KR20230023239A - 듀얼 슬릿 에어나이프 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 구비된 제1 몸체부재, 내부에 에어를 수용하는 제2 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제2 통로가 구비된 제2 몸체부재, 상기 제1 몸체부재와 제2 몸체부재 사이에 위치하는 중심몸체 및 상기 제1 몸체부재의 상면에 위치하며, 상기 제1 몸체부재의 상면과 평행한 제1 방향으로 수평 이동하는 이동부재를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 듀얼 슬릿 에어나이프에 관한 것이다.
반도체 디바이스 또는 평판 디스플레이(FPD)는 웨이퍼(Wafer) 또는 평판 글라스에 다양한 공정 처리를 통해 제조된다. 웨이퍼(Wafer) 또는 평판 글라스와 같은 기판은 유기물, 미립자 또는 금속/이온 오염으로 인한 성능 저하 또는 오류에 민감하므로 세정공정이 중요하다.
최근에는 이들 중에서 전력 소모와 부피가 적고, 저전력 구동이 가능한 액정 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있다. 액정 디스플레이 장치는 실질적으로 영상을 표시하기 위한 디스플레이 패널을 포함한다. 디스플레이 패널은 통상 유리 재질의 대면적 기판을 이용하여 상기 기판상에 회로 패턴을 형성하기 위한 다양한 단위 공정들 예를 들어, 증착 공정, 포토 공정, 식각 공정, 에칭 공정 등을 반복적으로 수행하여 제조된다.
단위 공정들을 진행한 후에는 세정 공정이 수반된다. 세정 공정은 일반적으로 기판상에 붙어 있는 먼지나 유기물 등을 제거하는 공정으로 DI water(deionized water) 등의 세정액을 이용한 수세 단계와, 상기 수세 공정 이후에 건조 기체(예컨대 에어) 등을 분사하여 기판에 잔류하는 세정액을 제거 및 건조시키는 건조 단계를 포함한다.
건조 단계에서는 기판 표면에 고압으로 건조 공기를 분사하여 기판 표면에 잔류하는 수분이나 세정액을 제거하게 된다. 이러한 건조 공정에는 외부로부터 건조 공기를 공급받아 가압 분사하는 에어나이프가 이용된다.
일반적으로, 에어나이프는 약액처리 공정과 린스 공정을 마치고 이송되는 기판의 상측과 하측에 각각 기판의 폭방향과 평행하게 배치되며, 기판의 표면에 공기를 고압으로 분사하여 기판 표면에 잔류하는 수분이나 세정액을 제거하게 된다.
최근, 평판 디스플레이에 이용되는 기판의 크기가 커지면서 에어나이프가 공기를 분사해야 할 영역의 크기가 커지면서 한 번의 건조 공기 분사를 통해서 기판 표면을 완전히 건조시키지 못하는 문제가 발생하고 있다. 기판 표면에서 수분이나 세정액이 완전히 제거되지 못한 상태에서 기판이 건조되면, 기판 표면에 얼룩이 남아 추가적인 세정 작업이 필요하다.
또한, 크기가 큰 기판을 건조하기 위해서는 에어나이프의 길이도 이에 맞춰 길어져야 하는데, 에어나이프의 길이가 길어지면 에어나이프가 휘어지기 쉽고, 에어나이프가 휘어진 상태로 건조 공기를 분사하면 기판 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하지 못하여 건조 효율이 떨어지는 문제가 발생하게 된다.
상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중 분사하는 방식으로 기판의 표면에 묻어있는 세정액을 안정적으로 제거할 수 있는 듀얼 슬릿 에어나이프를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 구비된 제1 몸체부재, 내부에 에어를 수용하는 제2 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제2 통로가 구비된 제2 몸체부재, 상기 제1 몸체부재와 제2 몸체부재 사이에 위치하는 중심몸체, 및 상기 제1 몸체부재의 상면에 위치하며, 상기 제1 몸체부재의 상면과 평행한 제1 방향으로 직선 이동하는 이동부재를 포함할 수 있다.
