KR20220167205A - Black matrix pigment dispersion composition, black matrix resist composition, and black resist film - Google Patents

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슌스케 스기에
šœ스케 스기에
타쿠야 이노우에
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사카타 인쿠스 가부시키가이샤
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Abstract

A pigment dispersion composition for black matrix contains carbon black, a pigment dispersing agent containing a basic group, a pigment dispersing aid containing an acidic group, an epoxy resin, an alkali-soluble resin and a solvent, wherein the carbon black is surface-treated carbon black treated with inorganic aluminum salt. The pigment dispersion composition for the black matrix can obtain a resist composition excellent in thin wire adhesion.

Description

블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물, 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물 및 블랙 레지스트막{Black matrix pigment dispersion composition, black matrix resist composition, and black resist film}Black matrix pigment dispersion composition, black matrix resist composition, and black resist film

본 발명은 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물, 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물 및 블랙 레지스트 막에 관한 것이다.The present invention relates to a pigment dispersion composition for a black matrix, a resist composition for a black matrix, and a black resist film.

종래 카본 블랙, 염기성기 함유 안료 분산제, 산성기 함유 안료 분산조제, 에폭시 수지, 다관능 티올 화합물, 및 용제를 함유하는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물을 이용한 레지스트 조성물이 알려져 있다(특허 문헌 1). 또한, 블랙 매트릭스용 카본 블랙으로서 그 표면이 금속염 등을 개재하여 염료를 피복(고정)한 것을 이용함으로써 블랙 매트릭스의 은폐성을 향상시킬 수 있다는 것이 알려져 있다.Conventionally, a resist composition using a pigment dispersing composition for a black matrix containing carbon black, a pigment dispersant containing a basic group, a pigment dispersing aid containing an acidic group, an epoxy resin, a polyfunctional thiol compound, and a solvent is known (Patent Document 1). In addition, it is known that the concealability of the black matrix can be improved by using a carbon black for a black matrix in which a dye is coated (fixed) on its surface via a metal salt or the like.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2021-38289호 공보[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 2021-38289 [특허문헌 2] 국제 공개 제2013/129554호[Patent Document 2] International Publication No. 2013/129554

특허문헌 1에서는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물을 이용한 레지스트 조성물은 세선 밀착성이 우수한 것이 개시되어 있지만, 해당 조성물은 다관능 티올 화합물을 필수 성분으로 하기 때문에 악취 등의 문제가 있었다. 따라서, 이러한 조성물과는 다른 방법으로 세선 밀착성이 우수한 레지스트 조성물이 얻어지는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물이 요구되고 있었다.Patent Document 1 discloses that a resist composition using a pigment dispersion composition for a black matrix has excellent thin wire adhesion, but since the composition contains a polyfunctional thiol compound as an essential component, there are problems such as odor. Accordingly, there has been a demand for a pigment dispersion composition for a black matrix capable of obtaining a resist composition excellent in thin wire adhesion by a method different from these compositions.

본 발명은 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로 세선 밀착성이 우수한 레지스트 조성물이 얻어지는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was made in view of the above situation, and an object of the present invention is to provide a pigment dispersion composition for a black matrix from which a resist composition excellent in thin wire adhesion can be obtained.

즉, 본 발명은 카본 블랙, 염기성기 함유 안료 분산제, 산성기 함유 안료 분산조제, 에폭시 수지, 알칼리가용성 수지, 및 용제를 함유하고 상기 카본 블랙은 무기 알루미늄염으로 처리된 표면 처리 카본 블랙인 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물에 관한 것이다.That is, the present invention contains carbon black, a pigment dispersant containing a basic group, a pigment dispersing aid containing an acidic group, an epoxy resin, an alkali-soluble resin, and a solvent, and the carbon black is a black matrix, which is a surface-treated carbon black treated with an inorganic aluminum salt. It relates to a pigment dispersion composition for use.

또한, 본 발명은 상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물, 광중합성 화합물, 및 광중합 개시제를 함유하는 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물에 관한 것이다.Further, the present invention relates to a resist composition for a black matrix containing the pigment dispersion composition for a black matrix, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator.

나아가, 본 발명은 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물을 이용하여 얻어지는 블랙 레지스트막에 관한 것이다.Furthermore, the present invention relates to a black resist film obtained by using a resist composition for a black matrix.

본 발명의 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물은 카본 블랙, 염기성기 함유 안료 분산제, 산성기 함유 안료 분산조제, 에폭시 수지, 알칼리가용성 수지, 및 용제를 함유하고 상기 카본 블랙은 무기 알루미늄 염으로 처리된 표면 처리 카본 블랙이다. 특히, 상기 표면 처리 카본 블랙은 미처리 카본 블랙과 비교하여 적당히 친수성이 억제되고 알칼리 현상 및 수세에 의한 형성된 패턴부의 용출·박리를 억제할 수 있기 때문에 본 발명의 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물은 세선 밀착성이 우수하다.The pigment dispersion composition for a black matrix of the present invention contains carbon black, a basic group-containing pigment dispersant, an acidic group-containing pigment dispersing aid, an epoxy resin, an alkali-soluble resin, and a solvent, and the carbon black is surface treated with an inorganic aluminum salt. It is carbon black. In particular, since the surface-treated carbon black moderately suppresses hydrophilicity compared to untreated carbon black and can suppress elution and peeling of pattern portions formed by alkali development and washing with water, the pigment dispersion composition for a black matrix of the present invention has fine wire adhesion. great.

본 발명의 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물은 카본 블랙, 염기성기 함유 안료 분산제, 산성기 함유 안료 분산조제, 에폭시 수지, 알칼리가용성 수지, 및 용제를 함유하고, 상기 카본 블랙은 무기 알루미늄 염으로 처리된 표면 처리 카본 블랙이다.The pigment dispersing composition for a black matrix of the present invention contains carbon black, a pigment dispersing agent containing a basic group, a pigment dispersing aid containing an acidic group, an epoxy resin, an alkali-soluble resin, and a solvent, wherein the surface of the carbon black is treated with an inorganic aluminum salt. It is treated carbon black.

<표면 처리 카본 블랙><Surface treated carbon black>

상기 표면 처리 카본 블랙은 카본 블랙의 표면이 무기 알루미늄 염으로 처리된 것이다.The surface-treated carbon black is obtained by treating the surface of carbon black with an inorganic aluminum salt.

