KR20210038331A - Polyimide film, metal clad laminate and circuit board - Google Patents

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도모노리 안도
요시키 스토
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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention provides a polyimide film capable of achieving both low dielectric loss tangent and excellent long-term heat-resistant adhesion, and which are not susceptible to decrease in adhesion to a metal layer even when repeatedly exposed to a high-temperature environment. The polyimide film has a non-thermoplastic polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer, and the polyimide film satisfies the following: (i) the coefficient of thermal expansion is within the range of 10 ppm/K to 30 ppm/K; (ii) the oxygen transmission rate is 5.5 x 10^-14 mol/(㎡·s·㎩) or less; and (iii) the ratio of monomer residues having a biphenyl skeleton to all monomer residues derived from all monomer components constituting the non-thermoplastic polyimide and the thermoplastic polyimide is 50 mol% or more.

Description

폴리이미드 필름, 금속 피복 적층판 및 회로 기판{POLYIMIDE FILM, METAL CLAD LAMINATE AND CIRCUIT BOARD}Polyimide film, metal clad laminate, and circuit board TECHNICAL FIELD [POLYIMIDE FILM, METAL CLAD LAMINATE AND CIRCUIT BOARD}

본 발명은, 폴리이미드 필름, 금속 피복 적층판 및 회로 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a polyimide film, a metal-clad laminate, and a circuit board.

폴리이미드 수지는, 높은 절연성, 치수 안정성, 성형 용이성, 경량 등의 특징을 갖기 때문에, 회로 기판 등의 재료로서 전자, 전기 기기나 전자 부품에 널리 사용되고 있다. 특히 근년, 전기, 전자 기기의 고성능, 고기능화에 수반하여, 정보의 고속 전송화가 요구되고 있고, 이들에 사용되는 부품이나 부재에도 고속 전송에 대한 대응이 요구되고 있다. 그러한 용도로 사용되는 폴리이미드 재료에 대해, 고속 전송화에 대응한 전기 특성을 갖도록, 저유전율화, 저유전 정접화를 도모하는 시도가 이루어지고 있다.Polyimide resins have features such as high insulation, dimensional stability, ease of molding, and light weight, and are therefore widely used in electronic, electrical equipment, and electronic parts as materials such as circuit boards. In particular, in recent years, along with the high performance and high functionality of electric and electronic devices, high-speed transmission of information is required, and a response to high-speed transmission is also required for parts and members used therein. For polyimide materials used for such purposes, attempts have been made to achieve low dielectric constant and low dielectric tangent so that they have electrical properties corresponding to high-speed transmission.

폴리이미드 재료의 저유전율화·저유전 정접화에 관한 종래 기술의 대부분은, 저유전율·저유전 정접의 수지(불소계 수지, 액정 폴리머 등)와의 다층화나 저유전율·저유전 정접의 필러의 배합과 같은 이종 재료와의 복합화, 다공질화, 에스테르 구조의 도입 등이 주된 것이었다. 그러나 복합화나 다공질화에 대해서는, 가공성이 저하되는 등의 문제가 있고, 에스테르 구조를 도입한 것은, 필름 강도가 저하되기 때문에 다량으로 사용할 수 없다는 문제가 있다.Most of the conventional techniques related to low dielectric constant and low dielectric tangent of polyimide materials are multilayered with resins (fluorine-based resins, liquid crystal polymers, etc.) with low dielectric constant and low dielectric tangent, and blending of fillers with low dielectric constant and low dielectric tangent. The main ones were complexing with the same heterogeneous material, porosity, and introduction of ester structures. However, there is a problem in that the processability is deteriorated with respect to complexation and porosity, and the introduction of an ester structure has a problem in that it cannot be used in a large amount because the film strength decreases.

또한, 특허문헌 1, 2에서는, 폴리이미드의 원료 모노머 구성을 고안함으로써, 유전 특성의 개선을 도모하여, 고주파용 회로 기판로의 적용이 가능한 폴리이미드 필름이 제안되어 있다.In addition, in Patent Documents 1 and 2, a polyimide film that can be applied to a high frequency circuit board is proposed by devising a composition of a raw material monomer of a polyimide, thereby improving dielectric properties.

한편, 근년에는, 회로 기판이 150℃를 초과하는 환경에서 사용되는 것도 상정되게 되었다. 예를 들어, 차량 탑재용 전자 기기에 사용되는 플렉시블 프린트 기판(FPC; Flexible Printed Circuits)은, 150℃ 정도의 고온 환경에 반복하여 노출되는 경우가 있다.On the other hand, in recent years, it is also assumed that the circuit board is used in an environment exceeding 150°C. For example, flexible printed circuits (FPCs) used in vehicle-mounted electronic devices may be repeatedly exposed to a high temperature environment of about 150°C.

또한, 차량 탑재용 전자 기기 이외의 디바이스, 예를 들어 고속 처리를 행할 수 있는 CPU(Central Processing Unit)를 갖는 노트북 컴퓨터나 슈퍼컴퓨터 등에 있어서도, 더한층의 소형화, 경량화를 도모하기 위해 플렉시블 프린트 기판이 사용되는 일이 증가하고 있다. 이러한 디바이스에 있어서도, CPU가 발하는 열에 의해, 플렉시블 프린트 기판은 고온 환경에 반복하여 노출된다. 고온 환경에서의 사용에 기인하는 플렉시블 프린트 기판의 열화의 대표적인 요인은, 배선층과 절연 수지층의 접착성의 저하에 의한 배선층의 들뜸이나 박리이다.In addition, in devices other than on-vehicle electronic devices, for example, notebook computers and supercomputers with CPUs (Central Processing Unit) capable of performing high-speed processing, flexible printed circuit boards are used to further reduce size and weight. The work of becoming is increasing. Also in such a device, the flexible printed circuit board is repeatedly exposed to a high-temperature environment by the heat emitted by the CPU. A typical factor of deterioration of the flexible printed circuit board due to use in a high-temperature environment is lifting or peeling of the wiring layer due to a decrease in adhesiveness between the wiring layer and the insulating resin layer.

이러한 배경으로부터, 금후, 플렉시블 프린트 기판은, 저유전 정접화와, 고온 환경하에서의 내열 접착성(필 강도 유지율의 유지)의 양립이 필요해질 것이 예상되고, 특히 사용 환경의 변화에 따라서, 종래보다 더 장기간에 걸쳐 내열 접착성의 유지가 요구될 것이라고 생각된다.From this background, in the future, it is expected that flexible printed circuit boards will need to achieve both low dielectric tangent and heat-resistant adhesiveness (maintaining the peel strength retention rate) in a high-temperature environment. It is thought that maintenance of heat-resistant adhesiveness will be required over a long period of time.

WO2017/159274WO2017/159274 WO2018/061727WO2018/061727

따라서, 본 발명의 목적은, 저유전 정접화와, 우수한 장기 내열 접착성의 양립이 도모되어, 반복하여 고온 환경에 노출되는 경우라도 금속층과의 접착성이 저하되기 어려운 폴리이미드 필름을 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a polyimide film that achieves both low dielectric loss tangent and excellent long-term heat-resistant adhesiveness, and is unlikely to deteriorate adhesiveness with a metal layer even when repeatedly exposed to a high-temperature environment.

본 발명자들은, 예의 연구 결과, 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 함유 비율을 높임으로써, 복수 층의 폴리이미드층이 적층된 폴리이미드 필름의 저유전 정접화와 산소 투과도의 억제에 의한 우수한 장기 내열 접착성의 양립이 가능해지는 것을 알아내어, 본 발명을 완성하였다.As a result of intensive research, the present inventors found that in the polyimide constituting the polyimide layer, by increasing the content ratio of the monomer residue having a biphenyl skeleton, low dielectric loss tangent of a polyimide film in which a plurality of polyimide layers are laminated The present invention was completed by finding that both excellent long-term heat-resistant adhesiveness can be achieved by suppressing the oxygen permeability and oxygen permeability.

즉, 본 발명의 폴리이미드 필름은, 비열가소성 폴리이미드를 포함하는 비열가소성 폴리이미드층과, 해당 비열가소성 폴리이미드층의 적어도 한쪽 면에 적층되어 있는, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 열가소성 폴리이미드층을 갖는 것이다.That is, the polyimide film of the present invention comprises a non-thermoplastic polyimide layer comprising a non-thermoplastic polyimide, and a thermoplastic polyimide layer comprising a thermoplastic polyimide laminated on at least one side of the non-thermoplastic polyimide layer. To have.

본 발명의 폴리이미드 필름은, 하기의 조건 (i) 내지 (iii)을 충족하는 것을 특징으로 한다.The polyimide film of the present invention is characterized by satisfying the following conditions (i) to (iii).

(i) 열팽창 계수가 10 내지 30ppm/K의 범위 내인 것.(i) The thermal expansion coefficient is in the range of 10 to 30 ppm/K.

(ii) 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하인 것.(ii) What has an oxygen permeability of 5.5×10 -14 mol/(m2·s·Pa) or less.

(iii) 상기 비열가소성 폴리이미드 및 상기 열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 하기 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 비율이 50㏖% 이상인 것.(iii) The ratio of the monomer residues having a biphenyl skeleton calculated by the following formula (1) to the total monomer residues derived from all the monomer components constituting the non-thermoplastic polyimide and the thermoplastic polyimide is 50 mol% What's more.

Figure pat00001
Figure pat00001

식(1)에 있어서, Mi는, 제i층의 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율(단위; ㏖%)이고, Li는, 제i층의 폴리이미드층의 두께(단위; ㎛)이고, L은 폴리이미드 필름의 두께(단위; ㎛)이고, n은 2 이상의 정수이다.In the formula (1), M i is the ratio of the monomer residues having a biphenyl skeleton among all monomer residues derived from all monomer components in the polyimide constituting the i-th polyimide layer (unit; Mol%), L i is the thickness (unit: µm) of the polyimide layer of the i-th layer, L is the thickness (unit: µm) of the polyimide film, and n is an integer of 2 or more.

본 발명의 폴리이미드 필름은, 상기 (i) 내지 (iii)의 조건에 추가하여, 또한 하기의 조건 (iv)를 충족하는 것이어도 된다.In addition to the conditions of (i) to (iii), the polyimide film of the present invention may also satisfy the following condition (iv).

(iv) 상기 열가소성 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상인 것.(iv) Among all the monomer residues derived from all the monomer components in the thermoplastic polyimide, the proportion of the monomer residue having a biphenyl skeleton is 30 mol% or more.

본 발명의 폴리이미드 필름은, 전체의 두께가 30 내지 60㎛의 범위 내여도 된다. 이 경우, 상기 폴리이미드 필름의 전체의 두께 T1에 대한 상기 열가소성 폴리이미드층의 합계 두께 T2의 비율 T2/T1이 0.17 이하여도 된다.The polyimide film of the present invention may have an overall thickness of 30 to 60 µm. In this case, the ratio T2/T1 of the total thickness T2 of the thermoplastic polyimide layer to the total thickness T1 of the polyimide film may be 0.17 or less.

본 발명의 금속 피복 적층판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 금속층을 구비한 금속 피복 적층판이다. 그리고 본 발명의 금속 피복 적층판은, 상기 절연 수지층이, 상기 금속층의 표면에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 상기 어느 것의 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 한다.The metal-clad laminate of the present invention is a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer provided on at least one side of the insulating resin layer. And the metal-clad laminate of the present invention, wherein the insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer in contact with the surface of the metal layer and a non-thermoplastic polyimide layer indirectly laminated, and the polyimide film of any of the above. It is characterized by that.

본 발명의 회로 기판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 배선층을 구비한 회로 기판이다. 그리고 본 발명의 회로 기판은, 상기 절연 수지층이, 상기 배선층에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 상기 어느 것의 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 한다.The circuit board of the present invention is a circuit board including an insulating resin layer and a wiring layer provided on at least one side of the insulating resin layer. And the circuit board of the present invention is characterized in that the insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer in contact with the wiring layer and a non-thermoplastic polyimide layer indirectly laminated, and includes a polyimide film of any of the above. do.

본 발명의 폴리이미드 필름은, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 함유율을 50몰% 이상으로 함으로써, 산소 투과도가 억제되어 있고, 저유전 정접화와 장기 내열 접착성의 향상이 양립되어 있다. 그 때문에, 본 발명의 폴리이미드 필름을 회로 기판 재료로서 이용함으로써, 고속 전송에 대한 대응과 함께, 반복하여 고온 환경에 노출되는 사용 환경이라도, 장기간에 걸쳐 금속층과의 접착성이 유지된 회로 기판을 제공할 수 있다.In the polyimide film of the present invention, when the content of the monomer residue having a biphenyl skeleton is 50 mol% or more, oxygen permeability is suppressed, and low dielectric loss tangent and long-term heat resistance improvement are both achieved. Therefore, by using the polyimide film of the present invention as a circuit board material, a circuit board capable of responding to high-speed transmission and maintaining adhesion to the metal layer over a long period of time, even in a use environment repeatedly exposed to a high-temperature environment. Can provide.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름의 구성을 나타내는 모식적 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름의 다른 구성예를 나타내는 모식적 단면도이다.
1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a polyimide film according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view showing another configuration example of the polyimide film according to the embodiment of the present invention.

다음으로, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.Next, an embodiment of the present invention will be described.

[폴리이미드 필름][Polyimide Film]

본 발명의 일 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름은, 비열가소성 폴리이미드를 포함하는 비열가소성 폴리이미드층과, 해당 비열가소성 폴리이미드층의 적어도 한쪽 면에 적층되어 있는, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 열가소성 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름이다. 여기서, 「비열가소성 폴리이미드」란, 동적 점탄성 측정 장치(DMA)를 사용하여 측정된 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 또한 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 이상을 나타내는 것을 의미한다. 「열가소성 폴리이미드」란, 동적 점탄성 측정 장치(DMA)를 사용하여 측정된 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 또한 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 미만을 나타내는 것을 의미한다.The polyimide film according to an embodiment of the present invention includes a non-thermoplastic polyimide layer containing a non-thermoplastic polyimide, and a thermoplastic polyimide containing a thermoplastic polyimide laminated on at least one side of the non-thermoplastic polyimide layer. It is a polyimide film having a mid layer. Here, "non-thermoplastic polyimide" means that the storage modulus at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA) is 1.0×10 9 Pa or more, and storage in a temperature range within the glass transition temperature +30°C. It means that the modulus of elasticity is 1.0×10 8 Pa or more. "Thermoplastic polyimide" means that the storage modulus at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA) is 1.0×10 9 Pa or more, and the storage modulus in the temperature range within the glass transition temperature +30°C is 1.0. It means showing less than x10 8 Pa.

