KR20230117670A - Metal clad laminate and circuit board - Google Patents

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KR20230117670A
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도모노리 안도
요시키 스토
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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 저유전 정접화와, 우수한 장기 내열 접착성의 양립이 도모되고, 반복하여 고온 환경에 노출되는 경우라도 금속층과의 접착성이 저하되기 어려운 폴리이미드 필름을 제공한다.
[해결수단] 비열가소성 폴리이미드층과 열가소성 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름이며, (i) 열팽창 계수가 10 내지 30ppm/K의 범위 내인 것, (ii) 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하인 것, (iii) 비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 비율이 50㏖% 이상인 것을 충족하는 폴리이미드 필름.
[Problem] To provide a polyimide film that achieves both low dielectric loss tangent and excellent long-term heat-resistant adhesiveness, and whose adhesiveness to a metal layer is less likely to decrease even when repeatedly exposed to a high-temperature environment.
[Solution] A polyimide film having a non-thermoplastic polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer, (i) having a thermal expansion coefficient in the range of 10 to 30 ppm/K, (ii) having an oxygen permeability of 5.5×10 -14 mol/ (m 2 · s · Pa) or less, (iii) the ratio of monomer residues having a biphenyl skeleton to all monomer residues derived from the non-thermoplastic polyimide and all monomer components constituting the thermoplastic polyimide is 50 mol% or more polyimide film that meets the requirements.

Description

금속 피복 적층판 및 회로 기판{METAL CLAD LAMINATE AND CIRCUIT BOARD} Metal clad laminate and circuit board {METAL CLAD LAMINATE AND CIRCUIT BOARD}

본 발명은, 폴리이미드 필름, 금속 피복 적층판 및 회로 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a polyimide film, a metal-clad laminate, and a circuit board.

폴리이미드 수지는, 높은 절연성, 치수 안정성, 성형 용이성, 경량 등의 특징을 갖기 때문에, 회로 기판 등의 재료로서 전자, 전기 기기나 전자 부품에 널리 사용되고 있다. 특히 근년, 전기, 전자 기기의 고성능, 고기능화에 수반하여, 정보의 고속 전송화가 요구되고 있고, 이들에 사용되는 부품이나 부재에도 고속 전송에 대한 대응이 요구되고 있다. 그러한 용도로 사용되는 폴리이미드 재료에 대해, 고속 전송화에 대응한 전기 특성을 갖도록, 저유전율화, 저유전 정접화를 도모하는 시도가 이루어지고 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION Polyimide resins have characteristics such as high insulation, dimensional stability, ease of molding, and light weight, and therefore are widely used as materials for circuit boards and the like in electronic and electrical equipment and electronic parts. Particularly in recent years, along with high performance and high functionality of electrical and electronic equipment, high-speed transmission of information is required, and parts and members used therein are also required to respond to high-speed transmission. For polyimide materials used for such applications, attempts have been made to achieve low permittivity and low dielectric dissipation so as to have electrical properties corresponding to high-speed transmission.

폴리이미드 재료의 저유전율화·저유전 정접화에 관한 종래 기술의 대부분은, 저유전율·저유전 정접의 수지(불소계 수지, 액정 폴리머 등)와의 다층화나 저유전율·저유전 정접의 필러의 배합과 같은 이종 재료와의 복합화, 다공질화, 에스테르 구조의 도입 등이 주된 것이었다. 그러나 복합화나 다공질화에 대해서는, 가공성이 저하되는 등의 문제가 있고, 에스테르 구조를 도입한 것은, 필름 강도가 저하되기 때문에 다량으로 사용할 수 없다는 문제가 있다.Most of the conventional technologies related to low dielectric constant and low dielectric loss tangent of polyimide materials include multilayering with low dielectric constant and low dielectric loss tangent resins (fluorine-based resins, liquid crystal polymers, etc.) and blending of fillers with low dielectric constant and low dielectric loss tangent. Composite with the same heterogeneous material, porous formation, introduction of ester structure, etc. were the main ones. However, there is a problem that processability is lowered for compounding or porous formation, and the film strength of the ester structure is lowered, so there is a problem that it cannot be used in large amounts.

또한, 특허문헌 1, 2에서는, 폴리이미드의 원료 모노머 구성을 고안함으로써, 유전 특성의 개선을 도모하여, 고주파용 회로 기판로의 적용이 가능한 폴리이미드 필름이 제안되어 있다.Further, Patent Literatures 1 and 2 propose polyimide films capable of being applied to circuit boards for high frequencies by devising a structure of a raw material monomer of polyimide to improve dielectric properties.

한편, 근년에는, 회로 기판이 150℃를 초과하는 환경에서 사용되는 것도 상정되게 되었다. 예를 들어, 차량 탑재용 전자 기기에 사용되는 플렉시블 프린트 기판(FPC; Flexible Printed Circuits)은, 150℃ 정도의 고온 환경에 반복하여 노출되는 경우가 있다.On the other hand, in recent years, it has also come to be assumed that circuit boards are used in an environment exceeding 150°C. For example, flexible printed circuits (FPCs) used in vehicle-mounted electronic devices may be repeatedly exposed to a high-temperature environment of about 150°C.

또한, 차량 탑재용 전자 기기 이외의 디바이스, 예를 들어 고속 처리를 행할 수 있는 CPU(Central Processing Unit)를 갖는 노트북 컴퓨터나 슈퍼컴퓨터 등에 있어서도, 더한층의 소형화, 경량화를 도모하기 위해 플렉시블 프린트 기판이 사용되는 일이 증가하고 있다. 이러한 디바이스에 있어서도, CPU가 발하는 열에 의해, 플렉시블 프린트 기판은 고온 환경에 반복하여 노출된다. 고온 환경에서의 사용에 기인하는 플렉시블 프린트 기판의 열화의 대표적인 요인은, 배선층과 절연 수지층의 접착성의 저하에 의한 배선층의 들뜸이나 박리이다.In addition, flexible printed circuit boards are also used in devices other than vehicle-mounted electronic devices, such as notebook computers and supercomputers having a CPU (Central Processing Unit) capable of high-speed processing, in order to achieve further miniaturization and weight reduction. happening is increasing. Also in such a device, the flexible printed circuit board is repeatedly exposed to a high-temperature environment by the heat generated by the CPU. A typical cause of deterioration of a flexible printed circuit board resulting from use in a high-temperature environment is lifting or peeling of the wiring layer due to a decrease in adhesiveness between the wiring layer and the insulating resin layer.

이러한 배경으로부터, 금후, 플렉시블 프린트 기판은, 저유전 정접화와, 고온 환경하에서의 내열 접착성(필 강도 유지율의 유지)의 양립이 필요해질 것이 예상되고, 특히 사용 환경의 변화에 따라서, 종래보다 더 장기간에 걸쳐 내열 접착성의 유지가 요구될 것이라고 생각된다.From this background, in the future, it is expected that flexible printed circuit boards will require both low dielectric dissipation and heat resistance adhesiveness (maintenance of peel strength retention) in a high-temperature environment. It is thought that maintenance of heat-resistant adhesiveness over a long period of time will be required.

WO2017/159274WO2017/159274 WO2018/061727WO2018/061727

따라서, 본 발명의 목적은, 저유전 정접화와, 우수한 장기 내열 접착성의 양립이 도모되어, 반복하여 고온 환경에 노출되는 경우라도 금속층과의 접착성이 저하되기 어려운 폴리이미드 필름을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a polyimide film that achieves both low dielectric loss tangent and excellent long-term heat-resistant adhesiveness, and whose adhesiveness to a metal layer is less likely to decrease even when repeatedly exposed to a high-temperature environment.

본 발명자들은, 예의 연구 결과, 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 함유 비율을 높임으로써, 복수 층의 폴리이미드층이 적층된 폴리이미드 필름의 저유전 정접화와 산소 투과도의 억제에 의한 우수한 장기 내열 접착성의 양립이 가능해지는 것을 알아내어, 본 발명을 완성하였다.As a result of intensive research, the inventors of the present invention have found that, in the polyimide constituting the polyimide layer, the dielectric loss tangent of a polyimide film in which a plurality of polyimide layers are laminated is reduced by increasing the content ratio of monomer residues having a biphenyl backbone. and suppression of oxygen permeability to find that coexistence of excellent long-term heat-resistant adhesiveness is possible, and completed the present invention.

즉, 본 발명의 폴리이미드 필름은, 비열가소성 폴리이미드를 포함하는 비열가소성 폴리이미드층과, 해당 비열가소성 폴리이미드층의 적어도 한쪽 면에 적층되어 있는, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 열가소성 폴리이미드층을 갖는 것이다.That is, the polyimide film of the present invention comprises a non-thermoplastic polyimide layer containing non-thermoplastic polyimide and a thermoplastic polyimide layer containing thermoplastic polyimide laminated on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide layer. is to have

본 발명의 폴리이미드 필름은, 하기의 조건 (i) 내지 (iii)을 충족하는 것을 특징으로 한다.The polyimide film of the present invention is characterized by satisfying the following conditions (i) to (iii).

(i) 열팽창 계수가 10 내지 30ppm/K의 범위 내인 것.(i) The thermal expansion coefficient is in the range of 10 to 30 ppm/K.

(ii) 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하인 것.(ii) Those with an oxygen permeability of 5.5 × 10 -14 mol/(m 2 ·s ·Pa) or less.

(iii) 상기 비열가소성 폴리이미드 및 상기 열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 하기 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 비율이 50㏖% 이상인 것.(iii) The proportion of monomer residues having a biphenyl skeleton calculated by the following formula (1) relative to all monomer residues derived from the non-thermoplastic polyimide and all monomer components constituting the thermoplastic polyimide is 50 mol% more than

식(1)에 있어서, Mi는, 제i층의 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율(단위; ㏖%)이고, Li는, 제i층의 폴리이미드층의 두께(단위; ㎛)이고, L은 폴리이미드 필름의 두께(단위; ㎛)이고, n은 2 이상의 정수이다.In Formula (1), M i is the ratio (unit; unit; mol%), L i is the thickness (unit: μm) of the polyimide layer of the i-th layer, L is the thickness (unit: μm) of the polyimide film, and n is an integer greater than or equal to 2.

본 발명의 폴리이미드 필름은, 상기 (i) 내지 (iii)의 조건에 추가하여, 또한 하기의 조건 (iv)를 충족하는 것이어도 된다.In addition to the conditions (i) to (iii), the polyimide film of the present invention may further satisfy the following condition (iv).

(iv) 상기 열가소성 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상인 것.(iv) Of all the monomer residues derived from all the monomer components in the thermoplastic polyimide, the proportion of the monomer residue having a biphenyl skeleton is 30 mol% or more.

본 발명의 폴리이미드 필름은, 전체의 두께가 30 내지 60㎛의 범위 내여도 된다. 이 경우, 상기 폴리이미드 필름의 전체의 두께 T1에 대한 상기 열가소성 폴리이미드층의 합계 두께 T2의 비율 T2/T1이 0.17 이하여도 된다.The polyimide film of the present invention may have a total thickness in the range of 30 to 60 μm. In this case, the ratio T2/T1 of the total thickness T2 of the thermoplastic polyimide layer to the total thickness T1 of the polyimide film may be 0.17 or less.

본 발명의 금속 피복 적층판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 금속층을 구비한 금속 피복 적층판이다. 그리고 본 발명의 금속 피복 적층판은, 상기 절연 수지층이, 상기 금속층의 표면에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 상기 어느 것의 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 한다.The metal-clad laminate of the present invention is a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer provided on at least one surface of the insulating resin layer. And in the metal-clad laminate of the present invention, the insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer in contact with the surface of the metal layer and a non-thermoplastic polyimide layer laminated indirectly, and contains any of the above polyimide films characterized by

본 발명의 회로 기판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 배선층을 구비한 회로 기판이다. 그리고 본 발명의 회로 기판은, 상기 절연 수지층이, 상기 배선층에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 상기 어느 것의 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 한다.The circuit board of the present invention is a circuit board provided with an insulating resin layer and a wiring layer provided on at least one surface of the insulating resin layer. And the circuit board of the present invention is characterized in that the insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer in contact with the wiring layer and a non-thermoplastic polyimide layer laminated indirectly, and includes any of the above polyimide films. do.

본 발명의 폴리이미드 필름은, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 함유율을 50몰% 이상으로 함으로써, 산소 투과도가 억제되어 있고, 저유전 정접화와 장기 내열 접착성의 향상이 양립되어 있다. 그 때문에, 본 발명의 폴리이미드 필름을 회로 기판 재료로서 이용함으로써, 고속 전송에 대한 대응과 함께, 반복하여 고온 환경에 노출되는 사용 환경이라도, 장기간에 걸쳐 금속층과의 접착성이 유지된 회로 기판을 제공할 수 있다.In the polyimide film of the present invention, by setting the content of the monomer residue having a biphenyl skeleton to 50 mol% or more, the oxygen permeability is suppressed, and both the low dielectric constant and the improvement of the long-term heat resistance adhesiveness are achieved. Therefore, by using the polyimide film of the present invention as a circuit board material, a circuit board capable of handling high-speed transmission and maintaining adhesion to the metal layer for a long period of time even in a use environment repeatedly exposed to a high temperature environment can be obtained. can provide

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름의 구성을 나타내는 모식적 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름의 다른 구성예를 나타내는 모식적 단면도이다.
1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a polyimide film according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view showing another structural example of a polyimide film according to an embodiment of the present invention.

다음으로, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.Next, embodiments of the present invention will be described.