상기 카본 블랙으로서는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물에 사용되는 공지의 카본 블랙을 사용할 수 있고, 예를 들면 아세틸렌 블랙, 채널 블랙, 퍼니스 블랙, 케첸 블랙 등을 들 수 있다. 상기 카본 블랙의 구체예로서는 미쓰비시화학사 제조의 MA7, MA8, MA11, MA14, #1000, #2350 등, 오리온·엔지니어드카본즈사 제조의 SpecialBlack350, SpecialBlack250, SpecialBlack550, NEROX2500, NEROX3500, NEROX305 등, 캐보트사 제조의 MOGULL, REGAL400R, TPK1101R, TPK1104R, TPK1227R 등, 콜롬비안카본사 제조의 RAVEN1200, RAVEN1250, RAVEN1255, RAVEN1190U, RAVEN1170, RAVEN1035, RAVEN1080U, RAVEN1060U, RAVEN1100U 등을 들 수 있다. 상기 카본 블랙은 pH가 5 이하이고, 카르복실기 등의 산성기를 갖는 산성 카본 블랙이 바람직하고 또한 입자 직경이 20 ~ 60nm인 것이 바람직하다. 상기 산성 카본 블랙으로서는 예를 들면, NEROX2500, NEROX3500, TPK1101R, TPK1104R, TPK1227R 등을 들 수 있다. 또한, 상기 입자경은 현미경 관찰에 의해 측정 또는 산출한 평균 1차 입자경을 의미하지만, 시판품의 경우 카탈로그값을 참고로 한다. 상기 카본 블랙은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As said carbon black, the well-known carbon black used for the pigment dispersion composition for black matrices can be used, For example, acetylene black, channel black, furnace black, Ketjen black, etc. are mentioned. Specific examples of the carbon black include MA7, MA8, MA11, MA14, #1000, and #2350 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, SpecialBlack350, SpecialBlack250, SpecialBlack550, NEROX2500, NEROX3500, NEROX305 manufactured by Orion Engineered Carbons, etc., manufactured by Cabot Corporation. MOGULL, REGAL400R, TPK1101R, TPK1104R, TPK1227R, RAVEN1200, RAVEN1250, RAVEN1255, RAVEN1190U, RAVEN1170, RAVEN1035, RAVEN1080U, RAVEN1060U, RAVEN1100U, etc. manufactured by Colombian Carbon. The carbon black has a pH of 5 or less, is preferably an acidic carbon black having an acidic group such as a carboxyl group, and preferably has a particle size of 20 to 60 nm. As said acidic carbon black, NEROX2500, NEROX3500, TPK1101R, TPK1104R, TPK1227R etc. are mentioned, for example. In addition, the said particle diameter means the average primary particle diameter measured or computed by microscopic observation, but reference is made to the catalog value in the case of a commercial item. These carbon blacks may be used alone or in combination of two or more.

상기 무기 알루미늄염은 공지의 무기 알루미늄염이면 사용할 수 있고 예를 들면, 황산알루미늄, (폴리)염화알루미늄, 질산알루미늄 등을 들 수 있다.Any known inorganic aluminum salt can be used as the inorganic aluminum salt, and examples thereof include aluminum sulfate, (poly) aluminum chloride, and aluminum nitrate.

상기 표면 처리 카본 블랙에 있어서, 상기 무기 알루미늄의 사용량은 상기 카본 블랙 100질량부에 대하여 세선 밀착성의 관점에서 0.5질량부 이상인 것이 바람직하고 8질량부 이상인 것이 보다 바람직하고, 흑색도의 관점에서 200질량부 이하인 것이 바람직하고 150질량부 이하인 것이 보다 바람직하다.In the surface-treated carbon black, the amount of inorganic aluminum used is preferably 0.5 parts by mass or more, more preferably 8 parts by mass or more, from the viewpoint of fine wire adhesion, and 200 parts by mass from the viewpoint of blackness, relative to 100 parts by mass of the carbon black. It is preferable that it is 1 part or less, and it is more preferable that it is 150 parts by mass or less.

상기 표면 처리 카본 블랙은 상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물 중 블랙 매트릭스막을 형성한 경우의 차광성이 높아지는 관점에서 3질량% 이상인 것이 바람직하고 10질량% 이상인 것이 보다 바람직하고 안료 분산의 관점에서 70질량% 이하인 것이 바람직하고 50질량% 이하인 것이 보다 바람직하다.The surface-treated carbon black is preferably 3% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and 70% by mass from the viewpoint of pigment dispersion, from the viewpoint of increasing the light-shielding property when a black matrix film is formed in the pigment dispersion composition for black matrix. It is preferable that it is below, and it is more preferable that it is 50 mass % or less.

상기 표면 처리 카본 블랙에 있어서의 표면 처리 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 믹서나 블렌더 중에서 카본 블랙을 교반(유동)하면서, 1) 상기 무기 알루미늄염 또는 상기 무기 알루미늄염을 포함하는 수용액을 첨가하여 교반 처리하는 방법, 2) 상기 무기 알루미늄염을 포함하는 수용액을 스프레이 등의 분무기를 이용하여 분무 처리하는 방법, 또한, 3) 카본 블랙의 조립(造粒) 공정에 사용하는 물에 상기 무기 알루미늄염을 첨가하여 처리하는 방법 등을 들 수 있다.The surface treatment method for the surface-treated carbon black is not particularly limited. For example, while stirring (flowing) the carbon black in a mixer or blender, 1) the inorganic aluminum salt or an aqueous solution containing the inorganic aluminum salt is prepared. 2) a method of spraying an aqueous solution containing the inorganic aluminum salt using an atomizer such as a sprayer, and 3) adding the inorganic aluminum salt to the water used in the carbon black granulation step. A method of treating by adding an aluminum salt, and the like are exemplified.

<염기성기 함유 안료 분산제><Basic group-containing pigment dispersant>

상기 염기성기 함유 안료 분산제는 상기 카본 블랙을 분산할 수 있으면 되고, 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물에 사용되는 공지의 염기성기 함유 안료 분산제를 사용할 수 있고 예를 들면, 음이온성 계면활성제, 염기성기 함유 폴리에스테르계 안료 분산제, 염기성기 함유 아크릴계 안료 분산제, 염기성기 함유 우레탄계 안료 분산제, 염기성기 함유 카르보디이미드계 안료 분산제 등을 들 수 있다. 상기 염기성기로서는 1급, 2급 또는 3급 아미노기가 특히 분산성이 우수한 관점에서 바람직하다. 상기 염기성기 함유 안료 분산제는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The basic group-containing pigment dispersant only needs to be capable of dispersing the carbon black, and known basic group-containing pigment dispersants used in pigment dispersion compositions for black matrices can be used, and examples thereof include anionic surfactants and basic group-containing polycarbonates. Ester-type pigment dispersants, basic group-containing acrylic pigment dispersants, basic group-containing urethane-type pigment dispersants, basic group-containing carbodiimide-type pigment dispersants, and the like are exemplified. As the basic group, a primary, secondary or tertiary amino group is particularly preferred from the standpoint of excellent dispersibility. The said basic group containing pigment dispersant can be used individually or in combination of 2 or more types.