도 1 및 도 2는, 본 실시 형태에 관한 폴리이미드 필름의 구성예를 나타내고 있다. 도 1에 나타내는 폴리이미드 필름(100)은, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 편면에 열가소성 폴리이미드층(120A)이 적층된 2층 구조의 양태이다. 도 2에 나타내는 폴리이미드 필름(101)은, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 편면에 열가소성 폴리이미드층(120A)이, 다른 쪽의 면에 열가소성 폴리이미드층(120B)이 적층된 3층 구조의 양태이다. 또한, 본 실시 형태의 폴리이미드 필름은, 도 1, 도 2에 예시하는 적층 구조에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 4층 이상의 폴리이미드층을 구비하고 있어도 된다.1 and 2 have shown a configuration example of a polyimide film according to the present embodiment. The polyimide film 100 shown in FIG. 1 is an aspect of a two-layer structure in which a thermoplastic polyimide layer 120A is laminated on one side of a non-thermoplastic polyimide layer 110. The polyimide film 101 shown in FIG. 2 has a three-layer structure in which a thermoplastic polyimide layer 120A is laminated on one side of the non-thermoplastic polyimide layer 110 and a thermoplastic polyimide layer 120B is laminated on the other side. It is an aspect of. In addition, the polyimide film of this embodiment is not limited to the laminated structure illustrated in Figs. 1 and 2, and may include, for example, four or more polyimide layers.

비열가소성 폴리이미드층(110)의 수지 성분은, 비열가소성 폴리이미드를 포함하는 것이 바람직하고, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)의 수지 성분은, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 것이 바람직하다. 폴리이미드 필름(100, 101)과 금속박을 적층하여 금속 피복 적층판으로 하는 경우, 금속박은, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)의 편측, 또는 양측에 적층할 수 있다.The resin component of the non-thermoplastic polyimide layer 110 preferably contains a non-thermoplastic polyimide, and the resin component of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B preferably contains a thermoplastic polyimide. When the polyimide films 100 and 101 and the metal foil are laminated to form a metal-clad laminate, the metal foil can be laminated on one side or both sides of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B.

또한, 비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드는, 모두, 「모노머 잔기」로서, 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 「산 이무수물 잔기」란, 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도된 4가의 기를 의미하고, 「디아민 잔기」란, 디아민 화합물로부터 유도된 2가의 기를 의미한다.In addition, both the non-thermoplastic polyimide and the thermoplastic polyimide contain an acid dianhydride residue and a diamine residue as "monomer residues". The "acid dianhydride residue" means a tetravalent group derived from a tetracarboxylic dianhydride, and the "diamine residue" means a divalent group derived from a diamine compound.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 비열가소성 폴리이미드층(110)은 저열팽창성의 폴리이미드층을 구성하고, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)은 고열팽창성의 폴리이미드층을 구성한다. 저열팽창성의 폴리이미드층은, 열팽창 계수(CTE)가 바람직하게는 1ppm/K 이상 25ppm/K 이하의 범위 내, 보다 바람직하게는 3ppm/K 이상 25ppm/K 이하의 범위 내인 폴리이미드층을 말한다. 또한, 고열팽창성의 폴리이미드층은, CTE가 바람직하게는 35ppm/K 이상, 보다 바람직하게는 35ppm/K 이상 80ppm/K 이하의 범위 내, 더욱 바람직하게는 35ppm/K 이상 70ppm/K 이하의 범위 내인 폴리이미드층을 말한다. 사용하는 원료의 조합, 두께, 건조·경화 조건을 적절하게 변경함으로써 원하는 CTE를 갖는 폴리이미드층으로 할 수 있다.In the polyimide films 100 and 101 of the present embodiment, the non-thermoplastic polyimide layer 110 constitutes a polyimide layer having low thermal expansion, and the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B are polyimide layers having high thermal expansion properties. Configure. The low thermal expansion polyimide layer refers to a polyimide layer having a thermal expansion coefficient (CTE) of preferably 1 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, and more preferably 3 ppm/K or more and 25 ppm/K or less. In addition, the high thermal expansion polyimide layer has a CTE of preferably 35 ppm/K or more, more preferably 35 ppm/K or more and 80 ppm/K or less, and still more preferably 35 ppm/K or more and 70 ppm/K or less. It refers to the inner polyimide layer. A polyimide layer having a desired CTE can be obtained by appropriately changing the combination of the raw materials to be used, the thickness, and the drying and curing conditions.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 하기의 조건 (i) 내지 (iii)을 충족하는 것이다.The polyimide films 100 and 101 of the present embodiment satisfy the following conditions (i) to (iii).

(i) 열팽창 계수가 10 내지 30ppm/K의 범위 내인 것.(i) The thermal expansion coefficient is in the range of 10 to 30 ppm/K.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 휨의 발생이나 치수 안정성의 저하를 방지하기 위해, 필름 전체의 열팽창 계수(CTE)가 10ppm/K 이상 30ppm/K 이하의 범위 내인 것이 중요하고, 바람직하게는 10ppm/K 이상 25ppm/K 이하의 범위 내가 좋고, 15 내지 25ppm/K의 범위 내가 보다 바람직하다. CTE가 10ppm/K 미만이거나, 또는 30ppm/K를 초과하면, 휨이 발생하거나, 치수 안정성이 저하되거나 한다.When the polyimide films 100 and 101 of the present embodiment are applied as an insulating resin layer of a circuit board, for example, in order to prevent the occurrence of warpage and decrease in dimensional stability, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the entire film is It is important that) is in the range of 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less, preferably 10 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, and more preferably 15 to 25 ppm/K. When the CTE is less than 10 ppm/K or exceeds 30 ppm/K, warpage occurs or dimensional stability is deteriorated.

(ii) 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하인 것.(ii) What has an oxygen permeability of 5.5×10 -14 mol/(m2·s·Pa) or less.

폴리이미드 필름(100, 101)의 산소 투과도를 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하로 제어함으로써, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 반복하여 고온에 노출되는 환경이라도, 장기간에 걸쳐 배선층과의 접착성이 유지되어, 우수한 장기 내열 접착성이 얻어진다. 폴리이미드 필름(100, 101)의 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩)을 초과하는 경우는, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하여, 반복하여 고온에 노출된 경우에, 절연 수지층을 투과한 산소에 의해 배선층의 산화가 진행되어, 배선층과 절연 수지층의 접착성이 저하되어 버린다.By controlling the oxygen permeability of the polyimide films (100, 101) to 5.5 × 10 -14 mol/(m 2 ·s · Pa) or less, for example, in the case of applying as an insulating resin layer of a circuit board, repeated high temperature Even in an environment exposed to, the adhesion with the wiring layer is maintained over a long period of time, and excellent long-term heat resistance adhesion is obtained. When the oxygen permeability of the polyimide films (100, 101) exceeds 5.5×10 -14 mol/(m2·s·Pa), for example, it is applied as an insulating resin layer of a circuit board and repeatedly exposed to high temperatures. In this case, oxidation of the wiring layer proceeds due to oxygen passing through the insulating resin layer, and the adhesion between the wiring layer and the insulating resin layer is deteriorated.

(iii) 비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 하기 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기(이하, 「비페닐 골격 함유 잔기」라고 기재하는 경우가 있음)의 비율이 50㏖% 이상인 것.(iii) Monomer residues having a biphenyl skeleton calculated by the following formula (1) with respect to all monomer residues derived from all monomer components constituting the non-thermoplastic polyimide and the thermoplastic polyimide (hereinafter referred to as ``biphenyl skeleton containing Residues" may be described) with a ratio of 50 mol% or more.

Figure pat00002
Figure pat00002

식(1)에 있어서, Mi는, 제i층의 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기가 차지하는 비율(단위; ㏖%)이고, Li는, 제i층의 폴리이미드층의 두께(단위; ㎛)이고, L은 폴리이미드 필름의 두께(단위; ㎛)이고, n은 2 이상의 정수이다.In the formula (1), M i is the ratio (unit: mol%) of the total monomer residues derived from all monomer components in the polyimide constituting the i-th polyimide layer, the biphenyl skeleton-containing residue. ), L i is the thickness (unit: µm) of the polyimide layer of the i-th layer, L is the thickness (unit: µm) of the polyimide film, and n is an integer of 2 or more.

폴리이미드 필름(100, 101)을 구성하는 폴리이미드의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격 함유 잔기의 비율이 50㏖% 이상임으로써, 모노머 유래의 강직 구조에 의해 폴리머 전체에 질서 구조가 형성되기 쉬워져, 산소 투과도를 저하시킴과 함께, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접을 저하시킬 수 있다. 비페닐 골격 함유 잔기의 비율이 50㏖% 미만이면, 유전 정접이 충분히 저하되지 않는다. 또한, 폴리이미드 필름의 두께를 얇게 하면 산소 투과도가 충분히 저하되지 않는다. 이 때문에, 예를 들어 회로 기판에 사용하였을 때, 장기 내열 접착성이 불충분해짐과 함께, 고속 전송에 대한 적응이 곤란해진다. 이러한 관점에서, 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격 함유 잔기의 비율은, 60㏖% 이상인 것이 바람직하고, 65㏖% 이상인 것이 보다 바람직하다. 한편, 회로 기판 재료로서 사용할 수 있는 폴리이미드 필름에 필요한 물성을 유지하기 위해, 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격 함유 잔기의 비율은 80㏖% 이하로 하는 것이 바람직하다.Since the ratio of the biphenyl skeleton-containing residues calculated by formula (1) to all monomer residues derived from all monomer components of the polyimide constituting the polyimide films (100, 101) is 50 mol% or more, it is derived from a monomer. Due to the rigid structure of the polymer, an ordered structure is easily formed in the entire polymer, and the oxygen permeability is lowered, and the dielectric loss tangent can be lowered by suppressing the motion of the molecules. If the proportion of the biphenyl skeleton-containing residue is less than 50 mol%, the dielectric loss tangent does not sufficiently decrease. In addition, when the thickness of the polyimide film is made thin, the oxygen permeability is not sufficiently reduced. For this reason, when used for a circuit board, for example, long-term heat-resistant adhesiveness becomes insufficient, and adaptation to high-speed transmission becomes difficult. From this viewpoint, the ratio of the biphenyl skeleton-containing residue calculated by formula (1) is preferably 60 mol% or more, and more preferably 65 mol% or more. On the other hand, in order to maintain the physical properties required for a polyimide film that can be used as a circuit board material, the proportion of the biphenyl skeleton-containing residue calculated by formula (1) is preferably 80 mol% or less.

여기서, 비페닐 골격이란, 하기의 식(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 페닐기가 단결합된 골격이다. 따라서, 비페닐 골격 함유 잔기란, 예를 들어 비페닐디일기, 비페닐테트라일기 등을 들 수 있다. 이들 잔기에 포함되는 방향환은, 임의의 치환기를 갖고 있어도 된다.Here, the biphenyl skeleton is a skeleton in which two phenyl groups are single bonded, as shown in the following formula (a). Therefore, the biphenyl skeleton-containing residue includes, for example, a biphenyldiyl group and a biphenyltetrayl group. The aromatic ring contained in these residues may have an arbitrary substituent.

비페닐디일기의 대표예로서는, 하기의 식(b)로 표시되는 것을 들 수 있다. 비페닐테트라일기의 대표예로서는, 하기의 식(c)로 표시되는 것을 들 수 있다. 또한, 비페닐디일기 및 비페닐테트라일기에 있어서, 방향환에 있어서의 결합손은, 식(b) 및 식(c)에 나타내는 위치에 한정되는 것은 아니며, 또한 상기한 바와 같이, 이들 잔기에 포함되는 방향환은, 임의의 치환기를 갖고 있어도 된다.Representative examples of the biphenyldiyl group include those represented by the following formula (b). Representative examples of the biphenyltetrayl group include those represented by the following formula (c). In addition, in the biphenyldiyl group and the biphenyltetrayl group, the bonding hand in the aromatic ring is not limited to the positions shown in formulas (b) and (c), and as described above, to these residues The included aromatic ring may have an arbitrary substituent.

Figure pat00003
Figure pat00003

비페닐 골격 함유 잔기는, 원료 모노머에서 유래되는 구조이며, 산 이무수물로부터 유도되는 것이어도 되고, 디아민 화합물로부터 유도되는 것이어도 된다.The biphenyl skeleton-containing residue has a structure derived from a raw material monomer, and may be derived from an acid dianhydride, or may be derived from a diamine compound.

비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기의 대표예로서는, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물(BPDA), 2,3',3,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-비페놀-비스(트리멜리테이트 무수물) 등의 산 이무수물로부터 유도되는 잔기를 들 수 있다. 이들 중에서도, 특히 BPDA로부터 유도되는 산 이무수물 잔기(이하, 「BPDA 잔기」라고도 함)는, 폴리머의 질서 구조를 형성하기 쉽고, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접이나 흡습성을 저하시킬 수 있으므로 바람직하다. 또한, BPDA 잔기는, 폴리이미드 전구체의 폴리아미드산으로서의 겔막의 자기 지지성을 부여할 수 있다.Representative examples of acid dianhydride residues having a biphenyl skeleton include 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxyl And residues derived from acid dianhydrides such as acid dianhydride and 4,4'-biphenol-bis (trimellitate anhydride). Among these, in particular, acid dianhydride residues derived from BPDA (hereinafter, also referred to as ``BPDA residues'') are preferable because they tend to form an ordered structure of the polymer, and can reduce the dielectric loss tangent or hygroscopicity by inhibiting the motion of the molecule. . Further, the BPDA residue can impart self-supporting properties of the gel film as a polyamic acid of the polyimide precursor.

비페닐 골격을 갖는 디아민 화합물의 대표예로서는, 방향환을 2개만 갖는 디아민 화합물을 들 수 있고, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB), 2,2'-디에틸-4,4'-디아미노비페닐(m-EB), 2,2'-디에톡시-4,4'-디아미노비페닐(m-EOB), 2,2'-디프로폭시-4,4'-디아미노비페닐(m-POB), 2,2'-디-n-프로필-4,4'-디아미노비페닐(m-NPB), 2,2'-디비닐-4,4'-디아미노비페닐(VAB), 4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-디아미노-2,2'-비스(트리플루오로메틸)비페닐(TFMB) 등을 들 수 있다. 이들 디아민 화합물로부터 유도되는 잔기는, 강직 구조를 갖고 있으므로, 폴리머 전체에 질서 구조를 부여하는 작용을 갖고 있다. 이들 디아민 화합물로부터 유도되는 잔기를 함유함으로써, 산소 투과도가 낮고, 저흡습성인 폴리이미드가 얻어져, 분자쇄 내부의 수분을 저감할 수 있으므로, 유전 정접을 낮출 수 있다.Representative examples of diamine compounds having a biphenyl skeleton include diamine compounds having only two aromatic rings, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2' -Diethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-EB), 2,2'-diethoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-EOB), 2,2'-dipropoxy -4,4'-diaminobiphenyl (m-POB), 2,2'-di-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 2,2'-divinyl- 4,4'-diaminobiphenyl (VAB), 4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl (TFMB), etc. Can be lifted. Since the residues derived from these diamine compounds have a rigid structure, they have an action of imparting an ordered structure to the entire polymer. By containing the residues derived from these diamine compounds, a polyimide having low oxygen permeability and low hygroscopicity can be obtained, and the moisture inside the molecular chain can be reduced, so that the dielectric loss tangent can be lowered.

