KR20230043223A - 기판 반송 로봇 - Google Patents

기판 반송 로봇 Download PDF

Info

Publication number
KR20230043223A
KR20230043223A KR1020237008335A KR20237008335A KR20230043223A KR 20230043223 A KR20230043223 A KR 20230043223A KR 1020237008335 A KR1020237008335 A KR 1020237008335A KR 20237008335 A KR20237008335 A KR 20237008335A KR 20230043223 A KR20230043223 A KR 20230043223A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
robot
cable
arm
housing
disposed
Prior art date
Application number
KR1020237008335A
Other languages
English (en)
Inventor
잇페이 시미즈
류노스케 다카우지
Original Assignee
가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 filed Critical 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤
Publication of KR20230043223A publication Critical patent/KR20230043223A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
    • B25J19/0029—Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/023—Cartesian coordinate type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Electric Cable Arrangement Between Relatively Moving Parts (AREA)

Abstract

이 기판 반송 로봇 (100) 은, 하우징 (4) 의 내부에 배치됨과 함께 아암 (2) 으로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 이 배치되고, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하는 로봇 케이블 (101) 에 추종하도록 변형되는 케이블 안내부 (5) 를 구비한다.

Description

기판 반송 로봇
이 발명은, 기판 반송 로봇에 관한 것으로서, 특히, 아암으로부터 연장되는 로봇 케이블을 구비하는 기판 반송 로봇에 관한 것이다.
종래, 기판 반송 로봇이 알려져 있다. 이와 같은 기판 반송 로봇은, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2013-69914호에 개시되어 있다.
일본 공개특허공보 2013-69914호에는, 수평 다관절 로봇으로 구성되는 기판 반송 로봇이 개시되어 있다. 이 기판 반송 로봇은, 기대와, 기대에 접속되고 수평면 내에 있어서 회전하는 아암과, 아암에 접속되고 수평면 내에서 회전하는 기판 반송 핸드를 구비하고 있다.
또, 일본 공개특허공보 2013-69914호에는 명기되어 있지 않지만, 일본 공개특허공보 2013-69914호에 기재된 바와 같은 종래의 기판 반송 로봇에서는, 승강 기구에 의해 아암이 승강되는 기판 반송 로봇이 있다.
일본 공개특허공보 2013-69914호
여기서, 아암이 승강하는 기판 반송 로봇에서는, 아암의 승강과 함께 아암으로부터 연장되는 로봇 케이블, 및 로봇 케이블을 안내하는 케이블 안내부가, 아암의 승강에 수반하여 이동한다. 이 경우, 로봇 케이블 및 케이블 안내부의 이동에 수반하여, 기판 반송 로봇이 배치되어 있는 공간 (클린룸 등) 내에 있어서, 먼지 등이 확산되는 경우가 있다는 문제점이 있다.
이 발명은, 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 이 발명의 1 개의 목적은, 기판 반송 로봇이 배치되어 있는 공간 내에 있어서, 먼지 등이 확산되는 것을 억제하는 것이 가능한 기판 반송 로봇을 제공하는 것이다.
이 발명의 일 국면에 의한 기판 반송 로봇은, 기판 유지 핸드와, 기판 유지 핸드를 이동시키는 아암과, 아암을 승강시키는 아암 승강 기구와, 아암 승강 기구를 덮는 대략 기둥상의 하우징과, 하우징의 내부에 배치됨과 함께 아암으로부터 연장되는 로봇 케이블이 배치되고, 아암의 승강과 함께 이동하는 로봇 케이블에 추종하도록 변형되는 케이블 안내부를 구비한다.
이 발명의 일 국면에 의한 기판 반송 로봇에서는, 상기와 같이, 기판 반송 로봇은, 하우징의 내부에 배치됨과 함께 아암으로부터 연장되는 로봇 케이블이 배치되고, 아암의 승강과 함께 이동하는 로봇 케이블에 추종하도록 변형되는 케이블 안내부를 구비한다. 이로써, 로봇 케이블 및 케이블 안내부가 하우징의 내부에 배치되어 있으므로, 하우징의 내부에 있어서 로봇 케이블 및 케이블 안내부가 이동해도, 하우징의 외부에 있어서, 먼지 등이 확산되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 기판 반송 로봇이 배치되어 있는 공간 내 (클린룸 내) 에 있어서, 먼지 등이 확산되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명에 의하면, 상기와 같이, 기판 반송 로봇이 배치되어 있는 공간 내에 있어서, 먼지 등이 확산되는 것을 억제할 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 반송 로봇의 사시도이다.
