KR20220138211A - 반송대차 - Google Patents

반송대차 Download PDF

Info

Publication number
KR20220138211A
KR20220138211A KR1020210044062A KR20210044062A KR20220138211A KR 20220138211 A KR20220138211 A KR 20220138211A KR 1020210044062 A KR1020210044062 A KR 1020210044062A KR 20210044062 A KR20210044062 A KR 20210044062A KR 20220138211 A KR20220138211 A KR 20220138211A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
chucking
driving member
centering
base unit
Prior art date
Application number
KR1020210044062A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102576383B1 (ko
Inventor
배재근
안은모
Original Assignee
크린팩토메이션 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 크린팩토메이션 주식회사 filed Critical 크린팩토메이션 주식회사
Priority to KR1020210044062A priority Critical patent/KR102576383B1/ko
Publication of KR20220138211A publication Critical patent/KR20220138211A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102576383B1 publication Critical patent/KR102576383B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은, 반송대차용 궤도에 주행 가능하게 연결되도록 구성되는 캐리어모듈; 및 상기 캐리어모듈에 승강 방향을 따라 승강 가능하게 결합되고, 상기 승강 방향을 따라 반송포트로 하강하여 상기 반송포트에 적재된 대상물을 로딩하도록 구성되는 트랜스퍼모듈을 포함하며, 상기 트랜스퍼모듈은, 상기 캐리어모듈에 상기 승강 방향을 따라 승강 가능하게 연결되는 베이스 유닛; 상기 베이스 유닛에 설치되는 동력 발생기와, 상기 동력 발생기의 출력에 연동되어 작동하는 제1 구동 멤버와, 상기 제1 구동 멤버에 연결되어 상기 제1 구동 멤버의 작동에 연동되어 작동하는 제2 구동 멤버를 구비하는 구동 유닛; 상기 제1 구동 멤버에 연결되고, 상기 제1 구동 멤버의 작동에 의해 변위되어 상기 대상물을 척킹하도록 구성되는 척킹 유닛; 및 상기 제2 구동 멤버에 연결되고, 상기 제2 구동 멤버의 작동에 의해 변위되어 상기 대상물에 대해 상기 베이스 유닛 및 상기 척킹 유닛을 센터링하도록 구성되는 센터링 유닛을 포함하는, 반송대차를 제공한다.