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 상기 (i) 내지 (iii)의 조건에 추가하여, 또한 다음 조건 (iv)를 충족하는 것이 바람직하다.It is preferable that the polyimide films 100 and 101 of the present embodiment further satisfy the following condition (iv) in addition to the conditions (i) to (iii).

(iv) 열가소성 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상인 것.(iv) Among all the monomer residues derived from all the monomer components in the thermoplastic polyimide, the ratio of the biphenyl skeleton-containing residue to 30 mol% or more.

열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상임으로써, 모노머 유래의 강직 구조에 의해, 폴리머 전체에 질서 구조가 형성되므로, 열가소성이면서, 산소 투과도 및 흡습성이 낮고, 장기 내열 접착성이 우수하고, 유전 정접이 낮은 폴리이미드가 얻어진다. 또한, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 양측에 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)을 갖는 경우는, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B) 중 어느 한쪽이 상기 조건 (iv)를 충족하면 되지만, 양쪽의 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)이 모두 상기 조건 (iv)를 충족하는 것이 바람직하다.Since the proportion of the biphenyl skeleton-containing residues among the total monomer residues constituting the thermoplastic polyimide is 30 mol% or more, the rigid structure derived from the monomer forms an ordered structure throughout the polymer, so it is thermoplastic, oxygen permeability and hygroscopicity This low, long-term heat-resistant adhesiveness is excellent, and a polyimide having a low dielectric loss tangent is obtained. In addition, in the case of having the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B on both sides of the non-thermoplastic polyimide layer 110, any one of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B may satisfy the above condition (iv), It is preferable that both of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B satisfy the above condition (iv).

<두께><Thickness>

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)의 전체의 두께 T1은, 사용하는 목적에 따라서, 소정의 범위 내로 설정하는 것이 가능하고, 예를 들어 30 내지 60㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 35 내지 50㎛의 범위 내에 있는 것이 보다 바람직하다. 두께 T1이 상기 하한값에 못 미치면, 산소 투과도를 충분히 낮추는 것이 곤란해져, 반복하여 고온에 노출된 경우에 배선층과 절연 수지층의 접착성이 저하되어 버릴 우려가 있다. 한편, 두께 T1이 상기 상한값을 초과하면, 폴리이미드 필름을 구부렸을 때에 크랙이 발생하여 파열되는 등의 문제가 발생한다.The overall thickness T1 of the polyimide films 100 and 101 of the present embodiment can be set within a predetermined range depending on the purpose of use, and is preferably within a range of, for example, 30 to 60 μm, It is more preferably in the range of 35 to 50 µm. If the thickness T1 is less than the above lower limit, it becomes difficult to sufficiently lower the oxygen permeability, and there is a fear that the adhesion between the wiring layer and the insulating resin layer may deteriorate when repeatedly exposed to high temperatures. On the other hand, when the thickness T1 exceeds the above upper limit, a problem such as cracking and rupture occurs when the polyimide film is bent.

또한, 폴리이미드 필름(100, 101)의 전체의 두께 T1에 대한 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)의 합계 두께 T2(여기서, T2는 도 1의 T2A를, 도 2의 T2A+T2B를 의미함)의 비율 T2/T1이 0.17 이하인 것이 바람직하고, 0.10 내지 0.15의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 이 비의 값이 0.17보다 크면, 산소 투과도가 커짐과 함께, 유전 정접의 저하가 곤란해진다. 그 때문에, 예를 들어 회로 기판에 사용하였을 때, 장기 내열 접착성이 불충분해짐과 함께, 고속 전송에 대한 적응이 곤란해진다.In addition, the total thickness T2 of the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B with respect to the total thickness T1 of the polyimide films 100 and 101 (here, T2 means T2A in FIG. 1 and T2A+T2B in FIG. 2). ) The ratio T2/T1 is preferably 0.17 or less, and more preferably in the range of 0.10 to 0.15. When the value of this ratio is greater than 0.17, the oxygen permeability increases and the decrease in the dielectric loss tangent becomes difficult. Therefore, when used for a circuit board, for example, long-term heat-resistant adhesiveness becomes insufficient, and adaptation to high-speed transmission becomes difficult.

비율 T2/T1의 하한은 특별히 한정되지 않는다. 비율 T2/T1이 작아질수록, 산소 투과도 및 유전 정접의 저감을 도모하기 쉬워지기 때문이다. 단, 비율 T2/T1이 작아질수록, 상대적으로 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)이 차지하는 두께 비율이 작아진다는 점에서, 비율 T2/T1의 하한은, 폴리이미드 필름(100, 101)과 배선층의 접착 신뢰성을 확보할 수 있는 값으로서, 예를 들어 0.02 정도가 바람직하다.The lower limit of the ratio T2/T1 is not particularly limited. This is because the smaller the ratio T2/T1 is, the easier it is to reduce the oxygen permeability and the dielectric loss tangent. However, the lower the ratio T2/T1 is, the smaller the thickness ratio occupied by the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B is, so the lower limit of the ratio T2/T1 is that of the polyimide films 100 and 101 As a value capable of securing the adhesion reliability of the wiring layer, for example, about 0.02 is preferable.

또한, 비열가소성 폴리이미드층(110)의 두께 T3은, 사용하는 목적에 따라서, 소정의 범위 내로 설정하는 것이 가능하고, 예를 들어 25 내지 49㎛의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 30 내지 49㎛의 범위 내에 있는 것이 보다 바람직하다. 두께 T3이 상기 하한값에 못 미치면, 폴리이미드 필름(100, 101)의 유전 특성의 개선 효과가 작아짐과 함께, 산소 투과도가 커져, 반복하여 고온에 노출된 경우에 배선층과 절연 수지층의 접착성이 저하되어 버릴 우려가 있다.In addition, the thickness T3 of the non-thermoplastic polyimide layer 110 can be set within a predetermined range depending on the purpose of use, and is preferably within a range of 25 to 49 μm, for example, 30 to 49 μm. It is more preferable to fall within the range of. If the thickness T3 is less than the lower limit, the effect of improving the dielectric properties of the polyimide films 100 and 101 decreases, and the oxygen permeability increases, and the adhesion between the wiring layer and the insulating resin layer when repeatedly exposed to high temperatures is increased. There is a risk of deteriorating.

일반적으로 폴리이미드는, 산 이무수물과 디아민 화합물을 용매 중에서 반응시켜, 폴리아미드산을 생성한 후 가열 폐환(이미드화)시킴으로써 제조할 수 있다. 예를 들어, 산 이무수물과 디아민 화합물을 거의 등몰로 유기 용매 중에 용해시켜, 0 내지 100℃의 범위 내의 온도에서 30분 내지 24시간 교반하여 중합 반응시킴으로써 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산이 얻어진다. 반응 시에는, 생성되는 전구체가 유기 용매 중에 5 내지 30중량%의 범위 내, 바람직하게는 10 내지 20중량%의 범위 내가 되도록 반응 성분을 용해한다. 중합 반응에 사용하는 유기 용매로서는, 예를 들어 N,N-디메틸포름아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N,N-디에틸아세트아미드, N-메틸-2-피롤리돈(NMP), 2-부타논, 디메틸술폭시드(DMSO), 헥사메틸포스포르아미드, N-메틸카프로락탐, 황산디메틸, 시클로헥사논, 디옥산, 테트라히드로푸란, 디글라임, 트리글라임, 크레졸 등을 들 수 있다. 이들 용매를 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있고, 나아가 크실렌, 톨루엔과 같은 방향족 탄화수소의 병용도 가능하다. 또한, 이러한 유기 용매의 사용량으로서는 특별히 제한되는 것은 아니지만, 중합 반응에 의해 얻어지는 폴리아미드산 용액의 농도가 5 내지 30중량% 정도가 되는 사용량으로 조정하여 사용하는 것이 바람직하다.In general, polyimide can be produced by reacting an acid dianhydride and a diamine compound in a solvent to produce a polyamic acid, followed by heat ring closure (imidization). For example, an acid dianhydride and a diamine compound are dissolved in an organic solvent in substantially equimolar amounts, and stirred at a temperature within the range of 0 to 100° C. for 30 minutes to 24 hours for a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid as a precursor of a polyimide. During the reaction, the reaction component is dissolved so that the resulting precursor is in the range of 5 to 30% by weight, preferably 10 to 20% by weight in the organic solvent. Examples of the organic solvent used in the polymerization reaction include N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, and N-methyl-2-pi. Rolidone (NMP), 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme And cresols. Two or more of these solvents may be used in combination, and further, aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may be used in combination. In addition, the amount of the organic solvent to be used is not particularly limited, but it is preferable to use it by adjusting the concentration of the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction to an amount of about 5 to 30% by weight.

합성된 폴리아미드산은, 통상, 반응 용매 용액으로서 사용하는 것이 유리하지만, 필요에 따라 농축, 희석 또는 다른 유기 용매로 치환할 수 있다. 또한, 폴리아미드산은 일반적으로 용매 가용성이 우수하므로, 유리하게 사용된다. 폴리아미드산의 용액의 점도는, 500cps 내지 100,000cps의 범위 내인 것이 바람직하다. 이 범위를 벗어나면, 코터 등에 의한 도공 작업 시에 필름에 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워진다. 폴리아미드산을 이미드화시키는 방법은, 특별히 제한되지 않고, 예를 들어 상기 용매 중에서, 80 내지 400℃의 범위 내의 온도 조건에서 1 내지 24시간에 걸쳐 가열한다고 하는 열처리가 적합하게 채용된다.The synthesized polyamic acid is usually advantageously used as a reaction solvent solution, but can be concentrated, diluted or substituted with another organic solvent as necessary. In addition, polyamic acid is advantageously used because it is generally excellent in solvent solubility. The viscosity of the polyamic acid solution is preferably in the range of 500 cps to 100,000 cps. If it is out of this range, defects such as thickness unevenness and streaks are liable to occur in the film during a coating operation with a coater or the like. The method of imidizing the polyamic acid is not particularly limited, and for example, a heat treatment such as heating in the above solvent at a temperature condition within the range of 80 to 400° C. for 1 to 24 hours is suitably employed.

다음으로, 비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드에 대해, 보다 구체적으로 설명한다.Next, the non-thermoplastic polyimide and the thermoplastic polyimide will be described in more detail.

<비열가소성 폴리이미드><Non-thermoplastic polyimide>

폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 비열가소성 폴리이미드층(110)을 구성하는 비열가소성 폴리이미드는, 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 비열가소성 폴리이미드는, 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기를 60㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 70㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 비열가소성 폴리이미드 중의 비페닐 골격 함유 잔기를 60㏖% 이상으로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)을 구성하는 폴리이미드 전체에 있어서의 비페닐 골격 함유 잔기의 함유 비율을 높이고, 산소 투과도를 낮추어, 저유전 정접화를 도모할 수 있다.In the polyimide films 100 and 101, the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 110 contains an acid dianhydride residue and a diamine residue. The non-thermoplastic polyimide preferably contains 60 mol% or more, and more preferably 70 mol% or more, of all monomer residues derived from all monomer components. By making the biphenyl skeleton-containing residue in the non-thermoplastic polyimide 60 mol% or more, the content ratio of the biphenyl skeleton-containing residue in the entire polyimide constituting the polyimide films 100 and 101 is increased, and the oxygen permeability is lowered. , Low dielectric loss tangent can be achieved.

(산 이무수물 잔기)(Acid dianhydride residue)

비열가소성 폴리이미드는, 전체 산 이무수물 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기를 35㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 50㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 식(c)로 표시되는 비페닐테트라일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다.The non-thermoplastic polyimide preferably contains 35 mol% or more of acid dianhydride residues having a biphenyl skeleton among all acid dianhydride residues, and more preferably 50 mol% or more. More preferably, it is good to contain the biphenyltetrayl group represented by formula (c) in the amount described above.

비열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용되는 산 이무수물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 산 이무수물 잔기로서, 예를 들어 피로멜리트산 이무수물(PMDA), 1,4-페닐렌비스(트리멜리트산 모노에스테르) 이무수물(TAHQ), 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물(NTCDA), 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-옥시디프탈산 무수물, 2,2',3,3'-, 2,3,3',4'- 또는 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 2,3',3,4'-디페닐에테르테트라카르복실산 이무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)에테르 이무수물, 3,3",4,4"-, 2,3,3",4"- 또는 2,2",3,3"-p-테르페닐테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)-프로판 이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)메탄 이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)술폰 이무수물, 1,1-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)에탄 이무수물, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- 또는 1,2,9,10-페난트렌-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-안트라센테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)테트라플루오로프로판 이무수물, 2,3,5,6-시클로헥산 이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 1,4,5,8-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사히드로나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 2,6- 또는 2,7-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복실산 이무수물, 2,3,6,7-(또는 1,4,5,8-)테트라클로로나프탈렌-1,4,5,8-(또는 2,3,6,7-)테트라카르복실산 이무수물, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- 또는 5,6,11,12-페릴렌-테트라카르복실산 이무수물, 시클로펜탄-1,2,3,4-테트라카르복실산 이무수물, 피라진-2,3,5,6-테트라카르복실산 이무수물, 피롤리딘-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 티오펜-2,3,4,5-테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-비스(2,3-디카르복시페녹시)디페닐메탄 이무수물, 에틸렌글리콜 비스안히드로트리멜리테이트 등의 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 산 이무수물 잔기를 들 수 있다.The non-thermoplastic polyimide may contain, in addition to the acid dianhydride residue having a biphenyl skeleton described above, a residue of an acid dianhydride that is generally used as a raw material for a polyimide within a range that does not impair the effects of the invention. As such acid dianhydride residues, for example, pyromellitic dianhydride (PMDA), 1,4-phenylenebis (trimellitic acid monoester) dianhydride (TAHQ), 2,3,6,7-naphthalenetetracar Acid dianhydride (NTCDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'-, 2 ,3,3',4'- or 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 3,3",4,4"-, 2,3,3",4"- or 2,2",3,3"-p-terphenyltetra Carboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3 ,4-dicarboxyphenyl)tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8 -Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- Or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- (or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene-1,4, 5,8-(or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5 ,6,11,12-perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride Water, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-ratio And acid dianhydride residues derived from aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as s(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride and ethylene glycol bisanehydrotrimellitate.