제1 몸체부재는 상면으로부터 돌출된 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부는 상기 상면으로부터 경사지게 연장되는 경사면을 포함할 수 있다.
이동부재 상에 위치하는 수납부재를 더 포함하고, 상기 수납부재는 상기 이동부재를 수납하는 안착부 및 상기 안착부의 일단으로부터 수직하게 연장되는 제1 측벽을 포함할 수 있다.
제1 측벽의 내측면은 상기 돌출부의 외측면과 접할 수 있다.
수납부재의 안착부와 상기 이동부재 사이에 위치하고, 상기 이동부재의 상면과 연결되어, 상기 이동부재를 상기 제1 방향으로 이동시키는 상부레일, 상기 이동부재의 하면과 상기 경사면 사이에 위치하여, 상기 이동부재의 이동에 따라 상기 제1 몸체부재를 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시키는 하부레일, 및 상기 중심몸체의 상부 일면에 구비되어, 상기 중심몸체의 상부 일면과 마주보는 상기 제1 몸채부재의 이동을 가이드하는 가이드레일을 더 포함할 수 있다.
가이드레일은 상기 제1 몸체부제 방향으로 돌출된 걸림돌기를 포함할 수 있다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프는 에어나이프 각각의 각도 조절을 용이하게 수행할 수 있으므로, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 효과적으로 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 포함하는 건조모듈의 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 듀얼 슬릿 에어나이프를 상세하게 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 I-I'의 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 이동부재의 이동에 따른 몸체부재의 이동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도3에 도시된 유압실린더부재에 의한 이동부재의 이동을 상세하게 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 듀얼 슬릿 에어나이프를 상세하게 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 I-I'의 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 이동부재의 이동에 따른 몸체부재의 이동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도3에 도시된 유압실린더부재에 의한 이동부재의 이동을 상세하게 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참고부호를 붙였다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
본 명세서에서 사용되는 용어에 대해 간략히 설명하고, 본 발명에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
본 명세서에서 "기판(S)"은 반도체 제조 공정, LCD(Liquid crystal display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판표시장치(Flat panel display, FPD), 터치 패널(Touch Panel) 등을 제조하기 위해 특정 형상의 패턴(Pattern)이 형성된 ITO(Indium Tin Oxide) 필름 등의 투명 전도막과 이에 연결되는 배선이 형성된 PET(Polyethylene Terephthalate) 필름 또는 글래스(Glass) 등을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 포함하는 건조모듈의 개략도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 건조모듈(1000)은 건조챔버(100), 기판이송부(200), 듀얼 슬릿 에어나이프(300), 제어부(400) 및 에어공급부(500)를 포함할 수 있다.
건조챔버(100)는 기판(S)을 건조 처리하기 위한 공간을 제공할 수 있다. 건조챔버(100)는 건조공정이 수행되는 동안 기판(S)이 외부로부터의 오염물질에 노출되지 않도록 기판(S)을 보호하는 역할을 할 수 있다. 건조챔버(100)의 상부에는 필터유닛이 구비될 수 있다. 예를 들어, 필터유닛을 통해 건조챔버(100) 내부로 유입된 공기는 상부에서 하부로 이동하여 외부로 빠져나갈 수 있다. 이에 따라, 건조챔버(100) 내부는 오염물질이 최소화된 청정한 상태가 유지될 수 있다.
기판이송부(200)는 건조챔버(100) 내부에 구비될 수 있다. 기판이송부(200)는 기판(S)이 건조되는 동안에 기판(S)을 일방향으로 이송할 수 있다. 예를 들어, 기판이송부(200)는 기판(S)의 이송경로를 따라 설치되는 복수 개의 롤러 또는 컨베이어벨트 등을 포함할 수 있으며, 그 상면으로 기판이 로딩(loading)될 수 있다.
듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 건조챔버(100) 내부에 구비될 수 있다. 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 기판(S)의 상방 또는 상하방에서 기판(S)과 일정거리 이격되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 기판(S)에 적층된 배선들을 손상시키지 않으면서, 기판(S)을 건조할 수 있다.
