KR20230035093A - 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체 - Google Patents

얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체 Download PDF

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KR20230035093A
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마사카츠 히라노
겐이치 구로카와
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아사히 가세이 가부시키가이샤
아사히 가세이 가부시키가이샤
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Abstract

OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체를 제공한다. 개구를 형성하는 프레임체와, 프레임체의 일방면측에, 개구를 덮도록 전장 지지된 방진막을 구비한, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체로서, 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 고정부와, 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 고정하기 위한 자석 중 적어도 일방을 구비한다.

Description

얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체
본 발명은, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체에 관한 것이다.
포토리소그래피의 세계에서는, 반도체의 IC 칩과 같은 소면적에 대한 노광에 더하여, 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이와 같은, 보다 넓은 면적에 대한 일괄 노광 기술이 개발되어 있다.
이와 같은 대면적에 대한 일괄 노광으로서, 미러 투영 광학 방식의 노광 장치 등이 출시되어 있다.
미러 투영 광학 방식의 노광 장치의 기본 구성은, 극한의 가공 정밀도로 만들어진 큰 오목면 미러와 작은 볼록면 미러, 및 사다리꼴 미러로 이루어진다. 유닛 상부에 장착된 포토마스크에 자외선을 조사하고, 복수회 (예를 들어, 5 회) 의 반사를 거쳐 유리 기판 상에 포토마스크 상의 회로 패턴을 전사 노광한다.
최근, 플랫 패널 업계에서는, 스마트폰이나 태블릿 단말 등을 대상으로 패턴의 고정세화가 진행되고 있다. 그리고, 고정세화를 실현하기 위한 수법의 하나로서, 노광 장치 내에서의 노광광의 초점 위치를 노광 기판의 면 위치와 일치시켜 스캔 노광시키는 것이 요망되고 있다. 이 경우, 보다 신속하고 정확한 얼라인먼트 기술의 개발도 필요하게 된다. 그러나, 유리 기판은 열처리 등을 거치면 기판의 절대 치수 자체가 변화해 버리는 경우가 있기 때문에, 전 (前) 공정에서 형성된 패턴 좌표에는 다양한 변형이 발생되어 있어, 이 변형의 상태를 정확하게 파악하기 위해서 많은 기준점의 위치 계측이 필요해진다.
종래에는, 실제의 미러 광학계의 광로를 통하여 포토마스크와 기판의 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 계측하는 방식 (AS 방식 : Alignment Scope 방식) 이 채용되고 있었지만, 최근에는, 광로를 통하지 않고 기판의 근처에서 직접 마크를 관측하고, 간접적으로 위치 맞춤을 하는 새로운 계측 방식 (OAS 방식 : Off-axis Scope 방식) 이 도입되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1). AS 방식 및/또는 OAS 방식에 의해 상기의 계측을 실시하는 장치는, 예를 들어 얼라인먼트 유닛이라고 불리며, 노광 장치와 조합하여 사용된다.
일본 공개특허공보 2005-116965호
OAS 방식에서의 계측부 (렌즈부) 는, AS 방식에서의 계측부 (렌즈부) 보다 기판 스테이지에 가까운 위치에 배치되기 때문에, OAS 방식에서는, 노광 장치의 구동시 (즉, 기판 스테이지의 X, Y 방향으로의 구동시) 에 발생하는 진애의 영향을 받기 쉽다. 이러한 진애의 영향을 과도하게 받으면, 정확한 얼라인먼트가 곤란해지는 문제가 발생한다.
그래서, 예를 들어 OAS 방식에 있어서, 얼라인먼트 유닛의 렌즈부에 방진 커버를 배치하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한 것은 제안되어 있지 않았다. OAS 방식의 얼라인먼트 유닛에서는, AS 방식에 비해 공간적 제약이 있는 것이나, 기판 스테이지의 고속 이동에 의한 풍압의 영향을 받는 등, 조건이 상이한 점에서, AS 방식의 얼라인먼트 유닛에 있어서 방진 등을 위해서 사용되는 펠리클 (프레임체의 일면측에 펠리클막을 갖고, 타면측에 마스크용 점착층을 갖는 펠리클) 을 그대로 사용할 수는 없다.
본 발명은, 이와 같은 종래의 실정을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한, 방진 구조체를 제공하는 것에 있다.
[1]
개구를 형성하는 프레임체와,
상기 프레임체의 일방면측에, 상기 개구를 덮도록 전장 (展張) 지지된 방진막을 구비한 방진 구조체로서,
상기 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 고정부와, 상기 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 고정하기 위한 자석 중 적어도 일방을 구비하는, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체.
[2]
상기 방진막은, 파장 440 ∼ 780 ㎚ 의 광에 대해, 입사각 -10°∼ 10°에 있어서의 투과율이 80 ％ 이상인, [1] 에 기재된 방진 구조체.
[3]
상기 방진막의 펄럭임량이, -3.0 mm ∼ ＋3.0 mm 인, [1] 또는 [2] 에 기재된 방진 구조체.
[4]
상기 프레임체의 일방면측은, 상기 방진막이 배치되는 부분과, 상기 방진막이 배치되어 있지 않은 부분을 갖고,
상기 고정부는, 상기 프레임체의 일방면측에 있어서의, 상기 방진막이 배치되어 있지 않은 부분에 형성되는, [1] ∼ [3] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[5]
상기 프레임체에 포함되는 황산 이온이 0.3 ppm 이하인, [1] ∼ [4] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[6]
상기 프레임체의 타면측은, 점착층이 형성되어 있지 않은, 비점착면으로 되어 있는, [1] ∼ [5] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[7]
합계 2 개 이상 합계 16 개 이하의 상기 고정부를 구비하는, [1] ∼ [6] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[8]
상기 프레임체는, 상기 개구를 형성하는 내주부와, 상기 내주부의 측면의 일부로부터 외측으로 돌출되는 외측부를 구비하는, [1] ∼ [7] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[9]
상기 외측부는, 상기 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 나사 고정하기 위한 나사 홈 및/또는 나사 구멍을 획정하는 상기 고정부를 갖는, [8] 에 기재된 방진 구조체.
[10]
상기 방진 구조체는, 그 방진 구조체를 매달아 올리기 가능하게 하는 단차 및/또는 경사를 포함하는 조가 (吊架) 수용부를 갖는, [1] ∼ [7] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[11]
상기 조가 수용부는, 상기 내주부에 있어서의, 상기 외측부가 형성된 상기 측면에 형성되는, [10] 에 기재된 방진 구조체.
