KR20230052008A - 절단성이 개선된 초박막 유리 절단 장치 및 이를 이용한 절단 방법 - Google Patents

절단성이 개선된 초박막 유리 절단 장치 및 이를 이용한 절단 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유리 절단 장치 및 이를 이용한 절단 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 초박막 유리 절단 장치 및 이를 이용한 절단 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 절단 방법은
유리 기판을 제공하는 유리기판 제공단계;
절단 부재를 가열하는 가열 단계;
가열된 절단부재를 유리 기판의 상부 표면에 접촉시키는 접촉 단계; 및
가열된 절단 부재를 유리 기판의 표면 굴곡을 따라 승강하면서 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법을 제공한다.
본 발명은 초박막 유리 원판에서 디스플레이용 유리 원판을 절취하는 과정에서 불산 처리 과정을 제거한다.

Description

절단성이 개선된 초박막 유리 절단 장치 및 이를 이용한 절단 방법{Ultra-thin glass cutting device with improved cutting property and cutting method using same}
본 발명은 유리 절단 장치 및 이를 이용한 절단 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 초박막 유리 절단 장치 및 이를 이용한 절단 방법에 관한 것이다.
폴더블 스마트폰의 디스플레이 표면 보호를 위해서, 높은 표면 강도를 구현할 수 있는 100 마이크론 이하의 두께를 가지는 초박막 유리(Ultra Thin Glass)가 사용되고 있다. 얇을수록 쉽고 안전하게 접힐 수 있기 때문에, 최근에는 30 마이크론 정도의 두께를 가지는 초박막 유리에 대한 요구가 계속되고 있다. 하지만, 유리의 두께가 얇아질수록 쉽게 파손되는 문제가 발생한다.
디스플레이용 초박막 유리는 대형 초박막 원판 유리를 스마트폰 디스플레이 크기를 가지는 직사각형 소형 판재들로 절단한 후 이를 가공해서 사용한다. 기존의 유리 절단에 사용되는 스크라이브형 절단기는 회전시 가해지는 충격 때문에 초박판 유리에 사용하기 어려운 문제가 있으며, 이에 따라 레이저나 워터젯 또는 CNC와 같은 절단 방식이 주로 사용된다.
레이저나 워터젯 또는 CNC로 절단이 이루어질 경우, 절단면이 매끄럽지 않아 측면에 미세한 요철이 발생하기 된다. 이러한 미세 요철은 유리 기판에 크랙 발생을 유도할 수 있기 때문에, 절단면의 요철을 제거하기 위한 공정이 추가로 요구된다.
절단면의 요철 제거 공정은 절취된 소형 유리들을 접착제를 이용해서 적층한 후, 적층된 유리들의 측면을 함께 폴리싱하고, 폴리싱 후 불산처리를 통해서 절단면을 매끄럽게 처리하는 방식이 사용된다. 하지만, 불산을 이용한 절단면 요철 제거 공정은 불산의 위험성, 액상 공정의 복잡성으로 인해서 높은 설비 및 운전 비용이 요구될 뿐만 아니라, 사용한 불산의 처리에 따른 환경적인 문제와 폭발의 위험성이 상존한다.
또한, 초박막 유리 원판은 두께가 매우 얇기 때문에 유리 원판의 제조 과정에서 발생되는 수 마이크론 범위의 두께 편차가 절단 품질에 크게 영향을 미칠 수 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 디스플레이용 대형 초박막 원판에서 요철의 발생을 방지하면서 디스플레이용 초박막 유리를 절취할 수 있는 새로운 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에서 해결하고자 하는 다른 과제는 불산을 사용하지 않으면서, 디스플레이용 대형 초박막 원판에서 요철의 발생을 방지하면서 디스플레이를 초박막 유리를 절취할 수 있는 새로운 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에서 해결하고자 하는 또 다른 과제는 불산을 사용하지 않으면서, 디스플레이용 대형 초박막 원판에서 요철의 발생을 방지하면서 디스플레이를 초박막 유리를 절취할 수 있는 새로운 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에서 해결하고자 하는 또 다른 과제는 초박막 유리 원판의 두께 편차에 따른 절단 품질 저하를 개선할 수 있는 새로운 절단 방법을 제공하는 것이다.