(디아민 잔기)(Diamine residue)

비열가소성 폴리이미드는, 전체 디아민 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기를 70㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 85㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 식(b)로 표시되는 비페닐디일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다. 식(b)로 표시되는 비페닐디일기는, 강직 구조를 갖고, 폴리머 전체에 질서 구조를 부여하는 작용을 갖고 있으므로, 산소 투과도를 낮춤과 함께, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접을 저하시킬 수 있다.The non-thermoplastic polyimide preferably contains 70 mol% or more of diamine residues having a biphenyl skeleton among all diamine residues, and more preferably 85 mol% or more. More preferably, it is good to contain the biphenyldiyl group represented by formula (b) in the amount described above. The biphenyldiyl group represented by the formula (b) has a rigid structure and has the effect of imparting an ordered structure to the entire polymer, so it can lower the dielectric loss tangent by suppressing the motion of molecules while lowering the oxygen permeability. have.

비열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용할 수 있는 디아민 화합물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 디아민 잔기로서, 예를 들어 1,4-디아미노벤젠(p-PDA; 파라페닐렌디아민), 4-아미노페닐-4'-아미노벤조에이트(APAB), 3,3'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 3,4'-디아미노디페닐프로판, 3,4'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노벤조페논, (3,3'-비스아미노)디페닐아민, 1,4-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 3-[3-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(APB), 4,4'-[2-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[4-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[5-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 비스[4,4'-(3-아미노페녹시)]벤즈아닐리드, 4-[3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]페녹시]아닐린, 4,4'-[옥시비스(3,1-페닐렌옥시)]비스아닐린, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]에테르(BAPE), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰(BAPS), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]케톤(BAPK), 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP), 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]메탄, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]에테르, 비스[4-(3-아미노페녹시)]벤조페논, 9,9-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]플루오렌, 2,2-비스-[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-메틸렌디-o-톨루이딘, 4,4'-메틸렌디-2,6-크실리딘, 4,4'-메틸렌-2,6-디에틸아닐린, 3,3'-디아미노디페닐에탄, 3,3'-디아미노비페닐, 3,3'-디메톡시벤지딘, 3,3"-디아미노-p-테르페닐, 4,4'-[1,4-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 4,4'-[1,3-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 비스(p-아미노시클로헥실)메탄, 비스(p-β-아미노-t-부틸페닐)에테르, 비스(p-β-메틸-δ-아미노펜틸)벤젠, p-비스(2-메틸-4-아미노펜틸)벤젠, p-비스(1,1-디메틸-5-아미노펜틸)벤젠, 1,5-디아미노나프탈렌, 2,6-디아미노나프탈렌, 2,4-비스(β-아미노-t-부틸)톨루엔, 2,4-디아미노톨루엔, m-크실렌-2,5-디아민, p-크실렌-2,5-디아민, m-크실릴렌디아민, p-크실릴렌디아민, 2,6-디아미노피리딘, 2,5-디아미노피리딘, 2,5-디아미노-1,3,4-옥사디아졸, 피페라진, 2'-메톡시-4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 1,3-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스(4-아미노페녹시)-2,5-디-tert-부틸벤젠, 6-아미노-2-(4-아미노페녹시)벤조옥사졸, 2,6-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,3'-디에틸-5,5'-디메틸디페닐메탄, 비스(4-아미노-3-에틸-5-메틸페닐)메탄 등의 방향족 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기, 다이머산의 2개의 말단 카르복실산기가 1급의 아미노메틸기 또는 아미노기로 치환되어 이루어지는 다이머산형 디아민 등의 지방족 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기 등을 들 수 있다.The non-thermoplastic polyimide may contain, in addition to the diamine residue having a biphenyl skeleton described above, a residue of a diamine compound that can be generally used as a raw material for a polyimide within a range that does not impair the effects of the invention. As such diamine moieties, for example 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB), 3,3'-diaminodiphenyl Methane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4 '-Diaminodiphenylether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-diaminobenzo Phenone, (3,3'-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine, 3-[ 3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB) , 4,4'-[2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4 ,4'-[5-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, bis[4,4'-(3-aminophenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4-( 4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether ( BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK), 2,2-bis-[4-(3 -Aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4- (3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-( 3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy) Phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xyl Dean, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-di Aminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3"-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline , 4,4'-[1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl) ether , Bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1, 5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl) toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p- Xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4 -Oxadiazole, piperazine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2 -Propyl]benzene, 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)-2,5-di-tert-butylbenzene, 6-amino-2-(4-aminophenoxy)benzoxazole, 2,6-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4 Diamine residues, dimer acids derived from aromatic diamine compounds such as diamino-3,3'-diethyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane and bis(4-amino-3-ethyl-5-methylphenyl)methane And diamine residues derived from aliphatic diamine compounds such as dimer acid-type diamines obtained by substituting two terminal carboxylic acid groups of the primary aminomethyl group or an amino group.

비열가소성 폴리이미드에 있어서, 상기 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 산 이무수물 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 산소 투과도, 유전 특성, 열팽창 계수, 저장 탄성률, 인장 탄성률 등을 제어할 수 있다. 또한, 비열가소성 폴리이미드에 있어서, 폴리이미드의 구조 단위를 복수 갖는 경우는, 블록으로서 존재해도 되고, 랜덤으로 존재하고 있어도 되지만, 랜덤으로 존재하는 것이 바람직하다.In the non-thermoplastic polyimide, by selecting the types of the acid dianhydride residues and diamine residues, or the respective molar ratios when two or more acid dianhydride residues or diamine residues are applied, oxygen permeability, dielectric properties, coefficient of thermal expansion, Storage modulus, tensile modulus, etc. can be controlled. In addition, in the non-thermoplastic polyimide, when it has a plurality of structural units of the polyimide, it may exist as a block or may exist at random, but it is preferable to exist at random.

비열가소성 폴리이미드는, 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 방향족 테트라카르복실산 잔기 및 방향족 디아민으로부터 유도되는 방향족 디아민 잔기를 포함하는 것이 바람직하다. 비열가소성 폴리이미드에 포함되는 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를, 모두 방향족기로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)의 고온 환경하에서의 치수 정밀도를 향상시킬 수 있다.It is preferable that the non-thermoplastic polyimide contains an aromatic tetracarboxylic acid residue derived from an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine. By using both the acid dianhydride residue and the diamine residue contained in the non-thermoplastic polyimide as aromatic groups, the dimensional accuracy of the polyimide films 100 and 101 in a high-temperature environment can be improved.

비열가소성 폴리이미드의 이미드기 농도는, 33중량% 이하인 것이 바람직하다. 여기서, 「이미드기 농도」는, 폴리이미드 중의 이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을, 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 의미한다. 이미드기 농도가 33중량%를 초과하면, 극성기의 증가에 의해 흡습성이 증가한다. 상기 산 이무수물과 디아민 화합물의 조합을 선택함으로써, 비열가소성 폴리이미드 중의 분자의 배향성을 제어함으로써, 이미드기 농도 저하에 수반되는 CTE의 증가를 억제하여, 저흡습성을 담보할 수 있다.It is preferable that the imide group concentration of the non-thermoplastic polyimide is 33% by weight or less. Here, "imide group concentration" means a value obtained by dividing the molecular weight of the imide group portion (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide. When the concentration of the imide group exceeds 33% by weight, the hygroscopicity increases due to the increase of the polar group. By selecting the combination of the acid dianhydride and the diamine compound, by controlling the orientation of the molecules in the non-thermoplastic polyimide, the increase in CTE accompanying the decrease in the concentration of the imide group can be suppressed, thereby ensuring low hygroscopicity.

비열가소성 폴리이미드의 중량 평균 분자량은, 예를 들어 10,000 내지 400,000의 범위 내가 바람직하고, 50,000 내지 350,000의 범위 내가 보다 바람직하다. 중량 평균 분자량이 10,000 미만이면, 필름의 강도가 저하되어 취화되기 쉬운 경향이 된다. 한편, 중량 평균 분자량이 400,000을 초과하면, 과도하게 점도가 증가하여 도공 작업 시에 필름 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬운 경향이 된다.The weight average molecular weight of the non-thermoplastic polyimide is preferably in the range of 10,000 to 400,000, and more preferably in the range of 50,000 to 350,000. When the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film is lowered, and brittleness tends to occur. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and there is a tendency that defects such as film thickness unevenness and streaks are likely to occur during the coating operation.

<열가소성 폴리이미드><Thermoplastic polyimide>

폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)을 구성하는 열가소성 폴리이미드는, 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 열가소성 폴리이미드는, 상기한 조건 (iv)와 같이, 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격 함유 잔기를 30㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 40㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 열가소성 폴리이미드 중의 비페닐 골격 함유 잔기를 30㏖% 이상으로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)을 구성하는 폴리이미드 전체에 있어서의, 비페닐 골격 함유 잔기의 함유 비율을 높여, 산소 투과도를 저감함과 함께, 저유전 정접화를 도모할 수 있다. 한편, 열가소성 폴리이미드는, 금속층과의 접착성을 확보하기 위해 폴리이미드 분자쇄의 유연성을 향상시켜, 열가소성을 부여할 필요가 있다는 점에서, 비페닐 골격 함유 잔기의 함유량 상한을 65㏖% 이하로 하는 것이 바람직하다.In the polyimide films 100 and 101, the thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B contains an acid dianhydride residue and a diamine residue. The thermoplastic polyimide preferably contains 30 mol% or more, and more preferably 40 mol% or more, of all monomer residues derived from all monomer components, as in the above-described condition (iv). Do. When the amount of the biphenyl skeleton-containing residue in the thermoplastic polyimide is 30 mol% or more, the content ratio of the biphenyl skeleton-containing residue in the entire polyimide constituting the polyimide films 100 and 101 is increased, thereby reducing the oxygen permeability. In addition, it is possible to achieve low-genetic tangentization. On the other hand, since thermoplastic polyimide needs to provide thermoplasticity by improving the flexibility of the polyimide molecular chain in order to secure adhesion to the metal layer, the upper limit of the content of the biphenyl skeleton-containing residue is 65 mol% or less. It is desirable to do it.

(산 이무수물 잔기)(Acid dianhydride residue)

열가소성 폴리이미드는, 전체 산 이무수물 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물 잔기를 60㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는, 식(c)로 표시되는 비페닐테트라일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다.It is preferable that the thermoplastic polyimide contains 60 mol% or more of acid dianhydride residues having a biphenyl skeleton among all acid dianhydride residues. More preferably, it is good to contain the biphenyltetrayl group represented by formula (c) in the amount described above.

열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 산 이무수물의 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용할 수 있는 산 이무수물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 산 이무수물 잔기로서, 비열가소성 폴리이미드에 대해 예시한 산 이무수물의 잔기를 들 수 있다.In addition to the residues of the acid dianhydride having a biphenyl skeleton, the thermoplastic polyimide may contain residues of acid dianhydrides that can generally be used as a raw material for polyimide within a range that does not impair the effects of the invention. As such an acid dianhydride residue, the residue of an acid dianhydride exemplified for a non-thermoplastic polyimide can be mentioned.

(디아민 잔기)(Diamine residue)

열가소성 폴리이미드는, 전체 디아민 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기를 1㏖% 이상 함유하는 것이 바람직하고, 5㏖% 이상 함유하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 식(b)로 표시되는 비페닐디일기를 상기한 양으로 함유하는 것이 좋다. 식(b)로 표시되는 비페닐디일기는, 강직 구조를 갖고, 폴리머 전체에 질서 구조를 부여하는 작용을 갖고 있으므로, 분자의 운동 억제에 의해 유전 정접이나 흡습성을 저하시킬 수 있다. 또한, 열가소성 폴리이미드의 원료로서 사용함으로써, 산소 투과도가 낮아, 장기 내열 접착성이 우수한 폴리이미드가 얻어진다.The thermoplastic polyimide preferably contains 1 mol% or more of diamine residues having a biphenyl skeleton among all diamine residues, and more preferably 5 mol% or more. More preferably, it is good to contain the biphenyldiyl group represented by formula (b) in the amount described above. Since the biphenyldiyl group represented by formula (b) has a rigid structure and has an action of imparting an ordered structure to the entire polymer, dielectric loss tangent and hygroscopicity can be reduced by suppressing the motion of molecules. Further, by using it as a raw material for a thermoplastic polyimide, a polyimide having low oxygen permeability and excellent long-term heat resistance can be obtained.

열가소성 폴리이미드는, 상기한 비페닐 골격을 갖는 디아민 잔기 외에, 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 일반적으로 폴리이미드의 원료로서 사용할 수 있는 디아민 화합물의 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 디아민 잔기로서, 비열가소성 폴리이미드에 대해 예시한 디아민 화합물의 잔기를 들 수 있다.The thermoplastic polyimide may contain, in addition to the diamine residue having a biphenyl skeleton described above, a residue of a diamine compound that can be generally used as a raw material for a polyimide within a range that does not impair the effects of the invention. As such a diamine residue, the residue of the diamine compound exemplified for the non-thermoplastic polyimide can be mentioned.

열가소성 폴리이미드에 있어서, 상기 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 산 이무수물 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 열팽창 계수, 인장 탄성률, 유리 전이 온도 등을 제어할 수 있다. 또한, 열가소성 폴리이미드에 있어서, 폴리이미드의 구조 단위를 복수 갖는 경우는, 블록으로서 존재해도 되고, 랜덤으로 존재해도 되지만, 랜덤으로 존재하는 것이 바람직하다.In the thermoplastic polyimide, by selecting the types of the acid dianhydride residues and diamine residues, or the respective molar ratios when two or more acid dianhydride residues or diamine residues are applied, the coefficient of thermal expansion, the tensile modulus, the glass transition temperature, etc. Can be controlled. In addition, in the case of having a plurality of structural units of the polyimide in the thermoplastic polyimide, it may be present as a block or may be present at random, but it is preferably present at random.

열가소성 폴리이미드는, 방향족 테트라카르복실산 이무수물로부터 유도되는 방향족 테트라카르복실산 잔기 및 방향족 디아민으로부터 유도되는 방향족 디아민 잔기를 포함하는 것이 바람직하다. 열가소성 폴리이미드에 포함되는 산 이무수물 잔기 및 디아민 잔기를, 모두 방향족기로 함으로써, 폴리이미드 필름(100, 101)의 고온 환경하에서의 폴리이미드의 열화를 억제할 수 있다.It is preferable that the thermoplastic polyimide contains an aromatic tetracarboxylic acid residue derived from an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine. When both the acid dianhydride residues and the diamine residues contained in the thermoplastic polyimide are aromatic groups, deterioration of the polyimide in the high temperature environment of the polyimide films 100 and 101 can be suppressed.