상기 염기성기 함유 안료 분산제는 양호한 안료 분산성이 얻어지는 점에서 고분자형의 염기성기 함유 안료 분산제가 바람직하다. 상기 고분자형의 염기성기 함유 안료 분산제로서는 예를 들면, 염기성기 함유 우레탄계 고분자 안료 분산제, 염기성기 함유 폴리에스테르계 고분자 안료 분산제, 염기성기 함유 아크릴계 고분자 안료 분산제 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 염기성기 함유 우레탄계 고분자 안료 분산제, 염기성기 함유 아크릴계 고분자 안료 분산제가 바람직하다. 상기 염기성기 함유 우레탄계 고분자 안료 분산제는 폴리에스테르쇄, 폴리에테르쇄, 및 폴리카보네이트쇄로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 갖는 염기성기 함유 우레탄계 고분자 안료 분산제가 보다 바람직하다.The pigment dispersant containing a basic group is preferably a polymeric type pigment dispersant containing a basic group from the viewpoint of obtaining good pigment dispersibility. Examples of the polymer type pigment dispersant containing a basic group include a basic group-containing urethane polymer pigment dispersant, a basic group-containing polyester polymer pigment dispersant, and a basic group-containing acrylic polymer pigment dispersant. Among these, a basic group-containing urethane-based polymer pigment dispersant and a basic group-containing acrylic polymer pigment dispersant are preferable. The basic group-containing urethane-based polymer pigment dispersant is more preferably a basic group-containing urethane-based polymer pigment dispersant having at least one selected from the group consisting of a polyester chain, a polyether chain, and a polycarbonate chain.

상기 염기성기 함유 안료 분산제는 상기 표면 처리 카본 블랙 100질량부에 대하여 1 ~ 100질량부인 것이 바람직하고 2 ~ 50질량부인 것이 보다 바람직하다.The basic group-containing pigment dispersant is preferably 1 to 100 parts by mass, more preferably 2 to 50 parts by mass, based on 100 parts by mass of the surface-treated carbon black.

<산성기 함유 안료 분산조제><Acidic group-containing pigment dispersing aid>

상기 산성기 함유 안료 분산조제는 안료의 분산성을 보다 개선할 목적으로 사용되고 예를 들면, 락탐 블랙, 페릴렌계 화합물, 디케토피롤로피롤계 화합물, 아조나프톨계 화합물, 디옥사진계 화합물, 퀴나크리돈계 화합물, 프탈로시아닌계 화합물 및 그 금속 착체, 안트라퀴논, 나프탈렌, 아크리돈, 또는 트리아진 등의 색소에 카르복실기, 술폰산기 등의 산성기가 도입된 화합물(산성기를 갖는 색소 유도체)이나, 이들을 유기 아민 등으로 중화한 화합물을 들 수 있다. 상기 산성기를 갖는 색소 유도체로서는 카본 블랙의 분산성이 양호한 관점에서 술폰산기를 갖는 프탈로시아닌계 (프탈로시아닌 골격을 갖는) 색소 유도체가 바람직하다. 상기 산성기 함유 안료 분산조제는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The acidic group-containing pigment dispersing aid is used for the purpose of further improving the dispersibility of the pigment, for example, lactam black, perylene-based compound, diketopyrrolopyrrole-based compound, azonaphthol-based compound, dioxazine-based compound, quinacridone-based compound , phthalocyanine-based compounds and their metal complexes, compounds in which an acidic group such as a carboxyl group or a sulfonic acid group is introduced into a pigment such as anthraquinone, naphthalene, acridone, or triazine (pigment derivative having an acidic group), these as organic amines, etc. A neutralized compound is mentioned. As the pigment derivative having an acidic group, a phthalocyanine-based (having a phthalocyanine skeleton) pigment derivative having a sulfonic acid group is preferable from the viewpoint of good dispersibility of carbon black. The above acidic group-containing pigment dispersing aids may be used alone or in combination of two or more.

상기 산성기 함유 안료 분산조제는 상기 표면 처리 카본 블랙 100질량부에 대하여, 0.1 ~ 20질량부인 것이 바람직하고 1 ~ 10질량부인 것이 보다 바람직하다.It is preferable that it is 0.1-20 mass parts, and it is more preferable that it is 1-10 mass parts with respect to 100 mass parts of the said surface-treated carbon blacks of the said acidic group containing pigment dispersing aid.

<에폭시 수지><Epoxy resin>

상기 에폭시 수지는 에폭시기를 2개 이상 갖는 다관능 에폭시 수지이다. 상기 에폭시 수지로서는 예를 들면, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 비페놀형 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 지방족 사슬상 에폭시 수지, 글리시딜 에스테르형 에폭시 수지, 페놀 화합물(페놀, 크레졸, 알킬페놀, 카테콜, 비스페놀 F, 비스페놀 A, 비스페놀 S 등)과 알데히드 화합물(포름알데히드, 살리실알데히드 등)과의 축합물의 글리시딜에테르화물, 2관능 페놀의 글리시딜 에테르화물, 2관능 알코올의 글리시딜 에테르화물, 3관능 이상의 폴리페놀의 글리시딜 에테르화물, 및 이들의 수소 첨가물 또는 할로겐화물 등을 들 수 있다. 상기 에폭시 수지는 지환 또는 방향환을 갖는 다관능 에폭시 수지여도 되고, 또한 지환인 디시클로펜타디엔 골격을 갖는 다관능 에폭시 수지여도 되고, 그 중에서도 세선 밀착성을 향상시키는 관점에서 방향환을 갖는 다관능 에폭시 수지가 바람직하다. 상기 에폭시 수지의 구체예로서는 에폴라이트 40E, 에폴라이트 100E, 에폴라이트 200E, 에폴라이트 400E, 에폴라이트 70P, 에폴라이트 200P, 에폴라이트 400P, 에폴라이트 1500NP, 에폴라이트 80MF, 에폴라이트 4000, 에폴라이트 3002(이상, 교에이샤화학사 제조), 데나콜 EX-212L, 데나콜 EX-214L, 데나콜 EX-216L, 데나콜 EX-850L, 데나콜 EX-321L(이상, 나가세켐텍스사 제조), GAN, GOT, NC3000, NC6000, HPPN502H(이상, 니폰카야쿠사 제조), 에피코트 828, 에피코트 1002, 에피코트 1750, 에피코트 1007, YX8100-BH30, E1256, E4250, E4275(이상, 재팬에폭시레진사 제조), 에피크론 EXA-9583, 에피크론 N695, HP7200, HP4032(이상, 다이니폰잉키화학공업사 제조), VG3101(미쓰이화학사 제조), 테픽 S, 테픽 G, 테픽 P(이상, 닛산화학공업사 제조), 포토트 YH-434L(토도카세이사 제조) 등을 들 수 있다. 또한, 상기 에폭시 수지는 인단 구조나 비페닐 구조를 갖지 않는 것이 반응성 등의 점에서 바람직하다.The epoxy resin is a multifunctional epoxy resin having two or more epoxy groups. Examples of the epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, biphenol type epoxy resins, alicyclic epoxy resins, aliphatic chain type epoxy resins, and glycidyl ester type epoxy resins. , glycidyl etherized products of condensates of phenolic compounds (phenol, cresol, alkylphenol, catechol, bisphenol F, bisphenol A, bisphenol S, etc.) and aldehyde compounds (formaldehyde, salicylaldehyde, etc.), difunctional phenols glycidyl ether compounds, glycidyl ether compounds of bifunctional alcohols, glycidyl ether compounds of trifunctional or higher functional polyphenols, and hydrogenated products or halides thereof. The epoxy resin may be a multifunctional epoxy resin having an alicyclic ring or an aromatic ring, or a multifunctional epoxy resin having an alicyclic dicyclopentadiene backbone. Resin is preferred. Specific examples of the epoxy resin include Epolite 40E, Epolite 100E, Epolite 200E, Epolite 400E, Epolite 70P, Epolite 200P, Epolite 400P, Epolite 1500NP, Epolite 80MF, Epolite 4000, and Epolite 3002 ( above, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Denacol EX-212L, Denacol EX-214L, Denacol EX-216L, Denacol EX-850L, Denacol EX-321L (above, manufactured by Nagase ChemteX), GAN, GOT, NC3000, NC6000, HPPN502H (above, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Epicoat 828, Epicoat 1002, Epicoat 1750, Epicoat 1007, YX8100-BH30, E1256, E4250, E4275 (above, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) , Epicron EXA-9583, Epicron N695, HP7200, HP4032 (above, manufactured by Dainippon Inkki Chemical Industries, Ltd.), VG3101 (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), Tepic S, Tepic G, Tepic P (above, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), Photo Etc. YH-434L (manufactured by Todokasei Co., Ltd.); and the like. Moreover, it is preferable from points, such as reactivity, that the said epoxy resin does not have an indan structure or a biphenyl structure.

