KR20230034671A - Apparatus for treating substrate and method for measuring pressure using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 처리 장치 및 이를 이용하여 압력을 측정하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus and a method for measuring pressure using the same.
반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 사진, 식각, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 일반적으로, 각각의 공정이 수행되는 공정 챔버에는 파티클 확산을 방지하기 위한 하강 기류가 형성된다. 하강 기류 형성을 위해 각 공정 챔버의 상부에는 하강 기류를 형성하는 팬 필터 유닛이 제공되고 하부에는 공정 챔버를 배기하기 위한 배기 부재가 제공된다. 파티클은 팬 필터 유닛이 발생시킨 하강 기류를 타고 배기 부재를 통해 외부로 배출된다.In order to manufacture a semiconductor device, various processes such as cleaning, deposition, photography, etching, and ion implantation are performed. In general, a descending airflow to prevent particle diffusion is formed in a process chamber where each process is performed. To form a descending airflow, a fan filter unit generating a descending airflow is provided at the upper part of each process chamber, and an exhaust member for exhausting the process chamber is provided at the lower part. Particles are discharged to the outside through the exhaust member on the descending air current generated by the fan filter unit.
하강 기류의 풍속은, 각 공정을 수행하는 동안 기판의 처리에 영향을 미친다. 또한, 하강 기류의 풍속은 기판을 각 공정 챔버로 이송하는 동안 기판에 형성된 막을 건조시키는 등의 영향을 미칠 수 있다.The wind speed of the downdraft affects the processing of the substrate during each process. In addition, the wind speed of the downdraft may have an effect such as drying a film formed on the substrate while transferring the substrate to each process chamber.
이에, 팬 필터 유닛의 풍속을 측정하여 제어할 필요가 있다. 일반적으로, 공정이 진행되지 않는 동안 팬 필터 유닛의 하부에서 작업자가 직접 풍속계를 사용하여 팬 필터 유닛의 풍속을 측정한다. Therefore, it is necessary to measure and control the wind speed of the fan filter unit. In general, while the process is not in progress, a worker directly measures the wind speed of the fan filter unit using an anemometer at the lower part of the fan filter unit.
그러나, 이와 같은 방법은 풍속계의 위치를 언제나 같은 지점에 두기 어렵고, 풍속계의 수평이 틀어질 수 있다. 또한, 측정 시간이나 측정 위치를 매번 같게 설정하기 어렵다. 이에, 측정 환경에 따라 풍속이 다르게 측정되는 문제가 있다.However, in this method, it is difficult to place the anemometer at the same position all the time, and the anemometer may be leveled. In addition, it is difficult to set the same measurement time or measurement position each time. Accordingly, there is a problem in that the wind speed is measured differently depending on the measurement environment.
또한, 공정이 진행되지 않는 동안 팬 필터 유닛의 풍속을 측정하므로, 기판이 공정 레시피에 따라 순차적으로 처리되는 동안 팬 필터 유닛의 기판에 대한 영향을 알기 어려운 문제가 있다.In addition, since the wind speed of the fan filter unit is measured while the process is not in progress, it is difficult to know the effect of the fan filter unit on the substrate while the substrate is sequentially processed according to the process recipe.
본 발명은 팬 필터 유닛의 풍속을 측정할 시에 측정 환경에 따른 오차를 줄이기 위한 기판 처리 장치 및 압력 측정 방법을 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus and a pressure measurement method for reducing an error due to a measurement environment when measuring wind speed of a fan filter unit.
또한, 본 발명은 팬 필터 유닛의 기판에 대한 영향을 정확하게 측정하기 위한 기판 처리 장치 및 압력 측정 방법을 제공하기 위한 것이다. In addition, the present invention is to provide a substrate processing apparatus and a pressure measuring method for accurately measuring the influence of a fan filter unit on a substrate.
본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 일 실시예에서, 기판 처리 장치는, 내부에서 기판이 처리되는 처리 공간을 가지는 하우징; 처리 공간 내에서 기판을 지지하는 지지 유닛; 지지 유닛에 지지된 기판으로 처리액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛과; 처리 공간 내로 기체를 주입하여 하강 기류를 형성하는 팬 필터 유닛; 및 처리 공간 내부에 제공되어 하강 기류의 압력을 측정하고 압력에 기초하여 감지 신호를 생성하는 압력 센서를 가지는 측정 부재를 포함하고, 측정 부재는, 처리 공간 내에서 기판이 놓이는 위치와 대응되는 위치에 제공될 수 있다.The present invention provides an apparatus for processing a substrate. According to an embodiment of the present invention, in one embodiment, a substrate processing apparatus includes a housing having a processing space in which a substrate is processed; a support unit supporting the substrate within the processing space; a liquid supply unit having a nozzle supplying a processing liquid to the substrate supported by the support unit; a fan filter unit injecting gas into the processing space to form a downdraft; and a measuring member having a pressure sensor provided inside the processing space to measure the pressure of the downdraft and to generate a sensing signal based on the pressure, wherein the measuring member is located at a position in the processing space corresponding to a position where the substrate is placed. can be provided.
일 실시예에서, 측정 부재는 기판의 중앙 영역에 대응되는 위치와 기판의 가장자리 영역에 대응되는 위치 간으로 이동 가능하도록 제공될 수 있다.In one embodiment, the measurement member may be provided to be movable between a position corresponding to the central region of the substrate and a position corresponding to the edge region of the substrate.
