KR20220092412A - Polyimide film, metal-clad laminate, method for producing same and circuit substrate - Google Patents

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야스히로 아다치
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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention relates to a polyimide film or a metal thin laminated plate capable of realizing good adhesion of an interface between the polyimide film or a polyimide insulating layer and a bonding sheet without deteriorating dielectric properties. The polyimide film or a polyimide insulating layer of the metal thin laminated plate of the present invention comprises: a plurality of polyimide layers and a polyimide layer (P) on an exposure surface. The whole of the polyimide film or the polyimide insulating layer satisfies (i) oxygen transmission coefficient of 2.0 × 10^-18 mol·m/m^2·s·Pa or less; (ii) thermal expansion coefficient of 10-30 ppm/K; (iii) dielectric tangent (Tanδ) of 0.004 or less in 10 GHz; and a thickness of 10-100 ㎛. In addition, polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) contains an acid anhydride residue which is induced from a tetracarboxylic anhydride component; and a diamine residue which is induced from a diamine component. The diamine residue contains at least 30 mol% of the diamine residue induced from 1,3-bis (aminophenoxy) benzene with respect to the total diamine residue.

Description

폴리이미드 필름, 금속박적층판, 그 제조방법 및 회로기판{POLYIMIDE FILM, METAL-CLAD LAMINATE, METHOD FOR PRODUCING SAME AND CIRCUIT SUBSTRATE}Polyimide film, metal clad laminate, manufacturing method and circuit board thereof

본 발명은, 전자재료, 예를 들면 회로기판 등을 형성하기 위하여 사용되는 폴리이미드 필름, 금속박적층판 및 이를 가공하여 이루어지는 회로기판에 관한 것이다.The present invention relates to an electronic material, for example, a polyimide film used to form a circuit board, a metal clad laminate, and a circuit board formed by processing the same.

플렉시블 회로기판(Flexible Printed Circuit Board : FPC) 등의 회로기판의 제조에 있어서, 폴리이미드 절연층의 편면 또는 양면에 동박(銅箔) 등의 금속층이 적층된 금속박적층판이 널리 사용되고 있다. 이와 같은 폴리이미드 절연층에 대해서는, 일반적으로 회로의 고주파 전송특성의 개선을 목적으로 비교적 낮은 비유전율과 유전정접을 나타내는 것이 요구되고 있다.In the manufacture of circuit boards such as flexible printed circuit boards (FPC), a metal foil laminate in which a metal layer such as copper foil is laminated on one or both sides of a polyimide insulating layer is widely used. Such a polyimide insulating layer is generally required to exhibit a relatively low dielectric constant and dielectric loss tangent for the purpose of improving the high-frequency transmission characteristics of a circuit.

그런데 금속박적층판의 폴리이미드 절연층의 형성은, 금속층에 폴리아미드산 용액을 도포하고 건조시킨 후에 이미드화 열처리를 실시한다고 하는 “캐스트법”에 의하여 이루어지고 있지만, 이미드화 열처리를 할 때에 금속층과 폴리이미드 절연층의 층 사이에 있어서, 잔존용매나 이미드화로 생성된 물의 부피팽창에 의하여 소위 “부풂”이나 “박리”의 현상(이하, 발포현상이라고 칭하는 경우가 있다)이 생기는 경우가 있었다.By the way, the formation of the polyimide insulating layer of the metal clad laminate is made by the “cast method” in which imidization heat treatment is performed after applying a polyamic acid solution to the metal layer and drying it. Between the layers of the mid insulating layer, so-called "swelling" or "peeling" phenomena (hereinafter sometimes referred to as foaming phenomenon) may occur due to volume expansion of the residual solvent or water generated by imidization.

이 때문에, 유전특성을 열화시키지 않고 발포현상이 억제된 금속박적층판으로서, 금속층과 접하는 폴리이미드 절연층의 저장탄성률이 소정 수치 이상이 되도록, 폴리이미드 절연층을 구성하는 산무수물 잔기의 합계 100몰부에 대하여, 분자 내에 비교적 고극성기(高極性基)인 케톤기를 구비하는 테트라카르복시산이무수물 잔기를 40몰부 이상 함유시킨 금속박적층판이 제안되어 있다(특허문헌1).For this reason, as a metal clad laminate in which the foaming phenomenon is suppressed without deteriorating the dielectric properties, the polyimide insulating layer in contact with the metal layer has a storage modulus of elasticity equal to or greater than a predetermined value, in 100 moles in total of the acid anhydride residues constituting the polyimide insulating layer. On the other hand, there has been proposed a metal clad laminate in which 40 mole parts or more of a tetracarboxylic dianhydride residue having a ketone group, which is a relatively highly polar group, is contained in the molecule (Patent Document 1).

그런데 전술한 바와 같이 금속박적층판으로서, 폴리이미드 절연층의 양면에 금속층이 형성되어 있는 양면 금속박적층판도 널리 사용되고 있지만, 양면 금속박적층판에 있어서는, 일반적으로 2매(枚)의 편면 금속박적층판의 폴리이미드 절연층을 서로 대향(對向)시키고, 그 사이에 있어서, 폴리이미드계 접착제를 시트상(sheet狀)으로 성형한 양면 접착시트(이하, 본딩시트(BS))에 의하여 폴리이미드 절연층 상호간을 접합시켜 제조하는 것이 이루어지고 있다. 특허문헌1의 금속박적층판을 양면 금속박적층판으로 하는 경우에도 동일한 방법에 의하여 작성된다.However, as described above, as a metal clad laminate, a double-sided metal clad laminate in which a metal layer is formed on both sides of a polyimide insulating layer is also widely used. The layers are opposed to each other, and the polyimide insulating layers are bonded to each other by a double-sided adhesive sheet (hereinafter referred to as a bonding sheet (BS)) formed by molding a polyimide-based adhesive into a sheet shape between them. Manufacturing is being done. When the metal clad laminate of Patent Document 1 is used as a double-sided metal clad laminate, it is prepared by the same method.

일본국 공개특허 특개2020-104340호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2020-104340

그러나 특허문헌1의 금속박적층판의 경우에, 금속층과 그에 인접하는 폴리이미드 절연층과의 계면의 밀착성을 확보하는 것에 주목하고 있고, 금속층과 반대측의 폴리이미드 절연층의 매우 평탄한 표면과 본딩시트와의 사이의 계면의 밀착성에 대해서는 충분한 검토가 이루어지지 않고 있다. 또한 폴리이미드를 구성하는 산무수물 잔기가, 분자 내에 비교적 고극성기인 케톤기를 구비하는 테트라카르복시산이무수물 잔기를 40몰부 이상 함유하고 있기 때문에, 비유전율뿐만 아니라 유전정접도 상승하는 경향이 있다는 문제가 있다. 이 때문에 특허문헌1로부터는, 금속박적층판의 폴리이미드 절연층에 있어서, 그 유전특성을 열화시키지 않고 발포현상을 억제할 수 있을 뿐만 아니라, 본딩시트와의 계면에 있어서 양호한 밀착성도 실현시킬 수 있는 구체적인 구성을 안출할 수 없었다.However, in the case of the metal clad laminate of Patent Document 1, attention is paid to securing the adhesion between the interface between the metal layer and the polyimide insulating layer adjacent thereto, and the very flat surface of the polyimide insulating layer on the opposite side to the metal layer and the bonding sheet A sufficient examination has not been made about the adhesiveness of the interface between them. In addition, since the acid anhydride residue constituting the polyimide contains 40 mole parts or more of the tetracarboxylic acid dianhydride residue having a ketone group, which is a relatively highly polar group in the molecule, there is a problem that not only the dielectric constant but also the dielectric loss tangent tends to increase. . For this reason, according to Patent Document 1, in the polyimide insulating layer of the metal clad laminate, it is possible to suppress the foaming phenomenon without deteriorating the dielectric properties thereof, as well as to realize good adhesion at the interface with the bonding sheet. Couldn't come up with a configuration.

본 발명의 목적은, 폴리이미드 필름 또는 금속박적층판에 있어서, 유전특성을 열화시키지 않고, 폴리이미드 필름 또는 폴리이미드 절연층과 본딩시트와의 계면의 양호한 밀착성도 실현시킬 수 있는 구체적인 구성을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a specific configuration capable of realizing good adhesion at the interface between a polyimide film or a polyimide insulating layer and a bonding sheet without deteriorating dielectric properties in a polyimide film or a metal clad laminate. .

본 발명자들은, 폴리이미드 필름 또는 금속박적층판의 폴리이미드 절연층에 대하여 방대한 수의 특정요소를 검토하고, 이하의 (a)∼(c)에 나타내는 극히 한정된 특정요소를 컨트롤함으로써, 본 발명의 목적을 달성할 수 있다는 것을 찾아내어 본 발명을 완성시켰다.The inventors of the present invention have studied a vast number of specific elements for the polyimide insulating layer of a polyimide film or a metal clad laminate, and controlled extremely limited specific elements shown in (a) to (c) below, thereby achieving the object of the present invention. It has been found that this can be achieved and completed the present invention.

(a) 폴리이미드 필름 또는 폴리이미드 절연층을 복수의 폴리이미드층으로 하고, 노출면 측에 특정의 폴리이미드층을 배치하는 것;(a) using a polyimide film or a polyimide insulating layer as a some polyimide layer, and arrange|positioning a specific polyimide layer on the exposed surface side;

(b) 폴리이미드 필름 또는 폴리이미드 절연층 전체의 “산소투과계수”와 “열팽창계수”와 “유전정접”과 “층두께”를 각각 소정 범위로 설정하는 것; 및(b) setting “oxygen permeability”, “coefficient of thermal expansion”, “dielectric loss tangent” and “layer thickness” of the polyimide film or the entire polyimide insulating layer within predetermined ranges; and

(c) 폴리이미드 필름 또는 폴리이미드 절연층에 있어서의 노출면 측의 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드가, 디아민 잔기로서, 1,3-비스(아미노페녹시)벤젠으로부터 유도되는 디아민 잔기를 소정 이상의 함유량으로 사용하는 것.(c) The polyimide constituting the polyimide layer on the exposed surface side of the polyimide film or polyimide insulating layer is a diamine residue derived from 1,3-bis(aminophenoxy)benzene as a diamine residue. To be used in more than one content.

즉 본 발명의 제1측면은, 복수의 폴리이미드층을 구비하는 폴리이미드 필름으로서, 하기의 조건(ⅰ)∼(ⅳ):That is, the first aspect of the present invention is a polyimide film having a plurality of polyimide layers, under the following conditions (i) to (iv):

(ⅰ) 산소투과계수가 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하인 것;(i) an oxygen permeability coefficient of 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa or less;

(ⅱ) 열팽창계수가 10∼30ppm/K의 범위 내인 것;(ii) the coefficient of thermal expansion is within the range of 10 to 30 ppm / K;

(ⅲ) 10GHz에 있어서의 유전정접(Tanδ)이 0.004 이하인 것; 및(iii) a dielectric loss tangent (Tanδ) of 0.004 or less at 10 GHz; and

(ⅳ) 두께가 10㎛∼100㎛의 범위 내인 것;(iv) having a thickness in the range of 10 μm to 100 μm;

을 만족하고,satisfied with

상기 폴리이미드 필름은, 적어도 일방의 노출면 측에 폴리이미드층(P)를 구비하고 있고,The polyimide film is provided with a polyimide layer (P) on at least one exposed surface side,

상기 폴리이미드층(P)를 구성하는 폴리이미드(p)가, 테트라카르복시산이무수물 성분으로부터 유도되는 산무수물 잔기와, 디아민 성분으로부터 유도되는 디아민 잔기를 함유하고, 상기 디아민 잔기는, 하기 일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를, 전체 디아민 잔기에 대하여 적어도 30mol% 함유하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름을 제공한다.The polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic acid dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, and the diamine residue is represented by the following general formula ( The polyimide film characterized by containing at least 30 mol% of the diamine residue induced|guided|derived from the diamine compound represented by 1) with respect to all the diamine residues is provided.

Figure pat00001
Figure pat00001

또한 본 발명의 제2측면은, 금속층과, 복수의 폴리이미드층을 구비하는 폴리이미드 절연층을 구비하는 금속박적층판으로서,In addition, a second aspect of the present invention is a metal clad laminate comprising a metal layer and a polyimide insulating layer including a plurality of polyimide layers,

(a) 상기 폴리이미드 절연층은, 상기 금속층과 반대측의 노출면 측에 폴리이미드층(P)를 구비하고 있고,(a) the polyimide insulating layer is provided with a polyimide layer (P) on the exposed surface side opposite to the metal layer,

(b) 폴리이미드 절연층 전체로서 하기의 조건(ⅰ)∼(ⅳ):(b) the following conditions (i) to (iv) as the whole polyimide insulating layer:

(ⅰ) 산소투과계수가 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하인 것;(i) an oxygen permeability coefficient of 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa or less;

(ⅱ) 열팽창계수가 10∼30ppm/K의 범위 내인 것;(ii) the coefficient of thermal expansion is within the range of 10 to 30 ppm / K;

(ⅲ) 10GHz에 있어서의 유전정접(Tanδ)이 0.004 이하인 것; 및(iii) a dielectric loss tangent (Tanδ) of 0.004 or less at 10 GHz; and

(ⅳ) 층두께가 10㎛∼100㎛의 범위 내인 것;(iv) the layer thickness is in the range of 10 μm to 100 μm;

을 만족하고 있고,is satisfied with

(c) 상기 폴리이미드층(P)를 구성하는 폴리이미드(p)가, 테트라카르복시산이무수물 성분으로부터 유도되는 산무수물 잔기와, 디아민 성분으로부터 유도되는 디아민 잔기를 함유하고, 상기 디아민 잔기는, 하기 일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를, 전체 디아민 잔기에 대하여 적어도 30mol% 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 금속박적층판을 제공한다.(c) the polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic acid dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, wherein the diamine residue is There is provided a metal clad laminate comprising at least 30 mol% of a diamine residue derived from the diamine compound represented by the general formula (1) with respect to the total diamine residue.

Figure pat00002
Figure pat00002

또한 본 발명의 제3측면은, 상기의 금속박적층판을 제조하는 금속박적층판의 제조방법으로서,In addition, a third aspect of the present invention is a method for manufacturing a metal clad laminate for manufacturing the above metal clad laminate,

금속층 상에, 폴리아미드산의 용액을 도포하고 건조시켜 단층 또는 복수 층의 제1폴리아미드산층을 형성하는 공정과,A step of applying a solution of polyamic acid on the metal layer and drying it to form a first polyamic acid layer of a single layer or a plurality of layers;

상기 제1폴리아미드산층 상에, 상기 폴리이미드(p)의 전구체인 폴리아미드산의 용액을 도포하고 건조시켜 제2폴리아미드산층을 형성하는 공정과,forming a second polyamic acid layer by coating and drying a solution of polyamic acid, which is a precursor of the polyimide (p), on the first polyamic acid layer;

상기 제1폴리아미드산층에 포함되는 폴리아미드산 및 상기 제2폴리아미드산층에 포함되는 폴리아미드산을 이미드화함으로써, 상기 폴리이미드 절연층을 형성하는 공정을 구비하는 제조방법을 제공한다.It provides a manufacturing method comprising the step of forming the polyimide insulating layer by imidizing the polyamic acid contained in the first polyamic acid layer and the polyamic acid contained in the second polyamic acid layer.

또한 본 발명의 제4측면은, 상기의 금속박적층판의 금속층이 배선으로 가공되어 있는 회로기판을 제공한다.In addition, a fourth aspect of the present invention provides a circuit board in which the metal layer of the metal clad laminate is processed as wiring.