[폴리이미드 필름][Polyimide film]

본 발명의 일 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름은, 비열가소성 폴리이미드를 포함하는 비열가소성 폴리이미드층과, 해당 비열가소성 폴리이미드층의 적어도 한쪽 면에 적층되어 있는, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 열가소성 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름이다. 여기서, 「비열가소성 폴리이미드」란, 동적 점탄성 측정 장치(DMA)를 사용하여 측정된 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 또한 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 이상을 나타내는 것을 의미한다. 「열가소성 폴리이미드」란, 동적 점탄성 측정 장치(DMA)를 사용하여 측정된 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 또한 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 미만을 나타내는 것을 의미한다.A polyimide film according to an embodiment of the present invention is a non-thermoplastic polyimide layer containing non-thermoplastic polyimide, and a thermoplastic poly containing thermoplastic polyimide laminated on at least one side of the non-thermoplastic polyimide layer. It is a polyimide film having a mid layer. Here, "non-thermoplastic polyimide" has a storage modulus of 1.0 × 10 9 Pa or more at 30 ° C. measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA), and is stored in a temperature range within the glass transition temperature + 30 ° C. It means that the elastic modulus shows 1.0×10 8 Pa or more. "Thermoplastic polyimide" has a storage modulus of 1.0 × 10 9 Pa or more at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA), and a storage modulus of 1.0 in a temperature range within the glass transition temperature + 30°C. It means showing less than ×10 8 Pa.

도 1 및 도 2는, 본 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름의 구성예를 나타내고 있다. 도 1에 나타내는 폴리이미드 필름(100)은, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 편면에 열가소성 폴리이미드층(120A)이 적층된 2층 구조의 양태이다. 도 2에 나타내는 폴리이미드 필름(101)은, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 편면에 열가소성 폴리이미드층(120A)이, 다른 쪽의 면에 열가소성 폴리이미드층(120B)이 적층된 3층 구조의 양태이다. 또한, 본 실시 형태의 폴리이미드 필름은, 도 1, 도 2에 예시하는 적층 구조에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 4층 이상의 폴리이미드층을 구비하고 있어도 된다.1 and 2 show a structural example of the polyimide film according to the present embodiment. The polyimide film 100 shown in FIG. 1 is an aspect of a two-layer structure in which a thermoplastic polyimide layer 120A is laminated on one side of a non-thermoplastic polyimide layer 110 . The polyimide film 101 shown in FIG. 2 has a three-layer structure in which a thermoplastic polyimide layer 120A is laminated on one surface of a non-thermoplastic polyimide layer 110 and a thermoplastic polyimide layer 120B is laminated on the other surface. is the aspect of In addition, the polyimide film of this embodiment is not limited to the laminated structure illustrated in FIG. 1 and FIG. 2, For example, you may be provided with 4 or more layers of polyimide layers.

비열가소성 폴리이미드층(110)의 수지 성분은, 비열가소성 폴리이미드를 포함하는 것이 바람직하고, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)의 수지 성분은, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 것이 바람직하다. 폴리이미드 필름(100, 101)과 금속박을 적층하여 금속 피복 적층판으로 하는 경우, 금속박은, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)의 편측, 또는 양측에 적층할 수 있다.The resin component of the non-thermoplastic polyimide layer 110 preferably contains non-thermoplastic polyimide, and the resin component of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B preferably contains thermoplastic polyimide. When the polyimide films 100 and 101 and the metal foil are laminated to form a metal clad laminate, the metal foil can be laminated on one side or both sides of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B.

또한, 비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드는, 모두, 「모노머 잔기」로서, 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 「산 이무수물 잔기」란, 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도된 4가의 기를 의미하고, 「디아민 잔기」란, 디아민 화합물로부터 유도된 2가의 기를 의미한다.In addition, both a non-thermoplastic polyimide and a thermoplastic polyimide contain an acid dianhydride residue and a diamine residue as a "monomer residue." "Acid dianhydride residue" means a tetravalent group derived from tetracarboxylic acid dianhydride, and "diamine residue" means a divalent group derived from a diamine compound.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 비열가소성 폴리이미드층(110)은 저열팽창성의 폴리이미드층을 구성하고, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)은 고열팽창성의 폴리이미드층을 구성한다. 저열팽창성의 폴리이미드층은, 열팽창 계수(CTE)가 바람직하게는 1ppm/K 이상 25ppm/K 이하의 범위 내, 보다 바람직하게는 3ppm/K 이상 25ppm/K 이하의 범위 내인 폴리이미드층을 말한다. 또한, 고열팽창성의 폴리이미드층은, CTE가 바람직하게는 35ppm/K 이상, 보다 바람직하게는 35ppm/K 이상 80ppm/K 이하의 범위 내, 더욱 바람직하게는 35ppm/K 이상 70ppm/K 이하의 범위 내인 폴리이미드층을 말한다. 사용하는 원료의 조합, 두께, 건조·경화 조건을 적절하게 변경함으로써 원하는 CTE를 갖는 폴리이미드층으로 할 수 있다.In the polyimide films 100 and 101 of the present embodiment, the non-thermoplastic polyimide layer 110 constitutes a low thermal expansion polyimide layer, and the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B constitute a high thermal expansion polyimide layer. make up The low thermal expansion polyimide layer refers to a polyimide layer having a coefficient of thermal expansion (CTE) preferably within the range of 1 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, more preferably within the range of 3 ppm/K or more and 25 ppm/K or less. Further, the high thermal expansible polyimide layer has a CTE of preferably 35 ppm/K or more, more preferably within the range of 35 ppm/K or more and 80 ppm/K or less, and still more preferably in the range of 35 ppm/K or more and 70 ppm/K or less. refers to the inner polyimide layer. A polyimide layer having a desired CTE can be obtained by appropriately changing the combination of raw materials, thickness, and drying/curing conditions.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 하기의 조건 (i) 내지 (iii)을 충족하는 것이다.The polyimide films 100 and 101 of the present embodiment satisfy the following conditions (i) to (iii).

(i) 열팽창 계수가 10 내지 30ppm/K의 범위 내인 것.(i) The thermal expansion coefficient is in the range of 10 to 30 ppm/K.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 휨의 발생이나 치수 안정성의 저하를 방지하기 위해, 필름 전체의 열팽창 계수(CTE)가 10ppm/K 이상 30ppm/K 이하의 범위 내인 것이 중요하고, 바람직하게는 10ppm/K 이상 25ppm/K 이하의 범위 내가 좋고, 15 내지 25ppm/K의 범위 내가 보다 바람직하다. CTE가 10ppm/K 미만이거나, 또는 30ppm/K를 초과하면, 휨이 발생하거나, 치수 안정성이 저하되거나 한다.When the polyimide films 100 and 101 of the present embodiment are applied, for example, as an insulating resin layer of a circuit board, in order to prevent occurrence of warpage and a decrease in dimensional stability, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the entire film It is important that ) is within the range of 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less, preferably within the range of 10 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, and more preferably within the range of 15 to 25 ppm/K. When the CTE is less than 10 ppm/K or exceeds 30 ppm/K, warpage occurs or dimensional stability deteriorates.

(ii) 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하인 것.(ii) Those with an oxygen permeability of 5.5 × 10 -14 mol/(m 2 ·s ·Pa) or less.

폴리이미드 필름(100, 101)의 산소 투과도를 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하로 제어함으로써, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 반복하여 고온에 노출되는 환경이라도, 장기간에 걸쳐 배선층과의 접착성이 유지되어, 우수한 장기 내열 접착성이 얻어진다. 폴리이미드 필름(100, 101)의 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩)을 초과하는 경우는, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하여, 반복하여 고온에 노출된 경우에, 절연 수지층을 투과한 산소에 의해 배선층의 산화가 진행되어, 배선층과 절연 수지층의 접착성이 저하되어 버린다.By controlling the oxygen permeability of the polyimide films 100 and 101 to 5.5 × 10 -14 mol/(m 2 ·s ·Pa) or less, for example, in the case of application as an insulating resin layer of a circuit board, repeated high temperature Even in an environment where it is exposed to, the adhesiveness with the wiring layer is maintained over a long period of time, and excellent long-term heat-resistant adhesiveness is obtained. When the oxygen permeability of the polyimide films 100 and 101 exceeds 5.5 × 10 -14 mol/(m 2 ·s ·Pa), for example, it is applied as an insulating resin layer of a circuit board and repeatedly exposed to high temperatures. In this case, oxidation of the wiring layer proceeds due to oxygen that has passed through the insulating resin layer, and the adhesion between the wiring layer and the insulating resin layer is lowered.

(iii) 비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 하기 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기(이하, 「비페닐 골격 함유 잔기」라고 기재하는 경우가 있음)의 비율이 50㏖% 이상인 것.(iii) Monomer residues having a biphenyl skeleton calculated by the following formula (1) with respect to all monomer residues derived from the non-thermoplastic polyimide and all monomer components constituting the thermoplastic polyimide (hereinafter referred to as "biphenyl skeleton-containing (sometimes described as "residue") is 50 mol% or more.

Figure pat00002
Figure pat00002

식(1)에 있어서, Mi는, 제i층의 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기가 차지하는 비율(단위; ㏖%)이고, Li는, 제i층의 폴리이미드층의 두께(단위; ㎛)이고, L은 폴리이미드 필름의 두께(단위; ㎛)이고, n은 2 이상의 정수이다.In formula (1), M i is the ratio (unit: mol%) of biphenyl backbone-containing residues among all monomer residues derived from all monomer components in the polyimide constituting the polyimide layer of the i-th layer. ), L i is the thickness (unit; μm) of the polyimide layer of the i-th layer, L is the thickness (unit: μm) of the polyimide film, and n is an integer greater than or equal to 2.

폴리이미드 필름(100, 101)을 구성하는 폴리이미드의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격 함유 잔기의 비율이 50㏖% 이상임으로써, 모노머 유래의 강직 구조에 의해 폴리머 전체에 질서 구조가 형성되기 쉬워져, 산소 투과도를 저하시킴과 함께, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접을 저하시킬 수 있다. 비페닐 골격 함유 잔기의 비율이 50㏖% 미만이면, 유전 정접이 충분히 저하되지 않는다. 또한, 폴리이미드 필름의 두께를 얇게 하면 산소 투과도가 충분히 저하되지 않는다. 이 때문에, 예를 들어 회로 기판에 사용하였을 때, 장기 내열 접착성이 불충분해짐과 함께, 고속 전송에 대한 적응이 곤란해진다. 이러한 관점에서, 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격 함유 잔기의 비율은, 60㏖% 이상인 것이 바람직하고, 65㏖% 이상인 것이 보다 바람직하다. 한편, 회로 기판 재료로서 사용할 수 있는 폴리이미드 필름에 필요한 물성을 유지하기 위해, 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격 함유 잔기의 비율은 80㏖% 이하로 하는 것이 바람직하다.When the ratio of biphenyl skeleton-containing residues calculated by formula (1) to all monomer residues derived from all monomer components of the polyimide constituting the polyimide films 100 and 101 is 50 mol% or more, the monomer origin The rigid structure of makes it easy to form an ordered structure throughout the polymer, reducing the oxygen permeability, and reducing the dielectric loss tangent by suppressing molecular motion. If the proportion of biphenyl skeleton-containing residues is less than 50 mol%, the dielectric loss tangent does not sufficiently decrease. In addition, when the thickness of the polyimide film is thin, the oxygen permeability does not sufficiently decrease. For this reason, when used for a circuit board, for example, long-term heat-resistant adhesion becomes insufficient, and adaptation to high-speed transmission becomes difficult. From such a viewpoint, it is preferable that it is 60 mol% or more, and, as for the ratio of the biphenyl skeleton containing residue computed by Formula (1), it is more preferable that it is 65 mol% or more. On the other hand, in order to maintain physical properties required for a polyimide film usable as a circuit board material, the proportion of biphenyl skeleton-containing residues calculated by Formula (1) is preferably 80 mol% or less.

여기서, 비페닐 골격이란, 하기의 식(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 페닐기가 단결합된 골격이다. 따라서, 비페닐 골격 함유 잔기란, 예를 들어 비페닐디일기, 비페닐테트라일기 등을 들 수 있다. 이들 잔기에 포함되는 방향환은, 임의의 치환기를 갖고 있어도 된다.Here, the biphenyl skeleton is a skeleton in which two phenyl groups are single-bonded, as shown in formula (a) below. Therefore, the biphenyl skeleton-containing residue includes, for example, a biphenyldiyl group and a biphenyltetrayl group. The aromatic ring contained in these residues may have arbitrary substituents.

비페닐디일기의 대표예로서는, 하기의 식(b)로 표시되는 것을 들 수 있다. 비페닐테트라일기의 대표예로서는, 하기의 식(c)로 표시되는 것을 들 수 있다. 또한, 비페닐디일기 및 비페닐테트라일기에 있어서, 방향환에 있어서의 결합손은, 식(b) 및 식(c)에 나타내는 위치에 한정되는 것은 아니며, 또한 상기한 바와 같이, 이들 잔기에 포함되는 방향환은, 임의의 치환기를 갖고 있어도 된다.Representative examples of the biphenyldiyl group include those represented by the following formula (b). Representative examples of the biphenyl tetrayl group include those represented by the following formula (c). In addition, in the biphenyldiyl group and the biphenyltetrayl group, the bond in the aromatic ring is not limited to the positions shown in the formulas (b) and (c), and as described above, these residues The aromatic ring contained may have arbitrary substituents.

Figure pat00003
Figure pat00003

비페닐 골격 함유 잔기는, 원료 모노머에서 유래되는 구조이며, 산 이무수물로부터 유도되는 것이어도 되고, 디아민 화합물로부터 유도되는 것이어도 된다.The biphenyl skeleton-containing residue has a structure derived from a raw material monomer, and may be derived from an acid dianhydride or derived from a diamine compound.