도 2 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 반송 로봇의 측면도 (Y1 방향측에서 본 도면) 이다.
도 3 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 반송 로봇의 정면도 (X1 방향측에서 본 도면) 이다.
도 4 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 반송 로봇의 단면도 (Y-Z 평면을 따른 단면도) 이다.
도 5 는, 도 3 의 400-400 선을 따른 단면도이다.
도 6(a) 는, 구동부가 하우징의 상부에 있는 상태를 나타내는 도면이다. 도 6(b) 는, 구동부가 하우징의 아래에 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 7 은, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 반송 로봇의 접속 커넥터의 상면도 (Z1 방향측에서 본 도면) 이다.
도 8 은, 도 3 의 500-500 선을 따른 단면도이다.
도 9 는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 기판 반송 로봇의 바닥면도 (X2 방향측에서 본 도면) 이다.
도 10 은, 변형예에 의한 기판 반송 로봇의 사시도이다.
이하, 본 발명을 구체화한 본 발명의 일 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1 ∼ 도 9 를 참조하여, 본 실시형태에 의한 기판 반송 로봇 (100) 의 구성에 대해 설명한다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 로봇 (100) 은, 기판 (반도체 웨이퍼) 을 유지하는 기판 유지 핸드 (1) 와, 기판 유지 핸드 (1) 를 이동시키는 아암 (2) 을 구비하고 있다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 아암 (2) 은, 수평 다관절 로봇 아암이다. 아암 (2) 은, 제 1 아암 (201) 과 제 2 아암 (202) 을 포함하고 있다. 제 1 아암 (201) 은, 일방 단부를 회동 (回動) 중심으로 하여 후술하는 베이스 (2a) 에 대하여 회동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 제 1 아암 (201) 의 일방 단부는, 제 1 관절을 통하여 베이스 (2a) 에 회동 가능하게 접속되어 있다. 제 2 아암 (202) 은, 일방 단부를 회동 중심으로 하여 제 1 아암 (201) 에 대하여 회동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 제 2 아암 (202) 의 일방 단부는, 제 2 관절을 통하여 제 1 아암 (201) 의 타방 단부에 회동 가능하게 접속되어 있다. 또, 제 2 아암 (202) 의 타방 단부에는, 제 3 관절을 통하여 기판 유지 핸드 (1) 가 회동 가능하게 접속되어 있다. 제 1 관절, 제 2 관절 및 제 3 관절의 각 관절에는, 회전 구동의 구동원인 서보 모터와, 서보 모터의 출력축의 회전 위치를 검출하는 회전 위치 센서와, 서보 모터의 출력을 관절에 전달하는 동력 전달 기구를 포함하는 구동 기구가 형성되어 있다.
도 3 ∼ 도 5 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 기판 반송 로봇 (10) 은, 아암 (2) 을 승강시키는 아암 승강 기구 (3) 와, 아암 승강 기구 (3) 를 덮는 대략 기둥상의 하우징 (4) 과, 하우징 (4) 의 내부에 배치됨과 함께 아암 (2) 으로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 이 배치되고, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하는 로봇 케이블 (101) 에 추종하도록 변형되는 케이블 안내부 (5) (케이블 베어 (등록 상표)) (도 4 참조) 를 구비한다.
대략 기둥상의 하우징 (4) 은, 금속 등에 의해 구성되고, 내부에 공간을 갖는다. 또, 기판 반송 로봇 (100) 과 로봇 제어부 (200) 사이에 있어서 로봇 케이블 (101) 을 개재하여 신호의 송수신이 실시된다. 또, 케이블 안내부 (5) 는, 케이블 안내부 (5) 에 배치 (접속) 된 로봇 케이블 (101) 을 보호하는 기능을 갖는다. 또, 케이블 안내부 (5) 는, 사슬과 같은 작은 부품이 연결된 구조를 갖는다.
또, 본 실시형태에서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 로봇 케이블 (101) 의 적어도 일부는, 케이블 안내부 (5) 의 내부에 삽입되어 있다. 구체적으로는, 로봇 케이블 (101) 의 중앙부가 케이블 안내부 (5) 의 내부에 삽입되고, 로봇 케이블 (101) 의 양 단부가 케이블 안내부 (5) 의 외부에 배치되어 있다.