건조공정은 기판이송부(200) 상에서 일방향으로 이송되는 기판(S)에 고온 고압의 에어를 분사함으로써 수행될 수 있다. 예를 들어, 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 건조챔버(100)의 상측 또는 하측, 상측 및 하측에 배치되며 복수 개로 구성될 수 있다. 또한, 듀얼 슬릿 에어나이프(300)의 분사각은 건조 대상물의 종류에 따라 약 30도에서 90도 각도로 조절될 수 있다. 예를 들어, 듀얼 슬릿 에어나이프(300)의 분사각은 기판(S), 기판(S)에 형성된 패턴의 종류 및 두께 등을 고려하여 설정될 수 있다.
제어부(400)는 듀얼 슬릿 에어나이프(300)와 연결될 수 있다. 제어부(400)는 듀얼 슬릿 에어나이프(300)의 높이 및 각도를 조절할 수 있다.
에어공급부(500)는 듀얼 슬릿 에어나이프(300)에 에어를 공급하기 위한 장치로서, 지속적으로 에어를 보충받을 수 있다. 예를 들어, 에어는 고순도의 질소(N2) 가스, CDA(clean dry air) 등일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 듀얼 슬릿 에어나이프를 상세하게 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 I-I'의 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 제1 몸체부재(310), 제2 몸체부재(320), 중심몸체(330), 이동부재(340), 수납부재(360), 유압실린더부재(370), 및 레일부재(380)를 포함할 수 있다.
제1 몸체부재(310)는 중심몸체(330)의 일면에 구비될 수 있다. 제1 몸체부재(310)는 제1 챔버(311), 제1 통로(312), 돌출부(313) 및 제1 발열부재(317)를 포함할 수 있다.
제1 챔버(311)는 중심몸체(330) 일면과 마주보는 제1 몸체부재(310)의 일면에 구비될 수 있다. 제1 챔버(311)는 내부에 에어를 수용할 수 있다. 제1 챔버(311)는 에어를 공급받기 위하여, 외부의 공기공급장치(미도시)와 연결될 수 있다.
제1 통로(312)는 중심몸체(330) 일면과 마주보는 제1 몸체부재(310)의 일면에 구비될 수 있다. 제1 통로(312)는 제1 챔버(311)와 연결될 수 있다. 제1 통로(312)는 제1 챔버(311)로부터 유입된 공기를 외부로 분사할 수 있다.
돌출부(313)는 제1 몸체부재(310)의 상면으로부터 수직한 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 돌출부(313)는 상면으로부터 경사지게 연장되는 경사면(313a) 및 제1 몸체부재(310)의 외측면으로부터 수직하게 연장되는 돌출부외측면(313b)을 포함할 수 있다.
제1 발열부재(317)는 제1 몸체부재(310)의 일측면에 설치되어 제1 챔버(311)에 열을 가할 수 있다. 예를 들어, 제1 발열부재(317)는 제1 챔버(311)와 인접한 제1 몸체부재(310)의 측면에 설치될 수 있다. 제1 발열부재(317)는 제1 몸체부재(310)의 내측에 매립되어 제1 챔버(311)와 인접하게 배치되거나, 제1 몸체부재(310)의 외측면에 제1 챔버(311) 방향으로 함입되는 홈(미도시)에 삽입되어 설치될 수 있다. 이러한 제1 발열부재(311)는 전열관 등의 발열체일 수 있으며, 제1 몸체부재(310)의 연장방향으로 연장 형성되어, 복수개가 상하방향으로 일렬로 배치될 수 있다.
제2 몸체부재(320)는 중심몸체(330) 타면에 구비될 수 있다. 제2 몸체부재(320)는 제2 챔버(321), 제2 통로(322) 및 제2 발열부재(327)를 포함할 수 있다.
제2 챔버(321)는 중심몸체(330)의 타면과 마주보는 제2 몸체부재(320)의 일면에 구비될 수 있다. 제2 챔버(321)는 내부에 에어를 수용할 수 있다. 제2 챔버(321)는 에어를 공급받기 위하여, 외부의 공기공급장치(미도시)와 연결될 수 있다.
