KR20230047000A - Metal-clad laminate, circuit substrate, electronic device and electronic apparatus - Google Patents

Metal-clad laminate, circuit substrate, electronic device and electronic apparatus Download PDF

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유타 시시도
야스히로 아다치
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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

An objective of the present invention is to suppress wrinkles and achieve compatibility of interfacial adhesion between a heat-pressed metal foil and a polyimide layer when metal foil is heat-pressed onto a single-sided metal-clad laminate at high temperature. The metal-clad laminate (100) includes a first metal layer (101) and an insulating resin layer (110) laminated on the first metal layer (101). The insulating resin layer (110) has a polyimide layer (A) which is in contact with the first metal layer (101), and a polyimide layer (B) which forms a resin surface on the opposite side of the first metal layer (101). Based on the glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B), at any temperature within the range from Tg+20℃ to Tg+90℃, when the storage modulus of the polyimide layer (A) is E'(A) and the storage modulus of the polyimide layer (B) is E'(B), the ratio of the storage moduli E'(A)/E'(B) is 2.0 or more.

Description

금속 피복 적층판, 회로 기판, 전자 디바이스 및 전자 기기{METAL-CLAD LAMINATE, CIRCUIT SUBSTRATE, ELECTRONIC DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS}Metal clad laminate, circuit board, electronic device and electronic device

본 발명은, 금속 피복 적층판, 그것을 회로 가공하여 얻어지는 회로 기판, 그것을 사용하는 전자 디바이스 및 전자 기기에 관한 것이다. The present invention relates to a metal-clad laminate, a circuit board obtained by circuit processing thereof, and an electronic device and electronic equipment using the same.

근년, 전자 기기의 소형화, 경량화, 공간 절약화의 진전에 수반하여, 얇고 경량이며, 가요성을 갖고, 굴곡을 반복해도 우수한 내구성을 갖는 플렉시블 프린트 배선판(FPC; Flexible Printed Circuits)의 수요가 증대되고 있다. FPC는 한정된 스페이스에서도 입체적이면서 고밀도의 실장이 가능하기 때문에, 예를 들어 HDD, DVD, 스마트폰 등의 전자 기기의 가동 부분의 배선이나, 케이블, 커넥터 등의 부품에 그 용도가 확대되어 가고 있다.In recent years, with the progress of miniaturization, weight reduction, and space saving of electronic devices, demand for flexible printed circuits (FPCs) that are thin, lightweight, flexible, and have excellent durability even after repeated bending is increasing. there is. Since the FPC can be mounted in a three-dimensional and high-density manner even in a limited space, its use is expanding to parts such as wires, cables, and connectors of movable parts of electronic devices such as HDDs, DVDs, and smartphones, for example.

FPC는, 전형적으로는 재료가 되는 동장 적층판(CCL) 등의 금속 피복 적층판의 금속층을 에칭하여 배선 가공함으로써 제조된다. 금속 피복 적층판에 대해서는, 금속박과 접하는 절연 수지층에 저장 탄성률이 높은 폴리이미드를 사용한 것이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1, 특허문헌 2).The FPC is typically manufactured by etching a metal layer of a metal-clad laminate such as a copper-clad laminate (CCL) serving as a material and subjecting it to wiring processing. Regarding the metal clad laminate, one using polyimide having a high storage elastic modulus for an insulating resin layer in contact with metal foil has been proposed (for example, Patent Literature 1 and Patent Literature 2).

절연 수지층으로서의 폴리이미드층의 편측에 금속층을 구비한 편면 금속 피복 적층판은, 통상 금속층에 접하는 폴리이미드층에 열가소성 폴리이미드가 널리 사용되고 있다. 구체적으로는, 편면 금속 피복 적층판의 금속층측으로부터, 열가소성 폴리이미드층/비열가소성 폴리이미드층/열가소성 폴리이미드층의 적층 구조가 채용되는 경우가 많다. 이러한 구조의 편면 금속 피복 적층판의 최외층의 열가소성 폴리이미드층에 금속박을 열압착하여 양면 금속 피복 적층판을 제작하는 경우, 최외층의 열가소성 폴리이미드층의 라미네이트면과 금속박의 충분한 필 강도를 확보하기 위해서, 열압착을 200 내지 400℃ 정도의 고온에서 행할 필요가 있다. 그러나, 고온에서 열압착을 행하면, 편면 금속 피복 적층판의 금속층에 접해 있는 측의 열가소성 폴리이미드층이 연화되고, 인접하는 금속층에 주름이 들어가기 쉬워진다는 문제가 있었다. 상기 문제는 열압착 온도를 낮추고, 열가소성 폴리이미드층의 연화를 억제함으로써 해결할 수 있지만, 그 경우에는 라미네이트면측의 열가소성 폴리이미드층과 열압착된 금속박의 밀착성이 충분하지 않아져, 배선 가공 후의 밀착 신뢰성을 확보할 수 없다.In a single-sided metal-clad laminate having a metal layer on one side of a polyimide layer serving as an insulating resin layer, thermoplastic polyimide is widely used for the polyimide layer in contact with the metal layer. Specifically, in many cases, a laminated structure of a thermoplastic polyimide layer/non-thermoplastic polyimide layer/thermoplastic polyimide layer is employed from the metal layer side of the single-sided metal-clad laminate. When producing a double-sided metal-clad laminate by thermally compressing metal foil to the outermost thermoplastic polyimide layer of the single-sided metal-clad laminate having such a structure, in order to ensure sufficient peel strength between the laminated surface of the outermost thermoplastic polyimide layer and the metal foil. , It is necessary to perform thermal compression bonding at a high temperature of about 200 to 400°C. However, when thermal compression bonding is performed at a high temperature, there has been a problem that the thermoplastic polyimide layer on the side in contact with the metal layer of the single-sided metal-clad laminate is softened, and wrinkles easily enter the adjacent metal layer. The above problem can be solved by lowering the thermocompression bonding temperature and suppressing the softening of the thermoplastic polyimide layer, but in that case, the adhesion between the thermoplastic polyimide layer on the laminate surface side and the metal foil bonded by thermocompression is not sufficient, and the reliability of adhesion after wiring processing. cannot obtain

일본 특허 공개 제2020-104340호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2020-104340 일본 특허 공개 제2006-051800호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-051800

본 발명은, 편면 금속 피복 적층판에 금속박을 고온에서 열압착시킬 때의 주름의 억제와, 열압착한 금속박과 폴리이미드층의 계면 밀착성의 양립을 도모하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to achieve both suppression of wrinkles when thermally compressing metal foil to a single-sided metal-clad laminate at high temperature, and coexistence of interfacial adhesion between the thermally compressed metal foil and the polyimide layer.

본 발명자들은 예의 검토한 결과, 편면 금속 피복 적층판의 금속층에 접하는 열가소성 폴리이미드층의 저장 탄성률을, 라미네이트면측의 열가소성 폴리이미드층의 저장 탄성률보다도 크게 함으로써, 상기 과제를 해결할 수 있음을 발견하고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.As a result of intensive studies, the inventors of the present invention have found that the above problems can be solved by making the storage modulus of the thermoplastic polyimide layer in contact with the metal layer of the single-sided metal-clad laminate higher than the storage modulus of the thermoplastic polyimide layer on the side of the laminated surface. came to complete the invention.

즉, 본 발명의 금속 피복 적층판은,That is, the metal clad laminate of the present invention,

제1 금속층과,a first metal layer;

상기 제1 금속층에 적층되어 있는 절연 수지층을 구비한 금속 피복 적층판이며,A metal clad laminate having an insulating resin layer laminated on the first metal layer,

상기 절연 수지층은, 상기 제1 금속층에 접하는 폴리이미드층 (A)와, 상기 제1 금속층과는 반대측에 있어서 수지면을 형성하고 있는 폴리이미드층 (B)를 갖고,The insulating resin layer has a polyimide layer (A) in contact with the first metal layer and a polyimide layer (B) forming a resin surface on the opposite side to the first metal layer,

상기 폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg를 기준으로 하여, Tg+20℃부터 Tg+90℃까지의 범위 내의 어느 온도에 있어서의 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률을 E'(A), 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률을 E'(B)로 했을 때, 해당 저장 탄성률의 비 E'(A)/E'(B)가 2.0 이상인 것을 특징으로 한다.Based on the glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B), the storage modulus of the polyimide layer (A) at any temperature within the range from Tg + 20 ° C to Tg + 90 ° C is E' (A) , When the storage modulus of the polyimide layer (B) is taken as E' (B), the ratio E' (A)/E' (B) of the storage modulus is 2.0 or more.

본 발명의 금속 피복 적층판은, 상기 절연 수지층이, 상기 폴리이미드층 (A)와 상기 폴리이미드층 (B) 사이에 적층된 폴리이미드층 (C)를 갖고 있어도 된다.In the metal clad laminate of the present invention, the insulating resin layer may have a polyimide layer (C) laminated between the polyimide layer (A) and the polyimide layer (B).

본 발명의 금속 피복 적층판은,The metal clad laminate of the present invention,

상기 제1 금속층의 두께가 6 내지 18㎛의 범위 내여도 되고, 인장 탄성률이 10 내지 100GPa의 범위 내여도 된다.The thickness of the first metal layer may be in the range of 6 to 18 µm, and the tensile modulus may be in the range of 10 to 100 GPa.

본 발명의 금속 피복 적층판은, 또한, 상기 폴리이미드층 (B)의 수지면에 접하여 적층되어 있는 제2 금속층을 구비하고 있어도 된다.The metal-clad laminate of the present invention may further include a second metal layer laminated in contact with the resin surface of the polyimide layer (B).

본 발명의 금속 피복 적층판은, 상기 제2 금속층과 상기 폴리이미드층 (B)의 필 강도가 0.7kN/m 이상이어도 된다.In the metal clad laminate of the present invention, the peel strength of the second metal layer and the polyimide layer (B) may be 0.7 kN/m or more.

본 발명의 회로 기판은, 상기 금속 피복 적층판에 있어서의 상기 제1 금속층 및 상기 제2 금속층 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 회로 가공하여 이루어지는 것이다.The circuit board of the present invention is formed by circuit processing either one or both of the first metal layer and the second metal layer in the metal clad laminate.

본 발명의 회로 기판은, 상기 금속 피복 적층판에 있어서의 상기 제1 금속층을 회로 가공하여 이루어지는 회로 기판이다.The circuit board of the present invention is a circuit board formed by circuit processing of the first metal layer in the metal-clad laminate.

본 발명의 전자 디바이스는, 상기 회로 기판을 구비하고 있다.The electronic device of the present invention includes the circuit board.

본 발명의 전자 기기는, 상기 회로 기판을 구비하고 있다.The electronic device of the present invention includes the circuit board.

본 발명의 금속 피복 적층판은, 제1 금속층에 접해 있는 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률 E'(A)와 라미네이트면측의 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률 E'(B)의 비 E'(A)/E'(B)가 2.0 이상임으로써, 라미네이트면측에 금속박을 고온에서 열압착해도 제1 금속층에 있어서의 주름의 발생을 방지할 수 있다. 그 때문에, 열압착한 금속박과 폴리이미드층의 계면 밀착성과, 금속 피복 적층판에 금속박을 고온에서 열압착시킬 때의 제1 금속층의 주름의 억제의 양립을 도모하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명의 금속 피복 적층판을 FPC 재료로서 이용함으로써, 회로 기판의 신뢰성과 수율의 향상을 도모할 수 있다.The metal-clad laminate of the present invention is a ratio E' of the storage modulus E' (A) of the polyimide layer (A) in contact with the first metal layer and the storage modulus E' (B) of the polyimide layer (B) on the side of the laminated surface. (A) When /E'(B) is 2.0 or more, generation|occurrence|production of wrinkles in a 1st metal layer can be prevented even if it thermally compresses metal foil to the lamination surface side at high temperature. Therefore, it becomes possible to achieve both the interfacial adhesion between the metal foil bonded by thermal compression and the polyimide layer and suppression of wrinkles of the first metal layer when the metal foil is thermally compressed to the metal clad laminate at high temperature. Therefore, by using the metal-clad laminate of the present invention as an FPC material, reliability and yield of circuit boards can be improved.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 금속 피복 적층판의 구성을 나타내는 모식적 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시 형태의 금속 피복 적층판의 구성을 나타내는 모식적 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시 형태의 금속 피복 적층판의 제조 방법을 나타내는 설명도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시 형태의 금속 피복 적층판의 제조 방법을 나타내는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시 형태의 금속 피복 적층판의 구성을 나타내는 모식적 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시 형태의 금속 피복 적층판의 제조 방법을 나타내는 설명도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시 형태의 금속 피복 적층판의 구성을 나타내는 모식적 단면도이다.
1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a metal clad laminate according to a first embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a metal clad laminate according to a second embodiment of the present invention.
3 is an explanatory view showing a method for manufacturing a metal clad laminate according to a second embodiment of the present invention.
4 is an explanatory view showing a method for manufacturing a metal clad laminate according to a third embodiment of the present invention.
5 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a metal clad laminate according to a third embodiment of the present invention.
6 is an explanatory diagram showing a method for manufacturing a metal clad laminate according to a fourth embodiment of the present invention.
Fig. 7 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a metal clad laminate according to a fourth embodiment of the present invention.