열가소성 폴리이미드의 이미드기 농도는, 30중량% 이하인 것이 바람직하다. 여기서, 「이미드기 농도」는, 폴리이미드 중의 이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을, 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 의미한다. 이미드기 농도가 30중량%를 초과하면, 유리 전이 온도 이상의 온도에서의 탄성률이 저하되기 어려워지고, 또한 극성기의 증가에 의해 저흡습성도 악화된다.It is preferable that the concentration of the imide group of the thermoplastic polyimide is 30% by weight or less. Here, "imide group concentration" means a value obtained by dividing the molecular weight of the imide group portion (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide. When the concentration of the imide group exceeds 30% by weight, the elastic modulus at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature is difficult to decrease, and the low hygroscopicity is also deteriorated due to an increase in the polar group.

열가소성 폴리이미드의 중량 평균 분자량은, 예를 들어 10,000 내지 400,000의 범위 내가 바람직하고, 50,000 내지 350,000의 범위 내가 보다 바람직하다. 중량 평균 분자량이 10,000 미만이면, 필름의 강도가 저하되어 취화되기 쉬운 경향이 된다. 한편, 중량 평균 분자량이 400,000을 초과하면, 과도하게 점도가 증가하여 도공 작업 시에 필름 두께 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬운 경향이 된다.The weight average molecular weight of the thermoplastic polyimide is preferably in the range of 10,000 to 400,000, and more preferably in the range of 50,000 to 350,000. When the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film is lowered, and brittleness tends to occur. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and there is a tendency that defects such as film thickness unevenness and streaks are likely to occur during the coating operation.

폴리이미드 필름(100, 101)에 있어서, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)은 접착층으로서 기능하여, 구리박 등의 금속층과의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 그 때문에, 열가소성 폴리이미드는, 유리 전이 온도가 200℃ 이상 350℃ 이하의 범위 내가 바람직하고, 200℃ 이상 320℃ 이하의 범위 내가 보다 바람직하다.In the polyimide films 100 and 101, the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B function as an adhesive layer, and the adhesion with a metal layer such as copper foil can be improved. Therefore, the glass transition temperature of the thermoplastic polyimide is preferably in the range of 200°C or more and 350°C or less, and more preferably in the range of 200°C or more and 320°C or less.

열가소성 폴리이미드는, 예를 들어 회로 기판의 배선층에 접하는 접착층이 되기 때문에, 구리의 확산을 억제하기 위해 완전히 이미드화된 구조가 가장 바람직하다. 단, 폴리이미드의 일부가 아미드산으로 되어 있어도 된다. 그 이미드화율은, 푸리에 변환 적외 분광 광도계(시판품: 니혼분코 제조 FT/IR620)를 사용하여, 1회 반사 ATR법으로 폴리이미드 박막의 적외선 흡수 스펙트럼을 측정함으로써, 1015㎝-1 부근의 벤젠환 흡수체를 기준으로 하여, 1780㎝-1의 이미드기에서 유래되는 C=O 신축의 흡광도로부터 산출된다.Since the thermoplastic polyimide becomes, for example, an adhesive layer in contact with the wiring layer of a circuit board, a completely imidized structure is most preferable in order to suppress diffusion of copper. However, a part of the polyimide may be made of amic acid. The imidization ratio is, the Fourier transform infrared spectrophotometer (commercially available product: manufactured by Nippon Bunko FT / IR620) using, by measuring the infrared absorption spectrum of the polyimide thin film in one reflection ATR method time, the benzene ring in the vicinity 1015㎝ -1 Based on the absorber, it is calculated from the absorbance of the C=O stretch derived from an imide group of 1780 cm -1.

<폴리이미드 필름의 형태><Form of polyimide film>

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 상기 조건을 충족하는 것이면 특별히 한정되는 것은 아니며, 절연 수지를 포함하는 필름(시트)이어도 되고, 예를 들어 구리박 등의 금속박, 유리판, 폴리이미드계 필름, 폴리아미드계 필름, 폴리에스테르계 필름 등의 수지 시트 등의 기재에 적층된 상태의 절연 수지의 필름이어도 된다.The polyimide films 100 and 101 of the present embodiment are not particularly limited as long as they satisfy the above conditions, and may be a film (sheet) containing an insulating resin, for example, a metal foil such as copper foil, a glass plate, or a polyimide film. It may be a film of an insulating resin laminated on a substrate such as a resin sheet such as a mid-based film, a polyamide-based film, or a polyester-based film.

<유전 정접><genetic tangent>

폴리이미드 필름(100, 101)은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 고주파 신호의 전송 시에 있어서의 유전 손실을 저감하기 위해, 필름 전체적으로, 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR)에 의해 측정하였을 때의 10㎓에 있어서의 유전 정접(Tanδ)이, 0.004 이하인 것이 바람직하다. 회로 기판의 전송 손실을 개선하기 위해서는, 특히 절연 수지층의 유전 정접을 제어하는 것이 중요하고, 유전 정접을 상기 범위 내로 함으로써, 전송 손실을 낮추는 효과가 증대된다. 따라서, 폴리이미드 필름(100, 101)을, 예를 들어 고주파 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우, 전송 손실을 효율적으로 저감할 수 있다. 10㎓에 있어서의 유전 정접이 0.004를 초과하면, 폴리이미드 필름(100, 101)을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하였을 때, 고주파 신호의 전송 경로 상에서 전기 신호의 손실이 커지는 등의 문제가 발생하기 쉬워진다. 10㎓에 있어서의 유전 정접의 하한값은 특별히 제한되지 않지만, 폴리이미드 필름(100, 101)을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우의 물성 제어를 고려할 필요가 있다.When the polyimide films 100 and 101 are applied as an insulating resin layer of a circuit board, for example, in order to reduce dielectric loss during transmission of high-frequency signals, the entire film is divided into a split post dielectric resonator (SPDR). It is preferable that the dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz measured by) is 0.004 or less. In order to improve the transmission loss of the circuit board, it is particularly important to control the dielectric loss tangent of the insulating resin layer, and by making the dielectric loss tangent within the above range, the effect of lowering the transmission loss is increased. Therefore, when the polyimide films 100 and 101 are applied as an insulating resin layer of a high frequency circuit board, for example, transmission loss can be efficiently reduced. If the dielectric loss tangent at 10 GHz exceeds 0.004, when the polyimide films (100, 101) are applied as the insulating resin layer of the circuit board, problems such as increased loss of electrical signals on the transmission path of high-frequency signals occur. It becomes easy to do. Although the lower limit of the dielectric loss tangent in 10 GHz is not particularly limited, it is necessary to consider the control of physical properties when the polyimide films 100 and 101 are applied as an insulating resin layer of a circuit board.

<유전율><Dielectric constant>

폴리이미드 필름(100, 101)은, 예를 들어 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 임피던스 정합성을 확보하기 위해, 필름 전체적으로, 10㎓에 있어서의 유전율이 4.0 이하인 것이 바람직하다. 10㎓에 있어서의 유전율이 4.0을 초과하면, 폴리이미드 필름(100, 101)을 회로 기판의 절연 수지층으로서 적용하였을 때, 유전 손실의 악화로 이어져, 고주파 신호의 전송 경로 상에서 전기 신호의 손실이 커지는 등의 문제가 발생하기 쉬워진다.In the case of applying the polyimide films 100 and 101 as an insulating resin layer of a circuit board, for example, in order to ensure impedance matching, it is preferable that the dielectric constant at 10 GHz is 4.0 or less as a whole. If the dielectric constant at 10 GHz exceeds 4.0, when the polyimide films 100 and 101 are applied as the insulating resin layer of the circuit board, the dielectric loss will deteriorate, resulting in loss of electrical signals on the transmission path of the high frequency signal. It becomes easy to cause problems such as increase in size.

<필러><filler>

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)은, 필요에 따라서, 비열가소성 폴리이미드층(110) 또는 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B) 중에, 무기 필러나 유기 필러를 함유해도 된다. 구체적으로는, 예를 들어 이산화규소, 산화알루미늄, 산화마그네슘, 산화베릴륨, 질화붕소, 질화알루미늄, 질화규소, 불화알루미늄, 불화칼슘 등의 무기 필러나 불소계 폴리머 입자나 액정 폴리머 입자 등의 유기 필러를 들 수 있다. 이들은 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 또한, 유기 필러를 함유하는 경우, 유기 필러는 비열가소성 폴리이미드층(110) 또는 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)을 구성하는 전체 모노머 성분에 해당되지 않는 것으로 한다.The polyimide films 100 and 101 of the present embodiment may contain an inorganic filler or an organic filler in the non-thermoplastic polyimide layer 110 or the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B, if necessary. Specifically, examples include inorganic fillers such as silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, calcium fluoride, and organic fillers such as fluorine-based polymer particles or liquid crystal polymer particles. I can. These can be used alone or in combination of two or more. In addition, when it contains an organic filler, it is assumed that the organic filler does not correspond to all the monomer components constituting the non-thermoplastic polyimide layer 110 or the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B.

[폴리이미드 필름의 제조 방법][Production method of polyimide film]

본 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)의 제조 방법의 바람직한 양태로서, 예를 들어 이하의 [1] 내지 [3]을 예시할 수 있다.As a preferable aspect of the manufacturing method of the polyimide films 100 and 101 of this embodiment, the following [1]-[3] can be illustrated, for example.

[1] 지지 기재에, 폴리아미드산 용액을 도포·건조하는 것을 복수 회 반복한 후, 이미드화하여 폴리이미드 필름(100, 101)을 제조하는 방법.[1] A method of producing a polyimide film (100, 101) by repeating coating and drying a polyamic acid solution on a supporting substrate a plurality of times, and then imidizing.

[2] 지지 기재에, 폴리아미드산 용액을 도포·건조하는 것을 복수 회 반복한 후, 폴리아미드산의 겔 필름을 지지 기재로부터 박리하고, 이미드화하여 폴리이미드 필름(100, 101)을 제조하는 방법.[2] After applying and drying the polyamic acid solution to the supporting substrate a plurality of times, the gel film of polyamic acid is peeled off from the supporting substrate and imidized to produce polyimide films (100, 101). Way.

[3] 다층 압출에 의해, 동시에 폴리아미드산 용액을 다층으로 적층한 상태에서 도포·건조한 후, 이미드화를 행함으로써 폴리이미드 필름(100, 101)을 제조하는 방법(이하, 다층 압출법).[3] A method of producing the polyimide films 100 and 101 by performing imidization after coating and drying in a state in which a polyamic acid solution is simultaneously laminated in multiple layers by multilayer extrusion (hereinafter, a multilayer extrusion method).

상기 [1]의 방법은, 예를 들어 다음의 공정 1a 내지 1c;The method of the above [1] includes, for example, the following steps 1a to 1c;

(1a) 지지 기재에 폴리아미드산 용액을 도포하고, 건조시키는 공정과,(1a) a step of applying a polyamic acid solution to a supporting substrate and drying it,

(1b) 지지 기재 상에서 폴리아미드산을 열처리하여 이미드화함으로써 폴리이미드층을 형성하는 공정과,(1b) a step of forming a polyimide layer by imidizing polyamic acid by heat treatment on a supporting substrate, and

(1c) 지지 기재와 폴리이미드층을 분리함으로써 폴리이미드 필름(100, 101)을 얻는 공정(1c) Step of obtaining polyimide films (100, 101) by separating the supporting substrate and the polyimide layer

을 포함할 수 있다.It may include.

상기 [2]의 방법은, 예를 들어 다음의 공정 2a 내지 2c;The method of the above [2] includes, for example, the following steps 2a to 2c;

(2a) 지지 기재에 폴리아미드산 용액을 도포하고, 건조시키는 공정과,(2a) a step of applying a polyamic acid solution to the supporting substrate and drying it,

(2b) 지지 기재와 폴리아미드산의 겔 필름을 분리하는 공정과,(2b) the step of separating the supporting substrate and the gel film of polyamic acid, and

(2c) 폴리아미드산의 겔 필름을 열처리하여 이미드화함으로써 폴리이미드 필름(100, 101)을 얻는 공정(2c) Step of obtaining polyimide films (100, 101) by imidizing a gel film of polyamic acid by heat treatment

을 포함할 수 있다.It may include.

상기 [1]의 방법 또는 [2]의 방법에 있어서, 공정 1a 또는 공정 2a를 복수 회 반복하여 행함으로써, 지지 기재 상에 폴리아미드산의 적층 구조체를 형성할 수 있다. 또한, 폴리아미드산 용액을 지지 기재 상에 도포하는 방법으로서는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 콤마, 다이, 나이프, 립 등의 코터로 도포하는 것이 가능하다.In the method of [1] or [2], a laminated structure of a polyamic acid can be formed on the supporting substrate by repeating the step 1a or the step 2a a plurality of times. In addition, the method of applying the polyamic acid solution on the supporting substrate is not particularly limited, and for example, it can be applied with a coater such as a comma, die, knife, or lip.

상기 [3]의 방법은, 상기 [1]의 방법의 공정 1a, 또는 [2]의 방법의 공정 2a에 있어서, 다층 압출에 의해, 동시에 폴리아미드산의 적층 구조체를 도포하고, 건조시키는 것 이외에는, 상기 [1]의 방법 또는 [2]의 방법과 마찬가지로 실시할 수 있다.The method of [3] is, in step 1a of the method of [1] or step 2a of the method of [2], except for simultaneously applying and drying the laminated structure of polyamic acid by multilayer extrusion. , It can be carried out similarly to the method of [1] or the method of [2].

본 실시 형태에서 제조되는 폴리이미드 필름(100, 101)은, 지지 기재 상에서 폴리아미드산의 이미드화를 완결시키는 것이 바람직하다. 폴리아미드산의 수지층이 지지 기재에 고정된 상태에서 이미드화되므로, 이미드화 과정에 있어서의 폴리이미드층의 신축 변화를 억제하여, 폴리이미드 필름(100, 101)의 두께나 치수 정밀도를 유지할 수 있다.It is preferable that the polyimide films 100 and 101 produced in the present embodiment complete the imidization of the polyamic acid on the supporting substrate. Since the resin layer of polyamic acid is imidized while being fixed to the supporting substrate, changes in the stretch and contraction of the polyimide layer during the imidization process can be suppressed, and the thickness and dimensional accuracy of the polyimide films 100 and 101 can be maintained. have.

[금속 피복 적층판][Metal Clad Laminate]

본 실시 형태의 금속 피복 적층판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 금속층을 구비하고 있고, 절연 수지층의 일부분 또는 전부가, 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 사용하여 형성되어 있으면 된다. 절연 수지층과 금속층의 접착성을 높이기 위해, 절연 수지층에 있어서의 금속층에 접하는 층은, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)인 것이 좋다.The metal-clad laminate of the present embodiment includes an insulating resin layer and a metal layer provided on at least one side of the insulating resin layer, and a part or all of the insulating resin layer is a polyimide film 100 of the above embodiment. 101) should just be used. In order to improve the adhesiveness between the insulating resin layer and the metal layer, the layer in contact with the metal layer in the insulating resin layer is preferably the thermoplastic polyimide layers 120A and 120B.