[12]
상기 프레임체의 평탄도가 0 초과 200 ㎛ 이하인, [1] ∼ [11] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[13]
상기 방진막의 막두께는, 1.5 ∼ 8.0 ㎛ 인, [1] ∼ [12] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
[14]
상기 고정부가 상정하는 나사의 중심축을 포함하고, 또한, 상기 방진막에 직교하는 절단면에서 봤을 때, 하기 (1) ∼ (3) 중 어느 것을 만족하는 영역을 포함하는, [1] ∼ [13] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
(1) 상기 방진막이 상기 내주부에 전장 지지된 부분의 폭 (T1) 이, 상기 내주부의 두께 (H1) 를 초과한다 (T1 ＞ H1 ＞ 0)
(2) 상기 외측부의 두께 (H2) 가, 상기 내주부의 두께 (H1) 의 1/2 이하 (1/2·H1 ≥ H2 ＞ 0) 이다
(3) 상기 개구의 나사 수용폭 (T3) 에 대한, 상기 내주부 및 상기 외측부의 합계폭 (T2) 의 비 (T2/T3) 가 1 ∼ 13 의 범위 내이다
[15]
상기 프레임체와, 상기 방진막은, 서로 상이한 고유 진동수를 갖는, [1] ∼ [14] 중 어느 하나에 기재된 방진 구조체.
본 발명에 의하면, OAS 방식의 얼라인먼트 장치용의 방진 커버로서 바람직한, 얼라인먼트 장치용의 방진 구조체를 제공할 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 방진 구조체의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2 는, 노광 장치에 있어서, 노광용 광학계를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3 은, 노광 장치에 있어서, 얼라인먼트용 광학계를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4 는, 본 발명의 방진 구조체의 다른 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 5 는, 본 발명의 방진 구조체의 다른 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 6 은, 본 발명의 방진 구조체의 다른 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 7 은, 본 발명의 방진 구조체의 다른 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 8 은, 본 발명의 방진 구조체의 다른 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
(실시형태 1)
이하, 본 발명을 실시하기 위한 실시형태 (이하, 「본 실시형태」라고 칭한다) 에 대해 상세하게 설명한다.
도 1 은, 본 실시형태의 방진 구조체의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면으로, (a) 는 평면도, (b) 는 단면도이다.
본 실시형태의 방진 구조체 (1) 는, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체이고, 개구 (2a) 를 갖는 프레임체 (2) 와, 프레임체 (2) 의 일방면측에, 개구 (2a) 를 덮도록 전장 지지된 방진막 (3) 과, 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 고정부를 구비한다.
＜노광 장치＞
본 실시형태의 방진 구조체 (1) 는, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛의 방진 커버로서 바람직하다.
먼저, 본 실시형태의 방진 구조체 (1) 가 적용되는, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛을 구비한 노광 장치에 대해 설명한다.
도 2 및 도 3 은, 노광 장치의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면으로, 도 2 에서는 주로 노광용 광학계를 나타내고, 도 3 에서는 얼라인먼트용 광학계를 주로 나타내고 있다.
노광 장치 (10) 는, 패턴 (11a) 이 형성되어 있는 마스크 (11), 마스크 (11) 를 탑재하여 X, Y 및 θ 방향으로 이동 가능한 마스크 스테이지 (12), 각종 패턴 (예를 들어, 회로 패턴이나 화소 패턴) 이 포토리소그래피의 수단으로 형성되는 기판 (13), 기판 (13) 을 유지하여 X, Y 및 θ 방향으로 이동 가능한 기판 스테이지 (14) 와, 조명 광학계 (15) 와, 미러 투영계를 구비한다. 마스크 스테이지 (12) 및 기판 스테이지 (14) 는, 각각 도시되지 않은 모터에 의해 X, Y 방향으로 이동된다.
조명 광학계 (15) 는, 특정한 파장의 광으로 노광 위치에 있는 마스크 (11) 를 조명하고, 마스크 (11) 상의 패턴 (11a) 을 개재하여 기판 (13) 상의 감광층 (13a) (레지스트) 을 노광함으로써, 마스크 (11) 상의 패턴 (11a) 을 기판 (13) 에 전사 가능하게 한다. 미러 투영계는, 오목면경 (16), 볼록면경 (17) 및 절곡경 (18) (사다리꼴 미러) 의 조합에 의해 구성되고, 마스크 스테이지 (12) 에 의해 소정 위치에 얼라인먼트된 마스크 (11) 의 패턴 이미지를 기판 (13) 상에 등배 투영한다.
마스크 스테이지 (12) 와 기판 스테이지 (14) 를 동기 스캔 제어함으로써, 마스크 (11) 에 묘화되어 있는 패턴 (11a) 이 기판 (13) 상의 감광층 (13a) (레지스트) 에 전사된다. 이 동기 스캔 제어에 의한 전사 노광 처리를, 기판 스테이지 (14) 를 스텝 이동시키면서 반복 실시함으로써, 기판 (13) 의 전체면에 패턴이 전사된다.
노광 장치 (10) 에 있어서, 얼라인먼트용 광학계는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 얼라인먼트 스코프 (AS : Alignment Scope) (20) 와, 오프액시스 얼라인먼트 스코프 (OAS : Off-axis Scope) (21) 를 구비한다.
AS (20) 는, 조명 광학계 (15) 로부터 조사되는 노광광을 사용하고, 노광용 광학계의 광로를 통하여 마스크 (11) 와 기판 (13) 의 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 계측한다.
OAS (21) 는, 노광광과는 상이한 파장의 조명광 (비노광광) 을, 기판 (13) 상의 얼라인먼트 마크에 조사하는 조명부 (21a) 와, 반사광을 촬상하는 촬상부 (도시 생략) 를 구비한다.
촬상된 화상은, 화상 처리 장치 (도시 생략) 에서 계측 처리되어 얼라인먼트 마크의 위치가 취득된다. 그리고, 이 계측 결과로부터 각 보정량 (X, Y 의 시프트 성분, 회전 성분, X, Y 의 배율 성분, X 와 Y 의 직각도 성분) 이 계산된다.
마스크 스테이지 (12) 및 기판 스테이지 (14) 의 제어를 실시하는 제어 장치 (도시 생략) 는, 그 보정량에 따라서 미러 투영계의 배율 및 기판 스테이지 (14) 의 위치·회전 및 마스크 스테이지 (12) 와 기판 스테이지 (14) 의 동기 편차량을 보정하면서, 노광 처리를 실시한다.
본 실시형태의 방진 구조체 (1) 는, 예를 들어, 상기 서술한 바와 같은 노광 장치 (10) 에 있어서, OAS (21) 의 하부에 장착되어 사용된다 (도 3 참조).
이하, 본 실시형태의 방진 구조체 (1) 에 대해 설명한다.
＜방진 구조체＞
방진 구조체 (1) 는, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체로서, 개구 (2a) 를 형성하는 프레임체 (2) 와, 프레임체 (2) 의 일방면측에, 개구 (2a) 를 덮도록 전장 지지된 방진막 (3) 을 구비한다. 그리고, 본 실시형태의 방진 구조체 (1) 는, 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛 (OAS (21)) 에 기계적으로 고정하기 위한 고정부를 구비한다.