Description

반송대차{TRANSFER VEHICLE}
본 발명은 대상물을 공중에서 반송하며, 또한 대상물을 공중에서 지상으로 언로딩하거나 지상으로부터 로딩하는 반송대차에 관한 것이다.
일반적으로, OHT(Overhead Hoist Transport), OHS(Overrhead Shuttle) 등을 포함하는 반송대차 시스템은 반송할 대상물이 많은 대형병원, 반도체, 및 디스플레이 생산공장 등에 설치된다.
반송대차 시스템은, 천장에 설치되는 반송대차용 궤도와, 대상물을 싣고 궤도를 따라 주행하는 반송대차를 포함한다.
반송대차용 궤도는 주행궤도와 주행궤도에서 분기된 분기궤도를 포함한다. 반송대차 시스템이 반도체 또는 디스플레이 생산 라인에 설치된 경우에는, 크린룸 내의 천장공간에 주행궤도와 주행궤도에서 분기된 분기궤도가 설치된다.
반송대차는 반송포트들 사이를 주행궤도 및 분기궤도를 따라 주행하면서 대상물을 반송한다. 또한, 반송대차는 대상물을 수직 방향으로 하강시켜 반송포트에 대상물을 언로딩하거나 그에 적재된 대상물을 로딩할 수 있다.
반송대차가 반송포트로 하강하여 대상물을 로딩하는 경우에, 반송대차는 대상물에 대해 척킹(chucking)한다. 그 경우, 대상물에 대한 정위치/정자세에서의 척킹을 위해, 반송대차는 또한 대상물에 대해 센터링(centering)되어야 한다. 이러한 실정에 의해, 반송대차는 척킹을 위한 구동과 센터링을 위한 구동을 각각 수행해야 하기에, 관련 구성이 복잡해지고 비용을 절감하는데 한계가 있다.
본 발명의 일 목적은, 척킹을 위한 구동과 센터링을 위한 구동을 단일 구동 계통에 의해 수행할 수 있는, 반송대차를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 일 목적은, 척킹과 센터링을 위한 구성을 단순화하여 관련 구성이 복잡하지 않게 하고 그에 따라 제조 비용도 절감할 수 있는, 반송대차를 제공하는 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 반송대차는, 반송대차용 궤도에 주행 가능하게 연결되도록 구성되는 캐리어모듈; 및 상기 캐리어모듈에 승강 방향을 따라 승강 가능하게 결합되고, 상기 승강 방향을 따라 반송포트로 하강하여 상기 반송포트에 적재된 대상물을 로딩하도록 구성되는 트랜스퍼모듈을 포함하며, 상기 트랜스퍼모듈은, 상기 캐리어모듈에 상기 승강 방향을 따라 승강 가능하게 연결되는 베이스 유닛; 상기 베이스 유닛에 설치되는 동력 발생기와, 상기 동력 발생기의 출력에 연동되어 작동하는 제1 구동 멤버와, 상기 제1 구동 멤버에 연결되어 상기 제1 구동 멤버의 작동에 연동되어 작동하는 제2 구동 멤버를 구비하는 구동 유닛; 상기 제1 구동 멤버에 연결되고, 상기 제1 구동 멤버의 작동에 의해 변위되어 상기 대상물을 척킹하도록 구성되는 척킹 유닛; 및 상기 제2 구동 멤버에 연결되고, 상기 제2 구동 멤버의 작동에 의해 변위되어 상기 대상물에 대해 상기 베이스 유닛 및 상기 척킹 유닛을 센터링하도록 구성되는 센터링 유닛을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 척킹 유닛은, 상기 대상물의 한 쌍의 단변에 대응하여 서로 마주하도록 배치되고, 상기 승강 방향을 따라 연장하도록 형성되는 한 쌍의 척킹 암을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 센터링 유닛은, 상기 대상물의 한 쌍의 장변에 대응하여 서로 마주하도록 배치되고, 상기 승강 방향을 따라 연장하도록 형성되는 복수의 센터링 샤프트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 베이스 유닛은, 상기 척킹 암이 관통 삽입되고, 상기 척킹 압의 이동을 안내하는 제1 가이드 홀; 및 상기 센터링 샤프트가 관통 삽입되고, 상기 센터링 샤프트의 이동을 안내하는 제2 가이드 홀을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 가이드 홀은, 상기 제2 가이드 홀의 연장 방향에 대해 예각을 이루는 방향을 따라 연장 형성될 수 있다.