금속층의 재질로서는, 특별히 제한은 없지만, 예를 들어 구리, 스테인리스, 철, 니켈, 베릴륨, 알루미늄, 아연, 인듐, 은, 금, 주석, 지르코늄, 탄탈, 티타늄, 납, 마그네슘, 망간 및 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 특히 구리 또는 구리 합금이 바람직하다. 또한, 후술하는 회로 기판에 있어서의 배선층의 재질도 금속층과 마찬가지이다.The material of the metal layer is not particularly limited, but, for example, copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese, and alloys thereof And the like. Among these, copper or a copper alloy is particularly preferable. In addition, the material of the wiring layer in the circuit board described later is also the same as that of the metal layer.

금속층의 두께는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 구리박으로 대표되는 금속박을 사용하는 경우, 바람직하게는 35㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 5 내지 25㎛의 범위 내가 좋다. 생산 안정성 및 핸들링성의 관점에서 금속박의 두께의 하한값은 5㎛로 하는 것이 바람직하다. 또한, 구리박을 사용하는 경우는, 압연 구리박이어도 되고 전해 구리박이어도 된다. 또한, 구리박으로서는, 시판되고 있는 구리박을 사용할 수 있다.The thickness of the metal layer is not particularly limited, but when a metal foil typified by copper foil is used, for example, it is preferably 35 µm or less, more preferably 5 to 25 µm. From the viewpoint of production stability and handling properties, the lower limit of the thickness of the metal foil is preferably 5 µm. Moreover, when using a copper foil, a rolled copper foil may be sufficient and an electrolytic copper foil may be sufficient. Moreover, as a copper foil, a commercially available copper foil can be used.

또한, 금속박은, 예를 들어 방청 처리나, 접착력의 향상을 목적으로 하여, 예를 들어 사이딩, 알루미늄 알코올레이트, 알루미늄 킬레이트, 실란 커플링제 등에 의한 표면 처리를 실시해 두어도 된다.Further, the metal foil may be subjected to surface treatment with, for example, siding, aluminum alcoholate, aluminum chelate, silane coupling agent, or the like for the purpose of, for example, rust prevention treatment or improvement of adhesive strength.

다음으로, 금속 피복 적층판에 대해, 금속층이 구리박에 의해 형성된 동장 적층판을 예로 들어, 보다 상세하게 설명한다. 동장 적층판에 있어서, 구리박은, 절연 수지층의 편면 또는 양면에 마련되어 있다. 즉, 동장 적층판은, 편면 동장 적층판(편면 CCL)이어도 되고, 양면 동장 적층판(양면 CCL)이어도 된다.Next, with respect to the metal-clad laminate, a copper clad laminate in which a metal layer is formed of a copper foil is taken as an example and described in more detail. In the copper clad laminate, the copper foil is provided on one side or both sides of the insulating resin layer. That is, the copper clad laminated plate may be a single-sided copper clad laminated plate (one-sided CCL) or a double-sided copper clad laminated plate (double-sided CCL).

동장 적층판은, 예를 들어 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 포함하여 구성되는 수지 필름을 준비하고, 이것에 금속을 스퍼터링하여 시드층을 형성한 후, 예를 들어 구리 도금에 의해 구리박층을 형성함으로써 조제해도 된다.The copper clad laminate is prepared, for example, by preparing a resin film comprising the polyimide films 100 and 101 of the above embodiment, sputtering a metal thereto to form a seed layer, for example, by copper plating. You may prepare by forming a copper foil layer.

또한, 동장 적층판은, 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 포함하여 구성되는 수지 필름을 준비하고, 이것에 구리박을 열압착 등의 방법으로 라미네이트함으로써 조제해도 된다.In addition, the copper clad laminate may be prepared by preparing a resin film comprising the polyimide films 100 and 101 of the above embodiment, and laminating a copper foil thereon by a method such as thermocompression bonding.

또한, 동장 적층판은, 구리박 상에 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산을 함유하는 도포액을 캐스트하고, 건조하여 도포막으로 한 후, 열처리하여 이미드화하고, 폴리이미드층을 형성함으로써 조제해도 된다.In addition, the copper clad laminate may be prepared by casting a coating liquid containing polyamic acid, which is a precursor of polyimide, on a copper foil, drying it to form a coating film, then heat-treating to imide it, and forming a polyimide layer. .

[회로 기판][Circuit board]

상기 실시 형태의 금속 피복 적층판은, 주로 FPC 등의 회로 기판 재료로서 유용하다. 금속 피복 적층판의 금속층을 통상의 방법에 의해 패턴 형상으로 가공하여 배선층을 형성함으로써, 본 발명의 일 실시 형태인 회로 기판을 제조할 수 있다.The metal-clad laminate of the above embodiment is mainly useful as a circuit board material such as FPC. A circuit board according to an embodiment of the present invention can be manufactured by forming a wiring layer by processing the metal layer of the metal-clad laminate into a pattern by a conventional method.

즉, 본 실시 형태의 회로 기판은, 절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 배선층을 구비하고 있고, 절연 수지층의 일부분 또는 전부가, 상기 실시 형태의 폴리이미드 필름(100, 101)을 사용하여 형성되어 있으면 된다. 또한, 절연 수지층과 배선층의 접착성을 높이기 위해, 절연 수지층에 있어서의 배선층에 접하는 층은, 열가소성 폴리이미드층(120A, 120B)인 것이 좋다.That is, the circuit board of the present embodiment includes an insulating resin layer and a wiring layer provided on at least one side of the insulating resin layer, and a part or all of the insulating resin layer is the polyimide film 100 of the above embodiment. , 101). In addition, in order to improve the adhesion between the insulating resin layer and the wiring layer, the layer in contact with the wiring layer in the insulating resin layer is preferably thermoplastic polyimide layers 120A and 120B.

실시예Example

이하에 실시예를 나타내고, 본 발명의 특징을 보다 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명의 범위는, 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 특별히 언급하지 않는 한 각종 측정, 평가는 하기에 의한 것이다.Examples are shown below, and features of the present invention will be described in more detail. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In addition, in the following examples, various measurements and evaluations are as follows, unless otherwise specified.

[점도의 측정][Measurement of viscosity]

E형 점도계(브룩필드사 제조, 상품명; DV-II+Pro)를 사용하여, 25℃에서의 점도를 측정하였다. 토크가 10% 내지 90%가 되도록 회전수를 설정하고, 측정을 개시하고 나서 2분 경과 후, 점도가 안정되었을 때의 값을 판독하였다.The viscosity at 25°C was measured using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, brand name; DV-II+Pro). The rotational speed was set so that the torque became 10% to 90%, and after 2 minutes elapsed after starting the measurement, the value when the viscosity stabilized was read.

[유리 전이 온도(Tg)의 측정][Measurement of glass transition temperature (Tg)]

유리 전이 온도는, 5㎜×20㎜의 사이즈의 폴리이미드 필름을, 동적 점탄성 측정 장치(DMA: 유비엠사 제조, 상품명; E4000F)를 사용하여, 30℃로부터 400℃까지 승온 속도 4℃/분, 주파수 11㎐로 측정을 행하여, 탄성률 변화(tanδ)가 최대가 되는 온도를 유리 전이 온도로 하였다. 또한, DMA를 사용하여 측정된 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 미만을 나타내는 것을 「열가소성」으로 하고, 30℃에서의 저장 탄성률이 1.0×109㎩ 이상이고, 유리 전이 온도+30℃ 이내의 온도역에서의 저장 탄성률이 1.0×108㎩ 이상을 나타내는 것을 「비열가소성」으로 하였다.The glass transition temperature is a polyimide film having a size of 5 mm x 20 mm, using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by UBM, brand name: E4000F), a heating rate of 4° C./min from 30° C. to 400° C., The measurement was performed at a frequency of 11 Hz, and the temperature at which the elastic modulus change (tan δ) became the maximum was taken as the glass transition temperature. In addition, the storage modulus at 30°C measured using DMA is 1.0×10 9 Pa or more, and the storage elastic modulus in the temperature range within the glass transition temperature +30°C is less than 1.0×10 8 Pa, as “thermoplastic”. The storage modulus at 30°C was 1.0×10 9 Pa or more, and the storage elastic modulus in the temperature range within the glass transition temperature +30° C. was 1.0×10 8 Pa or more, as “non-thermoplastic”.

[열팽창 계수(CTE)의 측정][Measurement of Coefficient of Thermal Expansion (CTE)]

3㎜×20㎜의 사이즈의 폴리이미드 필름을, 서모 메커니컬 애널라이저(Bruker사 제조, 상품명; 4000SA)를 사용하여, 5.0g의 하중을 가하면서 일정한 승온 속도로 30℃로부터 265℃까지 승온시키고, 그 온도에서 10분 더 유지한 후, 5℃/분의 속도로 냉각하여, 250℃로부터 100℃까지의 평균 열팽창 계수(열팽창 계수)를 구하였다.A polyimide film having a size of 3 mm×20 mm was heated from 30° C. to 265° C. at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermo-mechanical analyzer (manufactured by Bruker, brand name: 4000SA), and the After holding at the temperature for another 10 minutes, it was cooled at a rate of 5°C/min, and the average coefficient of thermal expansion (coefficient of thermal expansion) from 250°C to 100°C was calculated.

[흡습률의 측정][Measurement of moisture absorption rate]

폴리이미드 필름의 시험편(폭; 4㎝×길이; 25㎝)을 2매 준비하고, 80℃에서 1시간 건조하였다. 건조 후 즉시 23℃/50% RH의 항온 항습실에 넣어, 24시간 이상 정치하고, 그 전후의 중량 변화로부터 다음 식에 의해 구하였다.Two test pieces (width; 4 cm x length; 25 cm) of the polyimide film were prepared and dried at 80°C for 1 hour. Immediately after drying, it was put into a constant temperature and humidity chamber of 23°C/50% RH, left to stand for 24 hours or more, and calculated from the weight change before and after it by the following equation.

흡습률(중량%)=[(흡습 후 중량-건조 후 중량)/건조 후 중량]×100Moisture absorption rate (% by weight) = [(weight after moisture absorption-weight after drying)/weight after drying]×100

[유전율 및 유전 정접의 측정][Measurement of dielectric constant and dielectric loss tangent]

벡터 네트워크 애널라이저(Agilent사 제조, 상품명; E8363C) 및 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR 공진기)를 사용하여, 주파수 10㎓에 있어서의 폴리이미드 필름의 유전율 및 유전 정접을 측정하였다. 또한, 측정에 사용한 재료는, 온도; 24 내지 26℃, 습도; 45 내지 55%의 조건하에서, 24시간 방치한 것이다.Using a vector network analyzer (manufactured by Agilent, brand name: E8363C) and a split post dielectric resonator (SPDR resonator), the dielectric constant and dielectric loss tangent of the polyimide film at a frequency of 10 GHz were measured. In addition, the material used for the measurement is temperature; 24 to 26°C, humidity; It left to stand for 24 hours under the conditions of 45-55%.

[이미드기 농도의 계산][Calculation of imide group concentration]

이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 이미드기 농도로 하였다.The value obtained by dividing the molecular weight of the imide group portion (-(CO) 2 -N-) by the molecular weight of the entire polyimide structure was taken as the imide group concentration.

[구리박의 표면 조도의 측정][Measurement of surface roughness of copper foil]

구리박의 표면 조도는, AFM(브루커·AXS사 제조, 상품명; Dimension Icon형 SPM), 프로브(브루커·AXS사 제조, 상품명; TESPA(NCHV), 선단 곡률 반경 10㎚, 스프링 상수 42N/m)를 사용하여, 탭핑 모드에서, 구리박 표면의 80㎛×80㎛의 범위에서 측정하여, 10점 평균 조도(Rzjis)를 구하였다.The surface roughness of the copper foil is AFM (manufactured by Bruker AXS, brand name; Dimension Icon type SPM), probe (manufactured by Bruker AXS, brand name; TESPA (NCHV), tip curvature radius 10 nm, spring constant 42N/ m), in the tapping mode, it was measured in the range of 80 µm x 80 µm on the surface of the copper foil to obtain a 10-point average roughness (Rzjis).

[산소 투과도의 측정][Measurement of oxygen permeability]

온도 23℃±2℃, 습도 65% RH±5% RH의 조건하에서 JIS K7126-1의 차압법에 준거하여, 산소 가스의 투과도의 측정을 실시하였다. 또한, 증기 투과율 측정 장치로서, GTR 테크사 제조, GTR-30XAD2 및 야나코 테크니컬 사이언스사 제조, G2700T·F를 사용하였다.Under the conditions of a temperature of 23°C±2°C and a humidity of 65% RH±5% RH, in accordance with the differential pressure method of JIS K7126-1, the permeability of oxygen gas was measured. In addition, GTR Tech Co., Ltd. product, GTR-30XAD2, and Yanako Technical Science Co., Ltd. product, G2700T·F were used as the vapor permeability measuring device.

[초기 필 강도의 측정][Measurement of initial peel strength]

동장 적층판(구리박/다층 폴리이미드층)의 구리박을 10㎜ 간격으로 수지의 도공 방향으로 폭 1㎜로 회로 가공한 후, 폭; 8㎝×길이; 4㎝로 절단하였다. 필 강도는, 텐실론 테스터(도요 세키 세이사쿠쇼 제조, 상품명; 스트로그래프 VE-1D)를 사용하여, 절단한 측정 샘플의 폴리이미드층면을 양면 테이프에 의해 알루미늄판에 고정하고, 회로 가공된 구리박을 180° 방향으로 50㎜/분의 속도로 박리해 가서, 폴리이미드층으로부터 10㎜ 박리하였을 때의 중앙값 강도를 구하여, 초기 필 강도로 하였다.After circuit processing the copper foil of the copper clad laminated board (copper foil/multilayer polyimide layer) to a width of 1 mm in the coating direction of the resin at 10 mm intervals, the width; 8 cm x length; It was cut into 4cm. Peel strength was obtained by fixing the polyimide layer surface of the cut measurement sample to an aluminum plate with a double-sided tape using a Tensilon tester (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho, brand name; Stograph VE-1D), and circuit-processed copper. The foil was peeled off at a rate of 50 mm/min in the 180° direction, and the median strength when peeling 10 mm from the polyimide layer was determined, and was set as the initial peel strength.

