사 장치를 이용하여, 검사 대상의 투명도 또는 색에 따라 상기 제1 광원부 또는 상기 제2 광원부를 선택하는 단계, 그리고 상기 제1 광원부 또는 상기 제2 광원부의 빛을 상기 검사 대상을 포함하는 검사체에 조사하여 상기 검사체의 이미지를 촬상하는 단계를 포함한다.
상기 제1 광원부는 자외선 또는 적외선의 빛을 조사할 수 있고, 상기 검사 대상이 투명막인 경우 상기 제1 광원부를 선택하고, 상기 검사체의 촬상된 이미지는 상기 검사 대상에 대응하는 프린지 영역을 포함할 수 있다.
상기 검사체의 촬상된 이미지를 처리하여 상기 프린지 영역을 추출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 광원부는 가시광선의 빛을 조사할 수 있고, 상기 검사 대상이 유색막 또는 불투명막인 경우 상기 제2 광원부를 선택하고, 상기 제2 광원부는 백색 광원부, 그리고 복수의 색필터를 포함하는 색 선택부를 포함할 수 있다.
상기 검사체의 촬상된 이미지를 처리하여 상기 검사 대상의 이미지의 주변에 대한 편차를 높인 이미지를 추출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 검사체의 이미지를 촬상하는 단계는, 서로 보색 관계의 제1색 및 제2색의 가시광선을 조사하여 상기 검사 대상의 이미지의 휘도가 서로 다른 제1 이미지 및 제2 이미지를 촬상하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지를 처리하는 단계, 그리고 상기 처리된 제1 이미지와 상기 처리된 제2 이미지의 휘도의 강도를 병합하여 상기 검사 대상의 이미지의 선명도가 높아진 이미지를 추출하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 따르면, 표시 장치 등의 전자 장치가 포함하는 투명막, 또는 불투명막 등의 존재 여부, 결함 여부, 또는 잔막 여부 등에 대해 정확하고 용이하게 검사할 수 있다.
도 1은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치를 도시하고,
도 2는 한 실시예에 따른 광학 검사 장치가 포함하는 색 선택부의 평면도이고,
도 3은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치가 촬상한 한 이미지를 도시하고,
도 4는 도 3의 이미지에서 프린지 영역을 추출한 이미지이고,
도 5 및 도 6은 각각 한 실시예에 따른 광학 검사 장치로 촬상한 한 이미지를 도시하고,
도 7은 도 5 또는 도 6의 이미지를 처리한 이미지를 도시하고,
도 8은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치로 촬상한 한 이미지를 도시하고,
도 9는 도 8의 이미지를 처리한 이미지를 도시하고,
도 10은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치로 촬상한 한 이미지를 도시하고,
도 11은 도 10의 이미지를 처리한 이미지를 도시하고,
도 12는 도 9의 이미지의 휘도를 나타낸 그래프이고,
도 13은 도 11의 이미지의 휘도를 나타낸 그래프이고,
도 14는 도 12의 그래프와 도 13의 그래프의 휘도 강도를 병합한 이미지이고,
도 15는 도 14의 그래프에서 노이즈를 제거한 그래프이고,
도 16은 도 15의 그래프에 따른 추출된 이미지를 도시한다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.
도 1 및 도 2를 참조하여 한 실시예에 따른 광학 검사 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치를 도시하고, 도 2는 한 실시예에 따른 광학 검사 장치가 포함하는 색 선택부의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 한 실시예에 따른 광학 검사 장치(500)는 표시 장치와 같은 전자 장치의 제조 공정에서 형성된 다양한 막을 검사하기 위한 광학 검사 장치로서, 투명막, 또는 불투명막 등의 막의 존재 여부, 결함 여부, 또는 잔막 여부 등을 선명한 이미지를 통해 검사할 수 있다.
광학 검사 장치(500)는 제1 광원부(510), 제2 광원부(520), 경통(540), 카메라(550), 그리고 광학부(560)를 포함할 수 있다.
제1 광원부(510)와 제2 광원부(520)는 서로 다른 파장 범위의 빛을 검사체(100)에 조사할 수 있다.