본 발명의 폴리이미드 필름 및 금속박적층판은, 폴리이미드 필름 또는 폴리이미드 절연층을 복수의 폴리이미드층으로 구성하고, 폴리이미드 필름 전체 또는 폴리이미드 절연층 전체의 “산소투과계수”와 “열팽창계수”와 “유전정접”과 “층두께”가 각각 소정 범위로 설정되어 있기 때문에, 치수안정성이 우수함과 아울러 전송손실을 저감시킬 수 있다. 또한 본 발명의 폴리이미드 필름 및 금속박적층판에 있어서는, 노출면 측에 특정의 폴리이미드층을 배치함으로써, 폴리이미드 필름 또는 폴리이미드 절연층 전체의 유전특성을 저하시키지 않고, 예를 들면 본딩시트 등의 수지재료와의 계면에 있어서 양호한 밀착성도 실현시킬 수 있다. 따라서 본 발명의 금속박적층판은, 편면 금속박적층판의 양호한 특성을 손상시키지 않고 양면 금속박적층판으로 가공할 수 있다. 또한 본 발명의 금속박적층판으로 형성된 회로기판은, 치수안정성 및 내열성이 우수하고, 게다가 양호한 고주파 전송특성을 획득할 수 있다.The polyimide film and metal clad laminate of the present invention comprises a polyimide film or polyimide insulating layer with a plurality of polyimide layers, and the “oxygen permeability” and “coefficient of thermal expansion” of the entire polyimide film or the entire polyimide insulating layer Since , “dielectric loss tangent” and “layer thickness” are set within predetermined ranges, respectively, dimensional stability is excellent and transmission loss can be reduced. Further, in the polyimide film and metal clad laminate of the present invention, by arranging a specific polyimide layer on the exposed surface side, the dielectric properties of the entire polyimide film or polyimide insulating layer are not reduced, for example, a bonding sheet or the like. Good adhesion at the interface with the resin material can also be realized. Therefore, the metal clad laminate of the present invention can be processed into a double-sided metal clad laminate without impairing the good properties of the single-sided metal clad laminate. Further, the circuit board formed of the metal clad laminate of the present invention is excellent in dimensional stability and heat resistance, and furthermore, good high-frequency transmission characteristics can be obtained.

도1은, 본 발명의 실시형태에 관한 금속박적층판의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a metal clad laminate according to an embodiment of the present invention.

이하에, 본 발명의 폴리이미드 필름 및 금속박적층판에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the polyimide film and metal clad laminated board of this invention are demonstrated, referring drawings.

[본 발명의 폴리이미드 필름 및 본 발명의 금속박적층판][Polyimide film of the present invention and metal clad laminate of the present invention]

본 발명의 폴리이미드 필름은, 복수의 폴리이미드층을 구비한다. 또한 본 발명의 금속박적층판은, 금속층과, 복수의 폴리이미드층을 구비하는 폴리이미드 절연층으로 구성된다. 여기에서 본 발명의 폴리이미드 필름은, 금속층을 필수로 포함하고 있지 않다는 점에서 본 발명의 금속박적층판과 다르다. 즉 본 발명의 폴리이미드 필름은, 본 발명의 금속박적층판에 있어서의 「폴리이미드 절연층」과 실질적으로 동일한 구성이다.The polyimide film of this invention is equipped with a some polyimide layer. Further, the metal clad laminate of the present invention is composed of a metal layer and a polyimide insulating layer including a plurality of polyimide layers. Here, the polyimide film of the present invention is different from the metal clad laminate of the present invention in that it does not necessarily contain a metal layer. That is, the polyimide film of the present invention has substantially the same configuration as the "polyimide insulating layer" in the metal clad laminate of the present invention.

이하에 설명의 중복을 피하기 위하여, 본 발명의 금속박적층판에 대하여 상세하게 설명함에 있어서 본 발명의 폴리이미드 필름의 구성에 대해서도 명확하게 한다. 이하의 설명에서는, 특별히 명기하는 경우를 제외하고 금속박적층판에 있어서의 「폴리이미드 절연층」을 「폴리이미드 필름」으로 대신할 수 있다.In order to avoid duplication of description below, in the detailed description of the metal clad laminate of the present invention, the structure of the polyimide film of the present invention will also be clarified. In the following description, the "polyimide insulating layer" in the metal clad laminate may be substituted for the "polyimide film", except where otherwise specified.

도1은, 본 발명의 금속박적층판(30)의 일태양의 기본구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다. 이 금속박적층판(30)은, 금속층(10)의 편면(片面)에 폴리이미드 절연층(20)이 형성되어 있는 구조로서, 구성(a), (b)(ⅰ)∼(ⅳ), (c)를 구비한다. 이하에, 구성별로 상세하게 설명한다.1 is a cross-sectional view schematically showing the basic configuration of one embodiment of a metal clad laminate 30 of the present invention. The metal clad laminate 30 has a structure in which a polyimide insulating layer 20 is formed on one side of the metal layer 10, and has configurations (a), (b) (i) to (iv), (c) ) is provided. Hereinafter, each configuration will be described in detail.

또한 상기한 바와 같이 본 발명의 폴리이미드 필름은, 금속박적층판(30)의 폴리이미드 절연층(20)과 동일한 구성을 구비하는 것이다.In addition, as described above, the polyimide film of the present invention has the same configuration as the polyimide insulating layer 20 of the metal clad laminate 30 .

<구성(a)><Configuration (a)>

(폴리이미드 절연층(20))(Polyimide insulating layer 20)

본 발명에 있어서 폴리이미드 절연층(20)은, 단층 또는 복수의 폴리이미드층으로 구성되는 폴리이미드층(21)과, 후술하는 특정의 폴리이미드(p)를 함유하는 폴리이미드층(P)(23)를 구비하고, 폴리이미드층(P)(23)는, 금속층(10)과 반대측의 폴리이미드 절연층(20)의 표면측에 그 일부분으로서 형성되어 있다. 도1에서는, 폴리이미드층(P)(23)가 노출되어 있다.In the present invention, the polyimide insulating layer 20 is a polyimide layer 21 composed of a single layer or a plurality of polyimide layers, and a polyimide layer (P) containing a specific polyimide (p) described later ( 23), and the polyimide layer (P) 23 is formed as a part on the surface side of the polyimide insulating layer 20 on the opposite side to the metal layer 10 . In Fig. 1, the polyimide layer (P) 23 is exposed.

또한 본 발명의 폴리이미드 필름의 경우에는, 적어도 일방(一方)의 노출면 측에 폴리이미드층(P)가 형성되어 있으면 좋다.Moreover, in the case of the polyimide film of this invention, the polyimide layer P should just be provided in at least one exposed surface side.

폴리이미드층(21)은, 단층 또는 복수의 폴리이미드층으로 구성되어 있고, 그 주된 폴리이미드층은, 고내열성 및 고치수안정성을 담보하기 위하여, 비열가소성 폴리이미드로 구성되는 비열가소성 폴리이미드층인 것이 바람직하지만, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 열가소성 폴리이미드로 구성되는 열가소성 폴리이미드층을 함유하여도 좋다. 여기에서 주된 폴리이미드층의 합계의 두께는, 폴리이미드층(21)의 두께에 대하여 50% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 또한 폴리이미드 절연층(20)의 폴리이미드 표면의 접착성을 향상시키기 위하여, 폴리이미드층(P)(23)를 폴리이미드층(21)의 노출면 측에 적층한다. 폴리이미드층(P)(23)를 구성하는 폴리이미드는, 열가소성 폴리이미드 또는 비열가소성 폴리이미드에 한정되지 않고, 다른 재료와의 접착성을 향상시킬 수 있는 것이다.The polyimide layer 21 is composed of a single layer or a plurality of polyimide layers, and the main polyimide layer is a non-thermoplastic polyimide layer composed of non-thermoplastic polyimide in order to ensure high heat resistance and high water stability. Although it is preferable that it is a range which does not impair the effect of this invention, you may contain the thermoplastic polyimide layer comprised from a thermoplastic polyimide. Here, it is preferable that the total thickness of the main polyimide layer shall be 50 % or more with respect to the thickness of the polyimide layer 21. Further, in order to improve the adhesiveness of the polyimide surface of the polyimide insulating layer 20 , a polyimide layer (P) 23 is laminated on the exposed surface side of the polyimide layer 21 . The polyimide constituting the polyimide layer (P) 23 is not limited to a thermoplastic polyimide or a non-thermoplastic polyimide, and can improve adhesiveness with other materials.

비열가소성 폴리이미드 및 열가소성 폴리이미드는, 모두 테트라카르복시산이무수물 성분과 디아민 성분을 이미드화 반응시킨 것으로, 모노머 잔기로서, 테트라카르복시산이무수물 성분으로부터 유도된 4가의 산무수물 잔기와, 디아민 성분으로부터 유도된 2가의 디아민 잔기를 포함하는 것이다. 이들 테트라카르복시산이무수물 성분과 디아민 성분에 대해서는, 열가소성 폴리이미드 및 비열가소성 폴리이미드와 관련하여 후술한다.Non-thermoplastic polyimides and thermoplastic polyimides are both obtained by imidation reaction of a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component, and as a monomer residue, a tetravalent acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic acid dianhydride component, and a diamine component It contains a divalent diamine residue. These tetracarboxylic dianhydride components and diamine components will be described later in relation to the thermoplastic polyimide and the non-thermoplastic polyimide.

본 발명에 있어서 「비열가소성 폴리이미드」의 「비열가소성」은, 동적점탄성 측정장치(DMA)를 사용하여 측정된 30℃에 있어서의 저장탄성률이 1.0×109Pa 이상이고, 또한 글라스 전이온도+30℃ 이내의 온도영역에서의 저장탄성률이 1.0×108Pa 이상인 것을 의미한다. 또한 「열가소성 폴리이미드」의 「열가소성」은, 동적점탄성 측정장치(DMA)를 사용하여 측정된 30℃에 있어서의 저장탄성률이 1.0×109Pa 이상이고, 또한 글라스 전이온도+30℃ 이내의 온도영역에서의 저장탄성률이 1.0×108Pa 미만을 나타내는 것을 의미한다.In the present invention, the "non-thermoplastic" of "non-thermoplastic polyimide" means that the storage modulus at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA) is 1.0×10 9 Pa or more, and the glass transition temperature +30 It means that the storage modulus in the temperature range within ℃ is 1.0×10 8 Pa or more. In addition, the "thermoplastic" of "thermoplastic polyimide" is a temperature range in which the storage modulus at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA) is 1.0×10 9 Pa or more, and the glass transition temperature is within +30°C. It means that the storage modulus at is less than 1.0×10 8 Pa.

또한 비열가소성 폴리이미드층은 저열팽창성의 폴리이미드층을 구성하고, 열가소성 폴리이미드층은 고열팽창성의 폴리이미드층을 구성한다. 여기에서 저열팽창성의 폴리이미드층의 「저열팽창성」은, 열팽창계수(CTE)가 바람직하게는 1ppm/K 이상 25ppm/K 이하, 더 바람직하게는 3ppm/K 이상 25ppm/K 이하의 범위 내인 것을 의미하고, 한편 고열팽창성의 폴리이미드층의 「고열팽창성」은, CTE가 바람직하게는 35ppm/K 이상 80ppm/K 이하, 더 바람직하게는 35ppm/K 이상 70ppm/K 이하의 범위 내인 것을 의미한다. 폴리이미드층의 열팽창성의 조정은, 폴리이미드의 모노머 조성, 폴리이미드 절연층의 두께, 폴리이미드층의 형성조건(도포, 건조, 경화) 등을 적절하게 변경함으로써 실시할 수 있다.Further, the non-thermoplastic polyimide layer constitutes a polyimide layer having low thermal expansion properties, and the thermoplastic polyimide layer constitutes a polyimide layer having high thermal expansion properties. Here, "low thermal expansion property" of the polyimide layer of low thermal expansion property means that the coefficient of thermal expansion (CTE) is preferably in the range of 1 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, more preferably 3 ppm/K or more and 25 ppm/K or less. On the other hand, "high thermal expansibility" of the polyimide layer of high thermal expansibility means that the CTE is preferably in the range of 35 ppm/K or more and 80 ppm/K or less, more preferably 35 ppm/K or more and 70 ppm/K or less. The thermal expansibility of the polyimide layer can be adjusted by appropriately changing the monomer composition of the polyimide, the thickness of the polyimide insulating layer, the conditions for forming the polyimide layer (coating, drying, curing), and the like.

<구성(b)><Configuration (b)>

본 실시형태의 금속박적층판(30)은, 폴리이미드 절연층(20)이 전체로서 하기의 조건(ⅰ)∼(ⅳ)를 만족하고 있다.In the metal clad laminate 30 of the present embodiment, the polyimide insulating layer 20 as a whole satisfies the following conditions (i) to (iv).

(ⅰ) 산소투과계수가 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하인 것.(i) The oxygen permeability coefficient is 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa or less.

본 발명에 있어서는, 폴리이미드 절연층(20)의 산소투과계수를 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하로 조정한다. 산소투과계수의 측정은, JIS K-7126-1의 차압법에 준거하여 실시할 수 있다. 산소투과계수를 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하로 조정함으로써, 폴리이미드 절연층(20)을 구성하는 폴리이미드의 분자의 운동억제에 의하여 유전정접을 저하시킬 수 있다. 또한 금속박적층판(30)의 금속층(10)을 회로가공하여, 폴리이미드 절연층(20)을 회로기판의 절연수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 반복적으로 고온에 노출되는 환경이더라도 장기간에 걸쳐 배선층과의 접착성이 유지되어, 우수한 장기 내열접착성을 얻을 수 있다. 폴리이미드 절연층(20)의 산소투과계수가 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa을 넘는 경우에는, 폴리이미드 절연층(20)을 투과한 산소에 의하여 배선층의 산화가 진행되어, 배선층과 폴리이미드 절연층(20)과의 접착성이 저하될 우려가 있다. 또한 폴리이미드 절연층(20)의 산소투과계수는, 폴리이미드층(21)의 두께나 두께비율 외에, 주로 폴리이미드층(21)을 구성하는 폴리이미드 중의, 바람직하게는 비열가소성 폴리이미드 중의 비페닐 골격 함유 잔기의 비율, 지방족 골격 잔기의 유무, 디아민 잔기 및 산무수물 잔기의 치환기의 종류에 의하여 조절할 수 있다.In the present invention, the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20 is adjusted to 2.0×10 −18 mol·m/m 2 ·s·Pa or less. The measurement of the oxygen permeability coefficient can be performed based on the differential pressure method of JISK-7126-1. By adjusting the oxygen permeability coefficient to 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa or less, it is possible to reduce the dielectric loss tangent by suppressing the motion of molecules of the polyimide constituting the polyimide insulating layer 20 . In addition, in the case where the metal layer 10 of the metal clad laminate 30 is circuit-processed and the polyimide insulating layer 20 is applied as an insulating resin layer of a circuit board, even in an environment repeatedly exposed to high temperatures, the wiring layer and adhesiveness is maintained, and excellent long-term heat-resistance adhesiveness can be obtained. When the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20 exceeds 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa, the oxidation of the wiring layer proceeds by oxygen passing through the polyimide insulating layer 20 . , there is a fear that the adhesion between the wiring layer and the polyimide insulating layer 20 may be lowered. In addition, the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20, in addition to the thickness and thickness ratio of the polyimide layer 21, is the ratio in the polyimide mainly constituting the polyimide layer 21, preferably in the non-thermoplastic polyimide. It can be adjusted by the ratio of a phenyl skeleton containing residue, the presence or absence of an aliphatic skeleton residue, and the kind of substituent of a diamine residue and an acid anhydride residue.

(ⅱ) 열팽창계수(CTE)가 10∼30ppm/K의 범위 내인 것.(ii) The coefficient of thermal expansion (CTE) is within the range of 10 to 30 ppm/K.

본 발명에 있어서는, 폴리이미드 절연층(20) 전체의 열팽창계수(CTE)를 10ppm/K 이상 30ppm/K 이하, 바람직하게는 10ppm/K 이상 25ppm/K 이하, 더 바람직하게는 15ppm/K 이상 25ppm/K 이하로 조정한다. 이에 따라 금속박적층판(30)에 있어서, 휨의 발생이나 치수안정성의 저하를 방지할 수 있다. 폴리이미드 절연층(20) 전체의 CTE가 10∼30ppm/K의 범위 밖이 되면, 휨의 발생이나 치수안정성의 저하가 우려된다. 또한 폴리이미드 절연층(20)의 열팽창계수(CTE)는, 주된 폴리이미드층을 비열가소성 폴리이미드층으로 하고, 폴리이미드층(21)에 포함되는 비열가소성 폴리이미드층의 두께비율 외에, 주로 비열가소성 폴리이미드층을 구성하는 비열가소성 폴리이미드 중의 페닐 골격 함유 잔기나 나프탈렌 골격 함유 잔기, 비페닐 골격 함유 잔기라는 강직(剛直)한 모노머 잔기의 비율, 이미드화 공정에 있어서의 열처리조건 등에 의하여 조절할 수 있다.In the present invention, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the polyimide insulating layer 20 as a whole is 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less, preferably 10 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, more preferably 15 ppm/K or more and 25 ppm or less. Adjust to /K or less. Accordingly, in the metal clad laminate 30, it is possible to prevent the occurrence of warpage and deterioration of dimensional stability. When the CTE of the entire polyimide insulating layer 20 is out of the range of 10 to 30 ppm/K, there is concern about the occurrence of warpage and a decrease in dimensional stability. In addition, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the polyimide insulating layer 20 is mainly a ratio in addition to the thickness ratio of the non-thermoplastic polyimide layer included in the polyimide layer 21 with the main polyimide layer being a non-thermoplastic polyimide layer. The ratio of the rigid monomer residues such as phenyl skeleton-containing residues, naphthalene skeleton-containing residues, and biphenyl skeleton-containing residues in the non-thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer, the heat treatment conditions in the imidization step, etc. can be adjusted. have.

