KR20230049796A - 노광 마스크 및 이를 이용한 노광 장치 보정 방법 - Google Patents

Abstract

실시예에 따른 노광 마스크는 기판 위에 패턴을 형성하도록 노광되는 패턴부, 상기 패턴부의 주변을 둘러싸도록 배치되는 주변부, 그리고 상기 주변부에 위치하는 복수의 보정용 패턴부를 포함하고, 상기 복수의 보정용 패턴부는 상기 패턴부의 한 가장자리를 따라 적어도 세 개 이상 일렬 배치될 수 있다.

Description

노광 마스크 및 이를 이용한 노광 장치 보정 방법 {PHOTOMASK AND CORRECTING METHOD FOR EXPOSING APPARATUS USING PHOTOMASK}

본 개시는 노광 마스크 및 이를 이용한 노광 장치의 보정 방법에 관한 것이다.

표시 장치를 포함하는 장치를 형성하기 위하여 포토리소그라피 공정을 이용한다.

노광 장치와 포토 마스트를 이용하여 포토리소그라피 공정을 진행할 때, 노광 장치의 노광 방향에 오류가 발생할 경우, 노광 장치를 이용한 포토리소그라피 공정을 통해 형성한 패턴에 오류가 발생하게 된다.

한편 표시 장치의 해상도가 커지고, 표시 장치에 포함된 패턴들의 크기도 작아지고, 이에 따라 노광 장치의 노광 방향에 대한 오차를 더욱 줄일 필요성이 높이지고 있다.

실시예들은 노광 장치의 노광 방향의 오류를 줄일 수 있는 노광 마스크 및 이를 이용한 노광 장치의 보정 방법을 제공하기 위한 것이다.

그러나, 실시예들이 해결하고자 하는 과제는 상술한 과제에 한정되지 않고 실시예들에 포함된 기술적 사상의 범위에서 다양하게 확장될 수 있다.

실시예에 따른 노광 마스크는 기판 위에 패턴을 형성하도록 노광되는 패턴부, 상기 패턴부의 주변을 둘러싸도록 배치되는 주변부, 그리고 상기 주변부에 위치하는 복수의 보정용 패턴부를 포함하고, 상기 복수의 보정용 패턴부는 상기 패턴부의 한 가장자리를 따라 적어도 세 개 이상 일렬 배치될 수 있다.

상기 복수의 보정용 패턴부 각각은 복수의 보정 패턴을 포함할 수 있고, 상기 보정 패턴은 제1 방향을 따라 일렬 배치되고, 상기 제1 방향과 직각을 이루는 제2 방향을 따라 일렬 배치될 수 있다.

상기 복수의 보정 패턴은 상기 제1 방향을 따라 일정한 제1 피치를 가지도록 배치될 수 있고, 상기 제2 방향을 따라 일정한 제2 피치를 가지도록 배치될 수 있다.

상기 제1 피치와 상기 제2 피치는 서로 같을 수 있다.

상기 제1 피치와 상기 제2 피치는 약 20μm일 수 있다.

상기 복수의 보정 패턴은 서로 같은 평면 형태를 가질 수 있다.

상기 복수의 보정 패턴은 서로 같은 면적을 가질 수 있다.

상기 복수의 보정 패턴은 사각형의 평면 형태를 가질 수 있다.

상기 복수의 보정 패턴은 십자형의 평면 형태를 가질 수 있다.

상기 복수의 보정 패턴은 한쪽 모서리가 모따기된 사각형의 평면 형태를 가질 수 있다.

