KR20230034740A

KR20230034740A - 특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20230034740A
Application number: KR1020210117864A
Authority: KR
Inventors: 최재영; 홍우건; 이기원; 윤혁
Original assignee: (주)디씨티케이
Priority date: 2021-09-03
Filing date: 2021-09-03
Publication date: 2023-03-10

Abstract

특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법이 개시된다. 특수 패드의 점착력 측정 방법은, 특수 패드를 이동스테이지에 부착하는 단계; 측정기의 대기 위치에서, 측정 시작을 선택하면, 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 하강위치로 서서히 하강하고, 상기 이동스테이지가 일측으로 이동하여 상기 특수패드에 상기 측정필름이 부착되는 동시에 상기 가압롤러가 하강하여 상기 측정필름을 상기 특수패드에 가압하여 압착하는 단계; 상기 제어부의 제어에 의해 상기 가압롤러가 상승하고, 상기 이동스테이지가 타측으로 이동하면서 상기 측정기가 상기 대기 위치까지 상승을 하고 상기 측정기가 특수패드에서 상기 측정필름이 분리될 때 점착력을 측정하여 출력하는 단계; 상기 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 하강위치로 서서히 하강하고, 상기 이동스테이지가 타측으로 이동하고, 상기 측정필름에 세정제를 분사하는 단계;상기 제어부의 제어에 의해 세정롤러가 상기 이동스테이지로 하강하여 상기 측정필름을 세정하고, 블로워가 상기 측정필름을 건조시키는 단계를 포함한다. 본 발명의 실시예에서는, 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 특수 패드의 점착력을 자동으로 측정할 수 있다.

Description

특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법 {An apparatus and method for measuring adhesion of special pads}

본 발명은 특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 특수 패드의 점착력을 자동으로 측정하는, 특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.

이하에 기술되는 내용은 단순히 본 발명과 관련되는 배경 정보만을 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것이 아니다.

일반적으로 디스플레이 장치의 제조에는 많은 부품이 사용된다.

이중에서 특수 패드는 물체의 고정 및 탈/부착을 위하여 주로 사용된다.

그런데, 특수 패드는 일정 기준 이상의 점착력을 가져야만 기능을 발휘할 수 있다.

그런데 종래에는 사용자가 점착력 측정 장비를 이용하여 특수 패드의 점착력을 측정하였는데, 측정의 정밀성을 객관적으로 담보하기 어려우며, 시간 및 인건비가 상승하는 문제가 있다.

따라서, 간편하게 특수 패드의 점착력을 자동으로 측정할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.

본 발명이 이루고자 하는 과제는 종래의 문제를 해결하고자 하는 것으로, 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 특수 패드의 점착력을 자동으로 측정하는, 특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 과제는 종래의 문제를 해결하고자 하는 것으로, 특수 패드에 측정 필름을 자동으로 붙인 후, 점착력을 측정하고, 이후 자동으로 측정 필름을 세정하도록 하여 시간 및 인건비를 절약하는, 특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

이러한 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 특징에 따른 특수 패드의 점착력 측정 장치는,

좌우로 이동이 가능한 이동스테이지에 특수 패드를 고정시켜 상기 특수 패드의 점착력을 측정하는, 특수 패드의 점착력 측정 장치로서,

일단이 상기 이동스테이지의 제1 측정필름 고정부에 고정되는 측정필름;

상부의 제2 측정필름 고정부에 상기 측정필름의 타단을 고정하여 점착력을 측정하는 측정기;

상기 측정기를 상하로 구동하기 위한 측정기 구동부;

상기 측정필름을 가압하여 상기 측정필름을 특수 패드에 접착하기 위한 가압롤러;

상기 가압롤러를 구동하기 위한 가압롤러 구동부;

사용자의 선택을 입력받는 입력부;

상기 입력부 선택에 따라 상기 이동스테이지를 구동하고, 상기 가압롤러 구동부를 구동하여 상기 측정필름을 상기 특수 패드에 부착하고, 상기 측정기를 구동하여 점착력을 측정하도록 제어하는 제어부를 포함한다.

상기 이동스테이지를 구동하기 위한 이동스테이지 구동부를 더 포함한다.