상기 에폭시 수지로서는 예를 들면, 하기 식 1 ~ 7로 표시되는 방향환을 갖는 다관능 에폭시 수지를 바람직하게 들 수 있다.As said epoxy resin, the polyfunctional epoxy resin which has an aromatic ring represented by the following formulas 1-7 is mentioned preferably, for example.

Figure pat00001
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Figure pat00002
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Figure pat00007
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상기 에폭시 수지는 상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물 또는 후술하는 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물에 포함되는 카본 블랙 100질량부에 대하여 블랙 매트릭스로서의 저항값의 관점에서 1질량부 이상인 것이 바람직하고 2 질량부 이상인 것이 보다 바람직하고 5 질량부 이상인 것이 더욱 바람직하고 그리고 안료 농도에 의한 흑색도의 관점에서 30 질량부 이하인 것이 바람직하고 20 질량부 이하인 것이 보다 바람직하고 15질량부 이하인 것이 더욱 바람직하다.The epoxy resin is preferably 1 part by mass or more, and more preferably 2 parts by mass or more, from the viewpoint of resistance value as a black matrix with respect to 100 parts by mass of carbon black contained in the pigment dispersion composition for a black matrix or a resist composition for a black matrix described later. It is preferably 5 parts by mass or more, more preferably 30 parts by mass or less, more preferably 20 parts by mass or less, and even more preferably 15 parts by mass or less from the viewpoint of blackness by pigment concentration.

<알칼리가용성 수지><Alkali-soluble resin>

상기 알칼리가용성 수지는 알칼리 현상액에 용해할 수 있는 것이면 특별히 제한은 없지만, 카르복실기, 술폰산기, 포스폰산기(-P(=O)(OH2)) 등의 음이온성기의 1 종 또는 2종 이상을 함유하는 수지가 바람직하다. 상기 알칼리가용성 수지는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The alkali-soluble resin is not particularly limited as long as it is soluble in an alkaline developer, but one or more of anionic groups such as a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphonic acid group (-P(=O)(OH 2 )) are used. Resin containing is preferable. The alkali-soluble resins may be used alone or in combination of two or more.

상기 알칼리가용성 수지의 산가는 알칼리 현상성의 관점에서 10 mgKOH/g 이상 300 mgKOH/g 이하인 것이 바람직하고 20 mgKOH/g 이상 200 mgKOH/g 이하인 것이 보다 바람직하다.The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 10 mgKOH/g or more and 300 mgKOH/g or less, and more preferably 20 mgKOH/g or more and 200 mgKOH/g or less, from the viewpoint of alkali developability.

상기 알칼리가용성 수지의 중량 평균 분자량은 레지스트막의 형성성의 관점에서 5,000 이상인 것이 바람직하고 10,000 이상인 것이 보다 바람직하다. 상기 알칼리가용성 수지의 중량 평균 분자량은 알칼리 현상액에의 용해성을 높이는 관점에서 100,000 이하인 것이 바람직하고 50,000 이하인 것이 보다 바람직하다.It is preferable that it is 5,000 or more, and, as for the weight average molecular weight of the said alkali-soluble resin, it is more preferable that it is 10,000 or more from a viewpoint of formation property of a resist film. It is preferable that it is 100,000 or less, and, as for the weight average molecular weight of the said alkali-soluble resin, it is more preferable that it is 50,000 or less from a viewpoint of improving solubility to alkali developing solution.

상기 중량 평균 분자량은 겔 침투 크로마토그래피(GPC)법에 의해 측정할 수 있다. 일례로서 GPC 장치로서 Water2690(워터즈사 제조), 컬럼으로서 PLgel, 5㎛, MIXED-D(Polymer Laboratories사 제조)를 사용하여 전개 용매로서 테트라히드로푸란, 컬럼 온도 25℃, 유속 1밀리리터/분, 검출기, 시료 주입 농도 10 밀리그램/밀리리터, 주입량 100 마이크로리터의 조건 하, 크로마토그래피를 행하여 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량으로서 구할 수 있다.The weight average molecular weight can be measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. As an example, using Water2690 (manufactured by Waters) as a GPC device, PLgel, 5 μm, MIXED-D (manufactured by Polymer Laboratories) as a column, tetrahydrofuran as a developing solvent, column temperature 25 ° C., flow rate 1 milliliter / min, detector , It can be obtained as a weight average molecular weight in terms of polystyrene by performing chromatography under conditions of a sample injection concentration of 10 milligrams/milliliter and an injection amount of 100 microliters.

상기 알칼리가용성 수지로서는 예를 들면, 알칼리가용성 폴리이미드 수지, 알칼리가용성 폴리이미드 전구체, 알칼리가용성 폴리벤조옥사졸 수지, 알칼리가용성 폴리벤조옥사졸 전구체, 알칼리가용성 카르도 수지, 알칼리가용성 에폭시(메타)아크릴레이트 수지, 알칼리가용성 폴리실록산 수지, 알칼리가용성 노볼락 수지, 알칼리가용성(메트)아크릴 수지, 알칼리가용성 폴리우레탄 수지, 알칼리가용성 폴리에스테르 수지 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 도막의 내열성의 관점에서 알칼리가용성 카르도 수지, 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지가 바람직하다.Examples of the alkali-soluble resin include alkali-soluble polyimide resin, alkali-soluble polyimide precursor, alkali-soluble polybenzoxazole resin, alkali-soluble polybenzoxazole precursor, alkali-soluble cardo resin, and alkali-soluble epoxy (meth)acrylic acid. rate resins, alkali-soluble polysiloxane resins, alkali-soluble novolak resins, alkali-soluble (meth)acrylic resins, alkali-soluble polyurethane resins, alkali-soluble polyester resins, and the like. Among these, alkali-soluble cardo resin and alkali-soluble epoxy (meth)acrylate resin are preferable from the viewpoint of heat resistance of the coating film.