제1 광원부(510)는 가시 광선 이외의 파장 범위의 빛을 조사할 수 있다. 예를 들어 제1 광원부(510)는 자외선 또는 적외선의 빛을 제1 광경로(OP1)를 통해 검사체(100)에 조사할 수 있다. 제1 광원부(510)에서 조사되는 빛의 파장대의 폭은 대략 300nm 이하일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
제2 광원부(520)는 가시 광선 범위의 빛을 조사할 수 있다. 예를 들어 제2 광원부(520)는 백색 또는 적색, 녹색, 청색 등의 특정 단색광을 제2 광경로(OP2)를 통해 검사체(100)에 조사할 수 있다.
경통(540)은 제1 광원부(510)로부터 조사된 빛, 제2 광원부(520)로부터 조사된 빛, 또는 검사체(100)로부터의 빛이 지나갈 수 있는 공간을 포함한다. 경통(540)은 예를 들어 z 방향으로 연장된 공간을 내부에 포함하여 제1 광원부(510)로부터 조사된 빛의 제1 광경로(OP1), 제2 광원부(520)로부터 조사된 빛의 제2 광경로(OP2), 또는 검사체(100)로부터의 빛의 광경로(OB)가 대략 z 방향으로 지나갈 수 있다.
광학부(560)는 경통(540)과 검사체(100) 사이에는 위치할 수 있다. 광학부(560)는 제1 광원부(510)의 제1 광경로(OP1), 제2 광원부(520)의 제2 광경로(OP2), 또는 검사체(100)로부터의 빛의 광경로(OB)가 지나갈 수 있다. 광학부(560)는 제1 광원부(510)로부터 조사된 빛, 제2 광원부(520)로부터 조사된 빛, 또는 검사체(100)로부터의 빛의 광경로를 제어할 수 있는 적어도 하나의 광학 부재를 포함할 수 있다. 예를 들어 광학부(560)는 적어도 하나의 렌즈를 포함할 수 있다.
제1 광원부(510)는 경통(540)의 한 측면에 위치할 수 있다. 제1 광원부(510)와 인접한 경통(540)의 측면에는 제1 광원부(510)로부터의 빛이 통과할 수 있는 투명부 또는 개구 형태의 제1 투광부(541)가 위치할 수 있다. 경통(540)은 제1 광원부(510)로부터의 빛이 광학부(560)의 아래에 위치하는 검사체(100)로 조사될 수 있는 제1 광경로(OP1)를 형성할 수 있도록 제1 광경로(OP1)에 위치하는 적어도 하나의 미러를 포함할 수 있다.
제2 광원부(520)는 경통(540)의 다른 한 측면에 위치할 수 있다. 제2 광원부(520)와 인접한 경통(540)의 다른 한 측면에는 제2 광원부(520)로부터의 빛이 통과할 수 있는 투명부 또는 개구 형태의 제2 투광부(542)가 위치할 수 있다. 경통(540)은 제2 광원부(520)로부터의 빛이 광학부(560)의 아래에 위치하는 검사체(100)로 조사될 수 있는 제2 광경로(OP2)를 형성할 수 있도록 제2 광경로(OP2)에 위치하는 적어도 하나의 미러를 포함할 수 있다.
제2 광원부(520)는 백색 광원부(521) 및 색 선택부(522)를 포함할 수 있다. 색 선택부(522)는 경통(540)과 백색 광원부(521) 사이에 위치할 수 있다.
색 선택부(522)는 백색 광원부(521)로부터의 백색의 빛을 그대로 통과시키거나 특정 단색광으로 필터링하여 경통(540) 쪽으로 통과시킬 수 있다.
도 2를 참조하면, 색 선택부(522)는 예를 들어 중심(CE)을 축으로 yz 평면 상에서 회전할 수 있는 턴 테이블(531), 그리고 턴 테이블(531)의 가장자리에 위치하는 복수의 색필터(532, 533, …, 539)를 포함할 수 있다.
복수의 색필터(532, 533, …, 539)는 중심(CE)으로부터 동일 거리에 위치하며 대략 원형으로 배열되어 있을 수 있다.
복수의 색필터(532, 533, …, 539)는 실질적으로 백색 광원부(521)로부터의 백색광을 그대로 통과시킬 수 있는 백색 필터(532), 그리고 특정 색의 빛으로 필터링하여 통과시킬 수 있는 적색, 녹색, 청색 등의 유색 필터(533, …, 539)를 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 색 선택부(522)는 중심(CE)을 기준으로 복수의 색필터(532, 533, …, 539)를 회전시킬 수 있는 구동부(523)를 더 포함할 수 있다. 구동부(523)에 의해 선택된 색필터(532, 533, …, 539)는 경통(540)의 제2 투광부(542), 즉 제2 광경로(OP2) 상에 정렬될 수 있다. 이에 따라 백색 광원부(521)의 백색광이 제2 투광부(542)에 정렬된 색필터(532, 533, …, 539)를 통과해 제2 광경로(OP2)를 따라 진행하여 검사체(100)에 조사될 수 있다.
복수의 색필터(532, 533, …, 539)는 서로 보색 관계인 두 개 이상의 색필터를 포함할 수 있다.
복수의 색필터(532, 533, …, 539)는 실시예 또는 필요에 따라 다른 색의 필터로 교체될 수도 있다.
본 실시예에 따른 광학 검사 장치(500)는 검사체(100)의 이미지를 촬상할 때 제1 광원부(510)와 제2 광원부(520) 중 하나만 선택하여 검사체(100)에 빛을 조사할 수 있다. 즉, 제1 광경로(OP1) 및 제2 광경로(OP2) 중 하나만 사용하여 검사체(100)에 빛을 조사할 수 있다.
카메라(550)는 전하 결합 소자(charge-coupled device) 등의 광센서를 포함하는 카메라일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
검사체(100)는 제조 공정 상의 표시 패널 등의 전자 장치 또는 그 일부로서, 검사 대상인 막 또는 층을 포함할 수 있다.
한 실시예에 따른 광학 검사 장치(500)는 이미지 처리부(600)를 더 포함할 수 있다. 이미지 처리부(600)는 카메라(550)와 연결되어 촬상된 검사체(100)의 이미지 정보를 전달받을 수 있다.
이미지 처리부(600)는 카메라(550)에서 촬상한 검사체(100)의 촬상 이미지에서 검사 대상의 이미지를 서명하게 보이도록 추출할 수 있다. 예를 들어 이미지 처리부(600)는 이진화 처리를 통해 검사체(100)의 촬상 이미지에서 검사하고자 하는 대상, 예를 들어 특정 막 또는 특정 층의 이미지를 두드러지게 보이게 하는 처리를 하여 검사 대상의 이미지를 추출할 수 있다. 이에 따르면, 배경도 포함하고 있는 촬상 이미지에서 검사 대상의 이미지만의 시인성을 높여 정확하고 용이하게 검사 대상을 검사할 수 있다.
이진화 처리는 예를 들어 하나의 특정 색을 기준으로 그 이하의 파장은 한 종류의 색으로, 그 이상의 파장은 한 종류의 색과 다른 종류의 색으로 표현하는 처리를 포함할 수 있다. 예를 들어 한 종류의 색은 블랙, 다른 종류의 색은 화이트, 또는 그 반대일 수도 있다.
제1 광원부(510)는 검사 대상, 예를 들어 검사체(100)의 검사하고자 하는 막이 투명막인 경우에 사용할 수 있다. 투명막에 제1 광원부(510)로부터의 빛을 조사함으로써 간섭 발생으로 인한 프린지 현상이 잘 발현될 수 있고, 이미지 처리부(600)의 이미지 처리를 통해 프린지 영역을 추출하여 검사 대상의 이미지를 추출할 수 있다. 여기서 투명막은 무색 투명막일 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
제2 광원부(520)는 검사 대상, 예를 들어 검사체(100)의 검사하고자 하는 막이 유색막이거나 불투명막인 경우에 사용할 수 있다. 검사 대상인 유색막 또는 불투명막의 조건 및 조사되는 제2 광원부(520)로부터의 빛의 파장에 따라 주위에 대비한 검사 대상의 빛의 반사도 또는 흡수도의 차이에 의해 검사 대상 막의 이미지가 더 선명하게 나타날 수 있다. 이러한 이미지는 이미지 처리부(600)의 이미지 처리를 통해 그 편차를 더욱 극대화하여 선명한 검사 대상의 이미지를 추출할 수 있다.
앞에서 설명한 도 1 및 도 2와 함께 도 3 내지 도 7을 참조하여 한 실시예에 따른 광학 검사 장치를 이용한 검사 방법에 대하여 설명한다.
도 3은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치가 촬상한 한 이미지를 도시하고, 도 4는 도 3의 이미지에서 프린지 영역을 추출한 이미지이다.
검사체(100) 중 검사 대상이 투명막인 경우, 광학 검사 장치(500)의 제1 광원부(510)를 선택하여 검사체(100)에 자외선 또는 적외선의 빛을 제1 광경로(OP1)를 통해 검사체(100)에 조사한다.
그러면 검사 대상 막에서의 빛의 간섭 발생으로 인해 도 3에 도시한 바와 같이 검사 대상에 대응하는 프린지 영역(FA1)을 포함한 이미지가 카메라(550)에서 촬상될 수 있다. 검사 대상 주변, 즉 배경은 프린지 이미지가 없는 배경 영역(BA1)이 될 수 있다.
도 3에 도시한 촬상된 이미지는 이미지 처리부(600)로 전달되고, 이미지 처리부(600)의 이진화 처리 등의 이미지 처리를 통해 검사 대상의 이미지인 프린지 영역(FA1)을 추출한다.
이로써 도 4에 도시한 바와 같이 처리된 배경 영역(BA2)에 대비해 프린지 영역(FA2)이 선명하게 처리되어 시인성 높은 검사 대상의 이미지를 추출할 수 있다. 추출된 이미지 즉, 추출된 프린지 영역(FA2)에 대한 검사를 통해 검사 대상 막의 존재 여부, 결함 여부, 또는 잔막 여부 등에 대해 정확하고 용이하게 검사할 수 있다.
도 5 및 도 6은 각각 한 실시예에 따른 광학 검사 장치로 촬상한 한 이미지를 도시하고, 도 7은 도 5 또는 도 6의 이미지를 처리한 이미지를 도시한다.
검사체(100) 중 검사 대상이 유색막이거나 불투명막인 경우, 광학 검사 장치(500)의 제2 광원부(520)를 선택하여 검사체(100)에 백색 또는 단색의 가시 광선을 제2 광경로(OP2)를 통해 검사체(100)에 조사한다. 이때 색 선택부(522)에서 백색 또는 특정 색의 색필터를 제2 광경로(OP2)의 위치로 정렬시켜 조사되는 색의 파장을 선택할 수 있다.
검사 대상인 유색막의 색 또는 불투명막의 투명도에 따라 조사되는 제2 광원부(520)의 색을 선택할 수 있다. 이때 검사 대상 막의 주위 영역 대비 검사 대상 막의 조사된 빛에 대한 반사도 또는 흡수도의 차이에 의해 검사 대상 막의 이미지가 더 선명하게 나타날 수 있다.
도 5는 색 선택부(522)에서 한 색필터를 선택하여 선택하여 촬상한 이미지(WA)이고, 도 6은 색 선택부(522)에서 다른 색필터를 선택하여 촬상한 이미지(CA)다. 예를 들어 도 5는 색 선택부(522)에서 백색 필터(532)를 선택하여 촬상한 이미지이고, 도 6은 색 선택부(522)에서 백색 필터(532) 외의 유색 필터(533, …, 539)를 선택하여 촬상한 이미지(CA)다.
두 촬상 이미지(WA, CA)를 비교하여 각각의 검사 대상의 이미지(WAa, CAa)가 더 선명하거나 시인성이 높은 것을 선택할 수 있다. 선택된 이미지(WA, CA)는 이미지 처리부(600)에 보내 이미지 처리될 수 있다.
이미지 처리부(600)는 이진화 처리 등의 이미지 처리를 통해 검사 대상의 이미지(WAa, CAa)의 나머지 주변 영역에 대한 편차를 더욱 극대화하여 검사 대상의 이미지의 시인성을 더욱 높일 수 있다.
이를 통해 도 7에 도시한 바와 같이 선명한 검사 대상의 이미지(BPAa)를 포함한 추출된 이미지(BPA)를 추출할 수 있다. 추출된 이미지(BPA)의 검사 대상의 이미지(BPAa)에 대한 검사를 통해 검사 대상 막의 존재 여부, 결함 여부, 또는 잔막 여부 등에 대해 정확하고 용이하게 검사할 수 있다.
앞에서 설명한 도면들과 함께 도 8 내지 도 16을 참조하여 한 실시예에 따른 광학 검사 장치를 이용한 검사 방법에 대하여 설명한다.
도 8은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치로 촬상한 한 이미지를 도시하고, 도 9는 도 8의 이미지를 처리한 이미지를 도시하고, 도 10은 한 실시예에 따른 광학 검사 장치로 촬상한 한 이미지를 도시하고, 도 11은 도 10의 이미지를 처리한 이미지를 도시한다.
본 실시예에 따른 검사 방법은 앞에서 설명한 도 5 내지 도 7에 도시한 실시예의 검사 방법과 대부분 동일하나, 동일한 검사 대상에 대해 두 개 이상의 색의 가시 광선을 조사한 두 개 이상의 이미지를 촬상하여 처리한다. 여기서 두 개 이상의 색은 검사 대상의 이미지의 편차를 극대화할 수 있는 보색 관계 등의 두 색을 포함할 수 있다.
구체적으로, 검사체(100)의 검사 대상이 유색막이거나 불투명막인 경우, 광학 검사 장치(500)의 제2 광원부(520)를 선택하여 검사체(100)에 한 단색인 제1색의 가시 광선을 제2 광경로(OP2)를 통해 검사체(100)에 조사한다. 이때 색 선택부(522)에서 제1색의 색필터를 제2 광경로(OP2)의 위치로 정렬시켜 조사되는 색의 파장을 선택할 수 있다.
제1색은 예를 들어 검사체(100)의 검사 대상 막에 대한 제1색 가시 광선의 반사도가 가장 높은 파장의 색일 수 있다.
도 8은 예를 들어 색 선택부(522)에서 노랑의 색필터를 선택하여 촬상한 이미지(CA1)다. 도 8의 검사 대상의 이미지(CAa1)는 주변보다 휘도가 높게 나타나는데, 검사 대상 막에 대한 제1색, 예를 들어 노랑의 가시 광선의 반사도가 높음에 따른 것이다.
다음, 이미지 처리부(600)는 촬상된 이미지(CA1)에 대해 이진화 처리 등의 이미지 처리를 통해 검사 대상의 이미지(CAa1)의 나머지 영역에 대한 편차를 더욱 극대화한다. 도 9는 도 8의 이미지(CA1)를 이진화 처리한 처리된 이미지(BPA1)다. 처리된 이미지(BPA1)에서 검사 대상의 이미지(BPAa1)가 주변의 배경에 비해 휘도가 높게, 그리고 선명하게 보임을 확인할 수 있다.
다음, 광학 검사 장치(500)의 제2 광원부(520)를 선택해 검사체(100)에 다른 단색인 제2색의 가시 광선을 제2 광경로(OP2)를 통해 검사체(100)에 조사한다. 이때 색 선택부(522)에서 제2색의 색필터를 제2 광경로(OP2)의 위치로 정렬시켜 조사되는 색의 파장을 선택할 수 있다.
제2색은 예를 들어 검사체(100)의 검사 대상 막에 대한 제2색 가시 광선의 흡수도가 가장 높은 파장의 색일 수 있다.
도 10은 예를 들어 색 선택부(522)에서 노랑의 보색인 남색의 색필터를 선택하여 촬상한 이미지(CA2)다. 도 10의 검사 대상의 이미지(CAa2)는 주변보다 휘도가 낮게 나타나는데, 검사 대상 막에 대한 제2색, 예를 들어 남색의 가시 광선의 흡수도가 높음에 따른 것이다.
다음, 이미지 처리부(600)는 촬상된 이미지(CA2)에 대해 이진화 처리 등의 이미지 처리를 통해 검사 대상의 이미지(CAa2)의 나머지 영역에 대한 편차를 더욱 극대화한다. 도 11은 도 10의 이미지(CA2)를 이진화 처리한 처리된 이미지(BPA2)다. 처리된 이미지(BPA2)에서 검사 대상의 이미지(BPAa2)가 주변의 배경에 비해 휘도가 낮게, 그리고 선명하게 보임을 확인할 수 있다.
특히 보색 관계의 제1색 및 제2색의 가시광선을 조사하여 촬상한 이미지를 처리한 이미지(BPA1, BPA2)는 대응하는 영역의 휘도의 차이가 극대화되어 있다. 즉, 각 처리한 이미지(BPA1, BPA2)의 검사 대상의 이미지(BPAa1, BPAa2)의 휘도의 차이가 극대화되어 하나는 상대적으로 밝고 하나는 상대적으로 어둡게 나타날 수 있다.
이와 같이 편차가 극대화된 검사 대상의 이미지(BPAa1, BPAa2)의 휘도 강도를 병합하여 검사 대상의 선명도를 극대화할 수 있다. 이에 대해 도 8 내지 도 11과 함께 도 12 내지 도 16을 참조하여 설명한다.
도 12는 도 9의 이미지의 휘도를 나타낸 그래프이고, 도 13은 도 11의 이미지의 휘도를 나타낸 그래프이고, 도 14는 도 12의 그래프와 도 13의 그래프의 휘도 강도를 병합한 이미지이고, 도 15는 도 14의 그래프에서 노이즈를 제거한 그래프이고, 도 16은 도 15의 그래프에 따른 추출된 이미지를 도시한다.
구체적으로, 도 12는 도 9의 처리된 이미지(BPA1)의 휘도를 나타낸 그래프(GA1)를 도시하며 검사 대상의 이미지(BPAa1)에 대응하는 피크(PK1)를 나타낸다. 도 13은 도 11의 처리된 이미지(BPA2)의 휘도를 나타낸 그래프(GA2)를 도시하며 검사 대상의 이미지(BPAa2)에 대응하는 피크(PK2)를 나타낸다.
검사 대상의 이미지의 휘도의 주변과의 편차의 극대화를 위해 도 12의 그래프(GA1)와 도 13의 그래프(GA2)의 강도를 병합하여 나타낸 그래프가 도 14의 그래프(GA3)다. 이때 도 13의 그래프(GA2)는 포지티브로 반전시킨 후 도 12의 그래프(GA1)와 병합한다. 이에 따르면 도 14에 도시한 바와 같이 두 그래프(GA1, GA2)의 피크(PK1, PK2)의 세기를 병합한 피크(PK3)를 얻을 수 있다.
다음 도 15와 같이 도 14의 그래프의 불필요한 노이즈를 제거하여 검사 대상에 대응하는 피크(PK4)가 더 명확히 나타난 그래프(GA4)를 얻을 수 있다.
도 12 내지 도 15에 도시한 이미지 처리는 이미지 처리부(600)에서 수행될 수 있다. 이와 같은 이미지 처리를 통해 얻어진 그래프(GA4)에 대응하는 검사 대상의 이미지(FBPAa)를 포함한 추출된 이미지(FBPA)의 예를 도 16에 도시하였다.
앞에서 설명한 도 7의 추출된 이미지(BPA)의 검사 대상의 이미지(BPAa)에 비해 도 16의 추출된 이미지(FBPA)의 검사 대상의 이미지(FBPAa)는 배경과의 휘도 편차가 더욱 극대화되어 더욱 선명하다. 따라서 검사 대상 막이 주변과의 색 차이가 크지 않을 때에도 이와 같은 두 색 이상의 가시 광선을 조사하여 얻은 두 개 이상의 이미지의 처리를 통해, 더욱 선명한 검사 대상의 이미지를 추출할 수 있다. 이에 따라 검사 대상 막의 존재 여부, 결함 여부, 또는 잔막 여부 등에 대해 정확하고 용이하게 검사할 수 있다.
본 실시예에 따르면 도 1에 도시한 광학 검사 장치(500)에서 제1 광원부(510)는 생략될 수도 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 검사체
500: 광학 검사 장치
510: 제1 광원부
520: 제2 광원부
521: 백색 광원부
522: 색 선택부
523: 구동부
531: 턴 테이블
532: 백색 필터
533, 534, 535, 536, 537, 538, 539: 유색 필터
540: 경통
541, 542: 투광부
550: 카메라
560: 광학부
600: 이미지 처리부
BA1, BA2: 배경 영역
BPA, FBPA: 추출된 이미지
BPA1, BPA2: 처리된 이미지
BPAa, BPAa1, BPAa2, CAa, CAa1, CAa2, FBPAa, WAa: 검사 대상의 이미지
CA, CA1, CA2, WA: 촬상 이미지
CE: 중심
FA1, FA2: 프린지 영역
GA1, GA2, GA3, GA4: 그래프
OB, OP1, OP2: 광경로
PK1, PK2, PK3, PK4: 피크

Claims (20)

  1. 경통,
    상기 경통의 제1측에 위치하며 제1 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제1 광원부,
    상기 경통의 상기 제1측과 다른 제2측에 위치하며 상기 제1 파장 범위와 다른 제2 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제2 광원부, 그리고
    카메라를 포함하고,
    상기 제1 광원부의 빛이 지나는 제1 광경로의 적어도 일부는 상기 제2 광원부의 빛이 지나는 제2 광경로와 다른
    광학 검사 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 광원부는 자외선 또는 적외선의 빛을 내보낼 수 있고,
    상기 제2 광원부는 가시 광선 범위의 빛을 내보낼 수 있는
    광학 검사 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 제2 광원부는 백색 광원부, 그리고 상기 백색 광원부와 상기 경통 사이에 위치하며 복수의 색필터를 포함하는 색 선택부를 포함하는 광학 검사 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 색 선택부는 회전할 수 있는 턴 테이블을 더 포함하고,
    상기 복수의 색필터는 상기 턴 테이블의 가장자리에 위치하는
    광학 검사 장치.
  5. 제3항에서,
    상기 복수의 색필터는 백색 필터, 그리고 복수의 유색 필터를 포함하는 광학 검사 장치.
  6. 제3항에서,
    검사 대상의 색 또는 투명도에 따라 상기 복수의 색필터 중 하나를 선택하여 상기 제2 광경로 상에 정렬시키는 구동부를 더 포함하는 광학 검사 장치.
  7. 제3항에서,
    상기 복수의 색필터는 서로 보색 관계인 두 개 이상의 색필터를 포함하는 광학 검사 장치.
  8. 제2항에서,
    상기 카메라가 촬상한 이미지를 전달받아 이미지 처리하여 검사 대상의 이미지를 추출하는 이미지 처리부를 더 포함하는 광학 검사 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 이미지 처리는 이진화 처리를 포함하는 광학 검사 장치.
  10. 자외선 또는 적외선의 빛을 조사하는 제1 광원부,
    가시 광선 범위의 빛을 조사하는 제2 광원부, 그리고
    제1 광원부 또는 제2 광원부의 빛이 조사된 검사체의 이미지를 촬상하는 카메라를 포함하고,
    상기 제1 광원부의 빛이 지나는 제1 광경로의 적어도 일부는 상기 제2 광원부의 빛이 지나는 제2 광경로와 다른
    광학 검사 장치.
  11. 제10항에서,
    상기 제2 광원부는, 백색 광원부, 그리고 복수의 색필터를 포함하는 색 선택부를 포함하는 광학 검사 장치.
  12. 제11항에서,
    상기 색 선택부는 상기 복수의 색필터를 회전시킬 수 있는 턴 테이블을 더 포함하는 광학 검사 장치.
  13. 제11항에서,
    상기 복수의 색필터는 서로 보색 관계인 두 개 이상의 색필터를 포함하는 광학 검사 장치.
  14. 서로 다른 파장 범위의 빛을 조사할 수 있는 제1 광원부 및 제2 광원부를 포함하는 광학 검사 장치를 이용하여, 검사 대상의 투명도 또는 색에 따라 상기 제1 광원부 또는 상기 제2 광원부를 선택하는 단계, 그리고
    상기 제1 광원부 또는 상기 제2 광원부의 빛을 상기 검사 대상을 포함하는 검사체에 조사하여 상기 검사체의 이미지를 촬상하는 단계
    를 포함하는 검사 방법.
  15. 제14항에서,
    상기 제1 광원부는 자외선 또는 적외선의 빛을 조사할 수 있고,
    상기 검사 대상이 투명막인 경우 상기 제1 광원부를 선택하고,
    상기 검사체의 촬상된 이미지는 상기 검사 대상에 대응하는 프린지 영역을 포함하는
    검사 방법.
  16. 제15항에서,
    상기 검사체의 촬상된 이미지를 처리하여 상기 프린지 영역을 추출하는 단계를 더 포함하는 검사 방법.
  17. 제14항에서,
    상기 제2 광원부는 가시광선의 빛을 조사할 수 있고,
    상기 검사 대상이 유색막 또는 불투명막인 경우 상기 제2 광원부를 선택하고,
    상기 제2 광원부는 백색 광원부, 그리고 복수의 색필터를 포함하는 색 선택부를 포함하는
    검사 방법.
  18. 제17항에서,
    상기 검사체의 촬상된 이미지를 처리하여 상기 검사 대상의 이미지의 주변에 대한 편차를 높인 이미지를 추출하는 단계를 더 포함하는 검사 방법.
  19. 제17항에서,
    상기 검사체의 이미지를 촬상하는 단계는,
    서로 보색 관계의 제1색 및 제2색의 가시광선을 조사하여 상기 검사 대상의 이미지의 휘도가 서로 다른 제1 이미지 및 제2 이미지를 촬상하는 단계를 포함하는
    검사 방법.
  20. 제19항에서,
    상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지를 처리하는 단계, 그리고
    상기 처리된 제1 이미지와 상기 처리된 제2 이미지의 휘도의 강도를 병합하여 상기 검사 대상의 이미지의 선명도가 높아진 이미지를 추출하는 단계
    를 더 포함하는 검사 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100267665B1 (ko) * 1997-08-28 2001-01-15 하나와 요시카즈 표면검사장치
KR20030026839A (ko) * 2001-09-26 2003-04-03 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 화상처리를 이용한 검사대상물의 표면검사방법 및 그 장치
DE10301931A1 (de) * 2003-01-19 2004-07-29 Massen, Robert, Prof. Dr.-Ing. Automatische optische Oberflächeninspektion von farbig gemusterten Oberflächen, welche mit einer transparenten Schutzschicht versehen sind
JP4826750B2 (ja) * 2005-04-08 2011-11-30 オムロン株式会社 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置
JP5007979B2 (ja) * 2008-05-22 2012-08-22 独立行政法人産業技術総合研究所 欠陥を検査する方法及び欠陥検査装置
US9128036B2 (en) * 2011-03-21 2015-09-08 Federal-Mogul Corporation Multi-spectral imaging system and method of surface inspection therewith
JP5673621B2 (ja) * 2012-07-18 2015-02-18 オムロン株式会社 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2014102207A (ja) * 2012-11-21 2014-06-05 Topcon Corp 外観検査装置、および外観検査方法
JP5825278B2 (ja) * 2013-02-21 2015-12-02 オムロン株式会社 欠陥検査装置および欠陥検査方法
KR20140122943A (ko) * 2013-04-11 2014-10-21 삼성디스플레이 주식회사 결정화 시료 검사 장치
KR102200691B1 (ko) * 2014-06-02 2021-01-13 삼성디스플레이 주식회사 검사장치
KR102316146B1 (ko) * 2014-08-13 2021-10-22 삼성전자주식회사 표면 검사용 광학 모듈 및 이를 포함하는 표면 검사 장치
CN105911724B (zh) * 2016-05-23 2018-05-25 京东方科技集团股份有限公司 确定用于检测的光照强度的方法和装置、及光学检测方法和装置
KR101917131B1 (ko) * 2016-11-14 2019-01-24 주식회사 인스풀 광학 검사 장치
JP6629455B2 (ja) * 2017-02-20 2020-01-15 Ｓｅｒｅｎｄｉｐｉｔｙ株式会社 外観検査装置、照明装置、撮影照明装置
CN110118737A (zh) * 2018-02-05 2019-08-13 康代有限公司 检查包括光敏聚酰亚胺层的物体
WO2020191475A1 (en) * 2019-03-25 2020-10-01 Teledyne Digital Imaging, Inc. Method for generating a super-resolution image and related device
JP7283324B2 (ja) * 2019-09-18 2023-05-30 株式会社島津製作所 欠陥検査装置
JP7191801B2 (ja) * 2019-11-06 2022-12-19 株式会社東芝 光学検査装置
JP7241721B2 (ja) * 2020-08-04 2023-03-17 Ckd株式会社 検査装置、ブリスター包装機及びブリスターパックの製造方法

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