KR20230052494A - 기판 고정 장치 - Google Patents

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KR20230052494A
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이상준
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

기판 고정 장치를 개시한다. 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치는, 플레이트 회전 축을 중심으로 회전 가능하며, 상면으로부터 지정된 길이만큼 함몰 형성되는 플레이트 수용 홈을 포함하는, 플레이트; 상기 플레이트에 구비되며, 상기 플레이트에 대하여 핀 축을 중심으로 회전 가능한 고정 핀; 및 상기 플레이트 및 고정 핀 사이를 실링하는 실링부를 포함하며, 상기 실링부는, 상기 플레이트에 대하여 고정적으로 연결되도록 상기 플레이트 수용 홈에 수용되는 메인 바디; 및 상기 고정 핀에 의해 관통되도록 상기 메인 바디에 형성된 관통 홀을 포함할 수 있다.

Description

기판 고정 장치{APPARATUS FOR HOLDING A SUBSTRATE}
아래의 실시 예는 기판 고정 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 기판을 이용하여 증착, 식각 공정 등을 반복 수행함으로써 제조될 수 있다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기 불순물 등과 같은 오염 물질이 잔존할 수 있다. 오염 물질은 반도체 소자의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 시에는 기판에 잔존하는 오염 물질을 제거하는 공정이 수행된다.
상기 공정을 위한 기판 처리 방식은 크게 건식 처리 방식 및 습식 처리 방식으로 구분될 수 있으며, 이 중에서 습식 처리 방식은 여러 가지 약액을 이용하는 방식으로서, 복수의 기판을 동시에 처리하는 배치식(batch type) 세정 장치와 낱장 단위로 기판을 처리하는 매엽식(single wafer type) 세정 장치로 구분된다. 최근에는 기판의 표면에 극히 높은 청정도가 요구됨에 따라 이를 만족시키기 위해 매엽식 세정 장치가 널리 사용되고 있다.
이러한 매엽식 세정 장비에서는 기판을 고정하기 위하여 기판 고정 장치가 사용된다. 기판 고정 장치 중 고정 핀은, 기판과 직접 접촉하여 기판에 압력을 가하기 때문에 마모로 인하여 일정 주기에 따라 교체가 요구되는 소모품이다. 또한, 고정 핀 및 플레이트 사이로 유입된 이물질은 기판 고정 장치의 고장의 원인이 될 수 있다. 따라서, 내구도가 높으면서 고정 핀을 효율적으로 교체할 수 있는 기판 고정 장치가 요구되는 실정이다.
전술한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예에 따른 목적은 플레이트 및 고정 핀을 연결하는 실링부를 포함하는 기판 고정 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 목적은 탈착 가능한 실링부를 포함하는 기판 고정 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 목적은 유체가 플레이트 내부로 유입되는 것을 방지하는 기판 고정 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 기판 고정 장치는, 플레이트 회전 축을 중심으로 회전 가능하며, 상면으로부터 지정된 길이만큼 함몰 형성되는 플레이트 수용 홈을 포함하는, 플레이트; 상기 플레이트에 구비되며, 상기 플레이트에 대하여 핀 축을 중심으로 회전 가능한 고정 핀; 및 상기 플레이트 및 고정 핀 사이를 실링하는 실링부를 포함하며, 상기 실링부는, 상기 플레이트에 대하여 고정적으로 연결되도록 상기 플레이트 수용 홈에 수용되는 메인 바디; 및 상기 고정 핀에 의해 관통되도록 상기 메인 바디에 형성된 관통 홀을 포함할 수 있다.
상기 실링부는, 상기 메인 바디의 하면으로부터 하부로 연장 형성되고, 상기 플레이트에 접촉되는 제1 실링 바디를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 실링 바디는 상기 메인 바디의 하면으로부터 외측 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다.
상기 제1 실링 바디는, 상기 플레이트 수용 홈의 하면에 접촉되도록 형성될 수 있다.
상기 제1 실링 바디는 유연한 재질로 형성되어 상기 플레이트 수용 홈의 하면과 접촉에 의해 휘어질 수 있다.