또, 본 실시형태에서는, 케이블 안내부 (5) 의 일방단 (5a) 은, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하는 이동단이고, 케이블 안내부 (5) 의 타방단 (5b) 은, 하우징 (4) 에 고정되는 고정단이다. 구체적으로는, 로봇 케이블 (101) 은, 케이블 안내부 (5) 의 일방단 (5a) 및 타방단 (5b) 에 고정되어 있다. 또, 케이블 안내부 (5) 의 일방단 (5a) 은, 승강부 (3a) 에 고정되어 있다. 이로써, 케이블 안내부 (5) 의 일방단 (5a), 및 케이블 안내부 (5) 의 일방단 (5a) 에 고정되는 로봇 케이블 (101) 은, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동한다. 또, 케이블 안내부 (5) 의 타방단 (5b) 은, 하우징 (4) 의 내부의 판상의 부재 (4f) 에 고정되어 있다. 판상의 부재 (4f) 는, Z 방향을 따르도록 배치되어 있다.
또, 본 실시형태에서는, 로봇 케이블 (101) 은, 케이블 안내부 (5) 에 배치되고, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하는 제 1 케이블 부분 (101a) 과, 케이블 안내부 (5) 의 외부에 배치됨과 함께, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하지 않고 고정되며, 연직 방향 (Z 방향) 을 따라 연장되는 제 2 케이블 부분 (101b) 을 포함한다. 그리고, 기판 반송 로봇 (10) 은, 제 2 케이블 부분 (101b) 의 단부에 형성되고, 기판 반송 로봇 (100) 을 제어하는 하우징 (4) 의 외부에 형성되는 로봇 제어부 (200) (도 3 참조) 에 접속되는 접속 커넥터 (6) 를 추가로 구비한다.
구체적으로는, 제 1 케이블 부분 (101a) 은, 로봇 케이블 (101) 의 중앙부이다. 또, 제 2 케이블 부분 (101b) 은, 로봇 케이블 (101) 의 일방 단부이다. 또, 제 2 케이블 부분 (101b) 은, 판상의 부재 (4f) 의 Y2 방향측으로부터 상단을 넘어 Y1 방향측으로 연장되도록 배치되어 있다. 또, 제 2 케이블 부분 (101b) 은, 판상의 부재 (4f) 의 Y1 방향측에 있어서, 판상의 부재 (4f) 를 따르도록 배치되어 있다. 또, 로봇 케이블 (101) 의 타방 단부인, 제 3 케이블 부분 (101c) 은, 케이블 안내부 (5) 의 외부에 배치되어 있다.
또, 본 실시형태에서는, 도 1 및 도 7 에 나타내는 바와 같이, 접속 커넥터 (6) 는, 하우징 (4) 의 외표면 (4a) 에 배치되어 있다. 구체적으로는, 하우징 (4) 의 하방측의 부분은, 단차 형상을 갖고 있고, 접속 커넥터 (6) 는, 단차 형상의 상측의 면인 외표면 (4a) 에 배치되어 있다. 또, 접속 커넥터 (6) 는, 상방으로 연장되도록 배치되어 있다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 로봇 (100) 은, 아암 (2) 이 장착되는 베이스 (2a) 를 추가로 구비한다. 그리고, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 아암 승강 기구 (3) 는, 베이스 (2a) 가 장착되는 승강부 (3a) 와, 승강부 (3a) 를 승강시키는 구동부 (3b) (모터) 를 포함한다. 승강부 (3a) 는, 반송용 벨트 (3c) 에 장착되어 있고, 구동부 (3b) 가 반송용 벨트 (3c) 를 구동함으로써 승강부 (3a) 가 승강한다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 구동부 (3b) (모터) 에 의해 풀리 (3e) 가 회전됨으로써, 반송용 벨트 (3c) 가 이동한다.
반송용 벨트 (3c) 는, Z 방향을 따르도록 배치되어 있다. 또, 풀리 (3e) 는, 하우징 (4) 의 상부와 하부에 형성되어 있다. 반송용 벨트 (3c) 는, 풀리 (3e) 에 권회되어 있다.