상기 측정필름에 세정액을 분사하는 분사노즐;

상기 측정필름을 세정하기 위하여 회전하면서 와이퍼로 상기 측정필름을 세정하는 세정롤러;

상기 세정롤러를 구동하는 세정롤러 구동부;

상기 세정롤러를 구동하는 롤 와이퍼;

상기 롤와이퍼를 구동하는 롤와이퍼 구동부;

상기 세정된 측정필름을 건조하는 블로워를 더 포함하고,

상기 제어부는 상기 분사노즐을 구동하여 세정액을 상기 측정필름에 분사하고, 상기 세정롤러 구동부 및 롤와이퍼 구동부를 구동하여 와이퍼로 상기 측정필름을 세정하고, 상기 블로워를 구동하여 상기 세정된 측정필름을 건조시키도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

공기를 정화하는 FFU;

내부 공기를 배기하는 배기펌프를 더 포함하고,

상기 제어부는 상기 FFU 및 배기펌프를 구동하여 내부 공기를 정화하고 배기하는 것을 특징으로 한다.

이러한 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 특징에 따른 특수패드의 점착력 측정 방법은,

측정기와 이동스테이지에 측정필름을 장착하는 단계;

상기 측정기를 대기 위치로 이동시키는 단계;

특수패드의 보호필름을 제거하는 단계;

상기 특수 패드를 이동스테이지에 부착하는 단계;

상기 측정기의 대기 위치에서, 측정 시작을 선택하면, 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 하강위치로 서서히 하강하고, 상기 이동스테이지가 일측으로 이동하여 상기 특수패드에 상기 측정필름이 부착되는 동시에 상기 가압롤러가 하강하여 상기 측정필름을 상기 특수패드에 가압하여 압착하는 단계;

상기 제어부의 제어에 의해 상기 가압롤러가 상승하고, 상기 이동스테이지가 타측으로 이동하면서 상기 측정기가 상기 대기 위치까지 상승을 하고 상기 측정기가 특수패드에서 상기 측정필름이 분리될 때 점착력을 측정하여 출력하는 단계를 포함한다.

상기 방법은,

상기 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 하강위치로 서서히 하강하고, 상기 이동스테이지가 타측으로 이동하고, 상기 측정필름에 세정제를 분사하는 단계;

상기 제어부의 제어에 의해 세정롤러가 상기 이동스테이지로 하강하여 상기 측정필름을 세정하고, 블로워가 상기 측정필름을 건조시키는 단계를 더 포함한다.

상기 방법은,

상기 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 상기 대기위치로 상승하는 단계를 더 포함한다

개시된 기술의 실시 예들은 다음의 장점들을 포함하는 효과를 가질 수 있다. 다만, 개시된 기술의 실시 예들이 이를 전부 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.

본 발명의 실시예에서는, 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 특수 패드의 점착력을 자동으로 측정하는, 특수 패드의 점착력 측정 장치 및 방법을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에서는, 특수 패드에 측정 필름을 자동으로 붙인후, 점착력을 측정하고, 이후 자동으로 측정 필름을 세정하도록 하여 측정의 정밀성을 객관적으로 담보하고, 시간 및 인건비를 절약하는,특수패드의 점착력 측정 장치 및 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드의 점착력 측정 장치의 블록 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드의 점착력 측정 장치의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드의 점착력 측정 방법의 동작 흐름도이다.
도 4 내지 도 11는 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드의 점착력 측정 방법에서 각 단계의 세부 과정을 설명하기 위한 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않으며, 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.

본 명세서에서 사용되는 용어에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 해석되지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 그리고 "포함한다" 등의 용어는 설시된 특징, 개수, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 의미하는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 개수, 단계 동작 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도면에 대한 상세한 설명을 하기에 앞서, 본 명세서에서의 구성부들에 대한 구분은 각 구성부가 담당하는 주기능 별로 구분한 것에 불과함을 명확히 하고자 한다. 즉, 이하에서 설명할 2개 이상의 구성부가하나의 구성부로 합쳐지거나 또는 하나의 구성부가 보다 세분화된 기능별로 2개 이상으로 분화되어 구비될 수도 있다.