이어서, 적절히 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명한다.Next, embodiments of the present invention will be described with appropriate reference to the drawings.

<제1 실시 형태 및 제2 실시 형태><First Embodiment and Second Embodiment>

본 발명의 제1 실시 형태에 관한 금속 피복 적층판(100)은 도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 금속층(101)과, 이 제1 금속층(101)에 적층되어 있는 절연 수지층(110)을 구비하고 있다. 금속 피복 적층판(100)은 편면 금속 피복 적층판이다.As shown in FIG. 1, a metal clad laminate 100 according to the first embodiment of the present invention includes a first metal layer 101 and an insulating resin layer 110 laminated on the first metal layer 101. are doing The metal-clad laminate 100 is a single-sided metal-clad laminate.

또한, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 금속 피복 적층판(200)은 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 금속층(101)과, 이 제1 금속층(101)에 적층되어 있는 절연 수지층(110)과, 절연 수지층(110)의 제1 금속층(101)과는 반대측의 면에 적층되어 있는 제2 금속층(102)을 구비하고 있다. 금속 피복 적층판(200)은 양면 금속 피복 적층판이다.Further, as shown in Fig. 2, the metal clad laminate 200 according to the second embodiment of the present invention includes a first metal layer 101 and an insulating resin layer 110 laminated on the first metal layer 101. and a second metal layer 102 laminated on a surface opposite to the first metal layer 101 of the insulating resin layer 110. The metal-clad laminate 200 is a double-sided metal-clad laminate.

<절연 수지층><Insulation resin layer>

절연 수지층(110)은 제1 금속층(101)에 접하는 폴리이미드층 (A)와, 제1 금속층(101)과는 반대측에 있어서 수지면을 형성하고 있는 폴리이미드층 (B)와, 폴리이미드층 (A)와 폴리이미드층 (B) 사이에 적층된 폴리이미드층 (C)를 구비하고 있다.The insulating resin layer 110 includes a polyimide layer (A) in contact with the first metal layer 101, a polyimide layer (B) forming a resin surface on the opposite side to the first metal layer 101, and a polyimide layer. It is equipped with the polyimide layer (C) laminated|stacked between (A) and the polyimide layer (B).

폴리이미드층 (A)는 캐스트법으로 제1 금속층(101)에 폴리아미드산 용액을 도포·건조시키고, 이미드화함으로써 얻어지는 열가소성 폴리이미드층이며, 제1 금속층(101)에 접하는 캐스트면을 갖는 폴리이미드층이다.The polyimide layer (A) is a thermoplastic polyimide layer obtained by applying and drying a polyamic acid solution to the first metal layer 101 by a casting method and imidating it, and having a cast surface in contact with the first metal layer 101. is the mid layer.

폴리이미드층 (B)는 제2 금속층(102)이 되는 금속박 등을 열압착하기 위한 라미네이트면(110a)을 갖는 열가소성 폴리이미드층이다.The polyimide layer (B) is a thermoplastic polyimide layer having a laminated surface 110a for thermally compressing a metal foil or the like to be the second metal layer 102 .

폴리이미드층 (C)는 베이스 수지층으로서, 절연 수지층(110)의 기계적 강도 유지의 역할을 담당한다. 본 발명에서는, 절연 수지층(110)을 형성하는 폴리이미드층 (A)와 폴리이미드층 (B)에 저장 탄성률이 다른 폴리이미드를 사용한다.The polyimide layer (C) serves as a base resin layer and maintains the mechanical strength of the insulating resin layer 110 . In the present invention, polyimide having different storage elastic moduli is used for the polyimide layer (A) and the polyimide layer (B) forming the insulating resin layer 110 .

여기서, 비열가소성 폴리이미드란, 일반적으로 가열해도 연화, 접착성을 나타내지 않는 폴리이미드이지만, 본 발명에서는, 동적 점탄성 측정 장치(DMA)를 사용하여 측정한, 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109Pa 이상이며, 320℃에서의 저장 탄성률이 3.0×108Pa 이상을 나타내는 폴리이미드를 말한다. 또한, 열가소성 폴리이미드란, 일반적으로 유리 전이 온도(Tg)를 명확하게 확인할 수 있는 폴리이미드이지만, 본 발명에서는, DMA를 사용하여 측정한, 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109Pa 이상이며, 320℃에서의 저장 탄성률이 3.0×108Pa 미만을 나타내는 폴리이미드를 말한다.Here, the non-thermoplastic polyimide is a polyimide that generally does not soften or exhibit adhesiveness even when heated, but in the present invention, the storage modulus at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA) is 1.0 × 10 It is 9 Pa or more, and refers to a polyimide showing a storage modulus at 320°C of 3.0×10 8 Pa or more. In addition, thermoplastic polyimide is generally a polyimide whose glass transition temperature (Tg) can be clearly confirmed, but in the present invention, the storage modulus at 30 ° C. measured using DMA is 1.0 × 10 9 Pa or more , a polyimide having a storage modulus at 320°C of less than 3.0×10 8 Pa.

또한, 절연 수지층(110)은 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 폴리이미드층 (A) 내지 (C) 이외의 임의의 수지층을 포함할 수 있다.Further, the insulating resin layer 110 may include any resin layer other than the polyimide layers (A) to (C) within a range not impairing the effects of the present invention.

절연 수지층(110)은 폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg를 기준으로 하여, Tg+20℃부터 Tg+90℃까지의 범위 내의 어느 온도에 있어서의 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률을 E'(A), 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률을 E'(B)로 했을 때, 해당 저장 탄성률의 비 E'(A)/E'(B)가 2.0 이상이다.The insulating resin layer 110 has a storage modulus of polyimide layer (A) at any temperature within the range from Tg + 20 ° C to Tg + 90 ° C, based on the glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B) When the storage modulus of E' (A) and the polyimide layer (B) is set to E' (B), the ratio E' (A) / E' (B) of the storage elastic modulus is 2.0 or more.

폴리이미드층 (B)측의 라미네이트면(110a)에 제2 금속층(102)이 되는 금속박을 고온에서 열압착할 때에, 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률 E'(B)가 작을수록, 열압착 시의 폴리이미드의 금속박 미세 요철에의 충전성이 양호해져, 밀착 신뢰성이 높아진다. 또한, 열압착 시에는 장력이 가해지지만, 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률 E'(A)가 클수록, 고온에서 열압착할 때에 지지체가 되는 제1 금속층(101)과 접하는 폴리이미드층 (A)가 연화되기 어려워져, 제1 금속층(101)에 있어서의 주름의 발생을 억제할 수 있다. 따라서, 비 E'(A)/E'(B)를 2.0 이상으로 함으로써, 예를 들어 200 내지 400℃의 범위 중, 특히 270 내지 400℃의 범위 내, 나아가 320 내지 400℃의 범위 내의 고온에서 열압착할 때, 라미네이트면(110a)에서의 밀착성과 제1 금속층(101)의 주름의 억제를 양립시킬 수 있다. 이러한 관점에서, 비 E'(A)/E'(B)는 바람직하게는 3 내지 100, 보다 바람직하게는 5 내지 60, 가장 바람직하게는 10 내지 40인 것이 좋다.When the metal foil to be the second metal layer 102 is bonded by thermal compression to the laminated surface 110a on the side of the polyimide layer (B) at a high temperature, the smaller the storage modulus E' (B) of the polyimide layer (B), the lower the heat resistance. The filling ability of the polyimide to the metal foil fine irregularities at the time of compression becomes good, and adhesion reliability increases. In addition, tension is applied at the time of thermal compression bonding, but the larger the storage elastic modulus E' (A) of the polyimide layer (A), the polyimide layer (A ) becomes difficult to soften, and generation of wrinkles in the first metal layer 101 can be suppressed. Therefore, by setting the ratio E'(A)/E'(B) to 2.0 or more, for example, at a high temperature within the range of 200 to 400°C, particularly within the range of 270 to 400°C, and further within the range of 320 to 400°C. In the case of thermal compression bonding, both the adhesion on the laminated surface 110a and suppression of wrinkles on the first metal layer 101 can be achieved. From this point of view, the ratio E'(A)/E'(B) is preferably 3 to 100, more preferably 5 to 60, and most preferably 10 to 40.

본 발명에서는, 폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg에 대하여, Tg+20℃부터 Tg+90℃까지의 범위 내의 어느 온도에서 비 E'(A)/E'(B)가 상기 규정을 만족시키고 있으면 되고, Tg+20℃부터 Tg+90℃까지의 범위 내의 모든 온도에서 상기 규정을 만족시키는 것이 바람직하다. 여기서, 폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg+20℃부터 Tg+90℃까지의 범위 내의 어느 온도에서의 저장 탄성률을 비교하는 것은, 이하의 이유에서이다. 즉, 폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg에서는 폴리이미드층 (B)의 연화가 진행되지 않기 때문에, 충분히 연화될 때까지의 온도 폭을 예상하여 Tg+20℃를 하한으로 하는 한편, 폴리이미드층 (B)의 Tg가 조금 낮은 경우에도, 실용적인 열압착 온도를 커버할 수 있도록 Tg+90℃를 상한으로 하고 있다.In the present invention, with respect to the glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B), the ratio E'(A)/E'(B) satisfies the above stipulations at any temperature within the range from Tg+20°C to Tg+90°C. Any temperature within the range from Tg+20°C to Tg+90°C should satisfy the above requirements. Here, the storage modulus at any temperature within the range from the glass transition temperature Tg+20°C to Tg+90°C of the polyimide layer (B) is compared for the following reasons. That is, since softening of the polyimide layer (B) does not proceed at the glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B), the temperature range until sufficiently softened is estimated and Tg+20°C is the lower limit, while the polyimide layer (B) is set as the lower limit. Even when the Tg of the mid layer (B) is slightly low, Tg + 90°C is set as the upper limit so that the practical thermal compression bonding temperature can be covered.

폴리이미드층 (A)의 유리 전이 온도 Tg는, 발명의 효과가 얻어지는 한 특별히 한정되지는 않지만, 제1 금속층(101)과의 밀착성을 확보하기 위해서, 200℃ 이상 400℃ 이하의 범위 내가 바람직하고, 250℃ 이상 380℃ 이하의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.The glass transition temperature Tg of the polyimide layer (A) is not particularly limited as long as the effect of the invention is obtained, but is preferably within the range of 200°C or more and 400°C or less in order to ensure adhesion to the first metal layer 101. , more preferably within the range of 250°C or more and 380°C or less.

또한, 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률 E'(A)는, 발명의 효과가 얻어지는 한 특별히 한정되지는 않지만, 높은 쪽이 열압착 시의 제1 금속층(101)의 주름의 억제에 효과적이고, 바람직하게는 1×107 내지 1×1010Pa의 범위 내, 보다 바람직하게는 1×108 내지 1×1010Pa의 범위 내가 좋다.The storage elastic modulus E' (A) of the polyimide layer (A) is not particularly limited as long as the effect of the invention is obtained, but a higher one is effective in suppressing wrinkles of the first metal layer 101 at the time of thermal compression bonding. , preferably within the range of 1×10 7 to 1×10 10 Pa, more preferably within the range of 1×10 8 to 1×10 10 Pa.

폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg는, 발명의 효과가 얻어지는 한 특별히 한정되지는 않지만, 제2 금속층(102)과의 밀착성을 확보하기 위해서 200℃ 이상 400℃ 이하의 범위 내가 바람직하고, 200℃ 이상 350℃ 이하의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.The glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B) is not particularly limited as long as the effect of the invention is obtained, but is preferably within the range of 200 ° C. or higher and 400 ° C. or lower to ensure adhesion to the second metal layer 102, It is more preferably within the range of 200°C or more and 350°C or less.