일 실시예에서, 측정 부재는, 감지 신호를 전달받고 하강 기류의 압력의 측정 데이터를 수집하고 측정 데이터가 정상 범위 내인지 여부를 판단하며 측정 데이터를 기반으로 팬 필터 유닛의 풍속을 제어하는 제어부; 제어부의 판단 결과에 따라 측정 데이터의 정상 여부를 통지하는 알람부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the measurement member may include: a control unit that receives a detection signal, collects measurement data of the pressure of the downdraft, determines whether the measurement data is within a normal range, and controls the wind speed of the fan filter unit based on the measurement data; An alarm unit notifying whether or not the measurement data is normal according to the determination result of the control unit may be further included.
일 실시예에서, 노즐의 상부에 제공될 수 있다.In one embodiment, it may be provided at the top of the nozzle.
일 실시예에서, 노즐을 기판의 중앙 영역과 기판의 가장자리 영역 간으로 이동시키는 구동 부재를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, it may further include a driving member that moves the nozzle between the central region of the substrate and the edge region of the substrate.
일 실시예에서, 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고, 제어기는, 노즐이 기판 상으로 액을 공급하는 동안 측정 부재가 하강 기류의 압력을 측정하도록 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어할 수 있다.In one embodiment, it further includes a controller that controls the liquid supply unit and the measuring member, the controller controls the liquid supply unit and the measuring member so that the measuring member measures the pressure of the downdraft while the nozzle supplies the liquid onto the substrate. You can control it.
일 실시예에서, 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고, 제어기는, 노즐이 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 측정 부재가 하강 기류의 압력을 측정하도록 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어할 수 있다.In one embodiment, it further includes a controller that controls the liquid supply unit and the measurement member, the controller such that the liquid supply unit and the measurement member measure the pressure of the downdraft while the nozzle is not supplying liquid onto the substrate. can control.
일 실시예에서, 상부가 개방되며 지지 유닛을 감싸도록 제공되는 컵; 컵 하부에 제공되어 처리 공간을 배기하는 배기 유닛을 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the cup has an open top and is provided to enclose the support unit; An exhaust unit provided under the cup to exhaust the processing space may be further included.
일 실시예에서, 측정 부재는, 팬 필터 유닛과 대향하는 위치에 제공될 수 있다.In one embodiment, the measuring member may be provided at a position facing the fan filter unit.
또한, 기판 처리 장치는, 일 실시예에서, 내부에서 기판이 처리되는 처리 공간을 가지는 하우징; 처리 공간 내에서 기판을 지지하는 지지 유닛; 지지 유닛에 지지된 기판으로 처리액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛과; 처리 공간 내로 기체를 주입하여 하강 기류를 형성하는 팬 필터 유닛; 및 처리 공간 내부에 제공되어 하강 기류의 압력을 측정하고 압력에 기초하여 감지 신호를 생성하는 압력 센서를 가지는 측정 부재를 포함하고, 측정 부재는, 노즐의 상부에 제공될 수 있다.Further, the substrate processing apparatus, in one embodiment, includes a housing having a processing space in which a substrate is processed; a support unit supporting the substrate within the processing space; a liquid supply unit having a nozzle supplying a processing liquid to the substrate supported by the support unit; a fan filter unit injecting gas into the processing space to form a downdraft; and a measuring member having a pressure sensor provided inside the processing space to measure the pressure of the downdraft and to generate a sensing signal based on the pressure, wherein the measuring member may be provided above the nozzle.
일 실시예에서, 측정 부재는, 감지 신호를 전달받고 하강 기류의 압력의 측정 데이터를 수집하고 측정 데이터가 정상 범위 내인지 여부를 판단하며 측정 데이터를 기반으로 팬 필터 유닛의 풍속을 제어하는 제어부; 제어부의 판단 결과에 따라 측정 데이터의 정상 여부를 통지하는 알람부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the measurement member may include: a control unit that receives a detection signal, collects measurement data of the pressure of the downdraft, determines whether the measurement data is within a normal range, and controls the wind speed of the fan filter unit based on the measurement data; An alarm unit notifying whether or not the measurement data is normal according to the determination result of the control unit may be further included.
일 실시예에서, 노즐을 기판의 중앙 영역과 기판의 가장자리 영역 간으로 이동시키는 구동 부재를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, it may further include a driving member that moves the nozzle between the central region of the substrate and the edge region of the substrate.
일 실시예에서, 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고, 제어기는, 노즐이 기판 상으로 액을 공급하는 동안 측정 부재가 하강 기류의 압력을 측정하도록 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어할 수 있다.In one embodiment, it further includes a controller that controls the liquid supply unit and the measuring member, the controller controls the liquid supply unit and the measuring member so that the measuring member measures the pressure of the downdraft while the nozzle supplies the liquid onto the substrate. You can control it.
일 실시예에서, 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고, 제어기는, 노즐이 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 측정 부재가 하강 기류의 압력을 측정하도록 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어할 수 있다.In one embodiment, it further includes a controller that controls the liquid supply unit and the measurement member, the controller such that the liquid supply unit and the measurement member measure the pressure of the downdraft while the nozzle is not supplying liquid onto the substrate. can control.
일 실시예에서, 상부가 개방되며 지지 유닛을 감싸도록 제공되는 컵; 컵 하부에 제공되어 처리 공간을 배기하는 배기 유닛을 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the cup has an open top and is provided to enclose the support unit; An exhaust unit provided under the cup to exhaust the processing space may be further included.