실시예에 따른 노광 장치의 보정 방법은 노광 장치의 광공급부의 이동 방향 및 속도에 따라 상기 광공급부의 광 공급 방향을 1차 보정하는 단계, 상기 1차 보정된 상기 광 공급 방향으로 노광하는 단계, 상기 노광하는 단계에서 복수의 보정용 패턴부에 의한 복수의 노광 패턴을 형성하는 단계, 상기 노광 패턴을 이용하여 상기 광 공급 방향의 오류 여부를 판단하는 단계, 그리고 상기 판단된 오류에 의해 상기 광 공급 방향을 2차 보정하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 오류 여부를 판단하는 단계는 상기 복수의 노광 패턴이 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 일렬 배치되는 지 여부를 판단할 수 있다.

상기 오류 여부를 판단하는 단계는 상기 복수의 노광 패턴이 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 어긋난 간격을 측정할 수 있다.

실시예들에 따른 노광 마스크 및 이를 이용한 노광 장치의 보정 방법에 따르면, 노광 장치의 노광 방향의 오류를 줄일 수 있다.

그러나, 실시예들의 효과는 상술한 효과에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있음이 자명하다.

도 1은 한 실시예에 따른 노광 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 일부 및 광 공급 방향을 도시한 평면이다.
도 3은 한 실시예에 따른 노광 마스크를 간략하게 도시한 평면도이다.
도 4는 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부의 배치도이다.
도 5는 도 4의 일부를 확대한 확대도이다.
도 6 내지 도 8은 한 실시예에 따른 노광 마스크에 의해 형성된 노광 패턴의 배치도이다.
도 9는 한 실시예에 따른 노광 장치의 보정 방법의 순서도이다.
도 10은 다른 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부의 배치도이다.
도 11은 도 10의 일부를 확대한 확대도이다.
도 12는 다른 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부의 배치도이다.
도 13은 도 12의 일부를 확대한 확대도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.

또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.

또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.

또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.

또한, 명세서 전체에서, "연결된다"라고 할 때, 이는 둘 이상의 구성요소가 직접적으로 연결되는 것만을 의미하는 것이 아니고, 둘 이상의 구성요소가 다른 구성요소를 통하여 간접적으로 연결되는 것, 물리적으로 연결되는 것뿐만 아니라 전기적으로 연결되는 것, 또는 위치나 기능에 따라 상이한 명칭들로 지칭되었으나 일체인 것을 의미할 수 있다.

이하에서는 도면을 참조하여 다양한 실시예와 변형예들을 상세하게 설명한다.

먼저, 도 1을 참고하여, 한 실시예에 따른 노광 장치(1)에 대하여 설명한다. 도 1은 한 실시예에 따른 노광 장치의 평면도이다.

도 1을 참고하면, 한 실시예에 따른 노광 장치(1)는 공정 대상인 기판(SB)을 지지하는 기판 지지대(SP), 기판 지지대(SP)에 설치된 기판(SB)에 레이저 등 노광용 빛을 공급하는 광공급부(LS), 광공급부(LS)가 설치되어 이동하는 광원지지부(LSB)를 포함한다.

광공급부(LS)는 광원지지부(LSB)를 따라 제1 방향(DR1)을 따라 이동하면서 제1 방향(DR1)과 직각을 이루는 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 광(B)을 공급할 수 있다.

광공급부(LS)는 제1 방향(DR1)을 따라 이동하면서 기판(SB) 위에 광(B)을 공급한 후, 제2 방향(DR2)과 반대 방향으로 이동한 후, 다시 제1 방향(DR1)과 나란한 방향을 따라 다시 이동하면서 기판(SB) 위에 광(B)을 공급하는 단계를 반복하면서 기판(SB)의 전면에 광(B)을 공급할 수 있다.

그러면, 도 1과 함께 도 2를 참고하여, 노광 장치(1)에서 공급되는 광(B)의 공급 방향에 대하여 설명한다. 도 2는 도 1의 일부 및 광 공급 방향을 도시한 평면이다.

도 1 및 도 2를 참고하면, 광공급부(LS)는 광원지지부(LSB)를 따라 제1 방향(DR1)을 따라 이동하면서 광(B)을 공급할 수 있다. 광(B)은 제2 방향(DR2)과 나란한 목표 방향(Dc)을 따라 공급되어야 한다.