(ⅲ) 10GHz에 있어서의 유전정접(Tanδ)이 0.004 이하인 것.(iii) Dielectric loss tangent (Tanδ) at 10 GHz is 0.004 or less.

본 발명에 있어서는, 폴리이미드 절연층(20) 전체의 10GHz에 있어서의 유전정접(Tanδ)을 0.004 이하로 조정한다. 이에 따라 금속박적층판(30)의 폴리이미드 절연층(20)을, 예를 들면 회로기판의 절연수지층으로서 적용하는 경우에 있어서, 고주파신호의 전송 시에 있어서의 유전손실을 저감시킬 수 있다. 여기에서 유전정접은, 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR)에 의하여 측정할 수 있다. 따라서 폴리이미드 절연층(20)을, 예를 들면 고주파 회로기판의 절연수지층으로서 적용하는 경우에, 전송손실을 효율적으로 저감시킬 수 있다. 또한 10GHz에 있어서의 유전정접이 0.004를 넘으면, 폴리이미드 절연층(20)을 회로기판의 절연수지층으로서 적용하였을 때에, 고주파신호의 전송경로 상에서 전기신호의 로스가 커지는 등의 문제가 발생할 우려가 있다. 10GHz에 있어서의 유전정접의 하한값에 있어서는, 특별히 제한되는 것은 아니지만, 폴리이미드 절연층(20)을 회로기판의 절연수지층으로서 적용하는 경우의 요구특성에 따라 결정할 수 있다. 또한 폴리이미드 절연층(20)의 유전정접(Tanδ)은, 폴리이미드층(21)의 두께비율 외에, 주로 폴리이미드층(21)을 구성하는 폴리이미드 중의 비페닐 골격 함유 잔기의 비율이나 이미드기 비율에 의하여 조절할 수 있다.In the present invention, the dielectric loss tangent (Tan?) at 10 GHz of the entire polyimide insulating layer 20 is adjusted to 0.004 or less. Accordingly, when the polyimide insulating layer 20 of the metal clad laminate 30 is applied as an insulating resin layer of a circuit board, for example, the dielectric loss during transmission of a high-frequency signal can be reduced. Here, the dielectric loss tangent can be measured by a split post dielectric resonator (SPDR). Accordingly, when the polyimide insulating layer 20 is applied as an insulating resin layer of, for example, a high-frequency circuit board, the transmission loss can be effectively reduced. In addition, when the dielectric loss tangent at 10 GHz exceeds 0.004, when the polyimide insulating layer 20 is applied as an insulating resin layer of a circuit board, there is a risk that a problem such as an increase in electrical signal loss on the transmission path of a high frequency signal may occur. have. The lower limit of the dielectric loss tangent at 10 GHz is not particularly limited, but can be determined according to the required characteristics when the polyimide insulating layer 20 is applied as an insulating resin layer of a circuit board. In addition, the dielectric loss tangent (Tanδ) of the polyimide insulating layer 20 is, in addition to the thickness ratio of the polyimide layer 21, the ratio of the residues containing the biphenyl skeleton in the polyimide mainly constituting the polyimide layer 21 and the imide group It can be adjusted according to the ratio.

한편 폴리이미드 절연층(20)은, 예를 들면 회로기판의 절연수지층으로서 적용하는 경우에 있어서 임피던스의 정합성을 확보하기 위하여, 폴리이미드 절연층(20) 전체로서, 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR)에 의하여 측정한 10GHz에 있어서의 비유전율이 4.0 이하인 것이 바람직하다. 10GHz에 있어서의 비유전율이 4.0을 넘으면, 폴리이미드 절연층(20)을 회로기판의 절연수지층으로서 적용하였을 때에 유전손실의 증대로 연결되어, 고주파신호의 전송경로 상에서 전기신호의 로스가 커지는 등의 문제가 발생하기 쉬워질 우려가 있기 때문이다. 또한 폴리이미드 절연층(20)의 층두께를 일정하게 한 경우에, 비유전율이 높아질수록 임피던스 정합을 시켰을 때의 회로배선의 폭이 좁아져 도체손실이 증가하는 원인이 될 수도 있기 때문이다.On the other hand, the polyimide insulating layer 20 is a split post dielectric resonator (SPDR) as a whole polyimide insulating layer 20 in order to ensure impedance matching when applied as an insulating resin layer of a circuit board, for example. It is preferable that the relative permittivity in 10 GHz measured by , is 4.0 or less. When the relative permittivity at 10 GHz exceeds 4.0, when the polyimide insulating layer 20 is applied as an insulating resin layer of a circuit board, it leads to an increase in dielectric loss, resulting in an increase in electrical signal loss on the transmission path of high-frequency signals, etc. This is because there is a risk that the problem of In addition, when the thickness of the polyimide insulating layer 20 is constant, the higher the relative permittivity, the narrower the width of the circuit wiring when impedance matching is performed, which may cause an increase in conductor loss.

(ⅳ) 층두께가 10㎛∼100㎛의 범위 내인 것.(iv) The layer thickness is within the range of 10㎛ ~ 100㎛.

본 발명에 있어서는, 폴리이미드 절연층(20) 전체의 층두께를 10㎛∼100㎛의 범위 내로 한다. 이는, 그 층두께가 지나치게 얇으면 폴리이미드 절연층(20)이 깨지기 쉬워지고, 한편 그 층두께가 지나치게 두꺼우면 금속박적층판(30)을 구부렸을 때에 금속층(10)에 크랙이 발생할 우려가 있기 때문이다. 또한 폴리이미드 절연층(20) 전체의 층두께를 10㎛∼100㎛로 하는 범위 내에 있어서, 금속박적층판(30)의 사용목적에 따라 적절한 층두께로 설정할 수 있다. 예를 들면 금속박적층판(30)을 회로기판에 적용하는 경우에는, 바람직하게는 30∼60㎛, 더 바람직하게는 35∼50㎛의 범위 내로 설정할 수 있다.In this invention, the layer thickness of the whole polyimide insulating layer 20 is made into the range of 10 micrometers - 100 micrometers. This is because, if the layer thickness is too thin, the polyimide insulating layer 20 is easily broken, while if the layer thickness is too thick, cracks may occur in the metal layer 10 when the metal clad laminate 30 is bent. to be. In addition, within the range where the entire polyimide insulating layer 20 has a layer thickness of 10 µm to 100 µm, an appropriate layer thickness can be set according to the purpose of use of the metal clad laminate 30 . For example, when the metal clad laminate 30 is applied to a circuit board, it is preferably set within the range of 30 to 60 µm, more preferably 35 to 50 µm.

<구성(c)><Configuration (c)>

(폴리이미드층(P)(23))(Polyimide layer (P) (23))

본 발명에 있어서 폴리이미드층(P)(23)는, 금속박적층판(30)의 표면에 노출되고, 예를 들면 본딩시트가 직접 접합되는 노출면을 형성하고 있다. 폴리이미드층(P)(23)를 구성하는 폴리이미드(p)는, 테트라카르복시산이무수물 성분으로부터 유도되는 산무수물 잔기와, 디아민 성분으로부터 유도되는 디아민 잔기를 함유하고, 상기 디아민 잔기는, 하기 일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물(1,3-비스(아미노페녹시)벤젠)로부터 유도되는 디아민 잔기를, 전체 디아민 잔기에 대하여 적어도 30mol%, 바람직하게는 적어도 50mol% 함유하고 있다.In the present invention, the polyimide layer (P) 23 is exposed on the surface of the metal clad laminate 30, and forms an exposed surface to which, for example, a bonding sheet is directly bonded. The polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) 23 contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic acid dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, and the diamine residue is The diamine residue derived from the diamine compound (1,3-bis(aminophenoxy)benzene) represented by Formula (1) is at least 30 mol% with respect to all the diamine residues, Preferably it contains at least 50 mol%.

Figure pat00003
Figure pat00003

일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물은, 중앙의 벤젠고리의 메타위치에 2개의 아미노페녹시기를 구비한다. 이 때문에 메타결합에 의한 회전운동이 억제되어 있고, 게다가 디(아미노페닐)에테르 등의 일반적인 디아민 화합물보다 비교적 분자량이 크기 때문에 이미드기 농도의 상승을 억제할 수 있어, 폴리이미드 절연층(20)에 있어서 저유전율화 및 저유전정접화를 실현시킬 수 있다. 또한 유전특성을 열화(劣化)시키기 쉬운 고극성의 테트라카르복시산이무수물과 반응시켜도, 유전특성을 열화시키지 않고 본딩시트와의 밀착성을 확보할 수 있다.The diamine compound represented by General formula (1) is equipped with two aminophenoxy groups at the meta position of the central benzene ring. For this reason, rotational motion due to meta-bonding is suppressed, and since the molecular weight is relatively larger than that of a general diamine compound such as di(aminophenyl)ether, an increase in the imide group concentration can be suppressed, and the polyimide insulating layer 20 is Therefore, low dielectric constant and low dielectric loss tangent can be realized. In addition, even when reacted with highly polar tetracarboxylic dianhydride, which tends to deteriorate dielectric properties, adhesion to the bonding sheet can be ensured without deteriorating dielectric properties.

일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물로서는, 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(APB), 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R) 등을 들 수 있다. 특히 메타결합에 의한 양호한 회전운동의 억제효과를 예상할 수 있다는 점에서 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R)이 바람직하다.Examples of the diamine compound represented by the general formula (1) include 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB) and 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R). have. In particular, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R) is preferable in that a good inhibitory effect of rotational motion due to meta-bonding can be expected.

폴리이미드(p)의 디아민 잔기는, 일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를, 전체 디아민 잔기에 대하여 적어도 30mol%, 바람직하게는 적어도 50mol%, 더 바람직하게는 적어도 70mol% 함유하고 있다. 일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기의 함유량이 지나치게 적으면, 폴리이미드 절연층(20)에 있어서 저유전율화 및 저유전정접화를 실현시킬 수 없게 될 우려가 있기 때문이다.The diamine residue of the polyimide (p) contains at least 30 mol%, preferably at least 50 mol%, more preferably at least 70 mol% of the diamine residue derived from the diamine compound represented by the general formula (1) with respect to the total diamine residues. are doing This is because, when the content of the diamine residue derived from the diamine compound represented by the general formula (1) is too small, the polyimide insulating layer 20 may not be able to achieve low dielectric constant and low dielectric loss tangent.

또한 폴리이미드층(P)(23)를 구성하는 폴리이미드(p)의 디아민 잔기는, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 공지의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 공지의 디아민 화합물로서는, 예를 들면 1,4-디아미노벤젠(p-PDA ; 파라페닐렌디아민), 4-아미노페닐-4'-아미노벤조에이트(APAB), 3,3'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 3,4'-디아미노디페닐프로판, 3,4'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노벤조페논, (3,3'-비스아미노)디페닐아민, 1,4-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 3-[3-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 4,4'-[2-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[4-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[5-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 비스[4,4'-(3-아미노페녹시)]벤즈아닐리드, 4-[3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]페녹시]아닐린, 4,4'-[옥시비스(3,1-페닐렌옥시)]비스아닐린, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]에테르(BAPE), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰(BAPS), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]케톤(BAPK), 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP), 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]메탄, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]에테르, 비스[4-(3-아미노페녹시)]벤조페논, 9,9-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]플루오렌, 2,2-비스-[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-메틸렌디-o-톨루이딘, 4,4'-메틸렌디-2,6-크실리딘, 4,4'-메틸렌-2,6-디에틸아닐린, 3,3'-디아미노디페닐에탄, 3,3'-디아미노비페닐, 3,3'-디메톡시벤지딘, 3,3''-디아미노-p-테르페닐, 4,4'-[1,4-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 4,4'-[1,3-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 비스(p-아미노시클로헥실)메탄, 비스(p-β-아미노-t-부틸페닐)에테르, 비스(p-β-메틸-δ-아미노펜틸)벤젠, p-비스(2-메틸-4-아미노펜틸)벤젠, p-비스(1,1-디메틸-5-아미노펜틸)벤젠, 1,5-디아미노나프탈렌, 2,6-디아미노나프탈렌, 2,4-비스(β-아미노-t-부틸)톨루엔, 2,4-디아미노톨루엔, m-크실렌-2,5-디아민, p-크실렌-2,5-디아민, m-크실릴렌디아민, p-크실릴렌디아민, 2,6-디아미노피리딘, 2,5-디아미노피리딘, 2,5-디아미노-1,3,4-옥사디아졸, 피페라진, 2'-메톡시-4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 1,3-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스(4-아미노페녹시)-2,5-디-tert-부틸벤젠, 6-아미노-2-(4-아미노페녹시)벤조옥사졸, 2,6-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,3'-디에틸-5,5'-디메틸디페닐메탄, 비스(4-아미노-3-에틸-5-메틸페닐)메탄 등의 방향족 디아민 화합물, 다이머산의 2개의 말단 카르복시산기가 1급의 아미노메틸기 또는 아미노기로 치환되어 이루어지는 다이머산형 디아민 등의 지방족 디아민 화합물 등을 들 수 있다.Further, the diamine residue of the polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) 23 may contain a diamine residue derived from a known diamine compound within a range that does not impair the effects of the present invention. As such a known diamine compound, for example, 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB), 3,3'-diamino Diphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3 ,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-dia minobenzophenone, (3,3'-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine, 3 -[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine, 4,4'-[2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl -(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[5-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, bis[4,4'-(3-amino Phenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline , bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether (BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl] Ketone (BAPK), 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), bis[4 -(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-amino) phenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane; 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o- Toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-dia Minobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bis Aniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl) Ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1 ,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p -xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3, 4-oxadiazole, piperazine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)- 2-Propyl]benzene, 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)-2,5-di-tert-butylbenzene , 6-amino-2- (4-aminophenoxy) benzoxazole, 2,6-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,5-diethyltoluene, 2, Aromatic diamine compounds such as 4-diamino-3,3'-diethyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane and bis(4-amino-3-ethyl-5-methylphenyl)methane, two ends of dimer acid and aliphatic diamine compounds such as dimer acid type diamine in which a carboxylic acid group is substituted with a primary aminomethyl group or an amino group.

또한 폴리이미드(p)의 테트라카르복시산이무수물 성분으로부터 유도되는 산무수물 잔기로서는, 폴리이미드 절연층(20)의 저유전특성과 본딩시트에 대한 고밀착성을 균형 있게 실현시킬 수 있는 다양한 산무수물 잔기를 채용할 수 있다. 그 중에서도 산무수물 잔기는, 고극성의 카르보닐기를 구비하는 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복시산이무수물(BTDA)로부터 유도되는 산무수물 잔기와, 비교적 저분자량이기 때문에 상대적으로 이미드기 농도가 높은 피로멜리트산이무수물(PMDA)로부터 유도되는 산무수물 잔기를 합계로, 전체 산무수물 잔기에 대하여 바람직하게는 적어도 60mol%, 더 바람직하게는 적어도 90mol% 함유한다. BTDA만이어도 좋고, PMDA만이어도 좋지만, 그들 쌍방을 함유하고 있는 경우에 바람직한 범위는, 전체 산무수물 잔기에 대하여 BTDA가 50∼80mol%, PMDA가 20∼50mol%이다.In addition, as the acid anhydride residues derived from the tetracarboxylic acid dianhydride component of the polyimide (p), various acid anhydride residues capable of realizing the low dielectric properties of the polyimide insulating layer 20 and high adhesion to the bonding sheet in a balanced way are used. can be hired Among them, the acid anhydride residue is an acid anhydride residue derived from 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) having a highly polar carbonyl group, and an imide group because of its relatively low molecular weight. Preferably at least 60 mol%, more preferably at least 90 mol% of the acid anhydride residues derived from pyromellitic dianhydride (PMDA) having a high concentration in total, based on the total acid anhydride residues. Only BTDA or PMDA may be sufficient, but when both are contained, the preferable ranges are 50-80 mol% of BTDA and 20-50 mol% of PMDA with respect to all acid anhydride residues.