제2 통로(322)는 중심몸체(330) 타면과 마주보는 제2 몸체부재(310)의 일면에 구비될 수 있다. 제2 통로(322)는 제2 챔버(321)와 연결될 수 있다. 제2 통로(322)는 제2 챔버(321)로부터 유입된 공기를 외부로 분사할 수 있다.
제2 발열부재(327)는 제2 몸체부재(320)의 일측면에 설치되어 제2 챔버(321)에 열을 가할 수 있다. 예를 들어, 제2 발열부재(327)는 제2 챔버(321)와 인접한 제2 몸체부재(320)의 측면에 설치될 수 있다. 제2 발열부재(327)는 제2 몸체부재(320)의 내측에 매립되어 제2 챔버(321)와 인접하게 배치되거나, 제2 몸체부재(320)의 외측면에 제2 챔버(321) 방향으로 함입되는 홈(미도시)에 삽입되어 설치될 수 있다. 이러한 제2 발열부재(321)는 전열관 등의 발열체일 수 있으며, 제2 몸체부재(320)의 연장방향으로 연장 형성되어, 복수개가 상하방향으로 일렬로 배치될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 제1 및 제2 몸체부재(310, 320) 각각에 발열부재(317, 327)가 구비되기 때문에, 기판 상에 박리된 미세 이물이 재흡착되는 것을 방지함과 동시에, 기판의 건조 효율을 향상시킬 수 있다.
중심몸체(330)는 제1 몸체부재(310) 및 제2 몸체부재(320) 사이에 배치될 수 있다. 중심몸체(330)와 제1 몸체부재(310) 사이에는 제1 슬릿(315)이 구비될 수 있다. 제1 챔버(311)로부터 제1 통로(312)로 유입된 공기는 제1 슬릿(315)을 통하여 외부로 분사될 수 있다. 또한, 중심몸체(330)와 제2 몸체부재(320) 사이에는 제2 슬릿(325)이 구비될 수 있다. 제2 챔버(321)로부터 제2 통로(322)로 유입된 공기는 제2 슬릿(325)을 통하여 외부로 분사될 수 있다.
이동부재(340)는 제1 몸체부재(310)에 상에 위치할 수 있다. 이동부재(340)는 제1 몸체부재(310)의 상면과 평행한 제1 방향으로 수평 이동할 수 있다. 예를 들어, 이동부재(340)의 상면은 상부레일(381)과 연결되고, 하면은 하부레일(382)과 연결될 수 있다. 이동부재(340)의 하면은 제1 몸체부재(310)의 상면과 맞닿는 제1 하면 및 상기 제1 하면으로부터 경사지게 연장되어 돌출부의 경사면과 마주보는 가이드경사면을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 가이드 경사면에 하부레일(382)이 연결될 수 있다.
수납부재(360)는 이동부재(340) 상에 구비되어, 이동부재(340), 유압실린더부재(370) 및 상부레일(381)을 수납하고, 돌출부(313)의 수평이동을 제어할 수 있다. 수납부재(360)는 안착면(361) 및 제1 측벽(362)을 포함할 수 있다. 안착면(361)은 상부레일(381)을 고정하고, 상부레일(381)과 연결된 이동부재(340)를 수납할 수 있다. 제1 측벽(362)은 안착면(361)의 끝단에서 안착면(361)으로부터 수직하게 돌출되도록 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 측벽(362)의 내측면은 돌출부의 외측면(313b)과 접할 수 있다. 즉, 제1 측벽(362)은 제1 몸체부재(310)의 외측면을 감싸도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 제1 측벽(362)이 구비됨으로써, 이동부재(340)의 이동에 따라, 제1 몸체부재(310)의 제1 방향으로 이동하는 것을 제어할 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310)는 안정적으로 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다.