또, 본 실시형태에서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 구동부 (3b) 는, 하우징 (4) 의 상부에 배치되어 있다. 여기서, 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 구동부 (3b) 를 하우징 (4) 의 하부에 배치하면, 구동부 (3b) 가, 하우징 (4) 의 내부의 공기를 외부로 배출하는 팬 (7) 의 풍로의 방해가 되어 버린다. 그래서, 구동부 (3b) 를 하우징 (4) 의 상부에 배치함으로써, 구동부 (3b) 가 팬 (7) 의 풍로의 방해가 되는 것을 억제할 수 있다. 또, 구동부 (3b) 는, 하우징 (4) 의 외측에 장착되어 있다. 또, 하우징 (4) 에는, 구동부 (3b) 를 덮는 커버 부재 (4g) 가 형성되어 있다.
또, 도 6(a) 에 나타내는 바와 같이, 구동부 (3b) 를 하우징 (4) 의 상부에 배치함으로써, 구동부 (3b) 를 하우징 (4) 의 하부에 배치하는 경우 (도 6(b) 참조) 와 비교하여, 구동부 (3b) 와 승강부 (3a) 사이에 대응하는 반송용 벨트 (3c) 의 길이 L1 이, 하부에 배치하는 경우의 길이 L2 에 비해 짧아짐과 함께, 반송용 벨트 (3c) 에 대한 장력이 커지므로, 반송용 벨트 (3c) 의 투스 스키핑을 억제할 수 있다. 요컨대, 도 6(b) 에 나타내는 바와 같이, 구동부 (3b) 와 승강부 (3a) 사이에 대응하는 반송용 벨트 (3c) 의 길이 L2 가 길어지면 반송용 벨트 (3c) 의 신장이 커지므로, 투스 스키핑되기 쉬워진다.
또, 본 실시형태에서는, 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 승강부 (3a) 는 하우징 (4) 으로부터 노출되어 있음과 함께, 승강부 (3a) 에는, 베이스 (2a) 로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 이 삽입되는 제 1 공부 (孔部) (3d) 가 형성되어 있다. 그리고, 아암 (2) 으로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 은, 승강부 (3a) 의 제 1 공부 (3d) 를 통하여, 케이블 안내부 (5) 에 배치되어 있다.
또, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 하우징 (4) 에는, X1 방향측으로 돌출되는 볼록부 (4h) 가 형성되어 있다. 로봇 케이블 (101) 의 제 3 케이블 부분 (101c) (도 4 참조) 은, 볼록부 (4h) 의 내측에 있어서, 제 1 공간 (4b) (도 8 참조) 측에서 제 2 공간 (4c) (도 8 참조) 측으로 연장되도록 배치되어 있다.
또, 본 실시형태에서는, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 하우징 (4) 은, 아암 승강 기구 (3) 가 배치되는 제 1 공간 (4b) 과, 케이블 안내부 (5) 가 배치되는 제 2 공간 (4c) 을 포함한다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 공간 (4b) 과 제 2 공간 (4c) 은, Z 방향으로 연장되도록 구성되어 있다. 또, 제 1 공간 (4b) 과 제 2 공간 (4c) 은, Y 방향으로 이웃하도록 배치되어 있다. 또, 제 1 공간 (4b) 과 제 2 공간 (4c) 은, 서로 접속되어 있다. 또한, 제 1 공간 (4b) 이란, 하우징 (4) 의 Y2 방향측의 공간이다. 또, 제 2 공간 (4c) 이란, 하우징 (4) 의 Y1 방향측의 공간이다.
또, 본 실시형태에서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 로봇 (10) 은, 하우징 (4) 의 내부에 배치되고, 하우징 (4) 의 내부의 공기를 외부로 배출하는 팬 (7) 을 추가로 구비한다.
구체적으로는, 본 실시형태에서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 로봇 (10) 은, 클린룸 (300) 내에 배치되어 있다. 팬 (7) 은, 하우징 (4) (제 2 공간 (4c)) 의 하부에 형성되어 있다. 하우징 (4) 의 하면 (4d) 에는, 팬 (7) 에 의해 배출되는 공기가 통과하는 제 2 공부 (4e) (도 9 참조) 가 형성되어 있다. 팬 (7) 에 의해 배출되는 공기는, 제 2 공부 (4e) 를 통하여, 클린룸 (300) 의 바닥면 (301) 에 형성되는 제 3 공부 (301a) 로부터 바닥면 (301) 의 하방 (Z2 방향) 으로 배출되도록 구성되어 있다.