일 실시예에서, 측정 부재는, 팬 필터 유닛과 대향하는 위치에 제공될 수 있다.In one embodiment, the measuring member may be provided at a position facing the fan filter unit.
또한, 본 발명은 압력 측정 방법을 제공한다. 일 예에서, 압력 측정 방법은, 측정 부재는 팬 필터 유닛과 대향하는 위치에서, 기판의 중앙 영역에 대응되는 위치와 기판의 가장자리 영역에 대응되는 위치 간으로 이동하며 처리 공간의 압력을 측정할 수 있다.In addition, the present invention provides a method for measuring pressure. In one example, the pressure measuring method may measure the pressure in the processing space by moving the measuring member between a position corresponding to the central region of the substrate and a position corresponding to the edge region of the substrate at a position facing the fan filter unit. there is.
일 실시예에서, 측정 부재는, 노즐의 상부에 제공될 수 있다.In one embodiment, the measuring member may be provided on top of the nozzle.
일 실시예에서, 노즐이 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 처리 공간의 압력을 측정할 수 있다.In one embodiment, the pressure in the process space can be measured while the nozzle is not supplying liquid onto the substrate.
일 실시예에서, 노즐이 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 처리 공간의 압력을 측정할 수 있다.In one embodiment, the pressure in the process space can be measured while the nozzle is not supplying liquid onto the substrate.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 팬 필터 유닛의 풍속을 측정할 시에 측정 환경에 따른 오차를 줄일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, when measuring the wind speed of the fan filter unit, an error due to a measurement environment can be reduced.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 팬 필터 유닛의 기판에 대한 영향을 정확하게 측정할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the effect of the fan filter unit on the substrate can be accurately measured.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 도포 블럭 또는 현상 블럭을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 액처리 챔버의 일 예를 간략하게 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4의 측정부재를 상부에서 바라본 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 처리 공간의 압력을 측정하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따라 처리 공간의 압력을 측정하는 모습을 나타내는 도면이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a substrate processing apparatus showing an application block or a developing block of FIG. 1 .
FIG. 3 is a plan view of the substrate processing apparatus of FIG. 1 .
FIG. 4 is a view schematically illustrating an example of the liquid processing chamber of FIG. 3 .
5 is a view of the measuring member of FIG. 4 viewed from above.
6 is a diagram illustrating a state in which pressure in a processing space is measured according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a state in which the pressure of a processing space is measured according to another embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following examples. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize clearer description.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(20, index module), 처리 모듈(30, treating module), 그리고 인터페이스 모듈(40, interface module)을 포함한다. 일 실시예에 의하며, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)은 순차적으로 일렬로 배치된다. 이하, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)이 배열된 방향을 제1 방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1 방향(12)과 수직한 방향을 제2 방향(14)이라 하고, 제1 방향(12) 및 제2 방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3 방향(16)이라 한다.Referring to FIGS. 1 to 3 , the
인덱스 모듈(20)은 기판(W)이 수납된 용기(10)로부터 기판(W)을 처리 모듈(30)로 반송하고, 처리가 완료된 기판(W)을 용기(10)로 수납한다. 인덱스 모듈(20)의 길이 방향은 제2 방향(14)으로 제공된다. 인덱스 모듈(20)은 로드포트(22)와 인덱스 프레임(24)을 가진다. 인덱스 프레임(24)을 기준으로 로드포트(22)는 처리 모듈(30)의 반대 측에 위치된다. 기판(W)들이 수납된 용기(10)는 로드포트(22)에 놓인다. 로드포트(22)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드포트(22)는 제2 방향(14)을 따라 배치될 수 있다. The
용기(10)로는 전면 개방 일체 식 포드(Front Open Unified Pod:FOUP)와 같은 밀폐용 용기(10)가 사용될 수 있다. 용기(10)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단(도시되지 않음)이나 작업자에 의해 로드포트(22)에 놓일 수 있다. As the