유압실린더부재(370)는 수납부재(360) 내에 구비되며, 이동부재(340)와 연결될 수 있다. 또한, 유압실린더부재(370)는 제어부와 연결되어 제어될 수 있다. 예를 들어, 유압실린더부재(370)는 제어부의 제어신호에 따라, 이동부재(340)를 제1 방향 또는 제1 방향과 반대방향인 제3 방향으로 이동시킬 수 있다. 이동부재(340)가 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동함에 따라, 하부레일(382)에 연결된 제1 몸체부재(310)는 제1 방향 및 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 수직이동 할 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310) 중심몸체(330)에 단차가 발생될 수 있어, 제1 슬릿(315)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다.
레일부재(380)는 이동부재(340) 및 제1 몸체부재(310)의 이동을 가이드할 수 있다. 레이부재(380)는 상부레일(381), 하부레일(382) 및 가이드레일(383)을 포함할 수 있다.
상부레일(381)은 수납부재(360)와 이동부재(340) 사이에 위치할 수 있다. 상부레일(381)은 수납부재(360)의 안착부(361)에 고정되고, 이동부재(340)의 상면과 연결될 수 있다. 상부레일(381)은 유압실린더부재(370)의 제어에 따라, 이동부재(340)를 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동시킬 수 있다.
하부레일(382)은 이동부재(340)의 하면과 돌출부(313)의 경사면(313a) 사이에 위치할 수 있다. 예를 들어, 하부레일(390)은 돌출부의 경사면(313a)에 고정되고, 돌출부의 경사면(313a)과 마주보는 이동부재(340)의 가이드경사면에 연결될 수 있다.
가이드레일(383)은 제1 몸체부재(310)와 중심몸체(330) 사이에 구비될 수 있다. 가이드레일(383)은 이동부재(340)의 이동에 따른 제1 몸체부재(310)의 수직운동을 가이드하고 제어하는 기능을 수행할 수 있다. 이를 위해, 가이드레일(383)은 중심몸체(330)의 상부 일면에 고정되고, 중심몸체(330)의 상부 일면과 마주보는 제1 몸채부재(310)에 연결될 수 있다. 또한, 가이드레일(383)은 제1 몸체부재(310) 방향으로 돌출된 걸림돌기(383a)를 포함할 수 있다. 걸림돌기(383a)는 제1 몸체부재(310)의 걸림홈에 맞물릴 수 있으며, 이에 따라, 제1 몸체부재(310)의 수직이동이 제어될 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 레일부재(380)가 구비됨에 따라, 이동부재(340)가 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동하는 경우, 제1 몸체부재(310)를 제1 방향 또는 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310)와 중심몸체(330) 사이에 단차를 발생시킬 있어, 제1 슬릿(315)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다. 이에 따라, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 더욱 효과적으로 제거할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 이동부재의 이동에 따른 몸체부재의 이동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4를 참고하면, 이동부재(340)가 제1 방향으로 이동하는 경우, 이동부재(340)의 상면은 상부레일(381)을 따라 이동하고, 이동부재(340) 하면의 가이드경사면은 하부레일(382)을 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 이동부재(340)가 제1 방향으로 이동함에 따라, 제1 몸체부재(310)는 수납부재(360)의 제1 측벽(362)에 의해 제1 방향으로의 이동이 제어되고, 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 제1 몸체부재(310)의 끝단부와 중심몸체(330)의 끝단부에 단차를 조절할 수 있다. 즉, 제1 몸체부재(310)의 끝단부가 중심몸체(330)의 끝단부 보다 높게 위치하도록 이동부재(340)의 이동을 제어하는 경우, 제1 몸체부재(310)의 끝단부를 중심몸체(330)의 끝단부와 동일하게 위치하도록 이동부재(340)의 이동을 제어하는 경우, 제1 몸체부재(310)의 끝단부를 중심몸체(330)의 끝단부 보다 낮게 위치하도록 이동부재의 이동을 제어하는 경우 각각 다른 각도로 공기가 분사될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 에어나이프 각각의 각도 조절을 용이하게 수행할 수 있으므로, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 효과적으로 제거할 수 있다.
도 5는 도3에 도시된 유압실린더부재에 의한 이동부재의 이동을 상세하게 설명하기 위한 예시도이다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유압실린더부재(370)는 바디부(371), 제1 공기유입부(372), 제2 공기유입부(373), 피스톤부(374), 격벽부(375) 및 이동가이드부(376)를 포함할 수 있다.