여기서, 상기 동력 발생기는, 상기 출력으로서 회전력을 발생시키는 모터를 포함하고, 상기 제1 구동 멤버는, 상기 회전력을 입력받아 회전하도록 상기 모터에 연결되는 스크류; 및 상기 스크류에 나사 결합되고, 상기 척킹 유닛과 연결되는 너트 블럭을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 구동 멤버는, 상기 베이스 유닛에 설치되고, 상기 너트 블럭이 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드 레일을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 척킹 유닛은, 상기 대상물을 기준으로 서로 마주하도록 배치되는 제1 척킹 암 및 제2 척킹 암을 포함하고, 상기 스크류는, 제1 나선 방향부와, 상기 제1 나선 방향부와 반대 방향으로 나사산이 형성된 제2 나선 방향부를 포함하고, 상기 너트 블럭은, 상기 제1 나선 방향부에 결합되고, 상기 제1 척킹 암과 연결되는 제1 너트 블럭; 및 상기 제2 나선 방향부에 결합되고, 상기 제2 척킹 암과 연결되는 제2 너트 블럭을 포함하고, 상기 모터의 일 방향을 따른 회전에 의해, 상기 제1 너트 블럭 및 상기 제2 너트 블럭은 서로에게 다가가는 방향으로 이동될 수 있다.
여기서, 상기 제2 구동 멤버는, 상기 너트 블럭에 회전 가능하게 연결되는 제1 링크; 및 상기 제1 링크 및 상기 베이스 유닛 각각에 회전 가능하게 연결되는 제2 링크를 포함하고, 상기 센터링 샤프트는, 상기 제1 링크 및 상기 제2 링크 중 적어도 하나에 연결될 수 있다.
여기서, 상기 베이스 유닛에 연결되고, 상기 대상물을 하방으로 누르도록 형성되는 가압 유닛을 더 포함하고, 상기 가압 유닛은, 상기 베이스 유닛에 결합되고, 상기 승강 방향을 따라 연장되는 가이드 샤프트; 및 상기 가이드 샤프트에 상기 승강 방향을 따라 이동 가능하게 설치되어, 자중에 의해 상기 대상물의 상부를 누르는 웨이트 부재를 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반송대차에 의하면, 반송대차는 반송대차용 궤도에 연결되는 캐리어 모듈과 캐리어모듈에서 반송포트로 하강되는 트랜스퍼모듈로 구성되고, 트랜스퍼모듈은 동력 발생기에 의해 단일 계통으로 구동되는 제1 구동 멤버와 제2 구동 멤버를 가지며 그러한 제1 구동 멤버의 작동에는 척킹 유닛이 연동되고 제2 구동 멤버의 작동에는 센터링 유닛이 연동되기에, 척킹 유닛과 센터링 유닛을 하나의 동력 발생기를 통해 변위시킬 수 있게 된다. 그에 의해, 그들 각각을 구동하기 위한 구성을 간단화하고, 제조 비용도 절감할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 시스템(100)을 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 도 1의 반송대차(150)의 트랜스퍼모듈(200)의 척킹 및 센터링 해제 상태를 보인 사시도이다.
도 3은 도 2의 트랜스퍼모듈(200)의 척킹 및 센터링 완료 상태를 보인 사시도이다.
도 4는 도 2의 상태에서 트랜스퍼모듈(200)의 구동 유닛(230)을 바라본 방향에서의 평면도이다.
도 5는 도 3의 상태에서 트랜스퍼모듈(200)의 구동 유닛(230)을 바라본 방향에서의 평면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반송대차에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 시스템(100)을 설명하기 위한 개념도이다.
본 도면을 참조하면, 반송대차 시스템(100)은, 반송대차용 궤도(110), 반송포트(130), 및 반송대차(150)를 포함할 수 있다.
반송대차용 궤도(110)는 반송대차(150)의 이동 경로를 형성하는 구성이다. 반송대차용 궤도(110)는 공장 내의 여러 구역에 걸쳐서 형성되어, 반송대차(150)가 여러 장비 간에 대상물을 반송하게 할 수 있다. 반송대차용 궤도(110)는 공중에 위치하도록 설치될 수 있다. 그 일 예로서, 반송대차용 궤도(110)는 반도체 공장 등에서 해당 공장 건물의 천장에 매달리게 설치될 수 있다.
반송포트(130)는 지상에 위치하며 대상물(O)을 적재하는 구성이다. 대상물(O)은 반도체 공장에서는 트레이(TRAY), 풉(FOUP) 등이 될 수 있다. 반송포트(130)의 상부는 선반(131)이 형성되고, 그에서는 적재된 대상물(O)의 양측에 위치하도록 오목부(133)가 형성될 수 있다.