비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기의 대표예로서는, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물(BPDA), 2,3',3,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-비페놀-비스(트리멜리테이트 무수물) 등의 산 이무수물로부터 유도되는 잔기를 들 수 있다. 이들 중에서도, 특히 BPDA로부터 유도되는 산 이무수물 잔기(이하, 「BPDA 잔기」라고도 함)는, 폴리머의 질서 구조를 형성하기 쉽고, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접이나 흡습성을 저하시킬 수 있으므로 바람직하다. 또한, BPDA 잔기는, 폴리이미드 전구체의 폴리아미드산으로서의 겔막의 자기 지지성을 부여할 수 있다.Representative examples of acid dianhydride residues having a biphenyl skeleton include 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride (BPDA). and residues derived from acid dianhydrides such as acid dianhydride and 4,4'-biphenol-bis(trimellitate anhydride). Among these, acid dianhydride residues derived from BPDA (hereinafter also referred to as “BPDA residues”) are preferred because they easily form an ordered structure in a polymer and can reduce the dielectric loss tangent and hygroscopicity by suppressing molecular motion. . In addition, the BPDA residue can impart self-supporting properties to the gel film as the polyamic acid of the polyimide precursor.

비페닐 골격을 갖는 디아민 화합물의 대표예로서는, 방향환을 2개만 갖는 디아민 화합물을 들 수 있고, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB), 2,2'-디에틸-4,4'-디아미노비페닐(m-EB), 2,2'-디에톡시-4,4'-디아미노비페닐(m-EOB), 2,2'-디프로폭시-4,4'-디아미노비페닐(m-POB), 2,2'-디-n-프로필-4,4'-디아미노비페닐(m-NPB), 2,2'-디비닐-4,4'-디아미노비페닐(VAB), 4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-디아미노-2,2'-비스(트리플루오로메틸)비페닐(TFMB) 등을 들 수 있다. 이들 디아민 화합물로부터 유도되는 잔기는, 강직 구조를 갖고 있으므로, 폴리머 전체에 질서 구조를 부여하는 작용을 갖고 있다. 이들 디아민 화합물로부터 유도되는 잔기를 함유함으로써, 산소 투과도가 낮고, 저흡습성인 폴리이미드가 얻어져, 분자쇄 내부의 수분을 저감할 수 있으므로, 유전 정접을 낮출 수 있다.Representative examples of diamine compounds having a biphenyl backbone include diamine compounds having only two aromatic rings, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2' -Diethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-EB), 2,2'-diethoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-EOB), 2,2'-dipropoxy -4,4'-diaminobiphenyl (m-POB), 2,2'-di-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 2,2'-divinyl- 4,4'-diaminobiphenyl (VAB), 4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB), etc. can be heard Since the residue derived from these diamine compounds has a rigid structure, it has an action of imparting an ordered structure to the entire polymer. By containing residues derived from these diamine compounds, a polyimide having low oxygen permeability and low hygroscopicity can be obtained, and since the moisture inside the molecular chain can be reduced, the dielectric loss tangent can be lowered.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 상기 (i) 내지 (iii)의 조건에 추가하여, 또한 다음 조건 (iv)를 충족하는 것이 바람직하다.The polyimide films 100 and 101 of the present embodiment preferably satisfy the following condition (iv) in addition to the conditions (i) to (iii) above.

(iv) 열가소성 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상인 것.(iv) Of all the monomer residues derived from all the monomer components in the thermoplastic polyimide, the ratio occupied by the biphenyl skeleton-containing residue is 30 mol% or more.

열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상임으로써, 모노머 유래의 강직 구조에 의해, 폴리머 전체에 질서 구조가 형성되므로, 열가소성이면서, 산소 투과도 및 흡습성이 낮고, 장기 내열 접착성이 우수하고, 유전 정접이 낮은 폴리이미드가 얻어진다. 또한, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 양측에 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)을 갖는 경우는, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B) 중 어느 한쪽이 상기 조건 (iv)를 충족하면 되지만, 양쪽의 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)이 모두 상기 조건 (iv)를 충족하는 것이 바람직하다.When the proportion of the biphenyl skeleton-containing residues among all the monomer residues constituting the thermoplastic polyimide is 30 mol% or more, an ordered structure is formed throughout the polymer due to the monomer-derived rigid structure, so that the oxygen permeability and hygroscopicity are improved while being thermoplastic. A polyimide with a low dielectric loss tangent, excellent long-term heat resistance and a low dielectric loss tangent is obtained. In the case where the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B are provided on both sides of the non-thermoplastic polyimide layer 110, either one of the thermoplastic polyimide layers 120A or 120B may satisfy the above condition (iv), It is preferable that both thermoplastic polyimide layers 120A and 120B satisfy the above condition (iv).

<두께><thickness>

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)의 전체의 두께 T1은, 사용하는 목적에 따라서, 소정의 범위 내로 설정하는 것이 가능하고, 예를 들어 30 내지 60㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 35 내지 50㎛의 범위 내에 있는 것이 보다 바람직하다. 두께 T1이 상기 하한값에 못 미치면, 산소 투과도를 충분히 낮추는 것이 곤란해져, 반복하여 고온에 노출된 경우에 배선층과 절연 수지층의 접착성이 저하되어 버릴 우려가 있다. 한편, 두께 T1이 상기 상한값을 초과하면, 폴리이미드 필름을 구부렸을 때에 크랙이 발생하여 파열되는 등의 문제가 발생한다.The overall thickness T1 of the polyimide films 100 and 101 of the present embodiment can be set within a predetermined range depending on the purpose of use, and is preferably within the range of 30 to 60 μm, for example, It is more preferably within the range of 35 to 50 μm. If the thickness T1 is less than the lower limit, it becomes difficult to sufficiently lower the oxygen permeability, and there is a risk that the adhesiveness between the wiring layer and the insulating resin layer may deteriorate when repeatedly exposed to high temperatures. On the other hand, if the thickness T1 exceeds the above upper limit, problems such as cracks and rupture occur when the polyimide film is bent.

또한, 폴리이미드 필름(100, 101)의 전체의 두께 T1에 대한 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)의 합계 두께 T2(여기서, T2는 도 1의 T2A를, 도 2의 T2A+T2B를 의미함)의 비율 T2/T1이 0.17 이하인 것이 바람직하고, 0.10 내지 0.15의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 이 비의 값이 0.17보다 크면, 산소 투과도가 커짐과 함께, 유전 정접의 저하가 곤란해진다. 그 때문에, 예를 들어 회로 기판에 사용하였을 때, 장기 내열 접착성이 불충분해짐과 함께, 고속 전송에 대한 적응이 곤란해진다.In addition, the total thickness T2 of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B relative to the total thickness T1 of the polyimide films 100 and 101 (here, T2 means T2A in FIG. 1 and T2A+T2B in FIG. 2) ) is preferably 0.17 or less, and more preferably in the range of 0.10 to 0.15. When the value of this ratio is larger than 0.17, the oxygen permeability increases and it becomes difficult to lower the dielectric loss tangent. Therefore, when used for, for example, a circuit board, long-term heat-resistant adhesion becomes insufficient, and adaptation to high-speed transmission becomes difficult.

비율 T2/T1의 하한은 특별히 한정되지 않는다. 비율 T2/T1이 작아질수록, 산소 투과도 및 유전 정접의 저감을 도모하기 쉬워지기 때문이다. 단, 비율 T2/T1이 작아질수록, 상대적으로 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)이 차지하는 두께 비율이 작아진다는 점에서, 비율 T2/T1의 하한은, 폴리이미드 필름(100, 101)과 배선층의 접착 신뢰성을 확보할 수 있는 값으로서, 예를 들어 0.02 정도가 바람직하다.The lower limit of the ratio T2/T1 is not particularly limited. This is because the smaller the ratio T2/T1, the easier it is to reduce the oxygen permeability and the dielectric loss tangent. However, since the thickness ratio occupied by the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B relatively decreases as the ratio T2/T1 decreases, the lower limit of the ratio T2/T1 is the polyimide film 100 and 101 As a value capable of securing the adhesion reliability of the wiring layer, for example, about 0.02 is preferable.

또한, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 두께 T3은, 사용하는 목적에 따라서, 소정의 범위 내로 설정하는 것이 가능하고, 예를 들어 25 내지 49㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 30 내지 49㎛의 범위 내에 있는 것이 보다 바람직하다. 두께 T3이 상기 하한값에 못 미치면, 폴리이미드 필름(100, 101)의 유전 특성의 개선 효과가 작아짐과 함께, 산소 투과도가 커져, 반복하여 고온에 노출된 경우에 배선층과 절연 수지층의 접착성이 저하되어 버릴 우려가 있다.In addition, the thickness T3 of the non-thermoplastic polyimide layer 110 can be set within a predetermined range depending on the purpose of use, and is preferably in the range of 25 to 49 μm, for example, 30 to 49 μm. It is more preferable to be within the range of When the thickness T3 is less than the lower limit, the effect of improving the dielectric properties of the polyimide films 100 and 101 is reduced, the oxygen permeability is increased, and the adhesion between the wiring layer and the insulating resin layer when repeatedly exposed to high temperatures is reduced. There is a risk of deterioration.

일반적으로 폴리이미드는, 산 이무수물과 디아민 화합물을 용매 중에서 반응시켜, 폴리아미드산을 생성한 후 가열 폐환(이미드화)시킴으로써 제조할 수 있다. 예를 들어, 산 이무수물과 디아민 화합물을 거의 등몰로 유기 용매 중에 용해시켜, 0 내지 100℃의 범위 내의 온도에서 30분 내지 24시간 교반하여 중합 반응시킴으로써 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산이 얻어진다. 반응 시에는, 생성되는 전구체가 유기 용매 중에 5 내지 30중량%의 범위 내, 바람직하게는 10 내지 20중량%의 범위 내가 되도록 반응 성분을 용해한다. 중합 반응에 사용하는 유기 용매로서는, 예를 들어 N,N-디메틸포름아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N,N-디에틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), 2-부타논, 디메틸술폭시드(DMSO), 헥사메틸포스포르아미드, N-메틸카프로락탐, 황산디메틸, 시클로헥사논, 디옥산, 테트라히드로푸란, 디글라임, 트리글라임, 크레졸 등을 들 수 있다. 이들 용매를 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있고, 나아가 크실렌, 톨루엔과 같은 방향족 탄화수소의 병용도 가능하다. 또한, 이러한 유기 용매의 사용량으로서는 특별히 제한되는 것은 아니지만, 중합 반응에 의해 얻어지는 폴리아미드산 용액의 농도가 5 내지 30중량% 정도가 되는 사용량으로 조정하여 사용하는 것이 바람직하다.In general, polyimide can be produced by reacting an acid dianhydride and a diamine compound in a solvent to produce a polyamic acid, followed by heat cyclization (imidization). For example, polyamic acid as a precursor of polyimide is obtained by dissolving an acid dianhydride and a diamine compound in substantially equimolar amounts in an organic solvent, stirring them at a temperature in the range of 0 to 100°C for 30 minutes to 24 hours, and causing a polymerization reaction. During the reaction, the reaction components are dissolved so that the precursor to be produced is within the range of 5 to 30% by weight, preferably within the range of 10 to 20% by weight, in the organic solvent. As an organic solvent used for a polymerization reaction, for example, N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, N-methyl-2-p Rolidone (NMP), 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme , Cresol, etc. are mentioned. Two or more of these solvents may be used in combination, and also aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may be used in combination. The amount of the organic solvent used is not particularly limited, but it is preferable to adjust the amount used such that the concentration of the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction is about 5 to 30% by weight.

합성된 폴리아미드산은, 통상, 반응 용매 용액으로서 사용하는 것이 유리하지만, 필요에 따라 농축, 희석 또는 다른 유기 용매로 치환할 수 있다. 또한, 폴리아미드산은 일반적으로 용매 가용성이 우수하므로, 유리하게 사용된다. 폴리아미드산의 용액의 점도는, 500cps 내지 100,000cps의 범위 내인 것이 바람직하다. 이 범위를 벗어나면, 코터 등에 의한 도공 작업 시에 필름에 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워진다. 폴리아미드산을 이미드화시키는 방법은, 특별히 제한되지 않고, 예를 들어 상기 용매 중에서, 80 내지 400℃의 범위 내의 온도 조건에서 1 내지 24시간에 걸쳐 가열한다고 하는 열처리가 적합하게 채용된다.The synthesized polyamic acid is usually advantageously used as a reaction solvent solution, but can be concentrated, diluted, or substituted with another organic solvent if necessary. In addition, polyamic acids are advantageously used because they generally have good solvent solubility. The viscosity of the polyamic acid solution is preferably in the range of 500 cps to 100,000 cps. Outside of this range, defects such as uneven thickness and streaks tend to occur in the film during coating work by a coater or the like. The method of imidizing the polyamic acid is not particularly limited, and, for example, a heat treatment of heating in the above solvent at a temperature within a range of 80 to 400°C for 1 to 24 hours is suitably employed.

다음으로, 비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드에 대해, 보다 구체적으로 설명한다.Next, non-thermoplastic polyimide and thermoplastic polyimide will be described more specifically.

<비열가소성 폴리이미드><Non-thermoplastic polyimide>

폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 비열가소성 폴리이미드층(110)을 구성하는 비열가소성 폴리이미드는, 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 비열가소성 폴리이미드는, 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기를 60㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 70㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 비열가소성 폴리이미드 중의 비페닐 골격 함유 잔기를 60㏖% 이상으로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)을 구성하는 폴리이미드 전체에 있어서의 비페닐 골격 함유 잔기의 함유 비율을 높이고, 산소 투과도를 낮추어, 저유전 정접화를 도모할 수 있다.In the polyimide films 100 and 101, the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 110 contains an acid dianhydride residue and a diamine residue. The non-thermoplastic polyimide preferably contains 60 mol% or more of biphenyl skeleton-containing residues, more preferably 70 mol% or more, among all monomer residues derived from all monomer components. By setting the biphenyl skeleton-containing residue in the non-thermoplastic polyimide to 60 mol% or more, the content ratio of the biphenyl skeleton-containing residue in the entire polyimide constituting the polyimide films 100 and 101 is increased and the oxygen permeability is lowered. , a low dielectric loss tangent can be achieved.