인덱스 프레임(24)의 내부에는 인덱스 로봇(2200)이 제공된다. 인덱스 프레임(24) 내에는 길이 방향이 제2 방향(14)으로 제공된 가이드 레일(2300)이 제공되고, 인덱스 로봇(2200)은 가이드 레일(2300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(2200)은 기판(W)이 놓이는 핸드(2220)를 포함하며, 핸드(2220)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다.An
처리 모듈(30)은 기판(W)에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행한다. 처리 모듈(30)은 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)을 가진다. 도포 블럭(30a)은 기판(W)에 대해 도포 공정을 수행하고, 현상 블럭(30b)은 기판(W)에 대해 현상 공정을 수행한다. 도포 블럭(30a)은 복수 개가 제공되며, 이들은 서로 적층되게 제공된다. 현상 블럭(30b)은 복수 개가 제공되며, 현상 블럭들(30b)은 서로 적층되게 제공된다. 도 2의 실시예에 의하면, 도포 블럭(30a)은 2개가 제공되고, 현상 블럭(30b)은 2개가 제공된다. 도포 블럭들(30a)은 현상 블럭들(30b)의 아래에 배치될 수 있다. 일 예에 의하면, 2개의 도포 블럭들(30a)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다. 또한, 2개의 현상 블럭들(30b)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다.The
도 3을 참조하면, 도포 블럭(30a)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 액 처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800)를 가진다. 열처리 챔버(3200)는 기판(W)에 대해 열처리 공정을 수행한다. 열처리 공정은 냉각 공정 및 가열 공정을 포함할 수 있다. 액처리 챔버(3600)는 기판(W) 상에 액을 공급하여 액막을 형성한다. 액막은 포토레지스트막 또는 반사방지막일 수 있다. 열처리 챔버(3200)는 복수 개로 제공된다. 열처리 챔버들(3200)은 제1방향(12)을 따라 나열되게 배치된다. 열처리 챔버들(3200)은 반송 챔버(3400)의 일측에 위치된다.Referring to FIG. 3 , the
반송 챔버(3400)는 도포 블럭(30a) 내에서 열처리 챔버(3200)와 액처리 챔버(3600) 간에 기판(W)을 반송한다. 반송 챔버(3400)는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공된다. 반송 챔버(3400)에는 반송 로봇(3422)이 제공된다. 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200), 액처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800) 간에 기판을 반송한다. 일 예에 의하면, 반송 로봇(3422)은 기판(W)이 놓이는 핸드(3420)를 가지며, 핸드(3420)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 챔버(3400) 내에는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공되는 가이드 레일(3300)이 제공되고, 반송 로봇(3422)은 가이드 레일(3300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다.The
액처리 챔버(3600)는 복수 개로 제공된다. 액처리 챔버들(3600) 중 일부는 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 액 처리 챔버들(3600)은 반송 챔버(3402)의 일측에 배치된다. 액 처리 챔버들(3600)은 제1방향(12)을 따라 나란히 배열된다. 액 처리 챔버들(3600) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 전단 액처리 챔버(3602)(front liquid treating chamber)라 칭한다. 액 처리 챔버들(3600)은 중 다른 일부는 인터페이스 모듈(40)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 후단 액처리 챔버(3604)(rear heat treating chamber)라 칭한다. A plurality of
전단 액처리 챔버(3602)는 기판(W)상에 제1액을 도포하고, 후단 액처리 챔버(3604)는 기판(W) 상에 제2액을 도포한다. 제1액과 제2액은 서로 상이한 종류의 액일 수 있다. 일 실시예에 의하면, 제1액은 반사 방지막이고, 제2액은 포토레지스트이다. 포토레지스트는 반사 방지막이 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액은 포토레지스트이고, 제2액은 반사방지막일 수 있다. 이 경우, 반사방지막은 포토레지스트가 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액과 제2액은 동일한 종류의 액이고, 이들은 모두 포토레지스트일 수 있다.The front
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액처리 챔버(3602, 3604)의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 6을 참조하면, 액 처리 챔버(3602, 3604)는 하우징(3610), 팬 필터 유닛(3670), 지지유닛(3640), 컵(3620), 액 공급 유닛(3660) 그리고 측정부재(700)를 가진다. 6 is a diagram schematically showing an example of
하우징(3610)의 측벽에는 기판(W)이 출입되는 반입구(도시되지 않음)가 형성된다. 반입구는 도어(도시되지 않음)에 의해 개폐될 수 있다. 컵(3620), 지지유닛(3640), 그리고 액 공급 유닛(3660)은 하우징(3610) 내에 제공된다. 하우징(3610)의 상벽에는 하우징(3260) 내에 하강 기류를 형성하는 팬 필터 유닛(3670)이 제공된다. An entrance (not shown) through which the substrate W is taken in and out is formed on the sidewall of the
일 예에서, 팬 필터 유닛(3670)은 회전에 따라 내부에 하강 기류를 형성하는 팬과 필터를 가지는 팬 필터(3670a)와 팬 필터(3670a)로 기체를 공급하는 에어 공급 라인(3670b)를 갖는다. 컵(3620)은 상부가 개방된 처리 공간을 가진다. In one example, the
지지유닛(3640)은 처리 공간 내에 배치되며, 기판(W)을 지지한다. 일 예에서, 지지유닛(3640)은 액처리 도중에 기판(W)이 회전 가능하도록 제공된다. 액 공급 유닛(3660)은 지지유닛(3640)에 지지된 기판(W)으로 액을 공급한다.The
컵(3620)은 상부가 개방된 처리 공간(1000)을 가진다. 지지유닛(3640)은 처리 공간(1000) 내에 배치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지유닛(3640)은 액처리 도중에 기판(W)이 회전 가능하도록 제공된다. 액공급유닛(3660)은 지지유닛(3640)에 지지된 기판(W)으로 액을 공급한다. 일 예에서, 컵(3620)의 하부에는 배기 유닛(3672)이 제공된다. 팬 필터 유닛(3670)에 의해 공급된 기체는 배기 유닛(3672)을 통해 빠져나가면서 하강기류를 형성하고, 하우징(3610)의 내부를 일정 청정도로 유지한다. The
액 공급 유닛(3660)은 기판 상으로 처리액을 공급한다. 액 공급 유닛(3660)은 노즐팁을 가지는 노즐(3662)과 노즐(3662)을 이동시키는 구동 부재(미도시)를 구비한다. 일 예에서, 구동부재(미도시)는 노즐(3662)를 기판(W)의 중앙 영역에 대응되는 위치와 기판의 가장자리 영역에 대응되는 위치 간으로 이동시킨다.The