또한 폴리이미드(p)의 산무수물 잔기는, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 공지의 테트라카르복시산이무수물로부터 유도되는 산무수물 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 공지의 산이무수물로서는, 1,4-페닐렌비스(트리멜리트산모노에스테르)이무수물(TAHQ), 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복시산이무수물(NTCDA), 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복시산이무수물, 4,4'-옥시디프탈산무수물, 2,2',3,3'- 또는 2,3,3',4'-벤조페논테트라카르복시산이무수물, 2,3',3,4'-디페닐에테르테트라카르복시산이무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)에테르이무수물, 3,3'',4,4''-, 2,3,3'',4''- 또는 2,2'',3,3''-p-테르페닐테트라카르복시산이무수물, 2,2-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)-프로판이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)메탄이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)술폰이무수물, 1,1-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)에탄이무수물, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- 또는 1,2,9,10-페난트렌-테트라카르복시산이무수물, 2,3,6,7-안트라센테트라카르복시산이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)테트라플루오로프로판이무수물, 2,3,5,6-시클로헥산이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복시산이무수물, 1,4,5,8-나프탈렌테트라카르복시산이무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사히드로나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복시산이무수물, 2,6- 또는 2,7-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복시산이무수물, 2,3,6,7-(또는 1,4,5,8-)테트라클로로나프탈렌-1,4,5,8-(또는 2,3,6,7-)테트라카르복시산이무수물, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- 또는 5,6,11,12-페릴렌-테트라카르복시산이무수물, 시클로펜탄-1,2,3,4-테트라카르복시산이무수물, 피라진-2,3,5,6-테트라카르복시산이무수물, 피롤리딘-2,3,4,5-테트라카르복시산이무수물, 티오펜-2,3,4,5-테트라카르복시산이무수물, 4,4'-비스(2,3-디카르복시페녹시)디페닐메탄이무수물, 에틸렌글리콜 비스안히드로트리멜리테이트 등의 방향족 테트라카르복시산이무수물 등을 들 수 있다.Further, the acid anhydride residue of the polyimide (p) may contain an acid anhydride residue derived from a known tetracarboxylic acid dianhydride within a range not impairing the effects of the present invention. As such a known acid dianhydride, 1,4-phenylenebis(trimellitic acid monoester) dianhydride (TAHQ), 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride (NTCDA), 3,3',4 ,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'- or 2,3,3',4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)etherdianhydride, 3,3'',4,4''-, 2,3,3' ',4''- or 2,2'',3,3''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane Anhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methandianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfondianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3 , 6,7-anthracene tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5 ,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5 ,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- (or 1,4,5,8 -) tetrachloronaphthalene-1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4, 5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetra Carboxylic acid dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxylate) phenoxy ) Aromatic tetracarboxylic dianhydride, such as diphenylmethane dianhydride and ethylene glycol bisanhydro trimellitate, etc. are mentioned.

폴리이미드(p)에 있어서, 상기 산무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 산무수물 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 열팽창계수, 인장탄성률, 글라스 전이온도 등을 제어할 수 있다. 또한 폴리이미드(p)에 있어서, 폴리이미드의 구조단위를 복수 구비하는 경우에는, 블록으로서 존재하고 있어도 랜덤으로 존재하고 있어도 좋지만, 랜덤으로 존재하는 것이 바람직하다. 또한 폴리이미드(p)는, 방향족 테트라카르복시산이무수물로부터 유도되는 방향족 테트라카르복시산무수물 잔기 및 방향족 디아민으로부터 유도되는 방향족 디아민 잔기를 포함하는 것이 바람직하다. 폴리이미드(p)에 포함되는 산무수물 잔기 및 디아민 잔기를 모두 방향족기로 함으로써, 폴리이미드 절연층(20)의 고온환경하에서의 폴리이미드의 열화를 억제할 수 있다.In the polyimide (p), by selecting the types of the acid anhydride residues and diamine residues, or the molar ratios in the case of applying two or more types of acid anhydride residues or diamine residues, thermal expansion coefficient, tensile modulus of elasticity, glass transition temperature, etc. can be controlled. Moreover, polyimide (p) WHEREIN: When providing two or more structural units of polyimide, even if it exists as a block, although it may exist at random, it is preferable to exist at random. Further, the polyimide (p) preferably contains an aromatic tetracarboxylic acid anhydride residue derived from an aromatic tetracarboxylic acid dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine. By making both the acid anhydride residue and the diamine residue contained in the polyimide (p) into aromatic groups, deterioration of the polyimide in the high-temperature environment of the polyimide insulating layer 20 can be suppressed.

폴리이미드(p)의 이미드기 농도는, 30중량% 이하인 것이 바람직하다. 여기에서 「이미드기 농도」는, 폴리이미드 중의 이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 의미한다. 이미드기 농도가 30중량%를 넘으면, 글라스 전이온도 이상의 온도에서의 탄성률이 저하되기 어려워지고, 또한 극성기의 증가에 의하여 저흡습성도 악화된다.It is preferable that the imide group density|concentration of a polyimide (p) is 30 weight% or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group moiety (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide. When the imide group concentration exceeds 30% by weight, the elastic modulus at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature is less likely to decrease, and the low hygroscopicity is also deteriorated due to the increase in polar groups.

폴리이미드(p)의 중량평균분자량은, 예를 들면 10,000∼400,000의 범위 내가 바람직하고, 50,000∼350,000의 범위 내가 더 바람직하다. 중량평균분자량이 10,000 미만이면, 필름의 강도(强度)가 저하되어 취화(脆化)되기 쉬워지는 경향이 있다. 한편 중량평균분자량이 400,000을 넘으면, 과도하게 점도가 증가하여 도포작업을 할 때에 필름두께의 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다.The weight average molecular weight of the polyimide (p) is, for example, preferably in the range of 10,000 to 400,000, more preferably in the range of 50,000 to 350,000. When the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film is lowered and the film tends to become brittle. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity is excessively increased, and defects such as unevenness of film thickness and streaks tend to occur during coating operation.

또한 본 발명의 폴리이미드 절연층(20)에 있어서, 폴리이미드층(P)(23) 상에 금속층(도면에는 나타내지 않는다)을 더 적층함으로써, 폴리이미드층(P)(23)를 접착층으로서 기능시킬 수 있다.Further, in the polyimide insulating layer 20 of the present invention, by further laminating a metal layer (not shown) on the polyimide layer (P) 23, the polyimide layer (P) 23 functions as an adhesive layer. can do it

(폴리이미드층(21))(Polyimide layer 21)

본 발명에 있어서는, 금속박적층판(30)의 폴리이미드 절연층(20)을 구성하는 폴리이미드층(21)은, 단층 또는 복수의 폴리이미드층으로 구성되어 있고, 그 주된 폴리이미드층이 비열가소성 폴리이미드층을 함유하고, 상기 비열가소성 폴리이미드층이 하기의 조건(가)∼(다)를 만족하고 있는 것이 바람직하다. 이하에 조건별로 설명한다.In the present invention, the polyimide layer 21 constituting the polyimide insulating layer 20 of the metal clad laminate 30 is composed of a single layer or a plurality of polyimide layers, and the main polyimide layer is a non-thermoplastic polyimide layer. It is preferable that a mid layer is contained and the said non-thermoplastic polyimide layer satisfy|fills the following conditions (a) - (c). Hereinafter, each condition will be described.

(가) 비열가소성 폴리이미드층을 구성하는 비열가소성 폴리이미드가, 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중에 비페닐 골격을 구비하는 모노머 잔기를 50mol% 이상 함유하고 있는 것;(A) the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer contains 50 mol% or more of monomer residues having a biphenyl skeleton in all monomer residues derived from all monomer components;

(나) 두께가 7㎛∼70㎛의 범위 내인 것; 및(B) The thickness is within the range of 7㎛ ~ 70㎛; and

(다) 폴리이미드 절연층(20) 전체의 층두께에 대한 비열가소성 폴리이미드층의 두께의 비율이 70% 이상인 것.(C) The ratio of the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer to the overall thickness of the polyimide insulating layer 20 is 70% or more.

(조건(가))(Condition (a))

폴리이미드 절연층(20)에 있어서, 비열가소성 폴리이미드층을 폴리이미드층(21)의 주된 층으로서 함유한다. 폴리이미드 절연층(20)의 산소투과계수, CTE 및 유전특성을 제어하기 쉽게 하기 위함이다. 여기에서 「주된 층」은, 폴리이미드층(21) 전체의 두께의 50% 초과, 바람직하게는 60∼100%의 두께를 차지하는 층을 의미한다. 또한 비열가소성 폴리이미드층을 구성하는 비열가소성 폴리이미드는, 비열가소성 폴리이미드를 구성하는 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중에 비페닐 골격을 구비하는 모노머 잔기(이하, 「비페닐 골격 함유 잔기」라고 기재하는 경우가 있다)를 바람직하게는 50mol% 이상, 더 바람직하게는 70mol% 이상 함유한다. 이에 따라 폴리이미드 절연층(20)을 구성하는 폴리이미드 전체에 있어서의 비페닐 골격 함유 잔기의 함유비율을 높여, 산소투과계수를 낮추고, 저유전정접화를 도모할 수 있다. 한편 회로기판재료로서 사용되는 금속박적층판(30)의 폴리이미드 절연층(20)에 필요한 물성을 유지하기 위하여, 비페닐 골격 함유 잔기의 비율은 전체 모노머 잔기에 대하여 80mol% 이하로 하는 것이 바람직하다. 여기에서 비페닐 골격은, 2개의 페닐기가 단결합(單結合)한 골격이다. 따라서 비페닐 골격 함유 잔기는, 예를 들면 비페닐디일 잔기, 비페닐테트라일 잔기 등을 들 수 있다. 이들 잔기에 포함되는 방향환은, 임의의 치환기를 구비하고 있어도 좋다. 비페닐디일기의 대표적인 예로서는, 비페닐-3,3'-디일 잔기, 비페닐-4,4'-디일 잔기를 들 수 있다. 비페닐테트라일 잔기의 대표적인 예로서는, 비페닐-3,4,3',4'-테트라일 잔기를 들 수 있다.In the polyimide insulating layer (20), a non-thermoplastic polyimide layer is contained as a main layer of the polyimide layer (21). This is to make it easier to control the oxygen permeability coefficient, CTE, and dielectric properties of the polyimide insulating layer 20 . Here, the "main layer" is more than 50% of the thickness of the whole polyimide layer 21, Preferably it means the layer which occupies 60 to 100% of thickness. In addition, the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer is a monomer residue having a biphenyl skeleton among all monomer residues derived from all monomer components constituting the non-thermoplastic polyimide (hereinafter, "biphenyl skeleton-containing residue"). ) is preferably contained in an amount of 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more. Accordingly, it is possible to increase the content of the biphenyl skeleton-containing residues in the entire polyimide constituting the polyimide insulating layer 20, lower the oxygen permeability coefficient, and achieve a low dielectric loss tangent. On the other hand, in order to maintain the physical properties necessary for the polyimide insulating layer 20 of the metal clad laminate 30 used as a circuit board material, the ratio of the residues containing the biphenyl skeleton is preferably 80 mol% or less with respect to the total monomer residues. Here, the biphenyl skeleton is a skeleton in which two phenyl groups are single-bonded. Therefore, as a biphenyl skeleton containing residue, a biphenyldiyl residue, a biphenyltetrayl residue, etc. are mentioned, for example. The aromatic ring contained in these residues may be equipped with arbitrary substituents. Representative examples of the biphenyldiyl group include a biphenyl-3,3'-diyl residue and a biphenyl-4,4'-diyl residue. A typical example of the biphenyltetrayl residue is a biphenyl-3,4,3',4'-tetrayl residue.

또한 비열가소성 폴리이미드층은, 비페닐 골격 함유 잔기가 차지하는 비율이, 전체 디아민 잔기 및 전체 산무수물 잔기의 각각에 대하여 바람직하게는 20mol% 이상, 더 바람직하게는 30mol% 이상, 더욱 바람직하게는 40mol% 이상인 것이다. 전체 디아민 잔기 및 전체 산무수물 잔기의 각각에 대하여 비페닐 골격 함유 잔기를 20mol% 이상 포함하도록 함으로써, 비페닐 골격 함유 잔기가 디아민 잔기 또는 산무수물 잔기 중의 어느 한 쪽으로 치우쳐 존재하는 경우에 비하여 폴리머 전체의 질서구조의 형성이 보다 촉진되어, 산소투과계수와 유전정접을 저하시키는 효과가 증대된다.In the non-thermoplastic polyimide layer, the ratio of the biphenyl skeleton-containing residues to each of all the diamine residues and all the acid anhydride residues is preferably 20 mol% or more, more preferably 30 mol% or more, still more preferably 40 mol% or more. % or more. By including 20 mol% or more of the biphenyl skeleton-containing residue for each of the total diamine residues and the total acid anhydride residues, the total amount of the polymer is compared to the case where the biphenyl skeleton-containing residue is biased toward either the diamine residue or the acid anhydride residue. The formation of an ordered structure is more accelerated, and the effect of lowering the oxygen permeability coefficient and dielectric loss tangent is increased.

또한 비페닐 골격 함유 잔기는, 원료 모노머에서 유래하는 구조로서, 테트라카르복시산이무수물로부터 유도되는 것이어도 좋고, 디아민 화합물로부터 유도되는 것이어도 좋다.The biphenyl skeleton-containing residue is a structure derived from the raw material monomer, and may be derived from tetracarboxylic dianhydride or may be derived from a diamine compound.

비페닐 골격을 구비하는 산무수물 잔기의 대표적인 예로서는, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복시산이무수물(BPDA), 2,3',3,4'-비페닐테트라카르복시산이무수물, 4,4'-비페놀-비스(트리멜리테이트무수물) 등의 산이무수물로부터 유도되는 잔기를 들 수 있다. 이들 중에서도 특히 BPDA로부터 유도되는 산무수물 잔기(이하, 「BPDA 잔기」라고도 한다)는, 폴리머의 질서구조를 형성하기 쉬워, 분자의 운동억제에 의하여 유전정접이나 흡습성을 저하시킬 수 있기 때문에 바람직하다. 또한 BPDA 잔기는, 폴리이미드 전구체인 폴리아미드산으로서의 겔막(gel膜)의 자기지지성(自己支持性)을 부여할 수 있다.Representative examples of the acid anhydride residue having a biphenyl skeleton include 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and residues derived from acid dianhydrides such as 4,4'-biphenol-bis(trimellitate anhydride). Among these, acid anhydride residues derived from BPDA (hereinafter also referred to as "BPDA residues") are preferable because they tend to form an ordered structure of the polymer and reduce the dielectric loss tangent and hygroscopicity by inhibiting molecular motion. Moreover, the BPDA residue can provide the self-supporting property of the gel film|membrane as polyamic acid which is a polyimide precursor.