상기 알칼리가용성 카르도 수지란 카르도 골격을 갖는 알칼리가용성 수지를 말하고, 카르도 골격이란 환상 구조를 구성하는 고리 탄소 원자인 4급 탄소 원자에 2개의 방향족기가 단결합으로 연결된 골격을 말한다. 알칼리가용성 카르도 수지의 구체예로서는 예를 들면, ADEKA ARKLS WR-301(ADEKA 제조), 오그졸 CR-TR1, CR-TR2, CR-TR3, CR-TR4, CR-TR5, CR-TR6(이상, 오사카가스케미칼 제조)를 들 수 있다.The alkali-soluble cardo resin refers to an alkali-soluble resin having a cardo skeleton, and the cardo skeleton refers to a skeleton in which two aromatic groups are connected by a single bond to a quaternary carbon atom, which is a ring carbon atom constituting a cyclic structure. As specific examples of the alkali-soluble cardo resin, for example, ADEKA ARKLS WR-301 (manufactured by ADEKA), Ogsol CR-TR1, CR-TR2, CR-TR3, CR-TR4, CR-TR5, CR-TR6 (above, manufactured by Osaka Gas Chemical).

상기 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지란 에틸렌성 불포화 모노카르본산이 갖는 카르복실기를 에폭시 수지가 갖는 에폭시기에 개환 부가시킴으로써 에틸렌성 불포화기를 도입하고, 나아가 에폭시기의 개환에 의해 생긴 수산기의 적어도 일부에 다염기성 카르본산(또는 그 무수물)을 부가시킴으로써 카르복실기를 도입하여 얻어지는 산 변성 에폭시 수지 중 상기 카르도 골격을 가지지 않고 상기 알칼리가용성 수지에 상당하는 수지를 말한다. 상기 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지에 있어서 모체 원료가 되는 에폭시 수지로서는 예를 들면, 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비페닐 구조를 갖는 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 크레졸노볼락형 에폭시 수지를 바람직하게 들 수 있다.에폭시 수지를 변성하기 위해 이용하는 에틸렌성 불포화 모노카르본산으로서는 예를 들어, 아크릴산, 메타크릴산을 바람직하게 들 수 있다. 다염기성 카르복실산(또는 그 무수물)로서는 예를 들면, 말레산 무수물, 숙신산 무수물, 테트라히드로프탈산 무수물을 들 수 있다. 이들 중에서도 세선 밀착성을 향상시키는 관점에서 비페닐 골격을 갖는 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지가 바람직하다. 상기 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지의 구체예로서는 예를 들면, ZAR-1494H, ZAR-2001H, ZFR-1491H, ZCR-1797H, ZCR-1569H, ZCR-1798H(이상, 니폰카야쿠 제조)를 들 수 있다. 또한, 바람직한 구체예로서는 하기 구조식 중 어느 하나로 표시되는 부분 구조를 갖는 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지를 들 수 있다.The alkali-soluble epoxy (meth) acrylate resin is an ethylenically unsaturated group introduced by ring-opening addition of a carboxyl group of an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to an epoxy group of an epoxy resin, and further adding to at least a part of the hydroxyl groups generated by ring-opening of the epoxy group. Among the acid-modified epoxy resins obtained by introducing a carboxyl group by adding a basic carboxylic acid (or its anhydride), it refers to a resin corresponding to the alkali-soluble resin without the cardo skeleton. Examples of the epoxy resin serving as a base material in the alkali-soluble epoxy (meth)acrylate resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, an epoxy resin having a biphenyl structure, a phenol novolak type epoxy resin, A cresol novolac type epoxy resin is preferably used. Preferred examples of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid used for modifying the epoxy resin include acrylic acid and methacrylic acid. Examples of the polybasic carboxylic acid (or its anhydride) include maleic anhydride, succinic anhydride, and tetrahydrophthalic anhydride. Among these, alkali-soluble epoxy (meth)acrylate resins having a biphenyl skeleton are preferable from the viewpoint of improving the thin wire adhesion. Specific examples of the alkali-soluble epoxy (meth)acrylate resin include ZAR-1494H, ZAR-2001H, ZFR-1491H, ZCR-1797H, ZCR-1569H, and ZCR-1798H (manufactured by Nippon Kayaku). can Moreover, as a preferable specific example, the alkali-soluble epoxy (meth)acrylate resin which has a partial structure represented by any one of the following structural formulas is mentioned.

Figure pat00008
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상기 알칼리가용성 수지는 상기 표면 처리 카본 블랙 100질량부에 대하여 1 ~ 70질량부인 것이 바람직하고 5 ~ 30질량부인 것이 보다 바람직하다.The alkali-soluble resin is preferably 1 to 70 parts by mass, more preferably 5 to 30 parts by mass, based on 100 parts by mass of the surface-treated carbon black.

<용제><Solvent>

상기 용제는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물에 사용되는 공지의 용제를 사용할 수 있다. 상기 용제는 안료를 안정적으로 분산시키고, 상기 염기성기 함유 안료 분산제나 상기 알칼리가용성 수지를 충분히 용해시킬 수 있는 관점에서 에스테르계 용제, 에테르계 용제, 에테르 에스테르계 용제, 케톤계 용제, 방향족 탄화수소계 용제, 질소 함유계 용제 등이 바람직하다. 상기 용제는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As the solvent, a known solvent used in a pigment dispersion composition for a black matrix may be used. The solvent stably disperses the pigment and is an ester-based solvent, an ether-based solvent, an ether ester-based solvent, a ketone-based solvent, or an aromatic hydrocarbon-based solvent from the viewpoint of sufficiently dissolving the basic group-containing pigment dispersant or the alkali-soluble resin. , nitrogen-containing solvents, etc. are preferable. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

상기 에스테르계 용제로서는 2-히드록시프로피온산메틸, 2-히드록시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 히드록시아세트산에스테르, 포름산 n-아밀 등을 들 수 있다. 상기 에테르계 용제로서는 예를 들면, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노이소프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르 등을 들 수 있다. 상기 에테르에스테르계 용제로서는 예를 들면, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등을 들 수 있다. 상기 케톤계 용제로서는 예를 들면, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, δ-부티로락톤 등을 들 수 있다. 상기 방향족 탄화수소계 용제로서는 예를 들면, 톨루엔, 크실렌, 알킬나프탈렌 등을 들 수 있다. 상기 질소 함유계 용매로서는 예를 들면, N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 등을 들 수 있다.Examples of the ester solvent include methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, Ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, hydroxyacetic acid ester, n-amyl formate, etc. are mentioned. Examples of the ether-based solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and propylene glycol. monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether and the like. Examples of the ether ester solvent include ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate. Examples of the ketone solvent include methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and δ-butyrolactone. Examples of the aromatic hydrocarbon-based solvent include toluene, xylene, and alkyl naphthalene. Examples of the nitrogen-containing solvent include N-methylpyrrolidone, N,N-dimethylformamide, and N,N-dimethylacetamide.