바디부(371)는 제1 공기유입부(372), 제2 공기유입부(373), 피스톤부(374)의 일측 및 격벽부(375)를 삽입할 수 있다.
제1 공기유입부(372) 및 제2 공기부입부(373)는 바디부(371) 상면에 구비될 수 있다. 제1 공기유입부(372) 및 제2 공기부입부(373)는 외부의 공기유입장치(미도시)와 연결될 수 있다. 제1 공기유입부(372) 및 제2 공기부입부(373)는 격벽부(375)를 사이에 두고 일정거리 이격 배치될 수 있다.
격벽부(375)는 바디부(371) 내에 배치되며, 피스톤부(374)와 연결될 수 있다. 격벽부(375)는 제1 공기유입부(372)에 공기가 유입되는 경우, 제2 공기부입부(373) 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 격벽부(375)는 제2 공기유입부(373)에 공기가 유입됨에 따라, 제1 공기유입부(372) 방향으로 직선운동 할 수 있다.
피스톤부(374)는 격벽부(375)와 연결될 수 있다. 격벽부(375)와 연결된 피스톤부(374)의 일측은 바디부(371)에 삽입될 수 있다. 피스톤부(374)의 타측은 이동가이드부(375)와 접촉할 수 있다. 이 경우, 피스톤부(374)의 타측면은 경사면(이하, 타측경사면)을 포함할 수 있다. 타측경사면(374a)은 이동가이드부(376)의 일면(376a)에 접촉할 수 있다. 예를 들어, 피스톤부(374)와 이동가이드부(376)는 자성체로 이루어질 수 있다. 피스톤부(374)와 이동가이드부(376)는 자성으로 밀착 결합한 상태에서 피스톤부(374)가 길이방향으로 이동함에 따라, 이동가이드부(376)는 길이방향과 수직한 폭방향(예를 들어, 제1 방향)으로 이동할 수 있다.
이동가이드부(376)는 피스톤부(374)의 이동에 따른 이동가이드부(376)의 이동을 돕기 위한 도움부재(376b)를 더 포함할 수 있다. 도움부재(376b)는 금속볼 형상으로 이동가이드부(376)에 결합되어 회전할 수 있다. 이 경우, 피스톤부(374)의 타측경사면(374a)에는 도움부재(376b)가 삽입될 수 있도록 내측으로 오목하게 구비된 삽입홈(374b)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 피스톤부(374)가 길이방향으로 이동하는 경우, 도움부재(376b)는 피스톤부(374)의 삽입홈(374b)에 밀착 결합하여 회전할 수 있다. 이에 따라, 피스톤부(374)의 타측경사면(374a)을 중심으로 피스톤부는 길이방향(예를 들어, 제4 방향)으로 이동하고, 이동가이드부(376)는 피스톤부의 이동방향과 수직한 제1 방향으로 이동할 수 있다.
이동가이드부가 제1 방향으로 이동함에 따라, 이동부재와 이동가이드부와 동일한 제1 방향으로 이동할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 유압실린더부재(370)가 구비됨으로써, 이동부재(340)를 제1 또는 제3 방향으로 이동시키고, 이동부재(340)의 이동에 따라 제1 몸체부재(310)를 제1 또는 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예는 에어나이프 각각의 각도 조절을 용이하게 수행할 수 있으므로, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 효과적으로 제거할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프를 설명하기 위한 단면도이다. 본 발명의 다른 실시예는 제2 몸체부재에 돌출부가 구비되고, 제2 몸체부재 상에 제2 이동부재, 제2 유압실린더부재가 추가로 구비되는 것을 제외하고는 본 발명의 일 실시예와 동일하다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 설명은 생략되고, 제2 몸체부재, 제2 이동부재, 제2 유압실린더부재 및 이와 관련된 구성에 대해서만 설명된다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 슬릿 에어나이프(300)는 제2 몸체부재(320), 제2 이동부재(350), 제2 유압실린더(355), 제2 상부레일(385), 및 제2 하부레일(395)을 더 포함할 수 있다.