측정 부재(700)는, 처리 공간(1000)에 제공되어 하강 기류의 압력을 측정한다. 측정 부재(700)는 압력 센서(701), 제어부(710) 그리고 알람부(720)를 갖는다. 압력 센서(701)는 하강 기류의 압력을 측정하고 압력에 기초하여 감지 신호를 생성한다. 제어부(710)는 압력 센서(701)로부터 감지 신호를 전달받고 하강 기류의 압력의 측정 데이터를 수집하고 측정 데이터가 정상 범위 내인지 여부를 판단한다. 제어부(710)는 판단 결과에 따라 측정 데이터가 정상이 아닐 경우 팬 필터 유닛의 풍속을 제어하며, 이를 알람부(720)에 통지한다. 알람부(720)는 측정 데이터가 정상이 아님을 시각적 또는 청각적 방법으로 작업자에게 통지한다. 일 예에서, 알람부(720)는 시각적으로 알림을 통지하는 디스플레이 장치로 제공되거나 청각적으로 알림을 통지하는 소리 장치로 제공될 수 있다.The measuring
일 실시예에서, 측정 부재(700)는, 팬 필터 유닛(3670)과 대향하는 위치에 제공될 수 있다. 일 예에서, 팬 필터 유닛(3670)의 중심과 측정 부재(700)의 중심이 마주보도록 제공될 수 있다. 이에, 팬 필터 유닛(3670)에서 제공되는 기체가 측정 부재(700)의 중심을 기점으로 균등한 분포를 가지도록 하여 하강 기류의 데이터를 용이하게 수집 및 분석할 수 있다.In one embodiment, the measuring
일 예에서, 측정 부재(700)는, 처리 공간 내에서 기판(W)이 놓이는 위치와 대응되는 위치에 제공될 수 있다. 일 실시예에서, 도 5에 도시된 바와 같이 측정 부재(700)는 노즐(3662)의 상부에 제공될 수 있다. 일 실시예에서, 압력 센서(701)는 노즐(3662)의 상부에 일정 면적을 차지하도록 고루 퍼지도록 제공된다.In one example, the measuring
이하, 도 6 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 압력 측정 방법에 대해 설명한다. 제어기는, 본 발명의 압력 측정 방법을 수행하기 위해 액 공급 유닛 및 측정 부재(700)를 제어한다.Hereinafter, the pressure measurement method of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7 . The controller controls the liquid supply unit and the measuring
도 6을 참조하면, 노즐(3662)이 기판(W) 상으로 액을 공급하는 동안 측정 부재(700)가 하강 기류의 압력을 측정한다. 이에 따라, 기판(W) 상으로 액이 공급되는 동안 하강 기류의 데이터를 수집할 수 있다. 일 예에서, 노즐(3662)의 탄착 지점은 기판(W)의 중앙 영역과 기판(W)의 가장자리 영역 간으로 이동될 수 있다. 측정 부재(700)는, 노즐(3662)이 기판(W)의 중앙 영역에 위치할 때와, 노즐(3662)이 기판(W)의 가장자리 영역에 위치할 때의 하강 기류의 데이터를 각각 수집할 수 있다. 이를 기반으로 기판(W)을 액 처리하는 동안 하강 기류가 기판(W)의 중앙 영역과 가장 자리 영역에 각각 어떠한 영향을 미치는지 판단할 수 있다. 선택적으로, 측정 부재(700)는 노즐(3662)이 기판(W) 상으로 액을 공급하는 동안 계속적으로 하강 기류에 관한 데이터를 수집할 수 있다. 이에 따라, 기판(W)의 각 영역의 하강 기류에 관한 연속적인 데이터를 얻고 이를 기반으로 기판(W)의 각 영역에 따라 하강 기류가 어떠한 영향을 미치는지에 관한 분석을 할 수 있다.Referring to FIG. 6 , while the nozzle 3662 supplies liquid onto the substrate W, the measuring
기판(W) 상으로 액이 공급되는 동안 제어부(710)는 압력 센서(701)로부터 감지 신호를 전달받고 하강 기류의 압력의 측정 데이터를 수집하고 측정 데이터가 정상 범위 내인지 여부를 판단한다. 제어부(710)는 판단 결과에 따라 측정 데이터가 정상이 아닐 경우 팬 필터 유닛(3670)의 풍속을 제어하며, 이를 알람부(720)는 알람을 통지한다. While liquid is supplied onto the substrate W, the
이와 달리, 도 7에 도시된 바와 같이 노즐(3662)이 기판(W) 상으로 액을 공급하지 않는 동안 측정 부재(700)가 하강 기류의 압력을 측정하도록 액 공급 유닛 및 측정 부재(700)를 제어할 수 있다. 노즐(3662)은 기판(W)의 중앙 영역과 기판(W)의 가장자리 영역 간으로 이동될 수 있다. 측정 부재(700)는, 노즐(3662)이 기판(W)의 중앙 영역에 위치할 때와, 노즐(3662)이 기판(W)의 가장자리 영역에 위치할 때의 하강 기류의 데이터를 각각 수집할 수 있다. 이를 기반으로 기판(W)을 액 처리하기 전 또는 후에 하강 기류가 기판(W)의 중앙 영역과 가장 자리 영역에 각각 어떠한 영향을 미치는지 미리 판단할 수 있다. 선택적으로, 측정 부재(700)는 노즐(3662)이 이동하는 동안 계속적으로 하강 기류에 관한 데이터를 수집할 수 있다. 이에 따라, 기판(W)의 각 영역의 하강 기류에 관한 연속적인 데이터를 얻고 이를 기반으로 기판(W)의 각 영역에 따라 하강 기류가 어떠한 영향을 미치는지에 관한 분석을 할 수 있다.Unlike this, as shown in FIG. 7 , the liquid supply unit and the measuring
상술한 예에서는, 액 처리 챔버는 기판(W)에 포토레지스트 액 또는 반사방지막과 같은 액을 공급하는 것으로 설명하였다. 그러나, 이와 달리 액 처리 챔버는 팬 필터 유닛(3670)과 노즐(3662)을 구비하며 다른 종류의 액을 공급하는 챔버로 제공될 수 있다. In the above example, the liquid processing chamber has been described as supplying a liquid such as a photoresist liquid or an antireflection film to the substrate W. However, unlike this, the liquid processing chamber may include a
다시, 도 2 내지 도 3을 참조하면, 버퍼 챔버(3800)는 복수 개로 제공된다. 버퍼 챔버들(3800) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 반송 챔버(3400) 사이에 배치된다. 이하, 이들 버퍼 챔버를 전단 버퍼(3802)(front buffer)라 칭한다. 전단 버퍼들(3802)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. 버퍼 로봇(3812)은 전단 버퍼(3802)와 전단 액처리 챔버(3602) 간에 기판(W)을 반송한다.Again, referring to FIGS. 2 and 3 , a plurality of buffer chambers 3800 are provided. Some of the buffer chambers 3800 are disposed between the
버퍼 챔버들(3802, 3804) 중 다른 일부는 반송 챔버(3400)와 인터페이스 모듈(40) 사이에 배치된다 이하. 이들 버퍼 챔버를 후단 버퍼(3804)(rear buffer)라 칭한다. 후단 버퍼들(3804)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. Other portions of the
전단 버퍼들(3802) 및 후단 버퍼들(3804) 각각은 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 전단 버퍼(3802)에는 제1 버퍼 로봇(3812)가 제공되어 전단 버퍼(3802) 내에 보관된 복수의 기판(W)을 전단 버퍼(3802) 내에서 이동시킨다. 또한, 후단 버퍼(3804)에는 제2 버퍼 로봇(3814)가 제공되어 후단 버퍼(3804) 내에 보관된 복수의 기판(W)을 후단 버퍼(3804) 내에서 이동시킨다.Each of the front-