또한, 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률 E'(B)는, 발명의 효과가 얻어지는 한 특별히 한정되지는 않지만, 낮은 쪽이 밀착성 향상에 있어서 유리하지만, 너무 지나치게 낮으면 열압착이 곤란해지기 때문에, 바람직하게는 1×105 내지 1×108Pa의 범위 내, 보다 바람직하게는 1×106 내지 9×107Pa의 범위 내가 좋다.In addition, the storage modulus E' (B) of the polyimide layer (B) is not particularly limited as long as the effect of the invention is obtained, but a lower one is advantageous for improving adhesion, but when it is too low, thermal compression bonding becomes difficult. Therefore, it is preferably within the range of 1×10 5 to 1×10 8 Pa, more preferably within the range of 1×10 6 to 9×10 7 Pa.

또한, 각 폴리이미드층의 Tg와 저장 탄성률은, 동적 점탄성 측정 장치(DMA)를 사용하여 측정된다.In addition, Tg and storage elastic modulus of each polyimide layer are measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA).

이어서, 폴리이미드층 (A) 내지 (C)의 수지 구성에 대하여 설명한다. 본 발명에서는, 비 E'(A)/E'(B)를 2.0 이상으로 하기 위해서, 절연 수지층(110)을 형성하는 폴리이미드층 (A)와 폴리이미드층 (B)에 다른 조성의 폴리이미드를 사용하는 것이 바람직하다.Next, the resin structure of the polyimide layers (A) to (C) will be described. In the present invention, in order to set the ratio E'(A)/E'(B) to 2.0 or more, the polyimide layer (A) and the polyimide layer (B) forming the insulating resin layer 110 are made of polyimide of a different composition. It is preferable to use mead.

폴리이미드는 폴리아미드산을 이미드화하여 이루어지는 것이며, 산무수물 잔기 및 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 여기서, 산무수물 잔기란, 산 이무수물로부터 유도된 4가의 기를 나타내고, 디아민 잔기란, 디아민 화합물로부터 유도된 2가의 기를 나타낸다. 원료인 산 이무수물 및 디아민 화합물을 거의 등몰로 반응시킨 경우에는, 원료의 종류와 몰비에 대하여, 폴리이미드 중에 포함되는 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나 몰비 등을 거의 대응시킬 수 있다.Polyimide is formed by imidizing polyamic acid and contains an acid anhydride residue and a diamine residue. Here, the acid anhydride residue represents a tetravalent group derived from an acid dianhydride, and the diamine residue represents a divalent group derived from a diamine compound. When the acid dianhydride and diamine compound as raw materials are reacted in substantially equal moles, the kinds and molar ratios of the acid dianhydride residues and diamine residues contained in the polyimide can be substantially matched to the kinds and molar ratios of the raw materials.

또한, 본 발명에서 「폴리이미드」라고 하는 경우, 폴리이미드 외에도, 폴리아미드이미드, 폴리에테르이미드, 폴리에스테르이미드, 폴리실록산이미드, 폴리벤즈이미다졸이미드 등, 분자 구조 중에 이미드기를 갖는 폴리머를 포함하는 수지를 의미한다.In the present invention, in the case of "polyimide", in addition to polyimide, polymers having an imide group in the molecular structure, such as polyamideimide, polyetherimide, polyesterimide, polysiloxanimide, and polybenzimidazolimide, can be used. means a resin containing

폴리이미드층 (A): Polyimide layer (A):

폴리이미드층 (A)를 구성하는 폴리이미드에 포함되는 산 이무수물 잔기로서는, 저장 탄성률 E'(A)를 제어할 수 있으면 특별히 제한은 없지만, 피로멜리트산 이무수물(PMDA)로부터 유도되는 산무수물 잔기(이하, 「PMDA 잔기」라고도 함) 및/또는 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물(BTDA)로부터 유도되는 산무수물 잔기(이하, 「BTDA 잔기」라고도 함)가 바람직하다. 전체 산무수물 잔기에 대하여, PMDA 잔기 및/또는 BTDA 잔기를, 합계로, 바람직하게는 30몰% 이상, 보다 바람직하게는 50 내지 100몰%의 범위 내에서 함유하는 것이 좋다. PMDA 잔기 및 BTDA 잔기는, 모두 저장 탄성률을 높이는 작용을 갖는 잔기이다. 그 때문에, PMDA 잔기 및/또는 BTDA 잔기의 합계량이 30몰% 미만이면, 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률 E'(A)를 충분히 높일 수 없어, 제1 금속층(101)의 주름을 억제하는 효과가 불충분해진다.The acid dianhydride residue contained in the polyimide constituting the polyimide layer (A) is not particularly limited as long as the storage modulus E' (A) can be controlled, but an acid anhydride derived from pyromellitic dianhydride (PMDA) residue (hereinafter also referred to as "PMDA residue") and/or an acid anhydride residue derived from 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) (hereinafter also referred to as "BTDA residue") ) is preferred. It is preferable to contain PMDA residues and/or BTDA residues in a total amount of preferably 30 mol% or more, more preferably 50 to 100 mol%, relative to all acid anhydride residues. Both the PMDA residue and the BTDA residue are residues having an effect of increasing the storage elastic modulus. Therefore, if the total amount of PMDA residues and/or BTDA residues is less than 30 mol%, the storage modulus E' (A) of the polyimide layer (A) cannot be sufficiently increased, and the wrinkles of the first metal layer 101 are suppressed. effect becomes insufficient.

폴리이미드층 (A)를 구성하는 폴리이미드에 포함되는 다른 산 이무수물 잔기로서는, 예를 들어 4,4'-옥시디프탈 산무수물, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'- 또는 2,3,3',4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,3',3,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)에테르 이무수물, 3,3",4,4"-, 2,3,3",4"- 또는 2,2",3,3"-p-테르페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)-프로판 이무수물, 비스(2,3- 또는 3.4-디카르복시페닐)메탄 이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)술폰 이무수물, 1,1-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)에탄 이무수물, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- 또는 1,2,9,10-페난트렌-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-안트라센테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)테트라플루오로프로판 이무수물, 2,3,5,6-시클로헥산 이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 1,4,5,8-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사히드로나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 2,6- 또는 2,7-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-(또는 1,4,5,8-)테트라클로로나프탈렌-1,4,5,8-(또는 2,3,6,7-)테트라카르복실산 이무수물, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- 또는 5,6,11,12-페릴렌-테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄-1,2,3,4-테트라카르복실산 이무수물, 피라진-2,3,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 피롤리딘-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 티오펜-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-비스(2,3-디카르복시페녹시)디페닐메탄 이무수물, 2,2-비스[4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐]프로판 이무수물 등의 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 산 이무수물 잔기를 들 수 있다.Examples of other acid dianhydride residues contained in the polyimide constituting the polyimide layer (A) include 4,4'-oxydiphthalic anhydride and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid. Acid dianhydride, 2,2',3,3'- or 2,3,3',4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic acid dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, 3,3",4,4"-, 2,3,3",4"- or 2,2",3,3"- p-terphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3.4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride water, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7, 8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracentetracarboxylic dianhydride, 2,2- Bis(3,4-dicarboxyphenyl)tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4, 5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene- 1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- (or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene-1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic Acid dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5 -Tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride, 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl] and acid dianhydride residues derived from aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides such as propane dianhydride.

또한, 폴리이미드층 (A)를 구성하는 폴리이미드에 포함되는 디아민 잔기로서는, 저장 탄성률 E'(A)를 제어할 수 있으면 특별히 제한은 없지만, 주쇄를 구성하는 방향환이 파라 위치에서 연결되어 있는 골격의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기(이하, 「파라 위치 연결 디아민 잔기」라고도 함)가 바람직하다. 전체 디아민 잔기에 대하여, 파라 위치 연결 디아민 잔기를, 합계로, 바람직하게는 30몰% 이상, 보다 바람직하게는 50 내지 100몰%의 범위 내에서 함유하는 것이 좋다. 파라 위치 연결 디아민 잔기는, 분자의 직선성을 갖는 점에서, 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률 E'(A)의 저하를 억제하는 작용을 갖는다. 따라서, 파라 위치 연결 디아민 잔기를 상기 범위 내에서 함유함으로써, 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률이 충분히 커지고, 열압착 시의 높은 온도에서도 폴리이미드층 (A)의 연화를 억제하여, 제1 금속층의 주름의 발생을 억제할 수 있다. 파라 위치 연결 디아민 잔기의 함유량이 30몰% 미만이면, 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률 E'(A)를 충분히 크게 할 수 없어, 제1 금속층(101)의 주름을 억제하는 효과가 불충분해진다.The diamine residue contained in the polyimide constituting the polyimide layer (A) is not particularly limited as long as the storage modulus E' (A) can be controlled, but the backbone to which the aromatic rings constituting the main chain are connected at the para position. A diamine residue derived from a diamine compound of (hereinafter, also referred to as "para-position linked diamine residue") is preferable. With respect to all the diamine residues, it is preferable to contain para-position-linked diamine residues in a total amount of preferably 30% by mole or more, and more preferably within the range of 50 to 100% by mole. Since the para-position-linked diamine residue has molecular linearity, it has an effect of suppressing a decrease in the storage modulus E' (A) of the polyimide layer (A). Therefore, by containing the para-position-linked diamine residue within the above range, the storage modulus of the polyimide layer (A) is sufficiently increased, and softening of the polyimide layer (A) is suppressed even at a high temperature during thermal compression bonding, and the first metal layer of wrinkles can be suppressed. When the content of the para-positionally linked diamine residue is less than 30 mol%, the storage elastic modulus E' (A) of the polyimide layer (A) cannot be sufficiently increased, and the effect of suppressing wrinkles of the first metal layer 101 becomes insufficient. .

파라 위치 연결 디아민 잔기의 대표예로서, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB), 2,2'-디에틸-4,4'-디아미노비페닐(m-EB), 2,2'-디에톡시-4,4'-디아미노비페닐(m-EOB), 2,2'-디프로폭시-4,4'-디아미노비페닐(m-POB), 2,2'-n-프로필-4,4'-디아미노비페닐(m-NPB), 2,2'-디비닐-4,4'-디아미노비페닐(VAB), 4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-디아미노-2,2'-비스(트리플루오로메틸)비페닐(TFMB), 4,4'-비스(4-아미노페녹시)비페닐(BAPB), 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]에테르(BAPE), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-Q), 4,4'-디아미노디페닐에테르(4,4'-DAPE) 등의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 들 수 있다.Representative examples of para-position linked diamine residues include 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2'-diethyl-4,4'-diaminobiphenyl ( m-EB), 2,2'-diethoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-EOB), 2,2'-dipropoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-POB ), 2,2'-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 2,2'-divinyl-4,4'-diaminobiphenyl (VAB), 4,4 '-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB), 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl (BAPB ), 2,2'-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP), bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether (BAPE), bis [4- (4- from diamine compounds such as aminophenoxy)phenyl]sulfone, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-Q), and 4,4'-diaminodiphenyl ether (4,4'-DAPE) diamine moieties derived therefrom.

상기 파라 위치 연결 디아민 잔기 중에서도, 치수 안정성 및 제1 금속층(101)과의 접착성을 양립시키는 관점에서 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB) 및 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)으로부터 유도되는 디아민 잔기가 특히 바람직하다.Among the para-position linked diamine residues, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB) and 2, from the viewpoint of achieving both dimensional stability and adhesiveness with the first metal layer 101, Diamine moieties derived from 2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP) are particularly preferred.

또한, 본 명세서에 있어서, 「디아민 화합물」은, 말단의 2개의 아미노기에 있어서의 수소 원자가 치환되어 있어도 되고, 예를 들어 -NR1R2(여기서, R1, R2는 독립적으로 알킬기 등의 임의의 치환기를 의미함)여도 된다.In addition, in this specification, "diamine compound" may have hydrogen atoms in the terminal two amino groups substituted, for example -NR 1 R 2 (where R 1 and R 2 are independently alkyl groups or the like meaning an arbitrary substituent).

폴리이미드층 (B): Polyimide layer (B):

폴리이미드층 (B)를 구성하는 폴리이미드에 포함되는 산 이무수물 잔기로서는, 저장 탄성률 E'(B)를 제어할 수 있으면 특별히 제한은 없지만, 전체 산무수물 잔기에 대하여, PMDA 잔기 및/또는 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물(BPDA)로부터 유도되는 산무수물 잔기(이하, 「BPDA 잔기」라고도 함)를 합계로, 바람직하게는 30몰% 이상, 보다 바람직하게는 50 내지 100몰%의 범위 내에서 함유하는 것이 좋다. BPDA 잔기는, 함유량을 조정함으로써 고온 영역에서의 저장 탄성률을 제어할 수 있다. PMDA 잔기 및/또는 BPDA 잔기의 합계량이 30몰% 미만이면, 제2 금속층(102)과 화학적인 밀착력이 충분히 얻어지지 않는 경우가 있다.The acid dianhydride residue contained in the polyimide constituting the polyimide layer (B) is not particularly limited as long as the storage modulus E' (B) can be controlled, but PMDA residue and/or 3 The total amount of acid anhydride residues derived from 3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) (hereinafter also referred to as "BPDA residues") is preferably 30 mol% or more, more preferably Preferably, it is contained within the range of 50 to 100 mol%. BPDA residue can control the storage elastic modulus in a high temperature area|region by adjusting content. If the total amount of the PMDA residue and/or the BPDA residue is less than 30 mol%, the second metal layer 102 and chemical adhesion may not be sufficiently obtained.