앞서 설명한 바와 같이, 광공급부(LS)는 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 이동하기 때문에, 만일 광공급부(LS)에서 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 광이 공급될 경우, 실제 공급되는 광은 광공급부(LS)의 이동 방향인 제1 방향(DR1)과 광이 공급되는 방향의 벡터 합인 제3 방향(Da)을 따라 공급될 수 있다.

따라서, 실제로 광이 공급되어야 하는 제2 방향(DR2)과 나란한 목표 방향(Dc)으로 광이 공급되기 위해서, 광의 공급 방향을 제4 방향(Db)으로 보정하여, 제3 방향(Da)과 제4 방향(Db)의 벡터 합의 방향이 목표 방향(Dc)과 나란하도록 수정해야 한다.

이처럼, 실제로 광이 공급되는 방향을 제4 방향(Db)으로 보정함으로써, 광공급부(LS)가 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 이동하더라도, 실제 공급되는 광(B)이 목표 방향(Dc)으로 공급되도록 할 수 있다.

이 때, 보정한 광의 공급 방향인 제4 방향(Db)에 일부 오류가 발생할 경우, 기판(SB)에 형성된 패턴의 위치에도 오류가 발생할 수 있는 바, 이를 고려하여 보정된 광 급급 방향인 제4 방향(Db)을 추가적으로 보정하여, 노광 장치(1)의 광공급부(LS)에서 공급되는 광(B)의 공급 방향의 정확도를 높일 수 있다.

그러면, 도 3을 참고하여, 한 실시예에 따른 노광 마스크에 대하여 설명한다. 도 3은 한 실시예에 따른 노광 마스크를 간략하게 도시한 평면도이다.

도 3을 참고하면, 한 실시예에 따른 노광 마스크(M)는 기판(SB) 위에 원하는 패턴을 형성하기 위하여 노광되는 패턴부(Ma)와 패턴부(Ma)의 주변을 둘러싸도록 배치되어 있는 주변부(Maa)를 포함한다.

노광 마스크(M)는 노광 마스크(M)의 주변부(Maa)에 형성된 복수의 보정용 패턴부(CP)를 포함할 수 있다.

복수의 보정용 패턴부(CP)는 노광 마스크(M)의 패턴부(Ma)의 제1 방향(DR1)과 나란하거나 제2 방향(DR2)과 나란한 각 가장자리를 따라 적어도 세 개 이상씩 배치될 수 있고, 복수의 보정용 패턴부(CP)를 이은 가상의 선(C)은 노광 마스크(M)의 패턴부(Ma)를 둘러싸도록 배치될 수 있다.

이처럼, 복수의 보정용 패턴부(CP)는 노광 마스크(M)의 패턴부(Ma)의 제1 방향(DR1)과 나란하거나 제2 방향(DR2)과 나란한 각 가장자리를 따라 적어도 세 개 이상씩 배치됨으로써, 노광 마스크(M)의 크기가 커지더라도, 노광 마스크(M)의 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 서로 마주하는 양쪽 끝 부분뿐만 아니라 중간 부분에서의 노광 방향 오류를 판단할 수 있다.

그러면, 도 4 및 도 5를 참고하여, 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부에 대하여 설명한다. 도 4는 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부의 배치도이고, 도 5는 도 4의 일부를 확대한 확대도이다.

도 4를 참고하면, 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)는 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 일렬 배치되는 복수의 보정 패턴(P)과 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 일렬 배치되는 복수의 보정 패턴(P)을 포함할 수 있다.

도 4에 도시한 바와 같이, 복수의 보정 패턴(P) 중 제1 방향(DR1)을 따라 배치된 복수의 보정 패턴(P)의 중심을 이은 선은 제1 방향(DR1)과 나란하게 뻗을 수 있고, 복수의 보정 패턴(P) 중 제2 방향(DR2)을 따라 배치된 복수의 보정 패턴(P)의 중심을 이은 선은 제2 방향(DR2)과 나란하게 뻗을 수 있다.