전단 버퍼(3802)에 보관된 기판(W)은 인덱스 로봇(2200) 및 반송 로봇(3422)에 의해 반입 또는 반출된다. 후단 버퍼(3804)에 보관된 기판(W)은 반송 로봇(3422) 및 제1로봇(4602)에 의해 반입 또는 반출된다. The substrates W stored in the
현상 블럭(30b)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)를 가진다. 현상 블럭(30b)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)는 도포 블럭(30a)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)와 대체로 유사한 구조 및 배치로 제공된다. 다만, 현상 블록(30b)에서 액처리 챔버들(3600)은 모두 동일하게 현상액을 공급하여 기판을 현상 처리하는 현상 챔버(3600)로 제공된다.The developing
인터페이스 모듈(40)은 처리 모듈(30)을 외부의 노광 장치(50)와 연결한다. 인터페이스 모듈(40)은 인터페이스 프레임(4100), 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)를 가진다. The
인터페이스 프레임(4100)의 상단에는 내부에 하강기류를 형성하는 팬필터유닛이 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)는 인터페이스 프레임(4100)의 내부에 배치된다. 부가 공정 챔버(4200)는 도포 블럭(30a)에서 공정이 완료된 기판(W)이 노광 장치(50)로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)는 노광 장치(50)에서 공정이 완료된 기판(W)이 현상 블럭(30b)으로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 일 예에 의하면, 부가 공정은 기판(W)의 에지 영역을 노광하는 에지 노광 공정, 또는 기판(W)의 상면을 세정하는 상면 세정 공정, 또는 기판(W)의 하면을 세정하는 하면 세정공정일 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 복수 개가 제공되고, 이들은 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 모두 동일한 공정을 수행하도록 제공될 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)들 중 일부는 서로 다른 공정을 수행하도록 제공될 수 있다.A fan filter unit forming a descending airflow therein may be provided at an upper end of the
인터페이스 버퍼(4400)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 반송되는 기판(W)이 반송도중에 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다. 인터페이스 버퍼(4400)는 복수 개가 제공되고, 복수의 인터페이스 버퍼들(4400)은 서로 적층되게 제공될 수 있다.The
일 예에 의하면, 반송 챔버(3400)의 길이 방향의 연장선을 기준으로 일 측면에는 부가 공정 챔버(4200)가 배치되고, 다른 측면에는 인터페이스 버퍼(4400)가 배치될 수 있다.According to an example, the
반송 부재(4600)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송한다. 반송 부재(4600)는 1개 또는 복수 개의 로봇으로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 반송 부재(4600)는 제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)을 가진다. 제1로봇(4602)은 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 그리고 인터페이스 버퍼(4400) 간에 기판(W)을 반송하고, 인터페이스 로봇(4606)은 인터페이스 버퍼(4400)와 노광 장치(50) 간에 기판(W)을 반송하고, 제2로봇(4604)은 인터페이스 버퍼(4400)와 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송하도록 제공될 수 있다.The conveying
제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)은 각각 기판(W)이 놓이는 핸드를 포함하며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)에 평행한 축을 기준으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. The
인덱스 로봇(2200), 제1로봇(4602), 그리고 제2 로봇(4606)의 핸드는 모두 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공될 수 있다. 선택적으로 열처리 챔버의 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받는 로봇의 핸드는 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공되고, 나머지 로봇의 핸드는 이와 상이한 형상으로 제공될 수 있다.The hands of the
일 실시예에 의하면, 인덱스 로봇(2200)은 도포 블럭(30a)에 제공된 전단 열처리 챔버(3202)의 가열 장치(3230)과 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공된다. According to an embodiment, the
또한, 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)에 제공된 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200)에 위치된 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공될 수 있다. In addition, the
상술한 기판 처리 장치(1)의 처리 블럭은 도포 처리 공정과 현상 처리 공정을 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 기판 처리 장치(1)는 인터페이스 모듈 없이 인덱스 모듈(20)과 처리 블럭(37)만을 구비할 수 있다. 이 경우, 처리 블럭(37)은 도포 처리 공정만을 수행하고, 기판(W) 상에 도포되는 막은 스핀 온 하드마스크막(SOH)일 수 있다. The processing block of the above-described
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 상술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the foregoing is intended to illustrate and describe preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, within the scope equivalent to the written disclosure and / or within the scope of skill or knowledge in the art. The written embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in the specific application field and use of the present invention are also possible. Therefore, the above detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to cover other embodiments as well.