[본 실시형태의 효과]
본 실시형태에서는, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기판 반송 로봇 (100) 은, 하우징 (4) 의 내부에 배치됨과 함께 아암 (2) 으로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 이 배치되고, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하는 로봇 케이블 (101) 에 추종하도록 변형되는 케이블 안내부 (5) 를 구비한다. 이로써, 로봇 케이블 (101) 및 케이블 안내부 (5) 가 하우징 (4) 의 내부에 배치되어 있으므로, 하우징 (4) 의 내부에 있어서 로봇 케이블 (101) 및 케이블 안내부 (5) 가 이동해도, 하우징 (4) 의 외부에 있어서, 먼지 등이 확산되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 기판 반송 로봇 (100) 이 배치되어 있는 공간 내 (클린룸 (300) 내) 에 있어서, 먼지 등이 확산되는 것을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 로봇 케이블 (101) 의 적어도 일부는, 케이블 안내부 (5) 의 내부에 삽입되어 있다. 이로써, 로봇 케이블 (101) 의 적어도 일부가 케이블 안내부 (5) 의 내부에 삽입되어 있으므로, 케이블 안내부 (5) 의 이동에 수반하여, 용이하게 로봇 케이블 (101) 을 이동시킬 수 있다. 또, 로봇 케이블 (101) 의 적어도 일부를 케이블 안내부 (5) 의 내부에 삽입함으로써, 로봇 케이블 (101) 의 전부가 케이블 안내부 (5) 의 외부에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 하우징 (4) 내에 있어서의 로봇 케이블 (101) 이 점유하는 공간을 감소시킬 수 있으므로, 하우징 (4) 을 소형화할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 케이블 안내부 (5) 의 일방단 (5a) 은, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하는 이동단이고, 케이블 안내부 (5) 의 타방단 (5b) 은, 하우징 (4) 에 고정되는 고정단이다. 이로써, 케이블 안내부 (5) 의 타방단 (5b) 이 고정된 상태에서, 케이블 안내부 (5) 를 아암 (2) 의 승강과 함께 이동 (변형) 시킬 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 로봇 케이블 (101) 은, 케이블 안내부 (5) 에 배치되고, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하는 제 1 케이블 부분 (101a) 과, 케이블 안내부 (5) 의 외부에 배치됨과 함께, 아암 (2) 의 승강과 함께 이동하지 않고 고정되며, 연직 방향을 따라 연장되는 제 2 케이블 부분 (101b) 을 포함하고, 제 2 케이블 부분 (101b) 의 단부에 형성되고, 기판 반송 로봇 (100) 을 제어하는 하우징 (4) 의 외부에 형성되는 로봇 제어부 (200) 에 접속되는 접속 커넥터 (6) 를 추가로 구비한다. 이로써, 로봇 케이블 (101) 과 기판 반송 로봇 (100) 을 제어하는 로봇 제어부 (200) 의 접속을, 하우징 (4) 의 외부에 형성되는 접속 커넥터 (6) 에 의해 실시할 수 있으므로, 로봇 케이블 (101) 과 로봇 제어부 (200) 의 접속 작업을 간이화할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 접속 커넥터 (6) 는, 하우징 (4) 의 외표면 (4a) 에 배치되어 있다. 이로써, 로봇 제어부 (200) 를 하우징 (4) 의 외표면 (4a) 에 배치되어 있는 접속 커넥터 (6) 에 접속시키는 것만으로, 용이하게 로봇 케이블 (101) 과 로봇 제어부 (200) 를 접속시킬 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 아암 (2) 이 장착되는 베이스 (2a) 를 추가로 구비하고, 아암 승강 기구 (3) 는, 베이스 (2a) 가 장착되는 승강부 (3a) 와, 승강부 (3a) 를 승강시키는 구동부 (3b) 를 포함한다. 이로써, 구동부 (3b) 에 의해 승강부 (3a) 를 승강시킴으로써, 용이하게 아암 (2) 을 승강시킬 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 구동부 (3b) 는, 하우징 (4) 의 상부에 배치되어 있다. 이로써, 케이블 안내부 (5) 에 대하여 구동부 (3b) 가 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 승강부 (3a) 는 하우징 (4) 으로부터 노출되어 있음과 함께, 승강부 (3a) 에는, 베이스 (2a) 로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 이 삽입되는 제 1 공부 (3d) 가 형성되어 있고, 아암 (2) 으로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 은, 승강부 (3a) 의 제 1 공부 (3d) 를 통하여, 케이블 안내부 (5) 에 배치되어 있다. 이로써, 승강부 (3a) 의 이동과 함께, 제 1 공부 (3d) 를 통하여 케이블 안내부 (5) 에 배치되어 있는 로봇 케이블 (101) 을 용이하게 이동시킬 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 하우징 (4) 은, 아암 승강 기구 (3) 가 배치되는 제 1 공간 (4b) 과, 케이블 안내부 (5) 가 배치되는 제 2 공간 (4c) 을 포함한다. 