[가열 후 필 강도의 측정][Measurement of peel strength after heating]

동장 적층판(구리박/다층 폴리이미드층)의 구리박을 10㎜ 간격으로 수지의 도공 방향으로 폭 1㎜로 회로 가공한 후, 폭; 8㎝×길이; 4㎝로 절단하였다. 절단한 샘플을 150℃로 설정시킨 열풍 오븐(대기 분위기하)에 보관하고, 1000시간 후에 취출을 행하였다. 필 강도는, 텐실론 테스터(도요 세키 세이사쿠쇼 제조, 상품명; 스트로그래프 VE-1D)를 사용하여, 취출한 측정 샘플의 폴리이미드층면을 양면 테이프에 의해 알루미늄판에 고정하고, 회로 가공된 구리박을 180° 방향으로 50㎜/분의 속도로 박리해 가서, 폴리이미드층으로부터 10㎜ 박리하였을 때의 중앙값 강도를 구하였다.After circuit processing the copper foil of the copper clad laminated board (copper foil/multilayer polyimide layer) to a width of 1 mm in the coating direction of the resin at 10 mm intervals, the width; 8 cm x length; It was cut into 4cm. The cut sample was stored in a hot air oven set at 150° C. (under atmospheric atmosphere), and taken out after 1000 hours. Peel strength was determined by using a Tensilon tester (manufactured by Toyo Seki Seisakusho, brand name; Stograph VE-1D), fixing the polyimide layer surface of the taken out measurement sample to an aluminum plate with double-sided tape, and circuit-processed copper. The foil was peeled off at a rate of 50 mm/min in the 180° direction, and the median strength was determined when peeling 10 mm from the polyimide layer.

[폴리이미드층의 두께의 측정][Measurement of the thickness of the polyimide layer]

동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름을 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름을 직사각형으로 잘라내어, 수지 포매한 후, 마이크로톰으로 필름 두께 방향의 절단을 행하여 약 100㎚의 초박 절편을 제작하였다. 제작한 초박 절편에 대해, 히타치 하이테크 테크놀로지사 제조 SEM(SU9000)의 STEM 기능을 이용하여, 가속 전압 30㎸로 관찰을 행하고, 각 폴리이미드층의 두께를 각 5점 측정하여, 그 평균값을 각 폴리이미드층의 두께로 하였다.About the copper clad laminated board, the copper foil was etched away using the ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film was obtained. The obtained polyimide film was cut out into a rectangle and embedded with a resin, and then cut in the film thickness direction with a microtome to produce an ultra-thin section of about 100 nm. The produced ultra-thin section was observed with an acceleration voltage of 30 kV using the STEM function of Hitachi Hi-Tech Technology Co., Ltd. SEM (SU9000), and the thickness of each polyimide layer was measured at 5 points, and the average value was determined for each polyimide. It was set as the thickness of the mid layer.

실시예 및 참고예에 사용한 약호는, 이하의 화합물을 나타낸다.The abbreviations used in Examples and Reference Examples represent the following compounds.

PMDA: 피로멜리트산 이무수물PMDA: pyromellitic dianhydride

BPDA: 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

m-TB: 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl

TPE-R: 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene

TPE-Q: 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-Q: 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene

DAPE: 4,4'-디아미노-디페닐에테르DAPE: 4,4'-diamino-diphenyl ether

PDA: 파라페닐렌디아민PDA: Paraphenylenediamine

BAPP: 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane

비스아닐린-P: 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠(미쓰이 가가쿠 파인사 제조, 상품명; 비스아닐린-P)Bisaniline-P: 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene (manufactured by Mitsui Chemical Co., Ltd., brand name; Bisaniline-P)

DDA: 탄소수 36의 지방족 디아민(크로다 재팬사 제조, 상품명; PRIAMINE1074, 아민가; 210㎎KOH/g, 환상 구조 및 쇄상 구조의 다이머 디아민의 혼합물, 다이머 성분의 함유량; 95중량% 이상)DDA: C36 aliphatic diamine (manufactured by Croda Japan, brand name; PRIAMINE1074, amine value; 210 mgKOH/g, mixture of dimer diamines of cyclic structure and chain structure, content of dimer component; 95% by weight or more)

DMAc: N,N-디메틸아세트아미드DMAc: N,N-dimethylacetamide

(합성예 1)(Synthesis Example 1)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 12.061g의 m-TB(0.0568몰), 0.923g의 TPE-Q(0.0032몰) 및 1.0874g의 비스아닐린-P(0.0032몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 6.781g의 PMDA(0.0311몰) 및 9.147g의 BPDA(0.0311몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 a를 얻었다. 폴리아미드산 용액 a의 용액 점도는 29,800cps였다.Under a nitrogen stream, in a 300 ml separable flask, 12.061 g of m-TB (0.0568 mol), 0.923 g of TPE-Q (0.0032 mol) and 1.0874 g of bisaniline-P (0.0032 mol), and the solid content concentration after polymerization were DMAc in an amount of 15% by weight was added, and the mixture was stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 6.781 g of PMDA (0.0311 mol) and 9.147 g of BPDA (0.0311 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution a. The solution viscosity of the polyamic acid solution a was 29,800 cps.

다음으로, 구리박 1(전해 구리박, 두께; 12㎛, 수지측의 표면 조도 Rzjis; 2.1㎛) 상에, 폴리아미드산 용액 a를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 a(비열가소성, Tg; 316℃, 흡습률; 0.61중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 a를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 31.6중량%였다.Next, on copper foil 1 (electrolytic copper foil, thickness; 12 μm, surface roughness Rzjis on the resin side; 2.1 μm), a polyamic acid solution a was uniformly applied so that the thickness after curing became about 25 μm, The solvent was removed by heating and drying at 120°C. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete the imidation. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film a (non-thermoplastic, Tg; 316 degreeC, moisture absorption rate: 0.61 weight%) was prepared. In addition, the concentration of imide groups in the polyimide constituting the polyimide film a was 31.6% by weight.

(합성예 2)(Synthesis Example 2)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 11.825g의 m-TB(0.0557몰), 0.905g의 TPE-Q(0.0031몰) 및 1.653g의 DDA(0.0031몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 6.649g의 PMDA(0.0305몰) 및 8.968g의 BPDA(0.0305몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 b를 얻었다. 폴리아미드산 용액 b의 용액 점도는 27,800cps였다.Under a nitrogen stream, in a 300 ml separable flask, 11.825 g of m-TB (0.0557 mol), 0.905 g of TPE-Q (0.0031 mol) and 1.653 g of DDA (0.0031 mol), and the solid content concentration after polymerization was 15% by weight DMAc was added in an amount to be dissolved, followed by stirring at room temperature. Next, after adding 6.649 g of PMDA (0.0305 mol) and 8.968 g of BPDA (0.0305 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution b. The solution viscosity of the polyamic acid solution b was 27,800 cps.

다음으로, 구리박 1 상에, 폴리아미드산 용액 b를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 b(비열가소성, Tg; 258℃, 흡습률; 0.54중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 b를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 30.9중량%였다.Next, on the copper foil 1, the polyamic acid solution b was uniformly applied so that the thickness after curing became about 25 µm, and then heated and dried at 120°C to remove the solvent. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete the imidation. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away using an aqueous ferric chloride solution, and the polyimide film b (non-thermoplastic, Tg; 258 degreeC, moisture absorption rate: 0.54 weight%) was prepared. In addition, the concentration of imide groups in the polyimide constituting the polyimide film b was 30.9% by weight.

(합성예 3)(Synthesis Example 3)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 11.920g의 m-TB(0.0562몰) 및 2.897g의 TPE-Q(0.0099몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 11.354g의 PMDA(0.0521몰) 및 3.829g의 BPDA(0.0130몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 c를 얻었다. 폴리아미드산 용액 c의 용액 점도는 31,200cps였다.Under a nitrogen stream, in a 300 ml separable flask, 11.920 g of m-TB (0.0562 mol) and 2.897 g of TPE-Q (0.0099 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight were added, It was dissolved by stirring at room temperature. Next, after adding 11.354 g of PMDA (0.0521 mol) and 3.829 g of BPDA (0.0130 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution c. The solution viscosity of the polyamic acid solution c was 31,200 cps.

다음으로, 구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 c를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 c(비열가소성, Tg; 375℃, 흡습률; 0.81중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 c를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 33.2중량%였다.Next, the polyamic acid solution c was uniformly applied onto the copper foil 1 so that the thickness after curing became about 25 µm, and then heated and dried at 120°C to remove the solvent. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete the imidation. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away using an aqueous ferric chloride solution, and the polyimide film c (non-thermoplastic, Tg; 375 degreeC, moisture absorption rate: 0.81 weight%) was prepared. In addition, the concentration of imide groups in the polyimide constituting the polyimide film c was 33.2% by weight.

(합성예 4)(Synthesis Example 4)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 1.548g의 PDA(0.0143몰) 및 11.465g의 DAPE(0.0573몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 15중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 10.764g의 PMDA(0.0494몰) 및 6.223g의 BPDA(0.0212몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 d를 얻었다. 폴리아미드산 용액 d의 용액 점도는 23,500cps였다.In a 300 ml separable flask under a nitrogen stream, 1.548 g of PDA (0.0143 mol) and 11.465 g of DAPE (0.0573 mol), and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight were added, and stirred at room temperature. Dissolved. Next, after adding 10.764 g of PMDA (0.0494 mol) and 6.223 g of BPDA (0.0212 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution d. The solution viscosity of the polyamic acid solution d was 23,500 cps.

다음으로, 폴리아미드산 용액 d를 T 다이 금형의 슬릿으로부터 경화 후 두께가 25㎛가 되도록 캐스팅하고, 건조로 중의 평활한 벨트 형상의 금속 지지체 상에 압출하여 박막을 형성하고, 130℃에서 소정 시간 가열 후, 지지체로부터 박리하여 자기 지지성 필름을 얻었다. 또한, 이 자기 지지성 필름의 폭 방향의 양단부를 파지하여 연속 가열로에 삽입하고, 100℃로부터 최고 가열 온도가 380℃가 되는 조건에서 당해 필름을 가열, 이미드화하여, 폴리이미드 필름 d(비열가소성, Tg; >400℃, 흡습률; 1.14중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 d를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 36.2중량%였다.Next, the polyamic acid solution d is cast from the slit of the T-die mold to a thickness of 25 μm after curing, and extruded on a smooth belt-shaped metal support in a drying furnace to form a thin film, and for a predetermined time at 130°C. After heating, it peeled off from a support body, and the self-supporting film was obtained. In addition, the self-supporting film was gripped at both ends in the width direction and inserted into a continuous heating furnace, and the film was heated and imidized under conditions that the maximum heating temperature from 100°C to 380°C, and the polyimide film d ( Thermoplastic, Tg; >400°C, moisture absorption rate: 1.14% by weight) was prepared. In addition, the concentration of imide groups in the polyimide constituting the polyimide film d was 36.2% by weight.

(합성예 5)(Synthesis Example 5)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 15.591g의 BAPP(0.0380몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 12중량%이 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 8.409g의 PMDA(0.0386몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 e를 얻었다. 폴리아미드산 용액 e의 용액 점도는 2,350cps였다.In a 300 ml separable flask under a nitrogen stream, 15.591 g of BAPP (0.0380 mol) and DMAc in an amount having a solid content concentration of 12% by weight after polymerization were added, followed by stirring at room temperature to dissolve. Next, after adding 8.409 g of PMDA (0.0386 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution e. The solution viscosity of the polyamic acid solution e was 2,350 cps.

다음으로, 구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 e를 경화 후의 두께가 약 10㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 e(열가소성, Tg; 320℃, 흡습률; 0.55중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 e를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 23.6중량%였다.Next, the polyamic acid solution e was uniformly applied onto the copper foil 1 so that the thickness after curing became about 10 μm, and then heated and dried at 120° C. to remove the solvent. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete the imidation. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away using an aqueous ferric chloride solution, and the polyimide film e (thermoplastic, Tg; 320 degreeC, moisture absorption rate: 0.55 weight%) was prepared. In addition, the concentration of imide groups in the polyimide constituting the polyimide film e was 23.6% by weight.

(합성예 6)(Synthesis Example 6)

질소 기류하에서, 300ml의 세퍼러블 플라스크에, 1.847g의 m-TB(0.0087몰) 및 10.172g의 TPE-R(0.0348몰) 그리고 중합 후의 고형분 농도가 12중량%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음으로, 2.889g의 PMDA(0.0132몰) 및 9.092g의 BPDA(0.0309몰)를 첨가한 후, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합 반응을 행하여, 폴리아미드산 용액 f를 얻었다. 폴리아미드산 용액 f의 용액 점도는 2,210cps였다.In a 300 ml separable flask under a nitrogen stream, 1.847 g of m-TB (0.0087 mol) and 10.172 g of TPE-R (0.0348 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization becomes 12% by weight were added, It was dissolved by stirring at room temperature. Next, after adding 2.889 g of PMDA (0.0132 mol) and 9.092 g of BPDA (0.0309 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution f. The solution viscosity of the polyamic acid solution f was 2,210 cps.

다음으로, 구리박 1 상에 폴리아미드산 용액 f를 경화 후의 두께가 약 10㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 120℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 30분 이내에 행하여, 이미드화를 완결하였다. 얻어진 동장 적층판에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 f(열가소성, Tg; 226℃, 흡습률; 0.41중량%)를 조제하였다. 또한, 폴리이미드 필름 f를 구성하는 폴리이미드의 이미드기 농도는 27.4중량%였다.Next, the polyamic acid solution f was uniformly applied onto the copper foil 1 so that the thickness after curing became about 10 μm, and then heated and dried at 120° C. to remove the solvent. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 30 minutes to complete the imidation. About the obtained copper clad laminated board, copper foil was etched away using ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film f (thermoplastic, Tg; 226 degreeC, moisture absorption rate: 0.41 weight%) was prepared. In addition, the concentration of imide groups in the polyimide constituting the polyimide film f was 27.4% by weight.

[실시예 1][Example 1]

구리박 2(전해 구리박, 두께; 12㎛, 수지측의 표면 조도 Rzjis; 0.6㎛) 상에 폴리아미드산 용액 f를 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 1분간 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 그 위에 폴리아미드산 용액 a를 경화 후의 두께가 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 3분간 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 또한, 그 위에 폴리아미드산 f를 경화 후의 두께가 2.5㎛가 되도록 균일하게 도포한 후, 120℃에서 1분간 가열 건조하여 용매를 제거하였다. 그 후, 140℃로부터 360℃까지 단계적인 열처리를 행하여, 이미드화를 완결하여, 동장 적층판 1을 조제하였다.After the polyamic acid solution f was uniformly coated on copper foil 2 (electrolytic copper foil, thickness; 12 μm, surface roughness Rzjis on the resin side; 0.6 μm) so that the thickness after curing became 2.5 μm, at 120° C. for 1 minute The solvent was removed by heating and drying. The polyamic acid solution a was uniformly applied thereon so that the thickness after curing became 25 μm, followed by heating and drying at 120° C. for 3 minutes to remove the solvent. Further, polyamic acid f was uniformly coated thereon so that the thickness after curing became 2.5 µm, and then heated and dried at 120° C. for 1 minute to remove the solvent. Thereafter, heat treatment was performed in stages from 140° C. to 360° C. to complete imidization, and a copper clad laminate 1 was prepared.