제2 몸체부재(320)는 중심몸체(330) 타면에 구비될 수 있다. 제2 몸체부재(320)는 제2 돌출부(323)를 포함할 수 있다. 제2 돌출부(323)는 제2 몸체부재(320)의 상면으로부터 수직한 방향으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 제2 돌출부(323)는 상면으로부터 경사지게 연장되는 제2 경사면(323a) 및 제2 몸체부재(320)의 외측면으로부터 수직하게 연장되는 제2 돌출부외측면(323b)을 포함할 수 있다.
제2 이동부재(350)는 제2 몸체부재(320)에 상에 위치할 수 있다. 제2 이동부재(350)는 제2 몸체부재(320)의 상면과 평행한 제1 또는 제3 방향으로 직선 이동할 수 있다. 예를 들어, 제2 이동부재(350)의 상면은 제2 상부레일(385)과 연결되고, 하면은 제2 하부레일(386)과 연결될 수 있다.
수납부재(360)는 제2 이동부재(350) 상에 구비되어, 제2 이동부재(350), 제2 유압실린더부재(390) 및 제2 상부레일(385)을 수납하고, 제2 돌출부(323)의 수평이동을 제어할 수 있다. 수납부재(360)의 제2 측벽(363)의 내측면은 제2 돌출부의 외측면(323b)과 접할 수 있다. 즉, 제2 측벽(363)은 제2 몸체부재(320)의 외측면을 감싸도록 구비될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 제2 측벽(363)이 구비됨으로써, 제2 이동부재(350)의 이동에 따라, 제2 몸체부재(320)가 제3 방향으로 이동하는 것을 제어할 수 있다. 이에 따라, 제2 몸체부재(320)는 안정적으로 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다.
제2 유압실린더부재(390)는 수납부재(360) 내에 구비되며, 제2 이동부재(350)와 연결될 수 있다. 예를 들어, 제2 유압실린더부재(390)는 제어부의 제어신호에 따라, 제2 이동부재(350)를 제3 방향 또는 제3 방향과 반대방향인 제1 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제2 몸체부재(320)는 제3 또는 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동할 수 있다.
이에 따라, 제2 몸체부재(320)와 중심몸체(330)에 단차가 발생될 수 있어, 제2 슬릿(325)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다.
레일부재(380)는 제2 이동부재(350) 및 제2 몸체부재(320)의 이동을 가이드할 수 있다. 제2 상부레일(385)은 제2 유압실린더부재(390)의 제어에 따라, 제2 이동부재(350)를 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동시킬 수 있다. 제2 하부레일(386)은 제2 돌출부(323)의 경사면(323a)에 고정되고, 제2 돌출부의 경사면(323a)과 마주보는 제2 이동부재(350)의 가이드경사면에 연결될 수 있다. 제2 가이드레일(387)은 제2 몸체부재(320)와 중심몸체(330) 사이에 구비되어, 제2 이동부재(350)의 이동에 따른 제2 몸체부재(320)의 수직운동을 가이드하고 제어하는 기능을 수행할 수 있다. 제2 가이드레일(387)은 제2 몸체부재(320) 방향으로 돌출된 제2 걸림돌기(387a)를 포함할 수 있다. 제2 걸림돌기(387a)는 제2 몸체부재(320)의 걸림홈에 맞물릴 수 있으며, 이에 따라, 제2 몸체부재(320)의 수직이동을 제어할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 레일부재(380)가 구비됨에 따라, 제2 이동부재(350)가 제1 방향 또는 제3 방향으로 이동하는 경우, 제2 몸체부재(320)를 제1 방향 또는 제3 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제2 몸체부재(320)와 중심몸체(330) 사이에 단차를 발생시킬 있어, 제2 슬릿(325)으로 분사되는 공기의 각도를 용이하게 제어할 수 있다. 이에 따라, 기판의 표면의 세정액 및 수분을 더욱 효과적으로 제거할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는 세정 공정을 거치고 이송되는 기판의 표면에 공기를 이중으로 분사함으로써, 기판 크기에 상관없이 전체에 균일하게 건조 공기를 분사하여 건조효율을 향상시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1000: 건조모듈