또한 비열가소성 폴리이미드층을 구성하는 비열가소성 폴리이미드의 산무수물 잔기는, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 비페닐 골격을 구비하는 산무수물 잔기 외에 공지의 테트라카르복시산이무수물로부터 유도되는 산무수물 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 공지의 산이무수물로서는, 예를 들면 피로멜리트산이무수물(PMDA), 1,4-페닐렌비스(트리멜리트산모노에스테르)이무수물(TAHQ), 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복시산이무수물(NTCDA), 3,3',4,4'-디페닐술폰테트라카르복시산이무수물, 4,4'-옥시디프탈산무수물, 2,2',3,3'-, 2,3,3',4'- 또는 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복시산이무수물, 2,3',3,4'-디페닐에테르테트라카르복시산이무수물, 비스(2,3-디카르복시페닐)에테르이무수물, 3,3'',4,4''-, 2,3,3'',4''- 또는 2,2'',3,3''-p-테르페닐테트라카르복시산이무수물, 2,2-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)-프로판이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)메탄이무수물, 비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)술폰이무수물, 1,1-비스(2,3- 또는 3,4-디카르복시페닐)에탄이무수물, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- 또는 1,2,9,10-페난트렌-테트라카르복시산이무수물, 2,3,6,7-안트라센테트라카르복시산이무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)테트라플루오로프로판이무수물, 2,3,5,6-시클로헥산이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복시산이무수물, 1,4,5,8-나프탈렌테트라카르복시산이무수물, 4,8-디메틸-1,2,3,5,6,7-헥사히드로나프탈렌-1,2,5,6-테트라카르복시산이무수물, 2,6- 또는 2,7-디클로로나프탈렌-1,4,5,8-테트라카르복시산이무수물, 2,3,6,7-(또는 1,4,5,8-)테트라클로로나프탈렌-1,4,5,8-(또는 2,3,6,7-)테트라카르복시산이무수물, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- 또는 5,6,11,12-페릴렌-테트라카르복시산이무수물, 시클로펜탄-1,2,3,4-테트라카르복시산이무수물, 피라진-2,3,5,6-테트라카르복시산이무수물, 피롤리딘-2,3,4,5-테트라카르복시산이무수물, 티오펜-2,3,4,5-테트라카르복시산이무수물, 4,4'-비스(2,3-디카르복시페녹시)디페닐메탄이무수물, 에틸렌글리콜 비스안히드로트리멜리테이트 등의 방향족 테트라카르복시산이무수물 등을 들 수 있다.In addition, the acid anhydride residue of the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer is an acid derived from a known tetracarboxylic acid dianhydride in addition to the acid anhydride residue having a biphenyl skeleton within a range that does not impair the effects of the present invention. may contain anhydride residues. As such a known acid dianhydride, for example, pyromellitic dianhydride (PMDA), 1,4-phenylenebis(trimellitic acid monoester) dianhydride (TAHQ), 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride (NTCDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'-, 2,3,3 ',4'- or 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl ) ether dianhydride, 3,3'',4,4''-, 2,3,3'',4''- or 2,2'',3,3''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride , 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propanedianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methandianhydride, bis(2,3- Or 3,4-dicarboxyphenyl) sulfonic anhydride, 1,1-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6 ,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)tetrafluoro Ropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8- Dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8 -tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- (or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene-1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1 ,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3 aromatic tetracarboxylic dianhydride such as ,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethanedianhydride, and ethylene glycol bisanhydrotrimellitate; can

한편 비페닐 골격을 구비하는 디아민 화합물의 대표적인 예로서는, 방향환을 2개만 구비하는 디아민 화합물을 들 수 있고, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐(m-TB), 2,2'-디에틸-4,4'-디아미노비페닐(m-EB), 2,2'-디에톡시-4,4'-디아미노비페닐(m-EOB), 2,2'-디프로폭시-4,4'-디아미노비페닐(m-POB), 2,2'-디-n-프로필-4,4'-디아미노비페닐(m-NPB), 2,2'-디비닐-4,4'-디아미노비페닐(VAB), 4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-디아미노-2,2'-비스(트리플루오로메틸)비페닐(TFMB) 등을 들 수 있다. 이들 디아민 화합물로부터 유도되는 잔기는, 강직구조(剛直構造)를 구비하고 있기 때문에, 폴리머 전체에 질서구조를 부여하는 작용을 하고 있다. 이들 디아민 화합물로부터 유도되는 잔기를 함유함으로써, 산소투과계수가 낮고 저흡습성인 폴리이미드를 얻을 수 있고, 분자사슬 내부의 수분을 저감시킬 수 있기 때문에 유전정접을 낮출 수 있다. 그 중에서도 m-TB가 바람직하다.On the other hand, representative examples of the diamine compound having a biphenyl skeleton include a diamine compound having only two aromatic rings, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2 , 2'-diethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-EB), 2,2'-diethoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-EOB), 2,2'- Dipropoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-POB), 2,2'-di-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 2,2'- Divinyl-4,4'-diaminobiphenyl (VAB), 4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl)biphenyl (TFMB) ) and the like. Since the residues derived from these diamine compounds have a rigid structure, they are acting to impart an ordered structure to the entire polymer. By containing a residue derived from these diamine compounds, a polyimide having a low oxygen permeability coefficient and low hygroscopicity can be obtained, and since moisture inside the molecular chain can be reduced, the dielectric loss tangent can be lowered. Among them, m-TB is preferable.

또한 비열가소성 폴리이미드층을 구성하는 비열가소성 폴리이미드의 디아민 잔기는, 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 비페닐 골격을 구비하는 상기의 디아민 화합물 외에 공지의 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를 함유할 수 있다. 그러한 공지의 디아민 화합물로서는, 예를 들면 1,4-디아미노벤젠(p-PDA ; 파라페닐렌디아민), 4-아미노페닐-4'-아미노벤조에이트(APAB), 3,3'-디아미노디페닐메탄, 3,3'-디아미노디페닐프로판, 3,3'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노디페닐술폰, 3,3'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐메탄, 3,4'-디아미노디페닐프로판, 3,4'-디아미노디페닐술피드, 3,3'-디아미노벤조페논, (3,3'-비스아미노)디페닐아민, 1,4-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 3-[3-(4-아미노페녹시)페녹시]벤젠아민, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠(TPE-R), 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠(APB), 4,4'-[2-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[4-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 4,4'-[5-메틸-(1,3-페닐렌)비스옥시]비스아닐린, 비스[4,4'-(3-아미노페녹시)]벤즈아닐리드, 4-[3-[4-(4-아미노페녹시)페녹시]페녹시]아닐린, 4,4'-[옥시비스(3,1-페닐렌옥시)]비스아닐린, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]에테르(BAPE), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰(BAPS), 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]케톤(BAPK), 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP), 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]메탄, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]에테르, 비스[4-(3-아미노페녹시)]벤조페논, 9,9-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]플루오렌, 2,2-비스-[4-(4-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 2,2-비스-[4-(3-아미노페녹시)페닐]헥사플루오로프로판, 3,3'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐, 4,4'-메틸렌디-o-톨루이딘, 4,4'-메틸렌디-2,6-크실리딘, 4,4'-메틸렌-2,6-디에틸아닐린, 3,3'-디아미노디페닐에탄, 3,3'-디아미노비페닐, 3,3'-디메톡시벤지딘, 3,3''-디아미노-p-테르페닐, 4,4'-[1,4-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 4,4'-[1,3-페닐렌비스(1-메틸에틸리덴)]비스아닐린, 비스(p-아미노시클로헥실)메탄, 비스(p-β-아미노-t-부틸페닐)에테르, 비스(p-β-메틸-δ-아미노펜틸)벤젠, p-비스(2-메틸-4-아미노펜틸)벤젠, p-비스(1,1-디메틸-5-아미노펜틸)벤젠, 1,5-디아미노나프탈렌, 2,6-디아미노나프탈렌, 2,4-비스(β-아미노-t-부틸)톨루엔, 2,4-디아미노톨루엔, m-크실렌-2,5-디아민, p-크실렌-2,5-디아민, m-크실릴렌디아민, p-크실릴렌디아민, 2,6-디아미노피리딘, 2,5-디아미노피리딘, 2,5-디아미노-1,3,4-옥사디아졸, 피페라진, 2'-메톡시-4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 1,3-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠, 1,4-비스(4-아미노페녹시)-2,5-디-tert-부틸벤젠, 6-아미노-2-(4-아미노페녹시)벤조옥사졸, 2,6-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,5-디에틸톨루엔, 2,4-디아미노-3,3'-디에틸-5,5'-디메틸디페닐메탄, 비스(4-아미노-3-에틸-5-메틸페닐)메탄 등의 방향족 디아민 화합물, 다이머산의 2개의 말단 카르복시산기가 1급의 아미노메틸기 또는 아미노기로 치환되어 이루어지는 다이머산형 디아민 등의 지방족 디아민 화합물 등을 들 수 있다.In addition, the diamine residue of the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer is a diamine residue derived from a known diamine compound in addition to the above-mentioned diamine compound having a biphenyl skeleton within a range that does not impair the effects of the present invention. may contain. As such a known diamine compound, for example, 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB), 3,3'-diamino Diphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3 ,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3'-dia minobenzophenone, (3,3'-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine, 3 -[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene ( APB), 4,4'-[2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline , 4,4′-[5-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, bis[4,4′-(3-aminophenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4] -(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl] Ether (BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK), 2,2-bis-[4- (3-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[ 4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4 -(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy) C)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6 -xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1,3-phenyl Lenbis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminophen tyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diamino Naphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylyl Lendiamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2'-methyl Toxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis[2 -(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)-2,5-di-tert-butylbenzene, 6-amino-2-(4-aminophenoxy) ) Benzoxazole, 2,6-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,3'-diethyl- In aromatic diamine compounds such as 5,5'-dimethyldiphenylmethane and bis(4-amino-3-ethyl-5-methylphenyl)methane, two terminal carboxylic acid groups of dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups Aliphatic diamine compounds, such as dimer acid type diamine, etc. are mentioned.

(조건(나))(Condition (B))

본 발명에 있어서, 비열가소성 폴리이미드층의 두께를 바람직하게는 7㎛∼70㎛의 범위 내로 한다. 비열가소성 폴리이미드층의 두께는, 사용하는 목적에 따라 7㎛∼70㎛의 범위 내에서 적당하게 설정하는 것이 가능하지만, 더 바람직하게는 25㎛∼49㎛, 더욱 바람직하게는 30㎛∼49㎛의 범위이다. 비열가소성 폴리이미드층의 두께가 상기의 범위 내이면, 폴리이미드 절연층(20)의 유전특성의 개선효과를 기대할 수 있고, 게다가 산소투과계수가 증대되는 것을 억제할 수 있어, 반복적으로 고온에 노출된 경우에 배선층과 절연수지층의 접착성의 저하도 억제할 수 있다.In the present invention, the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer is preferably in the range of 7 µm to 70 µm. The thickness of the non-thermoplastic polyimide layer can be appropriately set within the range of 7 µm to 70 µm depending on the purpose of use, more preferably 25 µm to 49 µm, still more preferably 30 µm to 49 µm is the range of When the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer is within the above range, the effect of improving the dielectric properties of the polyimide insulating layer 20 can be expected, and the oxygen permeability coefficient can be suppressed from increasing, and repeated exposure to high temperature In this case, a decrease in the adhesion between the wiring layer and the insulating resin layer can also be suppressed.

(조건(다))(Condition (C))

본 발명에 있어서, 폴리이미드 절연층(20) 전체의 층두께에 대한 비열가소성 폴리이미드층의 두께의 비율을, 바람직하게는 70% 이상으로 한다. 이 때문에 폴리이미드 절연층(20)의 산소투과계수가 과도하게 증대되는 것을 억제할 수 있고, CTE의 제어도 용이해지고, 또한 유전정접의 저하를 고려하였을 때에 사용할 수 있는 폴리이미드층(P)(23)의 선택의 자유도가 증가한다. 따라서 예를 들면 회로기판에 사용하였을 때에, 치수변화율의 제어나 고속전송에 대한 적응이 용이해진다. 또한 이 비율이 커질수록 산소투과계수 및 치수변화율의 제어, 유전정접의 저감을 도모하기 쉬워지는 경향이 있다.In the present invention, the ratio of the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer to the overall thickness of the polyimide insulating layer 20 is preferably 70% or more. For this reason, it is possible to suppress an excessive increase in the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20, to facilitate control of CTE, and to consider a decrease in dielectric loss tangent to a polyimide layer (P) ( 23) increases the freedom of choice. Therefore, when it is used for a circuit board, for example, it becomes easy to control the dimensional change rate and to adapt to high-speed transmission. Moreover, as this ratio becomes large, there exists a tendency for it to become easy to achieve control of an oxygen permeability coefficient and a dimensional change rate, and reduction of a dielectric loss tangent.

비열가소성 폴리이미드에 있어서, 상기 산무수물 잔기 및 디아민 잔기의 종류나, 2종 이상의 산무수물 잔기 또는 디아민 잔기를 적용하는 경우의 각각의 몰비를 선정함으로써, 산소투과계수, 유전특성, 열팽창계수, 저장탄성률, 인장탄성률 등을 제어할 수 있다. 또한 비열가소성 폴리이미드에 있어서 폴리이미드의 구조단위를 복수 구비하는 경우에는, 블록으로서 존재하고 있어도 랜덤으로 존재하고 있어도 좋지만, 랜덤으로 존재하는 것이 바람직하다. 또한 비열가소성 폴리이미드는, 방향족 테트라카르복시산이무수물로부터 유도되는 방향족 테트라카르복시산무수물 잔기 및 방향족 디아민으로부터 유도되는 방향족 디아민 잔기로 이루어지는 것이 바람직하다. 비열가소성 폴리이미드에 포함되는 산무수물 잔기 및 디아민 잔기를 모두 방향족기로 함으로써, 폴리이미드 절연층(20)의 고온환경하에서의 치수정밀도를 향상시킬 수 있다.In the non-thermoplastic polyimide, oxygen permeability coefficient, dielectric properties, thermal expansion coefficient, storage Elastic modulus, tensile modulus of elasticity, etc. can be controlled. Moreover, in a non-thermoplastic polyimide, when providing two or more structural units of polyimide, even if it exists as a block, although it may exist at random, it is preferable to exist at random. Further, the non-thermoplastic polyimide is preferably composed of an aromatic tetracarboxylic acid anhydride residue derived from an aromatic tetracarboxylic acid dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine. When both the acid anhydride residue and the diamine residue contained in the non-thermoplastic polyimide are aromatic groups, the dimensional accuracy of the polyimide insulating layer 20 in a high-temperature environment can be improved.

비열가소성 폴리이미드의 이미드기 농도는, 33중량% 이하인 것이 바람직하다. 여기에서 「이미드기 농도」는, 폴리이미드 중의 이미드기부(-(CO)2-N-)의 분자량을 폴리이미드의 구조 전체의 분자량으로 나눈 값을 의미한다. 이미드기 농도가 33중량%를 넘으면, 극성기의 증가에 의하여 흡습성이 증가한다. 또한 상기 산이무수물과 디아민 화합물의 조합을 선택함으로써, 비열가소성 폴리이미드 중의 분자의 배향성을 제어할 수 있고, 그에 따라 이미드기 농도의 저하에 수반되는 CTE의 증가를 억제하고, 저흡습성을 담보할 수 있다.It is preferable that the imide group density|concentration of a non-thermoplastic polyimide is 33 weight% or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group moiety (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide. When the concentration of the imide group exceeds 33% by weight, the hygroscopicity increases due to an increase in the polar group. In addition, by selecting the combination of the acid dianhydride and the diamine compound, the orientation of molecules in the non-thermoplastic polyimide can be controlled, thereby suppressing an increase in CTE accompanying a decrease in the imide group concentration, and ensuring low hygroscopicity have.

비열가소성 폴리이미드의 중량평균분자량은, 예를 들면 10,000∼400,000의 범위 내가 바람직하고, 50,000∼350,000의 범위 내가 더 바람직하다. 중량평균분자량이 10,000 미만이면, 필름의 강도가 저하되어 취화되기 쉬워지는 경향이 있다. 한편 중량평균분자량이 400,000을 넘으면, 과도하게 점도가 증가하여 도포작업을 할 때에 필름두께의 불균일, 줄무늬 등의 불량이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다.The inside of the range of 10,000-400,000 is preferable, for example, and, as for the weight average molecular weight of a non-thermoplastic polyimide, the inside of the range of 50,000-350,000 is more preferable. When the weight average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film is lowered and the film tends to become brittle. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity is excessively increased, and defects such as unevenness of film thickness and streaks tend to occur during coating operation.

본 실시형태의 폴리이미드 절연층(20)은, 필요에 따라 폴리이미드층(21) 또는 폴리이미드층(P)(23) 중에 무기필러나 유기필러를 함유하여도 좋다. 구체적으로는, 예를 들면 이산화규소, 산화알루미늄, 산화마그네슘, 산화베릴륨, 질화붕소, 질화알루미늄, 질화규소, 불화알루미늄, 불화칼슘 등의 무기필러나 불소계 폴리머 입자나 액정 폴리머 입자 등의 유기필러를 들 수 있다. 이들은 1종 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The polyimide insulating layer 20 of this embodiment may contain an inorganic filler or an organic filler in the polyimide layer 21 or the polyimide layer (P) 23 as needed. Specific examples include inorganic fillers such as silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, and calcium fluoride, and organic fillers such as fluorine-based polymer particles and liquid crystal polymer particles. can These can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.

또한 본 발명에 있어서, 폴리이미드 절연층(20)의 폴리이미드층(21)을 단층의 비열가소성 폴리이미드층으로 하고, 금속층(10)에 직접 적층하여도 좋다.In the present invention, the polyimide layer 21 of the polyimide insulating layer 20 may be a single non-thermoplastic polyimide layer, and may be directly laminated on the metal layer 10 .