상기 용제의 비율은 상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물 중 공정성의 관점에서 40질량% 이상인 것이 바람직하고 50질량% 이상인 것이 보다 바람직하며, 분산 안정성의 관점 그로부터 90질량% 이하인 것이 바람직하고 80질량% 이하인 것이 보다 바람직하다.The ratio of the solvent is preferably 40% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, from the viewpoint of processability in the pigment dispersion composition for a black matrix, and preferably 90% by mass or less and 80% by mass or less from the viewpoint of dispersion stability. more preferable

상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물에는 필요에 따라 레벨링제, 상기 에폭시 수지 및 상기 알칼리가용성 수지 이외의 수지, 산화 방지제, 소포제 등의 첨가제를 더 첨가해도 된다. 단, 악취성의 관점에서 티올 화합물(예를 들어, 분자량이 1000 이하인 티올 화합물)은 포함하지 않는 것이 바람직하다.You may further add additives, such as a leveling agent, resin other than the said epoxy resin and the said alkali-soluble resin, antioxidant, and an antifoamer, to the said pigment dispersion composition for black matrices as needed. However, it is preferable not to contain a thiol compound (for example, a thiol compound having a molecular weight of 1000 or less) from the viewpoint of odor.

상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물 중 상기 카본 블랙, 상기 염기성기 함유 안료 분산제, 상기 산성기 함유 안료 분산조제, 상기 에폭시 수지, 상기 알칼리가용성 수지, 및 상기 용제의 합계의 비율은 75질량% 이상인 것이 바람직하고 85질량% 이상인 것이 보다 바람직하고 95질량% 이상인 것이 더욱 바람직하다.In the pigment dispersion composition for a black matrix, the ratio of the total of the carbon black, the basic group-containing pigment dispersant, the acidic group-containing pigment dispersing aid, the epoxy resin, the alkali-soluble resin, and the solvent is preferably 75% by mass or more. And it is more preferably 85% by mass or more, and more preferably 95% by mass or more.

상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물은 상기 각 성분을 롤밀, 니더, 고속 교반기, 비드밀, 볼밀, 샌드밀, 초음파 분산기, 고압 분산 장치 등을 이용하여 분산 처리하여 조제하면 된다.The pigment dispersion composition for the black matrix may be prepared by dispersing the above components using a roll mill, a kneader, a high-speed stirrer, a bead mill, a ball mill, a sand mill, an ultrasonic disperser, a high-pressure dispersion device, or the like.

<블랙 매트릭스용 레지스트 조성물><Resist composition for black matrix>

본 발명의 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물은 상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물, 광중합성 화합물 및 광중합 개시제를 포함한다. 또한, 상기 표면 처리 카본 블랙의 비율은 상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물의 고형분 중 30질량% 이상 80질량% 이하인 것이 바람직하다.The resist composition for a black matrix of the present invention includes the pigment dispersion composition for a black matrix, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator. In addition, it is preferable that the proportion of the surface-treated carbon black is 30% by mass or more and 80% by mass or less of the solid content of the resist composition for a black matrix.

<광중합성 화합물><Photopolymerizable compound>

상기 광중합성 화합물은 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물에 사용되는 공지의 광중합성 화합물을 사용할 수 있고 예를 들면, 광중합성 불포화 결합을 갖는 모노머, 올리고머 등을 들 수 있다. 상기 광중합성 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As the photopolymerizable compound, known photopolymerizable compounds used in resist compositions for black matrices may be used, and examples thereof include monomers and oligomers having photopolymerizable unsaturated bonds. The photopolymerizable compound may be used alone or in combination of two or more.

광중합성 불포화 결합을 1개 갖는 단량체로서는 예를 들면, 메틸메타크릴레이트, 부틸메타크릴레이트, 2-에틸헥실메타크릴레이트, 메틸아크릴레이트, 부틸아크릴레이트, 2-에틸헥실아크릴레이트 등의 알킬메타크릴레이트 또는 아크릴레이트; 벤질메타크릴레이트, 벤질아크릴레이트 등의 아랄킬메타크릴레이트 또는 아크릴레이트; 부톡시에틸메타크릴레이트, 부톡시에틸아크릴레이트 등의 알콕시알킬메타크릴레이트 또는 아크릴레이트; N,N'-디메틸아미노에틸메타크릴레이트, N,N'-디메틸아미노에틸아크릴레이트 등의 아미노알킬메타크릴레이트 또는 아크릴레이트; 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르 등의 폴리알킬렌글리콜모노알킬에테르의 메타크릴산에스테르 또는 아크릴산에스테르; 헥사에틸렌글리콜모노페닐에테르 등의 폴리알킬렌글리콜모노아릴에테르의 메타크릴산에스테르 또는 아크릴산 에스테르; 이소보닐 메타크릴레이트 또는 아크릴레이트; 글리세롤 메타크릴레이트 또는 아크릴레이트; 2-히드록시에틸 메타크릴레이트 또는 아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the monomer having one photopolymerizable unsaturated bond include alkyl methacrylates such as methyl methacrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, methyl acrylate, butyl acrylate, and 2-ethylhexyl acrylate. acrylates or acrylates; aralkyl methacrylates or acrylates such as benzyl methacrylate and benzyl acrylate; alkoxyalkyl methacrylates or acrylates such as butoxyethyl methacrylate and butoxyethyl acrylate; aminoalkyl methacrylates or acrylates such as N,N'-dimethylaminoethyl methacrylate and N,N'-dimethylaminoethyl acrylate; methacrylic acid esters or acrylic acid esters of polyalkylene glycol monoalkyl ethers such as diethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, and dipropylene glycol monomethyl ether; methacrylic acid esters or acrylic acid esters of polyalkylene glycol monoaryl ethers such as hexaethylene glycol monophenyl ether; isobornyl methacrylate or acrylate; glycerol methacrylate or acrylate; 2-hydroxyethyl methacrylate or acrylate; and the like.

광중합성 불포화 결합을 2개 이상 갖는 모노머로서는 예를 들면, 비스페놀 A디메타크릴레이트, 1,4-부탄디올디메타크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 글리세롤디메타크릴레이트, 네오펜틸글리콜디메타크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디메타크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 펜타에리스리톨트리메타크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨테트라메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타메타크릴레이트, 비스페놀 A 디아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디아크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜 디아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 글리세롤디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the monomer having two or more photopolymerizable unsaturated bonds include bisphenol A dimethacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, and diethylene glycol dimethacrylate. Latex, glycerol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol tri Methacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, bisphenol A diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, glycerol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, Trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, etc. are mentioned.