용어
용어, '초박막'은 1~100 마이크론의 두께를 의미한다.
발명의 요약
상기와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은
유리 기판을 제공하는 유리기판 제공단계;
절단 부재를 가열하는 가열 단계;
가열된 절단부재를 유리 기판의 상부 표면에 접촉시키는 접촉 단계; 및
가열된 절단 부재를 유리 기판의 표면 굴곡을 따라 승강하면서 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법을 제공한다.
이론적으로 한정된 것은 아니지만, 유리 기판의 표면에 굴곡이 있을 경우 가열된 절단부재의 높이가 굴곡에 따라서 승강하도록 하여 유리 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지함으로써 일정한 절단면을 형성할 수 있게 된다.
본 발명에 있어서, 상기 유리 기판 제공 단계에서 제공되는 상기 유리 기판은 박막 유리 기판일 수 있으며, 바람직하게는 초박막 유리 기판일 수 있다. 상기 초박막 유리 기판은 100 마이크론 이하의 두께를 가질 수 있으며, 바람직하게는 90 마이크론 이하의 두께, 보다 바람직하게는 80 마이크론 이하의 두께, 보다 더 바람직하게는 70 마이크론 이하의 두께, 가장 바람직하게는 50 마이크론 이하의 두께를 가질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 가열 단계에서 상기 가열은 전기, 유도전류 또는 광을 이용할 수 있으며, 바람직하게는 비접촉형태로 가열되는 유도전류 또는 광일 수 있으며, 보다 바람직하게는 절단 부재에서 소정간격 이격되어 배치되고, 절단 방향의 변환과정이 자유로운 광 가열 장치를 이용할 수 있다.
본 발명의 실시에 있어서, 상기 가열에 사용되는 광은 자외선, 가시광선, 또는 적외선일 수 있으며, 바람직하게는 부재의 가열이 용이한 적외선을 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시에 있어서, 상기 적외선은 파장이 720 nm 이상인 장파장의 광을 의미하며, 상기 적외선은 근적외선, 중적외선, 원적외선일 수 있으며, 바람직하게는 파장이 800 nm 이상인 원적외선일 수 있다.
본 발명의 일 실시에 있어서, 상기 적외선은 절단 부재와 소정 거리 이격하여 설치되는 적외선 조사 장치에서 방출된 적외선일 수 있다.
본 발명의 일 실시에 있어서, 상기 적외선 조사 장치는 하나 이상의 조사 장치로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 2개 또는 3개의 적외선 조사 장치일 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절단 부재는 금속 부재 및/또는 세라믹 부재로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 공기 중 산화되는 것을 방지할 수 있도록 세라믹 부재를 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절단 부재는 유리의 Tg보다 200~600℃ 높은 온도에서 가열될 수 있으며, 예를 들어 800 ℃ 이상까지 가열될 수 있으며, 바람직하게는 900℃ 이상, 보다 바람직하게는 1,000 ℃ 이상, 보다 더 바람직하게는 1,100 ℃, 가장 바람직하게는 1,200 ℃ 이상 가열되며, 예를 들어, 1,200 ~ 2,000 ℃로 가열될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절단 부재는 정확한 치수 절단을 위해서 유리와 접촉하는 부위의 폭이 좁은 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 1 ~ 1,000 마이크론의 폭을 가질 수 있으며, 바람직하게는 5~500 마이크론, 보다 바람직하게는 10~100 마이크론일 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절단 부재는 동일 단면을 가지며 소정 길이로 상하 연장되는 몸체부와 하부로 갈수록 단면적이 감소하는 절단부로 이루어질 수 있다. 본 발명의 실시에 있어서, 상기 절단부재는 이동 방향을 따라서 소정 폭을 가지는 나이프형 절단 부재 또는 침형 절단 부재를 사용할 수 있으며, 바람직하게는 나이프형 절단 부재를 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 접촉 단계에서 가열된 절단부재는 절단 부재로부터 유리 기판의 상부 표면에 전도에 의한 열전달이 일어나도록 물리적으로 접촉될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 가열된 절단 부재와 접촉하는 유리 기판이 초박막 유리 기판인 가열 부재와의 접촉에 의해서 접촉 부위의 온도가 전체적으로 상승한 상태에서 접촉에 의해서 가공되므로, 별도의 냉각 없이 상온으로 유지된 상태에서 접촉하는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 가열된 절단 부재는 온도차에 따른 열전달과 함께 압력에 의한 절단이 이루어지도록 소정의 압력으로 가압 접촉할 수 있다. 본 발명의 실시에 있어서, 상기 절단 부재와 유리의 접촉은 0.05-3.0 Kgf/㎠, 보다 바람직하게는 0.5-1.5 Kgf/㎠정도의 압력으로 가압되는 것이 좋다.