이로써, 아암 승강 기구 (3) 와 케이블 안내부 (5) 가 별개의 공간에 배치되어 있으므로, 아암 승강 기구 (3) 와 케이블 안내부 (5) 가 간섭하는 것을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 하우징 (4) 의 내부에 배치되고, 하우징 (4) 의 내부의 공기를 외부로 배출하는 팬 (7) 을 추가로 구비한다. 이로써, 하우징 (4) 의 내부에 있어서 발생하는 먼지 등을 하우징 (4) 의 외부로 배출할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는, 상기와 같이, 기판 반송 로봇 (100) 은, 클린룸 (300) 내에 배치되고, 팬 (7) 은, 하우징 (4) 의 하부에 형성되고, 하우징 (4) 의 하면 (4d) 에는, 팬 (7) 에 의해 배출되는 공기가 통과하는 제 2 공부 (4e) 가 형성되어 있고, 팬 (7) 에 의해 배출되는 공기는, 제 2 공부 (4e) 를 통하여, 클린룸 (300) 의 바닥면 (301) 에 형성되는 제 3 공부 (301a) 로부터 바닥면 (301) 의 하방으로 배출되도록 구성되어 있다. 이로써, 하우징 (4) 의 내부에 있어서 발생하는 먼지 등을 하우징 (4) 의 외부로 배출하는 경우, 하우징 (4) 으로부터 배출된 먼지 등이 클린룸 (300) 의 내부에 확산되는 것을 억제할 수 있다.
[변형예]
또한, 이번에 개시된 실시형태는, 모든 점에서 예시로서 제한적인 것은 아닌 것으로 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시형태의 설명이 아니라 청구의 범위에 의해 나타내며, 또한 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경 (변형예) 이 포함된다.
예를 들어, 상기 실시형태에서는, 케이블 안내부 (5) 로서 케이블 베어 (등록 상표) 를 적용하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는, 케이블 안내부 (5) 로서 케이블 베어 (등록 상표) 이외의 케이블 안내부를 적용해도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 로봇 케이블 (101) 의 일부가 케이블 안내부 (5) 의 내부에 삽입되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 로봇 케이블 (101) 의 전부가 케이블 안내부 (5) 의 내부에 삽입되어 있어도 된다. 또, 로봇 케이블 (101) 의 전부가 케이블 안내부 (5) 의 외부에 장착되어 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 케이블 안내부 (5) 의 타방단 (5b) 이 하우징 (4) 에 고정되는 고정단인 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 케이블 안내부 (5) 의 타방단 (5b) 이 이동단이어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 접속 커넥터 (6) 가 하우징 (4) 의 단차 형상의 상측의 면인 외표면 (4a) 에 배치되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 접속 커넥터 (6) 가 하우징 (4) 의 측면 (X 방향측의 면 또는 Y 방향측의 면) 등에 배치되어 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 아암 승강 기구 (3) 가, 승강부 (3a), 승강부 (3a) 가 장착되는 반송용 벨트 (3c), 및 반송용 벨트 (3c) 를 구동하는 구동부 (3b) (모터) 로 구성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 모터 등의 회전 운동을 직동 운동으로 변환시키는 볼 나사에 승강부 (3a) 를 장착함으로써, 아암 승강 기구를 구성해도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 구동부 (3b) 가 하우징 (4) 의 상부에 배치되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 구동부 (3b) 가 팬 (7) 의 풍로의 방해가 되지 않는 것이면, 구동부 (3b) 를 하우징 (4) 의 하부에 배치 해도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 아암 (2) 으로부터 연장되는 로봇 케이블 (101) 이, 승강부 (3a) 의 제 1 공부 (3d) 를 통하여 케이블 안내부 (5) 에 배치되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 승강부 (3a) 에 제 1 공부 (3d) 대신에 절결부를 형성하여, 로봇 케이블 (101) 을, 절결부를 통하여 케이블 안내부 (5) 에 배치해도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 팬 (7) 이 하우징 (4) 의 하부에 형성되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 팬 (7) 을 하우징 (4) 의 상부에 형성하여, 하우징 (4) 내의 공기를 바닥면 (301) 의 제 3 공부 (301a) 로부터 배출해도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 기판 반송 로봇 (100) 의 아암 (2) 이 수평 다관절 로봇 아암인 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 10 에 나타내는 변형예에 의한 기판 반송 로봇 (600) 과 같이, 아암 (602) 이, X 방향을 따라 직동하도록 구성되어 있어도 된다. 기판 반송 로봇 (600) 은, 대략 기둥상의 하우징 (604) 에 대하여, 아암 (602) 이 Z 방향을 따라 승강하도록 구성되어 있다.