도 5를 참고하면, 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)은 제1 방향(DR1)을 따라 제1 피치(pitch)(Pa)를 가지도록 이격되어 배치될 수 있고, 제2 방향(DR2)을 따라 제2 피치(Pb)를 가지도록 이격되어 배치될 수 있다. 제1 피치(Pa)와 제2 피치(Pb)는 거의 같을 수 있다. 예를 들어, 제1 피치(Pa) 및 제2 피치(Pb)는 약 20μm일 수 있다.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)는 복수의 보정 패턴(P)을 포함하고, 복수의 보정 패턴(P)은 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 제1 피치(Pa)를 가지도록 일정 간격을 이루도록 일렬 배치되고 이와 동시에 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 제2 피치(Pb)를 가지도록 일정 간격을 이루도록 일렬 배치될 수 있다.

또한, 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)은 서로 같은 면적 및 서로 같은 평면 형태를 가질 수 있고, 예를 들어 거의 사각형의 평면 형태를 가질 수 있다.

그러면, 도 6 내지 도 8을 참고하여, 한 실시예에 따른 노광 마스크의 복수의 보정 패턴을 이용한 노광 패턴에 대하여 설명한다. 도 6 내지 도 8은 한 실시예에 따른 노광 마스크에 의해 형성된 노광 패턴의 배치도이다.

먼저 도 6을 참고하여, 노광 장치(1)에서 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류가 없는 경우를 설명한다.

도 6을 참고하면, 노광 장치(1)에서 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류가 없는 경우, 기판(SB)에 형성된 노광 패턴(PP)은 복수의 보정 패턴(P)과 같이, 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 나란한 방향을 따라 일정한 간격을 이루도록 일렬 배치될 수 있다.

도 7 및 도 8을 참고하면, 노광 장치(1)에서 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류가 발생한 경우, 기판(SB)에 형성된 노광 패턴(PP)은 제2 방향(DR2)을 따라 일렬 배치되지 않고 제2 방향(DR2)을 따라 제1 간격(DP1)만큼 어긋나게 배치되도록 형성될 수 있고, 제1 방향(DR1)을 따라 일렬 배치되지 않고 제1 방향(DR1)을 따라 제2 간격(DP2)만큼 어긋나게 배치되도록 형성될 수 있다.

노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)에 의해 기판(SB)에 형성된 노광 패턴(PP)이 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 일렬 배치되도록 형성되는 지, 서로 어긋나게 배치되도록 형성되는 지에 따라 노광 장치(1)에서 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류가 발생한 지 여부를 판단할 수 있다.

또한, 노광 패턴(PP)이 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 어긋난 제2 간격(DP2) 및 제1 간격(DP1)을 측정하여 노광 장치(1)에서 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류 방향 및 오류 크기를 결정할 수 있다. 이처럼 결정된 노광 방향의 오류 방향 및 오류 크기를 고려하여, 노광되는 광(B)의 노광 방향을 추가 보정하여, 노광 장치(1)의 노광 방향의 정확도를 높일 수 있다.

앞서 설명한 바와 같이, 제1 피치(Pa) 및 제2 피치(Pb)는 약 20μm일 수 있고, 제1 간격(DP1) 및 제2 간격(DP2)은 약 20μm보다 작을 수 있다. 예를 들어, 제1 간격(DP1) 및 제2 간격(DP2)은 약 60nm 내지 약 100nm일 수 있다. 즉, 노광 패턴(PP)을 이용하여 측정할 수 있는 노광 장치(1)에서 노광된 광(B)의 노광 방향의 오차 범위는 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)들 중 서로 인접한 두 개의 보정 패턴(P) 사이의 간격인 제1 피치(Pa) 및 제2 피치(Pb) 보다 작을 수 있다.