본 발명의 실시에 있어서, 상기 접촉은 가열된 절단 부재의 하강에 의해서 이루어질 수 있으며, 상기 하강의 절단 부재를 상하로 이동시키는 통상의 수직 이동 장치에 의해서 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 이동 단계에서 상기 절단 부재는 유리 기판의 표면에 형성되는 표면 굴곡으로 인해 접촉 압력에 의한 절단 특성이 변하는 것을 방지할 수 있도록, 유리 표면의 굴곡을 따라서 승강하면서 이동할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 유리 표면의 굴곡은 거리 측정기를 이용해서 측정될 수 있으며, 바람직하게는 절단 부재가 이동하는 방향의 전방에 비승강 형태로 고정되는 거리 측정기를 이용해서 유리 표면까지의 거리를 측정하고, 거리의 변화에 따라 절단 부재의 승강량을 조절할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절단 부재의 승강은 가열부재에 결합된 길이 조절부재에 의해 이루어질 수 있다. 상기 길이 조절 부재는 가열 부재의 높이를 조절하기 위해서 가열 부재의 상부에 수직하게 고정되어 길이가 변하는 길이 가변 부재일 수 있다. 상기 길이 가변 부재의 길이 변화는 전기적 힘의 의해서 이루어질 수 있다. 본 발명의 일 실시에 있어서, 상기 길이 가변 부재는 압전소자로 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 이동 단계에서 유리와 가열된 절단 부재는 각각 수평 이동할 수 있으며, 절단 치수의 안정을 위해서 가열된 절단 부재는 고정되고 유리가 움직이는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 유리는 유리 이동 베드에 고정되어 움직일 수 있으며, 바람직하게는 유리가 안착되는 평판을 가지는 상기 유리 이동베드에 고정되어 이동할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 유리 이동 베드는 절단과정에서 유리가 유리 이동 베드에 지지될 수 있도록, 절단되는 유리보다 넓은 베드를 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명은 일 측면에서,
가열된 절단 부재를 초박막 유리 기판과 접촉한 상태로 유리 기판의 표면 굴곡을 따라 승강하면서 이동시켜 유리를 절단하는 것을 특징으로 하는 유리 절단 방법을 제공한다.
본 발명은 다른 일 측면에서,
절단 부재와,
유리기판의 표면 굴곡에 따라 상기 절단 부재를 승강시키는 승강기와,
유리기판의 표면 굴곡을 측정하는 굴곡 측정기와,
상기 절단 부재를 가열하는 조사장치와,
유리 기판을 이동시키는 유리 이동 장치와, 및
상기 유리 기판과 절단 부재의 접촉과, 절단 부재 이동과, 및 상기 유리의 이동을 제어하는 제어부를 포함하는 유리 절단 장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 가열 부재는 나이프형 절단 부재일 수 있으며, 바람직하게는 상기 이동 부재에 결합되어 이동하는 유리 기판의 상부 표면에 수직하도록 고정되고, 접촉을 위해 상하로 이동할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 광 조사장치는 적외선 조사 장치이다. 적외선 조사 장치는 상기 이동 부재에 절단 부재를 중심으로 소정 간격 이격되어 동일 간격으로 고정될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 승강기는 가열부재에 결합되는 길이 조절부재, 바람직하게는 길이 가변 부재를 포함할 수 있다. 상기 길이 가변 부재는 압전소자로 이루어질 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 유리기판의 표면 굴곡을 측정하는 굴곡 측정기는 거리 측정기일 수 있다.