(산 이무수물 잔기)(acid dianhydride residue)

비열가소성 폴리이미드는, 전체 산 이무수물 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기를 35㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 50㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 식(c)로 표시되는 비페닐테트라일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다.The non-thermoplastic polyimide preferably contains 35 mol% or more of acid dianhydride residues having a biphenyl skeleton, and more preferably contains 50 mol% or more of all acid dianhydride residues. More preferably, it is good to contain the biphenyl tetrayl group represented by formula (c) in the said amount.

비열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용되는 산 이무수물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 산 이무수물 잔기로서, 예를 들어 피로멜리트산 이무수물(PMDA), 1,4-페닐렌비스(트리멜리트산 모노에스테르) 이무수물(TAHQ), 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물(NTCDA), 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-옥시디프탈산 무수물, 2,2',3,3'-, 2,3,3',4'- 또는 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,3',3,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)에테르 이무수물, 3,3",4,4"-, 2,3,3",4"- 또는 2,2",3,3"-p-테르페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)-프로판 이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)메탄 이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)술폰 이무수물, 1,1-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)에탄 이무수물, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- 또는 1,2,9,10-페난트렌-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-안트라센테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)테트라플루오로프로판 이무수물, 2,3,5,6-시클로헥산 이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 1,4,5,8-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사히드로나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 2,6- 또는 2,7-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-(또는 1,4,5,8-)테트라클로로나프탈렌-1,4,5,8-(또는 2,3,6,7-)테트라카르복실산 이무수물, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- 또는 5,6,11,12-페릴렌-테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄-1,2,3,4-테트라카르복실산 이무수물, 피라진-2,3,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 피롤리딘-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 티오펜-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-비스(2,3-디카르복시페녹시)디페닐메탄 이무수물, 에틸렌글리콜 비스안히드로트리멜리테이트 등의 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 산 이무수물 잔기를 들 수 있다.The non-thermoplastic polyimide may contain, in addition to the above acid dianhydride residues having a biphenyl backbone, acid dianhydride residues generally used as raw materials for polyimide within a range not impairing the effect of the invention. As such acid dianhydride residues, for example, pyromellitic dianhydride (PMDA), 1,4-phenylenebis(trimellitic acid monoester) dianhydride (TAHQ), 2,3,6,7-naphthalenetetracar Boxylic acid dianhydride (NTCDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfotetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'-, 2 ,3,3',4'- or 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, 3,3",4,4"-, 2,3,3",4"- or 2,2",3,3"-p-terphenyltetra carboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracentetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3 ,4-dicarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8 -Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-(or 1,4,5,8-)tetrachloronaphthalene-1,4; 5,8-(or 2,3,6,7-)tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5 ,6,11,12-perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride Water, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(2,3- and acid dianhydride residues derived from aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides such as dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride and ethylene glycol bisanhydrotrimellitate.

(디아민 잔기)(diamine residue)

비열가소성 폴리이미드는, 전체 디아민 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기를 70㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 85㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 식(b)로 표시되는 비페닐디일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다. 식(b)로 표시되는 비페닐디일기는, 강직 구조를 갖고, 폴리머 전체에 질서 구조를 부여하는 작용을 갖고 있으므로, 산소 투과도를 낮춤과 함께, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접을 저하시킬 수 있다.The non-thermoplastic polyimide preferably contains 70 mol% or more of diamine residues having a biphenyl skeleton, and more preferably contains 85 mol% or more of all diamine residues. More preferably, it is good to contain the biphenyldiyl group represented by formula (b) in the said amount. Since the biphenyldiyl group represented by formula (b) has a rigid structure and has an action of imparting an ordered structure to the entire polymer, it can lower the oxygen permeability and reduce the dielectric loss tangent by suppressing molecular motion. there is.

비열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용할 수 있는 디아민 화합물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 디아민 잔기로서, 예를 들어 1,4-디아미노벤젠(p-PDA; 파라페닐렌디아민), 4-아미노페닐-4'-아미노벤조에이트(APAB), 3,3'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 3,4'-디아미노디페닐프로판, 3,4'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노벤조페논, (3,3'-비스아미노)디페닐아민, 1,4-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 3-[3-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(APB), 4,4'-[2-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[4-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[5-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 비스[4,4'-(3-아미노페녹시)]벤즈아닐리드, 4-[3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]페녹시]아닐린, 4,4'-[옥시비스(3,1-페닐렌옥시)]비스아닐린, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]에테르(BAPE), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰(BAPS), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]케톤(BAPK), 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP), 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]메탄, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]에테르, 비스[4-(3-아미노페녹시)]벤조페논, 9,9-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]플루오렌, 2,2-비스-[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-메틸렌디-o-톨루이딘, 4,4'-메틸렌디-2,6-크실리딘, 4,4'-메틸렌-2,6-디에틸아닐린, 3,3'-디아미노디페닐에탄, 3,3'-디아미노비페닐, 3,3'-디메톡시벤지딘, 3,3"-디아미노-p-테르페닐, 4,4'-[1,4-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 4,4'-[1,3-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 비스(p-아미노시클로헥실)메탄, 비스(p-β-아미노-t-부틸페닐)에테르, 비스(p-β-메틸-δ-아미노펜틸)벤젠, p-비스(2-메틸-4-아미노펜틸)벤젠, p-비스(1,1-디메틸-5-아미노펜틸)벤젠, 1,5-디아미노나프탈렌, 2,6-디아미노나프탈렌, 2,4-비스(β-아미노-t-부틸)톨루엔, 2,4-디아미노톨루엔, m-크실렌-2,5-디아민, p-크실렌-2,5-디아민, m-크실릴렌디아민, p-크실릴렌디아민, 2,6-디아미노피리딘, 2,5-디아미노피리딘, 2,5-디아미노-1,3,4-옥사디아졸, 피페라진, 2'-메톡시-4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 1,3-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스(4-아미노페녹시)-2,5-디-tert-부틸벤젠, 6-아미노-2-(4-아미노페녹시)벤조옥사졸, 2,6-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,3'-디에틸-5,5'-디메틸디페닐메탄, 비스(4-아미노-3-에틸-5-메틸페닐)메탄 등의 방향족 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기, 다이머산의 2개의 말단 카르복실산기가 1급의 아미노메틸기 또는 아미노기로 치환되어 이루어지는 다이머산형 디아민 등의 지방족 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기 등을 들 수 있다.The non-thermoplastic polyimide may contain, in addition to the diamine residue having a biphenyl skeleton described above, a residue of a diamine compound that can be generally used as a raw material for polyimide within a range not impairing the effect of the invention. As such diamine residues, for example, 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB), 3,3'-diaminodiphenyl Methane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4 '-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminobenzo Phenone, (3,3'-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 3-[ 3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB) , 4,4'-[2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4 ,4'-[5-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, bis[4,4'-(3-aminophenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4-( 4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether ( BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK), 2,2-bis-[4-(3 -aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4- (3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-( 3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy) Phenyl] hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xyly Dean, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3 "-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis(1 -methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2, 4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p -xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2'-methoxy-4, 4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis[2-(4-) Aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)-2,5-di-tert-butylbenzene, 6-amino-2-(4-aminophenoxy)benzoxazole , 2,6-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,3'-diethyl-5,5' Diamine residues derived from aromatic diamine compounds such as dimethyldiphenylmethane and bis(4-amino-3-ethyl-5-methylphenyl)methane, and the two terminal carboxylic acid groups of dimer acid are converted to primary aminomethyl groups or amino groups. and diamine residues derived from aliphatic diamine compounds such as substituted dimer acid type diamines.

비열가소성 폴리이미드에 있어서, 상기 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 산 이무수물 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 산소 투과도, 유전 특성, 열팽창 계수, 저장 탄성률, 인장 탄성률 등을 제어할 수 있다. 또한, 비열가소성 폴리이미드에 있어서, 폴리이미드의 구조 단위를 복수 갖는 경우는, 블록으로서 존재해도 되고, 랜덤으로 존재하고 있어도 되지만, 랜덤으로 존재하는 것이 바람직하다.In the non-thermoplastic polyimide, oxygen permeability, dielectric properties, thermal expansion coefficient, Storage modulus, tensile modulus and the like can be controlled. In addition, in non-thermoplastic polyimide, when it has a plurality of polyimide structural units, it may exist as a block or may exist randomly, but it is preferable to exist randomly.

비열가소성 폴리이미드는, 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 방향족 테트라카르복실산 잔기 및 방향족 디아민으로부터 유도되는 방향족 디아민 잔기를 포함하는 것이 바람직하다. 비열가소성 폴리이미드에 포함되는 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를, 모두 방향족기로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)의 고온 환경하에서의 치수 정밀도를 향상시킬 수 있다.The non-thermoplastic polyimide preferably contains an aromatic tetracarboxylic acid residue derived from an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine. By making both the acid dianhydride residue and the diamine residue contained in the non-thermoplastic polyimide an aromatic group, the dimensional accuracy of the polyimide films 100 and 101 in a high-temperature environment can be improved.

비열가소성 폴리이미드의 이미드기 농도는, 33중량% 이하인 것이 바람직하다. 여기서, 「이미드기 농도」는, 폴리이미드 중의 이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을, 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 의미한다. 이미드기 농도가 33중량%를 초과하면, 극성기의 증가에 의해 흡습성이 증가한다. 상기 산 이무수물과 디아민 화합물의 조합을 선택함으로써, 비열가소성 폴리이미드 중의 분자의 배향성을 제어함으로써, 이미드기 농도 저하에 수반되는 CTE의 증가를 억제하여, 저흡습성을 담보할 수 있다.It is preferable that the imide group concentration of the non-thermoplastic polyimide is 33% by weight or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide. When the imide group concentration exceeds 33% by weight, hygroscopicity increases due to an increase in polar groups. By selecting the combination of the acid dianhydride and the diamine compound, the orientation of the molecules in the non-thermoplastic polyimide can be controlled, thereby suppressing the increase in CTE associated with a decrease in the imide group concentration and ensuring low hygroscopicity.

비열가소성 폴리이미드의 중량 평균 분자량은, 예를 들어 10,000 내지 400,000의 범위 내가 바람직하고, 50,000 내지 350,000의 범위 내가 보다 바람직하다. 중량 평균 분자량이 10,000 미만이면, 필름의 강도가 저하되어 취화되기 쉬운 경향이 된다. 한편, 중량 평균 분자량이 400,000을 초과하면, 과도하게 점도가 증가하여 도공 작업 시에 필름 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬운 경향이 된다.The weight average molecular weight of the non-thermoplastic polyimide is, for example, preferably within a range of 10,000 to 400,000, and more preferably within a range of 50,000 to 350,000. If the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film decreases and it tends to become brittle. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and defects such as uneven film thickness and streaks tend to occur easily during the coating operation.

<열가소성 폴리이미드><Thermoplastic polyimide>

폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)을 구성하는 열가소성 폴리이미드는, 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 열가소성 폴리이미드는, 상기한 조건 (iv)와 같이, 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기를 30㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 40㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 열가소성 폴리이미드 중의 비페닐 골격 함유 잔기를 30㏖% 이상으로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)을 구성하는 폴리이미드 전체에 있어서의, 비페닐 골격 함유 잔기의 함유 비율을 높여, 산소 투과도를 저감함과 함께, 저유전 정접화를 도모할 수 있다. 한편, 열가소성 폴리이미드는, 금속층과의 접착성을 확보하기 위해 폴리이미드 분자쇄의 유연성을 향상시켜, 열가소성을 부여할 필요가 있다는 점에서, 비페닐 골격 함유 잔기의 함유량 상한을 65㏖% 이하로 하는 것이 바람직하다.In the polyimide films 100 and 101, the thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B contains an acid dianhydride residue and a diamine residue. The thermoplastic polyimide preferably contains 30 mol% or more of biphenyl skeleton-containing residues, more preferably 40 mol% or more, among all monomer residues derived from all monomer components, as in condition (iv) above. do. By setting the biphenyl skeleton-containing residue in the thermoplastic polyimide to 30 mol% or more, the content ratio of the biphenyl skeleton-containing residue in the entire polyimide constituting the polyimide films 100 and 101 is increased, and the oxygen permeability is reduced. In addition, a low dielectric loss tangent can be achieved. On the other hand, in thermoplastic polyimide, since it is necessary to improve the flexibility of the polyimide molecular chain to impart thermoplasticity in order to secure adhesion to the metal layer, the upper limit of the content of the biphenyl skeleton-containing residue is set to 65 mol% or less. It is desirable to do

(산 이무수물 잔기)(acid dianhydride residue)

열가소성 폴리이미드는, 전체 산 이무수물 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기를 60㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, 식(c)로 표시되는 비페닐테트라일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다.It is preferable that the thermoplastic polyimide contains 60 mol% or more of acid dianhydride residues having a biphenyl skeleton among all acid dianhydride residues. More preferably, it is good to contain the biphenyl tetrayl group represented by formula (c) in the said amount.

열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물의 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용할 수 있는 산 이무수물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 산 이무수물 잔기로서, 비열가소성 폴리이미드에 대해 예시한 산 이무수물의 잔기를 들 수 있다.The thermoplastic polyimide may contain, in addition to the acid dianhydride residues having a biphenyl skeleton described above, acid dianhydride residues that can be generally used as raw materials for polyimide within a range not impairing the effects of the invention. As such acid dianhydride residues, acid dianhydride residues exemplified for non-thermoplastic polyimide can be mentioned.

(디아민 잔기)(diamine residue)

열가소성 폴리이미드는, 전체 디아민 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기를 1㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 5㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 식(b)로 표시되는 비페닐디일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다. 식(b)로 표시되는 비페닐디일기는, 강직 구조를 갖고, 폴리머 전체에 질서 구조를 부여하는 작용을 갖고 있으므로, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접이나 흡습성을 저하시킬 수 있다. 또한, 열가소성 폴리이미드의 원료로서 사용함으로써, 산소 투과도가 낮아, 장기 내열 접착성이 우수한 폴리이미드가 얻어진다.The thermoplastic polyimide preferably contains 1 mol% or more of diamine residues having a biphenyl skeleton, and more preferably contains 5 mol% or more of all diamine residues. More preferably, it is good to contain the biphenyldiyl group represented by formula (b) in the said amount. Since the biphenyldiyl group represented by formula (b) has a rigid structure and has an action of imparting an ordered structure to the entire polymer, the dielectric loss tangent and hygroscopicity can be reduced by suppressing molecular motion. In addition, by using it as a raw material for thermoplastic polyimide, a polyimide having low oxygen permeability and excellent long-term heat-resistant adhesiveness can be obtained.