그러면, 도 1 내지 도 3, 도 4 및 도 5, 도 6 내지 도 8과 함께 도 9를 참고하여 한 실시예에 따른 노광 마스크를 이용한 노광 장치의 보정 방법에 대하여 설명한다. 도 9는 한 실시예에 따른 노광 장치의 보정 방법의 순서도이다.

앞서 설명한 바와 같이, 한 실시예에 따른 노광 마스크를 이용한 노광 장치의 보정 방법은 광공급부(LS)가 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 이동하면서 광(B)을 공급할 때, 광공급부(LS)의 이동 방향 및 이동 속도를 고려하여 실제로 광이 공급되는 방향을 제4 방향(Db)으로 1차 보정하는 1차 보정 단계(S100)를 포함함으로써, 광공급부(LS)가 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 이동하더라도, 실제 공급되는 광(B)이 목표 방향(Dc)으로 공급되도록 할 수 있다.

다음으로, 한 실시예에 따른 노광 마스크를 이용한 노광 장치의 보정 방법은 1차 보정 단계(S100)에서 1차 보정된 광 공급 방향을 가지는 노광 장치를 이용하여 앞서 설명한 복수의 보정용 패턴부(CP)를 포함한 노광 마스크(M)를 통과하도록 기판(SB)에 노광하는 노광 단계(S200)를 포함한다.

한 실시예에 따른 노광 마스크를 이용한 노광 장치의 보정 방법의 노광 단계(S200)는 복수의 보정용 패턴부(CP)에 의해 복수의 보정 패턴(P)에 대응하도록 복수의 노광 패턴(PP)을 형성하는 노광 패턴 형성 단계(S300)를 포함한다.

다음으로, 한 실시예에 따른 노광 마스크를 이용한 노광 장치의 보정 방법은, 도 6 내지 도 8을 참고로 설명한 바와 같이, 노광 패턴 형성 단계(S300)에서 형성된 복수의 노광 패턴(PP)의 배열 정도를 이용하여 노광 장치(1)에서 노광된 광(B)의 공급 방향인 노광 방향에 오류가 발생했는 지 여부를 판단하는 오류 판단 단계(S400)를 포함한다.

이 때, 노광 방향에 오류가 발생한 경우, 노광된 광(B)의 노광 방향의 오류 방향뿐만 아니라 오류의 크기를 함께 결정할 수 있다.

노광된 광(B)이 노광될 때, 노광 방향에 오류가 발생했는 지는 복수의 노광 패턴(PP)이 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 일렬 배치되는 지 여부를 판단하여 결정할 수 있다. 즉, 복수의 노광 패턴(PP)이 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 일렬 배치될 경우, 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류가 발생하지 않은 것으로 판단될 수 있다. 또한, 복수의 노광 패턴(PP)이 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 일렬 배치되지 않고 어긋나도록 배치될 경우, 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류가 발생한 것으로 판단될 수 있다.

노광된 광(B)이 노광될 때, 노광 방향에 발생된 오류 크기는 복수의 노광 패턴(PP)이 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 어긋난 제2 간격(DP2) 및 제1 간격(DP1)을 측정하여 결정될 수 있다.

다음으로, 한 실시예에 따른 노광 마스크를 이용한 노광 장치의 보정 방법은, 오류 판단 단계(S400)에서 결정된 노광 방향의 오류의 방향과 오류의 크기를 이용하여, 노광된 광(B)의 공급 방향인 노광 방향을 2차 보정하는 2차 보정 단계(S500)를 포함할 수 있다.

이처럼, 한 실시예에 따른 노광 마스크를 이용한 노광 장치의 보정 방법은, 노광 마스크(M)의 주변부(Maa)에 형성된 복수의 보정용 패턴부(CP)를 이용하여, 노광된 광(B)의 노광 방향에 오류가 발생했는 지 여부, 오류 방향 및 오류 크기를 결정하고 이를 이용하여, 노광 장치(1)의 노광 방향을 추가적으로 보정함으로써, 노광 장치의 노광 방향의 오류를 줄여, 노광 공정의 정확도를 높일 수 있다.