상기 실링부는, 상기 메인 바디의 내주부에 함몰되어 형성되는 메인 바디 홈; 및 상기 고정 핀에 접촉되도록 상기 메인 바디 홈으로부터 돌출되어 형성되는 제2 실링 바디를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 실링 바디는 상기 메인 바디 홈으로부터 내측 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다.
상기 제2 실링 바디는 유연한 재질로 형성될 수 있다.
상기 고정 핀은 단차 면이 형성되도록 적어도 일부가 직경 방향으로 돌출될 수 있다.
상기 제2 실링 바디는 상기 단차 면과 접촉에 의해 휘어질 수 있다.
상기 실링부는, 상기 플레이트로부터 탈착 가능할 수 있다.
상기 실링부 및 플레이트는, 나사 연결 방식으로 연결될 수 있다.
상기 고정 핀은, 상기 실링부가 상기 플레이트로부터 분리된 상태에서, 플레이트 수용 홈을 통하여 분리 가능할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 고정 장치는 고정 핀이 용이하게 교체될 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 고정 장치는 내구도가 향상될 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 고정 장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판이 배치되기 전 기판 고정 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 기판이 고정된 상태에서의 기판 고정 장치의 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 기판이 고정된 상태에서의 기판 고정 장치의 측면도이다.
도 4a 및 도 4b는 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치의 작동도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치의 단면도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치의 단면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 도 6의 A 부분의 확대도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치의 분해 단면도이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시 예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안 된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판(S)이 배치되기 전 기판 고정 장치(1)의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 기판(S)이 고정된 상태에서의 기판 고정 장치(1)의 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 기판(S)이 고정된 상태에서의 기판 고정 장치(1)의 측면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판(S) 고정장치는 기판(S)을 고정시킨 후 특정 축을 중심으로 회전시킬 수 있다. 일 실시 예에서, 기판 고정 장치(1)는 플레이트(11), 지지 핀(12) 및 고정 핀(13)을 포함할 수 있다.
기판(S)은 반도체 기판(S)이 되는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer)일 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(S)은 액정표시장치(liquid crystal display, LCD)와 플라즈마 표시 장치(plasma display panel)와 같은 평판 디스플레이(Display) 장치용 유리 기판(S)일 수 있다. 또한, 기판(S)은 형상 및 크기가 한정되는 것은 아니며, 원형 및 사각형 플레이트(11)(Plate) 등 실질적으로 다양한 형상과 크기를 가질 수 있다.
플레이트(11)는 플레이트 회전 축(A1)을 중심으로 회전할 수 있다. 따라서, 기판(S)은, 고정 핀(13)에 의해 고정된 상태에서, 플레이트 회전 축(A1)을 중심으로 회전될 수 있다. 예를 들어, 플레이트(11)는 내부에 공간이 구비되는 원통형으로 형성될 수 있으며, 플레이트 회전 축(A1)은 원통의 중심에 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 플레이트(11)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
지지 핀(12)은 플레이트(11)에 구비되며 기판(S)의 하면을 지지할 수 있다. 따라서, 지지 핀(12)은 기판(S)이 기판(S) 고정 핀(13)에 의해 고정된 상태에서, 기판(S)이 상하로 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 지지 핀(12)의 단부는 뾰족한 형상으로 형성될 수 있으며, 지지 핀(12) 및 기판(S)은 점 접촉할 수 있다. 따라서, 지지 핀(12) 및 기판(S)이 접촉되는 부분을 최소화하여, 기판(S)의 세정이 방해되는 것을 최소화할 수 있다. 일 실시 예에서, 지지 핀(12)은 플레이트(11)의 원주 방향을 따라 적어도 3개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 지지 핀(12)은 5개로 구비될 수 있다. 따라서, 지지 핀(12)은 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 지지 핀(12)의 형상 및 개수가 이에 한정되는 것은 아니다.