반송대차(150)는 반송대차용 궤도(110)를 따라 주행하며 대상물(O)을 반송하는 구성이다. 이러한 반송대차(150)는 캐리어모듈(151) 및 트랜스퍼모듈(155)로 구성될 수 있다. 캐리어모듈(151)은 반송대차용 궤도(110)에 주행 가능하게 연결되는 구성이다. 구체적으로, 캐리어모듈(151)은 반송대차용 궤도(110)에 맞물리는 주행 바퀴와 그 주행 바퀴를 구동하는 구동부를 가질 수 있다. 트랜스퍼모듈(155)은 캐리어모듈(151)에 대해 승강 방향(V)으로 승강 가능하게 연결된다. 이를 위해, 트랜스퍼모듈(155)은 캐리어모듈(151)에 설치된 호이스트에 연결될 수 있다. 대상물(O)은 이러한 트랜스퍼모듈(155)에서 반송포트(130)로 언로딩되거나, 그 반대로 반송포트(130)에서 트랜스퍼모듈(155)로 로딩될 수 있다. 이러한 로딩/언로딩 과정에서 트랜스퍼모듈(155)은 오목부(133)를 통해 대상물(O)을 척킹하거나 그에 대한 척킹을 해제할 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 반송대차(150)는 반송대차용 궤도(110)를 따라 이동하던 중에 반송포트(130)에 대상물(O)을 내려놓을 수 있다. 이를 위해서는, 반송대차(150)는 반송대차용 궤도(110) 상에서 정지한 상태로, 캐리어모듈(151)로부터 승강 방향(V)을 따라 트랜스퍼모듈(155)을 하강시킨다.
하강된 트랜스퍼모듈(155)은 대상물(O)에 대해 센터링되면서 대상물(O)을 척킹하게 된다. 호이스트 메커니즘에 의해 트랜스퍼모듈(155)의 흔들림이 있는 바, 위의 센터링도 요구되는 것이다. 이러한 척킹과 센터링은 단일 구동 계통에 의해 동시에 이루어지게 된다.
이상에서 트랜스퍼모듈(155)의 구체적 구성은 도 2 등을 참조하여 설명한다. 이하, 설명의 편의를 위해, 트랜스퍼모듈(155)에 대한 참조번호는 200으로 변경한다.
도 2는 도 1의 반송대차(150)의 트랜스퍼모듈(200)의 척킹 및 센터링 해제 상태를 보인 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 베이스 유닛(210), 구동 유닛(230), 척킹 유닛(250), 센터링 유닛(270), 그리고 가압 유닛(290)을 포함할 수 있다.
본 도면을 참조하면, 베이스 유닛(210)은 호이스트(도 1 참조)를 통해 캐리어모듈(151)에 연결되는 부분이다. 호이스트를 통해, 베이스 유닛(210)은 캐리어모듈(151)에 대해 승강 가능하게 연결된다. 베이스 유닛(210)은 대체로 플레이트 형태를 가질 수 있다. 그러한 베이스 유닛(210)은 구동 유닛(230), 척킹 유닛(250) 등이 설치되는 대상이 된다.
구동 유닛(230)은 척킹 유닛(250)과 센터링 유닛(270)을 구동하기 위한 구성이다. 구동 유닛(230)은 베이스 유닛(210)에 설치될 수 있다.
척킹 유닛(250)은 구동 유닛(230)의 구동에 의해 변위되어 대상물(O)을 척킹하는 구성이다. 척킹 유닛(250)이 대상물(O)을 클램핑하기 위한 구체적인 형태로서, 척킹 유닛(250)은 제1 척킹 암(251)과 제2 척킹 암(255)을 포함할 수 있다. 제1 척킹 암(251)이 대상물(O)의 마주하는 변들(예를 들어, 단변들) 중 하나의 외측에 위치한다면, 제2 척킹 암(255)은 마주하는 변들(예를 들어, 단변들) 중 다른 하나의 외측에 위치하게 된다. 제1 척킹 암(251)과 제2 척킹 암(255)이 서로 마주한 상태에서 서로를 향해 가까워지도록 구동 유닛(230)에 의해 변위됨에 따라, 그들은 대상물(O)을 척킹하게 된다. 이와 달리, 제1 척킹 암(251)과 제2 척킹 암(255) 중 하나는 고정된 상태에서 다른 하나가 변위되면서 대상물(O)에 대한 척킹이 이루어질 수 도 있다. 나아가, 제1 척킹 암(251)과 제2 척킹 암(255) 각각의 하단 지지부(252,256)는 반송포트(130)의 오목부(133, 도 1 참조)에 삽입된 채로 대상물(O)의 하측으로 진입할 수 있다. 제1 척킹 암(251)과 제2 척킹 암(255) 중 하단 지지부(252,256) 또는 그와 인접한 부분에는 대상물(O)을 감지하기 위한 센서가 설치될 수 있다.
센터링 유닛(270) 역시 구동 유닛(230)의 구동에 의해 변위되어 대상물(O)에 대해 베이스 유닛(210) 및 척킹 유닛(250)이 센터링되게 하는 구성이다. 대상물(O)은 자신의 무게에 의해 반송포트(130, 도 1 참조)에 안정적으로 위치하고 있는 바, 호이스트에 의해 하강한 베이스 유닛(210) 등이 센터링 유닛(270)에 의해 대상물(O)에 대해 정렬되는 것이다. 센터링 유닛(270)은 대상물(O)의 다른 한 쌍의 마주하는 변들(예를 들어, 장변들)에 대응하여 서로 마주하도록 배치되는 복수의 센터링 샤프트(271)를 가질 수 있다. 센터링 샤프트(271)는 승강 방향(V)을 따라 연장하도록 배치되는 로드일 수 있다. 센터링 샤프트(271)는 대상물(O)의 장변들 각각에 대응하여 2개씩 배치되어, 총 4개로 구비될 수 있다. 복수의 센터링 샤프트(271)들이 서로 마주한 상태에서 서로를 향해 가까워지도록 구동 유닛(230)에 의해 변위됨에 따라, 베이스 유닛(210) 등은 대상물(O)에 대해 센터링된다. 이와 달리, 센터링 샤프트(271) 중 적어도 하나는 고정된 상태에서 다른 것들이 변위되어 센터링이 이루어질 수도 있다.