프레임체 (2) 는, 방진막 (3) 을 전장 지지함과 함께, 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛에 장착할 때의 고정부를 구비한다.
프레임체 (2) 는, 방진막 (3) 을 프레임체 (2) 에 장설 (張設) 할 수 있는 임의의 형태를 가질 수 있고, 예를 들어, 프레임체 (2) 의 정면에서 봤을 때에는, 방형, 다각형, 원형, 타원형 등의 외형을 가질 수 있다. 방형은, 정방형, 장방형 등이고, 모서리가 직각인 경우와, 모서리가 둥그스름한 대략 방형인 경우의 양방을 가질 수 있다. 다각형은, 삼각형, 사다리꼴, 평행 사변형, 오각형, 육각형 등이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 프레임체 (2) 는, 가장자리부를 갖는다. 가장자리부는, 직선상으로 연장되는 봉상의 가장자리 부재를 가질 수 있다. 1 쌍의 가장자리 부재는, 서로 간격을 두고 평행하게 배치될 수 있고, 마찬가지로, 다른 1 쌍의 가장자리 부재도 서로 간격을 두고 평행하게 배치될 수 있다. 접촉하고 있는 2 개의 가장자리 부재는, 서로 대략 직각을 이루도록 단부가 접속될 수 있다. 그리고 닫혀진 형상으로 접속된 가장자리 부재에 의해 개구 (2a) 가 구획된다.
프레임체 (2) 및 그 가장자리 부재는, 예를 들어, 알루미늄 ; 알루미늄 합금 (예를 들어 5000 계, 6000 계, 7000 계 등) ; 철강 ; 스테인리스강 ; 마그네슘 합금 ; 세라믹스 (예를 들어 SiC, AlN, Al2O3 등) ; 세라믹스와 금속의 복합 재료 (예를 들어, Al-SiC, Al-AlN, Al-Al2O3 등) ; PE, PA, PC, PEEK 등의 엔지니어링 플라스틱 ; GFRP, CFRP 등의 섬유 복합 재료 ; 또는 이들의 조합 등의 이미 알려진 재료로 형성될 수 있다.
알루미늄의 경우, 알루마이트 처리에 의해 양극 산화 피막이 형성되어 있어도 된다. 알루마이트에는, 일반적으로, 전해 처리의 처리욕으로서 황산욕을 사용한 황산 알루마이트나, 옥살산욕을 사용한 옥살산 알루마이트 등을 들 수 있지만, 황산을 실질적으로 포함하지 않는 것 (황산 프리) 인 것이 바람직하다.
특히, 본 실시형태의 방진 구조체 (1) 에서는, 프레임체 (2) 에 포함되는 황산 이온이 0.3 ppm 이하인 것이 바람직하다.
노광광의 열로 감광층 등으로부터 이온이나 아웃 가스 등이 발생할 가능성이 있다. 또한, 프레임체 표면의 산화 피막이 분해될 우려가 있다. 특히, 황산 알루마이트의 경우, 발생한 황산 이온이 상기에서 발생한 이온이나 아웃 가스 등등 (분위기 중의 암모니아 등) 과 반응함으로써 방진막 (3) 에 흐림이 발생하여, 얼라인먼트의 계측을 정확하고 신속하게 할 수 없을 가능성이 있다. 프레임체 (2) 에 포함되는 황산 이온이 0.3 ppm 이하인 본 실시형태의 방진 구조체 (1) 는, 이와 같은 상황이 발생할 가능성을 저감시킬 수 있다.
알루마이트 이외여도, 황산 이온의 함유량이 낮은 재료나 프레임체를 도막으로 피막하는 등, 즉, 황산 이온이 0.3 ppm 이하인 재료를 사용함으로써, 상기와 같은, 황산 이온과 암모니아가 반응하는 것에 의한 흐림의 발생이나, 헤이즈의 저하 등을 억제할 수 있다.
프레임체 (2) 및 그 개구 (2a) 의 사이즈는, OAS (21) 의 사이즈에 따라 정해진다. 프레임체 (2) 가, 정면에서 봤을 때에 있어서 1 쌍의 장변과 1 쌍의 단변으로 이루어지는 장방 형상인 경우에는, 장변 길이가 300 mm ∼ 1000 mm 이고, 단변 길이가 300 mm ∼ 1000 mm 이고, 장변과 단변의 폭이, 각각 4.0 mm ∼ 50.0 mm 이고, 또한/또는 프레임의 높이가 1.5 mm ∼ 12.0 mm 일 수 있다.
프레임체 (2) 에 있어서, 폭 (도 1 중 w 로 나타낸다) 에 대한 두께 (도 1 중 t 로 나타낸다) 의 비율 (t/w) 이 30 ％ 이하인 것이 바람직하다.
방진 구조체 (1) 가 장착되는 공간의 두께 (예를 들어, 도 3 중 s 로 나타내는, 부재간의 간극) 에 제약이 있기 때문에, 프레임체 (2) 를 얇게 함으로써, 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛에 장착할 때의 공간적 제약을 클리어할 수 있는 것 외에, 기계적으로 고정할 때의 작업 용이성도 확보할 수 있다. 또, 방진 구조체 (1) 의 두께가 얇음으로써, OAS (21) 에 의한 얼라인먼트 정밀도에 주는 영향도 작게 억제할 수 있다.
또한, 프레임체 (2) 의 폭에 대한 두께의 비율 (t/w) 의 하한값으로는, 강성이나 변형의 억제 등의 관점에서, 5 ％ 이상인 것이 바람직하다.
프레임체 (2) 가, 변에 따라 상이한 폭을 갖는 경우, 적어도 어느 변에 있어서의 폭에 대한 두께의 비율 (t/w) 이, 상기의 범위 내인 것이 바람직하다.
프레임체 (2) 의 평탄도는, 0 초과 200 ㎛ 이하인 것이 바람직하고, 0 초과 150 ㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다.
또한, 본 명세서에 있어서 「평탄도」는, 프레임체 (2) 의 석정반으로부터의 굴곡의 측정값이다. 예를 들어, 프레임체 (2) 를 석정반에 정치 (靜置) 하고, 프레임체 (2) 의 상부 (석정반의 반대측) 로부터 레이저를 입광시켜, 레이저 변위계로 두께를 측정한다. 석정반을 제로점으로 하고, 입광측의 프레임체 (2) 로부터 석정반까지의 거리를 측정한다. 여기서, 측정수는 1 변에서 5 점으로 하고, 변의 양단으로부터 20 mm 의 점을 각각 측정하고, 또한 그 사이를 3 점 등간격이 되도록 측정한다. 이것을 4 변에 있어서 실시하고, 4 변에 있어서 제로점으로부터의 높이가 가장 높은 점 및 가장 낮은 점의 높이의 차를 평탄도로 한 값이다.