그리고 이하에서 설명할 구성부 각각은 자신이 담당하는 주기능 이외에도 다른 구성부가 담당하는 기능 중 일부 또는 전부의 기능을 추가적으로 수행할 수도 있으며, 구성부 각각이 담당하는 주기능 중 일부 기능이 다른 구성부에 의해 전담되어 수행될 수도 있음은 물론이다. 따라서, 본 명세서를 통해 설명되는 각 구성부들의 존재 여부는 기능적으로 해석되어야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드의 점착력 측정 장치의 블록 구성도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드의 점착력 측정 장치의 개략적인 구성도이다.

도 1 또는 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드의 점착력 측정 장치는,

좌우(X축 방향)로 이동이 가능한 이동스테이지(151)에 특수 패드(300)를 고정시켜 상기 특수 패드(300)의 점착력을 측정하는, 특수 패드(300)의 점착력 측정 장치로서,

일단이 상기 이동스테이지(151)의 제1 측정필름 고정부(152)에 고정되는 측정필름(310);

상부의 제2 측정필름 고정부(162)에 상기 측정필름(310)의 타단을 고정하여 점착력을 측정하는 측정기(161);

상기 측정기(161)를 상하로 구동하기 위한 측정기 구동부(160);

상기 측정필름(310)을 가압하여 상기 측정필름(310)을 특수 패드(300)에 접착하기 위한 가압롤러(171);

상기 가압롤러(171)를 구동하기 위한 가압롤러 구동부(170);

사용자의 선택을 입력받는 입력부(130);

정보를 디스플레이하는 표시부(120);

정보 또는 프로그램을 저장하는 메모리(110);

상기 입력부(130) 선택에 따라 상기 이동스테이지(151)를 구동하고, 상기 가압롤러 구동부(170)를 구동하여 상기 측정필름(310)을 상기 특수 패드(300)에 부착하고, 상기 측정기(161)를 구동하여 점착력을 측정하도록 제어하는 제어부(140)를 포함한다.

상기 제어부(140)는 상기 메모리(110)의 제어프로그램을 실행할 수 있고, 입력부(130)의 선택된 정보를 입력받고, 선택된 정보를 표시부에 표시할 수 있다.

상기 측정기(161)는 기존의 측정기를 이용할 수 있으며, 점착력 측정 방식은, 부하를 측정하거나 장력을 측정하는 등 다양한 방식으로 점착력이 측정될 수 있다.

상기 이동스테이지(151)를 X축 방향 즉, 좌우로 소정 거리 구동하기 위한 이동스테이지 구동부(150)를 더 포함한다.

상기 측정필름(310)에 세정액을 분사하는 분사노즐(210);

상기 측정필름(310)을 세정하기 위하여 회전하면서 와이퍼(193)로 상기 측정필름(310)을 세정하는 세정롤러(181);

상기 세정롤러(181)를 구동하는 세정롤러 구동부(180);

상기 세정롤러(181)를 구동하며, 와이퍼(193)가 롤형태로 감겨 있는 롤 와이퍼(191);

상기 롤와이퍼를 구동하는 롤와이퍼 구동부(190);

상기 세정된 측정필름(310)을 건조하는 블로워를 더 포함하고,

상기 제어부(140)는 상기 분사노즐(210)을 구동하여 세정액을 상기 측정필름(310)에 분사하고, 상기 세정롤러 구동부(180) 및 롤와이퍼 구동부(190)를 구동하여 와이퍼(193)로 상기 측정필름(310)을 세정하고, 상기 이온 블로워(240)를 구동하여 상기 세정된 측정필름(310)을 건조시키도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

필요에 따라 상기 세정롤러 구동부(180) 및 롤와이퍼 구동부(190)는 하나만을 구동할 수 있으며, 천 등의 재질인 롤와이퍼(191)의 이동에 따라 한쪽은 수동으로 회전될 수 있다.

또한, 상기 세정롤러 구동부(180) 및 롤와이퍼 구동부(190) 사이에는 텐션조절 및 속도 조절을 위한 브레이크(192)가 설치될 수도 있다.

필요에 따라 공기를 정화하는 FFU(230);

내부 공기를 배기하는 배기펌프(220)를 더 포함하고,

상기 제어부(140)는 상기 FFU(230) 및 배기펌프(220)를 구동하여 내부 공기를 정화하고 배기하는 것을 특징으로 한다.