가압 유닛(290)은 대상물(O)을 승강 방향(V)을 따라 하방으로 누르는 구성이다. 대상물(O)이 복수 층으로 적층된 트레이인 경우에, 가압 유닛(290)은 대상물(O)이 반송대차(150, 도 1)에 의해 반송되는 중에 넘어지지 않게 한다. 가압 유닛(290)은 구체적으로, 가이드 샤프트(291)와 웨이트 부재(295)를 포함할 수 있다. 가이드 샤프트(291)는 베이스 유닛(210)에 결합되어 승강 방향(V)을 따라 연장하도록 배치될 수 있다. 그에 따라, 가이드 샤프트(291)는 센터링 샤프트(271)와 유사한 형태를 가질 수 있다. 여기서, 가이드 샤프트(291)는 중앙에 배치된다면, 센터링 샤프트(271)는 가이드 샤프트(291)의 양 옆에 배치될 수 있다. 웨이트 부재(295)는 가이드 샤프트(291)에 승강 방향(V)을 따라 이동 가능하게 설치되고, 자중에 의해 대상물(O)의 상부를 누르는 구성이다. 웨이트 부재(295)가 가이드 샤프트(291)에서 이탈하는 것을 방지하기 위하여, 가이드 샤프트(291)의 하단에는 스톱퍼(293)가 설치될 수 있다.
본 도면에서 예시된 상태는, 트랜스퍼모듈(200)이 반송포트(130, 도 1 참조)에 적재된 대상물(O)을 로딩하기 위해 하강만을 완료한 상태이다. 그에 의해, 척킹 유닛(250)과 센터링 유닛(270)은 아직 구동되지 않은 상태여서, 척킹과 센터링이 해제된 상태라고 할 수 있다. 다만, 가압 유닛(290)의 웨이트 부재(295)는 스톱퍼(293)에 지지된 상태에서 승강 방향(V)을 따라 상승하여 대상물(O)을 누르고 있는 상태에 있다. 이는 대상물(O)에 대해 트랜스퍼모듈(200)이 하강하는 과정에서 따라, 웨이트 부재(295)가 대상물(O)에 대해 상대적으로 상승하여 만들어진 상태이다.
이제, 구동 유닛(230)의 작동에 의해 척킹 및 센터링이 진행된 상태에 대해서는 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2의 트랜스퍼모듈(200)의 척킹 및 센터링 완료 상태를 보인 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 가압 유닛(290)은 변화가 없는 상태에서, 구동 유닛(230)의 작동에 의해 척킹 유닛(250)과 센터링 유닛(270)이 작동하게 된다.
먼저, 척킹 유닛(250)의 제1 척킹 암(251)과 제2 척킹 암(255)은 X 방향을 따라 서로 까까워지도록 변위된다. 그에 의해, 제1 척킹 암(251)과 제2 척킹 암(255)은 대상물(O)의 양 측면과 밀착하게 된다. 나아가, 그들의 하단 지지부(252,256)는 대상물(O)의 하부를 받치게 된다.
또한, 센터링 유닛(270)의 센터링 샤프트(271)들 역시 Y 방향을 따라 서로 가까워지도록 변위되어, 대상물(O)의 다른 양 측면과 밀착하게 된다. 그에 의해, 호이스트에 매달린 베이스 유닛(210) 등은 대상물(O)에 대해 센터링된다.
이상에서 척킹 유닛(250)과 센터링 유닛(270)을 변위시키는 구동 유닛(230)에 대해서는 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.
먼저, 도 4는 도 2의 상태에서 트랜스퍼모듈(200)의 구동 유닛(230)을 바라본 방향에서의 평면도이다.
본 도면을 참조하면, 베이스 유닛(210)은 대체로 플레이트 형태를 갖는 몸체(211)를 가질 수 있다. 몸체(211)의 상면에는 구동 유닛(230)이 설치될 수 있다. 그러한 구동 유닛(230)과 몸체(211)의 하측에 배치되는 척킹 유닛(250) 및 센터링 유닛(270)을 연결하기 위하여, 몸체(211)에는 제1 가이드 홀(213)과 제2 가이드 홀(215)이 형성될 수 있다. 제1 가이드 홀(213)은 X 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 슬롯일 수 있고, 그들에는 척킹 암(251,255)이 관통 삽입될 수 있다. 그에 반해, 제2 가이드 홀(215)은 센터링 샤프트(271)가 관통 삽입되고, 센터링 샤프트(271)의 이동을 안내하는 슬롯들일 수 있다. 여기서, 제1 가이드 홀(213)과 제2 가이드 홀(215) 서로에 대해 예각을 이루도록 배열될 수 있다. 이는 구동 유닛(230)의 작동 메커니즘과 관련되며, 이하 그에 대해 설명한다.