폴리이미드층 (B)를 구성하는 폴리이미드에 포함되는 다른 산 이무수물 잔기로서는, 상기 폴리이미드층 (A)에서 열거된 것과 마찬가지의 것을 사용할 수 있다.As other acid dianhydride residues contained in the polyimide constituting the polyimide layer (B), those similar to those listed for the above polyimide layer (A) can be used.

또한, 폴리이미드층 (B)를 구성하는 폴리이미드에 포함되는 디아민 잔기로서는, 저장 탄성률 E'(B)를 제어할 수 있으면 특별히 제한은 없지만, 전체 디아민 잔기에 대하여, 굴곡성 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기(이하, 「굴곡성 디아민 잔기」라고도 한다.)를 합계로, 바람직하게는 50몰% 이상, 보다 바람직하게는 80 내지 100몰%의 범위 내에서 함유하는 것이 좋다. 여기서, 굴곡성 디아민 화합물은, 주쇄를 구성하는 방향환이 -O-, -CH2- 등의 유연성이 높은 연결기를 갖는 디아민 화합물을 의미하고, 메타 위치 연결기를 포함하는 것이 보다 바람직하다. 굴곡성 디아민 잔기를 함유함으로써, Tg 이상의 온도에서의 저장 탄성률을 낮추고, 제2 금속층(102)과의 열압착성 및 밀착성을 향상시킬 수 있다. 굴곡성 디아민 잔기의 합계량이 50몰% 미만이면, 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률이 너무 높아지고, 제2 금속층(102)과의 열압착성 및 밀착성이 저하되는 경우가 있다.The diamine residue contained in the polyimide constituting the polyimide layer (B) is not particularly limited as long as the storage modulus E' (B) can be controlled. The total amount of residues (hereinafter also referred to as "flexible diamine residues") is preferably 50 mol% or more, more preferably 80 to 100 mol%. Here, the flexible diamine compound means a diamine compound in which an aromatic ring constituting the main chain has a linking group having high flexibility such as -O- or -CH 2 -, and more preferably contains a meta-position linking group. By containing the flexible diamine residue, the storage elastic modulus at a temperature higher than Tg can be lowered, and the thermocompression bonding property and adhesiveness with the second metal layer 102 can be improved. When the total amount of flexible diamine residues is less than 50 mol%, the storage elastic modulus of the polyimide layer (B) becomes too high, and the thermocompression bonding property and adhesiveness with the second metal layer 102 sometimes decrease.

굴곡성 디아민 잔기의 바람직한 구체예로서는, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(APB), 4,4'-[2-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[4-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[5-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 3,3'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 3,4'-디아미노디페닐프로판, 3,4'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노벤조페논, (3,3'-비스아미노)디페닐아민, 1,4-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 3-[3-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]메탄, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]에테르, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)]벤조페논, 비스[4,4'-(3-아미노페녹시)]벤즈아닐리드, 4-[3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]페녹시]아닐린, 4,4'-[옥시비스(3,1-페닐렌옥시)]비스아닐린, 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP) 등의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 들 수 있다. 이들 중에서도, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 2,2'-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)으로부터 유도되는 디아민 잔기는, 우수한 굴곡성을 가지므로, 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률을 저하시키고, 유연성을 부여하는 것이 가능하여, 가장 바람직하다.Preferred specific examples of the flexible diamine residue include 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB), 4,4'-[ 2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[5- Methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-dia Minodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-diaminobenzophenone, (3,3'-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenone) cy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 3-[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, bis[4-(3-aminophenoxy) ) phenyl] methane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, Bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, Bis[4,4'-(3-aminophenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy ]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), etc. diamine residues derived from diamine compounds of Among these, diamine residues derived from 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R) and 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP) are , Since it has excellent flexibility, it is possible to lower the storage elastic modulus of the polyimide layer (B) and impart flexibility, which is most preferable.

폴리이미드층 (B)를 구성하는 폴리이미드에 포함되는 다른 디아민 잔기로서는, 상기 폴리이미드층 (A)에서 열거된 것과 마찬가지의 것을 사용할 수 있다.As other diamine residues contained in the polyimide constituting the polyimide layer (B), those similar to those listed for the polyimide layer (A) can be used.

폴리이미드층 (A), (B)를 구성하는 폴리이미드에 있어서, 상기 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 산 이무수물 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 열팽창 계수, 저장 탄성률, 인장 탄성률 등을 제어할 수 있다. 또한, 폴리이미드층 (A), (B)를 구성하는 폴리이미드에 있어서, 폴리이미드의 구조 단위를 복수 갖는 경우에는, 블록으로서 존재해도, 랜덤하게 존재하고 있어도 되지만, 랜덤하게 존재하는 것이 바람직하다.In the polyimide constituting the polyimide layers (A) and (B), the types of the acid dianhydride residues and the diamine residues, or the respective molar ratios in the case of applying two or more types of acid dianhydride residues or diamine residues, are selected. By doing so, it is possible to control the coefficient of thermal expansion, storage modulus, tensile modulus and the like. In addition, in the polyimide constituting the polyimide layers (A) and (B), when having a plurality of polyimide structural units, they may exist as blocks or may exist randomly, but it is preferable that they exist randomly. .

폴리이미드층 (C): Polyimide layer (C):

폴리이미드층 (C)를 구성하는 폴리이미드의 수지 구성 및 저장 탄성률에 대해서는 특별히 제한은 없고, 공지된 구성을 사용할 수 있다.There are no particular restrictions on the resin composition and storage elastic modulus of the polyimide constituting the polyimide layer (C), and known structures can be used.

또한, 폴리이미드층 (C)의 열팽창 계수(CTE)는 절연 수지층(110) 전체의 치수 안정성을 확보하기 위해서, 30ppm/K 이하가 바람직하고, -5 내지 25ppm/K의 범위 내의 저팽창성 수지층인 것이 보다 바람직하다.In addition, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the polyimide layer (C) is preferably 30 ppm/K or less in order to ensure the dimensional stability of the entire insulation resin layer 110, and the low expansion number within the range of -5 to 25 ppm/K. It is more preferable that it is a stratum.

폴리이미드층 (A) 내지 (C)를 구성하는 폴리이미드는, 임의 성분으로서, 예를 들어 가소제, 에폭시 수지 등의 다른 경화 수지 성분, 경화제, 경화 촉진제, 유기 필러, 무기 필러, 커플링제, 난연제 등을 적절히 배합할 수 있다.The polyimide constituting the polyimide layers (A) to (C) is an optional component, for example, a plasticizer, another cured resin component such as an epoxy resin, a curing agent, a curing accelerator, an organic filler, an inorganic filler, a coupling agent, a flame retardant etc. can be suitably blended.

(폴리이미드의 합성)(Synthesis of polyimide)

일반적으로 폴리이미드는, 테트라카르복실산 이무수물과 디아민 화합물을 용매 중에서 반응시켜, 폴리아미드산을 생성한 후 가열 폐환시킴으로써 제조할 수 있다. 예를 들어, 테트라카르복실산 이무수물과 디아민 화합물을 거의 등몰로 유기 용매 중에 용해시키고, 0 내지 100℃의 범위 내의 온도에서 30분 내지 24시간 교반하여 중합 반응시킴으로써 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산이 얻어진다. 반응 시에는, 생성되는 전구체가 유기 용매 중에 5 내지 30중량%의 범위 내, 바람직하게는 10 내지 20중량%의 범위 내가 되도록 반응 성분을 용해시킨다. 중합 반응에 사용하는 유기 용매로서는, 예를 들어 N,N-디메틸포름아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N,N-디에틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), 2-부타논, 디메틸술폭시드(DMSO), 헥사메틸포스포르아미드, N-메틸카프로락탐, 황산디메틸, 시클로헥사논, 디옥산, 테트라히드로푸란, 디글라임, 트리글라임, 크레졸 등을 들 수 있다. 이들 용매를 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있고, 나아가 크실렌, 톨루엔과 같은 방향족 탄화수소의 병용도 가능하다. 또한, 이러한 유기 용매의 사용량으로서는 특별히 제한되는 것은 아니지만, 중합 반응에 의해 얻어지는 폴리아미드산 용액의 농도가 5 내지 30중량% 정도가 되는 사용량으로 조정하여 사용하는 것이 바람직하다.In general, polyimide can be produced by reacting tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in a solvent to produce polyamic acid, followed by heating and cyclization. For example, polyamic acid, which is a precursor of polyimide, is obtained by dissolving tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound in an almost equimolar amount in an organic solvent and stirring them at a temperature in the range of 0 to 100° C. for 30 minutes to 24 hours to cause a polymerization reaction. is obtained During the reaction, the reaction components are dissolved so that the resulting precursor is within the range of 5 to 30% by weight, preferably within the range of 10 to 20% by weight, in the organic solvent. As an organic solvent used for a polymerization reaction, for example, N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, N-methyl-2-p Rolidone (NMP), 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme , Cresol, etc. are mentioned. Two or more of these solvents may be used in combination, and also aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may be used in combination. The amount of the organic solvent used is not particularly limited, but it is preferable to adjust the amount used such that the concentration of the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction is about 5 to 30% by weight.

합성된 폴리아미드산은, 통상 반응 용매 용액으로서 사용하는 것이 유리하지만, 필요에 따라서 농축, 희석 또는 다른 유기 용매로 치환할 수 있다. 또한, 폴리아미드산은 일반적으로 용매 가용성이 우수하므로, 유리하게 사용된다. 폴리아미드산의 용액 점도는, 500cP 내지 100,000cP의 범위 내인 것이 바람직하다. 이 범위를 벗어나면, 코터 등에 의한 도공 작업 시에 필름에 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워진다. 폴리아미드산을 이미드화시키는 방법은, 특별히 제한되지는 않고, 예를 들어 상기 용매 중에서, 80 내지 400℃의 범위 내의 온도 조건에서 1 내지 24시간에 걸쳐 가열하는 열처리가 적합하게 채용된다.Although it is usually advantageous to use the synthesized polyamic acid as a reaction solvent solution, it can be concentrated, diluted, or substituted with another organic solvent if necessary. In addition, polyamic acids are advantageously used because they generally have good solvent solubility. The solution viscosity of the polyamic acid is preferably in the range of 500 cP to 100,000 cP. Outside of this range, defects such as uneven thickness and streaks tend to occur in the film during coating work by a coater or the like. The method of imidizing the polyamic acid is not particularly limited, and, for example, heat treatment in which the polyamic acid is heated in the above solvent at a temperature in the range of 80 to 400°C for 1 to 24 hours is suitably employed.

폴리이미드층 (A) 내지 (C)를 구성하는 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산의 중량 평균 분자량은, 모두, 예를 들어 10,000 내지 400,000의 범위 내가 바람직하고, 50,000 내지 350,000의 범위 내가 보다 바람직하다. 중량 평균 분자량이 10,000 미만이면, 절연 수지층(110)의 강도가 저하되어 취화되기 쉬운 경향이 된다. 한편, 중량 평균 분자량이 400,000을 초과하면, 폴리아미드산 용액의 점도가 높아져, 도공 작업 시에 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워진다.The weight average molecular weight of the polyamic acid, which is a polyimide precursor constituting the polyimide layers (A) to (C), is preferably in the range of, for example, 10,000 to 400,000, and more preferably in the range of 50,000 to 350,000. . When the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the insulating resin layer 110 decreases, and it tends to become brittle. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity of the polyamic acid solution increases, and defects such as uneven thickness and streaks tend to occur during the coating operation.

<각 층의 두께와 그 비율><Thickness of each layer and its ratio>

폴리이미드층 (A) 및 폴리이미드층 (B)의 두께는 특별히 제한은 없고, 금속박과의 밀착성을 확보하기 위해서, 각각 1㎛ 이상인 것이 바람직하고, 2 내지 10㎛의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.The thickness of the polyimide layer (A) and the polyimide layer (B) is not particularly limited, and is preferably 1 μm or more, more preferably in the range of 2 to 10 μm, in order to ensure adhesion to the metal foil.