상기 특수패드는 반도체 제조에 사용되는 마이크로 패드 등 다양한 패드일 수 있다.

이러한 구성을 가진 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드(300)의 점착력 측정 장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드(300)의 점착력 측정 방법의 동작 흐름도이고, 도 4 내지 도 11는 본 발명의 실시예에 따른 특수 패드(300)의 점착력 측정 방법에서 각 단계의 세부 과정을 설명하기 위한 도면이다.

도 3을 참조하면, 먼저 사용자는 측정기와 이동스테이지에 측정필름을 장착한다(S110).

그리고 나서, 제어부가 상기 측정기를 대기 위치로 이동시킨다(S120).

다음, 특수 패드(300)의 보호필름을 제거한다(S130). 도 4를 참조하면, 특수패드(300)의 상부에 붙어 있는 보호필름을 수동으로 제거한다. 바람직하기로 상기 특수패드(300)의 크기는 최소 50mm*50mm 내지 최대2600mm*2250mm 사이이다.

그리고 나서, 도 5를 참조하면, 사용자는 특수 패드(300)를 이동스테이지(151)에 상부에 부착한다(S140). 필요에 따라 진공으로 특수패드(300)를 이동스테이지(151)에 부착할 수 있다.

그리고, 도 6을 참조하면, 측정기(161)의 대기 위치에서, 사용자는 입력부(130)로 측정 시작을 선택한다. 이외에도 사용자는 입력부(130)로 다른 메뉴를 선택할 수 있고, 이에 따라 제어부(140)가 다른 동작을 수행하거나 표시부에 정보를 표시할 수 있다.

그러면, 제어부(140)의 제어에 의해 상기 측정기(161)가 하강위치로 서서히 Z축으로 하강하고, 상기 이동스테이지(151)가 X축 우측으로 이동하여 상기 특수패드(300)에 상기 측정필름(310)이 부착되는 동시에 상기 가압롤러(171)가 하강하여 상기 측정필름(310)을 상기 특수패드(300)에 가압하여 압착한다(S150). 이러한 상태를 도 7에 도시하였다.

그리고 나서, 도 8을 참조하면, 상기 제어부(140)의 제어에 의해 상기 가압롤러(171)가 상승하고, 상기 이동스테이지(151)가 X축 좌측으로 이동하면서 상기 측정기(161)가 상기 대기 위치까지 Z축으로 상승을 하고, 상기 측정기(161)가 특수패드(300)에서 상기 측정필름(310)이 분리될 때 점착력을 측정하여 출력한다(S160).

그리고 나서, 도 9와 같이 상기 제어부(140)의 제어에 의해 상기 측정기(161)가 서서히 Z축으로하강하고, 상기 이동스테이지(151)가 X측 좌측으로 이동하고, 상기 측정필름(310)에 세정제를 분사한다(S170). 이때, 세정제는 스프레이 타입으로 분사된다.

다음, 상기 제어부(140)의 제어에 의해 세정롤러(181)가 상기 이동스테이지(151)로 하강하여 상기 측정필름(310)을 세정하고, 블로워(240)가 상기 측정필름(310)을 건조시킨다(S180). 이때, 도 10을 참조하면, 상기 세정롤러 구동부(180)가 세정롤러(181)를 회전시키고, 롤와이퍼 구동부(190)가 롤와이퍼(191)를 구동하고, 이에 따라 와이퍼(193)가 세정제가 분사되어 있는 측정필름(310)을 닦게 된다. 이때 제어부(140)는 이동스테이지(151)도 X축 좌측으로 이동시킨다.

그리고 나서, 도 11을 참조하면, 상기 제어부(140)의 제어에 의해 상기 측정기(161)가 상기 대기위치로 상승한다(S190).

그리고 상기 과정(S130~S190)을 반복하여 수행함으로써 다른 특수패드(300)의 점착력을 자동으로 측정할 수 있다.