구동 유닛(230)은, 동력 발생기(231), 제1 구동 멤버(233), 그리고 제2 구동 멤버(241)를 포함할 수 있다. 동력 발생기(231)는 회전력을 출력으로 발생시키는 전기 모터일 수 있다. 제1 구동 멤버(233)는 동력 발생기(231)의 출력에 연동되어 작동하는 구성이다. 그에 반해, 제2 구동 멤버(241)는 제1 구동 멤버(233)의 작동에 연동되어 작동하게 된다. 여기서, 제1 구동 멤버(233)는 척킹 유닛(250)을 변위시키고, 제2 구동 멤버(241)는 센터링 유닛(270)을 변위시키게 된다. 그 결과, 척킹 유닛(250)과 센터링 유닛(270)은 단일한 동력 발생기(231)에 의해 단일 계통으로 구동되게 된다.
제1 구동 멤버(233)는 스크류(235)와, 너트 블럭(237)을 가질 수 있다. 스크류(235)는 동력 발생기(231)의 출력축에 연결되어 그로부터 입력된 회전력에 의해 회전하는 구성이다. 너트 블럭(237)은 스크류(235)에 나사 결합되고 X 방향을 따라 이동 가능하게 구성된다. 너트 블럭(237)은 X 방향을 따라 배열된 가이드 레일(239)에 슬라이딩 가능하게 결합되어, 그 이동이 안내되는 것일 수 있다.
너트 블럭(237)은 제1 척킹 암(251)에 대응하는 제1 너트 블럭(237a)과 제2 척킹 암(255)에 대응하는 제2 너트 블럭(237b)으로 나뉠 수 있다. 이들은 모두 스크류(235)에 나사 결합되나, X 방향을 따라 각자 반대 방향으로 변위되어야 한다. 그를 위해, 스크류(235)는 제1 나선 방향부(235a)와 제2 나선 방향부(235b)로 구분될 수 있다. 그들은 서로 반대 방향으로 나사산이 형성된 것으로서, 각각에는 제1 너트 블럭(237a) 또는 제2 너트 블럭(237b)이 결합된다. 그 결과, 모터의 회전 방향에 따라, 제1 너트 블럭(237a)과 제2 너트 블럭(237b)은 서로를 향해 다가가는 방향으로, 또는 서로에게서 멀어지는 방향으로 변위될 수 있다.
제2 구동 멤버(241)는 제1 링크(243)와, 제2 링크(245)를 구비한다. 제1 링크(243)의 일 단은 너트 블럭(237)에 회전 가능하게 연결된다. 제2 링크(245)의 일 단은 베이스 유닛(210)에 회전 가능하게 연결된다. 제1 링크(243) 및 제2 링크(245) 각각의 타 단은 서로에 대해 회전 가능하게 연결된다. 그들의 타단들 중 적어도 하나에는 센터링 샤프트(271, 도 2 참조)가 연결될 수 있다. 이러한 제2 구동 멤버(241)는 센터링 샤프트(271) 각각에 대응하여 하나씩 구비될 수 있어서, 본 실시예에서는 모두 4개로 구비된다.
구동 유닛(230)의 작동에 따른 척킹 유닛(250)과 센터링 유닛(270)의 변위에 대해서는 도 5를 추가로 참조하여 설명한다. 도 5는 도 3의 상태에서 트랜스퍼모듈(200)의 구동 유닛(230)을 바라본 방향에서의 평면도이다.
본 도면(및 도 2 내지 도 4)을 참조하면, 구동 유닛(230)의 동력 발생기(231)의 회전은 제1 구동 멤버(233)의 스크류(235)를 회전시킨다. 스크류(235)의 회전에 의해 너트 블럭(237)은 X 방향을 따라 이동하게 된다. 그러한 너트 블럭(237)에 연결된 제1 척킹 암(251) 및 제2 척킹 암(255) 역시 X 방향을 따라 서로 가까워지거나 멀어지게 변위된다.
또한, 너트 블럭(237)의 X 방향을 따른 이동에 따라, 제2 구동 멤버(241)의 제1 링크(243)의 일 단 역시 X 방향을 따라 이동하게 된다. 그 결과, 제1 링크(243)와 제2가 서로 접혀지거나 펼쳐짐에 따라, 제1 링크(243)와 제2 링크(245)의 타 단들은 Y 방향으로 이동된다. 그에 의해, 상기 타단들에 연결된 센터링 샤프트(271)는 Y 방향을 따라 서로 가까워지거나 멀어지게 변위되는 것이다.
이러한 단일 구동 계통에 의해, 구동 유닛(230)의 동력 발생기(231)에만 파워를 공급하면, 척킹 유닛(250)과 센터링 유닛(270)이 함께 구동될 수 있고, 그들의 구동에 의해 대상물(O)에 대한 척킹 및 센터링이 수행될 수 있다.
상기와 같은 반송대차는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 반송대차 시스템 150: 반송대차
155,200: 트랜스퍼모듈 210: 베이스 유닛
230: 구동 유닛 231: 동력 발생기
233: 제1 구동 멤버 241: 제2 구동 멤버
250: 척킹 유닛 251: 제1 척킹 암
255: 제2 척킹 암 270: 센터링 유닛
271: 센터링 샤프트 290: 가압 유닛
291: 가이드 샤프트 295: 웨이트 부재