Claims (20)
내부에서 기판이 처리되는 처리 공간을 가지는 하우징;
상기 처리 공간 내에서 기판을 지지하는 지지 유닛;
상기 지지 유닛에 지지된 상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 노즐을 가지는 액 공급 유닛과;
상기 처리 공간 내로 기체를 주입하여 하강 기류를 형성하는 팬 필터 유닛; 및
상기 처리 공간 내부에 제공되어 상기 하강 기류의 압력을 측정하고 상기 압력에 기초하여 감지 신호를 생성하는 압력 센서를 가지는 측정 부재를 포함하고,
상기 측정 부재는,
상기 처리 공간 내에서 상기 기판이 놓이는 위치와 대응되는 위치에 제공되는 기판 처리 장치.In the apparatus for processing the substrate,
a housing having a processing space in which a substrate is processed;
a support unit supporting a substrate within the processing space;
a liquid supply unit having a processing liquid supply nozzle supplying a processing liquid to the substrate supported by the support unit;
a fan filter unit injecting gas into the processing space to form a downdraft; and
a measuring member provided inside the processing space and having a pressure sensor that measures the pressure of the downdraft and generates a sensing signal based on the pressure;
The measuring member,
A substrate processing apparatus provided at a location corresponding to a location where the substrate is placed in the processing space.
상기 측정 부재는 기판의 중앙 영역에 대응되는 위치와 상기 기판의 가장자리 영역에 대응되는 위치 간으로 이동 가능하도록 제공되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The measuring member is provided to be movable between a position corresponding to a central region of the substrate and a position corresponding to an edge region of the substrate.
상기 측정 부재는,
상기 감지 신호를 전달받고 상기 하강 기류의 압력의 측정 데이터를 수집하고 상기 측정 데이터가 정상 범위 내인지 여부를 판단하며 상기 측정 데이터를 기반으로 상기 팬 필터 유닛의 풍속을 제어하는 제어부;
상기 제어부의 상기 판단 결과에 따라 상기 측정 데이터의 정상 여부를 통지하는 알람부를 더 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The measuring member,
a control unit that receives the detection signal, collects measurement data of the downdraft pressure, determines whether the measurement data is within a normal range, and controls wind speed of the fan filter unit based on the measurement data;
The substrate processing apparatus further comprises an alarm unit for notifying whether the measured data is normal according to the determination result of the control unit.
상기 노즐의 상부에 제공되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
A substrate processing device provided above the nozzle.
상기 노즐을 상기 기판의 중앙 영역과 상기 기판의 가장자리 영역 간으로 이동시키는 구동 부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 4,
and a driving member for moving the nozzle between a central region of the substrate and an edge region of the substrate.
상기 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고,
상기 제어기는,
상기 노즐이 상기 기판 상으로 액을 공급하는 동안 상기 측정 부재가 상기 하강 기류의 압력을 측정하도록 상기 액 공급 유닛 및 상기 측정 부재를 제어하는 기판 처리 장치.According to claim 4,
Further comprising a controller for controlling the liquid supply unit and the measuring member,
The controller,
and controlling the liquid supply unit and the measuring member so that the measuring member measures the pressure of the downdraft while the nozzle supplies the liquid onto the substrate.
상기 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고,
상기 제어기는,
상기 노즐이 상기 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 상기 측정 부재가 상기 하강 기류의 압력을 측정하도록 상기 액 공급 유닛 및 상기 측정 부재를 제어하는 기판 처리 장치.According to claim 4,
Further comprising a controller for controlling the liquid supply unit and the measuring member,
The controller,
and controlling the liquid supply unit and the measuring member so that the measuring member measures the pressure of the downdraft while the nozzle does not supply liquid onto the substrate.
상부가 개방되며 상기 지지 유닛을 감싸도록 제공되는 컵;
상기 컵 하부에 제공되어 상기 처리 공간을 배기하는 배기 유닛을 더 포함하는 기판 처리 장치. According to claim 1,
a cup having an open top and provided to enclose the support unit;
and an exhaust unit provided under the cup to exhaust the processing space.