그러면, 도 10 및 도 11을 참고하여, 다른 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부에 대하여 설명한다. 도 10은 다른 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부의 배치도이고, 도 11은 도 10의 일부를 확대한 확대도이다.

도 10 및 도 11을 참고하면, 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부는 앞서 도 4 및 도 5를 참고로 설명한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부와 유사하다.

보다 구체적으로, 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)는 복수의 보정 패턴(P)을 포함하고, 복수의 보정 패턴(P)은 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 제1 피치(Pa)를 가지도록 일정 간격을 이루도록 일렬 배치되고 이와 동시에 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 제2 피치(Pb)를 가지도록 일정 간격을 이루도록 일렬 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 피치(Pa) 및 제2 피치(Pb)는 약 20μm일 수 있다.

복수의 보정 패턴(P)은 서로 같은 면적 및 서로 같은 평면 형태를 가질 수 있다.

그러나, 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)은 도 4 및 도 5에 도시한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)과 다르게, 거의 십자 형태의 평면 형태를 가질 수 있다.

앞서 설명한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부와 이를 이용한 노광 방향의 오류 방향 및 오류 크기의 결정 방법은 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부에 모두 적용 가능하다.

그러면, 도 12 및 도 13을 참고하여, 다른 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부에 대하여 설명한다. 도 12는 다른 한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부의 배치도이고, 도 13은 도 12의 일부를 확대한 확대도이다.

도 12 및 도 13을 참고하면, 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부는 앞서 도 4 및 도 5를 참고로 설명한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부와 유사하다.

보다 구체적으로, 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)는 복수의 보정 패턴(P)을 포함하고, 복수의 보정 패턴(P)은 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 제1 피치(Pa)를 가지도록 일정 간격을 이루도록 일렬 배치되고 이와 동시에 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 제2 피치(Pb)를 가지도록 일정 간격을 이루도록 일렬 배치될 수 있다.

복수의 보정 패턴(P)은 서로 같은 면적 및 서로 같은 평면 형태를 가질 수 있다.

그러나, 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)은 도 4 및 도 5에 도시한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부(CP)의 복수의 보정 패턴(P)과 다르게, 한쪽 모서리가 모따기된 사각형인 육각 형태의 평면 형태를 가질 수 있다.

앞서 설명한 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부와 이를 이용한 노광 방향의 오류 방향 및 오류 크기의 결정 방법은 본 실시예에 따른 노광 마스크의 보정용 패턴부에 모두 적용 가능하다.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

1: 노광 장치.
CP: 보정용 패턴부
LS: 광공급부
LSB: 광원 지지부
M: 노광 마스크
Ma: 패턴부
Maa: 주변부
P: 보정 패턴
PP: 노광 패턴

Claims (20)

1. 기판 위에 패턴을 형성하도록 노광되는 패턴부,
   상기 패턴부의 주변을 둘러싸도록 배치되는 주변부, 그리고
   상기 주변부에 위치하는 복수의 보정용 패턴부를 포함하고,
   상기 복수의 보정용 패턴부는 상기 패턴부의 한 가장자리를 따라 적어도 세 개 이상 일렬 배치되는 노광 마스크.
   
2. 제1항에서,
   상기 복수의 보정용 패턴부 각각은 복수의 보정 패턴을 포함하고,
   상기 보정 패턴은 제1 방향을 따라 일렬 배치되고, 상기 제1 방향과 직각을 이루는 제2 방향을 따라 일렬 배치되는 노광 마스크.
   
3. 제2항에서,
   상기 복수의 보정 패턴은 상기 제1 방향을 따라 일정한 제1 피치를 가지도록 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 일정한 제2 피치를 가지도록 배치되는 노광 마스크.
   