본 발명을 통해서 디스플레이용 대형 초박막 원판에서 절단면 요철의 발생을 방지하면서 디스플레이용 초박막 유리를 절취할 수 있는 새로운 유리 절취 방법이 제공되었다.
본 발명에 따른 유리 절취 방법은 대형 초박막 원판에서 디스플레이용 초박막 유리를 절취함에 있어서, 불산의 사용를 피할 수 있다는 장점이 있다.
본 발명은 일 측면에서, 불산을 사용하지 않으면서, 디스플레이용 대형 초박막 원판에서 요철의 발생을 방지하면서 디스플레이를 초박막 유리를 절취할 수 있는 새로운 유리 기판의 절취 장치를 제공하였다.
본 발명은 일 측면에서, 유리, 특히 초박막 유리의 표면 굴곡과 이로 인한 절단 부재의 접촉 압력 변화에 의해서 발생되는 절단 오차를 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 초박막 유리 원판의 절단 장치 개요를 보여주는 측면도이다.
도 2은 본 발명에 따른 초박막 유리 원판의 절단 과정을 보여주는 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 초박막 유리 원판의 절단 장치를 보여주는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 절단 장치에 의해서 절취된 디스플레이용 초박막 유리의 의 절단된 평면 상태를 보여주는 사진이다.
도 5는 본 발명에 절단 장치에 의해서 절취된 디스플레이용 초박막 유리의 의 절단면을 보여주는 사진이다.
이하, 실시예를 통해서 본 발명을 상세하게 설명한다. 하기 실시예는 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니며, 본 발명은 예시하기 위한 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 초박막 유리 원판(10)은 초박막 유리 원판(10)과 동일한 면적을 가지는 유리용 이동 베드(20) 위에 적치되어, 이동 베드(20)와 함께 이동한다. 초박막 유리 원판(10)은 알카리 유리, 예를 들어, 코닝의 고릴라 글라스를 사용할 수 있다.
유리용 이동 베드(20)는 초박막 유리 원판(10)이 적치될 수 있도록 상부에 수평한 적층면(21)이 형성되고, 적층면(21)에는 초박막 유리 원판(10)을 고정하기 위한 진공홀(22)들이 형성된다. 이 진공홀(22)은 유리용 이동 베드(20)를 적층면에서부터 하면까지 관통하는 관통구이며, 진공을 걸어주는 진공 펌프(23)와 연결되어 있다. 초박막 유리 원판(10)의 바닥면을 진공홀(22)에 진공을 걸어 흡착할 경우, 박막 유리판(10)의 고정을 위해서, 유리판의 측부에 고정부재를 설치할 필요가 없다.
상기 유리용 이동 베드(20)는 초박막 유리 원판(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있도록 초박막 유리 원판(10)과 동일하거나 넓게 형성되어, 초박막 유리 원판(10)이 유리용 이동 베드(20)를 벗어나지 않도록 적층된다.
상기 유리용 이동 베드(20)는 필요시 표면 온도의 조절이 가능하도록 내부에는 유체 순환통로(24)를 가질 수 있으며, 유체 순환통로(24)를 유동하는 유체의 온도를 조절함으로서, 유리용 이동 베드(20)의 표면 온도와 이와 접하는 초박막 유리의 온도를 조절할 수 있다. 물을 유체로 사용할 경우, 0 ~ 100 ℃ 사이, 예를 들어, 10~30 ℃의 온도로 조절할 수 있으며, 초박막 유리 원단(10)의 경우 별도의 냉각이 필요하지 않기 때문에, 25 ℃ 정도의 상온에서 작동한다.
도 1에서 도시된 바와 같이, 나이프형 절단 부재(30)의 상부에는 길이 가변 부재(31)이 결합된다. 상기 길이 가변 부재(31)은 압전 소자로 이루어지며, 전압인가량에 따라 길이가 비례하여 변하며, 하단은 나이프형 절단 부재(30)에 결합되고, 상단은 전압 인가 장치(32)에 결합된다. 전압 인가 장치(32)는 유리기판과의 접촉을 위해 제자리에서 상하로 이동하는 수직 이동 장치(40)에 결합되며, 절단 시작 전 나이프형 절단 부재(30)의 말단이 초박막 유리 원판(10)의 상부 표면과 접촉하도록 하강하고, 절단 중에는 유리의 표면 굴곡 여부와 관련 없이 동일 높이로 고정되며, 절단 후 나이프형 절단 부재(30)의 말단이 초박막 유리 원판(10)의 상부 표면과 이격되도록 상승한다.