절연 수지층(110)의 전체의 두께에 대한 폴리이미드층 (A)의 두께 비율은, 열압착 시에 제1 금속층(101)에 주름이 발생하는 것을 억제하기 위해서, 3 내지 45%의 범위 내인 것이 바람직하고, 4 내지 20%의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 두께 비율이 3% 미만이면, 열압착 시에 제1 금속층(101)의 주름 발생을 억제하는 효과가 충분히 얻어지지 않는 경우가 있고, 45%를 초과하면, 절연 수지층(110) 내의 저팽창성 수지층의 비율이 감소되는 점에서 절연 수지층(110)의 치수 안정성이 악화되는 경향이 된다.The thickness ratio of the polyimide layer (A) to the total thickness of the insulating resin layer 110 is in the range of 3 to 45% in order to suppress wrinkles in the first metal layer 101 at the time of thermal compression bonding. It is preferable, and it is more preferable that it exists in the range of 4 to 20%. If the thickness ratio is less than 3%, the effect of suppressing the occurrence of wrinkles in the first metal layer 101 may not be sufficiently obtained during thermal compression bonding, and if it exceeds 45%, the low expansion number in the insulating resin layer 110 may not be obtained. The dimensional stability of the insulating resin layer 110 tends to deteriorate at the point where the ratio of the stratum is reduced.

또한, 절연 수지층(110)의 전체의 두께에 대한 폴리이미드층 (B)의 두께 비율은, 제2 금속층(102)과의 밀착성을 확보하기 위해서, 3 내지 45%의 범위 내인 것이 바람직하고, 4 내지 20%의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 두께 비율이 3% 미만이면, 열압착에 의한 밀착성이 불충분해지는 경우가 있고, 45%를 초과하면, 절연 수지층(110) 내의 저팽창성 수지층의 비율이 감소되는 점에서 절연 수지층(110)의 치수 안정성이 악화되는 경향이 된다.In addition, the thickness ratio of the polyimide layer (B) to the total thickness of the insulating resin layer 110 is preferably in the range of 3 to 45% in order to ensure adhesion to the second metal layer 102, It is more preferably within the range of 4 to 20%. If the thickness ratio is less than 3%, the adhesiveness by thermal compression may be insufficient, and if it exceeds 45%, the ratio of the low-expansion resin layer in the insulating resin layer 110 decreases, so the insulating resin layer 110 dimensional stability tends to deteriorate.

폴리이미드층 (C)의 두께는 특별히 제한은 없고, 사용 목적에 따라서 적절히 설정할 수 있지만, 예를 들어 3 내지 75㎛의 범위 내가 바람직하고, 8 내지 50㎛의 범위 내가 보다 바람직하다. 또한, 절연 수지층(110)의 치수 안정성을 확보하기 위해서, 절연 수지층(110) 전체의 두께에서 차지하는 폴리이미드층 (C)의 두께 비율은 30% 이상인 것이 바람직하고, 60 내지 92%의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.The thickness of the polyimide layer (C) is not particularly limited and can be appropriately set according to the purpose of use, but is preferably within a range of 3 to 75 µm, and more preferably within a range of 8 to 50 µm, for example. Further, in order to secure the dimensional stability of the insulating resin layer 110, the thickness ratio of the polyimide layer (C) to the thickness of the entire insulating resin layer 110 is preferably 30% or more, and is in the range of 60 to 92%. It is more preferable to be mine.

절연 수지층(110)은, 고주파 신호의 전송 시에 있어서의 유전 손실을 저감시키기 위해서, 절연 수지층 전체로서, 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR)에 의해 측정했을 때의 10GHz에 있어서의 유전 정접(Df)이 0.004 이하인 것이 바람직하다. 회로 기판의 전송 손실을 개선하기 위해서는, 특히 절연 수지층의 유전 정접을 제어하는 것이 중요하고, 유전 정접을 상기 범위 내로 함으로써, 전송 손실을 낮추는 효과가 증대된다. 따라서, 본 발명의 금속 피복 적층판을 고주파 용도의 회로 기판의 재료로서 적용하는 경우, 전송 손실을 효율적으로 저감시킬 수 있다. 10GHz에 있어서의 유전 정접이 0.004를 초과하면, 고주파 신호의 전송 경로 상에서 전기 신호의 손실이 커지는 등의 문제가 발생하기 쉬워진다. 10GHz에 있어서의 유전 정접의 하한값은 특별히 제한되지는 않지만, 절연 수지층(110)의 물성 제어를 고려할 필요가 있다.Insulation resin layer 110, in order to reduce dielectric loss at the time of transmission of a high-frequency signal, the dielectric loss tangent (Df) at 10 GHz when measured by a split post dielectric resonator (SPDR) as a whole of the insulation resin layer ) is preferably 0.004 or less. In order to improve the transmission loss of the circuit board, it is particularly important to control the dielectric loss tangent of the insulating resin layer, and by setting the dielectric loss tangent within the above range, the effect of lowering the transmission loss is increased. Therefore, when the metal clad laminate of the present invention is applied as a material for a circuit board for high frequency applications, transmission loss can be effectively reduced. If the dielectric loss tangent at 10 GHz exceeds 0.004, problems such as increased electrical signal loss on the transmission path of the high-frequency signal tend to occur. Although the lower limit of the dielectric loss tangent at 10 GHz is not particularly limited, it is necessary to consider controlling the physical properties of the insulating resin layer 110 .

<제1 금속층 및 제2 금속층><First metal layer and second metal layer>

제1 금속층(101) 및 제2 금속층(102)을 구성하는 금속으로서는, FPC의 배선층의 재료로서 사용 가능하면 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 구리, 알루미늄, 스테인리스, 철, 은, 팔라듐, 니켈, 크롬, 몰리브덴, 텅스텐, 지르코늄, 금, 코발트, 티타늄, 탄탈, 아연, 납, 주석, 실리콘, 비스무트, 인듐 또는 이들의 합금 등에서 선택되는 금속을 들 수 있다. 제1 금속층(101) 및 제2 금속층(102)은 접착성의 관점에서 금속박을 사용하는 것이 바람직하다. 도전성의 점에서 특히 바람직한 것은 구리박이다. 또한, 금속 피복 적층판(100, 200)을 연속적으로 생산하는 경우에는, 금속박으로서, 소정의 두께의 것이 롤상으로 권취된 긴 형상의 금속박이 사용된다.The metal constituting the first metal layer 101 and the second metal layer 102 is not particularly limited as long as it can be used as a material for the FPC wiring layer, but examples include copper, aluminum, stainless steel, iron, silver, palladium, nickel, and metals selected from chromium, molybdenum, tungsten, zirconium, gold, cobalt, titanium, tantalum, zinc, lead, tin, silicon, bismuth, indium, alloys thereof, and the like. It is preferable to use metal foil for the first metal layer 101 and the second metal layer 102 from an adhesive viewpoint. In terms of conductivity, copper foil is particularly preferred. In addition, in the case of continuously producing the metal clad laminates 100 and 200, as the metal foil, a long metal foil having a predetermined thickness wound up in a roll shape is used.

제1 금속층(101)의 두께는, 특별히 제한은 없지만, FPC 재료로서의 용도에서는, 6 내지 18㎛의 범위 내가 바람직하고, 9 내지 12㎛의 범위 내가 보다 바람직하다. 또한, 제1 금속층(101)의 인장 탄성률은, 특별히 제한은 없지만, FPC 재료로서의 용도에서는, 10 내지 100GPa의 범위 내가 바람직하고, 15 내지 70GPa의 범위 내가 보다 바람직하다. 또한, 제1 금속층(101)의 두께 및 인장 탄성률이 상기 범위보다 작은 경우에는, 롤·투·롤 방식에서의 반송 시에 기계적 강도가 부족하여 핸들링성이 저하되는 경우가 있다. 한편, 제1 금속층(101)의 두께 및 인장 탄성률이 상기 범위보다 큰 경우에는, 핸들링성은 양호해지지만, 그 반면, 플렉시블성이 저하될 뿐 아니라, 애당초 열압착 시에 제1 금속층(101)에 주름이 발생하는 경우가 거의 없다. 그러나, FPC 재료로서의 용도에 필요해지는 기계적 강도와 플렉시블성을 양립시키기 위해서, 제1 금속층(101)의 두께 및 인장 탄성률을 상기 범위 내로 하는 경우에는, 고온에서의 열압착 시에 주름의 발생이 일어나기 쉬워지는 점에서, 본 발명의 효과가 현저하게 발현된다.The thickness of the first metal layer 101 is not particularly limited, but is preferably in the range of 6 to 18 μm, and more preferably in the range of 9 to 12 μm in the application as an FPC material. The tensile modulus of elasticity of the first metal layer 101 is not particularly limited, but is preferably in the range of 10 to 100 GPa, and more preferably in the range of 15 to 70 GPa for use as an FPC material. In addition, when the thickness and tensile modulus of the first metal layer 101 are smaller than the above ranges, mechanical strength may be insufficient during roll-to-roll conveyance, resulting in reduced handling properties. On the other hand, when the thickness and tensile modulus of the first metal layer 101 are larger than the above ranges, the handling property becomes good, but on the other hand, not only the flexibility is lowered, but also the first metal layer 101 at the time of thermal compression in the first place. Wrinkles rarely occur. However, in order to achieve both the mechanical strength and flexibility required for use as an FPC material, when the thickness and tensile modulus of the first metal layer 101 are within the above ranges, wrinkles do not occur during thermal compression bonding at a high temperature. Because it becomes easier, the effect of the present invention is remarkably expressed.

제2 금속층(102)의 두께는, 특별히 제한은 없지만, FPC 재료로서의 용도에서는, 6 내지 18㎛의 범위 내가 바람직하고, 9 내지 12㎛의 범위 내가 보다 바람직하다. 또한, 제2 금속층(102)의 인장 탄성률은, 특별히 제한은 없지만, FPC 재료로서의 용도에서는, 10 내지 100GPa의 범위 내가 바람직하고, 15 내지 70GPa의 범위 내가 보다 바람직하다.The thickness of the second metal layer 102 is not particularly limited, but is preferably within a range of 6 to 18 µm, and more preferably within a range of 9 to 12 µm for use as an FPC material. The tensile modulus of elasticity of the second metal layer 102 is not particularly limited, but is preferably in the range of 10 to 100 GPa, and more preferably in the range of 15 to 70 GPa for use as an FPC material.

<금속 피복 적층판의 제조 방법><Method for Manufacturing Metal-clad Laminate>

금속 피복 적층판(100)을 제조하는 방법의 양태로서, 예를 들어As an aspect of the method for manufacturing the metal clad laminate 100, for example

[1] 제1 금속층(101)이 되는 금속박에, 폴리아미드산의 용액을 도포·건조시킨 후, 이미드화를 행하는 방법(이하, 캐스트법),[1] A method of applying and drying a solution of polyamic acid to the metal foil to be the first metal layer 101, followed by imidization (hereinafter, a casting method);

[2] 제1 금속층(101)이 되는 금속박에, 다층 압출에 의해 동시에 폴리아미드산의 용액을 다층으로 적층한 상태에서 도포·건조시킨 후, 이미드화를 행하는 방법(이하, 다층 압출법)[2] A method in which a solution of polyamic acid is simultaneously laminated in multiple layers by multi-layer extrusion on the metal foil to be the first metal layer 101, applied and dried, and then imidated (hereinafter referred to as multi-layer extrusion method).

등을 들 수 있다.etc. can be mentioned.

상기 [1]의 방법은, 예를 들어 다음의 공정; The method of [1] above is, for example, the following steps;

(1a) 제1 금속층(101)이 되는 금속박에 폴리아미드산의 용액을 도포하여, 건조시키는 공정과,(1a) a step of applying a solution of polyamic acid to the metal foil to be the first metal layer 101 and drying it;

(1b) 금속박 상에서 폴리아미드산을 열처리하여 이미드화함으로써 폴리이미드층을 형성하는 공정을 포함하고, 공정 (1a) 및 (1b)를 반복해서 행함으로써, 제1 금속층(101) 상에 폴리이미드층 (A), 폴리이미드층 (C), 폴리이미드층 (B)를 순차 적층 형성할 수 있다. 또한, 공정 (1a)를 반복해서 행한 후, 공정 (1b)에서 복수층을 일괄하여 이미드화해도 된다.(1b) A polyimide layer is formed on the first metal layer 101 by repeating steps (1a) and (1b), including a step of forming a polyimide layer by heat-treating and imidating polyamic acid on a metal foil. (A), the polyimide layer (C), and the polyimide layer (B) can be sequentially laminated. Moreover, after repeating a process (1a), you may imidize a plurality of layers collectively in a process (1b).