열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용할 수 있는 디아민 화합물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 디아민 잔기로서, 비열가소성 폴리이미드에 대해 예시한 디아민 화합물의 잔기를 들 수 있다.The thermoplastic polyimide may contain, in addition to the diamine residue having a biphenyl skeleton described above, a residue of a diamine compound that can be generally used as a raw material for polyimide within a range not impairing the effects of the invention. As such a diamine residue, the residue of the diamine compound exemplified for non-thermoplastic polyimide can be mentioned.

열가소성 폴리이미드에 있어서, 상기 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 산 이무수물 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 열팽창 계수, 인장 탄성률, 유리 전이 온도 등을 제어할 수 있다. 또한, 열가소성 폴리이미드에 있어서, 폴리이미드의 구조 단위를 복수 갖는 경우는, 블록으로서 존재해도 되고, 랜덤으로 존재해도 되지만, 랜덤으로 존재하는 것이 바람직하다.In the thermoplastic polyimide, by selecting the types of acid dianhydride residues and diamine residues or the molar ratio of each when two or more types of acid dianhydride residues or diamine residues are applied, the thermal expansion coefficient, tensile modulus, glass transition temperature, etc. can control. In addition, in thermoplastic polyimide, when it has a plurality of structural units of polyimide, it may exist as a block or may exist randomly, but it is preferable to exist randomly.

열가소성 폴리이미드는, 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 방향족 테트라카르복실산 잔기 및 방향족 디아민으로부터 유도되는 방향족 디아민 잔기를 포함하는 것이 바람직하다. 열가소성 폴리이미드에 포함되는 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를, 모두 방향족기로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)의 고온 환경하에서의 폴리이미드의 열화를 억제할 수 있다.The thermoplastic polyimide preferably contains an aromatic tetracarboxylic acid residue derived from an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine. Deterioration of the polyimide in the high-temperature environment of the polyimide films 100 and 101 can be suppressed by making both the acid dianhydride residue and the diamine residue contained in the thermoplastic polyimide an aromatic group.

열가소성 폴리이미드의 이미드기 농도는, 30중량% 이하인 것이 바람직하다. 여기서, 「이미드기 농도」는, 폴리이미드 중의 이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을, 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 의미한다. 이미드기 농도가 30중량%를 초과하면, 유리 전이 온도 이상의 온도에서의 탄성률이 저하되기 어려워지고, 또한 극성기의 증가에 의해 저흡습성도 악화된다.The imide group concentration of the thermoplastic polyimide is preferably 30% by weight or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide. When the imide group concentration exceeds 30% by weight, the elastic modulus at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature becomes less likely to decrease, and the low hygroscopicity deteriorates due to an increase in polar groups.

열가소성 폴리이미드의 중량 평균 분자량은, 예를 들어 10,000 내지 400,000의 범위 내가 바람직하고, 50,000 내지 350,000의 범위 내가 보다 바람직하다. 중량 평균 분자량이 10,000 미만이면, 필름의 강도가 저하되어 취화되기 쉬운 경향이 된다. 한편, 중량 평균 분자량이 400,000을 초과하면, 과도하게 점도가 증가하여 도공 작업 시에 필름 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬운 경향이 된다.The weight average molecular weight of the thermoplastic polyimide is, for example, preferably within a range of 10,000 to 400,000, and more preferably within a range of 50,000 to 350,000. If the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film decreases and it tends to become brittle. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and defects such as uneven film thickness and streaks tend to occur easily during the coating operation.

폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)은 접착층으로서 기능하여, 구리박 등의 금속층과의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 그 때문에, 열가소성 폴리이미드는, 유리 전이 온도가 200℃ 이상 350℃ 이하의 범위 내가 바람직하고, 200℃ 이상 320℃ 이하의 범위 내가 보다 바람직하다.In the polyimide films 100 and 101, the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B function as adhesive layers and can improve adhesion to metal layers such as copper foil. Therefore, the glass transition temperature of the thermoplastic polyimide is preferably within the range of 200°C or more and 350°C or less, and more preferably within the range of 200°C or more and 320°C or less.

열가소성 폴리이미드는, 예를 들어 회로 기판의 배선층에 접하는 접착층이 되기 때문에, 구리의 확산을 억제하기 위해 완전히 이미드화된 구조가 가장 바람직하다. 단, 폴리이미드의 일부가 아미드산으로 되어 있어도 된다. 그 이미드화율은, 푸리에 변환 적외 분광 광도계(시판품: 니혼분코 제조 FT/IR620)를 사용하여, 1회 반사 ATR법으로 폴리이미드 박막의 적외선 흡수 스펙트럼을 측정함으로써, 1015㎝-1 부근의 벤젠환 흡수체를 기준으로 하여, 1780㎝-1의 이미드기에서 유래되는 C=O 신축의 흡광도로부터 산출된다.Since thermoplastic polyimide becomes, for example, an adhesive layer in contact with a wiring layer of a circuit board, a completely imidized structure is most preferable in order to suppress diffusion of copper. However, a part of polyimide may be amide acid. The imidation rate was determined by measuring the infrared absorption spectrum of the polyimide thin film by the one- time reflection ATR method using a Fourier transform infrared spectrophotometer (commercial product: FT/IR620 manufactured by Nippon Bunko). Based on the absorber, it is calculated from the absorbance of the C=O stretch derived from the imide group of 1780 cm -1 .

<폴리이미드 필름의 형태><Form of polyimide film>

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 상기 조건을 충족하는 것이면 특별히 한정되는 것은 아니며, 절연 수지를 포함하는 필름(시트)이어도 되고, 예를 들어 구리박 등의 금속박, 유리판, 폴리이미드계 필름, 폴리아미드계 필름, 폴리에스테르계 필름 등의 수지 시트 등의 기재에 적층된 상태의 절연 수지의 필름이어도 된다.The polyimide films 100 and 101 of the present embodiment are not particularly limited as long as they satisfy the above conditions, and may be films (sheets) made of insulating resin, for example, metal foil such as copper foil, glass plate, polyimide It may be a film of an insulating resin laminated on a substrate such as a resin sheet such as a mid-based film, a polyamide-based film, or a polyester-based film.

<유전 정접><Dielectric loss tangent>

폴리이미드 필름(100, 101)은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 고주파 신호의 전송 시에 있어서의 유전 손실을 저감하기 위해, 필름 전체적으로, 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR)에 의해 측정하였을 때의 10㎓에 있어서의 유전 정접(Tanδ)이, 0.004 이하인 것이 바람직하다. 회로 기판의 전송 손실을 개선하기 위해서는, 특히 절연 수지층의 유전 정접을 제어하는 것이 중요하고, 유전 정접을 상기 범위 내로 함으로써, 전송 손실을 낮추는 효과가 증대된다. 따라서, 폴리이미드 필름(100, 101)을, 예를 들어 고주파 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우, 전송 손실을 효율적으로 저감할 수 있다. 10㎓에 있어서의 유전 정접이 0.004를 초과하면, 폴리이미드 필름(100, 101)을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하였을 때, 고주파 신호의 전송 경로 상에서 전기 신호의 손실이 커지는 등의 문제가 발생하기 쉬워진다. 10㎓에 있어서의 유전 정접의 하한값은 특별히 제한되지 않지만, 폴리이미드 필름(100, 101)을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우의 물성 제어를 고려할 필요가 있다.When the polyimide films 100 and 101 are applied, for example, as an insulating resin layer of a circuit board, in order to reduce dielectric loss during transmission of a high-frequency signal, the entire film is used as a split post dielectric resonator (SPDR). It is preferable that the dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz when measured by ) is 0.004 or less. In order to improve the transmission loss of the circuit board, it is particularly important to control the dielectric loss tangent of the insulating resin layer, and by setting the dielectric loss tangent within the above range, the effect of lowering the transmission loss is increased. Therefore, when the polyimide films 100 and 101 are applied as, for example, an insulating resin layer of a high-frequency circuit board, transmission loss can be reduced efficiently. When the dielectric loss tangent at 10 GHz exceeds 0.004, when the polyimide films 100 and 101 are applied as an insulating resin layer of a circuit board, problems such as increased loss of electric signals on the transmission path of high-frequency signals occur. it becomes easier to do Although the lower limit of the dielectric loss tangent at 10 GHz is not particularly limited, it is necessary to consider the control of physical properties when the polyimide films 100 and 101 are applied as insulating resin layers of circuit boards.

<유전율><Permittivity>

폴리이미드 필름(100, 101)은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 임피던스 정합성을 확보하기 위해, 필름 전체적으로, 10㎓에 있어서의 유전율이 4.0 이하인 것이 바람직하다. 10㎓에 있어서의 유전율이 4.0을 초과하면, 폴리이미드 필름(100, 101)을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하였을 때, 유전 손실의 악화로 이어져, 고주파 신호의 전송 경로 상에서 전기 신호의 손실이 커지는 등의 문제가 발생하기 쉬워진다.When the polyimide films 100 and 101 are applied, for example, as an insulating resin layer of a circuit board, in order to ensure impedance matching, the film as a whole preferably has a dielectric constant of 4.0 or less at 10 GHz. When the dielectric constant at 10 GHz exceeds 4.0, when the polyimide films 100 and 101 are applied as an insulating resin layer of a circuit board, it leads to deterioration of dielectric loss, resulting in loss of electric signals on the transmission path of high-frequency signals. Problems such as enlargement are likely to occur.

<필러><filler>

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 필요에 따라서, 비열가소성 폴리이미드층(110) 또는 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B) 중에, 무기 필러나 유기 필러를 함유해도 된다. 구체적으로는, 예를 들어 이산화규소, 산화알루미늄, 산화마그네슘, 산화베릴륨, 질화붕소, 질화알루미늄, 질화규소, 불화알루미늄, 불화칼슘 등의 무기 필러나 불소계 폴리머 입자나 액정 폴리머 입자 등의 유기 필러를 들 수 있다. 이들은 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 또한, 유기 필러를 함유하는 경우, 유기 필러는 비열가소성 폴리이미드층(110) 또는 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)을 구성하는 전체 모노머 성분에 해당되지 않는 것으로 한다.The polyimide films 100 and 101 of this embodiment may contain an inorganic filler or an organic filler in the non-thermoplastic polyimide layer 110 or the thermoplastic polyimide layer 120A, 120B as needed. Specifically, inorganic fillers such as silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, and calcium fluoride; organic fillers such as fluorine-based polymer particles and liquid crystal polymer particles; can These can be used 1 type or in mixture of 2 or more types. In the case of containing an organic filler, the organic filler shall not correspond to all monomer components constituting the non-thermoplastic polyimide layer 110 or the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B.

[폴리이미드 필름의 제조 방법][Method for producing polyimide film]

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)의 제조 방법의 바람직한 양태로서, 예를 들어 이하의 [1] 내지 [3]을 예시할 수 있다.As a preferable aspect of the manufacturing method of the polyimide films 100 and 101 of this embodiment, the following [1] - [3] can be illustrated, for example.

[1] 지지 기재에, 폴리아미드산 용액을 도포·건조하는 것을 복수 회 반복한 후, 이미드화하여 폴리이미드 필름(100, 101)을 제조하는 방법.[1] A method of producing polyimide films (100, 101) by repeating applying and drying a polyamic acid solution to a supporting base material a plurality of times, followed by imidization.

[2] 지지 기재에, 폴리아미드산 용액을 도포·건조하는 것을 복수 회 반복한 후, 폴리아미드산의 겔 필름을 지지 기재로부터 박리하고, 이미드화하여 폴리이미드 필름(100, 101)을 제조하는 방법.[2] After repeating the application and drying of the polyamic acid solution to the supporting substrate a plurality of times, the polyamic acid gel film is peeled off from the supporting substrate and imidized to produce the polyimide films 100 and 101. method.

[3] 다층 압출에 의해, 동시에 폴리아미드산 용액을 다층으로 적층한 상태에서 도포·건조한 후, 이미드화를 행함으로써 폴리이미드 필름(100, 101)을 제조하는 방법(이하, 다층 압출법).[3] A method for producing the polyimide films 100 and 101 by applying and drying the polyamic acid solution in a multi-layered state at the same time by multi-layer extrusion, followed by imidation (hereinafter referred to as multi-layer extrusion method).

상기 [1]의 방법은, 예를 들어 다음의 공정 1a 내지 1c;The method of the above [1], for example, the following steps 1a to 1c;

(1a) 지지 기재에 폴리아미드산 용액을 도포하고, 건조시키는 공정과,(1a) a step of applying a polyamic acid solution to a supporting substrate and drying it;

(1b) 지지 기재 상에서 폴리아미드산을 열처리하여 이미드화함으로써 폴리이미드층을 형성하는 공정과,(1b) a step of forming a polyimide layer by heat-treating and imidating polyamic acid on a support substrate;

(1c) 지지 기재와 폴리이미드층을 분리함으로써 폴리이미드 필름(100, 101)을 얻는 공정(1c) Process of obtaining polyimide films 100 and 101 by separating the supporting substrate and the polyimide layer

을 포함할 수 있다.can include

상기 [2]의 방법은, 예를 들어 다음의 공정 2a 내지 2c;The method of [2] above, for example, the following steps 2a to 2c;

(2a) 지지 기재에 폴리아미드산 용액을 도포하고, 건조시키는 공정과,(2a) a step of applying a polyamic acid solution to a supporting substrate and drying it;

(2b) 지지 기재와 폴리아미드산의 겔 필름을 분리하는 공정과,(2b) a step of separating the support substrate and the gel film of polyamic acid;

(2c) 폴리아미드산의 겔 필름을 열처리하여 이미드화함으로써 폴리이미드 필름(100, 101)을 얻는 공정(2c) Process of obtaining polyimide films (100, 101) by heat-treating and imidizing the gel film of polyamic acid

을 포함할 수 있다.can include

상기 [1]의 방법 또는 [2]의 방법에 있어서, 공정 1a 또는 공정 2a를 복수 회 반복하여 행함으로써, 지지 기재 상에 폴리아미드산의 적층 구조체를 형성할 수 있다. 또한, 폴리아미드산 용액을 지지 기재 상에 도포하는 방법으로서는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 콤마, 다이, 나이프, 립 등의 코터로 도포하는 것이 가능하다.In the method [1] or the method [2], the multilayer structure of polyamic acid can be formed on the supporting substrate by repeating step 1a or step 2a a plurality of times. In addition, the method of applying the polyamic acid solution on the supporting substrate is not particularly limited, and for example, it is possible to apply with a coater such as a comma, die, knife, or lip.