고정 핀(13)은 플레이트(11)에 구비되며 기판(S)을 고정시킬 수 있다. 일 실시 예에서, 고정 핀(13)은 고정 부재(131)를 포함할 수 있다. 일 실시 예에서, 고정 부재(131)는 기판(S)의 측면과 접촉할 수 있다. 따라서, 고정 부재(131)는 기판(S)이 좌우로 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 고정 부재(131)는 원통형으로 형성될 수 있으며, 고정 부재(131) 및 기판(S)은 선 접촉할 수 있다. 따라서, 고정 부재(131) 및 기판(S)이 접촉되는 부분을 최소화하여, 기판(S)의 세정이 방해되는 것을 최소화할 수 있다. 일 실시 예에서, 고정 핀(13)은 플레이트(11)의 원주 방향을 따라 적어도 3개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 고정 핀(13)은 5개로 구비될 수 있다. 따라서, 고정 핀(13)은 기판(S)의 측면을 안정적으로 고정할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 고정 핀(13)의 형상 및 개수가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4a 및 도 4b는 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치(1)의 작동도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치(1)는 기판(S)을 고정할 수 있다.
고정 핀(13)은 플레이트(11)에 대하여 핀 축(A2)을 중심으로 회전할 수 있다. 예를 들어, 고정 핀(13)에는 모터(미도시)가 연결되며, 모터는 고정 핀(13)을 회전시킬 수 있다. 일 실시 예에서, 고정 부재(131)는 핀 축(A2)으로부터 이격되어 위치될 수 있다. 따라서, 고정 핀(13)이 핀 축(A2)을 중심으로 회전함에 따라, 고정 부재(131) 및 플레이트 회전 축(A1) 사이 거리는 변할 수 있다. 도 4a에서, 일 실시 예에서, 고정 부재(131)가 회전 플레이트(11)의 직경 방향을 기준으로 핀 축(A2)의 외측에 배치될 때, 플레이트 회전 축(A1) 및 고정 부재(131) 사이 거리는 기판(S)의 반지름보다 길 수 있다. 따라서, 기판(S)은 지지 핀(12) 상에 배치된 상태에서, 고정 핀(13)에 의해 고정되지 않을 수 있다. 도 4b에서, 일 실시 예에서, 고정 부재(131)는 기판(S)의 측면과 접촉할 때까지 핀 축(A2)을 중심으로 회전할 수 있다. 복수개의 고정 부재(131)는 기판(S)의 측면과 접촉한 상태에서 기판(S)의 내측으로 힘을 가할 수 있다. 따라서, 기판(S)은 지지 핀(12) 상에 배치된 상태에서, 고정 핀(13)에 의해 고정될 수 있다.
도 5 및 도 6은 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치(1)의 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치(1)는 실링부(14)를 더 포함할 수 있다.
플레이트(11)는 내부에 고정 핀(13)의 적어도 일부가 수용되도록 수용 공간을 제공할 수 있다. 일 실시 예에서, 플레이트(11)는 상면으로부터 지정된 길이만큼 함몰 형성되는 플레이트 수용 홈(111)을 포함할 수 있다.
고정 핀(13)은 적어도 일부가 플레이트(11) 내부에 수용되어 고정 축을 중심으로 회전할 수 있다. 일 실시 예에서, 고정 핀(13)이 플레이트(11) 내부에 수용된 상태에서, 플레이트 수용 홈(111)의 측면 및 고정 핀(13)의 외면 사이에는 이격이 발생할 수 있다.
실링부(14)는 플레이트(11) 및 고정 핀(13) 사이를 실링할 수 있다. 따라서, 실링부(14)는 플레이트(11) 및 고정 핀(13) 사이로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다. 일 실시 예에서, 실링부(14)는 메인 바디(141) 및 관통 홀(142)을 포함할 수 있다.
일 실시 예에서, 메인 바디(141)는 플레이트(11)에 고정적으로 연결되도록 플레이트 수용 홈(111)에 수용될 수 있다. 예를 들어, 메인 바디(141)의 외면이 플레이트 수용 홈(111)의 적어도 일부에 접촉되면서, 메인 바디(141)는 플레이트(11)에 연결될 수 있다. 일 실시 예에서, 메인 바디(141)는 링 형태로 형성될 수 있다. 구체적으로, 메인 바디(141)의 중심부에는 관통 홀(142)이 형성될 수 있다.