광중합성 불포화 결합을 갖는 올리고머로서는 예를 들어, 상기 모노머를 적절히 중합시켜 얻어진 것을 들 수 있다.As an oligomer which has a photopolymerizable unsaturated bond, what was obtained by suitably polymerizing the said monomer is mentioned, for example.

상기 광중합성 화합물은 상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물의 고형분 중 2 ~ 20질량%인 것이 바람직하고 4 ~ 15질량%인 것이 보다 바람직하다.The photopolymerizable compound is preferably 2 to 20% by mass, and more preferably 4 to 15% by mass, based on the solid content of the resist composition for a black matrix.

상기 광중합 개시제는 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물에 사용되는 공지의 광중합 개시제를 사용할 수 있고, 예를 들면 벤조페논, N,N'-테트라에틸-4,4'-디아미노벤조페논, 4-메톡시-4'-디메틸아미노벤조페논, 벤질, 2,2-디에톡시아세토페논, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인 이소부틸에테르, 벤질디메틸케탈, α-히드록시이소부틸페논, 티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, t-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논, 2,3-디클로로안트라퀴논, 3-클로로-2-메틸안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 1,4-나프토퀴논, 1,2-벤조안트라퀴논, 1,4-디메틸안트라퀴논, 2-페닐안트라퀴논, 트리아진계 광중합 개시제, 옥심에스테르계 광중합 개시제 등을 들 수 있다. 상기 광중합 개시제는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As the photopolymerization initiator, known photopolymerization initiators used in resist compositions for black matrices may be used, and examples thereof include benzophenone, N,N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, and 4-methoxy- 4'-dimethylaminobenzophenone, benzyl, 2,2-diethoxyacetophenone, benzoin, benzoinmethyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyldimethylketal, α-hydroxyisobutylphenone, thioxanthone, 2 -Chlorothioxanthone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2,3-dichloroanthraquinone, 3-chloro-2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone , 1,4-naphthoquinone, 1,2-benzoanthraquinone, 1,4-dimethylanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, triazine-based photopolymerization initiators, and oxime ester-based photopolymerization initiators. The photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more.

상기 광중합 개시제는 상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물의 고형분 중 0.1 ~ 15질량%인 것이 바람직하고 1 ~ 10질량%인 것이 보다 바람직하다.The photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 15% by mass, and more preferably 1 to 10% by mass, based on the solid content of the resist composition for a black matrix.

상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물은 알칼리 현상액에 의한 현상성의 관점에서 상기 알칼리가용성 수지를 추가로 첨가해도 된다. 또한, 상기 알칼리가용성 수지의 합계는 상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물의 고형분 중 10질량% 이상 50질량% 이하인 것이 바람직하다. 또한, 상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물은 도장성을 향상시키는 관점에서 상기 용제를 추가로 첨가해도 된다. 상기 용제의 합계의 비율은 상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물 중 50질량% 이상인 것이 바람직하고 70질량% 이상인 것이 보다 바람직하다.The alkali-soluble resin may be further added to the resist composition for a black matrix from the viewpoint of developability with an alkali developer. In addition, it is preferable that the total amount of the alkali-soluble resin is 10 mass% or more and 50 mass% or less of the solid content of the black matrix resist composition. In addition, the said solvent may be further added to the said resist composition for black matrices from a viewpoint of improving paintability. The ratio of the total amount of the solvent is preferably 50% by mass or more, and more preferably 70% by mass or more, in the resist composition for a black matrix.

상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물에는 필요에 따라, 레벨링제, 산화 방지제, 소포제 등의 첨가제를 더 첨가해도 된다.You may further add additives, such as a leveling agent, antioxidant, and an antifoamer, to the said resist composition for black matrices as needed.

상기 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물은 상기 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물, 광중합성 화합물, 및 광중합 개시제 등의 각 성분을 교반 장치 등을 이용하여 교반 혼합하여 조제하면 된다.The resist composition for a black matrix may be prepared by stirring and mixing each component such as the pigment dispersion composition for a black matrix, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator using a stirrer or the like.

[실 시 예][Example]

이하에 본 발명을 실시예 등에 의해 설명하지만, 본 발명은 이들에만 한정되는 것은 아니다.The present invention will be described below by examples and the like, but the present invention is not limited to these.

<조제예 A ~ E><Preparation Examples A to E>

<표면 처리 카본 블랙의 준비><Preparation of surface-treated carbon black>

표 1에 나타내는 각종 원료를 표 1에 나타내는 배합 조성(질량부)이 되도록 혼합한 후, 실온에서 12시간 교반하였다. 그 후 흡인 여과를 행한 후, 정제수로 세정을 반복, 건조시켜 표면 처리 카본 블랙 A ~ E를 얻었다.After mixing various raw materials shown in Table 1 so as to have the compounding composition (parts by mass) shown in Table 1, the mixture was stirred at room temperature for 12 hours. Thereafter, after performing suction filtration, washing was repeated with purified water and dried to obtain surface-treated carbon blacks A to E.

Figure pat00009
Figure pat00009

표 1 중 TPK1104R은 산성 카본 블랙(흡유량: 38ml/100g, pH 약 3.0, 캐보트사 제조);TPK1104R in Table 1 is acidic carbon black (oil absorption: 38 ml/100 g, pH about 3.0, manufactured by Cabot Co.);

SS12000S는 설폰산기를 갖는 프탈로시아닌계 색소 유도체(루브리졸사 제조);SS12000S is a phthalocyanine-based pigment derivative having a sulfonic acid group (manufactured by Lubrizol);

알파인83은 폴리염화알루미늄 수용액(산화알루미늄 환산으로서 23%, 대명화학공업사 제조);Alpine 83 is an aqueous solution of polyaluminum chloride (23% in terms of aluminum oxide, manufactured by Daemyung Chemical Industry Co., Ltd.);

액체 황산 밴드는 황산알루미늄 수용액(산화알루미늄 환산으로서 8%, 대명화학공업사 제조);을 나타낸다.The liquid sulfuric acid band indicates an aqueous solution of aluminum sulfate (8% in terms of aluminum oxide, manufactured by Daemyung Chemical Industry Co., Ltd.).

<실시예 1-1 ~ 4-1, 비교예 1-1 ~ 2-1><Examples 1-1 to 4-1, Comparative Examples 1-1 to 2-1>

<블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물의 조제><Preparation of Pigment Dispersion Composition for Black Matrix>

표 2에 나타내는 각종 원료를 표 2에 나타내는 배합 조성(질량%)이 되도록 혼합한 후, 비드 밀로 연육하여 각 조제예 및 비교 조제예의 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물을 조제했다. After mixing the various raw materials shown in Table 2 so as to have the compounding composition (mass %) shown in Table 2, it was kneaded with a bead mill to prepare a black matrix pigment dispersion composition of each preparation example and comparative preparation example.