프레임체 (2) 의 평탄도가 상기 범위임으로써, 얼라인먼트 유닛에 장착했을 때에 휨이 적은 방진 구조체가 된다.
방진막 (3) 은, 얼라인먼트 유닛의 광학적 기능을 방해하지 않고, 얼라인먼트 유닛에 진애가 부착되는 것을 방지하는, 투명한 박막 (펠리클) 이다.
도 1(b) 에 나타내는 바와 같이, 방진막 (3) 은, 도시되지 않은 점착제에 의해, 프레임체 (2) 의 일방면측에, 개구 (2a) 를 덮도록 전장되고, 접착 및 고정되어 있다.
방진막 (3) 은, 파장 440 ∼ 780 ㎚ 의 광에 대해 입사각 -10°∼ 10°에 있어서의 투과율이 80 ％ 이상인 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 방진막 (3) 은, 파장 440 ∼ 780 ㎚ 중 어느 광에 대해, 입사각 -10°∼ 10°에 있어서의 투과율이 80 ％ 이상인 것이 바람직하다.
이로써, OAS 얼라인먼트용 광원이 발하는 광을 충분히 투과시킬 수 있어, 보다 신속하고 정확한 OAS 얼라인먼트가 가능해진다.
방진막 (3) 의 펄럭임량이, -3.0 mm ∼ ＋3.0 mm 인 것이 바람직하다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「방진막 (3) 의 펄럭임량」이란, 하기와 같이 측정할 수 있는 값을 말한다. 즉, 도 1 과 같이, 200 mm × 600 mm 의 외경을 갖는 프레임체로서, 장변폭이 10 mm, 또한 단변폭 (도 1(b) 에 있어서의 w) 이 10 mm, 그리고 높이 (도 1(b) 에 있어서의 두께 (t)) 가 3 mm 인, 표면이 알루마이트 처리된 알루미늄 합금제의 프레임체 (2) 를 준비한다. 준비한 알루미늄 합금제의 프레임체 (2) 의 일방면에 막 접착제를 도포하고 방진막 (3) 을 전장한다. 방진막 (3) 이 전장된 반대측의 면에 양면 테이프를 첩부 (貼付) 하고, 프레임체 (2) 보다 한결 큰 아크릴판에 붙인다. 방진막 (3) 을 아래로 한 상태에서 선풍기를 약 모드로 막을 따라 송풍한다. 그 송풍한 상태에서, 가장 휜 부분을 레이저 변위계로 측정한 값을 말한다.
펄럭임량에 대해, 마이너스의 수치는, 프레임체 (2) 에 있어서의 방진막 (3) 이 전장되는 측의 면을 통과하는 가상면을 기준 (0 mm) 으로 하여, 방진막 (3) 이 개구 (2a) 측 (방진 구조체를 아크릴판에 붙인 경우에 있어서의 아크릴판측) 으로 휜 펄럭임량을 나타내고, 플러스의 수치는, 방진막 (3) 이 개구 (2a) 와는 반대측으로 휜 펄럭임량을 나타낸다.
도 3 에 나타낸 바와 같이, OAS (21) 는, 감광층 (13a) (레지스트) 이 형성된 기판 (13) 의 상부에 배치된다. OAS (21) 는 플레이트 동작계와는 독립적으로 배치되어 있기 때문에, 기판 스테이지 (14) 의 이동에 대해서도 OAS (21) 자체는 이동하지 않지만, 기판 스테이지 (14) 상에 배치된 기판 (13) 은 움직이고, 이 때, 상당히 빠른 스피드로 움직인다. 도 3 중 s 로 나타내는 바와 같이, 방진 구조체 (1) 가 장착되는 공간의 두께는 매우 작아, 방진 구조체 (1) (방진막 (3)) 와, 기판 (13) 표면의 감광층 (13a) (레지스트) 의 거리는 수 mm 정도밖에 되지 않는다. 이 때문에, 기판 (13) 의 고속 이동으로 발생하는 풍압에 의해, 방진막 (3) 이 펄럭여 버린다.
방진막 (3) 의 펄럭임량이 크면, 방진막 (3) 이 레지스트에 접촉해 버릴 우려가 있다. 방진막 (3) 의 펄럭임량을 상기 범위로 함으로써, 방진막 (3) 이 다른 부재에 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
이와 같은 방진막 (3) 을 구성하는 재료는, 투명한 박막이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 니트로셀룰로오스, 셀룰로오스 유도체, 불소 폴리머가 바람직하다. 이로써, OAS 얼라인먼트에 있어서 광원이 발하는 광을 충분히 투과시킬 수 있음과 함께, 펄럭임량을 작게, 예를 들어 상기 범위로 억제할 수 있다.
방진막 (3) 의 막두께는 1.5 ㎛ ∼ 8.0 ㎛ 인 것이 바람직하다. 이로써, OAS 얼라인먼트에 있어서 광원이 발하는 광을 충분히 투과시킬 수 있음과 함께, 펄럭임량을 작게, 예를 들어 상기 범위로 억제할 수 있다.
프레임체 (2) 와, 방진막 (3) 은, 서로 상이한 고유 진동수를 갖는 것이 바람직하다. 이로써, 얼라인먼트 유닛의 진동에 의해 방진 구조체 (1) 의 프레임체 (2) 와 방진막 (3) 이 공진해 버리는 것을 방지할 수 있다.
고정부는, 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 수단으로, 본 실시형태에서는, 프레임체 (2) 와 일체적으로 형성되어 있다.
또한, 본 명세서에 있어서 「고정부」란, 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛에 나사나 클립 등을 사용하여 고정할 때에, 나사나 클립에 대응하는 프레임체면이다. 바꾸어 말하면, 나사나 클립이 고정부인 것이 아니라, 나사 구멍을 형성하는 프레임체면이나 클립이 부착되는 프레임체면이 「고정부」이다.
또, 본 명세서에 있어서 「기계적 고정 수단」이란, 점착제에 의한 접착 고정 이외의 고정 수단을 의미하고, 그 수단은 특별히 한정되지 않는다. 기계적 고정 수단에 의하면, 점착제에 의한 고정에 비해, 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛에 확실하게 장착할 수 있어, 방진 구조체 (1) 의 낙하를 방지할 수 있다. 또, 기계적 고정 수단에 의하면, 점착제 성분이 비산하는 상황을 회피할 수 있다.
본 실시형태에서는, 프레임체 (2) 의 타면측은, 점착층 (점착제 또는 점착 테이프를 포함하는 층) 이 형성되어 있지 않은, 비점착면으로 되어 있다.
본 실시형태에서는, 프레임체 (2) 에 고정부로서의 나사 구멍 (4a) 및/또는 나사 홈 (4b) 이 형성되어 있고, 방진 구조체 (1) 는, 나사에 의해 OAS (21) 에 고정된다.