일 실시 예에서, 관통 홀(142)은 고정 핀(13)에 의해 관통되도록 메인 바디(141)에 형성될 수 있다. 일 실시 예에서, 관통 홀(142)은 고정 핀(13)의 높이 방향에 수직인 단면의 형상에 대응되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 고정 핀(13)은 관통 홀(142)에서 메인 바디(141)와 미끄러지면서 핀 축(A2)을 중심으로 회전할 수 있다.
도 7은 일 실시 예에 따른 도 6의 A 부분의 확대도이다.
도 7을 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치(1)는 실링부(14)에 의해 플레이트(11) 및 고정 핀(13) 사이가 실링될 수 있다.
일 실시 예에서, 실링부(14)는 제1 실링 바디(143)를 포함할 수 있다. 일 실시 예에서, 제1 실링 바디(143)는 메인 바디(141)의 하면으로부터 하부로 연장 형성되고, 플레이트(11)에 접촉될 수 있다. 예를 들어, 제1 실링 바디(143)는 메인 바디(141)의 하면으로부터 외측 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 일 실시 예에서, 제1 실링 바디(143)는 플레이트 수용 홈의 하면(1111)에 접촉될 수 있다. 예를 들어, 메인 바디(141)의 하면 및 플레이트 수용 홈의 하면(1111) 사이는 서로 이격되도록 형성되며, 제1 실링 바디(143)는 메인 바디(141)의 하면 및 플레이트 수용 홈의 하면(1111) 사이 공간에 배치될 수 있다. 일 실시 예에서, 제1 실링 바디(143)는 유연한 재질로 형성되어 플레이트 수용 홈의 하면(1111)과 접촉에 의해 휘어질 수 있다. 따라서, 휘어진 제1 실링 바디(143)의 복원력으로 인해 플레이트(11) 및 실링부(14) 사이는 밀폐될 수 있다. 예를 들어, 플레이트 수용 홈의 하면(1111) 및 제1 실링 바디(143) 사이는 밀폐될 수 있다.
일 실시 예에서, 실링부(14)는 메인 바디 홈(144) 및 제2 실링 바디(145)를 포함할 수 있다. 일 실시 예에서, 메인 바디 홈(144)은 메인 바디(141)의 내주부에 함몰되어 형성될 수 있다. 따라서, 메인 바디 홈(144)을 통해, 메인 바디(141) 및 고정 핀(13)의 적어도 일부는 서로 이격될 수 있다. 이로 인해, 고정 핀(13) 및 메인 바디(141)의 접촉 면적이 줄어들어, 고정 핀(13)이 핀 축(A2)을 중심으로 용이하게 회전될 수 있으며, 고정 핀(13)을 회전시키는 모터의 부하가 줄어들 수 있다. 또한, 마찰에 의한 고정 핀(13) 및 실링부(14)의 마모가 감소하여, 기판 고정 장치(1)의 내구도가 향상될 수 있다. 일 실시 예에서, 제2 실링 바디(145)는 고정 핀(13)에 접촉되도록 메인 바디 홈(144)으로부터 돌출되어 형성되고, 고정 핀(13)에 접촉될 수 있다. 예를 들어, 제2 실링 바디(145)는 메인 바디 홈(144)으로부터 내측 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 일 실시 예에서, 제2 실링 바디(145)는 고정 핀(13)과 접촉될 수 있다. 일 실시 예에서, 고정 핀(13)은 단차 면(132)이 형성되도록 적어도 일부가 직경 방향으로 돌출될 수 있다. 일 실시 예에서, 제2 실링 바디(145)는 유연한 재질로 형성되어 단차 면(132)과 접촉에 의해 휘어질 수 있다. 따라서, 휘어진 제2 실링 바디(145)의 복원력으로 인해 플레이트(11) 및 고정 핀(13) 사이는 밀폐될 수 있다. 예를 들어, 고정 핀(13)의 단차 면(132) 및 제2 실링 바디(145) 사이는 밀폐될 수 있다. 일 실시 예에서, 제2 실링 바디(145)는 메인 바디 홈(144)이 제1 홈(144a) 및 제2 홈(144b)으로 분리되도록, 메인 바디 홈(144)의 중앙부에서 돌출될 수 있다. 따라서, 제2 실링 바디(145)가 휘어질 수 있는 공간이 확보되며, 제2 실링 바디(145)는 더 용이하게 휘어질 수 있다.