100: 건조챔버 200: 기판이송부
300: 듀얼 슬릿 에어나이프
310: 제1 몸체부재 311: 제1 챔버
312: 제1 통로 313: 돌출부
320: 제2 몸체부재 321: 제2 챔버
322: 제2 통로 323: 제2 돌출부
330: 중심몸체 340: 이동부재
350: 제2 이동부재 360: 수납부재
370: 유압실린더부재
380: 레일부재 381: 상부레일
382: 하부레일 383: 가이드레일
385: 제2 상부레일 386: 제2 하부레일
387: 제2 가이드레일
390: 제2 유압실린더부재
400: 제어부 500: 에어공급부
100: 건조챔버 200: 기판이송부
300: 듀얼 슬릿 에어나이프
310: 제1 몸체부재 311: 제1 챔버
312: 제1 통로 313: 돌출부
320: 제2 몸체부재 321: 제2 챔버
322: 제2 통로 323: 제2 돌출부
330: 중심몸체 340: 이동부재
350: 제2 이동부재 360: 수납부재
370: 유압실린더부재
380: 레일부재 381: 상부레일
382: 하부레일 383: 가이드레일
385: 제2 상부레일 386: 제2 하부레일
387: 제2 가이드레일
390: 제2 유압실린더부재
400: 제어부 500: 에어공급부
Claims (6)
- 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 구비된 제1 몸체부재;
내부에 에어를 수용하는 제2 챔버와 상기 에어가 외부로 분사되는 제2 통로가 구비된 제2 몸체부재;
상기 제1 몸체부재와 제2 몸체부재 사이에 위치하는 중심몸체; 및
상기 제1 몸체부재의 상면에 위치하며, 상기 제1 몸체부재의 상면과 평행한 제1 방향으로 직선 이동하는 이동부재를 포함하는 듀얼 슬릿 에어나이프.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제1 몸체부재는 상면으로부터 돌출된 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부는 상기 상면으로부터 경사지게 연장되는 경사면을 포함하는 듀얼 슬릿 에어나이프.
- 제 2 항에 있어서,
상기 이동부재 상에 위치하는 수납부재를 더 포함하고,
상기 수납부재는 상기 이동부재를 수납하는 안착부; 및
상기 안착부의 일단으로부터 수직하게 연장되는 제1 측벽을 포함하는 듀얼 슬릿 에어나이프.
- 제 3 항에 있어서,
상기 제1 측벽의 내측면은 상기 돌출부의 외측면과 접하는 듀얼 슬릿 에어나이프.
- 제 3 항에 있어서,
상기 수납부재의 안착부와 상기 이동부재 사이에 위치하고, 상기 이동부재의 상면과 연결되어, 상기 이동부재를 상기 제1 방향으로 이동시키는 상부레일;
상기 이동부재의 하면과 상기 경사면 사이에 위치하여, 상기 이동부재의 이동에 따라 상기 제1 몸체부재를 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 이동시키는 하부레일; 및
상기 중심몸체의 상부 일면에 구비되어, 상기 중심몸체의 상부 일면과 마주보는 상기 제1 몸채부재의 이동을 가이드하는 가이드레일을 더 포함하는 듀얼 슬릿 에어나이프.
- 제 5 항에 있어서,
상기 가이드레일은 상기 제1 몸체부제 방향으로 돌출된 걸림돌기를 포함하는 듀얼 슬릿 에어나이프.
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| KR1020210105185A KR102554793B1 (ko) | 2021-08-10 | 2021-08-10 | 듀얼 슬릿 에어나이프 |
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| KR20160138700A (ko) * | 2015-05-26 | 2016-12-06 | 주식회사 케이씨텍 | 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치 |
| KR101840166B1 (ko) * | 2017-06-22 | 2018-03-19 | 최기영 | 분사모듈 |
| KR20200056042A (ko) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | 드림산업(주) | 듀얼 슬릿 에어나이프 |
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right |