상기 [3]의 방법은, 상기 [1]의 방법의 공정 1a, 또는 [2]의 방법의 공정 2a에 있어서, 다층 압출에 의해, 동시에 폴리아미드산의 적층 구조체를 도포하고, 건조시키는 것 이외에는, 상기 [1]의 방법 또는 [2]의 방법과 마찬가지로 실시할 수 있다.In the method of [3] above, in step 1a of the method of [1] or step 2a of the method of [2], the multi-layer extrusion is used to simultaneously coat the laminated structure of polyamic acid and dry it. , It can be carried out in the same way as the method of [1] or the method of [2].

본 실시 형태에서 제조되는 폴리이미드 필름(100, 101)은, 지지 기재 상에서 폴리아미드산의 이미드화를 완결시키는 것이 바람직하다. 폴리아미드산의 수지층이 지지 기재에 고정된 상태에서 이미드화되므로, 이미드화 과정에 있어서의 폴리이미드층의 신축 변화를 억제하여, 폴리이미드 필름(100, 101)의 두께나 치수 정밀도를 유지할 수 있다.In the polyimide films 100 and 101 manufactured in this embodiment, it is preferable to complete imidation of polyamic acid on the supporting substrate. Since the resin layer of polyamic acid is imidized while being fixed to the support substrate, the change in expansion and contraction of the polyimide layer in the imidization process can be suppressed, and the thickness and dimensional accuracy of the polyimide films 100 and 101 can be maintained. there is.

[금속 피복 적층판][Metal clad laminate]

본 실시 형태의 금속 피복 적층판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 금속층을 구비하고 있고, 절연 수지층의 일부분 또는 전부가, 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 사용하여 형성되어 있으면 된다. 절연 수지층과 금속층의 접착성을 높이기 위해, 절연 수지층에 있어서의 금속층에 접하는 층은, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)인 것이 좋다.The metal-clad laminate of the present embodiment includes an insulating resin layer and a metal layer provided on at least one surface of the insulating resin layer, and a part or all of the insulating resin layer is the polyimide film (100, 101) may be used. In order to improve the adhesion between the insulating resin layer and the metal layer, it is preferable that the layer in contact with the metal layer in the insulating resin layer is a thermoplastic polyimide layer 120A, 120B.

금속층의 재질로서는, 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 구리, 스테인리스, 철, 니켈, 베릴륨, 알루미늄, 아연, 인듐, 은, 금, 주석, 지르코늄, 탄탈, 티타늄, 납, 마그네슘, 망간 및 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 특히 구리 또는 구리 합금이 바람직하다. 또한, 후술하는 회로 기판에 있어서의 배선층의 재질도 금속층과 마찬가지이다.The material of the metal layer is not particularly limited, and examples thereof include copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese, and alloys thereof. etc. can be mentioned. Among these, copper or copper alloy is particularly preferable. In addition, the material of the wiring layer in the circuit board described later is also the same as that of the metal layer.

금속층의 두께는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 구리박으로 대표되는 금속박을 사용하는 경우, 바람직하게는 35㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 5 내지 25㎛의 범위 내가 좋다. 생산 안정성 및 핸들링성의 관점에서 금속박의 두께의 하한값은 5㎛로 하는 것이 바람직하다. 또한, 구리박을 사용하는 경우는, 압연 구리박이어도 되고 전해 구리박이어도 된다. 또한, 구리박으로서는, 시판되고 있는 구리박을 사용할 수 있다.The thickness of the metal layer is not particularly limited, but when a metal foil typified by copper foil is used, for example, it is preferably 35 μm or less, and more preferably within the range of 5 to 25 μm. From the standpoint of production stability and handling, the lower limit of the thickness of the metal foil is preferably 5 μm. Moreover, when using copper foil, a rolled copper foil or an electrolytic copper foil may be sufficient. Moreover, as copper foil, the copper foil marketed can be used.

또한, 금속박은, 예를 들어 방청 처리나, 접착력의 향상을 목적으로 하여, 예를 들어 사이딩, 알루미늄 알코올레이트, 알루미늄 킬레이트, 실란 커플링제 등에 의한 표면 처리를 실시해 두어도 된다.In addition, the metal foil may be surface treated with, for example, siding, aluminum alcoholate, aluminum chelate, or a silane coupling agent for the purpose of, for example, anti-rust treatment or improvement of adhesive strength.

다음으로, 금속 피복 적층판에 대해, 금속층이 구리박에 의해 형성된 동장 적층판을 예로 들어, 보다 상세하게 설명한다. 동장 적층판에 있어서, 구리박은, 절연 수지층의 편면 또는 양면에 마련되어 있다. 즉, 동장 적층판은, 편면 동장 적층판(편면 CCL)이어도 되고, 양면 동장 적층판(양면 CCL)이어도 된다.Next, the metal-clad laminate will be described in more detail by taking as an example a copper-clad laminate in which a metal layer is formed of copper foil. In the copper-clad laminate, copper foil is provided on one side or both sides of the insulating resin layer. That is, the copper-clad laminate may be a single-sided copper-clad laminate (single-sided CCL) or a double-sided copper-clad laminate (double-sided CCL).

동장 적층판은, 예를 들어 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 포함하여 구성되는 수지 필름을 준비하고, 이것에 금속을 스퍼터링하여 시드층을 형성한 후, 예를 들어 구리 도금에 의해 구리박층을 형성함으로써 조제해도 된다.The copper-clad laminate is, for example, prepared by preparing a resin film composed of the polyimide films 100 and 101 of the above embodiment, sputtering metal to this to form a seed layer, and then, for example, by copper plating. You may prepare by forming a copper foil layer.

또한, 동장 적층판은, 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 포함하여 구성되는 수지 필름을 준비하고, 이것에 구리박을 열압착 등의 방법으로 라미네이트함으로써 조제해도 된다.Moreover, you may prepare a copper clad laminated board by preparing the resin film comprised including the polyimide films 100 and 101 of the said embodiment, and laminating copper foil to this by methods, such as thermal compression bonding.

또한, 동장 적층판은, 구리박 상에 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산을 함유하는 도포액을 캐스트하고, 건조하여 도포막으로 한 후, 열처리하여 이미드화하고, 폴리이미드층을 형성함으로써 조제해도 된다.In addition, the copper clad laminate may be prepared by casting a coating liquid containing polyamic acid, which is a precursor of polyimide, onto a copper foil, drying it to form a coating film, heat-treating to imidize, and forming a polyimide layer. .

[회로 기판][circuit board]

상기 실시 형태의 금속 피복 적층판은, 주로 FPC 등의 회로 기판 재료로서 유용하다. 금속 피복 적층판의 금속층을 통상의 방법에 의해 패턴 형상으로 가공하여 배선층을 형성함으로써, 본 발명의 일 실시 형태인 회로 기판을 제조할 수 있다.The metal-clad laminate of the above embodiment is mainly useful as a circuit board material such as FPC. A circuit board according to an embodiment of the present invention can be manufactured by processing the metal layer of the metal-clad laminate into a pattern shape by a conventional method to form a wiring layer.

즉, 본 실시 형태의 회로 기판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 배선층을 구비하고 있고, 절연 수지층의 일부분 또는 전부가, 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 사용하여 형성되어 있으면 된다. 또한, 절연 수지층과 배선층의 접착성을 높이기 위해, 절연 수지층에 있어서의 배선층에 접하는 층은, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)인 것이 좋다.That is, the circuit board of the present embodiment includes an insulating resin layer and a wiring layer provided on at least one side of the insulating resin layer, and a part or all of the insulating resin layer is formed of the polyimide film (100) of the above embodiment. , 101). In addition, in order to improve the adhesiveness between the insulating resin layer and the wiring layer, it is preferable that the layer in contact with the wiring layer in the insulating resin layer is a thermoplastic polyimide layer 120A, 120B.

실시예Example

이하에 실시예를 나타내고, 본 발명의 특징을 보다 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명의 범위는, 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 특별히 언급하지 않는 한 각종 측정, 평가는 하기에 의한 것이다.An Example is shown below, and the characteristic of this invention is demonstrated more concretely. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In addition, in the following examples, unless otherwise specified, various measurements and evaluations are based on the following.

[점도의 측정][Measurement of viscosity]

E형 점도계(브룩필드사 제조, 상품명; DV-II+Pro)를 사용하여, 25℃에서의 점도를 측정하였다. 토크가 10% 내지 90%가 되도록 회전수를 설정하고, 측정을 개시하고 나서 2분 경과 후, 점도가 안정되었을 때의 값을 판독하였다.The viscosity at 25°C was measured using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, trade name: DV-II+Pro). The number of rotations was set so that the torque was 10% to 90%, and the value when the viscosity was stable was read 2 minutes after the start of the measurement.

[유리 전이 온도(Tg)의 측정][Measurement of Glass Transition Temperature (Tg)]

유리 전이 온도는, 5㎜×20㎜의 사이즈의 폴리이미드 필름을, 동적 점탄성 측정 장치(DMA: 유비엠사 제조, 상품명; E4000F)를 사용하여, 30℃로부터 400℃까지 승온 속도 4℃/분, 주파수 11㎐로 측정을 행하여, 탄성률 변화(tanδ)가 최대가 되는 온도를 유리 전이 온도로 하였다. 또한, DMA를 사용하여 측정된 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 미만을 나타내는 것을 「열가소성」으로 하고, 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 이상을 나타내는 것을 「비열가소성」으로 하였다.The glass transition temperature was measured by using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by UBM Co., Ltd., trade name: E4000F) for a polyimide film having a size of 5 mm × 20 mm, at a heating rate of 4 ° C./min from 30 ° C. to 400 ° C., The measurement was performed at a frequency of 11 Hz, and the temperature at which the change in elastic modulus (tan δ) becomes the largest was made the glass transition temperature. In addition, the storage modulus at 30 ° C. measured using DMA is 1.0 × 10 9 Pa or more, and the storage modulus in the temperature range within the glass transition temperature + 30 ° C. is less than 1.0 × 10 8 Pa. “Thermoplastic”. And, the storage modulus at 30 ° C. is 1.0 × 10 9 Pa or more, and the storage modulus in the temperature range within the glass transition temperature + 30 ° C. is 1.0 × 10 8 Pa or more.

[열팽창 계수(CTE)의 측정][Measurement of Coefficient of Thermal Expansion (CTE)]

3㎜×20㎜의 사이즈의 폴리이미드 필름을, 서모 메커니컬 애널라이저(Bruker사 제조, 상품명; 4000SA)를 사용하여, 5.0g의 하중을 가하면서 일정한 승온 속도로 30℃로부터 265℃까지 승온시키고, 그 온도에서 10분 더 유지한 후, 5℃/분의 속도로 냉각하여, 250℃로부터 100℃까지의 평균 열팽창 계수(열팽창 계수)를 구하였다.A polyimide film having a size of 3 mm × 20 mm was heated from 30 ° C. to 265 ° C. at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermomechanical analyzer (manufactured by Bruker, trade name: 4000SA), After holding at the temperature for another 10 minutes, it was cooled at a rate of 5°C/min, and the average coefficient of thermal expansion (coefficient of thermal expansion) from 250°C to 100°C was determined.

[흡습률의 측정][Measurement of moisture absorptivity]

폴리이미드 필름의 시험편(폭; 4㎝×길이; 25㎝)을 2매 준비하고, 80℃에서 1시간 건조하였다. 건조 후 즉시 23℃/50% RH의 항온 항습실에 넣어, 24시간 이상 정치하고, 그 전후의 중량 변화로부터 다음 식에 의해 구하였다.Two test pieces (width: 4 cm x length: 25 cm) of the polyimide film were prepared and dried at 80°C for 1 hour. Immediately after drying, it was placed in a constant temperature and constant humidity room at 23°C/50% RH, left still for 24 hours or more, and obtained from the weight change before and after that by the following formula.

흡습률(중량%)=[(흡습 후 중량-건조 후 중량)/건조 후 중량]×100Moisture absorptivity (% by weight) = [(weight after moisture absorption - weight after drying) / weight after drying] x 100

[유전율 및 유전 정접의 측정][Measurement of permittivity and dielectric loss tangent]

벡터 네트워크 애널라이저(Agilent사 제조, 상품명; E8363C) 및 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR 공진기)를 사용하여, 주파수 10㎓에 있어서의 폴리이미드 필름의 유전율 및 유전 정접을 측정하였다. 또한, 측정에 사용한 재료는, 온도; 24 내지 26℃, 습도; 45 내지 55%의 조건하에서, 24시간 방치한 것이다.The permittivity and dielectric loss tangent of the polyimide film at a frequency of 10 GHz were measured using a vector network analyzer (manufactured by Agilent, trade name; E8363C) and a split post dielectric resonator (SPDR resonator). In addition, the material used for the measurement is temperature; 24-26°C, humidity; It is left to stand on 45 to 55% of conditions for 24 hours.