상기 측정 부재는,
상기 팬 필터 유닛과 대향하는 위치에 제공되는 기판 처리 장치.According to any one of claims 1 to 8,
The measuring member,
A substrate processing apparatus provided at a position facing the fan filter unit.
내부에서 기판이 처리되는 처리 공간을 가지는 하우징;
상기 처리 공간 내에서 기판을 지지하는 지지 유닛;
상기 지지 유닛에 지지된 상기 기판으로 처리액을 공급하는 처리액 공급 노즐을 가지는 액 공급 유닛과;
상기 처리 공간 내로 기체를 주입하여 하강 기류를 형성하는 팬 필터 유닛; 및
상기 처리 공간 내부에 제공되어 상기 하강 기류의 압력을 측정하고 상기 압력에 기초하여 감지 신호를 생성하는 압력 센서를 가지는 측정 부재를 포함하고,
상기 측정 부재는,
상기 노즐의 상부에 제공되는 기판 처리 장치.In the apparatus for processing the substrate,
a housing having a processing space in which a substrate is processed;
a support unit supporting a substrate within the processing space;
a liquid supply unit having a processing liquid supply nozzle supplying a processing liquid to the substrate supported by the support unit;
a fan filter unit injecting gas into the processing space to form a downdraft; and
a measuring member provided inside the processing space and having a pressure sensor that measures the pressure of the downdraft and generates a sensing signal based on the pressure;
The measuring member,
A substrate processing device provided above the nozzle.
상기 측정 부재는,
상기 감지 신호를 전달받고 상기 하강 기류의 압력의 측정 데이터를 수집하고 상기 측정 데이터가 정상 범위 내인지 여부를 판단하며 상기 측정 데이터를 기반으로 상기 팬 필터 유닛의 풍속을 제어하는 제어부;
상기 제어부의 상기 판단 결과에 따라 상기 측정 데이터의 정상 여부를 통지하는 알람부를 더 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 10,
The measuring member,
a control unit that receives the detection signal, collects measurement data of the downdraft pressure, determines whether the measurement data is within a normal range, and controls wind speed of the fan filter unit based on the measurement data;
The substrate processing apparatus further comprises an alarm unit for notifying whether the measured data is normal according to the determination result of the control unit.
상기 노즐을 상기 기판의 중앙 영역과 상기 기판의 가장자리 영역 간으로 이동시키는 구동 부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.According to claim 10,
and a driving member for moving the nozzle between a central region of the substrate and an edge region of the substrate.
상기 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고,
상기 제어기는,
상기 노즐이 상기 기판 상으로 액을 공급하는 동안 상기 측정 부재가 상기 하강 기류의 압력을 측정하도록 상기 액 공급 유닛 및 상기 측정 부재를 제어하는 기판 처리 장치.According to claim 12,
Further comprising a controller for controlling the liquid supply unit and the measuring member,
The controller,
and controlling the liquid supply unit and the measuring member so that the measuring member measures the pressure of the downdraft while the nozzle supplies the liquid onto the substrate.
상기 액 공급 유닛 및 측정 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하고,
상기 제어기는,
상기 노즐이 상기 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 상기 측정 부재가 상기 하강 기류의 압력을 측정하도록 상기 액 공급 유닛 및 상기 측정 부재를 제어하는 기판 처리 장치.According to claim 12,
Further comprising a controller for controlling the liquid supply unit and the measuring member,
The controller,
and controlling the liquid supply unit and the measuring member so that the measuring member measures the pressure of the downdraft while the nozzle does not supply liquid onto the substrate.
상부가 개방되며 상기 지지 유닛을 감싸도록 제공되는 컵;
상기 컵 하부에 제공되어 상기 처리 공간을 배기하는 배기 유닛을 더 포함하는 기판 처리 장치. According to claim 10,
a cup having an open top and provided to enclose the support unit;
and an exhaust unit provided under the cup to exhaust the processing space.
상기 측정 부재는,
상기 팬 필터 유닛과 대향하는 위치에 제공되는 기판 처리 장치.According to any one of claims 10 to 15,
The measuring member,
A substrate processing apparatus provided at a position facing the fan filter unit.
상기 측정 부재는 상기 팬 필터 유닛과 대향하는 위치에서,
상기 기판의 중앙 영역에 대응되는 위치와 상기 기판의 가장자리 영역에 대응되는 위치 간으로 이동하며 상기 처리 공간의 압력을 측정하는 압력 측정 방법.In the method for measuring the pressure in the processing space using the substrate processing apparatus of claim 1,
The measuring member is at a position facing the fan filter unit,
The pressure measurement method of measuring the pressure in the processing space while moving between a position corresponding to a central region of the substrate and a position corresponding to an edge region of the substrate.
상기 측정 부재는,
상기 노즐의 상부에 제공되는 압력 측정 방법.According to claim 17,
The measuring member,
A pressure measuring method provided at the top of the nozzle.
상기 노즐이 상기 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 상기 처리 공간의 압력을 측정하는 압력 측정 방법.According to any one of claims 17 to 18,
The pressure measurement method of measuring the pressure in the processing space while the nozzle does not supply liquid onto the substrate.
상기 노즐이 상기 기판 상으로 액을 공급하지 않는 동안 상기 처리 공간의 압력을 측정하는 압력 측정 방법.
According to any one of claims 17 to 18,
The pressure measurement method of measuring the pressure in the processing space while the nozzle does not supply liquid onto the substrate.
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