<금속층><Metal layer>

금속층(10)의 재질로서는, 특별한 제한은 없지만, 예를 들면 구리, 스테인리스, 철, 니켈, 베릴륨, 알루미늄, 아연, 인듐, 은, 금, 주석, 지르코늄, 탄탈, 티타늄, 납, 마그네슘, 망간 및 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 특히 구리 또는 구리합금이 바람직하다. 또한 후술하는 회로기판에 있어서의 배선층의 재질도 금속층(10)과 동일하다.Although there is no particular limitation on the material of the metal layer 10, for example, copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese and These alloys etc. are mentioned. Among these, copper or copper alloy is especially preferable. In addition, the material of the wiring layer in the circuit board which will be described later is also the same as that of the metal layer 10 .

금속층(10)의 두께는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 동박으로 대표되는 금속박을 사용하는 경우에, 그 두께의 상한은 바람직하게는 35㎛ 이하이고, 더 바람직하게는 5∼25㎛의 범위 내가 좋고, 그 두께의 하한은 생산안정성 및 핸들링성의 관점에서 5㎛로 하는 것이 바람직하다. 또한 금속층(10)으로 사용하는 동박으로서는, 압연동박이어도 전해동박이어도 좋다. 또한 동박으로서는, 시판되고 있는 동박을 사용할 수 있다.Although the thickness of the metal layer 10 is not specifically limited, For example, when using the metal foil represented by copper foil, the upper limit of the thickness becomes like this. Preferably it is 35 micrometers or less, More preferably, it is 5-25 micrometers. The range is good, and the lower limit of the thickness is preferably 5 µm from the viewpoints of production stability and handling properties. Moreover, as copper foil used for the metal layer 10, a rolled copper foil or an electrodeposited copper foil may be sufficient. Moreover, as copper foil, commercially available copper foil can be used.

또한 금속층(10)에 있어서의 폴리이미드층(21)과 접하는 면(面)의 10점 평균조도(Rzjis)는, 1.2㎛ 이하인 것이 바람직하고, 1.0㎛ 이하인 것이 더 바람직하다. 금속층(10)이 금속박을 원료로 하는 경우에 표면조도(Rzjis)를 1.2㎛ 이하로 함으로써, 고밀도의 실장에 대응하는 미세배선가공이 가능해지고, 또한 고주파신호의 전송 시의 도체손실을 저감시킬 수 있기 때문에 고주파신호 전송용의 회로기판에 대한 적용이 가능해진다. 표면조도(Rzjis)가 1.2㎛를 초과하는 경우에, 미세배선가공 시의 배선형상이 악화되어 가공이 곤란해지고, 또한 도체손실이 증대되어 고주파신호의 전송에 부적합하게 된다.Moreover, it is preferable that it is 1.2 micrometers or less, and, as for the 10-point average roughness Rzjis of the surface in contact with the polyimide layer 21 in the metal layer 10, it is more preferable that it is 1.0 micrometer or less. When the metal layer 10 is made of metal foil as a raw material, by setting the surface roughness (Rzjis) to 1.2 μm or less, fine wiring corresponding to high-density mounting is possible, and conductor loss during high-frequency signal transmission can be reduced. Therefore, it becomes possible to apply to a circuit board for high-frequency signal transmission. When the surface roughness (Rzjis) exceeds 1.2 μm, the wiring shape at the time of fine wiring processing deteriorates, making the processing difficult, and the conductor loss increases, making it unsuitable for transmission of high-frequency signals.

또한 금속층(10)에는, 예를 들면 방청처리나, 접착력의 향상을 목적으로 예를 들면 사이딩(siding), 알루미늄알코올레이트, 알루미늄킬레이트, 실란 커플링제 등에 의한 표면처리를 실시하여 두어도 좋다.In addition, the metal layer 10 may be subjected to, for example, a surface treatment with siding, aluminum alcoholate, aluminum chelate, a silane coupling agent, etc. for the purpose of anti-rust treatment or improvement of adhesive strength.

[금속박적층판의 제조방법][Method of manufacturing metal clad laminate]

본 발명의 금속박적층판(30)은, 이하의 공정(A), (B) 및 (C)를 구비하는 제조방법에 의하여 제조할 수 있다.The metal clad laminate 30 of the present invention can be manufactured by a manufacturing method comprising the following steps (A), (B) and (C).

<공정(A)><Process (A)>

금속층(10)이 되는 금속박 상에, 폴리이미드의 전구체인 폴리아미드산의 용액을 도포하고 건조시켜, 단층 또는 복수 층의 제1폴리아미드산층을 형성한다. 폴리아미드산 용액을 금속층(10) 상에 도포하는 방법으로서는, 특별히 제한되지 않고, 예를 들면 콤마, 다이, 나이프, 립 등의 코터로 도포할 수 있다. 또한 제1폴리아미드산층을 복수 층으로 하는 경우에, 예를 들면 금속박에 폴리아미드산의 용액을 도포·건조하는 것을 복수 회 반복하여 실시하는 방법이나, 금속박 상에 다층압출에 의하여 동시에 폴리아미드산을 다층으로 적층한 상태로 도포·건조하는 방법 등을 채용할 수 있다.On the metal foil used as the metal layer 10, a solution of polyamic acid, which is a precursor of polyimide, is applied and dried to form a single or multiple first polyamic acid layer. The method for applying the polyamic acid solution on the metal layer 10 is not particularly limited, and for example, it can be applied with a comma, die, knife, or a coater such as a lip. In addition, when the first polyamic acid layer is made into a plurality of layers, for example, a method of repeatedly applying and drying a solution of polyamic acid on a metal foil a plurality of times, or simultaneously performing multilayer extrusion on a metal foil by extruding a polyamic acid A method of coating and drying in a multi-layered state can be employed.

폴리아미드산의 용액은, 산이무수물 성분과 디아민 성분을 거의 등몰로 N,N-디메틸포름아미드(DMF) 등의 유기용매 중에서 용해시키고, 0∼100℃의 범위 내의 온도에서 30분∼24시간 교반(攪拌)시켜 중합반응시킴으로써 얻어진다. 보통 폴리아미드산 용액의 폴리아미드산 농도를 5∼30중량% 정도가 되는 사용량으로 조정하여, 점도를 500cps∼100,000cps로 하는 것이 바람직하다.The polyamic acid solution is prepared by dissolving the acid dianhydride component and the diamine component in approximately equimolar amounts in an organic solvent such as N,N-dimethylformamide (DMF), followed by stirring at a temperature within the range of 0 to 100° C. for 30 minutes to 24 hours. (攪拌) is obtained by polymerization reaction. Usually, it is preferable to adjust the polyamic acid concentration of the polyamic acid solution to a usage amount of about 5 to 30 wt%, and to set the viscosity to 500 cps to 100,000 cps.

<공정(B)><Process (B)>

다음에 제1폴리아미드산층 상에, 공정(A)와 동일한 조작에 의하여 폴리이미드(p)의 전구체인 폴리아미드산의 용액을 도포하고 건조시켜, 제2폴리아미드산층을 형성한다. 또한 상기와 마찬가지로 하여, 다층압출에 의하여 제1폴리아미드산층 및 제2폴리아미드산층을 동시에 형성하여도 좋다.Next, a solution of polyamic acid, which is a precursor of polyimide (p), is applied on the first polyamic acid layer by the same operation as in step (A), and dried to form a second polyamic acid layer. Further, in the same manner as above, the first polyamic acid layer and the second polyamic acid layer may be simultaneously formed by multi-layer extrusion.

<공정(C)><Process (C)>

다음에 제1폴리아미드산층에 포함되는 폴리아미드산과 제2폴리아미드산층에 포함되는 폴리아미드산을 이미드화함으로써, 폴리이미드층(21)과 폴리이미드층(P)(23)로 변화시켜 폴리이미드 절연층(20)을 형성한다. 폴리아미드산을 이미드화시키는 방법은, 특별히 제한되지 않고, 예를 들면 80∼400℃의 범위 내의 온도조건에서 1∼24시간 동안 가열하는 열처리가 적합하게 채용된다. 이에 따라 도1의 금속박적층판(30)이 얻어진다.Next, by imidizing the polyamic acid contained in the first polyamic acid layer and the polyamic acid contained in the second polyamic acid layer, the polyimide layer 21 and the polyimide layer (P) 23 are changed to polyimide An insulating layer 20 is formed. The method for imidating the polyamic acid is not particularly limited, and for example, a heat treatment of heating at a temperature within the range of 80 to 400° C. for 1 to 24 hours is suitably employed. Accordingly, the metal foil laminate 30 of FIG. 1 is obtained.

또한 본 발명의 폴리이미드 필름은, 상기 금속박적층판(30)의 제조방법에 있어서, 금속박적층판(30)을 제조한 후에 에칭 등의 수단으로 금속층(10)을 제거하거나, 또는 금속박 대신에 박리 가능한 기재(基材)(박리 가능한 금속박을 포함한다)를 사용하여, 금속박적층판(30)을 제조한 후에 금속층(10)과 폴리이미드 절연층(20)을 박리함으로써, 제조할 수 있다.In addition, the polyimide film of the present invention, in the method for manufacturing the metal clad laminate 30, removes the metal layer 10 by means such as etching after manufacturing the metal clad laminate 30, or a base material that can be peeled off instead of the metal foil It can manufacture by peeling the metal layer 10 and the polyimide insulating layer 20 after manufacturing the metal foil laminated board 30 using (基材) (a peelable metal foil is included).

[회로기판][circuit board]

본 발명의 금속박적층판(30)은 FPC 등의 회로기판재료로서 유용하고, 본 발명의 금속박적층판(30)을 가공하여 작성한 회로기판도 본 발명의 일태양이다. 이 회로기판은, 본 발명의 금속박적층판(30)의 금속층(10)이 보통의 방법에 의하여 배선가공되어 이루어지는 것으로서, 그 구성의 특징은 본 발명의 금속박적층판(30)의 구성의 특징을 계승하고 있다. 따라서 이 회로기판은, 안정적이고 양호한 고주파 전송특성을 획득할 수 있다.The metal clad laminate 30 of the present invention is useful as a material for circuit boards such as FPC, and a circuit board prepared by processing the clad metal laminate 30 of the present invention is also an aspect of the present invention. In this circuit board, the metal layer 10 of the metal clad laminate 30 of the present invention is wire-processed by a common method, and the features of the configuration inherit the features of the configuration of the metal clad laminate 30 of the present invention. have. Accordingly, this circuit board can obtain stable and good high-frequency transmission characteristics.

(실시예)(Example)

이하에 실시예를 나타내어, 본 발명의 특징을 보다 구체적으로 설명한다. 다만 본 발명은, 이하의 실시예로 한정되는 것은 아니다. 또한 이하의 실시예에 있어서, 특별한 언급이 없는 한 각종 측정, 평가는 하기에 의한다.Examples are shown below, and the characteristics of the present invention will be described in more detail. However, the present invention is not limited to the following examples. In addition, in the following examples, various measurements and evaluations are based on the following unless otherwise indicated.

[점도의 측정][Measurement of viscosity]

합성예1∼16 및 합성예A∼C의 폴리아미드산 용액에 대하여, E형 점도계(브룩필드(Brookfield) 제품, 상품명 : DV-Ⅱ+Pro)를 사용하여 25℃에 있어서의 점도를 측정하였다. 토크가 10%∼90%가 되도록 회전수를 설정하고, 측정을 시작하고 2분이 경과된 후 점도가 안정되었을 때의 값을 읽었다.For the polyamic acid solutions of Synthesis Examples 1 to 16 and Synthesis Examples A to C, the viscosity at 25°C was measured using an E-type viscometer (Brookfield, trade name: DV-II+Pro). The rotation speed was set so that the torque became 10% to 90%, and the value when the viscosity was stabilized after 2 minutes had elapsed from the start of the measurement was read.

[글라스 전이온도 및 저장탄성률의 측정][Measurement of glass transition temperature and storage modulus]

폴리이미드 필름을 5㎜×70㎜의 사이즈로 자르고, 동적점탄성 측정장치(DMA : TA 인스트루먼트(TA Instruments) 제품, 상품명 : RSA G2)를 사용하여, 30℃에서 400℃까지 승온속도 4℃/분, 주파수 10Hz에서 글라스 전이온도 및 저장탄성률을 측정하였다. 탄성률 변화(tanδ)가 최대가 되는 온도를 글라스 전이온도로 하였다. 이들의 측정결과로부터, 폴리이미드 필름의 「비열가소성」을 판정하였다. 30℃에 있어서의 저장탄성률이 1.0×109Pa 이상이고, 또한 글라스 전이온도+30℃ 이내의 온도영역에서의 저장탄성률이 1.0×108Pa 이상인 경우를 「비열가소성」으로 하였다.The polyimide film was cut into a size of 5 mm × 70 mm, and using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by TA Instruments, trade name: RSA G2), the temperature increase rate from 30°C to 400°C was 4°C/min. , the glass transition temperature and storage modulus were measured at a frequency of 10 Hz. The temperature at which the change in modulus of elasticity (tanδ) becomes the maximum was set as the glass transition temperature. From these measurement results, the "non-thermoplasticity" of the polyimide film was judged. The case where the storage modulus at 30°C was 1.0×10 9 Pa or more and the storage modulus in the temperature range within the glass transition temperature +30° C. was 1.0×10 8 Pa or more was defined as “non-thermoplastic”.

[열팽창계수(CTE)의 측정][Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]

실시예1∼30 및 비교예1∼4의 편면 동박적층판의 동박을 제거하여 얻은 폴리이미드 필름을 3㎜×20㎜의 사이즈로 자르고, 서모 메커니컬 애널라이저((주)히타치 하이테크 사이언스(Hitachi High-Tech Science Corporation)(구 세이코 인스트루(주)(Seiko Instruments Inc.)) 제품, 상품명 : TMA/SS6100)를 사용하여, 5.0g의 하중을 가하면서 일정한 승온속도로 30℃에서 260℃까지 승온시키고, 그 온도에서 10분 더 유지시킨 후에, 5℃/분의 속도로 냉각시켜, 250℃에서 100℃까지의 평균 열팽창계수(열팽창계수)를 구하였다. 실용상 열팽창계수가 10∼30ppm/K의 범위 내인 것이 바람직하다.The polyimide film obtained by removing the copper foil of the single-sided copper clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4 was cut into a size of 3 mm × 20 mm, and a thermomechanical analyzer (Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.) Science Corporation) (formerly Seiko Instruments Inc.) product, trade name: TMA/SS6100), while applying a load of 5.0 g, the temperature was raised from 30°C to 260°C at a constant temperature increase rate, After holding at that temperature for another 10 minutes, it was cooled at a rate of 5°C/min to obtain an average coefficient of thermal expansion (coefficient of thermal expansion) from 250°C to 100°C. It is preferable that the thermal expansion coefficient exists in the range of 10-30 ppm/K practically.

[필강도의 측정][Measurement of Peel Strength]

실시예1∼30 및 비교예1∼4의 편면 동박적층판의 동박을 제거하여 얻은 폴리이미드 필름 2매와 본딩시트(폴리이미드계, 닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼(주)(NIPPON STEEL Chemical & Material Co., Ltd.) 제품, 상품명 : NB25A-M, 두께 : 25㎛)를, 폴리이미드 필름의 동박이 접하고 있던 면과는 반대의 면이 본딩시트와 접하도록 적층하고, 진공 프레스기를 사용하여 온도 160℃, 면압(面壓) 3.5MPa로 60분간 가열압착하였다. 얻어진 적층시트를 5㎜의 폭으로 자르고, 일방의 폴리이미드 필름을, 텐실론 테스터(상품명 : 스트로그래프(STROGRAPH) VE-1D, (주)도요 세이키 제작소(Toyo Seiki Seisaku-sho, Ltd.) 제품)를 사용하여 180° 방향으로 50㎜/분의 속도로 잡아당겨, 20㎜ 박리하였을 때의 중앙값 강도로부터 필강도(peel strength)를 구하였다. 필강도는 실용상 0.7kN/m 이상인 것이 바람직하다.Two polyimide films obtained by removing the copper foil of the single-sided copper clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4 and a bonding sheet (polyimide-based, NIPPON STEEL Chemical & Material Co. Ltd. , Ltd.) product, brand name: NB25A-M, thickness: 25㎛) was laminated so that the side opposite to the side where the copper foil was in contact of the polyimide film was in contact with the bonding sheet, using a vacuum press at a temperature of 160°C , and was heat-pressed for 60 minutes with a surface pressure of 3.5 MPa. The obtained laminated sheet was cut to a width of 5 mm, and one polyimide film was applied with a tensilon tester (trade name: STROGRAPH VE-1D, Toyo Seiki Seisaku-sho, Ltd.). product) was pulled at a speed of 50 mm/min in the 180° direction, and the peel strength was obtained from the median strength when peeled by 20 mm. It is preferable that the peeling strength is 0.7 kN/m or more practically.