상기 [2]의 방법은, 상기 [1]의 방법의 공정 (1a)에 있어서, 다층 압출에 의해, 동시에 폴리아미드산의 적층 구조체를 도포하여, 건조시키는 것 이외에는, 상기 [1]의 방법과 마찬가지로 실시할 수 있다.The method of [2] is the same as the method of [1] above, except that in step (1a) of the method of [1] above, a multi-layer extrusion is used to simultaneously coat and dry the laminated structure of polyamic acid. It can be done likewise.

본 실시 형태에서는, 제1 금속층(101) 상에 폴리아미드산의 이미드화를 완결시키는 것이 바람직하다. 폴리아미드산의 수지층이 제1 금속층(101)에 고정된 상태에서 이미드화되므로, 이미드화 과정에 있어서의 각 폴리이미드층의 신축 변화를 억제하여, 두께나 치수 정밀도를 유지할 수 있다.In this embodiment, it is preferable to complete imidation of the polyamic acid on the first metal layer 101. Since the polyamic acid resin layer is imidized while being fixed to the first metal layer 101, the change in expansion and contraction of each polyimide layer in the imidation process can be suppressed, and thickness and dimensional accuracy can be maintained.

금속 피복 적층판(200)은, 도 3에 나타내는 바와 같이 금속 피복 적층판(100)의 절연 수지층(110)에 있어서의 라미네이트면(110a)에, 제2 금속층(102)이 되는 금속박(102A)을 열압착함으로써 제조할 수 있다. 열압착의 온도 조건으로서는, 폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg에 대하여, Tg+20℃부터 Tg+90℃의 범위 내에서 행하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 3, the metal-clad laminate 200 is a metal foil 102A serving as the second metal layer 102 on the laminated surface 110a of the insulating resin layer 110 of the metal-clad laminate 100. It can be manufactured by thermal compression bonding. As the temperature conditions for the thermal compression bonding, it is preferable to perform within the range of Tg+20°C to Tg+90°C with respect to the glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B).

이상의 구성을 갖는 금속 피복 적층판(200)에 있어서, 제2 금속층(102)과 폴리이미드층 (B)의 필 강도는, FPC 등의 회로 기판에 가공한 후의 신뢰성을 담보하기 위해서, 0.7kN/m 이상인 것이 바람직하고, 1.0kN/m 이상이 보다 바람직하다.In the metal-clad laminate 200 having the above structure, the peel strength of the second metal layer 102 and the polyimide layer (B) is 0.7 kN/m in order to ensure reliability after being processed into a circuit board such as FPC. It is preferably greater than or equal to 1.0 kN/m, more preferably equal to or greater than 1.0 kN/m.

<제3 실시 형태><Third Embodiment>

본 발명의 응용예인 제3 실시 형태에 대해서, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 2개의 금속 피복 적층판(100)을, 폴리이미드층 (B)가 서로 대향하도록 배치하고, 라미네이트면(110a)끼리를 열압착함으로써, 금속 피복 적층판(300)을 제작해도 된다. 본 실시 형태의 금속 피복 적층판(300)은 제1 금속층(101)/폴리이미드층 (A)/폴리이미드층 (C)/폴리이미드층 (B)/폴리이미드층 (B)/폴리이미드층 (C)/폴리이미드층 (A)/제1 금속층(101)의 순으로 적층된 구조를 갖는 양면 금속 피복 적층판이다.A third embodiment, which is an application example of the present invention, will be described with reference to FIGS. 4 and 5 . 4 and 5, two metal-clad laminates 100 are arranged so that the polyimide layers (B) are opposed to each other, and the laminated surfaces 110a are thermally compressed to form a metal-clad laminate 300. ) can be produced. The metal clad laminate 300 of the present embodiment includes the first metal layer 101 / polyimide layer (A) / polyimide layer (C) / polyimide layer (B) / polyimide layer (B) / polyimide layer ( It is a double-sided metal-clad laminated board having a structure in which C) / polyimide layer (A) / first metal layer 101 are laminated in this order.

<제4 실시 형태><Fourth Embodiment>

본 발명의 응용예인 제4 실시 형태에 대해서, 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다. 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 2개의 금속 피복 적층판(100)을, 폴리이미드층 (B)가 서로 대향하도록 배치됨과 함께, 이들 2개의 금속 피복 적층판(100) 사이에 본딩 시트(BS)를 끼워 넣어, 본딩 시트(BS)와 2개의 라미네이트면(110a)을 열압착함으로써, 금속 피복 적층판(400)을 제작해도 된다. 금속 피복 적층판(400)은 제1 금속층(101)/폴리이미드층 (A)/폴리이미드층 (C)/폴리이미드층 (B)/본딩 시트(BS)/폴리이미드층 (B)/폴리이미드층 (C)/폴리이미드층 (A)/제1 금속층(101)의 순으로 적층된 구조를 갖는 양면 금속 피복 적층판이다.A fourth embodiment, which is an application example of the present invention, will be described with reference to FIGS. 6 and 7 . As shown in FIGS. 6 and 7 , two metal-clad laminates 100 are disposed so that the polyimide layers (B) face each other, and a bonding sheet BS is formed between these two metal-clad laminates 100. You may manufacture the metal clad laminated board 400 by inserting|inserting and bonding the bonding sheet BS and the two lamination surfaces 110a together by thermal compression. The metal clad laminate 400 is a first metal layer 101 / polyimide layer (A) / polyimide layer (C) / polyimide layer (B) / bonding sheet (BS) / polyimide layer (B) / polyimide A double-sided metal-clad laminate having a structure in which layer (C) / polyimide layer (A) / first metal layer 101 are laminated in this order.

<회로 기판><circuit board>

상기 실시 형태의 금속 피복 적층판(100, 200, 300, 400)은, 주로 FPC 등의 회로 기판의 재료로서 유용하다. 즉, 금속 피복 적층판(100, 200, 300, 400)의 제1 금속층(101) 및/또는 제2 금속층(102)을 통상법에 의해 패턴상으로 가공하여 배선층을 형성함으로써, 본 발명의 일 실시 형태인 FPC 등의 회로 기판을 제조할 수 있다. 도시는 생략하지만, 바람직한 실시 형태의 회로 기판은, 금속 피복 적층판(100, 200, 300, 400)에 있어서, 제1 금속층(101) 및 제2 금속층(102) 중 어느 한쪽 또는 양쪽, 또는 2개의 제1 금속층(101) 중 어느 한쪽 또는 양쪽이, 배선층으로 치환된 구성을 갖고 있다.The metal-clad laminates 100, 200, 300, and 400 of the above embodiment are mainly useful as materials for circuit boards such as FPCs. That is, one embodiment of the present invention is formed by processing the first metal layer 101 and/or the second metal layer 102 of the metal-clad laminates 100, 200, 300, and 400 into a pattern by a conventional method to form a wiring layer. Circuit boards such as phosphorus FPCs can be manufactured. Although not shown, in the circuit board of the preferred embodiment, in the metal clad laminate (100, 200, 300, 400), either one or both of the first metal layer 101 and the second metal layer 102, or two One or both of the first metal layers 101 have a configuration in which wiring layers are substituted.

<전자 디바이스·전자 기기><Electronic devices/electronic devices>

본 실시 형태의 전자 디바이스 및 전자 기기는, 상기 회로 기판을 구비하는 것이다. 본 실시 형태의 전자 디바이스로서는, 예를 들어 액정 디스플레이, 유기 EL 디스플레이, 전자 페이퍼 등의 표시 장치, 유기 EL 조명, 태양 전지, 터치 패널, 카메라 모듈, 인버터, 컨버터 및 그 구성 부재 등을 들 수 있다. 또한, 전자 기기로서는, 예를 들어 HDD, DVD, 휴대 전화, 스마트폰, 태블릿 단말기, 자동차의 전자 제어 유닛(ECU), 파워 컨트롤 유닛(PCU) 등을 들 수 있다. 회로 기판은 이들 전자 디바이스나 전자 기기에 있어서, 예를 들어 가동 부분의 배선이나, 케이블, 커넥터 등의 부품으로서 바람직하게 사용된다.The electronic device and electronic equipment of this embodiment are equipped with the said circuit board. Examples of the electronic device of the present embodiment include display devices such as liquid crystal displays, organic EL displays, and electronic paper, organic EL lights, solar cells, touch panels, camera modules, inverters, converters, and constituent members thereof. . Moreover, as an electronic device, HDD, DVD, a mobile phone, a smart phone, a tablet terminal, an electronic control unit (ECU) of a vehicle, a power control unit (PCU), etc. are mentioned, for example. In these electronic devices and electronic equipment, the circuit board is suitably used, for example, as components such as wiring of movable parts, cables, and connectors.

[실시예][Example]

이하에 실시예를 나타내어, 본 발명의 특징을 보다 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명의 범위는 실시예에 한정되지는 않는다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 특별히 정함이 없는 한, 각종 측정, 평가는 하기에 의한 것이다.An Example is shown below, and the characteristic of this invention is demonstrated more concretely. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In addition, in the following examples, unless otherwise specified, various measurements and evaluations are based on the following.

[점도의 측정][Measurement of viscosity]

E형 점도계(브룩필드사제, 상품명; DV-II+Pro)를 사용하여, 25℃에서의 점도를 측정하였다. 토크가 10% 내지 90%가 되도록 회전수를 설정하고, 측정을 개시하고 나서 2분 경과 후, 점도가 안정되었을 때의 값을 판독하였다.The viscosity in 25 degreeC was measured using the E-type viscometer (made by Brookfield, brand name; DV-II+Pro). The number of rotations was set so that the torque was 10% to 90%, and the value when the viscosity was stable was read 2 minutes after the start of the measurement.

[중량 평균 분자량의 측정][Measurement of Weight Average Molecular Weight]

겔 침투 크로마토그래피(도소사제, 상품명; HLC-8420GPC)에 의해 측정하였다. 표준 물질로서 폴리스티렌을 사용하고, 용리액에는 N,N-디메틸아세트아미드를 사용하였다.It was measured by gel permeation chromatography (trade name; manufactured by Tosoh Corporation; HLC-8420GPC). Polystyrene was used as a standard material, and N,N-dimethylacetamide was used as an eluent.

[열팽창 계수(CTE)의 측정][Measurement of Coefficient of Thermal Expansion (CTE)]

3mm×20mm의 사이즈의 폴리이미드 필름을, 열 기계 분석 장치(히타치 하이테크 사이언스사제, 상품명; TMA6100)를 사용하여, 5.0g의 하중을 가하면서 일정한 승온 속도로 30℃부터 270℃까지 승온시키고, 또한 그 온도에서 10분 유지한 후, 5℃/분의 속도로 냉각시키고, 250℃부터 100℃까지의 평균 열팽창 계수(열팽창 계수)를 구하였다.A polyimide film having a size of 3 mm × 20 mm was heated from 30 ° C. to 270 ° C. at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermomechanical analyzer (manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd., trade name: TMA6100). After holding at that temperature for 10 minutes, it was cooled at a rate of 5°C/min, and the average coefficient of thermal expansion (coefficient of thermal expansion) from 250°C to 100°C was determined.

[유리 전이 온도(Tg) 및 저장 탄성률의 측정][Measurement of glass transition temperature (Tg) and storage modulus]

5mm×20mm 사이즈의 폴리이미드 필름을, 동적 점탄성 측정 장치(DMA: TA 인스트루먼트사제, 상품; RSA3)를 사용하여, 30℃부터 400℃까지의 승온 속도를 5℃/분, 주파수 1Hz의 조건에서 측정하였다. 유리 전이 온도는 주분산에 기초하는 tanδ의 극댓값 온도로부터 구하였다.A polyimide film having a size of 5 mm × 20 mm was measured at a heating rate from 30 ° C. to 400 ° C. at a rate of 5 ° C./min and a frequency of 1 Hz using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by TA Instruments, product; RSA3) did The glass transition temperature was determined from the temperature of the maximum value of tanδ based on the main dispersion.