본 실시형태에서는, 프레임체 (2) 에 복수의 나사 구멍 (4a) 및 나사 홈 (4b) 이 관통 형성되어 있고, 이 나사 구멍 (4a) 및 나사 홈 (4b) 에 나사 (수나사) 가 관통 삽입되고, OAS 측에 형성된 나사 구멍 (암나사) 및 나사 구멍 (암나사) 과 나사 결합시킴으로써, 방진 구조체 (1) 는 OAS (21) 에 장착된다. 나사에 의하면, 그 체결 강도를 조정함으로써 고정력의 조절이 용이하여, 방진 구조체 (1) 의 낙하를 방지할 수 있다. 또, 장착시의 간이 고정 (가고정) 도 가능하다. 또한, 도 1 에 나타내는 예에서는, 나사 고정에 의한 방진 구조체 (1) 의 변형을 흡수하기 위해서, 일부의 나사 구멍 (4a) 과 조합하여, 나사 홈 (4b) (평면 U 자상의 형상) 이 사용되고 있다.
나사 고정에 의한 방진 구조체 (1) 의 변형을 흡수하기 쉽게 하는 관점에서, 개구 (2a) 를 사이에 두고 대향하는 고정부는, 각각 동종의 구성을 갖는 것이 바람직하다. 즉, 프레임체 (2) 가, 예를 들어, 장변과 단변을 갖는 장방 형상인 경우, 단변 부분에 배치되는 고정부와, 장변 부분에 배치되는 고정부는, 각각 동종의 구성을 갖는 것이 바람직하다. 본 실시형태의 방진 구조체 (1) 에서는, 개구 (2a) 를 사이에 두고, 나사 구멍 (4a) 을 갖는 고정부 (단변 부분에 배치되는 고정부) 가 대향하고 있고, 또, 나사 홈 (4b) 을 갖는 고정부 (장변 부분에 배치되는 고정부) 가 대향하고 있다.
본 실시형태에서는, 프레임체 (2) 의 일방면측은, 방진막 (3) 이 배치되는 부분과, 방진막 (3) 이 배치되어 있지 않은 부분을 갖고, 고정부는, 프레임체 (2) 의 일방면측에 있어서의, 방진막 (3) 이 배치되어 있지 않은 부분에 형성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 프레임체 (2) 의 일방면측은, 방진막 (3) 이 배치되는 부분과, 방진막 (3) 이 배치되어 있지 않은 부분을 갖고, 프레임체 (2) 의 일방면측에 있어서의, 방진막 (3) 이 배치되어 있지 않은 부분을 관통하도록, 나사 구멍 (4a) 및 나사 홈 (4b) 을 구비하고 있다. 이것에 의하면, 나사를 고정하거나 또는 느슨하게 하는 작업에 수반하여 방진막 (3) 에 휨이 발생하는 것을 억제하기 쉬워진다.
나사 구멍 (4a) 과 나사 홈 (4b) 을 비교하면, 구멍이 해방되어 있는 나사 홈 (4b) 쪽이, 동일한 정도로 체결했을 때에 프레임체 (2) 에 가해지는 힘이 적은 경우가 많다. 한편, 방진 구조체 (1) 는 OAS (21) 에 확실하게 고정되는 것이 바람직하다. 그 때문에, 프레임체 (2) 의 변형을 저감시키면서, 방진 구조체 (1) 를 OAS (21) 에 확실하게 고정하는 관점에서, 프레임체 (2) 가, 예를 들어, 장변과 단변을 갖는 장방 형상인 경우, 나사 구멍 (4a) 을 갖는 고정부를 단변 부분에 배치하고, 나사 홈 (4b) 을 갖는 고정부를 장변 부분에 배치하는 것이 바람직하다.
고정부는, 개구 (2a) 를 사이에 두고, 대향하여 배치되는 것이 바람직하다. 상기와 같이, 프레임체 (2) 는, 정면에서 봤을 때에는 방형, 다각형, 원형, 타원형 등의 외형을 가질 수 있다. 어느 형상에서도, 고정부는, 개구 (2a) 를 사이에 두고, 대향하여 배치됨으로써, 보다 바람직하게 방진 구조체 (1) 를 OAS (21) 에 고정할 수 있다.
방진 구조체 (1) 는, 동일 또는 상이한 고정부를, 합계 2 개 이상 합계 16 개 이하의 범위에서 구비하는 것이 바람직하고, 합계 4 개 이상 합계 10 개 이하의 범위에서 구비하는 것이 보다 바람직하다. 본 실시형태의 방진 구조체 (1) 는, 합계 8 개의 고정부 (나사 구멍 (4a) 및/또는 나사 홈 (4b)) 를 구비하고 있고, 이로써, 보다 바람직하게 방진 구조체 (1) 를 OAS (21) 에 고정할 수 있다.
나사 이외의 기계적 고정 수단으로는, 예를 들어, 리벳, 볼트·너트, 각종 파스너재 (예를 들어, 퀵 파스너 등) 에 의한 고정 수단을 들 수 있다. 나사 이외의 기계적 고정 수단이 사용되는 경우, 고정부로는, 나사 이외의 기계적 고정 수단을 받아내기 위한 수용부를 포함하여 구성된다. 수용부는, 예를 들어, 나사 이외의 기계적 고정 수단을 사용하여 방진 구조체 (1) 를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정할 때, 적어도 프레임체 (2) 에 접하는 면 (나사 이외의 기계적 고정 수단이 적어도 프레임체에 접하는 면) 에 대응하는 형상을 포함하는, 오목부 및/또는 볼록부를 들 수 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명해 왔지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하다.
예를 들어, 도 4 는, 본 발명의 다른 실시형태에 관련된 방진 구조체를 설명하기 위한 도면이다. 이 중, 도 4(a) 는, 도 1 에 나타낸 방진 구조체 (1) 와 비교하여, 모든 고정부가 나사 구멍 (4a) 으로서 구성되어 있다. 또, 도 4(b) 는, 방진 구조체 (1) 와 비교하여, 모든 고정부가 나사 홈 (4b) 으로서 구성되어 있다. 어느 방진 구조체도, 방진 구조체 (1) 와 동일하게, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직하다.
(실시형태 2)
본 발명의 실시형태 2 에 관련된 방진 구조체는, 상기의 실시형태 1 에 관련된 방진 구조체와 비교하여, 프레임체의 구조가 상이하다. 실시형태 1 에 관련된 방진 구조체와 동일한 구성을 사용할 수 있는 부분에 대해서는 설명을 생략하면서, 실시형태 2 에 관련된 방진 구조체에 대해 이하에서 설명한다.