[비유전율 및 유전정접의 측정][Measurement of dielectric constant and dielectric loss tangent]

실시예1∼30 및 비교예1∼4의 편면 동박적층판의 동박을 제거하여 얻은 폴리이미드 필름에 대하여, 벡터 네트워크 애널라이저(애질런트(Agilent) 제품, 상품명 : E8363C) 및 스플릿 포스트 유전체 공진기(SPDR 공진기)를 사용하여, 주파수 10GHz에 있어서의 폴리이미드 필름의 비유전율 및 유전정접을 측정하였다. 또한 측정에 사용한 재료는, 온도 : 24∼26℃, 습도 : 45∼55%의 조건하에서 24시간 방치한 것이다. 실용상 비유전율은 3.5 이하, 유전정접은 0.004 이하인 것이 바람직하다.A vector network analyzer (manufactured by Agilent, trade name: E8363C) and a split post dielectric resonator (SPDR resonator) for the polyimide films obtained by removing the copper foil of the single-sided copper clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4 was used to measure the relative dielectric constant and dielectric loss tangent of the polyimide film at a frequency of 10 GHz. In addition, the material used for the measurement was left to stand for 24 hours under the conditions of temperature: 24-26 degreeC, and humidity: 45-55%. For practical use, the dielectric constant is preferably 3.5 or less, and the dielectric loss tangent is preferably 0.004 or less.

[산소투과계수의 측정][Measurement of oxygen permeability coefficient]

실시예1∼30 및 비교예1∼4의 편면 동박적층판의 동박을 제거하여 얻은 폴리이미드 필름에 대하여, 온도 23℃±2℃, 습도 65%RH±5%RH의 조건하에서 JIS K7126-1의 차압법에 준거하여, 그 산소투과계수를 측정하였다. 또한 증기투과율 측정장치로서, GTR 테크(주)(GTR TEC Corporation) 제품인 GTR-30XAD2 및 야나코 테크니컬 사이언스(주) 제품인 G2700T·F를 사용하였다. 실용상 산소투과계수는 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하인 것이 바람직하다.With respect to the polyimide film obtained by removing the copper foil of the single-sided copper clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4, under the conditions of a temperature of 23°C±2°C and a humidity of 65%RH±5%RH, JIS K7126-1 Based on the differential pressure method, the oxygen permeability coefficient was measured. In addition, as a vapor permeability measuring device, GTR-30XAD2 manufactured by GTR TEC Corporation and G2700T·F manufactured by Yanako Technical Science Co., Ltd. were used. For practical use, the oxygen permeability coefficient is preferably 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa or less.

이하의 합성예, 실시예, 비교예에서 사용하는 약호는, 이하의 화합물을 나타낸다.The abbreviation used by the following synthesis example, an Example, and a comparative example shows the following compounds.

PMDA : 피로멜리트산이무수물PMDA: pyromellitic dianhydride

BTDA : 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복시산이무수물BTDA: 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride

BPDA : 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복시산이무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

m-TB : 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl

TPE-R : 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene

TPE-Q : 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-Q: 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene

APB : 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠APB: 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene

BAPP : 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane

BAPB : 4,4'-비스(4-아미노페녹시)비페닐BAPB: 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl

4,4'-DAPE : 4,4'-디아미노디페닐에테르4,4'-DAPE: 4,4'-diaminodiphenyl ether

비스아닐린-P : 1,4-비스[2-(4-아미노페닐)-2-프로필]벤젠(미쓰이 화학 파인(주)(Mitsui Fine Chemicals, Inc.) 제품, 상품명 : 비스아닐린-P)Bisaniline-P: 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene (manufactured by Mitsui Fine Chemicals, Inc., trade name: bisaniline-P)

DMAc : N,N-디메틸아세트아미드DMAc: N,N-dimethylacetamide

(합성예1)(Synthesis Example 1)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 20.670g의 TPE-R(0.0707mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 15.330g의 PMDA(0.0703mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액1을 얻었다. 폴리아미드산 용액1의 용액점도는 4,600cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 20.670 g of TPE-R (0.0707 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 15.330 g of PMDA (0.0703 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 1 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 1 was 4,600 cps.

(합성예2)(Synthesis Example 2)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 19.862g의 TPE-R(0.0680mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 11.785g의 PMDA(0.0540mol) 및 4.353g의 BTDA(0.0135mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 폴리아미드산 용액2를 얻었다. 표1의 조성의 폴리아미드산 용액2의 용액점도는 4,300cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 19.862 g of TPE-R (0.0680 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 11.785 g of PMDA (0.0540 mol) and 4.353 g of BTDA (0.0135 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 2. The solution viscosity of the polyamic acid solution 2 of the composition shown in Table 1 was 4,300 cps.

(합성예3)(Synthesis Example 3)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 19.482g의 TPE-R(0.0666mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 10.114g의 PMDA(0.0464mol) 및 6.404g의 BTDA(0.0199mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 폴리아미드산 용액3을 얻었다. 표1의 조성의 폴리아미드산 용액3의 용액점도는 4,000cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 19.482 g of TPE-R (0.0666 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 10.114 g of PMDA (0.0464 mol) and 6.404 g of BTDA (0.0199 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 3. The solution viscosity of the polyamic acid solution 3 of the composition shown in Table 1 was 4,000 cps.

(합성예4)(Synthesis Example 4)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 19.116g의 TPE-R(0.0654mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 8.506g의 PMDA(0.0390mol) 및 8.378g의 BTDA(0.0260mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 폴리아미드산 용액4를 얻었다. 표1의 조성의 폴리아미드산 용액4의 용액점도는 4,300cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 19.116 g of TPE-R (0.0654 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 8.506 g of PMDA (0.0390 mol) and 8.378 g of BTDA (0.0260 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 4. The solution viscosity of the polyamic acid solution 4 of the composition shown in Table 1 was 4,300 cps.

(합성예5)(Synthesis Example 5)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 18.763g의 TPE-R(0.0642mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 6.958g의 PMDA(0.0319mol) 및 10.279g의 BTDA(0.0319mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 폴리아미드산 용액5를 얻었다. 표1의 조성의 폴리아미드산 용액5의 용액점도는 4,400cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 18.763 g of TPE-R (0.0642 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 6.958 g of PMDA (0.0319 mol) and 10.279 g of BTDA (0.0319 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 5. The solution viscosity of the polyamic acid solution 5 of the composition in Table 1 was 4,400 cps.

(합성예6)(Synthesis Example 6)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 18.095g의 TPE-R(0.0619mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 4.026g의 PMDA(0.0185mol) 및 13.879g의 BTDA(0.0431mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 폴리아미드산 용액6을 얻었다. 표1의 조성의 폴리아미드산 용액6의 용액점도는 3,700cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 18.095 g of TPE-R (0.0619 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 4.026 g of PMDA (0.0185 mol) and 13.879 g of BTDA (0.0431 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 6. The solution viscosity of the polyamic acid solution 6 of the composition shown in Table 1 was 3,700 cps.

(합성예7)(Synthesis Example 7)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 17.779g의 TPE-R(0.0608mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 2.637g의 PMDA(0.0121mol) 및 15.584g의 BTDA(0.0484mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 폴리아미드산 용액7을 얻었다. 표1의 조성의 폴리아미드산 용액7의 용액점도는 3,400cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 17.779 g of TPE-R (0.0608 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 2.637 g of PMDA (0.0121 mol) and 15.584 g of BTDA (0.0484 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 7. The solution viscosity of the polyamic acid solution 7 of the composition shown in Table 1 was 3,400 cps.

(합성예8)(Synthesis Example 8)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 17.178g의 TPE-R(0.0588mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 18.822g의 BTDA(0.0584mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액8을 얻었다. 폴리아미드산 용액8의 용액점도는 3,800cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 17.178 g of TPE-R (0.0588 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and the mixture was dissolved by stirring at room temperature. Next, after adding 18.822 g of BTDA (0.0584 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 8 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of the polyamic acid solution 8 was 3,800 cps.

(합성예9)(Synthesis Example 9)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 18.182g의 TPE-R(0.0622mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 4.046g의 PMDA(0.0185mol), 11.953g의 BTDA(0.0371mol) 및 1.819g의 BPDA(0.0062mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액9를 얻었다. 폴리아미드산 용액9의 용액점도는 4,100cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 18.182 g of TPE-R (0.0622 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 4.046 g of PMDA (0.0185 mol), 11.953 g of BTDA (0.0371 mol) and 1.819 g of BPDA (0.0062 mol), the polymerization reaction was continued for 3 hours at room temperature, and the composition shown in Table 1 of polyamic acid solution 9 was obtained. The solution viscosity of the polyamic acid solution 9 was 4,100 cps.

(합성예10)(Synthesis Example 10)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 18.270g의 TPE-R(0.0625mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 4.065g의 PMDA(0.0186mol), 10.009g의 BTDA(0.0311mol) 및 3.656g의 BPDA(0.0124mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액10을 얻었다. 폴리아미드산 용액10의 용액점도는 3,800cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 18.270 g of TPE-R (0.0625 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 4.065 g of PMDA (0.0186 mol), 10.09 g of BTDA (0.0311 mol) and 3.656 g of BPDA (0.0124 mol), the polymerization reaction was continued for 3 hours at room temperature, and the composition shown in Table 1 of polyamic acid solution 10 was obtained. The solution viscosity of the polyamic acid solution 10 was 3,800 cps.

(합성예11)(Synthesis Example 11)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 18.359g의 TPE-R(0.0628mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 4.085g의 PMDA(0.0187mol), 8.046g의 BTDA(0.0250mol) 및 5.510g의 BPDA(0.0187mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액11을 얻었다. 폴리아미드산 용액11의 용액점도는 4,300cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 18.359 g of TPE-R (0.0628 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Next, after adding 4.085 g of PMDA (0.0187 mol), 8.046 g of BTDA (0.0250 mol) and 5.510 g of BPDA (0.0187 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours, and the composition shown in Table 1 of polyamic acid solution 11 was obtained. The solution viscosity of the polyamic acid solution 11 was 4,300 cps.

(합성예12)(Synthesis Example 12)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 14.476g의 TPE-R(0.0495mol), 3.619g의 APB(0.0124mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 4.026g의 PMDA(0.0185mol) 및 13.879g의 BTDA(0.0431mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액12를 얻었다. 폴리아미드산 용액12의 용액점도는 3,100cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 14.476 g of TPE-R (0.0495 mol), 3.619 g of APB (0.0124 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12 wt% was added, and stirred at room temperature. dissolved. Next, after adding 4.026 g of PMDA (0.0185 mol) and 13.879 g of BTDA (0.0431 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 12 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of the polyamic acid solution 12 was 3,100 cps.

(합성예13)(Synthesis Example 13)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 8.348g의 TPE-R(0.0286mol), 11.723g의 BAPP(0.0286mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 4.953g의 PMDA(0.0227mol) 및 10.976g의 BTDA(0.0341mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액13을 얻었다. 폴리아미드산 용액13의 용액점도는 4,200cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 8.348 g of TPE-R (0.0286 mol), 11.723 g of BAPP (0.0286 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12 wt% was added, and stirred at room temperature. dissolved. Next, after adding 4.953 g of PMDA (0.0227 mol) and 10.976 g of BTDA (0.0341 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 13 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of the polyamic acid solution 13 was 4,200 cps.

(합성예14)(Synthesis Example 14)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 6.940g의 TPE-R(0.0237mol), 13.120g의 BAPB(0.0356mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 6.434g의 PMDA(0.0295mol) 및 9.505g의 BTDA(0.0295mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액14를 얻었다. 폴리아미드산 용액14의 용액점도는 3,700cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 6.940 g of TPE-R (0.0237 mol), 13.120 g of BAPB (0.0356 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12 wt% was added, and stirred at room temperature. dissolved. Next, after adding 6.434 g of PMDA (0.0295 mol) and 9.505 g of BTDA (0.0295 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 14 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of the polyamic acid solution 14 was 3,700 cps.

(합성예15)(Synthesis Example 15)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 15.417g의 TPE-R(0.0527mol), 2.799g의 m-TB(0.0132mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 4.288g의 PMDA(0.0197mol) 및 13.496g의 BPDA(0.0459mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액15를 얻었다. 폴리아미드산 용액15의 용액점도는 3,500cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 15.417 g of TPE-R (0.0527 mol), 2.799 g of m-TB (0.0132 mol), and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 12 wt % was added, and at room temperature Stir to dissolve. Next, after adding 4.288 g of PMDA (0.0197 mol) and 13.496 g of BPDA (0.0459 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 15 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of the polyamic acid solution 15 was 3,500 cps.

(합성예16)(Synthesis Example 16)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크에, 13.848g의 4,4'-DAPE(0.0692mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 12wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 22.152g의 BTDA(0.0687mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액16을 얻었다. 폴리아미드산 용액16의 용액점도는 3,300cps였다.In a 500 ml separable flask under a nitrogen stream, 13.848 g of 4,4'-DAPE (0.0692 mol) and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 12 wt% was charged, and stirred at room temperature to dissolve. Then, after adding 22.152 g of BTDA (0.0687 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution 16 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of the polyamic acid solution 16 was 3,300 cps.

(합성예A)(Synthesis Example A)

질소기류하에서 3000ml의 세퍼러블 플라스크에, 120.612g의 m-TB(0.5681mol), 9.227g의 TPE-Q(0.0316mol), 10.873g의 비스아닐린-P(0.0316mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 15wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 67.814g의 PMDA(0.3109mol) 및 91.474g의 BPDA(0.3109mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액A를 얻었다. 폴리아미드산 용액A의 용액점도는 28,300cps였다.In a 3000 ml separable flask under a nitrogen stream, 120.612 g of m-TB (0.5681 mol), 9.227 g of TPE-Q (0.0316 mol), 10.873 g of bisaniline-P (0.0316 mol) and a solid content concentration after polymerization were 15 wt. % of DMAc was added, and the mixture was dissolved by stirring at room temperature. Next, after adding 67.814 g of PMDA (0.3109 mol) and 91.474 g of BPDA (0.3109 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution A having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution A was 28,300 cps.

기재 상에, 폴리아미드산 용액A를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후에, 120℃에서 가열건조시켜 용매를 제거하였다. 또한 120℃에서 360℃까지 단계적인 열처리를 10분 이내로 실시함으로써, 이미드화가 완결되어 얻어진 폴리이미드 필름은 비열가소성이었다.On the substrate, the polyamic acid solution A was uniformly applied to a thickness of about 25 µm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C. In addition, by performing stepwise heat treatment from 120°C to 360°C within 10 minutes, imidization was completed and the obtained polyimide film was non-thermoplastic.

(합성예B)(Synthesis Example B)

질소기류하에서 3000ml의 세퍼러블 플라스크에, 127.501g의 m-TB(0.6006mol), 12.976g의 BAPP(0.0316mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 15wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 67.914g의 PMDA(0.3114mol) 및 91.609g의 BPDA(0.3114mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액B를 얻었다. 폴리아미드산 용액B의 용액점도는 25,600cps였다.In a 3000 ml separable flask under a nitrogen stream, 127.501 g of m-TB (0.6006 mol), 12.976 g of BAPP (0.0316 mol), and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15 wt% was added, and stirred at room temperature. dissolved. Next, after adding 67.914 g of PMDA (0.3114 mol) and 91.609 g of BPDA (0.3114 mol), the polymerization reaction was continued at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution B having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution B was 25,600 cps.

기재 상에, 폴리아미드산 용액B를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후에, 120℃에서 가열건조시켜 용매를 제거하였다. 또한 120℃에서 360℃까지 단계적인 열처리를 10분 이내로 실시함으로써, 이미드화가 완결되어 얻어진 폴리이미드 필름은 비열가소성이었다.On the substrate, the polyamic acid solution B was uniformly applied to a thickness of about 25 µm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C. In addition, by performing stepwise heat treatment from 120°C to 360°C within 10 minutes, imidization was completed and the obtained polyimide film was non-thermoplastic.