상기 나이프형 절단 부재(30)의 말단 두께는 30 마이크론의 폭을 가진다.
상기 나이프형 절단부재(30)는 금속 성분이 없은 금속 프리 세라믹을 이용해서 제조되며, 소정 간격 이격되어 나이프형 절단부재(30)의 주변부에 배치된 적외선 가열 장치(50)에 의해서 가열된다.
상기 나이프형 절단부재(30)의 성분으로는 SiC, Si3N4 등을 사용할 수 있다.
적외선 가열 장치(50)는 원적외선을 방출하여 나이프형 절단 부재(30)의 상부를 조사하여 가열하여, 나이프형 절단 부재(30) 전체를 1,200 ℃로 가열한다. 적외선 가열 장치(50)는 나이프형 절단 부재(30)을 중심으로 2개, 3개 또는 4개가 등각 배치된다.
상기 유리용 이동 베드(20)는 전후 좌우 방향으로 수평 이동할 수 있으며, 이동량은 제어부(도시되지 않음)에 의해서 제어된다.
나이프형 절단 부재(30)의 이동 방향의 전방에는 거리 측정 장치(33)이 구비되어, 절단될 유리 표면까지의 거리가 측정된다. 거리 측정 장치(33)는 전압 인가 장치(32)에 고정되어, 상기 전압 인가 장치(32)는 초박막 유리 원판(10)의 절단 중 상하로 움직이지 않고 고정되므로, 초박막 유리 원판(10)의 표면에 형성되는 굴곡에 관련 없이 동일 높이를 유지한다.
도 2에서는 초박막 유리기판의 표면에 골과 마루가 있는 상태를 보여준다. 도시된 바와 같이, 초박막 유리 원판(10)의 표면은 표준 높이(10')에 비해서 높은 마루 높이(10"')과 골 높이(10")을 가진다.
절단 시작 전 수직 이동 장치(40)에 의해서 나이프형 절단 부재(30)의 말단이 초박막 유리 원판(10)의 표준 높이(10')에 접촉하면, 수직 이동 장치(40)는 절단 높이(40')으로 고정되고, 거리 측정기(33)은 측정 높이(33')에 고정된다. 거리 측정기(33)는 측정 높이(33')와 표준 높이(10') 사이의 거리(L1)를 측정한다. 측정된 거리 데이터는 제어부(도시되지 않음)에 저장된다.
초박막 유리 원판(10)이 이동 베드(도시되지 않음)를 따라서 우측 화살표 방향으로 이동하면, 이동선을 따라서 절단이 이루어진다. 초박막 유리 원판(10)의 표면 높이가 골 높이(10")로 낮아지면, 거리 측정기(33)에서 측정되는 거리는 L2로 변화되고, 초박막 유리 원판(10)의 표면까지의 길이는 △L1(=L2-L1) 만큼 증가한다.
제어부는 가변 길이부재(31)에 인가되는 전압을 증가시켜, 압전소자로 이루어진 나이프형 절단 부재(30)의 길이를 △L1 만큼 증가시켜, 나이프형 절단 부재(30)와 초박막 유리 원판(10)의 접촉 압력을 일정하게 유지시킨다.
반대로, 초박막 유리 원판(10)의 표면 높이가 마루 높이(10"')로 높아지면, 거리 측정기(33)에서 측정되는 거리는 L3로 변화되고, 초박막 유리 원판(10)의 표면까지의 길이는 △L2(=L1-L3) 만큼 감소한다.
제어부는 가변 길이부재(31)에 인가되는 전압을 감소시켜, 압전소자로 이루어진 나이프형 절단 부재(30)의 길이를 △L2 만큼 감소시켜, 나이프형 절단 부재(30)와 초박막 유리 원판(10)의 접촉 압력을 일정하게 유지시킨다.