[이미드기 농도의 계산][Calculation of imide group concentration]

이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 이미드기 농도로 하였다.The value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) by the molecular weight of the entire polyimide structure was used as the imide group concentration.

[구리박의 표면 조도의 측정][Measurement of Surface Roughness of Copper Foil]

구리박의 표면 조도는, AFM(브루커·AXS사 제조, 상품명; Dimension Icon형 SPM), 프로브(브루커·AXS사 제조, 상품명; TESPA(NCHV), 선단 곡률 반경 10㎚, 스프링 상수 42N/m)를 사용하여, 탭핑 모드에서, 구리박 표면의 80㎛×80㎛의 범위에서 측정하여, 10점 평균 조도(Rzjis)를 구하였다.The surface roughness of the copper foil was AFM (manufactured by Bruker AXS, trade name; Dimension Icon type SPM), probe (manufactured by Bruker AXS, trade name; TESPA (NCHV), tip curvature radius 10 nm, spring constant 42 N/ m) was used, in the tapping mode, the measurement was performed in the range of 80 μm × 80 μm on the surface of the copper foil, and the 10-point average roughness (Rzjis) was obtained.

[산소 투과도의 측정][Measurement of Oxygen Permeability]

온도 23℃±2℃, 습도 65% RH±5% RH의 조건하에서 JIS K7126-1의 차압법에 준거하여, 산소 가스의 투과도의 측정을 실시하였다. 또한, 증기 투과율 측정 장치로서, GTR 테크사 제조, GTR-30XAD2 및 야나코 테크니컬 사이언스사 제조, G2700T·F를 사용하였다.Oxygen gas permeability was measured under conditions of a temperature of 23°C±2°C and a humidity of 65% RH±5% RH in accordance with the differential pressure method of JIS K7126-1. In addition, as a vapor permeability measuring device, GTR-30XAD2 by GTR Tech and G2700T F by Yanako Technical Sciences were used.

[초기 필 강도의 측정][Measurement of Initial Peel Strength]

동장 적층판(구리박/다층 폴리이미드층)의 구리박을 10㎜ 간격으로 수지의 도공 방향으로 폭 1㎜로 회로 가공한 후, 폭; 8㎝×길이; 4㎝로 절단하였다. 필 강도는, 텐실론 테스터(도요 세키 세이사쿠쇼 제조, 상품명; 스트로그래프 VE-1D)를 사용하여, 절단한 측정 샘플의 폴리이미드층면을 양면 테이프에 의해 알루미늄판에 고정하고, 회로 가공된 구리박을 180° 방향으로 50㎜/분의 속도로 박리해 가서, 폴리이미드층으로부터 10㎜ 박리하였을 때의 중앙값 강도를 구하여, 초기 필 강도로 하였다.After the copper foil of the copper-clad laminate (copper foil/multilayer polyimide layer) is subjected to circuit processing to a width of 1 mm in the coating direction of the resin at intervals of 10 mm, width; 8 cm x length; Cut into 4 cm. The peel strength was measured using a Tensilon tester (manufactured by Toyo Seki Seisakusho, trade name: Strograph VE-1D), fixing the polyimide layer surface of the cut measurement sample to an aluminum plate with double-sided tape, and processing a circuit of copper The foil was peeled in the 180° direction at a rate of 50 mm/min, and the median strength when peeling 10 mm from the polyimide layer was obtained, and it was set as the initial peel strength.

[가열 후 필 강도의 측정][Measurement of peel strength after heating]

동장 적층판(구리박/다층 폴리이미드층)의 구리박을 10㎜ 간격으로 수지의 도공 방향으로 폭 1㎜로 회로 가공한 후, 폭; 8㎝×길이; 4㎝로 절단하였다. 절단한 샘플을 150℃로 설정시킨 열풍 오븐(대기 분위기하)에 보관하고, 1000시간 후에 취출을 행하였다. 필 강도는, 텐실론 테스터(도요 세키 세이사쿠쇼 제조, 상품명; 스트로그래프 VE-1D)를 사용하여, 취출한 측정 샘플의 폴리이미드층면을 양면 테이프에 의해 알루미늄판에 고정하고, 회로 가공된 구리박을 180° 방향으로 50㎜/분의 속도로 박리해 가서, 폴리이미드층으로부터 10㎜ 박리하였을 때의 중앙값 강도를 구하였다.After the copper foil of the copper-clad laminate (copper foil/multilayer polyimide layer) is subjected to circuit processing to a width of 1 mm in the coating direction of the resin at intervals of 10 mm, width; 8 cm x length; Cut into 4 cm. The cut samples were stored in a hot air oven (under an atmospheric atmosphere) set at 150°C, and taken out after 1000 hours. The peel strength was measured using a Tensilon tester (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho, trade name: Strograph VE-1D), fixing the polyimide layer surface of the taken measurement sample to an aluminum plate with double-sided tape, and circuit-processed copper The foil was peeled at a speed of 50 mm/min in the 180° direction, and the median strength when 10 mm was peeled from the polyimide layer was determined.

[폴리이미드층의 두께의 측정][Measurement of thickness of polyimide layer]

동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름을 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름을 직사각형으로 잘라내어, 수지 포매한 후, 마이크로톰으로 필름 두께 방향의 절단을 행하여 약 100㎚의 초박 절편을 제작하였다. 제작한 초박 절편에 대해, 히타치 하이테크 테크놀로지사 제조 SEM(SU9000)의 STEM 기능을 이용하여, 가속 전압 30㎸로 관찰을 행하고, 각 폴리이미드층의 두께를 각 5점 측정하여, 그 평균값을 각 폴리이미드층의 두께로 하였다.About the copper clad laminated board, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film was obtained. The obtained polyimide film was cut into a rectangle, embedded in resin, and then cut in the thickness direction of the film with a microtome to prepare an ultrathin slice of about 100 nm. The produced ultra-thin slices were observed using the STEM function of an SEM (SU9000) manufactured by Hitachi High-Technology Co., Ltd. at an accelerating voltage of 30 kV, and the thickness of each polyimide layer was measured at 5 points, and the average value was calculated as It was set as the thickness of the mid layer.

실시예 및 참고예에 사용한 약호는, 이하의 화합물을 나타낸다.The abbreviations used in Examples and Reference Examples represent the following compounds.

PMDA: 피로멜리트산 이무수물PMDA: pyromellitic dianhydride

BPDA: 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

m-TB: 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl

TPE-R: 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene

TPE-Q: 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-Q: 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene

DAPE: 4,4'-디아미노-디페닐에테르DAPE: 4,4'-diamino-diphenyl ether

PDA: 파라페닐렌디아민PDA: paraphenylenediamine

BAPP: 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane

비스아닐린-P: 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠(미쓰이 가가쿠 파인사 제조, 상품명; 비스아닐린-P)Bisaniline-P: 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene (manufactured by Mitsui Chemicals Fine Co., Ltd., trade name: Bisaniline-P)

DDA: 탄소수 36의 지방족 디아민(크로다 재팬사 제조, 상품명; PRIAMINE1074, 아민가; 210㎎KOH/g, 환상 구조 및 쇄상 구조의 다이머 디아민의 혼합물, 다이머 성분의 함유량; 95중량% 이상)DDA: Aliphatic diamine having 36 carbon atoms (manufactured by Croda Japan, trade name; PRIAMINE1074, amine value; 210 mgKOH/g, mixture of cyclic and chain structure dimer diamines, content of dimer components; 95% by weight or more)

DMAc: N,N-디메틸아세트아미드DMAc: N,N-dimethylacetamide

(합성예 1)(Synthesis Example 1)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 12.061g의 m-TB(0.0568몰), 0.923g의 TPE-Q(0.0032몰) 및 1.0874g의 비스아닐린-P(0.0032몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 6.781g의 PMDA(0.0311몰) 및 9.147g의 BPDA(0.0311몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 a를 얻었다. 폴리아미드산 용액 a의 용액 점도는 29,800cps였다.Under a nitrogen stream, in a 300 ml separable flask, 12.061 g of m-TB (0.0568 mol), 0.923 g of TPE-Q (0.0032 mol) and 1.0874 g of bisaniline-P (0.0032 mol) and the solid concentration after polymerization were DMAc in an amount of 15% by weight was added, and dissolved by stirring at room temperature. Next, after adding 6.781 g of PMDA (0.0311 mol) and 9.147 g of BPDA (0.0311 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, and polyamic acid solution a was obtained. The solution viscosity of the polyamic acid solution a was 29,800cps.

다음으로, 구리박 1(전해 구리박, 두께; 12㎛, 수지측의 표면 조도 Rzjis; 2.1㎛) 상에, 폴리아미드산 용액 a를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 a(비열가소성, Tg; 316℃, 흡습률; 0.61중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 a를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 31.6중량%였다.Next, on copper foil 1 (electrolytic copper foil, thickness; 12 μm, surface roughness Rzjis on the resin side; 2.1 μm), polyamic acid solution a was uniformly applied so that the thickness after curing was about 25 μm, The solvent was removed by heating and drying at 120°C. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete imidization. About the obtained copper-clad laminated board, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film a (non-thermoplastic, Tg; 316 degreeC, moisture absorption; 0.61 weight%) was prepared. In addition, the imide group concentration of the polyimide constituting the polyimide film a was 31.6% by weight.

(합성예 2)(Synthesis Example 2)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 11.825g의 m-TB(0.0557몰), 0.905g의 TPE-Q(0.0031몰) 및 1.653g의 DDA(0.0031몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 6.649g의 PMDA(0.0305몰) 및 8.968g의 BPDA(0.0305몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 b를 얻었다. 폴리아미드산 용액 b의 용액 점도는 27,800cps였다.Under a nitrogen stream, in a 300 ml separable flask, 11.825 g of m-TB (0.0557 mol), 0.905 g of TPE-Q (0.0031 mol), and 1.653 g of DDA (0.0031 mol), and the solid content concentration after polymerization was 15% by weight. An amount of DMAc was added and dissolved by stirring at room temperature. Next, after adding 6.649 g of PMDA (0.0305 mol) and 8.968 g of BPDA (0.0305 mol), a polymerization reaction was performed by continuing stirring at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution b. The solution viscosity of the polyamic acid solution b was 27,800cps.

다음으로, 구리박 1 상에, 폴리아미드산 용액 b를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 b(비열가소성, Tg; 258℃, 흡습률; 0.54중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 b를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 30.9중량%였다.Next, on the copper foil 1, the polyamic acid solution b was uniformly applied so that the thickness after curing was about 25 µm, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete imidization. About the obtained copper-clad laminated board, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film b (non-thermoplastic, Tg; 258 degreeC, moisture absorption; 0.54 weight%) was prepared. In addition, the imide group concentration of the polyimide constituting the polyimide film b was 30.9% by weight.

(합성예 3)(Synthesis Example 3)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 11.920g의 m-TB(0.0562몰) 및 2.897g의 TPE-Q(0.0099몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 11.354g의 PMDA(0.0521몰) 및 3.829g의 BPDA(0.0130몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 c를 얻었다. 폴리아미드산 용액 c의 용액 점도는 31,200cps였다.In a 300 ml separable flask under a nitrogen stream, 11.920 g of m-TB (0.0562 mol) and 2.897 g of TPE-Q (0.0099 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight were charged, Stir at room temperature to dissolve. Next, after adding 11.354 g of PMDA (0.0521 mol) and 3.829 g of BPDA (0.0130 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution c. The solution viscosity of the polyamic acid solution c was 31,200cps.

다음으로, 구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 c를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 c(비열가소성, Tg; 375℃, 흡습률; 0.81중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 c를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 33.2중량%였다.Next, the polyamic acid solution c was uniformly applied on the copper foil 1 so that the thickness after curing was about 25 µm, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete imidation. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film c (non-thermoplastic, Tg; 375 degreeC, moisture absorption; 0.81 weight%) was prepared. In addition, the imide group concentration of the polyimide constituting the polyimide film c was 33.2% by weight.

(합성예 4)(Synthesis Example 4)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 1.548g의 PDA(0.0143몰) 및 11.465g의 DAPE(0.0573몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 10.764g의 PMDA(0.0494몰) 및 6.223g의 BPDA(0.0212몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 d를 얻었다. 폴리아미드산 용액 d의 용액 점도는 23,500cps였다.In a 300 ml separable flask under a nitrogen stream, 1.548 g of PDA (0.0143 mol) and 11.465 g of DAPE (0.0573 mol) and DMAc in an amount such that the solid concentration after polymerization is 15% by weight were added, and stirred at room temperature. dissolved Next, after adding 10.764 g of PMDA (0.0494 mol) and 6.223 g of BPDA (0.0212 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, and polyamic acid solution d was obtained. The solution viscosity of the polyamic acid solution d was 23,500cps.

다음으로, 폴리아미드산 용액 d를 T 다이 금형의 슬릿으로부터 경화 후 두께가 25㎛가 되도록 캐스팅하고, 건조로 중의 평활한 벨트 형상의 금속 지지체 상에 압출하여 박막을 형성하고, 130℃에서 소정 시간 가열 후, 지지체로부터 박리하여 자기 지지성 필름을 얻었다. 또한, 이 자기 지지성 필름의 폭 방향의 양단부를 파지하여 연속 가열로에 삽입하고, 100℃로부터 최고 가열 온도가 380℃가 되는 조건에서 당해 필름을 가열, 이미드화하여, 폴리이미드 필름 d(비열가소성, Tg; >400℃, 흡습률; 1.14중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 d를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 36.2중량%였다.Next, the polyamic acid solution d was cast from the slit of the T-die mold to a thickness of 25 μm after curing, and extruded onto a smooth belt-shaped metal support in a drying furnace to form a thin film, followed by drying at 130° C. for a predetermined time After heating, it was peeled off from the support to obtain a self-supporting film. Further, both ends of this self-supporting film in the width direction are gripped and inserted into a continuous heating furnace, and the film is heated and imidized under the condition that the maximum heating temperature is 380 ° C. from 100 ° C. Thermoplastic, Tg; >400°C, moisture absorption; 1.14% by weight) was prepared. In addition, the imide group concentration of the polyimide constituting the polyimide film d was 36.2% by weight.