[필 강도의 측정][Measurement of Peel Strength]

플렉시블 동장 적층판에 있어서의 도포면측의 구리박(제1 구리박층)을 에칭 제거하여 얻어진 편면 동장 적층판의 구리박(제2 구리박층)을 폭1.0mm로 회로 가공한 샘플을 준비하고, 폴리이미드층의 표면을 양면 테이프에 의해 알루미늄판에 고정시키고, 텐실론 테스터(도요 세끼 세이사꾸쇼제, 상품명; 스트로그래프 VE-1D)를 사용하여 측정하였다. 구리박을 180도 방향으로 50mm/분의 속도로 인장하고, 10mm 박리했을 때의 중앙값 강도를 구하였다. 필 강도가 1.3kN/m 이상일 경우를 「◎」, 1.0kN/m 이상 1.3kN/m 미만일 경우를 「○」, 0.7kN/m 이상 1.0kN/m 미만일 경우를 「△」, 0.7kN/m 미만일 경우를 「×」로 판정하였다.A sample obtained by circuit processing the copper foil (second copper foil layer) of the single-sided copper-clad laminate obtained by etching away the copper foil (first copper foil layer) on the coated surface side of the flexible copper-clad laminate to a width of 1.0 mm was prepared, and a polyimide layer was formed. The surface of was fixed to an aluminum plate with double-sided tape, and measured using a Tensilon tester (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho, trade name: Strograph VE-1D). The copper foil was pulled at a rate of 50 mm/min in the direction of 180 degrees, and the median strength when peeling 10 mm was determined. "◎" for peeling strength of 1.3 kN/m or more, "○" for 1.0 kN/m or more and less than 1.3 kN/m, "△" for 0.7 kN/m or more and less than 1.0 kN/m, 0.7 kN/m A case of less than that was judged as "x".

[외관 형상의 평가][Evaluation of appearance shape]

플렉시블 동장 적층판에 있어서의 도포면측의 구리박(제1 구리박층)의 외관 평가를 행하였다. 라미네이트 후의 샘플을 350mm×250mm 사이즈의 시트로 잘라내어 눈으로 보아 관찰을 행하고, 외관 형상이 양호하여 주름의 발생이 없을 경우를 「◎」, 회로 가공에 영향이 없는 레벨의 주름이 일부에 발생한 경우를 「○」, 회로 가공에 영향은 없는 레벨의 주름이 전면적으로 발생한 경우를 「△」, 회로 가공에 영향을 미치는 레벨의 주름이 전면적으로 발생한 경우를 「×」로 판정하였다.The external appearance evaluation of the copper foil (1st copper foil layer) of the coated surface side in a flexible copper clad laminated board was performed. The sample after lamination was cut into a sheet of 350 mm × 250 mm in size and observed visually, and the case where the external shape was good and no wrinkles occurred was "◎", and the case where wrinkles at a level that did not affect circuit processing occurred in part "○", a case where wrinkles at a level that did not affect circuit processing occurred on the entire surface was judged as "Δ", and a case where wrinkles on a level that affected circuit processing occurred on the entire surface was judged as "×".

[인장 탄성률의 측정][Measurement of tensile modulus]

구리박을 폭 12.7mm로 잘라낸 후, 380℃에서 15분간, 어닐 처리를 행한 후, 인장 압축 시험기(도요 세끼 세이사꾸쇼제, 상품명; 스트로그래프 R-1)를 사용하여 측정하였다. 척간 거리 101.6mm, 스위프 속도 10mm/분의 속도로 인장하고, 얻어진 응력-변위 곡선의 0.2% 변위에 있어서의 기울기로부터 인장 탄성률을 산출하였다.After the copper foil was cut out to a width of 12.7 mm, it was annealed at 380°C for 15 minutes, and then measured using a tensile compression tester (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho, trade name: Strograph R-1). The tension was performed at a distance between chucks of 101.6 mm and a sweep speed of 10 mm/min, and the tensile modulus of elasticity was calculated from the slope of the obtained stress-displacement curve at a displacement of 0.2%.

[유전 정접의 측정][Measurement of dielectric loss tangent]

벡터 네트워크 애널라이저(Agilent사제, 상품명; E8363C) 및 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR 공진기)를 사용하여, 주파수 10GHz에 있어서의 폴리이미드 필름의 유전 정접을 측정하였다. 또한, 측정에 사용한 재료는, 플렉시블 동장 적층판의 구리박층을 에칭 제거하여 조제한 폴리이미드 필름을 온도; 24 내지 26℃, 습도; 45 내지 55%의 조건 하에서, 24시간 방치한 것이다.The dielectric loss tangent of the polyimide film at a frequency of 10 GHz was measured using a vector network analyzer (manufactured by Agilent, trade name; E8363C) and a split post dielectric resonator (SPDR resonator). In addition, the material used for the measurement is a polyimide film prepared by etching away the copper foil layer of the flexible copper-clad laminate; 24-26°C, humidity; It is left to stand on 45 to 55% conditions for 24 hours.

실시예 및 비교예에 사용한 약호는, 이하의 화합물을 나타낸다.The abbreviations used in Examples and Comparative Examples represent the following compounds.

PMDA: 피로멜리트산 이무수물PMDA: pyromellitic dianhydride

BTDA: 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물BTDA: 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride

BPDA: 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

m-TB: 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl

TPE-R: 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene

BAPP: 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane

DMAc: N,N-디메틸아세트아미드 DMAc: N,N-dimethylacetamide

구리박 1: 압연 구리박, 두께; 9㎛, 어닐 처리 후의 인장 탄성률; 36GPa Copper foil 1: rolled copper foil, thickness; 9 μm, tensile modulus after annealing; 36GPa

구리박 2: 압연 구리박, 두께; 12㎛, 어닐 처리 후의 인장 탄성률; 36GPa Copper foil 2: rolled copper foil, thickness; 12 μm, tensile modulus after annealing; 36GPa

구리박 3: 압연 구리박, 두께; 18㎛, 어닐 처리 후의 인장 탄성률; 36GPa Copper foil 3: rolled copper foil, thickness; 18 μm, tensile modulus after annealing; 36GPa

구리박 4: 압연 구리박, 두께; 18㎛, 어닐 처리 후의 인장 탄성률; 18GPaCopper foil 4: rolled copper foil, thickness; 18 μm, tensile modulus after annealing; 18GPa

(합성예 1)(Synthesis Example 1)

255.0중량부의 DMAc에 21.43중량부의 m-TB(100.92몰부)를 첨가하여 실온에서 30분 이상 교반하고, 완전히 용해시켰다. 이어서, 16.26중량부의 PMDA(74.56몰부) 및 7.31중량부의 BPDA(24.85몰부)를 첨가하고, 실온에서 4시간 교반을 행하여, 점도 27,400cP, 중량 평균 분자량 117,000의 폴리아미드산 용액 1을 얻었다.21.43 parts by weight of m-TB (100.92 parts by mole) was added to 255.0 parts by weight of DMAc, stirred at room temperature for 30 minutes or longer, and completely dissolved. Subsequently, 16.26 parts by weight of PMDA (74.56 parts by mole) and 7.31 parts by weight of BPDA (24.85 parts by mole) were added, and stirring was performed at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution 1 having a viscosity of 27,400 cP and a weight average molecular weight of 117,000.

기재 상에, 폴리아미드산 용액 1을 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 140℃ 이하에서 가열 건조시켜 용매를 제거하였다. 또한, 140℃부터 360℃까지 단계적으로 승온시켜 열처리를 행하고, 이미드화를 완결하여 얻어진 폴리이미드 필름 1을 조제하였다. 얻어진 폴리이미드 필름 1의 CTE는 23ppm/K이며, 비열가소성이었다.On the substrate, polyamic acid solution 1 was uniformly applied to a cured thickness of about 25 μm, and then heated and dried at 140° C. or lower to remove the solvent. Further, a polyimide film 1 obtained by heat treatment was performed by raising the temperature stepwise from 140°C to 360°C, and imidation was completed to prepare a polyimide film 1. The obtained polyimide film 1 had a CTE of 23 ppm/K and was non-thermoplastic.

(합성예 2)(Synthesis Example 2)

264.0중량부의 DMAc에 10.55중량부의 TPE-R(36.10몰부) 및 7.66중량부의 m-TB(33.10몰부)를 첨가하여 실온에서 30분 이상 교반하고, 완전히 용해시켰다. 이어서, 10.89중량부의 PMDA(49.93몰부) 및 6.90중량부의 BTDA(21.40몰부)를 첨가하고, 실온에서 4시간 교반을 행하여, 점도 3,800cP, 중량 평균 분자량 180,000의 폴리아미드산 용액 2를 얻었다.To 264.0 parts by weight of DMAc, 10.55 parts by weight of TPE-R (36.10 parts by mole) and 7.66 parts by weight of m-TB (33.10 parts by mole) were added, stirred at room temperature for 30 minutes or longer, and completely dissolved. Subsequently, 10.89 parts by weight of PMDA (49.93 parts by mole) and 6.90 parts by weight of BTDA (21.40 parts by mole) were added, and stirring was performed at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution 2 having a viscosity of 3,800 cP and a weight average molecular weight of 180,000.

합성예 1과 마찬가지로 하여 제작한 폴리이미드 필름 2의 Tg는 300℃, 저장 탄성률은 1.2×109Pa(270℃), 1.2×109Pa(275℃), 2.0×108Pa(350℃) 및 1.3×108Pa(400℃)였다.Polyimide film 2 prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 had a Tg of 300°C and a storage modulus of 1.2×10 9 Pa (270° C.), 1.2×10 9 Pa (275° C.), and 2.0×10 8 Pa (350° C.). and 1.3×10 8 Pa (400° C.).

(합성예 3)(Synthesis Example 3)

264.0중량부의 DMAc에 23.20중량부의 BAPP(56.53몰부)를 첨가하여 실온에서 30분 이상 교반하고, 완전히 용해시켰다. 이어서, 11.95중량부의 PMDA(54.77몰부) 및 0.85중량부의 BPDA(2.88몰부)를 첨가하고, 실온에서 4시간 교반을 행하여, 점도 1,700cP, 중량 평균 분자량 200,000의 폴리아미드산 용액 3을 얻었다.23.20 parts by weight of BAPP (56.53 parts by mole) was added to 264.0 parts by weight of DMAc, stirred at room temperature for 30 minutes or more, and completely dissolved. Subsequently, 11.95 parts by weight of PMDA (54.77 parts by mole) and 0.85 parts by weight of BPDA (2.88 parts by mole) were added, and stirring was performed at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution 3 having a viscosity of 1,700 cP and a weight average molecular weight of 200,000.

합성예 1과 마찬가지로 하여 제작한 폴리이미드 필름 3의 Tg는 320℃, 저장 탄성률은 1.5×109Pa(270℃), 1.0×108Pa(275℃), 6.3×107Pa(350℃) 및 1.9×107Pa(400℃)였다.Polyimide film 3 prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 had a Tg of 320°C and a storage modulus of 1.5×10 9 Pa (270° C.), 1.0×10 8 Pa (275° C.), and 6.3×10 7 Pa (350° C.). and 1.9×10 7 Pa (400° C.).

(합성예 4)(Synthesis Example 4)

264.0중량부의 DMAc에 17.94중량부의 TPE-R(61.36몰부) 및 0.69중량부의 m-TB(3.23몰부)를 첨가하여 실온에서 30분 이상 교반하고, 완전히 용해시켰다. 이어서, 11.63중량부의 BPDA(39.53몰부) 및 5.75중량부의 PMDA(26.35몰부)를 첨가하고, 실온에서 4시간 교반을 행하여, 점도 2,500cP, 중량 평균 분자량 121,000의 폴리아미드산 용액 4를 얻었다.To 264.0 parts by weight of DMAc, 17.94 parts by weight of TPE-R (61.36 parts by mole) and 0.69 parts by weight of m-TB (3.23 parts by mole) were added, stirred at room temperature for 30 minutes or longer, and completely dissolved. Next, 11.63 parts by weight of BPDA (39.53 parts by mole) and 5.75 parts by weight of PMDA (26.35 parts by mole) were added, and stirring was performed at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution 4 having a viscosity of 2,500 cP and a weight average molecular weight of 121,000.

합성예 1과 마찬가지로 하여 제작한 폴리이미드 필름 4의 Tg는 225℃, 저장 탄성률은 1.0×108Pa(275℃)였다.Polyimide film 4 produced in the same manner as in Synthesis Example 1 had a Tg of 225°C and a storage modulus of 1.0×10 8 Pa (275°C).

(합성예 5)(Synthesis Example 5)

264.0중량부의 DMAc에 15.33중량부의 TPE-R(52.43몰부) 및 2.78중량부의 m-TB(13.11몰부)를 첨가하여 실온에서 30분 이상 교반하고, 완전히 용해시켰다. 이어서, 12.79중량부의 BPDA(43.45몰부) 및 5.10중량부의 PMDA(23.40몰부)를 첨가하고, 실온에서 4시간 교반을 행하여, 점도 2,300cP, 중량 평균 분자량 118,000의 폴리아미드산 용액 5를 얻었다.To 264.0 parts by weight of DMAc, 15.33 parts by weight of TPE-R (52.43 parts by mole) and 2.78 parts by weight of m-TB (13.11 parts by mole) were added and stirred at room temperature for 30 minutes or more to dissolve completely. Subsequently, 12.79 parts by weight of BPDA (43.45 parts by mole) and 5.10 parts by weight of PMDA (23.40 parts by mole) were added, and stirring was performed at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution 5 having a viscosity of 2,300 cP and a weight average molecular weight of 118,000.