Claims (10)

  1. 반송대차용 궤도에 주행 가능하게 연결되도록 구성되는 캐리어모듈; 및
    상기 캐리어모듈에 승강 방향을 따라 승강 가능하게 결합되고, 상기 승강 방향을 따라 반송포트로 하강하여 상기 반송포트에 적재된 대상물을 로딩하도록 구성되는 트랜스퍼모듈을 포함하며,
    상기 트랜스퍼모듈은,
    상기 캐리어모듈에 상기 승강 방향을 따라 승강 가능하게 연결되는 베이스 유닛;
    상기 베이스 유닛에 설치되는 동력 발생기와, 상기 동력 발생기의 출력에 연동되어 작동하는 제1 구동 멤버와, 상기 제1 구동 멤버에 연결되어 상기 제1 구동 멤버의 작동에 연동되어 작동하는 제2 구동 멤버를 구비하는 구동 유닛;
    상기 제1 구동 멤버에 연결되고, 상기 제1 구동 멤버의 작동에 의해 변위되어 상기 대상물을 척킹하도록 구성되는 척킹 유닛; 및
    상기 제2 구동 멤버에 연결되고, 상기 제2 구동 멤버의 작동에 의해 변위되어 상기 대상물에 대해 상기 베이스 유닛 및 상기 척킹 유닛을 센터링하도록 구성되는 센터링 유닛을 포함하는, 반송대차.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 척킹 유닛은,
    상기 대상물의 한 쌍의 단변에 대응하여 서로 마주하도록 배치되고, 상기 승강 방향을 따라 연장하도록 형성되는 한 쌍의 척킹 암을 포함하는, 반송대차.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 센터링 유닛은,
    상기 대상물의 한 쌍의 장변에 대응하여 서로 마주하도록 배치되고, 상기 승강 방향을 따라 연장하도록 형성되는 복수의 센터링 샤프트를 포함하는, 반송대차.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스 유닛은,
    상기 척킹 암이 관통 삽입되고, 상기 척킹 압의 이동을 안내하는 제1 가이드 홀; 및
    상기 센터링 샤프트가 관통 삽입되고, 상기 센터링 샤프트의 이동을 안내하는 제2 가이드 홀을 포함하는, 반송대차.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 가이드 홀은,
    상기 제2 가이드 홀의 연장 방향에 대해 예각을 이루는 방향을 따라 연장 형성되는, 반송대차.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 동력 발생기는, 상기 출력으로서 회전력을 발생시키는 모터를 포함하고,
    상기 제1 구동 멤버는,
    상기 회전력을 입력받아 회전하도록 상기 모터에 연결되는 스크류; 및
    상기 스크류에 나사 결합되고, 상기 척킹 유닛과 연결되는 너트 블럭을 포함하는, 반송대차.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 구동 멤버는,
    상기 베이스 유닛에 설치되고, 상기 너트 블럭이 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드 레일을 더 포함하는, 반송대차.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 척킹 유닛은,
    상기 대상물을 기준으로 서로 마주하도록 배치되는 제1 척킹 암 및 제2 척킹 암을 포함하고,
    상기 스크류는,
    제1 나선 방향부와, 상기 제1 나선 방향부와 반대 방향으로 나사산이 형성된 제2 나선 방향부를 포함하고,
    상기 너트 블럭은,
    상기 제1 나선 방향부에 결합되고, 상기 제1 척킹 암과 연결되는 제1 너트 블럭; 및
    상기 제2 나선 방향부에 결합되고, 상기 제2 척킹 암과 연결되는 제2 너트 블럭을 포함하고,
    상기 모터의 일 방향을 따른 회전에 의해, 상기 제1 너트 블럭 및 상기 제2 너트 블럭은 서로에게 다가가는 방향으로 이동되는,
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2 구동 멤버는,
    상기 너트 블럭에 회전 가능하게 연결되는 제1 링크; 및
    상기 제1 링크 및 상기 베이스 유닛 각각에 회전 가능하게 연결되는 제2 링크를 포함하고,
    상기 센터링 샤프트는, 상기 제1 링크 및 상기 제2 링크 중 적어도 하나에 연결되는, 반송대차.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 유닛에 연결되고, 상기 대상물을 하방으로 누르도록 형성되는 가압 유닛을 더 포함하고,
    상기 가압 유닛은,
    상기 베이스 유닛에 결합되고, 상기 승강 방향을 따라 연장되는 가이드 샤프트; 및
    상기 가이드 샤프트에 상기 승강 방향을 따라 이동 가능하게 설치되어, 자중에 의해 상기 대상물의 상부를 누르는 웨이트 부재를 포함하는, 반송대차.
KR1020210044062A 2021-04-05 2021-04-05 반송대차 KR102576383B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210044062A KR102576383B1 (ko) 2021-04-05 2021-04-05 반송대차