1 : 기판 유지 핸드
2 : 아암
2a : 베이스
3 : 아암 승강 기구
3a : 승강부
3b : 구동부
3d : 제 1 공부
4 : 하우징
4a : 외표면
4b : 제 1 공간
4c : 제 2 공간
4d : 하면
4e : 제 2 공부
5 : 케이블 안내부
5a : (케이블 안내부의) 일방단
5b : (케이블 안내부의) 타방단
6 : 접속 커넥터
7 : 팬
100 : 기판 반송 로봇
101 : 로봇 케이블
101a : 제 1 케이블 부분
101b : 제 2 케이블 부분
200 : 로봇 제어부
300 : 클린룸
301 : 바닥면
301a : 제 3 공부

Claims (11)

  1. 기판 유지 핸드와,
    상기 기판 유지 핸드를 이동시키는 아암과,
    상기 아암을 승강시키는 아암 승강 기구와,
    상기 아암 승강 기구를 덮는 대략 기둥상의 하우징과,
    상기 하우징의 내부에 배치됨과 함께 상기 아암으로부터 연장되는 로봇 케이블이 배치되고, 상기 아암의 승강과 함께 이동하는 상기 로봇 케이블에 추종하도록 변형되는 케이블 안내부를 구비하는, 기판 반송 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇 케이블의 적어도 일부는, 상기 케이블 안내부의 내부에 삽입되어 있는, 기판 반송 로봇.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이블 안내부의 일방단은, 상기 아암의 승강과 함께 이동하는 이동단이고,
    상기 케이블 안내부의 타방단은, 상기 하우징에 고정되는 고정단인, 기판 반송 로봇.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇 케이블은,
    상기 케이블 안내부에 배치되고, 아암의 승강과 함께 이동하는 제 1 케이블 부분과,
    상기 케이블 안내부의 외부에 배치됨과 함께, 상기 아암의 승강과 함께 이동하지 않고 고정되며, 연직 방향을 따라 연장되는 제 2 케이블 부분을 포함하고,
    상기 제 2 케이블 부분의 단부에 형성되고, 상기 기판 반송 로봇을 제어하는 상기 하우징의 외부에 형성되는 로봇 제어부에 접속되는 접속 커넥터를 추가로 구비하는, 기판 반송 로봇.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 접속 커넥터는, 상기 하우징의 외표면에 배치되어 있는, 기판 반송 로봇.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 아암이 장착되는 베이스를 추가로 구비하고,
    상기 아암 승강 기구는,
    상기 베이스가 장착되는 승강부와,
    상기 승강부를 승강시키는 구동부를 포함하는, 기판 반송 로봇.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 하우징의 상부에 배치되어 있는, 기판 반송 로봇.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 승강부는 상기 하우징으로부터 노출되어 있음과 함께, 상기 승강부에는, 상기 베이스로부터 연장되는 상기 로봇 케이블이 삽입되는 제 1 공부가 형성되어 있고,
    상기 아암으로부터 연장되는 상기 로봇 케이블은, 상기 승강부의 상기 제 1 공부를 통하여, 상기 케이블 안내부에 배치되어 있는, 기판 반송 로봇.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징은, 상기 아암 승강 기구가 배치되는 제 1 공간과, 상기 케이블 안내부가 배치되는 제 2 공간을 포함하는, 기판 반송 로봇.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징의 내부에 배치되고, 상기 하우징의 내부의 공기를 외부로 배출하는 팬을 추가로 구비하는, 기판 반송 로봇.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 기판 반송 로봇은, 클린룸 내에 배치되고,
    상기 팬은, 상기 하우징의 하부에 형성되고,
    상기 하우징의 하면에는, 상기 팬에 의해 배출되는 공기가 통과하는 제 2 공부가 형성되어 있고,
    상기 팬에 의해 배출되는 공기는, 상기 제 2 공부를 통하여, 상기 클린룸의 바닥면에 형성되는 제 3 공부로부터 상기 바닥면의 하방으로 배출되도록 구성되어 있는, 기판 반송 로봇.