합성예 1과 마찬가지로 하여 제작한 폴리이미드 필름 5의 Tg는 220℃, 저장 탄성률은 4.4×107Pa(270℃)였다.The polyimide film 5 produced in the same manner as in Synthesis Example 1 had a Tg of 220°C and a storage modulus of 4.4×10 7 Pa (270°C).

[실시예 1][Example 1]

구리박 1 상에, 폴리아미드산 용액 2를 경화 후의 두께가 2㎛가 되도록 도포한 후, 140℃ 이하에서 가열 건조시키고, 용매를 제거하였다. 그 위에, 폴리아미드산 용액 1을 경화 후의 두께가 21㎛가 되도록 도포한 후, 140℃ 이하에서 가열 건조시키고, 용매를 제거하였다. 또한, 그 위에 폴리아미드산 용액 3을 경화 후의 두께가 2㎛가 되도록 도포한 후, 140℃ 이하에서 가열 건조시켜, 용매를 제거하였다. 그 후, 140℃부터 360℃까지 단계적으로 승온시켜 이미드화를 행하여, 편면 동장 적층판 1을 조제하였다. 얻어진 편면 동장 적층판 1의 폴리이미드층측에 구리박 2를 배치하고, 열 롤 라미네이트기를 사용하여 라미네이트 압력 1kN/cm2, 라미네이트 온도 350℃의 조건에서 연속적으로 열 라미네이트를 행하여, 플렉시블 동장 적층판 1을 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 1의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.On the copper foil 1, the polyamic acid solution 2 was applied to a cured thickness of 2 μm, followed by heating and drying at 140° C. or lower to remove the solvent. After applying the polyamic acid solution 1 thereon to a cured thickness of 21 μm, it was heated and dried at 140° C. or lower, and the solvent was removed. Further, polyamic acid solution 3 was applied thereon to a cured thickness of 2 μm, and then heated and dried at 140° C. or less to remove the solvent. Thereafter, the temperature was raised stepwise from 140°C to 360°C to imidize, thereby preparing a single-sided copper-clad laminate 1. Copper foil 2 was placed on the polyimide layer side of the obtained single-sided copper-clad laminate 1, and using a hot roll lamination machine, thermal lamination was continuously performed under the conditions of a lamination pressure of 1 kN/cm 2 and a lamination temperature of 350°C to obtain a flexible copper-clad laminate 1. . Table 1 shows the evaluation results of flexible copper-clad laminate 1.

[실시예 2][Example 2]

구리박 1 대신에 구리박 2를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 2를 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 2의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Except having used copper foil 2 instead of copper foil 1, it carried out similarly to Example 1, and obtained flexible copper clad laminated board 2. Table 1 shows the evaluation results of flexible copper-clad laminate 2.

[실시예 3][Example 3]

구리박 1 대신에 구리박 3을 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 3을 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 3의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Except having used copper foil 3 instead of copper foil 1, it carried out similarly to Example 1, and obtained flexible copper clad laminated board 3. Table 1 shows the evaluation results of the flexible copper-clad laminate 3.

[실시예 4][Example 4]

구리박 1 대신에 구리박 4를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 4를 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 4의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Except having used copper foil 4 instead of copper foil 1, it carried out similarly to Example 1, and obtained flexible copper clad laminated board 4. Table 1 shows the evaluation results of flexible copper-clad laminate 4.

[실시예 5][Example 5]

구리박 1 대신에 구리박 3을 사용하고, 라미네이트 온도를 400℃로 한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 5를 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 5의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.A flexible copper clad laminated board 5 was obtained in the same manner as in Example 1, except that copper foil 3 was used instead of copper foil 1 and the lamination temperature was 400°C. Table 1 shows the evaluation results of flexible copper-clad laminate 5.

[실시예 6][Example 6]

구리박 1 대신에 구리박 2를 사용하고, 폴리아미드산 용액 3 대신에 폴리아미드산 용액 4를 사용한 것, 및 라미네이트 온도를 275℃로 한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 6을 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 6의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Flexible copper clad laminate 6 in the same manner as in Example 1, except that copper foil 2 was used instead of copper foil 1, and polyamic acid solution 4 was used instead of polyamic acid solution 3, and the lamination temperature was 275 ° C. got Table 1 shows the evaluation results of flexible copper-clad laminate 6.

[실시예 7][Example 7]

구리박 1 대신에 구리박 2를 사용하고, 폴리아미드산 용액 3 대신에 폴리아미드산 용액 5를 사용한 것, 및 라미네이트 온도를 270℃로 한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 7을 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 7의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Flexible copper-clad laminate 7 in the same manner as in Example 1, except that copper foil 2 was used instead of copper foil 1, and polyamic acid solution 5 was used instead of polyamic acid solution 3, and the lamination temperature was 270 ° C. got Table 1 shows the evaluation results of flexible copper-clad laminate 7.

[실시예 8][Example 8]

구리박 1 대신에 구리박 2를 사용하고, 폴리아미드산 용액 2 대신에 폴리아미드산 용액 3을 사용한 것, 폴리아미드산 용액 3 대신에 폴리아미드산 용액 5를 사용한 것, 및 라미네이트 온도를 270℃로 한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 8을 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 8의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Copper foil 2 was used instead of copper foil 1, polyamic acid solution 3 was used instead of polyamic acid solution 2, polyamic acid solution 5 was used instead of polyamic acid solution 3, and the lamination temperature was 270 ° C. Except having set it as, it carried out similarly to Example 1, and obtained the flexible copper clad laminated board 8. Table 1 shows the evaluation results of the flexible copper-clad laminate 8.

비교예 1 Comparative Example 1

구리박 1 대신에 구리박 2를 사용하고, 폴리아미드산 용액 3 대신에 폴리아미드산 용액 2를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 9를 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 9의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Flexible copper-clad laminate 9 was obtained in the same manner as in Example 1, except that copper foil 2 was used instead of copper foil 1 and polyamic acid solution 2 was used instead of polyamic acid solution 3. Table 1 shows the evaluation results of the flexible copper-clad laminate 9.

비교예 2 Comparative Example 2

구리박 1 대신에 구리박 2를 사용하고, 폴리아미드산 용액 2 대신에 폴리아미드산 용액 5를 사용한 것, 폴리아미드산 용액 3 대신에 폴리아미드산 용액 5를 사용한 것, 및 라미네이트 온도를 270℃로 한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 플렉시블 동장 적층판 10를 얻었다. 플렉시블 동장 적층판 10의 평가 결과를 표 1에 나타낸다.Copper foil 2 was used instead of copper foil 1, polyamic acid solution 5 was used instead of polyamic acid solution 2, polyamic acid solution 5 was used instead of polyamic acid solution 3, and the lamination temperature was 270 ° C. Except having set it as, it carried out similarly to Example 1, and obtained the flexible copper clad laminated board 10. Table 1 shows the evaluation results of the flexible copper-clad laminate 10.

또한, 표 1 중의 「층 (A)」 및 「층 (B)」는, 각각 「폴리이미드층 (A)」및 「폴리이미드층 (B)」를 의미한다. 또한, 표 1 중의 E'(A), E'(B)는 모두, 라미네이트 온도에 있어서의 저장 탄성률을 의미한다.In addition, "layer (A)" and "layer (B)" in Table 1 mean "polyimide layer (A)" and "polyimide layer (B)", respectively. In addition, both E'(A) and E'(B) in Table 1 mean the storage modulus at the lamination temperature.

Figure pat00001
Figure pat00001

실시예 1 내지 8 및 비교예 1 내지 2에서 얻어진 플렉시블 동장 적층판 1 내지 10의 구리박층을 에칭 제거하여 조제한 폴리이미드 필름 1 내지 10의 주파수 10GHz에 있어서의 유전 정접(Df)을 표 2에 나타냈다.The dielectric loss tangent (Df) at a frequency of 10 GHz of the polyimide films 1 to 10 prepared by etching away the copper foil layers of the flexible copper-clad laminates 1 to 10 obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 2 are shown in Table 2.

Figure pat00002
Figure pat00002

이상, 본 발명의 실시 형태를 예시한 목적으로 상세하게 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 제약되지 않고, 다양한 변형이 가능하다.As mentioned above, although the embodiment of the present invention has been described in detail for the purpose of exemplifying, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible.

100, 200, 300, 400: 금속 피복 적층판
101: 제1 금속층
102: 제2 금속층
102A: 금속박
110: 절연 수지층
110a: 라미네이트면
(A): 폴리이미드층 (A)
(B): 폴리이미드층 (B)
(C): 폴리이미드층 (C)
BS: 본딩 시트
100, 200, 300, 400: metal clad laminate
101: first metal layer
102: second metal layer
102A: metal foil
110: insulating resin layer
110a: laminate side
(A): Polyimide layer (A)
(B): Polyimide layer (B)
(C): Polyimide layer (C)
BS: bonding sheet

Claims (9)

제1 금속층과,
상기 제1 금속층에 적층되어 있는 절연 수지층을 구비한 금속 피복 적층판이며,
상기 절연 수지층은, 상기 제1 금속층에 접하는 폴리이미드층 (A)와, 상기 제1 금속층과는 반대측에 있어서 수지면을 형성하고 있는 폴리이미드층 (B)를 갖고,
상기 폴리이미드층 (B)의 유리 전이 온도 Tg를 기준으로 하여, Tg+20℃부터 Tg+90℃까지의 범위 내의 어느 온도에 있어서의 폴리이미드층 (A)의 저장 탄성률을 E'(A), 폴리이미드층 (B)의 저장 탄성률을 E'(B)로 했을 때, 해당 저장 탄성률의 비 E'(A)/E'(B)가 2.0 이상인 것을 특징으로 하는 금속 피복 적층판.
a first metal layer;
A metal clad laminate having an insulating resin layer laminated on the first metal layer,
The insulating resin layer has a polyimide layer (A) in contact with the first metal layer and a polyimide layer (B) forming a resin surface on the opposite side to the first metal layer,
Based on the glass transition temperature Tg of the polyimide layer (B), the storage modulus of the polyimide layer (A) at any temperature within the range from Tg + 20 ° C to Tg + 90 ° C is E' (A) , When the storage modulus of the polyimide layer (B) is taken as E' (B), the metal-clad laminate characterized in that the ratio E' (A) / E' (B) of the storage modulus is 2.0 or more.
제1항에 있어서, 상기 절연 수지층이, 상기 폴리이미드층 (A)와 상기 폴리이미드층 (B) 사이에 적층된 폴리이미드층 (C)를 갖는 금속 피복 적층판.The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the insulating resin layer has a polyimide layer (C) laminated between the polyimide layer (A) and the polyimide layer (B). 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 금속층의 두께가 6 내지 18㎛의 범위 내이며, 인장 탄성률이 10 내지 100GPa의 범위 내인 금속 피복 적층판.The metal-clad laminate according to claim 1 or 2, wherein the first metal layer has a thickness in the range of 6 to 18 µm and a tensile modulus in the range of 10 to 100 GPa. 제1항에 있어서, 또한, 상기 폴리이미드층 (B)의 수지면에 접하여 적층되어 있는 제2 금속층을 구비하고 있는 금속 피복 적층판.The metal-clad laminate according to claim 1, further comprising a second metal layer laminated in contact with the resin surface of the polyimide layer (B). 제4항에 있어서, 상기 제2 금속층과 상기 폴리이미드층 (B)의 필 강도가 0.7kN/m 이상인 금속 피복 적층판.The metal-clad laminate according to claim 4, wherein the peel strength of the second metal layer and the polyimide layer (B) is 0.7 kN/m or more. 제4항에 기재된 금속 피복 적층판에 있어서의 상기 제1 금속층 및 상기 제2 금속층 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 회로 가공하여 이루어지는 회로 기판.A circuit board obtained by circuit processing of one or both of the first metal layer and the second metal layer in the metal clad laminate according to claim 4. 제1항에 기재된 금속 피복 적층판에 있어서의 상기 제1 금속층을 회로 가공하여 이루어지는 회로 기판.A circuit board formed by circuit processing of the first metal layer in the metal-clad laminate according to claim 1. 제6항 또는 제7항에 기재된 회로 기판을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스.An electronic device comprising the circuit board according to claim 6 or 7. 제6항 또는 제7항에 기재된 회로 기판을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 기기.


An electronic device comprising the circuit board according to claim 6 or 7.


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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006051800A (en) 2004-07-13 2006-02-23 Nippon Steel Chem Co Ltd Flexible laminated board and its manufacturing process
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