(합성예C)(Synthesis Example C)

질소기류하에서 3000ml의 세퍼러블 플라스크에, 114.972g의 m-TB(0.5416mol), 39.580g의 TPE-R(0.1354mol) 및 중합 후의 고형분 농도가 15wt%가 되는 양의 DMAc를 투입하고, 실온에서 교반하여 용해시켰다. 다음에 145.447g의 PMDA(0.6668mol)를 첨가한 후에, 실온에서 3시간 교반을 계속하여 중합반응을 시킴으로써, 표1의 조성의 폴리아미드산 용액C를 얻었다. 폴리아미드산 용액C의 용액점도는 27,200cps였다.In a 3000 ml separable flask under a nitrogen stream, 114.972 g of m-TB (0.5416 mol), 39.580 g of TPE-R (0.1354 mol), and DMAc in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15 wt% was added, and at room temperature Stir to dissolve. Next, after adding 145.447 g of PMDA (0.6668 mol), stirring was continued at room temperature for 3 hours for polymerization reaction to obtain a polyamic acid solution C having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution C was 27,200 cps.

기재 상에, 폴리아미드산 용액C를 경화 후의 두께가 약 25㎛가 되도록 균일하게 도포한 후에, 120℃에서 가열건조시켜 용매를 제거하였다. 또한 120℃에서 360℃까지 단계적인 열처리를 10분 이내로 실시함으로써, 이미드화가 완결되어 얻어진 폴리이미드 필름은 비열가소성이었다.On the substrate, the polyamic acid solution C was uniformly applied to a thickness of about 25 µm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C. In addition, by performing stepwise heat treatment from 120°C to 360°C within 10 minutes, imidization was completed and the obtained polyimide film was non-thermoplastic.

Figure pat00004
Figure pat00004

[실시예1][Example 1]

동박 상에, 동박과 접하는 제1층으로서 폴리아미드산 용액A를 경화 후의 두께가 23㎛가 되도록 균일하게 도포한 후에, 120℃에서 2분간 가열건조시켜 용매를 제거하였다. 제1층 상에, 제2층인 폴리아미드산 용액1을 경화 후의 두께가 2㎛가 되도록 균일하게 도포한 후에, 130℃에서 30초간 가열건조시켜 용매를 제거하였다. 계속하여 140℃에서 360℃까지의 단계적인 열처리에 의하여 이미드화를 완결시켜, 동박적층판을 제작하였다. 그 후에 염화제2철 수용액을 사용하여 동박을 에칭제거함으로써, 폴리이미드 필름을 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름의 물성을 표2에 나타낸다.On the copper foil, the polyamic acid solution A as a first layer in contact with the copper foil was uniformly applied to a thickness of 23 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 120° C. for 2 minutes. On the first layer, the polyamic acid solution 1 as the second layer was uniformly applied to a thickness of 2 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. for 30 seconds. Subsequently, imidization was completed by stepwise heat treatment from 140° C. to 360° C., and a copper clad laminate was manufactured. Thereafter, the copper foil was removed by etching using an aqueous ferric chloride solution to obtain a polyimide film. Table 2 shows the physical properties of the obtained polyimide film.

[실시예2]∼[실시예15] 및 [비교예1]∼[비교예2][Example 2] to [Example 15] and [Comparative Example 1] to [Comparative Example 2]

표2에 나타내는 바와 같이, 제1층 및 제2층의 폴리아미드산 용액을 변경한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여 폴리이미드 필름을 얻었다.As shown in Table 2, except having changed the polyamic acid solution of a 1st layer and a 2nd layer, it carried out similarly to Example 1, and obtained the polyimide film.

Figure pat00005
Figure pat00005

[실시예16][Example 16]

동박 상에, 동박과 접하는 제1층으로서 폴리아미드산 용액A를 경화 후의 두께가 47㎛가 되도록 균일하게 도포한 후에, 120℃에서 4분간 가열건조시켜 용매를 제거하였다. 제1층 상에, 제2층인 폴리아미드산 용액1을 경화 후의 두께가 3㎛가 되도록 균일하게 도포한 후에, 130℃에서 1분간 가열건조시켜 용매를 제거하였다. 계속하여 140℃에서 360℃까지의 단계적인 열처리에 의하여 이미드화를 완결시켜, 동박적층판을 제작하였다. 그 후에 염화제2철 수용액을 사용하여 동박을 에칭제거함으로써, 폴리이미드 필름을 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름의 물성을 표3에 나타낸다.On the copper foil, the polyamic acid solution A as a first layer in contact with the copper foil was uniformly applied to a thickness of 47 µm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 120°C for 4 minutes. On the first layer, the polyamic acid solution 1 as the second layer was uniformly applied to a thickness of 3 μm after curing, and then the solvent was removed by heating and drying at 130° C. for 1 minute. Subsequently, imidization was completed by stepwise heat treatment from 140° C. to 360° C., and a copper clad laminate was manufactured. Thereafter, the copper foil was removed by etching using an aqueous ferric chloride solution to obtain a polyimide film. Table 3 shows the physical properties of the obtained polyimide film.

[실시예17]∼[실시예30] 및 [비교예3]∼[비교예4][Example 17] to [Example 30] and [Comparative Example 3] to [Comparative Example 4]

표3에 나타내는 바와 같이, 제1층 및 제2층의 폴리아미드산 용액을 변경한 것 이외에는 실시예16과 동일하게 하여 폴리이미드 필름을 얻었다.As shown in Table 3, except having changed the polyamic acid solution of the 1st layer and 2nd layer, it carried out similarly to Example 16, and obtained the polyimide film.

Figure pat00006
Figure pat00006

실시예1∼30의 동박적층판으로부터 제작된 폴리이미드 필름은, 제2층의 폴리이미드층의 디아민 잔기의 30mol% 이상이 1,3-비스(아미노페녹시)벤젠 잔기이며, 또한 제1층과 제2층이 적층된 폴리이미드 절연층의 (ⅰ) 산소투과계수가 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하이고, (ⅱ) 열팽창계수가 10∼30ppm/K의 범위 내이고, (ⅲ) 10GHz에 있어서의 유전정접(Tanδ)이 0.004 이하이며, 게다가 층두께가 10㎛∼100㎛의 범위 내이기 때문에, 유전특성이 열화되지 않고, 필강도가 0.7kN/m 이상이었다. 따라서 편면 동박적층판의 양호한 특성을 손상시키지 않고 양면 동박적층판으로 가공할 수 있다. 또한 본 발명의 동박적층판으로부터 형성된 회로기판은, 안정적이고 양호한 고주파 전송특성을 획득할 수 있다.In the polyimide films prepared from the copper clad laminates of Examples 1 to 30, 30 mol% or more of the diamine residues in the polyimide layer of the second layer were 1,3-bis(aminophenoxy)benzene residues, and the first layer and (i) the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer laminated with the second layer is 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa or less, (ii) the coefficient of thermal expansion is within the range of 10 to 30 ppm/K; , (iii) since the dielectric loss tangent (Tanδ) at 10 GHz was 0.004 or less, and the layer thickness was in the range of 10 µm to 100 µm, the dielectric properties did not deteriorate and the peeling strength was 0.7 kN/m or more. Therefore, it can be processed into a double-sided copper clad laminate without impairing the good properties of the single-sided copper clad laminate. In addition, the circuit board formed from the copper clad laminate of the present invention can obtain stable and good high-frequency transmission characteristics.

한편 비교예1, 3의 결과로부터, 제1층이 저유전성이더라도, 제2층에 1,3-비스(아미노페녹시)벤젠 잔기를 함유하고 있지 않으면, 본래의 저유전성을 손상시켜 버린다는 것을 알 수 있었다.On the other hand, from the results of Comparative Examples 1 and 3, even if the first layer has low dielectric properties, if the second layer does not contain a 1,3-bis(aminophenoxy)benzene residue, the original low dielectric properties will be impaired. Could know.

또한 비교예2, 4의 동박적층판으로부터 제작된 폴리이미드 필름은, 제2층의 폴리이미드 필름의 디아민 잔기가 1,3-비스(아미노페녹시)벤젠 잔기만으로 이루어져 있기 때문에, 필강도는 만족하는 것이었지만, 제1층의 영향에 의하여, 산소투과계수가 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa을 초과하고 있고, 유전정접이 0.004를 초과하여 버렸다. 또한 비교예4의 경우에, 비교예2에 있어서의 폴리이미드 필름에 비하여 두께가 2배였지만, 유전정접의 개선은 볼 수 없었다.In addition, in the polyimide films prepared from the copper clad laminates of Comparative Examples 2 and 4, since the diamine residues of the polyimide film of the second layer consist only of 1,3-bis(aminophenoxy)benzene residues, the peel strength is satisfactory. However, due to the influence of the first layer, the oxygen permeability coefficient exceeded 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa, and the dielectric loss tangent exceeded 0.004. Moreover, in the case of Comparative Example 4, although the thickness was twice that of the polyimide film in Comparative Example 2, no improvement in dielectric loss tangent was observed.

이상의 결과로부터, 실시예의 구성을 취함으로써 저유전성을 유지함과 아울러 본딩시트와의 밀착성이 우수한 동박적층판이 얻어진다는 것을 알 수 있었다.From the above result, it turned out that the copper clad laminated board excellent in adhesiveness with a bonding sheet|seat was obtained while maintaining a low dielectric property by taking the structure of an Example.

이상에서 본 발명의 실시형태를 예시의 목적으로 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시형태에 제약되지 않고 다양한 변형이 가능한 것임은 물론이다.Although the embodiment of the present invention has been described in detail for the purpose of illustration above, it goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiment and various modifications are possible.

10 : 금속층
20 : 폴리이미드 절연층
21 : 폴리이미드층
23 : 폴리이미드층(P)
30 : 금속박적층판
10: metal layer
20: polyimide insulating layer
21: polyimide layer
23: polyimide layer (P)
30: metal foil laminate

Claims (9)

복수의 폴리이미드층을 구비하는 폴리이미드 필름으로서, 하기의 조건(ⅰ)∼(ⅳ):
(ⅰ) 산소투과계수가 2.0×10-18mol·m/㎡·s·Pa 이하인 것;
(ⅱ) 열팽창계수가 10∼30ppm/K의 범위 내인 것;
(ⅲ) 10GHz에 있어서의 유전정접(Tanδ)이 0.004 이하인 것; 및
(ⅳ) 두께가 10㎛∼100㎛의 범위 내인 것;
을 만족하고,
상기 폴리이미드 필름은, 적어도 일방(一方)의 노출면(露出面) 측에 폴리이미드층(P)를 구비하고 있고,
상기 폴리이미드층(P)를 구성하는 폴리이미드(p)가, 테트라카르복시산이무수물 성분으로부터 유도되는 산무수물 잔기와, 디아민 성분으로부터 유도되는 디아민 잔기를 함유하고, 상기 디아민 잔기는, 하기 일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물로부터 유도되는 디아민 잔기를, 전체 디아민 잔기에 대하여 적어도 30mol% 함유하는 것을 특징으로 하는 폴리이미드 필름.
Figure pat00007

A polyimide film having a plurality of polyimide layers, the following conditions (i) to (iv):
(i) an oxygen permeability coefficient of 2.0×10 -18 mol·m/m2·s·Pa or less;
(ii) the coefficient of thermal expansion is within the range of 10 to 30 ppm / K;
(iii) a dielectric loss tangent (Tanδ) of 0.004 or less at 10 GHz; and
(iv) the thickness is in the range of 10 μm to 100 μm;
satisfied with
The polyimide film is provided with a polyimide layer (P) on at least one exposed surface side,
The polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic acid dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, and the diamine residue is represented by the following general formula ( The polyimide film characterized by containing the diamine residue derived from the diamine compound represented by 1) at least 30 mol% with respect to all the diamine residues.
Figure pat00007

제1항에 있어서,
상기 일반식(1)로 나타내는 디아민 화합물이, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠인 폴리이미드 필름.
According to claim 1,
The polyimide film whose diamine compound represented by the said General formula (1) is 1, 3-bis (4-aminophenoxy) benzene.
제2항에 있어서,
상기 폴리이미드(p)에 있어서의 전체 산무수물 잔기에 대하여, 피로멜리트산이무수물로부터 유도되는 산무수물 잔기와 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복시산이무수물로부터 유도되는 산무수물 잔기를 합계로, 적어도 60mol% 함유하는 폴리이미드 필름.
3. The method of claim 2,
With respect to all the acid anhydride residues in the polyimide (p), an acid anhydride residue derived from pyromellitic dianhydride and an acid anhydride residue derived from 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride A polyimide film containing at least 60 mol% in total.
제1항에 있어서,
상기 복수의 폴리이미드층이 비열가소성 폴리이미드층을 함유하고, 상기 비열가소성 폴리이미드층이 하기의 조건(가)∼(다):
(가) 상기 비열가소성 폴리이미드층을 구성하는 비열가소성 폴리이미드가, 전체 모노머 성분으로부터 유도되는 전체 모노머 잔기 중에 비페닐 골격을 구비하는 모노머 잔기를 50mol% 이상 함유하고 있는 것;
(나) 두께가 7㎛∼70㎛의 범위 내인 것; 및
(다) 상기 폴리이미드 필름 전체의 두께에 대한 두께의 비율이 70% 이상인 것;
을 만족하고 있는 폴리이미드 필름.
According to claim 1,
The plurality of polyimide layers contain a non-thermoplastic polyimide layer, and the non-thermoplastic polyimide layer contains the following conditions (A) to (C):
(A) the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer contains 50 mol% or more of monomer residues having a biphenyl skeleton in all monomer residues derived from all monomer components;
(B) The thickness is within the range of 7㎛ ~ 70㎛; and
(C) The ratio of the thickness to the thickness of the entire polyimide film is 70% or more;
A polyimide film that satisfies
제4항에 있어서,
상기 비열가소성 폴리이미드층에 있어서, 상기 비열가소성 폴리이미드를 구성하는 디아민 성분으로부터 유도되는 디아민 잔기가, 비페닐 골격을 구비하는 디아민 잔기를 전체 디아민 잔기에 대하여 20mol% 이상 함유하고, 테트라카르복시산이무수물 성분으로부터 유도되는 산무수물 잔기가, 비페닐 골격을 구비하는 산무수물 잔기를 전체 산무수물 잔기에 대하여 20mol% 이상 함유하고 있는 폴리이미드 필름.
5. The method of claim 4,
In the non-thermoplastic polyimide layer, the diamine residue derived from the diamine component constituting the non-thermoplastic polyimide contains 20 mol% or more of the diamine residue having a biphenyl skeleton based on the total diamine residue, tetracarboxylic dianhydride The polyimide film in which the acid anhydride residue derived from a component contains 20 mol% or more of acid anhydride residues with a biphenyl skeleton with respect to all acid anhydride residues.
제4항 또는 제5항에 있어서,
비페닐 골격을 구비하는 모노머 잔기가, 2,2'-디메틸-4,4'-디아미노비페닐로부터 유도되는 디아민 잔기 및 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복시산이무수물로부터 유도되는 산무수물 잔기인 폴리이미드 필름.
6. The method according to claim 4 or 5,
A monomer residue having a biphenyl skeleton is derived from a diamine residue derived from 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl and a 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride A polyimide film that is an acid anhydride residue.
금속층과 폴리이미드 절연층을 구비하는 금속박적층판으로서, 상기 폴리이미드 절연층이 제1항의 폴리이미드 필름으로 이루어지는 금속박적층판.
A metal clad laminate comprising a metal layer and a polyimide insulating layer, wherein the polyimide insulating layer comprises the polyimide film of claim 1 .
제7항의 금속박적층판을 제조하는 금속박적층판의 제조방법으로서,
금속층 상에, 폴리아미드산의 용액을 도포하고 건조시켜 단층 또는 복수 층의 제1폴리아미드산층을 형성하는 공정과,
상기 제1폴리아미드산층 상에, 상기 폴리이미드(p)의 전구체인 폴리아미드산의 용액을 도포하고 건조시켜 제2폴리아미드산층을 형성하는 공정과,
상기 제1폴리아미드산층에 포함되는 폴리아미드산 및 제2폴리아미드산층에 포함되는 폴리아미드산을 이미드화함으로써, 상기 폴리이미드 절연층을 형성하는 공정
을 구비하는 금속박적층판의 제조방법.
A method for manufacturing a metal clad laminate for manufacturing the clad metal laminate of claim 7,
A step of applying a solution of polyamic acid on the metal layer and drying it to form a first polyamic acid layer of a single layer or a plurality of layers;
forming a second polyamic acid layer by applying a solution of polyamic acid, which is a precursor of the polyimide (p), on the first polyamic acid layer and drying;
A step of forming the polyimide insulating layer by imidizing the polyamic acid included in the first polyamic acid layer and the polyamic acid included in the second polyamic acid layer
A method of manufacturing a metal clad laminate comprising a.
제7항의 금속박적층판의 금속층이 배선으로 가공되어 있는 회로기판.A circuit board in which the metal layer of the metal clad laminate of claim 7 is processed into wiring.
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