(합성예 5)(Synthesis Example 5)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 15.591g의 BAPP(0.0380몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 12중량%이 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 8.409g의 PMDA(0.0386몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 e를 얻었다. 폴리아미드산 용액 e의 용액 점도는 2,350cps였다.Into a 300 ml separable flask under a nitrogen stream, 15.591 g of BAPP (0.0380 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12% by weight were charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 8.409 g of PMDA (0.0386 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid solution e. The solution viscosity of the polyamic acid solution e was 2,350cps.

다음으로, 구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 e를 경화 후의 두께가 약 10㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 e(열가소성, Tg; 320℃, 흡습률; 0.55중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 e를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 23.6중량%였다.Next, the polyamic acid solution e was uniformly applied on the copper foil 1 so that the thickness after curing was about 10 µm, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete imidization. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film e (thermoplasticity, Tg; 320 degreeC, moisture absorption rate; 0.55 weight%) was prepared. In addition, the imide group concentration of the polyimide constituting the polyimide film e was 23.6% by weight.

(합성예 6)(Synthesis Example 6)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 1.847g의 m-TB(0.0087몰) 및 10.172g의 TPE-R(0.0348몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 12중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 2.889g의 PMDA(0.0132몰) 및 9.092g의 BPDA(0.0309몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 f를 얻었다. 폴리아미드산 용액 f의 용액 점도는 2,210cps였다.In a 300 ml separable flask under a nitrogen stream, 1.847 g of m-TB (0.0087 mol) and 10.172 g of TPE-R (0.0348 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12% by weight were charged, Stir at room temperature to dissolve. Next, after adding 2.889 g of PMDA (0.0132 mol) and 9.092 g of BPDA (0.0309 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid solution f. The solution viscosity of the polyamic acid solution f was 2,210cps.

다음으로, 구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 f를 경화 후의 두께가 약 10㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 f(열가소성, Tg; 226℃, 흡습률; 0.41중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 f를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 27.4중량%였다.Next, the polyamic acid solution f was uniformly applied on the copper foil 1 so that the thickness after curing was about 10 µm, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete imidation. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film f (thermoplasticity, Tg; 226 degreeC, moisture absorption rate; 0.41 weight%) was prepared. In addition, the imide group concentration of the polyimide constituting the polyimide film f was 27.4% by weight.

[실시예 1][Example 1]

구리박 2(전해 구리박, 두께; 12㎛, 수지측의 표면 조도 Rzjis; 0.6㎛) 상에 폴리아미드산 용액 f를 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 1분간 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 그 위에 폴리아미드산 용액 a를 경화 후의 두께가 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 3분간 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 그 위에 폴리아미드산 f를 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 1분간 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 그 후, 140℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 행하여, 이미드화를 완결하여, 동장 적층판 1을 조제하였다.On copper foil 2 (electrolytic copper foil, thickness: 12 μm, surface roughness Rzjis on the resin side; 0.6 μm), the polyamic acid solution f was uniformly applied so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then held at 120° C. for 1 minute. The solvent was removed by heating and drying. The polyamic acid solution a was uniformly applied thereon so that the thickness after curing was 25 μm, and then heated and dried at 120° C. for 3 minutes to remove the solvent. Further, polyamic acid f was uniformly applied thereon so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 120° C. for 1 minute to remove the solvent. Thereafter, stepwise heat treatment was performed from 140°C to 360°C, imidization was completed, and copper clad laminate 1 was prepared.

얻어진 동장 적층판 1을 사용하여 초기 필 강도 및 가열 후 필 강도를 측정한 결과, 각각 1.06kN/m 및 0.69kN/m였다. 각 측정 결과를 표 1에 나타낸다.It was 1.06 kN/m and 0.69 kN/m, respectively, as a result of measuring the initial peeling strength and the peeling strength after heating using obtained copper clad laminated board 1. Each measurement result is shown in Table 1.

동장 적층판 1에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 1a를 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름 1a에 대해, CTE 및 유전 특성, 산소 투과도의 평가를 실시한 결과, CTE; 22ppm/K, 유전율; 3.56, 유전 정접; 0.0032, 산소 투과도; 4.59×10-14㏖/(㎡·s·㎩)이었다. 각 측정 결과를 표 2에 나타낸다.With respect to the copper clad laminated board 1, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film 1a was obtained. About the obtained polyimide film 1a, as a result of evaluating CTE, dielectric characteristics, and oxygen permeability, CTE; 22 ppm/K, permittivity; 3.56, dielectric loss tangent; 0.0032, oxygen permeability; It was 4.59×10 -14 mol/(m 2·s·Pa). Each measurement result is shown in Table 2.

[실시예 2 내지 실시예 4, 비교예 1 및 참고예 1 내지 2][Examples 2 to 4, Comparative Example 1 and Reference Examples 1 to 2]

표 1에 기재한 폴리아미드산 용액을 사용함과 함께, 두께 구성을 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 실시예 2 내지 4, 비교예 1 및 참고예 1 내지 2의 동장 적층판 2 내지 4, 동장 적층판 5 및 동장 적층판 6 내지 7 그리고 폴리이미드 필름 2a 내지 4a, 폴리이미드 필름 5a 및 폴리이미드 필름 6a 내지 7a를 얻었다. 각 측정 결과를 표 1 및 표 2에 나타낸다.Copper-clad laminates 2 to 4 of Examples 2 to 4, Comparative Examples 1 and Reference Examples 1 to 2 in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution described in Table 1 was used and the thickness configuration was changed. , Copper-clad laminates 5 and copper-clad laminates 6 to 7, polyimide films 2a to 4a, polyimide films 5a, and polyimide films 6a to 7a were obtained. Each measurement result is shown in Table 1 and Table 2.

Figure pat00004
Figure pat00004

Figure pat00005
Figure pat00005

비교예 2Comparative Example 2

폴리아미드산 용액 d를 T 다이 금형의 슬릿으로부터 경화 후 두께가 30㎛가 되도록 캐스팅하고, 건조로 중의 평활한 벨트 형상의 금속 지지체 상에 압출하여 박막을 형성하고, 130℃에서 소정 시간 가열 후, 지지체로부터 박리하여 자기 지지성 필름을 얻었다. 또한 자기 지지성 필름을 연속적으로 반송하면서, 자기 지지성 필름의 대기면에 다이 코터를 사용하여 폴리아미드산 용액 e를 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 도포하고, 120℃의 건조로에서 소정 시간 건조시켰다. 이어서, 폴리아미드산 용액 e를 도포면과 반대의 면에 대해서도 상기와 마찬가지로 폴리아미드산 용액 e를 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 도포하고, 120℃의 건조로에서 소정 시간 건조시켰다.The polyamic acid solution d was cast from the slit of the T-die mold to a thickness of 30 μm after curing, and extruded onto a smooth belt-shaped metal support in a drying furnace to form a thin film, heated at 130 ° C. for a predetermined time, It was peeled off from the support to obtain a self-supporting film. Further, while continuously transporting the self-supporting film, the polyamic acid solution e was applied to the atmospheric surface of the self-supporting film using a die coater to a thickness of 2.5 μm after curing, and dried in a drying oven at 120° C. for a predetermined time. . Subsequently, the polyamic acid solution e was applied to the surface opposite to the coated surface in the same manner as above to a thickness of 2.5 μm after curing, and dried in a drying oven at 120° C. for a predetermined time.

이 자기 지지성 필름의 폭 방향의 양단부를 파지하여 연속 가열로에 삽입하고, 100℃로부터 최고 가열 온도가 380℃가 되는 조건에서 당해 필름을 가열, 이미드화하여, 폴리이미드 필름 8b를 얻었다. 이 폴리이미드 필름 8b의 편면에 구리박, 다른 한쪽 면에 테플론(등록상표) 필름을 중첩하고, 온도 320℃, 압력 340㎫의 조건에서 15분간 열압착하여, 압착 후에 테플론(등록상표) 필름을 박리함으로써 동장 적층판 8을 조제하였다.Both ends of this self-supporting film in the width direction were held and inserted into a continuous heating furnace, and the film was imidized by heating under the condition that the highest heating temperature was 380°C from 100°C, thereby obtaining a polyimide film 8b. A copper foil was superimposed on one side of the polyimide film 8b and a Teflon (registered trademark) film was superimposed on the other side, and the polyimide film 8b was thermally compressed for 15 minutes under conditions of a temperature of 320°C and a pressure of 340 MPa. After compression, the Teflon (registered trademark) film was formed. The copper clad laminated board 8 was prepared by peeling.

얻어진 동장 적층판 8을 사용하여 초기 필 강도 및 가열 후 필 강도를 측정한 결과, 각각 1.15kN/m 및 1.01kN/m였다.It was 1.15 kN/m and 1.01 kN/m, respectively, when the initial peel strength and the peel strength after heating were measured using the obtained copper clad laminated board 8.

동장 적층판 8에 대해, 실시예 1과 마찬가지로 하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 8a를 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름 8a에 대해, CTE 및 유전 특성, 산소 투과도의 평가를 실시한 결과, CTE; 22ppm/K, 유전율; 3.65, 유전 정접; 0.0073, 산소 투과도; 1.17×10-14㏖/(㎡·s·㎩)이었다.About the copper clad laminated board 8, it carried out similarly to Example 1, and the copper foil was removed by etching, and the polyimide film 8a was obtained. About the obtained polyimide film 8a, the CTE, the dielectric property, and the oxygen permeability were evaluated, and as a result, CTE; 22 ppm/K, permittivity; 3.65, dielectric loss tangent; 0.0073, oxygen permeability; It was 1.17×10 -14 mol/(m 2·s·Pa).

이상, 본 발명의 실시 형태를 예시의 목적으로 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 제약되는 일은 없고, 다양한 변형이 가능하다.As mentioned above, although the embodiment of the present invention has been described in detail for the purpose of illustration, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible.

100, 101: 폴리이미드 필름
110: 비열가소성 폴리이미드층
120A, 120B: 열가소성 폴리이미드층
100, 101: polyimide film
110: non-thermoplastic polyimide layer
120A, 120B: thermoplastic polyimide layer

Claims (4)

비열가소성 폴리이미드를 포함하는 비열가소성 폴리이미드층과, 해당 비열가소성 폴리이미드층의 적어도 한쪽 면에 적층되어 있는, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 열가소성 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름이며,
하기의 조건 (i) 내지 (vi);
(i) 열팽창 계수가 10 내지 30ppm/K의 범위 내인 것;
(ii) 산소 투과도가 4.39×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하인 것;
(iii) 상기 비열가소성 폴리이미드 및 상기 열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 하기 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 비율이 50㏖% 이상인 것;
(iv) 상기 열가소성 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상인 것;
(v) 상기 폴리이미드 필름의 전체의 두께가 35 내지 50㎛의 범위 내인 것;
(vi) 상기 열가소성 폴리이미드는, 이미드기 농도가 30중량% 이하이고, 유리 전이 온도가 200℃ 이상 350℃ 이하의 범위 내인 것;
을 충족하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름.

[식(1)에 있어서, Mi는, 제i층의 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율(단위; ㏖%)이고, Li는, 제i층의 폴리이미드층의 두께(단위; ㎛)이고, L은 폴리이미드 필름의 두께(단위; ㎛)이고, n은 2 이상의 정수임.]
A polyimide film having a non-thermoplastic polyimide layer containing non-thermoplastic polyimide and a thermoplastic polyimide layer containing thermoplastic polyimide laminated on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide layer,
the following conditions (i) to (vi);
(i) having a coefficient of thermal expansion in the range of 10 to 30 ppm/K;
(ii) those with an oxygen permeability of 4.39×10 -14 mol/(m 2·s·Pa) or less;
(iii) The proportion of monomer residues having a biphenyl skeleton calculated by the following formula (1) relative to all monomer residues derived from the non-thermoplastic polyimide and all monomer components constituting the thermoplastic polyimide is 50 mol% more than;
(iv) Of all the monomer residues derived from all the monomer components in the thermoplastic polyimide, the proportion of the monomer residue having a biphenyl skeleton is 30 mol% or more;
(v) that the total thickness of the polyimide film is in the range of 35 to 50 μm;
(vi) the thermoplastic polyimide has an imide group concentration of 30% by weight or less and a glass transition temperature within the range of 200°C or more and 350°C or less;
A polyimide film characterized in that it meets.

[In formula (1), M i is the ratio (unit ;
제1항에 있어서, 상기 폴리이미드 필름의 전체의 두께 T1에 대한 상기 열가소성 폴리이미드층의 합계 두께 T2의 비율 T2/T1이 0.17 이하인 폴리이미드 필름.The polyimide film according to claim 1, wherein the ratio T2/T1 of the total thickness T2 of the thermoplastic polyimide layer to the total thickness T1 of the polyimide film is 0.17 or less. 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 금속층을 구비한 금속 피복 적층판이며,
상기 절연 수지층이, 상기 금속층의 표면에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 제1항에 기재된 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 피복 적층판.
A metal clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer provided on at least one surface of the insulating resin layer,
The insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer in contact with the surface of the metal layer and a non-thermoplastic polyimide layer laminated indirectly, and includes the polyimide film according to claim 1. A metal-clad laminate characterized in that .
절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 배선층을 구비한 회로 기판이며,
상기 절연 수지층이, 상기 배선층에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 제1항에 기재된 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 기판.
A circuit board provided with an insulating resin layer and a wiring layer provided on at least one surface of the insulating resin layer,
A circuit board characterized in that the insulating resin layer includes the polyimide film according to claim 1 while having a thermoplastic polyimide layer in contact with the wiring layer and an indirectly laminated non-thermoplastic polyimide layer.
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