4. 제3항에서,
   상기 제1 피치와 상기 제2 피치는 서로 같은 노광 마스크.
   
5. 제4항에서,
   상기 제1 피치와 상기 제2 피치는 약 20μm인 노광 마스크.
   
6. 제3항에서,
   상기 복수의 보정 패턴은 서로 같은 평면 형태를 가지는 노광 마스크.
   
7. 제6항에서,
   상기 복수의 보정 패턴은 서로 같은 면적을 가지는 노광 마스크.
   
8. 제6항에서,
   상기 복수의 보정 패턴은 사각형의 평면 형태를 가지는 노광 마스크.
   
9. 제6항에서,
   상기 복수의 보정 패턴은 십자형의 평면 형태를 가지는 노광 마스크.
   
10. 제6항에서,
    상기 복수의 보정 패턴은 한쪽 모서리가 모따기된 사각형의 평면 형태를 가지는 노광 마스크.
    
11. 노광 장치의 광공급부의 이동 방향 및 속도에 따라 상기 광공급부의 광 공급 방향을 1차 보정하는 단계,
    상기 1차 보정된 상기 광 공급 방향으로 노광하는 단계,
    상기 노광하는 단계에서 복수의 보정용 패턴부에 의한 복수의 노광 패턴을 형성하는 단계,
    상기 노광 패턴을 이용하여 상기 광 공급 방향의 오류 여부를 판단하는 단계, 그리고
    상기 판단된 오류에 의해 상기 광 공급 방향을 2차 보정하는 단계를 포함하는 노광 장치의 보정 방법.
    
12. 제11항에서,
    상기 노광하는 단계는 노광 마스크를 이용하고,
    상기 노광 마스크는
    기판 위에 패턴을 형성하도록 노광되는 패턴부,
    상기 패턴부의 주변을 둘러싸도록 배치되는 주변부, 그리고
    상기 주변부에 위치하는 복수의 보정용 패턴부를 포함하고,
    상기 복수의 보정용 패턴부는 상기 패턴부의 한 가장자리를 따라 적어도 세 개 이상 일렬 배치되는 노광 장치의 보정 방법.
    
13. 제12항에서,
    상기 복수의 보정용 패턴부 각각은 복수의 보정 패턴을 포함하고,
    상기 보정 패턴은 제1 방향을 따라 일렬 배치되고, 상기 제1 방향과 직각을 이루는 제2 방향을 따라 일렬 배치되는 노광 장치의 보정 방법.
    
14. 제13항에서,
    상기 복수의 보정 패턴은 상기 제1 방향을 따라 일정한 제1 피치를 가지도록 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 일정한 제2 피치를 가지도록 배치되고,
    상기 제1 피치와 상기 제2 피치는 서로 같은 노광 장치의 보정 방법.
    
15. 제14항에서,
    상기 오류 여부를 판단하는 단계는
    상기 복수의 노광 패턴이 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 일렬 배치되는 지 여부를 판단하는 노광 장치의 보정 방법.
    
16. 제15항에서,
    상기 오류 여부를 판단하는 단계는
    상기 복수의 노광 패턴이 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 어긋난 간격을 측정하는 노광 장치의 보정 방법.
    
17. 제16항에서,
    상기 복수의 보정 패턴은 서로 같은 평면 형태 및 면적을 가지는 노광 장치의 보정 방법.
    
18. 제17항에서,
    상기 복수의 보정 패턴은 사각형의 평면 형태를 가지는 노광 장치의 보정 방법.
    
19. 제17항에서,
    상기 복수의 보정 패턴은 십자형의 평면 형태를 가지는 노광 장치의 보정 방법.
    
20. 제17항에서,
    상기 복수의 보정 패턴은 한쪽 모서리가 모따기된 사각형의 평면 형태를 가지는 노광 장치의 보정 방법.

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