Figure pat00010
Figure pat00010

표 2 중 DB167은 폴리에스테르쇄를 갖는 아미노기 함유 폴리우레탄계 고분자 분산제(빅케미사 제조, 고형분 52질량%);In Table 2, DB167 is an amino group-containing polyurethane-based polymer dispersing agent having a polyester chain (manufactured by Big Chemie Co., Ltd., solid content: 52% by mass);

SS12000S는 설폰산기를 갖는 프탈로시아닌계 색소 유도체(루브리졸사 제조);SS12000S is a phthalocyanine-based pigment derivative having a sulfonic acid group (manufactured by Lubrizol);

VG3101L은 에폭시 수지(고형분 100%, 프린텍사 제조);VG3101L is an epoxy resin (100% solid content, manufactured by Printec);

ZCR-1569H는 비페닐 골격을 갖는 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지(고형분 69%, 니폰카야쿠사 제조);ZCR-1569H is an alkali-soluble epoxy (meth)acrylate resin having a biphenyl skeleton (69% solid content, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.);

PGMEA는 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트;PGMEA is propylene glycol monomethyl ether acetate;

<실시예 1-2 ~ 4-2, 비교예 1-2 ~ 2-2><Examples 1-2 to 4-2, Comparative Examples 1-2 to 2-2>

<블랙 매트릭스용 레지스트 조성물의 조제><Preparation of resist composition for black matrix>

표 3에 나타내는 각종 원료를 표 3에 나타내는 배합 조성(질량%)이 되도록 고속 교반기를 사용하여 혼합한 후, 구멍지름 0.5㎛의 필터로 여과하고, 각 실시예 및 비교예의 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물을 제조하였다.The various raw materials shown in Table 3 were mixed using a high-speed stirrer so as to have the compounding composition (% by mass) shown in Table 3, and then filtered through a filter having a pore diameter of 0.5 µm to obtain a black matrix resist composition of each Example and Comparative Example. manufactured.

<블랙 레지스트막의 세선 밀착성의 평가><Evaluation of fine wire adhesion of black resist film>

실시예 및 비교예에서 제작한 각 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물을 스핀 코터로 막 두께 1㎛가 되도록 유리 기판(EAGL XG) 상에 도포하고, 100℃에서 3분간 프리베이크하였다. 이어서, 1㎛ 내지 20㎛의 선폭에 대해 1㎛ 간격의 라인 패턴을 갖는 포토마스크를 이용하여 고압 수은등을 사용하여 UV 적산 광량 100mJ/㎠로 노광하였다. 그 후, 23℃, 0.05% 수산화칼륨 수용액 중 1kgf/㎠의 샤워 현상압에서 현상 패턴이 나타나기 시작하는 시간(브레이크포인트)부터 현상을 개시하고 브레이크 포인트의 2배의 시간이 된 점에서 현상을 종료하고, 1kgf/㎠압의 스프레이 수세를 행하였다. 유리 기판 상에 남아 있는 최소 라인 패턴의 크기(㎛)를 평가하였다. 결과를 표 3에 나타낸다.Each resist composition for a black matrix prepared in Examples and Comparative Examples was coated on a glass substrate (EAGL XG) with a spin coater to a film thickness of 1 μm, and prebaked at 100° C. for 3 minutes. Subsequently, exposure was performed at a cumulative UV light amount of 100 mJ/cm 2 using a high-pressure mercury lamp using a photomask having a line pattern at intervals of 1 μm for a line width of 1 μm to 20 μm. After that, development was started from the time at which the developing pattern began to appear (breakpoint) at 23°C, 0.05% potassium hydroxide aqueous solution at a shower developing pressure of 1kgf/cm2, and development was terminated at the point of twice the breakpoint time. Then, spray washing at a pressure of 1 kgf/cm 2 was performed. The size (μm) of the minimum line pattern remaining on the glass substrate was evaluated. The results are shown in Table 3.

Figure pat00011
Figure pat00011

표 3 중에서 DPHA는 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트;In Table 3, DPHA is dipentaerythritol hexaacrylate;

OXE02는 옥심에스테르계 광중합 개시제(BASF재팬사 제조);OXE02 is an oxime ester photopolymerization initiator (manufactured by BASF Japan);

WR-301은 알칼리가용성 카르도 수지(고형분 44%, ADEKA사 제조);WR-301 is an alkali-soluble cardo resin (44% solid content, manufactured by ADEKA);

PGMEA는 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트;를 나타낸다.PGMEA stands for propylene glycol monomethyl ether acetate;

Claims (8)

카본 블랙, 염기성기 함유 안료 분산제, 산성기 함유 안료 분산조제, 에폭시 수지, 알칼리가용성 수지, 및 용제를 함유하고,
상기 카본 블랙은 무기 알루미늄염으로 처리된 표면 처리 카본 블랙인 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물.
containing carbon black, a basic group-containing pigment dispersant, an acidic group-containing pigment dispersing aid, an epoxy resin, an alkali-soluble resin, and a solvent;
The carbon black is a pigment dispersion composition for a black matrix, characterized in that the surface-treated carbon black treated with an inorganic aluminum salt.
청구항 1에 있어서, 상기 무기 알루미늄 염은 염화알루미늄 및 황산 알루미늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상인 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물.The pigment dispersion composition for a black matrix according to claim 1, wherein the inorganic aluminum salt is at least one selected from the group consisting of aluminum chloride and aluminum sulfate. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 카본 블랙은 산성 카본 블랙인 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물.The pigment dispersion composition for a black matrix according to claim 1 or 2, wherein the carbon black is acidic carbon black. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 에폭시 수지는 방향환을 갖는 다관능 에폭시 수지인 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물.The pigment dispersion composition for a black matrix according to claim 1 or 2, wherein the epoxy resin is a multifunctional epoxy resin having an aromatic ring. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 알칼리가용성 수지는 비페닐 골격을 갖는 알칼리가용성 에폭시(메트)아크릴레이트 수지인 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물.The pigment dispersion composition for a black matrix according to claim 1 or 2, wherein the alkali-soluble resin is an alkali-soluble epoxy (meth)acrylate resin having a biphenyl backbone. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 산성기 함유 안료 분산조제는 프탈로시아닌 골격을 갖는 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물.The pigment dispersion composition for a black matrix according to claim 1 or 2, wherein the acidic group-containing pigment dispersion aid has a phthalocyanine backbone. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 블랙 매트릭스용 안료 분산 조성물, 광중합성 화합물 및 광중합 개시제를 함유하는 것을 특징으로 하는 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물.A resist composition for a black matrix characterized by containing the pigment dispersion composition for a black matrix according to claim 1 or 2, a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator. 청구항 7에 기재된 블랙 매트릭스용 레지스트 조성물을 이용하여 얻어지는 것을 특징으로하는 블랙 레지스트 막.A black resist film obtained by using the resist composition for a black matrix according to claim 7.
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