도 5 는, 본 발명의 실시형태 2 에 관련된 방진 구조체의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
실시형태 2 에 관련된 방진 구조체 (1A) 의 프레임체 (2A) 는, 개구 (2a) 를 형성하는 내측 프레임체 (내주부) (2b) 와, 내측 프레임체 (2b) 의 외측에 배치되는 외측 프레임체 (외측부) (2c) 를 구비한다. 외측 프레임체 (2c) 는, 내측 프레임체 (2b) 의 측면의 일부로부터 외측으로 돌출되어 있다. 외측 프레임체 (2c) 와 내측 프레임체 (2b) 는 일체로 구성되어 있고, 외측 프레임체 (2c) 의 두께는 내측 프레임체 (2b) 의 두께보다 얇다. 그리고, 외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 얼라인먼트 유닛에 장착되는 측의 면과, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 얼라인먼트 유닛에 장착되는 측의 면이 연속하여, 방진 구조체 (1A) 에 있어서의, 얼라인먼트 유닛에 장착되는 측의 면을 구성하고 있다. 즉, 내측 프레임체 (2b) 의 두께 (도 1(b) 의 두께 (t) 에 상당) 가 외측 프레임체 (2c) 의 두께보다 큰 만큼, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면과, 외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면 사이에 단차가 형성되어 있다. 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면과, 외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면 사이는, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 외주 측면이 연속하고 있다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한 구성을 실현하기 쉬워진다.
외측 프레임체 (2c) 는, 내측 프레임체 (2b) 의 외주를 연속하여 둘러쌀 수 있지만, 둘러싸지 않을 수도 있다. 외측 프레임체 (2c) 가 내측 프레임체 (2b) 의 외주를 둘러싸지 않는 경우, 내측 프레임체 (2b) 로부터 그 외주측에, 내측 프레임체 (2b) 의 외주 방향을 따라 소정의 간격으로, 복수의 외측 프레임체 (2c) 가 불연속적으로 돌출되는 형상이 구성된다. 상기에서는, 외측 프레임체 (2c) 와 내측 프레임체 (2b) 는 일체로 구성되었지만, 외측 프레임체 (2c) 와 내측 프레임체 (2b) 는 별체로 구성될 수도 있다. 이와 같은 구성을 가짐으로써도, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한 구성을 실현하기 쉬워진다.
방진막 (3) 은, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면에 전장 지지되어 있다. 그리고, 외측 프레임체 (2c) 에, 방진 구조체 (1A) 를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 나사 구멍 (4a) 및/또는 나사 홈 (4b) 을 획정하는 고정부를 갖고 있다. 구체적으로, 외측 프레임체 (2c) 를 높이 방향 (도 1(b) 의 두께 t 를 따른 방향) 으로 관통하도록, 나사 구멍 (4a) 및 나사 홈 (4b) 이 형성되어 있다. 이로써, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한 구성을 실현하기 쉬워진다. 여기서는, 나사 구멍 (4a) 및 나사 홈 (4b) 이 형성되어 있지만, 나사 구멍 (4a) 또는 나사 홈 (4b) 이 형성되어 있지 않아도 된다.
또, 실시형태 2 에 관련된 방진 구조체 (1A) 는, 방진 구조체 (1A) 를 매달아 올릴 수 있게 하는 단차 및/또는 경사를 포함하는 조가 수용부를 갖는다.
예를 들어, 도 5 에 나타내는 예에서는, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면과, 외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면 사이의 면 (내측 프레임체 (2b) 에 있어서의, 외측 프레임체 (2c) 가 형성된 측면) 에는, 조가 수용부로서, 개구 (2a) 측으로 오목한 오목부 (5a) 가 형성되어 있다. 오목부 (5a) 는 연속적으로 형성되어 있고, 여기서는, 프레임체 (2A) 의 둘레 방향에 걸쳐 일주하는 오목부 (5a) 가 형성되어 있다. 이로써, 지그 등을 오목부 (5a) 에 걸면서 들어 올리거나 이동시키거나 할 수 있는 등, 기계적으로 방진 구조체 (1A) 를 취급하기 쉬워진다.
오목부 (5a) 는, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 외주 측면에, 불연속적으로 형성될 수도 있다. 이 경우, 방진 구조체 (1A) 의 프레임체 (2A) 는, 불연속적인 오목부 (5a) 를 복수 갖는 것이 바람직하다. 이 때, 1 쌍의 단변에 각각 형성된 오목부 (불연속적인 오목부) (5a) 가, 1 쌍의 오목부 (5a) 를 형성하는 것이 바람직하고, 또, 1 쌍의 장변에 각각 형성된 오목부 (불연속적인 오목부) (5a) 가, 1 쌍의 오목부 (5a) 를 형성하는 것이 바람직하다. 이것에 의해서도, 지그 등을 오목부 (5a) 에 걸면서 들어 올리거나 이동시키거나 할 수 있는 등, 기계적으로 방진 구조체 (1A) 를 취급하기 쉬워진다.
또한, 조가 수용부의 다른 형태로서, 도 6(a) 에 나타내는 예에서는, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면과, 외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면 사이의 면 (내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 외주 측면) 의 적어도 일부에, 외측 프레임체 (2c) 로부터 멀어짐에 따라, 그 폭이 커지는 확폭부가 형성되어 있다. 여기서는, 확폭부로서, 외측 프레임체 (2c) 로부터 멀어짐에 따라, 그 폭이 점차 커지는 테이퍼부 (5b) 가 형성되어 있다. 여기서는, 프레임체 (2) 의 둘레 방향에 걸쳐 연속적으로 일주하는 테이퍼부 (5b) 가 형성되어 있다. 또한, 확폭부에는, 외측 프레임체 (2c) 로부터 멀어짐에 따라, 그 폭이 불연속적으로 커지는 계단 형상도 포함된다.
또, 도 6(b) 에 나타내는 예에서는, 조가 수용부로서, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면과, 외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면 사이의 면 (내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 외주 측면) 에, 개구 (2a) 와는 반대측으로 돌출된 볼록부 (5c) 가 형성되어 있다. 여기서는, 프레임체 (2A) 의 둘레 방향에 걸쳐 연속적으로 일주하는 볼록부 (5c) 가 형성되어 있다.
또, 도 6(c) 에 나타내는 예에서는, 조가 수용부로서, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면과, 외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 방진막 (3) 측의 면 사이의 면 (내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 외주 측면) 에, 개구 (2a) 측으로 계단상으로 오목한 오목부 (5d) 가 형성되어 있다. 여기서는, 프레임체 (2A) 의 둘레 방향에 걸쳐 연속적으로 일주하는 오목부 (5d) 가 형성되어 있다.
이로써, 지그 등을 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d) 에 걸면서 들어 올리거나 이동시키거나 할 수 있는 등, 기계적으로 방진 구조체 (1A) 를 취급하기 쉬워진다. 이들 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 및 오목부 (5d) 는, 단면 형상이 상이할 뿐이고, 상기 서술한 오목부 (5a) 와 동일하게 배치될 수 있다.