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210044062A KR102576383B1 (ko) 2021-04-05 2021-04-05 반송대차

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220138211A true KR20220138211A (ko) 2022-10-12
KR102576383B1 KR102576383B1 (ko) 2023-09-08

Family

ID=83597653

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210044062A KR102576383B1 (ko) 2021-04-05 2021-04-05 반송대차

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102576383B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0138057B1 (ko) * 1994-12-13 1998-06-15 황인길 반도체 패키지용 리드프레임 로더의 그립퍼장치
KR20150071312A (ko) * 2013-12-18 2015-06-26 주식회사 에스에프에이 이송대차
KR20150116387A (ko) * 2014-04-07 2015-10-15 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송차
KR20150135067A (ko) * 2014-05-22 2015-12-02 가부시키가이샤 다이후쿠 반송장치
KR102217740B1 (ko) * 2019-08-13 2021-02-22 주식회사 에스에프에이 이송대차

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0138057B1 (ko) * 1994-12-13 1998-06-15 황인길 반도체 패키지용 리드프레임 로더의 그립퍼장치
KR20150071312A (ko) * 2013-12-18 2015-06-26 주식회사 에스에프에이 이송대차
KR20150116387A (ko) * 2014-04-07 2015-10-15 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송차
KR20150135067A (ko) * 2014-05-22 2015-12-02 가부시키가이샤 다이후쿠 반송장치
KR102217740B1 (ko) * 2019-08-13 2021-02-22 주식회사 에스에프에이 이송대차

Also Published As

Publication number Publication date
KR102576383B1 (ko) 2023-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100991609B1 (ko) 컨테이너 반송 시스템
KR20080050358A (ko) 컨베이어와 반도체 처리 도구 로드포트 간의 인터페이스
KR102184615B1 (ko) 반송 장치
CN105083978A (zh) 搬运装置
KR102206058B1 (ko) 반송 시스템
CN101312894A (zh) 堆垛器
JP7211439B2 (ja) 搬送システム
WO2019181241A1 (ja) ストッカシステム
KR102346976B1 (ko) 물품 반송 설비
KR102583574B1 (ko) 캐리지 로봇 및 이를 포함하는 타워 리프트
WO2008024520A2 (en) Conveyor transfer system
KR102259283B1 (ko) 대상물 이송 장치
KR20220138211A (ko) 반송대차
CN117174627A (zh) 一种兼容型的晶圆缓存装置
KR102294887B1 (ko) 물품 이송 장치
CN114988113B (zh) 一种双向上下料机
JP6814412B2 (ja) 搬送システム
KR102314364B1 (ko) 기판 반송용 로봇
KR102568707B1 (ko) 다단적재 구조를 가지는 무인운반장치
KR20140061279A (ko) 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법
JP2024502531A (ja) ワークパレットをハンドリングするためのハンドリングシステムおよびハンドリング装置
WO2020095570A1 (ja) 天井搬送車
CN115280482A (zh) 夹持器装置、输送车以及输送方法
CN112520330A (zh) 物品搬运装置
KR20210158241A (ko) 호이스트 유닛의 가이드 구조물 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant