KR20230061833A - 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)에 사용되는 커버 글래스(윈도우)를 초단 펄스 레이저 가공에 의해 그라인딩(grinding) 및 폴리싱(polishing)을 배제함에 의해 초박막 강화유리(UTG; Ultra Thin Glass)의 가공 생산성과 제품의 수율을 향상시킬 수 있는 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 본체; 상기 본체의 중앙부에 X축 방향을 따라 이동 가능하게 설치되고, 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 선택적으로 고정시킬 수 있는 스테이지; 상기 본체의 상부에 Y축 방향으로 설치된 브리지; 상기 브리지에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고 레이저 헤드를 구비한 캐리지; 및 상기 레이저 헤드의 선단부에 구비되어 상기 원판 유리에 펄스 레이저를 조사하는 가공 노즐;을 포함하며, 상기 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 상기 가공 노즐로부터 조사되는 펄스 레이저의 가공에 의해 상기 원판 유리로부터 복수의 커버 글래스가 얻어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 본체; 상기 본체의 중앙부에 X축 방향을 따라 이동 가능하게 설치되고, 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 선택적으로 고정시킬 수 있는 스테이지; 상기 본체의 상부에 Y축 방향으로 설치된 브리지; 상기 브리지에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고 레이저 헤드를 구비한 캐리지; 및 상기 레이저 헤드의 선단부에 구비되어 상기 원판 유리에 펄스 레이저를 조사하는 가공 노즐;을 포함하며, 상기 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 상기 가공 노즐로부터 조사되는 펄스 레이저의 가공에 의해 상기 원판 유리로부터 복수의 커버 글래스가 얻어지는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)에 사용되는 커버 글래스(윈도우)를 초단 펄스 레이저 가공에 의해 그라인딩(grinding) 및 폴리싱(polishing)을 배제하여 초박막 강화유리(UTG; Ultra Thin Glass)의 가공 생산성과 제품의 수율을 향상시킬 수 있는 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 휴대폰이나 디스플레이장치들에는 박판유리가 사용되며, 이러한 박판유리는 생산에서부터 디스플레이 제품이 만들어지기까지 크기에 맞추어 절단과 절단면의 가공이 수없이 반복된다.
이러한 박판유리의 절단방법으로는, 유리표면에 스크라이빙(scribing) 라인을 만들어 유리 표면에 미세한 크랙을 발생시키고 이러한 기계적 취약부분에 충격이나 진동을 가하여 크랙의 전파로 부러지게 하는 방법, 고압의 물을 분사하여 절단하는 워터젯 방법 및 레이저 등을 사용하여 절단하는 방법들이 사용된다.
그런데 어떠한 방법을 사용하더라도 유리는 경도가 높고 취성이 커 기계적인 충격에 취약하므로 절단된 모서리 부분에 미세한 크랙이 발생하게 되며, 이러한 미세 크랙은 시간이 경과함에 따라 점점 진행하여 유리판 자체의 파손을 가져 올 수 있다. 또한, 유리판 자체 파손이 아니더라도 이후의 다른 공정을 수행할 때 이러한 크랙으로 인해 유리판의 파손이 발생할 수 있으며, 유리판의 파손된 조각으로 인해 다른 부분들이 훼손될 수 있으므로 유리판 모서리의 미세 크랙을 제거해야할 필요가 있다.
이에 따라 일반적으로는 유리판 모서리의 미세 크랙을 제거하기 위해 다이아몬드 휠을 사용하여 유리판 절단 모서리의 미세한 크랙이나 날카로운 모서리를 연삭 또는 연마하여 유리판 모서리 부분을 면취하거나 둥글게 가공하여 이러한 크랙을 제거하게 된다.
그런데 이러한 연삭 또는 연마 과정에서는 유리 가루가 발생하는데, 이러한 유리 가루는 작업환경을 오염시킬뿐만 아니라 제품에 붙어 스크래치를 발생시키는 등의 손상을 입히게 되므로, 이를 방지하기 위하여 연마 후 세척, 건조 및 검사 등과 같은 일련의 추가 작업이나 보호 필름 부착과 같은 추가 공정이 들어가게 되며, 이것은 제조 원가를 상승시키게 된다. 또한 이러한 연삭 및 연마과정에서 또 다른 크랙이 발생할 소지가 있는 문제점이 있다.
이와 관련된 종래 기술로서 한국 공개특허공보 제10-2013-0003237호에 "유리판의 절단 모서리 크랙 제거 장치"가 개시되어 있다.
모바일 제품은 디스플레이로서 액정디스플레이(Liquid Crystal Display), LED패널, OLED패널, 터치패널 등이 주로 사용되고, 디스플레이의 표면보호 목적으로 화면 보호용 유리(Glass)가 사용된다.
이러한 유리는 적용되는 디스플레이의 사이즈에 따라 레이저, 스크라이버(Scriber), 워터젯 등을 이용하여 절삭되고 면 처리공정 및 강화공정 등을 거치게 된다.
상기한 유리의 면 처리 공정 및 강화공정에는 유리가 깨지는 것을 방지, 즉 조도(粗度, roughness)를 높이기 위해 절단면의 연마공정이 필수적으로 수반된다. 이때, 연마공정은 모방 캠을 이용해서 그라인딩(grinding) 가공방식에 의한 면취가공, 폴리싱(polishing) 습식가공에 의해 처리하고 있다.
그러나, 상기한 그라인딩 가공이나 폴리싱의 건식 및 습식가공을 행하여도 가공된 유리의 단면은 여전히 강도 면에서 저 강도이고 취성(brittleness) 특성이 약한 문제가 있다.
특히 최근의 모바일 제품은 그 디자인 성이 강조되고 두께의 최소화 목적으로 박판유리를 사용하여 다양한 라운드(R)값을 갖고 제조되고 있다. 따라서, 라운딩 단면의 면취가공은 유리의 파괴강도 증대에 중요하다.
다시 말해, 상기한 건식 및 습식공정에 의해 유리의 단면을 가공해도 가공 면의 미세한 크랙(마이크로 크랙), 치핑(Chipping), 버어(Burr) 등이 미세하게 존재하여 외부충격(떨어트림에 대한 대응응력)에 의해 전단되는 단점이 있다.
이와 같이, 사이징된 유리의 단면의 기계적인 가공방식에 의한 파괴강도의 증대에는 한계가 있다.
또한, 이러한 기계적인 가공방식에 따른 그라인딩 가공, 폴리싱 습식가공의 장비는 복잡하고, 일련의 가공라인에 따른 대형화 및 공간점유를 크게 하고 있으며, 다수의 가공공정에 따른 택타임(tact time)이 길어 생산성이 떨어지는 단점이 있다. 즉, 마무리가공으로 세정과 건조가 요구되고, 이러한 추가적인 단계들은 제조비용을 증가시킨다. 그리고, 세정의 완료 후에도 미세한 입자들이 박판유리의 표면에 미세한 잔존으로 손상을 가져와 완성품 수율을 저하시키는 단점이 있다.
이러한 박판유리의 면취기술과 관련하여 특허문헌 2 내지 특허문헌 4가 개시되어 있다.
그러나, 이러한 특허문헌들에 개시된 기술은 연삭 혹은 모따기를 이용하여 모서리를 가공하는 것이므로, 유리가루의 발생을 피할수 없고, 또한 연삭 과정에서 모서리의 깨짐 불량, 유리가루 분진에 의한 표면 긁힘 문제 및 작업자가 유리 분진에 노출되는 문제 등 다양한 문제가 발생하는 것을 피할 수 없다.
이에 따라, 이러한 유리 분진의 발생을 원천적으로 방지할 수 있는 새로운 가공방법 및 장비에 대한 요구가 계속되고 있다.
상기 특허문헌 2 내지 4와 달리 열을 이용한 유리 박막의 모서리를 연삭하는 기술이 특허문헌 5에 개시되어 있다.
특허문헌 5는 셀폰이나 태블릿 PC와 같은 3-10 인치 내용의 제품을 가공하기에는 적합하나, 화염로가 필요하여, 액정 TV와 같은 40 인치 이상의 대형 유리를 가공하는 데는 부적합할 뿐만 아니라, 가공 전 유리의 온도를 예열하고 가공 후에는 어닐링(강화)이 필요하여 제조 공정이 복잡해지는 문제가 있다.
특허문헌 6은 전기발열체를 박판유리의 에지에 접촉시켜 모서리를 절취하는 기술이 도모되었고, 특허문헌 7은 냉각된 유리기판의 모서리에 고주파 유도 가열부재를 접촉시켜 유리기판의 모서리를 절취하는 기술이 도모되었다.
그러나, 상기 특허문헌 6 및 7은 최근 다양한 라운드(R)값에 적극 대처할 수 있는 장비에 적용하기 위한 구체적인 장비 기술이 필요하다.
특허문헌 8은 특허문헌 6 및 7의 문제점을 개선하여 박판유리의 면취 기술에 적용된 고주파 유도 발열체나 전기발열체 수단을 적용하고 그 구체적인 기술로서 최근 다양화되고 있는 박판유리의 라운드(R)값에 대응하여 마이크로 크랙이 거의 없이 면취작업이 가능하도록 압력, 법선 및 위치 제어에 의해 불량률을 최소화할 수 있는 열을 이용한 유리 면취장비 및 면취방법을 제시하고 있다.
최근들어, 모바일 제품은 폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)를 채용하면서 OLED 패널 디스플레이의 표면보호 목적으로 커버 글래스(윈도우)에 1.4R~2R의 곡률 반경(반지름 1.4mm~2mm 원의 곡률 반경)을 실현할 수 있는 소재 개발이 요구되고 있다.
폴더블 플렉서블 디스플레이용으로 표면 경도가 높아 주름이 적고, 스크레치에 강한 소재로서 CPI(Colorless Polyimide)를 커버 글래스로 사용하는 것은 1.4R~2R의 곡률 반경을 실현할 수 없다.
이에 독일의 쇼트사(SCHOTT AG)는 리튬 알루미노실리케이트(LAS) 유리를 '다운 드로우 기술(down-draw process)을 적용하여 1.4R~2R의 곡률 반경을 실현한 초박막 강화유리(UTG; Ultra Thin Glass)를 개발하여 제공하고 있다.
일반적으로 다층 레이어로 구성된 OLED 패널은 접었을 때 패널의 앞면에는 압축응력이, 패널의 뒷면에는 인장응력이 동시에 발생하는 폴딩 스트레스가 가해진다. 폴딩 스트레스는 곡률이 작게 접을수록 폴딩 스트레스도 높아진다.
LCD용 커버 글래스로 사용되는 두께 0.4mm 글래스인 경우는 다이아몬드 휠 가공기로 가공할지라도 크랙이 잘 발생하지 않으나, 상기 초박막 강화유리(UTG)는 커버 글래스의 두께가 0.03mm이므로 다이아몬드 휠 가공기로 커팅 가공할 때, 버어(Burr)가 발생할 뿐아니라 에지 그라인딩(Edge Grinding) 시에 미세 크랙이 발생하여 양품률이 떨어지는 문제점이 있다.
상기 초박막 강화유리(UTG)는 원판을 CNC 절단 가공 방법으로 가공할 때, 본딩~디본딩의 5단계 공정을 거치므로 공정을 단순화하는 것이 요구된다.
상기 초박막 강화유리(UTG)의 공정 단순화와 함께 커버 글래스(윈도우)의 모서리를 곡선 가공하는 것은 기계적인 가공에 의해 수행될 때 치핑(chipping), 균열(cracking) 및/또는 시트 파열(rupture)과 같은 유리의 모서리에 대한 심각한 손상을 야기시킬 수 있다. 상기 유리 모서리에서의 결함은 종종 주요 표면 및 모서리 사이의(예를 들어, 90도의 예리한 코너 주변) 교차 영역에서 관찰된다.
본 발명은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로, 그 목적은 폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)에 사용되는 커버 글래스(윈도우)를 초단 펄스 레이저 가공에 의해 그라인딩(grinding) 및 폴리싱(polishing)을 배제하여 초박막 강화유리(UTG; Ultra Thin Glass)의 가공 생산성과 제품의 수율을 향상시킬 수 있는 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 X축 방향의 구동이 이루어지는 스테이지와 Y축 방향 및 Z축 방향의 2축 겐트리의 조합에 의해 원판 유리가 장착된 스테이지와 레이저 헤드를 상대적으로 이동시킴에 의해 고속으로 커버 글래스를 가공하여 가공 생산성과 제품의 수율을 향상시킬 수 있는 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 커버 글래스의 모서리 곡률부를 가공할 때, 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 직선 구동만이 가능한 겐트리를 이용하여 모서리 곡률부의 미세가공이 이루어질 수 있는 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 겐트리를 이용하여 미세가공을 위한 레이저 헤드를 구동시킴에 의해 미세 크랙(crack)과 치핑(chipping)을 최소화할 수 있는 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 휠 타입 면취장비에 비하여 마이크로 크랙이 거의 없어 파괴강도를 증대시키는 이점이 있으며, 면취작업 과정에 분진발생을 없애서 세척설비가 필요 없어 제조라인을 대폭적으로 줄일 수 있는 커버 글래스 레이저 가공장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 본체; 상기 본체의 중앙부에 X축 방향을 따라 이동 가능하게 설치되고, 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 선택적으로 고정시킬 수 있는 스테이지; 상기 본체의 상부에 Y축 방향으로 설치된 브리지; 상기 브리지에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고 레이저 헤드를 구비한 캐리지; 및 상기 레이저 헤드의 선단부에 구비되어 상기 원판 유리에 펄스 레이저를 조사하는 가공 노즐;을 포함하며, 상기 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 상기 가공 노즐로부터 조사되는 펄스 레이저의 가공에 의해 상기 원판 유리로부터 복수의 커버 글래스가 얻어지는 것을 특징으로 한다.
상기 커버 글래스의 모서리 곡률부 가공은 모서리 곡률부에 근접하도록 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 복수회 반복하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 실현될 수 있다.
또한, 상기 레이저 헤드는 캐리지에 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
더욱이, 상기 스테이지의 X축 방향의 구동과 캐리지의 Y축 방향 구동이 동시에 실행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 본체; 상기 본체의 상부에 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 선택적으로 고정시킬 수 있는 스테이지; 상기 본체의 상부에 Y축 방향으로 설치되며 X축 방향을 따라 이동 가능하게 설치된 브리지; 상기 브리지에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고 레이저 헤드를 구비한 캐리지; 및 상기 레이저 헤드의 선단부에 구비되어 상기 원판 유리에 펄스 레이저를 조사하는 가공 노즐;을 포함하며, 상기 브리지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 상기 가공 노즐로부터 조사되는 펄스 레이저 가공에 의해 상기 원판 유리로부터 복수의 커버 글래스가 얻어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동이 가능한 커버 글래스 레이저 가공장치를 이용하여 4개의 모서리에 각각 모서리 곡률부를 가지며 직사각형상으로 이루어진 커버 글래스의 레이저 가공방법은, 상기 스테이지에 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 로딩하여 고정시키는 단계; 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 레이저 헤드를 커버 글래스를 레이저 가공하기 위한 기준점으로 이동시키는 단계; 상기 레이저 헤드를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키면서 커버 글래스의 직선구간인 제1변을 가공하는 단계; 상기 커버 글래스의 제1변의 종점으로부터 제1변과 직교하는 제2변의 직선구간 사이의 제1모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계; 상기 레이저 헤드를 Y축 또는 X축 방향으로 이동시키면서 상기 커버 글래스의 직선구간인 제2변을 가공하는 단계; 상기 커버 글래스의 제2변의 종점으로부터 제2변과 직교하는 제3변의 직선구간 사이의 제2모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계; 상기 레이저 헤드를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키면서 상기 커버 글래스의 직선구간인 제3변을 가공하는 단계; 상기 커버 글래스의 제3변의 종점으로부터 제3변과 직교하는 제4변의 직선구간 사이의 제3모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계; 상기 레이저 헤드를 Y축 또는 X축 방향으로 이동시키면서 상기 커버 글래스의 직선구간인 제4변을 가공하는 단계; 및 상기 커버 글래스의 제4변의 종점으로부터 제4변과 직교하는 제1변의 직선구간 사이의 제4모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 내지 제4 모서리의 모서리 곡률부는 각각 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 실현되는 것을 특징으로 한다.
상기 레이저 가공은 레이저 헤드에 설치된 가공 노즐로부터 조사되는 초단 펄스 레이저 가공에 의해 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동이 가능한 커버 글래스 레이저 가공장치를 이용하여 4개의 모서리에 각각 모서리 곡률부를 가지며 직사각형상으로 이루어진 커버 글래스의 레이저 가공방법에서, 상기 모서리 곡률부는 각각 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 실현되는 것을 특징으로 한다.
상기 스테이지의 X축 구동과 레이저 헤드의 Y축 구동의 반복회수는 모서리 곡률부의 곡률에 비례하여 설정될 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명에서는 폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)에 사용되는 커버 글래스용 초박막 강화유리(UTG; Ultra Thin Glass)의 모서리 곡률부를 초단 펄스 레이저 가공에 의해 그라인딩(grinding) 및 폴리싱(polishing)을 배제하여 초박막 강화유리(UTG)의 가공 생산성과 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에서는 X축 방향의 구동이 이루어지는 스테이지와 Y축 방향 및 Z축 방향의 2축 겐트리의 조합에 의해 원판이 장착된 스테이지와 레이저 헤드를 상대적으로 이동시킴에 의해 고속으로 초박막 강화유리(UTG)의 가공 생산성과 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
더욱이, 본 발명에서는 커버 글래스의 모서리 곡률부를 가공할 때, 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 직선 구동만이 가능한 3축 겐트리를 이용하여 모서리 곡률부의 미세가공이 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에서는 3축 겐트리를 이용하여 미세가공을 위한 레이저 헤드를 구동시킴에 의해 미세 크랙(crack)과 치핑(chipping)을 최소화할 수 있다.
더욱이, 본 발명에서는 기존의 휠 타입 면취장비에 비하여 마이크로 크랙이 거의 없어 파괴강도를 증대시키는 이점이 있으며, 면취작업 과정에 분진발생을 없애서 세척설비가 필요 없어 제조라인을 대폭적으로 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치를 보여주는 개략 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공 방법의 전체 공정을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법에서 원판에 대한 작업 순서를 예시한 설명도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법에서 하나의 커버 글래스에 대한 가공 순서를 예시한 설명도이다.
도 6a 및 도 6b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법에서 커버 글래스의 모서리 곡률부에 대한 가공 방법을 설명한 것으로, 도 6a는 곡선부 가공추이를 나타낸 것이고, 도 6b는 도 6a의 Z부분 확대도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치를 보여주는 개략 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공 방법의 전체 공정을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법에서 원판에 대한 작업 순서를 예시한 설명도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법에서 하나의 커버 글래스에 대한 가공 순서를 예시한 설명도이다.
도 6a 및 도 6b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법에서 커버 글래스의 모서리 곡률부에 대한 가공 방법을 설명한 것으로, 도 6a는 곡선부 가공추이를 나타낸 것이고, 도 6b는 도 6a의 Z부분 확대도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치를 보여주는 개략 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다.
레이저 가공을 위한 "가공 대상물", 예를 들면, 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리는 레이저 가공에 의해 4개의 모서리에 각각 모서리 곡률부를 가지며 직사각형상으로 이루어진 복수개의 커버 글래스가 얻어진다.
본 발명에서는 커버 글래스의 모서리 곡률부를 가공할 때, 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 직선 이동만이 가능한 겐트리 구동장치를 이용하여 모서리 곡률부의 미세가공이 이루어질 수 있다.
본 발명에서는 커버 글래스에서 모서리 곡률부의 가공이 미리 설정된 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 복수회 실시함에 의해 간단하게 실현할 수 있다.
첨부된 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치를 보여주는 개략 구성도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 가공장치 본체(10)를 구비하며, 본체(10)의 중앙부에는 X축 방향을 따라 X축 방향의 직선 구동이 이루어질 수 있는 스테이지(20)가 이동 가능하게 설치되어 있다.
본체(10)에는 X축 구동모터(24)와 X축 리니어모션 가이드(Linear Motion Guide)(22)가 본체(10)의 X축 방향을 따라 설치되어, 스테이지(20)를 X축 방향으로 직선 구동할 수 있다.
스테이지(20)는 본체(10)에 수평으로 이동 가능하게 설치되며, 레이저 가공을 위한 "가공 대상물", 예를 들면, 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리(70)가 올려진 후, 흡착방식으로 고정시킬 수 있게 구성된다.
본체(10)의 양측에는 제1 및 제2 지지대(36,38)가 수직으로 세워져 있고, 제1 및 제2 지지대(36,38)의 상부에는 Y축 방향으로 브리지(30)가 설치되어 있다.
또한, 상기 브리지(30)에는 Y축 리니어모션 가이드(32)와 Y축 구동모터(34)가 설치되어 캐리지(40)를 Y축 방향을 따라 직선 구동시킬 수 있다.
상기 캐리지(40)에는 Z축 리니어모션 가이드(42)와 Z축 구동모터(44)가 설치되어 레이저 헤드(50)를 Z축 방향을 따라 직선 구동시킬 수 있다.
본 발명에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치에서 스테이지(20) 위에는 도 4에 도시된 바와 같이, 레이저 가공을 위한 가공 대상물로서, 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 대형 원판 유리(70)가 올려지며, 스테이지(20)는 원판 유리(70)을 진공흡착방식으로 고정시킬 수 있게 구성된다.
상기 스테이지(20)는 X축 구동모터(24)의 구동에 따라 X축 리니어모션 가이드(Linear Motion Guide)(22)를 따라 X축 방향의 직선 왕복 구동이 이루어질 수 있다.
제1 및 제2 지지대(36,38)의 상부에는 Y축 방향으로 브리지(30)가 설치되어 있으며, 상기 브리지(30)에는 Y축 리니어모션 가이드(32)와 Y축 구동모터(34)가 설치되어 캐리지(40)를 Y축 방향을 따라 직선 구동시킬 수 있다.
그 결과, 스테이지(20)의 X축 방향의 구동과 캐리지(40)의 Y축 방향 구동이 순차적으로 또는 동시에 실행되는 것이 가능하므로, 캐리지(40)에 장착된 레이저 헤드(50)를 가공할 원하는 위치로 빠르게 이동시키는 것이 가능하다.
도 1에 도시된 커버 글래스 레이저 가공장치는 또한 레이저 헤드(50)에 레이저빔을 집속하여 가공점에 조사하기 위해 복수의 렌즈로 이루어진 집속 광학계(도시되지 않음) 및 레이저 헤드(50)에 설치되는 가공 노즐(도시되지 않음)을 구비하며, 스테이지(20)의 X축 방향의 구동과 캐리지(40)의 Y축 방향 구동과 레이저 헤드(50)의 Z축 구동을 제어하기 위한 제어모듈을 구비하고 있다.
더욱이, 본 발명의 커버 글래스 레이저 가공장치는 스테이지(20)에 대형 원판 유리(70)의 이동과 안착, 미세 진동을 제어할 수 있는 메카니즘을 구비하며, 레이저 가공 후에 발생되는 스크랩(scarp) 및 흄(fume)을 제거하기 위한 모듈을 구비할 수 있다.
폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)의 커버 글래스(윈도우)에 사용되는 초박막 강화유리(UTG)는 두께가 0.03mm이므로, 스테이지(20)는 커버 글래스(72)의 가공에 사용되는 대형 원판 유리(70)의 이동과 안착, 미세 진동을 제어할 수 있는 정밀 메카니즘이 요구된다.
상기 도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 X축 방향의 직선 구동이 이루어질 수 있는 스테이지(20)와 레이저 헤드(50)를 Y축 및 Z축 방향의 2축 방향으로 구동할 수 있는 2축 겐트리가 조합된 구성을 가지고 있으나, 본원발명은 이에 제한되지 않는다.
도 7에는 본 발명의 제2실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치가 도시되어 있다.
본 발명의 제2실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 본체(10)의 상부에 X축 방향으로 운동가능하게 설치되는 브리지(30)와, 브리지(30)에 Y축 방향으로 운동가능하게 설치되는 캐리지(40)와, 캐리지(40)에 Y축 방향으로 운동가능하게 설치되는 레이저 헤드(50)와, 레이저 헤드(50)에 설치되는 가공 노즐(60)을 포함한다.
브리지(30)는, 본체(10)의 양쪽에 X축 방향으로 설치된 리니어모션 가이드(30a)를 통해 본체(10)와 연결된다. 이렇게 연결된 브리지(30)는, 양쪽의 리니어모션 가이드(30a)를 따라 X축 방향으로 운동하면서 캐리지(40)에 설치된 레이저 헤드(50)를 X축 방향으로 운동시킨다. 특히, 스테이지(20)에 지지된 "가공 대상물"에 대해 X축 방향으로 운동시킨다.
캐리지(40)는, 리니어모션 가이드(41)를 통해 브리지(30)와 연결되며, 이렇게 연결된 캐리지(40)와 함께 레이저 헤드(50)는 리니어모션 가이드(41)를 따라 Y축 방향으로 운동한다. 특히, 스테이지(20)에 지지된 "가공 대상물"에 대해 Y축 방향으로 운동시킨다.
레이저 헤드(50)는, 리니어모션 가이드(50a)를 통해 캐리지(40)와 연결되며, 이렇게 연결된 레이저 헤드(50)와 함께 가공 노즐(60)은 리니어모션 가이드(50a)를 따라 Z축 방향으로 운동한다. 특히, 스테이지(20)에 지지된 "가공 대상물"에 대해 Z축 방향으로 운동시킨다.
가공 노즐(60)은, 레이저빔을 최종적으로 가공 대상물을 향해 출사하는 것으로, X축, Y축, Z축 방향으로 각각 운동하는 브리지(30)와 캐리지(40) 및 레이저 헤드(50)를 통해 X축, Y축, Z축 방향으로 운동한다.
도 7에서 미설명 부재번호 42는 X축 구동모터, 52는 Y축 구동모터를 가리킨다.
본 발명의 제2실시예에 따른 커버 글래스 레이저 가공장치는 스테이지(20)에 지지된 "가공 대상물"인 대형 원판 유리(70)에 대하여 레이저 헤드(50)를 3축 방향으로 이동시키면서 초단 펄스 레이저 가공에 의해 순차적으로 커버 글래스(72)를 커팅하여 분리한다.
이하에 도 1 내지 도 6을 참고하여 본 발명에 따른 커버 글래스의 레이저 가공 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참고하면, 커버 글래스의 레이저 가공은 먼저 가공용 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 대형 원판 유리(70)(도 4 참조)를 스테이지(20) 내로 이동시킨다(S11).
도 4에 도시된 바와 같이, 가공 대상물인 대형 원판 유리(70)는 이로부터 16개의 커버 글래스(72)를 얻을 수 있다.
이어서 대형 원판 유리(70)는 스테이지(20) 위에 놓여진 후 비젼 카메라 등을 이용하여 대형 원판 유리(70)에 표시되어 있는 얼라인 마크(Align Mark)를 확인하여 미리설정된 위치에 도달하면 위치를 고정한다. 그 후 미리 설정된 기준위치에 원판 유리(70)이 놓여지면 원판 유리(70)을 스테이지(20)에 진공 흡착에 의해 고정하여 안정화시킨다(S12).
그후, 대형 원판 유리(70)의 작업 순서를 설정한다(S13). 본 발명에서는 도 4에 도시된 바와 같이 원판 유리(70)에 표시된 커버 글래스(72)의 순서 1~16에 따라 순차적으로 개별 가공을 진행한다. 즉, 직사각형 원판 유리(70)의 일측 모서리 부분부터 폭방향으로 진행하여 지그재그 순으로 진행할 수 있다. 그러나, 원판 유리(70)의 작업 순서는 원판 유리(70)의 일측 모서리 부분부터 길이방향으로 진행하여 지그재그 순으로 진행할 수 있다. 이 경우, 커버 글래스(72)의 크기는 모바일 제품 사이즈에 따라 개별 가공이 진행된다.
먼저, 레이저 헤드(50)를 이동시켜 1번 커버 글래스(72)의 레이저 가공 및 절단을 도 3에 도시된 절차에 따라 실시한다(S14). 개별적인 커버 글래스(72)의 레이저 가공 및 절단에 대하여는 추후에 상세하게 설명한다.
1번 커버 글래스(72)의 레이저 가공이 완료되면, 이어서 원판 유리(70)에 표시된 커버 글래스(72)의 순서 2~16을 따라 순차적으로 개별 가공을 진행한다.
2번 커버 글래스(72)의 레이저 가공은 1번 커버 글래스(72)의 레이저 가공과 동일한 방식으로 이루어지며, 3번 내지 16번 커버 글래스(72)의 레이저 가공도 1번 커버 글래스(72)의 레이저 가공과 동일한 방식으로 이루어진다.
원판 유리(70)에 대한 16개의 커버 글래스(72)의 개별적인 가공이 완료되면 가공 완료된 커버 글래스(72)에 대한 진공 흡착을 해제한다(S15).
그 후, 컷팅 완료된 커버 글래스(72) 가공품은 픽킹장치를 이용하여 스테이지(20)로부터 분리하여 가공품 카세트로 이동시킨다(S16).
이어서, 스테이지(20)에 남아 있는 원판 유리(70)에 대한 가공 잔여물 스크랩을 제거하고 클리닝을 실시한 후(S17), 가공이 이루어질 새로운 대형 원판 유리(70)를 스테이지(20)에 실장하고 새로운 작업을 실시한다.
상기 가공품 카세트로 모아진 커버 글래스(72) 가공품은 커버 글래스(72)의 가공부에 대한 결함 및 이상이 있는 지를 비전(Vision) 현미경 또는 육안 검사를 통하여 확인하는 외관 검사를 실시한다(S18). 외관 검사 결과 가공부에 대한 결함 및 이상이 없는 커버 글래스(72) 가공품은 양품 카세트로 이동된다.
이하에 도 3 및 도 5를 참고하여 개별적인 커버 글래스(72)의 레이저 가공 및 절단을 상세하게 설명한다.
도 1 및 도 3을 참고하면, 레이저 헤드(50)를 기준점(RP)으로 이동시킨다(S21). 먼저, X축 구동모터(24)의 구동에 따라 X축 리니어모션 가이드(Linear Motion Guide)(22)를 따라 원판 유리(70)가 진공 흡착에 의해 고정된 스테이지(20)는 미리 설정된 위치로 X축 방향의 구동이 이루어지고, 캐리지(40)는 Y축 구동모터(34)의 구동에 따라 브리지(30)에 설치된 Y축 리니어모션 가이드(32)를 따라 미리 설정된 위치로 Y축 방향의 구동이 이루어진다.
이에 따라 상기 캐리지(40)에 설치된 레이저 헤드(50)도 미리 설정된 위치, 즉 기준점(RP)으로 Y축 방향의 구동이 이루어진다. 이어서, Z축 구동모터(44)의 구동에 따라 레이저 헤드(50)는 Z축 리니어모션 가이드(42)를 따라 Z축 방향으로 하강하여 원판 유리(70)로부터 미리 설정된 높이로 위치설정된다.
상기와 같이, 레이저 헤드(50)가 기준점(RP)에 위치 설정되면 Y축 구동모터(34)를 구동하여 레이저 헤드(50)를 Y1 방향으로 Y축 리니어모션 가이드(32)를 따라 이동시키면서 레이저 헤드(50)에 구비된 가공 노즐로부터 초단 펄스 레이저빔을 원판 유리(70)로 조사하여 가공될 커버 글래스(72)의 Y1 변을 가공한다(S22).
레이저 헤드(50)를 Y1 방향으로 이동시키면서 직선 부분인 Y1 변을 가공한 후, 직선 가공부분의 종점, 즉 곡률부로 이루어진 제1모서리(74a)에 도달하면 모서리 곡률부 가공을 시작한다.
본 발명에서는 모서리 곡률부의 가공을 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 미리 설정된 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지(20)의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드(50)의 Y축 방향 직선구동을 교대로 복수회 실시함에 의해 간단하게 실현한다(S23).
즉, 본 발명에서는 모서리 곡률부를 가공할 때, 도 6b의 확대도에 도시된 바와 같이, 스테이지(20)의 X축 방향으로 X11 만큼 이동한 후, 레이저 헤드(50)의 Y축 방향으로 Y11 만큼 이동하고, 이어서 X12-Y12-X13-Y13의 순서로 스테이지(20)와 레이저 헤드(50)를 교대로 이동시키면서 레이저빔을 원판 유리(70)로 조사하여 제1모서리(74a)의 모서리 곡률부 가공을 실시한다.
상기한 방식으로 도 6a에 도시된 모서리 곡률부 가공을 실시하면 도 6a에 도시된 바와 같은 곡선부는 가공추이를 따라 모서리 가공이 이루어진다.
상기한 바와 같이, 모서리 곡률부의 가공을 스테이지(20)의 X축 구동과 레이저 헤드(50)의 Y축 구동을 더욱더 미세하게 나누워서 복수회 실행할수록 결과적으로 얻어진 가공부의 곡면은 미리 설정된 모서리 곡률부에 근접한 결과가 얻어질 수 있다.
상기한 스테이지(20)의 X축 구동과 레이저 헤드(50)의 Y축 구동의 반복회수는 모서리 곡률부의 곡률에 비례하여 설정하는 것이 바람직하다.
본 발명에서는 모서리 곡률부를 가공할 때, 스테이지(20)와 레이저 헤드(50)를 교대로 직선 이동시키는 방법으로 커버 글래스(72)의 곡률부 가공을 수행할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 스테이지(20)와 레이저 헤드(50)의 X축 방향 직선구동과 Y축 방향 직선구동에 의해 실행함에 의해 레이저 헤드(50)를 모서리 곡률부를 따라 이동시키는 곡선 구동과 비교하여 구조와 제어가 단순하고 빠르게 이루어질 수 있다.
상기와 같이 제1모서리(74a)의 모서리 곡률부 가공을 완료한 후, Y1 방향 구동없이 레이저 헤드(50)를 고정시킨 상태에서 레이저 가공도 대기상태를 갖는다. 이어서, 스테이지(20)를 X1 방향으로 이동시키면서 레이저 가공에 의해 X1 변을 가공한다(S24).
그 후 직선 부분인 X1 변을 가공한 후, 직선 가공부분의 종점, 즉 곡률부로 이루어진 제2모서리(74b)에 도달하면 모서리 곡률부 가공을 시작한다(S25).
상기 제1모서리(74a)의 모서리 곡률부 가공과 동일하게 제2모서리(74b)의 모서리 곡률부 가공을 완료하면, 이어서 Y2 변, 제3모서리(74c)의 모서리 곡률부, X2 변, 제4모서리(74d)의 모서리 곡률부를 순차적으로 가공한다(S26~S29).
상기한 바와 같이, 본 발명에서는 1.4R~2R의 곡률 반경(반지름 1.4mm~2mm 원의 곡률 반경)을 실현할 수 있는 초박막 강화유리(UTG; Ultra Thin Glass)를 초단 펄스 레이저 가공에 의해 폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)에 사용되는 커버 글래스(윈도우)(72)를 제조할 수 있다. 그 결과, 후속된 그라인딩(grinding) 및 폴리싱(polishing) 공정을 배제함에 의해 가공 생산성과 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에서는 커버 글래스(72)의 모서리 곡률부를 가공할 때, 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지(20)의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드(50)의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 직선 이동만이 가능한 2축 또는 3축 겐트리를 이용하여 모서리 곡률부의 미세가공이 이루어질 수 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
본 발명은 초박막 강화유리(UTG; Ultra Thin Glass)에 초단 펄스 레이저를 가공하여 폴더블 플렉서블 디스플레이(foldable flexable display)에 사용되는 커버 글래스(윈도우)를 제조하는 데 적용할 수 있다.
10; 본체
20: 스테이지
22,30a,32,41,42,50a: 리니어모션 가이드
24,34,44: 구동모터 30: 브리지
36,38: 지지대 40: 캐리지
50: 레이저 헤드 60: 가공 노즐
70: 원판 유리 72: 커버 글래스
74a-74d: 모서리
22,30a,32,41,42,50a: 리니어모션 가이드
24,34,44: 구동모터 30: 브리지
36,38: 지지대 40: 캐리지
50: 레이저 헤드 60: 가공 노즐
70: 원판 유리 72: 커버 글래스
74a-74d: 모서리
Claims (9)
- 본체;
상기 본체의 중앙부에 X축 방향을 따라 이동 가능하게 설치되고, 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 선택적으로 고정시킬 수 있는 스테이지;
상기 본체의 상부에 Y축 방향으로 설치된 브리지;
상기 브리지에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고 레이저 헤드를 구비한 캐리지; 및
상기 레이저 헤드의 선단부에 구비되어 상기 원판 유리에 펄스 레이저를 조사하는 가공 노즐;을 포함하며,
상기 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 상기 가공 노즐로부터 조사되는 펄스 레이저의 가공에 의해 상기 원판 유리로부터 복수의 커버 글래스가 얻어지는 커버 글래스 레이저 가공장치. - 제1항에 있어서,
상기 커버 글래스의 모서리 곡률부 가공은 모서리 곡률부에 근접하도록 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 복수회 반복하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 실현되는 커버 글래스 레이저 가공장치. - 제1항에 있어서,
상기 레이저 헤드는 캐리지에 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 커버 글래스 레이저 가공장치. - 제1항에 있어서,
상기 스테이지의 X축 방향의 구동과 캐리지의 Y축 방향 구동이 동시에 실행되는 커버 글래스 레이저 가공장치. - 본체;
상기 본체의 상부에 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 선택적으로 고정시킬 수 있는 스테이지;
상기 본체의 상부에 Y축 방향으로 설치되며 X축 방향을 따라 이동 가능하게 설치된 브리지;
상기 브리지에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고 레이저 헤드를 구비한 캐리지; 및
상기 레이저 헤드의 선단부에 구비되어 상기 원판 유리에 펄스 레이저를 조사하는 가공 노즐;을 포함하며,
상기 브리지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 상기 가공 노즐로부터 조사되는 펄스 레이저 가공에 의해 상기 원판 유리로부터 복수의 커버 글래스가 얻어지는 커버 글래스 레이저 가공장치. - 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동이 가능한 커버 글래스 레이저 가공장치를 이용하여 4개의 모서리에 각각 모서리 곡률부를 가지며 직사각형상으로 이루어진 커버 글래스의 레이저 가공방법에 있어서,
상기 스테이지에 레이저 가공이 이루어질 초박막 강화유리(UTG)로 이루어진 원판 유리를 로딩하여 고정시키는 단계;
스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 이용하여 레이저 헤드를 커버 글래스를 레이저 가공하기 위한 기준점으로 이동시키는 단계;
상기 레이저 헤드를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키면서 커버 글래스의 직선구간인 제1변을 가공하는 단계;
상기 커버 글래스의 제1변의 종점으로부터 제1변과 직교하는 제2변의 직선구간 사이의 제1모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계;
상기 레이저 헤드를 Y축 또는 X축 방향으로 이동시키면서 상기 커버 글래스의 직선구간인 제2변을 가공하는 단계;
상기 커버 글래스의 제2변의 종점으로부터 제2변과 직교하는 제3변의 직선구간 사이의 제2모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계;
상기 레이저 헤드를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키면서 상기 커버 글래스의 직선구간인 제3변을 가공하는 단계;
상기 커버 글래스의 제3변의 종점으로부터 제3변과 직교하는 제4변의 직선구간 사이의 제3모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계;
상기 레이저 헤드를 Y축 또는 X축 방향으로 이동시키면서 상기 커버 글래스의 직선구간인 제4변을 가공하는 단계; 및
상기 커버 글래스의 제4변의 종점으로부터 제4변과 직교하는 제1변의 직선구간 사이의 제4모서리에 대한 모서리 곡률부를 가공하는 단계;를 포함하며,
상기 제1 내지 제4 모서리의 모서리 곡률부는 각각 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시함에 의해 실현되는 커버 글래스의 레이저 가공방법. - 제6항에 있어서,
상기 레이저 가공은 레이저 헤드에 설치된 가공 노즐로부터 조사되는 초단 펄스 레이저 가공에 의해 이루어지는 커버 글래스의 레이저 가공방법. - 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동이 가능한 커버 글래스 레이저 가공장치를 이용하여 4개의 모서리에 각각 모서리 곡률부를 가지며 직사각형상으로 이루어진 커버 글래스의 레이저 가공방법에 있어서,
상기 모서리의 모서리 곡률부는 각각 모서리 곡률부에 근접하도록 미세하게 스테이지의 X축 방향 직선구동과 레이저 헤드의 Y축 방향 직선구동을 교대로 실시하면서 펄스 레이저를 조사함에 의해 실현되는 커버 글래스의 레이저 가공방법. - 제8항에 있어서,
상기 스테이지의 X축 구동과 레이저 헤드의 Y축 구동의 반복회수는 모서리 곡률부의 곡률에 비례하여 설정되는 커버 글래스의 레이저 가공방법.
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2021
- 2021-10-29 KR KR1020210146480A patent/KR102624039B1/ko active IP Right Grant
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