이들 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d) 는, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 외주 측면에, 불연속적으로 형성될 수도 있다. 이 때, 1 쌍의 단변에 각각 형성된 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d) (불연속적인 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d)) 가, 1 쌍의 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d) 를 형성하는 것이 바람직하고, 또, 1 쌍의 장변에 각각 형성된 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d) (불연속적인 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d)) 가, 1 쌍의 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c) 또는 오목부 (5d) 를 형성하는 것이 바람직하다.
또, 방진 구조체 (1A) 에 있어서의, 얼라인먼트 유닛에 장착되는 측의 면 (외측 프레임체 (2c) 에 있어서의 얼라인먼트 유닛에 장착되는 측의 면과, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 얼라인먼트 유닛에 장착되는 측의 면) 에는, 슬라이드 골부 (도시 생략) 가 형성되어 있어도 된다. 한편, 얼라인먼트 유닛에는, 상기의 슬라이드 골부에 대응하는 슬라이드 산부가 형성되어 있다. 방진 구조체 (1A) 의 슬라이드 골부를, 얼라인먼트 유닛의 슬라이드 산부로 가이드시킬 수 있고, 필요에 따라, 방진 구조체 (1A) 를 얼라인먼트 유닛 상에서 슬라이딩시킬 수 있다. 이로써, 방진 구조체 (1A) 와 얼라인먼트 유닛의 위치 맞춤이 용이해져, 양자를 기계적 고정하기 쉬워진다. 또한, 방진 구조체 (1A) 측에 슬라이드 산부가 형성되고, 얼라인먼트 유닛측에 슬라이드 골부가 형성되어도 된다. 서로 대응하는 슬라이드 골부와 슬라이드 산부가, 방진 구조체 (1A) 측과 얼라인먼트 유닛측에 각각 형성됨으로써, 상기의 효과가 얻어지기 쉬워진다.
도 7 에 나타내는 바와 같이, 실시형태 2 에 관련된 방진 구조체 (1A) 에 있어서, 고정부가 상정하는 나사의 중심축을 포함하고, 또한, 방진막 (3) 에 직교하는 절단면에서 봤을 때, 하기 (1) ∼ (3) 중 어느 것을 만족하는 영역을 포함하는 것이 바람직하다.
(1) 방진막 (3) 이 내측 프레임체 (내주부) (2b) 에 전장 지지된 부분의 폭 (T1) 이, 내측 프레임체 (내주부) (2b) 의 두께 (H1) 를 초과한다 (T1 ＞ H1 ＞ 0).
(2) 외측 프레임체 (외측부) (2c) 의 두께 (H2) 가, 내측 프레임체 (내주부) (2b) 의 두께 (H1) 의 1/2 이하 (1/2·H1 ≥ H2 ＞ 0) 이다.
(3) 나사 구멍 (4a) 또는 나사 홈 (4b) 의 개구의 나사 수용폭 (T3) 에 대한, 내측 프레임체 (내주부) (2b) 및 외측 프레임체 (외측부) (2c) 의 합계폭 (T2) 의 비 (T2/T3) 가 1 ∼ 13 의 범위 내이다.
(1) T1 이 큰 것에 의해, 방진막 (3) 의 첩부 면적을 확보함으로써, 스테이지의 고속 이동이나 진동에 대해서도, 방진막 (3) 의 펄럭임을 억제하기 쉬워진다. 또, H1 이 작은 것에 의해, 얼라인먼트 스코프를 스테이지 근처에 배치한 채로 방진 구조체 (1A) 를 세트할 수 있다. 공간적 제약이 염격한 가운데서도 얼라인먼트 스코프에 방진 구조체 (1A) 를 세트할 수 있다.
(2) H1 이 큼으로써, 프레임체 (2A) 의 강성을 확보할 수 있다. 또, H2 가 작음으로써, 조가 수용부가 형성되는 측면을 확보할 수 있다.
(3) T2/T3 이 상기 범위임으로써, 얼라인먼트 유닛에 대한 장착면에 대해, 고정력이 작동하는 부분의 비율의 밸런스를 잡을 수 있다.
본원 발명은, 매우 높은 평탄성이 필수적인 기술 분야에 속하는 것을 전제로, 얼라인먼트 용도 특유의 과제를 해결하기 위해, 상기 구성에 의해, 얼라인먼트 용도 특유의 과제인, 우수한 핸들링성, 프레임체 전체의 변형 방지, 강성 저하의 억제를 도모하는 것이다.
본 실시형태에서는, 상기 과제에 주목하기 때문에, 방진막 (3) 의 전장 기능을 내측 프레임체 (2b) 에 갖게 하면서, 굳이 방진 구조체 (1A) 의 나사 고정 기능을 내측 프레임체 (2b) 로부터 떼어내어, 그 기능을 새로운 외측 프레임체 (2c) 에 갖게 하는 구성으로 하였다. 이 구성으로 함으로써 비로소 나타나는 「내측 프레임체 (2b) 에 있어서의, 외측 프레임체 (2c) 가 형성된 측면」에 조가 수용부를 배치함으로써, 외측 프레임체 (2c) 에 방진 구조체 (1A) 의 매달아 올리기 장치의 가이드 기능도 부여할 수 있었다.
도 5 에 나타낸 실시형태 2 에 관련된 방진 구조체 (1A) 에 있어서, 모든 고정부가 나사 구멍 (4a) 으로서 구성되어 있어도 된다. 또, 모든 고정부가 나사 홈 (4b) 으로서 구성되어 있어도 된다.
(실시형태 3)
본 발명의 실시형태 3 에 관련된 방진 구조체는, 상기의 실시형태 1 에 관련된 방진 구조체와 비교하여, 프레임체의 구조가 상이하다. 실시형태 1 에 관련된 방진 구조체와 동일한 구성을 사용할 수 있는 부분에 대해서는 설명을 생략하면서, 실시형태 3 에 관련된 방진 구조체에 대해 이하에서 설명한다.
도 8 은, 본 발명의 실시형태 2 에 관련된 방진 구조체의 일 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다.
본 실시형태의 방진 구조체 (1B) 는, 그 방진 구조체 (1B) 를 얼라인먼트 유닛에 고정하기 위한 자석 (6) 을 구비한다.
본 실시형태에서는, 프레임체 (2B) 에 고정부로서의 자석 (6) 이 배치되어 있고, 방진 구조체 (1B) 는, 자석 (6) 에 의해 OAS (21) 에 고정된다. 여기서는, 프레임체 (2B) 의 둘레 방향에 걸쳐 연속적으로 일주하도록 자석 (6) 이 형성되어 있다.
자석에 의하면, 자력의 강도를 조정함으로써 고정력의 조절이 용이하여, 방진 구조체 (1) 의 낙하를 방지할 수 있다. 또, 장착시의 작업도 용이하다.