도 8은 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치(1)의 분해 단면도이다.
도 8을 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 고정 장치(1)는 플레이트(11)로부터 탈착 가능할 수 있다.
일 실시 예에서, 실링부(14) 및 플레이트(11)는 나사 연결 방식으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 메인 바디(141)의 외측에는 나사산이 형성되며 플레이트 수용 홈(111)에는 나사 홈이 형성될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 실링부(14) 및 플레이트(11)의 결합 방식이 이에 한정되는 것은 아니다. 일 실시 예에서, 고정 핀(13)은, 실링부(14)가 플레이트(11)로부터 분리된 상태에서, 플레이트 수용 홈(111)을 통하여 분리 가능할 수 있다. 따라서, 고정 핀(13)의 교체가 요구될 때, 간편하고 효율적으로 고정 핀(13)을 교체시킬 수 있다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.
1: 기판 고정 장치
11: 플레이트
12: 지지 핀
13: 고정 핀
14: 실링부

Claims (13)

  1. 플레이트 회전 축을 중심으로 회전 가능하며, 상면으로부터 지정된 길이만큼 함몰 형성되는 플레이트 수용 홈을 포함하는, 플레이트;
    상기 플레이트에 구비되며, 상기 플레이트에 대하여 핀 축을 중심으로 회전 가능한 고정 핀; 및
    상기 플레이트 및 고정 핀 사이를 실링하는 실링부를 포함하며,
    상기 실링부는,
    상기 플레이트에 대하여 고정적으로 연결되도록 상기 플레이트 수용 홈에 수용되는 메인 바디; 및
    상기 고정 핀에 의해 관통되도록 상기 메인 바디에 형성된 관통 홀을 포함하는, 기판 고정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 실링부는,
    상기 메인 바디의 하면으로부터 하부로 연장 형성되고, 상기 플레이트에 접촉되는 제1 실링 바디를 더 포함하는, 기판 고정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 실링 바디는 상기 메인 바디의 하면으로부터 외측 방향으로 하향 경사지게 형성되는, 기판 고정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 실링 바디는,
    상기 플레이트 수용 홈의 하면에 접촉되도록 형성되는, 기판 고정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 실링 바디는 유연한 재질로 형성되어 상기 플레이트 수용 홈의 하면과 접촉에 의해 휘어지는, 기판 고정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 실링부는,
    상기 메인 바디의 내주부에 함몰되어 형성되는 메인 바디 홈; 및
    상기 고정 핀에 접촉되도록 상기 메인 바디 홈으로부터 돌출되어 형성되는 제2 실링 바디를 더 포함하는, 기판 고정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 실링 바디는 상기 메인 바디 홈으로부터 내측 방향으로 하향 경사지게 형성되는, 기판 고정 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2 실링 바디는 유연한 재질로 형성되는, 기판 고정 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 고정 핀은 단차 면이 형성되도록 적어도 일부가 직경 방향으로 돌출되는, 기판 고정 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 실링 바디는 상기 단차 면과 접촉에 의해 휘어지는, 기판 고정 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 실링부는,
    상기 플레이트로부터 탈착 가능한, 기판 고정 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 실링부 및 플레이트는, 나사 연결 방식으로 연결되는, 기판 고정 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 고정 핀은,
    상기 실링부가 상기 플레이트로부터 분리된 상태에서, 플레이트 수용 홈을 통하여 분리 가능한, 기판 고정 장치.
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