KR1020237008335A 2020-09-03 2020-11-02 기판 반송 로봇 KR20230043223A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2020-148498 2020-09-03
JP2020148498 2020-09-03
PCT/JP2020/041032 WO2022049789A1 (ja) 2020-09-03 2020-11-02 基板搬送ロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230043223A true KR20230043223A (ko) 2023-03-30

Family

ID=80490959

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020237008335A KR20230043223A (ko) 2020-09-03 2020-11-02 기판 반송 로봇

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20230330863A1 (ko)
JP (1) JPWO2022049789A1 (ko)
KR (1) KR20230043223A (ko)
CN (1) CN115996824A (ko)
TW (1) TWI770658B (ko)
WO (1) WO2022049789A1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013069914A (ja) 2011-09-22 2013-04-18 Yaskawa Electric Corp 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5826129A (en) * 1994-06-30 1998-10-20 Tokyo Electron Limited Substrate processing system
JPH10157847A (ja) * 1996-11-29 1998-06-16 Canon Sales Co Inc 基板搬送ロボット装置およびこれを用いた基板処理装置ならびに半導体製造装置
JPH11123691A (ja) * 1997-10-22 1999-05-11 Denso Corp ケーブル支持案内装置
JP2003229355A (ja) * 2002-02-05 2003-08-15 Tokyo Electron Ltd 基板搬送処理装置
JP2005093812A (ja) * 2003-09-18 2005-04-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置および基板処理装置
JP2005101080A (ja) * 2003-09-22 2005-04-14 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置および基板処理装置
US8851820B2 (en) * 2009-05-18 2014-10-07 Brooks Automation, Inc. Substrate container storage system
JP2013022715A (ja) * 2011-07-25 2013-02-04 Yamaha Motor Co Ltd スカラロボット
JP6425132B2 (ja) * 2015-02-05 2018-11-21 村田機械株式会社 パージ機能を備えた装置前自動倉庫とパージ方法
JP6901828B2 (ja) * 2016-02-26 2021-07-14 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013069914A (ja) 2011-09-22 2013-04-18 Yaskawa Electric Corp 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
WO2022049789A1 (ja) 2022-03-10
US20230330863A1 (en) 2023-10-19
JPWO2022049789A1 (ko) 2022-03-10
CN115996824A (zh) 2023-04-21
TW202210255A (zh) 2022-03-16
TWI770658B (zh) 2022-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101209299B1 (ko) 산업용 로봇
CN108698222B (zh) 衬底搬送机器人及衬底搬送装置
TWI433764B (zh) A linear moving mechanism and a handling robot using the mechanism
JP3787656B2 (ja) 吸着アタッチメントの高さ調節装置
US8476867B2 (en) Robot battery charging station
KR101343894B1 (ko) 툴 이용을 위한 버퍼 스토리지 및 이송 장치
KR101571923B1 (ko) 로봇의 아암 구조 및 로봇
US20060294628A1 (en) Industrial robot
JP2012024922A (ja) ロボット
US11117252B2 (en) Robot
US20180229378A1 (en) Horizontal articulated robot and reverse installation method thereof
KR101544251B1 (ko) 로봇의 아암 구조체 및 로봇
KR100343316B1 (ko) 스프링균형조정장치를갖는다관절로봇
KR20230043223A (ko) 기판 반송 로봇
JP2700621B2 (ja) ロボット
KR101312821B1 (ko) 기판 이송 장치
EP1566357B1 (en) Elevator equipment
JP5005556B2 (ja) 部品移載装置、部品実装装置及び部品試験装置
JP6630162B2 (ja) 産業用ロボット
KR20230123877A (ko) 수평 다관절 로봇
CN116888723A (zh) 产业用机器人
JPH0536197B2 (ko)
RU2003106423A (ru) Канатный лифт с шахтным оборудованием
CN114684614B (zh) 工业用机器人
US12023804B2 (en) Robot arm and robot system