자석 고정에 의한 방진 구조체 (1B) 의 변형을 흡수하기 쉽게 하는 관점에서, 개구 (2a) 를 사이에 두고 대향하는 고정부는, 각각 동종의 구성을 갖는 것이 바람직하다. 즉, 프레임체 (2B) 가, 예를 들어, 장변과 단변을 갖는 장방 형상 인 경우, 단변 부분에 배치되는 고정부와, 장변 부분에 배치되는 고정부는, 각각 동종의 구성을 갖는 것이 바람직하다.
이들 자석 (6) 은, 내측 프레임체 (2b) 에 있어서의 외주 측면에, 불연속적으로 배치될 수도 있다. 이 때, 1 쌍의 단변에 각각 배치된 자석 (6) (불연속적인 자석 (6)) 이, 1 쌍의 자석 (6) 을 형성하는 것이 바람직하고, 또, 1 쌍의 장변에 각각 배치된 자석 (6) (불연속적인 자석 (6)) 이, 1 쌍의 자석 (6) 을 형성하는 것이 바람직하다.
실시형태 3 에 관련된, 자석 (6) 을 구비한 프레임체 (2B) 에도, 방진 구조체 (1B) 를 매달아 올리기 가능하게 하는 단차 및/또는 경사를 포함하는 조가 수용부가 형성되어 있어도 된다. 조가 수용부로는 실시형태 2 에서 예시한 것과 같은 오목부 (5a), 테이퍼부 (5b), 볼록부 (5c), 및 계단상 오목부 (5d) 와 동일한 구성으로 할 수 있다.
본 실시형태의 방진 구조체 (1) 에서는, 나사에 의한 고정과, 자석에 의한 고정을 조합할 수도 있다. 즉, 프레임체 (2 (2A, 2B)) 에는, 나사 구멍 (4a) 또는 나사 홈 (4b) 이 형성됨과 함께, 자석 (6) 이 배치되어 있어도 된다.
이상 설명한, 실시형태 2, 실시형태 3 및 이에 관한 다른 실시형태, 그리고 또 다른 실시형태는, 서로 조합할 수 있다. 예를 들어, 내측 프레임체에 있어서의 방진막측의 면과, 외측 프레임체에 있어서의 방진막측의 면 사이의 면 (내측 프레임체에 있어서의 외주 측면) 은, 오목부와, 볼록부와, 테이퍼부 (확폭부) 중 적어도 2 개를 동시에 가질 수 있다. 또, 이상 설명한, 실시형태 2, 실시형태 3 및 이에 관한 다른 실시형태, 그리고 또 다른 실시형태는, 상기의 실시형태 1 과도 조합할 수도 있다.
본 발명에 의한 방진 구조체를 사용함으로써, OAS 방식의 얼라인먼트 유닛용의 방진 커버로서 바람직한 것이 되고, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체로서 널리 이용할 수 있다.
1, 1A, 1B : 방진 구조체
2, 2A, 2B : 프레임체
2a : 개구
2b : 내측 프레임체 (내주부)
2c : 외측 프레임체 (외측부)
3 : 방진막
4a : 나사 구멍
4b : 나사 홈
5a : 오목부 (조가 수용부)
5b : 테이퍼부 (조가 수용부)
5c : 볼록부 (조가 수용부)
5d : 오목부 (조가 수용부)
6 : 자석
10 : 노광 장치
11 : 마스크
11a : 패턴
12 : 마스크 스테이지
13 : 기판
13a : 감광층
14 : 기판 스테이지
15 : 조명 광학계
16 : 오목면경
17 : 볼록면경
18 : 절곡경
20 : AS (얼라인먼트 스코프)
21 : OAS (오프액시스 얼라인먼트 스코프)
21a : 조명부

Claims (15)

  1. 개구를 형성하는 프레임체와,
    상기 프레임체의 일방면측에, 상기 개구를 덮도록 전장 지지된 방진막을 구비한 방진 구조체로서,
    상기 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 기계적으로 고정하기 위한 고정부와, 상기 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 고정하기 위한 자석 중 적어도 일방을 구비하는, 얼라인먼트 유닛용의 방진 구조체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 방진막은, 파장 440 ∼ 780 ㎚ 의 광에 대해, 입사각 -10°∼ 10°에 있어서의 투과율이 80 ％ 이상인, 방진 구조체.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 방진막의 펄럭임량이, -3.0 mm ∼ ＋3.0 mm 인, 방진 구조체.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임체의 일방면측은, 상기 방진막이 배치되는 부분과, 상기 방진막이 배치되어 있지 않은 부분을 갖고,
    상기 고정부는, 상기 프레임체의 일방면측에 있어서의, 상기 방진막이 배치되어 있지 않은 부분에 형성되는, 방진 구조체.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임체에 포함되는 황산 이온이 0.3 ppm 이하인, 방진 구조체.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임체의 타면측은, 점착층이 형성되어 있지 않은, 비점착면으로 되어 있는, 방진 구조체.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    합계 2 개 이상 합계 16 개 이하의 상기 고정부를 구비하는, 방진 구조체.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임체는, 상기 개구를 형성하는 내주부와, 상기 내주부의 측면의 일부로부터 외측으로 돌출되는 외측부를 구비하는, 방진 구조체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 외측부는, 상기 방진 구조체를 얼라인먼트 유닛에 나사 고정하기 위한 나사 홈 및/또는 나사 구멍을 획정하는 상기 고정부를 갖는, 방진 구조체.
  10. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방진 구조체는, 그 방진 구조체를 매달아 올리기 가능하게 하는 단차 및/또는 경사를 포함하는 조가 수용부를 갖는, 방진 구조체.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 조가 수용부는, 상기 내주부에 있어서의, 상기 외측부가 형성된 상기 측면에 형성되는, 방진 구조체.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임체의 평탄도가 0 초과 200 ㎛ 이하인, 방진 구조체.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방진막의 막두께는, 1.5 ∼ 8.0 ㎛ 인, 방진 구조체.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정부가 상정하는 나사의 중심축을 포함하고, 또한, 상기 방진막에 직교하는 절단면에서 봤을 때, 하기 (1) ∼ (3) 중 어느 것을 만족하는 영역을 포함하는, 방진 구조체.
    (1) 상기 방진막이 상기 내주부에 전장 지지된 부분의 폭 (T1) 이, 상기 내주부의 두께 (H1) 를 초과한다 (T1 ＞ H1 ＞ 0)
    (2) 상기 외측부의 두께 (H2) 가, 상기 내주부의 두께 (H1) 의 1/2 이하 (1/2·H1 ≥ H2 ＞ 0) 이다
    (3) 상기 개구의 나사 수용폭 (T3) 에 대한, 상기 내주부 및 상기 외측부의 합계폭 (T2) 의 비 (T2/T3) 가 1 ∼ 13 의 범위 내이다
  15. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임체와, 상기 방진막은, 서로 상이한 고유 진동수를 갖는, 방진 구조체.
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