도 3에서 도시된 바와 같이, 초박막 유리 원판(10)은 초박막 유리 원판보다 좌우 폭 및 상하 길이가 약간 더 큰 유리용 이동 베드(20)의 상부면에 진공 흡착 방식으로 고정되어, 유리용 이동 베드의 이동과 함께 수평 이동한다.
하단에 길이 가변 부재와 나이프형 절단 부재가 차례로 장착된 전압 인가장치(32)는 승강 장치(40)에 결합되어 초박막 유리 원판(10)의 표면에 접하도록 상하로 수직하게 이동하여, 소정의 위치에서 소정 높이고 고정된다.
상기 나이프형 절단 부재와 초박막 유리 원판(10)은 0.2 Kgf/㎠의 압력으로 접촉할 수 있으며, 상기 접촉 압력은 제어부(도시되지 않음)에 의해서 제어된다.
상기 나이프형 절단 부재(30)과 초박막 유리 원판(10)이 접촉한 상태에서 유리용 이동 베드(20)가 상부 방향으로 수평 이동하면, 초박막 유리 원판(10)은 절단선(A)을 따라서 절단된다.
상기 나이프형 절단 부재(30)는 초박막 유리 원판(10)과의 접촉 과정에서 온도가 내려가지 않도록, 주변에 배치된 3개의 적외선 가열 장치(50)에 의해서 지속적으로 가열된다.
본원 발명의 실시예에 따라서 30 마이크로미터의 두께를 가지는 초박막 유리 원단의 절단된 상태를 촬영하면, 도 4에서와 같이, 절단선을 따라서 크랙이나 버플리 없이 깨끗하게 잘려진 것을 확인할 수 있다. 도 5의 단면에서도 단면이 깨끗하게 절단된 것을 확인할 수 있다.
상기 실시예는 본원 발명을 한정하기 위한 것은 아니다.
10: 초박막 유리 원판
20: 유리용 이동 베드
30: 나이프형 절단 부재
32: 전압 인가 장치
33: 거리측정기
40: 승강 장치
50: 적외선 가열장치

Claims (16)

  1. 유리 기판을 제공하는 유리기판 제공단계;
    절단 부재를 가열하는 가열 단계;
    가열된 절단부재를 유리 기판의 상부 표면에 접촉시키는 접촉 단계; 및
    가열된 절단 부재를 유리 기판과 접촉한 상태에서 유리 기판의 표면 굴곡을 따라 승강하면서 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 절단 부재의 가열은 광에 의해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리기판 절단 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가열은 적외선 광에 의한 가열인 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가열은 상기 절단 부재와 소정 거리 이격하여 설치되는 적외선 조사 장치에서 방출되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 절단 부재는 금속 부재 및/또는 세라믹 부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 절단부재의 말단은 10 ~ 100 마이크론의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유리기판은 초박막 유리 기판인 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 절단부재는 고정된 위치에서 승강 장치에 의해서 상하 승강하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 절단부재는 광에 의해서 800 ℃ 이상 가열되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 초박막 기판은 상온에서 절단되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유리 기판의 표면 굴곡을 측정하여 가열된 절단 부재를 승강시키는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 유리 기판의 표면 굴곡은 소정 높이로 고정된 거리 측정기를 이용하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 절단 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 가열된 절단 부재의 승강은 압전소자를 이용하는 것을 특징으로 하는 유리기판 절단 방법.
  14. 절단 부재와,
    유리기판의 표면 굴곡에 따라 상기 절단 부재를 승강시키는 승강기와,
    유리기판의 표면 굴곡을 측정하는 굴곡 측정기와,
    상기 절단 부재를 가열하는 가열 장치와,
    유리 기판을 이동시키는 유리 이동 장치와, 및
    상기 유리 기판과 절단 부재의 접촉과, 절단 부재 이동과, 및 상기 유리의 이동을 제어하는 제어부를 포함하는 유리 절단 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 굴곡 측정기는 소정 위치에 고정된 거리 측정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 절단 장치.
  16. 제14항 또는 제15항에 있어서,
    상기 가열 장치는 광 조사장치인 것을 특징으로 하는 유리 절단 장치.
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