본 발명의 실시예에서는, 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 특수 패드의 점착력을 자동으로 측정할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에서는, 특수 패드(300)에 측정 필름을 자동을 붙인 후, 점착력을 측정하고, 이후 자동으로 측정 필름을 세정하도록 하여 시간 및 인건비를 절약할 수 있다.

개시된 기술의 일 실시예는 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예 가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 개시된 기술의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims

좌우로 이동이 가능한 이동스테이지에 특수 패드를 고정시켜 상기 특수 패드의 점착력을 측정하는, 특수 패드의 점착력 측정 장치로서,
일단이 상기 이동스테이지의 제1 측정필름 고정부에 고정되는 측정필름;
상부의 제2 측정필름 고정부에 상기 측정필름의 타단을 고정하여 점착력을 측정하는 측정기;
상기 측정기를 상하로 구동하기 위한 측정기 구동부;
상기 측정필름을 가압하여 상기 측정필름을 특수 패드에 접착하기 위한 가압롤러;
상기 가압롤러를 구동하기 위한 가압롤러 구동부;
사용자의 선택을 입력받는 입력부;
상기 입력부 선택에 따라 상기 이동스테이지를 구동하고, 상기 가압롤러 구동부를 구동하여 상기 측정필름을 상기 특수 패드에 부착하고, 상기 측정기를 구동하여 점착력을 측정하도록 제어하는 제어부를 포함하는 특수 패드의 점착력 측정 장치.
제1항에 있어서,
상기 이동스테이지를 구동하기 위한 이동스테이지 구동부를 더 포함하는 특수 패드의 점착력 측정 장치.
제2항에 있어서,
상기 측정필름에 세정액을 분사하는 분사노즐;
상기 측정필름을 세정하기 위하여 회전하면서 와이퍼로 상기 측정필름을 세정하는 세정롤러;
상기 세정롤러를 구동하는 세정롤러 구동부;
상기 세정롤러를 구동하는 롤 와이퍼;
상기 롤와이퍼를 구동하는 롤와이퍼 구동부;
상기 세정된 측정필름을 건조하는 블로워를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 분사노즐을 구동하여 세정액을 상기 측정필름에 분사하고, 상기 세정롤러 구동부 및 롤와이퍼 구동부를 구동하여 와이퍼로 상기 측정필름을 세정하고, 상기 블로워를 구동하여 상기 세정된 측정필름을 건조시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 특수 패드의 점착력 측정 장치.
제3항에 있어서,
공기를 정화하는 FFU;
내부 공기를 배기하는 배기펌프를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 FFU 및 배기펌프를 구동하여 내부 공기를 정화하고 배기하는 것을 특징으로 하는 특수 패드의 점착력 측정 장치.
측정기와 이동스테이지에 측정필름을 장착하는 단계;
상기 측정기를 대기 위치로 이동시키는 단계;
특수패드의 보호필름을 제거하는 단계;
상기 특수 패드를 이동스테이지에 부착하는 단계;
측정기의 대기 위치에서, 측정 시작을 선택하면, 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 하강위치로 서서히 하강하고, 상기 이동스테이지가 일측으로 이동하여 상기 특수패드에 상기 측정필름이 부착되는 동시에 상기 가압롤러가 하강하여 상기 측정필름을 상기 특수패드에 가압하여 압착하는 단계;
상기 제어부의 제어에 의해 상기 가압롤러가 상승하고, 상기 이동스테이지가 타측으로 이동하면서 상기 측정기가 상기 대기 위치까지 상승을 하고 상기 측정기가 특수패드에서 상기 측정필름이 분리될 때 점착력을 측정하여 출력하는 단계를 포함하는 특수 패드의 점착력 측정 방법.
제5항에 있어서,
상기 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 하강위치로 서서히 하강하고, 상기 이동스테이지가 타측으로 이동하고, 상기 측정필름에 세정제를 분사하는 단계;
상기 제어부의 제어에 의해 세정롤러가 상기 이동스테이지로 하강하여 상기 측정필름을 세정하고, 블로워가 상기 측정필름을 건조시키는 단계를 더 포함하는 특수 패드의 점착력 측정 방법.
제6항에 있어서,
상기 제어부의 제어에 의해 상기 측정기가 상기 대기위치로 상승하는 단계를 더 포함하는 특수 패드의 점착력 측정 방법.