얻어진 동장 적층판 1을 사용하여 초기 필 강도 및 가열 후 필 강도를 측정한 결과, 각각 1.06kN/m 및 0.69kN/m였다. 각 측정 결과를 표 1에 나타낸다.Using the obtained copper-clad laminate 1, the initial peel strength and the peel strength after heating were measured, and they were 1.06 kN/m and 0.69 kN/m, respectively. Table 1 shows the results of each measurement.

동장 적층판 1에 대해, 염화제이철 수용액을 사용하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 1a를 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름 1a에 대해, CTE 및 유전 특성, 산소 투과도의 평가를 실시한 결과, CTE; 22ppm/K, 유전율; 3.56, 유전 정접; 0.0032, 산소 투과도; 4.59×10-14㏖/(㎡·s·㎩)이었다. 각 측정 결과를 표 2에 나타낸다.About the copper clad laminated board 1, the copper foil was etched away using a ferric chloride aqueous solution, and the polyimide film 1a was obtained. CTE, dielectric properties, and oxygen permeability were evaluated about the obtained polyimide film 1a, and as a result, CTE; 22 ppm/K, permittivity; 3.56, genetic loss tangent; 0.0032, oxygen permeability; It was 4.59×10 -14 mol/(m2·s·Pa). Table 2 shows the results of each measurement.

[실시예 2 내지 실시예 4, 비교예 1 및 참고예 1 내지 2][Examples 2 to 4, Comparative Example 1 and Reference Examples 1 to 2]

표 1에 기재한 폴리아미드산 용액을 사용함과 함께, 두께 구성을 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여, 실시예 2 내지 4, 비교예 1 및 참고예 1 내지 2의 동장 적층판 2 내지 4, 동장 적층판 5 및 동장 적층판 6 내지 7 그리고 폴리이미드 필름 2a 내지 4a, 폴리이미드 필름 5a 및 폴리이미드 필름 6a 내지 7a를 얻었다. 각 측정 결과를 표 1 및 표 2에 나타낸다.Copper clad laminates 2 to 4 of Examples 2 to 4, Comparative Examples 1 and 1 to 2 were carried out in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution described in Table 1 was used and the thickness configuration was changed. , Copper clad laminates 5 and copper clad laminates 6 to 7 and polyimide films 2a to 4a, polyimide films 5a, and polyimide films 6a to 7a were obtained. Each measurement result is shown in Table 1 and Table 2.

Figure pat00004
Figure pat00004

Figure pat00005
Figure pat00005

비교예 2Comparative Example 2

폴리아미드산 용액 d를 T 다이 금형의 슬릿으로부터 경화 후 두께가 30㎛가 되도록 캐스팅하고, 건조로 중의 평활한 벨트 형상의 금속 지지체 상에 압출하여 박막을 형성하고, 130℃에서 소정 시간 가열 후, 지지체로부터 박리하여 자기 지지성 필름을 얻었다. 또한 자기 지지성 필름을 연속적으로 반송하면서, 자기 지지성 필름의 대기면에 다이 코터를 사용하여 폴리아미드산 용액 e를 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 도포하고, 120℃의 건조로에서 소정 시간 건조시켰다. 이어서, 폴리아미드산 용액 e를 도포면과 반대의 면에 대해서도 상기와 마찬가지로 폴리아미드산 용액 e를 경화 후 두께가 2.5㎛가 되도록 도포하고, 120℃의 건조로에서 소정 시간 건조시켰다.After curing the polyamic acid solution d from the slit of the T-die mold, casting it to a thickness of 30 μm, extruding it on a smooth belt-shaped metal support in a drying furnace to form a thin film, and heating at 130° C. for a predetermined time, It peeled off from a support body and obtained the self-supporting film. Further, while continuously conveying the self-supporting film, the polyamic acid solution e was cured on the air surface of the self-supporting film using a die coater so that the thickness became 2.5 μm, and dried in a drying furnace at 120° C. for a predetermined time. . Subsequently, the polyamic acid solution e was applied to the surface opposite to the coated surface as described above so that the thickness of the polyamic acid solution e became 2.5 mu m after curing, and dried in a drying furnace at 120°C for a predetermined time.

이 자기 지지성 필름의 폭 방향의 양단부를 파지하여 연속 가열로에 삽입하고, 100℃로부터 최고 가열 온도가 380℃가 되는 조건에서 당해 필름을 가열, 이미드화하여, 폴리이미드 필름 8b를 얻었다. 이 폴리이미드 필름 8b의 편면에 구리박, 다른 한쪽 면에 테플론(등록상표) 필름을 중첩하고, 온도 320℃, 압력 340㎫의 조건에서 15분간 열압착하여, 압착 후에 테플론(등록상표) 필름을 박리함으로써 동장 적층판 8을 조제하였다.Both ends of this self-supporting film in the width direction were gripped and inserted into a continuous heating furnace, and the film was heated and imidized under the condition that the maximum heating temperature from 100°C to 380°C to obtain a polyimide film 8b. Copper foil on one side of this polyimide film 8b, and a Teflon (registered trademark) film on the other side were superimposed on the other side, thermocompressed for 15 minutes at a temperature of 320°C and a pressure of 340 MPa, and then a Teflon (registered trademark) film was formed. The copper clad laminate 8 was prepared by peeling.

얻어진 동장 적층판 8을 사용하여 초기 필 강도 및 가열 후 필 강도를 측정한 결과, 각각 1.15kN/m 및 1.01kN/m였다.Using the obtained copper-clad laminate 8, the initial peel strength and the peel strength after heating were measured, and as a result, they were 1.15 kN/m and 1.01 kN/m, respectively.

동장 적층판 8에 대해, 실시예 1과 마찬가지로 하여 구리박을 에칭 제거하여, 폴리이미드 필름 8a를 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름 8a에 대해, CTE 및 유전 특성, 산소 투과도의 평가를 실시한 결과, CTE; 22ppm/K, 유전율; 3.65, 유전 정접; 0.0073, 산소 투과도; 1.17×10-14㏖/(㎡·s·㎩)이었다.About the copper clad laminated board 8, it carried out similarly to Example 1, and the copper foil was etched away, and the polyimide film 8a was obtained. About the obtained polyimide film 8a, CTE, dielectric properties, and oxygen permeability were evaluated as a result of CTE; 22 ppm/K, permittivity; 3.65, genetic loss tangent; 0.0073, oxygen permeability; It was 1.17×10 -14 mol/(m2·s·Pa).

이상, 본 발명의 실시 형태를 예시의 목적으로 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 제약되는 일은 없고, 다양한 변형이 가능하다.As mentioned above, although the embodiment of the present invention has been described in detail for the purpose of illustration, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible.

100, 101: 폴리이미드 필름
110: 비열가소성 폴리이미드층
120A, 120B: 열가소성 폴리이미드층
100, 101: polyimide film
110: non-thermoplastic polyimide layer
120A, 120B: thermoplastic polyimide layer

Claims (6)

비열가소성 폴리이미드를 포함하는 비열가소성 폴리이미드층과, 해당 비열가소성 폴리이미드층의 적어도 한쪽 면에 적층되어 있는, 열가소성 폴리이미드를 포함하는 열가소성 폴리이미드층을 갖는 폴리이미드 필름이며,
하기의 조건 (i) 내지 (iii);
(i) 열팽창 계수가 10 내지 30ppm/K의 범위 내인 것;
(ii) 산소 투과도가 5.5×10-14㏖/(㎡·s·㎩) 이하인 것;
(iii) 상기 비열가소성 폴리이미드 및 상기 열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기에 대해, 하기 식(1)에 의해 산출되는 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기의 비율이 50㏖% 이상인 것;
을 충족하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름.
Figure pat00006

[식(1)에 있어서, Mi는, 제i층의 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율(단위; ㏖%)이고, Li는, 제i층의 폴리이미드층의 두께(단위; ㎛)이고, L은 폴리이미드 필름의 두께(단위; ㎛)이고, n은 2 이상의 정수임.]
A polyimide film having a non-thermoplastic polyimide layer containing a non-thermoplastic polyimide and a thermoplastic polyimide layer containing a thermoplastic polyimide laminated on at least one side of the non-thermoplastic polyimide layer,
The following conditions (i) to (iii);
(i) the coefficient of thermal expansion is in the range of 10 to 30 ppm/K;
(ii) Oxygen permeability of 5.5×10 -14 mol/(m 2 ·s·Pa) or less;
(iii) The ratio of the monomer residues having a biphenyl skeleton calculated by the following formula (1) to the total monomer residues derived from the non-thermoplastic polyimide and all the monomer components constituting the thermoplastic polyimide is 50 mol% More than one;
Polyimide film, characterized in that to meet the.
Figure pat00006

[In formula (1), M i is the ratio of the monomer residues having a biphenyl skeleton among all monomer residues derived from all monomer components in the polyimide constituting the polyimide layer of the i-th layer (unit ; Mol%), L i is the thickness (unit: µm) of the polyimide layer of the i-th layer, L is the thickness (unit: µm) of the polyimide film, and n is an integer of 2 or more.]
제1항에 있어서,
상기 (i) 내지 (iii)의 조건에 추가하여, 또한 하기의 조건 (iv);
(iv) 상기 열가소성 폴리이미드에 있어서의 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중, 비페닐 골격을 갖는 모노머 잔기가 차지하는 비율이 30㏖% 이상인 것;
을 충족하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름.
The method of claim 1,
In addition to the above conditions (i) to (iii), the following conditions (iv);
(iv) the ratio of the monomer residues having a biphenyl skeleton among all the monomer residues derived from all the monomer components in the thermoplastic polyimide is 30 mol% or more;
Polyimide film, characterized in that to meet the.
제1항 또는 제2항에 있어서,
전체의 두께가 30 내지 60㎛의 범위 내인 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름.
The method according to claim 1 or 2,
Polyimide film, characterized in that the total thickness is in the range of 30 to 60㎛.
제3항에 있어서,
상기 폴리이미드 필름의 전체의 두께 T1에 대한 상기 열가소성 폴리이미드층의 합계 두께 T2의 비율 T2/T1이 0.17 이하인 폴리이미드 필름.
The method of claim 3,
A polyimide film in which the ratio T2/T1 of the total thickness T2 of the thermoplastic polyimide layer to the total thickness T1 of the polyimide film is 0.17 or less.
절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 금속층을 구비한 금속 피복 적층판이며,
상기 절연 수지층이, 상기 금속층의 표면에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 제1항에 기재된 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 피복 적층판.
It is a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer provided on at least one side of the insulating resin layer,
A metal-clad laminate comprising the polyimide film according to claim 1, wherein the insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer in contact with the surface of the metal layer and a non-thermoplastic polyimide layer indirectly laminated. .
절연 수지층과, 해당 절연 수지층의 적어도 한쪽 면에 마련되어 있는 배선층을 구비한 회로 기판이며,
상기 절연 수지층이, 상기 배선층에 접하는 열가소성 폴리이미드층과, 간접적으로 적층된 비열가소성 폴리이미드층을 가짐과 함께, 제1항에 기재된 폴리이미드 필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 기판.
It is a circuit board provided with an insulating resin layer and a wiring layer provided on at least one side of the said insulating resin layer,
A circuit board comprising the polyimide film according to claim 1, wherein the insulating resin layer has a thermoplastic polyimide layer in contact with the wiring layer and a non-thermoplastic polyimide layer indirectly laminated.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113604045B (en) * 2021-08-31 2022-09-02 烟台丰鲁精细化工有限责任公司 Thermoplastic polyimide resin composite film with low dielectric property and preparation method thereof

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017159274A1 (en) 2016-03-17 2017-09-21 新日鉄住金化学株式会社 Polyamide acid, thermoplastic polyimide, resin film, metal-clad laminate and circuit board
WO2018061727A1 (en) 2016-09-29 2018-04-05 新日鉄住金化学株式会社 Polyimide film, copper-clad laminate, and circuit substrate

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4124521B2 (en) 1998-08-05 2008-07-23 三井化学株式会社 Polyimide metal foil laminate and manufacturing method thereof
JP3783870B2 (en) * 2003-11-05 2006-06-07 東洋紡績株式会社 Film substrate for semiconductor mounting
JP3912614B2 (en) * 2005-04-19 2007-05-09 東洋紡績株式会社 Thin film laminated polyimide film Thin film laminated polyimide film roll and use thereof
KR100993063B1 (en) * 2008-03-31 2010-11-08 엘에스엠트론 주식회사 Flexible circuit clad laminate
JP5266925B2 (en) * 2008-07-23 2013-08-21 住友金属鉱山株式会社 Metallized polyimide film and method for producing the same
JP2011131456A (en) * 2009-12-24 2011-07-07 Du Pont-Toray Co Ltd Gas-barrier polyimide film and metal layered product using the same
JP5442491B2 (en) 2010-02-26 2014-03-12 新日鉄住金化学株式会社 Thermally conductive metal-insulating resin substrate and manufacturing method thereof
CN102009506A (en) * 2010-07-16 2011-04-13 广东生益科技股份有限公司 Double-surface flexible copper-clad plate and manufacturing method thereof
KR101773651B1 (en) * 2013-04-09 2017-08-31 주식회사 엘지화학 Laminate structure for manufacturing substrate and device comprising substrate manufactured by using same
KR102656566B1 (en) * 2015-03-26 2024-04-12 도레이 카부시키가이샤 Resin laminated film, laminated body containing the same, TFT substrate, organic EL device color filter, and method for manufacturing the same
JP6603032B2 (en) * 2015-03-30 2019-11-06 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Copper-clad laminate and circuit board
JP6839594B2 (en) * 2016-04-27 2021-03-10 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Polyimide film and copper-clad laminate
JP6966847B2 (en) * 2016-08-10 2021-11-17 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Method for manufacturing transparent polyimide film
JP7053208B2 (en) * 2017-09-29 2022-04-12 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Polyimide film, metal-clad laminate and circuit board
JP6996997B2 (en) * 2018-02-03 2022-01-17 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Metal-clad laminate and its manufacturing method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017159274A1 (en) 2016-03-17 2017-09-21 新日鉄住金化学株式会社 Polyamide acid, thermoplastic polyimide, resin film, metal-clad laminate and circuit board
WO2018061727A1 (en) 2016-09-29 2018-04-05 新日鉄住金化学株式会社 Polyimide film, copper-clad laminate, and circuit substrate

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